KR20230100549A - 코팅노즐, 이를 구비한 코팅장치, 코팅시스템 및 코팅방법 - Google Patents

코팅노즐, 이를 구비한 코팅장치, 코팅시스템 및 코팅방법 Download PDF

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KR20230100549A
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주식회사 나래나노텍
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Abstract

본 발명에 따른 코팅노즐은 제1 노즐본체; 상기 제1 노즐본체와 내측면에서 코팅액 토출부를 형성하며, 상기 제1 노즐본체와 상기 내측면에서 이동 가능하게 결합되는 제2 노즐본체; 및 상기 제1 노즐본체 및 상기 제2 노즐본체의 어느 하나 또는 양자에 연결되며, 상기 제1 노즐본체 및 상기 제2 노즐본체의 어느 하나 또는 양자를 상기 기판의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 상대적으로 이동시켜 상기 코팅액 토출부의 폭을 가변적으로 조절하는 토출폭 조절부를 포함한다.

Description

코팅노즐, 이를 구비한 코팅장치, 코팅시스템 및 코팅방법{Coating nozzle, coating apparatus having the same, coating system and coating method}
본 발명은 코팅노즐, 이를 구비한 코팅장치, 코팅시스템 및 코팅 방법에 관한 것이다.
좀 더 구체적으로, 본 발명은 코팅액의 도포 중에 코팅액의 토출폭이 실시간으로 조절되도록 기판 상에 도포되는 코팅액의 폭을 가변적으로 제어하여, 기판 상에 가변적인 폭을 갖는 패턴을 신속하고 정밀하게 도포할 수 있는 코팅노즐, 이를 구비한 코팅장치, 코팅시스템 및 코팅 방법에 관한 것이다.
일반적으로 코팅노즐은 일정크기의 기판에 코팅액을 도포하여 코팅작업을 수행할 수 있도록 구비된 장치이다.
종래기술에 의한 코팅노즐은 코팅액의 공급 및 배출을 위한 유입구 및 배출구가 연통 형성된 메인몸체와, 배출구가 위치된 메인몸체의 측면에 배치되며 하부 중심부에 배출구가 오픈되도록 장방형의 절개부를 형성하여 배출되는 액체의 분사폭을 결정하여주는 분사폭형성 플레이트와, 분사폭형성 플레이트가 위치된 메인몸체의 측부로 체결되어 분사폭형성 플레이트를 지지함과 아울러 메인몸체와의 사이 하측으로 분사구를 형성하게 되는 보조몸체로 이루어진다.
이러한 구성으로 이루어진 종래 슬롯형 분사구를 형성하는 코팅노즐은 메인몸체의 유입구로 코팅액이 유입되면 배출구를 통해 배출되면서 분사폭형성 플레이트의 절개부에 의해 메인몸체와 보조몸체 사이의 하측으로 형성되는 슬롯형 분사구를 통하여 분사 처리된다.
하지만, 종래의 구성을 갖는 코팅노즐은 기판의 폭 사이즈가 가변적이거나 또는 동일한 폭의 기판 상에 상이한 폭의 패턴의 형성이 요구되는 경우 그에 대응하여 도포되는 코팅액의 폭을 가변적으로 제어하여야 하는데 종래에는 이를 위해서 요구되는 코팅액 토출부의 사이즈에 대응하는 코팅액 토출부의 토출폭을 가변시키는 다수의 플레이트가 사용된다. 이러한 종래 기술에서는, 요구되는 패턴의 가변 사이즈에 맞추어 코팅노즐에서의 코팅액 토출부의 폭을 증가 또는 감소시켜야 하는 작업이 요구된다. 좀 더 구체적으로, 코팅노즐을 구성하는 2개의 노즐 본체(예를 들어, 제1 몸체 및 제2 몸체)의 체결상태를 해제시킨 후, 가변된 패턴의 사이즈에 맞는 코팅액 토출부를 형성하도록 토출폭 가변 플레이트로 교체하고 제1 몸체와 제2 몸체를 다시 체결하여 조립하여야 하는 등 토출폭 조정에 따른 상당한 불편함 및 번거로움의 발생은 물론 상당한 교체 시간이 소요되는 문제점이 있었다.
대한민국 등록특허공보 제10-0903998호(2009.06.15 등록)
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 코팅액의 도포 중에 코팅액의 토출폭이 실시간으로 조절되도록 기판 상에 도포되는 코팅액의 폭을 가변적으로 제어하여, 기판 상에 가변적인 폭을 갖는 패턴을 신속하고 정밀하게 도포할 수 있는 코팅노즐, 이를 구비한 코팅장치, 코팅시스템 및 코팅방법을 제공하는데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅노즐은 제1 노즐본체; 상기 제1 노즐본체와 내측면에서 코팅액 토출부를 형성하며, 상기 제1 노즐본체와 상기 내측면에서 이동 가능하게 결합되는 제2 노즐본체; 및 상기 제1 노즐본체 및 상기 제2 노즐본체의 어느 하나 또는 양자에 연결되며, 상기 제1 노즐본체 및 상기 제2 노즐본체의 어느 하나 또는 양자를 상기 기판의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 상대적으로 이동시켜 상기 코팅액 토출부의 폭을 가변적으로 조절하는 토출폭 조절부;를 포함한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅장치는 베이스 프레임 상에 배치되고, 코팅과정을 진행하기 위해 상기 기판이 배치되는 스테이지; 상기 스테이지의 일측에 배치되는 갠트리; 상기 갠트리에 이동 가능하게 장착되며, 상기 기판 상에 코팅액을 도포하는 코팅노즐; 상기 갠트리에 연결되며, 상기 갠트리를 상기 기판 측으로 이동시키는 제1 이송장치; 상기 코팅노즐에 연결되며, 상기 코팅노즐을 상기 기판의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 이동시키는 제2 이송장치; 및 상기 스테이지를 상기 기판의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 이동시키는 제3 이송장치;를 포함하고, 상기 코팅노즐은, 제1 노즐본체; 상기 제1 노즐본체와 내측면에서 코팅액 토출부를 형성하며, 상기 제1 노즐본체와 상기 내측면에서 이동 가능하게 결합되는 제2 노즐본체; 및 상기 제1 노즐본체 및 상기 제2 노즐본체의 어느 하나 또는 양자에 연결되며, 상기 제1 노즐본체 및 상기 제2 노즐본체의 어느 하나 또는 양자를 상기 기판의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 상대적으로 이동시켜 상기 코팅액 토출부의 폭을 가변적으로 조절하는 토출폭 조절부;를 포함한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅시스템은 베이스 프레임 상에 배치되고, 코팅과정을 진행하기 위해 복수의 기판이 배치되는 스테이지; 상기 스테이지의 일측에 배치되는 갠트리; 상기 갠트리에 이동 가능하게 장착되며, 상기 복수의 기판 각각에 코팅액을 도포하는 복수의 코팅노즐; 상기 갠트리에 연결되며, 상기 갠트리를 상기 복수의 기판 측으로 이동시키는 제1 이송장치; 상기 복수의 코팅노즐에 연결되며, 상기 복수의 코팅노즐을 상기 복수의 기판의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 이동시키는 제2 이송장치; 및 상기 스테이지를 상기 복수의 기판의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 이동시키는 제3 이송장치를 포함하고, 상기 복수의 코팅노즐은 각각, 제1 노즐본체; 상기 제1 노즐본체와 내측면에서 코팅액 토출부를 형성하며, 상기 제1 노즐본체와 상기 내측면에서 이동 가능하게 결합되는 제2 노즐본체; 및 상기 제1 노즐본체 및 상기 제2 노즐본체의 어느 하나 또는 양자에 연결되며, 상기 제1 노즐본체 및 상기 제2 노즐본체의 어느 하나 또는 양자를 상기 복수의 기판의 각각의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 상대적으로 이동시켜 상기 코팅액 토출부의 폭을 가변적으로 조절하는 토출폭 조절부를 포함한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅방법은 스테이지 상에 상기 기판을 배치시키는 기판 배치단계; 및 제1 이송장치를 이용하여 갠트리에 장착된 코팅노즐을 상기 기판 측으로 이동시키면서 상기 코팅노즐의 코팅액 토출부를 통해 상기 기판상에 코팅액을 도포하는 코팅액 도포단계를 포함하고, 상기 코팅액 도포단계는 상기 코팅노즐에 제공되는 토출폭 조절부를 이용하여 상기 코팅액 토출부의 폭을 조절하는 토출폭 조절단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 코팅노즐, 이를 구비한 코팅장치, 코팅시스템 및 코팅방법을 사용하면 다음과 같은 장점이 달성된다.
1. 제1 노즐본체 및 제2 노즐본체를 상대적으로 이동시켜 코팅액 토출부의 폭을 신속하게 조절하여 기판 상에 토출되는 도포액의 폭이 가변적으로 조절되도록 실시간으로 제어할 수 있다.
2. 기판의 가변적인 폭에 대응하여 코팅액 토출부의 폭을 토출폭 조절부를 이용하는 것과 동시에 스테이지 또는 코팅노즐을 이동시켜서 조절함으로써, 기판의 가변적인 폭에 대해 더욱 신속하고 정밀하게 코팅액을 도포할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅장치의 구조를 개략적으로 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅노즐의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅노즐에서 코팅액 토출부의 폭이 좁아지게 조절된 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅노즐에서 코팅액 토출부의 폭이 넓어지게 조절된 상태를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 양방향으로 코팅액 토출부폭이 조절된 상태에서 코팅노즐을 이동시켜 기판의 가편된 폭의 위치와 폭이 조절된 코팅액 토출부의 위치를 일치시키는 과정을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅방법의 일 예를 단계별로 나타낸 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅방법의 다른 예를 단계별로 나타낸 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 첨부된 도면에서 동일한 구성 요소는 가능한 동일한 부호로 나타내고 있음에 유의해야 한다. 그리고 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅장치의 구조를 개략적으로 평면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅노즐의 구조를 개략적으로 나타낸 도면이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅노즐에서 코팅액 토출부의 폭이 좁아진 상태를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅노즐에서 코팅액 토출부의 폭이 넓어진 상태를 개략적으로 나타낸 도면이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 양방향으로 코팅액 토출부폭이 조절된 상태에서 코팅노즐을 이동시켜 기판의 가편된 폭의 위치와 폭이 조절된 코팅액 토출부의 위치를 일치시키는 과정을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅노즐(200)은 제1 노즐본체(210); 상기 제1 노즐본체(210)와 내측면에서 코팅액 토출부(240)를 형성하며, 상기 제1 노즐본체(210)와 상기 내측면에서 이동 가능하게 결합되는 제2 노즐본체(220); 및 상기 제1 노즐본체(210) 및 상기 제2 노즐본체(220)의 어느 하나 또는 양자에 연결되며, 상기 제1 노즐본체(210) 및 상기 제2 노즐본체(220)의 어느 하나 또는 양자를 상기 기판(G)의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 상대적으로 이동시켜 상기 코팅액 토출부(240)의 폭을 가변적으로 조절하는 토출폭 조절부(250);를 포함한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅장치는 베이스 프레임(B) 상에 배치되고, 코팅과정을 진행하기 위해 상기 기판이(G) 배치되는 스테이지(S); 상기 스테이지(S)의 일측에 배치되는 갠트리(K); 상기 갠트리(K)에 이동 가능하게 장착되며, 상기 기판(G) 상에 코팅액을 도포하는 코팅노즐(200); 상기 갠트리(K)에 연결되며, 상기 갠트리(K)를 상기 기판(G) 측으로 이동시키는 제1 이송장치(300); 상기 코팅노즐(200)에 연결되며, 상기 코팅노즐(200)을 상기 기판(G)의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 이동시키는 제2 이송장치(400) 및 상기 스테이지(S)를 상기 기판(G)의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 이동시키는 제3 이송장치(500);를 포함하고, 상기 코팅노즐(200)은, 제1 노즐본체(210); 상기 제1 노즐본체(210)와 내측면에서 코팅액 토출부(240)를 형성하며, 상기 제1 노즐본체(210)와 상기 내측면에서 이동 가능하게 결합되는 제2 노즐본체(220); 및 상기 제1 노즐본체(210) 및 상기 제2 노즐본체(220)의 어느 하나 또는 양자에 연결되며, 상기 제1 노즐본체(210) 및 상기 제2 노즐본체(220)의 어느 하나 또는 양자를 상기 기판(G)의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 상대적으로 이동시켜 상기 코팅액 토출부(240)의 폭을 가변적으로 조절하는 토출폭 조절부(250);를 포함한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅시스템은 베이스 프레임(B) 상에 배치되고, 코팅과정을 진행하기 위해 상기 기판(G)이 복수개가 배치되는 스테이지(S); 상기 스테이지(S)의 일측에 배치되는 갠트리(K); 상기 갠트리(K)에 이동 가능하게 장착되며, 상기 기판(G) 상에 코팅액을 도포하는 복수의 코팅노즐(200); 상기 갠트리(K)에 연결되며, 상기 갠트리(K)를 상기 복수의 기판(G) 측으로 이동시키는 제1 이송장치(300); 상기 복수의 코팅노즐(200)에 연결되며, 상기 복수의 코팅노즐(200)을 상기 복수의 기판(G)의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 이동시키는 제2 이송장치(400); 및 상기 스테이지(S)를 상기 기판의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 이동시키는 제3 이송장치(500);를 포함하고, 상기 복수의 코팅노즐(200)은 각각, 제1 노즐본체(210); 상기 제1 노즐본체(210)와 내측면에서 코팅액 토출부(240)를 형성하며, 상기 제1 노즐본체(210)와 상기 내측면에서 이동 가능하게 결합되는 제2 노즐본체(220); 및 상기 제1 노즐본체(210) 및 상기 제2 노즐본체(220)의 어느 하나 또는 양자에 연결되며, 상기 제1 노즐본체(210) 및 상기 제2 노즐본체(220)의 어느 하나 또는 양자를 상기 복수의 기판(G)의 각각의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 상대적으로 이동시켜 상기 코팅액 토출부(240)의 폭을 가변적으로 조절하는 토출폭 조절부(250);를 포함한다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅노즐(200)에 대해 구체적인 구성 및 동작을 상세히 기술한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 코팅노즐(200)이 코팅액을 도포하는 기판(G)은 가변적인 형상을 가지는 기판(G) 자체이거나, 또는 기판(G) 상에 가변적인 폭을 갖는 패턴(미도시)일 수 있다. 이하의 본 발명에 따른 실시예에서는, 설명의 편의상 가변적인 형상을 가지는 기판(G)만을 설명하지만, 이 경우 기판(G)은 기판(G) 상에 가변적인 폭을 갖는 패턴(미도시)을 의미하거나 포함할 수 있다는 점에 유의하여야 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 코팅노즐(200)은 상술한 가변적인 폭을 가지는 기판(G) 상에 대응하도록 코팅액 토출부(240)의 폭을 가변적으로 조절하여 코팅액을 신속하고 정밀하게 도포할 수 있도록 한다.
다시 도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅장치(100)는 제1 노즐본체(210), 제2 노즐본체(220), 및 토출폭 조절부(250)를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 제1 노즐본체(210)는 판형상으로 형성된 제1 노즐 플레이트(211)를 포함하되, 제1 노즐 플레이트(211)의 일면의 일측에는 단차가 형성되어, 제1 노즐 플레이트(211)의 일면의 일부분이 상기 코팅액 토출부(240)를 형성하는 제1 돌출부재(212)를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 제2 노즐본체(220)는 제1 노즐본체(210)와 내측면에서 코팅액 토출부(240)를 형성하며, 제1 노즐본체(210)와 내측면에서 이동 가능하게 결합될 수 있다. 이때, 제1 노즐본체(210)와 제2 노즐본체(220)는 서로 반대칭 형상을 가지도록 형성될 수 있다.
제1 노즐 플레이트(211)와 동일한 형성으로 형성된 제2 노즐 플레이트(221)는 제2 노즐 플레이트(221)의 일측에 단차가 형성되어, 제2 노즐 플레이트(221) 측의 일면의 일부분이 코팅액 토출부(240)를 형성하는 제2 돌출부재(222)을 포함할 수 있다.
즉, 제1 노즐 플레이트(211)에서 제1 돌출부재(212)를 제외한 나머지 제1 영역(213)이 코팅액 토출부(240)가 형성되는 영역이 되고, 제2 노즐 플레이트(221)에서 제2 돌출부재(222)를 제외한 나머지 제2 영역(223)이 코팅액 토출부(240)가 형성되는 제2 영역(223)이 되며, 제1 노즐본체(210)와 제2 노즐본체(220)의 결합 시, 제1 영역(213) 및 제2 영역(223) 상에 코팅액 토출부(240)가 형성되게 된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 토출폭 조절부(250)는 제1 노즐본체(210) 및 제2 노즐본체(220)의 어느 하나 또는 양자에 연결될 수 있으며, 제1 노즐본체(210) 및 제2 노즐본체(220)의 어느 하나 또는 양자를 기판(G)의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 상대적으로 이동시켜 코팅액 토출부(240)의 폭을 가변적으로 조절하게 된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 토출폭 조절부(250)는 제1 노즐본체(210)와 연결되어 제1 노즐본체(210)를 이동시키기는 제1 조절부(251)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 조절부(251)에 의해 제1 노즐본체(210)가 이동됨으로써, 제1 돌출부재(212)의 위치가 이동되어 코팅액 토출부(240)의 제1 영역 (213)의 폭을 가변적으로 조절하게 된다.
또한, 토출폭 조절부(250)는 제2 노즐본체(220)와 연결되어 제1 노즐본체(210)를 이동시키는 제2 조절부(252)를 포함할 수 있다. 이때, 제2 조절부(252)에 의해 제2 노즐본체(220)이 이동됨으로써, 제2 돌출부재(222)의 위치가 이동되어 코팅액 토출부(240)의 제2 영역(223)의 폭을 가변적으로 조절하게 된다.
한편, 제1 노즐본체(210) 및 제2 노즐본체(220) 중 어느 하나의 노즐본체만을 이동시켜 코팅액 토출부(240)의 폭을 가변적으로 조절하는 것도 가능하지만, 코팅액 토출부(240)의 폭을 신속하고 정밀하게 조절하기 위해서는 제1 노즐본체(210)와 제2 노즐본체(220)를 동시에 이동시키는 것이 바람직하다.
제1 조절부(251) 및 제2 조절부(252) 각각은 일 예로, 볼스크류와 구동모터로 구현될 수 있으나, 이에 제한되지 않는다는 점에서 유의하여야 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 코팅노즐(200)은 일 예로, 코팅과정에서 기판(G)의 폭이 좁아지는 영역에서는 제1 조절부(251) 및 제2 조절부(252)를 상대적으로 이동시켜 코팅액 토출부(240)의 폭을 줄여 코팅과정을 진행할 수 있도록 한다. 좀 더 구체적으로, 도 3에 도시된 바와 같이, 노즐본체(210)에 연결된 제1 조절부(251)를 이용하여 제1 노즐본체(210)를 코팅액 토출부(240)의 중심부를 기준으로 제1 방향(기판의 길이 방향에 대해 직교하는 방향; 도 3의 상단부에 화살표로 표시된 방향)으로 이동시키고, 제2 노즐본체(220)에 연결된 제2 조절부(252)를 이용하여 제2 노즐본체(220)를 제1 노즐본체(210)의 이동 방향의 반대 방향으로 이동시킨다. 그러면, 제1 노즐본체(210)의 제1 돌출부재(212)의 위치 및 제2 노즐본체(220)의 제2 돌출부재(222)의 위치가 변경되어, 코팅액 토출부(240)의 폭이 좁아진 기판(G)의 폭에 대응되도록 좁아지게 조절된 상태에서 코팅택 토출부(240)를 통해 코팅액이 도포될 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅노즐은 다른 예로, 코팅과정에서 기판(G)의 폭이 넓어지는 영역에서는 제1 조절부(251) 및 제2 조절부(252)를 상대적으로 이동시켜 코팅액 토출부(240)의 폭을 넓혀 코팅과정을 진행할 수 있도록 한다. 좀 더 구체적으로, 4에 도시된 바와 같이, 제1 조절부(251)를 이용하여 제1 노즐본체(210)를 코팅액 토출부(240)의 중심부를 기준으로 제1 방향과 반대 방향인 제2 방향으로 이동시키고, 제2 조절부(252)를 이용하여 제1 노즐본체(210)의 이동방향과 반대 방향으로 제2 노즐본체(220)를 이동시킨다. 그러면, 제1 노즐본체(210)의 제1 돌출부재(212)의 위치 및 제2 노즐본체(220)의 제2 돌출부재(222)의 위치가 변경되어, 코팅액 토출부(240)의 폭이 넓어진 기판(G)의 폭에 대응되도록 넓어지게 조절된 상태에서 코팅택 토출부(240)를 통해 코팅액이 도포될 수 있도록 한다.
다시, 도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅장치(100)는 스테이지(S), 갠트리(K), 코팅노즐(200), 제1 이송장치(300), 제제2 이송장치(400), 및 제3 이송장치(400)를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 코팅장치(100)의 구성인 코팅노즐(200)에 대해서는 앞서 상술한 코팅노즐(200)과 구성 및 동작이 동일하여 상세한 설명은 생략한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지(S)는 베이스 프레임(B) 상에 배치될 수 있으며, 스테이지(S) 상에는 코팅을 진행하기 위한 기판(G)이 배치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 갠트리(K)는 스테이지(S)의 일측에 배치될 수 있으며, 코팅노즐(200)이 이동 가능하게 장착될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 제1 이송장치(300)는 갠트리(K)에 연결될 수 있으며, 기판(G)상에 코팅액을 도포시키기 위하여 코팅노즐(200)이 장착된 갠트리를 기판(G) 측으로 이동시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 제2 이송장치(400)는 코팅노즐(200)에 연결되며, 코팅노즐(200)을 기판(G)의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 이동시킬 수 있다.
좀 더 구체적으로, 제2 이송장치(400)는 기판(G)의 폭이 가변되는 영역에서 제1 조절부(251)를 이용하여 제1 노즐본체(210)를 일 방향으로 이동시키고, 제2 조절부(252)를 이용하여 제2 노즐본체(220)를 제1 노즐본체(210)의 이동 방향에 대해 반대 방향으로 이동시켜 기판(G)의 가변되는 폭에 대응되도록 코팅액 토출부(240)의 폭을 조절할 경우, 제1 노즐본체(210) 및 제2 노즐본체(220)의 상대이동에 따라 발생하는 과도포 영역(A1) 및 미도포 영역(A2)의 발생을 방지하기 위해 코팅노즐(200)을 보상 이동시키게 된다.
예를 들어, 도 5를 참조하면, 기판(G)의 전체 폭(H1)이 100mm이고 기판(G) 전체 폭(H1) 대비 좁아진 영역에 대한 폭(H2)이 40mm일 경우, 코팅노즐(200)의 코팅액 토출부(240)의 폭을 40mm 정도 줄여야 되는 바, 제1 노즐본체(210) 및 제2 노즐본체(220)를 기판(G)의 중심축선(C) 상을 기준으로 양방향으로 20mm의 거리(L1, L2)만큼 각각 이동시키게 되면, 코팅액 토출부(240)의 폭이 40mm가 줄어들어 기판(G)의 좁아진 폭(H2)만큼 코팅액 토출부(240)의 폭이 줄어들게 된다. 이 경우, 코팅액 토출부(240)의 폭이 양방향으로 줄어들기 때문에, 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 기판 상에는 과도포 영역(A1) 및 미도포 영역(A2)이 발생하게 된다.
이때, 제2 이송장치(400)를 이용하여, 코팅노즐(200)을 기판(G)의 폭이 줄어든 방향(도 5의 (b)에 도시된 화살표 방향)으로 이동시키면, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 기판(G) 상에 과도포 영역(A1) 및 미도포 영역(A2)이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 제3 이송장치(500)는 스테이지(S)를 기판(G)의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 이동시킬 수 있다.
좀 더 구체적으로, 상술한 제2 이송장치(400)의 대안적으로 제3 이송장치(500)를 이용하여 제1 노즐본체(210) 및 제2 노즐본체(220)의 상대이동에 따라 발생하는 과도포 영역(A1) 및 미도포 영역(A2)의 발생을 방지하기 위해 스테이지(S)를 보상 이동시킬 수 있다.
도시되지는 않았지만, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅시스템은 상술한 스테이지(S) 상에 복수의 기판(G)이 배치되고, 복수의 기판(G)에 코팅액을 각각 도포하기 위한 코팅노즐(200)이 복수개가 배치되는 것을 제외하고는 상술한 코팅장치(100)의 구성과 동일하여 상세한 설명은 생략한다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅장치의 코팅방법에 대해 설명하기로 한다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅방법의 일 예를 단계별로 나타낸 도면이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅방법의 다른 예를 단계별로 나타낸 도면이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 코팅방법은 스테이지(S) 상에 기판(G)을 배치시키는 기판 배치단계; 및 제1 이송장치(300)를 이용하여 갠드리(K)에 장착된 코팅노즐(200)을 기판(G)측으로 이동시키면서 코팅액 토출부(240)를 통해 기판(G)상에 코팅액을 도포하는 코팅액 도포단계를 포함하되, 상기 코팅액 도포단계는 상기 코팅노즐(200)에 제공되는 토출폭 조절부(250)를 이용하여 상기 코팅액 토출부(240)의 폭을 조절하는 토출폭 조절단계를 포함한다.
이때, 토출폭 조절단계는 코팅노즐(200)의 제1 노즐본체(210) 및 제2 노즐본체(220)의 상대이동에 따라 발생하는 과도포 영역(A1) 및 미도포 영역(A2)의 발생을 방지하기 위해 제2 이송장치(400)를 이용하여 코팅노즐(200)을 보상 이동시키는 코팅노즐 이동단계를 포함할 수 있다.
또한, 토출폭 조절단계는 코팅노즐(200)의 제1 노즐본체(210) 및 제2 노즐본체(220)의 상대이동에 따라 발생하는 과도포 영역(A1) 및 미도포 영역(A2)의 발생을 방지하기 위해 제3 이송장치(500)를 이용하여 스테이지(S)를 보상 이동시키는 스테이지 이동단계를 포함할 수 있다.
이하에서는 도 6을 도 1 및 도 2와 함께 참조하여, 코팅노즐 이동단계를 포함하는 코팅과정의 일 예에 대해 설명한다.
먼저, 기판(G) 배치단계에서는 도 6의 (a)에 도시된 바와 같이, 스테이지(S) 상에 기판(G)을 배치하는 과정이 수행된다.
다음으로, 코팅액 도포단계에서는 제1 이송장치(300)를 동작시켜 갠트리(K)에 장착된 코팅노즐(200)을 기판(G)측으로 이동시키면서 코팅액 토출부(240)를 통해 기판(G)상에 코팅액을 도포하는 과정이 수행된다. 이때, 기판(G)의 폭이 동일한 영역에서는 코팅액 토출부(240)의 폭을 변화시키지 않고 코팅액이 도포될 수 있도록 한다.
다음으로, 코팅액 도포단계 중 기판(G)의 폭이 한 방향으로 좁아진 경우에 토출폭 조절부(250)를 이용하여 코팅액 토출부(240)의 폭을 기판(G)의 좁아진 폭만큼 조절하는 토출폭 조절단계가 수행된다.
좀 더 구체적으로, 도 6의 (b)에 도시된 바와 같이, 기판(G)의 폭이 한 방향을 좁아진 경우에는 제1 조절부(251)를 이용하여 제1 노즐본체(210)를 기판(G)의 길이 방향에 대해 직교되는 방향 중 제1 방향(도 3 참조)으로 이동시키고, 제2 조절부(252)를 이용하여 제2 노즐본체(220)를 제1 노즐본체(210)의 이동 방향에 대해 반대 방향으로 이동시켜 코팅액 토출부(240)의 폭이 기판(G)의 좁아진 폭에 대응되도록 조절한다.
이때, 제1 조절부(251) 및 제2 조절부(252)를 이용하여 코팅액 토출부(240)의 폭을 양방향으로 조절할 경우에는 도 6의 (b)에 도시된 바와 같이, 제1 노즐본체(210) 및 제2 노즐본체(220)의 상대이동에 따라 발생하는 과도포 영역(A1) 및 미도포 영역(A2)이 발생하게 된다. 이 경우, 제2 이송장치를 이용하여 코팅노즐을 기판(G)의 폭이 좁아진 방향으로 이동시켜 도 6의 (c)에 도시된 바와 같이, 기판(G) 상에 과도포 영역(A1) 및 미도포 영역(A2)이 존재하지 않도록 한 후, 코팅과정을 수행한다.
다음으로, 기판(G)의 폭이 초기 폭과 같이 넓어진 영역에서는 도 6의 (d)에 도시된 바와 같이, 제1 조절부(251)를 이용하여 제1 노즐본체(210)를 제2 방향으로 이동시켜 제1 노즐본체(210)의 위치를 초기위치로 조절하고, 제2 조절부(252)를 이용하여 제1 노즐본체(210)의 이동 방향의 반대 방향으로 제2 노즐본체(220)를 이동시켜 제2 노즐본체(220)의 위치를 초기위치로 조절한 다음, 제2 이송장치(400)를 이용하여 코팅노즐(200)을 초기위치로 이동시켜 코팅액 도포과정을 수행한다.
이하에서는 도 7을 도 1 및 도 2와 함께 참조하여, 스테이지 이동단계를 포함하는 코팅과정의 다른 예에 대해 설명한다.
먼저, 기판 배치단계에서는 도 7의 (a)에 도시된 바와 같이, 스테이지(S) 상에 기판(G)을 배치하는 과정이 수행된다.
다음으로, 코팅액 도포단계에서는 제1 이송장치(300)를 동작시켜 갠트리(K)에 장착된 코팅노즐(200)을 기판(G)측으로 이동시키면서 코팅액 토출부(240)를 통해 기판(G)상에 코팅액을 도포하는 과정이 수행된다. 이때, 기판(G)의 폭이 동일한 영역에서는 코팅액 토출부(240)의 폭을 변화시키지 않고 코팅액을 도포될 수 있도록 한다.
다음으로, 코팅액 도포단계 중 기판(G)의 폭이 한 방향으로 좁아진 경우에 코팅액 토출부(240)를 이용하여 코팅액 토출부(240)의 폭을 기판(G)의 좁아진 폭만큼 조절하는 토출폭 조절단계가 수행된다.
좀 더 구체적으로, 도 7의 (b)에 도시된 바와 같이, 기판(G)의 폭이 한 방향을 좁아진 경우에는 제1 조절부(251)를 이용하여 제1 노즐본체(210)를 기판(G)의 길이 방향에 대해 직교되는 제1 방향으로 이동시키고, 제2 조절부(252)를 이용하여 제2 노즐본체(220)를 제1 노즐본체(210)의 이동 방향의 반대 방향으로 이동시켜 코팅액 토출부(240)의 폭이 기판(G)의 좁아진 폭에 대응되도록 조절한다.
이때, 제1 조절부(251) 및 제2 조절부(252)를 이용하여 코팅액 토출부(240)의 폭을 양방향으로 조절할 경우에는 도 7의 (b)에 도시된 바와 같이, 제1 노즐본체(210) 및 제2 노즐본체(220)의 상대이동에 따라 발생하는 과도포 영역(A1) 및 미도포 영역(A2)이 발생하게 된다. 제3 이송장치(500)를 이용하여 스테이지(S)를 기판(G)의 폭이 좁아진 반대 방향으로 이동시켜, 도 7의 (c)에 도시된 바와 같이, 기판(G) 상에 과도포 영역(A1) 및 미도포 영역(A2)이 발생하지 않도록 하면서 코팅과정을 수행한다.
다음으로, 기판(G)의 폭이 초기 폭과 같이 넓어진 영역에서는 도 7의 (d)에 도시된 바와 같이, 제1 조절부(251)를 이용하여 제1 노즐본체(210)를 제2 방향으로 이동시켜 제1 노즐본체(210)의 위치를 초기위치로 조절하고, 제2 조절부(252)를 이용하여 제1 노즐본체(220)의 이동 방향의 반대 방향으로 제2 노즐본체(220)를 이동시켜 제2 노즐본체(220)의 위치를 초기위치로 조절한 다음, 제3 이송장치(500)를 이용하여 스테이지(S)을 초기위치로 이동시켜 코팅액 도포과정을 수행한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅노즐, 이를 구비한 코팅장치, 코팅시스템 및 코팅방법은 제1 노즐본체 및 제2 노즐본체를 상대적으로 이동시켜 코팅액 토출부의 폭을 신속하게 조절하여 기판 상에 토출되는 도포액의 폭이 가변적으로 조절되도록 실시간으로 제어할 수 있다.
또한, 기판의 가변적인 폭에 대응하여 코팅액 토출부의 폭을 토출폭 조절부를 이용하여 조절함과 동시에 스테이지 또는 코팅노즐을 이동시켜서 조절함으로써, 가변적인 폭을 갖는 기판에 대해 더욱 신속하고 정밀하게 코팅액을 도포할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 첨부 도면 및 예시적인 실시예를 참조하여 설명되었지만, 본 발명의 보호범위가 이러한 도면 및 예시적인 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상의 범주 내에서는 임의의 수정 및 변형 실시가 가능하다.
100: 코팅장치 200: 코팅노즐
210: 제1 노즐본체 211: 제1 노즐 플레이트
212: 제1 돌출부재 213: 제1 영역
220: 제2 노즐본체 221: 제2 노즐 플레이트
222: 제2 돌출부재 223: 제2 영역
240: 코팅액 토출부 250: 토출폭 조절부
251: 제1 조절부 252: 제2 조절부
300: 제1 이송장치 400: 제2 이송장치
500: 제3 이송장치
G: 기판 B: 베이스 프레임
S: 스테이지 K: 갠트리

Claims (22)

  1. 기판 상에 코팅액을 도포하여 코팅하는 코팅노즐에 있어서,
    제1 노즐본체;
    상기 제1 노즐본체와 내측면에서 코팅액 토출부를 형성하며, 상기 제1 노즐본체와 상기 내측면에서 이동 가능하게 결합되는 제2 노즐본체; 및
    상기 제1 노즐본체 및 상기 제2 노즐본체의 어느 하나 또는 양자에 연결되며, 상기 제1 노즐본체 및 상기 제2 노즐본체의 어느 하나 또는 양자를 상기 기판의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 상대적으로 이동시켜 상기 코팅액 토출부의 폭을 가변적으로 조절하는 토출폭 조절부
    를 포함하는 코팅노즐.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 노즐본체는 판형상으로 형성된 제1 노즐 플레이트-여기서 상기 제1 노즐 플레이트는 일면의 일측에 단차가 형성되어, 상기 제1 노즐 플레이트의 상기 일면의 일부분이 상기 코팅액 토출부를 형성하는 제1 돌출부재를 포함함-로 구성되고;
    상기 제2 노즐본체는 상기 제1 노즐 플레이트와 동일한 형상으로 형성된 제2 노즐 플레이트-여기서 상기 제2 노즐 플레이트는 일측에 단차가 형성되어, 상기 제2 노즐 플레이트측의 상기 일면의 일부분이 상기 코팅액 토출부를 형성하는 제2 돌출부재를 포함함-로 구성되며;
    상기 제1 노즐본체와 상기 제2 노즐본체는 서로 반대칭 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 코팅노즐.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 토출폭 조절부는 상기 제1 노즐본체와 연결되어 상기 제1 노즐본체를 이동시키는 제1 조절부; 및 상기 제2 노즐본체와 연결되어 상기 제2 노즐본체를 이동시키는 제2 조절부 중 적어도 하나 이상을 포함하는 코팅노즐.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 조절부 및 상기 제2 조절부 각각은, 볼 스크류와 구동모터로 구현되는 코팅노즐.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 토출폭 조절부는
    상기 기판의 폭이 가변된 영역에서 상기 제1 조절부를 이용하여 상기 제1 노즐본체를 일 방향으로 이동시키고, 상기 제2 조절부를 이용하여 상기 제2 노즐본체를 상기 제1 노즐본체의 이동 방항에 대해 반대 방향으로 이동시켜 상기 코팅액 조절부의 폭을 조절하는 코팅노즐.
  6. 기판 상에 코팅액을 도포하는 코팅장치에 있어서,
    베이스 프레임 상에 배치되고, 코팅과정을 진행하기 위해 상기 기판이 배치되는 스테이지;
    상기 스테이지의 일측에 배치되는 갠트리;
    상기 갠트리에 이동 가능하게 장착되며, 상기 기판 상에 코팅액을 도포하는 코팅노즐;
    상기 갠트리에 연결되며, 상기 갠트리를 상기 기판 측으로 이동시키는 제1 이송장치;
    상기 코팅노즐에 연결되며, 상기 코팅노즐을 상기 기판의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 이동시키는 제2 이송장치; 및
    상기 스테이지를 상기 기판의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 이동시키는 제3 이송장치;를 포함하고,
    상기 코팅노즐은,
    제1 노즐본체;
    상기 제1 노즐본체와 내측면에서 코팅액 토출부를 형성하며, 상기 제1 노즐본체와 상기 내측면에서 이동 가능하게 결합되는 제2 노즐본체; 및
    상기 제1 노즐본체 및 상기 제2 노즐본체의 어느 하나 또는 양자에 연결되며, 상기 제1 노즐본체 및 상기 제2 노즐본체의 어느 하나 또는 양자를 상기 기판의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 상대적으로 이동시켜 상기 코팅액 토출부의 폭을 가변적으로 조절하는 토출폭 조절부
    를 포함하는 코팅장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 노즐본체는 판형상으로 형성된 제1 노즐 플레이트-여기서 상기 제1 노즐 플레이트는 일면의 일측에 단차가 형성되어, 상기 제1 노즐 플레이트의 상기 일면의 일부분이 상기 코팅액 토출부를 형성하는 제1 돌출부재를 포함함-로 구성되고;
    상기 제2 노즐본체는 상기 제1 노즐 플레이트와 동일한 형상으로 형성된 제2 노즐 플레이트-여기서 상기 제2 노즐 플레이트는 일측에 단차가 형성되어, 상기 제2 노즐 플레이트측의 상기 일면의 일부분이 상기 코팅액 토출부를 형성하는 제2 돌출부재를 포함함-로 구성되며;
    상기 제1 노즐본체와 상기 제2 노즐본체는 서로 반대칭 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 코팅노즐.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 토출폭 조절부는 상기 제1 노즐본체와 연결되어 상기 제1 노즐본체를 이동시키는 제1 조절부; 및 상기 제2 노즐본체와 연결되어 상기 제2 노즐본체를 이동시키는 제2 조절부 중 적어도 하나 이상을 포함하는 코팅장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1 조절부 및 상기 제2 조절부 각각은, 볼 스크류와 구동모터로 구현되는 코팅장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 토출폭 조절부는 상기 제1 조절부를 이용하여 상기 제1 노즐본체를 일 방향으로 이동시키고, 상기 제2 조절부를 이용하여 상기 제2 노즐본체를 상기 제1 노즐본체의 이동 방향에 대해 반대 방향으로 이동시켜 상기 코팅액 조절부의 폭을 조절하는 코팅장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제2 이송장치는 상기 제1 노즐본체 및 상기 제2 노즐본체의 상대이동에 따라 발생하는 과도포 영역 및 미도포 영역의 발생을 방지하기 위해 상기 코팅노즐을 보상 이동시키는 코팅장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 제2 이송장치는 상기 제1 노즐본체 및 상기 제2 노즐본체의 상대이동에 따라 발생하는 과도포 영역 및 미도포 영역의 발생을 방지하기 위해 상기 코팅노즐을 보상 이동시키는 코팅장치.
  13. 기판 상에 코팅액을 도포하는 코팅시스템에 있어서,
    베이스 프레임 상에 배치되고, 코팅과정을 진행하기 위해 복수의 기판이 배치되는 스테이지;
    상기 스테이지의 일측에 배치되는 갠트리;
    상기 갠트리에 이동 가능하게 장착되며, 상기 복수의 기판 각각에 코팅액을 도포하는 복수의 코팅노즐;
    상기 갠트리에 연결되며, 상기 갠트리를 상기 복수의 기판 측으로 이동시키는 제1 이송장치;
    상기 복수의 코팅노즐에 연결되며, 상기 복수의 코팅노즐을 상기 복수의 기판의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 이동시키는 제2 이송장치; 및
    상기 스테이지를 상기 복수의 기판의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 이동시키는 제3 이송장치
    를 포함하고,
    상기 복수의 코팅노즐은 각각,
    제1 노즐본체;
    상기 제1 노즐본체와 내측면에서 코팅액 토출부를 형성하며, 상기 제1 노즐본체와 상기 내측면에서 이동 가능하게 결합되는 제2 노즐본체; 및
    상기 제1 노즐본체 및 상기 제2 노즐본체의 어느 하나 또는 양자에 연결되며, 상기 제1 노즐본체 및 상기 제2 노즐본체의 어느 하나 또는 양자를 상기 복수의 기판의 각각의 길이 방향에 대해 직교 방향으로 상대적으로 이동시켜 상기 코팅액 토출부의 폭을 가변적으로 조절하는 토출폭 조절부
    를 포함하는 코팅시스템.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제1 노즐본체는 판형상으로 형성된 제1 노즐 플레이트-여기서 상기 제1 노즐 플레이트는 일면의 일측에 단차가 형성되어, 상기 제1 노즐 플레이트의 상기 일면의 일부분이 상기 코팅액 토출부를 형성하는 제1 돌출부재를 포함함-로 구성되고;
    상기 제2 노즐본체는 상기 제1 노즐 플레이트와 동일한 형상으로 형성된 제2 노즐 플레이트-여기서 상기 제2 노즐 플레이트는 일측에 단차가 형성되어, 상기 제2 노즐 플레이트측의 상기 일면의 일부분이 상기 코팅액 토출부를 형성하는 제2 돌출부재를 포함함-로 구성되며;
    상기 제1 노즐 플레이트와 상기 제2 노즐 플레이트는 서로 반대칭 형상을 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 코팅시스템.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 토출폭 조절부는 상기 제1 노즐본체와 연결되어 상기 제1 노즐본체를 이동시키기는 제1 조절부; 및 상기 제2 노즐본체와 연결되어 상기 제2 노즐본체를 이동시키는 제2 조절부 중 적어도 하나 이상을 포함하는 코팅시스템.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 제1 조절부 및 상기 제2 조절부 각각은, 볼 스크류와 구동모터로 구현되는 코팅시스템.
  17. 제15항에 있어서,
    상기 토출폭 조절부는
    상기 기판의 폭이 가변된 영역에서 상기 제1 조절부를 이용하여 상기 제1 노즐본체를 일 방향으로 이동시키고, 상기 제2 조절부를 이용하여 상기 제2 노즐본체를 상기 제1 노즐본체의 이동 방향에 대해 반대 방향으로 이동시켜 상기 코팅액 조절부의 폭을 조절하는 코팅시스템.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 제2 이송장치는 상기 제1 노즐본체 및 상기 제2 노즐본체의 상대이동에 따라 발생하는 과도포 영역 및 미도포 영역의 발생을 방지하기 위해 상기 복수의 코팅노즐을 보상 이동시키는 코팅시스템.
  19. 제17항에 있어서,
    상기 제3 이송장치는 상기 제1 노즐본체 및 상기 제2 노즐본체의 상대이동에 따라 발생하는 과도포 영역 및 미도포 영역의 발생을 방지하기 위해 상기 스테이지를 보상 이동시키는 코팅시스템.
  20. 기판 상에 코팅액을 도포하는 코팅방법에 있어서,
    스테이지 상에 상기 기판을 배치시키는 기판 배치단계; 및
    제1 이송장치를 이용하여 갠트리에 장착된 코팅노즐을 상기 기판 측으로 이동시키면서 상기 코팅노즐의 코팅액 토출부를 통해 상기 기판상에 코팅액을 도포하는 코팅액 도포단계
    를 포함하고,
    상기 코팅액 도포단계는 상기 코팅노즐에 제공되는 토출폭 조절부를 이용하여 상기 코팅액 토출부의 폭을 조절하는 토출폭 조절단계
    를 포함하는 코팅방법.
  21. 제20항에 있어서,
    상기 토출부폭 조절단계는 상기 코팅노즐의 제1 노즐본체 및 제2 노즐본체의 상대이동에 따라 발생하는 과도포 영역 및 미도포 영역의 발생을 방지하기 위해 제2 이송장치를 이용하여 상기 코팅노즐을 보상 이동시키는 코팅노즐 이동단계를 더 포함하는 코팅방법.
  22. 제20항에 있어서,
    상기 토출부폭 조절단계는 상기 코팅노즐의 제1 노즐본체 및 제2 노즐본체의 상대이동에 따라 발생하는 과도포 영역 및 미도포 영역의 발생을 방지하기 위해 제3 이송장치를 이용하여 상기 스테이지를 보상 이동시키는 스테이지 이동단계를 더 포함하는 코팅방법.
KR1020220045579A 2021-12-28 2022-04-13 코팅노즐, 이를 구비한 코팅장치, 코팅시스템 및 코팅방법 KR20230100549A (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100903998B1 (ko) 2007-12-04 2009-06-19 김재준 분사폭 가변형 분사노즐

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100903998B1 (ko) 2007-12-04 2009-06-19 김재준 분사폭 가변형 분사노즐

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