KR20230094979A - 연삭 장치, 프로그램, 비일시적인 기록 매체, 및 연삭 장치의 제어 방법 - Google Patents

연삭 장치, 프로그램, 비일시적인 기록 매체, 및 연삭 장치의 제어 방법 Download PDF

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KR20230094979A
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미노루 마츠자와
고헤이 츠지모토
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

[과제] 오퍼레이터에 의한 셀프 그라인드의 실행 망각을 방지할 수 있는 연삭 장치를 제공한다.
[해결 수단] 연삭 장치로서, 처리 장치와 기억 장치를 갖고, 기억 장치에 기억된 프로그램에 따라 척 테이블, 연삭 유닛, 및 이동 기구를 제어하는 제어 유닛과, 제어 유닛에 지령을 입력하는 입력 장치를 포함하고, 프로그램은, 입력 장치로부터 제어 유닛으로 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후에, 연삭 장치의 가동을 정지시키는 순서와, 입력 장치로부터 제어 유닛으로 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후, 연삭 장치의 가동을 정지시키는 순서가 종료하기 전에, 연삭휠에 의해 유지면을 연삭하는 순서를 제어 유닛에 실행시킨다.

Description

연삭 장치, 프로그램, 비일시적인 기록 매체, 및 연삭 장치의 제어 방법{GRINDING APPARATUS, PROGRAM, NON-TRANSITORY RECORDING MEDIUM, AND METHOD OF CONTROLLING GRINDING APPARATUS}
본 발명은, 웨이퍼와 같은 피가공물을 연삭할 때에 사용되는 연삭 장치, 연삭 장치의 제어에 사용되는 프로그램, 프로그램이 기억된 비일시적인 기록 매체, 및 연삭 장치의 제어 방법에 관한 것이다.
소형이고 경량인 디바이스 칩을 실현하기 위해서, 집적 회로 등의 디바이스가 표면측에 형성된 웨이퍼를 얇게 가공하는 기회가 증가하고 있다. 예를 들어, 웨이퍼의 표면측을 척 테이블의 유지면에서 유지하고, 지립을 포함하는 연삭 지석이 고정된 연삭휠과, 척 테이블을 서로 회전시켜, 순수 등의 액체 (연삭액) 를 공급하면서 웨이퍼의 이면측에 연삭 지석을 압박함으로써, 이 웨이퍼가 연삭되어 얇아진다.
그런데, 상기 서술한 바와 같은 방법으로 웨이퍼 등의 피가공물을 연삭할 때에는, 척 테이블의 유지면을 연삭하는 셀프 그라인드로 불리는 처리가 실시된다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조). 이 셀프 그라인드에서는, 피가공물과 마찬가지로 유지면이 연삭휠 (연삭 지석) 로 연삭된다. 따라서, 셀프 그라인드 후의 유지면에서 피가공물을 유지하면, 피가공물과 연삭휠이 접촉하는 영역의 전체에서 연삭휠과 유지면의 간격이 대략 일정하게 되고, 피가공물은, 전체의 두께가 대략 일정하게 되도록 연삭된다.
일본 공개특허공보 2008-87104호
그런데, 피가공물의 연삭에 사용되는 척 테이블에서는, 일반적으로, 흡인원이 발생하는 부압에 의한 흡인력이 유지면의 미세한 공공을 통해서 피가공물에 작용함으로써, 피가공물이 유지된다. 한편으로, 피가공물의 연삭이 진행되면, 피가공물 등으로부터 발생한 부스러기로 유지면의 공공이 막혀, 피가공물을 유지하는 힘이 저하해 버리는 경우가 있다. 그래서, 유지면의 공공이 부스러기로 막히기 전에, 상기 서술한 셀프 그라인드가 임의의 타이밍에 실시되어, 유지면에 부착된 부스러기가 제거되고 있다.
그러나, 이 셀프 그라인드는, 오퍼레이터의 지시에 기초하여 실행되고 있어, 항상 적절한 타이밍에 실행된다고는 할 수 없다. 예를 들어, 오퍼레이터가 셀프 그라인드의 실행을 잊어 유지면의 공공이 부스러기로 막히면, 척 테이블에 의한 피가공물의 유지가 불안정해져, 피가공물의 연삭에 악영향이 나타나 버린다.
따라서, 본 발명의 목적은, 오퍼레이터에 의한 셀프 그라인드의 실행 망각을 방지할 수 있는 연삭 장치 등을 제공하는 것이다.
본 발명의 일측면에 의하면, 연삭 장치로서, 피가공물을 유지하는 유지면을 갖고, 그 유지면에 대해 교차하는 회전축의 둘레로 회전할 수 있는 척 테이블과, 선단부에 연삭휠이 장착된 상태에서 축심의 둘레로 회전할 수 있는 스핀들을 갖는 연삭 유닛과, 그 척 테이블과 그 연삭 유닛을 그 유지면에 대해 교차하는 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동 기구와, 처리 장치와 기억 장치를 갖고, 그 기억 장치에 기억된 프로그램에 따라 그 척 테이블, 그 연삭 유닛, 및 그 이동 기구를 제어하는 제어 유닛과, 그 제어 유닛에 지령을 입력하는 입력 장치를 구비하고, 그 프로그램은, 그 입력 장치로부터 그 제어 유닛으로 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후에, 그 연삭 장치의 가동을 정지시키는 순서와, 그 입력 장치로부터 그 제어 유닛으로 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후, 그 연삭 장치의 가동을 정지시키는 순서가 종료하기 전에, 그 척 테이블과 그 스핀들이 회전하고 있는 상태에서, 그 연삭 유닛과 그 척 테이블을 그 이동 기구에 의해 상대적으로 이동시켜 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 순서를 그 제어 유닛에 실행시키는 연삭 장치가 제공된다.
본 발명의 다른 일측면에 의하면, 피가공물을 유지하는 유지면을 갖고, 그 유지면에 대해 교차하는 회전축의 둘레로 회전할 수 있는 척 테이블과, 선단부에 연삭휠이 장착된 상태에서 축심의 둘레로 회전할 수 있는 스핀들을 갖는 연삭 유닛과, 그 척 테이블과 그 연삭 유닛을 그 유지면에 대해 교차하는 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동 기구와, 처리 장치와 기억 장치를 갖고, 그 기억 장치에 기억된 프로그램에 따라 그 척 테이블, 그 연삭 유닛, 및 그 이동 기구를 제어하는 제어 유닛과, 그 제어 유닛에 지령을 입력하는 입력 장치를 구비하는 연삭 장치의 제어에 사용되는 프로그램으로서, 그 입력 장치로부터 그 제어 유닛으로 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후에, 그 연삭 장치의 가동을 정지시키는 순서와, 그 입력 장치로부터 그 제어 유닛으로 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후, 그 연삭 장치의 가동을 정지시키는 순서가 종료하기 전에, 그 척 테이블과 그 스핀들이 회전하고 있는 상태에서, 그 연삭 유닛과 그 척 테이블을 그 이동 기구에 의해 상대적으로 이동시켜 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 순서를 그 제어 유닛에 실행시키는 프로그램이 제공된다.
바람직하게는, 그 프로그램은, 그 입력 장치로부터 그 제어 유닛으로 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후, 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 순서가 개시하기 전에, 그 척 테이블의 그 회전축과 그 스핀들의 그 축심이 이루는 각도를 조정하는 순서를 그 제어 유닛에 실행시킨다. 또, 바람직하게는, 그 프로그램은, 그 입력 장치로부터 그 제어 유닛으로 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후, 그 스핀들에 장착되어 있는 그 연삭휠을 교환하는 순서를 그 제어 유닛에 실행시키지 않고, 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 순서를 그 제어 유닛에 실행시킨다. 또, 바람직하게는, 그 프로그램은, 그 연삭 장치의 가동을 정지시키는 순서가 종료하기 전에, 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 순서가 종료하도록, 그 연삭 장치의 가동을 정지시키는 순서와 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 순서를 그 제어 유닛에 실행시킨다.
본 발명의 또 다른 일측면에 의하면, 그 프로그램이 기억된 비일시적인 기억 매체가 제공된다.
본 발명의 또 다른 일측면에 의하면, 피가공물을 유지하는 유지면을 갖고, 그 유지면에 대해 교차하는 회전축의 둘레로 회전할 수 있는 척 테이블과, 선단부에 연삭휠이 장착된 상태에서 축심의 둘레로 회전할 수 있는 스핀들을 갖는 연삭 유닛과, 그 척 테이블과 그 연삭 유닛을 그 유지면에 대해 교차하는 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동 기구와, 처리 장치와 기억 장치를 갖고, 그 기억 장치에 기억된 프로그램에 따라 그 척 테이블, 그 연삭 유닛, 및 그 이동 기구를 제어하는 제어 유닛과, 그 제어 유닛에 지령을 입력하는 입력 장치를 구비하는 연삭 장치의 제어에 사용되는 연삭 장치의 제어 방법으로서, 그 입력 장치가 그 제어 유닛에 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령을 입력하는 스텝과, 그 입력 장치로부터 그 제어 유닛으로 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후에, 그 연삭 장치의 가동을 정지시키는 스텝과, 그 입력 장치로부터 그 제어 유닛으로 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후, 그 연삭 장치의 가동을 정지시키는 스텝이 종료하기 전에, 그 척 테이블과 그 스핀들이 회전하고 있는 상태에서, 그 연삭 유닛과 그 척 테이블을 그 이동 기구에 의해 상대적으로 이동시켜 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 스텝을 포함하는 연삭 장치의 제어 방법이 제공된다.
바람직하게는, 그 입력 장치로부터 그 제어 유닛으로 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후, 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 스텝이 개시하기 전에, 그 척 테이블의 그 회전축과 그 스핀들의 그 축심이 이루는 각도를 조정하는 스텝을 추가로 포함한다. 또, 바람직하게는, 그 입력 장치로부터 그 제어 유닛으로 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후, 그 스핀들에 장착되어 있는 그 연삭휠을 교환하는 스텝을 실시하지 않고, 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 스텝을 실시한다. 또, 바람직하게는, 그 연삭 장치의 가동을 정지시키는 스텝이 종료하기 전에, 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 스텝을 종료시킨다.
본 발명의 각 측면에 관련된 연삭 장치, 프로그램, 및 연삭 장치의 제어 방법에서는, 입력 장치로부터 제어 유닛으로 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후에, 연삭 장치의 가동을 정지시키는 순서와, 입력 장치로부터 제어 유닛으로 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후, 연삭 장치의 가동을 정지시키는 순서가 종료하기 전에, 연삭휠에 의해 유지면을 연삭하는 순서가 제어 유닛에 의해 실행된다.
요컨대, 연삭 장치의 가동을 정지시키는 셧다운 시에는, 연삭휠에 의해 유지면을 연삭하는 셀프 그라인드가 반드시 실행된다. 따라서, 본 발명의 각 측면에 관련된 연삭 장치, 프로그램, 및 연삭 장치의 제어 방법에 의하면, 오퍼레이터에 의한 셀프 그라인드의 실행 망각이 방지된다.
도 1 은, 연삭 장치를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 제어 유닛의 기능적인 구조를 모식적으로 나타내는 기능 블록도이다.
도 3 은, 연삭 장치를 셧다운할 때의 처리의 흐름을 나타내는 플로 차트이다.
도 4 는, 척 테이블의 유지면이 연삭되는 양태를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시형태에 대해 설명한다. 도 1 은, 본 실시형태의 연삭 장치 (2) 를 모식적으로 나타내는 사시도이다. 또한, 도 1 에서는, 연삭 장치 (2) 를 구성하는 일부의 요소가 기능 블록으로 표현되어 있다. 또, 이하의 설명에 있어서 사용되는 X 축 방향 (전후 방향), Y 축 방향 (좌우 방향), 및 Z 축 방향 (연직 방향) 은, 서로 수직이다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 연삭 장치 (2) 는, 이 연삭 장치 (2) 를 구성하는 각종의 요소를 지지하는 기대 (4) 를 구비하고 있다. 기대 (4) 의 상면 전단 (前端) 측에는, 상단이 기대 (4) 의 상면에 개구된 오목상의 수용부 (4a) 가 형성되어 있고, 이 수용부 (4a) 내에는, 판상의 피가공물 (11) 의 반송에 사용되는 제 1 반송 기구 (6) 가 수용되어 있다. 제 1 반송 기구 (6) 는, 대표적으로는, 복수의 관절을 가지는 로봇 아암이며, 피가공물 (11) 을 반송 가능할 뿐만 아니라, 피가공물 (11) 의 상하를 반전시킬 수도 있다.
피가공물 (11) 은, 예를 들어, 실리콘 등의 반도체 재료로 구성되는 원반상의 웨이퍼이다. 요컨대, 이 피가공물 (11) 은, 원형상의 표면 (11a) 과, 표면 (11a) 과는 반대측의 원형상의 이면 (11b) 을 가지고 있다. 피가공물 (11) 의 표면 (11a) 측은, 서로 교차하는 복수의 스트리트 (분할 예정 라인) 로 복수의 소영역으로 구획되어 있고, 각 소영역에는, 집적 회로 (IC : Integrated Circuit) 등의 디바이스가 형성되어 있다.
본 실시형태의 연삭 장치 (2) 는, 예를 들어, 이 피가공물 (11) 의 이면 (11b) 측을 연삭할 때에 사용된다. 또한, 피가공물 (11) 의 이면 (11b) 측을 연삭할 때에는, 수지 등의 재료로 구성되는 보호 부재가 피가공물 (11) 의 표면 (11a) 측에 첩부되는 것이 바람직하다. 피가공물 (11) 의 표면 (11a) 측에 보호 부재가 첩부됨으로써, 이면 (11b) 측의 연삭 시에 표면 (11a) 측에 가해지는 충격이 완화되어, 피가공물 (11) 의 디바이스 등이 보호된다.
또, 본 실시형태에서는, 실리콘 등의 반도체 재료로 구성되는 원반상의 웨이퍼가 피가공물 (11) 로서 사용되고 있지만, 피가공물 (11) 의 재질, 형상, 구조, 크기 등은, 이 양태에 제한되지 않는다. 예를 들어, 다른 반도체, 세라믹스, 수지, 금속 등의 재료로 구성되는 기판 등이 피가공물 (11) 로서 사용될 수 있다. 동일하게, 디바이스의 종류, 수량, 형상, 구조, 크기, 배치 등도, 상기 서술한 양태에 제한되지 않는다. 피가공물 (11) 에는, 디바이스가 형성되어 있지 않아도 된다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 수용부 (4a) 의 전방에는, 복수의 피가공물 (11) 을 수용할 수 있는 카세트 (8a, 8b) 가 실리는 카세트 테이블 (10a, 10b) 이 형성되어 있다. 수용부 (4a) 의 경사 후방에는, 피가공물 (11) 의 위치를 조정하기 위한 위치 조정 기구 (12) 가 형성되어 있다. 위치 조정 기구 (12) 는, 원반상의 위치 조정용 테이블과, 위치 조정용 테이블의 주위에 배치된 복수의 핀을 포함하고 있다.
위치 조정용 테이블의 직경 방향을 따라 복수의 핀을 이동시킴으로써, 예를 들어, 카세트 (8a) 로부터 제 1 반송 기구 (6) 에 의해 반출되어 위치 조정용 테이블에 실린 피가공물 (11) 의 중심이, X 축 방향 및 Y 축 방향에 있어서 소정의 위치에 맞춰진다. 또한, 피가공물 (11) 은, 그 피연삭면 (본 실시형태에서는, 이면 (11b)) 이 상방으로 노출되도록, 위치 조정용 테이블에 실린다.
위치 조정 기구 (12) 의 측방에는, 피가공물 (11) 을 유지하여 후방으로 반송하는 제 2 반송 기구 (14) 가 형성되어 있다. 제 2 반송 기구 (14) 는, 예를 들어, 아암과, 아암의 선단부에 접속되어 피가공물 (11) 의 상면 (피연삭면) 측을 흡인하여 유지할 수 있는 유지 패드를 포함하고, 아암에 의해 유지 패드를 선회시킴으로써, 위치 조정 기구 (12) 로 위치가 조정된 피가공물 (11) 을 후방으로 반송한다.
제 2 반송 기구 (14) 의 후방에는, 턴테이블 (16) 이 형성되어 있다. 턴테이블 (16) 은, 모터 (도시 생략) 등에 접속되어 있고, 이 모터 등의 동력에 의해, Z 축 방향에 대해 대략 평행한 회전축의 둘레로 회전한다. 턴테이블 (16) 의 상면에는, 원기둥상 (원반상) 의 3 조의 테이블 베이스 (18) 가, 턴테이블 (16) 의 둘레 방향을 따라 대략 동일한 각도의 간격으로 형성되어 있다. 단, 테이블 베이스 (18) 의 수는, 이 양태에 제한되지 않는다.
각 테이블 베이스 (18) 는, 모터 (도시 생략) 등에 접속되어 있고, 이 모터 등의 동력에 의해, Z 축 방향에 대해 대략 평행한 회전축, 또는 Z 축 방향에 대해 약간 경사진 회전축의 둘레로 회전한다. 또한, 각 테이블 베이스 (18) 는, 각도 조정 기구 (도시 생략) 를 개재하여 턴테이블 (16) 에 지지되어 있고, 각 테이블 베이스 (18) 의 회전축의 각도는, 이 각도 조정 기구에 의해 조정된다.
각 테이블 베이스 (18) 의 상단부에는, 피가공물 (11) 의 유지에 사용되는 원반상의 척 테이블 (20) 이 볼트 등으로 고정되어 있다. 각 척 테이블 (20) 은, 예를 들어, 세라믹스 등의 재료에 의해 구성된 원반상의 프레임체 (20a) (도 4 참조) 를 포함한다. 프레임체 (20a) 의 상부에는, 상단이 프레임체 (20a) 의 상면에 원형상으로 개구된 오목부가 형성되어 있다. 이 오목부에는, 세라믹스 등의 재료로 다공질의 원반상으로 구성된 유지판 (20b) (도 4 참조) 이 고정되어 있다.
유지판 (20b) 의 상면은, 예를 들어, 원추의 측면에 상당하는 형상으로 구성되어 있고, 피가공물 (11) 을 유지하는 유지면으로서 기능한다. 또한, 원추의 정점에 상당하는 유지판 (20b) 의 상면의 중심과, 유지판 (20b) 의 상면의 외주 가장자리의 높이의 차 (고저차) 는, 10 ㎛ ∼ 30 ㎛ 정도이다.
유지판 (20b) 의 하면측은, 프레임체 (20a) 의 내부에 형성된 유로나, 프레임체 (20a) 의 외부에 배치된 밸브 (도시 생략) 등을 개재하여, 이젝터 등의 흡인원 (도시 생략) 에 접속되어 있다. 그 때문에, 유지판 (20b) 의 상면에 피가공물 (11) 등이 접촉한 상태에서, 밸브가 열리고, 흡인원의 부압이 작용하면, 이 척 테이블 (20) 에 의해 피가공물 (11) 이 흡인된다. 요컨대, 피가공물 (11) 은, 척 테이블 (20) 의 유지면에 의해 유지된다.
척 테이블 (20) 이 테이블 베이스 (18) 에 고정된 상태에서, 턴테이블 (16) 은, 예를 들어, 도 1 의 화살표의 방향, 및 화살표와는 반대의 방향으로 회전한다. 그리고, 이 턴테이블 (16) 의 회전에 수반하여, 테이블 베이스 (18) 및 척 테이블 (20) 은, 턴테이블 (16) 의 둘레 방향을 따라 이동한다.
턴테이블 (16) 은, 테이블 베이스 (18) 및 척 테이블 (20) 을, 예를 들어, 제 2 반송 기구 (14) 에 인접하는 반입반출 영역, 반입반출 영역의 후방의 조연삭 영역, 조연삭 영역의 측방의 마무리 연삭 영역, 및 반입반출 영역의 순서로 이동시킨다. 제 2 반송 기구 (14) 는, 유지 패드로 유지한 피가공물 (11) 을, 위치 조정 기구 (12) 의 위치 조정용 테이블로부터, 반입반출 영역에 배치된 척 테이블 (20) 로 반송한다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 조연삭 영역 및 마무리 연삭 영역의 후방 (요컨대, 턴테이블 (16) 의 후방) 에는, 각각, 기둥상의 지지 구조 (30) 가 형성되어 있다. 각 지지 구조 (30) 의 전면 (前面) 측에는, Z 축 이동 기구 (32) 가 형성되어 있다. 각 Z 축 이동 기구 (32) 는, Z 축 방향에 대해 대략 평행한 1 쌍의 가이드 레일 (34) 을 구비하고 있고, 가이드 레일 (34) 에는, 이동 플레이트 (36) 가 슬라이드할 수 있는 양태로 장착되어 있다.
각 이동 플레이트 (36) 의 후면측 (이면측) 에는, 볼 나사를 구성하는 너트부 (도시 생략) 가 형성되어 있고, 이 너트부에는, 가이드 레일 (34) 에 대해 대략 평행한 나사축 (38) 이 회전할 수 있는 양태로 연결되어 있다. 나사축 (38) 의 일단부에는, 모터 (40) 등이 접속되어 있다. 모터 (40) 등에 의해 나사축 (38) 을 회전시킴으로써, 이동 플레이트 (36) 는, 가이드 레일 (34) (Z 축 방향) 을 따라 이동한다.
각 이동 플레이트 (36) 의 전면 (표면) 에는, 고정구 (42) 가 형성되어 있다. 각 고정구 (42) 에는, 피가공물 (11) 을 연삭할 수 있는 연삭 유닛 (44) 이 지지되어 있다. 각 연삭 유닛 (44) 은, 고정구 (42) 에 고정되는 스핀들 하우징 (46) 을 구비하고 있다. 각 스핀들 하우징 (46) 에는, Z 축 방향에 대해 평행한 회전축, 또는 Z 축 방향에 대해 약간 경사진 회전축이 되는 스핀들 (48) 이 그 축심의 둘레로 회전할 수 있는 양태로 수용되어 있다.
각 스핀들 (48) 의 하단부는, 스핀들 하우징 (46) 의 하단면으로부터 노출되어 있고, 이 하단부에는, 원반상의 마운트 (50) 가 고정되어 있다. 예를 들어, 각 마운트 (50) 의 외측 가장자리부에는, 마운트 (50) 를 두께 방향으로 관통하는 복수의 구멍 (도시 생략) 이 형성되어 있고, 각 구멍에는, 볼트 (52) 등이 삽입된다.
조연삭 영역측의 연삭 유닛 (44) 의 마운트 (50) 의 하면에는, 조연삭용의 연삭휠 (54) 이 볼트 (52) 로 장착되어 있다. 요컨대, 조연삭 영역측의 스핀들 (48) 에는, 조연삭용의 연삭휠 (54) 이 장착되어 있다. 또, 조연삭 영역측의 연삭 유닛 (44) 의 스핀들 하우징 (46) 에는, 스핀들 (48) 의 상단측에 접속되는 모터 (도시 생략) 등이 수용되어 있다. 이 모터 등의 동력에 의해, 스핀들 (48) 과 함께 조연삭용의 연삭휠 (54) 이 회전한다.
한편으로, 마무리 연삭 영역측의 연삭 유닛 (44) 의 마운트 (50) 의 하면에는, 마무리 연삭용의 연삭휠 (54) 이 볼트 (52) 로 장착되어 있다. 요컨대, 마무리 연삭 영역측의 스핀들 (48) 에는, 마무리 연삭용의 연삭휠 (54) 이 장착되어 있다. 또, 마무리 연삭 영역측의 연삭 유닛 (44) 의 스핀들 하우징 (46) 에는, 스핀들 (48) 의 상단측에 접속되는 모터 (도시 생략) 등이 수용되어 있다. 이 모터 등의 동력에 의해, 스핀들 (48) 과 함께 마무리 연삭용의 연삭휠 (54) 이 회전한다.
각 연삭휠 (54) 은, 스테인리스강이나 알루미늄 등의 금속을 사용하여 형성된 환상의 휠기대 (54a) (도 4 참조) 를 포함한다. 휠기대 (54a) 의 하면에는, 다이아몬드 등의 지립이 비트리파이드나 레지노이드 등의 결합제에 분산되어 이루어지는 복수의 연삭 지석 (54b) (도 4 참조) 이, 휠기대 (54a) 의 둘레 방향을 따라 고정되어 있다.
또한, 마무리 연삭용의 연삭휠 (54) 이 구비하는 연삭 지석 (54b) 에 포함되는 지립의 평균 입경은, 조연삭용의 연삭휠 (54) 이 구비하는 연삭 지석 (54b) 에 포함되는 지립의 평균 입경보다 작다. 이로써, 조연삭에 적절한 연삭휠 (54) 과, 마무리 연삭에 적절한 연삭휠 (54) 이 실현되고 있다. 구체적인 지립의 크기는, 연삭 후의 피가공물 (11) 에 요구되는 품질 등에 따라 적절히 설정된다.
연삭휠 (54) 의 옆에는, 피가공물 (11) 과 연삭 지석 (54b) 이 접촉하는 부분에 순수 등의 액체 (연삭액) (21) (도 4 참조) 를 공급할 수 있는 노즐 (56) 이 배치되어 있다. 또한, 이 노즐 (56) 대신에, 또는, 노즐 (56) 과 함께, 액체의 공급에 사용되는 액체 공급구가 연삭휠 (54) 등에 형성되어도 된다.
조연삭 영역의 척 테이블 (20) 에 유지된 피가공물 (11) 은, 상기 서술한 조연삭 영역측의 연삭 유닛 (44) 으로 상면측을 연삭한다. 또, 마무리 연삭 영역의 척 테이블 (20) 에 유지된 피가공물 (11) 은, 상기 서술한 마무리 연삭 영역측의 연삭 유닛 (44) 으로 상면측을 연삭한다.
즉, 피가공물 (11) 을 유지한 척 테이블 (20) 이, 반입반출 영역, 조연삭 영역, 및 마무리 연삭 영역의 순서로 이동함으로써, 피가공물 (11) 의 조연삭과, 조연삭 후의 마무리 연삭이 연속적으로 실시된다. 마무리 연삭 영역의 척 테이블 (20) 은, 피가공물 (11) 의 마무리 연삭이 종료하면, 다시 반입반출 영역에 위치된다.
반입반출 영역의 전방, 또한 제 2 반송 기구 (14) 의 측방의 위치에는, 연삭 후의 피가공물 (11) 을 유지하여 전방으로 반송하는 제 3 반송 기구 (58) 가 형성되어 있다. 제 3 반송 기구 (58) 는, 피가공물 (11) 의 상면측을 흡인하여 유지하는 유지 패드와, 이 유지 패드에 접속된 아암을 포함하고, 아암에 의해 유지 패드를 선회시킴으로써, 연삭 후의 피가공물 (11) 을 반입반출 영역의 척 테이블 (20) 로부터 전방으로 반송한다.
제 3 반송 기구 (58) 의 측방에는, 제 3 반송 기구 (58) 에 의해 반출된 피가공물 (11) 을 세정하는 세정 유닛 (60) 이 형성되어 있다. 세정 유닛 (60) 은, 예를 들어, 피가공물 (11) 의 하면측을 유지한 상태에서 회전하는 스피너 테이블과, 스피너 테이블에 의해 유지된 피가공물 (11) 의 상면측에 세정용의 유체를 분사하는 세정용 노즐을 포함한다.
세정 유닛 (60) 에서 사용되는 세정용의 유체는, 대표적으로는, 물과 에어가 혼합된 혼합 유체 (이류체) 이다. 물론, 에어와 혼합되어 있지 않은 물 등이 세정용의 유체로서 사용되어도 된다. 세정 유닛 (60) 으로 세정된 피가공물 (11) 은, 제 1 반송 기구 (6) 로 반송되고, 예를 들어, 카세트 (8b) 에 수용된다.
연삭 장치 (2) 의 각 요소에는, 제어 유닛 (62) 이 접속되어 있다. 이 제어 유닛 (62) 은, 예를 들어, 처리 장치 (62a) 와, 기억 장치 (62b) 를 포함하는 컴퓨터에 의해 구성되고, 피가공물 (11) 이 적절히 연삭되도록, 척 테이블 (20), Z 축 이동 기구 (32), 및 연삭 유닛 (44) 을 포함하는 상기 서술한 연삭 장치 (2) 의 각 요소의 동작 등을 제어한다.
처리 장치 (62a) 는, 대표적으로는, CPU (Central Processing Unit) 이며, 상기 서술한 요소를 제어하기 위해서 필요한 여러 가지의 처리를 실시한다. 기억 장치 (62b) 는, 예를 들어, DRAM (Dynamic Random Access Memory) 등의 주기억장치와, 하드 디스크 드라이브나 플래쉬 메모리 등의 보조 기억 장치를 포함한다. 이 제어 유닛 (62) 의 기능은, 예를 들어, 기억 장치 (62b) 에 기억되어 있는 프로그램 등의 소프트웨어에 따라 처리 장치 (62a) 가 동작함으로써 실현된다.
제어 유닛 (62) 에는, 입력 장치 (64) 가 접속되어 있다. 입력 장치 (64) 는, 예를 들어, 터치 패널이며, 오퍼레이터로부터의 지령을 제어 유닛 (62) 에 입력한다. 이 터치 패널은, 제어 유닛 (62) 으로부터 출력되는 정보를 표시하는 표시 장치를 겸한다. 또한, 키보드나 마우스 등이 입력 장치 (64) 로서 채용되어도 된다.
이와 같이 구성된 연삭 장치 (2) 에서는, 그 가동을 정지하는 셧다운 시에, 척 테이블 (20) 의 유지면을 연삭휠 (54) 로 연삭하는 셀프 그라인드가 실행된다. 예를 들어, 컴퓨터 등에 의한 판독이 가능한 비일시적인 기록 매체이기도 한 기억 장치 (62b) 의 일부에는, 필요한 순서를 제어 유닛 (62) 에 실행시키기 위한 프로그램이 기록되고, 제어 유닛 (62) 은, 이 프로그램에 따라서 셧다운의 제어를 실시한다.
도 2 는, 본 실시형태의 프로그램에 의해 실현되는 제어 유닛 (62) 의 기능적인 구조를 모식적으로 나타내는 기능 블록도이다. 또한, 도 2 에서는, 설명의 편의상, 제어 유닛 (62) 에 접속되는 입력 장치 (64) 가 아울러 나타나 있다. 도 2 에 나타내는 바와 같이, 제어 유닛 (62) 은, 입력 장치 (64) 로부터의 입력을 판정하는 입력 판정부 (66) 를 포함한다.
입력 판정부 (66) 는, 예를 들어, 오퍼레이터에 의한 셧다운의 지령 (연삭 장치 (2) 의 가동을 정지하는 취지의 지령) 이 입력 장치 (64) 로부터 입력되면, 셧다운 제어부 (68) 에 대해, 셧다운의 순서의 개시를 통지한다. 셧다운 제어부 (68) 는, 입력 판정부 (66) 로부터의 통지에 따라 셧다운의 순서를 실행한다.
예를 들어, 셧다운 시의 동작 모드가 셀프 그라인드를 실시하는 「종료 시 셀프 그라인드」로 설정되어 있는 경우에는, 셧다운 제어부 (68) 는, 셧다운의 순서를 개시할 때에, 셀프 그라인드 제어부 (70) 에 대해, 셀프 그라인드의 순서의 개시를 통지한다. 셀프 그라인드 제어부 (70) 는, 셧다운 제어부 (68) 로부터의 통지에 따라 셀프 그라인드의 순서를 실행한다.
제어 유닛 (62) 은, 셧다운 시의 동작 모드를 설정하는 동작 모드 설정부 (72) 를 추가로 포함하고 있다. 예를 들어, 오퍼레이터에 의해 선택된 동작 모드가 입력 장치 (64) 로부터 입력 판정부 (66) 에 입력되면, 입력 판정부 (66) 는, 입력 장치 (64) 로부터 입력된 동작 모드를 동작 모드 설정부 (72) 에 통지하고, 동작 모드 설정부 (72) 는, 입력 판정부 (66) 로부터 통지된 동작 모드를 셧다운 시의 동작 모드로 설정한다. 셧다운 시의 동작 모드에는, 상기 서술한 「종료 시 셀프 그라인드」외에, 셧다운 시에 셀프 그라인드를 실시하지 않는 「통상 종료」등이 있다.
셧다운 제어부 (68) 는, 예를 들어, 전력의 공급을 제어하는 전력 제어부 (68a) 와, 정보의 기억을 제어하는 기억 제어부 (68b) 를 갖는다. 입력 판정부 (66) 로부터 셧다운 제어부 (68) 로 셧다운의 순서의 개시가 통지되면, 기억 제어부 (68b) 는, 셧다운 시에 보존할 필요가 있는 정보를 기억 장치 (62b) 에 기억시키는 순서를 실행한다. 예를 들어, 필요한 정보를 기억 장치 (62b) 에 기억시키는 순서, 및 그 밖의 셧다운에 필요한 순서가 종료하면, 전력 제어부 (68a) 는, 각 요소에의 전력의 공급을 차단하는 순서를 실행한다.
셀프 그라인드 제어부 (70) 는, 예를 들어, 연삭휠 (54) 의 교환을 제어하는 휠 교환 제어부 (70a) 와, 척 테이블 (20) 의 회전축 (테이블 베이스 (18) 의 회전축) 의 각도를 조정하는 각도 조정부 (70b) 를 포함한다. 휠 교환 제어부 (70a) 는, 셀프 그라인드의 순서를 개시할 때에, 필요에 따라, 피가공물 (11) 의 연삭에 적절한 연삭휠 (54) 로부터 셀프 그라인드에 적절한 연삭휠 (54) 로의 교환의 순서 (연삭휠 (54) 의 교환의 순서) 를 실행한다. 구체적으로는, 예를 들어, 휠 교환 제어부 (70a) 는, 오퍼레이터에 대해 연삭휠 (54) 의 교환이 필요한 것을 알리기 위해서 필요한 정보 등을 표시 장치에 표시시킨다.
각도 조정부 (70b) 는, 셀프 그라인드의 순서를 개시할 때에, 척 테이블 (20) 의 회전축의 각도를 셀프 그라인드에 적절한 소정의 각도로 조정하는 순서를 실행한다. 구체적으로는, 예를 들어, 각도 조정부 (70b) 는, 상기 서술한 각도 조정 기구로 테이블 베이스 (18) 의 회전축의 각도를 조정한다. 또한, 각도 조정부 (70b) 는, 척 테이블 (20) 의 회전축의 각도 대신에, 또는, 척 테이블 (20) 의 회전축의 각도와 함께, 스핀들 (48) 의 축심의 각도를 조정하는 순서를 실행해도 된다.
도 3 은, 연삭 장치 (2) 를 셧다운할 때의 처리의 흐름을 나타내는 플로 차트이다. 먼저, 입력 장치 (64) 가 제어 유닛 (62) 에 셧다운의 지령을 입력하면 (스텝 ST11), 제어 유닛 (62) 의 입력 판정부 (66) 는, 셧다운의 개시를 셧다운 제어부 (68) 에 통지한다.
입력 판정부 (66) 로부터 셧다운의 순서의 개시의 통지를 받은 셧다운 제어부 (68) 는, 셧다운의 순서를 개시한다 (스텝 ST12). 구체적으로는, 예를 들어, 기억 제어부 (68b) 가, 셧다운 시에 보존할 필요가 있는 정보를 기억 장치 (62b) 에 기억시키는 순서를 개시한다. 또한, 이 단계에서는, 전력 제어부 (68a) 는, 각 요소에의 전력의 공급을 차단하는 순서를 개시하지 않는다.
또, 입력 판정부 (66) 로부터 셧다운의 순서의 개시의 통지를 받은 셧다운 제어부 (68) 는, 동작 모드 설정부 (72) 에 의해 설정된 동작 모드가, 셧다운 시에 셀프 그라인드를 실시하는 「종료 시 셀프 그라인드」인지 여부를 판정한다 (스텝 ST13). 또한, 도 3 에서는, 셧다운의 순서가 개시된 후에, 동작 모드의 판정이 실시되는 흐름이 나타나 있지만, 동작 모드의 판정과 동시에, 또는, 동작 모드의 판정이 실시된 후에, 셧다운의 순서가 개시되어도 된다.
동작 모드로 「종료 시 셀프 그라인드」가 설정되어 있는 경우에 (스텝 ST13 에서 YES), 셧다운 제어부 (68) 는, 셀프 그라인드의 순서의 개시를 셀프 그라인드 제어부 (70) 에 통지한다. 셧다운 제어부 (68) 로부터 셀프 그라인드의 순서의 개시의 통지를 받은 셀프 그라인드 제어부 (70) 는, 예를 들어, 마무리 연삭용의 연삭휠 (54) 로 척 테이블 (20) 의 유지면을 연삭하는 셀프 그라인드의 순서를 개시한다.
구체적으로는, 예를 들어, 각도 조정부 (70b) 가, 각 척 테이블 (20) 의 회전축의 각도를 셀프 그라인드에 적절한 소정의 각도로 조정하는 순서를 개시한다 (스텝 ST14). 즉, 각도 조정부 (70b) 는, 각 척 테이블 (20) 이 마무리 연삭 영역에 위치되었을 때에, 그 척 테이블 (20) 의 회전축과, 마무리 연삭용의 연삭휠 (54) 이 장착된 스핀들 (48) 의 축심이 이루는 각도를 셀프 그라인드에 적절한 소정의 각도로 조정한다.
이와 같은 조정이 필요해지는 것은, 일반적으로, 피가공물 (11) 을 연삭하는 경우와, 척 테이블 (20) 의 유지면을 연삭하는 경우에서는, 척 테이블 (20) 이나 연삭휠 (54) 을 회전시킬 때에 걸리는 부하의 크기가 상이하기 때문이다. 또한, 회전 시의 부하의 크기에 실질적인 차가 없는 경우 등에는, 이 각도의 조정이 생략되어도 된다.
각 척 테이블 (20) 의 회전축과 스핀들 (48) 의 축심이 이루는 각도의 조정이 종료하면, 셀프 그라인드 제어부 (70) 는, 척 테이블 (20) 의 유지면을 연삭휠 (54) 로 연삭하는 순서를 개시한다 (스텝 ST15). 도 4 는, 척 테이블 (20) 의 유지면이 연삭되는 양태를 모식적으로 나타내는 단면도이다. 구체적으로는, 먼저, 셀프 그라인드 제어부 (70) 가, 각 척 테이블 (20) 을, 그 유지면에 대해 교차하는 회전축의 둘레로 회전시킴과 함께, 마무리 연삭용의 연삭휠 (54) 이 장착된 스핀들 (48) 을, 그 축심의 둘레로 회전시킨다.
다음으로, 셀프 그라인드 제어부 (70) 는, 척 테이블 (20) 과 스핀들 (48) 이 회전하고 있는 상태에서, 노즐 (56) 로부터 액체 (21) 를 공급하면서, 마무리 연삭용의 연삭휠 (54) 을 Z 축 이동 기구 (32) 로 하강시킨다. 요컨대, 셀프 그라인드 제어부 (70) 는, 마무리 연삭 영역의 척 테이블 (20) 과 마무리 연삭용의 연삭 유닛 (44) 을, Z 축 이동 기구 (32) 에 의해, 척 테이블 (20) 의 유지면에 대해 교차하는 Z 축 방향을 따라 상대적으로 이동시킨다.
이로써, 마무리 연삭 영역의 척 테이블 (20) 의 유지면에, 마무리 연삭용의 연삭휠 (54) 의 연삭 지석 (54b) 이 접촉하고, 이 척 테이블 (20) 의 유지면이 연삭된다. 유지면의 연삭량 (연삭 두께) 은, 예를 들어, 10 ㎛ ∼ 50 ㎛ 의 범위에서 임의로 설정된다. 단, 유지면의 연삭량은, 이 범위로 한정되지 않는다.
마무리 연삭 영역의 척 테이블 (20) 의 유지면의 연삭이 종료되면, 셀프 그라인드 제어부 (70) 는, 턴테이블 (16) 을 회전시켜 다른 척 테이블 (20) 을 마무리 연삭 영역으로 이동시키고, 이 다른 척 테이블 (20) 의 유지면을 동일하게 연삭한다. 턴테이블 (16) 을 회전과, 척 테이블 (20) 의 유지면의 연삭이 교대로 실시되고, 모든 척 테이블 (20) 의 유지면이 연삭되면, 셀프 그라인드의 순서가 종료한다.
또한, 이 셧다운 시에 실시되는 셀프 그라인드의 순서에서는, 휠 교환 제어부 (70a) 는, 연삭휠 (54) 의 교환의 순서를 실행하지 않는 것이 바람직하다. 오퍼레이터에 의한 작업이 필요로 되는 연삭휠 (54) 의 교환의 순서가 실행되지 않음으로써, 오퍼레이터에 의한 셀프 그라인드의 실행 망각을, 보다 확실하게 방지할 수 있다. 단, 그 경우에는, 연삭휠 (54) 이 피가공물 (11) 과 척 테이블 (20) 의 쌍방을 연삭할 수 있도록 구성될 필요가 있다.
물론, 셧다운 시에 실시되는 셀프 그라인드의 순서에 있어서, 휠 교환 제어부 (70a) 는, 연삭휠 (54) 의 교환의 순서를 실행해도 된다. 또, 셧다운 시에 실시되는 셀프 그라인드 이외의 일반적인 셀프 그라인드의 순서에서는, 휠 교환 제어부 (70a) 가 연삭휠 (54) 의 교환의 순서를 실행해도 된다.
셀프 그라인드의 순서를 포함하는 셧다운에 필요한 모든 순서가 종료하면, 셧다운 제어부 (68) 의 전력 제어부 (68a) 는, 셧다운의 순서를 종료하기 위해서, 각 요소에의 전력의 공급을 차단하는 순서를 개시한다 (스텝 ST16). 각 요소에의 전력의 공급이 차단되면, 연삭 장치 (2) 의 가동을 정지시키는 순서가 모두 종료하고, 연삭 장치 (2) 가 셧다운된 상태가 된다.
이상과 같이, 본 실시형태에 관련된 연삭 장치 (2), 프로그램, 및 연삭 장치의 제어 방법에 의하면, 소정의 동작 모드가 설정되면, 입력 장치 (64) 로부터 제어 유닛 (62) 으로 연삭 장치 (2) 의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후에, 연삭 장치 (2) 의 가동을 정지시키는 순서와, 입력 장치 (64) 로부터 제어 유닛 (62) 으로 연삭 장치 (2) 의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후, 연삭 장치 (2) 의 가동을 정지시키는 순서가 종료하기 전에, 연삭휠 (54) 에 의해 유지면을 연삭하는 순서가 제어 유닛 (62) 에 의해 실행된다.
요컨대, 연삭 장치 (2) 의 가동을 정지시키는 셧다운 시에는, 연삭휠 (54) 에 의해 유지면을 연삭하는 셀프 그라인드가 반드시 실행되게 된다. 따라서, 본 실시형태에 관련된 연삭 장치 (2), 프로그램, 및 연삭 장치의 제어 방법에 의하면, 오퍼레이터에 의한 셀프 그라인드의 실행 망각이 방지된다. 또, 본 실시형태에 관련된 연삭 장치 (2), 프로그램, 및 연삭 장치의 제어 방법에 의하면, 피가공물 (11) 의 연삭에 기여하지 않는 셧다운 시에 셀프 그라인드가 실행되므로, 셀프 그라인드에서 기인하여 생산성이 저하하는 경우도 없다.
또한, 본 발명은, 상기 서술한 실시형태의 기재에 제한되지 않고 여러 가지 변경하여 실시 가능하다. 예를 들어, 상기 서술한 실시형태에서는, 마무리 연삭용의 연삭휠 (54) 로 척 테이블 (20) 의 유지면이 연삭되는 셀프 그라인드의 순서가 실행되고 있지만, 조연삭용의 연삭휠 (54) 로 척 테이블 (20) 의 유지면을 연삭하는 셀프 그라인드의 순서가 실행되어도 된다.
또, 상기 서술한 실시형태에서는, 연삭 장치의 제어 방법을 실행시키는 프로그램이 제어 유닛 (62) 내의 기억 장치 (62b) 에 기록되어 있지만, 이 프로그램은, 예를 들어, 컴퓨터 등에 의한 판독이 가능한 임의의 비일시적인 기록 매체에 기록되어도 된다. 예를 들어, 저비용의 반포가 가능한 CD (Compact Disc) 등의 광 디스크에 이 프로그램이 기록되는 경우가 있다.
그 외, 상기 서술한 실시형태 및 변형예에 관련된 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한에 있어서 적절히 변경하여 실시될 수 있다.
2 : 연삭 장치
4 : 기대
4a : 수용부
6 : 제 1 반송 기구
8a : 카세트
8b : 카세트
10a : 카세트 테이블
10b : 카세트 테이블
12 : 위치 조정 기구
14 : 제 2 반송 기구
16 : 턴테이블
18 : 테이블 베이스
20 : 척 테이블
20a : 프레임체
20b : 유지판
30 : 지지 구조
32 : Z 축 이동 기구
34 : 가이드 레일
36 : 이동 플레이트
38 : 나사축
40 : 모터
42 : 고정구
44 : 연삭 유닛
46 : 스핀들 하우징
48 : 스핀들
50 : 마운트
52 : 볼트
54 : 연삭휠
54a : 휠기대
54b : 연삭 지석
56 : 노즐
58 : 제 3 반송 기구
60 : 세정 유닛
62 : 제어 유닛
62a : 처리 장치
62b : 기억 장치
64 : 입력 장치
66 : 입력 판정부
68 : 셧다운 제어부
68a : 전력 제어부
68b : 기억 제어부
70 : 셀프 그라인드 제어부
70a : 휠 교환 제어부
70b : 각도 조정부
72 : 동작 모드 설정부
11 : 피가공물
11a : 표면
11b : 이면
21 : 액체 (연삭액)

Claims (13)

  1. 연삭 장치로서,
    피가공물을 유지하는 유지면을 갖고, 그 유지면에 대해 교차하는 회전축의 둘레로 회전할 수 있는 척 테이블과,
    선단부에 연삭휠이 장착된 상태에서 축심의 둘레로 회전할 수 있는 스핀들을 갖는 연삭 유닛과,
    그 척 테이블과 그 연삭 유닛을 그 유지면에 대해 교차하는 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동 기구와,
    처리 장치와 기억 장치를 갖고, 그 기억 장치에 기억된 프로그램에 따라 그 척 테이블, 그 연삭 유닛, 및 그 이동 기구를 제어하는 제어 유닛과,
    그 제어 유닛에 지령을 입력하는 입력 장치를 구비하고,
    그 프로그램은,
    그 입력 장치로부터 그 제어 유닛으로 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후에, 그 연삭 장치의 가동을 정지시키는 순서와,
    그 입력 장치로부터 그 제어 유닛으로 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후, 그 연삭 장치의 가동을 정지시키는 순서가 종료하기 전에, 그 척 테이블과 그 스핀들이 회전하고 있는 상태에서, 그 연삭 유닛과 그 척 테이블을 그 이동 기구에 의해 상대적으로 이동시켜 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 순서를 그 제어 유닛에 실행시키는 연삭 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    그 프로그램은,
    그 입력 장치로부터 그 제어 유닛으로 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후, 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 순서가 개시하기 전에, 그 척 테이블의 그 회전축과 그 스핀들의 그 축심이 이루는 각도를 조정하는 순서를 그 제어 유닛에 실행시키는 연삭 장치.
  3. 제 1 항 또는 제2 항에 있어서,
    그 프로그램은,
    그 입력 장치로부터 그 제어 유닛으로 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후, 그 스핀들에 장착되어 있는 그 연삭휠을 교환하는 순서를 그 제어 유닛에 실행시키지 않고, 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 순서를 그 제어 유닛에 실행시키는 연삭 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    그 프로그램은,
    그 연삭 장치의 가동을 정지시키는 순서가 종료하기 전에, 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 순서가 종료하도록, 그 연삭 장치의 가동을 정지시키는 순서와 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 순서를 그 제어 유닛에 실행시키는 연삭 장치.
  5. 피가공물을 유지하는 유지면을 갖고, 그 유지면에 대해 교차하는 회전축의 둘레로 회전할 수 있는 척 테이블과,
    선단부에 연삭휠이 장착된 상태에서 축심의 둘레로 회전할 수 있는 스핀들을 갖는 연삭 유닛과,
    그 척 테이블과 그 연삭 유닛을 그 유지면에 대해 교차하는 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동 기구와,
    처리 장치와 기억 장치를 갖고, 그 기억 장치에 기억된 프로그램에 따라 그 척 테이블, 그 연삭 유닛, 및 그 이동 기구를 제어하는 제어 유닛과,
    그 제어 유닛에 지령을 입력하는 입력 장치를 구비하는 연삭 장치의 제어에 사용되는 프로그램으로서,
    그 입력 장치로부터 그 제어 유닛으로 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후에, 그 연삭 장치의 가동을 정지시키는 순서와,
    그 입력 장치로부터 그 제어 유닛으로 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후, 그 연삭 장치의 가동을 정지시키는 순서가 종료하기 전에, 그 척 테이블과 그 스핀들이 회전하고 있는 상태에서, 그 연삭 유닛과 그 척 테이블을 그 이동 기구에 의해 상대적으로 이동시켜 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 순서를 그 제어 유닛에 실행시키는 프로그램.
  6. 제 5 항에 있어서,
    그 입력 장치로부터 그 제어 유닛으로 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후, 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 순서가 개시하기 전에, 그 척 테이블의 그 회전축과 그 스핀들의 그 축심이 이루는 각도를 조정하는 순서를 그 제어 유닛에 실행시키는 프로그램.
  7. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
    그 입력 장치로부터 그 제어 유닛으로 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후, 그 스핀들에 장착되어 있는 그 연삭휠을 교환하는 순서를 그 제어 유닛에 실행시키지 않고, 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 순서를 그 제어 유닛에 실행시키는 프로그램.
  8. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
    그 연삭 장치의 가동을 정지시키는 순서가 종료하기 전에, 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 순서가 종료하도록, 그 연삭 장치의 가동을 정지시키는 순서와 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 순서를 그 제어 유닛에 실행시키는 프로그램.
  9. 제 5 항 또는 제 6 항에 기재된 프로그램이 기억된 비일시적인 기록 매체.
  10. 피가공물을 유지하는 유지면을 갖고, 그 유지면에 대해 교차하는 회전축의 둘레로 회전할 수 있는 척 테이블과,
    선단부에 연삭휠이 장착된 상태에서 축심의 둘레로 회전할 수 있는 스핀들을 갖는 연삭 유닛과,
    그 척 테이블과 그 연삭 유닛을 그 유지면에 대해 교차하는 방향으로 상대적으로 이동시키는 이동 기구와,
    처리 장치와 기억 장치를 갖고, 그 기억 장치에 기억된 프로그램에 따라 그 척 테이블, 그 연삭 유닛, 및 그 이동 기구를 제어하는 제어 유닛과,
    그 제어 유닛에 지령을 입력하는 입력 장치를 구비하는 연삭 장치의 제어에 사용되는 연삭 장치의 제어 방법으로서,
    그 입력 장치가 그 제어 유닛에 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령을 입력하는 스텝과,
    그 입력 장치로부터 그 제어 유닛으로 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후에, 그 연삭 장치의 가동을 정지시키는 스텝과,
    그 입력 장치로부터 그 제어 유닛으로 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후, 그 연삭 장치의 가동을 정지시키는 스텝이 종료하기 전에, 그 척 테이블과 그 스핀들이 회전하고 있는 상태에서, 그 연삭 유닛과 그 척 테이블을 그 이동 기구에 의해 상대적으로 이동시켜 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 스텝을 포함하는 연삭 장치의 제어 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    그 입력 장치로부터 그 제어 유닛으로 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후, 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 스텝이 개시하기 전에, 그 척 테이블의 그 회전축과 그 스핀들의 그 축심이 이루는 각도를 조정하는 스텝을 추가로 포함하는 연삭 장치의 제어 방법.
  12. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    그 입력 장치로부터 그 제어 유닛으로 그 연삭 장치의 가동을 정지하는 취지의 지령이 입력된 후, 그 스핀들에 장착되어 있는 그 연삭휠을 교환하는 스텝을 실시하지 않고, 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 스텝을 실시하는 연삭 장치의 제어 방법.
  13. 제 10 항 또는 제 11 항에 있어서,
    그 연삭 장치의 가동을 정지시키는 스텝이 종료하기 전에, 그 연삭휠에 의해 그 유지면을 연삭하는 스텝을 종료시키는 연삭 장치의 제어 방법.
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