KR20230129845A - 정전력 측정장치 및 정전력 측정방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 정전척의 부분별 정전기력의 측정을 통하여 정전척의 문제 부분을 찾아낼 수 있는 정전력 측정장치을 제공하는 것으로, 일실시예에서, 전원공급부에 연결된 정전척의 상부에 위치하며, 상기 정전척에 부착된 웨이퍼와 연결되어 상기 웨이퍼를 상승시켜 상기 정전척으로부터 분리시키는 웨이퍼 분리수단; 및 상기 정전척의 최대 직경보다 작은 직경을 가지는 복수의 상기 웨이퍼를 포함하며, 상기 웨이퍼 분리수단은 상기 웨이퍼와 연결되는 연결부; 상기 연결부를 상하 방향으로 이동시키는 구동부; 상기 구동부에 혹은 상기 구동부와 상기 연결부 사이에 배치되는 로드셀을 포함하며, 상기 웨이퍼 분리수단은 복수 개 구비되는 정전력 측정장치를 제공한다.

Description

정전력 측정장치 및 정전력 측정방법{Electrostatic Force Measuring Device and Measuring Method}

본 발명은 정전척의 정전력을 측정하는 정전력 측정장치 및 측정방법에 대한 것이다.

반도체 소자를 제고하기 위하여, 기판을 복수의 공정을 수행하여 기판 상에 원하는 패턴을 형성한다. 이러한 복수의 공정을 거치는 과정에서 기판을 지지하기 위하여 정전척이 사용된다.

정전척은 기판과 정전척 내의 전극 간의 정전기력에 의해서 기판을 정전척에 유지시키며, 이렇게 기판이 정전척에 유지된 상태에서 복수의 공정이 수행된다. 특히, 플라즈마 식각 및 증착 장비에서는 정전척의 사용이 일반적이다.

한편, 특허 문헌 1 에는 정적척에 기판을 안착시킨 후 흡착 펌프와 무게 조절부를 통하여 기판이 정전척으로부터 분리될 때의 정전기력을 측정하는 기술이 개시된 바 있다.

하지만, 이러한 측정방식의 경우에 정전척의 전체적인 정전기력을 측정할 수 있을 뿐 공정에 의해 발생하는 정적척의 문제를 예측할 수 없다는 한계가 있다.

(특허문헌 1) KR 10-2008-0040801 A

본 발명은 위와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 정전척의 부분별 정전기력의 측정을 통하여 정전척의 문제 부분을 찾아낼 수 있는 정전력 측정장치 및 정전력 측정방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 위와 같은 목적을 달성하기 위하여 다음과 같은 정정력 측정장치 및 방법을 제공한다.

본 발명은 일실시예에서, 전원공급부에 연결된 정전척의 상부에 위치하며, 상기 정전척에 부착된 웨이퍼와 연결되어 상기 웨이퍼를 상승시켜 상기 정전척으로부터 분리시키는 웨이퍼 분리수단; 및 상기 정전척의 최대 직경보다 작은 직경을 가지는 복수의 상기 웨이퍼를 포함하며, 상기 웨이퍼 분리수단은 상기 웨이퍼와 연결되는 연결부; 상기 연결부를 상하 방향으로 이동시키는 구동부; 상기 구동부에 혹은 상기 구동부와 상기 연결부 사이에 배치되는 로드셀을 포함하며, 상기 웨이퍼 분리수단은 복수 개 구비되는 정전력 측정장치를 제공한다.

일실시예에서, 상기 웨이퍼는 상기 정전척 상면 직경의 50% 이하의 직경을 가지거나, 2인치 이하의 직경을 가질 수 있으다.

일실시예에서, 상기 웨이퍼 분리수단은 수평 방향에서 이동되게 구성될 수 있다.

일실시예에서, 상기 측정장치는 상기 정전척이 장착되는 스테이지; 상기 정전척을 둘러싸는 공간을 형성하는 챔버; 상기 챔버에 연결되며, 챔버 내부를 진공으로 형성하는 진공 형성부; 및 상기 정전척에 연결되어 상기 정전척의 온도를 조절하는 온도 조절부;를 더 포함하며, 상기 스테이지는 수평 방향에서 상기 정전척을 이동시키게 구성될 수 있다.

본 발명은 일실시예에서, 정전척의 직경보다 작은 직경을 가지는 복수의 웨이퍼가 정전척 상에 위치되는 웨이퍼 배치단계; 상기 정전척에 전원을 공급하여 상기 웨이퍼가 정전척에 부착되는 부착단계; 상기 정전척에 전원이 공급된 상태에서 로드셀과 연결된 웨이퍼 분리수단으로, 상기 복수의 웨이퍼를 상승시켜 상기 정전척으로부터 상기 웨이퍼가 분리되는 분리 단계; 및 상기 복수의 웨이퍼가 상기 정전척으로부터 분리될 때 상기 로드셀에서 측정된 값을 수집하여 정전척의 위치에 따른 정전력 정보를 제공하는 정전력 제공 단계;를 포함하는 정전력 측정 방법을 제공할 수 있다.

본 발명은 위와 같은 구성을 통하여, 정전척의 부분별 정전기력의 측정을 할 수 있는 정전력 측정장치 및 정전력 측정방법을 제공하며, 이를 통하여 정전척의 문제 부분을 찾아낼 수 있다.

도 1 는 본 발명의 일실시예에 따른 정전력 측정장치의 개략도이다.
도 2 은 도 1 의 정전력 측정장치에서 정전척에 웨이퍼가 배치된 모습의 평면도이다.
도 3 은 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전력 측정장치의 개략도이다.
도 4 는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 정전력 측정장치의 개략도이다.
도 5 은 본 발명의 또 다른실시예에 따른 정전력 측정장치의 개략도이다.
도 6 은 본 발명의 일실시예에 따른 정전력 측정방법의 순서도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다. 또한, 본 명세서에서, '상', '상부', '상면', '하', '하부', '하면', '측면' 등의 용어는 도면을 기준으로 한 것이며, 실제로는 소자나 구성요소가 배치되는 방향에 따라 달라질 수 있을 것이다.

덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결'되어 있다고 할 때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.

도 1 에는 정전력 측정장치의 개략도가 도시되어 있다. 도 1 에서 보이듯이, 정전력 측정장치(1)는 정전척(10)이 내부에 배치되는 챔버(20)와 상기 챔버(20)의 내부 공간과 연결되며 챔버(20) 내부를 진공시키는 진공 형성부(40); 상기 정전척(10) 내부에 배치되는 전극(15)과 연결되는 전원 공급부(60); 상기 정전척(10)에 연결되며, 정전척(10)의 온도를 일정하게 유지시키도록 유체를 순환시키는 온도 조절부(30) 및 도시되지는 않았지만, 챔버(20) 내부에 위치되며 정전척(10)이 장착되는 스테이지를 포함한다.

측정장치(1)는 정전척(10)의 상부에 배치된 복수의 웨이퍼(100); 웨이퍼(100)의 상부에서 상기 웨이퍼(100)를 상승 이동시켜 상기 정전척(10)으로부터 분리시키는 웨이퍼 분리수단을 포함하며, 상기 웨이퍼 분리수단은 상기 웨이퍼(100)를 상하 방향으로 이동시키는 구동력을 제공하는 구동부(120), 상기 웨이퍼(100)와 상기 구동부(120)를 연결하는 연결부(130); 상기 구동부(120)에 혹은 구동부(120)와 상기 웨이퍼(100) 사이의 연결부(130)에 연결되어 웨이퍼(100)를 상승되어 분리될 때의 하중을 측정하는 하중측정부(110) 및 상기 구동부(120) 및 하중측정부(140)에 연결된 제어부(50)를 포함한다.

정전척(10)은 챔버(20) 내부에서 스테이지에 장착되며 웨이퍼(100)와 정전력을 형성하기 위한 전극(15)을 포함한다. 정전척(10)의 전극(15)은 전원 공급부(60)에 연결되며, 정전척(10)은 접지되고, 온도 조절부(30)와 연결된다.

챔버(20)는 실제 공정을 수행하기 위한 프로세스 챔버일 수도 있으며, 정전척(10)의 테스트를 위한 테스트 챔버일 수도 있으며, 내부 공간이 형성되고 하부에는 상기 정전척(10)이 장착되는 스테이지가 배치될 수 있다.

온도 조절부(30)는 정전척(10)에 연결되어 정전척(10)의 온도를 일정하게 유지시켜주는 주는 구성으로, 베스 서큘레이터일 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니며, 정전척(10)의 온도를 일정하게 유지할 수 있다면 다른 구성이 적용되더라도 무방한다.

진공 형성부(40)는 챔버(20) 내부 공간과 연결되며, 정전척(10)의 정전력, 즉 척킹력(ckucking force)을 정확하게 측정할 수 있도록 챔버(20) 내부 공간을 진공으로 형성시키는 구성이다.

제어부(50)는 측정장치(1)의 제어를 위한 구성으로 챔버(20)의 주변 구성과 웨이퍼(100)를 상승시키는 구동부(120), 웨이퍼(100)가 분리될 때의 하중을 측정하기 위한 하중측정부(110)와 연결되며, 구동부(120)를 동작시키고, 해당 위치에서 해당 웨이퍼(100)가 분리될 때 측정되는 하중을 측정하여 저장 혹은 표시한다.

전원 공급부(60)는 전극(15)으로 전원을 공급하는 구성으로, 정전척(10)의 종류에 따라서 전극(15)으로 적절한 전원을 공급한다. 도 1 의 실시예에서 정전척(10)은 모노폴라 방식으로 전원 공급부(60)는 고전압 직류 공급부일 수 있으나 정전척(10) 방식 및 전원 공급부(60)는 이에 제한되지 않고 다양한 방식과 그에 적합한 전원이 공급될 수 있다.

웨이퍼(100)는 본 발명에서 정전척(10)의 상면에 안착되되, 복수 개가 정전척(10)의 상면에 동시에 안착된다. 즉, 도 1 에 도시된 바와 같이 제 1 내지 제 4 웨이퍼(101, 102, 103, 104)가 동시에 정전척(10)의 상면에 안착될 수 있다. 따라서, 웨이퍼(100)는 복수 개가 정전척(10)의 상면에 안착될 수 있도록 정전척(10)의 상면보다 작은 크기로 형성된다.

웨이퍼(100)는 복수 개가 동일한 크기일 수 있으며, 원판형의 형상을 가질 수 있다. 이 때 웨이퍼(100)의 직경은 정전척(10)의 직경의 50%이하일 수 있다. 정전척(10)의 전극(15)에 대응되는 위치에만 웨이퍼(100)가 배치되도록 웨이퍼(100)는 작은 직경을 가질 수도 있으며, 이 경우에는 2 인치 이하의 크기를 가져서 정전척(10) 하나에 복수의 위치에서 정전력을 측정할 수 있다.

하나의 웨이퍼(100)로 정전척(10)의 정전력을 측정하는 경우에 전체로서 측정되기 때문에 일부분이 나쁜 경우는 측정되지 않을 수 있으며, 그 경우에 척킹력이 부족한 부분에서는 웨이퍼(100)의 온도가 불균일해져 패턴의 폭이 불균일한 불량이 발생될 수 있다.

본 발명의 일실시예에서는 정전척(10)의 복수의 부분에 웨이퍼(100)를 배치한 후 각 부분의 정전력을 측정할 수 있도록 측정장치(1)는 정전척(10)의 직경보다 작은 복수의 웨이퍼(100)를 포함하며, 해당 복수의 웨이퍼(100)를 통하여 정전척(10)의 위치별 정전력을 측정/분석함으로써, 정전척(10)을 사용하여 발생될 수 있는 문제를 해결할 수 있다.

웨이퍼 분리수단은 웨이퍼(100)의 갯수에 대응되게 연결부(130), 구동부(120) 및 하중측정부(110)를 포함할 수 있다.

하중측정부(110)는 웨이퍼(100)와 구동부(120) 사이에서 연결부(130)에 배치될 수 있으며, 하중을 측정하는 로드셀일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 하중측정부(110)는 구동부(120)에 일체로 구성되는 것도 가능하다. 즉, 구동부(120)에 연결되는 것도 가능하다.

구동부(120)는 연결부(130)를 상승/하강시키는 것으로 챔버(20)의 상측에 배치되며, 일부에 연결부(130)가 연결되어 제어부(50)의 신호에 따라서 연결부(130)를 잡아 당기거나, 풀어 내린다. 구동부(120)는 모터일 수도 있지만, 다른 구동수단이 될 수도 있다.

연결부(130)는 웨이퍼 분리수단과 웨이퍼(100)를 연결시키는 구성으로 와이어, 체인과 같은 구성일 수 있다. 연결부(130)는 구동부(120)와 하중측정부(130), 하중측정부(130)와 웨이퍼(100)를 연결하는 구성일 수 있다.

상기 하중측정부(110), 구동부(120), 연결부(130)는 제 1 내지 제 4 웨이퍼(101, 102, 103, 140)에 대응되게 제 1 내지 제 4 하중측정부(111, 112, 113, 114), 제 1 내지 제 4 구동부(121, 122, 123,124), 제 1 내지 제 4 연결부(131, 132, 133, 134)를 포함할 수 있다. 다만, 일대일 매칭이 필요한 것은 아니며, 그 수에 차이가 있을 수도 있다.

제어부(50)는 제 1 내지 제 4 웨이퍼(101, 102, 103, 104)를 정적척(10)의 상면에서 측정하고자 하는 위치에 위치시킨 후, 진공 형성부(40)로 챔버(20)에 진공을 형성한 상태에서 온도 조절부(30)로 정전척(10)의 온도를 조절하면서 전원 공급부(60)로 전극(15)에 전원을 공급한 후 상기 구동부(120)를 동작시키면서 하중측정부(110)로 측정되는 하중을 감시한다. 진공 및 온도 조절은 정전력에 영향을 주므로, 공정 시와 동일한 조건으로 수행될 수 있다.

전원 공급에 의해서 제 1 내지 제 4 웨이퍼(101, 102, 103, 104)는 정전척(10)에 정전력으로 부착되며, 구동부(120)의 동력에 의해서 제 1 내지 제 4 웨이퍼(101, 102, 103, 104)에는 상측으로 힘이 가해진다. 정전력 이상의 힘이 가해지면 제 1 내지 제4 웨이퍼(101, 102, 103, 104)는 각각 정전척(10)으로부터 분리되며, 이렇게 분리될 때의 하중측정부(110)에 의해서 측정된 힘이 디척킹력(De-Chucking Force)이며, 이 디척킹력이 실질적으로 정전척(10)이 제 1 내지 제4 웨이퍼(101, 102, 103, 104)를 붙잡는 정전력으로 볼 수 있다.

도 2 에는 정전척에 복수의 웨이퍼(100)가 배치되는 모습의 평면도이다.

도 2 에서 보이듯이, 정전척(10)의 상면(10a)에는 복수의 웨이퍼(100)가 배치될 수 있다. 웨이퍼(100)는 그 크기에 따라서 N개가 배치될 수 있으며, 제 1 내지 제 N 웨이퍼(101,.. 10N)가 배치될 수도 있지만, 정해진 수의 웨이퍼(100)가 자리를 변경해가면서 정전척(10)의 각 부분의 정전력을 측정하는 방식도 가능하다. 복수의 웨이퍼(100)는 일정한 간격으로 배치될 수 있다.

도 3 는 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전력 측정장치(1)의 개략도이다.

도 3 의 실시예의 경우에 기본적으로 도 1 의 실시예와 유사함으로 차이가 있는 부분만 설명한도록 한다. 도 3 의 실시예의 경우에도 챔버(20)에 배치되며, 진공 형성부(40), 온도 조절부(30), 전원 공급부(60), 제어부(50)를 포함한다는 점은 동일하다.

이 실시예에서는 제 1 내지 제 4 웨이퍼(101, 102, 103, 104)는 연결부(130)와 연결되도록 고리(101a)가 형성된다. 본 발명에서 제 1 내지 제 4 웨이퍼(101, 102, 103, 104)의 경우에 공정이 수행되는 Si 웨이퍼일 수도 있지만, 이 실시예에서는 정전척(10)에 부착될 수 있는 다른 재질, 예를 들면 금속 재질일 수도 있다. 금속 재질은 동일 크기의 Si 보다 밀도가 큰 것, 예를 들면, 알루미늄, 철 등일 수 있다.

금속 재질의 제 1 내지 제 4 웨이퍼(101, 102, 103, 104)은 연결부(130)와 연결이 용이하도록 각각 고리부(101a)를 포함할 수 있으며, 이 고리부(101a)를 통하여 웨이퍼와 연결부(130)를 연결하기 위한 별도의 진공 흡착 장치 같은 구성은 불필요해질 수 있다.

고리부(101a)는 제 1 내지 제 4 웨이퍼(101, 102, 103, 104)의 무게 중심, 원형의 경우에는 중점에 위치되어, 연결부(130)를 통하여 제 1 내지 제 4 웨이퍼(101, 102, 103, 104)가 상승할 때 제 1 내지 제 4 웨이퍼(101, 102, 103, 104)의 수평이 유지되게 한다.

각 하중측정부(111, 112, 113, 114)와 각 웨이퍼(101, 102, 103, 104)를 연결하는 연결부(130)의 경우에도 고리부(140)를 포함할 수 있다. 연결부(130)의 고리부(140)와 웨이퍼(100)의 고리부(101a)의 경우에 적어도 하나는 열린 고리여서 하나의 고리에 다른 고리가 끼워짐으로써 연결이 이루어질 수 있다.

도 4 는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 정전력 측정장치(1)의 개략도이다.

도 4 의 실시예에서 정전척(10)은 전극(15) 뿐만 아니라, 가스 공급홀(18)이 형성되거나 정전척(10)으로부터 웨이퍼를 분리시키기 위한 리프트 핀(16)을 포함할 수 있으며, 이 경우에 가스 공급홀(18)이나 리프트 핀(16)이 형성된 위치에는 전극(15)이 배치되지 않는다. 정전력은 전극(15)에 의해서 발생되므로, 전극이 없는 위치에 제 1 내지 제 3 웨이퍼(101, 102, 103)가 배치되는 경우에 정전력이 정확하게 측정되지 않으므로, 제 1 내지 제 3 웨이퍼(101, 102, 103)는 가스 공급홀(18)이나 리프트 핀(16)이 없는 위치에 배치될 수 있다.

도 5 에는 본 발명의 다른 실시예에 따른 정전력 측정장치(1)의 개략도가 도시되어 있다. 도 5 의 실시예의 측정장치(1)의 경우에 도 3 의 측정장치(1)와 웨이퍼 분리수단, 웨이퍼(100)의 기본 구성이 동일하므로, 도 3 과의 차이점을 중심으로 설명한다.

도 2 에서 보이듯이, 웨이퍼(100)의 크기가 정전척(10)의 상면에 비하여 많이 작아지는 경우에 다수의 웨이퍼(100)가 정전척(10)의 상면에 배치될 수 있으나, 본 발명에서는 각 웨이퍼(100)에 각각 구동부(120) 및 하중측정부(130)이 배치되기 때문에, 챔버(20) 내부 공간이 복잡해질 수 있으며, 서로 간에 간섭이 발생할 수 있다.

도 5 (a)의 실시예에서는 작은 크기의 웨이퍼(100)를 사용하면서도 한번에 정전척(10) 상면 전체의 정전력을 측정하기보다는 일정 수 혹은 일정 영역의 정전력을 측정하고, 이동하여 다른 영역의 정전력을 측정할 수 있도록 측정장치(1)는 상기 구동부(120)에 연결되며, 수평면 상에서 이동 가능한 수평이동부(150)를 더 포함한다.

수평이동부(150)는 X-Y 평면상에 이동할 수 있도록 구성되며, 예를 들면 리니어모션 가이드와 모터를 포함하여 구성될 수 있거나, 수동으로 위치 변경하능하도록 리니어모션 가이드만 구비될 수도 있다. 이러한 수평이동부(150)를 통하여 측정장치(1)가 포함하는 웨이퍼(100)의 수보다 많은 위치에서 정전력을 측정할 수 있다.

도 5 (b)의 실시예에서는 도 5 (a)와 동일하게 작은 크기의 웨이퍼(100)를 사용하면서도 한번에 정전척(10) 상면 전체의 정전력을 측정하기보다는 일정 수 혹은 일정 영역의 정전력을 측정하고, 이동하여 다른 영역의 정전력을 측정할 수 있도록 정전척(10)이 장착된 스테이지(미도시)가 이동되는 구성이 도시되어 있다. 챔버(20; 도 1 참고) 내부에서 스테이지가 X-Y 평면상에서 이동하면 웨이퍼(100)의 정전척(10)에 대한 상대위치가 변경되므로, 상기 도 5 (a)의 실시예와 동일한 효과를 가질 수 있다.

본 발명은 정전척(10)의 정전력을 위치별로 나눠서 측정함으로써, 정전척(10)의 위치에 따른 정전력을 측정할 수 있으며, 정전척(10)의 문제를 파악하거나, 정정척(10)의 문제 원인을 파악하는데 도움을 줄 수 있다. 일부 영역에 문제가 있는 경우 정전척의 해당 위치의 전극/소재/가공을 분석함으로써, 문제를 해결하거나 문제 있는 정전척을 사용하여 패턴 생성 불균일로 인한 불량을 막을 수 있어서, 전체적인 공전 효율성을 야기할 수 있으며, 정전척(10)의 성능 개선도 가능하다.

도 6 에는 본 발명의 정전력 측정방법의 순서도가 도시되어 있다. 도 1 의 실시예를 기준으로 설명하도록 한다.

본 발명의 일실시예에 따른 정전력 측정방법은 정전척(10)의 직경보다 작은 직경을 가지는 복수의 웨이퍼(100)가 정전척 상에 위치되는 웨이퍼 배치단계(S10); 상기 정전척에 전원을 공급하여 상기 웨이퍼가 정전척에 부착되는 부착단계(S20); 상기 정전척에 전원이 공급된 상태에서 로드셀과 연결된 웨이퍼 분리수단으로, 상기 복수의 웨이퍼를 상승시켜 상기 정전척으로부터 상기 웨이퍼가 분리되는 분리 단계(S30); 및 상기 복수의 웨이퍼가 상기 정전척으로부터 분리될 때의 하중을 상기 하중측정부로 측정하는 정전력 측정 단계(S40);를 포함한다.

웨이퍼 배치단계(S10)는 정전척(10)의 원하는 위치에 복수의 웨이퍼(100)를 배치시켜 복수의 웨이퍼(100)가 정전척 상에 위치되는 단계이다. 이때, 작업자가 웨이퍼(100)를 원하는 위치로 배치시킬 수도 있다. 이때, 도 4 에서 설명한 바와 같이, 리프트 핀이나, 가스 공급홀이 없는, 즉, 정전척(10)의 전극이 배치된 위치에만 웨이퍼(100)를 배치할 수 있다.

또한, 도 5 에서 설명한 바와 같이, 수평이동부(150; 도 5(a) 참고)나 스테이지를 이동시키는 방식으로 웨이퍼(100)의 위치를 조정하는 것도 가능하다.

부착단계(S20)는 정전척에 전원을 공급하여 상기 웨이퍼(100)가 정전척에 부착되는 단계이다. 정전척에 전원을 공급하기 전에 진공 형성부(40)와 온도 조절부(30)를 동작시켜, 챔버(20) 내부를 진공으로 형성하고 정전척(10)의 온도가 상승되지 않도록 한 상태에서 전원 공급부(60)를 통하여 전극(15)에 전원을 제공한다

분리 단계(S30)는 상기 정전척(10)에 전원이 공급된 상태에서 하중측정부(130)를 포함하는 웨이퍼 분리수단으로, 상기 복수의 웨이퍼를 상승시키도록 하는 단계이다.

분리 단계(S30)가 수행되는 도중에 정전력 측정 단계(S40)가 수행된다. 정전력 측정 단계(S40)는 구동부(120)에 점진적으로 동력을 가하여 웨이퍼(100)가 정전척(10)으로부터 분리될 때의 하중을 하중측정부(130)가 측정하는 단계이다.

이렇게 상기 하중측정부에서 측정된 값을 수집하여 정전척의 위치에 따른 정전력 정보를 사용자에게 제공할 수 있다.

이상에서는 본 발명의 실시예를 중심으로 설명하였으나, 본 발명은 이에 제한되는 것은 아니며 다양하게 변형되어 실시될 수 있음은 물론이다.

1: 정전력 측정장치 10: 정전척
10a: 상면 15: 전극
16: 리프트 핀 18: 가스 공급홀
20: 챔버 30: 온도 조절부
40: 진공 형성부 50: 제어부
60: 전원 공급부 100: 웨이퍼
101a: 고리부
110: 하중측정부 120: 구동부
130: 연결부 140: 고리부
150: 수평이동부

Claims (10)

1. 전원공급부에 연결된 정전척의 상부에 위치하며, 상기 정전척에 부착된 웨이퍼와 연결되어 상기 웨이퍼를 상승시켜 상기 정전척으로부터 분리시키는 웨이퍼 분리수단; 및
   상기 정전척의 직경보다 작은 직경을 가지는 복수의 상기 웨이퍼를 포함하며,
   상기 웨이퍼 분리수단은 상기 웨이퍼와 연결되는 연결부, 상기 연결부를 상하 방향으로 이동시키는 구동부; 상기 구동부에 혹은 상기 구동부와 상기 연결부 사이에 배치되는 하중측정부를 포함하며,
   상기 웨이퍼 분리수단은 복수 개 구비되는 정전력 측정장치.
   
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 웨이퍼는 2 인치 이하의 직경을 가지는 정전력 측정장치.
   
3. 제 2 항에 있어서,
   상기 웨이퍼는 Si 보다 밀도가 큰 전도성 물질로 형성되는 정전력 측정장치.
   
4. 제 2 항에 있어서,
   상기 웨이퍼는 상면에 상기 연결부와 연결되는 걸림부를 포함하며 금속 재질로 형성되는 정전력 측정장치.
   
5. 제 4 항에 있어서,
   상기 연결부와 상기 걸림부는 고리를 포함하는 정전력 측정장치.
   
6. 제 1 항에 있어서,
   상기 웨이퍼 분리수단은 수평 방향에서 이동되게 구성된 정전력 측정장치.
   
7. 제 1 항에 있어서,
   상기 정전척이 장착되는 스테이지;
   상기 정전척을 둘러싸는 공간을 형성하는 챔버;
   상기 챔버에 연결되며, 챔버 내부를 진공으로 형성하는 진공 형성부; 및
   상기 정전척에 연결되어 상기 정전척의 온도를 조절하는 온도 조절부;를 더 포함하며,
   상기 스테이지는 수평 방향에서 상기 정전척을 이동시키게 구성된 정전력 측정장치.
   
8. 정전척의 직경보다 작은 직경을 가지는 복수의 웨이퍼가 정전척 상에 위치되는 웨이퍼 배치단계;
   상기 정전척에 전원을 공급하여 상기 웨이퍼가 정전척에 부착되는 부착단계;
   상기 정전척에 전원이 공급된 상태에서 하중측정부를 포함하는 웨이퍼 분리수단과 연결된 구동부로, 상기 복수의 웨이퍼를 상승시켜 상기 정전척으로부터 상기 웨이퍼가 분리되는 분리 단계; 및
   상기 복수의 웨이퍼가 상기 정전척으로부터 분리될 때의 하중을 상기 하중측정부로 측정하는 정전력 측정 단계;를 포함하는 정전력 측정 방법.
   
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 분리 단계는 상기 웨이퍼가 진공 상태에 위치하며, 상기 정전척의 온도가 일정하게 유지되는 상태에서 수행되는 정전력 측정 방법.
   
10. 제 8 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 배치단계에서 상기 복수의 웨이퍼는 상기 정전척의 전극이 배치된 영역에 대응되는 위치에만 배치되는 정전력 측정 방법.
    

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