KR20230099556A - Steering apparatus and transferring apparatus having the same - Google Patents

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KR20230099556A
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최원영
장보순
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세메스 주식회사
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Abstract

조향 장치는 주행 대차가 직선 경로로부터 곡선 경로를 따라 주행할 수 있게 조향 주행부 및 조향 레일부로 이루어지는 것으로써, 상기 조향 주행부는 상기 주행 대차의 주행 방향을 x 방향이라 할 때 상기 x 방향과 수직한 y 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 조향축; 상기 조향축 일단부를 중심으로 양쪽으로 연장되되, 상기 x 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 제1 연장축; 상기 제1 연장축 양단부에 구비되는 제1 조향휠; 상기 조향축 타단부를 중심으로 양쪽으로 연장되되, 상기 x 방향 및 상기 y 방향과 수직한 z 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 제2 연장축; 그리고 상기 제2 연장축 양단부에 구비되는 제2 조향휠로 이루어질 수 있고, 상기 조향 레일부는 상기 곡선 경로를 따라 배치됨과 아울러 서로 마주하게 배치되는 제1 레일부와 제2 레일부로 이루어지고, 상기 제1 레일부와 상기 제2 레일부 각각은 상기 조향축이 출입할 수 있는 출입부를 구비함과 아울러 상기 조향축으로부터 연장되는 제1 연장축과 제1 조향휠, 그리고 제2 연장축과 제2 조향휠을 수용하는 수용부를 구비하도록 이루어질 수 있다.The steering device is composed of a steering driving part and a steering rail part so that the traveling cart can travel along a curved path from a straight path, and the steering traveling part is perpendicular to the x direction when the traveling direction of the traveling cart is the x direction. a steering shaft provided to have a structure extending in the y direction; a first extension shaft extending in both directions around one end of the steering shaft and extending in the x direction; first steering wheels provided at both ends of the first extension shaft; a second extension shaft extending in both directions around the other end of the steering shaft and extending in a z-direction perpendicular to the x-direction and the y-direction; And it may consist of a second steering wheel provided at both ends of the second extension shaft, and the steering rail portion includes a first rail portion and a second rail portion disposed along the curved path and facing each other, Each of the first rail part and the second rail part has an entrance and exit through which the steering shaft can enter and exit, and a first extension shaft and a first steering wheel extending from the steering shaft, and a second extension shaft and a second steering wheel. It may be made to have an accommodating portion for accommodating the wheel.

Description

조향 장치 및 이를 포함하는 주행 장치{STEERING APPARATUS AND TRANSFERRING APPARATUS HAVING THE SAME}Steering device and driving device including the same {STEERING APPARATUS AND TRANSFERRING APPARATUS HAVING THE SAME}

본 발명은 조향 장치 및 이를 포함하는 주행 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에서 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품을 이송시키도록 구비되는 조향 장치 및 이를 포함하는 주행 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a steering device and a traveling device including the same. More specifically, the present invention relates to a steering device provided to transfer an article used for manufacturing an integrated circuit device from the ceiling side of a manufacturing line of an integrated circuit device, and a traveling device including the same.

반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에서는 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품에 대한 이송 공정이 빈번하게 이루어지고 있는데, 최근에는 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에서도 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품에 대한 이송 공정이 이루어지고 있다.In the manufacture of integrated circuit devices such as semiconductor devices and display devices, a transfer process for products used in the manufacture of integrated circuit devices is frequently performed. A transfer process for the used article is being made.

언급한 이송 공정은 주로 집적회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에 구비되는 OHT(overhaed hoist transport) 등과 같은 주행 장치를 사용함에 의해 이루어질 수 있다.The aforementioned transfer process may be performed by using a traveling device such as an overhaed hoist transport (OHT) or the like, which is mainly provided on the ceiling side of an integrated circuit device manufacturing line.

OHT 등과 같은 주행 장치는 물품을 적재하는 주행 대차가 직선 경로 및 곡선 경로를 따라 주행할 수 있는데, 특히 직선 경로로부터 곡선 경로로의 경로 변경은 조향 부재를 사용함에 의해 이루어질 수 있다.A traveling device such as an OHT or the like allows a traveling cart loaded with goods to travel along a straight path and a curved path, and in particular, a path change from a straight path to a curved path can be achieved by using a steering member.

그러나 종래에는 조향 주행부에서의 조향휠이 조향 레일을 따라 주행할 때 조향휠과 조향 레일이 접촉하는 각도에 따라 진동 및 소음이 심각하게 발생하는 문제점이 있고, 특히 경로 변경이 급격하게 이루어질 경우 적어도 두 번에 걸쳐 조향이 이루어지기 때문에 언급한 진동 및 소음이 보다 심각하게 발생하는 문제점이 있다.However, in the prior art, there is a problem in that vibration and noise are seriously generated depending on the contact angle between the steering wheel and the steering rail when the steering wheel in the steering travel unit travels along the steering rail, and in particular, when the route change is made abruptly, at least Since steering is performed twice, there is a problem in that the mentioned vibration and noise occur more seriously.

한국등록특허 10-2202077호Korean Patent Registration No. 10-2202077

본 발명의 일 목적은 주행 대차의 경로 변경시 진동 및 소음 발생을 최소화할 수 있는 조향 장치를 제공하는데 있다.One object of the present invention is to provide a steering device capable of minimizing vibration and noise generation when changing a path of a traveling cart.

본 발명의 다른 목적은 주행 대차의 경로 변경시 진동 및 소음 발생을 최소화할 수 있는 조향 장치를 포함하는 주행 장치를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a traveling device including a steering device capable of minimizing generation of vibration and noise when changing a path of a traveling cart.

상기 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 장치는 주행 대차가 직선 경로로부터 곡선 경로를 따라 주행할 수 있게 조향 주행부 및 조향 레일부로 이루어지는 것으로써, 상기 조향 주행부는 상기 주행 대차의 주행 방향을 x 방향이라 할 때 상기 x 방향과 수직한 y 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 조향축; 상기 조향축 일단부를 중심으로 양쪽으로 연장되되, 상기 x 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 제1 연장축; 상기 제1 연장축 양단부에 구비되는 제1 조향휠; 상기 조향축 타단부를 중심으로 양쪽으로 연장되되, 상기 x 방향 및 상기 y 방향과 수직한 z 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 제2 연장축; 그리고 상기 제2 연장축 양단부에 구비되는 제2 조향휠로 이루어질 수 있고, 상기 조향 레일부는 상기 곡선 경로를 따라 배치됨과 아울러 서로 마주하게 배치되는 제1 레일부와 제2 레일부로 이루어지고, 상기 제1 레일부와 상기 제2 레일부 각각은 상기 조향축이 출입할 수 있는 출입부를 구비함과 아울러 상기 조향축으로부터 연장되는 제1 연장축과 제1 조향휠, 그리고 제2 연장축과 제2 조향휠을 수용하는 수용부를 구비하도록 이루어질 수 있다.A steering device according to exemplary embodiments of the present invention for achieving the above object is composed of a steering driving unit and a steering rail unit so that a traveling cart can travel along a curved path from a straight path, wherein the steering traveling unit A steering shaft provided to have a structure extending in the y-direction perpendicular to the x-direction when the traveling direction of the traveling cart is the x-direction; a first extension shaft extending in both directions around one end of the steering shaft and extending in the x direction; first steering wheels provided at both ends of the first extension shaft; a second extension shaft extending in both directions around the other end of the steering shaft and extending in a z-direction perpendicular to the x-direction and the y-direction; And it may consist of a second steering wheel provided at both ends of the second extension shaft, and the steering rail portion includes a first rail portion and a second rail portion disposed along the curved path and facing each other, Each of the first rail part and the second rail part has an entrance and exit through which the steering shaft can enter and exit, and a first extension shaft and a first steering wheel extending from the steering shaft, and a second extension shaft and a second steering wheel. It may be made to have an accommodating portion for accommodating the wheel.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 조향 주행부는 상기 제1 연장축은 상기 x 방향으로부터 상기 z 방향으로 향함과 아울러 상기 제2 연장축은 상기 z 방향으로부터 상기 x 방향으로 향할 수 있게 상기 조향축이 회전하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In exemplary embodiments, the steering driving unit rotates the steering shaft so that the first extension shaft is directed from the x direction to the z direction and the second extension shaft is directed from the z direction to the x direction. It may be provided to have a structure.

상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치는 천장 쪽에 구비되되, 직선 경로 및 곡선 경로를 갖도록 이루어지는 주행 레일와, 상기 주행 레일을 따라 주행하는 주행 대차와. 상기 주행 대차가 상기 직선 경로로부터 상기 곡선 경로를 따라 주행할 수 있도록 구비되는 조향부를 포함하도록 이루어질 수 있는데, 특히 상기 조향부는 조향 주행부 및 조향 레일부로 이루어지되, 상기 조향 주행부는 상기 주행 대차의 주행 방향을 x 방향이라 할 때 상기 x 방향과 수직한 y 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 조향축; 상기 조향축 일단부를 중심으로 양쪽으로 연장되되, 상기 x 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 제1 연장축; 상기 제1 연장축 양단부에 구비되는 제1 조향휠; 상기 조향축 타단부를 중심으로 양쪽으로 연장되되, 상기 x 방향 및 상기 y 방향과 수직한 z 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 제2 연장축; 그리고 상기 제2 연장축 양단부에 구비되는 제2 조향휠로 이루어지고, 상기 조향 레일부는 상기 곡선 경로를 따라 배치됨과 아울러 서로 마주하게 배치되는 제1 레일부와 제2 레일부로 이루어지고, 상기 제1 레일부와 상기 제2 레일부 각각은 상기 조향축이 출입할 수 있는 출입부를 구비함과 아울러 상기 조향축으로부터 연장되는 제1 연장축과 제1 조향휠, 그리고 제2 연장축과 제2 조향휠을 수용하는 수용부를 구비하도록 이루어질 수 있다.A traveling device according to exemplary embodiments of the present invention for achieving the other object is a traveling rail provided on the ceiling side and having a straight path and a curved path, and a traveling cart traveling along the traveling rail. The traveling cart may include a steering unit provided to travel along the curved path from the straight path. In particular, the steering unit includes a steering driving unit and a steering rail unit, and the steering driving unit travels of the traveling cart. a steering shaft provided to have a structure extending in the y-direction perpendicular to the x-direction when the x-direction is referred to as the x-direction; a first extension shaft extending in both directions around one end of the steering shaft and extending in the x direction; first steering wheels provided at both ends of the first extension shaft; a second extension shaft extending in both directions around the other end of the steering shaft and extending in a z-direction perpendicular to the x-direction and the y-direction; And it consists of a second steering wheel provided at both ends of the second extension shaft, the steering rail portion is made of a first rail portion and a second rail portion disposed along the curved path and disposed to face each other, and the first Each of the rail part and the second rail part has an entrance and exit through which the steering shaft can enter and exit, and a first extension shaft and a first steering wheel extending from the steering shaft, and a second extension shaft and a second steering wheel. It may be made to have a receiving portion for accommodating.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 조향 주행부는 상기 제1 연장축은 상기 x 방향으로부터 상기 z 방향으로 향함과 아울러 상기 제2 연장축은 상기 z 방향으로부터 상기 x 방향으로 향할 수 있게 상기 조향축이 회전하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In exemplary embodiments, the steering driving unit rotates the steering shaft so that the first extension shaft is directed from the x direction to the z direction and the second extension shaft is directed from the z direction to the x direction. It may be provided to have a structure.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 조향 레일부가 상기 주행 레일보다 높게 위치하게 구비될 때, 상기 주행 대차가 상기 조향 레일부를 따라 주행할 수 있게 상기 조향 주행부는 상기 주행 대차의 상면에 승강 및 하강 가능하게 구비될 수 있다.In exemplary embodiments, when the steering rail unit is positioned higher than the traveling rail, the steering traveling unit can ascend and descend to the upper surface of the traveling carriage so that the traveling carriage can travel along the steering rail unit. can be provided.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 장치 및 주행 장치는 조향휠이 서로 수직하게 배치되는 조향 주행부, 그리고 조향 주행부를 수용한 상태에서 주행하도록 하는 조향 레일부를 구비함으로써 조향 주행부의 조향휠과 조향 레일부과 서로 접촉하는 구간에 발생하는 진동 및 소음을 최소화할 수 있을 것이다.A steering device and a traveling device according to exemplary embodiments of the present invention include a steering travel unit in which steering wheels are disposed perpendicular to each other, and a steering rail unit for driving in a state in which the steering travel unit is accommodated, thereby providing a steering wheel and a steering wheel of the steering travel unit. Vibration and noise generated in a section in contact with the steering rail unit may be minimized.

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 장치 및 주행 장치는 주행 대차의 주행을 보다 안정적으로 수행할 수 있을 것이고, 그 결과 집적회로 소자의 제조에 따른 물품에 대한 이송 공정을 보다 안정적으로 수행할 수 있을 것이다.Thus, the steering device and the traveling device according to exemplary embodiments of the present invention will be able to more stably drive the traveling cart, and as a result, the transfer process for the article according to the manufacturing of the integrated circuit device will be more stable. will be able to do

따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 장치 및 주행 장치는 집적회로 소자의 제조에 따른 물품에 대한 이송 공정을 보다 안정적으로 수행함으로써 집적회로 소자의 제조에 따른 공정 안정성의 향상을 기대할 수 있을 걱싱다.Therefore, the steering device and the traveling device according to the exemplary embodiments of the present invention more stably perform a transfer process for the product according to the manufacturing of the integrated circuit device, so that the process stability according to the manufacturing of the integrated circuit device can be expected to be improved. I'm worried

특히, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 장치 및 주행 장치는 경로 변경이 급격하게 이루어지는 구간에도 단일 구조를 갖는 조향 레일부를 구비할 수 있기 때문에 경로 변경이 급격하게 이루어지는 구간에서도 보다 안정적인 물품의 이송을 달성할 수 있을 것이다.In particular, since the steering device and traveling device according to exemplary embodiments of the present invention may include a steering rail having a unitary structure even in a section in which a route is changed rapidly, it is more stable even in a section in which a route is changed rapidly. transfer can be achieved.

다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the tasks and effects of the present invention are not limited to those mentioned above, and may be expanded in various ways without departing from the spirit and scope of the present invention.

도 1 내지 도 3은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.
도 4 내지 도 5는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.1 to 3 are schematic views for explaining a steering device according to exemplary embodiments of the present invention.
4 to 5 are schematic diagrams for explaining a traveling device according to exemplary embodiments of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.Since the present invention can be applied with various changes and can have various forms, embodiments will be described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form disclosed, and should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. Like reference numbers have been used for like elements in describing each figure. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are only used for the purpose of distinguishing one component from another. Terms used in this application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "consisting of" are intended to designate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It should be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and unless explicitly defined in the present application, they should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning. don't

그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.And with reference to the accompanying drawings will be described in more detail exemplary embodiments. The same reference numerals are used for the same components in the drawings, and redundant descriptions of the same components are omitted.

도 1 내지 도 3은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.1 to 3 are schematic views for explaining a steering device according to exemplary embodiments of the present invention.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 장치(100)는 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품을 탑재, 이송하는 주행 대차가 직선 경로로부터 곡선 경로를 따라 주행할 수 있도록 구비되는 것으로써, 조향 주행부(10), 조향 레일부(20) 등으로 이루어질 수 있다.1 to 3, in the steering device 100 according to exemplary embodiments of the present invention, a traveling cart for loading and transporting products used in manufacturing integrated circuit devices travels from a straight path to a curved path. By being provided to be able to, it may be made of a steering traveling unit 10, a steering rail unit 20, and the like.

먼저, 조향 주행부(10)는 조향축(11), 제1 연장축(13), 제1 조향휠(15), 제2 연장축(17), 제2 조향휠(19) 등으로 이루어질 수 있고, 그리고 조향 레일부(20)는 출입부(25)와 수용부(27) 각각이 구비되는 제1 레일부(21), 제2 레일부(23) 등으로 이루어질 수 있다.First, the steering travel unit 10 may include a steering shaft 11, a first extension shaft 13, a first steering wheel 15, a second extension shaft 17, a second steering wheel 19, and the like. And, the steering rail unit 20 may be composed of a first rail unit 21, a second rail unit 23, etc., each of which is provided with an entrance unit 25 and an accommodation unit 27.

조향 주행부(10)에서의 조향축(11)은 주행 대차의 주행 방향을 x 방향이라 할 때 y 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 주행 대차의 x 방향으로의 주행 방향과 수직한 y 방향으로 연장되는 샤프트 구조를 갖도록 구비될 수 있다.The steering shaft 11 in the steering traveling unit 10 may be provided to have a structure extending in the y direction when the traveling direction of the traveling cart is referred to as the x direction, and the traveling direction in the x direction of the traveling cart and It may be provided to have a shaft structure extending in the vertical y direction.

조향 주행부(10)에서의 제1 연장축(13)은 조향축(11)의 일단부 쪽에 연결되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 조향축(11)의 일단부를 중심으로 양쪽으로 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 더욱이 조향축(11)의 일단부를 중심으로 주행 대차의 주행 방향과 동일한 x 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는데, 조향축(11)의 일단부를 중심으로 양쪽이 거의 동일한 길이를 갖도록 구비될 수 있다.The first extension shaft 13 in the steering traveling unit 10 may be provided to have a structure connected to one end side of the steering shaft 11, extending in both directions around one end of the steering shaft 11 It may be provided to have a structure, and furthermore, it may be provided to have a structure extending in the same x direction as the running direction of the traveling cart centered on one end of the steering shaft 11, centering on one end of the steering shaft 11 Both sides may be provided to have approximately the same length.

조향 주행부(10)에서의 제1 조향휠(15)은 제1 연장축(13)의 양단부 각각에 구비되는 것으로써, 제1 연장축(13) 양단부에서 회전 가능하게 구비될 수 있다.The first steering wheels 15 in the steering driving unit 10 are provided at both ends of the first extension shaft 13, and may be rotatably provided at both ends of the first extension shaft 13.

조향 주행부(10)에서의 제2 연장축(17)은 제1 연장축(13)가 반대인, 즉 조향축(11)의 타단부 쪽에 연결되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 조향축(11)의 타단부를 중심으로 양쪽으로 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 더욱이 조향축(11)의 타단부를 중심으로 언급한 x 방향 및 y 방향과 수직한 z 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는데, 조향축(11)의 타단부를 중심으로 양쪽이 거의 동일한 길이를 갖도록 구비될 수 있다.The second extension shaft 17 in the steering traveling unit 10 may be provided to have a structure connected to the other end of the first extension shaft 13, that is, the other end of the steering shaft 11, so that the steering It may be provided to have a structure extending in both directions around the other end of the shaft 11, and furthermore, a structure extending in the z direction perpendicular to the x direction and y direction referred to as centering on the other end of the steering shaft 11 It may be provided to have, both sides around the other end of the steering shaft 11 may be provided to have substantially the same length.

조향 주행부(10)에서의 제2 조향휠(19)은 제2 연장축(17)의 양단부 각각에 구비되는 것으로써, 제2 연장축(17) 양단부에서 회전 가능하게 구비될 수 있다.The second steering wheels 19 in the steering driving unit 10 are provided at both ends of the second extension shaft 17, and may be rotatably provided at both ends of the second extension shaft 17.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 장치(100)에서, 제1 연장축(13) 및 제2 연장축(17)은 서로 수직하게 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 조향축(11)과 제1 연장축(13)이 동일 평면 상에 배치되는 구조를 가질 경우에는 제2 연장축(17)이 제1 연장축(13)과 수직하게 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 이와 달리 조향축(11)과 제2 연장축(17)이 동일 평면 상에 배치되는 구조를 가질 경우에는 제1 연장축(13)이 제2 연장축(17)과 수직하게 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In the steering device 100 according to exemplary embodiments of the present invention, the first extension shaft 13 and the second extension shaft 17 may be provided to have a structure disposed perpendicular to each other, and the steering shaft When (11) and the first extension shaft 13 have a structure disposed on the same plane, the second extension shaft 17 may be provided to have a structure disposed perpendicular to the first extension shaft 13, , In contrast, when the steering shaft 11 and the second extension shaft 17 have a structure disposed on the same plane, the structure in which the first extension shaft 13 is disposed perpendicular to the second extension shaft 17 It may be provided to have.

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 장치(100)에서의 조향 주행부(10)는 제1 연장축(13)은 x 방향으로부터 z 방향으로 향함과 제2 연장축(17)은 z 방향으로부터 x 방향으로 향할 수 있게 조향축(11)이 회전하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.Accordingly, in the steering traveling unit 10 in the steering device 100 according to exemplary embodiments of the present invention, the first extension shaft 13 is directed from the x direction to the z direction and the second extension shaft 17 is It may be provided to have a structure in which the steering shaft 11 rotates from the z direction to the x direction.

즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 장치(100)는 조향축(11)의 회전을 통하여 x 방향을 향하는 제1 연장축(13)이 z 방향을 향하도록 함과 아울러 z 방향을 향하는 제2 연장축(17)이 x 방향을 향하도록 할 수 있게 구비될 수 있고, 반대로 조향축(11)의 회전을 통하여 x 방향을 향하는 제2 연장축(17)이 z 방향을 향하도록 함과 아울러 z 방향을 향하는 제2 연장축(17)이 x 방향을 향하도록 할 수 있게 구비될 수 있다.That is, in the steering device 100 according to exemplary embodiments of the present invention, the first extension shaft 13 directed in the x direction is directed in the z direction through rotation of the steering shaft 11, and the z direction The second extension shaft 17 directed in the x direction may be provided so that the second extension shaft 17 directed in the x direction is directed in the z direction through rotation of the steering shaft 11 In addition, the second extension shaft 17 directed in the z direction may be provided so as to be directed in the x direction.

조향 레일부(20)는 곡선 경로를 따라 배치되게 구비되는데, 특히 주행 대차가 후술하는 주행 레일(40)에서의 직선 경로로부터 곡선 경로를 따라 주행할 수 있도록 구비될 수 있는 것으로써, 직선 경로로부터 곡선 경로로 분기되는 분기 경로를 이루도록 구비될 수 있을 것이다.The steering rail unit 20 is provided to be disposed along a curved path, and in particular, it can be provided so that the traveling cart can travel along a curved path from a straight path in the traveling rail 40 to be described later, and from a straight path. It may be provided to form a branching path branching into a curved path.

조향 레일부(20)는 곡선 경로를 따라 배치되는 제1 레일부(21) 및 제2 레일부(23)를 이루어질 수 있는데, 제1 레일부(21) 및 제2 레일부(23)는 서로 마주하게 배치되도록 구비될 수 있다.The steering rail unit 20 may include a first rail unit 21 and a second rail unit 23 disposed along a curved path, and the first rail unit 21 and the second rail unit 23 are mutually connected. It may be provided so as to be disposed facing each other.

제1 레일부(21) 및 제2 레일부(23) 각각은 조향축(11)이 출입할 수 있는 출입부(25)를 구비함과 아울러 제1 연장축(13)과 제1 조향휠(15) 그리고 제2 연장축(17)과 제2 조향휠(19)을 수용하는 수용부(27)를 구비하도록 이루어질 수 있다.Each of the first rail part 21 and the second rail part 23 has an entrance 25 through which the steering shaft 11 can come in and out, and the first extension shaft 13 and the first steering wheel ( 15) and a receiving portion 27 accommodating the second extension shaft 17 and the second steering wheel 19.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 장치(100)에서의 제1 레일부(21)의 출입부(25) 및 제2 레일부(23)의 출입부(25)는 서로 마주하도록 구비될 수 있고, 그리고 제1 연장축(13) 및 제1 조향휠(15)이 제1 레일부(21)의 수용부(27)에 수용될 경우에는 제2 연장축(17) 및 제2 조향휠(19)이 제2 레일부(23)의 수용부(27)에 수용될 수 있고, 이와 달리 제2 연장축(17) 및 제2 조향휠(19)이 제1 레일부(21)의 수용부(27)에 수용될 경우에는 제1 연장축(13) 및 제1 조향휠(15)이 제2 레일부(23)의 수용부(27)에 수용될 수 있다.In the steering device 100 according to exemplary embodiments of the present invention, the entrance part 25 of the first rail part 21 and the entrance part 25 of the second rail part 23 may be provided to face each other. And when the first extension shaft 13 and the first steering wheel 15 are accommodated in the accommodating portion 27 of the first rail unit 21, the second extension shaft 17 and the second steering wheel (19) can be accommodated in the accommodating portion 27 of the second rail portion 23, otherwise the second extension shaft 17 and the second steering wheel 19 are accommodated in the first rail portion 21. When accommodated in the portion 27 , the first extension shaft 13 and the first steering wheel 15 may be accommodated in the receiving portion 27 of the second rail portion 23 .

다만, 제1 레일부(21) 및 제2 레일부(23)는 편의상 구분하는 것으로써, 서로 마주하는 구조를 갖도록 구비될 경우에는 제1 레일부(21)가 제2 레일부(23)로 그리고 제2 레일부(23)가 제1 레일부(21)로 명명될 수도 있다.However, the first rail part 21 and the second rail part 23 are distinguished for convenience, and when provided to have a structure facing each other, the first rail part 21 is replaced with the second rail part 23. Also, the second rail part 23 may be referred to as the first rail part 21 .

본 발명의 예시적인 실시예들에 따르면, 도 2에서와 같이 곡선 레일이 오른쪽으로 휘어지는 경로를 갖도록 구비될 경우에는 제1 연장축(13) 및 제1 조향휠(15)이 제1 레일부(21)에 수평하게 수용 운행되도록 이루어짐과 아울러 제2 연장축(17) 및 제2 조향휠(19)이 제2 레일부(23)에 수직하게 수용 운행되도록 이루어질 수 있고, 이와 달리 도 3에서와 같이 곡선 레일이 왼쪽으로 휘어지는 경로를 갖도록 구비될 경우에는 제1 연장축(13)은 수평 방향으로부터 수직 방향으로 향함과 아울러 제2 연장축(17)은 수직 방향으로부터 수평 방향으로 향할 수 있게 조향축(11)을 회전시킴으로써 제2 연장축(17) 및 제2 조향휠(19)이 제2 레일부(23)에 수평하게 수용 운행되도록 이루어짐과 아울러 제1 연장축(13) 및 제1 조향휠(15)이 제1 레일부(21)에 수직하게 수용 운행되도록 이루어질 수 있다.According to exemplary embodiments of the present invention, when the curved rail is provided to have a path curved to the right as shown in FIG. 2, the first extension shaft 13 and the first steering wheel 15 are the first rail unit ( 21), the second extension shaft 17 and the second steering wheel 19 can be accommodated and operated vertically in the second rail part 23, as well as being accommodated horizontally in FIG. As such, when the curved rail is provided to have a path bent to the left, the first extension shaft 13 is directed from the horizontal direction to the vertical direction, and the second extension shaft 17 is directed from the vertical direction to the horizontal direction. By rotating (11), the second extension shaft 17 and the second steering wheel 19 are accommodated and operated horizontally in the second rail unit 23, and the first extension shaft 13 and the first steering wheel (15) may be made to be accommodated and run perpendicular to the first rail portion (21).

즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 장치(100)는 조향축(11)을 회전시키는 구조를 갖도록 구비함에 의해 곡선 레일이 직선 레일로부터 오른쪽으로 휘거나 또는 왼쪽으로 휘는 경우 모두에 용이하게 적용할 수 있다.That is, the steering device 100 according to exemplary embodiments of the present invention has a structure for rotating the steering shaft 11, so that the curved rail is easily bent to the right or left from the straight rail. can be applied appropriately.

그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 장치(100)는 조향 레일부(20)를 원하는 곡률 반경을 갖도록 휘어지게 형성할 수 있기 때문에 경로 변경이 급격하게 이루어지는 구간에도 보다 용이하게 적용할 수 있다.In addition, since the steering device 100 according to exemplary embodiments of the present invention can form the steering rail unit 20 to be bent to have a desired radius of curvature, it can be more easily applied to a section where a path change is made rapidly. there is.

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 장치(100)는 제1 조향휠(15) 및 제2 조향휠(19)이 조향 레일부(20)에 수용됨과 아울러 조향 레일부(20)의 측벽을 따라 회전 운행되도록 할 수 있고, 더욱이 경로 변경이 급격한 구간에도 원하는 곡률 반경을 갖도록 휘어질 수 있게 조향 레일부(20)를 구비할 수 있기 때문에 제1, 2 조향휠(15, 19)과 조향 레일부(20)의 접촉에 기인한 진동 및 소음의 발생을 충분하게 감소시킬 수 있을 것이다.As such, in the steering device 100 according to exemplary embodiments of the present invention, the first steering wheel 15 and the second steering wheel 19 are accommodated in the steering rail unit 20 and the steering rail unit 20 ), and since the steering rail part 20 can be provided so as to have a desired radius of curvature even in a section where the path change is rapid, the first and second steering wheels 15 and 19 ) and the steering rail unit 20, it will be possible to sufficiently reduce the generation of vibration and noise.

이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 장치를 포함하는 주행 장치에 대하여 설명하기로 하는데, 다만 조향 장치의 경우에는 조향부로 표기하기로 하고, 동일 부재에 대해서는 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, a traveling device including a steering device according to exemplary embodiments of the present invention will be described, but in the case of a steering device, it will be described as a steering unit, and a detailed description of the same member will be omitted. do.

도 4 내지 도 5는 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면들이다.4 to 5 are schematic diagrams for explaining a traveling device according to exemplary embodiments of the present invention.

도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(400)는 집적회로 소자, 즉 반도체 소자, 디스플레이 소자 등의 제조에 사용되는 물품, 예를 들면 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 다수매 수납하는 풉(FOUP) 등과 같은 수납 용기를 이송하는 이송 공정에 사용하기 위한 것으로써, 그 예로서는 집직회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에 구비되는 OHT(overhaed hoist transport) 등일 수 있다.4 and 5, the driving device 400 according to exemplary embodiments of the present invention is an integrated circuit device, that is, a semiconductor device, a product used in the manufacture of a display device, for example, an integrated circuit device. It is intended for use in a transfer process for transporting a storage container such as a FOUP for storing a plurality of substrates for manufacturing, an example of which is an overhaed hoist transport (OHT) provided on the ceiling side of a manufacturing line of an integrated circuit device. there is.

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(400)는 주행 대차(50), 주행 레일(40), 조향부(100) 등을 포함하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.Thus, the traveling device 400 according to exemplary embodiments of the present invention may be provided to have a structure including a traveling cart 50, a traveling rail 40, a steering unit 100, and the like.

주행 대차(50)는 집적회로 소자의 제조에 사용되는 물품을 탑재하여 주행하도록 구비되는 것으로써, 물품을 탑재할 수 있는 탑재부(51), 주행 레일(40)을 따라 주행할 수 있는 주행휠(53) 등을 포함하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.The traveling cart 50 is provided to load and travel with articles used in the manufacture of integrated circuit devices, and includes a mounting portion 51 capable of loading articles and a driving wheel capable of traveling along the travel rail 40 ( 53) may be provided to have a structure including the like.

도시하지는 않았지만, 주행 대차(50)는 주행 레일(40)을 따라 주행시 주행휠(53)을 구동시키기 위한 부재인 구동 모터 등을 더 포함하도록 이루어질 수 있다.Although not shown, the driving cart 50 may further include a driving motor that is a member for driving the driving wheels 53 when driving along the driving rails 40 .

주행 레일(40)은 집적회로 소자의 제조 라인에서의 천장 쪽에 배치되게 구비되되, 주행 대차(50)에 대한 주로, 즉 주행 경로를 제공하도록 구비될 수 있는 것으로써, 주행휠(53)이 접촉 회전함에 의해 주행 대차(50)가 주행 경로를 따라 주행할 수 있게 레일 구조를 갖도록 구비될 수 있다.The travel rail 40 is provided to be disposed on the ceiling side in the manufacturing line of the integrated circuit device, and can be provided to provide a main path for the travel cart 50, that is, a travel path, and the travel wheel 53 contacts By rotating, the travel cart 50 may be provided with a rail structure to travel along the travel path.

주행 레일(40)은 주행 대차(50)가 직선 주행하는 직선 경로인 직선 레일(41), 주행 대차(50)가 곡선 주행하는 곡선 경로인 곡선 레일(43) 등 다양한 형태의 주행 경로를 갖도록 구비될 수 있고, 더욱이 언급한 직선 레일(41)과 곡선 레일(43)이 서로 연결, 분기되는 구성을 갖도록 구비될 수 있다.The travel rail 40 is provided to have various types of travel paths, such as a straight rail 41, which is a straight path on which the travel cart 50 travels in a straight line, and a curved rail 43, which is a curved path on which the travel cart 50 travels in a curve. It may be, and furthermore, the mentioned straight rail 41 and the curved rail 43 may be provided to have a configuration in which they are connected to each other and branched off.

조향부(100)는 주행 대차(50)가 주행 레일(40)의 직선 경로를 따라 주행하다가 곡선 경로를 따라 주행할 수 있게 주행 대차(50)의 주행 경로를 변경시키도록 구비되는 것으로써, 도 1 내지 도 3에서와 같은 조향 주행부(10), 조향 레일부(20)를 갖도록 구비될 수 있다.The steering unit 100 is provided to change the travel path of the travel cart 50 so that the travel cart 50 can travel along a curved path from traveling along a straight path of the travel rail 40, 1 to 3 may be provided to have a steering travel unit 10 and a steering rail unit 20 as shown in FIGS.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(400)에서의 조향 레일부(20)는 주행 레일(40) 내측에 배치되도록 구비될 수 있는 것으로써, 직선 경로로부터 곡선 경로를 따라 일정 길이를 갖도록 구비될 수 있는데, 대략 곡선 경로의 진입 구간으로부터 곡선 경로의 진출 구간까지에 구비될 수 있다.The steering rail unit 20 in the traveling device 400 according to exemplary embodiments of the present invention may be provided to be disposed inside the traveling rail 40, and travels a certain length along a curved path from a straight path. It may be provided to have, it may be provided approximately from the entry section of the curved path to the exit section of the curved path.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(400)는 조향부(100)가 직선 경로를 따라 주행하는 주행 대차(50)의 운행에 지장을 끼치지 않아야 할 것이다.In the traveling device 400 according to exemplary embodiments of the present invention, the steering unit 100 should not interfere with the operation of the traveling cart 50 traveling along a straight path.

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(400)는 조향 레일부(20)가 주행 레일(40)부도 높게 위치하게 구비될 수 있고, 그리고 조향 주행부(10)는 주행 대차(50)의 상면에 승강 및 하강 가능하게 구비될 수 있다.Therefore, in the traveling device 400 according to exemplary embodiments of the present invention, the steering rail unit 20 may be provided with a high position of the traveling rail 40 unit, and the steering traveling unit 10 may be provided with a traveling cart ( 50) may be provided on the upper surface to be able to ascend and descend.

따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(400)는 주행 대차(50)가 직선 경로를 따라 주행할 때에는 조향 주행부(10)가 조향 레일부(20)의 아래쪽에 위치하게 하강된 상태를 유지하도록 구비될 수 있고, 직선 경로로부터 곡선 경로를 따라 주행할 때에는 조향 주행부(10)가 조향 레일부(20)에 수용 운행될 수 있게 조향 레일부(20)와 마주하게 승강된 상태를 유지하도록 구비될 수 있다.Therefore, in the traveling device 400 according to exemplary embodiments of the present invention, when the traveling cart 50 travels along a straight path, the steering traveling unit 10 is lowered to be positioned below the steering rail unit 20. state, and when driving along a curved path from a straight path, the steering traveling unit 10 is raised and lowered to face the steering rail unit 20 so that it can be accommodated in the steering rail unit 20. It may be provided to maintain.

즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(400)는 조향 레일부(20)를 상대적으로 높게 위치하도록 구비함과 아울러 조향 주행부(10)를 하강 및 승강 가능하게 구비함으로써 원하는 경우에만 주행 대차(50)가 직선 경로로부터 곡선 경로를 따라 주행하도록 할 수 있는 것이다.That is, the traveling device 400 according to exemplary embodiments of the present invention includes the steering rail unit 20 to be positioned relatively high, and also provides the steering travel unit 10 to be lowered and lifted, so that if desired Only in this way can the traveling cart 50 travel along a curved path from a straight path.

특히, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 주행 장치(400)는 도 1 내지 도 3에서의 조향 주행부(10) 및 조향 경로부로 이루어지는 조향부(100)를 포함하는 구조를 갖도록 구비될 수 있기 때문에 제1, 2 조향휠(15, 19)과 조향 레일부(20)의 접촉에 기인한 진동 및 소음의 발생을 충분하게 감소시킬 수 있을 것이다.In particular, the driving apparatus 400 according to exemplary embodiments of the present invention may be provided to have a structure including the steering unit 100 composed of the steering unit 10 and the steering path unit in FIGS. 1 to 3 Therefore, generation of vibration and noise due to contact between the first and second steering wheels 15 and 19 and the steering rail unit 20 can be sufficiently reduced.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 조향 장치 및 주행 장치는 적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 다수매 수납하는 풉 등과 같은 수납 용기를 이송하는 이송 공정에 사용할 수 있기에, 반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.Since the steering device and the traveling device according to exemplary embodiments of the present invention can be used in a transfer process of transporting a storage container such as a FOUP for storing a plurality of substrates for manufacturing an integrated circuit device, semiconductor devices, display devices, etc. It will be able to be applied more actively to the manufacture of the same integrated circuit device.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. You will understand that you can.

10 : 조향 주행부 11 : 조향축
13 : 제1 연장축 15 : 제1 조향휠
17 : 제2 연장축 19 : 제2 조향휠
20 : 조향 레일부 21 : 제1 레일부
23 : 제2 레일부 25 : 출입부
27 : 수용부 40 : 주행 레일
41 : 직선 레일 43 : 곡선 레일
50 : 주행 대차 51 : 탑재부
53 : 주행휠 100 : 조향 장치, 조향부
400 : 주행 장치10: steering driving unit 11: steering shaft
13: first extension shaft 15: first steering wheel
17: second extension shaft 19: second steering wheel
20: steering rail unit 21: first rail unit
23: second rail part 25: entrance part
27: receiving part 40: running rail
41: straight rail 43: curved rail
50: traveling cart 51: mounting part
53: driving wheel 100: steering device, steering unit
400: traveling device

Claims (5)

주행 대차가 직선 경로로부터 곡선 경로를 따라 주행할 수 있게 조향 주행부 및 조향 레일부로 이루어지는 조향 장치에 있어서,
상기 조향 주행부는 상기 주행 대차의 주행 방향을 x 방향이라 할 때 상기 x 방향과 수직한 y 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 조향축; 상기 조향축 일단부를 중심으로 양쪽으로 연장되되, 상기 x 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 제1 연장축; 상기 제1 연장축 양단부에 구비되는 제1 조향휠; 상기 조향축 타단부를 중심으로 양쪽으로 연장되되, 상기 x 방향 및 상기 y 방향과 수직한 z 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 제2 연장축; 그리고 상기 제2 연장축 양단부에 구비되는 제2 조향휠로 이루어지고,
상기 조향 레일부는 상기 곡선 경로를 따라 배치됨과 아울러 서로 마주하게 배치되는 제1 레일부와 제2 레일부로 이루어지고, 상기 제1 레일부와 상기 제2 레일부 각각은 상기 조향축이 출입할 수 있는 출입부를 구비함과 아울러 상기 조향축으로부터 연장되는 제1 연장축과 제1 조향휠, 그리고 제2 연장축과 제2 조향휠을 수용하는 수용부를 구비하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 조향 장치.In the steering device consisting of a steering traveling part and a steering rail part so that the traveling cart can travel along a curved path from a straight path,
a steering shaft provided to have a structure extending in a y-direction perpendicular to the x-direction when the driving direction of the traveling cart is the x-direction; a first extension shaft extending in both directions around one end of the steering shaft and extending in the x direction; first steering wheels provided at both ends of the first extension shaft; a second extension shaft extending in both directions around the other end of the steering shaft and extending in a z-direction perpendicular to the x-direction and the y-direction; and a second steering wheel provided at both ends of the second extension shaft,
The steering rail portion includes a first rail portion and a second rail portion disposed along the curved path and facing each other, and each of the first rail portion and the second rail portion is configured to allow the steering shaft to enter and exit. A steering device characterized in that it comprises a receiving portion for receiving a first extension shaft extending from the steering shaft, a first steering wheel, and a second extension shaft and a second steering wheel, as well as having an entrance and exit portion. 제1 항에 있어서,
상기 조향 주행부는 상기 제1 연장축은 상기 x 방향으로부터 상기 z 방향으로 향함과 아울러 상기 제2 연장축은 상기 z 방향으로부터 상기 x 방향으로 향할 수 있게 상기 조향축이 회전하는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 조향 장치.According to claim 1,
The steering driving unit is provided to have a structure in which the steering shaft rotates so that the first extension shaft is directed from the x direction to the z direction and the second extension shaft is directed from the z direction to the x direction. steering gear to do. 천장 쪽에 구비되되, 직선 경로 및 곡선 경로를 갖도록 이루어지는 주행 레일;
상기 주행 레일을 따라 주행하는 주행 대차;
상기 주행 대차가 상기 직선 경로로부터 상기 곡선 경로를 따라 주행할 수 있도록 구비되는 조향부를 포함하되,
상기 조향부는 조향 주행부 및 조향 레일부로 이루어지되, 상기 조향 주행부는 상기 주행 대차의 주행 방향을 x 방향이라 할 때 상기 x 방향과 수직한 y 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 조향축; 상기 조향축 일단부를 중심으로 양쪽으로 연장되되, 상기 x 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 제1 연장축; 상기 제1 연장축 양단부에 구비되는 제1 조향휠; 상기 조향축 타단부를 중심으로 양쪽으로 연장되되, 상기 x 방향 및 상기 y 방향과 수직한 z 방향으로 연장되는 구조를 갖도록 제2 연장축; 그리고 상기 제2 연장축 양단부에 구비되는 제2 조향휠로 이루어지고, 상기 조향 레일부는 상기 곡선 경로를 따라 배치됨과 아울러 서로 마주하게 배치되는 제1 레일부와 제2 레일부로 이루어지고, 상기 제1 레일부와 상기 제2 레일부 각각은 상기 조향축이 출입할 수 있는 출입부를 구비함과 아울러 상기 조향축으로부터 연장되는 제1 연장축과 제1 조향휠, 그리고 제2 연장축과 제2 조향휠을 수용하는 수용부를 구비하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 주행 장치.Doedoe provided on the ceiling side, running rail made to have a straight path and a curved path;
a travel cart that travels along the travel rail;
Including a steering unit provided so that the traveling cart can travel along the curved path from the straight path,
The steering unit is composed of a steering driving unit and a steering rail unit, and the steering driving unit has a structure extending in a y direction perpendicular to the x direction when the driving direction of the traveling cart is an x direction; a first extension shaft extending in both directions around one end of the steering shaft and extending in the x direction; first steering wheels provided at both ends of the first extension shaft; a second extension shaft extending in both directions around the other end of the steering shaft and extending in a z-direction perpendicular to the x-direction and the y-direction; And it consists of a second steering wheel provided at both ends of the second extension shaft, the steering rail portion is made of a first rail portion and a second rail portion disposed along the curved path and disposed to face each other, and the first Each of the rail part and the second rail part has an entrance and exit through which the steering shaft can enter and exit, and a first extension shaft and a first steering wheel extending from the steering shaft, and a second extension shaft and a second steering wheel. Traveling device characterized in that it is made to have a receiving portion for accommodating. 제3 항에 있어서,
상기 조향 주행부는 상기 제1 연장축은 상기 x 방향으로부터 상기 z 방향으로 향함과 아울러 상기 제2 연장축은 상기 z 방향으로부터 상기 x 방향으로 향할 수 있게 상기 조향축이 회전하는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 주행 장치.According to claim 3,
The steering driving unit is provided to have a structure in which the steering shaft rotates so that the first extension shaft is directed from the x direction to the z direction and the second extension shaft is directed from the z direction to the x direction. running device. 제3 항에 있어서,
상기 조향 레일부가 상기 주행 레일보다 높게 위치하게 구비될 때, 상기 주행 대차가 상기 조향 레일부를 따라 주행할 수 있게 상기 조향 주행부는 상기 주행 대차의 상면에 승강 및 하강 가능하게 구비되는 것을 특징으로 하는 주행 장치.According to claim 3,
When the steering rail portion is provided higher than the travel rail, the steering travel portion is provided on the upper surface of the travel cart to be able to ascend and descend so that the travel cart can travel along the steering rail portion. Device.
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