KR20230100570A - 발광 표시 장치 - Google Patents

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KR20230100570A
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최한솔
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Abstract

본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치는, 기판 위에 배치된 보조 전원 전극을 갖는 회로층, 상기 회로층을 덮는 제1 보호층, 상기 제1 보호층과 상기 보조 전원 전극 사이에 배치된 제2 보호층, 상기 제1 보호층과 상기 제2 보호층을 관통하여 상기 보조 전원 전극의 일부분을 노출시키는 컨택부, 및 상기 컨택부 주변의 상기 제1 보호층과 상기 제2 보호층 사이의 단차 영역에 배치된 단차 커버 패턴을 포함할 수 있다.

Description

발광 표시 장치{LIGHT EMITTING DISPLAY DEVICE}
본 명세서는 발광 표시 장치에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 화상을 표시하기 위한 표시 장치에 대한 요구가 다양한 형태로 증가하고 있다. 이에 따라, 근래에는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display; LCD), 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display; OLED), 마이크로 엘이디 표시 장치(Micro Light Emitting Diode; Micro LED Display), 양자점 표시 장치(Quantum Dot Display; QD) 등과 같은 표시 장치가 활용되고 있다.
이들 표시 장치 중에서 발광 표시 장치는 발광층의 재료에 따라 무기 발광 표시 장치와 유기 발광 표시 장치로 대별된다. 예를 들어, 유기 발광 표시 장치는 자체 발광형(self-luminance)으로서, 정공(hole) 주입을 위한 애노드 전극과 전자(electron) 주입을 위한 캐소드 전극으로부터 각각 정공과 전자를 발광층 내부로 주입시켜, 주입된 정공과 전자가 결합한 엑시톤(exiton)이 여기 상태로부터 기저 상태로 떨어질 때 발광하여 영상을 표시할 수 있다.
이러한 발광 표시 장치는 빛이 방출되는 방향에 따라서 상부 발광(top emission) 방식, 하부 발광(bottom emission) 방식, 또는 양면 발광(dual emission) 방식 등으로 나누어질 수 있다.
이 중 상부 발광 방식의 발광 표시 장치의 경우, 발광층에서 발광된 빛을 상부로 발광시키기 위해 캐소드로서 투명 특성의 전극 또는 반투과 특성의 전극을 사용한다. 이러한 캐소드 전극은 투과율을 향상시키기 위해 두께를 얇게 형성하며, 이로 인해 전기적 저항이 커지게 된다. 특히, 대면적의 발광 표시 장치의 경우, 전압 공급 패드부로부터 멀어질수록 전압 강하가 더 심하게 발생하여 발광 표시 장치의 휘도 불균일 문제가 발생될 수 있다.
이러한 캐소드 전극의 저항 증가에 의한 전압 강하를 해결하기 위해, 캐소드 전극에 별도의 보조 전극을 전기적으로 연결시킬 수 있도록 언더컷 형상을 갖는 캐소드 컨택 구조가 제안되고 있다.
이상 설명한 배경기술의 내용은 본 명세서의 발명자가 본 명세서의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 명세서의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 명세서의 명세서 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.
그런데, 캐소드 컨택 구조는 컨택 영역을 형성하는 서로 다른 물질층 간의 계면에 단차를 가질 수 있고, 언더컷 구조물에서는 접착력 저하로 인한 박리 현상이 발생될 수 있다. 언더컷 구조물의 박리 방지를 위해서, 서로 다른 물질층 사이에 더미 전극을 배치하도록 구현하였으나, 더미 전극을 패터닝하는 과정에서 발생된 금속 이물이 컨택 영역 내의 단차에 존재하게 되면서, 이후 공정에서 증착될 물질의 커버리지 특성을 저하시키는 문제가 있다.
또한, 언더컷 구조물의 박리 방지를 위해서, 접착 특성이 상대적으로 우수한 오버코트층과 패시베이션층을 이용하여 언더컷 구조물을 구현하였는데, 언더컷 구조물을 패터닝하는 과정에서 오버코트층 패턴의 가장자리 부분이 들뜨는 현상이 발생하게 되면서, 언더컷 구조물의 패터닝 시간과 에칭 면적이 증가되는 문제가 있다.
본 명세서는 캐소드 컨택 구조에서 컨택 영역 주변의 금속 이물을 커버하여, 이물에 의한 불량 확산을 방지할 수 있는 발광 표시 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
또한, 본 명세서는 캐소드 컨택 구조에서 컨택 영역 주변의 다른 물질층 간의 단차를 줄일 수 있는 발광 표시 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
또한, 본 명세서는 캐소드 컨택 구조에서 언더컷 구조물의 패터닝을 위한 시간 및 에칭 면적을 줄일 수 있는 발광 표시 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
위에서 언급된 본 명세서의 과제 외에도, 본 명세서의 다른 특징 및 이점들이 이하에서 기술되거나, 그러한 기술 및 설명으로부터 본 명세서의 기술적 사상이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치는, 기판 위에 배치된 보조 전원 전극을 갖는 회로층, 상기 회로층을 덮는 제1 보호층, 상기 제1 보호층과 상기 보조 전원 전극 사이에 배치된 제2 보호층, 상기 제1 보호층과 상기 제2 보호층을 관통하여 상기 보조 전원 전극의 일부분을 노출시키는 컨택부, 및 상기 컨택부 주변의 상기 제1 보호층과 상기 제2 보호층 사이의 단차 영역에 배치된 단차 커버 패턴을 포함할 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치는, 기판 위에 배치된 박막 트랜지스터와 보조 전원 전극을 갖는 회로층, 상기 회로층을 덮는 제1 보호층, 상기 제1 보호층과 상기 보조 전원 전극 사이에 배치된 제2 보호층, 상기 제1 보호층 위에 배치되고 상기 박막 트랜지스터에 연결된 픽셀 전극, 상기 제1 보호층 위에 배치되고 상기 픽셀 전극 상의 개구부를 정의하는 뱅크층, 상기 제1 보호층 및 상기 제2 보호층과 상기 뱅크층을 관통하여 상기 보조 전원 전극의 일부분을 노출시키는 컨택부, 상기 픽셀 전극 및 상기 뱅크층 위에 배치된 발광층, 상기 발광층 위에 배치되고 상기 컨택부에서 상기 보조 전원 전극에 결합된 공통 전극, 및 상기 컨택부 주변의 상기 제1 보호층과 상기 제2 보호층 사이의 단차 영역에 배치된 단차 커버 패턴을 포함할 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치는, 기판 위에 배치된 보조 전원 전극을 갖는 회로층, 상기 회로층을 덮는 제1 보호층, 상기 제1 보호층과 상기 보조 전원 전극 사이에 배치된 제2 보호층, 상기 제1 보호층과 상기 제2 보호층을 관통하여 상기 보조 전원 전극의 일부분을 노출시키는 컨택부, 상기 보조 전원 전극의 일부분 위에 배치된 처마 구조부, 및 상기 처마 구조부의 측면에 있는 확장 커버 패턴을 포함할 수 있다.
본 명세서에 따른 발광 표시 장치는 캐소드 컨택 구조에서 컨택 영역 주변의 다른 물질층 간의 단차 영역을 커버할 수 있는 커버 패턴을 형성함으로써, 이후 공정에서 증착된 물질의 커버리지 특성을 향상시킬 수 있고, 금속 이물의 커버를 통해 불량의 확산을 방지할 수 있어 장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 명세서에 따른 발광 표시 장치는 캐소드 컨택 구조에서 언더컷 구조물을 접착 특성이 우수한 오버코트층과 패시베이션층을 이용하여 형성하고, 언더컷 구조물의 처마 구조에 해당되는 오버코트층 패턴의 가장자리에 커버 패턴을 형성함으로써, 언더컷 구조물의 패터닝 시간과 에칭 면적을 줄일 수 있어 공정 시간 및 비용을 감소시키면서 표시 장치의 고해상도와 대면적화를 가능하게 할 수 있다.
위에서 언급된 본 명세서의 효과 외에도, 본 명세서의 다른 특징 및 이점들이 이하에서 기술되거나, 그러한 기술 및 설명으로부터 본 명세서가 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치를 개략적으로 나타낸 블록도이다.
도 2는 본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에서 서브 픽셀들의 제1 전극, 뱅크 및 컨택부를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 도 2의 선 Ⅰ-Ⅰ'에 따른 본 명세서의 일 실시예에 따른 발광 표시 장치를 나타낸 단면도이다.
도 4a는 본 명세서의 일 실시예에 따른 도 3의 A 부분에 도시된 컨택 영역을 나타낸 평면도이다.
도 4b는 도 4a의 선 Ⅱ-Ⅱ'의 단면도이다.
도 5a는 본 명세서의 다른 실시예에 따른 도 3의 A 부분에 도시된 컨택 영역을 나타낸 평면도이다.
도 5b는 도 5a의 선 Ⅲ-Ⅲ'의 단면도이다.
도 6은 본 명세서의 다른 실시예에 따른 도 3의 A 부분에 도시된 컨택 영역을 나타낸 평면도이다.
도 7은 도 2의 선 Ⅰ-Ⅰ'에 따른 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치를 나타낸 단면도이다.
도 8a는 본 명세서의 다른 실시예에 따른 도 7의 B 부분에 도시된 컨택 영역을 나타낸 평면도이다.
도 8b는 도 8a의 선 Ⅳ-Ⅳ'의 단면도이다.
도 9a는 본 명세서의 다른 실시예에 따른 도 7의 B 부분에 도시된 컨택 영역을 나타낸 평면도이다.
도 9b는 도 9a의 선 Ⅴ-Ⅴ'의 단면도이다.
도 10은 본 명세서의 다른 실시예에 따른 도 7의 B 부분에 도시된 컨택 영역을 나타낸 평면도이다.
도 11a는 본 명세서의 또 다른 실시예에 따른 도 7의 B 부분에 도시된 컨택 영역을 나타낸 평면도이다.
도 11b는 도 11a의 선 Ⅵ-Ⅵ'의 단면도이다.
도 12a는 본 명세서의 또 다른 실시예에 따른 도 7의 B 부분에 도시된 컨택 영역을 나타낸 평면도이다.
도 12b는 도 12a의 선 Ⅶ-Ⅶ'의 단면도이다.
도 13은 본 명세서의 또 다른 실시예에 따른 언더컷 구조물을 형성하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
본 명세서의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 다양한 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 명세서는 이하에서 개시되는 다양한 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 명세서의 다양한 예들은 본 명세서의 개시가 완전하도록 하며, 본 명세서의 기술적 사상이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 명세서의 기술적 사상의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 명세서의 예는 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
본 명세서의 다양한 예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 명세서의 도면에 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 명세서의 예를 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
본 명세서에서 언급된 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.
구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.
위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.
시간 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~후에', '~에 이어서', '~다음에', '~전에' 등으로 시간적 선후 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 연속적이지 않은 경우도 포함할 수 있다.
제 1, 제 2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제 1 구성요소는 본 명세서의 기술적 사상 내에서 제 2 구성요소일 수도 있다.
"제1 수평 축 방향", "제2 수평 축 방향" 및 "수직 축 방향"은 서로 간의 관계가 수직으로 이루어진 기하학적인 관계만으로 해석되어서는 아니 되며, 본 명세서의 구성이 기능적으로 작용할 수 있는 범위 내에서보다 넓은 방향성을 가지는 것을 의미할 수 있다.
"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제 1 항목, 제 2 항목 및 제 3 항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제 1 항목, 제 2 항목 또는 제 3 항목 각각 뿐만 아니라 제 1 항목, 제 2 항목 및 제 3 항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미할 수 있다.
본 명세서의 여러 예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시할 수도 있다.
이하에서는 본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치의 바람직한 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가질 수 있다. 그리고, 첨부된 도면에 도시된 구성요소들의 스케일은 설명의 편의를 위해 실제와 다른 스케일을 가지므로, 도면에 도시된 스케일에 한정되지 않는다.
도 1은 본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치를 개략적으로 나타낸 블록도이다.
도 1을 참조하면, 본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 표시 패널(110), 영상 처리부(120), 타이밍 제어부(130), 데이터 구동부(140), 스캔 구동부(150), 및 전원 공급부(160)를 포함할 수 있다.
표시 패널(110)은 데이터 구동부(140)로부터 공급된 데이터신호(DATA)와 스캔 구동부(150)로부터 공급된 스캔 신호 그리고 전원 공급부(160)로부터 공급된 전원에 대응하여 영상을 표시할 수 있다.
표시 패널(110)은 복수의 게이트 라인(GL)과 복수의 데이터 라인(DL)의 교차영역마다 배치된 서브 픽셀(SP)을 포함할 수 있다. 서브 픽셀(SP)의 구조는 표시 장치(100)의 종류에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
예를 들면, 서브 픽셀들(SP)은 구조에 따라 상부 발광(top emission) 방식, 하부 발광(bottom emission) 방식, 또는 양면 발광(dual emission) 방식으로 형성될 수 있다. 서브 픽셀들(SP)은 특정한 종류의 컬러필터가 형성되거나, 컬러필터가 형성되지 않고 자체의 색상을 발광할 수 있는 단위를 의미한다. 예를 들어, 서브 픽셀들(SP)은 적색 서브 픽셀, 녹색 서브 픽셀 및 청색 서브 픽셀을 포함할 수 있다. 또는, 서브 픽셀(SP)은 적색 서브 픽셀, 청색 서브 픽셀, 백색 서브 픽셀 및 녹색 서브 픽셀을 포함할 수 있다. 서브 픽셀들(SP)은 발광 특성에 따라 하나 이상의 다른 발광 면적을 가질 수 있다.
하나 이상의 서브 픽셀들(SP)은 하나의 단위 픽셀(pixel)을 이룰 수 있다. 예들 들면, 하나의 단위 픽셀은 적색, 녹색, 및 청색 서브 픽셀들을 포함할 수 있고, 적색, 녹색 및 청색 서브 픽셀들이 반복 배치될 수 있다. 또는, 하나의 단위 픽셀은 적색, 녹색, 청색 및 백색 서브 픽셀들을 포함할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색 서브 픽셀들이 반복 배치되거나, 적색, 녹색, 청색 및 백색 서브 픽셀들이 쿼드(quad) 타입으로 배치될 수 있다. 본 명세서에 따른 실시예에서 서브 픽셀들의 컬러 타입, 배치 타입, 배치 순서 등은 발광 특성, 소자의 수명, 장치의 스펙(spec) 등에 따라 다양한 형태로 구성될 수 있는 바 이에 한정되지 않는다.
표시 패널(110)은 서브 픽셀(SP)들이 배치되어 영상을 표시하는 표시 영역(AA)과 표시 영역(AA) 주변의 비표시 영역(NA)으로 구분할 수 있다. 스캔 구동부(150)는 표시 패널(110)의 비표시 영역(NA)에 실장될 수 있다. 또한, 비표시 영역(NA)에는 패드 영역을 포함할 수 있다.
영상 처리부(120)는 외부로부터 공급된 데이터신호(DATA)와 더불어 데이터 인에이블 신호(DE) 등을 출력할 수 있다. 영상 처리부(120)는 데이터 인에이블 신호(DE) 외에도 수직 동기신호, 수평 동기신호 및 클럭신호 중 하나 이상을 출력할 수 있으나 이 신호들은 설명의 편의상 생략 도시한다.
타이밍 제어부(130)는 영상 처리부(120)로부터 구동신호와 더불어 데이터신호(DATA)를 공급받을 수 있다. 구동 신호는 데이터 인에이블 신호(DE)를 포함할 수 있다. 또는, 구동 신호는 수직 동기신호, 수평 동기신호 및 클럭신호를 포함할 수 있다. 타이밍 제어부(130)는 구동신호에 기초하여 데이터 구동부(140)의 동작 타이밍을 제어하기 위한 데이터 타이밍 제어신호(DDC)와 스캔 구동부(150)의 동작 타이밍을 제어하기 위한 게이트 타이밍 제어신호(GDC)를 출력할 수 있다.
데이터 구동부(140)는 타이밍 제어부(130)로부터 공급된 데이터 타이밍 제어신호(DDC)에 응답하여 타이밍 제어부(130)로부터 공급되는 데이터신호(DATA)를 샘플링하고 래치하여 감마 기준전압으로 변환하여 출력할 수 있다.
데이터 구동부(140)는 데이터 라인들(DL)을 통해 데이터신호(DATA)를 출력할 수 있다. 데이터 구동부(140)는 IC(Integrated Circuit) 형태로 구현될 수 있다. 예를 들어, 데이터 구동부(140)는 표시 패널(110)의 비표시 영역(NA)에 배치된 패드 영역과 연성 회로 필름을 통해 전기적으로 연결될 수 있다.
스캔 구동부(150)는 타이밍 제어부(130)로부터 공급된 게이트 타이밍 제어신호(GDC)에 응답하여 스캔 신호를 출력할 수 있다. 스캔 구동부(150)는 게이트 라인들(GL)을 통해 스캔 신호를 출력할 수 있다. 스캔 구동부(150)는 IC(Integrated Circuit) 형태로 구현되거나 표시 패널(110)에 게이트 인 패널(Gate In Panel; GIP) 방식으로 구현될 수 있다.
전원 공급부(160)는 표시 패널(110)을 구동하기 위한 고전위전압 및 저전위전압 등을 출력할 수 있다. 전원 공급부(160)는 고전위전압을 제1 전원 라인(EVDD)(구동 전원 라인 또는 픽셀 전원 라인)을 통해 표시 패널(110)에 공급할 수 있고, 저전위전압을 제2 전원 라인(EVSS)(보조 전원 라인 또는 공통 전원 라인)을 통해 표시 패널(110)에 공급할 수 있다.
도 2는 본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에서 서브 픽셀들의 제1 전극, 뱅크 및 컨택부를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2를 도 1을 결부하여 참조하면, 본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)의 표시 패널(110)은, 표시 영역(AA)과 비표시 영역(NA)으로 구분되며, 표시 영역(AA) 내의 기판 상에 서로 교차하여 매트릭스 형태로 형성되는 게이트 라인(GL)과 데이터 라인(DL)에 의해 정의되는 복수의 서브 픽셀들(SP1, SP2, SP3, SP4)을 포함할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이, 복수의 서브 픽셀들(SP1, SP2, SP3, SP4)은 제1 서브 픽셀(SP1), 제2 서브 픽셀(SP2), 제3 서브 픽셀(SP3) 및 제4 서브 픽셀(SP4)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 서브 픽셀(SP1)은 적색 광을 방출할 수 있고, 제2 서브 픽셀(SP2)은 녹색 광을 방출할 수 있고, 제3 서브 픽셀(SP3)은 청색 광을 방출할 수 있고, 제4 서브 픽셀(SP4)은 백색 광을 방출할 수 있지만, 백색 광을 방출하는 제4 서브 픽셀(SP4)은 생략될 수 있고, 적색(red) 광, 녹색(green) 광, 청색(blue) 광, 황색(yellow) 광, 자홍색(magenta) 광, 및 청록색(cyan) 광 중에서 적어도 두 개 이상의 광을 방출하는 서브 픽셀들로 구성될 수도 있다. 또한, 복수의 서브 픽셀들(SP1, SP2, SP3, SP4)은 특정한 종류의 컬러필터가 형성되거나, 컬러필터가 형성되지 않고 자체의 색상을 발광할 수 있다. 하지만, 본 명세서가 반드시 이에 한정되지는 않으며, 서브 픽셀들(SP1, SP2, SP3, SP4)의 컬러 타입, 배치 타입, 및 배치 순서 등은 발광 특성, 소자의 수명, 및 장치의 스펙(spec) 등에 따라 다양한 형태로 구성될 수 있다.
복수의 서브 픽셀들(SP1, SP2, SP3, SP4) 각각에는 픽셀 전극(PXL)(애노드 전극 또는 제1 전극)이 배치될 수 있다. 픽셀 전극(PXL) 상에는 픽셀 전극(PXL)의 가장자리 부분을 덮고 복수의 서브 픽셀들(SP1, SP2, SP3, SP4)에 대응하는 개구부를 정의하는 뱅크층(BA)이 배치될 수 있다. 그리고, 픽셀 전극(PXL)과 뱅크층(BA) 위에는 발광층(또는 유기 발광층)과 공통 전극(캐소드 전극 또는 제2 전극)이 순차적으로 적층될 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따르면, 표시 패널(110)의 전면에 걸쳐서 형성되는 공통 전극의 저항을 낮추기 위하여, 공통 전극보다 낮은 저항을 갖는 재료로 형성되고, 공통 전극과 접촉(contact)되어 전기적으로 연결되는 별도의 보조 전원 전극을 포함할 수 있다. 뱅크층(BA)은 보조 전원 전극과 공통 전극을 전기적으로 연결시킬 수 있도록 보조 전원 전극의 일부분을 노출시키는 컨택부(CA)를 정의할 수 있다.
컨택부(CA)는 게이트 라인(GL)과 평행한 방향으로 하나의 단위 픽셀을 구성하는 네 개의 서브 픽셀들(SP1, SP2, SP3, SP4)마다 형성될 수 있으나, 이에 한정되지는 않으며, 임의의 복수 개의 서브 픽셀마다 형성될 수 있다. 또한, 컨택부(CA)는 데이터 라인(DL)과 평행한 방향으로 각 수평 라인마다 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며, 임의의 복수 개의 수평 라인마다 형성될 수 있다.
도 3은 도 2의 선 Ⅰ-Ⅰ'에 따른 본 명세서의 일 실시예에 따른 발광 표시 장치를 나타낸 단면도이다.
도 3을 참조하면, 본 명세서의 일 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는, 기판(SUB), 차광층(LS), 보조 전원 라인(EVSS)(제2 전원 라인 또는 공통 전원 라인), 버퍼층(BUF), 박막 트랜지스터(TR), 스토리지 커패시터, 게이트 절연막(GI), 층간 절연막(ILD), 보조 전원 전극(210), 패시베이션층(PAS)(또는 제2 보호층), 오버코트층(OC)(제1 보호층 또는 평탄화층), 발광 소자(ED), 뱅크층(BA), 컨택부(CA), 및 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P) 등을 포함할 수 있다.
기판(SUB)은 베이스 기판으로서, 유리(glass) 또는 플라스틱(plastic) 재질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 기판(SUB)은 PI(Polyimide), PET(polyethylene terephthalate), PEN(polyethylene naphthalate), PC(polycarbonate) 등의 플라스틱 재질로 형성되어, 유연한(flexible) 특성을 가질 수 있다.
기판(SUB) 상에는 각종 신호 라인들, 박막 트랜지스터(TR), 스토리지 커패시터 등을 포함하는 회로 소자가 복수의 서브 픽셀(SP1, SP2, SP3, SP4) 별로 형성될 수 있다. 신호 라인들로는 게이트 라인(GL), 데이터 라인(DL), 제1 전원 라인(EVDD)(구동 전원 라인 또는 픽셀 전원 라인), 제2 전원 라인(EVSS)(보조 전원 라인 또는 공통 전원 라인), 및 레퍼런스 라인 등이 포함될 수 있고, 박막 트랜지스터로(TR)는 구동 박막 트랜지스터, 스위칭 박막 트랜지스터, 및 센싱 박막 트랜지스터 등이 포함될 수 있다.
기판(SUB) 상에는 차광층(LS)과 보조 전원 라인(EVSS)(제2 전원 라인 또는 공통 전원 라인)이 배치될 수 있다. 차광층(LS)은 박막 트랜지스터(TR)와 중첩되도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 차광층(LS)은 박막 트랜지스터(TR)의 액티브층(ACT)과 중첩될 수 있고, 특히, 액티브층(ACT)의 채널(channel) 영역과 평면상에서 중첩되도록 배치될 수 있다. 차광층(LS)은 액티브층(ACT)으로 외부광이 진입하는 것을 차단하는 역할을 할 수 있다. 또한, 보조 전원 라인(EVSS)(제2 전원 라인 또는 공통 전원 라인)은 공통 전극(COM)(캐소드 전극 또는 제2 전극)에 저전압을 인가하는 역할을 할 수 있다. 또한, 보조 전원 라인(EVSS)은 보조 전원 전극(210)과 함께 공통 전극(COM)의 저항을 낮추는 역할을 할 수 있다.
차광층(LS)과 보조 전원 라인(EVSS)은 동일한 층에서 서로 동일한 물질로 이루어질 수 있으며, 이 경우 차광층(LS)과 보조 전원 라인(EVSS)을 동일한 공정을 통해 동시에 형성할 수 있다.
기판(SUB) 상에는 차광층(LS) 및 보조 전원 라인(EVSS)을 덮도록 버퍼층(BUF)이 배치될 수 있다. 버퍼층(BUF)은 단일층 또는 복수의 무기막이 적층되어 형성될 수 있다. 예를 들어, 버퍼층(BUF)은 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 및 실리콘 산질화막(SiOxNy)으로 이루어진 단일층으로 형성될 수 있다. 또는, 버퍼층(BUF)은 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 및 실리콘 산질화막(SiOxNy) 중에서 적어도 두개의 막이 적층된 다중막으로 이루어질 수 있다. 이러한 버퍼층(BUF)은 기판(SUB)으로부터 확산되는 이온이나 불순물을 차단하고, 기판(SUB)을 통해 발광 소자(ED)에 침투하는 수분을 차단하기 위하여, 기판(SUB)의 상면 전체에 형성될 수 있다.
버퍼층(BUF) 상에는 박막 트랜지스터(TR), 스토리지 커패시터 및 보조 전원 전극(210)이 배치될 수 있다. 박막 트랜지스터(TR)는 버퍼층(BUF) 상의 복수의 서브 픽셀들(SP1, SP2, SP3, SP4) 각각에 배치될 수 있다. 예를 들어, 박막 트랜지스터(TR)는 액티브층(ACT), 게이트 절연막(GI)을 사이에 두고 액티브층(ACT)과 중첩되는 게이트 전극(GA), 제1 소스/드레인 전극(SD1), 및 제2 소스/드레인 전극(SD2)을 포함할 수 있다. 또한, 스토리지 커패시터는 차광층(LS) 또는 보조 전원 라인(EVSS)의 일부 또는 전체를 이용하는 제1 커패시터 전극, 박막 트랜지스터(TR)의 게이트 전극(GA)과 동일한 금속 물질로 패터닝되는 제2 커패시터 전극, 및 보조 전원 전극(210)의 일부 또는 전체를 이용하는 제3 커패시터 전극이 중첩된 3중 구조로 형성될 수 있지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니며, 필요에 따라서 다양한 복수의 층으로 구현될 수 있다. 또한, 보조 전원 전극(210)은 버퍼층(BUF), 층간 절연막(ILD)을 관통하는 컨택홀(CH)을 통해 보조 전원 라인(EVSS)에 전기적으로 연결될 수 있다.
박막 트랜지스터(TR)의 액티브층(ACT)은 실리콘계 또는 산화물계 반도체 물질로 이루어질 수 있고, 버퍼층(BUF) 상에 형성될 수 있다. 액티브층(ACT)은 게이트 전극(GA)과 중첩하는 채널 영역과 제1 및 제2 소스/드레인 전극(SD1, SD2)과 연결된 소스/드레인 영역을 포함할 수 있다.
액티브층(ACT) 상에는 게이트 절연막(GI)이 형성될 수 있다. 게이트 절연막(GI)은 액티브층(ACT)의 채널 영역 상에 배치될 수 있고, 액티브층(ACT)과 게이트 전극(GA)을 절연시키는 기능을 수행할 수 있다. 게이트 절연막(GI)은 무기 절연 물질로 이루어질 수 있고, 예를 들어, 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 실리콘 산질화막(SiOxNy), 또는 이들의 다중막으로 이루어질 수 있다.
게이트 절연막(GI) 상에는 게이트 전극(GA)이 형성될 수 있다. 게이트 전극(GA)은 게이트 절연막(GI)을 사이에 두고, 액티브층(ACT)과 대면하도록 배치될 수 있다. 그리고, 게이트 전극(GA)은 구리(Cu), 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 탄탈륨(Ta) 또는 텅스텐(W)으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 합금의 단층이나 다층으로 이루어질 수 있다. 또한, 버퍼층(BUF) 상에는 스토리지 커패시터의 일부를 이루는 제2 커패시터 전극이 게이트 전극(GA)과 동일한 물질로 형성될 수 있으며, 이 경우 박막 트랜지스터(TR)의 게이트 전극(GA)과 스토리지 커패시터의 제2 커패시터 전극을 동일한 공정을 통해 동시에 형성할 수 있다.
버퍼층(BUF) 상에는 게이트 전극(GA)을 덮는 층간 절연막(ILD)이 형성될 수 있다. 또한, 층간 절연막(ILD)은 스토리지 커패시터의 제2 커패시터 전극을 덮도록 형성될 수 있다. 층간 절연막(ILD)은 박막 트랜지스터(TR)를 보호하는 기능을 수행할 수 있다. 층간 절연막(ILD)은 무기 절연 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 층간 절연막(ILD)은 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 실리콘 산질화막(SiOxNy), 또는 이들의 다중막으로 이루어질 수 있다.
층간 절연막(ILD) 상에는 제1 및 제2 소스/드레인 전극(SD1, SD2)이 형성될 수 있다. 층간 절연막(ILD)은 액티브층(ACT)과 제1 및 제2 소스/드레인 전극(SD1, SD2)을 접촉시키기 위하여 해당 영역이 제거될 수 있다. 예를 들어, 제1 및 제2 소스/드레인 전극(SD1, SD2)은 층간 절연막(ILD)을 관통하는 컨택홀을 통해 액티브층(ACT)과 접촉하여 전기적으로 연결될 수 있다.
층간 절연막(ILD) 상에는 보조 전원 전극(210)이 형성될 수 있다. 층간 절연막(ILD)과 그 아래의 버퍼층(BUF)에는 보조 전원 라인(EVSS)과 보조 전원 전극(210)을 접촉시키기 위하여 해당 영역이 제거될 수 있다. 예를 들어, 보조 전원 전극(210)은 층간 절연막(ILD)과 버퍼층(BUF)을 관통하는 컨택홀(CH)을 통해 보조 전원 라인(EVSS)과 접촉하여 전기적으로 연결될 수 있다. 또한, 보조 전원 전극(210)은 스토리지 커패시터의 제3 커패시터 전극의 역할을 수행할 수 있다.
제1 및 제2 소스/드레인 전극(SD1, SD2)과 보조 전원 전극(210)은 동일한 층에서 서로 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 제1 및 제2 소스/드레인 전극(SD1, SD2)과 보조 전원 전극(210)은 동일한 공정을 통해 동시에 형성할 수 있다. 제1 및 제2 소스/드레인 전극(SD1, SD2)과 보조 전원 전극(210)은 단일층 또는 다층으로 이루어질 수 있다. 제1 및 제2 소스/드레인 전극(SD1, SD2)과 보조 전원 전극(210)이 단일층일 경우에는 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 또는 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어질 수 있다. 또한, 제1 및 제2 소스/드레인 전극(SD1, SD2)과 보조 전원 전극(210)이 다층일 경우에는 몰리브덴/알루미늄-네오디뮴, 몰리브덴/알루미늄, 티타늄/알루미늄, 또는 구리/몰리티타늄의 2중층일 수 있다. 또는, 제1 및 제2 소스/드레인 전극(SD1, SD2)과 보조 전원 전극(210)은 몰리브덴/알루미늄-네오디뮴/몰리브덴, 몰리브덴/알루미늄/몰리브덴, 티타늄/알루미늄/티타늄, 또는 몰리티타늄/구리/몰리티타늄의 3중층으로 이루어질 수 있다. 그러나, 이에 한정되지는 않으며, 제1 및 제2 소스/드레인 전극(SD1, SD2)과 보조 전원 전극(210)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 금(Au), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd) 또는 구리(Cu)로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 합금으로 이루어진 다중층으로 형성될 수도 있다.
기판(SUB) 상에 배치된 박막 트랜지스터(TR), 스토리지 커패시터 및 보조 전원 전극(210)은 회로층(또는 박막 트랜지스터 어레이층)을 구성할 수 있다.
박막 트랜지스터(TR) 및 보조 전원 전극(210) 상에는 패시베이션층(PAS)(또는 제2 보호층)이 배치될 수 있다. 패시베이션층(PAS)은 박막 트랜지스터(TR) 및 보조 전원 전극(210)을 덮도록 형성될 수 있다. 패시베이션층(PAS)은 박막 트랜지스터(TR)를 보호하는 것으로, 무기 절연 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 패시베이션층(PAS)은 실리콘 산화막(SiOx), 실리콘 질화막(SiNx), 실리콘 산질화막(SiOxNy), 또는 이들의 다중막으로 이루어질 수 있다.
패시베이션층(PAS)(또는 제2 보호층) 상에는 오버코트층(OC)(제1 보호층 또는 평탄화층)이 배치될 수 있다. 오버코트층(OC)은 하부의 단차를 평탄화하는 것으로, 유기 절연 물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 오버코트층(OC)은 포토아크릴(photo acryl), 폴리이미드(polyimide), 벤조사이클로부틴계 수지(benzocyclobutene resin), 및 아크릴레이트계 수지(acrylate) 등의 유기물중 적어도 하나의 물질로 이루어질 수 있다.
오버코트층(OC)(제1 보호층 또는 평탄화층) 상에는 픽셀 전극(PXL)(애노드 전극 또는 제1 전극)이 배치될 수 있다. 픽셀 전극(PXL)은 오버코트층(OC) 상의 복수의 서브 픽셀들(SP1, SP2, SP3, SP4) 각각에 배치될 수 있다. 픽셀 전극(PXL)은 오버코트층(OC) 및 패시베이션층(PAS)을 관통하는 컨택홀을 통해 박막 트랜지스터(TR)의 제1 소드/드레인 전극(SD1)에 연결될 수 있다. 또는, 픽셀 전극(PXL)은 박막 트랜지스터(TR)의 제2 소스/드레인 전극(SD2)에 연결될 수도 있다. 픽셀 전극(PXL) 상에는 발광층(EL)과 공통 전극(COM)이 배치될 수 있다. 픽셀 전극(PXL), 발광층(EL) 및 공통 전극(COM)은 발광 소자(ED)를 구성할 수 있다.
픽셀 전극(PXL)(애노드 전극 또는 제1 전극)은 금속, 그 합금, 금속과 산화물 금속의 조합으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 픽셀 전극(PXL)은 투명 도전막 및 반사효율이 높은 불투명 도전막을 포함하는 다층 구조로 형성될 수 있다. 픽셀 전극(PXL)의 투명 도전막으로는 인듐-틴-옥사이드(Indium Tin Oxide; ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(Indium Zinc Oxide; IZO)와 같은 일함수 값이 비교적 큰 재질로 이루어지고, 불투명 도전막으로는 은(Ag), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 크롬(Cr), 또는 텅스텐(W)으로 이루어진 군에서 선택된 어느 하나 또는 이들의 합금의 단층이나 다층으로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 픽셀 전극(PXL)은 투명 도전막, 불투명 도전막 및 투명 도전막이 순차적으로 적층된 구조로 형성되거나, 투명 도전막 및 불투명 도전막이 순차적으로 적층된 구조로 형성될 수 있다.
픽셀 전극(PXL) 및 오버코트층(OC) 상에는 뱅크층(BA)이 배치될 수 있다. 뱅크층(PXL)은 픽셀 전극(PXL)의 가장자리 부분을 덮고 서브 픽셀의 개구부를 정의할 수 있다. 뱅크층(BA)은 폴리이미드(polyimide), 아크릴레이트(acrylate), 벤조사이클로부틴계 수지(benzocyclobutene series resin) 등의 유기물로 이루어질 수 있다. 뱅크층(BA)에 의해 노출된 픽셀 전극(PXL)의 중심부는 발광 영역으로 정의될 수 있다. 또한, 뱅크층(BA)은 보조 전원 전극(210)과 공통 전극(COM)을 전기적으로 연결시킬 수 있도록 보조 전원 전극(210)의 일부분을 노출시키는 컨택부(CA)를 정의할 수 있다.
컨택부(CA)는 패시베이션층(PAS), 오버코트층(OC) 및 뱅크층(CA)을 관통하여 보조 전원 전극(210)의 일부분을 노출시킬 수 있다. 컨택부(CA)에 의해 노출된 보조 전원 전극(210) 상에는 언더컷 영역(UC)을 갖는 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)이 배치될 수 있다.
언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)은 보조 전원 전극(210)의 일부분 위에 배치되고 언더컷 영역(UC)을 포함할 수 있다. 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)은 보조 전원 전극(210)의 일부분 위에 아일랜드(island) 패턴으로 이루어지고, 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)의 주변 둘레로 보조 전원 전극(210)이 노출될 수 있다. 컨택부(CA)에서 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)의 주변 둘레로 노출된 보조 전원 전극(210)은 공통 전극(COM)(캐소드 전극 또는 제2 전극)과 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있다. 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)은 패시베이션층(PAS) 및 뱅크층(BA)과 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)은 뱅크층(BA)과 동일한 물질로 이루어진 제1 패턴(BA_P)(또는 처마 구조부)과 패시베이션층(PAS)과 동일한 물질로 이루어진 제2 패턴(PAS_P)(또는 기둥 구조부)을 포함할 수 있다. 제1 패턴(BA_P)과 제2 패턴(PAS_P) 사이에는 더미 전극 패턴(220)이 배치될 수 있다. 더미 전극 패턴(220)는 제1 패턴(BA_P)과 제2 패턴(PAS_P) 사이에 배치되어, 뱅크층(BA)과 동일한 물질인 제1 패턴(BA_P)과 패시베이션층(PAS)과 동일한 물질인 제2 패턴(PAS_P) 사이의 접착력을 증진시켜, 제1 패턴(BA_P)이 제2 패턴(PAS_P)으로부터 들뜨는 것을 방지할 수 있다. 더미 전극 패턴(220)은 픽셀 전극(PXL)과 동일한 물질로 동일한 공정을 통해 형성될 수 있다. 제2 패턴(PAS_P) 상에는 더미 전극 패턴(220)이 배치되고, 제1 패턴(BA_P)이 더미 전극 패턴(220)을 덮도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 더미 전극 패턴(220)는 제1 패턴(BA_P) 및 제2 패턴(PAS_P)에 의해 완전히 덮여져서 언더컷 영역(UC)에서 노출되지 않을 수 있으나, 이에 한정되지 않으며, 더미 전극 패턴(220)이 언더컷 영역(UC)에 일부가 노출되도록 형성될 수도 있다.
픽셀 전극(PXL) 및 뱅크층(BA) 상에는 발광층(EL)이 배치될 수 있다. 오버코트층(OC) 상에는 발광층(EL)이 배치될 수 있다. 또한, 발광층(EL)은 언더컷 구조물의 제1 패턴(BA_P) 상에 배치될 수 있다. 발광층(EL)은 컨택부(CA)를 통해 노출된 보조 전원 전극(210)의 상에 배치될 수 있다. 발광층(EL)은 컨택부(CA)에 위치한 언더컷 구조물에 의한 언더컷 영역(UC)에서 단절되게 형성될 수 있다. 예를 들어, 발광층(EL)은 스텝 커버리지가 우수하지 않은 물질로 이루어질 수 있다. 이에 따라, 발광층(EL)은 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)에 의해 보조 전원 전극(210) 상에 배치되는 면적이 최소화되고, 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)의 언더컷 영역(UC)에서 단절되어 아래의 보조 전원 전극(210)이 노출되게 형성될 수 있다.
발광층(EL) 상에는 공통 전극(COM)(캐소드 전극 또는 제2 전극)이 배치될 수 있다. 공통 전극(COM)은 언더컷 구조물의 제1 패턴(BA_P) 상의 발광층(EL) 상에 배치될 수 있다. 공통 전극(COM)은 픽셀 전극(PXL), 발광층(EL) 상에 배치되어 발광 소자(ED)를 구성할 수 있다. 공통 전극(COM)은 기판(SUB)의 전면에 넓게 형성될 수 있다. 공통 전극(COM)은 인듐-틴-옥사이드(Indium Tin Oxide; ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(Indium Zinc Oxide; IZO)와 같은 투명 도전 물질로 이루어질 수 있고, 광이 투과될 수 있을 정도로 얇은 두께를 갖는 은(Ag), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg), 칼슘(Ca) 또는 이들의 합금으로 이루어질 수도 있다.
공통 전극(COM)은 컨택부(CA)에 의해 노출된 보조 전원 전극(210)과 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있다. 공통 전극(COM)은 뱅크층(BA)을 덮도록 배치되고, 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)의 언더컷 영역(UC)에서 보조 전원 전극(210) 상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 공통 전극(COM)은 스텝 커버리지가 우수한 물질로 이루어질 수 있다. 공통 전극(COM)은 증착(evaporation)에 의해 형성되는 발광층(EL)보다 스텝 커버리지가 우수하여, 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)의 언더컷 영역(UC)에서 발광층(EL)이 단절되어 외부로 노출된 보조 전원 전극(210)의 상부까지 형성될 수 있다. 이에 따라, 발광층(EL)은 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)의 언더컷 영역(UC)에서 보조 전원 전극(210)과 접촉되지 않고, 보조 전원 전극(210)이 노출되게 형성되지만, 공통 전극(COM)은 발광층(EL)에 의해 덮이지 않고 노출된 보조 전원 전극(210)의 상면에 배치될 수 있고, 보조 전원 전극(210)과 직접 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있다.
도 4a는 본 명세서의 일 실시예에 따른 도 3의 A 부분에 도시된 컨택 영역을 나타낸 평면도이고, 도 4b는 도 4a의 선 Ⅱ-Ⅱ'의 단면도이다.
도 4a 및 도 4b를 도 3에 결부하여 참조하면, 본 명세서의 일 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)의 컨택 영역은, 보조 전원 전극(210)의 일부분을 노출시키는 컨택부(CA)를 포함할 수 있다. 컨택부(CA)는 패시베이션층(PAS)(또는 제2 보호층), 오버코트층(OC)(또는 제1 보호층), 및 뱅크층(BA)을 관통하여 보조 전원 전극(210)의 일부분을 노출시킬 수 있다. 컨택부(CA)에 의해 노출된 보조 전원 전극(210) 상에는 제1 패턴(BA_P)(또는 처마 구조부) 및 제2 패턴(PAS_P)(또는 기둥 구조부)을 포함하는 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)이 배치될 수 있다.
언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)은 보조 전원 전극(210)의 일부분 위에 배치되고 언더컷 영역(UC)을 포함할 수 있다. 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)은 보조 전원 전극(210)의 일부분 위에 아일랜드(island) 패턴으로 이루어지고, 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)의 주변 둘레로 보조 전원 전극(210)의 노출 영역이 형성될 수 있다. 컨택부(CA)에서 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)의 주변 둘레로 노출된 보조 전원 전극(210)은 공통 전극(COM)(캐소드 전극 또는 제2 전극)과 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있다. 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)은 뱅크층(BA)과 동일한 물질로 이루어진 제1 패턴(BA_P)(또는 처마 구조부)과 패시베이션층(PAS)과 동일한 물질로 이루어진 제2 패턴(PAS_P)(또는 기둥 구조부)을 포함할 수 있다. 제1 패턴(BA_P)과 제2 패턴(PAS_P) 사이에는 더미 전극 패턴(220)이 배치될 수 있다. 더미 전극 패턴(220)는 제1 패턴(BA_P)과 제2 패턴(PAS_P) 사이에 배치되어, 뱅크층(BA)과 동일한 물질인 제1 패턴(BA_P)과 패시베이션층(PAS)과 동일한 물질인 제2 패턴(PAS_P) 사이의 접착력을 증진시켜, 제1 패턴(BA_P)이 제2 패턴(PAS_P)으로부터 들뜨는 것을 방지할 수 있다. 더미 전극 패턴(220)은 픽셀 전극(PXL)과 동일한 물질로 형성될 수 있다.
언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)의 제1 패턴(BA_P)은 유기 절연 물질로 이루어질 수 있고, 제2 패턴(PAS_P)은 무기 절연 물질로 이루어질 수 있다. 또한, 더미 전극 패턴(220)은 금속 전극 물질로 이루어질 수 있다. 제1 패턴(BA_P)은 뱅크층(BA)과 동일한 물질로 형성될 수 있다. 제1 패턴(BA_P)과 뱅크층(BA)은 동일한 공정을 통해 동시에 형성될 수 있다. 제2 패턴(PAS_P)은 패시베이션층(PAS)과 동일한 층에 동일한 물질로 형성될 수 있다. 제2 패턴(PAS_P)과 패시베이션층(PAS)은 동일한 공정을 통해 동시에 형성될 수 있다. 더미 전극 패턴(220)은 픽셀 전극(PXL)과 동일한 물질로 형성될 수 있다. 더미 전극 패턴(220)과 픽셀 전극(PXL)은 동일한 공정을 통해 동시에 형성될 수 있다. 그러나 반드시 이에 한정되지는 않는다.
제1 패턴(BA_P)은 보조 전원 전극(210)의 일부분 위에 배치될 수 있다. 제1 패턴(BA_P)은 보조 전원 전극(210) 위에 아일랜드(island) 패턴으로 이루어지고, 제1 패턴(BA_P)의 가장자리 아래에 언더컷 영역(UC)이 형성될 수 있다. 제1 패턴(BA_P)은 제2 패턴(PAS_P) 위에 배치되고, 노출된 보조 전원 전극(210)의 일부분과 중첩될 수 있다.
제2 패턴(PAS_P)은 보조 전원 전극(210)의 상면 상에 제1 패턴(BA_P)과 중첩되게 형성되어 제1 패턴(BA_P)을 지지할 수 있다. 제2 패턴(PAS_P)은 보조 전원 전극(210) 상에 아일랜드(island) 패턴으로 이루어지고, 제1 폭을 가지며 제1 패턴(OC_P)과 접하는 상면과, 제1 폭보다 넓은 제2 폭을 가지며 보조 전원 전극(210)과 접하는 하면과, 상면과 하면 사이에 경사면을 포함할 수 있다. 이때, 제1 패턴(BA_P)의 하면의 폭은 제2 패턴(PAS_P)의 상면의 제1 폭보다 넓은 폭을 가질 수 있다. 또한, 제1 패턴(BA_P)의 폭은 제2 패턴(PAS_P)의 하면의 제2 폭보다 같거나 넓은 폭을 가질 수 있다. 제1 패턴(BA_P)의 하면은 적어도 제2 패턴(PAS_P)의 상면보다 넓은 폭을 가지므로, 제1 패턴(BA_P)의 가장자리 아래로 언더컷 영역(UC)이 형성될 수 있다. 이러한 언더컷 영역(UC)은 제1 패턴(OC_P)의 가장자리 아래와 제2 패턴(PAS_P)의 측면을 포함할 수 있다.
제1 패턴(BA_P)과 제2 패턴(PAS_P) 사이에는 더미 전극 패턴(220)이 배치될 수 있다. 더미 전극 패턴(220)은 뱅크층(BA)으로 이루어진 제1 패턴(BA_P)과 패시베이션층(PAS)으로 이루어진 제2 패턴(PAS_P) 사이의 접착력을 증진시킬 수 있다. 더미 전극 패턴(220)은 제2 패턴(PAS_P)의 상면에 배치되고, 제1 패턴(BA_P)에 의해 덮여질 수 있다. 예를 들어, 더미 전극 패턴(220)는 제1 패턴(BA_P) 및 제2 패턴(PAS_P)에 의해 완전히 덮여져서 언더컷 영역(UC)에서 노출되지 않을 수 있으나, 이에 한정되지 않으며, 더미 전극 패턴(220)이 언더컷 영역(UC)에 일부가 노출되도록 형성될 수도 있다.
제2 패턴(PAS_P)은 제1 패턴(BA_P)과 중첩되는 패시베이션층(PAS)이 제1 패턴(BA_P)의 주변으로 보조 전원 전극(210)의 일부분이 노출되도록 식각되는 것에 의해 형성될 수 있다. 제2 패턴(PAS_P)은 제1 패턴(BA_P)의 가장자리와 중첩되는 영역에서 오버 식각되어 제1 패턴(BA_P)의 가장자리보다 안쪽으로 들어가도록 형성되어 언더컷 영역(UC)이 형성될 수 있다.
본 명세서의 일 실시예에 따른 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)은 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 제1 패턴(BA_P)의 가장자리 아래에 언더컷 영역(UC)이 형성될 수 있다. 언더컷 영역(UC)은 제1 패턴(BA_P)의 가장자리에 대응하는 제2 패턴(PAS_P)이 제1 패턴(BA_P)의 가장자리보다 더 안쪽으로 패터닝되는 것에 의해 형성될 수 있다. 언더컷 영역(UC)은 제1 패턴(BA_P)의 가장자리 아래와 제2 패턴(PAS_P)의 측면을 포함할 수 있다.
발광층(EL)은 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P) 상에 형성되고, 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P) 주변의 패시베이션층(PAS), 오버코트층(OC) 및 뱅크층(BA)의 단차를 따라 보조 전원 전극(210)의 노출 영역 상에 일부 형성될 수 있다. 발광층(EL)은 보조 전원 전극(210)의 노출 영역에서 언더컷 영역(UC)에 대응하는 보조 전원 전극(210) 상에 배치되지 않을 수 있다. 발광층(EL)은 스텝 커버리지가 우수하지 않은 물질로 이루어지므로, 언더컷 영역(UC)의 보조 전원 전극(210)까지 형성되지 못하고 단절됨으로써, 보조 전원 전극(210)의 노출 영역 상에 배치되는 면적이 최소화될 수 있다.
공통 전극(COM)은 발광층(EL) 상에 형성될 수 있다. 공통 전극(COM)은 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)의 발광층(EL) 상에 형성되고, 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P) 주변의 패시베이션층(PAS), 오버코트층(OC) 및 뱅크층(BA)의 단차를 따라 발광층(EL) 상에 형성되며, 발광층(EL)에 의해 덮이지 않고 노출된 보조 전원 전극(210)의 상면에 배치될 수 있고, 보조 전원 전극(210)과 직접 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있다. 공통 전극(COM)은 발광층(EL)보다 스텝 커버리지가 우수한 물질로 이루어지므로, 발광층(EL)이 형성되지 못하는 언더컷 영역(UC)의 보조 전원 전극(210)까지 형성될 수 있어, 보조 전원 전극(210)과 직접 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있다. 이에 따라, 본 명세서의 일 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 발광층(EL)이 언더컷 영역(UC)과 중첩되는 보조 전원 전극(210)을 덮지 못하지만, 공통 전극(COM)이 발광층(EL)에 의해 덮이지 않고 노출된 보조 전원 전극(210)과 직접 접촉되어 전기적으로 연결됨으로써, 표시 패널 전체에서 공통 전극(COM)의 저항 편차에 따른 전압 강하 불균일을 저감시킬 수 있다.
한편, 본 명세서의 일 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 오버코트층(OC)이 컨택부(CA) 주변의 패시베이션층(PAS)의 일부가 노출되게 패터닝되어 형성될 수 있다. 이때, 오버코트층(OC)과 패시베이션층(PAS) 사이에는 단차 영역이 형성될 수 있다. 오버코트층(OC)과 패시베이션층(PAS)의 단차 영역은 패시베이션층(PAS)의 상면과 오버코트층(OC)의 측면 사이의 사잇각(θ1)이 직각에 가까워 경사면이 가파를 수 있고, 이는 이후 공정에서 증착될 물질의 커버리지 특성을 저하시키는 요인으로 작용할 수 있다.
또한, 본 명세서의 일 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 패시베이션층(PAS) 상에 더미 전극 패턴(220)이 형성될 수 있다. 더미 전극 패턴(220)은 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)의 제2 패턴(PAS_P)이 형성될 위치에 대응되는 패시베이션층(PAS) 상에 배치될 수 있다. 더미 전극 패턴(220)은 오버코트층(OC) 상에 형성되는 픽셀 전극(PXL)과 동일한 물질로 동일한 공정을 통해 형성될 수 있다. 더미 전극 패턴(220)은 픽셀 전극(PXL)이 각 서브 픽셀(SP1, SP2, SP3, SP4)에 대응되게 패터닝되는 과정에서 함께 패터닝될 수 있다. 이 경우, 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC)의 단차 영역에는 더미 전극 패턴(220)으로부터 발생된 금속 이물이 적층될 수 있다. 이는 이후 공정에서 증착될 물질의 커버리지 특성을 저하시키거나, 불량을 확산시킬 수 요인으로 작용할 수 있다.
도 5a는 본 명세서의 다른 실시예에 따른 도 3의 A 부분에 도시된 컨택 영역을 나타낸 평면도이고, 도 5b는 도 5a의 선 Ⅲ-Ⅲ'의 단면도이다.
도 5a 및 도 5b를 도 3에 결부하여 참조하면, 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)의 컨택 영역은, 보조 전원 전극(210)의 일부분을 노출시키는 컨택부(CA)를 포함할 수 있다. 컨택부(CA)는 패시베이션층(PAS)(또는 제2 보호층), 오버코트층(OC)(또는 제1 보호층), 및 뱅크층(BA)을 관통하여 보조 전원 전극(210)의 일부분을 노출시킬 수 있다. 컨택부(CA)에 의해 노출된 보조 전원 전극(210) 상에는 제1 패턴(BA_P)(또는 처마 구조부) 및 제2 패턴(PAS_P)(또는 기둥 구조부)을 포함하는 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)이 배치될 수 있다. 또한, 컨택부(CA) 주변의 오버코트층(OC)과 패시베이션층(PAS)의 단차 영역에는 단차 커버 패턴(BA_R)이 배치될 수 있다.
도 5a 및 도 5b에 도시된 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 단차 영역에 단차 커버 패턴(BA_R)이 배치되는 구조를 제외한 구성들이 도 4a 및 도 4b에 도시된 본 명세서의 일 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)의 구성과 실질적으로 동일하므로, 이에 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하고, 이에 대한 중복 설명은 생략하거나 간략히 한다.
도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 컨택부(CA)에 의해 노출된 보조 전원 전극(210)의 주변에 배치된 패시베이션층(PAS), 오버코트층(OC), 및 뱅크층(BA)이 계단 형태로 각 층의 경계마다 단차 영역이 형성될 수 있다.
패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에는 단차 커버 패턴(BA_R)이 배치될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)은 유기 절연 물질로 이루어질 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)은 패시베이션층(PAS) 및 오버코트층(OC)과 상이한 물질로 형성될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)은 오버코트층(OC) 상에 배치된 뱅크층(BA)과 동일한 물질로 형성될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)과 뱅크층(BA)은 동일한 공정을 통해 동시에 형성될 수 있다.
단차 커버 패턴(BA_R)은 뱅크층(BA)을 이루는 뱅크 물질층을 도포한 후, 도포된 뱅크 물질층에 대해 열처리를 진행하는 소프트 베이킹(soft baking) 공정의 시간이나, 뱅크층(BA)을 패터닝하는 현상(development) 공정의 시간을 조절하는 것에 의해 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에 뱅크 물질층의 일부가 고착 잔류될 수 있게 하여 형성할 수 있다. 예를 들어, 단차 커버 패턴(BA_R)은 소프트 베이킹 공정 시간이나, 현상 공정 시간을 단차 커버 패턴이 형성되지 않는 경우보다 감소되도록 조절하는 것에 의해 형성할 수 있다.
또한, 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)의 제1 패턴(BA_P)은 단차 커버 패턴(BA_R)과 동일한 물질로 형성될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R), 제1 패턴(BA_P) 및 뱅크층(BA)은 동일한 공정을 통해 동시에 형성될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)은 도 5a에 도시된 바와 같이, 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역을 따라 폐루프의 형태로 형성될 수 있다.
단차 커버 패턴(BA_R)은 패시베이션층(PAS) 상에 더미 전극 패턴(220)을 패터닝한 이후에 형성될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)은 더미 전극 패턴(220)의 패터닝 과정에서 더미 전극 패턴(220)으로부터 발생되어 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에 적층된 금속 이물을 덮도록 형성될 수 있다.
단차 커버 패턴(BA_R)은 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에서 패시베이션층(PAS)의 상면과 오버코트층(OC)의 측면 사이에 형성될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)은 패시베이션층(PAS)의 상면과 오버코트층(OC)의 측면 사이에서 경사면을 갖도록 형성될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)의 경사면은 패시베이션층(PAS)의 상면 사이의 사잇각(θ2)과 오버코트층(OC)의 측면 사이의 사잇각(θ3)을 확장함으로써, 오버코트층(OC)과 패시베이션층(PAS) 사이의 단차 영역을 완만하게 할 수 있다.
본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에 단차 커버 패턴(BA_R)이 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역을 따라 폐루프의 형태로 형성됨으로써, 오버코트층(OC)과 패시베이션층(PAS) 사이의 단차 영역을 완만하게 할 수 있고, 이는 이후 공정에서 증착될 물질의 커버리지 특성을 향상시킬 수 있다.
본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에 적층될 수 있는 금속 이물을 덮도록 형성됨으로써, 금속 이물에 의한 불량의 확산을 방지할 수 있다.
도 6은 본 명세서의 다른 실시예에 따른 도 3의 A 부분에 도시된 컨택 영역을 나타낸 평면도이다. 도 6에서 선 Ⅱ-Ⅱ'의 단면도는 도 4b와 실질적으로 동일한 구성이고, 선 Ⅲ-Ⅲ'의 단면도 도 5b와 실질적으로 동일한 구성으로 도시를 생략하였다.
도 6을 도 3과 도 4b 및 도 5b에 결부하여 참조하면, 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)의 컨택 영역은, 보조 전원 전극(210)의 일부분을 노출시키는 컨택부(CA)를 포함할 수 있다. 컨택부(CA)는 패시베이션층(PAS)(또는 제2 보호층), 오버코트층(OC)(또는 제1 보호층), 및 뱅크층(BA)을 관통하여 보조 전원 전극(210)의 일부분을 노출시킬 수 있다. 컨택부(CA)에 의해 노출된 보조 전원 전극(210) 상에는 제1 패턴(BA_P)(또는 처마 구조부) 및 제2 패턴(PAS_P)(또는 기둥 구조부)을 포함하는 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)이 배치될 수 있다. 또한, 컨택부(CA) 주변의 오버코트층(OC)과 패시베이션층(PAS)의 단차 영역에서 각 내측 모서리에는 단차 커버 패턴(BA_R)이 배치될 수 있다.
도 6에 도시된 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 단차 영역의 모서리 영역에 단차 커버 패턴(BA_R)이 배치되는 구조를 제외한 구성들이 도 4a 및 도 4b에 도시된 본 명세서의 일 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)의 구성, 또는 도 5a 및 도 5b에 도시된 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)의 구성과 실질적으로 동일하므로, 이에 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하고, 이에 대한 중복 설명은 생략하거나 간략히 한다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 컨택부(CA)에 의해 노출된 보조 전원 전극(210)의 주변에 배치된 패시베이션층(PAS), 오버코트층(OC), 및 뱅크층(BA)이 계단 형태로 각 층의 경계마다 단차 영역이 형성될 수 있다.
패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에서 각 내측 모서리에는 단차 커버 패턴(BA_R)이 배치될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)은 유기 절연 물질로 이루어질 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)은 패시베이션층(PAS) 및 오버코트층(OC)과 상이한 물질로 형성될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)은 오버코트층(OC) 상에 배치된 뱅크층(BA)과 동일한 물질로 형성될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)과 뱅크층(BA)은 동일한 공정을 통해 동시에 형성될 수 있다.
단차 커버 패턴(BA_R)은 뱅크층(BA)을 이루는 뱅크 물질층을 도포한 후, 도포된 뱅크 물질층에 대해 열처리를 진행하는 소프트 베이킹(soft baking) 공정의 시간이나, 뱅크층(BA)을 패터닝하는 현상(development) 공정의 시간을 조절하는 것에 의해 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에서 각 내측 모서리 영역에 뱅크 물질층의 일부가 고착 잔류될 수 있게 하여 형성할 수 있다.
또한, 언더컷 구조물(BA_P, PAS_P)의 제1 패턴(BA_P)은 단차 커버 패턴(BA_R)과 동일한 물질로 형성될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R), 제1 패턴(BA_P) 및 뱅크층(BA)은 동일한 공정을 통해 동시에 형성될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)은 도 6에 도시된 바와 같이, 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에서 각 내측 모서리 영역에 부분적으로 형성될 수 있다.
단차 커버 패턴(BA_R)은 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에서 각 내측 모서리 부분에 형성될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)은 오버코트층(OC)의 인접하는 내면들이 만나는 내측 모서리 부분에 형성될 수 있다. 오버코트층(OC)의 인접하는 내면들이 만나는 내측 모서리 부분은 이후 공정에서 증착될 물질의 커버리지 특성을 더욱 저하시키는 요인으로 작용할 수 있다.
본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 커버리지 특성이 저하될 수 있는 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에서 각 내측 모서리 부분에 단차 커버 패턴(BA_R)을 부분적으로 형성됨으로써, 이후 공정에서 증착될 물질의 커버리지 특성을 향상시킬 수 있다.
도 7은 도 2의 선 Ⅰ-Ⅰ'에 따른 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치를 나타낸 단면도이다.
도 7을 참조하면, 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는, 기판(SUB), 차광층(LS), 보조 전원 라인(EVSS)(제2 전원 라인 또는 공통 전원 라인), 버퍼층(BUF), 박막 트랜지스터(TR), 스토리지 커패시터, 게이트 절연막(GI), 층간 절연막(ILD), 보조 전원 전극(210), 패시베이션층(PAS)(또는 제2 보호층), 오버코트층(OC)(제1 보호층 또는 평탄화층), 발광 소자(ED), 뱅크층(BA), 컨택부(CA), 및 제1 패턴(OC_P) 및 제2 패턴(PAS_P)을 포함하는 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P) 등을 포함할 수 있다.
도 7에 도시된 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)의 제1 패턴(OC_P)(또는 처마 구조부)이 오버코트층(OC)과 동일한 층에서 동일한 물질로 이루어지고, 더미 전극 패턴(220)이 배제되는 구조를 제외한 구성들이 도 3에 도시된 본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)의 구성과 실질적으로 동일하므로, 이에 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하고, 이에 대한 중복 설명은 생략하거나 간략히 한다.
도 7에 도시된 바와 같이, 본 명세서의 다른 실시예에 따른 컨택부(CA)는 패시베이션층(PAS), 오버코트층(OC) 및 뱅크층(CA)을 관통하여 보조 전원 전극(210)의 일부분을 노출시킬 수 있다. 컨택부(CA)에 의해 노출된 보조 전원 전극(210) 상에는 언더컷 영역(UC)을 갖는 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)이 배치될 수 있다.
언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)은 보조 전원 전극(210)의 일부분 위에 배치되고 언더컷 영역(UC)을 포함할 수 있다. 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)은 보조 전원 전극(210)의 일부분 위에 아일랜드(island) 패턴으로 이루어지고, 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)의 주변 둘레로 보조 전원 전극(210)이 노출될 수 있다. 컨택부(CA)에서 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)의 주변 둘레로 노출된 보조 전원 전극(210)은 공통 전극(COM)(캐소드 전극 또는 제2 전극)과 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있다. 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)은 패시베이션층(PAS) 및 오버코트층(OC)과 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)은 오버코트층(OC)과 동일한 물질로 이루어진 제1 패턴(OC_P)(또는 처마 구조부)과 패시베이션층(PAS)과 동일한 물질로 이루어진 제2 패턴(PAS_P)(또는 기둥 구조부)을 포함할 수 있다.
픽셀 전극(PXL) 및 뱅크층(BA) 상에는 발광층(EL)이 배치될 수 있다. 오버코트층(OC) 상에는 발광층(EL)이 배치될 수 있다. 또한, 발광층(EL)은 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)의 제1 패턴(OC_P) 상에 배치될 수 있다. 발광층(EL)은 컨택부(CA)를 통해 노출된 보조 전원 전극(210)의 상에 배치될 수 있다. 발광층(EL)은 컨택부(CA)에 위치한 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)에 의한 언더컷 영역(UC)에서 단절되게 형성될 수 있다. 예를 들어, 발광층(EL)은 스텝 커버리지가 우수하지 않은 물질로 이루어질 수 있다. 이에 따라, 발광층(EL)은 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)에 의해 보조 전원 전극(210) 상에 배치되는 면적이 최소화되고, 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)의 언더컷 영역(UC)에서 단절되어 아래의 보조 전원 전극(210)이 노출되게 형성될 수 있다.
발광층(EL) 상에는 공통 전극(COM)(캐소드 전극 또는 제2 전극)이 배치될 수 있다. 공통 전극(COM)은 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)의 제1 패턴(OC_P) 상의 발광층(EL) 상에 배치될 수 있다. 공통 전극(COM)은 픽셀 전극(PXL), 발광층(EL) 상에 배치되어 발광 소자(ED)를 구성할 수 있다. 공통 전극(COM)은 기판(SUB)의 전면에 넓게 형성될 수 있다. 공통 전극(COM)은 인듐-틴-옥사이드(Indium Tin Oxide; ITO) 또는 인듐-징크-옥사이드(Indium Zinc Oxide; IZO)와 같은 투명 도전 물질로 이루어질 수 있고, 광이 투과될 수 있을 정도로 얇은 두께를 갖는 은(Ag), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg), 칼슘(Ca) 또는 이들의 합금으로 이루어질 수도 있다.
공통 전극(COM)은 컨택부(CA)에 의해 노출된 보조 전원 전극(210)과 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있다. 공통 전극(COM)은 뱅크층(BA)을 덮도록 배치되고, 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)의 언더컷 영역(UC)에서 보조 전원 전극(210) 상에 배치될 수 있다. 예를 들어, 공통 전극(COM)은 스텝 커버리지가 우수한 물질로 이루어질 수 있다. 공통 전극(COM)은 증착(evaporation)에 의해 형성되는 발광층(EL)보다 스텝 커버리지가 우수하여, 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)의 언더컷 영역(UC)에서 발광층(EL)이 단절되어 외부로 노출된 보조 전원 전극(210)의 상부까지 형성될 수 있다. 이에 따라, 발광층(EL)은 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)의 언더컷 영역(UC)에서 보조 전원 전극(210)과 접촉되지 않고, 보조 전원 전극(210)이 노출되게 형성되지만, 공통 전극(COM)은 발광층(EL)에 의해 덮이지 않고 노출된 보조 전원 전극(210)의 상면에 배치될 수 있고, 보조 전원 전극(210)과 직접 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있다.
도 8a는 본 명세서의 다른 실시예에 따른 도 7의 B 부분에 도시된 컨택 영역을 나타낸 평면도이고, 도 8b는 도 8a의 선 Ⅳ-Ⅳ'의 단면도이다.
도 8a 및 도 8b를 도 7에 결부하여 참조하면, 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)의 컨택 영역은, 보조 전원 전극(210)의 일부분을 노출시키는 컨택부(CA)를 포함할 수 있다. 컨택부(CA)는 패시베이션층(PAS)(또는 제2 보호층), 오버코트층(OC)(또는 제1 보호층), 및 뱅크층(BA)을 관통하여 보조 전원 전극(210)의 일부분을 노출시킬 수 있다. 컨택부(CA)에 의해 노출된 보조 전원 전극(210) 상에는 제1 패턴(OC_P)(또는 처마 구조부) 및 제2 패턴(PAS_P)(또는 기둥 구조부)을 포함하는 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)이 배치될 수 있다.
언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)은 보조 전원 전극(210)의 일부분 위에 배치되고 언더컷 영역(UC)을 포함할 수 있다. 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)은 보조 전원 전극(210)의 일부분 위에 아일랜드(island) 패턴으로 이루어지고, 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)의 주변 둘레로 보조 전원 전극(210)의 노출 영역이 형성될 수 있다. 컨택부(CA)에서 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)의 주변 둘레로 노출된 보조 전원 전극(210)은 공통 전극(COM)(캐소드 전극 또는 제2 전극)과 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있다. 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)은 패시베이션층(PAS) 및 오버코트층(OC)과 동일한 물질로 이루어질 수 있다. 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)은 오버코트층(OC)과 동일한 물질로 이루어진 제1 패턴(OC_P)(또는 처마 구조부)과 패시베이션층(PAS)과 동일한 물질로 이루어진 제2 패턴(PAS_P)(또는 기둥 구조부)을 포함할 수 있다.
언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)의 제1 패턴(OC_P)은 유기 절연 물질로 이루어질 수 있고, 제2 패턴(PAS_P)은 무기 절연 물질로 이루어질 수 있다. 제1 패턴(OC_P)은 오버코트층(OC)과 동일한 층에 동일한 물질로 형성될 수 있다. 제1 패턴(OC_P)과 오버코트층(OC)은 동일한 공정을 통해 동시에 형성될 수 있다. 제2 패턴(PAS_P)은 패시베이션층(PAS)과 동일한 층에 동일한 물질로 형성될 수 있다. 제2 패턴(PAS_P)과 패시베이션층(PAS)은 동일한 공정을 통해 동시에 형성될 수 있다. 그러나 반드시 이에 한정되지는 않는다.
제1 패턴(OC_P)은 보조 전원 전극(210)의 일부분 위에 배치될 수 있다. 제1 패턴(OC_P)은 보조 전원 전극(210) 위에 아일랜드(island) 패턴으로 이루어지고, 제1 패턴(OC_P)의 가장자리 아래에 언더컷 영역(UC)이 형성될 수 있다. 제1 패턴(OC_P)은 제2 패턴(PAS_P) 위에 배치되고, 노출된 보조 전원 전극(210)의 일부분과 중첩될 수 있다.
제2 패턴(PAS_P)은 보조 전원 전극(210)의 상면 상에 제1 패턴(OC_P)과 중첩되게 형성되어 제1 패턴(OC_P)을 지지할 수 있다. 제2 패턴(PAS_P)은 보조 전원 전극(210) 상에 아일랜드(island) 패턴으로 이루어지고, 제1 폭을 가지며 제1 패턴(OC_P)과 접하는 상면과, 제1 폭보다 넓은 제2 폭을 가지며 보조 전원 전극(210)과 접하는 하면과, 상면과 하면 사이에 경사면을 포함할 수 있다. 이때, 제1 패턴(OC_P)의 하면의 폭은 제2 패턴(PAS_P)의 상면의 제1 폭보다 넓은 폭을 가질 수 있다. 또한, 제1 패턴(OC_P)의 폭은 제2 패턴(PAS_P)의 하면의 제2 폭보다 같거나 넓은 폭을 가질 수 있다. 제1 패턴(OC_P)의 하면은 적어도 제2 패턴(PAS_P)의 상면보다 넓은 폭을 가지므로, 제1 패턴(OC_P)의 가장자리 아래로 언더컷 영역(UC)이 형성될 수 있다. 이러한 언더컷 영역(UC)은 제1 패턴(OC_P)의 가장자리 아래와 제2 패턴(PAS_P)의 측면을 포함할 수 있다.
제2 패턴(PAS_P)은 제1 패턴(OC_P)과 중첩되는 패시베이션층(PAS)이 제1 패턴(OC_P)의 주변으로 보조 전원 전극(210)의 일부분이 노출되도록 식각되는 것에 의해 형성될 수 있다. 제2 패턴(PAS_P)은 제1 패턴(OC_P)의 가장자리와 중첩되는 영역에서 오버 식각되어 제1 패턴(OC_P)의 가장자리보다 안쪽으로 들어가도록 형성되어 언더컷 영역(UC)이 형성될 수 있다.
본 명세서의 다른 실시예에 따른 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)은 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이, 제1 패턴(OC_P)의 가장자리 아래에 언더컷 영역(UC)이 형성될 수 있다. 언더컷 영역(UC)은 제1 패턴(OC_P)의 가장자리에 대응하는 제2 패턴(PAS_P)이 제1 패턴(OC_P)의 가장자리보다 더 안쪽으로 패터닝되는 것에 의해 형성될 수 있다. 언더컷 영역(UC)은 제1 패턴(OC_P)의 가장자리 아래와 제2 패턴(PAS_P)의 측면을 포함할 수 있다.
발광층(EL)은 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P) 상에 형성되고, 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P) 주변의 패시베이션층(PAS), 오버코트층(OC) 및 뱅크층(BA)의 단차를 따라 보조 전원 전극(210)의 노출 영역 상에 일부 형성될 수 있다. 발광층(EL)은 보조 전원 전극(210)의 노출 영역에서 언더컷 영역(UC)에 대응하는 보조 전원 전극(210) 상에 배치되지 않을 수 있다. 발광층(EL)은 스텝 커버리지가 우수하지 않은 물질로 이루어지므로, 언더컷 영역(UC)의 보조 전원 전극(210)까지 형성되지 못하고 단절됨으로써, 보조 전원 전극(210)의 노출 영역 상에 배치되는 면적이 최소화될 수 있다.
공통 전극(COM)은 발광층(EL) 상에 형성될 수 있다. 공통 전극(COM)은 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)의 발광층(EL) 상에 형성되고, 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P) 주변의 패시베이션층(PAS), 오버코트층(OC) 및 뱅크층(BA)의 단차를 따라 발광층(EL) 상에 형성되며, 발광층(EL)에 의해 덮이지 않고 노출된 보조 전원 전극(210)의 상면에 배치될 수 있고, 보조 전원 전극(210)과 직접 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있다. 공통 전극(COM)은 발광층(EL)보다 스텝 커버리지가 우수한 물질로 이루어지므로, 발광층(EL)이 형성되지 못하는 언더컷 영역(UC)의 보조 전원 전극(210)까지 형성될 수 있어, 보조 전원 전극(210)과 직접 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있다. 이에 따라, 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 발광층(EL)이 언더컷 영역(UC)과 중첩되는 보조 전원 전극(210)을 덮지 못하지만, 공통 전극(COM)이 발광층(EL)에 의해 덮이지 않고 노출된 보조 전원 전극(210)과 직접 접촉되어 전기적으로 연결됨으로써, 표시 패널 전체에서 공통 전극(COM)의 저항 편차에 따른 전압 강하 불균일을 저감시킬 수 있다.
본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 컨택부(CA)에 의해 노출된 보조 전원 전극(210) 상에는 뱅크층(BA)과 패시베이션층(PAS)에 비하여 접착 특성이 우수한 오버코트층(OC)과 패시베이션층(PAS)을 이용하여 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)을 형성함으로써, 언더컷 구조물 사이의 접착력 향상을 위한 금속 패턴의 도움 없이도 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)의 구조적 안정성이 향상되어 박리 저항성이 높은 언더컷 형상을 형성할 수 있으면서 금속 이물에 의한 불량의 확산을 방지할 수 있다.한편, 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 오버코트층(OC)이 컨택부(CA) 주변의 패시베이션층(PAS)의 일부가 노출되게 패터닝되어 형성될 수 있다. 이때, 오버코트층(OC)과 패시베이션층(PAS) 사이에는 단차 영역이 형성될 수 있다. 오버코트층(OC)과 패시베이션층(PAS)의 단차 영역은 패시베이션층(PAS)의 상면과 오버코트층(OC)의 측면 사이의 사잇각(θ1)이 직각에 가까워 경사면이 가파를 수 있고, 이는 이후 공정에서 증착될 물질의 커버리지 특성을 저하시키는 요인으로 작용할 수 있다.
도 9a는 본 명세서의 다른 실시예에 따른 도 7의 B 부분에 도시된 컨택 영역을 나타낸 평면도이고, 도 9b는 도 9a의 선 Ⅴ-Ⅴ'의 단면도이다.
도 9a 및 도 9b를 도 7에 결부하여 참조하면, 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)의 컨택 영역은, 보조 전원 전극(210)의 일부분을 노출시키는 컨택부(CA)를 포함할 수 있다. 컨택부(CA)는 패시베이션층(PAS)(또는 제2 보호층), 오버코트층(OC)(또는 제1 보호층), 및 뱅크층(BA)을 관통하여 보조 전원 전극(210)의 일부분을 노출시킬 수 있다. 컨택부(CA)에 의해 노출된 보조 전원 전극(210) 상에는 제1 패턴(OC_P)(또는 처마 구조부) 및 제2 패턴(PAS_P)(또는 기둥 구조부)을 포함하는 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)이 배치될 수 있다. 또한, 컨택부(CA) 주변의 오버코트층(OC)과 패시베이션층(PAS)의 단차 영역에는 단차 커버 패턴(BA_R)이 배치될 수 있다.
도 9a 및 도 9b에 도시된 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 단차 영역에 단차 커버 패턴(BA_R)이 배치되는 구조를 제외한 구성들이 도 8a 및 도 8b에 도시된 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)의 구성과 실질적으로 동일하므로, 이에 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하고, 이에 대한 중복 설명은 생략하거나 간략히 한다.
도 9a 및 도 9b에 도시된 바와 같이, 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 컨택부(CA)에 의해 노출된 보조 전원 전극(210)의 주변에 배치된 패시베이션층(PAS), 오버코트층(OC), 및 뱅크층(BA)이 계단 형태로 각 층의 경계마다 단차 영역이 형성될 수 있다.
패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에는 단차 커버 패턴(BA_R)이 배치될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)은 유기 절연 물질로 이루어질 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)은 패시베이션층(PAS) 및 오버코트층(OC)과 상이한 물질로 형성될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)은 오버코트층(OC) 상에 배치된 뱅크층(BA)과 동일한 물질로 형성될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)과 뱅크층(BA)은 동일한 공정을 통해 동시에 형성될 수 있다.
단차 커버 패턴(BA_R)은 뱅크층(BA)을 이루는 뱅크 물질층을 도포한 후, 도포된 뱅크 물질층에 대해 열처리를 진행하는 소프트 베이킹(soft baking) 공정의 시간이나, 뱅크층(BA)을 패터닝하는 현상(development) 공정의 시간을 조절하는 것에 의해 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에 뱅크 물질층의 일부가 고착 잔류될 수 있게 하여 형성할 수 있다. 예를 들어, 단차 커버 패턴(BA_R)은 소프트 베이킹 공정 시간이나, 현상 공정 시간을 단차 커버 패턴이 형성되지 않는 경우보다 감소되도록 조절하는 것에 의해 형성할 수 있다. 또한, 단차 커버 패턴(BA_R) 및 뱅크층(BA)은 동일한 공정을 통해 동시에 형성될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)은 도 9a에 도시된 바와 같이, 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역을 따라 폐루프의 형태로 형성될 수 있다.
단차 커버 패턴(BA_R)은 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에서 패시베이션층(PAS)의 상면과 오버코트층(OC)의 측면 사이에 형성될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)은 패시베이션층(PAS)의 상면과 오버코트층(OC)의 측면 사이에서 경사면을 갖도록 형성될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)의 경사면은 패시베이션층(PAS)의 상면 사이의 사잇각(θ2)과 오버코트층(OC)의 측면 사이의 사잇각(θ3)을 확장함으로써, 오버코트층(OC)과 패시베이션층(PAS) 사이의 단차 영역을 완만하게 할 수 있다.
본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에 단차 커버 패턴(BA_R)이 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역을 따라 폐루프의 형태로 형성됨으로써, 오버코트층(OC)과 패시베이션층(PAS) 사이의 단차 영역을 완만하게 할 수 있고, 이는 이후 공정에서 증착될 물질의 커버리지 특성을 향상시킬 수 있다.
도 10은 본 명세서의 다른 실시예에 따른 도 7의 B 부분에 도시된 컨택 영역을 나타낸 평면도이다. 도 10에서 선 Ⅳ-Ⅳ'의 단면도는 도 8b와 실질적으로 동일한 구성이고, 선 Ⅴ-Ⅴ'의 단면도는 도 9b와 실질적으로 동일한 구성으로 도시를 생략하였다.
도 10을 도 7과 도 8b 및 도 9b에 결부하여 참조하면, 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)의 컨택 영역은, 보조 전원 전극(210)의 일부분을 노출시키는 컨택부(CA)를 포함할 수 있다. 컨택부(CA)는 패시베이션층(PAS)(또는 제2 보호층), 오버코트층(OC)(또는 제1 보호층), 및 뱅크층(BA)을 관통하여 보조 전원 전극(210)의 일부분을 노출시킬 수 있다. 컨택부(CA)에 의해 노출된 보조 전원 전극(210) 상에는 제1 패턴(OC_P)(또는 처마 구조부) 및 제2 패턴(PAS_P)(또는 기둥 구조부)을 포함하는 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)이 배치될 수 있다. 또한, 컨택부(CA) 주변의 오버코트층(OC)과 패시베이션층(PAS)의 단차 영역에서 각 내측 모서리에는 단차 커버 패턴(BA_R)이 배치될 수 있다.
도 10에 도시된 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 단차 영역의 모서리 영역에 단차 커버 패턴(BA_R)이 배치되는 구조를 제외한 구성들이 도 8a 및 도 8b에 도시된 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)의 구성, 또는 도 9a 및 도 9b에 도시된 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)의 구성과 실질적으로 동일하므로, 이에 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하고, 이에 대한 중복 설명은 생략하거나 간략히 한다.
도 10에 도시된 바와 같이, 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 컨택부(CA)에 의해 노출된 보조 전원 전극(210)의 주변에 배치된 패시베이션층(PAS), 오버코트층(OC), 및 뱅크층(BA)이 계단 형태로 각 층의 경계마다 단차 영역이 형성될 수 있다.
패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에서 각 내측 모서리에는 단차 커버 패턴(BA_R)이 배치될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)은 유기 절연 물질로 이루어질 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)은 패시베이션층(PAS) 및 오버코트층(OC)과 상이한 물질로 형성될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)은 오버코트층(OC) 상에 배치된 뱅크층(BA)과 동일한 물질로 형성될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)과 뱅크층(BA)은 동일한 공정을 통해 동시에 형성될 수 있다.
단차 커버 패턴(BA_R)은 뱅크층(BA)을 이루는 뱅크 물질층을 도포한 후, 도포된 뱅크 물질층에 대해 열처리를 진행하는 소프트 베이킹(soft baking) 공정의 시간이나, 뱅크층(BA)을 패터닝하는 현상(development) 공정의 시간을 조절하는 것에 의해 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에서 각 내측 모서리 영역에 뱅크 물질층의 일부가 고착 잔류될 수 있게 하여 형성할 수 있다. 또한, 단차 커버 패턴(BA_R) 및 뱅크층(BA)은 동일한 공정을 통해 동시에 형성될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)은 도 10에 도시된 바와 같이, 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에서 각 내측 모서리 영역에 부분적으로 형성될 수 있다.
단차 커버 패턴(BA_R)은 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에서 각 내측 모서리 부분에 형성될 수 있다. 단차 커버 패턴(BA_R)은 오버코트층(OC)의 인접하는 내면들이 만나는 내측 모서리 부분에 형성될 수 있다. 오버코트층(OC)의 인접하는 내면들이 만나는 내측 모서리 부분은 이후 공정에서 증착될 물질의 커버리지 특성을 더욱 저하시키는 요인으로 작용할 수 있다.
본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 커버리지 특성이 저하될 수 있는 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에서 각 내측 모서리 부분에 단차 커버 패턴(BA_R)을 부분적으로 형성됨으로써, 이후 공정에서 증착될 물질의 커버리지 특성을 향상시킬 수 있다.
한편, 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 컨택부(CA)에 의해 노출된 보조 전원 전극(210) 상에는 뱅크층(BA)과 패시베이션층(PAS)에 비하여 접착 특성이 우수한 오버코트층(OC)과 패시베이션층(PAS)을 이용하여 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)이 형성될 수 있다. 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P)은 패시베이션층(PAS) 상의 오버코트층(OC)을 패터닝하여 제1 패턴(OC_P)과 그 주변의 패시베이션층(PAS)의 일부를 노출시키는 노출 영역을 형성시킨 후, 제1 패턴(OC_P)과 패시베이션층(PAS)의 노출 영역의 일부를 덮는 포토레지스트층을 마스크로 한 패터닝 공정을 진행하여 제1 패턴(OC_P) 및 포토레지스트층 아래의 패시베이션층(PAS)의 일부를 제거하여 제2 패턴(PAS_P)을 형성하는 것에 의해 제1 패턴(OC_P)과 제2 패턴(PAS_P)의 이중층으로 언더컷 영역을 갖도록 형성될 수 있다. 그런데, 제2 패턴(PAS_P)을 형성하기 위한 패터닝 과정에서 제1 패턴(OC_P)의 가장자리 부분이 상부 방향으로 들뜨는 현상이 발생될 수 있다. 이로 인해, 언더컷 영역의 추가적인 확보가 요구되어 제1 패턴(OC_P)의 증가될 수 있다. 이는 언더컷 구조물의 패터닝 시간과 에칭 면적이 증가되는 요인으로 작용될 수 있다.
도 11a는 본 명세서의 또 다른 실시예에 따른 도 7의 B 부분에 도시된 컨택 영역을 나타낸 평면도이고, 도 11b는 도 11a의 선 Ⅵ-Ⅵ'의 단면도이다.
도 11a 및 도 11b를 도 7에 결부하여 참조하면, 본 명세서의 또 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)의 컨택 영역은, 보조 전원 전극(210)의 일부분을 노출시키는 컨택부(CA)를 포함할 수 있다. 컨택부(CA)는 패시베이션층(PAS)(또는 제2 보호층), 오버코트층(OC)(또는 제1 보호층), 및 뱅크층(BA)을 관통하여 보조 전원 전극(210)의 일부분을 노출시킬 수 있다. 컨택부(CA)에 의해 노출된 보조 전원 전극(210) 상에는 제1 패턴(OC_P)(또는 처마 구조부), 제2 패턴(PAS_P)(또는 기둥 구조부) 및 제1 패턴(OC_P)의 측면에 배치된 확장 커버 패턴(BA_R1)을 포함하는 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P, BA_R1)이 배치될 수 있다.
도 11a 및 도 11b에 도시된 본 명세서의 또 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P, BA_R1)에 확장 커버 패턴(BA_R1)이 포함되는 구조를 제외한 구성들이 도 8a 및 도 8b에 도시된 본 명세서의 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)의 구성과 실질적으로 동일하므로, 이에 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하고, 이에 대한 중복 설명은 생략하거나 간략히 한다.
도 11a 및 도 11b에 도시된 바와 같이, 본 명세서의 또 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 컨택부(CA)에 의해 노출된 보조 전원 전극(210) 상에 제1 패턴(OC_P)(또는 처마 구조부), 제2 패턴(PAS_P)(또는 기둥 구조부) 및 제1 패턴(OC_P)의 측면에 배치된 확장 커버 패턴(BA_R1)을 포함하는 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P, BA_R1)이 배치될 수 있다.
언더컷 구조물(OC_P, PAS_P, BA_R1)은 보조 전원 전극(210)의 일부분 위에 배치되고 언더컷 영역(UC)을 포함할 수 있다. 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P, BA_R1)은 보조 전원 전극(210)의 일부분 위에 아일랜드(island) 패턴으로 이루어지고, 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P, BA_R1)의 주변 둘레로 보조 전원 전극(210)의 노출 영역이 형성될 수 있다. 컨택부(CA)에서 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P, BA_R1)의 주변 둘레로 노출된 보조 전원 전극(210)은 공통 전극(COM)(캐소드 전극 또는 제2 전극)과 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있다. 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P, BA_R1)은 오버코트층(OC)과 동일한 물질로 이루어진 제1 패턴(OC_P)(또는 처마 구조부)과 패시베이션층(PAS)과 동일한 물질로 이루어진 제2 패턴(PAS_P)(또는 기둥 구조부)을 포함할 수 있다. 제1 패턴(OC_P)의 측면에는 제1 패턴(OC_P)과 제2 패턴(PAS_P)과 상이한 물질로 이루어진 확장 커버 패턴(BA_R1)이 배치될 수 있다. 확장 커버 패턴(BA_R1)은 제1 패턴(OC_P)의 가장자리 부분에 배치되어, 오버코트층(OC)과 동일한 물질인 제1 패턴(OC_P)의 가장자리 부분이 상부 방향으로 들뜨는 것을 방지하고, 언더컷 영역(UC)을 확장시킬 수 있다. 확장 커버 패턴(BA_R1)은 뱅크층(BA)과 동일한 물질로 형성될 수 있다. 확장 커버 패턴(BA_R1)과 뱅크층(BA)은 동일한 공정을 통해 동시에 형성될 수 있다.
확장 커버 패턴(BA_R1)은 뱅크층(BA)을 이루는 뱅크 물질층을 도포한 후, 도포된 뱅크 물질층에 대해 열처리를 진행하는 소프트 베이킹(soft baking) 공정의 시간이나, 뱅크층(BA)을 패터닝하는 현상(development) 공정의 시간을 조절하는 것에 의해 제1 패턴(OC_P)의 가장자리 부분에 뱅크 물질층의 일부가 고착 잔류될 수 있게 하여 형성할 수 있다. 예를 들어, 확장 커버 패턴(BA_R1)은 소프트 베이킹 공정 시간이나, 현상 공정 시간을 확장 커버 패턴이 형성되지 않는 경우보다 감소되도록 조절하는 것에 의해 형성할 수 있다. 확장 커버 패턴(BA_R1)은 도 11a에 도시된 바와 같이, 제1 패턴(OC_P)의 가장자리 둘레를 따라 폐루프의 형태로 형성될 수 있다.
확장 커버 패턴(BA_R1)은 제1 패턴(OC_P)의 가장자리 부분에 배치되어, 제1 패턴(OC_P)의 가장자리 부분이 들뜨는 것을 방지하면서 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P, BA_R1)의 처마 구조의 폭을 증가시킬 수 있다. 확장 커버 패턴(BA_R1)은 제1 패턴(OC_P)의 측면으로부터 돌출되게 형성될 수 있다. 제1 패턴(OC_P) 및 확장 커버 패턴(BA_R1)의 아래에는 언더컷 영역(UC)이 형성될 수 있다. 제1 패턴(OC_P) 및 확장 커버 패턴(BA_R1)은 제2 패턴(PAS_P) 위에 배치되고, 노출된 보조 전원 전극(210)의 일부분과 중첩될 수 있다. 제1 패턴(OC_P)은 제2 패턴(PAS_P)의 상면에 직접 접할 수 있고, 확장 커버 패턴(BA_R1)은 제2 패턴(PAS_P)과 접하지 않을 수 있다.
제2 패턴(PAS_P)은 보조 전원 전극(210)의 상면 상에 제1 패턴(OC_P)과 중첩되게 형성되어 제1 패턴(OC_P)을 지지할 수 있다. 제2 패턴(PAS_P)은 확장 커버 패턴(BA_R1)과는 직접적으로 접하지 않을 수 있다. 제2 패턴(PAS_P)은 보조 전원 전극(210) 상에 아일랜드(island) 패턴으로 이루어지고, 제1 폭을 가지며 제1 패턴(OC_P)과 접하는 상면과, 제1 폭보다 넓은 제2 폭을 가지며 보조 전원 전극(210)과 접하는 하면과, 상면과 하면 사이에 경사면을 포함할 수 있다. 이때, 제1 패턴(OC_P) 및 확장 커버 패턴(BA_R1)의 하면의 폭은 제2 패턴(PAS_P)의 상면의 제1 폭보다 넓은 폭을 가질 수 있다. 또한, 제1 패턴(OC_P) 및 확장 커버 패턴(BA_R1)의 폭은 제2 패턴(PAS_P)의 하면의 제2 폭보다 같거나 넓은 폭을 가질 수 있다. 제1 패턴(OC_P) 및 확장 커버 패턴(BA_R1)의 하면은 적어도 제2 패턴(PAS_P)의 상면보다 넓은 폭을 가지므로, 제1 패턴(OC_P) 및 확장 커버 패턴(BA_R1)의 아래로 언더컷 영역(UC)이 형성될 수 있다. 이러한 언더컷 영역(UC)은 제1 패턴(OC_P) 및 확장 커버 패턴(BA_R1)의 아래와 제2 패턴(PAS_P)의 측면을 포함할 수 있다.
본 명세서의 또 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P, BA_R1)에서 처마 구조에 해당되는 부분이 제1 패턴(OC_P) 및 확장 커버 패턴(BA_R1)에 의해 형성됨으로써, 제1 패턴(OC_P)의 가장자리 부분이 들뜨는 것을 방지할 수 있다. 이를 통해, 언더컷 영역의 추가적 확보 없이도 공통 전극(COM)과 보조 전원 전극(210)의 컨택 면적을 확보할 수 있으므로, 보조 전원 전극(210)의 일부를 노출시키기 위한 제2 패턴(PAS_P)을 패터닝하는 패터닝 시간과 에칭 면적을 줄일 수 있어 공정 시간 및 비용을 감소시키면서 표시 장치의 고해상도와 대면적화를 가능하게 할 수 있다.
도 12a는 본 명세서의 또 다른 실시예에 따른 도 7의 B 부분에 도시된 컨택 영역을 나타낸 평면도이고, 도 12b는 도 12a의 선 Ⅶ-Ⅶ'의 단면도이다.
도 12a 및 도 12b를 도 7에 결부하여 참조하면, 본 명세서의 또 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)의 컨택 영역은, 보조 전원 전극(210)의 일부분을 노출시키는 컨택부(CA)를 포함할 수 있다. 컨택부(CA)는 패시베이션층(PAS)(또는 제2 보호층), 오버코트층(OC)(또는 제1 보호층), 및 뱅크층(BA)을 관통하여 보조 전원 전극(210)의 일부분을 노출시킬 수 있다. 컨택부(CA)에 의해 노출된 보조 전원 전극(210) 상에는 제1 패턴(OC_P)(또는 처마 구조부), 제2 패턴(PAS_P)(또는 기둥 구조부) 및 제1 패턴(OC_P)의 측면에 배치된 확장 커버 패턴(BA_R1)을 포함하는 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P, BA_R1)이 배치될 수 있다. 또한, 컨택부(CA) 주변의 오버코트층(OC)과 패시베이션층(PAS)의 단차 영역에는 단차 커버 패턴(BA_R2)이 배치될 수 있다.
도 12a 및 도 12b에 도시된 본 명세서의 또 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 단차 영역에 단차 커버 패턴(BA_R2)이 배치되는 구조를 제외한 구성들이 도 11a 및 도 11b에 도시된 본 명세서의 또 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)의 구성과 실질적으로 동일하므로, 이에 동일한 구성에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하고, 이에 대한 중복 설명은 생략하거나 간략히 한다.
도 12a 및 도 12b에 도시된 바와 같이, 본 명세서의 또 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 컨택부(CA)에 의해 노출된 보조 전원 전극(210) 상에 제1 패턴(OC_P)(또는 처마 구조부), 제2 패턴(PAS_P)(또는 기둥 구조부) 및 제1 패턴(OC_P)의 측면에 배치된 확장 커버 패턴(BA_R1)을 포함하는 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P, BA_R1)이 배치될 수 있다. 또한, 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에는 단차 커버 패턴(BA_R2)이 배치될 수 있다.
본 명세서의 또 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P, BA_R1)의 확장 커버 패턴(BA_R1)과 단차 영역의 단차 커버 패턴(BA_R2)이 동일한 물질로 이루어질 수 있다.
확장 커버 패턴(BA_R1) 및 단차 커버 패턴(BA_R2)은 뱅크층(BA)과 동일한 물질로 형성될 수 있다. 확장 커버 패턴(BA_R1) 및 단차 커버 패턴(BA_R2)은 뱅크층(BA)은 동일한 공정을 통해 동시에 형성될 수 있다.
확장 커버 패턴(BA_R1) 및 단차 커버 패턴(BA_R2)은 뱅크층(BA)을 이루는 뱅크 물질층을 도포한 후, 도포된 뱅크 물질층에 대해 열처리를 진행하는 소프트 베이킹(soft baking) 공정의 시간이나, 뱅크층(BA)을 패터닝하는 현상(development) 공정의 시간을 조절하는 것에 의해 제1 패턴(OC_P)의 가장자리 부분과 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에 뱅크 물질층의 일부가 고착 잔류될 수 있게 하여 형성할 수 있다. 예를 들어, 확장 커버 패턴(BA_R1) 및 단차 커버 패턴(BA_R2)은 소프트 베이킹 공정 시간이나, 현상 공정 시간을 커버 패턴(BA_R1, BA_R2)들이 형성되지 않는 경우보다 감소되도록 조절하는 것에 의해 형성할 수 있다. 확장 커버 패턴(BA_R1) 및 단차 커버 패턴(BA_R2)은 도 12a에 도시된 바와 같이, 확장 커버 패턴(BA_R1)이 제1 패턴(OC_P)의 가장자리 둘레를 따라 폐루프의 형태로 형성될 수 있고, 단차 커버 패턴(BA_R2)이 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역을 따라 폐루프의 형태로 형성될 수 있다.
본 명세서의 또 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P, BA_R1)에서 처마 구조에 해당되는 부분이 제1 패턴(OC_P) 및 확장 커버 패턴(BA_R1)에 의해 형성됨으로써, 제1 패턴(OC_P)의 가장자리 부분이 들뜨는 것을 방지할 수 있다. 이를 통해, 언더컷 영역의 추가적 확보 없이도 공통 전극(COM)과 보조 전원 전극(210)의 컨택 면적을 확보할 수 있으므로, 보조 전원 전극(210)의 일부를 노출시키기 위한 제2 패턴(PAS_P)을 패터닝하는 패터닝 시간과 에칭 면적을 줄일 수 있어 공정 시간 및 비용을 감소시키면서 표시 장치의 고해상도와 대면적화를 가능하게 할 수 있다.
또한, 본 명세서의 또 다른 실시예에 따른 발광 표시 장치(100)는 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역에 단차 커버 패턴(BA_R2)이 패시베이션층(PAS)과 오버코트층(OC) 사이의 단차 영역을 따라 폐루프의 형태로 형성됨으로써, 오버코트층(OC)과 패시베이션층(PAS) 사이의 단차 영역을 완만하게 할 수 있고, 이는 이후 공정에서 증착될 물질의 커버리지 특성을 향상시킬 수 있다.
도 13은 본 명세서의 또 다른 실시예에 따른 언더컷 구조물을 형성하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 13을 참조하면, 본 명세서의 또 다른 실시예에 따른 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P, BA_R1)은 제2 패턴(PAS_P)의 끝단부(e1)가 제1 패턴(OC_P)의 끝단부(e2)보다 내측 방향으로 제1 길이(a)만큼 추가적으로 제거됨으로써, 제1 패턴(OC_P) 아래에 언더컷 영역을 가질 수 있다. 또한, 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P, BA_R1)은 제1 패턴(OC_P)의 측면에 확장 커버 패턴(BA_R1)이 형성될 수 있다. 확장 커버 패턴(BA_R1)은 제1 패턴(OC_P)의 끝단부(e2)로부터 제2 길이(b)만큼 돌출된 끝단부(e3)를 가질 수 있다. 이에 따라, 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P, BA_R1)은 제1 패턴(OC_P) 및 확장 커버 패턴(BA_R1)의 아래에 제1 길이(a)와 제2 길이(b)를 합한 제3 길이(c)를 가진 언더컷 영역이 형성될 수 있다.
또한, 언더컷 구조물(OC_P, PAS_P, BA_R1)의 제2 패턴(PAS_P)은 제1 패턴(OC_P)과 제1 패턴(OC_P) 주변의 패시베이션층(PAS), 오버코트층(OC) 및 뱅크층(BA)을 덮는 포토레지스트층(PR)을 마스크로 한 패터닝 공정에 의해 형성될 수 있다. 제2 패턴(PAS_P)의 패터닝 공정은 습식 에칭(wet etching) 방식이 이용될 수 있다. 습식 에칭 공정을 통해 패시베이션층(PAS)은 보조 전원 전극(210)을 노출시키는 컨택 영역이 형성되도록 패터닝될 수 있다. 패터닝된 패시베이션층(PAS)의 끝단부(e4)는 포토레지스터층(PR)의 끝단부(e5)보다 내측 방향으로 제4 길이(d)만큼 제거될 수 있다. 이때, 습식 에칭의 경우, 등방성으로 선택된 영역이 제거될 수 있고, 패시베이션층(PAS)의 에칭 길이(d)(또는 제4 길이)는 대략적으로 언더컷 영역의 길이(c)(또는 제3 길이)와 유사할 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치는 아래와 같이 설명될 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치는, 기판 위에 배치된 보조 전원 전극을 갖는 회로층, 상기 회로층을 덮는 제1 보호층, 상기 제1 보호층과 상기 보조 전원 전극 사이에 배치된 제2 보호층, 상기 제1 보호층과 상기 제2 보호층을 관통하여 상기 보조 전원 전극의 일부분을 노출시키는 컨택부, 및 상기 컨택부 주변의 상기 제1 보호층과 상기 제2 보호층 사이의 단차 영역에 배치된 단차 커버 패턴을 포함할 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 단차 커버 패턴은 상기 제2 보호층의 상면과 상기 제1 보호층의 측면 사이에 형성될 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 단차 커버 패턴은 상기 제2 보호층의 상면과 상기 제1 보호층의 측면 사이에서 경사면을 갖도록 형성될 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 단차 커버 패턴의 상기 경사면은 상기 제1 보호층의 측면과의 사잇각 및 상기 제2 보호층의 상면과의 사잇각이 둔각일 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 컨택부에서 상기 보조 전원 전극의 일부분 위에 배치되고 언더컷 영역을 갖는 언더컷 구조물을 더 포함할 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 언더컷 구조물은, 상기 보조 전원 전극의 일부분 위에 배치된 제1 패턴, 상기 보조 전원 전극의 상면 상에 배치되고, 상기 제1 패턴을 지지하는 제2 패턴, 및 상기 제1 패턴과 상기 제2 패턴 사이에 배치된 더미 전극 패턴을 포함하고, 상기 단차 커버 패턴은 상기 제1 패턴과 동일한 물질로 이루어질 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 제1 패턴은 상기 제1 보호층과 상이한 물질로 이루어지고, 상기 제2 패턴은 상기 제2 보호층과 동일한 물질로 이루어질 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 단차 커버 패턴은 상기 더미 전극 패턴과 동일한 금속 이물을 덮도록 형성될 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 언더컷 구조물은, 상기 보조 전원 전극의 일부분 위에 배치된 제1 패턴, 및 상기 보조 전원 전극의 상면 상에 배치되고, 상기 제1 패턴을 지지하는 제2 패턴을 포함하고, 상기 단차 커버 패턴은 상기 제1 패턴과 상이한 물질로 이루어질 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 제1 패턴은 상기 제1 보호층과 동일한 물질로 이루어지고, 상기 제2 패턴은 상기 제2 보호층과 동일한 물질로 이루어질 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 기판 상의 회로층에 배치된 박막 트랜지스터, 상기 제1 보호층 위에 배치되고 상기 박막 트랜지스터에 결합된 픽셀 전극, 및 상기 제1 보호층 위에 배치되고 상기 픽셀 전극 상의 개구부를 정의하는 뱅크층을 더 포함할 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 단차 커버 패턴은 상기 뱅크층과 동일한 물질로 이루어질 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 컨택부에서 상기 보조 전원 전극의 일부분 위에 배치되고 언더컷 영역을 갖는 언더컷 구조물을 더 포함하고, 상기 언더컷 구조물은, 상기 보조 전원 전극의 일부분 위에 배치된 제1 패턴, 상기 보조 전원 전극의 상면 상에 배치되고, 상기 제1 패턴을 지지하는 제2 패턴, 및 상기 제1 패턴과 상기 제2 패턴 사이에 배치된 더미 전극 패턴을 포함하고, 상기 더미 전극 패턴은 상기 픽셀 전극과 동일한 물질로 이루어질 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 픽셀 전극 위에 배치된 발광층, 및 상기 발광층 위에 배치되는 공통 전극을 더 포함하고, 상기 공통 전극은 상기 언더컷 영역에서 상기 보조 전원 전극에 직접 접할 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 단차 커버 패턴은 상기 제1 보호층과 상기 제2 보호층 사이의 단차 영역을 따라 폐루프의 형태로 형성될 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 단차 커버 패턴은 상기 제1 보호층과 상기 제2 보호층 사이의 단차 영역에서 각 내측 모서리 부분에 형성될 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치는, 기판 위에 배치된 박막 트랜지스터와 보조 전원 전극을 갖는 회로층, 상기 회로층을 덮는 제1 보호층, 상기 제1 보호층과 상기 보조 전원 전극 사이에 배치된 제2 보호층, 상기 제1 보호층 위에 배치되고 상기 박막 트랜지스터에 연결된 픽셀 전극, 상기 제1 보호층 위에 배치되고 상기 픽셀 전극 상의 개구부를 정의하는 뱅크층, 상기 제1 보호층 및 상기 제2 보호층과 상기 뱅크층을 관통하여 상기 보조 전원 전극의 일부분을 노출시키는 컨택부, 상기 픽셀 전극 및 상기 뱅크층 위에 배치된 발광층, 상기 발광층 위에 배치되고 상기 컨택부에서 상기 보조 전원 전극에 결합된 공통 전극, 및 상기 컨택부 주변의 상기 제1 보호층과 상기 제2 보호층 사이의 단차 영역에 배치된 단차 커버 패턴을 포함할 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 단차 커버 패턴은 상기 뱅크층과 동일한 물질로 이루어질 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 컨택부에서 상기 보조 전원 전극의 일부분 위에 배치되고 언더컷 영역을 갖는 언더컷 구조물을 더 포함하고, 상기 언더컷 구조물은, 상기 보조 전원 전극의 일부분 위에 배치된 제1 패턴, 상기 보조 전원 전극의 상면 상에 배치되고, 상기 제1 패턴을 지지하는 제2 패턴, 및 상기 제1 패턴과 상기 제2 패턴 사이에 배치된 더미 전극 패턴을 포함하고, 상기 제1 패턴은 상기 뱅크층과 동일한 물질로 이루어지고, 상기 제2 패턴은 상기 제2 보호층과 동일한 물질로 이루어지고, 상기 더미 전극 패턴은 상기 픽셀 전극과 동일한 물질로 이루어질 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 단차 커버 패턴은 상기 더미 전극 패턴과 동일한 금속 이물을 덮도록 형성될 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 컨택부에서 상기 보조 전원 전극의 일부분 위에 배치되고 언더컷 영역을 갖는 언더컷 구조물을 더 포함하고, 상기 언더컷 구조물은, 상기 보조 전원 전극의 일부분 위에 배치되고, 상기 제1 보호층과 동일 물질로 이루어진 제1 패턴, 상기 보조 전원 전극의 상면 상에 배치되고, 상기 제2 보호층과 동일 물질로 이루어지며, 상기 제1 패턴을 지지하는 제2 패턴, 및 상기 제1 패턴의 측면에 배치되고, 상기 단차 커버 패턴과 동일한 물질로 이루어진 확장 커버 패턴을 포함할 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치는, 기판 위에 배치된 보조 전원 전극을 갖는 회로층, 상기 회로층을 덮는 제1 보호층, 상기 제1 보호층과 상기 보조 전원 전극 사이에 배치된 제2 보호층, 상기 제1 보호층과 상기 제2 보호층을 관통하여 상기 보조 전원 전극의 일부분을 노출시키는 컨택부, 상기 보조 전원 전극의 일부분 위에 배치된 처마 구조부, 및 상기 처마 구조부의 측면에 있는 확장 커버 패턴을 포함할 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 처마 구조부는 상기 제1 보호층과 동일한 물질로 이루어지고, 상기 확장 커버 패턴은 상기 처마 구조부와 상이한 물질로 이루어질 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 처마 구조부는 상기 보조 전원 전극의 상면과 상기 처마 구조부의 하면 사이에 배치된 기둥 구조부에 의해 지지되고, 상기 기둥 구조부는 상기 제2 보호층과 동일한 물질로 이루어질 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 처마 구조부 및 상기 확장 커버 패턴의 아래와 상기 기둥 구조부의 측면에는 언더컷 영역을 포함할 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 기판 상의 회로층에 배치된 박막 트랜지스터, 상기 제1 보호층 위에 배치되고 상기 박막 트랜지스터에 결합된 픽셀 전극, 및 상기 제1 보호층 위에 배치되고 상기 픽셀 전극 상의 개구부를 정의하는 뱅크층을 더 포함하고, 상기 확장 커버 패턴은 상기 뱅크층과 동일한 물질로 이루어질 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 발광 표시 장치에 따르면, 상기 컨택부 주변의 상기 제1 보호층과 상기 제2 보호층 사이의 단차 영역에 배치된 단차 커버 패턴을 더 포함하고, 상기 단차 커버 패턴은 상기 확장 커버 패턴과 동일한 물질로 이루어질 수 있다.
이상에서 설명한 본 명세서는 전술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 명세서의 기술적 사항을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 명세서가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 그러므로, 본 명세서의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 명세서의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100: 발광 표시 장치 110: 표시 패널
CA: 컨택부 OC: 오버코트층
BA_P, OC_P: 제1 패턴 PAS: 패시베이션층
PAS_P: 제2 패턴 BA_R: 단차 커버 패턴

Claims (27)

  1. 기판 위에 배치된 보조 전원 전극을 갖는 회로층;
    상기 회로층을 덮는 제1 보호층;
    상기 제1 보호층과 상기 보조 전원 전극 사이에 배치된 제2 보호층;
    상기 제1 보호층과 상기 제2 보호층을 관통하여 상기 보조 전원 전극의 일부분을 노출시키는 컨택부; 및
    상기 컨택부 주변의 상기 제1 보호층과 상기 제2 보호층 사이의 단차 영역에 배치된 단차 커버 패턴을 포함하는, 발광 표시 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 단차 커버 패턴은 상기 제2 보호층의 상면과 상기 제1 보호층의 측면 사이에 형성되는, 발광 표시 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 단차 커버 패턴은 상기 제2 보호층의 상면과 상기 제1 보호층의 측면 사이에서 경사면을 갖도록 형성되는, 발광 표시 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 단차 커버 패턴의 상기 경사면은 상기 제1 보호층의 측면과의 사잇각 및 상기 제2 보호층의 상면과의 사잇각이 둔각인, 발광 표시 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 컨택부에서 상기 보조 전원 전극의 일부분 위에 배치되고 언더컷 영역을 갖는 언더컷 구조물을 더 포함하는, 발광 표시 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 언더컷 구조물은,
    상기 보조 전원 전극의 일부분 위에 배치된 제1 패턴;
    상기 보조 전원 전극의 상면 상에 배치되고, 상기 제1 패턴을 지지하는 제2 패턴; 및
    상기 제1 패턴과 상기 제2 패턴 사이에 배치된 더미 전극 패턴을 포함하고,
    상기 단차 커버 패턴은 상기 제1 패턴과 동일한 물질로 이루어진, 발광 표시 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 패턴은 상기 제1 보호층과 상이한 물질로 이루어지고,
    상기 제2 패턴은 상기 제2 보호층과 동일한 물질로 이루어진, 발광 표시 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 단차 커버 패턴은 상기 더미 전극 패턴과 동일한 금속 이물을 덮도록 형성되는, 발광 표시 장치.
  9. 제5항에 있어서,
    상기 언더컷 구조물은,
    상기 보조 전원 전극의 일부분 위에 배치된 제1 패턴; 및
    상기 보조 전원 전극의 상면 상에 배치되고, 상기 제1 패턴을 지지하는 제2 패턴을 포함하고,
    상기 단차 커버 패턴은 상기 제1 패턴과 상이한 물질로 이루어진, 발광 표시 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1 패턴은 상기 제1 보호층과 동일한 물질로 이루어지고,
    상기 제2 패턴은 상기 제2 보호층과 동일한 물질로 이루어진, 발광 표시 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 기판 상의 회로층에 배치된 박막 트랜지스터;
    상기 제1 보호층 위에 배치되고 상기 박막 트랜지스터에 결합된 픽셀 전극; 및
    상기 제1 보호층 위에 배치되고 상기 픽셀 전극 상의 개구부를 정의하는 뱅크층을 더 포함하는, 발광 표시 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 단차 커버 패턴은 상기 뱅크층과 동일한 물질로 이루어진, 발광 표시 장치.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 컨택부에서 상기 보조 전원 전극의 일부분 위에 배치되고 언더컷 영역을 갖는 언더컷 구조물을 더 포함하고,
    상기 언더컷 구조물은,
    상기 보조 전원 전극의 일부분 위에 배치된 제1 패턴;
    상기 보조 전원 전극의 상면 상에 배치되고, 상기 제1 패턴을 지지하는 제2 패턴; 및
    상기 제1 패턴과 상기 제2 패턴 사이에 배치된 더미 전극 패턴을 포함하고,
    상기 더미 전극 패턴은 상기 픽셀 전극과 동일한 물질로 이루어진, 발광 표시 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 픽셀 전극 위에 배치된 발광층; 및
    상기 발광층 위에 배치되는 공통 전극을 더 포함하고,
    상기 공통 전극은 상기 언더컷 영역에서 상기 보조 전원 전극에 직접 접하는, 발광 표시 장치.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 단차 커버 패턴은 상기 제1 보호층과 상기 제2 보호층 사이의 단차 영역을 따라 폐루프의 형태로 형성되는, 발광 표시 장치.
  16. 제1항에 있어서,
    상기 단차 커버 패턴은 상기 제1 보호층과 상기 제2 보호층 사이의 단차 영역에서 각 내측 모서리 부분에 형성되는, 발광 표시 장치.
  17. 기판 위에 배치된 박막 트랜지스터와 보조 전원 전극을 갖는 회로층;
    상기 회로층을 덮는 제1 보호층;
    상기 제1 보호층과 상기 보조 전원 전극 사이에 배치된 제2 보호층;
    상기 제1 보호층 위에 배치되고 상기 박막 트랜지스터에 연결된 픽셀 전극;
    상기 제1 보호층 위에 배치되고 상기 픽셀 전극 상의 개구부를 정의하는 뱅크층;
    상기 제1 보호층 및 상기 제2 보호층과 상기 뱅크층을 관통하여 상기 보조 전원 전극의 일부분을 노출시키는 컨택부;
    상기 픽셀 전극 및 상기 뱅크층 위에 배치된 발광층;
    상기 발광층 위에 배치되고 상기 컨택부에서 상기 보조 전원 전극에 결합된 공통 전극; 및
    상기 컨택부 주변의 상기 제1 보호층과 상기 제2 보호층 사이의 단차 영역에 배치된 단차 커버 패턴을 포함하는, 발광 표시 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 단차 커버 패턴은 상기 뱅크층과 동일한 물질로 이루어진, 발광 표시 장치.
  19. 제17항에 있어서,
    상기 컨택부에서 상기 보조 전원 전극의 일부분 위에 배치되고 언더컷 영역을 갖는 언더컷 구조물을 더 포함하고,
    상기 언더컷 구조물은,
    상기 보조 전원 전극의 일부분 위에 배치된 제1 패턴;
    상기 보조 전원 전극의 상면 상에 배치되고, 상기 제1 패턴을 지지하는 제2 패턴; 및
    상기 제1 패턴과 상기 제2 패턴 사이에 배치된 더미 전극 패턴을 포함하고,
    상기 제1 패턴은 상기 뱅크층과 동일한 물질로 이루어지고,
    상기 제2 패턴은 상기 제2 보호층과 동일한 물질로 이루어지고,
    상기 더미 전극 패턴은 상기 픽셀 전극과 동일한 물질로 이루어진, 발광 표시 장치.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 단차 커버 패턴은 상기 더미 전극 패턴과 동일한 금속 이물을 덮도록 형성되는, 발광 표시 장치.
  21. 제17항에 있어서,
    상기 컨택부에서 상기 보조 전원 전극의 일부분 위에 배치되고 언더컷 영역을 갖는 언더컷 구조물을 더 포함하고,
    상기 언더컷 구조물은,
    상기 보조 전원 전극의 일부분 위에 배치되고, 상기 제1 보호층과 동일 물질로 이루어진 제1 패턴;
    상기 보조 전원 전극의 상면 상에 배치되고, 상기 제2 보호층과 동일 물질로 이루어지며, 상기 제1 패턴을 지지하는 제2 패턴; 및
    상기 제1 패턴의 측면에 배치되고, 상기 단차 커버 패턴과 동일한 물질로 이루어진 확장 커버 패턴을 포함하는, 발광 표시 장치.
  22. 기판 위에 배치된 보조 전원 전극을 갖는 회로층;
    상기 회로층을 덮는 제1 보호층;
    상기 제1 보호층과 상기 보조 전원 전극 사이에 배치된 제2 보호층;
    상기 제1 보호층과 상기 제2 보호층을 관통하여 상기 보조 전원 전극의 일부분을 노출시키는 컨택부;
    상기 보조 전원 전극의 일부분 위에 배치된 처마 구조부; 및
    상기 처마 구조부의 측면에 있는 확장 커버 패턴을 포함하는, 발광 표시 장치.
  23. 제22항에 있어서,
    상기 처마 구조부는 상기 제1 보호층과 동일한 물질로 이루어지고,
    상기 확장 커버 패턴은 상기 처마 구조부와 상이한 물질로 이루어진, 발광 표시 장치.
  24. 제22항에 있어서,
    상기 처마 구조부는 상기 보조 전원 전극의 상면과 상기 처마 구조부의 하면 사이에 배치된 기둥 구조부에 의해 지지되고,
    상기 기둥 구조부는 상기 제2 보호층과 동일한 물질로 이루어진, 발광 표시 장치.
  25. 제24항에 있어서,
    상기 처마 구조부 및 상기 확장 커버 패턴의 아래와 상기 기둥 구조부의 측면에는 언더컷 영역을 포함하는, 발광 표시 장치.
  26. 제22항에 있어서,
    상기 기판 상의 회로층에 배치된 박막 트랜지스터;
    상기 제1 보호층 위에 배치되고 상기 박막 트랜지스터에 결합된 픽셀 전극; 및
    상기 제1 보호층 위에 배치되고 상기 픽셀 전극 상의 개구부를 정의하는 뱅크층을 더 포함하고,
    상기 확장 커버 패턴은 상기 뱅크층과 동일한 물질로 이루어진, 발광 표시 장치.
  27. 제26항에 있어서,
    상기 컨택부 주변의 상기 제1 보호층과 상기 제2 보호층 사이의 단차 영역에 배치된 단차 커버 패턴을 더 포함하고,
    상기 단차 커버 패턴은 상기 확장 커버 패턴과 동일한 물질로 이루어진, 발광 표시 장치.
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