KR20230119353A - 버블성 파티클을 제거하기 위한 약액 운반용 탱크 로리 시스템 - Google Patents

버블성 파티클을 제거하기 위한 약액 운반용 탱크 로리 시스템 Download PDF

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KR20230119353A
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윤석환
박덕수
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Abstract

본 발명의 일실시예는 외부의 공급처로부터 공급되는 대용량의 약액을 저장하기 위한 컨테이너와, 상기 공급처로부터 공급되는 약액을 상기 컨테이너로 전달하기 위한 약액 이송 배관과, 상기 약액 이송 배관과 연결되며, 상기 컨테이너에 저장된 약액을 상기 약액 이송 배관을 통해 외부의 수요처로 제공하는 과정에서 발생되는 버블성 파티클을 제거하거나 분리시키는 필터 여과기를 포함하는 버블성 파티클을 제거하기 위한 약액 운반용 탱크 로리 시스템을 제공한다.

Description

버블성 파티클을 제거하기 위한 약액 운반용 탱크 로리 시스템{TANK LORRY SYSTEM FOR TRANSFERRING CHEMICAL LIQUID}
본 발명은 약액 운반용 탱크 로리 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 필터 여과기를 이용하여 버블성 파티클을 제거하는 약액 운반용 탱크 로리 시스템에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 장지를 제조하기 위해서는 이온주입공정, 증착공정, 사진공정, 식각공정 및 세정공정 등과 같은 다수의 단위 공정들이 요구된다. 이러한 단위 공정들 중 약액을 이용한 공정으로는 예를 들면, 테트라메틸암모늄하이드로옥사이드를 이용한 현상공정, 식각액을 사용하는 식각공정 및 특정의 화학액 내지 초순수를 이용하는 세정공정 등과 같은 공정들이 있다.
특히, 식각공정 및 세정공정 등은 반도체 장치의 고집적화에 따라 그 중요성이 점점 증대되고 있으며, 파티클 관리기준이 보다 엄격해지고, 유기물, 무기물, 금속 오염과 같은 미세오염에 대한 세정공정의 최저고하가 절실히 요구되고 있다.
이러한 식각공정 및 세정 공정에서는 기판 표면의 막을 제거하기 위해 다양한 약액이 사용되고 있으며, 효율적이고 최적화된 공정을 위하여 여러 가지 약액이 혼합 저장된 상태에서 기판 처리 장치에 공급되고 있다.
도1은 종래의 약액 운송 시스템을 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 도면이다.
도1을 참조하면, 종래의 약액 운송 시스템은 외부의 공급처로부터 약액을 공급받아 저장하는 탱크(1)와, 약액을 탱크(1)로 이송하거나, 탱크(1)에 저장된 약액을 외부의 수요처로 제공하기 위한 배관(2)과, 배관(2)과 공급처 및 수요처를 연결하기 위한 호스(hose)(3)와, 배관(2) 상에 설치된 밸브(4)로 구성된다.
이와 같은 종래의 약액 운송 시스템은, 약액을 수요처에 공급하는 과정에서 발생되는 버블 제거를 위한 별도의 장치나 수단이 구비되지 않았고, 이에 따라 버블이 생성된 상태로 약액이 수요처에 공급됨에 따라 결과적으로 반도체 수율에 영향을 미치게 되는 문제가 있었다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 약액을 충전(charging)할 때는 바이패스 라인을 통해 컨테이너로 약액을 이송하고, 약액을 수요처에 제공(discharging)할 때는 필터링 라인을 통해 필터 여과기를 통과하도록 하여, 반도체 수율에 영향이 있는 버블성 파티클 생성을 억제시키기 위한 탱크 로리 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 외부의 공급처로부터 공급되는 대용량의 약액을 저장하기 위한 컨테이너와, 상기 공급처로부터 공급되는 약액을 상기 컨테이너로 전달하기 위한 약액 이송 배관과, 상기 약액 이송 배관과 연결되며, 상기 컨테이너에 저장된 약액을 상기 약액 이송 배관을 통해 외부의 수요처로 제공하는 과정에서 발생되는 버블성 파티클을 제거하거나 분리시키는 필터 여과기를 포함하는 버블성 파티클을 제거하기 위한 약액 운반용 탱크 로리 시스템을 제공한다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 필터 여과기는, 하우징과, 상기 하우징의 일 측면에 형성되되, 상기 유입구는 상기 하우징의 하부에 마련된 필터부의 상단보다는 높고, 상기 하우징의 상단보다는 소정의 간격 낮은 지점에 위치하는 유입구와, 상기 하우징의 내부 상단부터 상기 유입구가 위치한 지점 사이에 형성되는 에어 포켓 존을 포함하되, 상기 유입구를 통해 약액과 함께 유입된 버블성 파티클 중 적어도 일부는 부력에 의해 상승하여 상기 에어 포켓 존에 포집될 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 필터 여과기는, 상기 하우징의 내부 하단에 길이 방향으로 배열된 복수개의 필터들을 포함하는 필터부를 더 포함하고, 상기 하우징과 상기 유입구 사이 공간에 형성되는 상기 에어 포켓 존의 높이는 80 내지 100mm이고, 상기 유입구와 상기 필터부의 간격 높이는 90 내지 120mm일 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 약액 이송 배관은, 상기 공급처와 상기 컨테이너를 바로 연결하는 바이패스 라인과, 상기 수요처 및 상기 컨테이너와, 상기 수요처 및 상기 컨테이너 사이에 위치하는 상기 필터 여과기를 연결하는 필터링 라인을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 공급처로부터 공급되는 약액은 상기 바이패스 라인으로 유입되어 상기 컨테이너에 저장되고, 상기 컨테이너에 저장된 약액은 상기 필터링 라인을 통해 상기 필터 여과기를 통과하여 상기 수요처로 제공될 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 약액 이송 배관을 통해 이송되는 약액의 결빙을 방지하기 위하여, 상기 바이패스 라인 및 상기 필터링 라인에 형성되는 열선을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 약액 이송 배관을 통과하는 약액의 이송 압력을 측정하는 압력센서를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 압력센서로부터 측정된 이송 압력을 고려하여, 상기 약액 이송 배관으로 유입되는 상기 컨테이너에 저장된 약액의 단위 시간당 유량 또는 이송 속도를 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 공급처로부터 약액을 공급 받거나, 상기 수요처로 약액을 이송하기 위해, 상기 약액 이송 배관과 상기 공급처 또는 상기 수요처 사이를 연결하는 플렉서블 호스를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 필터 여과기를 보관 설치하기 위하여, 상기 컨테이너의 후면에 형성되는 필터 여과기 보관 박스와, 상기 플렉서블 호스를 보관 설치하기 위하여, 상기 컨테이너의 측면에 형성되는 플렉서블 호스 보관 박스를 더 포함하되, 상기 필터 여과기 보관 박스 및 상기 플렉서블 호스 보관 박스에 상기 약액 이송 배관을 통해 이송되는 약액의 결빙을 방지하기 위한 열풍기가 설치될 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 필터 여과기 보관 박스 및 상기 플렉서블 호스 보관 박스 내부에 형성되어, 상기 필터 여과기 및 상기 약액 이송 배관 주변의 온도를 측정하는 온도센서를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 필터 여과기는 복수개의 필터 여과기들을 포함하고, 상기 복수개의 필터 여과기들은 서로 병렬 연결되어 상기 약액 이송 배관을 통해 이송되는 약액을 병렬적으로 필터링 작업할 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 공급처로부터 공급되는 약액은 상기 필터 여과기를 통과하여 필터링됨에 따라 버블성 파티클이 제거되거나 분리된 상태로 상기 컨테이너에 저장될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 약액을 충전(charging)할 때는 바이패스 라인을 통해 컨테이너로 약액을 이송하고, 약액을 수요처에 제공(discharging)할 때는 필터링 라인을 통해 필터 여과기를 통과하도록 하여, 반도체 수율에 영향이 있는 버블성 파티클 생성을 억제시킬 수 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 설명 또는 청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도1은 종래의 약액 운송 시스템을 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 도면이다.
도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 탱크 로리 시스템이 공급처로부터 약액을 공급받는 과정을 나타내는 도면이다.
도3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 탱크 로리 시스템이 수요처로 약액을 제공하는 과정을 나타내는 도면이다.
도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 여과기를 개략적으로 도시한 도면이다.
도5 및 도6은 본 발명의 실시예에 따른 필터 여과기의 효과를 설명하기 위해 도시한 실험 결과 그래프 및 표이다.
도7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 탱크 로리 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 “연결(접속, 접촉, 결합)”되어 있다고 할 때, 이는 “직접적으로 연결”되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 “간접적으로 연결”되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 “포함”한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, “포함하다” 또는 “가지다” 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
본 발명은 반도체 제조에 있어서 필요한 약액이 이송 중에 버블성 파티클이 생성되는 현상을 방지하기 위한 약액 운반용 탱크 로리 시스템에 관한 것이다. 본 발명은 탱크 로리(tank lorry)에 설치되는 것으로서, 본 발명에 따른 탱크 로리 시스템은 약액 공급처로부터 약액을 공급받고, 또한 공급받은 약액을 저장하다가 수요처에 전달하는 역할을 한다. 예컨대, 상기 약액 공급처란 약액을 제조하여 공급하는 곳을 의미하고, 상기 수요처란 반도체를 제조하는 제조 업체를 의미하는 것일 수 있다.
약액이 공급처로부터 공급되는 과정, 또는 약액이 수요처로 공급하는 과정에서 공기와 맞닿게 되어 에어 버블(air bubble)이 발생하게 되는데, 이러한 에어 버블은 결국 파티클로 인식되어 반도체 수율에 많은 영향을 미치게 된다. 따라서, 이하에서 설명하는 본 발명의 실시예에 따른 탱크 로리 시스템은 약액의 이송 과정에서 발생된 에어 버블을 제거시켜 수요처로 제공하기 위한 것이 목적이다.
도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 탱크 로리 시스템이 공급처로부터 약액을 공급받는 과정을 나타내는 도면이고, 도3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 탱크 로리 시스템이 수요처로 약액을 제공하는 과정을 나타내는 도면이다.
먼저, 도2를 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 약액 운반용 탱크 로리 시스템의 구성을 설명한다.
본 발명의 실시예에 따른 약액 운반용 탱크 로리 시스템은, 컨테이너(110), 약액 이송 배관(120), 플렉서블 호스(flexible hose)(130), 필터 여과기(140), 압력센서(150), 열선(160), 밸브 유닛(170), 제어부(180), 그리고 운송 차량(300)을 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 컨테이너(110)는 외부의 공급처(500)로부터 공급되는 대용량(예컨대, 15 ton)의 약액을 저장하는 약액 저장조로서의 역할을 하는 탱크이다.
약액 이송 배관(120)은 공급처(500)로부터 공급되는 약액을 컨테이너(110)로 전달하고, 마찬가지로 컨테이너(110)에서 수요처(600)로 공급할 때에도 이용된다.
플렉서블 호스(130)는 공급처(500)로부터 약액을 공급 받거나, 컨테이너(110)에 저장된 약액을 수요처(600)로 이송하기 위해, 약액 이송 배관(120)과 공급처(500) 또는 수요처(600) 사이를 연결한다.
필터 여과기(140)는 컨테이너(110)에 저장된 약액을 약액 이송 배관(120)을 통해 외부의 수요처(600)로 제공하는 과정에서 발생되는 버블성 파티클을 제거하거나 분리시키기 위한 것으로서, 약액 이송 배관(120) 상에 형성된다.
도4는 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 여과기를 개략적으로 도시한 도면이다.
도4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 필터 여과기(140)는 유입구(141), 에어 포켓 존(143), 필터부(145), 유출구(147), 그리고 하우징(149)을 포함하여 구성될 수 있다.
본 실시예에 따른 필터 여과기(140)의 유입구(141)는 하우징(149)의 일 측면에 형성되되, 필터부(145)의 상단보다는 높고, 하우징(149)의 상단으로부터 소정 간격 떨어진 낮은 곳에 위치할 수 있다. 일 실시예로, 본 발명의 유입구(141)는 필터부(145)의 상단부와 기 정해진 간격(D2)만큼 떨어진 지점에 형성될 수 있고, 여기서 상기 기 정해진 간격은 예컨대, 90 내지 120mm 일 수 있고, 상기 D2는 가장 바람직하게는 100 mm일 수 있다.
종래의 필터 여과기(140)의 유입구는 필터부의 측면으로 유입되어, 기포가 필터에 바로 흡착되어 통과하였다. 그러나, 본 발명의 유입구(141)는 도4에 도시된 바와 같이, 필터부(145)와도 일정 간격만큼 떨어진 높이(D2)에 형성되고, 하우징(149)의 상단으로부터도 소정 간격(D3)만큼 떨어진 지점에 형성될 수 있다. 본 발명의 에어 포켓 존(143)은 상기 유입구(141)와 하우징(149)의 상단 사이 공간에 형성된다. 예컨대, 본 실시예에 따른 에어 포켓 존(143)의 높이(D3)는 80 내지 100mm일 수 있고, 바람직하게는 90mm일 수 있다.
그리고, 본 발명의 에어 포켓 존(143)과 필터부(145)의 하단까지의 거리(D1)는 530 내지 570mm일 수 있고, 가장 바람직하게는 550mm로 구현될 수 있다.
유입구(141)를 통해 약액과 함께 유입된 버블성 파티클(기포)(11) 중 적어도 일부가 부력으로 상승하여, 에어 포켓 존(143)으로 이동하게 되고, 약액은 하부에 있는 필터부(145)를 통과하여 유출구(147)로 유출된다.
즉, 약액 이송 배관(120)을 통해 본 발명의 필터 여과기(140)로 유입된 약액에 의한 유체 흐름은 필터부(145)의 상부 공간에서 이루어지게 됨으로써, 버블성 파티클(11)이 필터부(145)를 통과하지 않고, 부력에 의해 하우징(149)의 내부 상부에 있는 에어 포켓 존(143)으로 포집된다. 이에, 본 발명의 필터 여과기(140)는 에어 포켓 존(143)을 이용하여 버블성 파티클의 1차 필터링이 가능하고, 필터부(145)를 이용하여 버블성 파티클의 2차 필터링이 가능하다.
본 발명의 필터부(145)는 도4에 도시된 바와 같이, 필터가 적어도 하나 이상으로 구성될 수 있으며, 하우징(149)의 하부 공간에 길이 방향(세로)으로 배열된 형태로 배치될 수 있다.
다시 도2 및 도3을 참조하면, 압력센서(150)는 약액 이송 배관(120)을 통과하는 약액의 이송 압력을 측정할 수 있다. 본 발명의 실시예에 따른 압력센서(150)는 필터 여과기(140)가 위치하는 영역에 인접한 약액 이송 배관(120) 상에 설치될 수 있다.
본 발명의 열선(160)은 약액 이송 배관(120)을 통해 이송되는 약액의 결빙을 방지하기 위하여, 도2에 도시된 바와 같이 약액 이송 배관(120) 및 플렉서블 호스(130)를 따라 형성될 수 있다.
밸브 유닛(170)은 약액 이송 배관(120)을 통과하는 약액의 이송량을 제어하기 위한 수단으로서, 약액 이송 배관(120) 상에 기 정해진 위치에 복수개 설치될 수 있다.
제어부(180)는 압력센서(150)로부터 측정된 약액 이송 압력을 고려하여, 약액 이송 배관(120)으로 유입되는 컨테이너(110)에 저장된 약액의 단위 시간당 유량 또는 이송 속도를 제어할 수 있다.
본 발명의 약액 이송 배관(120)은 도2에 도시된 약액의 이송 경로와 같은 공급처(500)와 컨테이너(110)를 바로 연결하는 바이패스 라인과, 도3에 도시된 약액의 이송 경로와 같은 컨테이너(110)와 수요처(600) 사이에 위치하는 필터 여과기(140)를 연결하는 필터링 라인을 구성할 수 있다.
먼저, 도2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 탱크 로리 시스템은 약액을 공급받기 위하여, 플렉서블 호스(130)를 통해 컨테이너(110) 및 약액 이송 배관(120)과 공급처(500)가 연결된다.
공급처(500)로부터 공급되는 약액은 플렉서블 호스(130)를 지나 약액 이송 배관(120)의 바이패스 라인을 따라 컨테이너(110)의 내부로 유입된다. 즉, 도2에 도시된 바와 같이 공급처(500)로부터 공급되는 약액은 약액 이송 배관(120) 상에 설치되어 있는 필터 여과기(140)를 지나지 않고, 바로 컨테이너(110)에 저장되는 경로로 통과할 수 있다.
반면, 컨테이너(110)에 저장되어 있던 약액이 수요처(600)로 제공되는 경우에는 공급처(500)로부터 공급받을 때의 경로와 다르게 도3에 도시된 바와 같이, 약액이 필터링 라인을 따라 수요처(600)로 이송될 수 있다. 즉, 본 발명의 탱크 로리 시스템은 약액이 약액 이송 배관(120)을 통과하는 과정에서 생성될 수 있는 버블성 파티클을 제거하기 위하여, 필터링 라인으로 이송됨에 따라 필터 여과기(140)를 통해 필터링되어 버블성 파티클이 제거된 상태로 약액이 수요처(600)로 공급될 수 있다.
제어부(180)는 약액 이송 배관(120) 상에 형성되어 있는 밸브 유닛(170)을 제어함으로써, 상술한 바와 같이 경우에 따라 약액을 바이패스 라인을 지나도록 하거나 필터링 라인으로 지나도록 제어할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 밸브 유닛(170)은 도2 및 도3에 도시된 바와 같이 컨테이너(110)와 연결되는 약액 이송 배관(120)의 유입구 상에 형성되는 제1 밸브와, 우회 경로로서 컨테이너에 저장되어 있던 약액이 필터 여과기(140)를 통과하도록 경로를 제공하는 필터링 라인 상에 형성되는 제2 밸브와, 우회 경로로서 필터 여과기를 통과하여 나오는 약액이 지나는 제3 밸브와, 필터 여과기(140)와 압력센서(150) 사이에 형성되는 제4 밸브와, 상기 제2 및 제3 밸브 사이에 바이패스 라인 상에 형성되는 제5 밸브를 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 제어부(180)는 압력센서(150)로부터 측정된 약액의 이송 압력을 고려하여 제1 밸브 또는 제4 밸브의 개도량을 조절하여 수요처(600)로 이송되는 약액의 단위 시간당 유량 또는 이송 속도를 제어할 수 있다. 예컨대, 압력센서(150)로부터 측정된 이송 압력이 제1 임계 압력 이상인 경우, 제1 밸브 또는 제4 밸브의 개도범위를 줄이도록 밸브 유닛(170)을 제어하고, 상기 측정된 이송 압력이 제2 임계 압력 미만인 경우, 제1 밸브 또는 제4 밸브의 개도범위를 늘이도록 밸브 유닛(170)을 제어할 수 있다.
또한, 버블성 파티클은 이송 속도와도 연관이 있기 때문에, 본 발명의 제어부(180)는 기 정해진 기준 이송 속도로 약액이 이송되도록 복수의 밸브들을 제어하되, 상기 기준 이송 속도로 이송된 시간이 기 설정된 제1 임계 시간 이상이 되면, 상기 복수의 밸브들 중 적어도 일부의 밸브의 개도량을 조절하여 개도 범위를 줄임으로써 약액이 이송되는 속도를 줄여 버블성 파티클 생성을 억제시킬 수 있다. 그리고, 제어부(180)는 개도 범위를 줄이기 위해 개도량이 조절된 상태가 기 설정된 제2 임계 시간을 초과하였다면, 다시 상기 기준 이송 속도로 이송되도록 밸브의 개도량을 복구시키도록 제어할 수 있다.
본 실시예에 따른 탱크 로리 시스템은 필터 여과기 보관 박스와, 플렉서블 호스 보관 박스와, 밸브 유닛 박스, 그리고 발전기를 더 포함하여 구성될 수 있다.
필터 여과기 보관 박스는 필터 여과기(140)의 보관 설치를 위하여, 컨테이너의 후면에 형성될 수 있고, 본 발명의 필터 여과기(140)는 약액을 운송할 때가 아닌 때에는 컨테이너(110)의 후면에 부착 형성되는 필터 여과기 보관 박스 내부에 보관되도록 구현될 수 있다.
플렉서블 호스 보관 박스는 플렉서블 호스(130)를 보관 설치하기 위하여, 컨테이너의 측면에 형성될 수 있다. 상기와 마찬가지로, 플렉서블 호스(130) 또한 약액을 운송하는 경우 외에는 플렉서블 호스 보관 박스 내부에 보관될 수 있다.
밸브 유닛 박스는 컨테이너의 상부에 형성되어, 평소에는 밸브 유닛(170)을 보관하고 있다가, 약액 운송 시에 밸브 유닛 박스에 보관되어 있던 밸브 유닛(170)을 약액 이송 배관 상에 기 정해진 위치에 각 밸브를 설치할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 탱크 로리 시스템은 도면에는 따로 도시하지 않았으나, 열풍기 및 온도 센서를 더 포함하여 구성될 수 있다.
본 실시예에 따른 열풍기는 필터 여과기 보관 박스, 플렉서블 호스 보관 박스, 및 밸브 유닛 박스 각각 내부에 위치하여 약액 결빙 방지를 위해 열을 공급할 수 있다.
본 발명의 발전기는 열풍기를 동작시키기 위하여 전기에너지를 공급할 수 있다.
그리고, 온도 센서는 필터 여과기 보관 박스, 플렉서블 호스 보관 박스, 및 밸브 유닛 박스 각각의 내부에 형성되어, 필터 여과기 및 약액 이송 배관 주변의 온도를 측정할 수 있다.
도5는 약액이 필터 여과기를 통과할 때의 버블성 파티클 측정치와 필터 여과기를 통과하지 않았을 때의 버블성 파티클 측정치를 비교하여 보여주는 그래프이다. 그리고, 도6은 도5를 표로 정리한 것이다.
도5 및 도6과 같은 실험은 도2 내지 도4에서 설명한 실시예와는 다른 실시예에 따른 복수의 바이패스 라인과 복수의 필터 여과기를 기초로 실험한 자료이다. 이에 따르면, 약액이 바이패스 라인으로 이송될 때보다 필터 여과기를 통과하여 이송될 때 버블성 파티클 생성이 현저히 낮은 것을 확인할 수 있다.
도7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 탱크 로리 시스템의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 탱크 로리 시스템의 필터 여과기(150)는 제1 필터 여과기(151)와 제2 필터 여과기(153)를 포함하여 구성될 수 있다. 이에 따라, 컨테이너(110)에 저장되어 있던 약액은 제1 필터 여과기(151) 및 제2 필터 여과기(153)를 통과하여 필터링됨에 따라 수요처(600)로 이송될 수 있다. 이렇게 복수개의 필터 여과기가 병렬적으로 구비됨에 따라 많은 양의 약액의 필터링 작업을 보다 짧은 시간내에 수행할 수 있다.
본 실시예에서는 필터 여과기가 2개로 마련되는 것으로 예시하였으나, 이에 제한되지 않고 3개 이상으로 마련될 수도 있다.
아울러, 도2 내지 도8을 참조하여 상술한 본 발명의 탱크 로리 시스템은 컨테이너(110)에 있던 약액을 수요처로 이송할 때만 필터 여과기(150)를 통과시키는 것으로 예시하여 설명하였으나, 또 다른 실시예에 따르면 약액을 수요처로 이송할 때 외에도 공급처에 있던 약액을 컨테이너(110)로 저장하기 위해 이송할 때에도 필터 여과기(150)를 통과하는 것으로 구현될 수도 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 후술하는 청구범위에 의하여 나타내어지며, 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
110: 컨테이너
120: 약액 이송 배관
130: 플렉서블 호스
140: 필터 여과기
150: 압력센서
160: 열선
170: 밸브 유닛
180: 제어부

Claims (13)

  1. 외부의 공급처로부터 공급되는 대용량의 약액을 저장하기 위한 컨테이너와,
    상기 공급처로부터 공급되는 약액을 상기 컨테이너로 전달하기 위한 약액 이송 배관과,
    상기 약액 이송 배관과 연결되며, 상기 컨테이너에 저장된 약액을 상기 약액 이송 배관을 통해 외부의 수요처로 제공하는 과정에서 발생되는 버블성 파티클을 제거하거나 분리시키는 필터 여과기를 포함하는 버블성 파티클을 제거하기 위한 약액 운반용 탱크 로리 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 필터 여과기는,
    하우징과,
    상기 하우징의 일 측면에 형성되되, 상기 유입구는 상기 하우징의 하부에 마련된 필터부의 상단보다는 높고, 상기 하우징의 상단보다는 소정의 간격 낮은 지점에 위치하는 유입구와,
    상기 하우징의 내부 상단부터 상기 유입구가 위치한 지점 사이에 형성되는 에어 포켓 존을 포함하되,
    상기 유입구를 통해 약액과 함께 유입된 버블성 파티클 중 적어도 일부는 부력에 의해 상승하여 상기 에어 포켓 존에 포집되는 것을 특징으로 하는 버블성 파티클을 제거하기 위한 약액 운반용 탱크 로리 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 필터 여과기는,
    상기 하우징의 내부 하단에 길이 방향으로 배열된 복수개의 필터들을 포함하는 필터부를 더 포함하고,
    상기 하우징과 상기 유입구 사이 공간에 형성되는 상기 에어 포켓 존의 높이는 80 내지 100mm이고, 상기 유입구와 상기 필터부의 간격 높이는 90 내지 120mm인 것을 특징으로 하는 버블성 파티클을 제거하기 위한 약액 운반용 탱크 로리 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 약액 이송 배관은,
    상기 공급처와 상기 컨테이너를 바로 연결하는 바이패스 라인과,
    상기 수요처 및 상기 컨테이너와, 상기 수요처 및 상기 컨테이너 사이에 위치하는 상기 필터 여과기를 연결하는 필터링 라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 버블성 파티클을 제거하기 위한 약액 운반용 탱크 로리 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 공급처로부터 공급되는 약액은 상기 바이패스 라인으로 유입되어 상기 컨테이너에 저장되고,
    상기 컨테이너에 저장된 약액은 상기 필터링 라인을 통해 상기 필터 여과기를 통과하여 상기 수요처로 제공되는 것을 특징으로 하는 버블성 파티클을 제거하기 위한 약액 운반용 탱크 로리 시스템.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 약액 이송 배관을 통해 이송되는 약액의 결빙을 방지하기 위하여, 상기 바이패스 라인 및 상기 필터링 라인에 형성되는 열선을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 버블성 파티클을 제거하기 위한 약액 운반용 탱크 로리 시스템.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 약액 이송 배관을 통과하는 약액의 이송 압력을 측정하는 압력센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 버블성 파티클을 제거하기 위한 약액 운반용 탱크 로리 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 압력센서로부터 측정된 이송 압력을 고려하여, 상기 약액 이송 배관으로 유입되는 상기 컨테이너에 저장된 약액의 단위 시간당 유량 또는 이송 속도를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 버블성 파티클을 제거하기 위한 약액 운반용 탱크 로리 시스템.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 공급처로부터 약액을 공급 받거나, 상기 수요처로 약액을 이송하기 위해, 상기 약액 이송 배관과 상기 공급처 또는 상기 수요처 사이를 연결하는 플렉서블 호스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 버블성 파티클을 제거하기 위한 약액 운반용 탱크 로리 시스템.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 필터 여과기를 보관 설치하기 위하여, 상기 컨테이너의 후면에 형성되는 필터 여과기 보관 박스와,
    상기 플렉서블 호스를 보관 설치하기 위하여, 상기 컨테이너의 측면에 형성되는 플렉서블 호스 보관 박스를 더 포함하되,
    상기 필터 여과기 보관 박스 및 상기 플렉서블 호스 보관 박스에 상기 약액 이송 배관을 통해 이송되는 약액의 결빙을 방지하기 위한 열풍기가 설치되는 것을 특징으로 하는 버블성 파티클을 제거하기 위한 약액 운반용 탱크 로리 시스템.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 필터 여과기 보관 박스 및 상기 플렉서블 호스 보관 박스 내부에 형성되어, 상기 필터 여과기 및 상기 약액 이송 배관 주변의 온도를 측정하는 온도센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 버블성 파티클을 제거하기 위한 약액 운반용 탱크 로리 시스템.
  12. 제1 항에 있어서,
    상기 필터 여과기는 복수개의 필터 여과기들을 포함하고,
    상기 복수개의 필터 여과기들은 서로 병렬 연결되어 상기 약액 이송 배관을 통해 이송되는 약액을 병렬적으로 필터링 작업하는 것을 특징으로 하는 버블성 파티클을 제거하기 위한 약액 운반용 탱크 로리 시스템.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 공급처로부터 공급되는 약액은 상기 필터 여과기를 통과하여 필터링됨에 따라 버블성 파티클이 제거되거나 분리된 상태로 상기 컨테이너에 저장되는 것을 특징으로 하는 버블성 파티클을 제거하기 위한 약액 운반용 탱크 로리 시스템.

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