KR20230071887A - 가스공급장치 - Google Patents

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Abstract

가스공급장치의 실시예는, 가스 소요처에 연결된 연결배관을 용기에 구비된 밸브 커넥터에 연결하기 위한 연결배관 커넥터; 플러그 몸체와, 상기 플러그 몸체의 상기 연결배관 커넥터 쪽 일면을 적어도 일부를 덮도록 구성되어 상기 연결배관 커넥터와의 사이를 밀봉하기 위한 실링부재를 포함하고, 상기 연결배관 커넥터에 결합되어 상기 연결배관을 외부로부터 차단하는 커넥터 플러그;를 포함한다.

Description

가스공급장치{Gas Supply Apparatus}
실시예는 가스공급장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 용기 교체 과정을 간소화하여 용기 교체 과정에 소요되는 시간과 비용을 절약할 수 있는 수 있는 커넥터 플러그를 포함하는 가스공급장치에 관한 것이다.
일반적으로 가스를 이용하는 장치, 특히, 반도체장비와 같이 정밀한 작업이 수행되는 가스소요처에 가스를 공급하는 장치의 경우, 각각의 목적에 적합한 종류의 가스가 일정한 농도와 압력 등을 만족할 것이 요구된다.
이를 효율적으로 제공하기 위해 많은 종류의 가스가 고압 상태로 보관되며, 특히 가연성, 독성, 부식성 등의 유해 성질을 가지는 가스는 인적이 차단된 별도의 공간에서 엄중하게 관리된다.
가스공급장치는 가스소요처에 연결된 연결배관에 연결되어 가스 저장 용기(이하,‘용기’라 약칭함)의 밸브 커넥터와 결합되는 연결배관 커넥터를 포함하여 구성된 것으로, 용기와 가스소요처를 연결하여 용기 내부의 가스를 가스소요처로 공급한다.
용기에 보관된 가스가 모두 소모되면, 상기 연결배관 커넥터를 연결된 용기의 밸브 커넥터로부터 분리한 후, 용기가 교체되면 교체된 용기의 밸브 커넥터에 상기 연결배관 커넥터를 결합시켜 가스를 다시 공급하게 된다.
그런데, 상기 연결배관 커넥터와 연결된 용기의 밸브 커넥터가 분리된 후 교체된 용기의 밸브 커넥터가 상기 연결배관 커넥터에 결합될 때까지 용기교체 소요시간 동안 상기 연결배관이 외부로 노출되어 상기 연결배관으로부터 가스가 누출되거나 상기 연결배관으로 이물질이 유입될 수 있었다.
이를 방지하기 위해, 상기 용기교체 소요시간 동안 상기 연결배관 커넥터에 플러그를 결합시켜 상기 연결배관의 외부 노출을 차단하게 되었으며, 상기 연결배관 커넥터와 상기 밸브 커넥터 사이, 그리고 상기 연결배관 커넥터와 상기 플러그 사이에 각각 기밀 유지를 위한 개스킷(gasket)이 장착되었다.
이에 따라, 상기 연결배관 커넥터와 연결된 용기의 밸브 커넥터가 분리되면, 상기 연결배관 커넥터와 상기 밸브 커넥터 사이에 장착되었던 개스킷을 회수하고, 상기 연결배관 커넥터와 상기 플러그 사이를 밀봉하기 위한 새로운 개스킷을 장착한 후, 상기 연결배관 커넥터와 상기 플러그의 결합이 수행되었다.
또한, 상기 플러그와 상기 연결배관 커넥터가 분리되면, 상기 연결배관 커넥터와 상기 플러그 사이에 장착되었던 개스킷을 회수하고, 상기 연결배관 커넥터와 교체된 용기의 밸브 커넥터 사이를 밀봉하기 위한 새로운 개스킷을 장착한 후, 상기 연결배관 커넥터와 교체된 용기의 벨브 커넥터의 결합이 수행되었다.
그런데, 용기 교체시마다 개스킷 교체를 여러번 수행하며 시간이 많이 소요되므로, 개스킷 교체 과정을 간소화하여 용기 교체 과정을 간소화함으로써 소요시간을 절약할 뿐 아니라 용기 교체 과정에 소요되는 자동화 공정의 전력을 절약할 수 있는 방법을 모색하게 되었다.
또한, 개스킷 교체가 수행되는 동안 상기 연결배관은 외부로 노출된 상태로 방치되므로, 개스킷 교체 과정을 축소하고 교체 시간을 단축하여 상기 연결배관이 외부로 노출되는 시간을 최소화할 수 있는 방법을 모색하게 되었다.
또한, 개스킷의 소모량을 줄여 용기 교체 과정에 소요되는 비용을 줄이고 경제성을 높일 수 있는 방법을 모색하게 되었다.
반도체 장비의 가스공급장치에 대한 종래기술로서, 대한민국 등록특허 제10-0242982호가 공개되어 있다.
실시예는 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 용기 교체 과정을 간소화하여 용기 교체 과정에 소요되는 시간과 비용을 절약할 수 있는 수 있는 가스공급장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 가스공급장치의 실시예는, 가스 소요처에 연결된 연결배관을 용기에 구비된 밸브 커넥터에 연결하기 위한 연결배관 커넥터; 플러그 몸체와, 상기 플러그 몸체의 상기 연결배관 커넥터 쪽 일면을 적어도 일부를 덮도록 구성되어 상기 연결배관 커넥터와의 사이를 밀봉하기 위한 실링부재를 포함하고, 상기 연결배관 커넥터에 결합되어 상기 연결배관을 외부로부터 차단하는 커넥터 플러그;를 포함한다.
상기 실링부재는 결합부재에 의해 상기 플러그 몸체에 결합될 수 있다.
상기 결합부재는 상기 실링부재와 상기 플러그 몸체를 상호 접착하는 접착제로 구성될 수 있다.
상기 결합부재는 상기 실링부재를 관통하여 상기 플러그 몸체에 나사결합되는 볼트로 구성될 수 있다.
상기 볼트는 상기 실링부재에 걸림되는 접시머리 또는 평머리 또는 둥근머리 형태의 머리부를 포함한 것일 수 있다.
상기 실링부재는 상기 커넥터 플러그의 몸체를 형성하는 플러그 몸체의 단부 외측면을 둘러싸며 결합될 수 있다.
상기 실링부재는 상기 플러그 몸체의 단부 외측면에 접착 또는 나사결합될 수 있다.
상기 실링부재는 상기 플러그 몸체의 단부 외측면에 형성된 홈에 압입 또는 접착될 수 있다.
상기 실링부재는 수지 재질로 이루어질 수 있다.
상기 실링부재는 상기 수지 재질 중 폴리클로로트리플로오로에틸렌 또는 폴리테트라플루오로에틸렌으로 이루어질 수 있다.
상기 실링부재는 금속 재질로 이루어질 수 있다.
상기 실링부재는 니켈 재질로 이루어질 수 있다.
상기 커넥터 플러그를 지지하여 이송하는 커넥터 플러그 이송수단; 상기 연결배관 커넥터를 지지하여 이송하는 연결배관 커넥터 이송 시스템; 및 상기 연결배관 커넥터 이송시스템을 제어하여 상기 연결배관 커넥터를 상기 밸브 커넥터에 체결하거나 상기 밸브 커넥터로부터 분리하되, 상기 커넥터 플러그 이송수단과 상기 연결배관 커넥터 이송 시스템을 유기적으로 제어하여, 상기 연결배관 커넥터와 상기 밸브 커넥터가 분리되면 상기 커넥터 플러그를 상기 연결배관 커넥터에 결합시키고, 상기 커넥터 플러그와 상기 연결배관 커넥터가 분리되면 상기 연결배관 커넥터를 상기 밸브 커넥터에 결합시키도록 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
상기 커넥터 플러그를 상기 연결배관 커넥터에 결합 시, 상기 제어부는 상기 커넥터 플러그와 상기 연결배관 커넥터 중 적어도 하나가 전후 방향으로 이동되도록 제어할 수 있다.
상기 연결배관 커넥터와 상기 밸브 커넥터 사이를 밀봉하기 위한 개스킷을 지지하여 이송하는 개스킷 이송 시스템을 더 포함하고; 상기 제어부는, 상기 개스킷 이송 시스템을 제어하여 상기 개스킷을 상기 밸브 커넥터에 체결하거나 상기 밸브 커넥터로부터 분리하되, 상기 연결배관 커넥터 이송 시스템과 상기 커넥터 플러그 이송수단 및 상기 개스킷 이송 시스템을 유기적으로 제어하여, 상기 연결배관 커넥터와 상기 밸브 커넥터를 분리한 후, 상기 연결배관 커넥터에 장착되어 있던 상기 개스킷을 분리하고, 이후 상기 커넥터 플러그를 상기 연결배관 커넥터에 결합시키며, 이후 상기 커넥터 플러그와 상기 연결배관 커넥터를 분리하고, 이후 상기 개스킷을 상기 연결배관 커넥터에 장착시킨 후, 상기 밸브 커넥터를 상기 연결배관 커넥터에 결합하도록 제어할 수 있다.
실시예에 따른 가스공급장치에 의하면, 용기 교체 과정을 간소화하여 소요시간을 절약할 뿐 아니라 용기 교체 과정에 소요되는 자동화 공정의 전력을 절약하고 사용전력에 대해 부과되는 비용을 절약할 수 있다.
또한, 개스킷 교체 과정을 축소하고 교체 시간을 단축하여 상기 연결배관이 외부로 노출되는 시간을 최소화함으로써 상기 연결배관으로부터 가스가 누출되거나 상기 연결배관으로 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 개스킷의 소모량을 줄여 용기 교체 과정에 소요되는 비용을 줄이고 경제성을 높일 수 있다.
도 1은 실시예에 따른 가스공급장치의 용기와 밸브 커넥터의 사시도,
도 2는 실시예에 따른 가스공급장치의 사시도,
도 3은 도 2에서 커넥터 플러그 이송수단을 생략한 모습의 사시도,
도 4는 실시예에 따른 가스공급장치에 구비된 개스킷 이송 및 장착부의 사시도,
도 5는 실시예에 따른 가스공급장치에 구비된 커넥터 체결부와 커넥터 너트 이송수단을 보여주는 사시도,
도 6은 실시예에 따른 가스공급장치에 구비된 커넥터 플러그와 커넥터 플러그 이송수단의 사시도,
도 7 내지 도 10은 실시예에 따른 가스공급장치에 구비되는 커넥터 플러그의 다양한 실시예들을 보여주는 단면도.
이하 첨부한 도면을 참조하여 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1을 참조하면, 용기(10)는 반도체장치 등의 가스소요처에 공급되는 공정 가스를 저장하여 공급하기 위한 구성으로, 용기(10)의 상부에는 가스의 공급을 단속하는 밸브(20)가 구비되고, 상기 밸브(20)의 일측에 구비되어 커넥터 체결부(320)에 체결되는 밸브 커넥터(30)와, 용기(10)의 미사용 시 밸브 커넥터(30)를 덮는 커버(40), 및 상기 밸브(20)의 상부에 연결되어 회전됨에 따라 밸브(20)가 개폐되도록 하는 핸들(50)을 포함하여 구성된다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 실시예의 가스공급장치(1)는, 상부 플레이트(110)와, 상기 상부 플레이트(110)의 일측에 연결된 측면 플레이트(120)를 포함하는 외부 하우징(100)과, 상기 외부 하우징(100)의 내측에 구비되며 용기(10)의 밸브 커넥터(30)를 덮는 커버(40)를 분리하기 위한 커버 분리부(310), 및 가스 소요처에 연결되는 연결배관 커넥터(321)와 상기 밸브 커넥터(30)에 연결하기 위한 커넥터 너트(322)를 포함하는 커넥터 체결부(320)를 구비한 내부 하우징(130)을 포함하여 구성될 수 있다.
상기 커버 분리부(310)와 커넥터 체결부(320)는 회전수단(미도시됨)에 의해 함께 회전될 수 있으며, 상기 커버 분리부(310)의 회전에 의해 밸브 커넥터(30)에 커버(40)를 결합하거나 밸브 커넥터(30)로부터 커버(40)를 분리할 수 있고, 상기 커넥터 체결부(320)의 회전에 의해 커넥터 체결부(320)를 밸브 커넥터(30)에 결합하거나 커넥터 체결부(320)와 밸브 커넥터(30)를 분리할 수 있다.
상기 회전수단은, 회전력을 발생시키는 모터와 감속기를 포함하고, 상기 회전력을 커버 분리부(310)와 커넥터 체결부(320)에 전달하기 위한 회전전달부재를 포함할 수 있다.
상기 내부 하우징(130)은, 제1이송수단(210)의 구동에 의해 좌우 방향으로 이동될 수 있고, 제2이송수단(220)에 의해 전후 방향으로 이동될 수 있다.
상기 제1이송수단(210)은 좌우 방향을 따라 이송되도록 하기 위한 이송가이드와 에어(air)의 공급에 의해 이송력을 인가하기 위한 에어실린더로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 제2이송수단(220)은 전후 방향을 따라 이송되도록 하기 위한 이송가이드와 에어(air)의 공급에 의해 이송력을 인가하기 위한 에어실린더로 이루어질 수 있다.
도 4를 참조하면, 상기 가스공급장치(1)는, 교체될 새로운 개스킷(401)을 파지한 후 연결배관 커넥터(321) 측으로 이송하여 장착하기 위한 개스킷 이송시스템(500)을 포함한다.
상기 개스킷 이송시스템(500)은, 개스킷(401)을 파지하기 위한 한 쌍의 그리퍼(510;511,512), 상기 한 쌍의 그리퍼(510;511,512)가 서로 가까워지거나 멀어지도록 동작시키기 위한 그리퍼 동작수단(520), 상기 그리퍼(510;511,512)와 그리퍼 동작수단(520)을 일체로 전후 방향으로 이송하기 위한 제1 그리퍼 이송수단(530), 및 상기 그리퍼(510;511,512)와 그리퍼 동작수단(520) 및 제1 그리퍼 이송수단(530)을 일체로 좌우 방향으로 이송하기 위한 제2 그리퍼 이송수단(540)을 포함한다.
상기 제1 그리퍼 이송수단(530)과 제2 그리퍼 이송수단(540)은, 전후 방향과 좌우 방향으로 이송을 가이드하기 위한 이송가이드와, 상기 이송가이드를 따라 이송되도록 구동력을 제공하는 구동부로 이루어질 수 있다.
도 5를 참조하면, 실시예의 가스공급장치(1)는, 그리퍼(510)에 파지된 개스킷(401)을 연결배관 커넥터(321)에 삽입할 때 커넥터 너트(322)를 후진 이동시키기 위한 커넥터 너트 이송수단(330)을 포함한다.
상기 커넥터 너트 이송수단(330)은, 커넥터 너트(322)의 단부에 형성된 홈(미도시)에 하부 일부가 삽입되어 커넥터 너트(322)와 걸림되는 커넥터 너트 걸림부재(331), 상기 커넥터 너트 걸림부재(331)의 상부에 걸림되고 전후 방향으로 직선 이송되도록 구비된 걸림축(332), 상기 걸림축(332)이 전후 방향으로 직선 이송될 수 있도록 구동력을 제공하는 구동부(미도시), 및 상기 걸림축(332)이 직선 이송되는 경우 가이드 기능을 하는 가이드축(333)으로 이루어질 수 있다.
상기 그리퍼(510)에 파지된 개스킷(401)을 연결배관 커넥터(321)에 삽입할 때, 상기 커넥터 너트 이송수단(330)은 커넥터 너트(322)를 후진 이동시켜 연결배관 커넥터(321)가 커넥터 너트(322)의 전방으로 드러나게 함으로써 개스킷(401)을 연결배관 커넥터(321)에 원활하게 공급하여 장착될 수 있도록 한다.
도 6을 참조하면, 실시예의 가스공급장치(1)는, 용기(10) 교체 시, 밸브 커넥터(30)와 커넥터 체결부(320)가 체결되지 않은 상태에서 커넥터 체결부(320)를 막아 외부와 차단시킴으로써 가스의 누출 및 외부의 이물질이 유입되는 것을 방지하기 위해 커넥터 체결부(320)에 결합되는 커넥터 플러그(361) 및 상기 커넥터 플러그(361)를 전후 방향으로 이동시키는 커넥터 플러그 이송수단(700)을 포함한다.
상기 커넥터 플러그 이송수단(700)은, 상기 커넥터 플러그(361)가 전후 방향으로 이동되도록 구동력을 제공하는 실린더(710), 상기 실린더(710)가 안착되어 지지되는 실린더 지지부재(720), 상기 실린더 지지부재(720)의 하부에 구비되어 상기 실린더(710)의 구동에 의해 실린더 지지부재(720)와 상대 이동 가능한 이송가이드(730), 및 상기 이송가이드(730)에 결합되어 실린더(710)의 구동에 의해 이송가이드(730)와 함께 전후 방향으로 이동 가능하며 상기 커넥터 플러그(361)를 고정 지지하는 커넥터 플러그 지지부재(740)를 포함한다.
실시예의 가스공급장치(1)에는 제어부(미도시)가 구비되고, 상기 제어부는 상기 제1,2 이송수단(210,220), 커넥터 너트 이송수단(330), 회전수단, 개스킷 이송시스템(500) 및 커넥터 플러그 이송수단(700)을 구동시키기 위한 모듈들을 유기적으로 제어하도록 구성된다.
한편, 상기 커넥터 플러그(361)는, 상기 연결배관 커넥터(321)와의 사이를 밀봉하기 위해 상기 연결배관 커넥터(321)와의 접촉부에 실링부재(366)가 구비된다. 여기서, 실링부재(366)는 커넥터 플러그(361)의 일면을 적어도 일부를 덮도록 구성되어, 연결배관 커넥터(321)와의 접촉부를 밀봉할 수 있다.
이하, 도 7 내지 도 10을 참조하여 가스공급장치(1)에 구비되는 커넥터 플러그(361)의 다양한 실시예들(361-1,361-2,361-3,361-4)을 설명한다.
도 7에 도시된 커넥터 플러그(361-1;361)는, 커넥터 플러그(361-1;361)의 몸체를 형성하는 플러그 몸체(361A)에 실링부재(366-1;366)가 결합부재(367-1;367)에 의해 결합된 실시예이다. 상기 결합부재(367-1;367)는 실링부재(366-1;366)와 플러그 몸체(361A)를 상호 접착하는 접착제로 구성될 수 있다. 상기 접착제는 가스공급장치(1)에서 공급하는 가스와 상호 반응하지 않는 재질로 이루어짐이 바람직하다.
도 8에 도시된 커넥터 플러그(361-2;361)는, 커넥터 플러그(361-2;361)의 몸체를 형성하는 플러그 몸체(361B)에 실링부재(366-2;366)가 결합부재(367-2;367)에 의해 결합된 실시예이다. 상기 결합부재(367-2;367)는 실링부재(366-2;366)를 관통하여 상기 플러그 몸체에 나사결합되는 볼트로 구성될 수 있다.
상기 플러그 몸체(361B)와 결합부재(367-2;367,볼트)에는 상호 대응되는 위치에 나사결합을 위한 나사부(361a,367a)가 형성되어 있다. 상기 볼트는 실링부재(366-2;366)에 걸림되는 머리부를 포함하고, 도 8에는 볼트의 머리부가 접시머리 형태인 경우를 예시하였으나, 상기 볼트의 머리부는 평머리 또는 둥근머리 형태로 이루어진 것일 수도 있으며, 다양한 형태 변형이 가능하다.
도 9에 도시된 커넥터 플러그(361-3;361)는, 실링부재(366-3;366)가 커넥터 플러그(361-3;361)의 몸체를 형성하는 플러그 몸체(361C)의 단부(361b) 외측면을 둘러싸며 결합된 실시예이다. 상기 실링부재(366-3;366)는 플러그 몸체(361C)의 단부(361b) 외측면에 접착 또는 나사결합될 수 있다.
상기 나사결합을 위한 구성으로, 실링부재(366-3;366)의 테두리에는 플러그 몸체(361C)를 향하는 방향으로 소정 길이 연장된 연장부(366a)가 형성되고, 상기 플러그 몸체(361C)의 외측면과 상기 연장부(366a)의 내측면에는 상호 대응되는 위치에 나사결합을 위한 나사부(361c,366b)가 형성되어 있다.
도 10에 도시된 커넥터 플러그(361-4;361)는, 실링부재(366-4;366)가 커넥터 플러그(361-4;361)의 몸체를 형성하는 플러그 몸체(361D)의 단부(361d) 외측면에 형성된 홈(361e)에 압입 또는 접착되어 결합된 실시예이다.
상기 압입을 위한 구성으로, 실링부재(366-4;366)의 테두리에는 플러그 몸체(361D)를 향하는 방향으로 소정 길이 연장된 제1연장부(366c)가 형성되고, 상기 제1연장부(366c)의 연장된 단부에서 상기 홈(361e)에 끼워지도록 반경방향 내측으로 연장된 제2연장부(366d)가 형성되어 있다.
상기 실시예들에서, 상기 플러그 몸체(361A,361B,361C,361D)는 금속재질로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 실링부재(366)는 탄력성, 복원성, 내열성, 내화학성, 내부식성 등이 높은 성질을 가진 재질로 구비되어, 종래기술에서 연결배관 커넥터와 커넥터 플러그 사이를 밀봉하기 위해 장착되던 개스킷의 역할을 대신하게 된다.
예들 들어 상기 실링부재(366)는 수지 재질로 이루어질 수 있다. 또한, 상기 수지 재질 중에서 PCTFE(폴리클로로트리플루오로에틸렌) 또는 PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌)으로 이루어질 수 있다. 상기 PCTFE와 PTFE는 내약품성과 함께 기계적 특성이 뛰어나다.
또한, 상기 실링부재(366)는 니켈로 이루어지거나, 다른 금속 재질로 이루어질 수 있다.
상기 실링부재(366)는 종래기술의 커넥터 플러그에 형합되도록 제작된 것일 수 있으며, 커넥터 플러그(361)는 종래기술의 커넥터 플러그에 상기 실링부재(366)를 부착하여 재가공한 것일 수 있다.
이하, 상기 커넥터 플러그(361)를 이용한 용기 교체 과정에 대해 설명한다.
기존에 연결된 용기에 보관된 가스가 모두 소모된 경우, 상기 제어부는, 제1이송수단(210)과 제2이송수단(220) 및 커넥터 너트 이송수단(330)을 포함하는 연결배관 커넥터 이송시스템(210,220,330)을 통해 상기 연결배관 커넥터(321)를 이송하여 기존에 연결된 용기의 밸브 커넥터로부터 분리한 후, 상기 개스킷홀더 이송수단(530,540)을 통해 상기 연결배관 커넥터(321)에 장착되어 있던 폐 개스킷을 이송하여 개스킷 수거부(미도시됨)로 회수하고, 이후 상기 커넥터 플러그(361)를 연결배관 커넥터(321)에 결합시킨다.
일 실시예로, 상기 커넥터 플러그(361)를 연결배관 커넥터(321)에 결합 시, 상기 커넥터 플러그 이송수단(700)의 구동에 의해 상기 커넥터 플러그(361)를 이송하고, 상기 커넥터 체결부(320)의 회전에 의해 커넥터 플러그(361)와 커넥터 체결부(320)가 상호 나사결합될 수 있다.
다른 실시예로, 상기 커넥터 플러그(361)를 연결배관 커넥터(321)에 결합 시, 상기 커넥터 플러그(361)와 연결배관 커넥터(321) 중 적어도 하나가 전후 방향으로 이동될 수 있다.
이 경우 상기 커넥터 플러그(361)가 전후 방향으로 이동되고, 상기 커넥터 체결부(320)는 전후 방향으로는 이동하지 않고 제자리에서 회전될 수도 있다.
또는, 상기 커넥터 플러그(361)는 전후 방향으로 이동 없이 고정된 상태에 있고, 상기 커넥터 체결부(320)가 전후 방향으로 이동하여 회전될 수도 있다.
또는, 상기 커넥터 플러그(361)와 커넥터 체결부(320)가 동시에 전후 방향으로 이동하고, 커넥터 체결부(320)가 회전될 수도 있다.
이와 같이 커넥터 체결부(320)에 커넥터 플러그(361)가 결합되면, 기존의 용기가 새 용기로 교체되면, 상기 제어부는, 상기 커넥터 플러그 이송수단(700)을 통해 상기 커넥터 플러그(361)를 이송하여 상기 연결배관 커넥터(321)로부터 분리한 후, 상기 개스킷 이송시스템(500)을 통해 새 개스킷을 이송하여 상기 연결배관 커넥터(321)에 장착하고, 이후 상기 연결배관 커넥터 이송시스템(210,220,330)을 통해 상기 연결배관 커넥터(321)를 이송하여 교체된 새 용기의 밸브 커넥터에 결합시킨다.
즉, 커넥터 플러그(361)를 이용한 용기 교체 과정은, 종래기술과 비교하여, 상기 커넥터 플러그(361)와 상기 연결배관 커넥터(321)의 결합 전과 후에 커넥터 플러그와 연결배관 커넥터 사이의 실링을 위한 개스킷을 장착 및 분리하는 과정이 생략됨으로써 개스킷 교체 과정이 축소되어 용기 교체 과정이 간소화되었다.
상기한 바와 같이, 실시예의 가스공급장치(1)에 의하면, 용기 교체 과정을 간소화하여 소요시간을 절약할 뿐 아니라 용기 교체 과정에 소요되는 자동화 공정의 전력을 절약하고 사용전력에 대해 부과되는 비용을 절약할 수 있다.
또한, 개스킷(401)을 교체하는 교체 과정을 축소하고 교체 시간을 단축하여 연결배관이 외부로 노출되는 시간을 최소화함으로써 연결배관으로부터 가스가 누출되거나 연결배관으로 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 개스킷(401)의 소모량을 줄여 용기 교체 과정에 소요되는 비용을 줄이고 경제성을 높일 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구되는 본 발명의 기술적 사상에 벗어남 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 자명한 변형실시가 가능하며, 이러한 변형실시는 본 발명의 범위에 속한다.
1 : 가스공급장치 10 : 용기
20 : 밸브 30 : 밸브 커넥터
40 : 커버 50 : 핸들
100 : 외부 하우징 110 : 상부 플레이트
120 : 측면 플레이트 130 : 내부 하우징
210 : 제1이송수단 220 : 제2이송수단
310 : 커버 분리부 320 : 커넥터 체결부
321 : 연결배관 커넥터 322 : 커넥터 너트
330 : 커넥터 너트 이송수단 331 : 커넥터 너트 걸림부재
332 : 걸림축 333 : 가이드축
361,361-1,361-2,361-3,361-4 : 커넥터 플러그
361A,361B,361C,361D : 플러그 몸체 361a : 나사부
361b : 플러그 몸체의 단부 361c : 나사부
361d : 플러그 몸체의 단부 361e : 홈
366,366-1,366-2,366-3,366-4 : 실링부재
366a : 연장부 366b : 나사부
366c : 제1연장부 366d : 제2연장부
367 : 결합부재 367-1 : 접착제
367-2 : 볼트 401 : 개스킷
500 : 개스킷 이송시스템 510 : 그리퍼
520 : 그리퍼 동작수단 530 : 제1그리퍼 이송수단
540 : 제2그리퍼 이송수단 700 : 커넥터 플러그 이송수단
710 : 실린더 720 : 실린더 지지부재
730 : 이송가이드 740 : 커넥터 플러그 지지부재

Claims (15)

  1. 가스 소요처에 연결된 연결배관을 용기에 구비된 밸브 커넥터에 연결하기 위한 연결배관 커넥터;
    플러그 몸체와, 상기 플러그 몸체의 상기 연결배관 커넥터 쪽 일면을 적어도 일부를 덮도록 구성되어 상기 연결배관 커넥터와의 사이를 밀봉하기 위한 실링부재를 포함하고, 상기 연결배관 커넥터에 결합되어 상기 연결배관을 외부로부터 차단하는 커넥터 플러그;
    를 포함하는 가스공급장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 실링부재는 결합부재에 의해 상기 플러그 몸체에 결합된 것을 특징으로 하는 가스공급장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 결합부재는 상기 실링부재와 상기 플러그 몸체를 상호 접착하는 접착제인 것을 특징으로 하는 가스공급장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 결합부재는 상기 실링부재를 관통하여 상기 플러그 몸체에 나사결합되는 볼트인 것을 특징으로 하는 가스공급장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 볼트는 상기 실링부재에 걸림되는 접시머리 또는 평머리 또는 둥근머리 형태의 머리부를 포함하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 실링부재는 상기 커넥터 플러그의 몸체를 형성하는 플러그 몸체의 단부 외측면을 둘러싸며 결합된 것을 특징으로 하는 가스공급장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 실링부재는 상기 플러그 몸체의 단부 외측면에 접착 또는 나사결합된 것을 특징으로 하는 가스공급장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 실링부재는 상기 플러그 몸체의 단부 외측면에 형성된 홈에 압입 또는 접착된 것을 특징으로 하는 가스공급장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 실링부재는 수지 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스공급장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 실링부재는 상기 수지 재질 중 폴리클로로트리플로오로에틸렌 또는 폴리테트라플루오로에틸렌으로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스공급장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 실링부재는 금속 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스공급장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 실링부재는 니켈 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 가스공급장치.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 커넥터 플러그를 지지하여 이송하는 커넥터 플러그 이송수단;
    상기 연결배관 커넥터를 지지하여 이송하는 연결배관 커넥터 이송 시스템;
    상기 연결배관 커넥터 이송시스템을 제어하여 상기 연결배관 커넥터를 상기 밸브 커넥터에 체결하거나 상기 밸브 커넥터로부터 분리하되, 상기 커넥터 플러그 이송수단과 상기 연결배관 커넥터 이송 시스템을 유기적으로 제어하여, 상기 연결배관 커넥터와 상기 밸브 커넥터가 분리되면 상기 커넥터 플러그를 상기 연결배관 커넥터에 결합시키고, 상기 커넥터 플러그와 상기 연결배관 커넥터가 분리되면 상기 연결배관 커넥터를 상기 밸브 커넥터에 결합시키도록 제어하는 제어부;
    를 더 포함하는 가스공급장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 커넥터 플러그를 상기 연결배관 커넥터에 결합 시, 상기 제어부는 상기 커넥터 플러그와 상기 연결배관 커넥터 중 적어도 하나가 전후 방향으로 이동되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 연결배관 커넥터와 상기 밸브 커넥터 사이를 밀봉하기 위한 개스킷을 지지하여 이송하는 개스킷 이송 시스템을 더 포함하고;
    상기 제어부는, 상기 개스킷 이송 시스템을 제어하여 상기 개스킷을 상기 밸브 커넥터에 체결하거나 상기 밸브 커넥터로부터 분리하되, 상기 연결배관 커넥터 이송 시스템과 상기 커넥터 플러그 이송수단 및 상기 개스킷 이송 시스템을 유기적으로 제어하여, 상기 연결배관 커넥터와 상기 밸브 커넥터를 분리한 후, 상기 연결배관 커넥터에 장착되어 있던 상기 개스킷을 분리하고, 이후 상기 커넥터 플러그를 상기 연결배관 커넥터에 결합시키며, 이후 상기 커넥터 플러그와 상기 연결배관 커넥터를 분리하고, 이후 상기 개스킷을 상기 연결배관 커넥터에 장착시킨 후, 상기 밸브 커넥터를 상기 연결배관 커넥터에 결합하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 가스공급장치.
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