KR20230163287A

KR20230163287A - Blade replacement device, cutting apparatus, and method of manufacturing cut products

Info

Publication number: KR20230163287A
Application number: KR1020230040350A
Authority: KR
Inventors: 모토키 후카이; 쇼마 오니시; 이치로 이마이; 린 사카모토
Original assignee: 토와 가부시기가이샤
Priority date: 2022-05-23
Filing date: 2023-03-28
Publication date: 2023-11-30
Also published as: TW202346052A; CN117103369A; JP2023171989A

Abstract

본 발명은, 블레이드 흡착면을 청정한 상태로 유지하는 것이 가능한 절단 장치를 제공한다.
블레이드를 흡착하도록 구성된 제1 흡착부를 적어도 구비하는 블레이드 교환 기구와, 상기 블레이드 교환 기구를 내부에 수납 가능한 커버 본체와, 상기 블레이드 교환 기구와 일체적으로 이동 가능하며, 상기 블레이드 교환 기구를 상기 커버 본체의 내부에 수납한 상태에서 상기 커버 본체의 개구부를 닫는 것이 가능한 폐색부와, 상기 블레이드 교환 기구의 상기 커버 본체에의 수납 시에, 상기 제1 흡착부의 블레이드 흡착면에 대하여 기체를 분사하도록 구성된 기체 분사부를 구비한다.The present invention provides a cutting device capable of keeping the blade suction surface in a clean state.
A blade exchange mechanism comprising at least a first adsorption portion configured to adsorb a blade, a cover body capable of storing the blade exchange mechanism therein, and movable integrally with the blade exchange mechanism, wherein the blade exchange mechanism is attached to the cover body. a gas configured to spray gas against the blade adsorption surface of the first adsorption unit when the blade exchange mechanism is stored in the cover main body; It is provided with a spray unit.

Description

Blade exchange device, cutting device, and manufacturing method of cutting products {BLADE REPLACEMENT DEVICE, CUTTING APPARATUS, AND METHOD OF MANUFACTURING CUT PRODUCTS}

본 발명은, 블레이드 교환 장치, 절단 장치 및 절단품의 제조 방법의 기술에 관한 것이다.The present invention relates to the technology of a blade changing device, a cutting device, and a method of manufacturing a cut product.

특허문헌 1에는, 블레이드 교환 기구에의 물, 수적, 미스트 등의 부착을 억제하기 위한 기술이 개시되어 있다. 구체적으로는, 특허문헌 1에는, 절단 대상물의 절단 시에, 블레이드 교환 기구의 흡착 유닛을 덮는 방수 커버가 개시되어 있다. 방수 커버는 개폐 도어를 갖고, 흡착 유닛의 블레이드 흡착면은 개폐 도어와는 반대 방향을 향한 상태에서 방수 커버에 수납된다. 이렇게 구성함으로써, 블레이드 흡착면에의 절삭수, 수적, 미스트 등의 부착을 억제하고, 나아가서는 블레이드 교환 기구의 동작 불량 등이 일어나는 것을 저감할 수 있다.Patent Document 1 discloses a technique for suppressing the adhesion of water, water droplets, mist, etc. to the blade exchange mechanism. Specifically, Patent Document 1 discloses a waterproof cover that covers the suction unit of the blade exchange mechanism when cutting an object to be cut. The waterproof cover has an opening and closing door, and the blade adsorption surface of the adsorption unit is stored in the waterproof cover with the blade adsorption surface facing in the opposite direction to the opening and closing door. With this configuration, it is possible to suppress the adhesion of cutting water, water droplets, mist, etc. to the blade adsorption surface, and further reduce the occurrence of malfunctions in the blade exchange mechanism.

일본 특허 공개 제2021-65981호 공보Japanese Patent Publication No. 2021-65981

특허문헌 1에 기재된 바와 같은 블레이드 교환 기구에서는, 블레이드 교환 기구의 동작 불량 등을 방지하는 관점에서, 블레이드 흡착면을 더 청정한 상태로 유지할 것이 요망되고 있다.In the blade exchange mechanism as described in Patent Document 1, it is desired to keep the blade suction surface in a cleaner state from the viewpoint of preventing malfunctions of the blade exchange mechanism.

본 발명은 이상과 같은 상황을 감안하여 이루어진 것으로, 그 해결하고자 하는 과제는, 블레이드 흡착면을 청정한 상태로 유지하는 것이 가능한 블레이드 교환 장치, 절단 장치 및 절단품의 제조 방법을 제공하는 것이다.The present invention was made in consideration of the above-mentioned situation, and the problem to be solved is to provide a blade exchange device, a cutting device, and a method of manufacturing a cut product capable of maintaining the blade adsorption surface in a clean state.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상과 같으며, 이 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 관한 블레이드 교환 장치는, 블레이드를 흡착하도록 구성된 제1 흡착부를 적어도 구비하는 블레이드 교환 기구와, 상기 블레이드 교환 기구를 내부에 수납 가능한 커버 본체와, 상기 블레이드 교환 기구와 일체적으로 이동 가능하며, 상기 블레이드 교환 기구를 상기 커버 본체의 내부에 수납한 상태에서 상기 커버 본체의 개구부를 닫는 것이 가능한 폐색부와, 상기 블레이드 교환 기구의 상기 커버 본체에의 수납 시에, 상기 제1 흡착부의 블레이드 흡착면에 대하여 기체를 분사하도록 구성된 기체 분사부를 구비하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is as described above, and in order to solve this problem, the blade exchange device according to the present invention includes a blade exchange mechanism including at least a first adsorption portion configured to adsorb a blade, and the blade exchange mechanism. a cover body that can be stored inside the cover body, a closure unit that is movable integrally with the blade exchange mechanism and is capable of closing an opening of the cover body while the blade exchange mechanism is stored inside the cover body, and and a gas injection portion configured to spray gas against the blade adsorption surface of the first adsorption unit when the blade exchange mechanism is stored in the cover main body.

또한, 본 발명에 관한 절단 장치는, 상기 블레이드 교환 장치와, 상기 블레이드 교환 장치에 의해 교환된 블레이드에 의해 절단 대상물을 절단하는 절단 기구를 포함하는 것이다.Additionally, the cutting device according to the present invention includes the blade exchange device and a cutting mechanism that cuts the object to be cut with the blade exchanged by the blade exchange device.

또한, 본 발명에 관한 절단품의 제조 방법은, 상기 절단 장치를 사용해서 절단품을 제조하는 방법이며, 상기 블레이드 교환 장치에 의해 상기 절단 장치의 블레이드의 교환을 행하는 블레이드 교환 공정과, 상기 블레이드 교환 공정에 의해 교환된 블레이드가 설치된 상기 절단 장치에 의해 상기 절단 대상물을 절단하는 절단 공정을 포함하는 것이다.In addition, the method of manufacturing a cut product according to the present invention is a method of manufacturing a cut product using the cutting device, a blade exchange step of replacing the blade of the cutting device with the blade exchange device, and the blade exchange step. It includes a cutting process of cutting the cutting object by the cutting device installed with the blade replaced by.

본 발명에 따르면, 블레이드 흡착면을 청정한 상태로 유지할 수 있다.According to the present invention, the blade suction surface can be kept clean.

도 1은 일 실시 형태에 관한 절단 장치의 전체적인 구성을 도시한 평면 모식도.
도 2는 블레이드 교환 장치를 도시한 사시도.
도 3은 이동부의 동작을 도시한 사시도.
도 4는 스핀들부의 구성을 도시한 확대 단면 사시도.
도 5는 보유 지지부의 구성을 도시한 확대 단면 사시도.
도 6은 이동 플레이트가 커버 본체의 개구부를 폐색하는 양태를 도시한 사시도.
도 7의 (a)는 제1 세정 스펀지의 형상을 도시한 사시도이다. (b)는 제1 세정 스펀지의 변형예를 도시한 사시도.
도 8의 (a)는 절단 장치를 도시한 평면 일부 단면도이다. (b)는 커버 본체의 내부 양태를 도시한 사시도.
도 9는 절단품의 제조 방법을 나타낸 흐름도.
도 10의 (a)는 에어 노즐로부터의 공기로 블레이드를 세정하는 양태를 도시한 모식도. (b)는 제2 플랜지 및 블레이드가 스핀들로부터 떼어내어지는 양태를 도시한 모식도. (c)는 사용 완료된 블레이드가 수납되는 양태를 도시한 모식도.
도 11의 (a)는 제2 플랜지가 제2 세정 스펀지로 세정되는 양태를 도시한 모식도. (b)는 보유 지지부가 미사용 블레이드를 보유 지지하는 양태를 도시한 모식도. (c)는 에어 노즐로부터의 공기로 제1 플랜지를 세정하는 양태를 도시한 모식도.
도 12의 (a)는 제1 플랜지가 제1 세정 스펀지로 세정되는 양태를 도시한 모식도. (b)는 제2 플랜지 및 블레이드가 스핀들에 설치되는 양태를 도시한 모식도. (c)는 커버 본체에의 수납 시에 블레이드 흡착면에 대하여 공기가 분사되는 양태를 도시한 모식도.1 is a plan schematic diagram showing the overall configuration of a cutting device according to one embodiment.
Figure 2 is a perspective view showing a blade exchange device.
Figure 3 is a perspective view showing the operation of the moving part.
Figure 4 is an enlarged cross-sectional perspective view showing the configuration of the spindle portion.
Figure 5 is an enlarged cross-sectional perspective view showing the configuration of the holding portion.
Figure 6 is a perspective view showing a state in which a moving plate closes the opening of the cover body.
Figure 7 (a) is a perspective view showing the shape of the first cleaning sponge. (b) is a perspective view showing a modified example of the first cleaning sponge.
Figure 8 (a) is a partial plan cross-sectional view showing a cutting device. (b) is a perspective view showing the internal aspect of the cover body.
Figure 9 is a flow chart showing a method of manufacturing a cut product.
Figure 10(a) is a schematic diagram showing a mode of cleaning a blade with air from an air nozzle. (b) is a schematic diagram showing a state in which the second flange and blade are separated from the spindle. (c) is a schematic diagram showing how a used blade is stored.
Figure 11 (a) is a schematic diagram showing a mode in which the second flange is cleaned with a second cleaning sponge. (b) is a schematic diagram showing a state in which the holding portion holds and supports an unused blade. (c) is a schematic diagram showing a mode of cleaning the first flange with air from an air nozzle.
Figure 12 (a) is a schematic diagram showing a state in which the first flange is cleaned with a first cleaning sponge. (b) is a schematic diagram showing how the second flange and blade are installed on the spindle. (c) is a schematic diagram showing how air is sprayed onto the blade adsorption surface when stored in the cover body.

<절단 장치(1)의 구성><Configuration of cutting device (1)>

먼저, 본 실시 형태에 관한 절단 장치(1)의 구성에 대해서 설명한다. 본 실시 형태에서는, 예를 들어 절단 장치(1)에 의한 절단 대상물로서, 반도체 칩이 장착된 기판을 수지 밀봉한 밀봉 완료 기판(W)을 사용하는 경우의, 절단 장치(1)의 구성에 대해서 설명한다.First, the configuration of the cutting device 1 according to this embodiment will be described. In this embodiment, for example, as an object to be cut by the cutting device 1, a sealed substrate W obtained by resin-sealing a substrate with a semiconductor chip is used. About the configuration of the cutting device 1. Explain.

밀봉 완료 기판(W)으로서는, 예를 들어 BGA(Ball grid array) 패키지 기판, CSP(Chip size package) 패키지 기판, LED(Light emitting diode) 패키지 기판 등이 사용된다. 또한, 절단 대상물로서는, 밀봉 완료 기판(W)뿐만 아니라, 반도체 칩이 장착된 리드 프레임을 수지 밀봉한 밀봉 완료 리드 프레임이 사용되는 경우도 있다.As the sealed substrate W, for example, a BGA (Ball grid array) package substrate, a CSP (Chip size package) package substrate, an LED (Light emitting diode) package substrate, etc. are used. In addition, as the object to be cut, not only the sealed substrate W but also a sealed lead frame obtained by resin-sealing a lead frame on which a semiconductor chip is mounted may be used.

도 1에 도시하는 절단 장치(1)는, 절단 대상물인 밀봉 완료 기판(W)을 절단함으로써, 복수의 절단품(제품(P))으로 개편화하는 가공 장치이다. 절단 장치(1)는, 구성 요소로서, 기판 공급 모듈(A), 절단 모듈(B) 및 수납 모듈(C)을 구비한다. 각 구성 요소는, 다른 구성 요소에 대하여 착탈 가능하면서 또한 교환 가능하다.The cutting device 1 shown in FIG. 1 is a processing device that separates a sealed substrate W, which is an object to be cut, into a plurality of cut products (products P) by cutting the sealed substrate W. The cutting device 1 includes, as components, a substrate supply module (A), a cutting module (B), and a storage module (C). Each component is detachable and exchangeable with respect to other components.

<기판 공급 모듈(A)><Board supply module (A)>

기판 공급 모듈(A)에는, 주로 기판 공급 기구(11) 및 제어부(CTL)가 마련된다.The substrate supply module A is mainly provided with a substrate supply mechanism 11 and a control unit (CTL).

절단 대상물인 밀봉 완료 기판(W)은, 기판 공급 기구(11)로부터 반출되어, 이송 기구(도시하지 않음)에 의해 절단 모듈(B)로 이송된다. 제어부(CTL)는 절단 장치(1)의 각 부의 동작을 제어하는 것이다. 제어부(CTL)에 의해 절단 장치(1)의 각 부가 제어됨으로써, 밀봉 완료 기판(W)의 반입, 밀봉 완료 기판(W)의 절단, 제품(P)의 검사, 제품(P)의 반출 등을 행할 수 있다. 또한, 제어부(CTL)는, 기판 공급 모듈(A) 이외의 모듈에 마련하는 것도 가능하다. 또한 제어부(CTL)는, 복수로 분할해서 마련하는 것도 가능하다. 예를 들어, 각 모듈에 제어부(CTL)를 마련하여, 제어부(CTL)끼리 연계시켜서 각 부를 제어하는 것도 가능하다.The sealed substrate W, which is the object to be cut, is unloaded from the substrate supply mechanism 11 and transferred to the cutting module B by a transfer mechanism (not shown). The control unit (CTL) controls the operation of each part of the cutting device (1). Each part of the cutting device 1 is controlled by the control unit CTL, so that the loading of the sealed substrate W, cutting of the sealed substrate W, inspection of the product P, and unloading of the product P are performed. It can be done. Additionally, the control unit (CTL) can also be provided in a module other than the substrate supply module (A). Additionally, the control unit (CTL) can be divided into multiple parts and provided. For example, it is possible to provide a control unit (CTL) in each module and control each unit by linking the control units (CTL) with each other.

<절단 모듈(B)><Cutting module (B)>

도 1에 도시하는 절단 모듈(B)에는, 주로 절단용 테이블(21), 절단용 지그(22), 이동 기구(23), 회전 기구(24), 스핀들부(25) 및 블레이드 교환 장치(26)가 마련된다.The cutting module B shown in FIG. 1 mainly includes a cutting table 21, a cutting jig 22, a moving mechanism 23, a rotating mechanism 24, a spindle unit 25, and a blade exchange device 26. ) is prepared.

본 실시 형태에서는, 2개의 절단용 테이블(21)을 갖는 트윈 커트 테이블 방식의 절단 장치(1)를 예시하고 있다. 절단용 테이블(21)에는, 절단용 지그(22)가 마련된다. 절단용 테이블(21)은, 이동 기구(23)에 의해 Y 방향으로 이동 가능하며, 또한, 회전 기구(24)에 의해 θ 방향으로 회동 가능하다.In this embodiment, the cutting device 1 of the twin cut table type having two cutting tables 21 is illustrated. A cutting jig 22 is provided on the cutting table 21. The cutting table 21 can be moved in the Y direction by the moving mechanism 23 and can be rotated in the θ direction by the rotating mechanism 24.

또한 본 실시 형태에서는, 2개의 스핀들부(25)를 갖는 트윈 스핀들 구성의 절단 장치(1)를 예시하고 있다. 2개의 스핀들부(25)는, 서로 독립적으로 X 방향 및 Z 방향으로 이동 가능하다. 또한, 스핀들부(25)는, 본 발명에 관한 절단 기구의 실시의 일 형태이다.Additionally, in this embodiment, a cutting device 1 having a twin spindle configuration having two spindle portions 25 is illustrated. The two spindle parts 25 can move in the X and Z directions independently of each other. Additionally, the spindle portion 25 is one embodiment of the cutting mechanism according to the present invention.

블레이드 교환 장치(26)는, 스핀들부(25)에서 사용되는 블레이드(25a)를 교환하기 위한 것이다. 블레이드 교환 장치(26)는, 스핀들부(25)의 배후(도시 상측)에 배치된다. 블레이드 교환 장치(26)는, 주로 블레이드 교환 기구(100), 커버(200), 세정 기구(300), 블레이드 교환대(400), 에어 노즐(500) 및 카메라(600)를 구비한다. 또한, 블레이드 교환 장치(26)의 상세한 구성에 대해서는 후술한다.The blade exchange device 26 is for replacing the blade 25a used in the spindle portion 25. The blade changing device 26 is disposed behind the spindle portion 25 (on the upper side in the illustration). The blade changing device 26 mainly includes a blade changing mechanism 100, a cover 200, a cleaning mechanism 300, a blade changing table 400, an air nozzle 500, and a camera 600. Additionally, the detailed configuration of the blade exchange device 26 will be described later.

절단 모듈(B)에 있어서, 절단용 테이블(21)에 밀봉 완료 기판(W)이 보유 지지된 상태에서, 절단용 테이블(21)과 2개의 스핀들부(25)를 상대적으로 이동시킴으로써, 밀봉 완료 기판(W)을 절단해서 개편화할 수 있다. 스핀들부(25)의 블레이드(25a)는, Y 방향 및 Z 방향을 포함하는 면 내에서 회전함으로써, 절단용 테이블(21)에 보유 지지된 밀봉 완료 기판(W)을 절단한다. 이때, 블레이드(25a)를 향해서 절삭수를 분사하면서 밀봉 완료 기판(W)을 절단할 수도 있다. 또한, 적절한 타이밍에, 블레이드 교환 장치(26)에 의해 스핀들부(25)에서 사용되는 블레이드(25a)를 교환할 수 있다.In the cutting module B, sealing is completed by moving the cutting table 21 and the two spindle units 25 relative to each other while the sealed substrate W is held on the cutting table 21. The substrate (W) can be cut into pieces. The blade 25a of the spindle portion 25 cuts the sealed substrate W held on the cutting table 21 by rotating in a plane including the Y direction and the Z direction. At this time, the sealed substrate W may be cut while spraying cutting water toward the blade 25a. Additionally, the blade 25a used in the spindle portion 25 can be replaced by the blade exchange device 26 at an appropriate timing.

<수납 모듈(C)><Storage module (C)>

수납 모듈(C)에는, 주로 검사용 테이블(31) 및 트레이(32)가 마련된다.The storage module C is mainly provided with a table 31 and a tray 32 for inspection.

검사용 테이블(31)에는, 밀봉 완료 기판(W)을 절단해서 개편화된 복수의 제품(P)으로 이루어지는 집합체가 적재된다. 복수의 제품(P)은, 검사용 카메라(도시하지 않음)에 의해 검사되어, 양품과 불량품으로 선별된다. 선별된 양품은, 트레이(32)에 수납된다. 선별된 불량품은, 별도 준비된 트레이(도시하지 않음)에 수납되어, 제품(P)으로부터 제외된다. 또한, 수납 모듈(C)에 있어서, 반드시 제품(P)의 검사를 행할 필요는 없다.On the inspection table 31, an assembly consisting of a plurality of products P separated by cutting the sealed substrate W is loaded. A plurality of products P are inspected by an inspection camera (not shown) and classified into good and defective products. The sorted good products are stored in the tray 32. The selected defective products are stored in a separately prepared tray (not shown) and excluded from the product P. Additionally, in the storage module C, it is not necessarily necessary to inspect the product P.

<블레이드 교환 장치(26)의 상세한 구성><Detailed configuration of the blade exchange device (26)>

이어서, 블레이드 교환 장치(26)(블레이드 교환 기구(100), 커버(200), 세정 기구(300), 블레이드 교환대(400), 에어 노즐(500) 및 카메라(600))의 구성에 대해서 설명한다. 또한, 블레이드 교환 장치(26)의 각 부의 상세한 구조나 형상 등은 특별히 한정하지 않기 때문에, 본 실시 형태에서는 각 부의 형상 등을 적절히 간략화해서 도시하고 있다.Next, the configuration of the blade exchange device 26 (blade exchange mechanism 100, cover 200, cleaning mechanism 300, blade exchange table 400, air nozzle 500, and camera 600) is explained. do. In addition, since the detailed structure or shape of each part of the blade exchange device 26 is not particularly limited, the shape of each part is appropriately simplified and shown in this embodiment.

<블레이드 교환 기구(100)><Blade exchange mechanism (100)>

도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 블레이드 교환 기구(100)는, 주로 지지부(110), 보유 지지부(120) 및 이동부(130)를 구비한다.As shown in FIGS. 2 and 3 , the blade exchange mechanism 100 mainly includes a support portion 110, a holding portion 120, and a moving portion 130.

지지부(110)는, 보유 지지부(120) 및 후술하는 제1 세정 기구(310)를 지지하는 것이다. 지지부(110)는, 적당한 부재(막대 형상 부재, 판상 부재 등)를 조합해서 형성할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 지지부(110)는 일 방향(도 2 및 도 3에서는, X 방향)으로 긴 직사각 형상으로 형성되어 있다.The support portion 110 supports the holding portion 120 and the first cleaning mechanism 310 described later. The support portion 110 can be formed by combining appropriate members (rod-shaped members, plate-shaped members, etc.). In this embodiment, the support portion 110 is formed in a long rectangular shape in one direction (X direction in FIGS. 2 and 3).

보유 지지부(120)는, 스핀들부(25)에 마련된 블레이드(25a), 및 블레이드(25a)를 스핀들부(25)에 고정하기 위한 제2 플랜지(25d)를 보유 지지하는 것이 가능한 것이다. 보유 지지부(120)는, 지지부(110)의 길이 방향에서의 일단부에 마련된다.The holding portion 120 is capable of holding the blade 25a provided on the spindle portion 25 and the second flange 25d for fixing the blade 25a to the spindle portion 25. The holding portion 120 is provided at one end of the supporting portion 110 in the longitudinal direction.

여기서, 도 4를 사용하여, 스핀들부(25)(특히, 블레이드(25a)의 고정에 관한 부위)의 구성에 대해서 설명한다. 도 4는, 2개의 스핀들부(25) 중 한쪽(도 2에서의 지면 좌측의 스핀들부(25))의 일부분의 단면을 도시한 것이다.Here, using FIG. 4, the configuration of the spindle portion 25 (particularly, the portion related to fixing the blade 25a) will be explained. FIG. 4 shows a partial cross-section of one of the two spindle portions 25 (the spindle portion 25 on the left side of the drawing in FIG. 2).

스핀들부(25)의 회전축(25b)에는, 대략 원환상의 제1 플랜지(25c)가 고정된다. 또한, 제1 플랜지(25c)와 대향하도록, 대략 원환상의 제2 플랜지(25d)가 마련된다. 또한, 제2 플랜지(25d)는, 본 발명에 관한 플랜지의 실시의 일 형태이다.A substantially annular first flange 25c is fixed to the rotation axis 25b of the spindle portion 25. Additionally, a substantially annular second flange 25d is provided to face the first flange 25c. Additionally, the second flange 25d is an embodiment of the flange according to the present invention.

너트 등의 탈착 부재(25e)가 제1 플랜지(25c)의 보스 부분에 체결됨으로써, 제2 플랜지(25d)가 제1 플랜지(25c)를 향해서 압박된다. 제1 플랜지(25c) 및 제2 플랜지(25d)의 외주 부분에는, 서로 마주 보는 방향으로 돌출된 제1 접촉면(25f) 및 제2 접촉면(25g)이 형성되어 있다. 제1 접촉면(25f)과 제2 접촉면(25g)의 사이에 대략 원환상의 블레이드(25a)가 끼워져서 고정된다. 탈착 부재(25e)에는, 복수의 관통 구멍(25h)이 형성되어 있다.When the detachable member 25e, such as a nut, is fastened to the boss portion of the first flange 25c, the second flange 25d is pressed toward the first flange 25c. A first contact surface 25f and a second contact surface 25g protruding in directions facing each other are formed on the outer peripheral portions of the first flange 25c and the second flange 25d. An approximately annular blade 25a is inserted and fixed between the first contact surface 25f and the second contact surface 25g. A plurality of through holes 25h are formed in the detachable member 25e.

도 5에 도시하는 보유 지지부(120)는, 주로 블레이드 흡착부(121), 플랜지 흡착부(122) 및 탈착 부재 회전부(123)를 구비한다.The holding portion 120 shown in FIG. 5 mainly includes a blade suction portion 121, a flange suction portion 122, and a detachable member rotating portion 123.

블레이드 흡착부(121)는, 블레이드(25a)를 흡착하기 위한 것이다. 블레이드 흡착부(121)는, 대략 원통상으로 형성된다. 블레이드 흡착부(121)의 단부면(이하, 블레이드 흡착면(121a)라고 칭함)에는, 블레이드(25a)를 흡착하기 위한 흡착구 및 흡착 홈(도시하지 않음)이 적절히 형성된다. 외부에 마련된 흡인 장치에 의해 블레이드 흡착부(121)의 흡착구 등의 공기를 흡인함으로써, 블레이드 흡착면(121a)에 블레이드(25a)를 흡착해서 보유 지지할 수 있다. 또한, 블레이드 흡착부(121)는, 본 발명에 관한 제1 흡착부의 실시의 일 형태이다.The blade adsorption unit 121 is for adsorbing the blade 25a. The blade adsorption portion 121 is formed in a substantially cylindrical shape. On the end surface of the blade adsorption portion 121 (hereinafter referred to as the blade adsorption surface 121a), an adsorption port and an adsorption groove (not shown) for adsorbing the blade 25a are appropriately formed. The blade 25a can be adsorbed and held on the blade suction surface 121a by sucking air from the suction port of the blade suction portion 121 using an externally provided suction device. Additionally, the blade adsorption unit 121 is an embodiment of the first adsorption unit according to the present invention.

플랜지 흡착부(122)는, 제2 플랜지(25d)를 흡착하기 위한 것이다. 플랜지 흡착부(122)는, 대략 원통상으로 형성된다. 플랜지 흡착부(122)는, 블레이드 흡착부(121)의 내측에 배치된다. 플랜지 흡착부(122)의 단부면(이하, 플랜지 흡착면(122a)이라고 칭함)에는, 제2 플랜지(25d)를 흡착하기 위한 흡착구 및 흡착 홈(도시하지 않음)이 적절히 형성된다. 외부에 마련된 흡인 장치에 의해 플랜지 흡착부(122)의 흡착구 등의 공기를 흡인함으로써, 플랜지 흡착면(122a)에 제2 플랜지(25d)를 흡착해서 보유 지지할 수 있다. 또한, 플랜지 흡착부(122)는, 본 발명에 관한 제2 흡착부의 실시의 일 형태이다.The flange adsorption portion 122 is for adsorbing the second flange 25d. The flange adsorption portion 122 is formed in a substantially cylindrical shape. The flange adsorption unit 122 is disposed inside the blade adsorption unit 121. On the end surface of the flange adsorption portion 122 (hereinafter referred to as the flange adsorption surface 122a), an adsorption port and an adsorption groove (not shown) for adsorbing the second flange 25d are appropriately formed. The second flange 25d can be adsorbed and held on the flange suction surface 122a by suctioning air from the suction port of the flange suction portion 122 using a suction device provided externally. Additionally, the flange adsorption unit 122 is an embodiment of the second adsorption unit according to the present invention.

탈착 부재 회전부(123)는, 탈착 부재(25e)를 회전시켜서 제1 플랜지(25c)의 보스 부분에 탈착하기 위한 것이다. 탈착 부재 회전부(123)는, 환상으로 형성된다. 탈착 부재 회전부(123)는, 플랜지 흡착부(122)의 내측에 배치된다. 탈착 부재 회전부(123)의 단부면에는, X 방향으로 돌출되도록 복수의 돌출부(123a)가 마련된다. 돌출부(123a)는, 탈착 부재(25e)의 관통 구멍(25h)(도 4 참조)에 대응하는 위치에 배치된다. 탈착 부재 회전부(123)는, 회전 기구(도시하지 않음)의 동력에 의해 회전할 수 있다.The detachable member rotating part 123 is for rotating the detachable member 25e to attach and detach it from the boss portion of the first flange 25c. The detachable member rotating portion 123 is formed in an annular shape. The detachable member rotating part 123 is disposed inside the flange adsorption part 122. On the end surface of the detachable member rotating portion 123, a plurality of protruding portions 123a are provided to protrude in the X direction. The protrusion 123a is disposed at a position corresponding to the through hole 25h (see FIG. 4) of the detachable member 25e. The detachable member rotating part 123 can be rotated by the power of a rotating mechanism (not shown).

보유 지지부(120)는, 돌출부(123a)를 탈착 부재(25e)의 관통 구멍(25h)에 삽입한 상태에서 탈착 부재 회전부(123)를 회전시킴으로써, 탈착 부재(25e)의 착탈을 행할 수 있다. 또한 보유 지지부(120)는, 블레이드 흡착부(121) 및 플랜지 흡착부(122)에 의해, 블레이드(25a) 및 제2 플랜지(25d)를 각각 독립적으로 보유 지지할 수 있다.The holding portion 120 can attach and detach the detachable member 25e by rotating the detachable member rotating portion 123 while inserting the protruding portion 123a into the through hole 25h of the detachable member 25e. In addition, the holding part 120 can independently hold the blade 25a and the second flange 25d by the blade adsorbing part 121 and the flange adsorbing part 122.

이렇게 보유 지지부(120)는, 블레이드 흡착부(121), 플랜지 흡착부(122) 및 탈착 부재 회전부(123)를 적절히 작동시킴으로써, 스핀들부(25)에 설치된 블레이드(25a) 및 제2 플랜지(25d)를, 스핀들부(25)로부터 떼어낼 수 있다. 또한 보유 지지부(120)는, 보유 지지하고 있는 블레이드(25a) 및 제2 플랜지(25d)를, 스핀들부(25)에 설치할 수 있다.In this way, the holding portion 120 operates the blade suction portion 121, the flange suction portion 122, and the detachable member rotating portion 123 appropriately, thereby forming the blade 25a and the second flange 25d installed on the spindle portion 25. ) can be removed from the spindle portion 25. Additionally, the holding portion 120 can attach the blade 25a and the second flange 25d that it holds to the spindle portion 25.

또한, 보유 지지부(120)가 블레이드(25a) 및 제2 플랜지(25d)를 보유 지지하는 방법은, 블레이드(25a) 등을 흡착해서 보유 지지하는 방법에 한정하는 것은 아니고, 예를 들어 갈고리 형상의 부재를 블레이드(25a) 등에 걸어서 기계적으로 보유 지지하는 방법 등이어도 된다.In addition, the method by which the holding portion 120 holds the blade 25a and the second flange 25d is not limited to the method of holding the blade 25a by adsorbing it, for example, by using a hook-shaped A method of mechanically holding the member by hanging it on the blade 25a or the like may be used.

도 2 및 도 3에 도시하는 이동부(130)는, 지지부(110)를 임의의 방향으로 이동시키는 것이다. 이동부(130)는, 주로 회전부(131), 제1 직선 이동부(132), 제2 직선 이동부(133) 및 제3 직선 이동부(134)를 구비한다.The moving part 130 shown in FIGS. 2 and 3 moves the support part 110 in an arbitrary direction. The moving part 130 mainly includes a rotating part 131, a first linear moving part 132, a second linear moving part 133, and a third linear moving part 134.

회전부(131)는, 지지부(110)를 회전시키는 것이다. 회전부(131)는, 지지부(110)를 지지함과 함께, 모터 등의 구동원의 구동력을 사용해서 지지부(110)를 회전시킬 수 있다. 회전부(131)는, Y 방향에 평행한 축선 주위로 지지부(110)를 회전시킬 수 있다.The rotating part 131 rotates the supporting part 110. The rotation unit 131 supports the support unit 110 and can rotate the support unit 110 using the driving force of a drive source such as a motor. The rotation unit 131 can rotate the support unit 110 around an axis parallel to the Y direction.

제1 직선 이동부(132)는, 회전부(131)를 직선적으로 이동시키는 것이다. 제1 직선 이동부(132)는, 회전부(131)를 지지함과 함께, 모터 등의 구동원의 구동력을 사용해서 회전부(131)를 이동시킬 수 있다. 제1 직선 이동부(132)는, 회전부(131)를 Y 방향을 따라 직선적으로 이동시킬 수 있다.The first linear moving unit 132 moves the rotating unit 131 linearly. The first linear moving part 132 supports the rotating part 131 and can move the rotating part 131 using the driving force of a driving source such as a motor. The first linear moving unit 132 can move the rotating unit 131 linearly along the Y direction.

제2 직선 이동부(133)는, 제1 직선 이동부(132)를 직선적으로 이동시키는 것이다. 제2 직선 이동부(133)는, 제1 직선 이동부(132)를 지지함과 함께, 모터 등의 구동원의 구동력을 사용해서 제1 직선 이동부(132)를 이동시킬 수 있다. 제2 직선 이동부(133)는, 제1 직선 이동부(132)를 Z 방향을 따라 직선적으로 이동시킬 수 있다.The second linear movement unit 133 moves the first linear movement unit 132 linearly. The second linear moving part 133 supports the first linear moving part 132 and can move the first linear moving part 132 using the driving force of a driving source such as a motor. The second linear moving unit 133 can linearly move the first linear moving unit 132 along the Z direction.

도 2에 도시하는 제3 직선 이동부(134)는, 제2 직선 이동부(133)를 직선적으로 이동시키는 것이다. 제3 직선 이동부(134)는, 제2 직선 이동부(133)를 지지함과 함께, 모터 등의 구동원의 구동력을 사용해서 제2 직선 이동부(133)를 이동시킬 수 있다. 제3 직선 이동부(134)는, 제2 직선 이동부(133)를 X 방향을 따라 직선적으로 이동시킬 수 있다.The third linear movement unit 134 shown in FIG. 2 moves the second linear movement unit 133 linearly. The third linear moving part 134 supports the second linear moving part 133 and can move the second linear moving part 133 using the driving force of a driving source such as a motor. The third linear moving unit 134 can linearly move the second linear moving unit 133 along the X direction.

상기와 같이 구성된 이동부(130)의 각 부의 이동을 조합함으로써, 지지부(110)를 임의의 위치로 이동시킴과 함께, Y 방향을 따른 축선 주위로 임의로 회전시킬 수 있다.By combining the movements of each part of the moving part 130 configured as above, the support part 110 can be moved to an arbitrary position and can be arbitrarily rotated around the axis along the Y direction.

<커버(200)><Cover (200)>

도 1, 도 2 및 도 6에 도시하는 커버(200)는, 블레이드 교환 기구(100)에 수적이나 절삭 부스러기 등이 부착되는 것을 방지하기 위한 것이다. 커버(200)는, 주로 커버 본체(210), 이동 플레이트(220) 및 시일 부재(230)를 구비한다.The cover 200 shown in FIGS. 1, 2, and 6 is for preventing water droplets, cutting chips, etc. from adhering to the blade exchange mechanism 100. The cover 200 mainly includes a cover body 210, a moving plate 220, and a seal member 230.

커버 본체(210)는, 블레이드 교환 기구(100)를 내부에 수납 가능한 것이다. 커버 본체(210)는, 후술하는 블레이드 교환대(400)를 측방 및 상방으로부터 둘러싸는 중공의 대략 직육면체상으로 형성된다. 이에 의해 커버 본체(210)는, 스핀들부(25)가 배치되는 공간과, 블레이드 교환대(400)가 배치되는 공간을 칸막이할 수 있다. 또한, 도 2에서는, 설명의 편의상, 커버 본체(210)의 1개의 측면(도 1에서의 지면 우측면)만을 도시하고 있다. 커버 본체(210)에는, 개구부(211) 및 누설부(212)가 형성된다.The cover body 210 is capable of storing the blade exchange mechanism 100 therein. The cover body 210 is formed in the shape of a hollow substantially rectangular parallelepiped that surrounds the blade changing table 400, which will be described later, from the sides and above. As a result, the cover body 210 can partition the space where the spindle unit 25 is placed and the space where the blade exchange table 400 is placed. In addition, in FIG. 2, for convenience of explanation, only one side (the right side in FIG. 1) of the cover main body 210 is shown. An opening 211 and a leakage portion 212 are formed in the cover body 210.

개구부(211)는, 커버 본체(210)의 일 측면(본 실시 형태에서는, 도 1에서의 지면 우측면)을 관통하도록 형성된다. 개구부(211)는, 블레이드 교환 기구(100)가 통과 가능한 형상으로 형성된다. 본 실시 형태에서는, 개구부(211)를 직사각 형상으로 형성한 예를 도시하고 있다.The opening 211 is formed to penetrate one side of the cover body 210 (in this embodiment, the right side in FIG. 1). The opening 211 is formed in a shape through which the blade exchange mechanism 100 can pass. In this embodiment, an example in which the opening 211 is formed in a rectangular shape is shown.

도 2 및 도 6에 도시하는 누설부(212)는, 후술하는 이동 플레이트(220)가 개구부(211)를 폐색했을 때, 커버 본체(210)의 내부 공간과 외부 공간을 접속하는 부분이다. 누설부(212)는, 커버 본체(210)의 일 측면(개구부(211)가 형성된 측면)으로부터 상면에 걸쳐서, X 방향을 따라 커버 본체(210)를 잘라 내도록 형성된다. 누설부(212)의 단부는, 개구부(211)의 상단부와 접속된다. 또한 본 실시 형태에서는, 누설부(212)를 형성함으로써, 블레이드 교환 기구(100)가 커버 본체(210)의 내부와 외부를 왕래할 때의, 커버 본체(210)와 이동부(130)의 간섭을 회피하고 있다.The leakage portion 212 shown in FIGS. 2 and 6 is a portion that connects the internal space and external space of the cover main body 210 when the opening 211 is closed by the moving plate 220, which will be described later. The leakage portion 212 is formed to cut the cover body 210 along the X direction from one side of the cover body 210 (the side where the opening 211 is formed) to the upper surface. The end of the leakage portion 212 is connected to the upper end of the opening portion 211. Additionally, in this embodiment, by forming the leakage portion 212, interference between the cover body 210 and the moving portion 130 is prevented when the blade exchange mechanism 100 moves between the inside and outside of the cover body 210. is avoiding.

도 1, 도 2 및 도 6에 도시하는 이동 플레이트(220)는, 커버 본체(210)의 개구부(211)를 폐색하는 것이 가능한 것이다. 이동 플레이트(220)는, 개구부(211)에 따른 형상으로 형성된다. 구체적으로는, 이동 플레이트(220)는, 개구부(211)보다도 한결 큰 대략 직사각형의 판상으로 형성된다. 이동 플레이트(220)는, X 방향에 있어서, 지지부(110)의 일측(도 2에서의 지면 우측)에 배치된다. 이동 플레이트(220)는, 판면을 X 방향을 향하게 한 상태에서 이동부(130)에 마련된다. 구체적으로는, 이동 플레이트(220)는 제2 직선 이동부(133)에 마련되고, 제3 직선 이동부(134)에 의해 블레이드 교환 기구(100)(특히, 지지부(110))와 일체적으로 X 방향으로 이동할 수 있다. 또한, 이동 플레이트(220)는, 본 발명에 관한 폐색부의 실시의 일 형태이다.The movable plate 220 shown in FIGS. 1, 2, and 6 is capable of closing the opening 211 of the cover main body 210. The moving plate 220 is formed in a shape corresponding to the opening 211 . Specifically, the moving plate 220 is formed into a substantially rectangular plate shape that is much larger than the opening 211. The moving plate 220 is disposed on one side (right side of the drawing in FIG. 2) of the support part 110 in the X direction. The moving plate 220 is provided on the moving unit 130 with the plate surface facing the X direction. Specifically, the moving plate 220 is provided on the second linear moving part 133, and is integrated with the blade exchange mechanism 100 (particularly, the support part 110) by the third linear moving part 134. It can move in the X direction. Additionally, the moving plate 220 is one embodiment of the closure portion according to the present invention.

시일 부재(230)는, 커버 본체(210)와 이동 플레이트(220)의 접촉부를 시일하는 것이다. 시일 부재(230)는, 가요성을 갖는 재료(예를 들어, 고무 등)에 의해 형성된다. 시일 부재(230)는, 이동 플레이트(220) 중, 커버 본체(210)와 대향하는 측면에 마련된다. 시일 부재(230)는, 이동 플레이트(220)의 외주부를 따르도록 마련된다.The seal member 230 seals the contact portion between the cover body 210 and the moving plate 220. The seal member 230 is made of a flexible material (eg, rubber, etc.). The seal member 230 is provided on the side of the moving plate 220 that faces the cover main body 210. The seal member 230 is provided along the outer periphery of the moving plate 220.

<세정 기구(300)><Cleaning device (300)>

도 1에 도시하는 세정 기구(300)는, 스핀들부(25)에 블레이드(25a)를 고정하기 위한 플랜지(제1 플랜지(25c) 및 제2 플랜지(25d))를 세정하기 위한 것이다. 세정 기구(300)는, 주로 제1 세정 기구(310) 및 제2 세정 기구(320)를 구비한다.The cleaning mechanism 300 shown in FIG. 1 is for cleaning the flanges (the first flange 25c and the second flange 25d) for fixing the blade 25a to the spindle portion 25. The cleaning mechanism 300 mainly includes a first cleaning mechanism 310 and a second cleaning mechanism 320.

도 3에 도시하는 제1 세정 기구(310)는, 스핀들부(25)에 설치된 상태의 제1 플랜지(25c)를 세정하는 것이다. 제1 세정 기구(310)는, 주로 제1 세정 스펀지(311) 및 에어 노즐(312)을 구비한다.The first cleaning mechanism 310 shown in FIG. 3 cleans the first flange 25c installed on the spindle portion 25. The first cleaning mechanism 310 mainly includes a first cleaning sponge 311 and an air nozzle 312.

도 3 및 도 7의 (a)에 도시하는 제1 세정 스펀지(311)는, 제1 플랜지(25c)를 세정하기 위한 세정 부재이다. 제1 세정 스펀지(311)는, 제1 플랜지(25c)의 외형보다도 큰 평면 형상을 갖는 원통상으로 형성된다. 제1 세정 스펀지(311)는, 원판상의 설치 부재(311a)를 통해서, 지지부(110)의 길이 방향에서의 일단부에 설치된다. 제1 세정 스펀지(311)는, 지지부(110)의 길이 방향에 있어서, 보유 지지부(120)와 반대측에 마련된다. 바꾸어 말하면, 제1 세정 스펀지(311)는, 회전부(131)의 회전축을 중심으로 해서, 보유 지지부(120)로부터 180도 반전시킨 위치에 마련된다.The first cleaning sponge 311 shown in (a) of FIGS. 3 and 7 is a cleaning member for cleaning the first flange 25c. The first cleaning sponge 311 is formed in a cylindrical shape with a planar shape larger than the outer shape of the first flange 25c. The first cleaning sponge 311 is installed on one end of the support portion 110 in the longitudinal direction through a disk-shaped attachment member 311a. The first cleaning sponge 311 is provided on the side opposite to the holding part 120 in the longitudinal direction of the supporting part 110. In other words, the first cleaning sponge 311 is provided at a position 180 degrees inverted from the holding portion 120, with the rotation axis of the rotating portion 131 as the center.

또한, 제1 세정 스펀지(311)는, 도 7의 (a)에 도시하는 원통상에 한하지 않고, 임의의 형상으로 할 수 있다. 예를 들어 도 7의 (b)에 도시하는 변형예와 같이, 원통을 복수로 분할한 형상으로 해도 된다. 이에 의해, 스펀지의 모퉁이부로 제1 플랜지(25c)의 세정을 행할 수 있어, 제1 세정 스펀지(311)의 세정 능력의 향상을 도모할 수 있다.Additionally, the first cleaning sponge 311 is not limited to the cylindrical shape shown in (a) of FIG. 7 and can have any shape. For example, as in the modified example shown in Figure 7(b), the cylinder may be divided into a plurality of shapes. As a result, the first flange 25c can be cleaned with the corner portion of the sponge, and the cleaning ability of the first cleaning sponge 311 can be improved.

도 3에 도시하는 에어 노즐(312)은, 컴프레서(도시하지 않음)로부터 공급된 압축 공기를 분출할 수 있다. 에어 노즐(312)은, 지지부(110)의 길이 방향에서의 일단부(제1 세정 스펀지(311)와 동일한 측)에 마련된다. 에어 노즐(312)은, 공기의 분출 방향을 제1 세정 스펀지(311)측을 향하게 한 상태에서 배치된다.The air nozzle 312 shown in FIG. 3 can blow out compressed air supplied from a compressor (not shown). The air nozzle 312 is provided at one end of the support portion 110 in the longitudinal direction (same side as the first cleaning sponge 311). The air nozzle 312 is disposed with the air blowing direction directed toward the first cleaning sponge 311.

도 2 및 도 8에 도시하는 제2 세정 기구(320)는, 스핀들부(25)로부터 분리된 상태(보유 지지부(120)에 보유 지지된 상태)의 제2 플랜지(25d)를 세정하는 것이다. 또한, 제2 세정 기구(320)는, 본 발명에 관한 플랜지 세정 기구의 실시의 일 형태이다. 제2 세정 기구(320)는, 주로 제2 세정 스펀지(321) 및 구동부(322)를 구비한다.The second cleaning mechanism 320 shown in FIGS. 2 and 8 cleans the second flange 25d in a state separated from the spindle portion 25 (held in the holding portion 120). Additionally, the second cleaning mechanism 320 is an embodiment of the flange cleaning mechanism according to the present invention. The second cleaning mechanism 320 mainly includes a second cleaning sponge 321 and a driving unit 322.

제2 세정 스펀지(321)는, 제2 플랜지(25d)를 세정하기 위한 세정 부재이다. 제2 세정 스펀지(321)는, 제2 플랜지(25d)와 동등한 직경을 갖는 원통상으로 형성된다. 제2 세정 스펀지(321)는, 도 7에 도시하는 제1 세정 스펀지(311)와 마찬가지의 형상으로 형성된다. 제2 세정 스펀지(321)는, 원통의 축선을 Z 방향을 향하게 한 상태에서, 후술하는 블레이드 교환대(400)의 상면에 마련된다. 또한, 제2 세정 스펀지(321)는, 본 발명에 관한 플랜지 세정 부재의 실시의 일 형태이다.The second cleaning sponge 321 is a cleaning member for cleaning the second flange 25d. The second cleaning sponge 321 is formed in a cylindrical shape with a diameter equal to that of the second flange 25d. The second cleaning sponge 321 is formed in the same shape as the first cleaning sponge 311 shown in FIG. 7 . The second cleaning sponge 321 is provided on the upper surface of the blade changing table 400, which will be described later, with the cylindrical axis facing the Z direction. Additionally, the second cleaning sponge 321 is an embodiment of the flange cleaning member according to the present invention.

구동부(322)는, 제2 세정 스펀지(321)를 회전시키는 것이다. 구동부(322)는, 예를 들어 모터 등의 구동원을 갖는다. 구동부(322)의 출력축은, 제2 세정 스펀지(321)에 접속된다. 구동부(322)의 구동력에 의해, 제2 세정 스펀지(321)를 Z 방향에 평행한 축선 주위로 회전시킬 수 있다.The driving unit 322 rotates the second cleaning sponge 321. The drive unit 322 has a drive source such as a motor, for example. The output shaft of the drive unit 322 is connected to the second cleaning sponge 321. The second cleaning sponge 321 can be rotated around an axis parallel to the Z direction by the driving force of the driving unit 322.

<블레이드 교환대(400)><Blade exchange table (400)>

블레이드 교환대(400)는, 미사용 블레이드(25a) 및 사용 완료된 블레이드(25a)를 보관하기 위한 것이다. 블레이드 교환대(400)는, 주로 사용 완료 블레이드 수납부(410) 및 미사용 블레이드 수납부(420)를 구비한다.The blade exchange table 400 is for storing unused blades 25a and used blades 25a. The blade exchange table 400 mainly includes a used blade storage unit 410 and an unused blade storage unit 420.

사용 완료 블레이드 수납부(410)는, 스핀들부(25)에서 사용된 사용 완료된 블레이드(25a)가 수납되는 부분이다. 사용 완료 블레이드 수납부(410)는, 상면이 개방된 상자 형상으로 형성된다. 사용 완료 블레이드 수납부(410)는, 내부에 블레이드(25a)를 수납할 수 있다. 또한 사용 완료 블레이드 수납부(410)는, 복수의 블레이드(25a)를 수납할 수 있다.The used blade storage portion 410 is a portion where the used blade 25a used in the spindle portion 25 is stored. The used blade storage unit 410 is formed in a box shape with an open top. The used blade storage unit 410 can store the blade 25a therein. Additionally, the used blade storage unit 410 can accommodate a plurality of blades 25a.

미사용 블레이드 수납부(420)는, 교환용인 미사용 블레이드(25a)가 수납되는 부분이다. 미사용 블레이드 수납부(420)는, 연직 방향(상하 방향)으로 연장되는 각기둥 형상으로 형성된다. 미사용 블레이드 수납부(420)는, 블레이드(25a)의 중심에 삽입됨으로써, 블레이드(25a)를 보유 지지할 수 있다. 또한 미사용 블레이드 수납부(420)는, 복수의 블레이드(25a)를 연직 방향으로 적층해서 수납할 수 있다. 또한, 각기둥 형상의 미사용 블레이드 수납부(420)의 측면으로부터 외측(블레이드(25a)측)을 향해서 공기를 분출하도록 구성함으로써, 복수의 블레이드(25a)끼리 분리하기 쉽게 할 수도 있다. 또한, 미사용 블레이드 수납부(420)는, 본 발명에 관한 교환용 블레이드 수납부의 실시의 일 형태이다.The unused blade storage portion 420 is a portion where the unused blade 25a for replacement is stored. The unused blade storage portion 420 is formed in a prismatic shape extending in the vertical direction (up and down direction). The unused blade storage portion 420 can hold the blade 25a by being inserted into the center of the blade 25a. Additionally, the unused blade storage unit 420 can store a plurality of blades 25a stacked in the vertical direction. Additionally, by blowing air from the side of the prismatic unused blade storage portion 420 toward the outside (toward the blade 25a), the plurality of blades 25a can be easily separated from each other. Additionally, the unused blade storage unit 420 is an embodiment of the replacement blade storage unit according to the present invention.

블레이드 교환대(400)의 상면에 있어서, 사용 완료 블레이드 수납부(410), 미사용 블레이드 수납부(420) 및 제2 세정 기구(320)는, X 방향을 따라 나열되도록 배치된다. 구체적으로는, 커버 본체(210)의 개구부(211)에 가까운 측부터, 미사용 블레이드 수납부(420), 사용 완료 블레이드 수납부(410), 제2 세정 기구(320)의 순으로 나열되도록 배치된다.On the upper surface of the blade exchange table 400, the used blade storage unit 410, the unused blade storage unit 420, and the second cleaning mechanism 320 are arranged to be aligned along the X direction. Specifically, from the side closest to the opening 211 of the cover body 210, the unused blade storage portion 420, the used blade storage portion 410, and the second cleaning mechanism 320 are arranged in that order. .

또한, 사용 완료 블레이드 수납부(410) 및 미사용 블레이드 수납부(420)의 구성은 본 실시 형태에 한정하는 것은 아니고, 임의로 변경하는 것이 가능하다. 일례로서, 사용 완료 블레이드 수납부(410)를 미사용 블레이드 수납부(420)와 마찬가지로, 연직 방향(상하 방향)으로 연장되는 각기둥 형상으로 형성하는 것도 가능하다.Additionally, the configuration of the used blade storage portion 410 and the unused blade storage portion 420 is not limited to this embodiment and can be arbitrarily changed. As an example, like the unused blade storage portion 420, the used blade storage portion 410 can also be formed into a prismatic shape extending in the vertical direction (up and down direction).

<에어 노즐(500)><Air nozzle (500)>

에어 노즐(500)은, 블레이드 교환 기구(100)의 블레이드 흡착부(121)에 대하여 기체(본 실시 형태에서는, 공기)를 분사하기 위한 것이다. 에어 노즐(500)은, 컴프레서(도시하지 않음)로부터 공급된 압축 공기를 분출할 수 있다. 에어 노즐(500)은, 블레이드 교환대(400) 부근에 배치된다. 에어 노즐(500)은, 수평 방향으로 공기를 분출할 수 있도록 배치된다. 에어 노즐(500)은, 선단(공기의 분출 방향)을 제2 세정 스펀지(321)의 상단부면을 향하게 한 상태에서 배치된다. 또한, 에어 노즐(500)은, 후술하는 바와 같이, 커버 본체(210)의 내압(내부 공간의 압력)을 높여서, 커버 본체(210)의 내부에 절삭 부스러기나 수적이 침입하는 것을 방지하는 작용을 할 수 있다. 또한, 에어 노즐(500)은, 본 발명에 관한 기체 분사부의 실시의 일 형태이다.The air nozzle 500 is for spraying gas (air in this embodiment) to the blade adsorption unit 121 of the blade exchange mechanism 100. The air nozzle 500 can jet compressed air supplied from a compressor (not shown). The air nozzle 500 is disposed near the blade exchange table 400. The air nozzle 500 is arranged to jet air in a horizontal direction. The air nozzle 500 is disposed with its tip (air blowout direction) facing the upper end surface of the second cleaning sponge 321. In addition, as will be described later, the air nozzle 500 increases the internal pressure (pressure of the internal space) of the cover body 210 and acts to prevent cutting chips or water droplets from entering the inside of the cover body 210. can do. Additionally, the air nozzle 500 is an embodiment of the gas injection unit according to the present invention.

<카메라(600)><Camera (600)>

카메라(600)는, 커버 본체(210)의 내부를 촬상하기 위한 것이다. 카메라(600)는, 커버 본체(210)의 내부에 배치된다. 카메라(600)는, 렌즈를 블레이드 교환대(400)를 향하게 한 상태에서 배치된다. 본 실시 형태에서는, 2개의 카메라(600)를 커버 본체(210)의 내부에 배치함으로써, 블레이드 교환대(400) 전체(블레이드 교환대(400)에 마련된 제2 세정 기구(320), 사용 완료 블레이드 수납부(410) 및 미사용 블레이드 수납부(420))를 촬상하고 있다. 또한, 본 실시 형태의 카메라(600)의 배치나 개수는 일례이며, 임의로 변경하는 것이 가능하다. 카메라(600)로 촬상된 영상은, 예를 들어 절단 장치(1)의 외부에 마련된 모니터 등의 표시 장치에 표시된다. 절단 장치(1)의 이용자는, 표시 장치에 표시된 영상을 확인함으로써, 커버 본체(210) 내부의 양태를 확인할 수 있다.The camera 600 is for capturing images of the inside of the cover body 210. The camera 600 is disposed inside the cover body 210. The camera 600 is disposed with its lens facing the blade exchange table 400. In this embodiment, by disposing the two cameras 600 inside the cover main body 210, the entire blade changing table 400 (the second cleaning mechanism 320 provided on the blade changing table 400, the used blades) The storage portion 410 and the unused blade storage portion 420 are being imaged. Additionally, the arrangement and number of cameras 600 in this embodiment are examples and can be arbitrarily changed. The image captured by the camera 600 is displayed on a display device such as a monitor provided outside the cutting device 1, for example. The user of the cutting device 1 can confirm the state of the inside of the cover main body 210 by checking the image displayed on the display device.

<절단품의 제조 방법><Method for manufacturing cut products>

이어서, 도 1 및 도 9를 참조하여, 이상과 같이 구성된 절단 장치(1)를 사용해서 절단품을 제조하는 방법(절단품의 제조 방법)의 개략에 대해서 설명한다.Next, with reference to FIGS. 1 and 9 , an outline of a method of manufacturing a cut product (method of manufacturing a cut product) using the cutting device 1 configured as above will be described.

본 실시 형태에 관한 절단품의 제조 방법은, 주로 블레이드 교환 공정 S10 및 절단 공정 S20을 포함한다. 이하, 순서대로 설명한다.The manufacturing method of the cut product according to this embodiment mainly includes blade exchange process S10 and cutting process S20. Hereinafter, they will be explained in order.

블레이드 교환 공정 S10은, 블레이드 교환 장치(26)에 의해 절단 장치(1)의 블레이드(25a)의 교환을 행하는 공정이다.Blade exchange process S10 is a process of replacing the blade 25a of the cutting device 1 using the blade exchange device 26.

구체적으로는, 블레이드 교환 공정 S10에서, 블레이드 교환 기구(100)에 의해 스핀들부(25)에 설치된 사용 완료된 블레이드(25a)가 분리되고, 그 대신에 미사용 블레이드(25a)가 스핀들부(25)에 설치된다. 또한 블레이드 교환 공정 S10에서, 블레이드 교환 장치(26)는, 블레이드(25a)를 고정하기 위한 플랜지(제1 플랜지(25c) 및 제2 플랜지(25d))의 세정을 행하는 것도 가능하다.Specifically, in the blade exchange process S10, the used blade 25a installed on the spindle unit 25 is separated by the blade exchange mechanism 100, and the unused blade 25a is replaced with the spindle unit 25. It is installed. Additionally, in the blade exchange process S10, the blade exchange device 26 can also clean the flanges (the first flange 25c and the second flange 25d) for fixing the blade 25a.

블레이드(25a)의 교환이 완료된 후, 블레이드 교환 공정 S10에서 절단 공정 S20으로 이행한다.After replacement of the blade 25a is completed, the blade exchange process S10 moves to the cutting process S20.

절단 공정 S20은, 블레이드 교환 공정 S10에 의해 교환된 블레이드(25a)가 설치된 스핀들부(25)에 의해 밀봉 완료 기판(W)을 절단하는 공정이다.The cutting process S20 is a process of cutting the sealed substrate W using the spindle unit 25 equipped with the blade 25a exchanged in the blade exchange process S10.

구체적으로는, 절단 공정 S20에서, 밀봉 완료 기판(W)은 기판 공급 모듈(A)로부터 절단 모듈(B)로 이송된다. 절단 모듈(B)의 절단용 테이블(21)에 보유 지지된 밀봉 완료 기판(W)은, 스핀들부(25)에 의해 절단되어, 복수의 제품(P)으로 개편화된다. 개편화된 제품(P)은, 수납 모듈(C)에서 양품과 불량품으로 선별된다. 이와 같이 하여, 밀봉 완료 기판(W)을 절단하여, 제품(P)을 제조할 수 있다.Specifically, in the cutting process S20, the sealed substrate W is transferred from the substrate supply module A to the cutting module B. The sealed substrate W held on the cutting table 21 of the cutting module B is cut by the spindle unit 25 and separated into a plurality of products P. The reorganized products (P) are sorted into good and defective products in the storage module (C). In this way, the sealed substrate W can be cut to manufacture the product P.

또한, 도 9에는 절단품의 제조 방법을 간이적으로 나타내고 있지만, 각 공정을 실행하는 타이밍이나 횟수, 순서 등은 임의로 변경하는 것이 가능하다. 예를 들어, 절단 공정 S20을 반복해서 실행하고 있는 동안에 블레이드(25a)의 마모량을 적절한 센서로 검출하여, 마모량이 일정량을 초과한 타이밍에 블레이드 교환 공정 S10을 실행하는 것도 가능하다. 또한, 절단 장치(1)의 가동 시간, 제품(P)의 생산 수 등이 소정의 값을 초과한 타이밍에 블레이드 교환 공정 S10을 실행할 수도 있다.Moreover, although the manufacturing method of a cut product is shown briefly in FIG. 9, the timing, number of times, order, etc. of executing each process can be arbitrarily changed. For example, while repeatedly executing the cutting process S20, it is possible to detect the wear amount of the blade 25a with an appropriate sensor and execute the blade exchange process S10 at a timing when the wear amount exceeds a certain amount. Additionally, the blade exchange process S10 may be performed at a timing when the operating time of the cutting device 1, the number of products P produced, etc. exceed a predetermined value.

<블레이드 교환 장치(26)의 동작><Operation of blade exchange device (26)>

이어서, 절단품의 제조 공정(블레이드 교환 공정 S10 및 절단 공정 S20)에서의 블레이드 교환 장치(26)의 동작에 대해서 구체적으로 설명한다.Next, the operation of the blade exchange device 26 in the cutting product manufacturing process (blade exchange process S10 and cutting process S20) will be described in detail.

블레이드 교환 공정 S10에서 블레이드(25a)의 교환 등을 행할 경우, 먼저 도 10의 (a)에 도시하는 바와 같이, 이동부(130)에 의해 지지부(110)가 이동되어, 에어 노즐(312)의 선단이 스핀들부(25)에 설치된 블레이드(25a)를 향하게 된다. 이 상태에서 에어 노즐(312)로부터 공기가 분출되어, 블레이드(25a)에 부착된 절삭 부스러기나 수적이 제거된다. 이때, 블레이드(25a)에 공기를 분사하면서 지지부(110)를 약간 왕복 이동시킴으로써, 블레이드(25a)에 분사되는 공기의 배향이나 범위를 변화시켜, 절삭 부스러기 등을 보다 효과적으로 제거할 수도 있다.When exchanging the blade 25a in the blade exchange process S10, first, as shown in (a) of FIG. 10, the support part 110 is moved by the moving part 130, and the air nozzle 312 is moved. The tip is directed toward the blade 25a installed on the spindle portion 25. In this state, air is blown out from the air nozzle 312, and cutting chips and water droplets adhering to the blade 25a are removed. At this time, by slightly reciprocating the support portion 110 while spraying air on the blade 25a, the direction or range of the air sprayed on the blade 25a can be changed to more effectively remove cutting debris.

이어서 도 10의 (b)에 도시하는 바와 같이, 이동부(130)에 의해 지지부(110)가 반전됨과 함께, 보유 지지부(120)가 스핀들부(25)의 블레이드(25a)와 대향하는 위치로 이동된다. 그리고, 보유 지지부(120)에 의해 스핀들부(25)로부터 제2 플랜지(25d)와 블레이드(25a)가 떼어내어진다.Next, as shown in (b) of FIG. 10, the support part 110 is inverted by the moving part 130, and the holding part 120 is moved to a position facing the blade 25a of the spindle part 25. It is moved. Then, the second flange 25d and the blade 25a are separated from the spindle portion 25 by the holding portion 120.

이어서 도 10의 (c)에 도시하는 바와 같이, 이동부(130)에 의해, 보유 지지부(120)가 블레이드 교환대(400)에 마련된 사용 완료 블레이드 수납부(410)에 상방으로부터 대향하는 위치로 이동된다. 그리고, 보유 지지부(120)에 의한 블레이드(25a)의 보유 지지가 해제되고, 사용 완료된 블레이드(25a)가 사용 완료 블레이드 수납부(410)에 수납된다.Next, as shown in (c) of FIG. 10, the holding part 120 is moved by the moving part 130 to a position opposite to the used blade storage part 410 provided in the blade changing table 400 from above. It is moved. Then, the holding part 120 of the blade 25a is released, and the used blade 25a is stored in the used blade storage part 410.

이어서 도 11의 (a)에 도시하는 바와 같이, 이동부(130)에 의해, 보유 지지부(120)(제2 플랜지(25d))의 축선과, 제2 세정 기구(320)의 제2 세정 스펀지(321)의 축선이 합쳐진 상태에서, 제2 플랜지(25d)가 제2 세정 스펀지(321)의 상면과 접촉하는 위치로 이동된다. 이 상태에서, 구동부(322)에 의해 제2 세정 스펀지(321)가 회전됨으로써, 제2 플랜지(25d)의 표면(특히, 도 4에 도시하는 제2 접촉면(25g))이 세정된다. 또한, 에어 노즐(500)로부터 제2 플랜지(25d) 및 제2 세정 스펀지(321)를 향해서 공기가 분사된다. 이에 의해, 제2 플랜지(25d)에 부착된 절삭 부스러기 등을 제거할 수 있다.Next, as shown in FIG. 11 (a), the axis of the holding part 120 (second flange 25d) and the second cleaning sponge of the second cleaning mechanism 320 are moved by the moving part 130. With the axes of 321 aligned, the second flange 25d is moved to a position where it contacts the upper surface of the second cleaning sponge 321. In this state, the second cleaning sponge 321 is rotated by the drive unit 322, thereby cleaning the surface of the second flange 25d (particularly, the second contact surface 25g shown in FIG. 4). Additionally, air is sprayed from the air nozzle 500 toward the second flange 25d and the second cleaning sponge 321. Thereby, cutting chips and the like attached to the second flange 25d can be removed.

이어서 도 11의 (b)에 도시하는 바와 같이, 이동부(130)에 의해, 보유 지지부(120)가 블레이드 교환대(400)에 마련된 미사용 블레이드 수납부(420)에 상방으로부터 대향하는 위치로 이동된다. 그리고, 미사용 블레이드 수납부(420)에 수납된 미사용 블레이드(25a)가, 보유 지지부(120)에 의해 보유 지지된다.Next, as shown in (b) of FIG. 11, the holding part 120 is moved by the moving part 130 to a position opposite to the unused blade storage part 420 provided in the blade changing table 400 from above. do. Then, the unused blade 25a stored in the unused blade storage portion 420 is held by the holding portion 120.

본 실시 형태와 같이, 사용 완료 블레이드 수납부(410), 미사용 블레이드 수납부(420) 및 제2 세정 기구(320)를 동일한 블레이드 교환대(400)에 마련함으로써, 보유 지지부(120)가 사용 완료 블레이드 수납부(410), 미사용 블레이드 수납부(420) 및 제2 세정 기구(320)의 사이를 이동할 때의 이동 거리를 짧게 억제할 수 있다. 또한, 사용 완료 블레이드 수납부(410)를 사이에 두고 제2 세정 기구(320)와 미사용 블레이드 수납부(420)를 배치함으로써, 제2 세정 기구(320)에 의한 제2 플랜지(25d)의 세정 시에 비산하는 수적 등이 미사용 블레이드 수납부(420)에 수납된 미사용 블레이드(25a)에 부착되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 제2 세정 기구(320)에 의한 제2 플랜지(25d)의 세정 시에 비산하는 수적 등이 미사용 블레이드(25a)에 부착되는 것을 방지하기 위해서, 미사용 블레이드 수납부(420)와는 반대측에 공기를 분출하도록 에어 노즐(500)을 배치하는 구성으로 해도 된다.As in the present embodiment, the used blade storage portion 410, the unused blade storage portion 420, and the second cleaning mechanism 320 are provided on the same blade exchange table 400, so that the holding portion 120 is used. The moving distance when moving between the blade storage unit 410, the unused blade storage unit 420, and the second cleaning mechanism 320 can be kept short. In addition, by disposing the second cleaning mechanism 320 and the unused blade storage section 420 across the used blade storage section 410, the second cleaning mechanism 320 cleans the second flange 25d. It is possible to prevent water droplets flying during the time from attaching to the unused blade 25a stored in the unused blade storage unit 420. In addition, in order to prevent water droplets flying during cleaning of the second flange 25d by the second cleaning mechanism 320 from adhering to the unused blade 25a, air is placed on the side opposite to the unused blade storage portion 420. It may be configured to arrange the air nozzle 500 to eject .

이어서 도 11의 (c)에 도시하는 바와 같이, 이동부(130)에 의해 지지부(110)가 이동되어, 에어 노즐(312)의 선단이 스핀들부(25)에 설치된 제1 플랜지(25c)를 향하게 된다. 이 상태에서 에어 노즐(312)로부터 공기가 분출되어, 제1 플랜지(25c)에 부착된 절삭 부스러기나 수적이 제거된다.Next, as shown in (c) of FIG. 11, the support part 110 is moved by the moving part 130, so that the tip of the air nozzle 312 touches the first flange 25c installed on the spindle part 25. heading towards In this state, air is blown out from the air nozzle 312, and cutting chips and water droplets adhering to the first flange 25c are removed.

이어서 도 12의 (a)에 도시하는 바와 같이, 이동부(130)에 의해, 제1 세정 기구(310)의 제1 세정 스펀지(311)가, 스핀들부(25)에 설치된 제1 플랜지(25c)와 접촉하는 위치로 이동된다. 이 상태에서 스핀들부(25)가 회전함으로써, 제1 플랜지(25c)의 표면(특히, 도 4에 도시하는 제1 접촉면(25f))이 세정된다. 이에 의해, 제1 플랜지(25c)에 부착된 절삭 부스러기 등을 제거할 수 있다.Next, as shown in FIG. 12(a), the first cleaning sponge 311 of the first cleaning mechanism 310 is moved to the first flange 25c provided on the spindle portion 25 by the moving unit 130. ) is moved to a position in contact with the As the spindle portion 25 rotates in this state, the surface of the first flange 25c (particularly, the first contact surface 25f shown in FIG. 4) is cleaned. Thereby, cutting chips and the like attached to the first flange 25c can be removed.

이어서 도 12의 (b)에 도시하는 바와 같이, 이동부(130)에 의해, 지지부(110)가 반전됨과 함께, 보유 지지부(120)가 스핀들부(25)의 제1 플랜지(25c)와 대향하는 위치로 이동된다. 그리고, 보유 지지부(120)에 보유 지지된 제2 플랜지(25d)와 블레이드(25a)가, 스핀들부(25)에 설치된다.Next, as shown in (b) of FIG. 12, the support part 110 is inverted by the moving part 130, and the holding part 120 faces the first flange 25c of the spindle part 25. is moved to a location where Then, the second flange 25d and the blade 25a held by the holding portion 120 are installed on the spindle portion 25.

또한, 상술한 예에서는 한쪽의 스핀들부(25)의 블레이드(25a)의 교환 등을 행하는 동작을 설명했지만, 다른 한쪽의 스핀들부(25)의 블레이드(25a)의 교환 등을 행하는 동작에 대해서도 대략 마찬가지이기 때문에, 설명은 생략한다.In addition, in the above-mentioned example, the operation of replacing the blade 25a of one spindle unit 25, etc. has been described, but the operation of replacing the blade 25a of the other spindle unit 25, etc. is also roughly Since it is the same, description is omitted.

절단 공정 S20에서 밀봉 완료 기판(W)의 절단이 행해질 때는, 도 2에 이점쇄선으로 나타낸 바와 같이, 블레이드 교환 기구(100)(특히, 보유 지지부(120)가 마련되어 있는 지지부(110))는, 개구부(211)를 통해서 커버 본체(210)의 내부에 수납된다.When the sealed substrate W is cut in the cutting process S20, as shown by the two-dot chain line in FIG. 2, the blade exchange mechanism 100 (particularly, the support portion 110 on which the holding portion 120 is provided) is, It is stored inside the cover body 210 through the opening 211.

구체적으로는, 도 12의 (c)에 도시하는 바와 같이, 이동부(130)에 의해 보유 지지부(120)의 블레이드 흡착면(121a)이 아래를 향하게 된 상태에서, 블레이드 흡착면(121a)이 제2 세정 기구(320)의 제2 세정 스펀지(321)와 상하 방향으로 대향하는 위치로 이동된다. 이때, 이동 플레이트(220)에 의해 개구부(211)를 폐색함으로써, 블레이드 교환대(400)가 배치된 커버 본체(210)의 내부 공간과, 스핀들부(25)가 배치된 커버 본체(210)의 외부 공간을 구획할 수 있다. 또한, 이때, 이동부(130)는, 제2 플랜지(25d)를 세정할 경우(도 11의 (a) 참조)보다도 약간 안쪽(도 12의 (c)에서의 지면 좌측)까지 보유 지지부(120)를 이동시킨다. 이것에 수반하여 이동 플레이트(220)가 커버 본체(210)를 향해서 압박되어, 시일 부재(230)가 압착되도록 탄성 변형된다. 이에 의해, 각 부재의 다소의 치수 오차나 조립 오차에 관계 없이, 커버 본체(210)와 이동 플레이트(220)의 간극을 시일할 수 있다.Specifically, as shown in (c) of FIG. 12, with the blade adsorption surface 121a of the holding part 120 facing downward by the moving part 130, the blade adsorption surface 121a is It is moved to a position opposite to the second cleaning sponge 321 of the second cleaning mechanism 320 in the vertical direction. At this time, by blocking the opening 211 by the moving plate 220, the inner space of the cover body 210 where the blade exchange table 400 is placed and the cover body 210 where the spindle unit 25 is placed are separated. External space can be divided. In addition, at this time, the moving part 130 holds the holding part 120 slightly inside (to the left of the drawing in Figure 12 (c)) than when cleaning the second flange 25d (see Figure 11 (a)). ) is moved. In accordance with this, the moving plate 220 is pressed toward the cover body 210 and is elastically deformed so that the seal member 230 is pressed. As a result, the gap between the cover main body 210 and the moving plate 220 can be sealed regardless of the slight dimensional error or assembly error of each member.

또한 절단 공정 S20에서 밀봉 완료 기판(W)의 절단이 행해질 때는, 에어 노즐(500)로부터 보유 지지부(120)의 블레이드 흡착면(121a)을 향해서 공기가 분사된다.Additionally, when the sealed substrate W is cut in the cutting process S20, air is sprayed from the air nozzle 500 toward the blade adsorption surface 121a of the holding portion 120.

이렇게 절단 공정 S20에서는, 커버 본체(210)의 내부 공간과 외부 공간이 구획되기 때문에, 밀봉 완료 기판(W)의 절단 시에 생기는 절삭 부스러기나 수적이, 블레이드 교환대(400)(특히, 교환용 블레이드(25a)가 수납되는 미사용 블레이드 수납부(420))나 보유 지지부(120)에 부착되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 에어 노즐(500)로부터 분사되는 공기에 의해 보유 지지부(120)의 블레이드 흡착면(121a)을 청정한 상태로 유지할 수 있다.In this way, in the cutting process S20, the internal space and external space of the cover body 210 are divided, so cutting chips and water droplets generated when cutting the sealed substrate W are stored in the blade exchange table 400 (especially for exchange purposes). It is possible to prevent the blade 25a from being attached to the unused blade storage portion 420 or the holding portion 120 where the blade 25a is stored. Additionally, the blade adsorption surface 121a of the holding portion 120 can be maintained in a clean state by the air sprayed from the air nozzle 500.

또한, 커버 본체(210)의 개구부(211)가 이동 플레이트(220)에 의해 폐색된 상태에서 에어 노즐(500)로부터 공기가 분사됨으로써, 커버 본체(210)의 내압(내부 공간의 압력)을 높일 수 있다. 이에 의해, 커버 본체(210)의 내부에 절삭 부스러기나 수적이 침입하는 것을 방지할 수 있다.In addition, air is sprayed from the air nozzle 500 while the opening 211 of the cover body 210 is closed by the moving plate 220, thereby increasing the internal pressure (pressure of the internal space) of the cover body 210. You can. As a result, it is possible to prevent cutting chips or water droplets from entering the interior of the cover body 210.

또한, 도 6의 우측 도면에 도시하는 바와 같이, 누설부(212)를 통해서 커버 본체(210)의 내부 공기를 외부로 방출할 수 있다. 이에 의해, 커버 본체(210)의 내압의 과잉 상승을 방지할 수 있다. 또한 누설부(212)는 커버 본체(210)의 상부에 형성되어 있기 때문에, 누설부(212)를 통해서 커버 본체(210)의 외부로 방출된 공기가 바닥면에 낙하된 절삭 부스러기나 수적을 말아 올리지 않아, 커버 본체(210)의 내부에 절삭 부스러기나 수적이 침입하는 것을 보다 효과적으로 방지할 수 있다.In addition, as shown in the right drawing of FIG. 6, the air inside the cover body 210 can be discharged to the outside through the leakage part 212. Thereby, excessive increase in the internal pressure of the cover body 210 can be prevented. In addition, since the leakage portion 212 is formed on the upper part of the cover body 210, the air released to the outside of the cover body 210 through the leakage portion 212 rolls up cutting chips or water droplets that have fallen on the floor. By not raising it, it is possible to more effectively prevent cutting chips or water droplets from entering the inside of the cover body 210.

또한, 누설부(212)로부터 방출된 공기가 절삭 부스러기 등을 감아 올리지 않도록 하는 관점에서, 누설부(212)는, 적어도 이동 플레이트(220)의 최하단보다도 상방에 형성되는 것이 바람직하다. 또한 마찬가지의 관점에서, 누설부(212)는 비교적 높은 위치에 형성되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 이동 플레이트(220)의 상하 중앙보다도 높은 위치, 개구부(211)의 상하 중앙보다도 높은 위치, 에어 노즐(500)보다도 높은 위치 등에 형성되는 것이 바람직하다. 또한 마찬가지의 관점에서, 누설부(212)는 적어도 하방을 향해서 개구되지 않도록 형성되는 것이 바람직하다. 바꿔 말하면, 누설부(212)는, 본 실시 형태와 같이 상방을 향해서 개구되거나, 또는 측방을 향해서 개구되도록 형성되는 것이 바람직하다.Additionally, from the viewpoint of preventing the air released from the leakage portion 212 from picking up cutting chips, etc., the leakage portion 212 is preferably formed at least above the lowermost end of the moving plate 220 . Also, from the same viewpoint, it is preferable that the leakage portion 212 is formed at a relatively high position. For example, it is preferably formed at a position higher than the upper and lower center of the moving plate 220, higher than the upper and lower center of the opening 211, and higher than the air nozzle 500. Also, from the same viewpoint, it is preferable that the leakage portion 212 is formed so as not to open at least downward. In other words, the leakage portion 212 is preferably formed to open upward or to the side as in this embodiment.

또한, 본 실시 형태에 있어서, 누설부(212)는 커버 본체(210)에 형성되어 있지만, 예를 들어 누설부(212)를 이동 플레이트(220)에 형성하는 것이나, 커버 본체(210) 및 이동 플레이트(220) 양쪽에 형성하는 것도 가능하다.In addition, in this embodiment, the leakage portion 212 is formed in the cover main body 210, but, for example, the leakage portion 212 may be formed on the moving plate 220, or the cover main body 210 and the movable It is also possible to form it on both sides of the plate 220.

이상, 본 발명의 실시 형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것이 아니라, 특허 청구 범위에 기재된 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 적절한 변경이 가능하다.Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and appropriate changes can be made within the scope of the technical idea of the invention described in the claims.

예를 들어, 상기 각 실시 형태에서 예시한 각 부재의 구성(형상이나 개수 등)은 특별히 한정하는 것은 아니고, 임의로 변경할 수 있다. 일례로서, 커버 본체(210) 및 이동 플레이트(220)의 형상은, 블레이드 교환 기구(100)의 형상이나 크기 등에 따라서 임의로 변경하는 것이 가능하다.For example, the configuration (shape, number, etc.) of each member illustrated in each of the above embodiments is not particularly limited and can be arbitrarily changed. As an example, the shapes of the cover body 210 and the moving plate 220 can be arbitrarily changed depending on the shape or size of the blade exchange mechanism 100, etc.

또한, 본 실시 형태의 이동부(130)의 구성(도 3 등 참조)은 일례이며, 보유 지지부(120) 및 제1 세정 기구(310)를 필요한 위치로 이동시킬 수 있는 구성이면, 구체적인 구성은 한정되지 않는다. 또한, 이동 플레이트(220)는 제2 직선 이동부(133)에 마련되는 것으로 했지만, 본 발명은 이것에 한정하는 것은 아니다. 즉 이동 플레이트(220)는, 블레이드 교환 기구(100)와 일체적으로 이동해서 개구부(211)를 폐색할 수 있는 구성이면 되며, 예를 들어 제2 직선 이동부(133)와는 독립적으로 제3 직선 이동부(134)에 마련되는 구성으로 하는 것도 가능하다.In addition, the configuration of the moving unit 130 of the present embodiment (see FIG. 3, etc.) is an example, and the specific configuration is as long as it can move the holding portion 120 and the first cleaning mechanism 310 to the required positions. It is not limited. In addition, although the moving plate 220 is provided on the second linear moving part 133, the present invention is not limited to this. In other words, the moving plate 220 may be configured to move integrally with the blade exchange mechanism 100 to close the opening 211, and for example, it may move independently of the second linear moving part 133 and move in a third straight linear direction. It is also possible to have a configuration provided in the moving part 134.

또한 본 실시 형태에서는, 제1 플랜지(25c)를 세정할 경우, 스핀들부(25)를 회전시키는 예를 나타냈지만(도 12의 (a) 참조), 예를 들어 제1 세정 스펀지(311)를 회전시키는 구성으로 하는 것도 가능하다.In addition, in this embodiment, when cleaning the first flange 25c, an example is shown in which the spindle portion 25 is rotated (see (a) of FIG. 12), but, for example, the first cleaning sponge 311 is used. It is also possible to have a rotating configuration.

또한 본 실시 형태에 관한 세정 기구(300)는, 세정 부재로서 스펀지(제1 세정 스펀지(311) 및 제2 세정 스펀지(321))를 사용해서 세정을 행하는 것으로 했지만, 본 발명은 이것에 한정하는 것은 아니고, 임의의 세정 부재(예를 들어, 걸레 등)를 사용하는 것도 가능하다.In addition, the cleaning mechanism 300 according to the present embodiment performs cleaning using a sponge (the first cleaning sponge 311 and the second cleaning sponge 321) as a cleaning member, but the present invention is limited to this. However, it is also possible to use any cleaning member (for example, a mop, etc.).

또한 본 실시 형태에 관한 세정 기구(300)는, 스펀지 및 에어 노즐(312)에 의해 플랜지의 세정을 행하는 것으로 했지만, 플랜지의 세정 방법은 이것에 한정하는 것은 아니고, 임의의 세정 방법으로 플랜지의 세정을 행하는 것이 가능하다. 예를 들어, 플랜지에 세정수를 분사해서 세정하는 것이나, 플랜지에 부착된 절삭 부스러기 등을 흡인해서 플랜지의 세정을 행하는 것도 가능하다. 또한 세정 기구(300)는, 복수의 세정 방법을 조합해서 플랜지의 세정을 행하는 것도 가능하다.In addition, the cleaning mechanism 300 according to the present embodiment is designed to clean the flange using a sponge and the air nozzle 312, but the flange cleaning method is not limited to this, and the flange can be cleaned using any cleaning method. It is possible to do For example, it is possible to clean the flange by spraying washing water on the flange, or to clean the flange by sucking cutting chips attached to the flange. Additionally, the cleaning mechanism 300 can also clean the flange by combining a plurality of cleaning methods.

또한 본 실시 형태에서는, 제1 플랜지(25c)를 스핀들부(25)에 설치한 상태에서, 제1 플랜지(25c)의 세정을 행하는 예(도 11의 (c) 및 도 12의 (a) 참조)를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정하는 것은 아니다. 예를 들어, 제1 플랜지(25c)를 스핀들부(25)로부터 분리한 상태에서, 제1 플랜지(25c)의 세정을 행하는 구성으로 하는 것도 가능하다. 이 경우, 제1 플랜지(25c)의 착탈을 행하는 기구를 별도 마련하여, 자동적으로 제1 플랜지(25c)의 착탈을 행하는 것도 가능하다.In addition, in this embodiment, an example of cleaning the first flange 25c with the first flange 25c installed on the spindle portion 25 (see Figure 11 (c) and Figure 12 (a)) ) has been shown, but the present invention is not limited to this. For example, it is possible to configure the cleaning of the first flange 25c with the first flange 25c separated from the spindle portion 25. In this case, it is also possible to provide a separate mechanism for attaching and detaching the first flange 25c and automatically attaching and detaching the first flange 25c.

또한 본 실시 형태에서는, 보유 지지부(120)와 제1 세정 기구(310)를 모두 지지부(110)에 마련하여, 일체적으로 이동시키는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정하는 것은 아니다. 예를 들어, 보유 지지부(120)와 제1 세정 기구(310)를 각각 별도의 부재에 마련하여, 서로 독립적으로 이동시키는 구성으로 하는 것도 가능하다.In addition, in this embodiment, an example has been shown where both the holding part 120 and the first cleaning mechanism 310 are provided on the supporting part 110 and moved integrally, but the present invention is not limited to this. For example, it is possible to provide the holding portion 120 and the first cleaning mechanism 310 in separate members and move them independently of each other.

또한, 본 실시 형태에서는, 블레이드 교환 공정 S10에서, 스핀들부(25)에 설치된 블레이드(25a)를 떼어내고, 다른 블레이드(25a)를 설치하는 예를 나타냈지만, 본 발명은 이것에 한정하는 것은 아니다. 예를 들어 블레이드 교환 공정 S10에서, 아직 블레이드(25a)가 설치되어 있지 않은 스핀들부(25)에 대하여 블레이드(25a)를 설치하는 것도 가능하다. 또한, 절단 공정 S20이 완료된 후에 실행하는 블레이드 교환 공정 S10에서, 스핀들부(25)에 설치된 블레이드(25a)를 떼어내기만 하는 작업을 행하는(다른 블레이드(25a)를 설치하지 않음) 것도 가능하다.In addition, in this embodiment, an example is shown in which the blade 25a installed on the spindle portion 25 is removed and another blade 25a is installed in the blade exchange process S10, but the present invention is not limited to this. . For example, in the blade exchange process S10, it is also possible to install the blade 25a to the spindle portion 25 on which the blade 25a is not yet installed. In addition, in the blade exchange process S10 performed after the cutting process S20 is completed, it is also possible to simply remove the blade 25a installed on the spindle unit 25 (without installing another blade 25a).

또한, 본 실시 형태에서는, 세정 기구(300)를 구비하는 블레이드 교환 장치(26)를 예시했지만, 본 발명은 이것에 한정하는 것은 아니고, 블레이드 교환 장치(26)는 반드시 세정 기구(300)를 구비할 필요는 없다.In addition, in this embodiment, the blade exchange device 26 provided with the cleaning mechanism 300 is illustrated, but the present invention is not limited to this, and the blade exchange device 26 is necessarily provided with the cleaning mechanism 300. You don't have to.

또한, 본 실시 형태에서 예시한 절단 장치(1)의 동작은 일례이며, 본 발명은 이것에 한정하는 것은 아니다. 즉, 절단 장치(1)의 각 부의 동작순이나 동작 양태는 임의로 변경하는 것이 가능하다.In addition, the operation of the cutting device 1 illustrated in this embodiment is an example, and the present invention is not limited to this. That is, the operation order and operation mode of each part of the cutting device 1 can be arbitrarily changed.

<부기><Boogie>

본 개시의 제1 측면에 따르는 블레이드 교환 장치(26)는,The blade changing device 26 according to the first aspect of the present disclosure,

블레이드(25a)를 흡착하도록 구성된 블레이드 흡착부(121)(제1 흡착부)를 적어도 구비하는 블레이드 교환 기구(100)와,A blade exchange mechanism (100) including at least a blade adsorption unit (121) (first adsorption unit) configured to adsorb the blade (25a);

상기 블레이드 교환 기구(100)를 내부에 수납 가능한 커버 본체(210)와,a cover body 210 capable of storing the blade exchange mechanism 100 therein;

상기 블레이드 교환 기구(100)와 일체적으로 이동 가능하며, 상기 블레이드 교환 기구(100)를 상기 커버 본체(210)의 내부에 수납한 상태에서 상기 커버 본체(210)의 개구부(211)를 닫는 것이 가능한 이동 플레이트(220)(폐색부)와,It is movable integrally with the blade exchange mechanism 100, and closing the opening 211 of the cover body 210 while the blade exchange mechanism 100 is stored inside the cover body 210 A possible movable plate 220 (obstructed portion),

상기 블레이드 교환 기구(100)의 상기 커버 본체(210)에의 수납 시에, 상기 블레이드 흡착부(121)의 블레이드 흡착면(121a)에 대하여 기체를 분사하도록 구성된 에어 노즐(500)(기체 분사부)An air nozzle 500 (gas injection unit) configured to spray gas onto the blade adsorption surface 121a of the blade adsorption unit 121 when the blade exchange mechanism 100 is stored in the cover main body 210.

을 구비한다.Equipped with

본 개시의 제1 측면의 블레이드 교환 장치(26)에 의하면, 블레이드 흡착면(121a)에 부착된 절삭 부스러기나 수적을 제거할 수 있어, 블레이드 흡착면(121a)을 청정한 상태로 유지할 수 있다. 이에 의해, 블레이드 교환 기구(100)의 동작 불량 등이 일어나는 것을 저감할 수 있다. 또한, 블레이드 흡착면(121a)을 청정한 상태로 유지할 수 있기 때문에, 메인터넌스의 빈도나 작업 부담을 저감할 수 있어, 메인터넌스성을 향상시킬 수 있다.According to the blade exchange device 26 of the first aspect of the present disclosure, cutting chips and water droplets adhering to the blade suction surface 121a can be removed, and the blade suction surface 121a can be kept in a clean state. As a result, the occurrence of malfunctions, etc. of the blade exchange mechanism 100 can be reduced. Additionally, since the blade adsorption surface 121a can be maintained in a clean state, the frequency of maintenance and work load can be reduced, and maintenance performance can be improved.

제1 측면에 따르는 제2 측면의 블레이드 교환 장치(26)는,The blade changing device 26 on the second side according to the first side,

상기 커버 본체(210)의 내부에 배치되고, 교환용인 복수의 블레이드(25a)를 연직 방향으로 적층해서 수납 가능한 미사용 블레이드 수납부(420)(교환용 블레이드 수납부)를 더 구비한다.It is further provided with an unused blade storage portion 420 (replacement blade storage portion) disposed inside the cover body 210 and capable of storing a plurality of blades 25a for replacement in a vertical direction.

본 개시의 제2 측면의 블레이드 교환 장치(26)에 의하면, 복수의 블레이드(25a)를 적층해서 수납할 수 있기 때문에, 블레이드(25a)의 낙하를 방지하기 위한 보유 지지 기구가 불필요하게 된다. 이에 의해, 보유 지지 기구의 가동부나 구동부에 절삭 부스러기나 수적이 들어감으로 인한 동작 불량 등의 발생을 피할 수 있다.According to the blade exchange device 26 of the second aspect of the present disclosure, since a plurality of blades 25a can be stacked and stored, a holding mechanism for preventing the blades 25a from falling becomes unnecessary. As a result, it is possible to avoid the occurrence of malfunctions due to cutting chips or water droplets entering the movable portion or driving portion of the holding mechanism.

제1 또는 제2 측면에 따르는 제3 측면의 블레이드 교환 장치(26)에 있어서,In the third side blade changing device (26) according to the first or second side,

상기 에어 노즐(500)은, 상기 블레이드 흡착면(121a)을 아래를 향하게 한 상태의 상기 블레이드 흡착부(121)에 기체를 분사하도록 구성되어 있다.The air nozzle 500 is configured to spray gas onto the blade adsorption unit 121 with the blade adsorption surface 121a facing downward.

본 개시의 제3 측면의 블레이드 교환 장치(26)에 의하면, 블레이드 흡착면(121a)에 부착된 절삭 부스러기나 수적을 효과적으로 제거할 수 있다.According to the blade exchange device 26 of the third aspect of the present disclosure, cutting chips and water droplets adhering to the blade adsorption surface 121a can be effectively removed.

제1 내지 제3 측면의 어느 하나에 따르는 제4 측면의 블레이드 교환 장치(26)는,The blade changing device 26 of the fourth side according to any one of the first to third sides,

상기 이동 플레이트(220)가 상기 개구부(211)를 닫은 상태에서, 상기 커버 본체(210)와 상기 이동 플레이트(220)의 접촉부를 시일하는 시일 부재(230)를 더 구비하고,Further comprising a seal member 230 that seals the contact portion between the cover body 210 and the moving plate 220 when the moving plate 220 closes the opening 211,

상기 커버 본체(210) 및 상기 이동 플레이트(220)의 적어도 한쪽에는, 상기 이동 플레이트(220)의 최하단보다도 상방에서, 상기 커버 본체(210)의 내부 공기를 상기 커버 본체(210)의 외부로 방출 가능한 누설부(212)가 마련되어 있다.At least on one side of the cover body 210 and the moving plate 220, the air inside the cover body 210 is discharged to the outside of the cover body 210 above the lowest end of the moving plate 220. A possible leakage portion 212 is provided.

본 개시의 제4 측면의 블레이드 교환 장치(26)에 의하면, 커버 본체(210)의 내압을 높여서, 커버 본체(210) 내부에의 절삭 부스러기 등의 침입을 억제할 수 있다. 또한, 누설부(212)를 통해서 커버 본체(210)의 내부 공기를 방출함으로써, 커버 본체(210)의 내압이 과잉으로 상승하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 누설부(212)를 이동 플레이트(220)의 최하단보다 상방에 형성함으로써, 커버 본체(210)로부터 방출된 공기에 의해 절삭 부스러기 등이 말려 올라가는 것을 방지할 수 있다.According to the blade exchange device 26 of the fourth aspect of the present disclosure, the internal pressure of the cover main body 210 can be increased, and the intrusion of cutting chips and the like into the inside of the cover main body 210 can be suppressed. Additionally, by releasing the air inside the cover body 210 through the leakage portion 212, the internal pressure of the cover body 210 can be prevented from excessively increasing. Additionally, by forming the leakage portion 212 above the lowest end of the moving plate 220, it is possible to prevent cutting chips, etc. from being rolled up by the air released from the cover body 210.

제1 내지 제4 측면의 어느 하나에 따르는 제5 측면의 블레이드 교환 장치(26)는,The blade changing device 26 of the fifth side according to any one of the first to fourth sides,

상기 커버 본체(210)의 내부에 배치되고, 사용 완료된 블레이드(25a)를 수납 가능한 사용 완료 블레이드 수납부(410)를 더 구비한다.It is disposed inside the cover body 210 and further includes a used blade storage portion 410 capable of storing a used blade 25a.

본 개시의 제5 측면의 블레이드 교환 장치(26)에 의하면, 커버 본체(210)의 내부에서, 사용 완료된 블레이드(25a)의 수납 작업을 행할 수 있다.According to the blade exchange device 26 of the fifth aspect of the present disclosure, the used blade 25a can be stored inside the cover main body 210.

제1 내지 제5 측면의 어느 하나에 따르는 제6 측면의 블레이드 교환 장치(26)에 있어서,In the blade changing device (26) of the sixth aspect according to any one of the first to fifth aspects,

상기 블레이드 교환 기구(100)는,The blade exchange mechanism 100,

상기 블레이드 흡착부(121)와는 독립적으로 제2 플랜지(25d)(플랜지)를 흡착하도록 구성된 플랜지 흡착부(122)(제2 흡착부)와,A flange adsorption unit 122 (second adsorption unit) configured to adsorb the second flange 25d (flange) independently of the blade adsorption unit 121,

블레이드(25a)를 스핀들부(25)에 탈착 가능하게 하는 탈착 부재(25e)를 회전 가능하게 구성된 탈착 부재 회전부(123)A detachable member rotating part 123 configured to rotate the detachable member 25e that allows the blade 25a to be detachably attached to the spindle part 25.

를 더 구비한다.It is further provided with

본 개시의 제6 측면의 블레이드 교환 장치(26)에 의하면, 블레이드(25a)의 탈착 작업을 효율적으로 행할 수 있다.According to the blade exchange device 26 of the sixth aspect of the present disclosure, the attachment and detachment operation of the blade 25a can be performed efficiently.

제6 측면에 따르는 제7 측면의 블레이드 교환 장치(26)는,The blade exchange device 26 of the seventh side according to the sixth side is,

적어도 상기 플랜지 흡착부(122)에 의해 흡착된 상기 제2 플랜지(25d)를 세정하는 제2 세정 기구(320)(플랜지 세정 기구)를 더 구비한다.It is further provided with a second cleaning mechanism 320 (flange cleaning mechanism) that cleans at least the second flange 25d adsorbed by the flange adsorption portion 122.

본 개시의 제7 측면의 블레이드 교환 장치(26)에 의하면, 제2 플랜지(25d)에 부착된 절삭 부스러기나 수적을 제거할 수 있어, 제2 플랜지(25d)를 청정한 상태로 유지할 수 있다. 이에 의해, 절단 장치(1)의 동작 불량 등이 일어나는 것을 저감할 수 있다.According to the blade exchange device 26 of the seventh aspect of the present disclosure, cutting chips and water droplets adhering to the second flange 25d can be removed, and the second flange 25d can be kept in a clean state. As a result, it is possible to reduce the occurrence of malfunctions, etc. of the cutting device 1.

제7 측면에 따르는 제8 측면의 블레이드 교환 장치(26)에 있어서,In the blade changing device (26) of the eighth side according to the seventh side,

상기 제2 세정 기구(320)는, 상기 커버 본체(210)의 내부에 배치되고,The second cleaning mechanism 320 is disposed inside the cover body 210,

상기 블레이드 흡착부(121)는, 상기 블레이드 교환 기구(100)의 상기 커버 본체(210)에의 수납 시에, 상기 제2 세정 기구(320)의 제2 세정 스펀지(321)(플랜지 세정 부재)와 대향하도록 배치되고,When the blade exchange mechanism 100 is stored in the cover body 210, the blade adsorption unit 121 is connected to the second cleaning sponge 321 (flange cleaning member) of the second cleaning mechanism 320. arranged to face each other,

상기 에어 노즐(500)은, 상기 블레이드 흡착면(121a) 및 상기 제2 세정 스펀지(321)에 대하여 기체를 분사하도록 구성되어 있다.The air nozzle 500 is configured to spray gas onto the blade adsorption surface 121a and the second cleaning sponge 321.

본 개시의 제8 측면의 블레이드 교환 장치(26)에 의하면, 블레이드 흡착면(121a)과 함께, 제2 세정 스펀지(321)도 청정한 상태로 유지할 수 있다.According to the blade exchange device 26 of the eighth aspect of the present disclosure, the second cleaning sponge 321 as well as the blade adsorption surface 121a can be kept in a clean state.

제1 내지 제8 측면의 어느 하나에 따르는 제9 측면의 블레이드 교환 장치(26)는,The blade exchange device 26 of the ninth aspect according to any one of the first to eighth aspects,

상기 커버 본체(210)의 내부를 촬상 가능한 카메라(600)를 더 구비한다.A camera 600 capable of capturing images of the inside of the cover body 210 is further provided.

본 개시의 제9 측면의 블레이드 교환 장치(26)에 의하면, 외부로부터 육안으로 보는 것이 곤란한 커버 본체(210)의 내부 양태를 확인할 수 있다.According to the blade exchange device 26 of the ninth aspect of the present disclosure, the internal state of the cover main body 210, which is difficult to see with the naked eye from the outside, can be confirmed.

본 개시의 제10 측면의 절단 장치(1)는,The cutting device 1 of the tenth aspect of the present disclosure,

제1 내지 제9 측면의 어느 하나의 상기 블레이드 교환 장치(26)와,The blade changing device (26) of any one of the first to ninth sides,

상기 블레이드 교환 장치(26)에 의해 교환된 블레이드(25a)에 의해 밀봉 완료 기판(W)(절단 대상물)을 절단하는 스핀들부(25)(절단 기구)Spindle portion 25 (cutting mechanism) that cuts the sealed substrate W (cutting object) with the blade 25a exchanged by the blade exchange device 26.

를 포함한다.Includes.

본 개시의 제10 측면의 절단 장치(1)에 의하면, 블레이드 흡착면(121a)에 부착된 절삭 부스러기나 수적을 제거할 수 있어, 블레이드 흡착면(121a)을 청정한 상태로 유지할 수 있다. 이에 의해, 블레이드 교환 기구(100)의 동작 불량 등이 일어나는 것을 저감할 수 있고, 나아가서는 절단 장치(1)의 동작 불량 등이 일어나는 것을 저감할 수 있다.According to the cutting device 1 of the tenth aspect of the present disclosure, cutting chips and water droplets adhering to the blade suction surface 121a can be removed, and the blade suction surface 121a can be kept in a clean state. As a result, it is possible to reduce the occurrence of malfunctions, etc. of the blade exchange mechanism 100, and further reduce the occurrence of malfunctions, etc. of the cutting device 1.

본 개시의 제11 측면의 절단품의 제조 방법은,The method for manufacturing the cut product of the 11th aspect of the present disclosure is:

제10 측면의 상기 절단 장치(1)를 사용해서 절단품을 제조하는 방법이며,A method of manufacturing a cut product using the cutting device (1) of the tenth aspect,

상기 블레이드 교환 장치(26)에 의해 상기 절단 장치(1)의 블레이드(25a)의 교환을 행하는 블레이드 교환 공정 S10과,A blade exchange step S10 in which the blade 25a of the cutting device 1 is replaced by the blade exchange device 26,

상기 블레이드 교환 공정 S10에 의해 교환된 블레이드(25a)가 설치된 상기 절단 장치(1)에 의해 상기 밀봉 완료 기판(W)을 절단하는 절단 공정 S20A cutting process S20 in which the sealed substrate W is cut by the cutting device 1 equipped with the blade 25a replaced by the blade exchange process S10.

을 포함한다.Includes.

본 개시의 제11 측면의 절단품의 제조 방법에 의하면, 블레이드 흡착면(121a)에 부착된 절삭 부스러기나 수적을 제거할 수 있어, 블레이드 흡착면(121a)을 청정한 상태로 유지할 수 있다. 이에 의해, 블레이드 교환 기구(100)의 동작 불량 등이 일어나는 것을 저감할 수 있고, 나아가서는 절단 장치(1)의 동작 불량 등이 일어나는 것을 저감할 수 있다.According to the method for manufacturing a cut product of the 11th aspect of the present disclosure, cutting chips and water droplets adhering to the blade suction surface 121a can be removed, and the blade suction surface 121a can be kept in a clean state. As a result, it is possible to reduce the occurrence of malfunctions, etc. of the blade exchange mechanism 100, and further reduce the occurrence of malfunctions, etc. of the cutting device 1.

1: 절단 장치 25: 스핀들부
25a: 블레이드 26: 블레이드 교환 장치
25d: 제2 플랜지 25e: 탈착 부재
100: 블레이드 교환 기구 121: 블레이드 흡착부
121a: 블레이드 흡착면 122: 플랜지 흡착부
123: 탈착 부재 회전부 210: 커버 본체
211: 개구부 212: 누설부
220: 이동 플레이트 230: 시일 부재
320: 제2 세정 기구 321: 제2 세정 스펀지
410: 사용 완료 블레이드 수납부 420: 미사용 블레이드 수납부
500: 에어 노즐 600: 카메라1: Cutting device 25: Spindle part
25a: blade 26: blade exchange device
25d: second flange 25e: detachable member
100: Blade exchange mechanism 121: Blade adsorption unit
121a: Blade adsorption surface 122: Flange adsorption unit
123: Removable member rotating part 210: Cover body
211: opening 212: leakage part
220: moving plate 230: seal member
320: Second cleaning device 321: Second cleaning sponge
410: Used blade storage unit 420: Unused blade storage unit
500: Air nozzle 600: Camera

Claims

a blade exchange mechanism including at least a first adsorption portion configured to adsorb a blade;
a cover body capable of storing the blade exchange mechanism therein;
a closure unit movable integrally with the blade exchange mechanism and capable of closing the opening of the cover main body while the blade exchange mechanism is stored inside the cover main body;
A gas injection unit configured to spray gas against the blade adsorption surface of the first adsorption unit when the blade exchange mechanism is stored in the cover main body.
Blade changing device including.

The blade exchange device according to claim 1, further comprising a replacement blade storage unit disposed inside the cover main body and capable of storing a plurality of replacement blades stacked in a vertical direction.

The blade changing device according to claim 1 or 2, wherein the gas injection unit is configured to spray gas to the first adsorption unit with the blade adsorption surface facing downward.

The method according to any one of claims 1 to 3, wherein the closure portion further includes a seal member that seals the contact portion of the cover body and the closure portion when the opening portion is closed,
A blade changing device, wherein at least one of the cover main body and the closed portion is provided with a leak portion capable of releasing air inside the cover main body to the outside of the comer main body above the lowest end of the closed portion.

The blade changing device according to any one of claims 1 to 4, further comprising a used blade storage portion disposed inside the cover body and capable of storing a used blade.

The method according to any one of claims 1 to 5, wherein the blade exchange mechanism,
a second adsorption unit configured to adsorb the flange independently of the first adsorption unit;
A blade exchange device further comprising a detachable member rotating portion configured to rotate a detachable member that detachably attaches the blade to the spindle portion.

The blade changing device according to claim 6, further comprising a flange cleaning mechanism for cleaning the flange adsorbed by at least the second adsorption portion.

The method of claim 7, wherein the flange cleaning mechanism is disposed inside the cover body,
The first adsorption portion is arranged to face the flange cleaning member of the flange cleaning mechanism when the blade exchange mechanism is stored in the cover main body,
The blade changing device, wherein the gas injection unit is configured to spray gas toward the blade adsorption surface and the flange cleaning member.

The blade changing device according to any one of claims 1 to 8, further comprising a camera capable of taking images of the inside of the cover body.

The blade exchange device according to any one of claims 1 to 9,
A cutting tool that cuts a cutting object with a blade exchanged by the blade exchange device.
A cutting device comprising a.

A method of manufacturing a cut product using the cutting device according to claim 10,
a blade exchange process of replacing the blade of the cutting device by the blade exchange device;
A cutting process of cutting the cutting object by the cutting device installed with the blade exchanged by the blade exchange process.
A method of manufacturing a cut product comprising.