CN114143947A - 化学品输送系统和消除化学品输送管路静电的方法 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及一种化学品输送系统和消除化学品输送管路静电的方法，包括化学试剂输送管、储液装置和气溶胶发生装置。所述储液装置用于储存气溶胶产生溶液。所述气溶胶发生装置的输入端和输出端分别与所述储液装置和所述化学试剂输送管连通。所述储液装置中的气溶胶产生溶液进入所述气溶胶发生装置。所述气溶胶发生装置将所述气溶胶产生溶液由液态转换为气溶胶的状态。所述气溶胶进入所述化学试剂输送管内扩散，并吸附消除所述化学试剂输送管中的带电荷的离子，从而可以避免静电离子遇到易燃易爆的化学试剂发生火灾或者爆炸。
Description
技术领域
本申请涉及半导体设备技术领域，特别是涉及化学品输送系统和消除化学品输送管路静电的方法。
背景技术
在半导体器件的制造过程中，晶圆是必不可少的基础元件。为了提高生产效率，在晶圆清洗后通常需要对晶圆进行快速烘干。高浓度异丙醇因其高挥发性，能够在晶圆清洗后提高晶圆的烘干效率。
但是，高浓度异丙醇具有较强的腐蚀性，用不锈钢管传输高浓度异丙醇容易对不锈钢管造成腐蚀，增加管路泄漏风险。因此大部分厂家会选择有超强抗拉、抗温度的聚偏氟乙烯(PVDF)材质的化学试剂输送管路输送高浓度异丙醇溶液。但聚偏氟乙烯材质属高阻介质，因此致使化学试剂输送管路内积聚的静电无法及时消散，而高浓度异丙醇挥发会在化学试剂输送管内形成可燃性气体，其浓度高达5000ppm。在化学试剂输送管路内，静电遇到高浓度异丙醇可能会造成火灾或者爆炸等危险。
发明内容
基于此，有必要针对在化学试剂输送管路内，静电遇到高浓度异丙醇可能会造成火灾或者爆炸等危险的问题，提供一种化学品输送系统和消除化学品输送管路静电的方法。
一种化学品输送系统，包括：
化学试剂输送管；
储液装置，用于储存气溶胶产生溶液；以及
气溶胶发生装置，分别与所述储液装置和所述化学试剂输送管管壁连通，用于将所述气溶胶产生溶液由液态转换为气溶胶的状态，并将所述气溶胶输送至所述化学试剂输送管内，以消除所述化学试剂输送管中的静电。
在一个实施例中，所述气溶胶发生装置包括：
文丘里管，所述文丘里管具有第一端口和第二端口、位于所述第一端口和所述第二端口之间的变径部以及与所述变径部连接的进液口，所述第一端口设置有气体接口，所述第二端口与所述化学试剂输送管连通，所述进液口与所述储液装置连通，所述气溶胶产生溶液经由所述进液口进入所述变径部，其中，从所述第一端口和所述第二端口到所述变径部，所述文丘里管的直径逐级减小。
在一个实施例中，还包括压力控制装置，所述压力控制装置与所述文丘里管的所述气体接口连接，用于控制进入所述气体接口的气体的压力。
在一个实施例中，所述气溶胶发生装置包括溶液运输管，所述储液装置包括液体处理装置，所述液体处理装置设置于所述溶液运输管，并位于所述储液装置和所述文丘里管之间。
在一个实施例中，还包括气溶胶输送装置，所述气溶胶输送装置用于连接所述文丘里管的所述第二端口219与所述化学试剂输送管管壁，所述气溶胶输送装置与所述化学试剂输送管管壁垂直连接。
在一个实施例中，所述气溶胶输送装置还包括多个第一连通口，所述多个第一连通口沿着所述化学试剂输送管的延伸方向在所述化学试剂输送管间隔设置，所述气溶胶发生装置的输出端与所述多个第一连通口连通。
在一个实施例中，还包括控制装置，与所述气溶胶发生装置电连接，用于在所述化学试剂输送管中流动所述化学试剂时控制所述气溶胶发生装置将所述气溶胶产生溶液由液态转换为气溶胶的状态。
本申请实施例还提供一种消除化学品输送管路静电的方法，包括：
提供气溶胶发生装置；
控制所述气溶胶发生装置向化学试剂输送管输送气溶胶，以消除所述化学试剂输送管中的静电。
在一个实施例中，所述控制所述气溶胶发生装置向化学试剂输送管输送气溶胶，以消除所述化学试剂输送管中的静电包括：
控制所述气溶胶发生装置周期性产生所述气溶胶；
将所述气溶胶输送至所述化学试剂输送管，以消除所述化学试剂输送管中的静电。
在一个实施例中，根据所述化学试剂输送管中化学试剂的流速控制所述气溶胶发生装置喷射所述气溶胶的压强。
本申请实施例提供的化学品输送系统和消除化学品输送管路静电的方法，包括化学试剂输送管、储液装置和气溶胶发生装置。所述储液装置用于储存气溶胶产生溶液。所述气溶胶发生装置的输入端和输出端分别与所述储液装置和所述化学试剂输送管连通。所述储液装置中的气溶胶产生溶液进入所述气溶胶发生装置。所述气溶胶发生装置将所述气溶胶产生溶液由液态转换为气溶胶的状态。所述气溶胶进入所述化学试剂输送管内扩散，并吸附消除所述化学试剂输送管中的带电荷的离子，从而可以避免静电离子遇到易燃易爆的化学试剂发生火灾或者爆炸。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请一个实施例提供的化学品输送系统结构示意图；
图2为本申请一个实施例提供的静电消除管路系统结构示意图；
图3为本申请另一个实施例提供的静电消除管路系统结构示意图。
附图标记说明：
化学品输送系统10、储液装置100、气溶胶发生装置200、文丘里管210、气体接口211、变径部212、喷头217、溶液运输管220、开关阀213、压力控制装置214、压力表215、气体流量计216、第一端口218、第二端口219、进液口223，过滤器221、液体流量计222、静电消除管路系统20、化学试剂输送管300、第一连通口310、分散管400、转接口410、第二连通口420、分散支管430、真空泵500。液体处理装置600、气溶胶输送装置700、控制装置800。
具体实施方式
为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
参阅图1，本申请实施例提供一种化学品输送系统10。所述化学品输送系统10包括化学试剂输送管300、储液装置100和气溶胶发生装置200。所述气溶胶发生装置200分别与所述储液装置100和所述化学试剂输送管300连通。所述储液装置100用于储存气溶胶产生溶液。所述气溶胶发生装置200用于将所述气溶胶产生溶液由液态转换为气溶胶的状态，并将所述气溶胶输送至所述化学试剂输送管300内，以消除所述化学试剂输送管300中的静电。
所述储液装置100可以为压力容器。所述储液装置100可以采用聚酯材料或者金属材料，只要所述储液装置100不易被所述气溶胶产生溶液腐蚀即可。气溶胶发生装置200可以将所述气溶胶产生溶液雾化生成所述气溶胶。所述储液装置100可以通过动力装置将所述气溶胶输送到所述气溶胶发生装置200。所述气溶胶装置也可以产生负压将所述气溶胶产生溶液吸收到所述气溶胶发生装置200。所述气溶胶发生装置200可以利用流体力学原理，通过所述气溶胶产生溶液的流速和压力变化将液态的所述气溶胶产生溶液气化为气溶胶的状态。所述气溶胶可以从所述气溶胶发生装置200的输出端喷射进入到所述化学试剂输送管300内。由于所述气溶胶在所述化学试剂输送管300内可以不断扩散，因此可以与所述化学试剂输送管300内的带电荷的离子结合，并可以随着所述化学试剂溶液流出所述化学试剂输送管300。可以理解，当所述化学品输送系统10应用于半导体生产线时，所述化学试剂可以为异丙醇溶液。
本申请实施例提供的所述化学品输送系统10包括化学试剂输送管300、储液装置100和气溶胶发生装置200。所述储液装置100用于储存气溶胶产生溶液。所述气溶胶发生装置200的输入端和输出端分别与所述储液装置100和所述化学试剂输送管300连通。所述储液装置100中的气溶胶产生溶液进入所述气溶胶发生装置200。所述气溶胶发生装置200将所述气溶胶产生溶液由液态转换为气溶胶的状态。所述气溶胶进入所述化学试剂输送管300内扩散，并吸附消除所述化学试剂输送管300中的带电荷的离子，从而可以避免静电离子遇到易燃易爆的异丙醇气体发生火灾或者爆炸。
在一个实施例中，所述气溶胶发生装置包括文丘里管210。所述文丘里管210具有第一端口218和第二端口219、位于所述第一端口218和所述第二端口219之间的变径部212以及与所述变径部212连接的进液口223。所述第一端口218设置有气体接口211。所述第二端口219与所述化学试剂输送管300连通。所述进液口223与所述储液装置100连通。所述气溶胶产生溶液经由所述进液口223进入所述变径部212。其中，从所述第一端口218和所述第二端口219到所述变径部212，所述文丘里管210的直径逐级减小。
所述文丘里管210可以为陶瓷、玻璃或者聚酯材料。所述气体接口211可以安装VCR接头。通过所述气体接口211可以通过所述第一端口218和所述第二端口219向所述文丘里管210通入惰性气体。在一个实施例中，可以通过所述气体接口211向所述述文丘里管210通入氮气。所述变径部212可以位于所述文丘里管210的中部，即位于所述第一端口218和所述第二端口219之间。可以理解，在所述变径部212的两端，所述文丘里管210的直径可以相同。即所述第一端口218和所述第二端口219的直径可以相同。从所述文丘里管210的所述第一端口218到所述第二端口219，所述文丘里管210的直径可以逐渐变小，然后再逐渐变大。即在所述变径部212，所述文丘里管210的直径最小。可以理解，从所述变径部212的两端到所述变径部212的中部，所述文丘里管210的直径也逐渐减小。所述文丘里管210的直径逐级减小，可以是所述文丘里管210的横截面积以相同的变化率减小，也可以是按照不同的变化率阶梯变小。
所述储液装置100中可以所述容纳气溶胶产生溶液。在一个实施例中，所述气溶胶产生溶液可以为无机盐溶液。在一个实施例中，所述气溶胶产生溶液可以为氯化钠溶液。所述氯化钠溶液的溶度范围可以为5％到10％。通过调控所述氯化钠溶液的溶度可以调控气溶胶粒径的大小。所述进液口223可以设置在所述变径部212直径最小部分的侧壁。所述变径部212通过所述进液口与223所述储液装置100连通。
在一个实施例中，所述化学品输送系统还包括溶液运输管220。所述溶液运输管220的两端分别与所述溶液运输管220和所述文丘里管210连通。所述溶液运输管220的一端可以通过所述进液口233与所述文丘里管210连通。所述溶液运输管220与所述文丘里管210的连接处可以为所述文丘里管210的直径最小的位置，即所述溶液运输管220可以在所述变径部212与所述文丘里管210连通。
可以理解，当通过所述气体接口211可以向所述文丘里管210中通入气体。所述气体在经过所述变径部212时，由于所述文丘里管210的直径变小，所述气体的流速变大，在所述变径部212的压强随之减小。因此，所述溶液运输管220中的压强大于所述变径部212处的压强。即相比于所述溶液运输管220，所述变径部212处形成负压。在负压作用下，所述储液装置100中的所述气溶胶产生溶液被吸入到所述文丘里管210。当所述变径部212的压力达到一定值后，所述气溶胶产生溶液可以以气溶胶的状态从所述文丘里管210的所述第二端口219喷出。所述气溶胶可以通过所述第二端口219喷入到所述化学试剂输送管300中，并吸附消除所述化学试剂输送管300中的带电荷的离子，从而可以避免静电离子遇到浓度较高的异丙醇溶液气体发生火灾或者爆炸。
在一个实施例中，所述化学品输送系统10还包括压力控制装置214。所述压力控制装置214与所述文丘里管210的所述气体接口211连接。用于控制进入所述气体接口211的气体的压力。在一个实施例中，所述压力控制装置214可以为调压阀214。
在一个实施例中，所述化学品输送系统10还包括开关阀213、压力表215和气体流量计216。所述开关阀213、压力控制装置214、所述压力表215和所述气体流量计216设置于所述文丘里管210。所述开关阀213、调压阀214、压力表215和气体流量计216依次位于所述气体接口211和所述变径部212之间。即在朝向所述变径部212的方向，所述开关阀213、所述压力控制装置214、所述压力表215和所述气体流量计216依次排布于所述气体接口211和所述变径部212之间。
通过所述开关阀213可以控制气体进入所述文丘里管210。所述压力控制装置214可以调节所述气体射入所述文丘里管210的压力。可以适时调整所述压力控制装置214，使得所述文丘里管210远离所述气体接口211的一端喷出所述气溶胶。所述压力表215可以显示所述文丘里管210中的压力数值。所述气体流量计216可以反应所述文丘里管210中所述气体的流量。
在一个实施例中，所述储液装置100包括液体处理装置600。所述液体处理装置600设置于所述溶液运输管220，并位于所述储液装置100和所述文丘里管210之间。所述液体处理装置600可以起到对所述储液装置100中输出的所述气溶胶产生溶液流速、流量、温度、压力等参数的监测和控制。所述液体处理装置600还可以控制所述储液装置100中是否输出所述气溶胶产生溶液。在一个实施例中，所述液体处理装置600还可以对所述储液装置100中的所述气溶胶产生溶液起到过滤的作用。
在一个实施例中，所述液体处理装置600包括过滤器221和液体流量计222。所述过滤器221和所述液体流量计222设置于所述溶液运输管220，并依次位于所述储液装置100和所述文丘里管210之间。即所述过滤器221更靠近所述储液装置100设置。所述过滤器221可以将所述储液装置100输出的所述气溶胶产生溶液中的杂质过滤，避免所述杂质进入所述文丘里管210造成阻塞。所述液体流量计222可以监测所述溶液运输管220中所述气溶胶产生溶液的流量。
在一个实施例中，所述化学品供应系统10还包括气溶胶输送装置700。所述气溶胶输送装置700用于连接所述文丘里管210的所述第二端口219与所述化学试剂输送管300管壁，所述气溶胶输送装置700与所述化学试剂输送管300管壁垂直连接。所述气溶胶输送装置700可以使所述气溶胶尽可能均匀进入所述化学试剂输送管300内。
在一个实施例中，所述气溶胶输送装置700还可以包括喷头217。所述喷头217设置于所述文丘里管210的所述第二端口219。所述喷头217远离所述第二端口219的直径最小，因此可以提高所述气溶胶喷射的速率。在一个实施例中，由所述喷头217靠近所述文丘里管210的一端到所述喷头217远离所述文丘里管210的一端，所述喷头217的横截面积可以由小到大在到小，因此，当所述气溶胶进入到横截面积较大的所述喷头217的部分时，流速减小压力增大，可以引起所述气溶胶扰动，进而避免所述气溶胶颗粒聚集。
请参见图2，在一个实施例中，所述气溶胶输送装置700还包括多个第一连通口310。所述多个第一连通口310沿着所述化学试剂输送管300的延伸方向在所述化学试剂输送管300间隔设置。所述气溶胶发生装置200的输出端与所述多个第一连通口310连通。即沿着所述化学试剂输送管300的延伸方向，所述化学试剂输送管300间隔设置有多个第一连通口310。所述气溶胶发生装置200的输出端与所述多个第一连通口310连通。所述多个第一连通口310可以沿着所述化学试剂输送管300的轴线均匀分布。可以理解，从所述气溶胶发生装置200的输出端输出的所述气溶胶可以分别从不同的所述第一连通口310进入到所述化学试剂输送管300中。所述气溶胶可以在所述化学试剂输送管300中均匀扩散到更大的空间。因此，在所述化学试剂输送管300中不同的位置的静电，均可以被所述气溶胶吸附和消除，从而进一步减少所述化学试剂输送管300中的带电荷离子。
在一个实施例中，所述气溶胶输送装置700还包括分散管400。所述分散管400设置有转接口410。所述转接口410与所述气溶胶发生装置200的输出端连通。沿着所述分散管400的延伸方向，所述分散管400间隔设置有多个第二连通口420。所述多个第一连通口310和所述第二连通口420一一对应连通。所述转接口410设置于任意相邻的两个所述第二连通口420之间。可以理解，与所述第一连通口310的设置方式类似，所述第二连通口420也可以在所述分散管400的轴线方向均匀设置。即所述第二连通口420可以在所述分散管400的轴线方向等间隔设置。所述第一连接口和所述第二连接口之间可以通过软接管或者硬接管连通。所述气溶胶发生装置200的输出端输出的气溶胶可以将所述分散管400充满，然后再分别通过所述多个第二连通口420进入所述多个第一连通口310。
在一个实施例中，所述分散管400的直径可以大于所述化学试剂输送管300的直径，因此可以便于所述气溶胶在所述分散管400中充分扩散，使得由所述第二连通口420进入所述第一连通口310的所述气溶胶量尽量均匀。所述气溶胶在所述化学试剂输送管300中的分配也更为均匀。
在一个实施例中，在所述化学试剂输送管300的延伸方向，所述转接口410两侧的所述第二连通口420的个数相同。即所述转接口410设置在所述多个第二连通口420的中间。在一个实施例中，所述转接口410还设置在所述化学试剂输送管300的中间。因此，从所述转接口410输出的所述气溶胶向所述分散管400两端扩散的速率较为均匀。所述气溶胶进入所述多个第二连通口420的量也趋于相同。
在一个实施例中，所述分散管400设置于所述气溶胶发生装置200的输出端和所述化学试剂输送管300之间。所述分散管400相对于所述化学试剂输送管300平行设置。所述多个第一连通口310和所述多个第二连通口420一一正对连通。所述分散管400与所述化学试剂输送管300设置于同一个平面。从所述转接口410输出的所述气溶胶可以通过所述分散管400进入所述化学试剂输送管300。所述分散管400和所述化学试剂输送管300平行设置，可以使得所述第一连通口310和所述第二连通口420正对，减少所述第一连通口310和所述第二连通口420之间的管道长度。所述多个第一连通口310和所述多个第二连通口420之间的管路距离长度相同。所述气溶胶进入所述多个第二连通口420的速率更为均匀。
在一个实施例中，由所述转接口410到所述分散管400的两侧，所述分散管400的直径逐级变大。可以理解，所述气溶胶的流速与所述分散管400的直径有关。当所述气溶胶流到所述转接口410时，所述转接口410对应的所述分散管400的直径最小，所述气溶胶在该位置的流速变大，压强变小。所述分散管400由所述转接口410向两端的直径逐级变大，因此所述气溶胶向所述分散管400两端的流速会逐渐变慢，但是所述气溶胶的压强会逐渐增大。
可以理解，在所述第二连通口420，所述气溶胶的压强越大，向所述第一连通口310喷射的速率也就越大。由于所述气溶胶进入所述化学试剂输送管300后，靠近所述转接口410的所述第二连通口420向所述第一连通口310喷射所述气溶胶时会对所述气溶胶产生较大的分流。当所述气溶胶在所述分散管400内流动到远离所述转接口410的位置时，所述气溶胶的浓度已经变小。但是由于所述分散管400的直径变大，所述气溶胶的流速变小，压强变大，因此从所述第二连通口420喷出的所述气溶胶流速相对增大，在相同时间内从远离所述转接口410的所述第二连通口420喷出的所述气溶胶的量相对于靠近所述转接口410的所述第二连通口420喷出的所述气溶胶的量趋于一致，因此可以尽量使得所述化学试剂输送管300中的气溶胶分布均匀。
在一个实施例中，由所述转接口410到所述分散管400的两侧，所述第二连通口420之前的间距逐渐变大。即靠近所述转接口410的所述第二连通口420密度较大，而远离所述转接口410的所述第二连通口420的密度较小。可以理解，靠近所述转接口410的所述气溶胶密度较大，流速也较快。因此，所述气溶胶并不容易从靠近所述分散管400的所述第二连接口喷出。因此通过提高所述第二连接口设置的密度可以提高所述气溶胶喷出的量。在远离所述转接口410的位置，所述分散管400中的所述气溶胶流速降低，每个所述第二连通口420输出的所述气溶胶的量会较大。将靠近所述转接口410的所述第二连通口420的分布密度设置的较大，而将远离所述转接口410的所述第二连通口420的分布密度设置的较小，可以使得喷入所述化学试剂输送管300中不同位置的所述气溶胶更为均匀。
在一个实施例中，所述气溶胶输送装置700还包括多个分散支管430。所述多个分散支管430分别连接于一一对应的所述第一连通口310和所述第二连通口420之间。即对应设置的所述第一连通口310和所述第二连通口420之间可以连接一个所述分散支管430。所述分散支管430可以相对于所述分散管400和所述化学试剂输送管300垂直设置。所述分散支管430可以为聚酯等防腐蚀材料制成。所述多个分散支管430之间的长度可以相同。通过所述分散支管430可以将所述气溶胶输送到不同的所述第一连通口310中。
请参见图3，在一个实施例中，至少一个所述分散支管430通过所述第一连通口310伸入到所述化学试剂输送管300内，并与所述化学试剂输送管300的内壁间隔设置。可以理解，所述化学试剂输送管300的内壁容易附着带电荷离子。所述气溶胶由于密度较小，容易在所述化学试剂输送管300中上浮。因此所述气溶胶容易将所述化学试剂输送管300内壁顶部的所述带电荷离子吸附。但是所述异丙醇溶液会在所述化学试剂输送管300的底部流动。因此，所述气溶胶较难在所述化学试剂输送管300的底部与所述带电荷离子接触。至少一个所述分散支管430通入深入到所述化学试剂输送管300内，即所述分散支管430的出口可以伸到所述化学试剂输送管300的底部。从所述分散支管430输出的所述气溶胶可以直接喷射到所述化学试剂输送管300的底部，从而可以对所述化学试剂输送管300的底部的所述带电荷离子进行吸附。所述分散支管430的出口与所述化学试剂输送管300的内壁间隔设置，可以给所述气溶胶输出留有空间，避免影响所述气溶胶从所述分散支管430的出口射出。在一个实施例中，多个所述分散支管430沿着所述化学试剂输送管430的延伸方向交替伸入到所述化学试剂输送管300中。
在一个实施例中，沿着所述异丙醇溶液流动方向，所述化学试剂输送管300远离所述气溶胶发生装置200的输出端的一侧设置有真空泵500。可以理解，当所述气溶胶吸附所述带电荷离子后，相互之间会相互碰撞逐渐融合的气溶胶大颗粒。在重力作用下，所述大颗粒气溶胶会落到所述异丙醇溶液中并随着所述异丙醇溶液流出。当所述异丙醇溶液为使用过的废弃溶液时，所述颗粒气溶胶会随着所述异丙醇溶液一起排出到废液池中。而有些没有融合的所述气溶胶，会仍然漂浮在所述化学试剂输送管300中。如果所述化学试剂输送管300输送的是未使用的所述异丙醇溶液，可以通过所述真空泵500将所述气溶胶吸收，因此可以尽量减少所述气溶胶对所述异丙醇溶液的影响，提高所述异丙醇溶液的纯度。
在一个实施例中，所述静电消除管路系统10还包括控制装置800。所述控制装置800与所述气溶胶发生装置200电连接。所述控制装置800用于在所述化学试剂输送管300内流动所述化学溶液时控制所述气溶胶发生装置200将所述气溶胶产生溶液由液态转换为气溶胶的状态。即所述气溶胶发生装置200可以在可以具有暂停和开启两种状态。可以理解，生产过程中异丙醇废液并非一直产生。即所述化学试剂输送管300的异丙醇废液可以周期性产生。因此当所述化学试剂输送管300中流动有异丙醇废液时，可以开启所述气溶胶发生装置200，为所述化学试剂输送管300充入所述气溶胶。可以理解，所述气溶胶发生装置200开启的时间可以预先设置，只要与向所述化学试剂输送管300中排放所述异丙醇废液的时间同步即可。在一个实施例中，可以通过感应装置感应所述化学试剂输送管300中是否有所述异丙醇废液。当感应到有所述异丙醇废液时，所述控制装置800控制所述气溶胶发生装置200开启。所述控制装置800控制所述气溶胶发生装置200周期性工作。可以理解，当所述气溶胶发生装置200每工作一次，即可向所述化学试剂输送管300中喷射一次气溶胶，在满足去除静电的要求下，可以节省气溶胶用量，同时可以节省用电。
本申请实施例还提供一种消除化学品输送管路静电的方法。所述方法包括：
S10,提供气溶胶发生装置200；
S20,控制所述气溶胶发生装置200向化学试剂输送管300输送气溶胶，以消除所述化学试剂输送管300中的静电。
所述气溶胶进入所述化学试剂输送管300内扩散，并吸附消除所述化学试剂输送管300中的带电荷的离子，从而可以避免静电离子遇到易燃易爆的异丙醇气体发生火灾或者爆炸。
在一个实施例中，所述S20包括：
S21，控制所述气溶胶发生装置200周期性产生所述气溶胶；
S22，将所述气溶胶输送至所述化学试剂输送管300，以消除所述化学试剂输送管300中的静电。
所述气溶胶发生装置200周期性产生所述气溶胶，即所述气溶胶发生装置200可以周期性暂停和工作，每间隔一定时间向所述化学试剂输送管300喷射一次所述气溶胶，在在满足去除静电的要求下，可以节省气溶胶用量，降低生产成本。可以理解，所述气溶胶发生装置200工作的周期可以与向所述化学试剂输送管300中排放所述异丙醇废液的周期同步。
在一个实施例中，根据所述化学试剂输送管300中化学试剂的流速控制所述气溶胶发生装置200喷射所述气溶胶的压强。
可以理解，所述化学试剂输送管300中化学试剂流动通常会带着所述气溶胶流动。当所述化学试剂的流速过快时，所述气溶胶可能还没起到消除静电的作用就随着所述化学试剂被排出所述化学试剂输送管300。如果产生所述气溶胶的压强不够高，还没接触到所述化学试剂输送管300的底部就会被排出。此时需要提高所述气溶胶发生装置200的喷射强度使所述气溶胶尽快接触所述化学试剂输送管300的底部。反之，当所述化学试剂的流速较慢时，可以降低所述气溶胶发生装置200产生所述气溶胶的压强。
实验数据证明，当未向所述化学试剂输送管300中通入所述气溶胶时，所述化学试剂输送管300内的静电电压值为1.3KV到4.7KV。向所述化学试剂输送管300中注入所述气溶胶后，所述化学试剂输送管300中的静电电压值降至-1.0KV以下，可有效将静电电压至控制在安全范围值以内。另外当所述异丙醇废液浓度超过20％时，管路材质必须为导静电材质或采取静电防护措施。而所述导静电材质或采取其它静电防护措施成本较高。使用所述静电消除管路系统20可以有效降低成本，提高安全性能。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种化学品输送系统，其特征在于，包括：
化学试剂输送管；
储液装置，用于储存气溶胶产生溶液；以及
气溶胶发生装置，分别与所述储液装置和所述化学试剂输送管管壁连通，用于将所述气溶胶产生溶液由液态转换为气溶胶的状态，并将所述气溶胶输送至所述化学试剂输送管内，以消除所述化学试剂输送管中的静电。
2.如权利要求1所述的化学品输送系统，其特征在于，所述气溶胶发生装置包括：
文丘里管，所述文丘里管具有第一端口和第二端口、位于所述第一端口和所述第二端口之间的变径部以及与所述变径部连接的进液口，所述第一端口设置有气体接口，所述第二端口与所述化学试剂输送管连通，所述进液口与所述储液装置连通，所述气溶胶产生溶液经由所述进液口进入所述变径部，其中，从所述第一端口和所述第二端口到所述变径部，所述文丘里管的直径逐级减小。
3.如权利要求2所述的化学品输送系统，其特征在于，还包括压力控制装置，所述压力控制装置与所述文丘里管的所述气体接口连接，用于控制进入所述气体接口的气体的压力。
4.如权利要求2所述的化学品供应系统，其特征在于，所述气溶胶发生装置包括溶液运输管，所述储液装置包括液体处理装置，所述液体处理装置设置于所述溶液运输管，并位于所述储液装置和所述文丘里管之间。
5.如权利要求2所述的化学品供应系统，其特征在于，还包括气溶胶输送装置，所述气溶胶输送装置用于连接所述文丘里管的所述第二端口与所述化学试剂输送管管壁，所述气溶胶输送装置与所述化学试剂输送管管壁垂直连接。
6.如权利要求5所述的静电消除管路系统，其特征在于，所述气溶胶输送装置还包括多个第一连通口，所述多个第一连通口沿着所述化学试剂输送管的延伸方向在所述化学试剂输送管间隔设置，所述气溶胶发生装置的输出端与所述多个第一连通口连通。
7.如权利要求1所述的静电消除管路系统，其特征在于，还包括控制装置，与所述气溶胶发生装置电连接，用于在所述化学试剂输送管中流动所述化学试剂时控制所述气溶胶发生装置将所述气溶胶产生溶液由液态转换为气溶胶的状态。
8.一种消除化学品输送管路静电的方法，其特征在于，包括：
提供气溶胶发生装置；
控制所述气溶胶发生装置向化学试剂输送管输送气溶胶，以消除所述化学试剂输送管中的静电。
9.如权利要求8所述的消除化学品输送管路静电的方法，其特征在于，所述控制所述气溶胶发生装置向化学试剂输送管输送气溶胶，以消除所述化学试剂输送管中的静电包括：
控制所述气溶胶发生装置周期性产生所述气溶胶；
将所述气溶胶输送至所述化学试剂输送管，以消除所述化学试剂输送管中的静电。
10.如权利要求9所述的消除化学品输送管路静电的方法，其特征在于，还包括：
根据所述化学试剂输送管中化学试剂的流速控制所述气溶胶发生装置喷射所述气溶胶的压强。
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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