KR20230143056A - 이송 챔버 및 기판 처리 모듈 - Google Patents

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KR20230143056A
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transfer chamber
frame
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substrate processing
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박시현
박인황
장준환
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명의 일 관점에 따른 이송 챔버는, 기판이 반송되기 전에 머무르는 공간을 제공하는 버퍼 유닛 및 기판 처리 공정을 수행하는 공간을 제공하는 공정 챔버 사이에 배치되어 기판을 이송하는 이송 챔버로서, 상기 이송 챔버는, 상기 버퍼 유닛과 상기 공정 챔버 간에, 또는 상기 공정 챔버들 간에 기판을 반송하는 메인 로봇; 상기 메인 로봇과 연결되어 상기 메인 로봇을 이동시키는 가이드 레일; 및 상기 이송 챔버의 메인 로봇과 상기 가이드 레일이 동작하는 공간을 정의하는 프레임;을 포함하고, 상기 프레임에 복수의 폐쇄부가 연결되며, 상기 폐쇄부는 상기 프레임이 형성하는 복수의 개구 영역을 폐쇄한다.

Description

이송 챔버 및 기판 처리 모듈 {Transfer chamber and substrate process module}
본 발명은 반도체 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 이송 챔버 및 기판 처리 모듈에 관한 것이다.
반도체 소자의 제조를 위해서 기판에 포토리소그래피, 식각, 애싱, 이온주입, 증착, 세정 등의 다양한 공정들이 수행되며, 이를 위한 다양한 기판 처리 장치가 사용되고 있다. 반도체 소자가 고성능화 됨에 따라 회로 패턴은 더욱 미세화, 고밀도화 되며, 기판 표면에 잔류하는 미세 입자, 유기물, 금속물 등의 오염 물질들은 반도체 소자의 특성과 생산 수율에 중요한 영향을 미칠 수 있다.
이에 따라, 기판이 이송되는 공간은 청정한 공정 분위기를 유지해야 하며, 기판이 처리되는 공간은 일정한 공정 분위기를 유지해야 한다. 공정 분위기는 기판 처리 공간에 약액 및 공정 가스의 공급 및 배출의 제어에 의해 유지된다. 하지만, 기판 처리 장치에 공급된 약액, 공정 가스의 양이 과다하여 외부로 누출되는 경우, 배기 라인이 공정 부산물에 의해 막히는 경우, 배기 라인에서 적절한 기류가 형성되지 못하는 경우 등의 비상 상황시에 기판 처리 장치의 외부로 약액, 공정 가스와 같은 오염 물질이 유출되는 문제가 발생할 수 있다. 이 오염 물질은 기판 처리 공간에 연결되는 기판 이송 챔버로 유입된 후 이송 챔버와 연결된 버퍼 챔버 및 인덱스 모듈을 따라 이동하여 기판 처리 설비 전체, 기판 처리 설비 외부, 또는 기판 처리 설비의 주변부를 오염시키게 될 수 있다. 이에, 기판 처리 장치에서 유출된 오염 물질이 기판 처리 설비 전체, 기판 처리 설비 외부, 또는 기판 처리 설비의 주변부 등으로 누설되지 않게 하는 기술이 필수로 요구된다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판 처리 장치로부터 이송 챔버, 또는 이송 챔버 외부로 오염 물질이 누설되는 것을 방지하는 이송 챔버 및 기판 처리 모듈을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 비상 상황 발생시 버퍼 유닛과의 경로를 폐쇄함에 따라 기판 처리 설비 전체, 기판 처리 설비 외부, 또는 기판 처리 설비의 주변부 등으로 오염 물질이 확산되는 것을 방지하는 이송 챔버 및 기판 처리 모듈을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 오염 물질이 누설되는 것을 방지하여 기판 처리 장치의 외부에 있는 설비 및 사용자를 보호하는 이송 챔버 및 기판 처리 모듈을 제공하는 것을 목적으로 한다.
그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 일 관점에 따른 이송 챔버는, 기판이 반송되기 전에 머무르는 공간을 제공하는 버퍼 유닛 및 기판 처리 공정을 수행하는 공간을 제공하는 공정 챔버 사이에 배치되어 기판을 이송하는 이송 챔버로서, 상기 이송 챔버는, 상기 버퍼 유닛과 상기 공정 챔버 간에, 또는 상기 공정 챔버들 간에 기판을 반송하는 메인 로봇; 상기 메인 로봇과 연결되어 상기 메인 로봇을 이동시키는 가이드 레일; 및 상기 이송 챔버의 메인 로봇과 상기 가이드 레일이 동작하는 공간을 정의하는 프레임;을 포함하고, 상기 프레임에 복수의 폐쇄부가 연결되며, 상기 폐쇄부는 상기 프레임이 형성하는 복수의 개구 영역을 폐쇄할 수 있다.
상기 이송 챔버에 따르면, 상기 프레임은, 제1 방향으로 연장되는 복수의 제1 프레임; 상기 제1 방향에 수직하는 제2 방향으로 연장되는 복수의 제2 프레임; 및 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 형성하는 수평면에 수직한 제3 방향으로 연장되는 복수의 제3 프레임; 을 포함하고, 복수의 상기 제1 프레임, 상기 제2 프레임, 상기 제3 프레임의 조합으로 상기 개구 영역이 형성될 수 있다.
상기 이송 챔버에 따르면, 상기 폐쇄부는, 상기 버퍼 유닛과 상기 이송 챔버를 연결하는 통로인 제1 연결 개구부; 및 상기 공정 챔버와 상기 이송 챔버를 연결하는 통로인 제2 연결 개구부를 제외한 상기 개구 영역을 폐쇄할 수 있다.
상기 이송 챔버에 따르면, 상기 버퍼 유닛과 연결되는 측면 상에 상하 이동가능하게 설치되고, 상기 제1 연결 개구부를 개폐하는 버퍼 도어부를 포함할 수 있다.
상기 이송 챔버에 따르면, 상기 이송 챔버의 내부로부터 상기 제1 연결 개구부로 유출되는 가스를 센싱하는 가스 센싱부를 더 포함할 수 있다.
상기 이송 챔버에 따르면, 상기 제2 연결 개구부는 상기 공정 챔버의 기판 이동 경로를 개폐하는 셔터부에 대향하도록 형성될 수 있다.
상기 이송 챔버에 따르면, 상기 폐쇄부는, 상기 프레임이 형성하는 상기 개구 영역의 테두리를 따라 설치되는 서포트부; 상기 서포트부에 연결되는 커버부;를 포함할 수 있다.
상기 이송 챔버에 따르면, 상기 서포트부와 상기 커버부 사이에 오링(o-ring)이 개재될 수 있다.
상기 이송 챔버에 따르면, 상기 폐쇄부는 몰딩 접착제를 개재하여 상기 프레임에 접합될 수 있다.
상기 이송 챔버에 따르면, 상기 프레임과 상기 폐쇄부의 접합 부분에 분체 도장부가 더 형성될 수 있다.
상기 이송 챔버에 따르면, 상기 이송 챔버의 상부에 기류 공급부가 설치되고, 상기 기류 공급부는 상기 이송 챔버의 내부 공간에 하강 기류를 형성할 수 있다.
상기 이송 챔버에 따르면, 상기 이송 챔버의 하부에 상기 하강 기류를 외부로 배기하는 배기부가 형성될 수 있다.
상기 이송 챔버에 따르면, 상기 이송 챔버의 하부에 배치된 상기 폐쇄부에 상기 배기부와 연통하는 배기홀이 형성될 수 있다.
본 발명의 다른 관점에 따른 기판 처리 모듈은, 외부로부터 이송 챔버로 기판이 반송되거나, 상기 이송 챔버로부터 외부로 기판이 반송되기 전에 머무르는 공간을 제공하는 버퍼 유닛; 상기 버퍼 유닛과 공정 챔버 사이에 배치되고, 상기 버퍼 유닛과 상기 공정 챔버 간에, 또는 상기 공정 챔버들 간에 기판을 반송하는 이송 챔버; 및 기판에 대해 공정을 수행하는 공정 챔버;를 포함하는 기판 처리 모듈로서, 상기 이송 챔버는, 상기 버퍼 유닛과 상기 공정 챔버 간에, 또는 상기 공정 챔버들 간에 기판을 반송하는 메인 로봇; 상기 메인 로봇과 연결되어 상기 메인 로봇을 이동시키는 가이드 레일; 및 상기 이송 챔버의 메인 로봇과 상기 가이드 레일이 동작하는 공간을 정의하는 프레임;을 포함하고, 상기 프레임에 복수의 폐쇄부가 연결되며, 상기 폐쇄부는 상기 프레임이 형성하는 복수의 개구 영역을 폐쇄할 수 있다.
상기 기판 처리 모듈에 따르면, 상기 프레임은, 제1 방향으로 연장되는 복수의 제1 프레임; 상기 제1 방향에 수직하는 제2 방향으로 연장되는 복수의 제2 프레임; 및 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 형성하는 수평면에 수직한 제3 방향으로 연장되는 복수의 제3 프레임;을 포함하고, 복수의 상기 제1 프레임, 상기 제2 프레임, 상기 제3 프레임의 조합으로 상기 개구 영역이 형성될 수 있다.
상기 기판 처리 모듈에 따르면, 상기 폐쇄부는, 상기 버퍼 유닛과 상기 이송 챔버를 연결하는 통로인 제1 연결 개구부; 및 상기 공정 챔버와 상기 이송 챔버를 연결하는 통로인 제2 연결 개구부를 제외한 상기 개구 영역을 폐쇄할 수 있다.
상기 기판 처리 모듈에 따르면, 상기 버퍼 유닛과 연결되는 측면 상에 상하 이동가능하게 설치되고, 상기 제1 연결 개구부를 개폐하는 버퍼 도어부를 포함할 수 있다.
상기 기판 처리 모듈에 따르면, 상기 제2 연결 개구부는 상기 공정 챔버의 기판 이동 경로를 개폐하는 셔터부에 대향하도록 형성될 수 있다.
상기 기판 처리 모듈에 따르면, 상기 이송 챔버의 상부에 기류 공급부가 설치되고, 상기 기류 공급부는 상기 이송 챔버의 내부 공간에 하강 기류를 형성하며, 상기 이송 챔버의 하부에 상기 하강 기류를 외부로 배기하는 배기부가 형성될 수 있다.
본 발명의 또 다른 관점에 따른 기판 처리 모듈은, 외부로부터 이송 챔버로 기판이 반송되거나, 상기 이송 챔버로부터 외부로 기판이 반송되기 전에 머무르는 공간을 제공하는 버퍼 유닛; 상기 버퍼 유닛과 공정 챔버 사이에 배치되고, 상기 버퍼 유닛과 상기 공정 챔버 간에, 또는 상기 공정 챔버들 간에 기판을 반송하는 이송 챔버; 및 기판에 대해 공정을 수행하는 공정 챔버;를 포함하는 기판 처리 모듈로서, 상기 이송 챔버는, 상기 버퍼 유닛과 상기 공정 챔버 간에, 또는 상기 공정 챔버들 간에 기판을 반송하는 메인 로봇; 상기 메인 로봇과 연결되어 상기 메인 로봇을 이동시키는 가이드 레일; 및 상기 이송 챔버의 메인 로봇과 상기 가이드 레일이 동작하는 공간을 정의하는 프레임;을 포함하고, 상기 프레임에 복수의 폐쇄부가 연결되며, 상기 폐쇄부는 상기 프레임이 형성하는 복수의 개구 영역을 폐쇄하되, 상기 버퍼 유닛과 상기 이송 챔버를 연결하는 통로인 제1 연결 개구부; 및 상기 공정 챔버와 상기 이송 챔버를 연결하는 통로인 제2 연결 개구부를 제외한 상기 개구 영역을 폐쇄하며, 상기 버퍼 유닛과 연결되는 측면 상에 상하 이동가능하게 설치되고, 상기 제1 연결 개구부를 개폐하는 버퍼 도어부를 더 포함하며, 상기 제2 연결 개구부는 상기 공정 챔버의 기판 이동 경로를 개폐하는 셔터부에 대향하도록 형성되고, 비상 상황시, 상기 버퍼 도어부는 상기 제1 연결 개구부를 폐쇄하고, 상기 셔터부는 상기 제2 연결 개구부를 폐쇄하며, 상기 폐쇄부는 상기 복수의 개구 영역을 폐쇄함으로써, 상기 이송 챔버의 외부로 가스의 유출을 방지할 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판 처리 장치로부터 이송 챔버, 또는 이송 챔버 외부로 오염 물질이 누설되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 비상 상황 발생시 버퍼 유닛과의 경로를 폐쇄함에 따라 기판 처리 설비 전체, 기판 처리 설비 외부, 또는 기판 처리 설비의 주변부 등으로 오염 물질이 확산되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 오염 물질이 누설되는 것을 방지하여 기판 처리 장치의 외부에 있는 설비 및 사용자를 보호할 수 있는 효과가 있다.
물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비를 보여주는 개략적인 평면도이다.
도 2는 종래의 기판 처리 설비의 개방된 영역을 보여주는 개략적인 평면도이다.
도 3은 종래의 이송 챔버 및 기판 처리 장치가 연결되는 프레임을 보여주는 개략적인 사시도이다.
도 4는 종래의 이송 챔버 및 기판 처리 장치가 연결된 상태를 보여주는 개략적인 사시도이다.
도 5는 종래의 이송 챔버 내에서의 기류 이동을 보여주는 개략적인 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비의 폐쇄된 영역을 보여주는 개략적인 평면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 폐쇄부가 형성된 이송 챔버 및 기판 처리 장치가 연결된 상태를 보여주는 개략적인 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 챔버 내에서의 기류 이동을 보여주는 개략적인 단면도이다.
도 9 및 도 10은 본 발명의 여러 실시예에 따른 폐쇄부의 설치 형태를 보여주는 개략적인 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비(10)를 보여주는 개략적인 평면도이다.
도 1을 참조하면, 기판 처리 설비(10)는 인덱스 모듈(100), 기판 처리 모듈(200)을 포함한다. 인덱스 모듈(100)은 로드 포트(120), 이송 프레임(140)을 포함한다. 로드 포트(120), 이송 프레임(140), 및 기판 처리 모듈(200)은 순차적으로 배열될 수 있다. 본 명세서에서, 로드 포트(120), 이송 프레임(140) 및 기판 처리 모듈(200)이 배열된 방향을 제1 방향(12)(또는, x축 방향), 상부에서 볼 때 제1 방향(12)과 수직한 방향을 제2 방향(14)(또는, y축 방향), 제1, 2 방향(12, 14)을 포함한 평면(xy 평면)과 수직한 방향을 제3 방향(16)(또는, z축 방향)이라 지칭한다.
로드 포트(120)에는 기판(W)이 수납된 캐리어(130)가 안착된다. 복수의 로드 포트(120)는 제2 방향(14)을 따라 배치될 수 있다. 로드 포트(120)의 개수는 기판 처리 모듈(200)의 공정 효율, 생산 효율 등에 따라 증감할 수 있다. 캐리어(130)는 FOUP(Front Opening Unified Pod)이 사용될 수 있고, 캐리어(130) 내부에는 복수의 기판(W)들을 수평하게 수납하기 위한 슬롯이 형성될 수 있다.
기판 처리 모듈(200)은 버퍼 유닛(220), 이송 챔버(240), 공정 챔버(260)를 포함한다. 이송 챔버(240)는 제1 방향(12)에 평행하게 연장 형성되고, 길이 방향의 양측에 공정 챔버(260)들이 배치될 수 있다. 또한, 공정 챔버(260)들 중 일부는 적층되게 배치될 수 있다. 한편, 공정 챔버(260)들은 이송 챔버(240)의 일측에만 배치될 수도 있다.
버퍼 유닛(220)은 이송 프레임(140)과 이송 챔버(240) 사이에 배치되고, 이송 프레임(140)과 이송 챔버(240) 간에 기판(W)이 반송되기 전에 머무르는 공간을 제공한다. 버퍼 유닛(220) 내부에는 기판(W)이 배치되는 슬롯이 형성된다. 버퍼 유닛(220)은 이송 프레임(140) 및 이송 챔버(240)와 개방되게 형성될 수 있다.
이송 프레임(140)은 캐리어(130)와 버퍼 유닛(220) 간에 기판(W)을 반송할 수 있다. 이송 프레임(140)에는 인덱스 레일(142) 및 인덱스 로봇(144)이 제공된다. 인덱스 레일(142)은 제2 방향(14)에 평행하게 연장 형성되고, 인덱스 로봇이(144)이 설치되어 제2 방향(14)을 따라 이동될 수 있다. 인덱스 로봇(144)은 베이스(144a), 몸체(144b), 인덱스암(144c)을 포함한다. 베이스(144a)는 인덱스 레일(142)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(144b)는 베이스(144a)에 결합되고, 베이스(144a) 상에서 제3 방향(16)을 따라 이동가능하고 회전가능하게 설치된다. 인덱스암(144c)은 몸체(144b)에 결합되고, 몸체(144b)에 대해 전진 및 후진 가능하도록 제공된다. 인덱스암(144c)은 복수가 제공되어 각각 개별 구동될 수 있다. 각각의 인덱스암(144c)은 캐리어(130)에서 기판 처리 모듈(200), 또는 기판 처리 모듈(200)에서 캐리어(130)로 기판(W)을 반송시 사용될 수 있다.
이송 챔버(240)는 버퍼 유닛(220)과 공정 챔버(260) 간에, 또는 공정 챔버(260)들 간에 기판(W)을 반송한다. 이송 챔버(240)에는 가이드 레일(242)과 메인 로봇(244)이 제공된다. 가이드 레일(242)은 제1 방향(12)에 평행하게 연장 형성되고, 메인 로봇(244)이 설치되어 제1 방향(12)을 따라 이동될 수 있다. 메인 로봇(244)은 베이스(244a), 몸체(244b), 메인암(244c)을 포함한다. 베이스(244a)는 가이드 레일(242)을 따라 이동 가능하도록 설치된다. 몸체(244b)는 베이스(244a)에 결합되고, 베이스(244a) 상에서 제3 방향(16)을 따라 이동가능하고 회전가능하게 설치된다. 메인암(244c)은 몸체(244b)에 결합되고, 몸체(244b)에 대해 전진 및 후진 가능하도록 제공된다. 메인암(244c)은 복수가 제공되어 각각 개별 구동될 수 있다.
공정 챔버(260)에는 기판(W)에 대해 공정을 수행하는 기판 처리 장치(400)[도 4 참조]가 제공된다. 기판 처리 장치(400)는 수행하는 공정에 따라 상이한 구조를 가질 수 있다. 한편, 각각의 공정 챔버(260) 내의 기판 처리 장치(400)는 동일한 구조를 가질 수 있고, 동일한 그룹에 속하는 공정 챔버(260) 내의 기판 처리 장치(400)는 동일한 구조를 가질 수도 있다.
기판 처리 장치(400)는 기판(W)을 액 처리하는 세정 공정을 수행할 수 있다. 또한, 기판 처리 장치(400)는 기판(W)을 가열 처리하는 가열 공정을 수행할 수 있다. 기판 처리 장치(400)는 이에 제한되지 않고 식각 장치, 포토리소그래피 장치 등도 적용 가능함을 밝혀둔다.
도 2는 종래의 기판 처리 설비(10)의 개방된 영역을 보여주는 개략적인 평면도이다. 도 3은 종래의 이송 챔버(300) 및 기판 처리 장치(400)가 연결되는 프레임(310)을 보여주는 개략적인 사시도이다. 도 4는 종래의 이송 챔버(300) 및 기판 처리 장치(400)가 연결된 상태를 보여주는 개략적인 사시도이다. 도 5는 종래의 이송 챔버(300) 내에서의 기류 이동을 보여주는 개략적인 단면도이다. 도 2 이하에서, 도 1의 이송 챔버(240)는 이송 챔버(300)와, 공정 챔버(260)은 기판 처리 장치(400)와 혼용될 수 있다.
도 2를 참조하면, 기판 처리 설비(10) 내에서 이송 프레임(140), 버퍼 유닛(220), 이송 챔버(240) 및 공정 챔버(260)는 기판이 이동하는 경로를 따라 상호 개방되도록 연결된다. 즉, 이송 프레임(140), 버퍼 유닛(220), 이송 챔버(240) 및 공정 챔버(260)는 상호 완전 밀폐되지는 않게 연결된다. 도 2에서 점선으로 표시된 영역은 상호 완전히 밀폐되지 않는 영역이다.
버퍼 유닛(220)은 개방되어 있으므로, 버퍼 유닛(220)과 이송 프레임(140)이 접하는 영역(BR) 및 버퍼 유닛(220)과 이송 챔버(240)가 접하는 영역(BR)은 개방된다. 이송 챔버(240)와 공정 챔버(260)가 접하는 영역(IR)도 개방된다. 여기서 영역(IR)의 개방은 공정 챔버(260)의 외부면[도 4의 하우징(410) 외부면]과 이송 챔버(240)가 접하는 영역(IR)이 개방된 상태로 막힘이 없다는 의미이며, 공정 챔버(260)의 내부 공간이 개방된 상태로 이송 챔버(240)와 접하는 영역(IR)이 개방된 상태인 것은 아니다. 공정 챔버(260)는 셔터부[도 4의 셔터부(415) 참조]를 통해 내부 공간이 개폐 가능하다. 공정 챔버(260)의 외측 영역(OR)도 개방된다. 공정 챔버(260)의 외부면[도 4의 하우징(410) 외부면]을 커버하는 별도의 구성이 없으므로, 공정 챔버(260)의 외측 영역(OR)은 개방된다.
도 3을 참조하면, 종래의 이송 챔버(300)는 이송 챔버(300)의 공간(301)을 정의하고 외곽틀을 구성하는 프레임(310)을 포함한다. 도 1에서 상술한 바와 같이, 프레임(310)의 내부 공간(301)에는 가이드 레일(242)과 메인 로봇(244)이 제공된다. 도 3 이하에서는 설명의 편의상 가이드 레일(242)과 메인 로봇(244)의 도시는 생략한다.
프레임(310)은 복수의 제1 프레임(311, 312), 제2 프레임(313, 314), 제3 프레임(315, 316)을 포함할 수 있다. 제1 프레임(311, 312)은 제1 방향(12)으로 연장되고, 제2 프레임(313, 314)은 제2 방향(14)으로 연장되며, 제3 프레임(315, 316)은 제3 방향(16)으로 연장될 수 있다. 제1, 2, 3 프레임(311~316)들이 상호 연결된 조합으로 프레임(310)을 구성할 수 있다. 프레임(310)은 대략 직육면체 형상으로 연결되어 이송 챔버(300)의 공간(301)을 정의할 수 있다. 프레임(310)의 보강 및 공간을 분할하기 위한 보조 프레임(317)들이 더 연결될 수 있다.
예를 들어, 프레임(310)의 상부 테두리는 한 쌍의 제1 프레임(311: 311a, 311b)이 배치되고, 제1 프레임(311: 311, 311b)의 양단에 한 쌍의 제2 프레임(313: 313a. 313b)이 연결됨에 따라 구성될 수 있다. 프레임(310)의 하부 테두리는 한 쌍의 제1 프레임(312: 312a, 312b)이 배치되고, 제1 프레임(312: 312, 312b)의 양단에 한 쌍의 제2 프레임(314: 314a. 314b)이 연결됨에 따라 구성될 수 있다. 프레임(310)의 좌측부 테두리는 한 쌍의 제3 프레임(315: 315a, 315b)이 한 쌍의 제2 프레임(313a, 314a)에 연결되고, 우측부 테두리는 한 쌍의 제3 프레임(316: 316a, 316b)이 한 쌍의 제2 프레임(313b, 314b)에 연결됨에 따라 구성될 수 있다.
프레임(310)의 좌측부(320)는 폐쇄된 면 구조일 수 있다. 다만, 좌측부(320) 상에는 버퍼 유닛(220)과 이송 챔버(300)를 연결하는 통로로서 제1 연결 개구부(321)가 형성될 수 있다.
프레임(310)의 후측부에는 지지 프레임(330)이 연결될 수 있다. 도 3에서는 설명의 편의상 프레임(310)의 전측부에 지지 프레임(330)이 연결된 상태를 생략하나, 전측부 및/또는 후측부에 지지 프레임(330)이 연결될 수 있는 것으로 이해될 수 있다. 지지 프레임(330)에 기판 처리 장치(400)[또는, 공정 챔버(260)가 설치되고 지지될 수 있다. 지지 프레임(330)은 제1 방향(12)으로 연장되는 제1 지지 프레임(331), 제2 방향(14)으로 연장되는 제2 지지 프레임(333), 제3 방향(16)으로 연장되는 제3 지지 프레임(335)의 조합으로 구성될 수 있다.
상호 이웃하는 한 쌍의 지지 프레임(330-1, 330-2, 330-3, 330-4) 사이에는 기판 처리 장치(400)[또는, 공정 챔버(260)]가 설치될 수 있는 공간(PC)이 제공된다. 도 4에는 기판 처리 장치(400)가 지지 프레임(330-1, 330-2)(330-3, 330-4) 사이의 공간(PC)에 진입하여 설치된 형태가 도시된다. 세 개의 기판 처리 장치(400)가 수직 적층된 형태로 지지 프레임(330)에 설치된 것이 예시되나, 기판 처리 장치(400)의 개수, 위치, 적층 간격 등은 변경될 수 있다.
기판 처리 장치(400)는 기판을 처리하는 공간(412)을 제공하는 하우징(410)을 포함한다. 하우징(410)의 일측에 개구(411)가 형성되어 기판이 반출입되는 통로로 사용될 수 있다. 개구(411)에는 셔터부(415) 또는 도어부가 설치되어 개구(411)를 개폐할 수 있다. 기판 처리 공정시에 개구(411)가 차단되어 하우징(410)의 내부 공간(412)이 밀폐된다. 일 예로, 기판 처리 장치(400)가 세정 장치인 경우, 내부 공간(412)에는 바울(bowl)과 같은 처리 용기, 처리 용기의 승강부, 기판 지지대, 액 토출부 등이 배치될 수 있다. 다른 예로, 기판 처리 장치(400)가 가열 장치인 경우, 내부 공간(412)에는 기판 지지대, 히터 등이 배치될 수 있다.
프레임(310) 및 지지 프레임(330)들은 복수의 개구 영역을 형성한다. 즉, 프레임(310)은 뼈대를 구성하므로 면 부분은 뚫린 상태로 복수의 개구 영역을 형성할 수 있다. 프레임(310) 및 지지 프레임(330)의 개구 영역이 도 2에서 상술한 개방되는 영역에 대응할 수 있다. 또한, 개구 영역은 가스가 통과 가능한 영역으로 이해될 수 있다. 구체적으로, 제1 방향(12, x축 방향)을 좌우 방향으로 상정하면, 프레임(310)의 상부, 하부, 우측부는 프레임(310)만 존재하여 복수의 개구 영역을 형성한다. 프레임(310)의 전측부 및 후측부의 일부는 프레임(310)만 존재하여 복수의 개구 영역을 형성하고, 나머지 일부는 기판 처리 장치(400)들을 배치하나 기판 처리 장치(400)와 프레임(310)의 연결 부위가 완전히 실링/밀폐된 상태는 아니므로 복수의 개구 영역을 형성하는 것으로 이해될 수 있다. 프레임(310)의 좌측부(320)는 폐쇄된 면 구조이나, 버퍼 유닛(220)과 이송 챔버(300)를 연결하는 통로로서 제1 연결 개구부(321)가 형성되므로, 제1 연결 개구부(310)가 개구 영역으로 작용할 수 있다.
비상 상황 발생시, 이러한 개구 영역을 통해 기판 처리 장치(400)로부터 오염 물질, 유해 물질, 공정 부산물 등이 이송 챔버(300)의 내부 공간(301)으로 누출될 수 있다. 비상 상황은 기판 처리 장치(400)와 이송 챔버(300)[또는, 프레임(310)]가 연결된 공간 내에 오염 물질이 잔존하는 상황에 대응할 수 있다. 즉, 기판 처리 장치(400) 내 오염 물질이 모두 배기되지 못하고 잔존하는 상황에 대응할 수 있다.
일반적으로 기판 처리 장치(400)의 배기 라인(미도시)을 통해 오염 물질, 공정 부산물 등이 배기된 후 기판 처리 장치(400)의 셔터부(415)가 개방되므로, 기판 처리 장치(400)와 이송 챔버(300)[또는, 프레임(310)]이 연결된 공간 내에는 오염 물질이 잔존하지 않게 마련이다. 하지만, 기판 처리 장치(400)에 공급된 약액, 공정 가스의 양이 과다하여 배기 라인(미도시)을 통해 모두 배출되지 못한 상태에서 셔터부(415)가 개방되는 경우, 배기 라인이 공정 부산물에 의해 막히거나 배기 라인에서 적절한 기류가 형성되지 못하는 경우, 하우징(410)의 틈새 또는 개구(411)로 누출되는 경우, 기판 처리 장치(400)의 파손으로 틈이 발생한 경우 등의 비상 상황시에 기판 처리 장치(400)와 이송 챔버(300)[또는, 프레임(310)]이 연결된 공간 내에 오염 물질이 잔존하게 될 수 있다. 이 오염 물질은 이송 챔버(300)로 유입된 후 이송 챔버(300)[또는, 이송 챔버(240)]와 연결된 버퍼 유닛(220) 및 인덱스 모듈(100)을 따라 이동하여 기판 처리 설비(10) 전체를 오염시키게 될 수 있다. 게다가 기판 처리 설비(10)의 외부나 주변부로 오염 물질이 확산될 수도 있다.
도 5를 참조하면, 이송 챔버(300)의 상부에는 기류 공급부(340)가 설치될 수 있다. 기류 공급부(340)는 하강 기류(AF)를 형성한다. 다만, 프레임(310)에 복수의 개구 영역이 형성되어 있으므로, 기류(AF)는 개구 영역을 통해 프레임(310)의 하부(AF'), 측부(AF")로 빠져나간다. 빠져나간 기류(AF', AF")들은 이송 챔버(300) 외부에 있는 기판 처리 설비(10)의 요소들로 유출된다. 만약, 기판 처리 장치(400)에서 오염 물질이 이송 챔버(300)의 내부 공간(301)으로 누출되면, 이 오염 물질들은 기류(AF', AF") 방향을 따라 이동하여 버퍼 유닛(220), 인덱스 모듈(100) 등의 기판 처리 설비(10)의 요소들을 오염시킬 위험이 있다.
따라서, 본 발명의 이송 챔버(300) 및 기판 처리 모듈(200)은 프레임(310)에 폐쇄부(350)가 연결되어 복수의 개구 영역들이 폐쇄된 것을 특징으로 한다. 개구 영역들이 폐쇄되므로, 오염 물질이 기판 처리 장치(400)에서 이송 챔버(300)로 유출되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 오염 물질이 이송 챔버(300)로 유출되더라도, 이송 챔버(300) 외의 버퍼 유닛(220), 인덱스 모듈(100) 등의 기판 처리 설비(10)의 요소에는 오염 물질이 누설되지 않게 폐쇄 경로를 구성할 수 있다. 이송 챔버(300) 내에 유출된 오염 물질은 이송 챔버(300) 자체에서 기판 처리 설비(10)의 외부로 배기될 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 설비(10)의 폐쇄된 영역을 보여주는 개략적인 평면도이다. 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 폐쇄부(350)가 형성된 이송 챔버(300) 및 기판 처리 장치(400)가 연결된 상태를 보여주는 개략적인 사시도이다. 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 챔버(300) 내에서의 기류(AF) 이동을 보여주는 개략적인 단면도이다. 이하에서는, 도 2 내지 도 5에서 상술한 구성과 동일한 구성에 대해서는 구체적인 설명을 생략하고 차이점만 설명한다.
도 6을 참조하면, 기판 처리 설비(10) 내에서 이송 프레임(140), 버퍼 유닛(220), 이송 챔버(240) 및 공정 챔버(260)는 기판이 이동하는 경로를 따라 상호 개방되도록 연결되나, 비상 상황 시에는 상호 완전히 밀폐될 수 있다. 도 6에서 굵은 실선으로 표시된 영역은 상호 밀폐되는 영역이다.
버퍼 유닛(220)과 이송 프레임(140)이 접하는 개구 영역(BR) 및 버퍼 유닛(220)과 이송 챔버(240)가 접하는 개구 영역(BR)은 개방되어 있으나, 후술할 버퍼 도어부(360)[도 7 참조]에 의해 밀폐 가능하다. 이송 챔버(240)와 공정 챔버(260)가 접하는 개구 영역(IR)에서 공정 챔버(260)[기판 처리 장치(400)]의 셔터부[도 7의 셔터부(415) 참조]를 통해 개폐 가능한 부분 외에 나머지 부분은 폐쇄부(350: 351)에 의해 밀폐 가능하다. 공정 챔버(260)[기판 처리 장치(400)]의 내부 공간은 셔터부(415)에 의해 밀폐 가능하다. 공정 챔버(260)[기판 처리 장치(400)]의 외측 개구 영역(CR)은 폐쇄부(350: 352)에 의해 밀폐 가능하다.
도 7을 참조하면, 프레임(310)[및 지지 프레임(330)]에 복수의 폐쇄부(350: 351, 352, 353, 354, 355)가 연결된다. 폐쇄부(350)는 판 형상으로서 프레임(310)[및 지지 프레임(330)]의 개구 영역을 폐쇄할 수 있도록 제공된다. 개구 영역의 형상에 따라 폐쇄부(350)의 형상은 사각형, 다각형 등일 수 있다.
제1 폐쇄부(351)는 이송 챔버(300)[또는, 이송 챔버(240)]와 기판 처리 장치(400)[또는, 공정 챔버(260)]가 접하는 개구 영역(IR)을 폐쇄한다. 제1 폐쇄부(351)는 이송 챔버(300)와 기판 처리 장치(400)를 연결하는 통로인 제2 연결 개구부(356)를 제외한 개구 영역(IR)을 폐쇄할 수 있다. 제2 연결 개구부(356)는 셔터부(415)에 대향하도록 형성될 수 있다. 즉, 제2 연결 개구부(356)는 셔터부(415)[또는, 개구(411)]와 상호 연통되고, 개구부(356)의 주변과 셔터부(415)[또는 개구(411)]의 주변은 상호 긴밀하게 연결되어 밀폐될 수 있다.
제2 폐쇄부(352)는 이송 챔버(300)[또는, 이송 챔버(240)]와 기판 처리 장치(400)[또는, 공정 챔버(260)]가 접하는 개구 영역(IR) 외의 영역을 폐쇄한다. 제2 폐쇄부(352)는 지지 프레임(330)에 연결될 수 있다. 도 7 기준으로, 제1 폐쇄부(351)가 기판 처리 장치(400)의 전면을 폐쇄하고, 제2 폐쇄부(352)는 기판 처리 장치(400)의 상면, 하면, 좌측면, 우측면 및 후면을 폐쇄할 수 있다. 즉, 공정 챔버(260)[기판 처리 장치(400)]의 외측 영역(CR)은 폐쇄부(352)에 의해 폐쇄된다.
제1 폐쇄부(351)가 개구 영역(IR)을, 제2 폐쇄부(352)가 개구 영역(CR)을 폐쇄함에 따라 기판 처리 장치(400)의 하우징(410) 외측과 기판 처리 장치(400)가 접하는 프레임(310)[및 지지 프레임(330)] 사이의 공간이 밀폐될 수 있다. 이에 따라, 기판 처리 장치(400)의 개구(411)를 제외한 다른 부분에서 오염 물질이 유출되더라도, 프레임(310)[및 지지 프레임(330)]과 제1, 2 폐쇄부(351, 352)에 의해 밀폐된 공간 내에서만 존재할 수 있고, 이송 챔버(300)의 내부 공간(301)으로 유입되는 것이 방지된다.
제3 폐쇄부(353), 제4 폐쇄부(354)는 프레임(310)의 후면, 우측면에서 개구 영역을 폐쇄한다.
제5 폐쇄부(355)는 프레임(310)의 하부면에서 개구 영역을 폐쇄한다. 제5 폐쇄부(355)에는 배기홀(PH)이 형성될 수 있다. 배기홀(PH)은 이송 챔버(300)의 외부로 연장되는 배기부(500) 또는 배기 장치에 연통된다.
한편, 도 8과 같이 프레임(310)의 상부면에는 기류 공급부(340)가 배치되므로 개구 영역이 폐쇄될 수 있다. 또는, 기류 공급부(340) 대신 폐쇄부(350)가 배치되거나, 기류 공급부(340)와 폐쇄부(350)가 같이 배치되어 개구 영역이 폐쇄될 수 있다.
이송 챔버(300)의 버퍼 유닛(220)과 연결되는 좌측부(320) 상에는 버퍼 도어부(360)가 설치된다. 버퍼 도어부(360)는 도어 구동부(365)를 따라 상하 이동가능하게 설치된다. 버퍼 도어부(360)는 버퍼 유닛(220)과 이송 챔버(300)를 연결하는 통로이자 개구 영역(BR)인 제1 연결 개구부(321)를 개폐할 수 있다. 제1 연결 개구부(321)를 개방할 시 버퍼 도어부(360)는 상부로 이동한다. 제1 연결 개구부(321)를 폐쇄할 시, 버퍼 도어부(360)는 하부로 이동한다. 추가로 더 긴밀한 밀폐를 위해 버퍼 도어부(360)는 하부로 이동하여 제1 연결 개구부(321)에 대응된 후, 제1 방향(12)으로 전후 이동을 더 수행할 수도 있다.
한편, 이송 챔버(300)의 내부로부터 제1 연결 개구부(321)로 유출되는 가스를 센싱하는 가스 센싱부(368)를 더 포함할 수 있다. 가스 센싱부(368)는 좌측부(320), 버퍼 도어부(360) 등에 설치될 수 있다. 비상 상황시에 기판 처리 장치(400)로부터 이송 챔버(300)로 유출된 가스가 제1 연결 개구부(321)까지 이동한 경우, 가스 센싱부(368)는 이를 감지하고 제어부(미도시)는 버퍼 도어부(360)가 제1 연결 개구부(321)를 폐쇄하도록 할 수 있다. 그리고, 제어부(미도시)는 곧바로 이송 챔버(300) 내 오염 가스를 배기부(500)를 통해 배기하는 공정을 수행할 수 있다.
도 8을 참조하면, 이송 챔버(300)의 상부에는 기류 공급부(340)가 설치될 수 있다. 기류 공급부(340)는 하강 기류(AF)를 형성한다. 프레임(310)의 개구 영역들이 폐쇄부(350: 351~355)에 의해 폐쇄되고, 제1 연결 개구부(321)는 버퍼 도어부(360)에 의해 폐쇄되며, 제2 연결 개구부(356)는 기판 처리 장치(400)의 셔터부(415)에 의해 폐쇄된 상태이다. 따라서, 하부 방향으로 이동하는 기류(AF)는 이송 챔버(300) 외부에 있는 버퍼 유닛(220), 인덱스 모듈(100) 등의 기판 처리 설비(10)로 유출될 수 없다. 기류(AF)는 제5 폐쇄부(355)에 연결된 배기부(500)를 통해 기판 처리 설비(10)의 외부로 배출될 수 있다. 위와 같이, 비상 상황 발생시 기판 처리 장치(400)로부터 이송 챔버(300)로 오염 물질이 누설되는 것을 방지할 뿐만 아니라, 버퍼 유닛(220)과의 경로를 폐쇄함에 따라 기판 처리 설비(10)의 전체로 오염 물질이 확산되는 것을 방지할 수 있다.
도 9 및 도 10은 본 발명의 여러 실시예에 따른 폐쇄부(350)의 설치 형태를 보여주는 개략적인 단면도이다. 도 9 및 도 10은 기판 처리 장치(400)와 이에 접하는 프레임(316a)의 제1, 2 방향(xy 평면 방향) 단면을 나타낸다. 도 9 및 도 10은 제1 폐쇄부(351)를 프레임(316a)에 연결하는 실시예를 예시하나, 나머지 폐쇄부(352~355)도 프레임(310)[또는, 지지 프레임(330)]에 동일한 형태로 연결될 수 있다.
도 9를 참조하면, 일 실시예에 따른 폐쇄부(351)는 커버부(351a) 및 서포트부(351b)를 포함할 수 있다. 서포트부(351b)는 프레임(316a)이 형성하는 개구 영역의 테두리를 따라 설치될 수 있다. 기판 처리 장치(400)의 하우징(410) 내부에 챔버 프레임(420)이 포함될 수 있다. 챔버 프레임(420)이 프레임(316a)과 접하게 되고, 폐쇄부(351)의 커버부(351a)와 하우징(410)의 사이 공간이 오염 가스가 잔존할 수 있는 부분에 해당하므로, 이 공간을 최대한 줄일 필요가 있다. 이에 따라 서포트부(351b)는 프레임(316a)과 챔버 프레임(420)이 접하는 면에 최대한 가깝게 설치하는 것이 바람직하다. 그리고, 서포트부(351b)에 커버부(351a)의 테두리 부분을 연결할 수 있다. 여기서, 연결은 접착, 부착, 체결, 결합 등을 포함하는 의미로 이해될 수 있다.
커버부(351a)와 서포트부(351b)와 연결을 긴밀히 할 수 있도록, 나사와 같은 체결부재(351c)를 사용할 수 있다. 또한, 커버부(351a)와 서포트부(351b) 사이를 더욱 긴밀히 밀폐시킬 수 있도록 오링(o-ring; 351d)을 개재할 수 있다.
도 10을 참조하면, 다른 실시예에 따른 폐쇄부(351)는 몰딩 접착제(351e)를 개재하여 커버부(351a)를 프레임(316a)에 접합하도록 제공될 수 있다. 몰딩 접착제는 에폭시 접착제 등을 사용할 수 있고, 몰딩 후 열처리를 통해 기밀성을 확보할 수 있다. 또한, 커버부(351a)를 프레임(316a)에 접합한 후, 접합 부분에 분체 도장을 실시하여 분체 도장부(351f)를 더 형성할 수 있다. 분체 도장부(351f)는 얇은 코팅막으로서 내화학성을 가지고 접합 부분의 틈새를 실링할 수 있다. 이에 따라, 폐쇄부(351)는 몰딩 접착제(351e)와 분체 도장부(351f)로 이중의 밀폐를 수행할 수 있는 이점이 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
10: 기판 처리 설비
100: 인덱스 모듈
140: 이송 프레임
200: 기판 처리 모듈
220: 버퍼 유닛
240, 300: 이송 챔버
260: 공정 챔버
310: 프레임
321: 제1 연결 개구부
330: 지지 프레임
340: 기류 공급부
350: 폐쇄부
356: 제2 연결 개구부
360: 버퍼 도어부
400: 기판 처리 장치, 공정 챔버
500: 배기부

Claims (20)

  1. 기판이 반송되기 전에 머무르는 공간을 제공하는 버퍼 유닛 및 기판 처리 공정을 수행하는 공간을 제공하는 공정 챔버 사이에 배치되어 기판을 이송하는 이송 챔버로서,
    상기 이송 챔버는,
    상기 버퍼 유닛과 상기 공정 챔버 간에, 또는 상기 공정 챔버들 간에 기판을 반송하는 메인 로봇;
    상기 메인 로봇과 연결되어 상기 메인 로봇을 이동시키는 가이드 레일; 및
    상기 이송 챔버의 메인 로봇과 상기 가이드 레일이 동작하는 공간을 정의하는 프레임;
    을 포함하고,
    상기 프레임에 복수의 폐쇄부가 연결되며, 상기 폐쇄부는 상기 프레임이 형성하는 복수의 개구 영역을 폐쇄하는, 이송 챔버.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 프레임은,
    제1 방향으로 연장되는 복수의 제1 프레임;
    상기 제1 방향에 수직하는 제2 방향으로 연장되는 복수의 제2 프레임; 및
    상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 형성하는 수평면에 수직한 제3 방향으로 연장되는 복수의 제3 프레임;
    을 포함하고,
    복수의 상기 제1 프레임, 상기 제2 프레임, 상기 제3 프레임의 조합으로 상기 개구 영역이 형성되는, 이송 챔버.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 폐쇄부는, 상기 버퍼 유닛과 상기 이송 챔버를 연결하는 통로인 제1 연결 개구부; 및 상기 공정 챔버와 상기 이송 챔버를 연결하는 통로인 제2 연결 개구부를 제외한 상기 개구 영역을 폐쇄하는, 이송 챔버.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 버퍼 유닛과 연결되는 측면 상에 상하 이동가능하게 설치되고, 상기 제1 연결 개구부를 개폐하는 버퍼 도어부를 포함하는, 이송 챔버.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 이송 챔버의 내부로부터 상기 제1 연결 개구부로 유출되는 가스를 센싱하는 가스 센싱부를 더 포함하는, 이송 챔버.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 제2 연결 개구부는 상기 공정 챔버의 기판 이동 경로를 개폐하는 셔터부에 대향하도록 형성되는, 이송 챔버.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 폐쇄부는,
    상기 프레임이 형성하는 상기 개구 영역의 테두리를 따라 설치되는 서포트부;
    상기 서포트부에 연결되는 커버부;
    를 포함하는, 이송 챔버.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 서포트부와 상기 커버부 사이에 오링(o-ring)이 개재되는, 이송 챔버.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 폐쇄부는 몰딩 접착제를 개재하여 상기 프레임에 접합된, 이송 챔버.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 프레임과 상기 폐쇄부의 접합 부분에 분체 도장부가 더 형성된, 이송 챔버.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 이송 챔버의 상부에 기류 공급부가 설치되고, 상기 기류 공급부는 상기 이송 챔버의 내부 공간에 하강 기류를 형성하는, 이송 챔버.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 이송 챔버의 하부에 상기 하강 기류를 외부로 배기하는 배기부가 형성된, 이송 챔버.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 이송 챔버의 하부에 배치된 상기 폐쇄부에 상기 배기부와 연통하는 배기홀이 형성된, 이송 챔버.
  14. 외부로부터 이송 챔버로 기판이 반송되거나, 상기 이송 챔버로부터 외부로 기판이 반송되기 전에 머무르는 공간을 제공하는 버퍼 유닛; 상기 버퍼 유닛과 공정 챔버 사이에 배치되고, 상기 버퍼 유닛과 상기 공정 챔버 간에, 또는 상기 공정 챔버들 간에 기판을 반송하는 이송 챔버; 및 기판에 대해 공정을 수행하는 공정 챔버;를 포함하는 기판 처리 모듈로서,
    상기 이송 챔버는,
    상기 버퍼 유닛과 상기 공정 챔버 간에, 또는 상기 공정 챔버들 간에 기판을 반송하는 메인 로봇;
    상기 메인 로봇과 연결되어 상기 메인 로봇을 이동시키는 가이드 레일; 및
    상기 이송 챔버의 메인 로봇과 상기 가이드 레일이 동작하는 공간을 정의하는 프레임;
    을 포함하고,
    상기 프레임에 복수의 폐쇄부가 연결되며, 상기 폐쇄부는 상기 프레임이 형성하는 복수의 개구 영역을 폐쇄하는, 기판 처리 모듈.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 프레임은,
    제1 방향으로 연장되는 복수의 제1 프레임;
    상기 제1 방향에 수직하는 제2 방향으로 연장되는 복수의 제2 프레임; 및
    상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 형성하는 수평면에 수직한 제3 방향으로 연장되는 복수의 제3 프레임;
    을 포함하고,
    복수의 상기 제1 프레임, 상기 제2 프레임, 상기 제3 프레임의 조합으로 상기 개구 영역이 형성되는, 기판 처리 모듈.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 폐쇄부는, 상기 버퍼 유닛과 상기 이송 챔버를 연결하는 통로인 제1 연결 개구부; 및 상기 공정 챔버와 상기 이송 챔버를 연결하는 통로인 제2 연결 개구부를 제외한 상기 개구 영역을 폐쇄하는, 기판 처리 모듈.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 버퍼 유닛과 연결되는 측면 상에 상하 이동가능하게 설치되고, 상기 제1 연결 개구부를 개폐하는 버퍼 도어부를 포함하는, 기판 처리 모듈.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 제2 연결 개구부는 상기 공정 챔버의 기판 이동 경로를 개폐하는 셔터부에 대향하도록 형성되는, 기판 처리 모듈.
  19. 제16항에 있어서,
    상기 이송 챔버의 상부에 기류 공급부가 설치되고, 상기 기류 공급부는 상기 이송 챔버의 내부 공간에 하강 기류를 형성하며,
    상기 이송 챔버의 하부에 상기 하강 기류를 외부로 배기하는 배기부가 형성된, 기판 처리 모듈.
  20. 외부로부터 이송 챔버로 기판이 반송되거나, 상기 이송 챔버로부터 외부로 기판이 반송되기 전에 머무르는 공간을 제공하는 버퍼 유닛; 상기 버퍼 유닛과 공정 챔버 사이에 배치되고, 상기 버퍼 유닛과 상기 공정 챔버 간에, 또는 상기 공정 챔버들 간에 기판을 반송하는 이송 챔버; 및 기판에 대해 공정을 수행하는 공정 챔버;를 포함하는 기판 처리 모듈로서,
    상기 이송 챔버는,
    상기 버퍼 유닛과 상기 공정 챔버 간에, 또는 상기 공정 챔버들 간에 기판을 반송하는 메인 로봇;
    상기 메인 로봇과 연결되어 상기 메인 로봇을 이동시키는 가이드 레일; 및
    상기 이송 챔버의 메인 로봇과 상기 가이드 레일이 동작하는 공간을 정의하는 프레임;
    을 포함하고,
    상기 프레임에 복수의 폐쇄부가 연결되며, 상기 폐쇄부는 상기 프레임이 형성하는 복수의 개구 영역을 폐쇄하되, 상기 버퍼 유닛과 상기 이송 챔버를 연결하는 통로인 제1 연결 개구부; 및 상기 공정 챔버와 상기 이송 챔버를 연결하는 통로인 제2 연결 개구부를 제외한 상기 개구 영역을 폐쇄하며,
    상기 버퍼 유닛과 연결되는 측면 상에 상하 이동가능하게 설치되고, 상기 제1 연결 개구부를 개폐하는 버퍼 도어부를 더 포함하며,
    상기 제2 연결 개구부는 상기 공정 챔버의 기판 이동 경로를 개폐하는 셔터부에 대향하도록 형성되고,
    비상 상황시, 상기 버퍼 도어부는 상기 제1 연결 개구부를 폐쇄하고, 상기 셔터부는 상기 제2 연결 개구부를 폐쇄하며, 상기 폐쇄부는 상기 복수의 개구 영역을 폐쇄함으로써, 상기 이송 챔버의 외부로 가스의 유출을 방지하는, 기판 처리 모듈.
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