KR20230101690A - 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치 제어 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 엔코더에서 발생되는 펄스파보다 높은 분해능으로 잉크토출 제어기의 토출 시점이 결정되도록 함으로서 프린터의 해상도를 향상시킬 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치 제어 방법을 제공하는 데 있다.
그에 따른 본 발명의 기판 처리 장치는 이송물이 안착되는 기판이송부; 및, 상기 기판이송부의 상부면에서 상기 이송물에 잉크를 분사하여 인쇄하는 잉크 분사체, 상기 잉크 분사체를 이송시키는 잉크모듈 이송부, 상기 잉크 분사체와 연동하여 상기 잉크 분사체의 잉크 분사 타이밍을 제어하는 잉크토출 제어기, 상기 잉크 분사체의 이동속도를 특정하는 속도측정부 및, 상기 속도측정부와 연동하여 상기 잉크 분사체의 이동속도를 입력받아 상기 이동속도에 따라 예측된 예측 이동신호를 상기 잉크토출 제어기로 전송하는 신호분배기를 포함하는 제팅 시스템부; 를 포함한다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 장치 제어 방법{SUBSTRATE PROCESSING DEVICE AND CONTROL METHOD FOR SUBSTRATE PROCESSING DEVICE}

본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판에 잉크를 분사하여 프린팅하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치 제어 방법에 관한 것이다.

디스플레이 제조 설비 가운데 배향막과 같은 약액 잉크를 글래스에 분사하는 제팅 시스템이 있다.

이와 같은 제팅 시스템은 잉크젯 헤드와 토출모듈 이송장치를 2차원 평면상에서 움직여가면서 피에조 방식으로 헤드의 노즐을 구동시켜 디스플레이용 글래스에 잉크를 분사하게 된다.

이 경우, 보통, 제팅 시스템은 2차원 평면상의 X축과 Y축을 나누어 봤을 때, 하부의 이송베이스에 잉크가 도포될 이송물을 X축으로 일정거리 이송시킨 상태에서, 이송물의 상부에 배치되며 잉크 토출 모듈이 결합되는 토출모듈 이송장치를 y축으로 움직여 가면서 잉크를 도포하고, 도포 완료 이후에 도포될 이송물을 X축으로 일정거리 다시 이동시킨 후 토출모듈 이송장치를 y축으로 다시 이송시키는 과정을 반복하면서 이송물의 상부면 전체에 잉크를 프린팅하게 된다.

이때, 제팅 시스템은 잉크의 분사 시점을 파악하기 위하여 엔코더를 통해 펄스파를 입력받게 되는데, 엔코더는 토출모듈 이송장치의 특정 이동 간격마다 펄스파를 발생시켜 잉크토출 제어기로 입력하고, 펄스파를 입력받은 잉크토출 제어기는 입력받은 펄스파의 갯수를 토대로 토출모듈 이송장치의 위치를 확인한 후 잉크를 토출하게 된다.

여기서, 엔코더는 분해능이 100nm으로 설정된 경우, 토출모듈 이송장치가 100nm 이동하게 되면, 펄스파 신호를 1개 발생시키게 되고, 이때, 잉크토출 제어기에서는 토출모듈 이송장치가 100nm 이동한 것을 확인하여 이를 바탕으로 토출모듈 이송장치의 PID 제어와 같은 각종 제어 구동을 진행하고, 이 경우, 잉크토출 제어기는 펄스파 신호 1개에 대해 토출모듈 이송장치가 100nm 이동한 것으로 판단하여 해당 지점이 잉크를 분사해야 되는 위치에 해당하면 잉크를 분사시키게 된다.

이 경우, 제팅 시스템은 토출모듈 이송장치가 연속적으로 이동하는 과정에서 잉크를 분사시키게 되는데, 이때, 엔코더의 분해능이 100nm일 경우 토출모듈 이송장치가 20um 단위로 이동하게 되면, 제팅 시스템은 약 200개의 펄스파를 카운팅하여 분사 위치를 알 수 있게 된다.

종래의 제팅 시스템은 프린팅 해상도가 낮고, 생산시간에 여유가 있었기 때문에, 보통, 다수의 잉크토출 제어기를 데이지 체인(Daisy Chain) 방식으로 연결하여 잉크를 도포하는 방식을 이용하였다.

하지만, 근래에는 생산 시간을 최대한 단축시키기 위한 노력이 시도되었고, 그에 따라, 케이블 길이의 차로 인해 신호가 지연되는 문제점이 발생하였고, 이를 해결하기 위하여, 잉크토출 제어기는 케이블의 길이가 다른 경우에도 동일한 시간지연을 갖도록 신호 분배기의 출력 타이밍을 설정하는 방식으로 문제점을 해결하였다.

하지만, 이와 같이 신호 분배기의 시간지연등을 조정하는 설정은 프린터의 해상도를 향상시키는 직접적인 기술을 제공하는 것이 아니기 때문에, 프린터의 해상도를 향상시킬 수 있는 근본적인 기술적 해결수단이 필요한 시점이다.

한편, 엔코더는 주기적으로 펄스파를 발생시키는데, 엔코더에서 출력되는 펄스파가 입출력 구간의 여러 변수등에 의해 누락되거나 중첩되는 경우가 발생함으로서, 잉크토출 제어기의 제어 시점이 변동되는 문제점이 발생하고 있다.

상기한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 기술적 과제는 엔코더에서 발생되는 펄스파보다 높은 분해능으로 잉크토출 제어기의 토출 시점이 결정되도록 함으로서 프린터의 해상도를 향상시킬 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치 제어 방법을 제공하는 데 있다.

또한, 본 발명의 다른 기술적 과제는 잉크토출 제어기에 입력되는 엔코더의 펄스파가 누락되거나 중첩되는 경우에도 정상적인 잉크토출 타이밍을 확보할 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치 제어 방법을 제공하는 데 있다.

상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 장치는 이송물이 안착되는 기판이송부; 및, 상기 기판이송부의 상부면에서 상기 이송물에 잉크를 분사하여 인쇄하는 잉크 분사체, 상기 잉크 분사체를 이송시키는 잉크모듈 이송부, 상기 잉크 분사체와 연동하여 상기 잉크 분사체의 잉크 분사 타이밍을 제어하는 잉크토출 제어기, 상기 잉크 분사체의 이동속도를 특정하는 속도측정부 및, 상기 속도측정부와 연동하여 상기 잉크 분사체의 이동속도를 입력받아 상기 이동속도에 따라 예측된 예측 이동신호를 상기 잉크토출 제어기로 전송하는 신호분배기를 포함하는 제팅 시스템부; 를 포함한다.

일 실시예에 의하면, 상기 제팅 시스템부는 상기 잉크모듈 이송부의 주변에 배치되어 잉크모듈 이송부의 단위 이동 거리마다 이동신호를 출력하는 엔코더를 더 포함하며, 상기 신호분배기는 상기 엔코더에서 출력되는 이동신호의 초기값을 기준으로 예측 펄스파를 생성하여 상기 잉크토출 제어기에 전송된다.

일 실시예에 의하면, 상기 신호분배기는 상기 잉크 분사체의 이동에 관한 속도 프로파일 및 상기 속도 프로파일의 속도에 따라 예측된 예측 펄스파가 발생되도록 하는 예측 펄스파 프로파일을 이용한다.

일 실시예에 의하면, 상기 속도 프로파일은 등가속도 구간과 등속도 구간으로 나누어지며, 상기 등속도 구간에서는 동일한 간격의 예측 펄스파가 상기 잉크토출 제어기로 전송된다.

일 실시예에 의하면, 상기 등가속도 구간에서는 상기 등가속도 구간의 기울기에 비례하여 간격이 좁아지는 예측 펄스파가 상기 잉크토출 제어기로 전송된다.

일 실시예에 의하면, 상기 잉크 분사체 및 상기 잉크토출 제어기는 복수 개가 연동하여 잉크를 분사하며, 상기 신호분배기는 상기 복수 개의 상기 잉크토출 제어기 각각에 상기 예측 펄스파를 출력하게 된다.

일 실시예에 의하면, 상기 잉크토출 제어기는 상기 예측 펄스파의 입력 갯수를 카운팅하여 잉크 분사체의 위치 정보를 획득하게 된다.

일 실시예에 의하면, 상기 잉크모듈 이송부는 상기 잉크 분사체가 장착되는 모듈베이스, 상기 모듈베이스를 일방향으로 이송시키는 엑추에이터구동부 및, 상기 엑추에이터구동부를 제어하여 상기 모듈베이스를 이송시킴으로써 잉크의 분사 위치를 제어하는 잉크 모듈 위치제어기를 포함한다.

일 실시예에 의하면, 상기 잉크 모듈 위치제어기는 상기 엔코더와 연동하여 상기 엔코더로부터 상기 모듈베이스의 위치 정보를 획득하게 된다.

일 실시예에 의하면, 상기 기판이송부는 기설정된 작업 명령에 따라 상기 이송물을 이송시키는 베이스 제어부; 를 더 포함한다.

한편, 상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 장치 제어 방법은 이송물의 상부에 배치된 잉크 분사체를 잉크모듈 이송부가 이송시키는 잉크 분사체 이송단계; 속도측정부가 잉크 분사체의 이동 속도를 측정하여 디지털 속도값으로 변환하고, 변환된 디지털 속도값을 신호분배기로 전송하는 속도 측정단계; 신호분배기가 디지털 속도값에 대응하여 변화되는 예측 이동신호를 생성하는 신호분배기 신호 변환단계; 상기 신호분배기에서 예측된 이동신호를 상기 잉크토출 제어기에 출력하여 분배하고, 잉크토출 제어기에서 예측된 예측 이동신호를 토대로 상기 잉크 분사체의 위치를 확인하는 신호 분배 단계; 및, 상기 잉크토출 제어기에서 예측 이동신호를 토대로 상기 잉크 분사체의 위치 정보를 조정하여 설정하고, 조정된 위치가 잉크 분사 위치에 해당하는 경우 상기 잉크 분사체에서 잉크를 분사하도록 분사 명령을 전송하는 잉크 토출 제어단계; 를 포함한다.

일 실시예에 의하면, 상기 신호분배기 신호 변환단계 전 단계에서는 상기 잉크모듈 이송부의 이동시 단위 이동 거리마다 엔코더에서 이동신호를 출력하는 엔코더 신호출력단계; 를 더 포함하며, 상기 신호분배기 신호 변환단계에서는 상기 엔코더에서 출력되는 이동신호의 초기값을 기준으로 예측 펄스파를 생성하여 상기 잉크토출 제어기에 전송하게 된다.

일 실시예에 의하면, 상기 신호분배기 신호 변환단계에서는 상기 신호분배기가 상기 잉크 분사체의 이동에 관한 속도 프로파일 및 상기 속도 프로파일의 속도에 따라 예측된 예측 펄스파가 발생되도록 하는 예측 펄스파 프로파일을 이용하게 된다.

일 실시예에 의하면, 상기 속도 프로파일은 등가속도 구간과 등속도 구간으로 나누어지며, 상기 등속도 구간에서는 동일한 간격의 예측 펄스파가 상기 잉크토출 제어기로 전송된다.

일 실시예에 의하면, 상기 등가속도 구간에서는 상기 등가속도 구간의 기울기에 비례하여 간격이 좁아지는 예측 펄스파가 상기 잉크토출 제어기로 전송된다.

일 실시예에 의하면, 상기 신호 분배 단계에서는 복수 개의 잉크토출 제어기 각각에 상기 예측 이동신호를 출력하게 된다.

일 실시예에 의하면, 상기 잉크모듈 이송부는 상기 잉크 분사체가 장착되는 모듈베이스, 상기 모듈베이스를 일방향으로 이송시키는 엑추에이터구동부 및, 상기 엑추에이터구동부를 제어하여 상기 모듈베이스를 이송시킴으로써 잉크의 분사 위치를 제어하는 잉크 모듈 위치제어기를 포함한다.

일 실시예에 의하면, 상기 잉크 모듈 위치제어기는 엔코더와 연동하여 상기 엔코더로부터 상기 모듈베이스의 위치 정보를 획득하게 된다.

일 실시예에 의하면, 상기 잉크 분사체 이송단계의 전 단계에서는 상기 기판이송부에 안착된 이송물을 베이스 제어부의 기설정된 명령으로 이송시켜 잉크 분사체에 하부 가운데 특정 위치에 배치시키는 이송물 이송단계; 를 더 포함한다.

다른 한편, 상기한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 장치 제어 방법은 이송물이 안착되는 기판이송부; 및, 상기 기판이송부의 상부면에서 상기 이송물에 잉크를 분사하여 인쇄하는 잉크 분사체, 상기 잉크 분사체를 이송시키는 잉크모듈 이송부, 상기 잉크 분사체와 연동하여 상기 잉크 분사체의 잉크 분사 타이밍을 제어하는 잉크토출 제어기, 상기 잉크 분사체의 이동속도를 특정하는 속도측정부 및, 상기 속도측정부와 연동하여 상기 잉크 분사체의 이동속도를 입력받아 상기 이동속도에 따라 예측된 예측 이동신호를 상기 잉크토출 제어기로 전송하는 신호분배기를 포함하는 제팅 시스템부; 를 포함하며, 상기 제팅 시스템부는 상기 잉크모듈 이송부의 주변에 배치되어 잉크모듈 이송부의 단위 이동 거리마다 이동신호를 출력하는 엔코더를 더 포함하며, 상기 신호분배기는 상기 엔코더에서 출력되는 이동신호의 초기값을 기준으로 예측 펄스파를 생성하여 상기 잉크토출 제어기에 전송하고, 상기 신호분배기는 상기 잉크 분사체의 이동에 관한 속도 프로파일 및 상기 속도 프로파일의 속도에 따라 예측된 예측 펄스파가 발생되도록 하는 예측 펄스파 프로파일을 이용하며, 상기 속도 프로파일은 등가속도 구간과 등속도 구간으로 나누어지며, 상기 등속도 구간에서는 동일한 간격의 예측 펄스파가 상기 잉크토출 제어기로 전송되고, 상기 등가속도 구간에서는 상기 등가속도 구간의 기울기에 비례하여 간격이 좁아지는 예측 펄스파가 상기 잉크토출 제어기로 전송되며, 상기 잉크 분사체 및 상기 잉크토출 제어기는 복수 개가 연동하여 잉크를 분사하며, 상기 신호분배기는 상기 복수 개의 상기 잉크토출 제어기 각각에 상기 예측 펄스파를 출력하고, 상기 잉크토출 제어기는 상기 예측 펄스파의 입력 갯수를 카운팅하여 잉크 분사체의 위치 정보를 획득하며, 상기 잉크모듈 이송부는 상기 잉크 분사체가 장착되는 모듈베이스, 상기 모듈베이스를 일방향으로 이송시키는 엑추에이터구동부 및, 상기 엑추에이터구동부를 제어하여 상기 모듈베이스를 이송시킴으로써 잉크의 분사 위치를 제어하는 잉크 모듈 위치제어기를 포함하고, 상기 잉크 모듈 위치제어기는 상기 엔코더와 연동하여 상기 엔코더로부터 상기 모듈베이스의 위치 정보를 획득하며, 상기 기판이송부는 기설정된 작업 명령에 따라 상기 이송물을 이송시키는 베이스 제어부; 를 더 포함한다.

본 발명은 신호분배기가 엔코더의 이동신호와 디지털 속도값을 바탕으로 예측 펄스파를 잉크토출 제어기로 출력함으로써, 복수 개의 잉크토출 제어기에 이동신호를 분배할 수 있고, 엔코더의 펄스파보다 정밀한 예측 펄스파들을 발생시켜 프린팅 해상도를 향상시킬 수 있게 되며, 나아가, 엔코더와 신호분배기 사이에서 발생하는 노이즈를 무시할 수 있을 뿐더러, 엔코더에서 펄스파가 누락되거나 중첩되더라도 예측 펄스파가 발생되기 때문에 잉크 분사체의 토출 타이밍에 대한 오차가 발생되지 않도록 하는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 구성도.
도 2은 도 1에 도시된 엔코더에서 출력된 펄스파와 신호분배기에서 출력되는 합산펄스파를 비교한 그래프.
도 3는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치 제어 방법의 순서도.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 실시하기 위한 실시예를 설명하기로 하며, 이 경우, 명세서 전체에서 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제어하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있음을 의미하는 것으로 간주한다. 또한, 명세서에 기재된 "...부" 등의 용어는 전자 하드웨어 또는 전자 소프트웨어에 대한 설명시 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하고, 기계장치에 대한 설명시 하나의 부품, 기능, 용도, 지점 또는 구동요소를 의미하는 것으로 간주한다. 또한, 이하에서는 동일한 구성 또는 유사한 구성에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하여 설명하기로 하며, 동일한 구성 요소의 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 구성도이다. 도 2는 도 1에 도시된 엔코더에서 출력된 펄스파와 신호분배기에서 출력되는 예측 펄스파 및 신호분배기 내에 기저장된 속도 프로파일을 비교한 그래프이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치는 기판이송부(10) 및 제팅 시스템부(20)를 포함한다.

기판이송부(10)는 이송물(1a)이 안착되는 이송베이스(11), 이송베이스(11)를 1축 이상의 방향으로 이송시키는 이송엑추에이터 구동부(12) 및 이송엑추에이터 구동부(12)를 제어하는 베이스 제어부(13)를 포함한다. 이 경우, 이송엑추에이터 구동부(12)는 리니어 모터나 리니어 엑추에이터와 같은 이송 장치로 구성될 수 있다. 본 실시예의 경우, 기판이송부(10)는 이송베이스(11)를 1축으로 이송시키는 1축 이송장치로 예시하기로 한다. 여기서, 기판이송부(10)가 이송시키는 이송물(1a)은 잉크에 의해 프린팅되는 디스플레이 기판으로 구성되며, 디스플레이 기판을 이송시키게 된다. 하지만, 본 발명에서 기판이송부(10)가 이송시키는 이송물(1a)을 디스플레이 기판으로 한정하는 것은 아니며, 인쇄회로 기판등으로 다양하게 변형되어 실시될 수 있음은 물론이다. 여기서, 기판이송부(10)는 후술하는 잉크모듈 이송부(23)와 교차하도록 배치된다. 예를 들면, 기판이송부(10)는 X축과 Y축을 기준으로 하는 평면상에서 Y축으로 이송물(1a)을 이송시키는 경우, 잉크모듈 이송부(23)는 X축으로 이동하여 평면상에서 이동하게 된다. 또한, 기판이송부(10)는 잉크토출 제어기(25)와 연동하여 이송물(1a)의 Y축에 대한 위치 정보를 전송할 수 있으며, 이 경우, Y축에 대한 위치 정보는 기판이송부(10)에 설치되어 Y축의 위치정보를 제공하는 엔코딩 기능이 있는 장치로부터 전송할 수 있다. 또한, 베이스 제어부(13)는 기판이송부(10)와 연동하여 기설정된 작업 명령에 따라 기판이송부(10)의 이송베이스(11)를 이송시킴으로써, 이송베이스(11)에 안착되는 이송물(1a)을 이송시키게 된다. 이 경우, 베이스 제어부(13)는 제팅 시스템부(20)가 잉크 분사 명령을 진행하는 경우, 이송물(1a)의 이송을 중지시키며, 이송물(1a)의 일부영역이 인쇄가 진행된 이후에 일정거리 이동하여 다음 영역의 인쇄를 진행하게 된다.

제팅 시스템부(20)는 잉크를 분사시키는 잉크 분사체(21), 잉크공급부(22), 잉크모듈 이송부(23), 엔코더(24), 잉크토출 제어기(25), 속도측정부(26) 및, 신호분배기(27)를 포함한다.

잉크 분사체(21)는 피에조 소자(미도시) 및 피에조 소자가 장착되며 내부에 잉크가 통과하는 헤드부(미도시)를 포함하여 형성된다. 이와 같은 잉크 분사체(21)는 잉크공급부(22)와 연결되며, 잉크공급부(22)로부터 공급되는 잉크가 헤드부 내부 유로로 유입되는 경우, 헤드 부에 결합된 피에조 소자가 구동하여 헤드부 내부의 잉크를 토출하게 된다. 하지만, 본 발명에서 잉크 분사체(21)의 구성을 상기한 피에조 소자를 이용하는 방식으로 한정하는 것은 아니며, 헤드부를 가열하는 타입과 같이 다양한 형태로 변형되어 실시될 수 있음은 물론이다. 이 경우, 잉크 분사체(21)는 모듈베이스(23a)에 장착되어 분사위치가 가변되면서 잉크를 분사하게 된다. 이와 같은 잉크 분사체(21)는 복수 개로 구성되어 서로 간에 이격된 상태로 배치될 수 있으며, 복수 개의 잉크 분사체(21)는 이송물(1a)의 인쇄면에 잉크를 동시에 분사시켜 잉크 도포 시간을 단축시키게 된다.

잉크공급부(22)는 잉크 분사체(21)와 연동하여 잉크 분사체(21)에 잉크를 펌핑하여 공급하게 된다. 이 경우, 잉크는 공정에 따라 디스플레이 RGB 발광층 잉크, 기판층의 배선을 위한 전도성 잉크, 반도체의 도핑을 위한 도핑용 잉크 및, 절연층 형성을 위한 절연용 잉크등으로 다양하게 형성될 수 있다.

잉크모듈 이송부(23)는 잉크 분사체(21)가 장착되는 모듈베이스(23a), 모듈베이스(23a)를 일방향으로 이송시키는 엑추에이터구동부(23b) 및, 엑추에이터구동부(23b)를 제어하여 모듈베이스(23a)를 이송시킴으로써 잉크의 분사 위치를 제어하는 잉크 모듈 위치제어기(23c)를 포함한다. 이 경우, 엑추에이터구동부(23b)는 모듈베이스(23a)와 연동하여 모듈베이스(23a)를 1축 이상의 방향으로 이송시키는 리니어 모터나 리니어 엑추에이터로 구성될 수 있다. 본 실시예의 경우, 잉크모듈 이송부(23)는 모듈베이스(23a)를 1축으로 이송시키는 1축 이송장치로 예시하기로 한다. 여기서, 잉크모듈 이송부(23)에는 복수 개의 잉크 분사체(21)가 서로 간에 이격되어 배치될 수 있다. 또한, 잉크 모듈 위치제어기(23c)는 엔코더(24)로부터 펄스파(2a)를 입력받아 모듈베이스(23a)의 위치 정보를 획득하고, 엔코더(24)의 위치 정보를 토대로 엑추에이터구동부(23b)를 제어하여 잉크 분사체(21)의 위치를 제어하게 된다.

엔코더(24)는 잉크모듈 이송부(23) 주변에 장착되어 잉크 분사체(21)의 직선 이동 거리를 검출하게 된다. 본 실시예의 경우, 엔코더(24)는 잉크모듈 이송부(23)의 단위 이동 거리마다 이동 거리별 신호인 펄스파(2a)를 신호분배기(27)에 출력하게 된다. 예를 들면, 엔코더(24)는 잉크모듈 이송부(23)가 100nm마다 이동시에 1개의 펄스파(2a)를 출력시킬 수 있으며, 이때, 엔코더(24)에서 출력되는 펄스파(2a)의 간격은 잉크모듈 이송부(23)의 이송 속도가 1m/s인 경우 100ns에 해당된다. 이 경우, 엔코더(24)에서 출력되는 펄스파(2a)의 간격은 잉크모듈 이송부(23)의 이송 속도가 증가될수록 짧아지게 된다.

잉크토출 제어기(25)는 복수 개로 구성되어 잉크 분사체(21) 각각에 연결되며, 각각의 잉크 분사체(21)와 연동하여 잉크 분사체(21)에서 토출되는 잉크의 분사 타이밍을 조절하게 된다. 이 경우, 잉크토출 제어기(25)는 잉크의 분사 타이밍을 조절하기 위하여 신호분배기(27)로부터 예측으로 형성된 예측 펄스파(3a)를 입력받게 되고, 입력받은 예측 펄스파(3a)를 통해 잉크 분사체(21)의 위치를 획득하여, 잉크를 분사할 위치에서 잉크가 분사되도록 잉크 분사체(21)에 잉크 토출 명령을 전송하게 된다.

속도측정부(26)는 잉크모듈 이송부(23)에 설치되어 잉크 분사체(21)의 이동속도에 비례하는 속도 물리량을 검출하는 속도센서(미도시) 및 속도센서가 측정한 속도 물리량을 디지털 속도값으로 변환시키는 속도값 변환모듈(미도시)을 포함한다. 이 경우, 속도센서는 가속도센서, 레이져 변위센서 또는, 엔코딩형 센서와 같이 다양한 속도센서로 변형되어 실시될 수 있다. 이러한 속도측정부(26)는 잉크모듈 이송부(23)에 의해 이동하는 잉크 분사체(21)의 이동속도를 디지털 속도값으로 변환하여 신호분배기(27)에 전송하게 된다.

신호분배기(27)는 엔코더(24)와 복수 개의 잉크토출 제어기(25) 사이에 연결되며, 엔코더(24)에서 입력되는 이동 거리별 신호인 펄스파(2a)들의 간격들을 기록하고, 속도측정부(26)와 연동하여 디지털 속도값을 입력받아 기록하게 된다. 또한, 신호분배기(27)는 디지털 속도값의 등가속도 구간(5a)인지 등속도 구간(5b)인지를 구분하고, 속도 구간의 상태에 따라 엔코더(24)로부터 입력되는 펄스파(2a)의 초기값을 기준으로 예측 펄스파(3a)를 잉크토출 제어기(25)에 출력하게 된다. 예를 들면, 잉크 분사체(21)가 잉크모듈 이송부(23)에 의해 1m/s의 등속도로 이동하여 엔코더(24)에서 100ns의 간격에 대한 펄스파(2a)를 발생시키는 경우, 신호분배기(27)는 100ns 간격의 펄스파(2a)들이 생성되도록 엔코더(24)의 펄스파(2a)들 사이에 다른 펄스파(2b)가 더해진 예측 펄스파(3a)를 생성하여 잉크토출 제어기(25)에 출력하게 되고, 이때, 예측 펄스파(3a)들을 입력받은 잉크토출 제어기(25)는 예측 펄스파(3a)들의 입력 갯수를 카운팅하여 잉크 분사체(21)의 위치 정보를 획득하게 된다. 본 실시예의 경우, 예측 펄스파(3a)는 엔코더(24)의 펄스파(2a) 보다 2배의 분해능을 구현하여 프린터의 정밀도를 2배 향상시키는 것으로 예시한다. 하지만, 본 발명에서 예측 펄스파(3a)의 분해능을 2배로 한정하는 것은 아니며, 필요에 따라 배수를 가변하여 더축 정밀한 해상도를 구현할 수 있음은 물론이다. 한편, 잉크 분사체(21)가 잉크모듈 이송부(23)에 의해 10m/s²의 등가속도로 이동하여 엔코더(24)에서 최초 100ns의 간격에 대한 펄스파(2a)를 발생시키면서 펄스파(2a)의 간격이 등가속도의 기울기에 따라 비례적으로 줄어드는 경우, 신호분배기(27)는 최초 100ns 간격에 대한 예측 펄스파(3a)들을 출력시키되 간격이 등가속도의 기울기에 비례하여 2배수로 줄어드는 예측 펄스파(3a)들을 잉크토출 제어기(25)에 출력하게 된다. 이때, 등가속도의 기울기에 따라 비례적으로 줄어드는 예측 펄스파(3a)를 입력받은 잉크토출 제어기(25)는 예측 펄스파(3a)의 입력 갯수를 카운팅하여 잉크 분사체(21)의 위치 정보를 획득하게 된다.

이와 같이, 신호분배기(27)는 엔코더(24)에서 출력되는 펄스파(2a)를 대신하여 고분해능의 예측된 예측 펄스파(3a)를 잉크토출 제어기(25)로 전송하기 때문에, 복수 개의 잉크토출 제어기(25)에 엔코더(24)의 신호를 분배할 수 있고, 엔코더(24)의 펄스파(2a)보다 정밀한 예측 펄스파(3a)들에 의해 프린팅 해상도를 향상시킬 수 있게 되며, 엔코더(24)와 신호분배기(27) 사이에서 발생하는 노이즈를 무시할 수 있어 잉크 분사체(21)의 토출 타이밍에 대한 오차가 발생되지 않게 된다. 또한, 신호분배기(27)는 엔코더(24)에서 출력되는 펄스파(2a)를 대신하여 예측된 예측 펄스파(3a)를 출력하기 때문에, 엔코더(24)에서 펄스파(2a)가 누락되는 누락구간(2c)이나 펄스파(2a)가 중첩되는 중첩구간(2d)이 발생되어도 이를 보완할 수 있게 된다.

한편, 전술한 바와 같이, 신호분배기(27)는 엔코더(24)에서 출력되는 펄스파(2a)의 간격과 디지털 속도값을 기준으로 예측된 예측 펄스파(3a)를 발생시키는 방식을 구현함에 있어, 기저장된 속도 프로파일(5) 및 예측 펄스파 프로파일(6)을 이용할 수 도 있다. 여기서, 기저장된 속도 프로파일(5)은 잉크 분사체(21)가 이동시 사전에 설정된 등속도와 등가속도로 구동하는 데이타에 해당하며, 이 경우, 기저장된 속도 프로파일(5)은 등가속도 구간(5a)과 등속도 구간(5b)으로 나뉘어진다. 여기서, 신호분배기(27)는 속도 프로파일(5)과 대응하도록 예측 펄스파 프로파일(6)을 더 저장하여 이용하게 된다. 예를 들면, 신호분배기(27)는 잉크 분사체(21)의 디지털 속도값이 속도 프로파일(5) 내에서 1m/s의 등속도로 이동하는 등속도 구간(5b)에 해당하게 되면, 예측 펄스파 프로파일(6) 내에서 등속도 구간(5b)에 해당하는 예측 펄스파(3a)를 엔코더(24)의 펄스파(2a)보다 정밀한 간격으로 발생시키게 된다. 이와 마찬가지로, 신호분배기(27)는 잉크 분사체(21)의 디지털 속도값이 속도 프로파일(5) 내에서 등가속도 구간(5a)에 해당하게 되면, 예측 펄스파 프로파일(6) 내에서 등가속도 구간(5a)에 해당하는 예측 펄스파(3a)를 발생시키게 된다. 이 경우, 등가속도 구간(5a)에서는 엔코더(24)에서 출력되는 펄스파(2a)보다 고분해능의 예측 펄스파(3a)를 발생시킬 수 있다.

따라서, 신호분배기(27)는 기저장된 속도 프로파일(5)과 예측 펄스파 프로파일(6)을 이용하여 속도에 따라 예측된 예측 펄스파(3a)를 잉크토출 제어기(25)로 전송하기 때문에, 복수 개의 잉크토출 제어기(25)에 엔코더(24)의 신호를 분배할 수 있고, 엔코더(24)의 펄스파(2a)보다 정밀한 예측 펄스파(3a)들을 발생시켜 프린팅 해상도를 향상시킬 수 있게 되며, 엔코더(24)와 신호분배기(27) 사이에서 발생하는 노이즈를 무시할 수 있을 뿐더러 엔코더(24)에서 펄스파(2a)가 누락되더라도 예측 펄스파(3a)가 발생되기 때문에 잉크 분사체(21)의 토출 타이밍에 대한 오차가 발생되지 않게 된다.

이하에서는 전술한 바와 같은 기판 처리 장치의 제어 방법에 대해 설명하기로 한다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치 제어 방법의 순서도이다.

도 3을 더 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치 제어 방법은 이송물 이송단계(S10), 잉크 분사체 이송단계(S20), 엔코더 신호출력단계(S30), 속도 측정단계(S40), 신호분배기 신호 변환단계(S50), 신호 분배 단계(S60) 및, 잉크 토출 제어단계(S70)를 포함한다.

먼저, 이송물 이송단계(S10)에서는 기판이송부(10)에 안착된 이송물(1a)인 디스플레이 기판을 베이스 제어부(13)의 기설정된 명령으로 이송시켜 잉크 분사체(21)에 하부 가운데 특정 위치에 이송물(1a)인 디스플레이 기판을 배치시키게 된다.

다음, 잉크 분사체 이송단계(S20)에서는 디스플레이 기판의 상부에 배치된 잉크 분사체(21)를 잉크모듈 이송부(23)가 이송시키게 된다.

다음, 엔코더 신호출력단계(S30)에서는 잉크 분사체(21)의 이동시 이동 거리마다 이동신호인 펄스파(2a)를 출력하게 된다. 예를 들면, 전술한 바와 같이, 엔코더(24)에서는 잉크모듈 이송부(23)가 구동되어 잉크 분사체(21)가 100nm마다 이동시에 1개의 펄스파(2a)를 출력하게 된다.

다음, 속도 측정단계(S40)에서는 속도측정부(26)가 잉크 분사체(21)의 이동 속도를 측정하여 디지털 속도값으로 변환하고, 변환된 디지털 속도값을 신호분배기(27)로 전송하게 된다.

다음, 신호분배기 신호 변환단계(S50)에서는 신호분배기(27)가 엔코더(24)에서 입력되는 이동 거리별 신호인 펄스파(2a)들의 간격들을 기록하고, 속도측정부(26)와 연동하여 디지털 속도값을 입력받아 기록하며, 디지털 속도값을 통해 등가속도 구간(5a)인지와 등속도 구간(5b)인지를 구분하고, 각각의 속도 구간에서 엔코더(24)로부터 입력되는 초기 펄스파를 기준으로 예측 펄스파(3a)를 생성하게 된다. 예를 들면, 신호분배기(27)에서는 전술한 바와 같이, 잉크 분사체(21)가 1m/s의 등속도로 이동하여 엔코더(24)에서 100ns의 간격에 대한 펄스파(2a)를 발생시키는 경우, 100ns 간격들로 예측 펄스파들을 생성하거나 엔코더(24)의 펄스파(2a)들 사이에 다른 펄스파(2a)들이 더해져 정밀한 예측 펄스파(3a)들을 생성하고, 잉크 분사체(21)가 10m/s²의 등가속도로 이동하는 경우, 신호분배기(27)는 등가속도의 기울기에 비례하여 엔코더(24)의 펄스파(2a)보다 간격이 더욱 줄어드는 예측 펄스파(3a)들을 생성하게 된다.

또한, 신호분배기 신호 변환단계(S50)에서는 전술한 바와 같이, 기저장된 속도 프로파일(5)과 예측 펄스파 프로파일(6)을 이용하여 예측 펄스파(3a)들을 생성할 수 도 있다. 예를 들면, 신호분배기(27)는 잉크 분사체(21)의 디지털 속도값이 속도 프로파일(5) 내에서 1m/s의 등속도로 이동하는 등속도 구간(5b)에 해당하게 되면, 예측 펄스파 프로파일(6) 내에서 등속도 구간(5b)에 해당하는 예측 펄스파(3a)들을 발생시키고, 잉크 분사체(21)의 디지털 속도값이 속도 프로파일(5) 내에서 등가속도 구간(5a)에 해당하게 되면, 예측 펄스파 프로파일(6) 내에서 등가속도 구간(5a)에 해당하는 예측 펄스파(3a)를 발생시키게 된다.

다음, 신호 분배 단계(S60)에서는 신호분배기(27)에서 예측 펄스파(3a)들을 각각의 잉크토출 제어기(25)에 출력하여 분배하고, 예측 펄스파(3a)들을 입력받은 잉크토출 제어기(25)에서 예측 펄스파(3a)들의 간격과 카운팅 횟수를 토대로 잉크 분사체(21)의 위치를 확인하게 된다.

다음, 잉크 토출 제어단계(S70)에서는 잉크토출 제어기(25)에서 입력된 예측 펄스파(3a)들의 카운팅 횟수만큼 잉크 분사체(21)의 위치 정보를 조정하여 설정하고, 해당 위치가 잉크가 분사될 위치인 경우에 해당하게 되면 잉크 분사체(21)에서 잉크를 분사하도록 분사 명령을 전송하고, 잉크가 분사되지 않을 위치에 해당하지 않게 되면 분사 명령을 전송하지 않게 된다.

이와 같이 하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치 제어 방법은 신호분배기(27)가 엔코더(24)의 이동신호와 디지털 속도값을 바탕으로 예측 펄스파(3a)를 잉크토출 제어기(25)로 출력함으로써, 복수 개의 잉크토출 제어기(25)에 이동신호를 분배할 수 있고, 엔코더(24)의 펄스파(2a)보다 정밀한 예측 펄스파(3a)들을 발생시켜 프린팅 해상도를 향상시킬 수 있게 되며, 나아가, 엔코더(24)와 신호분배기(27) 사이에서 발생하는 노이즈를 무시할 수 있을 뿐더러, 엔코더(24)에서 펄스파(2a)가 누락되거나 중첩되더라도 예측 펄스파(3a)가 발생되기 때문에 잉크 분사체(21)의 토출 타이밍에 대한 오차가 발생되지 않도록 하게 된다.

이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.

따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.

1a : 이송물 2a : 펄스파
3a : 예측 펄스파 5 : 속도 프로파일
5a : 등가속도 구간 5b : 등속도 구간
6 : 예측 펄스파 프로파일 10 : 기판이송부
11 : 이송베이스 12 : 이송엑추에이터 구동부
13 : 베이스 제어부 20 : 제팅 시스템부
21 : 잉크 분사체 22 : 잉크공급부
23 : 잉크모듈 이송부 23a : 모듈베이스
23b : 엑추에이터구동부 23c : 잉크 모듈 위치제어기
24 : 엔코더 25 : 잉크토출 제어기
26 : 속도측정부 27 : 신호분배기

Claims (20)

1. 이송물이 안착되는 기판이송부; 및,
   상기 기판이송부의 상부면에서 상기 이송물에 잉크를 분사하여 인쇄하는 잉크 분사체, 상기 잉크 분사체를 이송시키는 잉크모듈 이송부, 상기 잉크 분사체와 연동하여 상기 잉크 분사체의 잉크 분사 타이밍을 제어하는 잉크토출 제어기, 상기 잉크 분사체의 이동속도를 특정하는 속도측정부 및, 상기 속도측정부와 연동하여 상기 잉크 분사체의 이동속도를 입력받아 상기 이동속도에 따라 예측된 예측 이동신호를 상기 잉크토출 제어기로 전송하는 신호분배기를 포함하는 제팅 시스템부; 를 포함하는, 기판 처리 장치.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 제팅 시스템부는 상기 잉크모듈 이송부의 주변에 배치되어 잉크모듈 이송부의 단위 이동 거리마다 이동신호를 출력하는 엔코더를 더 포함하며,
   상기 신호분배기는 상기 엔코더에서 출력되는 이동신호의 초기값을 기준으로 예측 펄스파를 생성하여 상기 잉크토출 제어기에 전송하는, 기판 처리 장치.
   
3. 제1항에 있어서,
   상기 신호분배기는 상기 잉크 분사체의 이동에 관한 속도 프로파일 및 상기 속도 프로파일의 속도에 따라 예측된 예측 펄스파가 발생되도록 하는 예측 펄스파 프로파일을 이용하는, 기판 처리 장치.
   
4. 제3항에 있어서,
   상기 속도 프로파일은 등가속도 구간과 등속도 구간으로 나누어지며, 상기 등속도 구간에서는 동일한 간격의 예측 펄스파가 상기 잉크토출 제어기로 전송되는, 기판 처리 장치.
   
5. 제4항에 있어서,
   상기 등가속도 구간에서는 상기 등가속도 구간의 기울기에 비례하여 간격이 좁아지는 예측 펄스파가 상기 잉크토출 제어기로 전송되는, 기판 처리 장치.
   
6. 제3항에 있어서,
   상기 잉크 분사체 및 상기 잉크토출 제어기는 복수 개가 연동하여 잉크를 분사하며,
   상기 신호분배기는 상기 복수 개의 상기 잉크토출 제어기 각각에 상기 예측 펄스파를 출력하는, 기판 처리 장치.
   
7. 제3항에 있어서,
   상기 잉크토출 제어기는 상기 예측 펄스파의 입력 갯수를 카운팅하여 잉크 분사체의 위치 정보를 획득하는, 기판 처리 장치.
   
8. 제1항에 있어서,
   상기 잉크모듈 이송부는 상기 잉크 분사체가 장착되는 모듈베이스, 상기 모듈베이스를 일방향으로 이송시키는 엑추에이터구동부 및, 상기 엑추에이터구동부를 제어하여 상기 모듈베이스를 이송시킴으로써 잉크의 분사 위치를 제어하는 잉크 모듈 위치제어기를 포함하는, 기판 처리 장치.
   
9. 제8항에 있어서,
   상기 잉크 모듈 위치제어기는 상기 엔코더와 연동하여 상기 엔코더로부터 상기 모듈베이스의 위치 정보를 획득하는, 기판 처리 장치.
   
10. 제1항에 있어서,
    상기 기판이송부는 기설정된 작업 명령에 따라 상기 이송물을 이송시키는 베이스 제어부; 를 더 포함하는, 기판 처리 장치.
    
11. 이송물의 상부에 배치된 잉크 분사체를 잉크모듈 이송부가 이송시키는 잉크 분사체 이송단계;
    속도측정부가 잉크 분사체의 이동 속도를 측정하여 디지털 속도값으로 변환하고, 변환된 디지털 속도값을 신호분배기로 전송하는 속도 측정단계;
    신호분배기가 디지털 속도값에 대응하여 변화되는 예측 이동신호를 생성하는 신호분배기 신호 변환단계;
    상기 신호분배기에서 예측된 이동신호를 상기 잉크토출 제어기에 출력하여 분배하고, 잉크토출 제어기에서 예측된 예측 이동신호를 토대로 상기 잉크 분사체의 위치를 확인하는 신호 분배 단계; 및,
    상기 잉크토출 제어기에서 예측 이동신호를 토대로 상기 잉크 분사체의 위치 정보를 조정하여 설정하고, 조정된 위치가 잉크 분사 위치에 해당하는 경우 상기 잉크 분사체에서 잉크를 분사하도록 분사 명령을 전송하는 잉크 토출 제어단계; 를 포함하는, 기판 처리 장치 제어 방법.
    
12. 제11항에 있어서,
    상기 신호분배기 신호 변환단계 전 단계에서는
    상기 잉크모듈 이송부의 이동시 단위 이동 거리마다 엔코더에서 이동신호를 출력하는 엔코더 신호출력단계; 를 더 포함하며,
    상기 신호분배기 신호 변환단계에서는 상기 엔코더에서 출력되는 이동신호의 초기값을 기준으로 예측 펄스파를 생성하여 상기 잉크토출 제어기에 전송하는, 기판 처리 장치 제어 방법.
    
13. 제11항에 있어서,
    상기 신호분배기 신호 변환단계에서는 상기 신호분배기가 상기 잉크 분사체의 이동에 관한 속도 프로파일 및 상기 속도 프로파일의 속도에 따라 예측된 예측 펄스파가 발생되도록 하는 예측 펄스파 프로파일을 이용하는, 기판 처리 장치 제어 방법.
    
14. 제13항에 있어서,
    상기 속도 프로파일은 등가속도 구간과 등속도 구간으로 나누어지며, 상기 등속도 구간에서는 동일한 간격의 예측 펄스파가 상기 잉크토출 제어기로 전송되는, 기판 처리 장치 제어 방법.
    
15. 제14항에 있어서,
    상기 등가속도 구간에서는 상기 등가속도 구간의 기울기에 비례하여 간격이 좁아지는 예측 펄스파가 상기 잉크토출 제어기로 전송되는, 기판 처리 장치 제어 방법.
    
16. 제11항에 있어서,
    상기 신호 분배 단계에서는 복수 개의 잉크토출 제어기 각각에 상기 예측 이동신호를 출력하는, 기판 처리 장치 제어 방법.
    
17. 제11항에 있어서,
    상기 잉크모듈 이송부는 상기 잉크 분사체가 장착되는 모듈베이스, 상기 모듈베이스를 일방향으로 이송시키는 엑추에이터구동부 및, 상기 엑추에이터구동부를 제어하여 상기 모듈베이스를 이송시킴으로써 잉크의 분사 위치를 제어하는 잉크 모듈 위치제어기를 포함하는, 기판 처리 장치 제어 방법.
    
18. 제17항에 있어서,
    상기 잉크 모듈 위치제어기는 엔코더와 연동하여 상기 엔코더로부터 상기 모듈베이스의 위치 정보를 획득하는, 기판 처리 장치.
    
19. 제11항에 있어서,
    상기 잉크 분사체 이송단계의 전 단계에서는 상기 기판이송부에 안착된 이송물을 베이스 제어부의 기설정된 명령으로 이송시켜 잉크 분사체에 하부 가운데 특정 위치에 배치시키는 이송물 이송단계; 를 더 포함하는, 기판 처리 장치 제어 방법.
    
20. 이송물이 안착되는 기판이송부; 및,
    상기 기판이송부의 상부면에서 상기 이송물에 잉크를 분사하여 인쇄하는 잉크 분사체, 상기 잉크 분사체를 이송시키는 잉크모듈 이송부, 상기 잉크 분사체와 연동하여 상기 잉크 분사체의 잉크 분사 타이밍을 제어하는 잉크토출 제어기, 상기 잉크 분사체의 이동속도를 특정하는 속도측정부 및, 상기 속도측정부와 연동하여 상기 잉크 분사체의 이동속도를 입력받아 상기 이동속도에 따라 예측된 예측 이동신호를 상기 잉크토출 제어기로 전송하는 신호분배기를 포함하는 제팅 시스템부; 를 포함하며,
    상기 제팅 시스템부는 상기 잉크모듈 이송부의 주변에 배치되어 잉크모듈 이송부의 단위 이동 거리마다 이동신호를 출력하는 엔코더를 더 포함하며,
    상기 신호분배기는 상기 엔코더에서 출력되는 이동신호의 초기값을 기준으로 예측 펄스파를 생성하여 상기 잉크토출 제어기에 전송하고,
    상기 신호분배기는 상기 잉크 분사체의 이동에 관한 속도 프로파일 및 상기 속도 프로파일의 속도에 따라 예측된 예측 펄스파가 발생되도록 하는 예측 펄스파 프로파일을 이용하며,
    상기 속도 프로파일은 등가속도 구간과 등속도 구간으로 나누어지며, 상기 등속도 구간에서는 동일한 간격의 예측 펄스파가 상기 잉크토출 제어기로 전송되고,
    상기 등가속도 구간에서는 상기 등가속도 구간의 기울기에 비례하여 간격이 좁아지는 예측 펄스파가 상기 잉크토출 제어기로 전송되며,
    상기 잉크 분사체 및 상기 잉크토출 제어기는 복수 개가 연동하여 잉크를 분사하며,
    상기 신호분배기는 상기 복수 개의 상기 잉크토출 제어기 각각에 상기 예측 펄스파를 출력하고,
    상기 잉크토출 제어기는 상기 예측 펄스파의 입력 갯수를 카운팅하여 잉크 분사체의 위치 정보를 획득하며,
    상기 잉크모듈 이송부는 상기 잉크 분사체가 장착되는 모듈베이스, 상기 모듈베이스를 일방향으로 이송시키는 엑추에이터구동부 및, 상기 엑추에이터구동부를 제어하여 상기 모듈베이스를 이송시킴으로써 잉크의 분사 위치를 제어하는 잉크 모듈 위치제어기를 포함하고,
    상기 잉크 모듈 위치제어기는 상기 엔코더와 연동하여 상기 엔코더로부터 상기 모듈베이스의 위치 정보를 획득하며,
    상기 기판이송부는 기설정된 작업 명령에 따라 상기 이송물을 이송시키는 베이스 제어부; 를 더 포함하는, 기판 처리 장치.

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