KR20230067945A - 기판처리장치 및 이를 이용한 기판처리방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판처리장치 및 이를 이용한 기판처리방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 로딩영역에 대하여 공정 진행 시 유지되는 외기모드와 기판 반송 시 유지되는 로드락모드 사이의 분위기 전환이 가능한 기판처리장치 및 이를 이용한 기판처리방법에 관한 것이다.
본 발명은, 다수의 기판(10)이 적재되는 보트(20)가 인입되어 기판처리가 수행되는 반응관(30) 하부에 배치되며, 다수의 상기 기판(10)들이 상기 보트(20)에 차지/디스차지 되는 로딩영역(S2)이 내부에 형성되는 기판로딩부(100)와; 상기 기판로딩부(100)에 설치되어, 상기 로딩영역(S2)에 외기를 공급하는 외기공급부(200)와; 상기 기판로딩부(100)에 설치되어, 상기 로딩영역(S2)에 퍼지가스를 공급하는 퍼지가스공급부(300)와; 상기 로딩영역(S2)을 상기 외기공급부(200)를 통한 외기 분위기로 하는 외기모드와, 상기 퍼지가스공급부(300)를 통한 퍼지가스 분위기로 하는 로드락모드 사이에서 전환하는 모드제어부(400)와; 상기 로딩영역(S2)의 내부압력을 조절하는 압력조절수단을 포함하며, 상기 모드제어부(400)는, 상기 외기모드에서 상기 로드락모드로 전환 과정에서, 상기 압력조절수단을 통해 상기 로딩영역(S2)의 압력을 제1압력(P1)에서 제2압력(P2)으로 상승시키는 기판처리장치를 개시한다.

Description

기판처리장치 및 이를 이용한 기판처리방법{Substrate processing apparatus and substrate processing method of using the same}
본 발명은 기판처리장치 및 이를 이용한 기판처리방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 로딩영역에 대하여 공정 진행 시 유지되는 외기모드와 기판 반송 시 유지되는 로드락모드 사이의 신속한 분위기 전환이 가능한 기판처리장치 및 이를 이용한 기판처리방법에 관한 것이다.
기판처리장치는, 기판에 대한 증착, 식각, 열처리 등 기판처리를 수행하기 위한 구성으로서, 매엽식, 배치식 등으로 구분할 수 있다.
이때, 배치식 기판처리장치는, 다수의 기판을 수직방향으로 적재하여 기판처리를 수행하는 구성으로서, 보다 구체적으로 다수의 기판이 내부에 다단으로 배치되어 기판처리를 수행하는 반응관, 다수의 기판을 반응관 내부에 수직방향으로 적재하는 보트, 반응관 내에 열과 공정가스를 각각 공급하는 히터 및 가스공급부를 포함할 수 있다.
또한, 배치식 기판처리장치는, 다수의 기판들을 보트로 반송하고 보트를 반응관으로 투입하기 위한 로딩영역(Loading Area)을 포함할 수 있으며, 로딩영역 상부에 반응관이 배치될 수 있다.
한편, 기판처리장치는, 다수의 기판들이 적재된 보트가 반응관 내부에 위치하여 반응관을 통한 기판에 대한 공정 진행 시, 로딩영역은 외기가 자유롭게 인입되고 배출되는 외기모드로 유지되며, 다수의 기판들이 로딩영역에 위치하는 반송 진행 시, 로딩영역은 외기가 차단되고 내부에 공급되는 퍼지가스가 순환하는 로드락모드로 유지될 수 있다.
이때, 다수의 기판에 대한 로딩/언로딩을 수행하는 기판반송부, 기판이 적재되는 보트 및 보트를 구동하기 위한 보트구동부 등 다수의 구성이 배치되는 로딩영역은 부피가 상대적으로 매우 큰 공간인 바, 퍼지가스를 통해 외기를 치환하여야 하는 외기모드와 로드락모드 사이의 전환에 긴 시간이 소요되는 문제점이 있다.
또한, 로딩영역 내 다수의 하드웨어 구성 배치에 따라 상대적으로 기류가 약하고 외기를 통해 유입된 산소가스가 정체되는 구간이 발생하여, 산소가스의 농도가 일정 미만으로 저하되어야 하는 로드락모드로의 전환에 긴 시간이 소요되며, 이에 따라, 전체 공정시간이 증가하는 문제점이 있다.
한편, 이러한 문제점을 개선하기 위하여, 산소가스 농도를 기준으로 하는 로드락모드의 산소가스 농도 기준 조건을 완화하는 경우, 외기모드에 포함되는 산소가스가 로드락모드에 일정량 이상 잔존하여, 다수의 기판이 산소가스에 노출됨으로써 기판 내 박막이 산화되는 등 기판 품질 및 수율이 저하되는 문제점이 있다.
또한, 다량의 퍼지가스를 공급하거나 기판처리장치 하드웨어를 변경하는 경우, 공정비용이 증가하고 기판처리장치의 성능이 저하되는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 외기모드와 로드락모드 사이의 전환이 단시간 내에 이루어질 수 있는 기판처리장치 및 이를 이용한 기판처리방법을 제공하는데 있다.
본 발명은, 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 다수의 기판(10)이 적재되는 보트(20)가 인입되어 기판처리가 수행되는 반응관(30) 하부에 배치되며, 다수의 상기 기판(10)들이 상기 보트(20)에 차지/디스차지 되는 로딩영역(S2)이 내부에 형성되는 기판로딩부(100)와; 상기 기판로딩부(100)에 설치되어, 상기 로딩영역(S2)에 외기를 공급하는 외기공급부(200)와; 상기 기판로딩부(100)에 설치되어, 상기 로딩영역(S2)에 퍼지가스를 공급하는 퍼지가스공급부(300)와; 상기 로딩영역(S2)을 상기 외기공급부(200)를 통한 외기 분위기로 하는 외기모드와, 상기 퍼지가스공급부(300)를 통한 퍼지가스 분위기로 하는 로드락모드 사이에서 전환하는 모드제어부(400)와; 상기 로딩영역(S2)의 내부압력을 조절하는 압력조절수단을 포함하며, 상기 모드제어부(400)는, 상기 외기모드에서 상기 로드락모드로 전환 과정에서, 상기 압력조절수단을 통해 상기 로딩영역(S2)의 압력을 제1압력(P1)에서 제2압력(P2)으로 상승시키는 기판처리장치를 개시한다.
상기 압력조절수단은, 상기 로딩영역(S2)에 연통하도록 구비되어 상기 로딩영역(S2)을 배기하는 배기관(510)과, 상기 배기관(510)에 설치되어 상기 로딩영역(S2) 압력을 조절하는 압력조절밸브(520)를 구비하는 배기부(500)를 포함할 수 있다.
상기 모드제어부(400)는, 상기 외기공급부(200)를 통한 외기 공급을 차단하고 상기 퍼지가스공급부(300)를 통해 상기 퍼지가스를 공급한 상태에서, 상기 압력조절밸브(520)를 통한 상기 배기관(510)의 개구율 조절을 통해 상기 로딩영역(S2)의 압력을 상기 제1압력(P1)에서 상기 제2압력(P2)으로 상승시킬 수 있다.
상기 압력조절수단은, 상기 퍼지가스공급부(300)에 구비되어, 상기 퍼지가스 공급량을 증가시켜 상기 로딩영역(S2) 압력을 상승시키는 유량조절부를 포함할 수 있다.
상기 압력조절수단은, 상기 기판로딩부(100)에 설치되어 상기 로딩영역(S2)에 기류를 형성하며, 회전속도를 증가시켜 상기 로딩영역(S2) 압력을 상승시키는 기류형성팬(600) 포함할 수 있다.
상기 기류형성팬(600)은, 상기 기판로딩부(100) 일측벽에 설치되며, 상기 외기공급부(200)를 통한 외기를 흡인할 수 있다.
상기 압력조절수단은, 상기 기판로딩부(100) 내부에 설치되어 상기 로딩영역(S2)의 산소농도를 측정하는 산소농도측정부(700)를 추가로 포함하며, 상기 모드제어부(400)는, 상기 산소농도측정부(700)를 통한 산소농도 측정값이 미리 설정된 제1설정값 이하일 때, 상기 제1압력에서 상기 제2압력으로 상기 로딩영역(S2)의 압력을 증가시킬 수 있다.
상기 모드제어부(400)는, 상기 로드락모드로 전환 과정에서 미리 설정된 시간 경과 시, 상기 로딩영역(S2)의 압력을 상기 제1압력(P1)에서 상기 제2압력(P2)으로 상승시킬 수 있다.
상기 외기모드 및 상기 로드락모드 중 적어도 하나는, 상기 로딩영역(S2)의 압력을 상압 이상인 상기 제1압력(P1)으로 유지할 수 있다.
상기 모드제어부(400)는, 상기 산소농도측정부(700)를 통한 산소농도 측정값이 미리 설정된 제2설정값 이하에 도달할 때까지, 상기 로딩영역(S2)의 압력을 상기 제2압력(P2) 이상으로 유지할 수 있다.
상기 모드제어부(400)는, 상기 산소농도측정부(700)를 통한 산소농도 측정값이 미리 설정된 제2설정값 이하에 도달할 때까지, 상기 제1압력(P1)에서 상기 제2압력(P2)으로 상기 로딩영역(S2)의 압력을 지속적으로 증가시킬 수 있다.
상기 모드제어부(400)는, 상기 로드락모드로 전환 완료 시, 상기 압력조절수단을 통해 상기 로딩영역(S2)의 압력을 제2압력(P2)에서 제3압력(P3)으로 감압할 수 있다.
상기 모드제어부(400)는, 제2압력(P2)으로의 압력상승 이후에 로드락모드로 전환 완료 전까지, 제2압력(P2) 이하 범위 내에서 로딩영역(S2)에 대한 가압 및 감압을 각각 적어도 1회 수행할 수 있다.
상기 제3압력(P3)은, 상기 제1압력(P1)과 동일한 압력일 수 있다.
또한, 본 발명은, 다수의 기판(10)이 적재되는 보트(20)가 인입되어 기판처리가 수행되는 반응관(30)과, 상기 반응관(30) 하부에 배치되며, 다수의 상기 기판(10)들이 상기 보트(20)에 차지/디스차지 되는 로딩영역(S2)이 내부에 형성되는 기판로딩부(100)와, 상기 로딩영역(S2)의 내부압력을 조절하는 압력조절수단을 포함하며, 상기 로딩영역(S2)을 외기 분위기로 하는 외기모드와, 퍼지가스 분위기로 하는 로드락모드 사이에서 전환하는 기판처리장치를 통한 기판처리방법으로서, 상기 로딩영역(S2)이 상기 외기모드로 유지되며, 상기 반응관(30)에 다수의 기판(10)이 적재된 보트(20)가 인입되어 기판처리를 수행하는 기판처리단계(S10)와; 상기 로딩영역(S2)에 상기 퍼지가스를 공급하여 상기 외기모드에서 상기 로드락모드로 전환하는 모드전환단계(S20)와; 상기 로딩영역(S2)이 상기 로드락모드로 전환된 상태에서, 상기 보트(20)를 하강시켜 상기 기판(10)을 반송하는 기판반송단계(S30)를 포함하며, 상기 모드전환단계(S20)는, 상기 로딩영역(S2)의 압력을 제1압력(P1)에서 제2압력(P2)으로 상승시키는 기판처리방법을 개시한다.
상기 모드전환단계(S20)는, 상기 로딩영역(S2)에 상기 퍼지가스공급부(300)를 통해 상기 퍼지가스를 공급하는 퍼지가스공급단계(S100)와, 상기 퍼지가스공급단계(S100) 이후에 상기 압력조절수단을 통해 상기 로딩영역(S2)의 압력을 상기 제1압력(P1)에서 상기 제2압력(P2)으로 상승시키는 가압단계(S300)를 포함할 수 있다.
상기 모드전환단계(S20)는, 상기 가압단계(S300) 이후에, 상기 로딩영역(S2)의 압력을 상기 제2압력(P2)으로 유지하는 압력유지단계(S400)를 포함할 수 있다.
상기 가압단계(S300)는, 상기 퍼지가스공급단계(S100) 수행 직후 상기 제1압력(P1)에서 상기 제2압력(P2)으로 상기 로딩영역(S2)의 압력을 상승시킬 수 있다.
상기 모드전환단계(S20)는, 상기 퍼지가스공급단계(S100) 이후에 상기 로딩영역(S2)의 산소농도를 측정하는 제1산소농도측정단계(S200)를 추가로 포함하며, 상기 가압단계(S300)는, 상기 제1산소농도측정단계(S200)를 통해 측정된 상기 로딩영역(S2)의 산소농도가 미리 설정된 제1설정값 이하일 때 수행될 수 있다.
상기 모드전환단계(S20)는, 상기 가압단계(S300) 이후에, 상기 로딩영역(S2)의 압력을 상기 제2압력(P2)에서 제3압력(P3)으로 하강시키는 감압단계(S600)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 제3압력(P3)은, 상기 제1압력(P1)과 동일한 압력값일 수 있다.
상기 모드전환단계(S20)는, 상기 가압단계(S300)와 상기 감압단계(S600)를 반복 수행할 수 있다.
상기 모드전환단계(S20)는, 상기 가압단계(S300) 이후에 상기 로딩영역(S2)의 산소농도를 측정하는 제2산소농도측정단계(S500)를 포함하며, 상기 감압단계(S600)는, 상기 제2산소농도측정단계(S500)를 통해 측정된 상기 로딩영역(S2)의 산소농도가 미리 설정된 제2설정값 이하일 때 수행될 수 있다.
본 발명에 따른 기판처리장치 및 이를 이용한 기판처리방법은, 외기모드와 로드락모드 사이의 전환시간을 단축함으로써, 공정시간을 단축할 수 있는 이점이 있다.
특히, 본 발명에 따른 기판처리장치 및 이를 이용한 기판처리방법은, 별도의 하드웨어 및 퍼지가스의 사용량을 변화하지 않고 외기모드와 로드락모드 사이의 전환시간을 단축할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 기판처리장치 및 이를 이용한 기판처리방법은, 기타 하드웨어 및 퍼지가스의 사용량 변화없이 로딩영역에 대한 압력 증가만으로, 로딩영역으로부터 외부로의 배출기류 및 범위가 증가하고 정체구역에 대한 가스 치환효과가 증가하여 단시간 내 산소농도를 감소시킬 수 있는 이점이 있다.
결과적으로, 본 발명에 따른 기판처리장치 및 이를 이용한 기판처리방법은, 단위시간 당 생산량을 증가하고 제품단가를 낮출 수 있는 이점이 있다.
도 1은, 본 발명에 따른 기판처리장치의 개략적인 모습을 보여주는 단면도이다.
도 2는, 도 1에 따른 기판처리장치를 통한 압력조절수단들의 모습을 보여주는 도면이다.
도 3a 및 도 3b는, 도 1에 따른 기판처리장치의 외기모드와 로드락모드의 모습을 각각 보여주는 도면들이다.
도 4는, 도 1에 따른 기판처리장치를 통한 외기모드에서 로드락모드로의 전환 시 압력변화의 일 실시예를 보여주는 그래프이다.
도 5는, 도 1에 따른 기판처리장치를 통한 외기모드에서 로드락모드로의 전환 시 압력변화의 다른 실시예를 보여주는 그래프이다.
도 6은, 도 1에 따른 기판처리장치를 통한 외기모드에서 로드락모드로의 전환 시 산소농도와 압력변화의 모습을 보여주는 그래프이다.
도 7은, 본 발명에 따른 기판처리방법의 모습을 보여주는 순서도이다.
도 8은, 도 7에 따른 기판처리방법 중 모드변환단계의 일 실시예를 보여주는 순서도이다.
이하 본 발명에 따른 기판처리장치 및 이를 이용한 기판처리방법에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 기판처리장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 다수의 기판(10)이 적재되는 보트(20)가 인입되어 기판처리가 수행되는 반응관(30) 하부에 배치되며, 다수의 상기 기판(10)들이 상기 보트(20)에 차지/디스차지 되는 로딩영역(S2)이 내부에 형성되는 기판로딩부(100)와; 상기 기판로딩부(100)에 설치되어, 상기 로딩영역(S2)에 외기를 공급하는 외기공급부(200)와; 상기 기판로딩부(100)에 설치되어, 상기 로딩영역(S2)에 퍼지가스를 공급하는 퍼지가스공급부(300)와; 상기 로딩영역(S2)을 상기 외기공급부(200)를 통한 외기 분위기로 하는 외기모드와, 상기 퍼지가스공급부(300)를 통한 퍼지가스 분위기로 하는 로드락모드 사이에서 전환하는 모드제어부(400)와; 상기 로딩영역(S2)의 내부압력을 조절하는 압력조절수단을 포함한다.
여기서 처리에 대상이 되는 기판(10)은, LED, LCD, OLED 등의 표시장치에 사용하는 기판, 반도체 기판, 태양전지 기판, 글라스 기판 등의 모든 기판을 포함하는 의미로 이해될 수 있다.
기판(10)들은 풉(FOUP: Front-opening Unified Pod)에 실려서 복수개가 한 번에 이송될 수 있으며, 풉은 일정 수량 단위로 기판들을 실을 수 있는 전면 개방형 포드일 수 있다.
본 발명에 따른 기판처리장치는, 로딩영역(S2) 내에 하나의 반송로봇(50)이 구비되고, 적어도 하나의 보트(20) 및 적어도 하나의 반응관(30)을 포함할 수 있다.
이때, 상기 반응관(30)은, 후술하는 기판로딩부(100)의 상측에 배치될 수 있으며, 다수의 기판(10)이 적재되는 보트(20)가 기판로딩부(100)의 로딩영역(S2)과 반응관(30) 내 처리영역(S1) 사이를 상하이동함으로써, 기판처리가 수행될 수 있다.
또한, 상기 기판처리장치는, 기판로딩부(100)의 전방측에 배치되는 프론트모듈(미도시)을 포함할 수 있으며, 이때 프론트모듈은, 로딩영역(S2)과 도어부(40)를 통해 연결 또는 차단되어, 풉 내 기판(10)들을 로딩영역(S2) 내로 전달할 수 있다.
상기 반송로봇(50)은, 로딩영역(S2) 내에 배치되어 풉 내에 적재된 기판(10)들을 보트(20)에 차지하거나, 보트(20)로부터 기판(10)들을 디스차지하여 풉 내로 반송하는 구성일 수 있다.
이때, 상기 반송로봇(50)은, 복수의 엔드이펙터를 구비하고, 업, 다운, 회전, 신장 및 수축이 가능하도록 구비되어, 기판(10)들을 반송할 수 있다.
상기 보트(20)는, 다수의 기판(10)이 적재되어 로딩영역(S2)에 구비되는 승강구동부를 통해 로딩영역(S2)과 처리영역(S1) 사이를 상하이동하는 구성일 수 있다.
따라서, 상기 보트(20)는, 수직방향으로 다수의 기판(10)들이 적재되도록 다수의 적재부가 형성될 수 있으며, 반송로봇(50)을 통해 기판(10)들이 차지 및 디스차지될 수 있다.
상기 반응관(30)은, 다수의 기판(10)이 적재되는 보트(20)가 인입되어 기판처리가 수행되는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 반응관(30)은, 보트(20)가 인입된 상태에서 공정가스가 공급 및 배기됨으로써, 기판처리를 수행할 수 있으며, 히터(미도시)가 구비되어 처리영역(S1)에 열을 공급함으로써, 기판(10)들에 대한 열처리를 포함한 기판처리가 수행될 수 있다.
한편, 상기 보트(20)가 상기 반응관(30) 내에 인입되어 기판처리가 수행되거나, 보트(20)가 로딩영역(S2)에 위치하여 기판(10)들이 차지 및 디스차지될 때에는 처리영역(S1)과 로딩영역(S2)이 서로 분리되도록 반응관(30) 하부를 폐쇄하는 셔터부(60)가 추가로 구비될 수 있다.
상기 보트(20)가 반응관(30) 내에 인입되어 밀폐된 처리영역(S1)에서 기판처리가 수행될 때 로딩영역(S2)은 장치 외부의 산소를 포함하는 외기를 공급하고 배출하는 외기모드로 유지될 수 있으며, 기판(10)을 포함하는 보트(20)가 로딩영역(S2)에 위치할 때 로딩영역(S2)은 산소농도가 미리 설정된 제2설정값 미만으로서 퍼지가스가 치환되는 로드락모드가 유지될 수 있다.
이때, 외기모드 시 공급되는 외기는 장치 외부의 공기로서, 산소를 포함하는 가스일 수 있으며, 퍼지가스는 불활성가스로서 일예로 질소(N2)가스일 수 있다.
한편, 상기 외기모드 및 상기 로드락모드 중 적어도 하나는, 로딩영역(S2)의 압력을 상압 이상인 제1압력(P1)으로 유지할 수 있다.
이때, 외기모드에서 로딩영역(S2)을 퍼지가스로 치환하여 유지되는 로드락모드로 전환하는 경우, 로딩영역(S2)의 상대적으로 큰 부피로 인해 산소농도를 일정 미만으로 낮추기까지 오랜시간이 걸려왔으며, 따라서, 외기모드에서 로드락모드로의 전환시간이 길어 기판처리를 위한 공정시간이 증가하는 문제점이 있다.
이러한 문제점을 개선하기 위하여, 본 발명은, 외기모드에서 로드락모드로의 전환시간을 단축할 수 있는 기판처리장치를 개시한다.
상기 기판로딩부(100)는, 다수의 기판(10)이 적재되는 보트(20)가 인입되어 기판처리가 수행되는 반응관(30) 하부에 배치되며, 다수의 기판(10)들이 보트(20)에 차지/디스차지 되는 로딩영역(S2)이 내부에 형성되는 구성일 수 있다.
즉, 상기 기판로딩부(100)는, 반응관(30) 하부에 배치되며 내부에 로딩영역(S2)을 형성할 수 있으며, 외기모드에서 외기를 로딩영역(S2)에 공급하고 배출할 수 있으며, 로드락모드에서 퍼지가스를 로딩영역(S2)에 공급하여 산소농도를 미리 설정된 제2설정값 미만으로 유지할 수 있다.
한편, 상기 기판로딩부(100)는, 일측면에 형성되는 제1배기구(110)와, 상면에 구비되는 제2배기구(120)를 포함할 수 있으며, 외기모드 시, 외기의 원활한 공급 및 배출이 수행되도록 제1배기구(110) 및 제2배기구(120)를 개방하여 외기를 배기할 수 있다.
이때, 상기 제1배기구(110) 및 제2배기구(120)는 각각 개폐밸브가 구비되어 로드락모드 시 제1배기구(110) 및 제2배기구(120)를 폐쇄할 수 있다.
한편, 퍼지가스가 공급되는 로드락모드 시 후술하는 기판로딩부(100) 상면에 구비되는 배기부(500)를 통해 배기가 수행될 수 있다.
상기 외기공급부(200)는, 기판로딩부(100)에 설치되어 로딩영역(S2)에 외기를 공급하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 외기공급부(200)는, 기판로딩부(100) 일측벽에 설치되어 외부의 공기를 흡인하는 구성으로서, 기판로딩부(100) 일측벽과 연통되는 외기공급배관(210)과, 외기공급배관(210)에 구비되는 흡기댐퍼(220)를 포함할 수 있다.
한편, 다른 예로서, 상기 외기공급부(200)는, 기판로딩부(100) 일측벽 전면에 설치되어 후술하는 기류형성팬(600)에 외기를 전달할 수 있으며, 외기를 흡인하여 기류형성팬(600)에 전달함으로써, 로딩영역(S2) 전반에 외기가 수평방향으로 기류를 형성하여 공급되도록 유도할 수 있다.
따라서, 상기 외기공급부(200)는, 외기모드에서 개방되어 외기를 로딩영역(S2)에 공급할 수 있으며, 로드락모드에서 차단되어 외기의 로딩영역(S2)으로의 흡인을 차단할 수 있다.
더 나아가, 상기 외기공급부(200)는, 외기모드에서 로드락모드로 전환 시, 차단되어 로딩영역(S2) 내의 산소농도가 미리 설정된 제2설정값 미만으로 빠르게 낮아지도록 유도할 수 있다.
상기 퍼지가스공급부(300)는, 기판로딩부(100)에 설치되어, 로딩영역(S2)에 퍼지가스를 공급하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 퍼지가스공급부(300)는, 기판로딩부(100)에 연통되며 외부에서 퍼지가스를 로딩영역(S2)으로 전달하는 퍼지가스공급배관(310)과, 퍼지가스공급배관(310)을 개방 또는 차단하거나, 그 개방정도를 조절함으로써 공급되는 퍼지가스의 공급량을 조절하는 퍼지가스공급밸브(320)를 포함할 수 있다.
이때, 상기 퍼지가스공급부(300)는, 기판로딩부(100)의 타측벽에 적어도 한개 구비될 수 있으며, 도 2에 도시된 바와 같이 상하방향으로 복수개 설치될 수 있다.
한편, 상기 퍼지가스공급부(300)는, 전술한 외기공급부(200) 및 기류형성팬(600)과 대향되는 면에 설치될 수 있으며, 다른 예로서 동일면 또는 인접면에 설치될 수 있음은 또한 물론이다.
상기 압력조절수단은, 로딩영역(S2) 내부압력을 조절하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 압력조절수단은, 도 2에 도시된 바와 같이, 로딩영역(S2)에 대한 로드락모드 및 외기모드에서 로드락모드 전환 시 배기를 수행하는 배기부(500)를 포함할 수 있다.
보다 구체적으로, 상기 배기부(500)는, 로딩영역(S2)에 연통하도록 구비되어 로딩영역(S2)을 배기하는 배기관(510)과, 배기관(510)에 설치되어 로딩영역(S2) 압력을 조절하는 압력조절밸브(520)를 포함할 수 있다.
상기 배기관(510)은, 상기 로딩영역(S2)에 연통하도록 기판로딩부(100) 상면에 구비되는 구성으로서, 반응관(30)에 인접한 위치에 설치될 수 있다.
상기 배기관(510)은, 로딩영역(S2)에 연통하며 로딩영역(S2) 내 산소를 포함하는 외기에 대한 배기를 수행할 수 있다.
상기 압력조절밸브(520)는, 배기관(510)에 설치되어 로딩영역(S2) 압력을 조절하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 압력조절밸브(520)는, 배기관(510)에 설치되어 배기관(510)의 개도를 조절함으로써, 로딩영역(S2)에 대한 배기량 및 내부압력을 조절할 수 있다.
또한, 다른 예로서, 상기 압력조절수단은, 퍼지가스공급부(300)에 구비되어, 퍼지가스 공급량을 증가시켜 로딩영역(S2) 압력을 상승시키는 유량조절부를 포함할 수 있다.
상기 유량조절부는, 퍼지가스공급부(300)에 구비되어 공급되는 퍼지가스 공급량을 증가시키거나 퍼지가스 공급량을 감소시켜 로딩영역(S2)의 압력을 조절할 수 있으며, 본 실시예에서와 같이 공급되는 퍼지가스 공급량을 증가시켜 로딩영역(S2) 압력을 상승시킬 수 있다.
한편, 이 경우, 상기 유량조절부는, 일예로서, 전술한 퍼지가스공급부(300) 중 퍼지가스공급배관(310)에 대한 개도를 조절하는 퍼지가스공급밸브(320)일 수 있으며, 다른 예로서 퍼지가스를 공급하는 공급단에서 퍼지가스의 유량을 증가시키는 구성일 수 있다.
또한, 다른 예로서, 상기 압력조절수단은, 기판로딩부(100)에 설치되어 로딩영역(S2)에 기류를 형성하며, 회전속도를 증가시켜 로딩영역(S2) 압력을 상승시키는 기류형성팬(600)을 포함할 수 있다.
상기 기류형성팬(600)은, 기판로딩부(100) 적어도 일측면에 설치되어, 로딩영역(S2) 측으로 수평방향의 기류를 형성할 수 있으며, 전술한 바와 같이 외기공급부(200)를 통해 흡인된 외기가 로딩영역(S2)에 내에서 기류를 형성하여 배기되도록 유도할 수 있다.
또한, 상기 기류형성팬(600)은, 전술한 퍼지가스공급부(300)를 통해 공급되는 퍼지가스에 대한 기류를 형성할 수 있음은 또한 물론이다.
한편, 상기 기류형성팬(600)은, 회전속도의 조절을 통해 로딩영역(S2)에 일정방향의 기류를 형성하고 이를 통해 로딩영역(S2) 내부압력을 조절할 수 있다.
본 발명의 실시 예로서, 외기모드에서 로드락모드로 전환 시, 로딩영역(S2)의 압력이 증가될 필요가 있는 바, 회전속도를 증가시켜 로딩영역(S2)의 압력을 증가시킬 수 있다.
전술한 압력조절수단은, 기판로딩부(100) 내부에 설치되어 로딩영역(S2)의 산소농도를 측정하는 산소농도측정부(700)를 추가로 포함하여, 측정된 산소농도를 토대로 후술하는 모드제어부(400)의 신호에 따라 제어될 수 있다.
보다 구체적으로, 상기 산소농도측정부(700)는, 기판로딩부(100) 내부인 로딩영역(S2)에 설치되어, 로딩영역(S2)의 산소농도를 측정할 수 있으며, 외기모드에서 로드락모드로의 전환 시, 미리 설정된 제2설정값 미만으로 측정될 때, 로드락모드가 유지되는 것으로 판단될 수 있다.
또한, 후술하는 바와 같이 산소농도측정부(700)를 통해 산소농도를 측정하여, 외기모드에서 로드락모드로의 전환 시 미리 설정된 제1설정값 미만일 때 모드제어부(400)를 통한 압력조절수단의 제어로서, 로딩영역(S2)의 압력을 제1압력(P1)에서 제2압력(P2)으로 증가시킬 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 기판처리장치는, 외기모드에서 로드락모드로 전환 시, 모드제어부(400)를 통해 로딩영역(S2)의 압력을 제1압력(P1)에서 제2압력(P2)으로 증가시킬 수 있으며, 이로써, 외기모드에서 로드락모드로의 전환시간을 단축할 수 있다.
상기 모드제어부(400)는, 로딩영역(S2)을 외기공급부(200)를 통한 분위기로 하는 외기모드와, 퍼지가스공급부(300)를 통한 퍼지가스 분위기로 하는 로드락모드 사이에서 전환하는 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
특히, 상기 모드제어부(400)는, 외기모드에서 로드락모드로 전환 과정에서, 압력조절수단을 통해 로딩영역(S2)의 압력을 제1압력(P1)에서 제2압력(P2)으로 상승시킬 수 있다.
즉, 상기 모드제어부(400)는, 외기, 특히 산소가 존재하는 외기모드에서 산소가 미리 설정된 제2설정값 미만으로 낮아지고 퍼지가스로 치환되는 로드락모드로 전환하는 과정에서, 전술한 압력조절수단을 통해 로딩영역(S2)의 압력을 제1압력(P1)에서 제2압력(P2)으로 상승시킬 수 있으며, 이때 제1압력(P1)과 제2압력(P2) 사이의 차압이 클수록 전환시간, 즉 퍼지가스로의 치환 완료시간이 단축될 수 있다.
이를 위하여, 상기 모드제어부(400)는, 외기공급부(200)를 통한 외기 공급을 차단하고 퍼지가스공급부(300)를 통해 퍼지가스를 공급한 상태에서, 압력조절밸브(520)를 통한 배기관(510)의 개구율 조절을 통해 로딩영역(S2)의 압력을 제1압력(P1)에서 제2압력(P2)으로 상승시킬 수 있다.
즉, 퍼지가스공급부(300)를 통해 퍼지가스를 공급하면서, 압력조절밸브(520)를 통한 배기관(510) 개구율 조절을 통해 로딩영역(S2)의 압력을 제2압력(P2)으로 증가시킬 수 있다.
이 경우, 상기 모드제어부(400)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 로딩영역(S2)의 압력을 퍼지가스가 공급되는 과정에서 제1압력(P1)으로 유지한 상태에서, 특정 시간에 제2압력(P2)으로 상승시킬 수 있다.
즉, 상기 모드제어부(400)는, 일예로서, 도 6에 도시된 바와 같이, 퍼지가스공급 중 상기 산소농도측정부(700)를 통한 산소농도 측정값이 미리 설정된 제1설정값 이하인 압력상승시점(T1)에 상기 제1압력(P1)에서 상기 제2압력(P2)으로 상기 로딩영역(S2)의 압력을 증가시킬 수 있다.
또한 다른 예로서, 상기 모드제어부(400)는, 로드락모드로 전환 과정에서 미리 설정된 시간 경과 시, 로딩영역(S2)의 압력을 제1압력(P1)에서 제2압력(P2)으로 상승시킬 수 있으며, 이때 미리 설정된 시간은 사용자가 설정하는 값으로 결정될 수 있다.
한편, 다른 예로서, 상기 모드제어부(400)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 외기모드에서 로드락모드로의 전환과 동시에 로딩영역(S2)의 압력을 제1압력(P1)에서 제2압력(P2)으로 상승시킬 수 있으며, 보다 구체적으로는, 퍼지가스공급부(300)를 통한 퍼지가스의 공급과 동시 또는 바로 이후에 밸브부(500)를 포함하는 압력조절수단을 통해 로딩영역(S2)의 압력을 제1압력(P1)에서 제2압력(P2)으로 상승시킬 수 있다.
한편, 상기 모드제어부(400)는, 산소농도측정부(700)를 통한 산소농도 측정값이 미리 설정된 제2설정값 이하에 도달할 때까지, 로딩영역(S2)의 압력을 제2압력(P2) 이상으로 유지할 수 있다.
즉, 상기 모드제어부(400)는, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 산소농도측정부(700)를 통한 산소농도 측정값이 미리 설정된 제2설정값 이하에 도달하여, 로드락모드에 진입한 것으로 판단될 때, 로딩영역(S2)의 압력을 제2압력(P2)에서 제3압력(P3)으로 낮출 수 있으며, 그전까지는 제2압력(P2)으로 일정하게 유지하거나, 제2압력(P2) 이상으로 유지할 수 있다.
한편, 다른 예로서, 상기 모드제어부(400)는, 산소농도측정부(700)를 통한 산소농도 측정값이 미리 설정된 제2설정값 이하에 도달할 때까지, 제1압력(P1)에서 제2압력(P2)으로 로딩영역(S2)의 압력을 지속적으로 증가시킬 수 있다.
또한, 상기 모드제어부(400)는, 제1압력(P1)에서 제2압력(P2)으로 로딩영역(S2)의 압력을 차례대로 증가시킬 수 있음은 또한 물론이다.
또한, 다른 예로서, 상기 모드제어부(400)는, 로드락모드로 전환 완료 시, 압력조절수단을 통해 로딩영역(S2)의 압력을 제2압력(P2)에서 제3압력(P3)으로 감압할 수 있다.
보다 구체적으로, 상기 모드제어부(400)는, 로드락모드로의 전환 완료 시, 즉 전술한 산소농도측정부(700)를 통한 산소농도 측정값이 미리 설정된 제2설정값 이하에 도달할 때 압력조절수단을 통해 로딩영역(S2)의 압력을 제2압력(P2)에서 제3압력(P3)으로 감압할 수 있다.
이로써, 상기 로드락모드 전환 완료 시 로딩영역(S2)의 압력은 제3압력(P3)에 도달할 수 있으며, 이때 제3압력(P3)은 일예로서 상압보다 큰 제1압력(P1)과 동일한 값일 수 있다.
한편, 상기 모드제어부(400)는, 제2압력(P2)으로의 압력상승 이후에, 로드락모드로 전환 완료 전까지 제2압력(P2)이하 범위 내에서 로딩영역(S2)에 대한 가압 및 감압을 각각 적어도 1회 수행할 수 있다.
예를 들면, 상기 모드제어부(400)는, 제2압력(P2)으로의 압력상승 이후에 로딩영역(S2)을 제2압력(P2)에서 제3압력(P3)으로 감압하며, 산소농도측정부(700)를 통한 산소농도 측정값이 미리 설정된 제2설정값 이하에 도달할 때까지 제2압력(P2)과 제3압력 (P3)사이 범위 내에서 가감압을 하나의 단위 사이클로 하여 복수회 반복할 수 있다.
이때, 상기 모드제어부(400)는, 외기모드에서 로드락모드로의 전환 과정에서 로딩영역(S2)의 압력을 최고값이 제2압력(P2)보다 작거나 같고 최저값이 제3압력(P3)보다 크거나 같은 범위 내에서 복수회 가압 및 감압을 반복하도록 수행될 수 있다.
한편, 전술한 제3압력(P3)은, 로드락모드에서의 로딩영역(S2)에 대한 압력값으로서, 외기모드에서 로딩영역(S2)에 대한 압력인 제1압력(P1)과 동일한 압력을 가질 수 있다.
전술한 모드제어부(400)를 통한 로딩영역(S2)에 대한 압력 상승 및 하강은 배기부(500)를 포함하는 압력조절수단을 통해 수행될 수 있으며, 실시예로 제시된 기류형성팬(600)과 퍼지가스공급부(300)의 유량조절부를 통해서 압력이 조절될 수 있음은 또한 물론이며, 더 나아가 이들 압력조절수단의 적절한 조화를 통해서도 적용될 수 있다.
이하 본 발명에 따른 기판처리방법에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
이하 설명하는 기판처리방법은, 전술한 기판처리장치를 통해 수행될 수 있으며 따라서 전술한 기판처리장치 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.
본 발명에 따른 기판처리방법은, 도 7에 도시된 바와 같이, 로딩영역(S2)이 외기모드로 유지되며, 반응관(30)에 다수의 기판(10)이 적재된 보트(20)가 인입되어 기판처리를 수행하는 기판처리단계(S10)와; 로딩영역(S2)에 퍼지가스를 공급하여 외기모드에서 로드락모드로 전환하는 모드전환단계(S20)와; 로딩영역(S2)이 로드락모드로 전환된 상태에서, 보트(20)를 하강시켜 기판(10)을 반송하는 기판반송단계(S30)를 포함한다.
상기 기판처리단계(S10)는, 로딩영역(S2)이 외기모드로 유지되며, 반응관(30)에 다수의 기판(10)이 적재된 보트(20)가 인입되어 기판처리를 수행하는 단계일 수 있다.
이때, 상기 기판처리단계(S10)는, 반응관(30)에 다수의 기판(10)이 적재된 보트(20)가 인입되어 기판처리를 수행하는 단계로서, 종래 개시된 어떠한 형태의 기판처리도 적용될 수 있다.
예를 들면, 상기 기판처리단계(S10)는, 보트(20)에 적재된 다수의 기판(10)에 대한 보호막, 절연막, 금속막 등 증착을 수행하거나, 증착된 박막에 대한 열처리를 수행할 수 있다.
이때, 상기 기판처리단계(S10)는, 밀폐된 반응관(30) 내 처리영역(S1)에서 수행될 수 있으며, 처리영역(S1)과 분리된 로딩영역(S2)이 외기모드로 유지되어 외기 분위기가 조성될 수 있다.
상기 모드전환단계(S20)는, 도 8에 도시된 바와 같이, 로딩영역(S2)에 퍼지가스를 공급하여 외기모드에서 로드락모드로 전환하는 단계로서, 다양한 방법에 의해 수행될 수 있다.
이때, 상기 모드전환단계(S20)는, 로딩영역(S2)의 압력을 제1압력(P1)에서 제2압력(P2)으로 상승시킬 수 있다.
예를 들면, 상기 모드전환단계(S20)는, 로딩영역(S2)에 퍼지가스공급부(300)를 통해 퍼지가스를 공급하는 퍼지가스공급단계(S100)와, 퍼지가스공급단계(S100) 이후에 압력조절수단을 통해 로딩영역(S2)의 압력을 제1압력(P1)에서 제2압력(P2)으로 상승시키는 가압단계(S300)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 모드전환단계(S20)는, 가압단계(S300) 이후에 로딩영역(S2)의 압력을 제2압력(P2)으로 유지하는 압력유지단계(S400)를 포함할 수 있다.
상기 퍼지가스공급단계(S100)는, 로딩영역(S2)에 퍼지가스공급부(300)를 통해 퍼지가스를 공급하는 단계일 수 있다.
즉, 상기 퍼지가스공급단계(S100)는, 외기모드에서 로드락모드로 전환 시 퍼지가스공급부(300)를 통해 퍼지가스를 로딩영역(S2)에 공급할 수 있다.
상기 가압단계(S300)는, 퍼지가스공급단계(S100) 이후에 압력조절수단을 통해 로딩영역(S2)의 압력을 제1압력(P1)에서 제2압력(P2)으로 상승시키는 단계일 수 있다.
즉, 상기 가압단계(S300)는, 모드제어부(400)를 통한 압력조절수단의 제어로서, 로딩영역(S2) 압력을 제1압력(P1)에서 제2압력(P2)으로 상승시킬 수 있으며, 이 경우, 퍼지가스공급단계(S100) 직후에 수행되거나, 일정 시간 또는 조건이 만족될 때 수행될 수 있다.
예를 들면, 상기 가압단계(S300)는, 사용자가 미리 설정된 시간이 지난 후에 수행될 수 있으며, 다른 예로서, 산소농도측정부(700)를 통해 측정된 로딩영역(S2) 산소농도가 미리 설정된 제1설정값 미만일 때, 수행될 수 있다.
이를 위하여, 상기 모드전환단계(S20)는, 퍼지가스공급단계(S100)와 가압단계(S300) 사이에 제1산소농도측정단계(S200)를 추가로 포함할 수 있다.
즉, 상기 퍼지가스공급단계(S100) 이후에 제1산소농도측정단계(S200)를 수행함으로써, 로딩영역(S2)에 대한 산소농도를 측정할 수 있으며, 이때, 가압단계(S300)는, 제1산소농도측정단계(S200)를 통해 측정된 로딩영역(S2)의 산소농도가 미리 설정된 제1설정값 이하일 때 수행될 수 있다.
한편, 가압단계(S300)는, 제1압력(P1)에서 제2압력(P2)으로 점진적으로 증가하거나, 차례대로 압력을 증가시킬 수 있으며, 로드락모드로의 전환이 완료될 때까지 압력이 증가할 수 있다.
그러나, 다른 예로서, 가압단계(S300) 이후에, 로딩영역(S2)의 압력을 제2압력(P2)으로 유지하는 압력유지단계(S400)를 추가로 포함할 수 있다.
즉, 상기 압력유지단계(S400)는, 가압단계(S300)를 통해 로딩영역(S2)의 압력을 제2압력(P2)으로 상승시킨 상태에서, 제2압력(P2)을 유지할 수 있다.
더 나아가, 상기 모드전환단계(S20)는, 가압단계(S300) 이후에, 로딩영역(S2)의 압력을 제2압력(P2)에서 제3압력(P3)으로 하강시키는 감압단계(S600)를 추가로 포함할 수 있다.
상기 감압단계(S600)는, 로드락모드로의 전환이 완료된 이후 또는 로드락모드로 전환 직전에 로딩영역(S2)의 압력을 제2압력(P2)에서 제3압력(P3)으로 하강시키기 위하여 수행될 수 있으며, 가압단계(S300) 이후 또는 가압단계(S300), 압력유지단계(S400) 이후에 1회 수행될 수 있다.
한편, 다른 예로서, 상기 모드전환단계(S20)는, 가압단계(S300)와 감압단계(S600)를 반복 수행함으로써, 외기모드에서 로드락모드로의 전환 시 압력을 제2압력(P2)과 제3압력(P3) 사이에서 반복적으로 가감압할 수 있다.
한편, 로드락모드로의 전환을 위해서는 로딩영역(S2)의 산소농도가 미리 설정된 제2설정값 이하로서 퍼지가스 치환이 수행되어야 하는 바, 상기 모드전환단계(S20)는, 가압단계(S300) 이후에 로딩영역(S2)의 산소농도를 측정하는 제2산소농도측정단계(S500)를 추가로 포함할 수 있다.
이때, 상기 제2산소농도측정단계(S500)는, 산소농도측정부(700)를 통해 로딩영역(S2)의 산소농도를 측정하여, 로드락모드로의 전환 여부를 판단할 수 있다.
한편, 상기 제2산소농도측정단계(S500)를 통해 측정된 상기 로딩영역(S2)의 산소농도가 미리 설정된 제2설정값 이하일 때 감압단계(S600)가 수행되고, 로드락모드로의 전환이 완료될 수 있다.
상기 기판반송단계(S30)는, 로딩영역(S2)이 로드락모드로 전환된 상태에서, 보트(20)를 하강시켜 기판(10)을 반송하는 단계일 수 있다.
예를 들면, 상기 기판반송단계(S30)는, 로딩영역(S2)이 로드락모드로 전환되어 압력이 제3압력(P3)으로 하강하고 퍼지가스 분위기가 조성된 상태에서 보트(20)를 하강시켜 로딩영역(S2)에 위치시킬 수 있다.
이때, 반송로봇(50)을 통해 기판처리가 완료된 보트(20)에서 다수의 기판(10)을 디스차지하여 풉으로 전달할 수 있으며, 처리대상 기판(10)을 수용한 풉으로부터 다수의 기판(10)을 보트(20)에 차지할 수 있다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적사상과 그 근본을 함께하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
10: 기판 20: 보트
30: 반응관 100: 기판로딩부
200: 외기공급부 300: 퍼지가스공급부
400: 모드제어부

Claims (23)

  1. 다수의 기판(10)이 적재되는 보트(20)가 인입되어 기판처리가 수행되는 반응관(30) 하부에 배치되며, 다수의 상기 기판(10)들이 상기 보트(20)에 차지/디스차지 되는 로딩영역(S2)이 내부에 형성되는 기판로딩부(100)와;
    상기 기판로딩부(100)에 설치되어, 상기 로딩영역(S2)에 외기를 공급하는 외기공급부(200)와;
    상기 기판로딩부(100)에 설치되어, 상기 로딩영역(S2)에 퍼지가스를 공급하는 퍼지가스공급부(300)와;
    상기 로딩영역(S2)을 상기 외기공급부(200)를 통한 외기 분위기로 하는 외기모드와, 상기 퍼지가스공급부(300)를 통한 퍼지가스 분위기로 하는 로드락모드 사이에서 전환하는 모드제어부(400)와;
    상기 로딩영역(S2)의 내부압력을 조절하는 압력조절수단을 포함하며,
    상기 모드제어부(400)는,
    상기 외기모드에서 상기 로드락모드로 전환 과정에서, 상기 압력조절수단을 통해 상기 로딩영역(S2)의 압력을 제1압력(P1)에서 제2압력(P2)으로 상승시키는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 압력조절수단은,
    상기 로딩영역(S2)에 연통하도록 구비되어 상기 로딩영역(S2)을 배기하는 배기관(510)과, 상기 배기관(510)에 설치되어 상기 로딩영역(S2) 압력을 조절하는 압력조절밸브(520)를 구비하는 배기부(500)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 모드제어부(400)는,
    상기 외기공급부(200)를 통한 외기 공급을 차단하고 상기 퍼지가스공급부(300)를 통해 상기 퍼지가스를 공급한 상태에서, 상기 압력조절밸브(520)를 통한 상기 배기관(510)의 개구율 조절을 통해 상기 로딩영역(S2)의 압력을 상기 제1압력(P1)에서 상기 제2압력(P2)으로 상승시키는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 압력조절수단은,
    상기 퍼지가스공급부(300)에 구비되어, 상기 퍼지가스 공급량을 증가시켜 상기 로딩영역(S2) 압력을 상승시키는 유량조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 압력조절수단은,
    상기 기판로딩부(100)에 설치되어 상기 로딩영역(S2)에 기류를 형성하며, 회전속도를 증가시켜 상기 로딩영역(S2) 압력을 상승시키는 기류형성팬(600) 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 기류형성팬(600)은,
    상기 기판로딩부(100) 일측벽에 설치되며, 상기 외기공급부(200)를 통한 외기를 흡인하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 압력조절수단은,
    상기 기판로딩부(100) 내부에 설치되어 상기 로딩영역(S2)의 산소농도를 측정하는 산소농도측정부(700)를 추가로 포함하며,
    상기 모드제어부(400)는,
    상기 산소농도측정부(700)를 통한 산소농도 측정값이 미리 설정된 제1설정값 이하일 때, 상기 제1압력(P1)에서 상기 제2압력(P2)으로 상기 로딩영역(S2)의 압력을 증가시키는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 모드제어부(400)는,
    상기 로드락모드로 전환 과정에서 미리 설정된 시간 경과 시, 상기 로딩영역(S2)의 압력을 상기 제1압력(P1)에서 상기 제2압력(P2)으로 상승시키는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 외기모드 및 상기 로드락모드 중 적어도 하나는,
    상기 로딩영역(S2)의 압력을 상압 이상인 상기 제1압력(P1)으로 유지하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  10. 청구항 7에 있어서,
    상기 모드제어부(400)는,
    상기 산소농도측정부(700)를 통한 산소농도 측정값이 미리 설정된 제2설정값 이하에 도달할 때까지, 상기 로딩영역(S2)의 압력을 상기 제2압력(P2) 이상으로 유지하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  11. 청구항 7에 있어서,
    상기 모드제어부(400)는,
    상기 산소농도측정부(700)를 통한 산소농도 측정값이 미리 설정된 제2설정값 이하에 도달할 때까지, 상기 제1압력(P1)에서 상기 제2압력(P2)으로 상기 로딩영역(S2)의 압력을 지속적으로 증가시키는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 모드제어부(400)는,
    상기 로드락모드로 전환 완료 시, 상기 압력조절수단을 통해 상기 로딩영역(S2)의 압력을 제2압력(P2)에서 제3압력(P3)으로 감압하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  13. 청구항 1에 있어서,
    상기 모드제어부(400)는,
    상기 제2압력(P2)으로의 압력상승 이후에 상기 로드락모드로 전환 완료 전까지, 상기 제2압력(P2) 이하 범위 내에서 상기 로딩영역(S2)에 대한 가압 및 감압을 각각 적어도 1회 수행하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  14. 청구항 12에 있어서,
    상기 제3압력(P3)은,
    상기 제1압력(P1)과 동일한 압력인 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  15. 다수의 기판(10)이 적재되는 보트(20)가 인입되어 기판처리가 수행되는 반응관(30)과, 상기 반응관(30) 하부에 배치되며, 다수의 상기 기판(10)들이 상기 보트(20)에 차지/디스차지 되는 로딩영역(S2)이 내부에 형성되는 기판로딩부(100)와, 상기 로딩영역(S2)의 내부압력을 조절하는 압력조절수단을 포함하며, 상기 로딩영역(S2)을 외기 분위기로 하는 외기모드와, 퍼지가스 분위기로 하는 로드락모드 사이에서 전환하는 기판처리장치를 통한 기판처리방법으로서,
    상기 로딩영역(S2)이 상기 외기모드로 유지되며, 상기 반응관(30)에 다수의 기판(10)이 적재된 보트(20)가 인입되어 기판처리를 수행하는 기판처리단계(S10)와;
    상기 로딩영역(S2)에 상기 퍼지가스를 공급하여 상기 외기모드에서 상기 로드락모드로 전환하는 모드전환단계(S20)와;
    상기 로딩영역(S2)이 상기 로드락모드로 전환된 상태에서, 상기 보트(20)를 하강시켜 상기 기판(10)을 반송하는 기판반송단계(S30)를 포함하며,
    상기 모드전환단계(S20)는,
    상기 로딩영역(S2)의 압력을 제1압력(P1)에서 제2압력(P2)으로 상승시키는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 모드전환단계(S20)는,
    상기 로딩영역(S2)에 상기 퍼지가스공급부(300)를 통해 상기 퍼지가스를 공급하는 퍼지가스공급단계(S100)와, 상기 퍼지가스공급단계(S100) 이후에 상기 압력조절수단을 통해 상기 로딩영역(S2)의 압력을 상기 제1압력(P1)에서 상기 제2압력(P2)으로 상승시키는 가압단계(S300)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
  17. 청구항 16에 있어서,
    상기 모드전환단계(S20)는,
    상기 가압단계(S300) 이후에, 상기 로딩영역(S2)의 압력을 상기 제2압력(P2)으로 유지하는 압력유지단계(S400)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
  18. 청구항 16에 있어서,
    상기 가압단계(S300)는,
    상기 퍼지가스공급단계(S100) 수행 직후 상기 제1압력(P1)에서 상기 제2압력(P2)으로 상기 로딩영역(S2)의 압력을 상승시키는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
  19. 청구항 16에 있어서,
    상기 모드전환단계(S20)는,
    상기 퍼지가스공급단계(S100) 이후에 상기 로딩영역(S2)의 산소농도를 측정하는 제1산소농도측정단계(S200)를 추가로 포함하며,
    상기 가압단계(S300)는,
    상기 제1산소농도측정단계(S200)를 통해 측정된 상기 로딩영역(S2)의 산소농도가 미리 설정된 제1설정값 이하일 때 수행되는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
  20. 청구항 16에 있어서,
    상기 모드전환단계(S20)는,
    상기 가압단계(S300) 이후에, 상기 로딩영역(S2)의 압력을 상기 제2압력(P2)에서 제3압력(P3)으로 하강시키는 감압단계(S600)를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
  21. 청구항 20에 있어서,
    상기 제3압력(P3)은,
    상기 제1압력(P1)과 동일한 압력값인 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
  22. 청구항 20에 있어서,
    상기 모드전환단계(S20)는,
    상기 가압단계(S300)와 상기 감압단계(S600)를 반복 수행하는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
  23. 청구항 20에 있어서,
    상기 모드전환단계(S20)는,
    상기 가압단계(S300) 이후에 상기 로딩영역(S2)의 산소농도를 측정하는 제2산소농도측정단계(S500)를 포함하며,
    상기 감압단계(S600)는,
    상기 제2산소농도측정단계(S500)를 통해 측정된 상기 로딩영역(S2)의 산소농도가 미리 설정된 제2설정값 이하일 때 수행되는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
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