KR20230106460A - 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템 - Google Patents

무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템 Download PDF

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KR20230106460A
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Abstract

본 발명에 의한 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템은, 반도체 웨이퍼 또는 기판이 안착 수용되어 이송되는 캐리어; 상기 캐리어 하부의 영구자석 플레이트에 수용되게 마련되며, 상기 캐리어의 길이방향을 따라 배치되는 복수의 영구자석을 포함하는 자석가동자(armature); 상기 자석가동자에 이격 배치되되 가이드레일 상에 고정 설치되며, 상기 영구자석에 의해 생성된 자기장에 상호 작용되는 복수의 모터코일을 포함하는 고정자(stator); 각각의 모터코일의 양단에 설치되며, 자석가동자의 접근 여부를 검출하고 자기장 변화량을 센싱하여 가동자의 속도 정보로부터 자석가동자의 위치를 측정하는 센서부; 및 상기 캐리어에 마련되며, 캐리어의 마모 정도나 파손 상태 또는 얼라인먼트 여부 등이 실시간으로 파악되도록, 상기 캐리어을 모니터링하는 캐리어 모니터링부를 포함할 수 있다.
본 발명에 의한 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템은, 무빙마그넷의 자석가동자와 모터코일의 고정자를 구성하여 캐리어의 부하 감소 및 이로 인한 고정밀 및 고속 이송이 가능하고 기존 엔코더와 레졸버가 삭제되어 가격 절감 및 취부상 어려움이 개선되며 캐리어의 진동 정도 및 정밀한 이송 위치정보 등이 실시간 파악이 가능하여 예측진단이 용이할 수 있어 검사수율의 상승 및 제품단가가 감소될 수 있다.

Description

무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템{TRANSFER CONVEYOR SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR INSPECTING APPARATUS USING MOVING-MAGNETS}
본 발명은 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 캐리어의 마모 정도나 파손 상태 또는 얼라인먼트 여부 등이 신속하고 용이하게 파악할 수 있어 교체 시기나 리밸랜싱 등의 예측진단이 가능할 수 있는 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템에 관한 것이다.
현재 산업현장 및 공장시스템에 사용하고 있는 LDM, LSM 리니어모터 구동 방식이 채택되고 있다. 이들 방식은 영구자석을 고정자로 하고 코일을 가동자(및 이를 포함하는 캐리어)로 하는 이송 시스템이 구축된 바 있으며 고정밀 및 고속의 특성이 활용될 수 있는 반송 및 물류 분야 특히, 반도체 검사장비용 이송/반송 시스템에 적용될 수 있다.
이러한 리니어 모터 제어를 구현하기 위해서 전기자 가동자에, Commutation 홀센서와 광학식, 자기식 리니어스케일을 탑재하고 가동자의 속도와 위치 정보를 획득하거나 또는, 가동자에 엔코더 또는 레졸버와 같은 위치 센서를 사용하고, M방식, T방식 또는 M/T방식을 사용하여 속도를 추정하는 실정이다.
그러나, 가동자에 모터 및 드라이브, 위치센서, Communication 홀센서 등을 탑재하여 운전하므로 오히려 모터 부하증가로 인해 고정밀 및 고속으로 이송될 수 없으며, 엔코더와 레졸버는 고가여서, 이송설비의 가격 상승의 원인이 되며 광학식 위치센서는 그 크기가 크고 내구성이 떨어져 이송설비에 취부하기가 난해한 문제점이 있다.
또한, 검사 대상물의 특성 상 진동에 취약하고 위치 분해능이 상대적으로 높은바 기존 이송 시스템에서는 캐리어의 진동 정도 및 정밀한 이송 위치정보 등이 실시간 파악이 불가능하여 예측진단이 난해하며 이로 인해 검사수율의 저하 및 제품단가 상승의 원인이 되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 무빙마그넷의 자석가동자와 모터코일의 고정자를 구성하여 캐리어의 부하 감소 및 이로 인한 고정밀 및 고속 이송이 가능하고 기존 엔코더와 레졸버가 삭제되어 가격 절감 및 취부상 어려움이 개선되며 캐리어의 진동 정도 및 정밀한 이송 위치정보 등이 실시간 파악이 가능하여 예측진단이 용이할 수 있어 검사수율의 상승 및 제품단가가 감소될 수 있는 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템을 제공한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템은, 반도체 웨이퍼 또는 기판이 안착 수용되어 이송되는 캐리어; 상기 캐리어 하부의 영구자석 플레이트에 수용되게 마련되며, 상기 캐리어의 길이방향을 따라 배치되는 복수의 영구자석을 포함하는 자석가동자(armature); 상기 자석가동자에 이격 배치되되 가이드레일 상에 고정 설치되며, 상기 영구자석에 의해 생성된 자기장에 상호 작용되는 복수의 모터코일을 포함하는 고정자(stator); 각각의 모터코일의 양단에 설치되며, 자석가동자의 접근 여부를 검출하고 자기장 변화량을 센싱하여 가동자의 속도 정보로부터 자석가동자의 위치를 측정하는 센서부; 및 상기 캐리어에 마련되며, 캐리어의 마모 정도나 파손 상태 또는 얼라인먼트 여부 등이 실시간으로 파악되도록, 상기 캐리어을 모니터링하는 캐리어 모니터링부를 포함할 수 있다.
상기 센서부는, 2개의 홀센서가 다층 적층 구조로 배치될 수 있다.
상기 홀센서를 90°간격으로 배치하여 정현파를 발생시키도록 하고, 상기 홀 센서의 신호의 상승 및 하강 신호를 속도 측정의 주기로 설정하여 모터의 회전 속도를 산출하고, 상기 산출된 회전 속도를 적분하여 자석가동자의 위치를 측정할 수 있다.
상기 캐리어 모니터링부는, 속도 및 가속도를 측정하는 속도센서; 압력을 측정하는 압력센서; 외면의 온/습도, 상기 워크베드부의 온/습도를 감지하는 온/습도센서; 기울어짐을 측정하는 경사각센서; 및 상기 캐리어에 측정된 측정 주파수로부터 상기 캐리어의 회전수 및 진동 정도를 감지하는 주파수감지센서를 포함할 수 있다.
상기 캐리어 모니터링부는 단일몸체에 패키징되며, 상기 단일몸체에는 양단에 결합장공이 마련될 수 있다.
상기 캐리어 모니터링부는, 상기 캐리어로 전달되는 충격을 감지하는 충격센서; 및 고유 주파수로부터 소음을 감지하는 소음센서를 더 포함할 수 있다.
상기 측정 주파수의 파라미터값은 rms값, peak값, FFT변환값 중 어느 하나일 수 있다.
상기 주파수감지센서는 센싱된 측정 주파수의 파라미터값이 미리 설정된 제1 임계치를 초과하면 경고 알림을 출력할 수 있다.
상기 주파수감지센서는 센싱된 측정 주파수의 파라미터값이 미리 설정된 제2 임계치를 초과하면 상기 캐리어를 운전 정지할 수 있다.
본 발명에 의한 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템은, 무빙마그넷의 자석가동자와 모터코일의 고정자를 구성하여 캐리어의 부하 감소 및 이로 인한 고정밀 및 고속 이송이 가능하고 기존 엔코더와 레졸버가 삭제되어 가격 절감 및 취부상 어려움이 개선되며 캐리어의 진동 정도 및 정밀한 이송 위치정보 등이 실시간 파악이 가능하여 예측진단이 용이할 수 있어 검사수율의 상승 및 제품단가가 감소될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템의 사진이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템에서 홀센서를 통한 자석가동자의 자속밀도를 센싱하는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템에서 자석가동자와 센서 시그널의 작동 방식의 일례를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템에서 캐리어 모니터링부의 정면도이다.
도 6는 본 발명의 일실시예에 따른 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템의 캐리어 모니터링부를 통한 위치 정보를 모니터링하는 구성 일례를 도시한 도면이다.
도 7는 본 발명의 일실시예에 따른 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템의 캐리어 모니터링부를 통한 측정 주파수를 감지하는 구성 일례를 도시한 도면이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템의 일 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템의 구성도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템의 사진이고, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템에서 홀센서를 통한 자석가동자의 자속밀도를 센싱하는 도면이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템에서 자석가동자와 센서 시그널의 작동 방식의 일례를 도시한 도면이며, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템에서 캐리어 모니터링부의 정면도이다.
본 발명에 의한 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템은 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 반도체 웨이퍼 또는 기판이 안착 수용되어 이송되는 캐리어(15); 상기 캐리어(15) 하부의 영구자석 플레이트(11)에 수용되게 마련되며, 상기 캐리어(15)의 길이방향을 따라 배치되는 복수의 영구자석을 포함하는 자석가동자(10)(armature); 상기 자석가동자(10)에 이격 배치되되 가이드레일(40) 상에 고정 설치되며, 상기 영구자석에 의해 생성된 자기장에 상호 작용되는 복수의 모터코일(20)을 포함하는 고정자(stator); 각각의 모터코일(20)의 양단에 설치되며, 자석가동자(10)의 접근 여부를 검출하고 자기장 변화량을 센싱하여 가동자의 속도 정보로부터 자석가동자(10)의 위치를 측정하는 센서부(30); 및 상기 캐리어(15)에 마련되며, 캐리어(15)의 마모 정도나 파손 상태 또는 얼라인먼트 여부 등이 실시간으로 파악되도록, 상기 캐리어(15)을 모니터링하는 캐리어 모니터링부(410)를 포함할 수 있다.
캐리어(15)는 주로 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 반도체 웨이퍼 또는 기판이 안착 수용되어 이송되는 부분이다. 이밖에 반도체 검사 대상물이 아닌, LCD, FPD 등의 기판 이송에 적용될 수도 있을 것이다.
상기 캐리어(15)의 하부에는 영구자석 플레이트(11)가 결합될 수 있다.
캐리어(15)는 가이드레일(40)에 가이드되어 이송될 수 있다.
상기 자석가동자(10)는 상기 캐리어(15)의 길이방향을 따라 배치되는 복수의 영구자석을 포함할 수 있다.
상기 자석가동자(10)(armature)는 영구자석 플레이트(11)에 수용되게 마련될 수 있다.
고정자(20)는 상기 자석가동자(10)에 이격 배치될 수 있다. 상기 고정자(20)는 상기 자석가동자(10)에 이격 배치되되 가이드레일(40) 상에 고정 설치되며, 상기 영구자석에 의해 생성된 자기장에 상호 작용되는 복수의 모터코일(20)을 포함할 수 있다.
이밖에, 이송컨베이어 시스템은 모터코일(20)에 연결되는 노드콘트롤러 및 SSD로 구성되어 있고 이들과 연결되는 상위 제어기가 구성된다.
이와 같이, 무빙마그넷의 자석가동자(10)와 모터코일(20)의 고정자(20)를 구성하게 되면 기존에 가동자로 코일을 포함한 전기자로 선정되는 LSM 방식의 리니어모터 구조에 비해, 상대적으로 무게가 절감되고 모터코일(20)에 연결되는 드라이브를 포함한 전력 공급 구성이 삭제되며, 위치센서, Communication 홀센서 등이 가동자 상에서 제거될 수 있어 모터 부하감소가 가능할 수 있다. 이에 따라, 캐리어(15)의 부하 감소 및 이로 인한 고정밀 및 고속 이송이 가능할 수 있다.
한편, 기존 LSM 구조에서는 위치센서, Communication 홀센서 등을 탑재하여 운전하므로 오히려 모터 부하증가의 원인이 된바 있다.
이에 본 실시예에서는 센서부(30)는 도 1에 도시된 바와 같이, 각각의 모터코일(20)의 양단에 설치되며, 자석가동자(10)의 접근 여부를 검출하고 자기장 변화량을 센싱하여 가동자의 속도 정보로부터 자석가동자(10)의 위치를 측정할 수 있다.
상기 센서부(30)는 코일 양단에 2개의 홀센서(30)를 포함할 수 있다.
그리고 각각의 홀센서(30)는 상하 적층 방식으로 배치될 수 있다. 이러한, 2개의 홀센서(30)는 90° 간격으로 배치되어 정현파를 발생시키도록 하고, 각 홀센서(30)의 신호의 상승 및 하강 신호를 속도 측정의 주기로 설정하여 자석가동자(10)의 속도를 산출하며, 산출된 속도를 적분하여 자석가동자(10)의 위치를 측정할 수 있다.
보다 상세 설명하면, 고정자(20)에 장착된 홀센서(30)를 이용하여 자석가동자(10)가 이동할 때 1개는 근접센서(접근여부 검출)로 기능할 수 있고, 아래의 홀센서(30)를 이용하여 도 3에 도시된 것처럼 영구자석의 Vector 자속밀도를 센싱하고 다음의 고정자(20)를 지나가면 센서 시그널을 Add하여 자석가동자(10)의 위치를 파악할 수 있다.
자석가동자(10)가 이동할 때, 도 4에 도시된 것처럼 각 전기자(고정자(20))에 근접센서를 이용하여 위치를 알려주고 이에 따른 Position Signal과 U,V,W Commutation Signal을 구성할 수 있다.
이러한 구성의 리니어모터부(300)를 통해, 종래 볼 스크류 반송시스템 및 Belt Conveyor 반송시스템 대비 청정 환경에서의 분진에 의한 불량률 감소가 가능하고 가공 과정에서 진동이 억제될 수 있다.
한편, 검사 대상물의 특성 상 진동에 취약하고 위치 분해능이 상대적으로 높은바 기존 이송 시스템에서는 캐리어(15)의 진동 정도 및 정밀한 이송 위치정보 등이 실시간 파악이 불가능하였다.
이에 본 실시예에서는 캐리어 모니터링부(410)가 마련될 수 있다.
상기 캐리어 모니터링부(410)는 주로 도 5를 참조하면, 속도 및 가속도를 측정하는 속도센서(413), 압력을 측정하는 압력센서(415), 상기 캐리어(15)의 온/습도를 감지하는 온/습도센서(411); 기울어짐을 측정하는 경사각센서(416); 및 상기 캐리어(15)에서 측정된 측정 주파수로부터 상기 캐리어(15)의 진동 정도를 감지하는 주파수감지센서(412)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 캐리어 모니터링부(410)는, 상기 캐리어(15)로 전달되는 충격을 감지하는 충격센서(미도시); 고유 주파수로부터 소음을 감지하는 소음센서(414)를 더 포함할 수 있다.
이러한 상기 캐리어 모니터링부(410)는 주로 도 5에 도시된 것처럼 단일몸체(401)에 패키징되며, 상기 단일몸체(401)에는 양단에 결합장공(402)이 마련될 수 있다. 결합장공(402)을 이용하여 캐리어(15)에 탈부착이 가능할 수 있다.
상기 속도센서(413)는 캐리어(15)의 미세 변위 거동을 알려줄 수 있다.
상기 압력센서(415)는 캐리어(15)에 가해지는 외력의 세기 등을 모니터링할 수 있다.
상기 온/습도센서(411)는 이송 환경에 대한 온, 습도 정보를 제공할 수 있다.
경사각센서(416)는 캐리어(15)의 기울어짐을 측정할 수 있다. 캐리어(15)의 이상 거동 및 고장 진단이 미리 예측될 수 있다.
상기 주파수감지센서(412)는 상기 캐리어(15)에서 측정된 측정 주파수로부터 상기 캐리어(15)의 진동 정도를 감지하는 역할을 한다. 여기서, 상기 측정 주파수의 파라미터값은 rms값, peak값, FFT변환값 중 어느 하나일 수 있다.
상기 주파수감지센서(412)는 센싱된 측정 주파수의 파라미터값이 미리 설정된 제1 임계치를 초과하면 경고 알림신호를 출력할 수 있다. 그리고 상기 주파수감지센서(412)는 센싱된 측정 주파수의 파라미터값이 미리 설정된 제2 임계치를 초과하면 상기 캐리어(15)에 대한 운전 정지신호를 출력할 수 있다.
이에 따라, 캐리어(15)의 진동 정도 및 정밀한 이송 위치정보 등이 실시간 파악이 가능하여 예측진단이 용이할 수 있다.
도 6는 본 발명의 일실시예에 따른 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템의 캐리어 모니터링부를 통한 위치 정보를 모니터링하는 구성 일례를 도시한 도면이고, 도 7는 본 발명의 일실시예에 따른 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템의 캐리어 모니터링부를 통한 측정 주파수를 감지하는 구성 일례를 도시한 도면이다.
도 6에서처럼 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템의 모니터링용 UI가 구축될 수 있다. 화면에는 시스템의 온, 습도 정보, 리니어모터의 구동RPM, 변위 등이 실시간으로 파악될 수 있고, 일례로 변위량이 작은 원을 벗어나면 경고 알림 단계이고, 큰 원을 벗어나면 운전 정지신호가 출력될 수 있다.
도 7을 주로 참조하면, 주파수감지센서(412)는 시간에 따라 X,Y,Z축의 진동 정보가 센싱될 수 있다. 주파수감지센서(412)를 통해, 상기 캐리어(15)의 고유 주파수를 측정하여 상기 캐리어(15)의 측정 주파수의 rms값을 감지될 수 있다. 또한, 측정 주파수의 peak값을 이용하여 캐리어(15)가 위험 수준인지 아니면 즉각적인 정지 상태인지 모니터링될 수 있다.
또한, 측정 주파수의 FFT변환값을 이용할 수도 있다. 도 7에 도시된 바와 같이, 측정 주파수를 FFT변환을 수행하여 FFT변환값을 얻고 이를 모니터링하며 특정 대역마다 미리 설정된 제1 임계치 및 제2 임계치와 실시간 비교하여 비정상적인 이송 상태를 실시간으로 파악 가능하고 즉각적인 운전 정지가 가능할 수 있다.
그리고, 캐리어 모니터링부(410)에 송수신 가능하게 마련되는 별도의 게이트웨이(미도시)를 통해 모니터링 프로그램에 연결될 수 있다. 모니터링 프로그램을 통해, 센싱된 측정 주파수로부터 오류를 진단한 다음, 캐리어(15)의 교체 시기나 캐리어(15)의 예측진단 및 정비가 가능할 수 있다.
이와 같은 구성 및 단계를 통해, 무빙마그넷의 자석가동자(10)와 모터코일(20)의 고정자(20)를 구성하여 캐리어(15)의 부하 감소 및 이로 인한 고정밀 및 고속 이송이 가능하고 기존 엔코더와 레졸버가 삭제되어 가격 절감 및 취부상 어려움이 개선되며 캐리어(15)의 진동 정도 및 정밀한 이송 위치정보 등이 실시간 파악이 가능하여 예측진단이 용이할 수 있어 검사수율의 상승 및 제품단가가 감소될 수 있다.
또한, 종래 회전형계 구동액추에이터 대신 리니어모터를 통해 캐리어(15)가 구동되어 보다 높은 정밀도가 가능하고 가공 시 진동이 억제될 수 있다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시 예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.
10 : 자석가동자 11 : 영구자석 플레이트
15 : 캐리어 20 : 고정자
30 : 센서부 40 : 가이드레일
400 : 캐리어 모니터링부 401 : 단일몸체
402 : 결합장공 410 : 캐리어 모니터링부
411 : 온/습도센서 412 : 주파수감지센서
413 : 충격센서 414 : 소음센서
415 : 압력센서 416 : 경사각센서

Claims (9)

  1. 반도체 웨이퍼 또는 기판이 안착 수용되어 이송되는 캐리어;
    상기 캐리어 하부의 영구자석 플레이트에 수용되게 마련되며, 상기 캐리어의 길이방향을 따라 배치되는 복수의 영구자석을 포함하는 자석가동자(armature);
    상기 자석가동자에 이격 배치되되 가이드레일 상에 고정 설치되며, 상기 영구자석에 의해 생성된 자기장에 상호 작용되는 복수의 모터코일을 포함하는 고정자(stator);
    각각의 모터코일의 양단에 설치되며, 자석가동자의 접근 여부를 검출하고 자기장 변화량을 센싱하여 가동자의 속도 정보로부터 자석가동자의 위치를 측정하는 센서부; 및
    상기 캐리어에 마련되며, 캐리어의 마모 정도나 파손 상태 또는 얼라인먼트 여부 등이 실시간으로 파악되도록, 상기 캐리어을 모니터링하는 캐리어 모니터링부를 포함하는 것을 특징으로 하는 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 센서부는, 2개의 홀센서가 다층 적층 구조로 배치되는 것을 특징으로 하는 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 홀센서를 90°간격으로 배치하여 정현파를 발생시키도록 하고, 상기 홀 센서의 신호의 상승 및 하강 신호를 속도 측정의 주기로 설정하여 모터의 회전 속도를 산출하고, 상기 산출된 회전 속도를 적분하여 자석가동자의 위치를 측정하는 것을 특징으로 하는 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 캐리어 모니터링부는,
    속도 및 가속도를 측정하는 속도센서;
    압력을 측정하는 압력센서;
    외면의 온/습도, 상기 워크베드부의 온/습도를 감지하는 온/습도센서;
    기울어짐을 측정하는 경사각센서;
    상기 캐리어에 측정된 측정 주파수로부터 상기 캐리어의 진동 정도를 감지하는 주파수감지센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 캐리어 모니터링부는 단일몸체에 패키징되며,
    상기 단일몸체에는 양단에 결합장공이 마련되는 것을 특징으로 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 캐리어 모니터링부는,
    상기 캐리어로 전달되는 충격을 감지하는 충격센서; 및
    고유 주파수로부터 소음을 감지하는 소음센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 측정 주파수의 파라미터값은 rms값, peak값, FFT변환값 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 주파수감지센서는 센싱된 측정 주파수의 파라미터값이 미리 설정된 제1 임계치를 초과하면 경고 알림을 출력하는 것을 특징으로 하는 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 주파수감지센서는 센싱된 측정 주파수의 파라미터값이 미리 설정된 제2 임계치를 초과하면 상기 캐리어를 운전 정지하는 것을 특징으로 하는 무빙마그넷을 이용한 반도체 검사장비용 이송컨베이어 시스템.
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