KR20230140126A - 겔 가스킷용 필름 및 이를 구비한 포장 박스 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 겔 가스킷용 필름 및 이를 구비한 포장 박스에 관한 것이며, 보다 상세하게는 엠보싱 닷(embossing dot) 이형 필름의 표면적을 작게하여 박리를 용이하게 하며, 정전척이나 포커스링에 부착하고 이형 필름을 제거하였을 때 엠보싱의 흔적을 최소화한 겔 가스킷용 필름 및 이를 구비한 포장 박스에 관한 것이다.

Description

겔 가스킷용 필름 및 이를 구비한 포장 박스{FILM FOR GEL GASKET AND PACKING BOX}
본 발명은 겔 가스킷용 필름 및 이를 구비한 포장 박스에 관한 것이며, 보다 상세하게는 엠보싱 닷(embossing dot) 이형 필름의 표면적을 제어하여 박리를 용이하게 하며, 정전척이나 포커스링에 부착하고 이형 필름을 제거하였을 때 엠보싱의 흔적을 최소화한 겔 가스킷용 필름 및 이를 구비한 포장 박스에 관한 것이다.
반도체 제조 공정에 있어서, 반도체 웨이퍼에 플라스마 처리를 실시하기 위해서, 진공 챔버의 내부에 웨이퍼를 설치하는 적재대를 갖는 플라스마 처리 장치가 사용되고 있다. 플라즈마 처리 장치들은 에칭, PVD (physical vapor deposition), CVD (chemical vapor deposition), 이온 주입 및 레지스트 제거 등에 따라 기판들을 처리하는데 사용된다. 플라즈마 처리에 사용되는 플라즈마 처리 장치의 한 유형은 상부 및 하부 전극들을 구비한 반응 챔버를 포함한다. 전계가 전극들 사이에 수립되어 처리 가스를 플라즈마 상태로 여기시켜 기판을 반응 챔버에서 처리한다.
최근, 반도체 웨이퍼의 대직경화와 가공 정밀도의 미세화가 진행되고 있으며, 웨이퍼에 대하여 균일하게 플라스마 처리를 행하기 위해서, 온도 분포를 균일하게 적용할 필요가 있다. 그래서, 적재대의 외주부에 히터를 설치하고, 그 위에 열전도성 시트와 같은 겔 가스킷(Gel Gasket)를 통해 포커스 링을 설치하여 가열하여 사용되고 있다.
한편, 정전척(ESC,Electro Static Chuck) 및 포커스링에 부착하는 겔 가스킷은 두께가 얇고, 표면 경도가 소프트하며, 표면 점착력은 강한 특성을 갖고 있다. 특히, 겔 가스킷을 정전척이나 포커스링에 부착하였을 때, 틸팅(tilting), 기판 등의 불량은 없어야 한다.
그러나, 종래의 겔 가스킷의 엠보싱 닷(embossing dot) 이형 필름은 다이아몬드 형태의 표면을 갖지만, 표면 접착 면적이 커서 필름 박리가 용이하지 않거나 필름을 박리한 후 가스킷 표면에 다이아몬드 형태의 자국을 남기는 문제가 있다. 이에 겔 가스킷에 대한 연구 개발이 필요한 실정이다.
참고문헌 1: 한국특허공개번호 제10-2011-0049800호
참고문헌 2: 한국특허공개번호 제10-1996-7002175호
참고문헌 3: 한국특허공개번호 제10-1999-0009303호
참고문헌 4: 한국특허번호 제10-1934679호
참고문헌 5: 한국특허번호 제10-877085호
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 엠보싱 닷(embossing dot) 이형 필름의 표면적을 특정 범위로 설계하여 박리를 용이하게 하며, 정전척이나 포커스링에 부착하고 이형 필름을 제거하였을 때, 이형 필름의 엠보싱의 흔적을 최소화한 겔 가스킷용 필름, 이를 구비한 포장 박스 및 겔 가스킷용 필름 부착 방법을 제공한다.
나아가, 열전도성 시트의 표면을 보호하며, 탈부착을 용이하게 하는 겔 가스킷용 필름, 이를 구비한 포장 박스 및 겔 가스킷용 필름 부착 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시형태인 겔 가스킷용 필름은 기저필름; 상기 기저필름 상에 적층된 하부 이형필름; 상기 하부 이형필름 상에 적층된 열전도성 시트; 상기 열전도성 시트의 상부에 적층된 상부 이형필름;을 포함하며, 상기 하부 이형필름 및 상부 이형필름은 상기 열전도성 시트과 마주보는 일면에 돌출부를 형성하는 엠보싱 이형필름인 것을 사용한다.
본 발명의 일 실시형태인 겔 가스킷용 필름은 기저필름; 상기 기저필름 상에 적층된 열전도성 시트; 상기 열전도성 시트의 상부에 적층된 상부 이형필름;을 포함하며, 상기 상부 이형필름은 상기 열전도성 시트과 마주보는 일면에 돌출부를 형성하는 엠보싱 이형필름인 것을 사용한다.
상기 하부 이형필름 및 상부 이형필름은 각각 본체부를 구비하고, 하기 i) 또는 ii)를 만족한다.
i) 상기 본체부 상부에 형성된 돌출부
ii) 상기 본체부 상부에 형성된 돌출부 및 상기 본체부 하부에 형성된 오목부
상기 상부 이형필름과 상기 열전도성 시트 사이의 박리력을 PA1으로 정의하고, 상기 열전도성 시트와 상기 플라즈마 장치의 전극 부재의 피착면 사이의 박리력을 PA2 로 정의할 때, PA1 < PA2를 만족하는 것을 사용한다.
여기서, PA1/PA2 는 0.3 이상 0.8 이하인 것을 사용한다.
상기 돌출부 사이의 거리를 피치(p1)으로 정의하면, p1은 0.3mm 이상 3.0mm 이하인 것을 사용한다.
상기 상부 이형필름 및 하부 이형필름의 두께를 k1, 오목부의 들어간 깊이를 k2라고 정의하면, k1은 k2보다 큰 것을 사용한다.
본 발명의 일 실시형태는 겔 가스킷용 필름이 복수개가 병렬로 트레이에 적층되어 있는 포함하는 겔 가스킷용 필름용 포장 박스를 사용한다.
상기 상부 이형필름은 한매의 필름으로 이루어져 상기 트레이 상에 복수개의 겔 가스킷용 필름 상에 부착 가능하도록 형성된다.
본 발명의 겔 가스킷용 필름으로 피착면에 부착하는 방법은 상부 이형필름을 분리하는 제1 단계; 열전도성 시트를 기저필름에서 분리하는 제2 단계; 상기 열전도성 시트를 피착면에 부착하는 제3 단계; 하부 이형 필름을 분리하는 제4 단계;를 포함한다.
상기 제3 단계에서 피착면, 열전도성 시트, 하부 이형필름으로 적층되어 형성한다.
상기 제4 단계에서 상기 열전도성 시트와 하부 이형필름의 박리력은 열전도성 시트와 피착면의 박리력(PA2)보다 작아서 열전도성 시트가 피착면에 부착되어 있는 상태로 하부 이형필름은 피착면으로부터 분리된다.
본 발명의 겔 가스킷용 필름, 이를 구비한 포장 박스 및 겔 가스킷용 필름 부착 방법에 의하면, 엠보싱의 돌출부의 주기를 특정 범위로 조절함에 따라 이형 필름의 박리에 의하여도 열전도성 시트에 엠보싱 자국을 남기지 않는 효과가 있으며, 이형 필름을 박리할 때 열전도성 시트가 전극에서 들뜨지 않게 하는 효과가 있다.
나아가, 본 발명의 겔 가스킷을 매우 얇은 형태로 사용하며, 열전도성 시트의 표면을 보고하고 정전척이나 포커스링에 부착하기 위하여 강도가 있는 시트류의 합지가 가능한 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 겔 가스킷용 필름의 단면 개략도를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 이형필름의 단면 개략도를 나타낸다.
도 3은 본 발명의 이형필름의 정면 개략도를 나타낸다.
도 4는 본 발명의 이형필름의 단면 확대도를 나타낸다.
도 5는 열전도성 시트에서 격자 주기가 큰 경우에 이형필름을 박리할 때의 개략도를 나타낸다.
도 6은 열전도성 시트에서 격자 주기가 작은 경우에 이형필름을 박리할 때의 개략도를 나타낸다.
도 7은 본 발명의 이형필름을 구비한 포장 박스의 개략도를 나타낸다.
도 8은 본 발명의 겔 가스킷용 필름 부착 방법의 플로우 차트를 나타낸다.
도 9는 박리력 측정방법의 개략도를 나타낸다.
도 10은 피착면에 열전도성 시트가 부착된 상태에서 이형필름을 박리할 때, 이형필름을 박리해도 열전도성 시트가 피착면에 붙여져 있는 작업성 OK의 상태 및 이형필름을 박리하면 열전도성 시트는 피착면에서 일부 또는 전부가 떨어져 작업성 NG의 상태의 사진을 나타낸다.
하기에 나타난 도면에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭하며, 도면상에서 각 구성요소의 크기는 설명의 명료성과 편의상 과장되어 있을 수 있다. 한편, 이하에 설명되는 실시예는 단지 예시적인 것에 불과하며, 이러한 실시예로부터 다양한 변형이 가능하다. 이하에서, 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태인 겔 가스킷용 필름(100A)의 단면 개략도를 나타낸다. 도 1(a)에 나타난 것처럼, 본 발명의 일 실시형태인 겔 가스킷용 필름(100A)은 기저필름(10); 상기 기저필름(10) 상에 적층된 하부 이형필름(30); 상기 하부 이형필름(30) 상에 적층된 열전도성 시트(20); 상기 열전도성 시트(20)의 상부에 적층된 상부 이형필름(40);을 포함하며, 상기 하부 이형필름(30) 및 상부 이형필름(40)의 어느 하나 또는 둘에 엠보싱 가공을 행할 수 있다. 도 1(b)에 나타난 것처럼, 본 발명의 일 실시형태인 겔 가스킷용 필름(100B)은 기저필름(10); 상기 기저필름(10) 상에 적층된 열전도성 시트(20); 상기 열전도성 시트(20)의 상부에 적층된 상부 이형필름(40);을 포함하며, 상기 상부 이형필름(40)에 엠보싱 가공을 행할 수 있다.
도 2는 본 발명의 이형필름의 단면 개략도를 나타내며, 도 2에 나타난 것처럼, 상기 하부 이형필름(30)은 제1 본체부(31A)를 구비하고, 상기 제1 본체부(31A)는 하기 i) 또는 ii)을 구비할 수 있다.
i) 상기 본체부(31A) 상부에 형성된 돌출부(32A)
ii) 상기 본체부(31B) 상부에 형성된 돌출부(32B) 및 상기 본체부(31B) 하부에 형성된 오목부(33B)
즉, i) 상기 본체부(31A) 상부에 형성된 돌출부(32A)를 구비하거나 ii) 상기 본체부(31B) 상부에 형성된 돌출부(32B) 및 상기 본체부(31B) 하부에 형성된 오목부(33B)를 구비함에 따라 열전도성 시트(20)는 점착력을 가지고 있어도 하부 이형필름(30)으로부터 쉽게 박리가 가능해 진다. 여기서, 본체부(31B)를 돌기가 있는 프레스로 열압착하게 되면 ii) 상기 본체부(31B) 상부에 형성된 돌출부(32B) 및 상기 본체부(31B) 하부에 형성된 오목부(33B)를 형성하게 된다.
도 3은 본 발명의 이형필름의 정면 개략도를 나타낸다. 도 3에 나타난 것처럼, 이형필름에는 다이아몬드 형태의 격자를 구비하고, 상기 격자의 간격은 p1 주기를 가지고 반복되게 형성할 수 있다. 여기서, 격자의 격벽인 돌출부(32)는 w의 폭을 가지고 형성될 수 있다. 이와 같이, 주기적인 다이아몬드 형태의 패턴을 갖는 이형필름(30)과 열전도성 시트(20)의 접촉 면적은 주기적인 다이아몬드 형태의 패턴을 갖지 않는 이형필름과 열전도성 시트(20)의 접촉 면적보다도 좁게 되어 열전도성 시트(20)로부터 이형필름(30)은 쉽게 박리될 수 있다.
한편, 도 4는 열전도성 시트(20)에서 다이아몬드 형태의 격자 주기가 큰 경우에 이형필름을 박리할 때의 개략도를 나타낸다. 도 4에 나타난 바와 같이, p1 주기가 큰 경우에 열전도성 시트(20)에 접촉하고 있는 이형필름(40)을 열전도성 시트(20)로부터 제거하고, 플라즈마 장치의 전극 부재(50)와 같은 피접착면에 부착하게 되면 열전도성 시트(20)와 피착면 사이에 보이드(void)가 생기기가 쉬워진다. 이러한 보이드는 플라즈마의 전극 부재(50)의 피착면에서 열전도성 시트(20)로 전달되는 열전도도를 저하시킬 수 있는 요인이 된다.
도 5는 열전도성 시트(20)에서 다이아몬드 형태의 격자 주기가 작은 경우에 이형필름(30)을 박리할 때의 개략도를 나타낸다. 도 5에 나타난 바와 같이, p1 주기가 작은 경우에 이형필름(30)이 부착된 상태의 열전도성 시트(20)가 플라즈마 장치의 전극 부재(50)와 같은 피착면에 부착된 상태에서 이형필름(30)을 제거하게 되면, 이형필름(30)과 열전도성 시트(20)와의 접촉 면적은 넓게 되어 이형필름(30)만 열전도성 시트(20)에서 제거되지 않고 열전도성 시트(20)도 이형필름(30)의 박리에 따라 플라즈마의 전극 부재(50)의 피착면에서 들떠지게 되는 현상이 발생할 수 있고, 열전도성 시트(20)를 다시 피착면에 부착해야 되는 문제가 발생할 수 있다.
따라서, 이형필름의 다이아몬드 형태의 격자 사이의 피치를 특정 범위에 한정할 필요가 있으며, 하기에서 구체적으로 설명한다.
도 6는 본 발명의 이형필름의 단면 확대도를 나타낸다. 도 6에 나타난 것처럼, 상기 돌출부(32) 사이의 거리를 피치(p1)으로 정의하면, 상기 피치(p1)은 0.3mm 이상 3.0mm 이하인 것을 바람직하게 사용할 수 있다.
본 발명의 플라즈마의 전극 부재(50)의 피착면과 열전도성 시트(20)의 분리되는 힘은 이형필름과 열전도성 시트(20)의 분리되는 힘보다도 큰 것이 좋다. 즉, 플라즈마의 전극 부재(50)의 피착면에 이형필름이 부착된 열전도성 시트(20)를 부착하고 상기 이형필름을 열전도성 시트(20)로부터 분리할 때, 플라즈마의 전극 부재(50)의 피착면과 열전도성 시트(20)의 점착력은 이형필름과 열전도성 시트(20)의 점착력보다 큰 것이 바람직하다. 이에 따라, 플라즈마의 전극 부재(50)의 피착면에 열전도성 시트(20)는 남아 있고 이형필름은 분리되게 된다.
본 발명에서 이형필름과 열전도성 시트 사이의 박리력을 PA1으로 정의하고, 플라즈마의 전극 부재의 피착면과 열전도성 시트 사이의 박리력을 PA2 로 정의할 때, PA1 < PA2를 만족해야 하며, PA1/PA2 는 0.3 이상 0.8 이하가 바람직하다.
한편, 이형필름에서 열전도성 시트(20)로 가압되는 압력(P)은 하기와 (식 1)과 같이 정의될 수 있다.
(식 1)
여기서, F는 이형필름의 상부에서 가해지는 압력이며, A는 이형필름(30)과 열전도성 시트(20)의 접촉되는 면적을 나타낸다. 즉, 피치(p1)은 3.0 mm 를 초과하는 경우에 이형필름(30)과 열전도성 시트(20)의 접촉되는 면적 A는 줄어들게 되고, 겔 가스킷의 부착 작업 등에서 가해지는 압력은 커지게 되므로 엠보싱 닷 흔적은 열전도성 시트(20)에 남게되어 바람직하지 않다. 이에 비하여, 피치(p1)은 0.3 mm 미만인 경우에 다이아몬드 형태의 격자 상부면과 열전도성 시트(20)의 일면은 접촉하는 면적은 많아지기 때문에 이형필름(30)을 제거할 때 플라즈마의 전극 부재(50)의 피착물에 부착된 열전도성 시트(20)의 일부도 박리되기 쉬워져서 바람직하지 않다.
한편, 돌출부(32)의 폭(w)도 이형필름의 설계에 중요하다. 본 발명의 돌출부의 폭은 0.1mm 내지 1.5mm인 것이 바람직하다. 동일한 피치(p1)에 이형필름(30)에서 돌출부(32)의 폭(w)의 폭이 넓어지는 것은 이형필름(30)과 연성을 갖는 열전도성 시트(20)의 접촉 면적은 넓어지는 것의 의미한다. 본 발명에서는 이형필름(30)과 열전도성 시트(20)의 접촉 면적(S1)은 열전도성 시트(20)와 플라즈마 전극 부재(50)의 피착면의 접촉 면적(S2)에 비해서 들뜸 방지의 관점에서 예를 들어 돌출부(32)의 폭(w)과 피치(p1)의 비율(w/p1)은 0.3 내지 0.5를 사용할 수 있다.
또한, 돌출부(32)의 높이(h)는 0.05mm 내지 0.5mm인 것이 바람직하며, 돌출부(32)의 높이(h)는 0.1mm 내지 0.3mm인 것이 더욱 바람직하다. 여기서, 돌출부(32)의 높이(h)도 너무 낮게 형성되면 이형필름의 다이아몬드 형태의 격자 내부의 바닥면에 열전도성 시트(20)가 접촉할 우려가 있으므로 예를 들어 돌출부(32)의 높이(h)와 피치(p1)의 비율(h/p1)는 0.1 내지 0.2를 사용할 수 있다.
여기서, 이형필름의 돌출부(32)에서 상부로 갈수록 좁아지는 형상을 가질 수 있다. 도 6에 나타난 것처럼, 삼각형의 형태를 가져도 되고, 삼각형의 끝단은 곡선을 이루어도 되고, 반구 형태를 가져도 된다. 한편, 돌출부(32)의 양측 변의 이루는 각도(θ)는 1° 내지 10°, 더욱 바람직하게는 3° 내지 7°를 가질 수 있다. 상기 범위보다 작으면 이형필름(30)의 다이아몬드 형태의 격자 내부에 열전도성 시트(20)와 접촉하는 면적이 너무 넓어져서 바람직하지 않고, 상기 범위보다 크면 열전도성 시트(20)를 피착제와 접촉한 후에 경계면에서 보이드가 남을 수 있어 바람직하지 않다.
또한, 상기 이형필름(30)의 두께를 k1, 오목부(33)의 들어간 깊이를 k2라고 정의하면, k1은 k2보다 큰 것을 사용하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 상기 이형필름(30)의 두께를 k1은 0.01mm 내지 0.1mm를 사용하고, 오목부(33)의 들어간 깊이를 k2는 0.05mm 내지 0.5mm를 사용하는 것이 바람직하다. 상기 범위보다 작게 되면 돌출부(32)가 이형필름(30)의 두께에 비하여 너무 많이 돌출되기 때문에 열전도성 시트(20)에 과다한 압력을 가해지게 되어 엠보싱 닷 흔적은 열전도성 시트(20)에 남게되기 쉬워진다.
도 7은 본 발명의 이형필름을 구비한 포장 박스의 개략도를 나타낸다. 도 7에 나타난 것처럼, 겔 가스킷용 필름용 포장 박스는 겔 가스킷용 필름(100)이 복수개 적층되어 있는 트레이(500)를 구비한다.
여기서, 상기 상부 이형필름(40)은 1매의 필름으로 이루어지게 할 수 있다. 겔 가스킷용 필름(100) 각각에 대하여 상부 이형필름을 개별적으로 부착하여 사용하여도 된다. 다만, 상기 상부 이형필름(40)을 1매의 필름으로 사용함으로써, 상부 이형필름(40)을 점착력 있는 열전도성 시트(20)에서 분리할 때 열전도성 시트(20)에 부착시 가해질 수 있는 불필요한 가압의 편차를 최소화할 수 있는 장점을 갖는다.
도 8은 본 발명의 겔 가스킷용 필름(100) 부착 방법의 플로우 차트를 나타낸다. 도 8에 나타난 것처럼, 겔 가스킷용 필름(100)을 부착하는 방법은 상부 이형필름(40)을 열전도성 시트(20)의 일면으로부터 분리하는 제1 단계; 상기 열전도성 시트(20)를 기저필름(10)에서 분리하는 제2 단계; 상기 열전도성 시트(20)의 일면을 피착면에 부착하는 제3 단계; 상기 열전도성 시트(20)의 타면에 부착된 하부 이형필름(30)을 분리하는 제4 단계;를 포함한다.
상기 제1 단계는 상부 이형필름(40)을 열전도성 시트(20)의 일면으로부터 분리하는 단계로서, 복수개가 열전도성 시트에서 한매의 상부 이형필름을 사용하는 경우 상부 이형필름을 열전도성 시트에서 분리한다.
상기 제2 단계는 상기 열전도성 시트(20)를 기저필름(10)에서 분리하는 단계로 열전도성 시트과 하부 이형필름을 기저필름으로부터 분리하는 것이며, 하부 이형필름과 기저필름 사이에는 점착력은 마찰력에 의한 것이며, 열전도성 시트와 하부 이형필름의 박리력은 하부 이형필름과 기저필름의 박리력보다 크기 때문에 상기 하부 이형필름을 기저필름으로부터 쉽게 분리된다.
상기 제3 단계는 상기 열전도성 시트(20)의 일면을 피착면에 부착하는 단계이며, 피착면, 열전도성 시트, 하부 이형필름의 순서로 적층되어 있다.
상기 제4 단계는 피착면에 상기 열전도성 시트(20)가 부착된 상태로 상기 열전도성 시트(20)의 타면에 부착된 하부 이형필름(30)을 분리하는 단계이다. 여기서, 열전도성 시트와 하부 이형필름의 박리력은 열전도성 시트와 피착면의 박리력(PA2)보다 작기 때문에 열전도성 시트가 피착면에 부착되어 있는 상태로 하부 이형필름은 피착면으로부터 분리된다.
(실시예)
실시예 1 내지 4, 비교예 1 내지 4에서 이형필름의 피치(mm), 돌출부 폭(mm), 돌출부 높이(mm)를 사용한 경우에 열전도성 시트와 이형필름의 박리력(PA1)과 열전도성 시트와 Si 전극부재의 박리력(PA2)을 구하고, 작업성을 평가하였다.
도 9는 박리력 측정방법의 개략도를 나타내고, 도 10은 피착면에 열전도성 시트가 부착된 상태에서 이형필름을 박리할 때, 이형필름을 박리해도 열전도성 시트가 피착면에 붙여져 있는 작업성 OK의 상태 및 이형필름을 박리하면 열전도성 시트는 피착면에서 일부 또는 전부가 떨어져 작업성 NG의 상태의 사진을 나타낸다. 상기 작업성에 따라서 본 발명의 겔 가스킷용 필름의 상태를 확인할 수 있다.
박리력 측정방법은 인장강도 시험기 Instron 3367에 1 kg 로드셀을 설치하여 ASTM D3330 규격으로 90° peel test 방법으로 측정하였다.
본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100 : 겔 가스킷용 필름
10: 기저 필름
20 : 열전도성 시트
30 : 하부 이형필름
40 : 상부 이형필름
31 : 본체부
32 : 돌출부
33 : 오목부
500 : 트레이

Claims (10)

  1. 기저필름;
    상기 기저필름 상에 적층된 하부 이형필름;
    상기 하부 이형필름 상에 적층된 열전도성 시트;
    상기 열전도성 시트의 상부에 적층된 상부 이형필름;을 포함하며,
    상기 하부 이형필름 및 상부 이형필름은 상기 열전도성 시트과 마주보는 일면에 돌출부를 형성하는 엠보싱 이형필름인 것을 특징으로 하는 겔 가스킷용 필름.
  2. 기저필름;
    상기 기저필름 상에 적층된 열전도성 시트;
    상기 열전도성 시트의 상부에 적층된 상부 이형필름;을 포함하며,
    상기 상부 이형필름은 상기 열전도성 시트과 마주보는 일면에 돌출부를 형성하는 엠보싱 이형필름인 것을 특징으로 하는 겔 가스킷용 필름.
  3. 청구항 1 또는 2에 있어서,
    상기 하부 이형필름 및 상부 이형필름은 각각 본체부를 구비하고, 하기 i) 또는 ii)를 만족하는 것을 특징으로 하는 겔 가스킷용 필름.
    i) 상기 본체부 상부에 형성된 돌출부
    ii) 상기 본체부 상부에 형성된 돌출부 및 상기 본체부 하부에 형성된 오목부
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 상부 이형필름과 상기 열전도성 시트 사이의 박리력을 PA1으로 정의하고, 상기 열전도성 시트와 상기 플라즈마 장치의 전극 부재의 피착면 사이의 박리력을 PA2 로 정의할 때, PA1 < PA2를 만족하는 것을 특징으로 하는 겔 가스킷용 필름.
  5. 청구항 4에 있어서,
    PA1/PA2 는 0.3 이상 0.8 이하인 것을 특징으로 하는 겔 가스킷용 필름.
  6. 청구항 3에 있어서,
    상기 돌출부 사이의 거리를 피치(p1)으로 정의하면, p1은 0.3mm 이상 3.0mm 이하인 것을 특징으로 하는 겔 가스킷용 필름.
  7. 청구항 3에 있어서,
    상기 상부 이형필름 및 하부 이형필름의 두께를 k1, 오목부의 들어간 깊이를 k2라고 정의하면, k1은 k2보다 큰 것을 특징으로 하는 겔 가스킷용 필름.
  8. 청구항 1 또는 2에 기재된 겔 가스킷용 필름이 복수개가 일정 간격 이격되어 병렬로 적층된 트레이를 포함하는 겔 가스킷용 필름용 포장 박스.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 상부 이형필름은 한매의 필름으로 이루어져 상기 트레이 상에 복수개의 겔 가스킷용 필름 상에 부착 가능하도록 형성된 것을 특징으로 하는 겔 가스킷용 필름용 포장 박스.
  10. 상부 이형필름을 분리하는 제1 단계;
    열전도성 시트를 기저필름에서 분리하는 제2 단계;
    상기 열전도성 시트를 피착면에 부착하는 제3 단계;
    하부 이형 필름을 분리하는 제4 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 겔 가스킷용 필름으로 피착면에 부착하는 방법.
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