KR20230099214A - 물품 이송 시스템 - Google Patents

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KR20230099214A
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방명진
박민재
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명의 물품 이송 시스템은, 이동 경로를 제공하는 레일; 상기 레일에서 상기 레일의 이동 경로를 따라 이동하는 대차부; 및 상기 대차부에 의해 이송되는 물품이 보관되고, 상기 대차부에 의해 이송되는 상기 물품이 근접되는 제1 위치에 마련되는 물품 보관부를 포함하고, 상기 물품 보관부는, 상기 레일을 기준으로 상기 레일에 근접되는 전방으로부터 상기 레일과 이격되는 후방으로 N(자연수) 열로 배치될 수 있다.

Description

물품 이송 시스템{ARTICLE TRANSPORT FACILITY}
본 발명은 물품 이송 시스템에 관한 것이다.
반도체를 제조하려면, 반도체 공정 장치에 의하여 다양한 공정을 수행하여야 하고, 이를 위하여 웨이퍼(wafer)과 같은 물품을 수행할 공정에 따라 임의의 위치로부터 목적하는 위치로 이송하여야 한다. 예를 들어, 물품으로서 처리할 웨이퍼가 수납된 컨테이너(container)를 이송하여 어느 한 반도체 공정 장치의 로드 포트(load port)에 제공할 수 있고, 처리한 웨이퍼가 수납된 컨테이너를 다른 반도체 공정 장치의 로드 포트로 이송할 수 있다.
클린 룸(clean room)과 같은 반도체 제조 현장에서는 물품을 효율적으로 이송하기 위하여 오버헤드 호이스트 트랜스포트(overhead hoist transport, OHT)를 포함하는 물품 이송 시스템이 사용되고 있다.
물품 이송 시스템은 오버헤드 호이스트 트랜스포트 및 물품 보관부를 포함할 수 있다. 오버헤드 호이스트 트랜스포트는 레일을 따라 주행하는 비히클 어셈블리(vehicle assembly)를 포함하고, 물품 보관부는 오버헤드 호이스트 트랜스포트의 주행 레일의 측방에 비히클 어셈블리에 의하여 이송되는 물품을 임시로 보관하기 위한 물품 보관 공간을 제공할 수 있다.
일례로, 비히클 어셈블리에 의하여 이송되는 물품을 목적하는 반도체 공정 장치의 로드 포트에 제공하려면 대기하고 있어야 하는 경우에 물품을 물품 보관부에 제공하여 일시적으로 보관할 수 있다.
한편, 물품 보관부는 물품이 보관되는 다수의 포트를 포함하고, 포트 마다 물품 반송이 관리되며, 포트로부터 물품이 반송될 때 오버헤드 호이스트 트랜스포트에 의해 이송이 이루어진다. 따라서 반송물 정보를 각 포트마다 관리하여야 한다. 더불어 포트로부터 물품이 반송될 때 오버헤드 호이스트 트랜스포트가 근접할 수 있도록 물품 보관부는 복수 개의 포트가 하나의 열로 마련되어야 함에 따라 보관 상의 제약이 발생된다. 더불어 포트에 이상 상황이 발생되면 반송물이 자체적으로 이동이 불가능하여 개선이 요구된다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 물품 보관이 하나의 열로 제약되지 않을 수 있으며, 물품 반송 정보의 관리가 간소화될 수 있으며, 물품 보관부 자체적으로 물품 이송이 가능할 수 있는 물품 이송 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 물품 이송 시스템의 일 면(aspect)은, 이동 경로를 제공하는 레일; 상기 레일에서 상기 레일의 이동 경로를 따라 이동하는 대차부; 및 상기 대차부에 의해 이송되는 물품이 보관되고, 상기 대차부에 의해 이송되는 상기 물품이 근접되는 제1 위치에 마련되는 물품 보관부를 포함하고, 상기 물품 보관부는, 상기 레일을 기준으로 상기 레일에 근접되는 전방으로부터 상기 레일과 이격되는 후방으로 N(자연수) 열로 배치될 수 있다.
상기 물품 보관부는, 상기 제1 위치에 마련되는 제1 스테이지부와, 상기 제1 스테이지부와 이웃하며 상기 물품이 보관되는 제2 스테이지부를 구비하며, 상기 제2 스테이지부는, 상기 제1 위치에서 상기 제1 스테이지부와 나란 하게 마련되어 상기 레일과 평행하게 배치되는 제2 전방 보관 부재와, 상기 제1 위치의 후방에 위치되는 제2 위치에 마련되는 제2 후방 보관 부재를 포함할 수 있다.
상기 제2 전방 보관 부재와 상기 제2 후방 보관 부재 사이로 상기 물품을 이송하거나, 상기 제1 스테이지부와 상기 제2 후방 보관 부재 사이로 상기 물품을 이송하는 이송부를 더 포함할 수 있다.
상기 이송부는, 상기 물품이 배치되고, 일측으로부터 타측으로 회전되거나 타측으로부터 일측으로 회전되는 무한궤도를 포함할 수 있다.
상기 제1 스테이지부에 마련되어 상기 대차부로 물품 정보를 송수신하는 송수신부를 더 포함하고, 상기 대차부는, 상기 송수신부로부터 신호를 받아 상기 제1 스테이지부로부터 물품을 반송할 수 있다.
상기 레일은 천장에 마련되고, 상기 대차부는, 오버헤드 호이스트 트랜스포트(overhead hoist transport, OHT)를 포함할 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명에 따른 물품 이송 시스템은, 물품 보관이 하나의 열로 제약되지 않아 보관을 효율적으로 이룰 수 있고, 물품 반송 정보의 관리가 간소화될 수 있으며, 물품 보관부의 내부에서 자체적으로 물품이 이송될 수 있어, 복수 개의 물품 보관부 개별로 관리가 가능하며 대차부의 이동 등에 의한 작업 지연을 방지하여 효율적인 관리가 가능하다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 물품 이송 시스템을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 물품 이송 시스템의 물품 보관부를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 물품 이송 시스템의 이송부를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 물품 이송 시스템의 물품 보관부를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 물품 이송 시스템의 물품 보관부를 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 물품 이송 시스템의 이송부를 도시한 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 물품 이송 시스템을 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 물품 이송 시스템의 물품 보관부를 도시한 도면이며, 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 물품 이송 시스템의 이송부를 도시한 도면이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 물품 이송 시스템(100)은, 레일(110), 대차부(120), 물품 보관부(130) 및 이송부(140)를 포함할 수 있다.
간략하게 물품 이송 시스템(100)이 배치되는 반도체 또는 디스플레이 제조 공장은 하나 또는 그 이상의 클린룸들로 구성될 수 있다. 각 클린룸에 반도체 제조 공정을 수행하기 위한 제조 설비(10)가 설치될 수 있다. 기판(예시적으로, 웨이퍼일 수 있음)에 복수의 제조 공정들이 반복 수행됨으로써 최종적으로 처리된 기판이 완성될 수 있다. 어느 하나의 반도체 제조 설비에서 제조 공정이 완료되면, 다음 제조 공정을 위한 다른 반도체 제조 설비로 기판이 반송될 수 있다. 여기서 기판은 복수개의 기판을 수용할 수 있는 용기(예시적으로 front opening unified pod: FOUP)에 보관된 상태로 반송될 수 있다. 기판을 수용한 용기는 대차부(120)에 의해 반송될 수 있다.
구체적으로 레일(110)은, 이동 경로를 제공할 수 있다. 여기서 이동 경로는 물품(기판이 저장되는 용기를 포함할 수 있음, 도 3 참조 식별부호 'C' 참조) 및/또는 대차부(120)의 이동 경로일 수 있다. 즉 제조 공장에는 공정을 수행하기 위한 제조 설비(10)가 설치되고, 제조 설비(10) 간에 물품을 반송하기 위한 반송 경로가 형성될 수 있는데, 반송 경로는 물품 및/또는 대차부(120)의 이동 경로로서, 레일(110)의 설치 경로를 이룰 수 있다. 예시적으로 레일(110)은 천장에 마련될 수 있다.
대차부(120)는 이동 경로를 형성하는 레일(110)에 마련되어, 레일(110)의 이동 경로를 따라 주행하면서 제조 설비(10)로 물품을 반송할 수 있다. 레일(110)이 천장에 구비되면, 대차부(120)는 오버헤드 호이스트 트랜스포트(overhead hoist transport, OHT)를 포함하여 이루어질 수 있다.
예시적으로 대차부(120)는 복수 개의 제조 설비(10) 사이에서 물품을 반송할 때, 물품이 곧바로 어느 하나의 제조 설비에서 다른 제조 설비로 반송될 수도 있고, 물품이 물품 보관부(130)에 저장된 이후 다른 제조 설비로 반송될 수도 있다. 더불어 본 실시예의 대차부(120)는, 후술되는 송수신부(131S)로부터 신호를 받아 물품 보관부(130)로부터 물품을 반송할 때, 물품 보관부(130)의 제1 스테이지부(131)로부터 물품을 반송할 수 있으며, 이에 대하여 후술하기로 한다.
도면에 도시하지는 않았으나 대차부(120)는 레일(110)을 주행하기 위한 주행부, 물품을 파지하는 물품 파지부, 물품 파지부를 슬라이드시키거나 승하강시키는 구동부를 포함할 수 있다. 대차부(120)의 물품 파지부는 좌측 또는 우측으로 슬라이드된 이후 승하강을 통해 물품을 이적재할 수 있다.
물품 보관부(130)는 대차부(120)에 의해 이송되는 물품이 보관될 수 있다. 물품 보관부(130)는 용기 내 청정 환경을 유지하기 위하여 비활성 가스를 주입할 수 있는 랙 형태의 창고(스토커) 및 레일(110)의 측면에 인접하게 설치되어 물품을 보관하는 STB(side track buffer) 또는 레일(110)의 하부 영역에 설치되어 물품을 보관하는 UTB(under track buffer)를 포함할 수 있다. 물품 보관부(130)는 베이(bay) 영역에 설치될 수도 있고, 베이 외부의 영역에 설치될 수도 있다. 이하에서, 물품 보관부(130)는 STB와 같이 레일(110)에 인접하게 마련되는 것을 예로 설명하도록 한다.
물품 보관부(130)는, 이송 경로를 이룰 수 있는 레일(110)의 측면(레일(110)과 평행한 방향으로 양측일 수 있음)에 인접하여 설치될 수 있다. 여기서 물품 보관부(130)는 레일(110)과 같이 천정에 연결됨으로써 설치될 수 있다. 물품 보관부(130)는 대차부(120)에 의해 이송되는 물품이 근접되는 제1 위치(도 3참조, 식별부호 'A' 표시 참조, 레일(110)의 양측일 수 있음)에 설치될 수 있다. 그리고 도면에 도시하지는 않았으나, 물품 보관부(130)는 물품이 적재될 수 있는 하나 이상의 선반을 포함할 수 있다.
본 실시예의 물품 보관부(130)는, 레일(110)을 기준으로 레일(110)에 근접되는 전방으로부터 레일(110)과 이격되는 후방으로 N(자연수) 열로 배치되어, 일반적인 배치와 차이가 있다. 다시 말해서 일반적인 물품 보관부(130)는 대차부(120)의 근접성의 문제 등으로 인해 N 열의 구조를 가지기 어렵다. 그러나 본 실시예는 아래와 같은 구성 및 구조를 이용하여 N열로 배치되어 물품 보관 상의 제약을 해소할 수 있다.
예시적으로 물품 보관부(130)는, 제1 위치(도 3참조, 식별부호 'A' 표시 참조, 레일(110)의 양측으로서 대차부(120)가 근접되는 위치)에 마련되는 제1 스테이지부(131)와, 제1 스테이지부(131)와 이웃하며 물품이 보관되는 제2 스테이지부(135)를 구비할 수 있다.
제1 스테이지부(131)는 임시 보관 공간을 제공할 수 있다. 물품의 반송이 필요하면 제2 스테이지부(135)의 물품이 제1 스테이지부(131)로 이동되어 임시로 보관될 수 있다. 그러면 대차부(120)가 제1 스테이지부(131)에 근접하여 제1 스테이지부(131)로부터 물품을 반송할 수 있다. 즉 제1 스테이지부(131)는 평시에는 비워진 상태로 구비되고, 반송이 필요하면 제2 스테이지부(135) 중 어느 하나로부터 물품이 이송되어 대차부(120)에 의해 반송이 이루어질 수 있다.
그리고 본 실시예는 반송 정보에 대한 관리 및/또는 반송 정보 신호의 송수신 처리가, 물품 보관부(130)의 모든 공간(제1 스테이지부(131)와 제2 스테이지부(135)를 모두 포함)에서 수행할 필요가 없다. 즉 본 실시예는 반송이 필요하면 제1 스테이지부(131)를 통해 물품을 반송하므로, 제1 스테이지부(131)의 반송 정보만을 관리하여 반송 처리가 간소화될 수 있다.
이와 더불어 반송과 관련되는 물품 정보를 대차부(120)와 송수신하는 송수신부(131S)는 제1 스테이지부(131)에만 구비되고, 제2 스테이지부(135)에는 구비될 필요가 없다. 다만 이는 관리의 용이성을 위해 제2 스테이지부(135)에는 송수신부(131S)가 생략되는 것이므로, 실시예의 변형에 따라 제2 스테이지부(135)에 송수신부(131S)가 더 마련될 수도 있다.
제2 스테이지부(135)는, 물품이 보관되는 공간을 제공할 수 있다. 본 실시예의 제2 스테이지부(135)는 물품 보관부(130)과 N열로 배치될 수 있게, 레일(110)과 평행하게 배치되어 제1 스테이지부(131)와 나란하게 일렬로 배치될 뿐만 아니라, 제1 스테이지부(131)의 후방에도 나란하게 일렬로 배치될 수 있다. 이를 위해 제2 스테이지부(135)는, 제2 전방 보관 부재(135A)와 제2 후방 보관 부재(135B)를 포함할 수 있다.
제2 전방 보관 부재(135A)는 제1 위치에서 제1 스테이지부(131)와 나란 하게 마련되어 레일(110)과 평행하게 배치될 수 있다. 제2 전방 보관 부재(135A)는 제1 스테이지부(131)와 동일하거나 유사하게 레일(110)과 근접하게 마련되어, 대차부(120)가 직접 물품을 반송할 수도 있다.
제2 후방 보관 부재(135B)는 보관 효율을 향상시킬 수 있도록, 제1 위치(도 3참조, 식별부호 'A' 표시 참조, 레일(110)의 양측으로서 대차부(120)가 근접되는 위치))의 후방에 위치되는 제2 위치(도 3참조, 식별부호 'B' 표시 참조)에 마련될 수 있다. 다시 말해서 제2 후방 보관 부재(135B)는 대차부(120)가 근접하지 않아 물품을 직접 반송하기 어려운 제1 스테이지부(131)의 후방에 배치될 수 있다. 제2 후방 보관 부재(135B)의 물품은 대차부(120)에 의해 직접 반송되지 않아도, 이송부(140)에 의해 제2 후방 보관 부재(135B)에서 제1 스테이지부(131) 또는 제2 전방 보관 부재(135A)로 이송될 수 있어, 물품의 반송이 이루어질 수 있음은 물론이다.
이송부(140)는, 제2 전방 보관 부재(135A)와 제2 후방 보관 부재(135B) 사이로 물품을 이송하거나, 제1 스테이지부(131)와 제2 후방 보관 부재(135B) 사이로 물품을 이송할 수 있다.
예시적으로 이송부(140)는, 물품이 배치되고, 일측으로부터 타측으로 회전되거나 타측으로부터 일측으로 회전되는 무한궤도(141)를 포함할 수 있다. 무한궤도(141)의 구동은, 무한궤도(141)의 양측에 배치되는 구동바퀴(142)(모터에 의해 회전될 수 있음)에 의해 이루어질 수 있다. 따라서 이송부(140)에 의해 물품이 제2 후방 보관 부재(135B)로부터 대차부(120)가 근접할 수 있는 위치(제1 스테이지부(131)와 제2 전방 보관 부재(135A))로 이송될 수 있다.
한편, 본 실시예에서 대차부(120)는 물품 보관부(130)의 제1 스테이지부(131)로부터 물품을 반송하는 것을 예시하였다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니며, 제2 스테이지부(135)에서 대차부(120)가 근접하여 물품을 반송할 수 있는 제2 전방 보관 부재(135A)로부터 물품을 반송할 수도 있다. 다시 말해서 대차부(120)는 근접이 어려운 제2 후방 보관 부재(135B)로부터는 물품을 직접 반송하지 않고, 이송부(140)에 의해 제2 후방 보관 부재(135B)로부터 제1 스테이지부(131)/제2 전방 보관 부재(135A)로 이송된 물품을 반송할 수 있다. 이와 같이 대차부(120)에 의해 직접 물품이 반송되지 않는 제2 후방 보관 부재(135B)를 제외하고 제1 스테이지부(131)와 제2 전방 보관 부재(135A)에 보관되는 물품을 반송할 수 있는 바와 같이, 다양한 변형예가 가능하다.
더불어 본 실시예는 대차부(120)가 제2 후방 보관 부재(135B)로부터 직접 물품을 반송하지 않더라도, 이송부(140)에 의해 이송되는 물품을 반송할 수 있으므로, 물품 보관부(130)의 N 열 배치를 이용하여 효율적인 관리가 가능하다.
게다가 물품 보관부(130)는 물품 이송 시스템(100)에서 복수 개로 마련되고, 레일(110)을 기준으로 서로 대향되게 마련되며, 2열로 구비되는 것을 예시하였다. 그러나 이에 한정되는 것은 아니며, 다른 변형예가 가능하다. 이하에서는 도 4 내지 도 6을 참조하여 본 실시예의 변형예를 설명하도록 하며, 동일한 기능을 하는 동일한 구성의 중복되는 설명은 생략하도록 한다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 물품 이송 시스템의 물품 보관부를 도시한 도면이고, 도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 물품 이송 시스템의 물품 보관부를 도시한 도면이며, 도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 물품 이송 시스템의 이송부를 도시한 도면이다. 도 4 내지 도 6을 참조하여, 도 1 내지 도 3을 이용하여 설명한 것과 다른 점을 위주로 설명한다.
도 4 내지 도 6을 참조하면, 제1 실시예와 동일하거나 유사하게 물품 이송 시스템(100)은, 레일(110), 대차부(120), 물품 보관부(130) 및 이송부(140)를 포함할 수 있다. 다만 물품 보관부(130)는 복수 개가 서로 어긋나게 배치되거나, 3열 이상으로 배치될 수도 있다. 그러나 제1 실시예 내지 제3 실시예 및 공지 기술 중 어느 하나 이상이 서로 조합되어 또 다른 실시예도 가능함을 언급하여 둔다.
먼저 도 4를 참조하면, 복수 개의 물품 보관부(130)는 레일(110) 및/또는 대차부(120)를 기준으로 서로 대향되게 마련되지 않고 어긋나게 배치될 수도 있다. 그리고 복수 개의 물품 보관부(130)가 서로 어긋나게 배치되어, 발생되는 여유 공간에는 또 다른 물품이 보관될 수도 있다. 여기서 다른 물품은 예시적으로 기판이 처리되기 위한 원기판이 수용되는 용기 등일 수 있다.
그리고 도 5 및 도 6을 참조하면, 복수 개의 물품 보관부(130)는 서로 어긋나게 배치되거나 서로 대향되게 배치될 수 있다.
다만 복수 개의 물품 보관부(130)는 2열로 배치되는 것으로 한정되지 않아 예시적으로 4열로 배치될 수도 있다. 그리고 물품은 이송부(140)의 무한궤도(141)에 의해 맨 앞에서 맨 끝으로 순차적으로 이동될 수 있다.
예를 들어 물품의 반송이 필요하면, 물품 보관부(130)에서 맨 끝에 배치되는 4열의 물품이 3열로 이동하고, 3열의 물품이 2열로 이동하고, 2열의 물품이 1열인 제1 스테이지부(131)로 이송됨으로써 물품이 순차적으로 이송되고, 그리고 나서 제1 열인 제1 스테이지부(131)에서 대차부(120)에 의해 반송될 수 있다. 다시 말해서 물품 보관부(130)가 3열 이상으로 마련되면, 물품은 1열에서 4열이 전체적으로 이동함으로써 반송되거나 다시 채워질 수 있다.
다만 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 변형예가 가능하다. 더불어 이송부(140)는 무한궤도(141)로 한정되지 않고, 랙과 피니언 기어 및 모터의 구조에 의해 물품의 이송이 가능할 수도 있다.
더불어 이송부(140)에 의한 물품의 이동은, 이송부(140)에 감지 센서(도시하지 않음)가 마련되어, 초기값(물품이 비워진 상태의 값)에 대비하여 차이가 발생되면 반송이 필요한 물품이 구비되는 것으로 판별하고, 초기값과 동일한 값으로 감지되면 반송이 필요한 물품이 구비되지 않는 것으로 판별하여, 이에 따른 이송부(140)의 구동이 이루어질 수 있다. 다만 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 구성의 변경이 가능하다.
이상과 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100: 물품 이송 시스템 110: 레일
120: 대차부 130: 물품 보관부
140: 이송부

Claims (6)

  1. 이동 경로를 제공하는 레일;
    상기 레일에서 상기 레일의 이동 경로를 따라 이동하는 대차부; 및
    상기 대차부에 의해 이송되는 물품이 보관되고, 상기 대차부에 의해 이송되는 상기 물품이 근접되는 제1 위치에 마련되는 물품 보관부를 포함하고,
    상기 물품 보관부는, 상기 레일을 기준으로 상기 레일에 근접되는 전방으로부터 상기 레일과 이격되는 후방으로 N(자연수) 열로 배치되는, 물품 이송 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 물품 보관부는, 상기 제1 위치에 마련되는 제1 스테이지부와, 상기 제1 스테이지부와 이웃하며 상기 물품이 보관되는 제2 스테이지부를 구비하며,
    상기 제2 스테이지부는, 상기 제1 위치에서 상기 제1 스테이지부와 나란 하게 마련되어 상기 레일과 평행하게 배치되는 제2 전방 보관 부재와, 상기 제1 위치의 후방에 위치되는 제2 위치에 마련되는 제2 후방 보관 부재를 포함하는, 물품 이송 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2 전방 보관 부재와 상기 제2 후방 보관 부재 사이로 상기 물품을 이송하거나, 상기 제1 스테이지부와 상기 제2 후방 보관 부재 사이로 상기 물품을 이송하는 이송부를 더 포함하는, 물품 이송 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 이송부는, 상기 물품이 배치되고, 일측으로부터 타측으로 회전되거나 타측으로부터 일측으로 회전되는 무한궤도를 포함하는, 물품 이송 시스템.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 제1 스테이지부에 마련되어 상기 대차부로 물품 정보를 송수신하는 송수신부를 더 포함하고,
    상기 대차부는, 상기 송수신부로부터 신호를 받아 상기 제1 스테이지부로부터 물품을 반송하는, 물품 이송 시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 레일은 천장에 마련되고,
    상기 대차부는, 오버헤드 호이스트 트랜스포트(overhead hoist transport, OHT)를 포함하는, 물품 이송 시스템.

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