CN220169971U - 炉尾盖及炉尾密封装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种炉尾盖及炉尾密封装置，炉尾盖用于密封热炉的炉尾端，炉尾盖上设有与热炉内部的炉管连通的气管，且炉尾盖内部具有冷却腔，冷却腔内流通有冷却液。由于炉尾盖上设有与热炉内部的炉管连通的气管，在炉尾盖安装过程中无需像现有技术中需要穿过炉管上的支管的安装操作，使得炉尾盖对装配手法的要求较低，安装难度较小，方便了炉尾盖的安装以及拆卸。与此同时，由于炉尾盖内部具有冷却腔，一方面冷却腔的冷却作用能够保证热炉的炉尾端具有较低的温度，另一方面还能够使得安装在炉尾端的炉尾密封件的环境温度保持在允许范围之内，降低了炉尾密封件的老化速度，延长了炉尾密封件的使用寿命。

Description

炉尾盖及炉尾密封装置

技术领域

本实用新型涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种炉尾盖及炉尾密封装置。

背景技术

现有的尾盖密封装置是由尾盖钣金、硅酸铝隔热层等零件组成，广泛应用于光伏、半导体领域的热处理设备中。如图1所示：现有的结构是将硅酸铝隔热层2嵌套在尾盖钣金1上，然后将组成的尾盖密封装置通过螺栓固定在热场上，从而达到隔绝热源、保护热处理设备尾部的效果。由于安装在热场3上炉管4与尾盖密封装置为一体式，且炉管4的尾部存在多个气管41，现有结构加工困难，同时安装时对装配手法有一定的要求，难度较大，安装时可能会损坏石英管，生产效率低。

此外，为了确保尾盖密封装置与热场的连接密封性，通常会设置一个炉尾密封圈，但是由于尾盖密封装置与热场连接位置的温度相对较高，炉尾密封圈非常容易老化，使用寿命较短。

实用新型内容

本实用新型的第一个目的在于提出一种炉尾盖，该炉尾盖的安装方便，且能够较好地冷却炉尾密封件，延长炉尾密封件的使用寿命。

本实用新型的第二个目的在于提出一种炉尾密封装置，该炉尾密封装置的安装较为方便，且能够较好地冷却炉尾密封件，延长炉尾密封件的使用寿命。

为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

本实用新型公开了一种炉尾盖，所述炉尾盖用于密封热炉的炉尾端，所述炉尾盖上设有与所述热炉内部的炉管连通的气管，且所述炉尾盖内部具有冷却腔，所述冷却腔内流通有冷却液，冷却腔的一部分设在炉尾盖用于密封炉尾端的结构内。

在一些实施例中，所述冷却腔包括连通的第一腔体和第二腔体，所述第二腔体的纵截面与所述炉管的轴向垂直设置，所述第一腔体环绕所述第二腔体的周向设置。

在一些具体的实施例中，所述第二腔体内设有多个沿所述炉管的周向间隔设置的挡水板。

在一些更具体的实施例中，所述气管穿过所述第二腔体，沿所述炉管的周向相邻的两个挡水板中，其中一个所述挡水板的一端与所述气管相连，另一端与所述第二腔体的侧壁间隔设置，另一个所述挡水板的一端与所述第二腔体的侧壁相连，另一端与所述气管间隔设置。

在一些具体的实施例中，所述第一腔体内还设有挡板，所述挡板位于所述第一腔体的进液口和所述第一腔体的出液口之间。

在一些实施例中，所述炉尾盖上还设有进液管和出液管，所述进液管与所述第一腔体连通，所述出液管与所述第二腔体连通。

在一些实施例中，所述炉尾盖包括：围板，所述围板包括竖板和连接于所述竖板上的两个环形板，两个所述环形板间隔设置；外封板，所述外封板与两个所述环形板相连，且与所述两个环形板限定出第一腔体；内封板，所述内封板连接于位于内侧的所述环形板的内周壁，且与所述竖板限定出第二腔体；其中：位于内侧的所述环形板上设有连通所述第一腔体和所述第二腔体的连通孔。

在一些实施例中，所述炉尾盖朝向所述炉管的一侧具有与所述炉管配合的配合槽以及止抵于炉尾密封件的密封凸起。

在一些实施例中，所述炉尾盖沿其周向设有法兰盘，所述法兰盘用于与所述热炉的炉尾法兰相连。

本实用新型还公开了一种炉尾密封装置，包括：法兰安装板，所述法兰安装板套设于热炉的炉尾端；炉尾法兰，所述炉尾法兰安装于所述法兰安装板；前文所述的炉尾盖，所述炉尾盖连接于所述炉尾法兰且用于封闭所述炉尾端，所述炉尾盖与所述炉尾法兰之间设有炉尾密封件。

在一些具体的实施例中，所述炉尾盖上设有第一安装孔，所述炉尾法兰上设有与所述第一安装孔对应设置的第二安装孔，所述法兰安装板设有与所述第二安装孔对应设置的第三安装孔，连接件穿过所述第一安装孔、所述第二安装孔以及所述第三安装孔将所述炉尾盖、所述炉尾法兰及所述法兰安装板固定连接。

本实用新型的炉尾盖的有益效果：由于炉尾盖上设有与热炉内部的炉管连通的气管，在炉尾盖安装过程中无需像现有技术中需要穿过炉管上的支管的安装操作，使得炉尾盖对装配手法的要求较低，安装难度较小，方便了炉尾盖的安装以及拆卸。与此同时，由于炉尾盖内部具有冷却腔，冷却腔的一部分设在炉尾盖用于密封炉尾端的结构内，一方面冷却腔能够降低由炉管内部向炉尾端辐射的热量，能够保证热炉的炉尾端具有较低的温度，另一方面还能够使得安装在炉尾端的炉尾密封件的环境温度保持在允许范围之内，降低了炉尾密封件的老化速度，延长了炉尾密封件的使用寿命。

本实施例新型的炉尾密封装置的有益效果：在实际安装过程中，只需要将法兰安装板套设于炉尾端，然后将炉尾法兰安装到法兰安装板上，最后将炉尾盖安装到法兰安装板上既可，由于炉尾盖上设有与炉管连通的气管，在炉尾密封装置安装过程中无需像现有技术中需要穿过支管的安装操作，使得炉尾密封装置对装配手法的要求较低，安装难度较小，方便了炉尾密封装置的安装以及拆卸。此外，仅由一个炉尾法兰和一个炉尾盖通过挤压炉尾密封件进行密封，整个炉尾密封装置仅有一处密封点，降低了漏气时的排查难度。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是现有技术中的尾盖密封装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例的炉尾盖的结构示意图；

图3是本实用新型的炉尾盖的内部结构示意图；

图4是本实用新型实施例的炉尾盖的另一个方向的结构示意图；

图5是图4所示的A-A向剖视图；

图6是本实用新型实施例的炉尾盖的局部结构示意图；

图7是图6所示的B-B向剖视图；

图8是图6所示结构的另一方向的结构示意图；

图9是本实用新型实施例的炉尾密封装置的剖视图；

图10是图9的局部结构放大视图。

附图标记：

图1中：

1、尾盖钣金；2、硅酸铝隔热层；3、热场；4、炉管；41、气管；

图2-图10中：

10、炉尾盖；11、气管；12、冷却腔；121、第一腔体；1211、挡板；122、第二腔体；1221、挡水板；13、围板；131、竖板；132、环形板；1321、连通孔；14、外封板；15、内封板；16、配合槽；17、密封凸起；18、法兰盘；181、第一安装孔；20、进液管；30、出液管；100、法兰安装板；110、第三安装孔；200、炉尾法兰；210、第二安装孔；300、炉尾密封件；400、炉管；500、隔热件。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考图2-图7描述本实用新型实施例的炉尾盖10的结构。

本实用新型公开了一种炉尾盖10，炉尾盖10用于密封热炉的炉尾端，炉尾盖10上设有与热炉内部的炉管400连通的气管11，且炉尾盖10内部具有冷却腔12，冷却腔12内流通有冷却液，冷却腔12的一部分设在炉尾盖10用于密封炉尾端的结构内。可以理解的是，由于炉尾盖10上设有与热炉内部的炉管400连通的气管11，在炉尾盖10安装过程中无需像现有技术中需要穿过炉管400上的支管的安装操作，使得炉尾盖10对装配手法的要求较低，安装难度较小，方便了炉尾盖10的安装以及拆卸。与此同时，由于炉尾盖10内部具有冷却腔12，冷却腔12的一部分设在炉尾盖10用于密封炉尾端的结构内，一方面冷却腔12能够降低由炉管400内部向炉尾端辐射的热量，能够保证热炉的炉尾端具有较低的温度，另一方面还能够使得安装在炉尾端的炉尾密封件300的环境温度保持在允许范围之内，降低了炉尾密封件300的老化速度，延长了炉尾密封件300的使用寿命。

在一些实施例中，如图3-图4所示，冷却腔12包括连通的第一腔体121和第二腔体122，第二腔体122的纵截面与炉管400的轴向垂直设置，第一腔体121环绕第二腔体122的周向设置。可以理解的是，由于第一腔体121为环形的冷却道，能够较好地实现对炉尾密封件300内圈的冷却，从而使得安装在炉尾端的炉尾密封件300的环境温度保持在允许范围之内。第二腔体122的纵截面与炉管400的轴向垂直设置，使得第二腔体122能够降低由炉管400内部向炉尾端辐射的热量，从而实现对炉尾密封件300的进一步冷却。

在一些具体的实施例中，如图4所示，第二腔体122内设有多个沿炉管400的周向间隔设置的挡水板1221。可以理解的是，挡水板1221能够将第二腔体122划分为可供冷却液流动的水道，并布满整个第二腔体122，有利于提升第二腔体122内的冷却液降低由炉管400内部向炉尾端辐射的热量的作用。

在一些更具体的实施例中，如图4所示，气管11穿过第二腔体122，沿炉管400的周向相邻的两个挡水板1221中，其中一个挡水板1221的一端与气管11相连，另一端与第二腔体122的侧壁间隔设置，另一个挡水板1221的一端与第二腔体122的侧壁相连，另一端与气管11间隔设置。可以理解的是，在冷却液流通过程中，挡水板1221与第二腔体122的侧壁间隔设置的端部形成冷夜液流过的流通口，挡水板1221与气管11间隔设置的端部也能形成冷夜液流过的流通口。相邻两个挡水板1221形成的流通口沿第二腔体122的径向间隔分布，这样能够延长挡水板1221形成的供冷却液流动的水道的长度，从而有利于提升冷却液的冷却效果。

这里需要额外说明的是，在本实用新型的实施例中，挡水板1221的具体形状可以根据实际需要选择直板，也可以为弧形板，还可以为其他形状的板结构，在此不对挡水板1221的具体结构做出限定。

在一些具体的实施例中，如图8所示，第一腔体121内还设有挡板1211，挡板1211位于所述第一腔体121的进液口和所述第一腔体121的出液口之间。可以理解的是，由于挡板1211位于所述第一腔体121的进液口和所述第一腔体121的出液口之间，也就是说，在第一腔体121的周向方向上，挡板1211位于第一腔体121和第二腔体122的连通孔1321及第一腔体121的进液口之间。在实际工作过程中，由于第一腔体121内还设有挡板1211，冷却液从第一腔体121的进液口进入第一腔体121后，需要流动较长的距离才会从连通孔1321进入第二腔体122。由此，在实际冷却过程中，能使冷却液先对第一腔体121进行冷却在对第二腔体122冷却，从而优先保护炉尾密封件300。

在一些实施例中，如图3-图4及图6所示，炉尾盖10上还设有进液管20和出液管30，进液管20与第一腔体121连通，出液管30与第二腔体122连通。可以理解的是，在实际工作过程中，外部液源的冷却液从进液管20进入第一腔体121，充满第一腔体121后进入第二腔体122，然后从出液管30回到外部液源，这样能够使得整个冷却腔12内的冷却液在实际工作过程中始终处于循环流通的状态，有利于冷却炉尾密封件300以及热炉的炉尾端。

在一些实施例中，如图3及图8所示，炉尾盖10包括围板13、外封板14和内封板15，围板13包括竖板131和连接于竖板131上的两个环形板132，两个环形板132间隔设置，外封板14与两个环形板132相连，且与两个环形板132限定出第一腔体121，内封板15连接于位于内侧的环形板132的内周壁，且与竖板131限定出第二腔体122。位于内侧的环形板132上设有连通第一腔体121和第二腔体122的连通孔1321。可以理解的是，在实际组装过程中，将外封板14和内封板15通过焊接等密封连接的方式连接到围板13上即可，将炉尾盖10拆分为多个板形结构组装的结构能够方便炉尾盖10的制造，提升炉尾盖10的制造效率以及制造良率。

优选的，连通孔1321与第一腔体121的进液口对称设置，这样能够使得第一腔体121内的冷却液充满后才从连通孔1321进入第二腔体122，确保了第一腔体121内的冷却液的含量。

在一些实施例中，如图3所示，炉尾盖10朝向炉管400的一侧具有炉管400配合的配合槽16。可以理解的是，炉管400的一端插接于配合槽16能够确保炉尾盖10对炉管400的密封，从而避免在实际工作过程中，热炉出现漏气的现象。

在一些实施例中，如图5所示，炉尾盖10朝向炉管400的一侧具有止抵于炉尾密封件300的密封凸起17，可以理解的是，在实际安装过程中，炉尾盖10连接在炉尾法兰200上后，密封凸起17能够压紧炉尾密封件300，从而进一步提升整个炉尾盖10对热炉敞开的炉尾端的密封性。

在一些实施例中，如图2所示，炉尾盖10沿其周向设有法兰盘18，法兰盘18用于与热炉的炉尾法兰200相连。可以理解的是，通过法兰盘18与炉尾法兰200相连，一方面提升了炉尾盖10与炉尾法兰200的连接稳定性，另一方面确保了炉尾盖10和炉尾法兰200的连接密封性。

实施例：

下面参考图2-图7描述本实用新型一个具体的实施例的炉尾盖10的具体结构。

如图2-图7所示，炉尾盖10上设有与热炉内部的炉管400连通的多个气管11、进液管20和出液管30，炉尾盖10包括围板13、外封板14和内封板15，围板13包括竖板131和连接于竖板131上的两个环形板132，两个环形板132间隔设置，外封板14与两个环形板132相连，且与两个环形板132限定出第一腔体121，内封板15连接于位于内侧的环形板132的内周壁，且与竖板131限定出第二腔体122。第一腔体121与进液管20相连，第二腔体122与出液管30相连，第二腔体122内设有多个沿炉管400的周向间隔设置的挡水板1221。多个气管11中的一个穿过第二腔体122设置，相邻的两个挡水板1221中，其中一个挡水板1221的一端与气管11相连，另一端与第二腔体122的侧壁间隔设置，另一个挡水板1221的一端与第二腔体122的侧壁相连，另一端与气管11间隔设置。炉尾盖10朝向炉管400的一侧具有炉管400配合的配合槽16、止抵于炉尾密封件300的密封凸起17以及与炉尾法兰200相连的法兰盘18。第一腔体121内还设有挡板1211，在第一腔体121的周向方向上，挡板1211位于第一腔体121和第二腔体122的连通孔1321及进液管20之间。

本实施例的炉尾盖10的优点如下：

第一：由于炉尾盖10上设有与热炉内部的炉管400连通的气管11，在炉尾盖10安装过程中无需像现有技术中需要穿过炉管400上的支管的安装操作，方便了炉尾盖10的安装以及拆卸；

第二：由于炉尾盖10内部具有用于流通冷却液的第一腔体121和第二腔体122，第一腔体121内的冷却液能够较好地实现对炉尾密封件300内圈的冷却，第二腔体122能够降低由炉管400内部向炉尾端辐射的热量，从而实现对炉尾密封件300的进一步冷却；

第三：第二腔体122内的挡水板1221能够将第二腔体122划分为可供冷却液流动的水道，并布满整个第二腔体122，有利于提升第二腔体122内的冷却液降低由炉管400内部向炉尾端辐射的热量的作用。

本实用新型还公开了一种炉尾密封装置，如图9-图10所示，该炉尾密封装置包括法兰安装板100、炉尾法兰200和前文所述的炉尾盖10，法兰安装板100套设于热炉的炉尾端，炉尾法兰200安装于法兰安装板100，炉尾盖10连接于炉尾法兰200且用于封闭炉尾端，炉尾盖10与炉尾法兰200之间设有炉尾密封件300。可以理解的是，在实际安装过程中，只需要将法兰安装板100套设于炉尾端，然后将炉尾法兰200安装到法兰安装板100上，最后将炉尾盖10安装到法兰安装板100上既可，由于炉尾盖10上设有与炉管400连通的气管11，在炉尾密封装置安装过程中无需像现有技术中需要穿过支管的安装操作，使得炉尾密封装置对装配手法的要求较低，安装难度较小，方便了炉尾密封装置的安装以及拆卸。此外，仅由一个炉尾法兰200和一个炉尾盖10通过挤压炉尾密封件300进行密封，整个炉尾密封装置仅有一处密封点，降低了漏气时的排查难度。

在一些具体的实施例中，如图10所示，炉尾盖10上设有第一安装孔181，炉尾法兰200上设有与第一安装孔181对应设置的第二安装孔210，法兰安装板100设有与第二安装孔210对应设置的第三安装孔110，连接件穿过第一安装孔181、第二安装孔210以及第三安装孔110将炉尾盖10、炉尾法兰200及法兰安装板100固定连接。可以理解的是，通过连接件穿过第一安装孔181、第二安装孔210以及第三安装孔110将炉尾盖10、炉尾法兰200及法兰安装板100固定连接，能够方便炉尾密封装置的安装和拆卸。

在一些实施例中，如图10所示，炉尾密封装置还包括隔热件500，隔热件500套夹设于法兰安装板100和热炉的端面之间。可以理解的是，隔热件500能够阻隔热量从热炉传递到法兰安装板100上，使得在正常过程中整个炉尾密封装置的温度相对较低，从而避免烫伤工作人员的现象发生。在本实用新型的实施例中，隔热件500的材料可以根据实际需要选择，在此不对隔热件500的具体材料做出限定。

在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.炉尾盖，其特征在于，所述炉尾盖用于密封热炉的炉尾端，所述炉尾盖上设有与所述热炉内部的炉管连通的气管，且所述炉尾盖内部具有冷却腔，所述冷却腔内流通有冷却液，所述冷却腔的一部分设在所述炉尾盖用于密封所述炉尾端的结构内。

2.根据权利要求1所述的炉尾盖，其特征在于，所述冷却腔包括连通的第一腔体和第二腔体，所述第二腔体的纵截面与所述炉管的轴向垂直设置，所述第一腔体环绕所述第二腔体的周向设置。

3.根据权利要求2所述的炉尾盖，其特征在于，所述第二腔体内设有多个沿所述炉管的周向间隔设置的挡水板。

4.根据权利要求3所述的炉尾盖，其特征在于，所述气管穿过所述第二腔体，沿所述炉管的周向相邻的两个所述挡水板中，其中一个所述挡水板的一端与所述气管相连，另一端与所述第二腔体的侧壁间隔设置，另一个所述挡水板的一端与所述第二腔体的侧壁相连，另一端与所述气管间隔设置。

5.根据权利要求2所述的炉尾盖，其特征在于，所述第一腔体内还设有挡板，所述挡板位于所述第一腔体的进液口和所述第一腔体的出液口之间。

6.根据权利要求2-5中任一项所述的炉尾盖，其特征在于，所述炉尾盖上还设有进液管和出液管，所述进液管与所述第一腔体连通，所述出液管与所述第二腔体连通。

7.根据权利要求2-5中任一项所述的炉尾盖，其特征在于，所述炉尾盖包括：

围板，所述围板包括竖板和连接于所述竖板上的两个环形板，两个所述环形板间隔设置；

外封板，所述外封板与两个所述环形板相连，且与所述两个所述环形板限定出所述第一腔体；

内封板，所述内封板连接于位于内侧的所述环形板的内周壁，且与所述竖板限定出所述第二腔体；其中：位于内侧的所述环形板上设有连通所述第一腔体和所述第二腔体的连通孔。

8.根据权利要求1-4中任一项所述的炉尾盖，其特征在于，所述炉尾盖朝向所述炉管的一侧具有与所述炉管配合的配合槽以及止抵于炉尾密封件的密封凸起；所述炉尾盖沿其周向设有法兰盘，所述法兰盘用于与所述热炉的炉尾法兰相连。

9.炉尾密封装置，其特征在于，包括：

法兰安装板，所述法兰安装板套设于热炉的炉尾端；

炉尾法兰，所述炉尾法兰安装于所述法兰安装板；

如权利要求1-8中任一项所述的炉尾盖，所述炉尾盖连接于所述炉尾法兰且用于封闭所述炉尾端，所述炉尾盖与所述炉尾法兰之间设有炉尾密封件。

10.根据权利要求9所述的炉尾密封装置，其特征在于，所述炉尾盖上设有第一安装孔，所述炉尾法兰上设有与所述第一安装孔对应设置的第二安装孔，所述法兰安装板设有与所述第二安装孔对应设置的第三安装孔，连接件穿过所述第一安装孔、所述第二安装孔以及所述第三安装孔将所述炉尾盖、所述炉尾法兰及所述法兰安装板固定连接。