KR20230104488A - Stocker - Google Patents

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KR20230104488A
KR20230104488A KR1020220038842A KR20220038842A KR20230104488A KR 20230104488 A KR20230104488 A KR 20230104488A KR 1020220038842 A KR1020220038842 A KR 1020220038842A KR 20220038842 A KR20220038842 A KR 20220038842A KR 20230104488 A KR20230104488 A KR 20230104488A
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이성호
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명은 반도체 제조 공정에 이용되는 스토커에 관한 것이다.
본 발명은, 반도체 공정의 물품 이송 중에 물품을 보관하는 스토커에 있어서, 상기 물품의 이송방향과 교차하는 방향으로 배치되는 선반; 보관할 물품을 이송하는 차량과 상기 선반 사이의 물품을 이송을 위한 공간인 포트; 상기 포트, 선반, 물품 이송라인 사이에서 물품을 이송하는 제1이송수단; 을 포함하는 스토커를 제공한다.The present invention relates to a stocker used in a semiconductor manufacturing process.
The present invention provides a stocker for storing goods during the transportation of goods in a semiconductor process, comprising: a shelf disposed in a direction crossing the transportation direction of the goods; a port that is a space for transporting an article between a vehicle transporting an article to be stored and the shelf; a first transport means for transporting the product between the port, the shelf, and the product transfer line; Provides a stalker that includes.

Description

스토커 {Stocker}stalker {Stocker}

본 발명은 반도체 제조 공정에 이용되는 스토커에 관한 것이다.The present invention relates to a stocker used in a semiconductor manufacturing process.

반도체 제조 효율 향상을 위하여, 반도체 제조 설비들에 의하여 수행되는 노광, 증착, 식각, 이온 주입, 세정 등의 공정을 개선하기 위한 기술뿐만 아니라, 반도체를 제조하는 데 사용되는 물품을 반도체 제조 설비들 간에 보다 신속하고 정확하게 이송하기 위한 설비가 널리 보급되어 사용되고 있다. 예를 들면, 반도체 제조 공장의 천장 측의 물품 이송 경로를 따라 이동하면서 공정에 요구되는 물품을 이송하는 오버헤드 호이스트 트랜스포트(overhead hoist transport, OHT), 물품 이송 경로의 측방에서 오버헤드 호이스트 트랜스포트(OHT)에 의하여 이송되는 물품을 보관하는 스토커 등을 포함하는 물품 이송 설비가 그 중 하나이다.In order to improve semiconductor manufacturing efficiency, not only technologies for improving processes such as exposure, deposition, etching, ion implantation, and cleaning performed by semiconductor manufacturing facilities, but also products used to manufacture semiconductors are transferred between semiconductor manufacturing facilities. Equipment for more rapid and accurate transfer is widely spread and used. For example, an overhead hoist transport (OHT) that transports items required for a process while moving along an item transfer path on the ceiling side of a semiconductor manufacturing plant, and an overhead hoist transport on the side of the item transfer path. One of them is an article transport facility including a stocker for storing articles transported by (OHT).

도 1은 반도체 제조 공정에서 물류의 이동을 간략히 설명하기 위한 도면이다.1 is a diagram for briefly explaining the movement of logistics in a semiconductor manufacturing process.

OHT는 주행 레일(OHT Rail)은 물품 이송 경로(1)를 형성하며, 물품 이송 경로를 따라 제품 생산 설비(2)가 설치된다. 상기 생산 설비(2)에는 열처리 설비, 에칭설비, 노광설비, 증착설비 등이 있다. 제품 이송 경로(1) 주변에는 공정에 필요한 물품을 공급하기 위하여 일시 보관하는 스토커(3)가 마련된다. 여러 개의 비히클(4)이 물품 이송 경로를 따라 이동하면서 물품을 이송한다.The OHT rail forms an article transfer path (1), and product production facilities (2) are installed along the item transfer path. The production facility 2 includes heat treatment facilities, etching facilities, exposure facilities, deposition facilities, and the like. Around the product transfer path 1, a stocker 3 for temporarily storing items necessary for the process is provided. A plurality of vehicles 4 transport the goods while moving along the goods transport path.

도 2는 스토커 설비의 일례를 간략히 도시한 것인데, 제1선반(S1)과 제2선반(S2)이 물품 이송 경로(1; OHT Rail의 경로)와 나란하게 배치되고, 제1선반(S)과 제2선반(S2) 사이에 물품을 선반들에 대하여 로딩하거나 언로딩하는 크레인(C)이 설치되며, 보관할 물품을 물품 이송 차량으로부터 전달받거나 보관된 물품을 물품 이송 차량으로 전달하기 위한 적어도 하나 이상의 포트(P)를 포함하고, 크레인(C)이 물품을 선반들(S1, S2)과 포트(P) 간에 반송하도록 구성된다.Figure 2 is a schematic illustration of an example of a stocker facility, in which the first shelf (S1) and the second shelf (S2) are arranged in parallel with the article transfer path (1; path of OHT Rail), and the first shelf (S) And a crane (C) for loading or unloading goods to the shelves is installed between the second shelf (S2), at least one for receiving the goods to be stored from the goods transport vehicle or delivering the stored goods to the goods transport vehicle The above port P is included, and the crane C is configured to transport articles between the shelves S1 and S2 and the port P.

스토커의 선반(S1, S2)이 물품 이송 경로와 나란하게 배치됨에 따라, 스토커에 의한 물품 보관 공간을 증대하려면 선반을 물품 이송 경로와 나란한 방향으로 연장해야 하므로, 스토커에 의한 물품 보관 공간이 제한적일 수밖에 없고, 공간 활용 면에서 불리하다.As the stocker's shelves (S1, S2) are arranged parallel to the goods transport path, in order to increase the stocker's goods storage space, the shelf must be extended in a direction parallel to the goods transport route, so the stocker's goods storage space is inevitably limited No, it is disadvantageous in terms of space utilization.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 공간을 보다 효율적으로 활용할 수 있고 확장성이 좋은 스토커를 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention is to provide a stocker that can utilize space more efficiently and has good expandability.

전술한 과제의 해결 수단으로서 본 발명은,As a means of solving the above problems, the present invention,

반도체 공정의 물품 이송 중에 물품을 보관하는 스토커에 있어서,In the stocker for storing the goods during the transfer of goods in the semiconductor process,

상기 물품의 이송방향과 교차하는 방향으로 배치되는 선반;a shelf disposed in a direction crossing the transport direction of the product;

보관할 물품을 이송하는 차량과 상기 선반 사이의 물품을 이송을 위한 공간인 포트;a port that is a space for transporting an article between a vehicle transporting an article to be stored and the shelf;

상기 포트, 선반, 물품 이송라인 사이에서 물품을 이송하는 제1이송수단; 을 포함하는 스토커를 제공한다.a first transport means for transporting the product between the port, the shelf, and the product transfer line; Provides a stalker that includes.

상기 물품의 이송 방향과 선반의 배치 방향이 직교하는 것이 바람직하다.It is preferable that the conveying direction of the article and the arrangement direction of the shelf are orthogonal.

상기 선반의 양단부가 물품 이송라인과 접할 수도 있다.Both ends of the shelf may be in contact with the product transfer line.

상기 선반과 제1이송수단은 모듈화되어 제작되고 현장에서 모듈 세트로 조립되는 것이 바람직하다.,It is preferable that the shelf and the first transfer unit are manufactured in a modular manner and assembled as a module set at the site.

상기 모듈 세트가 상기 물품의 이송방향을 따라 둘 이상 배치되는 것이 바람직하며, 상기 모듈 세트와 모듈 세트 사이에서 물품을 이송하는 제2이송수단을 더 포함하는 것이 더욱 바람직하다.Preferably, two or more module sets are disposed along the transfer direction of the product, and more preferably, a second transfer means for transferring the item between the module sets is further included.

본 발명에 의하면 간을 보다 효율적으로 활용할 수 있고 확장성이 좋은 스토커를 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide a stocker that can utilize the liver more efficiently and has good scalability.

도 1은 반도체 제조 공정에서 물류의 이동을 간략히 설명하기 위한 도면.
도 2는 도 1에 도시된 종래의 스토커 설비를 설명하기 위한 도면.
도 3은 본 발명의 하나의 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 도면.
도 4는 본 발명의 다른 하나의 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 도면.1 is a diagram for briefly explaining the movement of logistics in a semiconductor manufacturing process.
2 is a view for explaining a conventional stocker facility shown in FIG. 1;
Figure 3 is a view for explaining a stalker according to one embodiment of the present invention.
Figure 4 is a view for explaining a stalker according to another embodiment of the present invention.

이하에서는 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 하나의 실시예에 대하여 설명함으로써 본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용을 제공하기로 한다.Hereinafter, specific details for carrying out the present invention will be provided by describing a preferred embodiment of the present invention with reference to the drawings.

도 3은 본 발명의 하나의 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 도면이다.3 is a diagram for explaining a stalker according to one embodiment of the present invention.

본 실시예에 따른 스토커는 반도체 공정의 물품 이송 중에 물품을 일시적으로 보관하기 위한 것으로서 선반(10), 제1이송수단(20), 포트(30) 및 제2이송수단(40)을 포함한다.The stocker according to the present embodiment is for temporarily storing goods during the transportation of goods in a semiconductor process, and includes a shelf 10, a first transportation means 20, a port 30, and a second transportation means 40.

상기 선반(10)은 상기 물품의 이송 라인(1)과 교차하는 방향으로 둘 이상 배치되는 구성으로서 보다 바람직하게는 물품의 이송 라인(1)과 직교하는 방향으로 배치된다. 물품의 이송방향과 교차하는 방향이라는 것은 물품의 이송방향과 평행하지 않은 방향을 의미한다.Two or more shelves 10 are arranged in a direction crossing the product transfer line 1, and more preferably, they are disposed in a direction orthogonal to the product transfer line 1. The direction crossing the conveying direction of the article means a direction that is not parallel to the conveying direction of the article.

본 실시예에서 선반(10)의 한쪽 단부는 물품 이송라인(1)과 접한다. 접한다는 의미는 상기 제1이송수단(20)에 의해 선반(10)과 물품 이송라인(1) 사이에서 물품이 이송될 수 있다는 의미이다.In this embodiment, one end of the shelf 10 is in contact with the article transfer line 1 . The meaning of contact means that the goods can be transferred between the shelf 10 and the article transfer line 1 by the first transfer unit 20 .

상기 포트(30)는 선반(10)에 보관할 물품을 이송하는 차량과 선반(10) 사이에서 물품을 이송하기 위한 공간이다. 물품을 싣고 다니는 차량의 주차 공간 정도로 볼 수도 있다.The port 30 is a space for transferring items between the shelf 10 and a vehicle for transferring items to be stored in the shelf 10 . You can think of it as a parking space for vehicles carrying goods.

상기 제1이송수단(20)은 상기 선반(10), 물품 이송라인(1), 포트(30) 사이에서 물품을 이송하는 구성으로서 보통 반송 로봇이라는 명칭으로 불리는 형태의 구성이 이용될 수 있다. 상기 물품 이송라인(1)으로 물품을 이송한다는 의미는 물품 이송라인(1)을 따라 이동하는 비히클(4)과 선반(10) 또는 포트(30) 사이에서 물품을 이송한다는 의미이다. 도면에 표시된 화살표는 선반(10)이 설치된 위치에서 이동하는 것으로 도시되어 있으나 이는 도시 상의 편의를 위한 것에 불과하다.The first transport means 20 is a component that transfers products between the shelf 10, the product transport line 1, and the port 30, and a configuration commonly referred to as a transport robot may be used. The meaning of transporting the product through the product transfer line 1 means that the product is transferred between the vehicle 4 moving along the product transfer line 1 and the shelf 10 or the port 30 . Arrows shown in the drawing are shown as moving from the location where the shelf 10 is installed, but this is only for convenience in illustration.

상기 선반(10)과 제1이송수단(20)은 모듈화되어 제작되고 현장에서 모듈 세트로 조립된다. 모듈화되어 제작된다는 의미는 선반(10)이나 제1이송수단(20)을 여러 개의 규격화된 모듈로 나누고 공장에서 각각의 모듈을 생산한 후 현장으로 운반하여 현장에서 모듈 세트(M1 또는 M2)로 조립하여 설치한다는 의미이다.The shelf 10 and the first transfer means 20 are manufactured in a modular manner and assembled as a module set on site. Modularized manufacturing means that the shelf 10 or the first transport means 20 is divided into several standardized modules, each module is produced in the factory, transported to the site, and assembled into a module set (M1 or M2) on the site. means to install it.

본 실시예에서는 도 3에 도시된 바와 같이 복수(두 개)의 모듈 세트(M1, M2)가 설치되는데 현장의 상황에 맞게 모듈이 더 추가될 수도 있고, 하나의 모듈만 설치될 수도 있다. 이처럼 복수의 모듈 세트가 설치되는 경우 어느 하나의 모듈 세트를 유지, 보수의 수요를 위해 사용할 수 없는 경우에도 유지나 보수를 할 필요가 없는 모듈 세트를 이용할 수 있으므로 공정을 멈출 필요가 없고, 모든 모듈 세트에 유지, 보수의 수요가 있으면 순차적으로 절차를 진행하여 일부의 모듈 세트는 운용할 수 있다.In this embodiment, as shown in FIG. 3, a plurality of (two) module sets M1 and M2 are installed. More modules may be added or only one module may be installed according to the situation in the field. In this way, when a plurality of module sets are installed, even if one module set cannot be used for maintenance or repair needs, a module set that does not require maintenance or repair can be used, so there is no need to stop the process, and all module sets If there is a demand for maintenance or repair, some module sets can be operated by sequentially proceeding with the procedure.

상기 제2이송수단(40)은 모듈 세트와 모듈 세트 사이에서 물품을 이송하는 구성으로서, 상기 제1이송수단(20)과 마찬가지로 이송 로봇이 사용될 수 있다. 물론 제2이송수단(40)이 단순히 모듈 세트 사이에서 물품만 이송하는 것이 아니라, 제1이송수단(20)과 물품을 주고받으면서 선반(10)에 적재되어 있던 물품을 물품 이송 라인(1)으로 공급할 수도 있다.The second transfer means 40 is a component that transfers items between module sets, and like the first transfer means 20, a transfer robot may be used. Of course, the second transfer means 40 does not simply transfer only the goods between the module sets, but transfers the goods loaded on the shelf 10 to the goods transfer line 1 while exchanging goods with the first transfer means 20. can also supply

이하에서는 도면을 참조하면서 본 발명의 두 번째 실시예에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, the second embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 4는 본 발명의 다른 하나의 실시예에 따른 스토커를 설명하기 위한 도면이다.4 is a view for explaining a stalker according to another embodiment of the present invention.

본 실시예에 따른 스토커는 반도체 공정의 물품 이송 중에 물품을 일시적으로 보관하기 위한 것으로서 선반(10), 제1이송수단(20), 포트(30) 및 제2이송수단(40)을 포함한다.The stocker according to the present embodiment is for temporarily storing goods during the transportation of goods in a semiconductor process, and includes a shelf 10, a first transportation means 20, a port 30, and a second transportation means 40.

상기 선반(10)은 상기 물품의 이송 라인(1)과 교차하는 방향으로 둘 이상 배치되는 구성으로서 보다 바람직하게는 물품의 이송 라인(1)과 직교하는 방향으로 배치된다. 물품의 이송방향과 교차하는 방향이라는 것은 물품의 이송방향과 평행하지 않은 방향을 의미한다.Two or more shelves 10 are arranged in a direction crossing the product transfer line 1, and more preferably, they are disposed in a direction orthogonal to the product transfer line 1. The direction crossing the conveying direction of the article means a direction that is not parallel to the conveying direction of the article.

본 실시예에서 선반(10)의 양단부가 물품 이송라인(1)과 접한다. 접한다는 의미는 상기 제1이송수단(20)에 의해 선반(10)과 물품 이송라인(1) 사이에서 물품이 이송될 수 있다는 의미이다. 같은 생산 설비라면 도 3에 도시된 실시예에 비해서 선반(10)이 길게 제작되는 것을 의미하는 것으로 볼 수 있는데, 설비 라인의 형태에 따라 같은 길이의 선반(10)이 한쪽만 물품 이송라인(1)과 접할 수도 있고, 양쪽 모두가 물품 이송라인(1)과 접할 수도 있다.In this embodiment, both ends of the shelf 10 come into contact with the product transfer line 1 . The meaning of contact means that the goods can be transferred between the shelf 10 and the article transfer line 1 by the first transfer unit 20 . If it is the same production facility, it can be seen as meaning that the shelf 10 is manufactured longer than the embodiment shown in FIG. ), or both may be in contact with the article transfer line 1.

상기 포트(30)는 선반(10)에 보관할 물품을 이송하는 차량과 선반(10) 사이에서 물품을 이송하기 위한 공간이다. 물품을 싣고 다니는 차량의 주차 공간 정도로 볼 수도 있다. 본 실시예에서는 도시된 바와 같이 물품 이송라인(1)과 접하는 선반(10)의 양단부 쪽 모두에 포트(30)를 마련함으로써 물품 이송의 효율을 높일 수 있도록 한다.The port 30 is a space for transferring items between the shelf 10 and a vehicle for transferring items to be stored in the shelf 10 . You can think of it as a parking space for vehicles carrying goods. In this embodiment, as shown in the drawing, by providing ports 30 at both ends of the shelf 10 in contact with the product transfer line 1, the efficiency of product transfer can be increased.

상기 제1이송수단(20)은 상기 선반(10), 물품 이송라인(1), 포트(30) 사이에서 물품을 이송하는 구성으로서 보통 반송 로봇이라는 명칭으로 불리는 형태의 구성이 이용될 수 있다. 상기 물품 이송라인(1)으로 물품을 이송한다는 의미는 물품 이송라인(1)을 따라 이동하는 비히클(4)과 선반(10) 또는 포트(30) 사이에서 물품을 이송한다는 의미이다. 도면에 표시된 화살표는 선반(10)이 설치된 위치에서 이동하는 것으로 도시되어 있으나 이는 도시 상의 편의를 위한 것에 불과하다.The first transport means 20 is a component that transfers products between the shelf 10, the product transport line 1, and the port 30, and a configuration commonly referred to as a transport robot may be used. The meaning of transporting the product through the product transfer line 1 means that the product is transferred between the vehicle 4 moving along the product transfer line 1 and the shelf 10 or the port 30 . Arrows shown in the drawing are shown as moving from the location where the shelf 10 is installed, but this is only for convenience in illustration.

상기 선반(10)과 제1이송수단(20)은 모듈화되어 제작되고 현장에서 모듈 세트로 조립된다. 모듈화되어 제작된다는 의미는 선반(10)이나 제1이송수단(20)을 여러 개의 규격화된 모듈로 나누고 공장에서 각각의 모듈을 생산한 후 현장으로 운반하여 현장에서 모듈 세트(M1 또는 M2)로 조립하여 설치한다는 의미이다.The shelf 10 and the first transfer means 20 are manufactured in a modular manner and assembled as a module set on site. Modularized manufacturing means that the shelf 10 or the first transport means 20 is divided into several standardized modules, each module is produced in the factory, transported to the site, and assembled into a module set (M1 or M2) on the site. means to install it.

본 실시예에서는 도 4에 도시된 바와 같이 복수(두 개)의 모듈 세트(M1, M2)가 설치되는데 현장의 상황에 맞게 모듈이 더 추가될 수도 있고, 하나의 모듈만 설치될 수도 있다. 도 4에 점선으로 표시된 부분은 새로운 모듈 세트(M3)가 설치될 수도 있는 위치이다.In this embodiment, as shown in FIG. 4 , a plurality (two) of module sets M1 and M2 are installed. More modules may be added or only one module may be installed according to the situation in the field. A portion indicated by a dotted line in FIG. 4 is a location where a new module set M3 may be installed.

이처럼 복수의 모듈 세트가 설치되는 경우, 유지나 보수를 위해 일부의 모듈 세트를 사용할 수 없는 경우에도 나머지 모듈 세트를 이용할 수 있으므로 공정을 멈출 필요가 없는 장점이 있고, 모든 모듈 세트에 유지, 보수의 수요가 있으면 순차적으로 절차를 진행하여 일부의 모듈 세트는 운용할 수 있다.When multiple module sets are installed in this way, even if some module sets are unavailable for maintenance or repair, the rest of the module sets can be used, so there is no need to stop the process, and all module sets require maintenance and repair. If there is, some module sets can be operated by sequentially proceeding.

상기 제2이송수단(40)은 모듈 세트와 모듈 세트 사이에서 물품을 이송하는 구성으로서, 상기 제1이송수단(20)과 마찬가지로 이송 로봇이 사용될 수 있다. 물론 제2이송수단(40)이 단순히 모듈 세트 사이에서 물품만 이송하는 것이 아니라, 제1이송수단(20)과 물품을 주고받으면서 선반(10)에 적재되어 있던 물품을 물품 이송 라인(1)으로 공급할 수도 있다.The second transfer means 40 is a component that transfers items between module sets, and like the first transfer means 20, a transfer robot may be used. Of course, the second transfer means 40 does not simply transfer only the goods between the module sets, but transfers the goods loaded on the shelf 10 to the goods transfer line 1 while exchanging goods with the first transfer means 20. can also supply

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명함으로써 본 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용을 제공하였으나 본 발명이 기술적 사상이 설명된 실시예에 한정되는 것은 아니며 본 발명의 기술적 사상에 포함되는 범위 안에서 다양한 형태로 구체화될 수 있다.In the above, the preferred embodiment of the present invention has been described to provide specific details for carrying out the present invention, but the present invention is not limited to the described embodiment of the technical idea, and various forms are included within the scope of the technical idea of the present invention. can be materialized.

10 : 선반 20 : 제1이송수단
30 : 포트 40 : 제2이송수단10: shelf 20: first transfer means
30: port 40: second transfer means

Claims (15)

반도체 공정의 물품 이송 중에 물품을 보관하는 스토커에 있어서,
상기 물품의 이송방향과 교차하는 방향으로 배치되는 선반;
보관할 물품을 이송하는 차량과 상기 선반 사이의 물품을 이송을 위한 공간인 포트;
상기 포트, 선반, 물품 이송라인 사이에서 물품을 이송하는 제1이송수단; 을 포함하는 스토커.
In the stocker for storing the goods during the transfer of goods in the semiconductor process,
a shelf disposed in a direction crossing the transport direction of the product;
a port that is a space for transporting an article between a vehicle transporting an article to be stored and the shelf;
a first transport means for transporting the product between the port, the shelf, and the product transfer line; Including Stalker.
 제1항에 있어서,
상기 물품의 이송 방향과 선반의 배치 방향이 직교하는 스토커.
According to claim 1,
A stocker in which the conveying direction of the goods and the arrangement direction of the shelf are orthogonal.
 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 선반의 양단부가 물품 이송라인과 접하는 스토커.
According to claim 1 or 2,
A stocker in which both ends of the shelf are in contact with the product transfer line.
 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 선반과 제1이송수단은 모듈화되어 제작되고 현장에서 모듈 세트로 조립되는 스토커.
According to claim 1 or 2,
The shelf and the first conveying means are modularized and manufactured, and the stocker is assembled as a module set in the field.
 제3항에 있어서,
상기 선반과 제1이송수단은 모듈화되어 제작되고 현장에서 모듈 세트로 조립되는 스토커.

According to claim 3,
The shelf and the first conveying means are modularized and manufactured, and the stocker is assembled as a module set in the field.

 제4항에 있어서,
상기 모듈 세트가 상기 물품의 이송방향을 따라 둘 이상 배치되는 스토커.
According to claim 4,
A stocker in which two or more module sets are disposed along a transport direction of the article.
 제5항에 있어서,
상기 모듈 세트가 상기 물품의 이송방향을 따라 둘 이상 배치되는 스토커.
According to claim 5,
A stocker in which two or more module sets are disposed along a transport direction of the article.
 제6항에 있어서,
상기 모듈 세트와 모듈 세트 사이에서 물품을 이송하는 제2이송수단을 더 포함하는 스토커.
According to claim 6,
The stocker further comprises a second transport means for transporting items between the module sets and the module sets.
 제7항에 있어서,
상기 모듈 세트와 모듈 세트 사이에서 물품을 이송하는 제2이송수단을 더 포함하는 스토커.
According to claim 7,
The stocker further comprises a second transport means for transporting items between the module sets and the module sets.
 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 선반은 둘 이상 배치되는 스토커.
According to claim 1 or 2,
A stocker in which two or more shelves are arranged.
 제10항에 있어서,
상기 물품의 이송방향과 상기 선반의 배치방향이 직교하는 스토커.
According to claim 10,
A stocker in which the transport direction of the goods and the arrangement direction of the shelves are orthogonal.
 제10항에 있어서,
상기 선반의 양단부가 물품의 이송라인과 접하는 스토커.
According to claim 10,
A stocker in which both ends of the shelf are in contact with the transfer line of the goods.
 제11항에 있어서,
상기 선반의 양단부가 물품의 이송라인과 접하는 스토커.
According to claim 11,
A stocker in which both ends of the shelf are in contact with the transfer line of the product.
 제10항에 있어서,
상기 선반과 제1이송수단은 모듈화되어 제작되고 현장에서 모듈 세트로 조립되는 스토커.
According to claim 10,
The shelf and the first conveying means are modularized and manufactured, and the stocker is assembled as a module set in the field.
 제14항에 있어서,
상기 모듈 세트가 상기 물품의 이송방향을 따라 둘 이상 배치되는 스토커.


According to claim 14,
A stocker in which two or more module sets are disposed along a transport direction of the article.
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