KR20230134030A - 마스크 조립체 및 마스크 조립체의 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예는, 제1개구부를 구비한 제1마스크 시트; 평면도에서 상기 제1개구부와 중첩하는 복수의 제2개구부들이 배치된 제1영역 및 상기 제1마스크 시트를 노출하며 서로 인접한 제1관통홀 및 제2관통홀이 배치되고 상기 제1영역과 인접한 제2영역을 포함하는 제2마스크 시트; 및 평면도에서 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀 사이에 배치되고 상기 제1마스크 시트 및 상기 제2마스크 시트를 서로 연결하는 연결부;를 포함하고, 상기 제1마스크 시트 및 상기 제2마스크 시트 중 하나는 평면도에서 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀 중 적어도 하나와 인접하게 배치된 함몰부를 구비한, 마스크 조립체를 개시한다.

Description

마스크 조립체 및 마스크 조립체의 제조방법{MASK ASSEMBLY AND METHOD OF MANUFACTURING THE MASK ASSEMBLY}
본 발명은 마스크 조립체 및 마스크 조립체의 제조방법에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 화상을 표시하기 위한 표시 장치에 대한 요구가 다양한 형태로 증가하고 있다. 표시 장치 분야는 부피가 큰 음극선관(Cathode Ray Tube)을 대체하는, 얇고 가벼우며 대면적이 가능한 평판 표시 장치(Flat Panel Display Device)로 급속히 변화해 왔다. 평판 표시 장치에는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display Device), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel), 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display Device), 그리고 전기 영동 표시 장치(Electrophoretic Display Device) 등이 있다.
이러한 평판 표시 장치를 제조하기 위해 마스크 조립체를 이용할 수 있다. 최근에는 이러한 마스크 조립체가 대형화되고 있으며, 마스크 조립체의 정밀도를 높이기 위한 연구가 지속되고 있다.
본 발명의 실시예는 증착 정밀도가 높아진 마스크 조립체 및 이러한 마스크 조립체의 제조방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예는, 제1개구부를 구비한 제1마스크 시트; 평면도에서 상기 제1개구부와 중첩하는 복수의 제2개구부들이 배치된 제1영역 및 상기 제1마스크 시트를 노출하며 서로 인접한 제1관통홀 및 제2관통홀이 배치되고 상기 제1영역과 인접한 제2영역을 포함하는 제2마스크 시트; 및 평면도에서 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀 사이에 배치되고 상기 제1마스크 시트 및 상기 제2마스크 시트를 서로 연결하는 연결부;를 포함하고, 상기 제1마스크 시트 및 상기 제2마스크 시트 중 하나는 평면도에서 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀 중 적어도 하나와 인접하게 배치된 함몰부를 구비한, 마스크 조립체를 개시한다.
일 실시예에 있어서, 상기 함몰부는 복수개로 구비되고, 복수의 함몰부들은 평면도에서 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀과 인접하게 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 연결부는 상기 제2마스크 시트의 두께 방향으로 돌출된 돌기를 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1마스크 시트는 상기 제2마스크 시트를 대향하는 제1면을 포함하고, 상기 제2마스크 시트는 상기 제1면을 대향하는 제2면 및 상기 제2면과 반대되는 제3면을 포함하며, 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀은 각각 상기 제2면 및 상기 제3면을 관통하고, 상기 제1면으로부터 상기 제3면까지의 제1거리는 상기 제1면으로부터 상기 돌기의 단부까지의 제2거리보다 크거나 같을 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제2마스크 시트는 상기 함몰부를 구비할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1마스크 시트는 상기 함몰부를 구비할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1마스크 시트, 상기 제2마스크 시트, 및 상기 연결부는 용접되어 일체로 구비될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제2영역은 상기 제1관통홀과 인접한 제1인접영역 및 상기 제1인접영역을 적어도 일부 둘러싸는 외측영역을 포함하고, 상기 제1인접영역에서 상기 제2마스크 시트의 표면 조도는 상기 외측영역에서 상기 제2마스크 시트의 표면 조도와 상이할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1개구부는 복수개로 구비되고, 복수의 제1개구부들은 제1방향 및 상기 제1방향과 교차하는 제2방향으로 배열되고, 상기 제2마스크 시트는 복수개로 구비되며, 복수의 제2마스크 시트들은 각각 평면도에서 상기 복수의 제1개구부들과 중첩할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 평면도에서 상기 복수의 제1개구부들과 중첩하는 프레임개구부를 구비한 마스크 프레임;을 더 포함하며, 상기 마스크 프레임의 두께는 상기 제1마스크 시트의 두께보다 크고, 상기 제1마스크 시트의 두께는 상기 제2마스크 시트의 두께보다 클 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 제1개구부를 구비한 제1마스크 시트 상에 복수의 제2개구부들이 배치된 제1영역 및 상기 제1영역과 인접하고 상기 제1마스크 시트를 노출하며 서로 인접한 제1관통홀 및 제2관통홀이 배치된 제2영역을 포함하는 제2마스크 시트를 배치시키는 단계; 및 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀 사이에 레이저 빔을 조사하여 상기 제1마스크 시트 및 상기 제2마스크 시트를 용접시키는 단계;를 포함하고, 상기 제1마스크 시트 및 상기 제2마스크 시트 중 하나는 평면도에서 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀 중 적어도 하나와 인접하게 배치된 함몰부를 구비한, 마스크 조립체의 제조방법을 개시한다.
일 실시예에 있어서, 상기 함몰부는 복수개로 구비되고, 복수의 함몰부들 중 일부는 평면도에서 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀 사이에 배치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1마스크 시트 및 상기 제2마스크 시트가 용접된 후, 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀 사이에 배치되고 상기 제1마스크 시트 및 상기 제2마스크 시트를 서로 연결하는 연결부가 형성되며, 상기 연결부는 상기 제2마스크 시트의 두께 방향으로 돌출된 돌기를 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1마스크 시트는 상기 제2마스크 시트를 대향하는 제1면을 포함하고, 상기 제2마스크 시트는 상기 제1면을 대향하는 제2면 및 상기 제2면과 반대되는 제3면을 포함하며, 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀은 각각 상기 제2면 및 상기 제3면을 관통하고, 상기 제1면으로부터 상기 제3면까지의 제1거리는 상기 제1면으로부터 상기 돌기의 단부까지의 제2거리보다 크거나 같을 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제2마스크 시트는 상기 함몰부를 구비할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1마스크 시트는 상기 함몰부를 구비할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀 중 적어도 하나를 통해 상기 제1마스크 시트 및 상기 제2마스크 시트 사이의 간격을 확인하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제1마스크 시트는 상기 제2마스크 시트를 대향하는 제1면을 포함하고, 상기 제2마스크 시트는 상기 제1면을 대향하는 제2면 및 상기 제2면과 반대되는 제3면을 포함하며, 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀은 각각 상기 제2면 및 상기 제3면을 관통하고, 상기 레이저 빔은 상기 제3면을 향해 조사될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제2영역은 상기 제1관통홀과 인접한 제1인접영역 및 상기 제1인접영역을 적어도 일부 둘러싸는 외측영역을 포함하고, 상기 제1인접영역에서 상기 제2마스크 시트의 표면 조도는 상기 외측영역에서 상기 제2마스크 시트의 표면 조도와 상이할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 상기 제2마스크 시트는 상기 제2영역으로부터 연장된 연장영역을 더 포함하고, 상기 제2마스크 시트의 상기 연장영역에 인장력을 인가시키는 단계; 및 상기 제1마스크 시트 및 상기 제2마스크 시트가 용접된 후, 상기 연장영역을 제거하는 단계;를 더 포함할 수 있다.
상기한 바와 같이 본 발명의 실시예인 마스크 조립체에서 제1마스크 시트 및 제2마스크 시트 중 하나는 평면도에서 제1관통홀 및 제2관통홀 중 적어도 하나와 인접하게 배치된 함몰부를 포함할 수 있다. 따라서, 제1마스크 시트 및 제2마스크 시트를 서로 연결하는 연결부에서 불량이 발생하는 것이 방지 또는 감소될 수 있다. 또한, 마스크 조립체를 이용할 때 증착 정밀도가 높아질 수 있다.
본 발명의 실시예인 마스크 조립체의 제조방법에서 제1마스크 시트 및 제2마스크 시트 중 하나는 평면도에서 제1관통홀 및 제2관통홀 중 적어도 하나와 인접하게 배치된 함몰부를 포함할 수 있다. 따라서, 제1마스크 시트 및 제2마스크 시트를 서로 용접할 때 불량이 발생하는 것이 방지 또는 감소될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 개략적으로 나타낸 분해 사시도이다.
도 3a 내지 도 3c는 각각 본 발명의 일 실시예에 따라 도 1의 마스크 조립체의 A 부분을 확대한 확대도이다.
도 4a 및 도 4b는 각각 본 발명의 일 실시예에 따라 도 3a의 마스크 조립체의 B 부분을 확대한 확대도이다.
도 5는 도 4a의 마스크 조립체의 C-C'선에 따라 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 마스크 조립체의 제조방법을 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 7은 도 6의 제1마스크 시트 및 제2마스크 시트의 D 부분을 확대한 확대도이다.
도 8a 및 도 8b는 각각 도 7의 제1마스크 시트 및 제2마스크 시트의 E-E'선에 따라 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따라 마스크 조립체의 제조방법을 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따라 마스크 조립체의 제조방법을 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따라 도 3a의 마스크 조립체의 B 부분을 확대한 확대도이다.
도 12는 도 11의 마스크 조립체의 F-F'선에 따라 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따라 마스크 조립체의 제조방법을 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 14는 도 13의 제1마스크 시트 및 제2마스크 시트의 G 부분을 확대한 확대도이다.
도 15 및 도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따라 마스크 조립체의 제조방법을 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등이 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소들이 직접적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 막, 영역, 구성요소들 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함한다. 예컨대, 본 명세서에서 막, 영역, 구성 요소 등이 전기적으로 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소 등이 직접 전기적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 간접적으로 전기적 연결된 경우도 포함한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체(10)를 개략적으로 나타낸 평면도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체(10)를 개략적으로 나타낸 분해 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 마스크 조립체(10)는 제1마스크 시트(100), 제2마스크 시트(200), 및 마스크 프레임(300)을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 마스크 조립체(10)는 표시 장치를 제조하는데 사용될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않는다. 다른 실시예에서, 마스크 조립체(10)는 전자 장치를 제조하는데 사용될 수 있다.
제1마스크 시트(100)는 제1개구부(OP1)를 구비할 수 있다. 제1개구부(OP1)는 복수개로 구비될 수 있다. 이를 다시 말하면, 제1마스크 시트(100)는 복수의 제1개구부(OP1)들을 구비할 수 있다. 복수의 제1개구부(OP1)들은 제1방향 및/또는 제2방향으로 배열될 수 있다. 제1방향 및 제2방향은 서로 교차할 수 있다. 예를 들어, 제1방향은 X 방향일 수 있다. 제2방향은 Y 방향일 수 있다. 일 실시예에서, 복수의 제1개구부(OP1)들은 제1방향(예를 들어, X 방향) 및 제2방향(예를 들어, Y 방향)으로 배열될 수 있다. 제1마스크 시트(100)는 스테인리스 스틸, 인바(invar), 니켈(Ni), 코발트(Co), 니켈 합금, 및/또는 니켈-코발트 합금을 포함할 수 있다.
제2마스크 시트(200)는 제1마스크 시트(100) 상에 배치될 수 있다. 제2마스크 시트(200)는 복수의 제2개구부(OP2)들을 구비할 수 있다. 제2마스크 시트(200)는 제1영역(AR1) 및 제2영역(AR2)을 포함할 수 있다. 제1영역(AR1)에는 복수의 제2개구부(OP2)들이 배치될 수 있다. 도 1 및 도 2에서 복수의 제2개구부(OP2)들은 제1방향(예를 들어, X 방향) 및 제2방향(예를 들어, Y 방향)을 따라 일정하게 배열된 것을 도시하고 있으나, 복수의 제2개구부(OP2)들은 다양하게 배열될 수 있다. 도 1 및 도 2에서 복수의 제2개구부(OP2)들은 평면도에서 모두 동일한 형상을 가진 것을 도시하고 있으나, 평면도에서 복수의 제2개구부(OP2)들 중 어느 하나의 형상과 복수의 제2개구부(OP2)들 중 다른 하나의 형상은 상이할 수 있다.
제2영역(AR2)은 평면도에서 제1영역(AR1)을 적어도 일부 둘러쌀 수 있다. 일 실시예에서, 평면도에서 제2영역(AR2)은 제1영역(AR1)을 전체적으로 둘러쌀 수 있다. 일 실시예에서, 제1영역(AR1)은 평면도에서 제1개구부(OP1)와 중첩하는 영역일 수 있다. 복수의 제2개구부(OP2)들은 평면도에서 제1개구부(OP1)와 중첩할 수 있다. 제2영역(AR2)은 평면도에서 제1개구부(OP1)와 중첩하지 않는 영역일 수 있다. 제2영역(AR2)은 제1마스크 시트(100)의 리브와 중첩하는 영역일 수 있다.
제2마스크 시트(200)는 복수개로 구비될 수 있다. 복수의 제2마스크 시트(200)들은 각각 평면도에서 복수의 제1개구부(OP1)들과 중첩할 수 있다. 일 실시예에서, 복수의 제2마스크 시트(200)들은 제1방향(예를 들어, X 방향) 및 제2방향(예를 들어, Y 방향)으로 배열될 수 있다. 다른 실시예에서, 복수의 제2마스크 시트(200)들은 제1방향(예를 들어, X 방향) 또는 제2방향(예를 들어, Y 방향)으로 배열될 수 있다. 제2마스크 시트(200)는 스테인리스 스틸, 인바(invar), 니켈(Ni), 코발트(Co), 니켈 합금, 및/또는 니켈-코발트 합금을 포함할 수 있다.
마스크 프레임(300)은 프레임개구부(300OP)를 구비할 수 있다. 프레임개구부(300OP)는 평면도에서 제1개구부(OP1)와 중첩할 수 있다. 일 실시예에서, 프레임개구부(300OP)는 평면도에서 복수의 제1개구부(OP1)들과 중첩할 수 있다. 마스크 프레임(300)은 변형이 작은 소재, 즉, 강성이 큰 금속을 포함할 수 있다.
제1마스크 시트(100)는 제1방향(예를 들어, X 방향) 및 제2방향(예를 들어, Y 방향)으로 배열된 복수의 제1개구부(OP1)들을 구비할 수 있고, 복수의 제2마스크 시트(200)들은 각각 평면도에서 복수의 제1개구부(OP1)들과 중첩할 수 있다. 마스크 조립체(10)가 제조될 때 복수의 제2마스크 시트(200)들은 인장되어 제1마스크 시트(100)에 고정될 수 있다. 본 실시예와 다르게 제2마스크 시트(200)가 제1방향(예를 들어, X 방향) 또는 제2방향(예를 들어, Y 방향)으로 제1마스크 시트(100)에 연속적으로 그리고 전체적으로 배치된 경우, 제2마스크 시트(200)에 발생하는 인장 변형이 높을 수 있다. 본 실시예에서, 복수의 제2마스크 시트(200)들은 제1방향(예를 들어, X 방향) 및 제2방향(예를 들어, Y 방향)으로 배열되므로 복수의 제2마스크 시트(200)들에 각각 발생하는 인장 변형이 낮아질 수 있다. 따라서, 마스크 조립체(10)가 대형화되더라도 증착 정밀도가 높을 수 있다.
제1마스크 시트(100)의 두께(100t)는 제2마스크 시트(200)의 두께(200t)보다 클 수 있다. 제1마스크 시트(100)의 두께(100t)는 제1방향 및 제2방향과 교차하는 제3방향으로 제1마스크 시트(100)의 상면 및 상기 제1마스크 시트(100)의 상면과 반대되는 제1마스크 시트(100)의 하면 사이의 거리일 수 있다. 제3방향은 예를 들어, Z 방향일 수 있다. 제2마스크 시트(200)의 두께(200t)는 제3방향(예를 들어, Z 방향)으로 제2마스크 시트(200)의 상면 및 상기 제2마스크 시트(200)의 상면과 반대되는 제2마스크 시트(200)의 하면 사이의 거리일 수 있다. 예를 들어, 제1마스크 시트(100)의 두께(100t)는 약 150 ㎛ 내지 200 ㎛ 의 범위를 가질 수 있다. 제1마스크 시트(100)의 두께(100t)는 약 200 ㎛ 이하일 수 있다. 제2마스크 시트(200)의 두께(200t)는 약 15 ㎛ 내지 25 ㎛ 의 범위를 가질 수 있다.
마스크 프레임(300)의 두께(300t)는 제1마스크 시트(100)의 두께(100t)보다 클 수 있다. 마스크 프레임(300)의 두께(300t)는 제3방향(예를 들어, Z 방향)으로 마스크 프레임(300)의 상면 및 상기 마스크 프레임(300)의 상면과 반대되는 마스크 프레임(300)의 하면 사이의 거리일 수 있다. 예를 들어, 마스크 프레임(300)의 두께(300t)는 1mm 이하일 수 있다.
도 3a 내지 도 3c는 각각 본 발명의 일 실시예에 따라 도 1의 마스크 조립체(10)의 A 부분을 확대한 확대도이다. 도 3a 내지 도 3c에 있어서, 도 1 및 도 2와 동일한 참조부호는 동일부재를 의미하므로 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 3a 내지 도 3c를 참조하면, 마스크 조립체는 제1마스크 시트(100), 제2마스크 시트(200), 및 연결부(CNP)를 포함할 수 있다. 제1마스크 시트(100)는 제1개구부(OP1)를 구비할 수 있다. 제2마스크 시트(200)는 제1마스크 시트(100) 상에 배치될 수 있다. 제2마스크 시트(200)는 복수의 제2개구부(OP2)들을 구비할 수 있다. 제2마스크 시트(200)는 제1영역(AR1) 및 제2영역(AR2)을 포함할 수 있다. 제1영역(AR1)에는 복수의 제2개구부(OP2)들이 배치될 수 있다. 제2영역(AR2)은 평면도에서 제1영역(AR1)을 적어도 일부 둘러쌀 수 있다.
연결부(CNP)는 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)를 서로 연결할 수 있다. 제1마스크 시트(100), 제2마스크 시트(200), 및 연결부(CNP)는 용접되어 일체로 구비될 수 있다. 이를 다시 말하면, 연결부(CNP)는 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)가 용접된 부분일 수 있다. 연결부(CNP)는 평면도에서 제2영역(AR2)과 중첩할 수 있다. 연결부(CNP)는 복수개로 구비될 수 있다. 일 실시예에서, 복수의 연결부(CNP)들은 제1방향(예를 들어, X 방향) 및/또는 제2방향(예를 들어, Y 방향)을 따라 배열될 수 있다. 도 3a를 참조하면, 복수의 연결부(CNP)들은 제1방향(예를 들어, X 방향) 및 제2방향(예를 들어, Y 방향)을 따라 배열될 수 있다. 이러한 경우, 복수의 연결부(CNP)들은 평면도에서 제1영역(AR1)을 둘러쌀 수 있다. 도 3b를 참조하면, 복수의 연결부(CNP)들은 제1방향(예를 들어, X 방향)을 따라 배열될 수 있다. 복수의 연결부(CNP)들의 일부 및 복수의 연결부(CNP)들의 다른 일부는 평면도에서 제1영역(AR1)을 사이에 두고 서로 이격될 수 있다. 도 3c를 참조하면, 복수의 연결부(CNP)들은 제2방향(예를 들어, Y 방향)을 따라 배열될 수 있다. 복수의 연결부(CNP)들의 일부 및 복수의 연결부(CNP)들의 다른 일부는 평면도에서 제1영역(AR1)을 사이에 두고 서로 이격될 수 있다. 이하에서는 도 3a를 참조하여 설명한 마스크 조립체의 실시예를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
도 4a 및 도 4b는 각각 본 발명의 일 실시예에 따라 도 3a의 마스크 조립체의 B 부분을 확대한 확대도이다. 도 4a 및 도 4b에 있어서, 도 3a와 동일한 참조부호는 동일부재를 의미하므로 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 마스크 조립체는 제1마스크 시트(100), 제2마스크 시트(200), 및 연결부(CNP)를 포함할 수 있다. 제1마스크 시트(100)는 제1개구부를 구비할 수 있다. 제2마스크 시트(200)는 제1영역 및 제2영역(AR2)을 포함할 수 있다. 제1영역은 복수의 제2개구부들이 배치될 수 있다. 제2영역(AR2)은 제1영역과 인접할 수 있다. 제2영역(AR2)에는 복수의 관통홀들이 배치될 수 있다. 이를 다시 말하면, 제2마스크 시트(200)는 제2영역(AR2)에서 복수의 관통홀들을 구비할 수 있다. 복수의 관통홀들은 제1마스크 시트(100)를 노출할 수 있다. 일 실시예에서, 복수의 관통홀들은 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)을 포함할 수 있다. 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)은 복수의 관통홀들 중 서로 인접한 관통홀들일 수 있다. 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)은 각각 제1마스크 시트(100)를 노출할 수 있다. 일 실시예에서, 제1관통홀(PH1)의 직경(PHd1)은 10 ㎛ 이상일 수 있다. 일 실시예에서, 제2관통홀(PH2)의 직경은 10 ㎛ 이상일 수 있다.
제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)은 마스크 조립체를 제조하는 공정에서 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200) 사이의 간격을 측정하기 위한 것일 수 있다. 제2마스크 시트(200)는 복수개로 구비될 수 있으며 복수의 제2마스크 시트(200)들은 제1마스크 시트(100)에 용접될 수 있다. 복수의 제2마스크 시트(200)들이 제1마스크 시트(100)에 용접되므로 제1마스크 시트(100) 및 복수의 제2마스크 시트(200)들 간의 용접되는 위치, 즉 연결부(CNP)의 개수가 늘어날 수 있다. 이러한 경우, 용접 불량을 최소화하기 위해서 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200) 사이의 간격이 일정하게 유지되는 것이 중요할 수 있다. 본 실시예에서는 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)을 통해 마스크 조립체를 제조하는 공정에서 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200) 사이의 간격을 측정할 수 있으므로, 용접 불량이 최소화될 수 있다.
도 4a 및 도 4b에서 제1관통홀(PH1)의 형상 및 제2관통홀(PH2)의 형상은 평면도에서 원형인 것을 도시하고 있으나, 이에 한정되지 않는다. 제1관통홀(PH1)의 형상 및 제2관통홀(PH2)의 형상은 각각 평면도에서 다각형이거나, 타원이거나, 곡선을 포함할 수 있다.
도 4b를 참조하면, 제2영역(AR2)은 인접영역(ADA) 및 외측영역(OA)을 포함할 수 있다. 인접영역(ADA)은 평면도에서 복수의 관통홀들과 인접한 영역일 수 있다. 인접영역(ADA)은 제1인접영역(ADA1) 및 제2인접영역(ADA2)을 포함할 수 있다. 제1인접영역(ADA1)은 제1관통홀(PH1)과 인접한 영역일 수 있다. 제2인접영역(ADA2)은 제2관통홀(PH2)과 인접한 영역일 수 있다. 외측영역(OA)은 인접영역(ADA)을 적어도 일부 둘러쌀 수 있다. 예를 들어, 외측영역(OA)은 제1인접영역(ADA1) 및 제2인접영역(ADA2)을 적어도 일부 둘러쌀 수 있다. 외측영역(OA)은 제2영역(AR2) 중 인접영역(ADA)의 외측에 배치된 영역일 수 있다. 일부 실시예에서, 외측영역(OA)은 제2영역(AR2) 중 인접영역(ADA)이 아닌 영역일 수 있다.
인접영역(ADA)에서 제2마스크 시트(200)의 표면 조도는 외측영역(OA)에서 제2마스크 시트(200)의 표면 조도와 상이할 수 있다. 예를 들어, 제1인접영역(ADA1)에서 제2마스크 시트(200)의 표면 조도(surface roughness)는 외측영역(OA)에서 제2마스크 시트(200)의 표면 조도와 상이할 수 있다. 인접영역(ADA)에서 제2마스크 시트(200)의 표면 반사율은 외측영역(OA)에서 제2마스크 시트(200)의 표면 반사율보다 작을 수 있다. 일부 실시예에서, 인접영역(ADA)에서 제2마스크 시트(200)는 하프 에칭(half-etching)된 영역일 수 있다. 일부 실시예에서, 인접영역(ADA)에서 제2마스크 시트(200)의 표면에 레이저 빔이 조사될 수 있으며, 인접영역(ADA)에서 제2마스크 시트(200)의 표면 조도는 외측영역(OA)에서 제2마스크 시트(200)의 표면 조도와 상이할 수 있다.
제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)은 마스크 조립체를 제조하는 공정에서 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200) 사이의 간격을 측정하기 위한 것일 수 있다. 이러한 경우, 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)과 인접한 인접영역(ADA)에서 표면 반사율이 작으므로, 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)에 의해 노출된 제1마스크 시트(100)가 정밀하게 확인될 수 있다.
다시 도 4a 및 도 4b를 참조하면, 연결부(CNP)는 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)를 서로 연결할 수 있다. 제1마스크 시트(100), 제2마스크 시트(200), 및 연결부(CNP)는 용접되어 일체로 구비될 수 있다. 연결부(CNP)는 평면도에서 제2영역(AR2)과 중첩할 수 있다. 연결부(CNP)는 복수개로 구비될 수 있다. 일 실시예에서, 연결부(CNP)는 평면도에서 복수의 관통홀들 사이에 배치될 수 있다. 예를 들어, 연결부(CNP)는 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 사이에 배치될 수 있다.
제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200) 중 하나는 평면도에서 함몰부(DPP)를 구비할 수 있다. 일 실시예에서, 제2마스크 시트(200)는 함몰부(DPP)를 구비할 수 있다. 함몰부(DPP)는 제2마스크 시트(200)의 면에서 함몰된 부분일 수 있다. 함몰부(DPP)는 평면도에서 복수의 관통홀들과 인접하게 배치될 수 있다. 예를 들어, 함몰부(DPP)는 평면도에서 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 중 적어도 하나와 인접하게 배치될 수 있다.
함몰부(DPP)는 복수개로 구비될 수 있다. 일 실시예에서, 복수의 함몰부(DPP)들은 평면도에서 복수의 관통홀들과 인접하게 배치될 수 있다. 예를 들어, 복수의 함몰부(DPP)들은 평면도에서 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)과 인접하게 배치될 수 있다. 복수의 함몰부(DPP)들은 평면도에서 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 중 적어도 하나를 둘러쌀 수 있다.
복수의 함몰부(DPP)들 중 적어도 어느 하나는 평면도에서 연결부(CNP)와 중첩할 수 있다. 함몰부(DPP)는 마스크 조립체를 제조할 때, 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)를 서로 연결하는 연결부(CNP)에서 불량이 발생하는 것을 방지하기 위한 것일 수 있다.
도 4a 및 도 4b에서 함몰부(DPP)의 형상은 평면도에서 원형인 것을 도시하고 있으나, 이에 한정되지 않는다. 함몰부(DPP)의 형상은 평면도에서 다각형이거나, 타원이거나, 곡선을 포함할 수 있다.
도 5는 도 4a의 마스크 조립체의 C-C'선에 따라 개략적으로 나타낸 단면도이다. 도 5에 있어서, 도 4a와 동일한 참조부호는 동일부재를 의미하므로 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 5를 참조하면, 마스크 조립체는 제1마스크 시트(100), 제2마스크 시트(200), 및 연결부(CNP)를 포함할 수 있다. 제2마스크 시트(200)는 제1영역 및 제2영역(AR2)을 포함할 수 있다. 제2영역(AR2)에는 복수의 관통홀들이 배치될 수 있다. 일 실시예에서, 복수의 관통홀들은 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)을 포함할 수 있다. 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)은 복수의 관통홀들 중 서로 인접한 관통홀들일 수 있다. 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)은 각각 제1마스크 시트(100)를 노출할 수 있다. 일부 실시예에서, 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 중 적어도 하나는 테이퍼된 제2마스크 시트(200)의 내측면에 의해 정의될 수 있다.
제1마스크 시트(100)는 제2마스크 시트(200)에 대향하는 제1면(S1)을 포함할 수 있다. 제2마스크 시트(200)는 제2면(S2) 및 제3면(S3)을 포함할 수 있다. 제2면(S2)은 제1면(S1)을 대향하는 면일 수 있다. 제3면(S3)은 제2면(S2)과 반대되는 면일 수 있다. 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)은 각각 제2면(S2) 및 제3면(S3)을 관통할 수 있다.
연결부(CNP)는 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)를 서로 연결할 수 있다. 제1마스크 시트(100), 제2마스크 시트(200), 및 연결부(CNP)는 용접되어 일체로 구비될 수 있다. 일 실시예에서, 연결부(CNP)는 평면도에서 복수의 관통홀들 사이에 배치될 수 있다. 예를 들어, 연결부(CNP)는 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 사이에 배치될 수 있다.
연결부(CNP)는 제2마스크 시트(200)의 두께 방향으로 돌출된 돌기(PT)를 포함할 수 있다. 제2마스크 시트(200)의 두께 방향은 제2면(S2)으로부터 제3면(S3)으로의 방향일 수 있다. 제2마스크 시트(200)의 두께 방향은 제3방향일 수 있다.
제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200) 중 하나는 평면도에서 함몰부(DPP)를 구비할 수 있다. 일 실시예에서, 제2마스크 시트(200)는 함몰부(DPP)를 구비할 수 있다. 함몰부(DPP)는 제2마스크 시트(200)의 면에서 함몰된 부분일 수 있다. 함몰부(DPP)는 복수개로 구비될 수 있다. 일 실시예에서, 복수의 함몰부(DPP)들은 평면도에서 복수의 관통홀들과 인접하게 배치될 수 있다. 예를 들어, 복수의 함몰부(DPP)들은 평면도에서 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)과 인접하게 배치될 수 있다.
마스크 조립체를 제조할 때, 함몰부(DPP)는 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)를 서로 연결하는 연결부(CNP)에서 불량이 발생하는 것을 방지하기 위한 것일 수 있다. 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)는 레이저 빔을 조사하여 서로 용접될 수 있다.
본 실시예와 다르게 제2마스크 시트(200)가 함몰부(DPP)를 구비하지 않는 경우, 제1면(S1)으로부터 제3면(S3)까지의 제1거리(d1)는 제1면(S1)으로부터 돌기(PT)의 단부까지의 제2거리(d2)보다 작을 수 있다. 이를 다시 말하면, 돌기(PT)의 단부는 제3면(S3)으로부터 돌출될 수 있다. 이는 특히 제2마스크 시트(200)가 마스크 프레임보다 두께가 얇은 제1마스크 시트(100)에 용접되기 때문일 수 있다. 이러한 경우, 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)를 서로 연결하는 연결부(CNP)에서 불량이 발생할 수 있으며, 제조중인 표시 장치와 마스크 조립체가 충분히 밀착되지 않을 수 있다. 따라서, 증착 정밀도가 감소할 수 있다.
본 실시예에서 제2마스크 시트(200)가 함몰부(DPP)를 구비하기 때문에 제2마스크 시트(200)의 부피가 감소될 수 있다. 이러한 경우, 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)가 용접되더라도 제1면(S1)으로부터 제3면(S3)까지의 제1거리(d1)는 제1면(S1)으로부터 돌기(PT)의 단부까지의 제2거리(d2)보다 크거나 같을 수 있다. 따라서, 제조중인 표시 장치와 마스크 조립체가 충분히 밀착될 수 있으며, 증착 정밀도가 높아질 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 마스크 조립체의 제조방법을 개략적으로 나타낸 평면도이다. 도 7은 도 6의 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)의 D 부분을 확대한 확대도이다. 도 8a 및 도 8b는 각각 도 7의 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)의 E-E'선에 따라 개략적으로 나타낸 단면도이다. 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따라 마스크 조립체의 제조방법을 개략적으로 나타낸 단면도이다. 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따라 마스크 조립체의 제조방법을 개략적으로 나타낸 평면도이다. 도 9는 도 7의 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)의 E-E'선에 따라 나타낸 단면도이다. 도 6 내지 도 10에 있어서, 도 1 내지 도 5와 동일한 참조부호는 동일부재를 의미하므로 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 제1마스크 시트(100) 상에 제2마스크 시트(200)가 배치될 수 있다. 제1마스크 시트(100)는 제1개구부(OP1)를 구비할 수 있다. 도시하지 않았으나, 일부 실시예에서, 제1개구부(OP1)는 복수개로 구비될 수 있다.
제2마스크 시트(200)는 제1영역(AR1), 제2영역(AR2), 및 연장영역(EA)을 포함할 수 있다. 제1영역(AR1)에는 복수의 제2개구부(OP2)들이 배치될 수 있다. 제1영역(AR1)은 평면도에서 제1개구부(OP1)와 중첩할 수 있다. 제2영역(AR2)은 제1영역(AR1)과 인접할 수 있다. 제2영역(AR2)에는 복수의 관통홀들이 배치될 수 있다. 일 실시예에서, 제2영역(AR2)에는 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)이 배치될 수 있다. 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)은 제1마스크 시트(100)를 노출할 수 있다. 일 실시예에서, 제1관통홀(PH1)의 직경(PHd1)은 10 ㎛ 이상일 수 있다. 일 실시예에서, 제2관통홀(PH2)의 직경은 10 ㎛ 이상일 수 있다.
연장영역(EA)은 제2영역(AR2)으로부터 연장될 수 있다. 일 실시예에서, 연장영역(EA)은 제1연장영역(EA1), 제2연장영역(EA2), 제3연장영역(EA3), 및 제4연장영역(EA4)을 포함할 수 있다. 제1연장영역(EA1)은 제2영역(AR2)으로부터 제1방향(예를 들어, X 방향)으로 연장될 수 있다. 제2연장영역(EA2)은 제2영역(AR2)으로부터 제2방향(예를 들어, Y 방향)으로 연장될 수 있다. 제3연장영역(EA3)은 제2영역(AR2)으로부터 제1방향(예를 들어, X 방향)과 반대 방향으로 연장될 수 있다. 제4연장영역(EA4)은 제2영역(AR2)으로부터 제2방향(예를 들어, Y 방향)과 반대 방향으로 연장될 수 있다.
제2마스크 시트(200)가 제1마스크 시트(100) 상에 배치될 때 연장영역(EA)은 인장력을 인가받을 수 있다. 제1연장영역(EA1)은 제1방향(예를 들어, X 방향)으로 인장력을 인가받을 수 있다. 제2연장영역(EA2)은 제2방향(예를 들어, Y 방향)으로 인장력을 인가받을 수 있다. 제3연장영역(EA3)은 제1방향(예를 들어, X 방향)과 반대되는 방향으로 인장력을 인가받을 수 있다. 제4연장영역(EA4)은 제2방향(예를 들어, Y 방향)과 반대되는 방향으로 인장력을 인가받을 수 있다. 일 실시예에서, 연장영역(EA)은 클램프 및/또는 다공성 진공 척(porous vacuum chuck)에 의해 인장력을 인가받을 수 있다.
도 6에서는 연장영역(EA)이 제1연장영역(EA1), 제2연장영역(EA2), 제3연장영역(EA3), 및 제4연장영역(EA4)을 모두 포함하는 것을 도시하고 있으나, 다른 실시예에서, 연장영역(EA)은 제1연장영역(EA1) 및 제3연장영역(EA3)을 포함할 수 있다. 또 다른 실시예에서, 연장영역(EA)은 제2연장영역(EA2) 및 제4연장영역(EA4)을 포함할 수 있다. 이하에서는 연장영역(EA)이 제1연장영역(EA1), 제2연장영역(EA2), 제3연장영역(EA3), 및 제4연장영역(EA4)을 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200) 중 하나는 평면도에서 함몰부(DPP)를 구비할 수 있다. 일 실시예에서, 제2마스크 시트(200)는 함몰부(DPP)를 구비할 수 있다. 함몰부(DPP)는 제2마스크 시트(200)의 면에서 함몰된 부분일 수 있다. 함몰부(DPP)는 복수의 관통홀들과 인접하게 배치될 수 있다. 예를 들어, 함몰부(DPP)는 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 중 적어도 하나와 인접하게 배치될 수 있다.
함몰부(DPP)는 복수개로 구비될 수 있다. 일 실시예에서, 복수의 함몰부(DPP)들은 평면도에서 복수의 관통홀들과 인접하게 배치될 수 있다. 예를 들어, 복수의 함몰부(DPP)들은 평면도에서 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)과 인접하게 배치될 수 있다. 복수의 함몰부(DPP)들은 평면도에서 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 중 적어도 하나를 둘러쌀 수 있다. 일 실시예에서, 복수의 함몰부(DPP)들 중 일부는 평면도에서 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 사이에 배치될 수 있다.
도 8a 및 도 8b를 참조하면, 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 중 적어도 하나를 통해 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200) 사이의 간격(int)이 확인될 수 있다. 일 실시예에서, 거리측정기(미도시)를 이용하여 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200) 사이의 간격(int)을 측정할 수 있다. 거리측정기는 삼각 측정법, TOF(Time of Flight) 측정법, 및/또는 위상차 변위 측정법을 이용하여 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200) 사이의 간격(int)을 측정할 수 있다. 일 실시예에서, 제1관통홀(PH1)의 직경 및/또는 제2관통홀(PH2)의 직경은 10 ㎛ 이상일 수 있으므로, 거리측정기는 제1관통홀(PH1) 및/또는 제2관통홀(PH2)을 통해 제1마스크 시트(100)를 확인할 수 있다.
제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 중 적어도 하나를 통해 제2마스크 시트(200)의 두께 방향으로 제1마스크 시트(100)의 제1면(S1) 및 기 설정된 지점(RP)까지의 제1간격(int1)이 측정될 수 있다. 제2마스크 시트(200)의 두께 방향은 제2면(S2)으로부터 제3면(S3)으로의 방향일 수 있다. 제2마스크 시트(200)의 두께 방향은 제3방향일 수 있다. 제2마스크 시트(200)의 두께 방향으로 제2마스크 시트(200)의 제3면(S3)으로부터 기 설정된 지점(RP)까지의 제2간격(int2)이 측정될 수 있다. 이 때, 제2마스크 시트(200)의 제3면(S3)은 함몰부(DPP)가 구비되지 않은 제2마스크 시트(200)의 면일 수 있다. 이러한 경우, 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)의 간격(int)은 제2간격(int2) 및 제2마스크 시트(200)의 두께(200t)의 합과 제1간격(int1)과의 차이일 수 있다.
그 다음, 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200) 사이의 간격(int)이 기 설정된 간격과 상이한 경우, 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200) 사이의 간격(int)을 기 설정된 간격과 일치하도록 연장영역에 가해지는 인장력을 조절될 수 있다. 본 실시예에서, 제2마스크 시트(200)는 복수개로 구비될 수 있으며 복수의 제2마스크 시트(200)들은 제1마스크 시트(100)에 용접될 수 있다. 복수의 제2마스크 시트(200)들이 제1마스크 시트(100)에 용접되므로 제1마스크 시트(100) 및 복수의 제2마스크 시트(200)들 간의 용접되는 위치 또는 연결부의 개수가 늘어날 수 있다. 또한, 제1마스크 시트(100)의 두께는 제2마스크 시트(200)의 두께(200t)보다 클 수 있으며, 마스크 프레임의 두께는 제1마스크 시트의 두께보다 클 수 있다. 이러한 경우, 용접 불량을 최소화하기 위해서 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200) 사이의 간격이 일정하게 유지되는 것이 중요할 수 있다. 본 실시예에서는 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)을 통해 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200) 사이의 간격을 사전에 측정할 수 있으므로, 용접 불량이 최소화될 수 있다.
도 8b를 참조하면, 제2영역(AR2)은 인접영역(ADA) 및 외측영역(OA)을 포함할 수 있다. 인접영역(ADA)은 평면도에서 복수의 관통홀들과 인접한 영역일 수 있다. 인접영역(ADA)은 제1인접영역(ADA1) 및 제2인접영역(ADA2)을 포함할 수 있다. 제1인접영역(ADA1)은 제1관통홀(PH1)과 인접한 영역일 수 있다. 제2인접영역(ADA2)은 제2관통홀(PH2)과 인접한 영역일 수 있다. 외측영역(OA)은 제2영역(AR2) 중 인접영역(ADA)의 외측에 배치된 영역일 수 있다. 일부 실시예에서, 외측영역(OA)은 제2영역(AR2) 중 인접영역(ADA)이 아닌 영역일 수 있다.
인접영역(ADA)에서 제2마스크 시트(200)의 표면 조도는 외측영역(OA)에서 제2마스크 시트(200)의 표면 조도와 상이할 수 있다. 예를 들어, 제1인접영역(ADA1)에서 제2마스크 시트(200)의 표면 조도(surface roughness)는 외측영역(OA)에서 제2마스크 시트(200)의 표면 조도와 상이할 수 있다. 인접영역(ADA)에서 제2마스크 시트(200)의 표면 반사율은 외측영역(OA)에서 제2마스크 시트(200)의 표면 반사율보다 작을 수 있다. 일부 실시예에서, 인접영역(ADA)에서 제2마스크 시트(200)는 하프 에칭(half-etching)된 영역일 수 있다. 일부 실시예에서, 인접영역(ADA)에서 제2마스크 시트(200)의 표면에 레이저 빔이 조사될 수 있으며, 인접영역(ADA)에서 제2마스크 시트(200)의 표면 조도는 외측영역(OA)에서 제2마스크 시트(200)의 표면 조도와 상이할 수 있다.
본 실시예에서, 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)과 인접한 인접영역(ADA)에서 표면 반사율이 작으므로 측정 장치가 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)에 의해 노출된 제1마스크 시트(100)가 정밀하게 확인할 수 있다.
도 9를 참조하면, 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)는 용접될 수 있다. 일 실시예에서, 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 사이에 레이저 빔이 조사될 수 있다. 일부 실시예에서, 레이저 빔이 조사되는 위치는 평면도에서 함몰부(DPP)의 위치와 중첩하거나 인접할 수 있다.
제1마스크 시트(100)는 제2마스크 시트(200)에 대향하는 제1면(S1)을 포함할 수 있다. 제2마스크 시트(200)는 제2면(S2) 및 제3면(S3)을 포함할 수 있다. 제2면(S2)은 제1면(S1)을 대향하는 면일 수 있다. 제3면(S3)은 제2면(S2)과 반대되는 면일 수 있다. 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)은 각각 제2면(S2) 및 제3면(S3)을 관통할 수 있다.
레이저 빔은 제3면(S3)을 향해 조사될 수 있다. 레이저 빔은 제3면(S3)을 향해 조사되므로, 용접 품질이 높아질 수 있다. 제2마스크 시트(200)의 두께는 제1마스크 시트(100)의 두께보다 작을 수 있다. 본 실시예와 다르게, 레이저 빔이 제1면(S1)으로부터 제2면(S2)을 향해 조사되는 경우, 제2마스크 시트(200)보다 두께가 두꺼운 제1마스크 시트(100)를 녹여야할 수 있다. 본 실시예에서는 레이저 빔이 제1마스크 시트(100)보다 두께가 얇은 제2마스크 시트(200)를 녹이게 되므로, 적은 양을 녹이면서 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)가 용접될 수 있다.
제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)가 용접된 후, 연결부(CNP)가 형성될 수 있다. 연결부(CNP)는 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)를 서로 연결할 수 있다. 일 실시예에서, 연결부(CNP)는 평면도에서 복수의 관통홀들 사이에 배치될 수 있다. 예를 들어, 연결부(CNP)는 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 사이에 배치될 수 있다.
연결부(CNP)는 제2마스크 시트(200)의 두께 방향으로 돌출된 돌기(PT)를 포함할 수 있다. 제2마스크 시트(200)의 두께 방향은 제2면(S2)으로부터 제3면(S3)으로의 방향일 수 있다. 제2마스크 시트(200)의 두께 방향은 제3방향일 수 있다.
제2마스크 시트(200)가 함몰부를 구비하기 때문에 제2마스크 시트(200)의 부피가 감소될 수 있다. 이러한 경우, 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)가 용접되더라도 제1면(S1)으로부터 제3면(S3)까지의 제1거리(d1)는 제1면(S1)으로부터 돌기(PT)의 단부까지의 제2거리(d2)보다 크거나 같을 수 있다. 따라서, 제조중인 표시 장치와 마스크 조립체가 충분히 밀착될 수 있으며, 증착 정밀도가 높아질 수 있다.
도 10을 참조하면, 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)가 용접된 후, 연장영역(EA)이 제거될 수 있다. 이를 다시 말하면, 연결부(CNP)가 형성된 후, 연장영역(EA)은 제2영역(AR2)으로부터 분리될 수 있다. 예를 들어, 연장영역(EA)은 트리밍(Trimming) 공정을 통해 제2영역(AR2)으로부터 분리될 수 있다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따라 도 3a의 마스크 조립체의 B 부분을 확대한 확대도이다. 도 11에 있어서, 도 4a와 동일한 참조부호는 동일부재를 의미하므로 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 11을 참조하면, 마스크 조립체는 제1마스크 시트(100), 제2마스크 시트(200), 및 연결부(CNP)를 포함할 수 있다. 제1마스크 시트(100)는 제1개구부를 구비할 수 있다. 제2마스크 시트(200)는 제1영역 및 제2영역(AR2)을 포함할 수 있다. 제1영역은 복수의 제2개구부들이 배치될 수 있다. 제2영역(AR2)은 제1영역과 인접할 수 있다. 제2영역(AR2)에는 복수의 관통홀들이 배치될 수 있다. 이를 다시 말하면, 제2마스크 시트(200)는 제2영역(AR2)에서 복수의 관통홀들을 구비할 수 있다. 복수의 관통홀들은 제1마스크 시트(100)를 노출할 수 있다. 일 실시예에서, 복수의 관통홀들은 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)을 포함할 수 있다. 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)은 복수의 관통홀들 중 서로 인접한 관통홀들일 수 있다. 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)은 각각 제1마스크 시트(100)를 노출할 수 있다. 일 실시예에서, 제1관통홀(PH1)의 직경(PHd1)은 10 ㎛ 이상일 수 있다. 일 실시예에서, 제2관통홀(PH2)의 직경은 10 ㎛ 이상일 수 있다.
일부 실시예에서, 제2영역(AR2)은 도 4b를 참조하여 설명한 실시예와 유사하게 인접영역 및 외측영역을 포함할 수 있다. 인접영역은 평면도에서 복수의 관통홀들과 인접한 영역일 수 있다. 외측영역은 인접영역을 적어도 일부 둘러쌀 수 있다. 외측영역은 제2영역(AR2) 중 인접영역의 외측에 배치된 영역일 수 있다. 일부 실시예에서, 외측영역은 제2영역(AR2) 중 인접영역이 아닌 영역일 수 있다.
인접영역에서 제2마스크 시트(200)의 표면 조도는 외측영역에서 제2마스크 시트(200)의 표면 조도와 상이할 수 있다. 인접영역에서 제2마스크 시트(200)의 표면 반사율은 외측영역에서 제2마스크 시트(200)의 표면 반사율보다 작을 수 있다. 일부 실시예에서, 인접영역에서 제2마스크 시트(200)는 하프 에칭(half-etching)된 영역일 수 있다. 일부 실시예에서, 인접영역에서 제2마스크 시트(200)의 표면에 레이저 빔이 조사될 수 있으며, 인접영역에서 제2마스크 시트(200)의 표면 조도는 외측영역에서 제2마스크 시트(200)의 표면 조도와 상이할 수 있다. 이러한 경우, 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)과 인접한 인접영역에서 표면 반사율이 작으므로 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)에 의해 노출된 제1마스크 시트(100)가 정밀하게 확인될 수 있다.
연결부(CNP)는 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)를 서로 연결할 수 있다. 제1마스크 시트(100), 제2마스크 시트(200), 및 연결부(CNP)는 용접되어 일체로 구비될 수 있다. 연결부(CNP)는 평면도에서 제2영역(AR2)과 중첩할 수 있다. 연결부(CNP)는 복수개로 구비될 수 있다. 일 실시예에서, 연결부(CNP)는 평면도에서 복수의 관통홀들 사이에 배치될 수 있다. 예를 들어, 연결부(CNP)는 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 사이에 배치될 수 있다.
제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200) 중 하나는 평면도에서 함몰부(DPP)를 구비할 수 있다. 일 실시예에서, 제1마스크 시트(100)는 함몰부(DPP)를 구비할 수 있다. 함몰부(DPP)는 제1마스크 시트(100)의 면에서 함몰된 부분일 수 있다. 함몰부(DPP)는 평면도에서 복수의 관통홀들과 인접하게 배치될 수 있다. 예를 들어, 함몰부(DPP)는 평면도에서 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 중 적어도 하나와 인접하게 배치될 수 있다.
복수의 함몰부(DPP)들 중 적어도 어느 하나는 평면도에서 연결부(CNP)와 중첩할 수 있다. 본 실시예에서, 함몰부(DPP)는 마스크 조립체를 제조할 때, 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)를 서로 연결하는 연결부(CNP)에서 불량이 발생하는 것을 방지하기 위한 것일 수 있다.
도 12는 도 11의 마스크 조립체의 F-F'선에 따라 개략적으로 나타낸 단면도이다. 도 12에 있어서, 도 11과 동일한 참조부호는 동일부재를 의미하므로 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 12를 참조하면, 마스크 조립체는 제1마스크 시트(100), 제2마스크 시트(200), 및 연결부(CNP)를 포함할 수 있다. 제2마스크 시트(200)는 제1영역 및 제2영역(AR2)을 포함할 수 있다. 제2영역(AR2)에는 복수의 관통홀들이 배치될 수 있다. 일 실시예에서, 복수의 관통홀들은 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)을 포함할 수 있다. 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)은 복수의 관통홀들 중 서로 인접한 관통홀들일 수 있다. 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)은 각각 제1마스크 시트(100)를 노출할 수 있다. 일부 실시예에서, 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 중 적어도 하나는 테이퍼된 제2마스크 시트(200)의 내측면에 의해 정의될 수 있다.
제1마스크 시트(100)는 제2마스크 시트(200)에 대향하는 제1면(S1)을 포함할 수 있다. 제2마스크 시트(200)는 제2면(S2) 및 제3면(S3)을 포함할 수 있다. 제2면(S2)은 제1면(S1)을 대향하는 면일 수 있다. 제3면(S3)은 제2면(S2)과 반대되는 면일 수 있다. 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)은 각각 제2면(S2) 및 제3면(S3)을 관통할 수 있다.
연결부(CNP)는 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)를 서로 연결할 수 있다. 제1마스크 시트(100), 제2마스크 시트(200), 및 연결부(CNP)는 용접되어 일체로 구비될 수 있다. 일 실시예에서, 연결부(CNP)는 평면도에서 복수의 관통홀들 사이에 배치될 수 있다. 예를 들어, 연결부(CNP)는 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 사이에 배치될 수 있다.
연결부(CNP)는 제2마스크 시트(200)의 두께 방향으로 돌출된 돌기(PT)를 포함할 수 있다. 제2마스크 시트(200)의 두께 방향은 제2면(S2)으로부터 제3면(S3)으로의 방향일 수 있다. 제2마스크 시트(200)의 두께 방향은 제3방향일 수 있다.
제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200) 중 하나는 평면도에서 함몰부(DPP)를 구비할 수 있다. 일 실시예에서, 제1마스크 시트(100)는 함몰부(DPP)를 구비할 수 있다. 함몰부(DPP)는 제1마스크 시트(100)의 면에서 함몰된 부분일 수 있다. 함몰부(DPP)는 복수개로 구비될 수 있다. 일 실시예에서, 복수의 함몰부(DPP)들은 평면도에서 복수의 관통홀들과 인접하게 배치될 수 있다. 예를 들어, 복수의 함몰부(DPP)들은 평면도에서 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)과 인접하게 배치될 수 있다.
마스크 조립체를 제조할 때, 함몰부(DPP)는 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)를 서로 연결하는 연결부(CNP)에서 불량이 발생하는 것을 방지하기 위한 것일 수 있다. 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)는 레이저 빔을 조사하여 서로 용접될 수 있다. 제1마스크 시트(100)가 함몰부(DPP)를 구비하기 때문에 제1마스크 시트(100)의 부피가 감소될 수 있다. 이러한 경우, 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)가 용접되더라도 제1면(S1)으로부터 제3면(S3)까지의 제1거리(d1)는 제1면(S1)으로부터 돌기(PT)의 단부까지의 제2거리(d2)보다 크거나 같을 수 있다. 따라서, 제조중인 표시 장치와 마스크 조립체가 충분히 밀착될 수 있으며, 증착 정밀도가 높아질 수 있다.
도 13은 본 발명의 다른 실시예에 따라 마스크 조립체의 제조방법을 개략적으로 나타낸 평면도이다. 도 14는 도 13의 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)의 G 부분을 확대한 확대도이다. 도 15 및 도 16은 본 발명의 다른 실시예에 따라 마스크 조립체의 제조방법을 개략적으로 나타낸 단면도이다. 도 15 및 도 16은 각각 도 14의 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)의 H-H'선에 따라 나타낸 단면도이다. 도 13 내지 도 16에 있어서, 도 6 내지 도 9와 동일한 참조부호는 동일부재를 의미하므로 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 13 및 도 14를 참조하면, 제1마스크 시트(100) 상에 제2마스크 시트(200)가 배치될 수 있다. 제1마스크 시트(100)는 제1개구부(OP1)를 구비할 수 있다. 도시하지 않았으나, 일부 실시예에서, 제1개구부(OP1)는 복수개로 구비될 수 있다.
제2마스크 시트(200)는 제1영역(AR1), 제2영역(AR2), 및 연장영역(EA)을 포함할 수 있다. 제1영역(AR1)에는 복수의 제2개구부(OP2)들이 배치될 수 있다. 제1영역(AR1)은 평면도에서 제1개구부(OP1)와 중첩할 수 있다. 제2영역(AR2)은 제1영역(AR1)과 인접할 수 있다. 제2영역(AR2)에는 복수의 관통홀들이 배치될 수 있다. 일 실시예에서, 제2영역(AR2)에는 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)이 배치될 수 있다. 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)은 제1마스크 시트(100)를 노출할 수 있다. 일 실시예에서, 제1관통홀(PH1)의 직경(PHd1)은 10 ㎛ 이상일 수 있다. 일 실시예에서, 제2관통홀(PH2)의 직경은 10 ㎛ 이상일 수 있다.
연장영역(EA)은 제2영역(AR2)으로부터 연장될 수 있다. 일 실시예에서, 연장영역(EA)은 제1연장영역(EA1), 제2연장영역(EA2), 제3연장영역(EA3), 및 제4연장영역(EA4)을 포함할 수 있다. 제2마스크 시트(200)가 제1마스크 시트(100) 상에 배치될 때 연장영역(EA)은 인장력을 인가받을 수 있다.
제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200) 중 하나는 평면도에서 함몰부(DPP)를 구비할 수 있다. 일 실시예에서, 제1마스크 시트(100)는 함몰부(DPP)를 구비할 수 있다. 함몰부(DPP)는 제1마스크 시트(100)의 면에서 함몰된 부분일 수 있다. 함몰부(DPP)는 복수의 관통홀들과 인접하게 배치될 수 있다. 예를 들어, 함몰부(DPP)는 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 중 적어도 하나와 인접하게 배치될 수 있다.
함몰부(DPP)는 복수개로 구비될 수 있다. 일 실시예에서, 복수의 함몰부(DPP)들은 평면도에서 복수의 관통홀들과 인접하게 배치될 수 있다. 예를 들어, 복수의 함몰부(DPP)들은 평면도에서 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)과 인접하게 배치될 수 있다. 복수의 함몰부(DPP)들은 평면도에서 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 중 적어도 하나를 둘러쌀 수 있다. 일 실시예에서, 복수의 함몰부(DPP)들 중 일부는 평면도에서 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 사이에 배치될 수 있다.
도 15를 참조하면, 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 중 적어도 하나를 통해 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200) 사이의 간격(int)이 확인될 수 있다. 일 실시예에서, 거리측정기(미도시)를 이용하여 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200) 사이의 간격(int)을 측정할 수 있다.
제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 중 적어도 하나를 통해 제2마스크 시트(200)의 두께 방향으로 제1마스크 시트(100)의 제1면(S1) 및 기 설정된 지점(RP)까지의 제1간격(int1)이 측정될 수 있다. 제2마스크 시트(200)의 두께 방향은 제2면(S2)으로부터 제3면(S3)으로의 방향일 수 있다. 제2마스크 시트(200)의 두께 방향은 제3방향일 수 있다. 제2마스크 시트(200)의 두께 방향으로 제2마스크 시트(200)의 제3면(S3)으로부터 기 설정된 지점(RP)까지의 제2간격(int2)이 측정될 수 있다. 이러한 경우, 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)의 간격(int)은 제2간격(int2) 및 제2마스크 시트(200)의 두께(200t)의 합과 제1간격(int1)과의 차이일 수 있다.
그 다음, 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200) 사이의 간격(int)이 기 설정된 간격과 상이한 경우, 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200) 사이의 간격(int)을 기 설정된 간격과 일치하도록 연장영역에 가해지는 인장력을 조절될 수 있다. 본 실시예에서는 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)을 통해 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200) 사이의 간격을 사전에 측정할 수 있으므로, 용접 불량이 최소화될 수 있다.
일부 실시예에서, 제2영역(AR2)은 인접영역 및 외측영역을 포함할 수 있다. 인접영역은 평면도에서 복수의 관통홀들과 인접한 영역일 수 있다. 외측영역은 제2영역(AR2) 중 인접영역의 외측에 배치된 영역일 수 있다. 일부 실시예에서, 외측영역은 제2영역(AR2) 중 인접영역이 아닌 영역일 수 있다.
인접영역에서 제2마스크 시트(200)의 표면 조도는 외측영역에서 제2마스크 시트(200)의 표면 조도와 상이할 수 있다. 인접영역에서 제2마스크 시트(200)의 표면 반사율은 외측영역에서 제2마스크 시트(200)의 표면 반사율보다 작을 수 있다. 일부 실시예에서, 인접영역에서 제2마스크 시트(200)는 하프 에칭(half-etching)된 영역일 수 있다. 일부 실시예에서, 인접영역에서 제2마스크 시트(200)의 표면에 레이저 빔이 조사될 수 있으며, 인접영역에서 제2마스크 시트(200)의 표면 조도는 외측영역에서 제2마스크 시트(200)의 표면 조도와 상이할 수 있다.
본 실시예에서, 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)과 인접한 인접영역에서 표면 반사율이 작으므로 측정 장치가 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)에 의해 노출된 제1마스크 시트(100)가 정밀하게 확인할 수 있다.
도 16을 참조하면, 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)는 용접될 수 있다. 일 실시예에서, 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 사이에 레이저 빔이 조사될 수 있다. 일부 실시예에서, 레이저 빔이 조사되는 위치는 평면도에서 함몰부(DPP)의 위치와 중첩하거나 인접할 수 있다.
제1마스크 시트(100)는 제2마스크 시트(200)에 대향하는 제1면(S1)을 포함할 수 있다. 제2마스크 시트(200)는 제2면(S2) 및 제3면(S3)을 포함할 수 있다. 제2면(S2)은 제1면(S1)을 대향하는 면일 수 있다. 제3면(S3)은 제2면(S2)과 반대되는 면일 수 있다. 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2)은 각각 제2면(S2) 및 제3면(S3)을 관통할 수 있다.
레이저 빔은 제3면(S3)을 향해 조사될 수 있다. 레이저 빔은 제3면(S3)을 향해 조사되므로, 용접 품질이 높아질 수 있다. 제2마스크 시트(200)의 두께는 제1마스크 시트(100)의 두께보다 작을 수 있다. 본 실시예와 다르게, 레이저 빔이 제1면(S1)으로부터 제2면(S2)을 향해 조사되는 경우, 제2마스크 시트(200)보다 두께가 두꺼운 제1마스크 시트(100)를 녹여야할 수 있다. 본 실시예에서는 레이저 빔이 제1마스크 시트(100)보다 두께가 얇은 제2마스크 시트(200)를 녹이게 되므로, 적은 양을 녹이면서 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)가 용접될 수 있다.
제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)가 용접된 후, 연결부(CNP)가 형성될 수 있다. 연결부(CNP)는 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)를 서로 연결할 수 있다. 일 실시예에서, 연결부(CNP)는 평면도에서 복수의 관통홀들 사이에 배치될 수 있다. 예를 들어, 연결부(CNP)는 제1관통홀(PH1) 및 제2관통홀(PH2) 사이에 배치될 수 있다.
연결부(CNP)는 제2마스크 시트(200)의 두께 방향으로 돌출된 돌기(PT)를 포함할 수 있다. 제2마스크 시트(200)의 두께 방향은 제2면(S2)으로부터 제3면(S3)으로의 방향일 수 있다. 제2마스크 시트(200)의 두께 방향은 제3방향일 수 있다.
제1마스크 시트(100)가 함몰부를 구비하기 때문에 제1마스크 시트(100)의 부피가 감소될 수 있다. 이러한 경우, 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)가 용접되더라도 제1면(S1)으로부터 제3면(S3)까지의 제1거리(d1)는 제1면(S1)으로부터 돌기(PT)의 단부까지의 제2거리(d2)보다 크거나 같을 수 있다. 따라서, 제조중인 표시 장치와 마스크 조립체가 충분히 밀착될 수 있으며, 증착 정밀도가 높아질 수 있다.
그 다음, 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)가 용접된 후, 연장영역이 제거될 수 있다. 이를 다시 말하면, 연결부(CNP)가 형성된 후, 연장영역은 제2영역(AR2)으로부터 분리될 수 있다. 예를 들어, 연장영역은 트리밍(Trimming) 공정을 통해 제2영역(AR2)으로부터 분리될 수 있다.
지금까지 제1마스크 시트 및 제2마스크 시트 중 하나는 평면도에서 제1관통홀 및 제2관통홀 중 적어도 하나와 인접하게 배치된 함몰부를 구비한 것을 중심으로 설명하였으나, 일부 실시예에서, 제1마스크 시트 및 제2마스크 시트는 각각 평면도에서 제1관통홀 및 제2관통홀 중 적어도 하나와 인접하게 배치된 함몰부를 구비할 수 있다.
도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치(1)를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 17을 참조하면, 표시 장치의 제조장치(1)는 마스크 조립체(10), 챔버(20), 지지부(30), 마스크지지부(40), 소스부(50), 전자기력부(60), 비젼부(70), 및 압력조절부(80)를 포함할 수 있다. 마스크 조립체(10)는 제1마스크 시트(100), 제2마스크 시트(200), 및 마스크 프레임(300)을 포함할 수 있다. 마스크 조립체(10)는 도 1 내지 도 16을 참조하여 설명한 마스크 조립체일 수 있다.
챔버(20)는 내부에 공간을 구비할 수 있으며, 일측이 배치된 차폐부(21)를 포함할 수 있다. 차폐부(21)는 게이트 밸브 등을 포함할 수 있으며 선택적으로 개폐될 수 있다. 제조중인 표시 장치(D)는 차폐부(21)를 통해 인출되거나 수납될 수 있다.
지지부(30)는 제조중인 표시 장치(D)를 지지할 수 있다. 일 실시예에서, 지지부(30)는 챔버(20) 내부에 고정된 브라켓 형태일 수 있다. 다른 실시예에서, 지지부(30)는 제조중인 표시 장치(D)가 안착되며 챔버(20) 내부에서 선형 운동이 가능한 셔틀일 수 있다.
마스크지지부(40)는 마스크 조립체(10)를 지지할 수 있다. 마스크지지부(40)는 챔버(20) 내부에 배치될 수 있다. 마스크지지부(40)는 챔버(20) 내부에 고정된 브라켓 형태일 수 있다. 일 실시예에서, 마스크지지부(40)는 마스크 조립체(10)의 위치를 미세 조정할 수 있다.
소스부(50)는 마스크 조립체(10)와 대향하도록 배치될 수 있다. 소스부(50)는 증착 물질을 수납할 수 있으며, 증착 물질에 열을 가함으로써 증착 물질을 증발시키거나 승화시킬 수 있다. 따라서, 소스부(50)는 증착 물질을 공급할 수 있다.
전자기력부(60)는 마스크 조립체(10)를 기준으로 소스부(50)와 반대편에 배치될 수 있다. 전자기력부(60)는 마스크 조립체(10)에 전기력 및/또는 자기력을 가하여 제조중인 표시 장치(D) 쪽으로 마스크 조립체(10)를 가력할 수 있다. 전자기력부(60)는 마스크 조립체(10)의 쳐짐을 방지할 뿐만 아니라, 마스크 조립체(10)를 제조중인 표시 장치(D)에 근접시킬 수 있다. 전자기력부(60)는 마스크 조립체(10)와 제조중인 표시 장치(D) 사이의 간격을 마스크 조립체(10)의 길이 방향에 대해 균일하게 유지할 수 있다. 일 실시예에서, 전자기력부(60)는 정전 척(Electro Static Chuck) 및/또는 자기 척(Magnetic Chuck)을 포함할 수 있다.
비젼부(70)는 챔버(20)에 배치되며, 제조중인 표시 장치(D) 및 마스크 조립체(10)의 위치를 촬영할 수 있다. 비젼부(70)는 카메라를 포함할 수 있다. 비젼부(70)에서 촬영된 이미지를 근거로 제조중인 표시 장치(D)와 마스크 조립체(10)의 위치를 파악할 수 있으며, 상기 이미지를 근거로 마스크지지부(40)에서 마스크 조립체(10)의 위치를 미세 조정할 수 있다.
압력조절부(80)는 챔버(20)와 연결되어 챔버(20) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 예를 들어, 압력조절부(80)는 챔버(20) 내부의 압력을 대기압과 동일 또는 유사하게 조절할 수 있다. 압력조절부(80)는 챔버(20) 내부의 압력을 진공 상태와 동일 또는 유사하게 조절할 수 있다. 압력조절부(80)는 챔버(20)와 연결되는 연결배관(81) 및 연결배관(81)에 설치되는 펌프(83)를 포함할 수 있다. 펌프(83)의 작동에 따라서 연결배관(81)을 통하여 외기가 유입되거나 챔버(20) 내부의 기체를 연결배관(81)을 통하여 외부로 안내할 수 있다.
이하 표시 장치의 제조방법에 대해 설명하기로 한다.
표시 장치의 제조장치(1)는 표시 장치를 제조하는데 사용될 수 있다. 일 실시예에서, 압력조절부(80)가 챔버(20) 내부를 대기압과 동일 또는 유사한 상태로 만들고 챔버(20)의 차폐부(21가 개방될 수 있다.
이후 외부에서 제조중인 표시 장치(D)가 챔버(20) 외부에서 내부로 장입될 수 있다. 제조중인 표시 장치(D)는 다양한 방식으로 챔버(20)에 장입될 수 있다. 일 실시예에서, 제조중인 표시 장치(D)는 챔버(20)의 외부에 배치된 로봇암 등을 통해 챔버(20)의 외부에서 내부로 장입될 수 있다. 다른 실시예에서, 지지부(30)가 셔틀 형태로 구비되는 경우, 지지부(30)가 챔버(20) 내부에서 챔버(20) 외부로 반출될 수 있다.
일 실시예에서, 마스크 조립체(10)는 챔버(20) 내부에 배치된 상태일 수 있다. 다른 실시예에서, 마스크 조립체(10)는 제조중인 표시 장치(D)와 유사하게 챔버(20) 외부에서 챔버(20) 내부로 장입하는 것도 가능하다. 마스크 조립체(10)는 증착 물질을 공급하는 소스부(50)와 대향하도록 챔버(20) 내에 배치될 수 있다.
제조중인 표시 장치(D)가 챔버(20) 내부로 장입되면, 제조중인 표시 장치(D)가 지지부(30)에 안착될 수 있다. 제조중인 표시 장치(D)는 마스크 조립체(10)를 기준으로 소스부(50)와 반대편에 배치될 수 있다. 비젼부(70)는 제조중인 표시 장치(D)와 마스크 조립체(10)의 위치를 촬영할 수 있다. 비젼부(70)가 파악한 제조중인 표시 장치(D)와 마스크 조립체(10)의 위치를 근거로 마스크지지부(40)는 마스크 조립체(10)의 위치를 미세 조정할 수 있다.
그 다음, 전자기력부(60)를 이용하여 마스크 조립체(10)를 제조중인 표시 장치(D)에 근접시킬 수 있다. 본 실시예에서, 제1마스크 시트(100) 또는 제2마스크 시트(200)가 함몰부를 구비할 수 있다. 이러한 경우, 제1마스크 시트(100) 및 제2마스크 시트(200)가 용접될 때 형성된 연결부의 돌기가 제조중인 표시 장치(D)와 접촉하지 않을 수 있다. 따라서, 제조중인 표시 장치(D)와 마스크 조립체(10)가 충분히 밀착될 수 있으며, 증착 정밀도가 높아질 수 있다.
그 다음, 소스부(50)가 작동하여 증착 물질을 마스크 조립체(10) 측으로 공급할 수 있다. 증착 물질은 마스크 조립체(10)를 통과하여 제조중인 표시 장치(D)에 증착될 수 있다. 구체적으로 증착 물질은 마스크 프레임(300)의 프레임개구부, 제1마스크 시트(100)의 제1개구부, 및 제2마스크 시트(200)의 제2개구부를 통과할 수 있으며, 제조중인 표시 장치(D)에 증착될 수 있다. 이 때, 펌프(83)는 챔버(20) 내부의 기체를 흡입하여 외부로 배출할 수 있으며, 챔버(20) 내부의 압력은 진공과 동일 또는 유사한 형태로 유지될 수 있다.
이와 같은 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
10: 마스크 조립체 100: 제1마스크 시트
200: 제2마스크 시트 300: 마스크 프레임
ADA1: 제1인접영역 ADA2: 제2인접영역
AR1: 제1영역 AR2: 제2영역
OP1: 제1개구부 OP2: 제2개구부
PH1: 제1관통홀 PH2: 제2관통홀
S1: 제1면 S2: 제2면
S3: 제3면 PT: 돌기
CNP: 연결부 DPP: 함몰부
EA: 연장영역 OA: 외측영역

Claims (20)

  1. 제1개구부를 구비한 제1마스크 시트;
    평면도에서 상기 제1개구부와 중첩하는 복수의 제2개구부들이 배치된 제1영역 및 상기 제1마스크 시트를 노출하며 서로 인접한 제1관통홀 및 제2관통홀이 배치되고 상기 제1영역과 인접한 제2영역을 포함하는 제2마스크 시트; 및
    평면도에서 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀 사이에 배치되고 상기 제1마스크 시트 및 상기 제2마스크 시트를 서로 연결하는 연결부;를 포함하고,
    상기 제1마스크 시트 및 상기 제2마스크 시트 중 하나는 평면도에서 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀 중 적어도 하나와 인접하게 배치된 함몰부를 구비한, 마스크 조립체.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 함몰부는 복수개로 구비되고,
    복수의 함몰부들은 평면도에서 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀과 인접하게 배치된, 마스크 조립체.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 연결부는 상기 제2마스크 시트의 두께 방향으로 돌출된 돌기를 포함하는, 마스크 조립체.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1마스크 시트는 상기 제2마스크 시트를 대향하는 제1면을 포함하고,
    상기 제2마스크 시트는 상기 제1면을 대향하는 제2면 및 상기 제2면과 반대되는 제3면을 포함하며,
    상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀은 각각 상기 제2면 및 상기 제3면을 관통하고,
    상기 제1면으로부터 상기 제3면까지의 제1거리는 상기 제1면으로부터 상기 돌기의 단부까지의 제2거리보다 크거나 같은, 마스크 조립체.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제2마스크 시트는 상기 함몰부를 구비한, 마스크 조립체.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1마스크 시트는 상기 함몰부를 구비한, 마스크 조립체.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1마스크 시트, 상기 제2마스크 시트, 및 상기 연결부는 용접되어 일체로 구비된, 마스크 조립체.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제2영역은 상기 제1관통홀과 인접한 제1인접영역 및 상기 제1인접영역을 적어도 일부 둘러싸는 외측영역을 포함하고,
    상기 제1인접영역에서 상기 제2마스크 시트의 표면 조도는 상기 외측영역에서 상기 제2마스크 시트의 표면 조도와 상이한, 마스크 조립체.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제1개구부는 복수개로 구비되고,
    복수의 제1개구부들은 제1방향 및 상기 제1방향과 교차하는 제2방향으로 배열되고,
    상기 제2마스크 시트는 복수개로 구비되며,
    복수의 제2마스크 시트들은 각각 평면도에서 상기 복수의 제1개구부들과 중첩하는, 마스크 조립체.
  10. 제9항에 있어서,
    평면도에서 상기 복수의 제1개구부들과 중첩하는 프레임개구부를 구비한 마스크 프레임;을 더 포함하며,
    상기 마스크 프레임의 두께는 상기 제1마스크 시트의 두께보다 크고,
    상기 제1마스크 시트의 두께는 상기 제2마스크 시트의 두께보다 큰, 마스크 조립체.
  11. 제1개구부를 구비한 제1마스크 시트 상에 복수의 제2개구부들이 배치된 제1영역 및 상기 제1영역과 인접하고 상기 제1마스크 시트를 노출하며 서로 인접한 제1관통홀 및 제2관통홀이 배치된 제2영역을 포함하는 제2마스크 시트를 배치시키는 단계; 및
    상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀 사이에 레이저 빔을 조사하여 상기 제1마스크 시트 및 상기 제2마스크 시트를 용접시키는 단계;를 포함하고,
    상기 제1마스크 시트 및 상기 제2마스크 시트 중 하나는 평면도에서 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀 중 적어도 하나와 인접하게 배치된 함몰부를 구비한, 마스크 조립체의 제조방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 함몰부는 복수개로 구비되고,
    복수의 함몰부들 중 일부는 평면도에서 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀 사이에 배치된, 마스크 조립체의 제조방법.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 제1마스크 시트 및 상기 제2마스크 시트가 용접된 후, 상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀 사이에 배치되고 상기 제1마스크 시트 및 상기 제2마스크 시트를 서로 연결하는 연결부가 형성되며,
    상기 연결부는 상기 제2마스크 시트의 두께 방향으로 돌출된 돌기를 포함하는, 마스크 조립체의 제조방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제1마스크 시트는 상기 제2마스크 시트를 대향하는 제1면을 포함하고,
    상기 제2마스크 시트는 상기 제1면을 대향하는 제2면 및 상기 제2면과 반대되는 제3면을 포함하며,
    상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀은 각각 상기 제2면 및 상기 제3면을 관통하고,
    상기 제1면으로부터 상기 제3면까지의 제1거리는 상기 제1면으로부터 상기 돌기의 단부까지의 제2거리보다 크거나 같은, 마스크 조립체의 제조방법.
  15. 제11항에 있어서,
    상기 제2마스크 시트는 상기 함몰부를 구비한, 마스크 조립체의 제조방법.
  16. 제11항에 있어서,
    상기 제1마스크 시트는 상기 함몰부를 구비한, 마스크 조립체의 제조방법.
  17. 제11항에 있어서,
    상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀 중 적어도 하나를 통해 상기 제1마스크 시트 및 상기 제2마스크 시트 사이의 간격을 확인하는 단계;를 더 포함하는, 마스크 조립체의 제조방법.
  18. 제11항에 있어서,
    상기 제1마스크 시트는 상기 제2마스크 시트를 대향하는 제1면을 포함하고,
    상기 제2마스크 시트는 상기 제1면을 대향하는 제2면 및 상기 제2면과 반대되는 제3면을 포함하며,
    상기 제1관통홀 및 상기 제2관통홀은 각각 상기 제2면 및 상기 제3면을 관통하고,
    상기 레이저 빔은 상기 제3면을 향해 조사되는, 마스크 조립체의 제조방법.
  19. 제11항에 있어서,
    상기 제2영역은 상기 제1관통홀과 인접한 제1인접영역 및 상기 제1인접영역을 적어도 일부 둘러싸는 외측영역을 포함하고,
    상기 제1인접영역에서 상기 제2마스크 시트의 표면 조도는 상기 외측영역에서 상기 제2마스크 시트의 표면 조도와 상이한, 마스크 조립체의 제조방법.
  20. 제11항에 있어서,
    상기 제2마스크 시트는 상기 제2영역으로부터 연장된 연장영역을 더 포함하고,
    상기 제2마스크 시트의 상기 연장영역에 인장력을 인가시키는 단계; 및
    상기 제1마스크 시트 및 상기 제2마스크 시트가 용접된 후, 상기 연장영역을 제거하는 단계;를 더 포함하는, 마스크 조립체의 제조방법.
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