KR20230161349A - Display method for recipe and substrate processing system - Google Patents

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KR20230161349A
KR20230161349A KR1020230059027A KR20230059027A KR20230161349A KR 20230161349 A KR20230161349 A KR 20230161349A KR 1020230059027 A KR1020230059027 A KR 1020230059027A KR 20230059027 A KR20230059027 A KR 20230059027A KR 20230161349 A KR20230161349 A KR 20230161349A
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히비키 이마이
류타로 이시이
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

기판 처리 장치에서 사용하는 복수의 레시피의 비교 결과를 용이하게 시인할 수 있다.
정보 처리 장치와 기판 처리 장치가 접속된 기판 처리 시스템에 있어서, 상기 기판 처리 장치에서 실행하는 기판의 처리에 사용하는 복수의 항목을 갖는 레시피의 표시 방법이며, 데이터 저장부에 보유된 복수의 상기 레시피로부터 기준이 되는 제1 레시피를 선택하는 공정과, 상기 복수의 레시피로부터 비교 대상이 되는 제2 레시피를 선택하는 공정과, 상기 제1 레시피와 상기 제2 레시피를 비교하고, 상기 복수의 항목으로부터, 상기 제1 레시피와 상기 제2 레시피의 차이가 있는 항목을 특정하는 공정과, 상기 제1 레시피에 설정된 데이터를 표시하고, 표시한 상기 제1 레시피의 데이터 중 상기 차이가 있는 항목에 대해서, 상기 차이를 시인할 수 있도록 상기 제2 레시피의 데이터를 상기 정보 처리 장치의 표시부에 표시하는 공정을 갖는 레시피의 표시 방법이 제공된다.The comparison results of multiple recipes used in the substrate processing apparatus can be easily recognized.
A substrate processing system in which an information processing device and a substrate processing device are connected, a method of displaying a recipe having a plurality of items used for processing a substrate executed by the substrate processing device, wherein the plurality of recipes are stored in a data storage unit. A process of selecting a first recipe that serves as a standard from, a process of selecting a second recipe that is a comparison target from the plurality of recipes, comparing the first recipe and the second recipe, and selecting the plurality of items, A process of specifying an item in which there is a difference between the first recipe and the second recipe, displaying data set in the first recipe, and regarding the item in which there is a difference among the displayed data of the first recipe, the difference A method for displaying a recipe is provided, which includes a step of displaying data of the second recipe on a display unit of the information processing device so that it can be visually recognized.

Figure P1020230059027
Figure P1020230059027

Description

레시피의 표시 방법 및 기판 처리 시스템{DISPLAY METHOD FOR RECIPE AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM}Recipe display method and substrate processing system {DISPLAY METHOD FOR RECIPE AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM}

본 개시는, 레시피의 표시 방법 및 기판 처리 시스템에 관한 것이다.This disclosure relates to a recipe display method and a substrate processing system.

예를 들어, 특허문헌 1은, 레시피의 마스터 파일과 동명의 파일을 비교한 결과를 표시하는 것을 제안한다. 특허문헌 1에서는, 마스터 파일의 레시피 전체를 표시하는 것은 아니며, 비교의 결과, 마스터 파일과 동명의 파일과의 차이가 있는 항목에 대해서만 표시한다.For example, Patent Document 1 proposes displaying the results of comparing a recipe master file and a file of the same name. In Patent Document 1, the entire recipe of the master file is not displayed, but only items that are different between the master file and a file of the same name as a result of comparison are displayed.

예를 들어, 특허문헌 2는, 비교한 복수의 레시피의 각각의 전체 항목을 표시함과 함께, 표시된 복수의 레시피의 전체 항목 중, 차이가 있는 부분의 표시색을 바꾸는 것 등을 제안하고 있다.For example, Patent Document 2 proposes displaying all items of each of the plurality of recipes compared and changing the display color of the part where there is a difference among all the items of the plurality of displayed recipes.

예를 들어, 특허문헌 3은, 레시피의 복수의 스텝과 복수의 프로세스 조건의 항목을 매트릭스 형상의 표 형식으로 표시하는 것을 제안하고 있다.For example, Patent Document 3 proposes displaying items of a plurality of steps in a recipe and a plurality of process conditions in a matrix-like table format.

국제 공개 제2014-189045호International Publication No. 2014-189045 일본 특허 공개 제2007-194446호 공보Japanese Patent Publication No. 2007-194446 일본 특허 공개 제2014-67936호 공보Japanese Patent Publication No. 2014-67936

본 개시는, 기판 처리 장치에서 사용하는 복수의 레시피의 비교 결과를 용이하게 시인할 수 있는 레시피의 표시 방법을 제공한다.The present disclosure provides a recipe display method that allows the comparison results of a plurality of recipes used in a substrate processing apparatus to be easily recognized.

본 개시의 일 양태에 의하면, 정보 처리 장치와 기판 처리 장치가 접속된 기판 처리 시스템에 있어서, 상기 기판 처리 장치에서 실행하는 기판의 처리에 사용하는 복수의 항목을 갖는 레시피의 표시 방법이며, 데이터 저장부에 보유된 복수의 상기 레시피로부터 기준이 되는 제1 레시피를 선택하는 공정과, 상기 복수의 레시피로부터 비교 대상이 되는 제2 레시피를 선택하는 공정과, 상기 제1 레시피와 상기 제2 레시피를 비교하고, 상기 복수의 항목으로부터, 상기 제1 레시피와 상기 제2 레시피의 차이가 있는 항목을 특정하는 공정과, 상기 제1 레시피에 설정된 데이터를 표시하고, 표시한 상기 제1 레시피의 데이터 중 상기 차이가 있는 항목에 대해서, 상기 차이를 시인할 수 있도록 상기 제2 레시피의 데이터를 상기 정보 처리 장치의 표시부에 표시하는 공정을 갖는 레시피의 표시 방법이 제공된다.According to one aspect of the present disclosure, there is provided a substrate processing system in which an information processing device and a substrate processing device are connected, a method for displaying a recipe having a plurality of items used for processing a substrate executed by the substrate processing device, the data being stored therein. A step of selecting a first recipe as a standard from the plurality of recipes held in the unit, a step of selecting a second recipe to be compared from the plurality of recipes, and comparing the first recipe and the second recipe. And, from the plurality of items, a process of specifying an item having a difference between the first recipe and the second recipe, displaying data set in the first recipe, and the difference among the displayed data of the first recipe. For items with , a recipe display method is provided, which includes a step of displaying data of the second recipe on a display unit of the information processing device so that the difference can be recognized.

하나의 측면에 의하면, 기판 처리 장치에서 사용하는 복수의 레시피의 비교 결과를 용이하게 시인할 수 있다.According to one aspect, comparison results of a plurality of recipes used in a substrate processing apparatus can be easily recognized.

도 1은 실시 형태에 관한 기판 처리 시스템의 일례를 도시하는 도면.
도 2는 실시 형태에 관한 서버 장치의 하드웨어 구성예를 도시하는 도면.
도 3은 실시 형태에 관한 서버 장치의 기능 구성예를 도시하는 도면.
도 4는 실시 형태에 관한 레시피의 표시 방법의 일례를 나타내는 흐름도.
도 5는 실시 형태에 관한 레시피의 비교 및 표시 화면의 일례.
도 6은 실시 형태에 관한 레시피의 비교 및 표시 화면의 일례.
도 7은 실시 형태에 관한 레시피의 비교 및 표시 화면의 일례.
도 8은 실시 형태에 관한 레시피의 비교 결과 및 표시 화면의 일례.
도 9는 실시 형태에 관한 레시피의 비교 결과 및 표시 화면의 일례.
도 10은 실시 형태에 관한 레시피의 비교 결과의 상세 표시 화면의 일례.
도 11은 레시피 선택 화면의 일례.
도 12는 레시피 선택 화면의 선택 결과의 일례.
도 13은 선택된 레시피의 비교 결과의 일례.
도 14는 2개의 레시피 선택 화면의 일례.
도 15는 2개의 레시피 선택 화면의 선택 결과의 일례.
도 16은 선택된 레시피의 비교 결과의 일례.1 is a diagram showing an example of a substrate processing system according to an embodiment.
Fig. 2 is a diagram showing an example hardware configuration of a server device according to the embodiment.
Fig. 3 is a diagram showing an example of the functional configuration of the server device according to the embodiment.
4 is a flowchart showing an example of a recipe display method according to the embodiment.
Fig. 5 is an example of a recipe comparison and display screen according to the embodiment.
6 is an example of a recipe comparison and display screen according to the embodiment.
Fig. 7 is an example of a recipe comparison and display screen according to the embodiment.
8 shows an example of a comparison result and display screen of recipes according to the embodiment.
9 shows an example of a comparison result and display screen of recipes according to the embodiment.
Fig. 10 is an example of a detailed display screen of recipe comparison results according to the embodiment.
Figure 11 is an example of a recipe selection screen.
Figure 12 is an example of selection results on the recipe selection screen.
Figure 13 is an example of comparison results of selected recipes.
Figure 14 is an example of two recipe selection screens.
Figure 15 is an example of selection results of two recipe selection screens.
Figure 16 is an example of comparison results of selected recipes.

이하, 도면을 참조하여 본 개시를 실시하기 위한 형태에 대해서 설명한다. 각 도면에 있어서, 동일 구성 부분에는 동일 부호를 붙여, 중복된 설명을 생략하는 경우가 있다.Hereinafter, a mode for carrying out the present disclosure will be described with reference to the drawings. In each drawing, the same component parts are given the same reference numerals and redundant descriptions may be omitted.

본 명세서에 있어서 평행, 직각, 직교, 수평, 수직, 상하, 좌우 등의 방향에는, 실시 형태의 효과를 손상시키지 않는 정도의 어긋남이 허용된다. 모퉁이부의 형상은, 직각에 한정되지 않고, 궁형으로 둥그스름해져도 된다. 평행, 직각, 직교, 수평, 수직, 원, 일치에는, 대략 평행, 대략 직각, 대략 직교, 대략 수평, 대략 수직, 대략 원, 대략 일치가 포함되어도 된다.In this specification, deviation to the extent that does not impair the effect of the embodiment is allowed in directions such as parallel, right angle, orthogonal, horizontal, vertical, up and down, and left and right. The shape of the corner portion is not limited to a right angle, and may be arcuate or rounded. Parallel, right angle, perpendicular, horizontal, perpendicular, circular, and congruent may include approximately parallel, approximately right angle, approximately perpendicular, approximately horizontal, approximately vertical, approximately circular, and approximately congruent.

[기판 처리 시스템][Substrate processing system]

먼저, 실시 형태에 관한 기판 처리 시스템의 구성예에 대해서 설명한다. 도 1은 기판 처리 시스템(100)의 구성예를 도시하는 도면이다.First, a configuration example of the substrate processing system according to the embodiment will be described. FIG. 1 is a diagram showing a configuration example of the substrate processing system 100.

도 1에 도시한 바와 같이, 기판 처리 시스템(100)에서는, 기판 처리 장치(120a1 내지 120a3), 기판 처리 장치(120b1, 120b2), 기판 처리 장치(120c1, 120c2)가 네트워크 N을 통해 서버 장치(150)에 접속되어 있다. 기판 처리 장치(120a1 내지 120a3), 기판 처리 장치(120b1, 120b2), 기판 처리 장치(120c1, 120c2)를 총칭하여 기판 처리 장치(120)라고도 한다. 기판 처리 장치(120)는, 통상, 내부에서 기판의 처리를 행하는 처리 챔버를, 각각에 있어서 1개 혹은 복수 갖는다.As shown in FIG. 1, in the substrate processing system 100, the substrate processing devices 120a1 to 120a3, the substrate processing devices 120b1 and 120b2, and the substrate processing devices 120c1 and 120c2 are connected to a server device ( 150). The substrate processing devices 120a1 to 120a3, the substrate processing devices 120b1 and 120b2, and the substrate processing devices 120c1 and 120c2 are collectively referred to as the substrate processing device 120. The substrate processing apparatus 120 usually has one or more processing chambers that process substrates internally.

기판 처리 장치(120)의 일례로서는, 플랫 패널 디스플레이(FPD: Flat Panel Display)를 제조하기 위한 유리 기판 등의 기판을 처리하는 장치를 들 수 있다. 단, 이에 한정되지 않고, 본 개시의 기판 처리 장치는, 반도체 웨이퍼를 처리하는 장치여도 된다. 또한, 기판을 플라스마에 의해 처리해도 되고, 플라스마를 생성하는 장치로서는, Capacitively Coupled Plasma(CCP), Inductively Coupled Plasma(ICP), Radial Line Slot Antenna(RLSA), Electron Cyclotron Resonance Plasma(ECR), Helicon Wave Plasma(HWP) 중 어느 타입의 장치에도 적용할 수 있다. 또한, 본 개시의 기판 처리 장치는, 1매씩 기판을 처리하는 매엽 장치, 복수매의 기판을 일괄 처리하는 배치 장치 및 세미 배치 장치 중 어느 것에도 적용할 수 있다. 또한, 본 개시의 기판 처리 장치는, 예를 들어, 성막 처리, 에칭 처리, 애싱 처리 등의 기판의 처리를 행하는 장치 혹은, Atomic Layer Deposition(ALD) 장치이다.An example of the substrate processing device 120 is a device that processes a substrate such as a glass substrate for manufacturing a flat panel display (FPD). However, it is not limited to this, and the substrate processing apparatus of the present disclosure may be an apparatus that processes semiconductor wafers. Additionally, the substrate may be treated with plasma, and devices that generate plasma include Capacitively Coupled Plasma (CCP), Inductively Coupled Plasma (ICP), Radial Line Slot Antenna (RLSA), Electron Cyclotron Resonance Plasma (ECR), and Helicon Wave. It can be applied to any type of plasma (HWP) device. In addition, the substrate processing apparatus of the present disclosure can be applied to any of a sheet wafer apparatus that processes substrates one at a time, a batch apparatus that processes a plurality of substrates at a time, and a semi-batch apparatus. In addition, the substrate processing device of the present disclosure is, for example, an device that processes substrates such as film forming processing, etching processing, and ashing processing, or an Atomic Layer Deposition (ALD) device.

기판 처리 시스템(100)은, 공장 a 내에 기판 처리 장치(120a1 내지 120a3)와, 제어 장치(121a1 내지 121a3)를 갖는다. 기판 처리 장치(120a1 내지 120a3)와 제어 장치(121a1 내지 121a3)는, 유선 또는 무선에 의해 접속된다.The substrate processing system 100 has substrate processing devices 120a1 to 120a3 and control devices 121a1 to 121a3 in factory a. The substrate processing devices 120a1 to 120a3 and the control devices 121a1 to 121a3 are connected by wire or wirelessly.

기판 처리 시스템(100)은, 공장 b 내에 기판 처리 장치(120b1, 120b2)와, 제어 장치(121b1, 121b2)를 갖는다. 기판 처리 장치(120b1, 120b2)와 제어 장치(121b1, 121b2)는, 유선 또는 무선에 의해 접속된다.The substrate processing system 100 has substrate processing devices 120b1 and 120b2 and control devices 121b1 and 121b2 in factory b. The substrate processing devices 120b1 and 120b2 and the control devices 121b1 and 121b2 are connected by wire or wirelessly.

기판 처리 시스템(100)은, 공장 c 내에 기판 처리 장치(120c1, 120c2)와, 제어 장치(121c1, 121c2)를 갖는다. 기판 처리 장치(120c1, 120c2)와 제어 장치(121c1, 121c2)는, 유선 또는 무선에 의해 접속된다.The substrate processing system 100 has substrate processing devices 120c1 and 120c2 and control devices 121c1 and 121c2 in factory c. The substrate processing devices 120c1 and 120c2 and the control devices 121c1 and 121c2 are connected by wire or wirelessly.

제어 장치(121a1 내지 121a3), 제어 장치(121b1, 121b2), 제어 장치(121c1, 121c2)를 총칭하여 제어 장치(121)라고도 한다. 제어 장치(121)는, 기판 처리 장치(120)가 실행하는 기판의 처리를 제어한다. 기판 처리 장치(120)의 각각은, 복수의 레시피를 보유하는 제어 장치(121)의 각각의 제어에 따라, 어느 것의 레시피에 기초하여 기판을 처리한다.The control devices 121a1 to 121a3, the control devices 121b1 and 121b2, and the control devices 121c1 and 121c2 are collectively referred to as the control device 121. The control device 121 controls substrate processing performed by the substrate processing device 120. Each of the substrate processing devices 120 processes a substrate based on a certain recipe under the respective control of the control device 121 holding a plurality of recipes.

기판 처리 장치(120a1 내지 120a3), 기판 처리 장치(120b1, 120b2), 기판 처리 장치(120c1, 120c2)는, 각각이 관리하는 다방면에 걸치는 데이터를 자장치 내에 축적하고 있는 것으로 한다.It is assumed that the substrate processing devices 120a1 to 120a3, the substrate processing devices 120b1 and 120b2, and the substrate processing devices 120c1 and 120c2 store in their devices a wide range of data that they each manage.

서버 장치(150)는, 기판 처리 장치(120)와 접속되고, 기판 처리 장치(120)로부터 취득한 축적 데이터로부터, 기판의 처리에 사용한 복수의 레시피를 비교하고, 비교 결과의 레시피의 표시를 제어한다. 비교 결과의 레시피가 표시되는 정보 처리 장치의 표시부는, 제어 장치(121)의 표시부여도 되고, 서버 장치(150)의 표시부여도 되고, 네트워크 N에 접속되는 그 밖의 표시 장치여도 된다.The server device 150 is connected to the substrate processing device 120, compares a plurality of recipes used to process the substrate from accumulated data acquired from the substrate processing device 120, and controls the display of the recipes of the comparison results. . The display unit of the information processing device on which the recipe of the comparison result is displayed may be the display of the control device 121, the server device 150, or any other display device connected to the network N.

[서버 장치(150)의 하드웨어 구성예][Example of hardware configuration of server device 150]

다음으로, 서버 장치(150)의 하드웨어 구성에 대해서 도 2를 참조하여 설명한다. 도 2는, 서버 장치(150)의 하드웨어 구성의 일례를 도시하는 도면이다. 서버 장치(150)는 CPU(Central Processing Unit)(201), ROM(Read Only Memory)(202), RAM(Random Access Memory)(203)을 갖는다. CPU(201), ROM(202), RAM(203)은, 소위 컴퓨터를 형성한다. 또한, 도 2는 제어 장치(121)의 하드웨어 구성예여도 된다.Next, the hardware configuration of the server device 150 will be described with reference to FIG. 2. FIG. 2 is a diagram showing an example of the hardware configuration of the server device 150. The server device 150 has a Central Processing Unit (CPU) 201, a Read Only Memory (ROM) 202, and a Random Access Memory (RAM) 203. CPU 201, ROM 202, and RAM 203 form a so-called computer. Additionally, FIG. 2 may be an example of the hardware configuration of the control device 121.

또한, 서버 장치(150)는, 보조 기억부(204), 표시부(205), 입력부(206), 네트워크 I/F(Interface)부(207), 접속부(208)를 갖는다. 또한, 서버 장치(150)의 각 하드웨어는, 버스(209)를 통해 서로 접속되어 있다.Additionally, the server device 150 has an auxiliary storage unit 204, a display unit 205, an input unit 206, a network I/F (Interface) unit 207, and a connection unit 208. Additionally, each hardware of the server device 150 is connected to each other via the bus 209.

CPU(201)는, 보조 기억부(204)에 인스톨되어 있는 각종 프로그램을 실행하는 디바이스이다. ROM(202)은, 불휘발성 메모리이다. ROM(202)은, 보조 기억부(204)에 인스톨되어 있는 각종 프로그램을 CPU(201)가 실행하기 위해 필요한 각종 프로그램이나 데이터 등을 저장하는, 주기억 디바이스로서 기능한다. 구체적으로는, ROM(202)은 BIOS(Basic Input/Output System)나 EFI(Extensible Firmware Interface) 등의 부트 프로그램 등을 저장한다.The CPU 201 is a device that executes various programs installed in the auxiliary storage unit 204. ROM 202 is a non-volatile memory. The ROM 202 functions as a main memory device that stores various programs and data necessary for the CPU 201 to execute the various programs installed in the auxiliary memory 204. Specifically, the ROM 202 stores boot programs such as BIOS (Basic Input/Output System) or EFI (Extensible Firmware Interface).

RAM(203)은, DRAM(Dynamic Random Access Memory)이나 SRAM(Static Random Access Memory) 등의 휘발성 메모리이다. RAM(203)은, 보조 기억부(204)에 인스톨되어 있는 각종 프로그램이 CPU(201)에 의해 실행될 때에 전개되는 작업 영역을 제공하는, 주기억 디바이스로서 기능한다.RAM 203 is a volatile memory such as DRAM (Dynamic Random Access Memory) or SRAM (Static Random Access Memory). RAM 203 functions as a main memory device that provides a work area that is expanded when various programs installed in auxiliary memory 204 are executed by CPU 201.

보조 기억부(204)는, 각종 프로그램이나, 각종 프로그램이 실행될 때에 사용되는 정보를 저장하는 보조 기억 디바이스이다. 후술하는 데이터 저장부는, 보조 기억부(204)에 있어서 실현된다.The auxiliary storage unit 204 is an auxiliary storage device that stores various programs and information used when various programs are executed. The data storage unit described later is realized in the auxiliary storage unit 204.

표시부(205)는, 각종 화면(예를 들어, 선택 화면, 레시피 표시 화면 등)을 표시하는, 표시 디바이스이다. 입력부(206)는, 해석 장치(140)에 대하여, 작업자가 각종 지시를 입력하기 위한 입력 디바이스이다.The display unit 205 is a display device that displays various screens (eg, selection screen, recipe display screen, etc.). The input unit 206 is an input device for the operator to input various instructions to the analysis device 140.

네트워크 I/F부(207)는, 도시하지 않은 외부 네트워크와 접속하는 통신 디바이스이다. 접속부(208)는, 기판 처리 장치(120)에 접속하는 접속 디바이스이다.The network I/F unit 207 is a communication device that connects to an external network (not shown). The connection unit 208 is a connection device connected to the substrate processing apparatus 120 .

[서버 장치의 기능 구성예][Example of server device function configuration]

다음으로, 서버 장치(150)의 기능 구성에 대해서 도 3을 참조하여 설명한다. 도 3은, 서버 장치(150)의 기능 구성의 일례를 도시하는 도면이다. 서버 장치(150)에는 레시피의 비교 해석 및 표시용의 프로그램이 인스톨되어 있고, 이 비교 해석 및 표시용의 프로그램을 실행함으로써, 서버 장치(150)는 데이터 취득부(301), 조작 접수부(302), 제어부(303), 표시 제어부(304)로서 기능한다.Next, the functional configuration of the server device 150 will be described with reference to FIG. 3. FIG. 3 is a diagram showing an example of the functional configuration of the server device 150. A program for comparative analysis and display of recipes is installed in the server device 150, and by executing this program for comparative analysis and display, the server device 150 operates the data acquisition unit 301 and the operation reception unit 302. , functions as a control unit 303 and a display control unit 304.

데이터 취득부(301)는, 네트워크 N을 통해 기판 처리 장치(120)가 축적한 축적 데이터(130)를 계속적으로 취득하고, 데이터 저장부(310)에 저장한다. 축적 데이터(130)는 레시피를 작성 또는 변경한 일시가 연관된 레시피의 데이터를 포함한다. 예를 들어, 데이터 취득부(301)는, 갱신 레시피를 변경 일시에 연관지어 데이터 저장부(310)에 기억한다. 따라서, 데이터 저장부(310)에는, 초기 레시피와 초기 레시피를 갱신한 갱신 레시피를 포함하는 변경 부분 이외의 레시피의 데이터가 동일한 버전 업된 레시피군(이하, 동일 레시피라고도 함) 및 다른 레시피군이 포함되어 있다. 따라서, 데이터 저장부(310)에 보존된 복수의 레시피로부터 선택되는 기준 레시피와 비교 대상 레시피는, 버전 업된 복수의 동일 레시피여도 되고, 다른 레시피여도 된다. 또한, 레시피의 데이터는, 기판 처리 장치(120)에 있어서 실행하는 기판의 처리 수순을 상세하게 기술한 것이며, 레시피가 갖는 복수의 항목, 예를 들어, 프로세스 조건의 항목(조건 항목), 처리 스텝의 항목(스텝 번호) 및 변경 일시 등의 레시피에 관한 항목에 의해 특정되는 데이터가 설정되어 있다.The data acquisition unit 301 continuously acquires the accumulated data 130 accumulated by the substrate processing apparatus 120 via the network N and stores it in the data storage unit 310 . The accumulated data 130 includes recipe data associated with the date and time the recipe was created or changed. For example, the data acquisition unit 301 stores the update recipe in the data storage unit 310 in association with the change date and time. Therefore, the data storage unit 310 includes a upgraded recipe group (hereinafter also referred to as the same recipe) and other recipe groups in which recipe data other than the changed portion including the initial recipe and the update recipe that updated the initial recipe is the same. It is done. Therefore, the reference recipe selected from the plurality of recipes stored in the data storage unit 310 and the recipe to be compared may be a plurality of upgraded versions of the same recipe or different recipes. In addition, the recipe data describes in detail the substrate processing procedure performed by the substrate processing apparatus 120, and includes a plurality of items in the recipe, for example, process condition items (condition items), processing steps, etc. Data specified by recipe-related items such as items (step number) and change date and time are set.

조작 접수부(302)는, 제어 장치(121)의 표시부에 표시된 선택 화면이나, 서버 장치(150)의 표시부에 표시된 선택 화면으로부터 오퍼레이터 등의 작업자가 행하는 입력 조작이나 선택 조작을 접수한다.The operation acceptance unit 302 accepts input operations and selection operations performed by workers such as operators from the selection screen displayed on the display unit of the control device 121 or the selection screen displayed on the display unit of the server device 150.

제어부(303)는, 선택부(306), 비교부(307)를 갖는다. 선택부(306)는, 데이터 저장부(310)에 보유된 복수의 레시피로부터 기준이 되는 기준 레시피를 선택한다. 예를 들어 선택부(306)는, 조작 접수부(302)가 접수한 기준 레시피의 선택 조작이나 입력 조작에 기초하여 기준 레시피를 선택한다. 기준 레시피는, 기준이 되는 제1 레시피의 일례이다.The control unit 303 has a selection unit 306 and a comparison unit 307. The selection unit 306 selects a standard recipe from a plurality of recipes held in the data storage unit 310. For example, the selection unit 306 selects a standard recipe based on the selection operation or input operation of the standard recipe accepted by the operation reception unit 302. The standard recipe is an example of a first recipe that serves as a standard.

선택부(306)는, 데이터 저장부(310)에 보유된 복수의 레시피로부터 비교 대상이 되는 비교 대상 레시피를 선택한다. 예를 들어 선택부(306)는, 조작 접수부(302)가 접수한 비교 대상 레시피의 선택 조작이나 입력 조작에 기초하여 비교 대상 레시피를 선택한다. 비교 대상 레시피는, 비교 대상이 되는 제2 레시피의 일례이다.The selection unit 306 selects a comparison target recipe from a plurality of recipes held in the data storage unit 310. For example, the selection unit 306 selects the comparison target recipe based on the selection operation or input operation of the comparison target recipe accepted by the operation reception unit 302. The recipe to be compared is an example of a second recipe to be compared.

비교부(307)는, 기준 레시피와 비교 대상 레시피를 비교하고, 기준 레시피와 비교 대상 레시피의 차이가 있는 항목을 특정한다.The comparison unit 307 compares the standard recipe and the recipe to be compared, and specifies items in which there is a difference between the standard recipe and the recipe to be compared.

표시 제어부(304)는, 기준 레시피에 설정된 데이터를 표시하고, 표시한 데이터의 복수의 항목 중 비교 대상 레시피와 차이가 있는 항목에 대해서, 기준 레시피의 데이터와 비교 대상 레시피의 데이터의 차이를 시인할 수 있도록 표시부에 표시한다.The display control unit 304 displays data set in the standard recipe, and recognizes the difference between the data of the standard recipe and the data of the comparison target recipe for items that are different from the comparison target recipe among the plurality of items of displayed data. Mark it on the display so that you can see it.

표시 제어부(304)는, 기준 레시피에 설정된 데이터를 매트릭스 형상의 표 형식으로 표시한다. 또한, 표시 제어부(304)는, 표시한 기준 레시피의 데이터 중 비교 대상 레시피와 차이가 있는 항목에 대해서, 기준 레시피의 데이터와 비교 대상의 데이터의 차이를 시인할 수 있도록 비교 대상 레시피의 데이터를 표시부에 표시한다. 매트릭스 형상의 표 형식에서는, 각 행에 1 이상의 프로세스 조건의 항목(조건 항목)이 표시되고, 각 열에 1 이상의 처리 스텝의 항목(스텝 번호)이 표시되고, 항목마다 레시피의 데이터가 표시되어도 된다. 열에는, 1 이상의 처리 스텝 외에도, 1 이상의 레시피에 관한 항목이 표시되어도 된다(도 6의 P2). 1 이상의 레시피에 관한 항목은, 장치, 챔버 번호(PC No.), 파일명, 변경 일시가 포함된다(도 8의 P2의 「열 표시」 참조).The display control unit 304 displays data set in the standard recipe in a matrix-shaped table. In addition, the display control unit 304 displays the data of the comparison target recipe so that the difference between the data of the standard recipe and the data of the comparison target can be recognized for items that are different from the comparison target recipe among the displayed standard recipe data. It is displayed in In a matrix-shaped table format, one or more process condition items (condition items) are displayed in each row, one or more processing step items (step numbers) are displayed in each column, and recipe data may be displayed for each item. In addition to one or more processing steps, items related to one or more recipes may be displayed in the column (P2 in FIG. 6). Items related to one or more recipes include the device, chamber number (PC No.), file name, and change date and time (see “Column Display” in P2 in FIG. 8).

표시 제어부(304)는, 차이가 있다고 특정한 항목의 기준 레시피의 데이터와 비교 대상 레시피의 데이터의 차이를 강조하여 표시해도 된다(도 8의 P2 내의 D1 참조).The display control unit 304 may highlight and display the difference between the data of the standard recipe and the data of the recipe to be compared for the item specified as having a difference (see D1 in P2 in FIG. 8).

선택부(306)가 2개 이상의 비교 대상 레시피를 선택한 경우, 비교부(307)는, 기준 레시피와 2개 이상의 비교 대상 레시피를 비교하고, 기준 레시피와 적어도 어느 것의 비교 대상 레시피의 차이가 있는 항목을 특정한다. 표시 제어부(304)는, 차이가 있다고 특정한 처리 스텝 및 프로세스 조건의 항목에 대해서, 차이를 시인할 수 있도록 기준 레시피의 데이터와 2개 이상의 비교 대상의 데이터를 나란히 표시한다.When the selection unit 306 selects two or more recipes to be compared, the comparison unit 307 compares the standard recipe and the two or more recipes to be compared, and selects items that have differences between the standard recipe and at least any of the recipes to be compared. Specify . The display control unit 304 displays the data of the reference recipe and the data of two or more comparison targets side by side so that the differences can be visually recognized for the items of processing steps and process conditions specified as having differences.

기준 레시피와 비교 대상 레시피가 갱신된 동일 레시피군인 경우, 표시 제어부(304)는 기준 레시피와 비교 대상 레시피에서 차이가 있는 항목에 대해서, 기준 레시피의 데이터와 비교 대상 레시피의 데이터를 각각의 변경 일시와 함께 나란히 표시해도 된다.If the standard recipe and the comparison target recipe are the same updated recipe group, the display control unit 304 displays the data of the standard recipe and the data of the comparison target recipe for items that are different between the standard recipe and the comparison target recipe, with the respective change date and time. You can display them side by side.

이것에 의하면, 기준 레시피에 설정된 복수의 항목의 데이터를 표시하고, 표시한 복수의 항목 중 차이가 있는 항목에 대해서, 기준 레시피의 데이터와 비교 대상 레시피의 데이터의 차이를 시인할 수 있도록 표시부에 표시된다. 이에 의해, 작업자는, 기판 처리 장치(120)에서 사용하는 복수의 레시피에 대한 비교 결과를 용이하게 시인할 수 있다.According to this, the data of a plurality of items set in the standard recipe are displayed, and items with differences among the displayed plurality of items are displayed on the display unit so that the difference between the data of the standard recipe and the data of the recipe to be compared can be visually recognized. do. As a result, the operator can easily view the comparison results for the plurality of recipes used in the substrate processing apparatus 120.

[레시피의 표시 방법의 구체예][Specific example of recipe display method]

다음으로, 서버 장치(150)가 레시피의 비교 해석 및 표시용의 프로그램을 실행함으로써 실시되는 레시피의 표시 방법의 일례에 대해서, 도 4 내지 도 9를 참조하면서 설명한다. 도 4는, 실시 형태에 관한 레시피의 표시 방법의 일례를 나타내는 흐름도이다. 도 5 내지 도 7은, 실시 형태에 관한 레시피의 비교 및 표시 화면의 일례이다. 도 8 및 도 9는, 실시 형태에 관한 레시피의 비교 결과 및 표시 화면의 일례이다.Next, an example of a recipe display method implemented by the server device 150 executing a program for comparative analysis and display of recipes will be described with reference to FIGS. 4 to 9. Figure 4 is a flowchart showing an example of a recipe display method according to the embodiment. 5 to 7 are examples of recipe comparison and display screens according to the embodiment. Figures 8 and 9 are examples of recipe comparison results and display screens according to the embodiment.

서버 장치(150)가 레시피의 표시 방법의 각 처리를 행하는 데 있어서는, 처음에, 도 4의 스텝 S1에 있어서, 표시 제어부(304)는 제어 장치(121)의 표시부 및／또는 서버 장치(150)의 표시부(205)에 선택 화면을 표시한다. 예를 들어, 서버 장치(150)는, 웹 사이트의 선택 화면을 표시부에 표시한다.When the server device 150 performs each process of the recipe display method, initially, in step S1 of FIG. 4, the display control unit 304 displays the display unit of the control device 121 and/or the server device 150. A selection screen is displayed on the display unit 205. For example, the server device 150 displays a website selection screen on the display unit.

도 5의 선택 화면의 일례를 참조하면, 선택 화면에는, 복수의 레시피의 일람을 표시하는 제1 화면 영역 P1이 마련된다. 도 5의 제1 화면 영역 P1에는, 데이터 저장부(310)에 보존된 레시피가 표시되어 있다. 도 5에서는, 「장치」의 항목에 레시피를 사용하는 기판 처리 장치로서 「장치 A」 등이 설정된다. 또한, 「PC No.」의 항목에 레시피를 사용하는 처리 챔버의 챔버 번호로서 「PC-3」 등이 설정된다. 또한, 「파일명」의 항목에 사용하는 레시피로서 「레시피 a」, 「레시피 b」, 「레시피 c」 등이 설정되어 있다.Referring to an example of the selection screen in FIG. 5, the selection screen is provided with a first screen area P1 that displays a list of a plurality of recipes. In the first screen area P1 of FIG. 5, the recipe saved in the data storage unit 310 is displayed. In FIG. 5, “Device A” or the like is set as a substrate processing device that uses a recipe in the “Device” item. Additionally, in the “PC No.” item, “PC-3” or the like is set as the chamber number of the processing chamber using the recipe. Additionally, “recipe a”, “recipe b”, “recipe c”, etc. are set as recipes to be used in the “file name” item.

「장치」, 「PC No.」, 「파일명」의 항목에 추가하여, 일람에는, 「변경 날짜」, 「조작」, 「종류」, 「Version」, 「코멘트」, 「비고」의 항목이 표시되어 있다. 변경 날짜(변경 일시)에는 「파일명」으로 설정된 레시피를 변경(갱신)한 변경 일시가 표시된다. 「조작」에는 레시피에 행한 조작이 표시된다. 「종류」에는 레시피의 종류가 표시되고, 「Version」에는 레시피에 변경이 있었는지를 나타내는 버전이 표시된다. 「코멘트」, 「비고」에는 적절히 코멘트, 메모가 표시된다. 제1 화면 영역 P1은, 선택 화면의 고정의 표시 영역이며, 제1 화면 영역 P1 내의 스크롤바 Q1의 조작에 따라서 표시 내용을 상하 이동시킴으로써, 모든 레시피를 표시할 수 있다.In addition to the items “Device”, “PC No.”, and “File Name”, the items “Change Date”, “Operation”, “Type”, “Version”, “Comment”, and “Remarks” are displayed in the list. It is done. The change date (change date and time) displays the change date and time when the recipe set in “File Name” was changed (updated). “Operation” displays operations performed on the recipe. “Type” displays the type of recipe, and “Version” displays the version indicating whether there have been changes to the recipe. Comments and memos are displayed in “Comment” and “Remarks” as appropriate. The first screen area P1 is a fixed display area of the selection screen, and all recipes can be displayed by moving the display contents up and down according to the operation of the scroll bar Q1 in the first screen area P1.

다음에, 도 4의 스텝 S3에 있어서, 선택부(306)는 기준 레시피를 선택한다. 예를 들어, 조작 접수부(302)가 작업원 등의 선택 조작을 접수하면, 선택부(306)는 접수한 조작에 따라서 제1 화면 영역 P1 내의 레시피를 선택한다. 예를 들어, 도 6의 제1 화면 영역 P1에서는, 2행째의 장치 A의 PC-3의 챔버에서 사용되는 레시피 a(Version1)가 기준 레시피로서 선택되어 있다. 따라서, 표시 제어부(304)는, 비교원이 되는 기준 레시피를, 도 6의 화면 우측 상단의 표시란 P3에 표시한다. 도 6의 예에서는, S1에서 나타내는 선택된 「장치 A (PC-3) 레시피 a」의 명칭이 표시된다.Next, in step S3 in FIG. 4, the selection unit 306 selects a standard recipe. For example, when the operation reception unit 302 accepts a selection operation of a worker or the like, the selection unit 306 selects a recipe in the first screen area P1 according to the accepted operation. For example, in the first screen area P1 in FIG. 6, recipe a (Version1) used in the chamber of PC-3 of device A in the second row is selected as the standard recipe. Accordingly, the display control unit 304 displays the standard recipe that serves as the comparison source in the display field P3 at the upper right of the screen in FIG. 6. In the example of FIG. 6, the name of the selected “Device A (PC-3) Recipe a” shown in S1 is displayed.

다음에, 도 4의 스텝 S5에 있어서, 표시 제어부(304)는 선택 화면의 제2 화면 영역 P2에 기준 레시피의 데이터(내용)를 표시한다. 도 6의 예에서는, 기준 레시피에 설정된 데이터가 매트릭스 형상의 표 형식으로 표시된다. 표 형식의 열의 항목에는 복수의 처리 스텝 1 내지 15의 스텝 번호가 표시되고, 행의 항목에는 복수의 프로세스 조건의 조건 항목이 표시된다. 이에 의해, 기준 레시피에 설정된 데이터로서, 복수의 처리 스텝의 각각에 대한 복수의 프로세스 조건의 데이터가, 즉, 임의의 스텝 번호와 임의의 조건 항목으로 특정되는 데이터가 매트릭스 형상의 표로 표시된다. 또한, 편의상, 열의 항목과 행의 항목을 총칭하여 단순히 항목이라고 칭한다. 스텝 번호와 조건 항목은, 항목의 일례이다. 단순히 항목이라고 기재한 경우에는, 스텝 번호와 조건 항목 중 어느 것, 혹은 양쪽이 포함되는 것으로 한다.Next, in step S5 in FIG. 4, the display control unit 304 displays the data (contents) of the standard recipe in the second screen area P2 of the selection screen. In the example of FIG. 6, data set in the standard recipe are displayed in a matrix-shaped table. The step numbers of a plurality of processing steps 1 to 15 are displayed in the column items of the table format, and the condition items of a plurality of process conditions are displayed in the row items. Accordingly, as data set in the standard recipe, data of a plurality of process conditions for each of a plurality of processing steps, that is, data specified by an arbitrary step number and an arbitrary condition item, are displayed in a matrix-like table. Additionally, for convenience, column items and row items are collectively referred to as simply items. Step number and condition items are examples of items. When simply described as an item, either or both the step number and the condition item are assumed to be included.

처리 스텝은, 기판 처리가 복수의 스텝의 수순으로 스텝 번호의 오름차순으로 행해지는 것을 나타낸다. 프로세스 조건은, 스텝 번호로 나타내어지는 각 처리 스텝에 있어서의 프로세스 조건을 데이터(수치 혹은 값)로 나타낸다. 예를 들어, 「Log 출력」은, 값으로서 ON과 OFF를 갖고, ON일 때 프로세스의 상세한 로그를 기억하고, OFF일 때 프로세스의 상세한 로그를 기억하지 않는다고 설정하는 조건 항목이다. 「Source 출력값」은 전원으로부터의 전력의 출력값을 수치에 의해 설정하는 조건 항목이다. 가스 유량은 가스종마다의 유량값을 수치에 의해 설정하고, EPD 테이블 번호는, 챔버 내의 발광 강도에 기초하는 각 처리 스텝의 엔드 포인트 검출(EPD)을 행하기 위한 정지 조건을 나타내는 테이블 번호를 값으로서 설정한다. 제2 화면 영역 P2는, 선택 화면의 고정의 표시 영역이며, 제2 화면 영역 P2 내의 스크롤바 Q2의 조작에 따라서 표시 내용을 상하 이동시킴으로써, 기준 레시피에 설정된 전체 데이터(처리 스텝 및 프로세스 조건의 전 항목의 데이터)를 표시할 수 있다.Processing steps indicate that substrate processing is performed in a plurality of steps in ascending order of step numbers. The process conditions represent the process conditions in each processing step indicated by the step number as data (numeric or value). For example, “Log output” is a condition item that has ON and OFF as values, and sets the detailed log of the process to be stored when ON, and the detailed log of the process not to be stored when it is OFF. “Source output value” is a condition item that sets the output value of power from the power supply using a numerical value. The gas flow rate is set as a numerical value for each gas type, and the EPD table number is a table number indicating the stop condition for performing end point detection (EPD) of each processing step based on the intensity of light emission in the chamber. Set as . The second screen area P2 is a fixed display area of the selection screen, and the display contents are moved up and down according to the operation of the scroll bar Q2 in the second screen area P2, thereby controlling all data (all items of processing steps and process conditions) set in the standard recipe. data) can be displayed.

다음에, 도 4의 스텝 S7에 있어서, 선택부(306)는 비교 대상 레시피를 선택한다. 도 7의 예에서는, 선택 화면의 좌측 상단에 표시된 「Target Select」의 버튼 B1을 온하는 조작 후에 제1 화면 영역 P1 내의 어느 레시피가 조작(선택)된다. 조작 접수부(302)가 본 조작을 접수하고, 선택부(306)가 접수한 조작에 따라서 제1 화면 영역 P1 내의 4행째의 장치 A의 PC-3에서 사용되는 Version1의 레시피 b를 비교 대상 레시피로서 선택한다(도 7의 S2 참조).Next, in step S7 in FIG. 4, the selection unit 306 selects a recipe to be compared. In the example of Fig. 7, a certain recipe in the first screen area P1 is operated (selected) after turning on the button B1 of "Target Select" displayed at the upper left of the selection screen. The operation acceptance unit 302 accepts this operation, and according to the operation accepted by the selection unit 306, recipe b of Version 1 used in PC-3 of device A in the 4th line in the first screen area P1 is used as the comparison target recipe. Select (see S2 in FIG. 7).

이에 의해, 표시 제어부(304)는 화면 우측 중앙의 「TARGETS」의 표시란 P4에 비교처가 되는 비교 대상 레시피의 명칭을 표시한다. 여기서는, 「TARGETS」의 표시란 P4에 「장치 A (PC-3) 레시피 b」의 명칭이 표시된다(도 8 참조).As a result, the display control unit 304 displays the name of the recipe to be compared, which is the comparison destination, in the “TARGETS” display field P4 at the center right of the screen. Here, the name of “Device A (PC-3) Recipe b” is displayed in the display field P4 of “TARGETS” (see Fig. 8).

다음에, 도 4의 스텝 S9에 있어서, 비교부(307)는 기준 레시피와 비교 대상 레시피를 비교하고, 기준 레시피와 비교 대상 레시피의 차이가 있는 조건 항목을 특정한다. 표시 제어부(304)는 기준 레시피의 데이터와 비교 대상 레시피의 데이터의 차이를 시인할 수 있도록 강조하여 표시부에 표시한다.Next, in step S9 of FIG. 4, the comparison unit 307 compares the standard recipe and the recipe to be compared, and specifies the condition item in which there is a difference between the standard recipe and the recipe to be compared. The display control unit 304 displays the difference between the data of the reference recipe and the data of the comparison target recipe on the display with emphasis so that the difference can be recognized.

예를 들어, 표시 제어부(304)는, 도 8의 제2 화면 영역 P2에 표시하는 기준 레시피의 데이터 중 적어도 차이가 있다고 특정된 조건 항목인 「Source 출력값」에 대해서, 기준 레시피의 데이터(101)와 비교 대상 레시피의 데이터(102)를 나란히 표시한다. 도 8에서는, 표시 제어부(304)는, 제2 화면 영역 P2에 기준 레시피의 데이터(101)와 비교 대상 레시피의 데이터(102)를 나란히 표시한 후에, 또한, 차이가 있는 처리 스텝 4, 5의 기준 레시피의 데이터와 비교 대상 레시피의 데이터를 강조하여 표시한다(D1 참조). 강조하여 표시하는 예로서는, 차이가 있는 부분의 기준 레시피의 데이터와 비교 대상 레시피의 데이터의 색을 바꾸어서 표시하거나, 굵은 글씨로 표시하거나, 배경색을 바꾸거나 해도 된다. 차이가 없는 부분의 기준 레시피의 데이터와 비교 대상 레시피의 데이터는, 동일한 색으로 표시하거나, 가는 글자로 표시하거나 해도 된다.For example, the display control unit 304 displays the data 101 of the standard recipe for “Source output value,” which is a condition item specified to have at least a difference among the data of the standard recipe displayed in the second screen area P2 in FIG. and the data 102 of the recipe to be compared are displayed side by side. In FIG. 8, after displaying the reference recipe data 101 and the comparison target recipe data 102 side by side in the second screen area P2, the display control unit 304 further displays the difference processing steps 4 and 5. The data of the standard recipe and the data of the recipe to be compared are highlighted and displayed (see D1). As an example of emphasizing display, the data of the standard recipe and the data of the comparison target recipe may be displayed by changing the color of the portion where there is a difference, displayed in bold letters, or the background color may be changed. The data of the standard recipe and the data of the recipe to be compared in the portion where there is no difference may be displayed in the same color or in thin letters.

또한, 기준 레시피의 데이터의 강조 표시되어 있는 개소를 마우스 오버함으로써, 그 기준 레시피의 데이터의 상세를 표시해도 된다. 마찬가지로, 비교 대상 레시피의 데이터의 강조 표시되어 있는 개소를 마우스 오버함으로써, 그 비교 대상 레시피의 데이터의 상세를 표시해도 된다.Additionally, details of the data of the standard recipe may be displayed by hovering over the highlighted portion of the data of the standard recipe. Similarly, the details of the data of the recipe to be compared may be displayed by hovering over the highlighted portion of the data of the recipe to be compared.

다음에, 도 4의 스텝 S11에 있어서, 선택부(306)는, 그 밖에 비교 대상의 레시피의 선택이 있는지를 판정한다. 선택부(306)는, 그 밖에 비교 대상의 레시피의 선택이 있다고 판정한 경우, 스텝 S7로 되돌아가고, 스텝 S7 내지 S11의 처리를 반복한다.Next, in step S11 of FIG. 4, the selection unit 306 determines whether there are other recipes to be compared. When the selection unit 306 determines that there is another selection of a recipe to be compared, the process returns to step S7 and repeats the processing of steps S7 to S11.

도 9에서는, 선택 화면의 좌측 상단에 표시된 Target Select의 버튼 B1이 온으로 조작된 상태에서 제1 화면 영역 P1 내의 어느 레시피가 재조작(선택)되어 있다. 이 경우, 도 4의 스텝 S11에 있어서, 선택부(306)는, 그 밖에 비교 대상의 레시피의 선택이 있다고 판정한다. 도 9에서는, 선택부(306)는, 제1 화면 영역 P1 내에 5행째의 레시피(장치 A의 PC-3에서 사용되는 Version1의 레시피 b)를 비교 대상 레시피로서 선택한다(S3 참조). 이에 의해, 「TARGETS」의 표시란 P4에 비교 대상 레시피로서 「장치 A (PC-3) 레시피 c」의 명칭이 추가된다.In FIG. 9, a recipe in the first screen area P1 is remanufactured (selected) while the Target Select button B1 displayed at the upper left of the selection screen is turned on. In this case, in step S11 of FIG. 4, the selection unit 306 determines that there is another selection of recipes to be compared. In Fig. 9, the selection unit 306 selects the recipe in the 5th row (recipe b of Version 1 used in PC-3 of device A) in the first screen area P1 as the recipe to be compared (see S3). As a result, the name of “Device A (PC-3) Recipe c” is added to the display field P4 of “TARGETS” as a recipe to be compared.

또한 비교부(307)는, 기준 레시피와 비교 대상 레시피(여기서는 레시피 c)를 비교하고, 기준 레시피와 비교 대상 레시피의 차이가 있는 조건 항목을 특정한다. 표시 제어부(304)는, 기준 레시피의 데이터와 2개 이상의 비교 대상 레시피의 데이터의 차이를 시인할 수 있도록 표시부에 표시한다. 이렇게 본 개시의 레시피의 표시 방법에서는, 기준 레시피에 대하여 2개 이상의 비교 대상 레시피의 비교 결과를 표시할 수 있다.Additionally, the comparison unit 307 compares the standard recipe and the recipe to be compared (recipe c here), and specifies condition items where there is a difference between the standard recipe and the recipe to be compared. The display control unit 304 displays the difference between the data of the standard recipe and the data of two or more recipes to be compared on the display unit so that the data can be visually recognized. In this way, in the recipe display method of the present disclosure, the comparison results of two or more recipes to be compared can be displayed with respect to the standard recipe.

예를 들어, 표시 제어부(304)는, 도 9의 제2 화면 영역 P2에 표시하는 기준 레시피의 데이터 중, 차이가 있다고 특정한 조건 항목인 「Source 출력값」에 대해서, 기준 레시피 a의 데이터(101)와 비교 대상 레시피 b, c의 데이터(102, 103)를 나란히 표시한다. 기준 레시피(레시피 a)의 데이터(101)와 비교 대상 레시피(레시피 b, 레시피 c)의 데이터(102, 103)의 차이는, 강조하여 표시된다(도 9의 D2 참조).For example, the display control unit 304 displays the data 101 of the standard recipe a for the “Source output value” which is a condition item specified as having a difference among the data of the standard recipe displayed in the second screen area P2 in FIG. 9. The data (102, 103) of recipes b and c to be compared are displayed side by side. The difference between the data 101 of the reference recipe (recipe a) and the data 102 and 103 of the comparison target recipes (recipe b and recipe c) is highlighted and displayed (see D2 in FIG. 9).

표시 제어부(304)는, 제2 화면 영역 P2 내의 스크롤바 Q2, Q3의 조작에 따라, 제2 화면 영역 P2에 표시된 기준 레시피의 데이터와 비교 대상 레시피의 데이터의 표시를 스크롤시키고, 기준 레시피와 비교 대상 레시피의 전체 데이터를 확인할 수 있다. 비교 결과는, 제2 화면 영역 P2 내의 스크롤바 Q2에 의해 제2 화면 영역 P2 내의 데이터를 상하 이동시킨다. 또한, 스크롤바 Q3에 의해 제2 화면 영역 P2 내의 데이터를 좌우 이동시킨다. 이에 의해, 제2 화면 영역 P2 내의 비교 결과의 전체 데이터를 확인할 수 있다. 또한, 제2 화면 영역 P2 내의 란 T1에는, 제2 화면 영역 P2의 열에 표시되어 있는 항목이 표시되어 있다.The display control unit 304 scrolls the display of the data of the reference recipe and the data of the comparison target recipe displayed in the second screen area P2 according to the operation of the scroll bars Q2 and Q3 in the second screen area P2, and scrolls the display of the data of the reference recipe and the comparison target recipe. You can check the entire recipe data. As a result of the comparison, the data in the second screen area P2 is moved up and down by the scroll bar Q2 in the second screen area P2. Additionally, data in the second screen area P2 is moved left and right by the scroll bar Q3. As a result, the entire data of the comparison result in the second screen area P2 can be confirmed. Additionally, the items displayed in the columns of the second screen area P2 are displayed in column T1 in the second screen area P2.

이에 의해, 복수의 다른 레시피에 대하여 비교하여 상이 개소를 검출하고, 상이 개소를 한눈에 확인할 수 있도록 표시하는 툴을 제공할 수 있다. 혹은, 복수의 동일 레시피에 대하여 과거로 거슬러 올라가서 행해진 변경 개소를 추출하고, 변경 개소를 한눈에 확인할 수 있도록 표시하는 툴을 제공할 수 있다.As a result, it is possible to provide a tool that compares a plurality of different recipes, detects differences, and displays the differences so that they can be confirmed at a glance. Alternatively, a tool can be provided that extracts changes made to a plurality of identical recipes by going back in time and displays the change points so that they can be confirmed at a glance.

[표시의 변형예 1][Variation example 1 of display]

조작 접수부(302)는, 도 10에 도시하는 제2 화면 영역 P2 내의 좌측 상단에 표시된 「차분만 표시」의 버튼 B2를 온으로 하는 조작을 접수한다. 그렇게 하면, 표시 제어부(304)는, 제2 화면 영역 P2에 표시된 매트릭스 형상의 표 형식의 데이터로부터, 차이가 있다고 특정된 항목 이외의 항목의 데이터를 비표시로 한다. 비표시로 하는 것 대신에 그레이 아웃으로 표시해도 된다. 이에 의해, 도 9의 표시란 T1에 나타내는 열 표시 및 행 표시의 항목의 데이터로부터, 도 10의 표시란 T1에 나타내는 열 표시 및 행 표시의 항목의 데이터에, 제2 화면 영역 P2에 표시되는 데이터양이 줄어든다.The operation acceptance unit 302 accepts an operation to turn on the button B2 of “Display differences only” displayed at the upper left in the second screen area P2 shown in FIG. 10. Then, the display control unit 304 non-displays the data of items other than the items specified as having differences from the matrix-shaped tabular data displayed in the second screen area P2. Instead of hiding it, you can display it as grayed out. As a result, from the data of the column display and row display items shown in the display box T1 in FIG. 9 to the data of the column display and row display items shown in the display box T1 in FIG. 10, the data displayed in the second screen area P2 The amount decreases.

예를 들어, 표시 제어부(304)는 기준 레시피의 데이터 중, 도 10의 제2 화면 영역 P2에 표시하는, 차이가 있다고 특정한 「Source 출력값」 등에 대해서, 기준 레시피 a의 데이터(101)와 비교 대상 레시피 b, c의 데이터(102, 103)를 나란히 표시한다. 차이가 있다고 특정한 「EPD 테이블 번호」, 「처리 시간」 등에 대해서도 마찬가지로, 기준 레시피 a의 데이터(104, 107)와 비교 대상 레시피 b, c의 데이터(105, 106, 108)를 나란히 표시한다.For example, among the data of the standard recipe, the display control unit 304 compares the data 101 of the standard recipe a with respect to the “Source output value” specified as having a difference displayed in the second screen area P2 in FIG. 10. Data (102, 103) of recipes b and c are displayed side by side. Similarly, for “EPD table number”, “processing time”, etc., where differences are specified, the data (104, 107) of the reference recipe a and the data (105, 106, 108) of the comparison target recipes b and c are displayed side by side.

기준 레시피 a의 데이터(101, 104, 107)와 비교 대상 레시피 b, c의 데이터(102, 103, 105, 106, 108)의 차이가 있는 부분은, 강조하여 표시한다(도 10의 D3 참조). 도 10의 D3 내에 있어서, 강조하여 표시하는 예로서는, 차이가 있는 부분의 기준 레시피의 데이터와 비교 대상 레시피의 데이터는, 색을 바꾸어서 표시하거나, 굵은 글씨로 표시하거나, 배경색을 바꾸거나 해도 된다. 도 10의 D3 내에 있어서, 차이가 없는 부분의 기준 레시피의 데이터와 비교 대상 레시피의 데이터는, 배경이 백색이고 데이터의 수치가 흑색과 같이 표시해도 된다(D3의 처리 스텝 5의 데이터(104 내지 108) 참조). 이에 의해, 제2 화면 영역 P2 내에 표시하는 데이터양을 줄임으로써, 기준 레시피와 비교 대상 레시피의 차이가 있는 부분을 보다 용이하게 확인할 수 있다. 또한, 데이터양이 줄어들수록, 스크롤 조작을 행하지 않거나 또는 스크롤 조작을 적게 할 수 있다.The parts where there is a difference between the data (101, 104, 107) of the reference recipe a and the data (102, 103, 105, 106, 108) of the comparison target recipes b and c are highlighted and displayed (see D3 in FIG. 10). . In D3 of FIG. 10 , as an example of emphasizing display, the data of the standard recipe and the data of the recipe to be compared in the portion where there is a difference may be displayed with changed colors, displayed in bold letters, or the background color may be changed. In D3 of FIG. 10, the data of the reference recipe and the data of the recipe to be compared in the portion where there is no difference may be displayed with a white background and a black data value (data of processing step 5 of D3 (104 to 108) ) reference). As a result, by reducing the amount of data displayed in the second screen area P2, it is possible to more easily confirm the difference between the reference recipe and the recipe to be compared. Additionally, as the amount of data decreases, scroll operations may not be performed or scroll operations may be performed less frequently.

[표시의 변형예 2][Variation example 2 of display]

도 10에 도시하는 「Latest Recipe」의 선택 버튼 B3을 조작하는 경우에 대해서 설명한다. 선택 버튼 B3을 온하는 조작이 행해지면, 제1 화면 영역 P1에 표시하는 최신의 갱신 레시피만이 남도록 필터링되고, 표시 제어부(304)는 최신의 갱신 레시피 이외의 레시피를 비표시로 한다. 즉, 표시 제어부(304)는, 제1 화면 영역 P1에 표시된 복수의 레시피로부터, 레시피에 연관된 변경 일시가 최신의 갱신 레시피 이외의 동일 레시피를 제외하고 표시한다.The case of operating the selection button B3 of “Latest Recipe” shown in FIG. 10 will be described. When the operation of turning on the selection button B3 is performed, the filtering is performed so that only the latest update recipe displayed in the first screen area P1 remains, and the display control unit 304 hides recipes other than the latest update recipe. That is, the display control unit 304 displays the change date and time associated with the recipe from the plurality of recipes displayed in the first screen area P1, excluding the same recipes other than the most recent updated recipe.

[표시의 변형예 3][Variation example 3 of display]

작업자 등이 입력 화면에 레시피를 특정하는 정보를 입력함으로써, 비교할 레시피를 특정하도록 해도 된다. 예를 들어, 도 10의 화면 우측 상단의 「BASE」의 표시란 P3에 기준 레시피의 파일명을 입력해도 된다. 예를 들어, 도 10의 화면 우측 중앙의 「TARGETS」의 표시란 P4에 비교 대상 레시피의 파일명을 입력해도 된다. 비교 대상 레시피의 파일명은, 1개 이상 입력할 수 있다. 표시 제어부(304)는, 입력된 기준 레시피 및 비교 대상 레시피의 비교 결과를 제2 화면 영역 P2에 표시한다.An operator or the like may specify a recipe to be compared by entering information specifying the recipe into the input screen. For example, the file name of the standard recipe may be entered in the “BASE” display field P3 at the upper right of the screen in FIG. 10. For example, the file name of the recipe to be compared may be entered in the “TARGETS” display field P4 at the center right of the screen in FIG. 10. More than one file name of the recipe to be compared can be entered. The display control unit 304 displays the comparison result of the input reference recipe and the comparison target recipe on the second screen area P2.

[표시의 변형예 4][Variation example 4 of display]

도 10의 파일명에 인접하여 표시되는 필터의 마크 M1을 클릭함으로써, 파일명의 모든 요소가 표시되고, 모든 요소에 마련된 체크 박스에 체크함으로써 레시피를 선택할 수도 있다.By clicking on the filter mark M1 displayed adjacent to the file name in Fig. 10, all elements of the file name are displayed, and a recipe can also be selected by checking the check boxes provided for all elements.

[레시피의 선택예 1][Recipe selection example 1]

다음으로, 도 10의 화면 우측 상단의 「BASE」의 표시란 P3 위에 나타내는 「Purpose Select」의 버튼 B4를 선택했을 때의 레시피 선택예 1에 대해서, 도 11 내지 도 13을 참조하여 설명한다. 도 11은, 레시피 선택 화면의 일례이다. 도 12는, 레시피 선택 화면의 선택 결과의 일례이다. 도 13은, 선택된 레시피의 비교 결과의 일례이다.Next, recipe selection example 1 when button B4 of "Purpose Select" shown above "BASE" display field P3 in the upper right corner of the screen in FIG. 10 is selected is selected with reference to FIGS. 11 to 13. Figure 11 is an example of a recipe selection screen. Figure 12 is an example of the selection result of the recipe selection screen. Figure 13 is an example of comparison results of selected recipes.

레시피의 선택예 1에서는, 1개의 레시피를 선택함으로써, 지금까지 과거에 있었던 변경 개소를 확인할 수 있다. 레시피의 선택예 1에서는, 도 11에 도시하는 선택 화면이 표시되고, 데이터 저장부(310)에 보유된 복수의 레시피로부터 1개의 레시피를 선택할 수 있다. 도 11에 도시하는 선택 화면의 최상위의 란에서는, 기판 처리 장치를 선택할 수 있다. 2번째의 란에서는, 유닛, 즉 기판 처리 장치의 챔버를 선택할 수 있다. 3번째의 란에서는, 레시피의 변경 날짜(일시)의 날짜 범위를 선택할 수 있다. 이에 의해, 선택된 기판 처리 장치의 선택된 챔버에 사용하는 레시피이며, 선택된 날짜 범위 내에서 변경이 추가된 레시피를 선택한다. 4번째의 란에서는, 변경 이력의 수를 선택한다. 예를 들어, 변경 이력의 수에 10을 선택하면, 선택된 레시피에 대해서, 최신으로부터 과거 10회분의 레시피의 변경 내용을 확인할 수 있다. 변경 이력의 수에 1을 선택하면, 선택된 레시피의 바로 근방의 변경 내용을 확인할 수 있다.In Recipe Selection Example 1, by selecting one recipe, changes that have occurred in the past can be confirmed. In recipe selection example 1, the selection screen shown in FIG. 11 is displayed, and one recipe can be selected from a plurality of recipes held in the data storage unit 310. In the top column of the selection screen shown in FIG. 11, a substrate processing device can be selected. In the second column, you can select the unit, that is, the chamber of the substrate processing device. In the third column, you can select the date range of the recipe change date (date and time). Accordingly, a recipe that is used in the selected chamber of the selected substrate processing apparatus and to which changes have been added within the selected date range is selected. In the fourth column, select the number of change history. For example, if you select 10 as the number of change history, you can check the changes to the recipe from the most recent to the past 10 times for the selected recipe. If you select 1 for the number of change history, you can check the changes in the immediate vicinity of the selected recipe.

예를 들어, 도 12의 선택 화면의 최상위 내지 4번째의 각각의 란에 도시한 바와 같이 레시피를 선택한다. 도 12의 「Recipe Name」의 란 P5에 표시된 복수의 레시피로부터, 변경 이력을 표시하고자 하는 레시피를 선택하고, 「Done」의 버튼 B5를 누름으로써도 레시피를 선택할 수 있다.For example, a recipe is selected as shown in the top to fourth columns of the selection screen in FIG. 12. You can also select a recipe by selecting the recipe for which you want to display the change history from the plurality of recipes displayed in the “Recipe Name” column P5 in FIG. 12 and pressing the “Done” button B5.

이에 의해, 선택된 동일 레시피(동일한 파일명의 레시피)에 대해서, 도 13에 도시한 바와 같이, 과거에 변경이 있었던 개소, 일시 등이 표시된다. 예를 들어, 도 13의 D4에 도시한 바와 같이, 과거의 변경이 있었던 개소의 데이터를 강조 표시해도 된다. 선택된 1레시피의 변경 이력을 표시함으로써, 과거의 프로세스 조건의 조정을 간단하게 확인할 수 있다.As a result, for the selected same recipe (recipe with the same file name), as shown in Fig. 13, the location where changes occurred in the past, date and time, etc. are displayed. For example, as shown in D4 in FIG. 13, data at a location where there was a change in the past may be highlighted. By displaying the change history of one selected recipe, adjustments to past process conditions can be easily confirmed.

[레시피의 선택예 2][Recipe selection example 2]

다음으로, 도 10의 화면 우측 상단에 나타내는 「Purpose Select」의 버튼 B4를 선택했을 때의 레시피 선택예 2에 대해서, 도 14 내지 도 16을 참조하여 설명한다. 도 14는, 2개의 레시피 선택 화면의 일례이다. 도 15는, 2개의 레시피 선택 화면의 선택 결과의 일례이다. 도 16은, 선택된 레시피의 비교 결과의 일례이다.Next, recipe selection example 2 when button B4 of “Purpose Select” shown in the upper right corner of the screen in FIG. 10 is selected will be explained with reference to FIGS. 14 to 16. Figure 14 is an example of two recipe selection screens. Figure 15 is an example of selection results of two recipe selection screens. Figure 16 is an example of comparison results of selected recipes.

레시피의 선택예 2에서는, 다른 2개의 레시피를 선택함으로써, 선택한 다른 2개의 레시피의 차이를 표시할 수 있다. 레시피의 선택예 2에서는, 도 14에 도시하는 선택 화면을 표시하고, 데이터 저장부(310)에 보유된 복수의 레시피로부터 2개의 레시피를 선택한다. 도 14에 도시하는 선택 화면의 최상위 란에서는, 비교를 행할 레시피가 보존되어 있는 기판 처리 장치를 선택한다. 2번째의 란에서는, 비교를 행할 레시피의 유닛, 즉 비교를 행할 레시피의 기판 처리 장치 챔버를 선택한다. 3번째의 란에서는, 비교를 행할 레시피명을 선택한다. 4번째의 란에서는, 과거에 레시피의 변경이 있었던 변경 날짜(변경 일시)를 선택한다. 최상위의 란으로부터 4번째의 란까지의 우측과 좌측에서 2개의 레시피를 선택한다. 이에 의해, 선택된 기판 처리 장치의 선택된 챔버에 사용하는 2개의 레시피이며, 선택한 일시에 과거 변경이 있었던 레시피를 선택한다. 단, 선택하는 레시피는, 과거 변경이 있었던 레시피에 한정되지 않는다. 과거 변경이 없는 레시피에 대해서는, 4번째의 란을 공란으로 해도 된다.In Recipe Selection Example 2, by selecting two different recipes, the difference between the two different selected recipes can be displayed. In recipe selection example 2, the selection screen shown in FIG. 14 is displayed and two recipes are selected from a plurality of recipes held in the data storage unit 310. In the top column of the selection screen shown in FIG. 14, the substrate processing device in which the recipe to be compared is stored is selected. In the second column, select the unit of the recipe to be compared, that is, the substrate processing apparatus chamber of the recipe to be compared. In the third column, select the recipe name for comparison. In the fourth column, select the change date (date and time of change) when the recipe was changed in the past. Select two recipes from the right and left sides from the highest column to the fourth column. As a result, there are two recipes used in the selected chamber of the selected substrate processing apparatus, and the recipe that has changed in the past at the selected date and time is selected. However, the recipe you select is not limited to recipes that have changed in the past. For recipes that have not changed in the past, the fourth column may be left blank.

예를 들어, 도 15의 선택 화면의 우측 및 좌측의 최상위 내지 4번째의 란에 도시한 바와 같이 2개의 레시피를 선택하고, 「Done」의 버튼 B5를 누른다. 이에 의해, 선택된 2개의 레시피에 대해서, 도 16에 도시한 바와 같이, 2개의 레시피의 다른 개소, 변경 날짜 등이 표시된다. 예를 들어, 도 16의 D5에 도시한 바와 같이, 과거의 변경이 있었던 개소의 데이터를 강조 표시해도 된다. 이에 의해, 선택된 2개의 레시피에 대한 비교 결과를 용이하게 시인할 수 있다. 예를 들어 선택된 2개의 레시피가 하나의 기판 처리 장치로부터 다른 기판 처리 장치로 카피한 레시피일 때, 레시피가 올바르게 카피되어 있는 것 등을 간단하게 확인할 수 있다. 예를 들어 차이가 표시된 경우, 올바르게 카피되어 있지 않다고 판정할 수 있다.For example, select two recipes as shown in the top to fourth columns on the right and left of the selection screen in Figure 15, and press button B5 for "Done". As a result, for the two selected recipes, as shown in FIG. 16, different locations of the two recipes, change dates, etc. are displayed. For example, as shown in D5 in FIG. 16, data at a location where there was a change in the past may be highlighted. As a result, the comparison results for the two selected recipes can be easily recognized. For example, when the two selected recipes are recipes copied from one substrate processing apparatus to another substrate processing apparatus, it is possible to easily check whether the recipes have been copied correctly. For example, if a difference is displayed, it may be determined that it has not been copied correctly.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 실시 형태의 레시피의 표시 방법 및 기판 처리 시스템에 의하면, 기판 처리 장치에서 사용하는 복수의 레시피의 비교 결과를 용이하게 시인할 수 있다.As described above, according to the recipe display method and substrate processing system of this embodiment, the comparison results of a plurality of recipes used in the substrate processing apparatus can be easily recognized.

금회 개시된 실시 형태에 관한 레시피의 표시 방법 및 기판 처리 시스템은, 모든 점에 있어서 예시이며 제한적인 것은 아니라고 생각되어야 한다. 실시 형태는, 첨부의 청구 범위 및 그 주지를 일탈하지 않고, 다양한 형태로 변형 및 개량이 가능하다. 상기 복수의 실시 형태에 기재된 사항은, 모순되지 않는 범위에서 다른 구성도 취할 수 있고, 또한, 모순되지 않는 범위에서 조합할 수 있다.The recipe display method and substrate processing system according to the presently disclosed embodiment should be considered as an example in all respects and not restrictive. The embodiments can be modified and improved in various forms without departing from the scope of the appended claims and the general spirit thereof. Matters described in the plurality of embodiments above can have other configurations within a range that is not contradictory, and can be combined within a range that is not conflict.

또한, 도 1의 기판 처리 시스템(100)은 일례이며, 용도나 목적에 따라서 다양한 기판 처리 시스템(100)의 구성예가 있는 것은 물론이다. 예를 들어, 도 1의 기판 처리 장치(120)의 개수 및 배치, 서버 장치(150)의 개수 및 배치는 일례이다.In addition, the substrate processing system 100 in FIG. 1 is an example, and of course, there are various configuration examples of the substrate processing system 100 depending on the use or purpose. For example, the number and arrangement of the substrate processing apparatus 120 and the number and arrangement of the server apparatus 150 in FIG. 1 are examples.

서버 장치(150)에는, 레시피의 비교 해석 및 표시용의 프로그램이 인스톨되고, 서버 장치(150)가 레시피의 비교 해석용의 프로그램을 실행함으로써, 도 4의 레시피의 표시 방법(처리)이 실행된다. 레시피의 비교 해석용의 프로그램은, 서버 장치(150) 내의 기억 영역 또는 그 밖의 기억 매체에 기억되어도 된다. 도 4의 레시피의 표시 방법(처리)은, 작업자 등의 선택 화면의 조작 등에 따라서 자동적으로 실행된다.A program for comparative analysis and display of recipes is installed in the server device 150, and the server device 150 executes the program for comparative analysis of recipes, thereby executing the recipe display method (processing) in FIG. 4. . The program for comparative analysis of recipes may be stored in a storage area within the server device 150 or another storage medium. The recipe display method (processing) in FIG. 4 is automatically executed according to the operation of the selection screen by the operator or the like.

Claims (11)

정보 처리 장치와 기판 처리 장치가 접속된 기판 처리 시스템에 있어서, 상기 기판 처리 장치에서 실행하는 기판의 처리에 사용하는 복수의 항목을 갖는 레시피의 표시 방법이며,
데이터 저장부에 보유된 복수의 상기 레시피로부터 기준이 되는 제1 레시피를 선택하는 공정과,
상기 복수의 레시피로부터 비교 대상이 되는 제2 레시피를 선택하는 공정과,
상기 제1 레시피와 상기 제2 레시피를 비교하고, 상기 복수의 항목으로부터, 상기 제1 레시피와 상기 제2 레시피의 차이가 있는 항목을 특정하는 공정과,
상기 제1 레시피에 설정된 데이터를 표시하고, 표시한 상기 제1 레시피의 데이터 중 상기 차이가 있는 항목에 대해서, 상기 차이를 시인할 수 있도록 상기 제2 레시피의 데이터를 상기 정보 처리 장치의 표시부에 표시하는 공정
을 갖는 레시피의 표시 방법.In a substrate processing system in which an information processing device and a substrate processing device are connected, a method of displaying a recipe having a plurality of items used for processing a substrate executed by the substrate processing device,
A process of selecting a first recipe as a standard from the plurality of recipes held in a data storage unit;
A process of selecting a second recipe to be compared from the plurality of recipes;
A process of comparing the first recipe and the second recipe and specifying, from the plurality of items, items in which there is a difference between the first recipe and the second recipe;
Displays the data set in the first recipe, and displays the data of the second recipe on the display unit of the information processing device so that the difference can be recognized for items with the difference among the displayed data of the first recipe. process
How to display a recipe with . 제1항에 있어서,
상기 복수의 항목은, 복수의 처리 스텝의 스텝 번호와, 복수의 프로세스 조건의 조건 항목을 포함하고,
상기 표시부에 표시하는 공정은,
상기 제1 레시피에 설정된 데이터를, 복수의 상기 스텝 번호와, 복수의 상기 조건 항목에 의해 매트릭스 형상의 표 형식으로, 상기 복수의 스텝 번호 및 상기 복수의 조건 항목과 함께 표시하고, 표시한 상기 복수의 조건 항목 중 상기 차이가 있다고 특정한 조건 항목에 대해서, 상기 제1 레시피의 데이터와 상기 제2 레시피의 데이터를 상기 표 형식에 있어서 나란히 표시하는, 레시피의 표시 방법.According to paragraph 1,
The plurality of items include step numbers of a plurality of processing steps and condition items of a plurality of process conditions,
The process of displaying on the display unit is,
The data set in the first recipe is displayed in a matrix-shaped table format using the plurality of step numbers and the plurality of condition items, and the plurality of displayed data is displayed together with the plurality of step numbers and the plurality of condition items. A method of displaying a recipe, wherein for condition items specified as having the difference among the condition items, the data of the first recipe and the data of the second recipe are displayed side by side in the table format. 제2항에 있어서,
상기 차이가 있다고 특정한 조건 항목에 대해서, 상기 제1 레시피의 데이터와 상기 제2 레시피의 데이터의 차이를 강조하여 표시하는, 레시피의 표시 방법.According to paragraph 2,
A recipe display method that highlights and displays the difference between the data of the first recipe and the data of the second recipe with respect to the condition item specified as having the difference. 제2항에 있어서,
상기 제2 레시피를 선택하는 공정은,
2개 이상의 상기 제2 레시피를 선택하고,
상기 차이가 있는 항목을 특정하는 공정은,
상기 제1 레시피와 2개 이상의 상기 제2 레시피를 비교하고, 상기 제1 레시피와 적어도 어느 것의 상기 제2 레시피와의 차이가 있는 조건 항목을 특정하고,
상기 표시부에 표시하는 공정은,
상기 차이가 있다고 특정한 조건 항목에 대해서, 상기 차이를 시인할 수 있도록 상기 제1 레시피의 데이터와 2개 이상의 상기 제2 레시피의 데이터를 상기 표 형식에 있어서 나란히 표시하는, 레시피의 표시 방법.According to paragraph 2,
The process of selecting the second recipe is,
Select two or more of the second recipes,
The process of specifying the items with the above differences is,
Comparing the first recipe and two or more second recipes, specifying condition items that are different between the first recipe and at least any of the second recipes,
The process of displaying on the display unit is,
A recipe display method wherein, for a condition item specified as having the difference, data of the first recipe and data of two or more second recipes are displayed side by side in the table format so that the difference can be recognized. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 레시피의 변경에 따라서, 변경된 레시피를 레시피의 변경 일시에 연관지어 상기 데이터 저장부에 축적하는 공정을 갖고,
상기 차이가 있는 항목을 특정하는 공정은,
상기 변경 일시가 다른 갱신된 동일한 레시피인 상기 제1 레시피와 상기 제2 레시피를 비교하고, 상기 동일한 레시피의 변경 이력이 있는 항목을 특정하는, 레시피의 표시 방법.According to any one of claims 1 to 4,
According to a change in the recipe, a process of accumulating the changed recipe in the data storage unit in association with the change date and time of the recipe,
The process of specifying the items with the above differences is,
A recipe display method that compares the first recipe and the second recipe, which are the same updated recipe with different change dates, and specifies an item with a change history of the same recipe. 제5항에 있어서,
상기 표시부에 표시하는 공정은,
상기 제1 레시피에 설정된 데이터를 표시하고, 표시한 상기 제1 레시피의 데이터 중 상기 변경 이력이 있는 항목에 대해서, 상기 제1 레시피의 데이터와, 상기 변경 일시를 포함하는 상기 제2 레시피의 데이터를 표시하는, 레시피의 표시 방법.According to clause 5,
The process of displaying on the display unit is,
Displays data set in the first recipe, and displays data of the first recipe and data of the second recipe including the change date and time for items with the change history among the displayed data of the first recipe. How to display a recipe. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 표시부의 화면은, 상기 복수의 레시피를 표시하는 제1 화면 영역과, 상기 제1 레시피에 설정된 데이터와, 표시한 상기 제1 레시피의 데이터 중 상기 차이가 있는 항목에 대한 상기 제2 레시피의 데이터를 표시하는 제2 화면 영역의 고정 영역이 설정되고,
상기 표시부에 표시하는 공정은,
상기 제2 화면 영역에, 상기 제1 레시피에 설정된 데이터와, 표시한 상기 제1 레시피의 데이터 중 상기 차이가 있는 항목에 대한 상기 제2 레시피의 데이터를 매트릭스 형상의 표 형식으로 표시하는, 레시피의 표시 방법.According to any one of claims 1 to 4,
The screen of the display unit includes a first screen area that displays the plurality of recipes, data set in the first recipe, and data of the second recipe for the item with the difference among the displayed data of the first recipe. A fixed area of the second screen area displaying is set,
The process of displaying on the display unit is,
In the second screen area, the data set in the first recipe and the data of the second recipe for the items with the difference among the displayed data of the first recipe are displayed in a matrix-shaped table format. How to display. 제7항에 있어서,
상기 표시부에 표시하는 공정은,
상기 제2 화면 영역의 스크롤바의 조작에 따라서, 상기 제2 화면 영역 내의 상기 제1 레시피의 데이터와 상기 제2 레시피의 데이터의 표시 화면을 스크롤하는, 레시피의 표시 방법.In clause 7,
The process of displaying on the display unit is,
A recipe display method that scrolls a display screen of the data of the first recipe and the data of the second recipe in the second screen area in accordance with the operation of the scroll bar of the second screen area. 제7항에 있어서,
상기 복수의 항목 중, 상기 제2 화면 영역에 매트릭스 형상의 표 형식으로 표시된 항목으로부터 비표시로 하는 항목을 선택하는 공정과,
상기 표시부에 표시하는 공정은,
상기 제2 화면 영역에 표시된 항목으로부터 비표시로 하는 항목을 제외하고, 상기 제1 레시피의 데이터와 상기 제2 레시피의 데이터를 상기 표 형식으로 표시하는, 레시피의 표시 방법.In clause 7,
A step of selecting an item to be hidden from among the plurality of items displayed in a matrix-like table format in the second screen area;
The process of displaying on the display unit is,
A recipe display method, wherein the data of the first recipe and the data of the second recipe are displayed in the table format, excluding items to be hidden from the items displayed in the second screen area. 제7항에 있어서,
갱신된 최신의 레시피 이외를 비표시로 하는 선택을 접수하는 공정을 갖고,
상기 표시부에 표시하는 공정은,
상기 제1 화면 영역에 표시된 복수의 레시피 중, 갱신된 동일 레시피로부터, 레시피에 연관된 변경 일시가 최신의 레시피 이외의 동일 레시피를 제외하고 표시하는, 레시피의 표시 방법.In clause 7,
Have a process for accepting the choice to not display recipes other than the updated and latest recipes,
The process of displaying on the display unit is,
A method of displaying a recipe, wherein among a plurality of recipes displayed in the first screen area, from updated identical recipes, the change date associated with the recipe is displayed excluding identical recipes other than the latest recipe. 정보 처리 장치와 기판 처리 장치가 접속된 기판 처리 시스템이며,
상기 정보 처리 장치는,
복수의 항목을 갖는 레시피를 보유한 데이터 저장부를 구비하고,
상기 데이터 저장부에 보유된 복수의 상기 레시피로부터 기준이 되는 제1 레시피를 선택하는 공정과,
상기 복수의 레시피로부터 비교 대상이 되는 제2 레시피를 선택하는 공정과,
상기 제1 레시피와 상기 제2 레시피를 비교하고, 상기 복수의 항목으로부터, 상기 제1 레시피와 상기 제2 레시피의 차이가 있는 항목을 특정하는 공정과,
상기 제1 레시피에 설정된 데이터를 표시하고, 표시한 상기 제1 레시피의 데이터 중 상기 차이가 있는 항목에 대해서, 상기 차이를 시인할 수 있도록 상기 제2 레시피의 데이터를 상기 정보 처리 장치의 표시부에 표시하는 공정
을 포함하는 레시피의 표시 방법을 제어하는 기판 처리 시스템.
It is a substrate processing system in which an information processing device and a substrate processing device are connected,
The information processing device,
It has a data storage unit holding a recipe having a plurality of items,
A process of selecting a first recipe as a standard from the plurality of recipes held in the data storage unit;
A process of selecting a second recipe to be compared from the plurality of recipes;
A process of comparing the first recipe and the second recipe and specifying, from the plurality of items, items in which there is a difference between the first recipe and the second recipe;
Displays the data set in the first recipe, and displays the data of the second recipe on the display unit of the information processing device so that the difference can be recognized for items with the difference among the displayed data of the first recipe. process
A substrate processing system that controls how a recipe containing a display method is displayed.
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