KR20230139855A - 진공단열배관 어셈블리 - Google Patents

Abstract

본 발명은 제1,2커버파이프의 내부에 각각 주름관 형태의 제1,2단열길이보장부재가 설치되어, 제1,2커버파이프의 내부에서 단열길이를 증가시켜줌으로써 열평형에 의한 단열 성능을 높일 수 있는 진공단열배관 어셈블리에 관한 것이다.

Description

진공단열배관 어셈블리{Vacuum Insulated Pipe Assembly}

본 발명은 진공단열배관 어셈블리에 관한 것으로서, 제1,2커버파이프의 내부에 각각 주름관 형태의 제1,2단열길이보장부재가 설치되어, 제1,2커버파이프의 내부에서 단열길이를 증가시켜줌으로써 열평형에 의한 단열 성능을 높일 수 있는 진공단열배관 어셈블리에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체를 제조하기 위한 공정설비가 작동되면 챔버 내의 온도가 상승하게 되고, 그에 따른 챔버 내부의 불규칙한 온도변화는 반도체 제조시의 수율에 나쁜 영향을 미치므로 챔버 내부에 형성된 냉각유로를 통하여 냉매를 순환시켜 반도체 챔버 내부를 적정한 온도로 일정하게 유지시켜야 한다. 이러한 이유로 반도체 제조설비에는 별개의 장비로서 온도조절 시스템인 냉매용 칠러가 필n수적으로 구비되고, 상기 냉매용 칠러의 내부에는 가열된 냉매를 냉각수로 냉각시키기 위한 열교환기가 설치되며, 상기 냉각수는 독립된 장비인 냉각수용 칠러에 의해 공급된다.

이와 같이 반도체 제조설비에는 챔버의 온도를 조절하기 위한 냉각시스템으로서 칠러 냉각수용 칠러 등이 구비되고, 상기의 챔버와 칠러들 간에는 냉매 또는 냉각수의 유동라인을 형성하는 배관 또는 파이프 들이 설치되는데, 상기 배관 또는 파이프에 사용되는 관으로서는 단일관에 단열재를 피복시켜 사용하거나 내관과 외관이 동심을 이루는 이중관을 사용하는 것이 일반적인다.

최근에는 이중관 형태의 배관 또는 파이프가 주로 사용되고 있으며, 이중관 형태의 경우 외관의 내부에 진공이 형성되어 냉매가 전달되는 내관에 단열 성능이 향상되는 구조로 이루어진다.

종래의 이중관 형태의 진공단열배관은 대한민국등록특허공보 10-1660694호에 개시되어 있다.

상기와 같은 종래의 진공단열배관은 초저온 액화가스 를 이송하는 내관, 내관을 외부에서 둘러싸는 외관, 열전달이 차단되도록 외관과 내관을 이격시키면서 외관을 내관에 탈부착 가능하게 연결시키고, 외관과 내관 사이에 진공단열층이 형성 되게 하는 개스킷 등으로 구성된다.

그러나, 종래의 진공단열배관은 외관의 외측에 별도의 자켓슬리브를 설치하여 내관의 연결부에 진공단열층이 형성될 수 있도록 구성되어 있으나, 내관 및 외관 그리고 자켓슬리브의 조립이 복잡하게 이루어져 조립시간이 장시간 소요되는 문제점 있다.

또한, 자켓슬리브의 진공단열을 위해 별도의 가스켓 및 슬리브 고정수단이 추가적으로 설치됨에 조립비용이 증가할 뿐만 아니라 자켓슬리브의 조립부 또는 연결부에 온도차에 의한 결로 현상이 발생되는 문제점이 있다.

대한민국등록특허공보 10-1660694

따라서, 본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 제1,2커버파이프의 내부에 각각 주름관 형태의 제1,2단열길이보장부재가 설치되어, 제1,2커버파이프의 내부에서 단열길이를 증가시켜줌으로써 열평형에 의한 단열 성능을 높일 수 있는 진공단열배관 어셈블리를 제공하는 것이다.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명에 의한 진공단열배관 어셈블리는, 중공된 관체로 이루어져, 외관을 형성하는 제1커버파이프와, 상기 제1커버파이프와 연결되며, 중공된 관체로 이루어져 외관을 형성하는 제2커버파이프와, 상기 제1커버파이프의 내부에 설치되며, 내부를 따라 냉매의 유동을 안내하는 제1냉매공급배관과, 상기 제2커버파이프의 내부에 설치되며, 상기 제1냉매공급배관과 연결되어 내부를 따라 냉매의 유동을 안내하는 제2냉매공급배관과, 중공된 관체로 이루어져, 상기 제1냉매공급배관의 일부분을 감싸도록 설치되며, 내부에 진공영역이 형성되는 제1연결부진공관체와, 중공된 관체로 이루어져, 상기 제2냉매공급배관의 일부분을 감싸도록 설치되며, 내부에 진공영역이 형성되는 제2연결부진공관체와, 일단은 상기 제1커버파이프의 내부면에 고정 결합되고, 타단은 제1연결부진공관체의 단부에 고정되어 단열길이를 보장하는 제1단열길이보장부재와, 일단은 상기 제2커버파이프의 내부면에 고정 결합되고, 타단은 상기 제2연결부진공관체의 단부에 고정되어 단열길이를 보장하는 제2단열길이보장부재를 포함한다.

상기 제1단열길이보장부재 및 상기 제2단열길이보장부재는, 주름관 형태로 이루어져, 단열길이가 연장된다.

상기 제2냉매공급배관은, 중공된 관형태로 이루어져, 상기 제1냉매공급배관(20)과 연결되어 냉매를 안내하는 연결배관과, 주름관 형태로 이루어져, 상기 연결배관의 단부에 결합 고정되며, 상기 연결배관을 신축시킴과 동시에 냉매의 유동을 안내하는 신축배관과, 상기 신축배관의 단부에 고정 결합되며, 냉매의 유동을 안내하는 공급배관을 포함한다.

상기 제1냉매공급배관과 제2냉매공급배관 사이에는, 상기 제1냉매공급배관의 끝단과 상기 제2냉매공급배관의 끝단이 각각 내부에 결합 고정되는 배관커플러가 더 구비된다.

상기 제1냉매공급배관의 끝단과 상기 제2냉매공급배관의 끝단이 상기 배관커플러에 결합 고정되는 경우에는 상기 신축배관에 의해 상기 연결배관이 연장 배치되고, 상기 제1커버파이프와 상기 제2커버파이프가 조립되는 경우에는 상기 신축배관에 의해 상기 연결배관이 수축 배치됨을 특징으로 한다.

본 발명에 의한 진공단열배관 어셈블리는 다음과 같은 효과가 있다.

본 발명은, 제1,2커버파이프의 내부에 각각 주름관 형태의 제1,2단열길이보장부재가 설치되어, 제1,2커버파이프의 내부에서 단열길이를 증가시켜줌으로써 열평형에 의한 단열 성능이 향상되는 효과가 있다.

또한, 신축배관에 의해 연결배관이 신축 가능하게 동작됨에 따라 제1진공단열파이프모듈과 제2진공단열파이프모듈의 조립시 연결배관이 외부로 노출된 상태에서 조립이 이루어질 수 있으므로 조립 편리성이 향상될 수 있는 이점이 있다.

도 1은 본 발명에 의한 진공단열배관 어셈블리의 바람직한 실시예의 구성을 보인 사시도.
도 2는 본 발명에 의한 진공단열배관 어셈블리의 바람직한 실시예의 구성을 보인 단면사시도.
도 3은 본 발명에 의한 진공단열배관 어셈블리의 바람직한 실시예의 구성을 보인 단면도.
도 4는 본 발명 실시예를 구성하는 제1진공단열파이프모듈과 제2진공단열파이프모듈이 분리된 상태를 나타내는 분해사시도.
도 5는 본 발명 실시예를 구성하는 제1진공단열파이프모듈과 제2진공단열파이프모듈이 분리된 상태를 나타내는 단면도.
도 6은 본 발명 실시예를 구성하는 제1진공단열파이프모듈의 구성을 나타내는 단면도.
도 7은 본 발명 실시예를 구성하는 제2진공단열파이프모듈의 구성을 나타내는 단면도.
도 8은 본 발명 실시예를 구성하는 배관커플러에 제1냉매공급배관과 제2냉매공급배관이 조립되기전 상태를 나타내는 확대단면도.
도 9는 본 발명 실시예를 구성하는 배관커플러에 제1냉매공급배관과 제2냉매공급배관이 조립된 후 제1진공단열파이프모듈과 제2진공단열파이프모듈이 서로 완전히 조립된 상태를 나타내는 확대단면도.

이하 본 발명에 의한 진공단열배관 어셈블리의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.

도 1에는 본 발명에 의한 진공단열배관 어셈블리의 바람직한 실시예의 구성을 보인 사시도가 도시되어 있고, 도 2에는 본 발명에 의한 진공단열배관 어셈블리의 바람직한 실시예의 구성을 보인 단면사시도가 도시되어 있고, 도 3에는 본 발명에 의한 진공단열배관 어셈블리의 바람직한 실시예의 구성을 보인 단면도가 도시되어 있고, 도 4에는 본 발명 실시예를 구성하는 제1진공단열파이프모듈과 제2진공단열파이프모듈이 분리된 상태를 나타내는 분해사시도가 도시되어 있고, 도 5에는 본 발명 실시예를 구성하는 제1진공단열파이프모듈과 제2진공단열파이프모듈이 분리된 상태를 나타내는 단면도가 도시되어 있고, 도 6에는 본 발명 실시예를 구성하는 제1진공단열파이프모듈의 구성을 나타내는 단면도가 도시되어 있고, 도 7에는 본 발명 실시예를 구성하는 제2진공단열파이프모듈의 구성을 나타내는 단면도가 도시되어 있고, 도 8에는 본 발명 실시예를 구성하는 배관커플러에 제1냉매공급배관과 제2냉매공급배관이 조립되기전 상태를 나타내는 확대단면도가 도시되어 있고, 도 9에는 본 발명 실시예를 구성하는 배관커플러에 제1냉매공급배관과 제2냉매공급배관이 조립된 후 제1진공단열파이프모듈과 제2진공단열파이프모듈이 서로 완전히 조립된 상태를 나타내는 확대단면도가 도시되어 있다.

이들 도면에 도시된 바과 같이, 본 발명에 의해 진공단열배관 어셈블리는, 중공된 관체로 이루어져, 외관을 형성하는 제1커버파이프(12)와, 상기 제1커버파이프(12)와 연결되며, 중공된 관체로 이루어져 외관을 형성하는 제2커버파이프(42)와, 상기 제1커버파이프(12)의 내부에 설치되며, 내부를 따라 냉매의 유동을 안내하는 제1냉매공급배관(20)과, 상기 제2커버파이프(42)의 내부에 설치되며, 상기 제1냉매공급배관(20)과 연결되어 내부를 따라 냉매의 유동을 안내하는 제2냉매공급배관(50)과, 중공된 관체로 이루어져, 상기 제1냉매공급배관(20)의 일부분을 감싸도록 설치되며, 내부에 진공영역이 형성되는 제1연결부진공관체(22)와, 중공된 관체로 이루어져, 상기 제2냉매공급배관(50)의 일부분을 감싸도록 설치되며, 내부에 진공영역이 형성되는 제2연결부진공관체(60)와, 일단은 상기 제1커버파이프(12)의 내부면에 고정 결합되고, 타단은 제1연결부진공관체(22)의 단부에 고정되어 단열길이를 보장하는 제1단열길이보장부재(30)와, 일단은 상기 제2커버파이프(42)의 내부면에 고정 결합되고, 타단은 상기 제2연결부진공관체(60)의 단부에 고정되어 단열길이를 보장하는 제2단열길이보장부재(70) 등으로 이루어진다.

본 발명에 의한 진공단열배관 어셈블리는 극저온의 냉매를 반도체 제조설비에 공급하는 배관으로서, 상기 진공단열배관 어셈블리에 의해 공급되는 냉매는 반도체 공정 미세화로 인한 초저온(-100℃ 이하) 공정용으로 사용되며 외부에 의한 대류 열전달을 줄이고, 내부 냉매의 온도를 일정하게 유지하기 위해 내부 냉매 배관을 외부 배관으로 감싸고 그 사이를 진공으로 유지하는 냉매의 효율을 극대화할 수 있다.

본 발명에 의한 진공단열배관 어셈블리는 크게 제1진공단열파이프모듈(10)과 제2진공단열파이프모듈(40) 등으로 이루어진다.

상기 제1진공단열파이프모듈(10)은 제1커버파이프(12), 제1냉매공급배관(20), 제1연결부진공관체(22), 제1단열길이보장부재(30) 등으로 구성된다.

상기 제1커버파이프(12)는 중공된 원통 형상으로 이루어져, 좌우로 길게 형성된다. 상기 제1커버파이프(12)의 내부에는 후술할 제1냉매공급배관(20)이 설치되어 제1냉매공급배관(20)을 보호하는 역할을 한다.

상기 제1커버파이프(12)의 우측단에는 제1고정플랜지(14)가 설치된다. 상기 제1고정플랜지(14)는 일반적인 플랜지로 자세한 설명은 생략한다. 상기 제1고정플랜지(14)는 원형링 형상을 가지며, 상기 제1커버파이프(12)의 우측단에 고정 설치된다. 상기 제1고정플랜지(14)는 후술할 제2고정플랜지(44)에 나사 방식 또는 용접 방식으로 고정 결합되어 상기 제1커버파이프(12)를 후술할 제2커버파이프(42)에 연결하는 역할을 한다.

상기 제1커버파이프(12)의 내부에는 제1냉매공급배관(20)이 설치된다. 상기 제1냉매공급배관(20)은 상기 제1커버파이프(12) 보다 작은 직경을 가지는 중공된 관체로 이루어져, 좌우로 길게 형성된다. 상기 제1냉매공급배관(20)의 내부에는 냉매가 공급되어 냉매의 유동이 이루어지는 부분이다.

상기 제1냉매공급배관(20)의 외주면에는 제1연결부진공관체(22)가 설치된다. 상기 제2연결부진공관체(60)는 내부가 중공된 원통 형상을 가지며, 좌우로 길게 형성된다. 상기 제1연결부진공관체(22)의 내부에는 상기 제1냉매공급배관(20)의 우측단이 관통 설치된다. 상기 제1연결부진공관체(22)는 상기 제1냉매공급배관(20)의 우측단을 감싸도록 설치되어, 상기 제1냉매공급배관(20)의 외측에 공기층을 형성하는 역할을 한다.

즉, 상기 제1연결부진공관체(22)에 의해 상기 제1냉매공급배관(20)의 외측에 공기층에 의한 단열공간이 형성되어, 냉매가 상기 제1냉매공급배관(20)을 통해 유동하는 과정에서 열전달에 의한 온도변화를 최소화하는 역할을 한다.

상기 제1연결부진공관체(22)의 우측단에는 제1연결부결합플랜지(24)가 설치된다. 상기 제1연결부결합플랜지(24)는 일반적인 플랜지(flange)로 자세한 설명은 생략한다. 상기 제1연결부결합플랜지(24)는 상기 제1연결부진공관체(22)의 우측단에 고정 설치되어 후술할 제2연결부결합플랜지(62)에 나사 고정방식 또는 용접 고정방식으로 고정되는 부분이다.

상기 제1연결부진공관체(22)의 외측에는 제1단열길이보장부재(30)가 설치된다. 상기 제1단열길이보장부재(30)는 제1열전달방지부(32), 제1파이프고정플랜지(34) 등으로 이루어진다.

상기 제1열전달방지부(32)는 주름관 형태 또는 벨로우즈 형태을 가지는 관체로 이루어져, 좌우로 길게 형성된다. 상기 제1열전달방지부(32)의 일단은 상기 제1연결부결합플랜지(24)에 고정 설치되고, 타단은 후술할 제1파이프고정플랜지(34)에 고정 설치된다. 상기 제1열전달방지부(32)는 상기 제1커버파이프(12)의 내부에 설치되어, 상기 제1커버파이프(12)의 진공영역 내부에서 단열길이를 증가시켜줌으로써, 열평형에 의한 단열 성능을 높이는 역할을 한다.

즉, 상기 제1열전달방지부(32)가 주름관 형태로 이루어짐에 따라 직선관 형태 보다는 전체적인 단열길이가 증가됨에 따라 열평형 구간이 증가되어 단열 성능이 향상될 수 있다.

따라서, 상기와 같은 상기 제1열전달방지부(32)의 구조에 의해 전체적인 길이를 줄이면서도 단열길이를 확보할 수 있다.

또한, 상기 제1열전달방지부(32)는 상기 제1연결부진공관체(22)와 상기 제1커버파이프(12) 사이에 설치되어, 서로 다른 진공단열파이프모듈의 조립 작업시 상기 제1커버파이프(12)의 진공영역이 외부에 노출되는 것을 방지하는 역할을 한다.

상기 제1열전달방지부(32)의 좌측단에는 제1파이프고정플랜지(34)가 설치된다. 상기 제1파이프고정플랜지(34)는 일반적인 플랜지(flange)로 자세한 설명은 생략한다. 상기 제1파이프고정플랜지(34)는 원형링 형상을 가지며, 상기 제1커버파이프(12)의 내부면에 고정 결합된다. 상기 제1파이프고정플랜지(34)의 측면에는 상기 제1열전달방지부(32)의 좌측단이 고정되어, 상기 제1열전달방지부(32)의 좌측단을 지지하는 역할을 한다.

상기 제1진공단열파이프모듈(10)의 우측에는 제2진공단열파이프모듈(40)에 결합 고정된다.

상기 제2진공단열파이프모듈(40)은 제2커버파이프(42), 제2냉매공급배관(50), 제2연결부진공관체(60), 제2단열길이보장부재(70) 등으로 구성된다.

상기 제2커버파이프(42)는 상기 제1커버파이프(12)와 마찬가지로 중공된 원통 형상으로 이루어져, 좌우로 길게 형성된다. 상기 제2커버파이프(42)의 내부에는 후술할 제2냉매공급배관(50)이 설치되어 제2냉매공급배관()을 보호하는 역할을 한다.

상기 제2커버파이프(42)의 좌측단에는 제2고정플랜지(44)가 설치된다. 상기 제2고정플랜지(44)는 일반적인 플랜지(flange)로 자세한 설명은 생략한다. 상기 제2고정플랜지(44)는 원형링 형상을 가지며, 상기 제2커버파이프(42)의 좌측단에 고정 설치된다. 상기 제2고정플랜지(44)는 상기 제1고정플랜지(14)에 나사 방식 또는 용접 방식으로 고정 결합되어 상기 제2커버파이프(42)를 상기 제1커버파이프(12)에 연결하는 역할을 한다.

상기 제2커버파이프(42)의 내부에는 제2냉매공급배관(50)이 설치된다. 상기 제2냉매공급배관(50)은 연결배관(52), 신축배관(54), 공급배관(56) 등으로 이루어진다. 상기 연결배관(52)은 상기 제2커버파이프(42) 보다 작은 직경을 가지는 중공된 관체로 이루어져, 좌우로 길게 형성된다. 상기 연결배관(52)은 상기 제1냉매공급배관(20)과 연결되어 냉매의 유동이 이루어지는 부분이다.

상기 연결배관(52)의 우측단에는 신축배관(54)이 설치된다. 상기 신축배관(54)은 주름관 형태 또는 벨로우즈 형태를 가지는 관체로 이루어져, 좌우로 길게 형성된다. 상기 신축배관(54)의 일단은 상기 연결배관(52)에 고정 설치되고, 타단은 후술할 공급배관(56)에 고정 설치된다. 상기 신축배관(54)은 상기 연결배관(52)에 우측단에 고정 설치되어 상기 연결배관(52)을 신축시키는 역할을 한다.

또한, 상기 신축배관(54)은 상기 연결배관(52)과 연통되어, 상기 연결배관(52)을 통해 전달되는 냉매가 후술할 공급배관(56)에 전달될 수 있다.

즉, 도 상기 제1진공단열파이프모듈(10)과 상기 제2진공단열파이프모듈(40)이 도 5와 같이 서로 조립되는 상기 연결배관(52)이 상기 제2커버파이프(42)의 외측으로 연장될 수 있으며, 상기 제1진공단열파이프모듈(10)과 상기 제2진공단열파이프모듈(40)이 도 3과 같이 서로 조립이 완료된 이후에는 상기 연결배관(52)이 수축될 수 있다.

따라서, 상기 제1진공단열파이프모듈(10)과 상기 제2진공단열파이프모듈(40)의 조립시 상기 연결배관(52)이 외부로 노출된 상태에서 조립이 이루어질 수 있으므로 조립 편리성이 향상될 수 있으며, 조립 효율을 높일 수 있다.

상기 신축배관(54)의 우측단에는 공급배관(56)이 설치된다. 상기 공급배관(56)은 상기 연결배관(52)과 동일한 직경을 가지는 중공 형태의 관체로 이루어져, 좌우로 길게 형성된다. 상기 공급배관(56)의 좌측단은 상기 신축배관(54)과 연결되어, 상기 신축배관(54)을 통해 전달되는 냉매의 유동이 이루어지는 부분이다.

상기 제2냉매공급배관(50)의 외주면에는 제2연결부진공관체(60)가 설치된다. 상기 제2연결부진공관체(60)는 내부가 중공된 원통 형상을 가지며, 좌우로 길게 형성된다. 상기 제2연결부진공관체(60)의 내부에는 상기 연결배관(52) 및 신축배관(54)이 설치된다. 상기 제2연결부진공관체(60)는 상기 연결배관(52) 및 신축배관(54)을 감싸도록 설치되어, 상기 연결배관(52) 및 신축배관(54)의 외측에 공기층을 형성하는 역할을 한다.

즉, 상기 제2연결부진공관체(60)에 의해 상기 제2냉매공급배관(50)의 외측에 공기층에 의한 단열공간이 형성되어, 냉매가 상기 제2냉매공급배관(50)을 통해 유동하는 과정에서 열전달에 의한 온도변화를 최소화하는 역할을 한다.

상기 제2연결부진공관체(60)의 좌측단에는 제2연결부결합플랜지(62)가 설치된다. 상기 제2연결부결합플랜지(62)는 일반적인 플랜지(flange)로 자세한 설명은 생략한다. 상기 제2연결부결합플랜지(62)는 상기 제2연결부진공관체(60)의 좌측단에 고정 설치되어 상기 제1연결부결합플랜지(24)에 나사 고정방식 또는 용접 고정방식으로 고정되는 부분이다.

상기 제2연결부진공관체(60)의 외측에는 제2단열길이보장부재(70)가 설치된다. 상기 제1단열길이보장부재(30)는 제2열전달방지부(72), 제2파이프고정플랜지(74) 등으로 이루어진다.

상기 제2열전달방지부(72)는 주름관 형태 또는 벨로우즈 형태 형상을 가지는 관체로 이루어져, 좌우로 길게 형성된다. 상기 제2열전달방지부(72)의 일단은 상기 제2연결부결합플랜지(62)에 고정 설치되고, 타단은 후술할 제2파이프고정플랜지(74)에 고정 설치된다. 상기 제2열전달방지부(72)는 상기 제2커버파이프(42)의 내부에 설치되어, 상기 제2커버파이프(42)의 진공영역 내부에서 단열길이를 증가시켜줌으로써, 열평형에 의한 단열 성능을 높이는 역할을 한다.

즉, 상기 제2열전달방지부(72)가 주름관 형태로 이루어짐에 따라 직선관 형태 보다는 전체적인 단열길이가 증가됨에 따라 열평형 구간이 증가되어 단열 성능이 향상될 수 있다.

따라서, 상기와 같은 상기 제2열전달방지부(72)의 구조에 의해 전체적인 길이를 줄이면서도 단열길이를 확보할 수 있다.

또한, 상기 제2열전달방지부(72)는 상기 제2연결부진공관체(60)와 상기 제2커버파이프(42) 사이에 설치되어, 서로 다른 진공단열파이프모듈의 조립 작업시 상기 제2커버파이프(42)의 진공영역이 외부에 노출되는 것을 방지하는 역할을 한다.

상기 제2열전달방지부(72)의 우측단에는 제2파이프고정플랜지(74)가 설치된다. 상기 제2파이프고정플랜지(74)는 일반적인 플랜지(flange)로 자세한 설명은 생략한다. 상기 제2파이프고정플랜지(74)는 원형링 형상을 가지며, 상기 제2커버파이프(42)의 내부면에 고정 결합된다. 상기 제2파이프고정플랜지(74)의 측면에는 상기 제2열전달방지부(72)의 우측단이 고정되어, 상기 제2열전달방지부(72)의 우측단을 지지하는 역할을 한다.

상기 제1냉매공급배관(20)과 상기 제2냉매공급배관(50)의 사이에는 배관커플러(80)가 설치된다. 상기 배관커플러(80)는 일반적인 커플러(copler)로 자세한 설명은 생략한다. 상기 배관커플러(80)의 양측 내부에는 도 9와 같이, 상기 제1냉매공급배관(20)의 우측단부와 상기 제2냉매공급배관(50)의 좌측단부가 나사 고정 방식 또는 압입 방식을 통해 각각 고정 결합된다. 상기 배관커플러(80)는 서로 다른 냉매공급배관 사이에 설치되어, 서로 다른 냉매공급배관(56)을 연결하는 역할을 한다.

상기와 같이 본 발명에 의한 진공단열배관 어셈블리는 제1,2커버파이프의 내부에 각각 주름관 형태의 제1,2단열길이보장부재(30,70)가 설치되어, 상기 제1,2커버파이프(12,42)의 내부에서 단열길이를 증가시켜줌으로써 열평형에 의한 단열 성능을 높일 수 있다.

또한, 상기 제1,2열전달방지부(32,72)가 주름관 형태로 이루어짐에 따라 직선관 형태 보다는 전체적인 단열길이가 증가됨에 따라 열평형 구간이 증가되어 단열 성능이 향상될 수 있으며, 상기 제1,2열전달방지부(32,72)의 구조에 의해 전체적인 길이를 줄이면서도 단열길이를 확보할 수 있다.

그리고, 상기 신축배관(54)에 의해 상기 연결배관(52)의 신축 가능하게 동작됨에 따라 상기 제1진공단열파이프모듈(10)과 상기 제2진공단열파이프모듈(40)의 조립시 상기 연결배관(52)이 외부로 노출된 상태에서 조립이 이루어질 수 있으므로 조립 편리성이 향상될 수 있으며 조립 효율을 높일 수 있다.

이러한 본 발명의 범위는 상기에서 예시한 실시예에 한정되지 않고, 상기와 같은 기술범위 안에서 당 업계의 통상의 기술자에게 있어서는 본 발명을 기초로 하는 다른 많은 변형이 가능할 것이다.

10. 제1진공단열파이프모듈 12. 제1커버파이프
14. 제1고정플랜지 20. 제1냉매공급배관
22. 제1연결부진공관체 24. 제1연결부결합플랜지
30. 제1단열길이보장부재 32. 제1열전달방지부
34. 제1파이프고정플랜지 40. 제2진공단열파이프모듈
42. 제2커버파이프 44. 제2고정플랜지
50. 제2냉매공급배관 52. 연결배관
54. 신축배관 56. 공급배관
60. 제2연결부진공관체 62. 제2연결부결합플랜지
70. 제2단열길이보장부재 72. 제2열전달방지부
74. 제2파이프고정플랜지 80. 배관커플러

Claims (5)

1. 중공된 관체로 이루어져, 외관을 형성하는 제1커버파이프와;
   상기 제1커버파이프와 연결되며, 중공된 관체로 이루어져 외관을 형성하는 제2커버파이프와;
   상기 제1커버파이프의 내부에 설치되며, 내부를 따라 냉매의 유동을 안내하는 제1냉매공급배관과;
   상기 제2커버파이프의 내부에 설치되며, 상기 제1냉매공급배관과 연결되어 내부를 따라 냉매의 유동을 안내하는 제2냉매공급배관과;
   중공된 관체로 이루어져, 상기 제1냉매공급배관의 일부분을 감싸도록 설치되며, 내부에 진공영역이 형성되는 제1연결부진공관체와;
   중공된 관체로 이루어져, 상기 제2냉매공급배관의 일부분을 감싸도록 설치되며, 내부에 진공영역이 형성되는 제2연결부진공관체와;
   일단은 상기 제1커버파이프의 내부면에 고정 결합되고, 타단은 제1연결부진공관체의 단부에 고정되어 단열길이를 보장하는 제1단열길이보장부재와;
   일단은 상기 제2커버파이프의 내부면에 고정 결합되고, 타단은 상기 제2연결부진공관체의 단부에 고정되어 단열길이를 보장하는 제2단열길이보장부재;를 포함하는 진공단열배관 어셈블리.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 제1단열길이보장부재 및 상기 제2단열길이보장부재는,
   주름관 형태로 이루어져, 단열길이가 연장됨을 특징으로 하는 진공단열배관 어셈블리.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 제2냉매공급배관은,
   중공된 관형태로 이루어져, 상기 제1냉매공급배관과 연결되어 냉매를 안내하는 연결배관과;
   주름관 형태로 이루어져, 상기 연결배관의 단부에 결합 고정되며, 상기 연결배관을 신축시킴과 동시에 냉매의 유동을 안내하는 신축배관과;
   상기 신축배관의 단부에 고정 결합되며, 냉매의 유동을 안내하는 공급배관;을 포함하는 진공단열배관 어셈블리.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 제1냉매공급배관과 제2냉매공급배관 사이에는,
   상기 제1냉매공급배관의 끝단과 상기 제2냉매공급배관의 끝단이 각각 내부에 결합 고정되는 배관커플러가 더 구비됨;을 특징으로 하는 진공단열배관 어셈블리.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 제1냉매공급배관의 끝단과 상기 제2냉매공급배관의 끝단이 상기 배관커플러에 결합 고정되는 경우에는 상기 신축배관에 의해 상기 연결배관이 연장 배치되고;
   상기 제1커버파이프와 상기 제2커버파이프가 조립되는 경우에는 상기 신축배관에 의해 상기 연결배관이 수축 배치됨;을 특징으로 하는 진공단열배관 어셈블리.