KR20230065454A - Hybrid fan filter unit module system - Google Patents

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KR20230065454A KR1020210151021A KR20210151021A KR20230065454A KR 20230065454 A KR20230065454 A KR 20230065454A KR 1020210151021 A KR1020210151021 A KR 1020210151021A KR 20210151021 A KR20210151021 A KR 20210151021A KR 20230065454 A KR20230065454 A KR 20230065454A
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Abstract

하우징, 상기 하우징의 내부에 배치되는 팬, 상기 팬의 하측에 배치되어 상기 팬에 의해 유동하는 공기를 정화시키는 필터, 상기 필터의 둘레를 감싸도록 형성되어 상기 하우징의 하측에 결합되고, 상기 필터의 적어도 일 측에 자가 환류 풍도를 형성하는 필터 프레임 및 상기 필터 프레임에 결합되어 하측으로 빛을 조사하는 조명부를 포함하는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템을 개시한다.A housing, a fan disposed inside the housing, a filter disposed below the fan to purify the air flowing by the fan, formed to surround the circumference of the filter and coupled to the lower side of the housing, Disclosed is a hybrid fan filter unit module system including a filter frame forming a self-reflux airflow on at least one side and a lighting unit coupled to the filter frame and radiating light downward.

Description

하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템{HYBRID FAN FILTER UNIT MODULE SYSTEM}Hybrid fan filter unit module system {HYBRID FAN FILTER UNIT MODULE SYSTEM}

본 발명은 클린룸의 에너지 절감 요구를 충족하고, 천정 상부의 환류 정체구간을 해소할 수 있으며, 운영자에게 유지 보수 편의성을 제공할 수 있는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a hybrid fan filter unit module system capable of meeting energy saving requirements of a clean room, solving a reflux stagnation section at the top of the ceiling, and providing maintenance convenience to operators.

일반적으로, 클린룸은 먼지가 전혀 없으며 외부와 차단 또는 격리된 공간으로서, 초고밀도집적회로 제조시설이나 유전자 조작 등과 같이 세포 속의 미소한 유전자를 다루는 곳에서와 같이 환경 조건이 품질에 큰 영향을 끼치는 분야에 광범위하게 적용된다.In general, a clean room is completely dust-free and is a space that is blocked or isolated from the outside, where environmental conditions have a great impact on quality, such as where microgenes in cells are handled, such as ultra-high-density integrated circuit manufacturing facilities or genetic manipulation. widely applied in the field.

클린룸의 청정도는 공조 시스템에 의해 크게 좌우된다. 현재, 클린룸의 공조 시스템은 팬 필터 유닛 방식이 주로 사용되는데, 이러한 팬 필터 유닛은 공기 조화기 용량 범위 내에서 클린룸의 확장이 비교적 편리하고, 국부적인 고청정도를 형성할 수 있는 장점이 있다.The cleanliness of a clean room is greatly influenced by the air conditioning system. Currently, the fan filter unit method is mainly used for the air conditioning system of the clean room. This fan filter unit has the advantage of being relatively convenient to expand the clean room within the capacity range of the air conditioner and forming a high local cleanliness. .

이러한 팬 필터 유닛의 일 예가 등록특허공보 제10-1256586호(2013.04.15.)에 개시되어 있다. 등록특허공보 제10-1256586호에 개시된 팬 필터 유닛은 자가 환류형 팬 필터 유닛으로서, 하부가 개방된 내부 공간을 갖는 커버부재(110), 상기 커버부재의 내부에 장착 고정된 송풍 팬 어셈블리(120)와 필터 어셈블리(130) 및 직류 하방 토출형 에어 블레이드(140)를 포함하며, 상기 에어 블레이드에 LED 램프 어셈블리(150)가 설치되는 특징이 있다.An example of such a fan filter unit is disclosed in Patent Registration No. 10-1256586 (2013.04.15.). The fan filter unit disclosed in Patent Registration No. 10-1256586 is a self-reflux fan filter unit, and includes a cover member 110 having an inner space with an open bottom, and a blower fan assembly 120 mounted and fixed inside the cover member. ), a filter assembly 130, and a DC downward discharge type air blade 140, and the LED lamp assembly 150 is installed on the air blade.

그러나, 이러한 팬 필터 유닛은 보통 클린룸의 천장에 설치되는데, 하단에 LED 램프 등 조명이 설치되는 경우가 있어서 팬 필터 유닛 상부에 대한 유지 보수가 어렵고, 팬 필터 유닛 자체의 자가환류 기능이 부재하여 천정 주변에 환류 정체구간이 발생하고, 클린룸 내 순환풍량이 조절되지 않는 문제점이 있다.However, such a fan filter unit is usually installed on the ceiling of a clean room, but there are cases where lighting such as LED lamps are installed at the bottom, making it difficult to maintain the upper part of the fan filter unit. There is a problem in that a reflux stagnation section occurs around the ceiling and the circulation air volume in the clean room is not controlled.

따라서, 클린룸 내부에 설치된 팬 필터 유닛의 유지 보수가 용이하여 사용자 편의성을 제고할 수 있고, 초기 셋업 시간을 단축시킬 수 있으며, 클린룸 내 순환풍량을 조절하여 저감시킬 수 있는 기술에 대한 필요성이 증대되고 있다.Therefore, there is a need for a technology that can improve user convenience by facilitating maintenance of the fan filter unit installed inside the clean room, shorten the initial setup time, and reduce by adjusting the amount of circulating air in the clean room. is increasing

본 발명의 일 목적은, 팬 필터 유닛 자체에 자가환류 기능을 부여하여 클린룸 내의 환류량을 조절하고, 순환풍량을 저감시킬 수 있는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템을 제공하는 것이다.One object of the present invention is to provide a hybrid fan filter unit module system capable of adjusting the reflux amount in a clean room and reducing the circulating air volume by giving a self-reflux function to the fan filter unit itself.

본 발명의 다른 일 목적은, 팬 필터 유닛 상측에서 접근하여 조명의 유지보수가 가능하여 사용자의 편의성을 증대시킬 수 있는 조명 일체형 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a lighting-integrated hybrid fan filter unit module system that can increase user convenience by accessing from the upper side of the fan filter unit and enabling lighting maintenance.

본 발명의 다른 일 목적은 자가환류 기능에 의해 기외정압 별 고정 풍속제어가 가능한 팬 필터 유닛을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a fan filter unit capable of controlling a fixed wind speed for each external static pressure by means of a self-reflux function.

본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 팬 필터 유닛은 하우징; 상기 하우징의 내부에 배치되는 팬; 상기 팬의 하측에 배치되어 상기 팬에 의해 유동하는 공기를 정화시키는 필터; 상기 필터의 둘레를 감싸도록 형성되어 상기 하우징의 하측에 결합되고, 상기 필터의 적어도 일 측에 자가 환류 풍도를 형성하는 필터 프레임; 및 상기 필터 프레임에 결합되어 하측으로 빛을 조사하는 조명부를 포함하는 것으로 구성될 수 있다.In order to achieve the object of the present invention, a fan filter unit according to an embodiment of the present invention includes a housing; a fan disposed inside the housing; a filter disposed below the fan to purify the air flowing by the fan; A filter frame formed to surround the circumference of the filter, coupled to the lower side of the housing, and forming a self-reflux air flow on at least one side of the filter; And it may be configured to include a lighting unit that is coupled to the filter frame and radiates light downward.

상기 필터 프레임은, 상기 필터에 가깝게 배치되는 내측벽; 및 상기 내측벽의 외측에 배치되어 상기 하우징보다 더 큰 둘레를 형성하는 외측벽을 포함하고, 상기 자가 환류 풍도는 상기 내측벽과 상기 외측벽의 사이에 형성될 수 있다.The filter frame includes an inner wall disposed close to the filter; and an outer wall disposed outside the inner wall to form a circumference larger than that of the housing, and the self-reflux airflow may be formed between the inner wall and the outer wall.

상기 자가 환류 풍도는 상기 필터의 양측에 각각 형성되고, 각각의 상기 자가 환류 풍도는 상기 필터의 양 측 변을 따라 선형으로 형성될 수 있다.The self-reflux airflow may be formed on both sides of the filter, respectively, and each of the self-reflux airflow may be formed linearly along both sides of the filter.

상기 필터 프레임은, 상기 내측벽과 상기 외측벽의 사이에 형성되어 상기 자가 환류 풍도의 상부 또는 하부를 덮고, 상기 자가 환류 풍도의 연장 방향을 따라 서로 이격된 위치에 형성되는 복수의 환풍홀을 구비하는 상부 커버; 및 상기 상부 커버의 상측 또는 하측에 배치되어 상기 자가 환류 풍도의 연장 방향을 따라 슬라이딩 이동 가능하게 형성되고, 상기 상부 커버에 형성되는 복수의 환풍홀에 대응위치에 형성되는 복수의 환류량 조절홀을 구비하는 환류량 조절 커버를 포함할 수 있다.The filter frame is formed between the inner wall and the outer wall to cover the upper or lower portion of the self-reflux airflow, and has a plurality of ventilation holes formed at positions spaced apart from each other along the extension direction of the self-reflux airflow. top cover; And a plurality of reflux amount control holes disposed on the upper or lower side of the upper cover to be slidably movable along the extension direction of the self reflux flow and formed in corresponding positions to the plurality of ventilation holes formed in the upper cover. It may include a reflux control cover provided.

상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템은 상기 환류량 조절 커버에 결합되어 상기 환류량 조절 커버의 슬라이딩 이동을 조절하는 노브를 더 포함하고, 상기 상부 커버에는 상기 노브의 이동 가능 범위를 설정하는 장공이 형성되고, 상기 상부 커버에 형성되는 복수의 환풍홀의 개구율은 상기 환류량 조절 커버의 슬라이딩 이동에 따른 상기 복수의 환풍홀과 상기 복수의 환류량 조절홀 간 오버랩 비율에 따라 결정될 수 있다.The hybrid fan filter unit module system further includes a knob coupled to the reflux control cover to control the sliding movement of the reflux control cover, and a long hole for setting a movable range of the knob is formed in the upper cover. , The opening ratio of the plurality of ventilation holes formed in the upper cover may be determined according to an overlap ratio between the plurality of ventilation holes and the plurality of return control holes according to the sliding movement of the return control cover.

상기 조명부는, 상기 필터 프레임의 내측에 설치되며, 측 방향으로 발광하는 광원을 구비하는 조명 PCB 모듈; 및 상기 자가 환류 풍도와 나란하게 선형으로 형성되며, 상기 광원으로부터 측 방향으로 조사되는 빛을 상기 필터의 하측으로 조사되도록 가이드 하는 도광판을 포함할 수 있다.The lighting unit may include a lighting PCB module installed inside the filter frame and having a light source emitting light in a lateral direction; and a light guide plate formed in a linear shape parallel to the self-reflux airflow and guiding light emitted from the light source in a lateral direction to be irradiated to a lower side of the filter.

상기 조명 PCB 모듈이 설치되기 전 상기 도광판의 일측 단부는 상기 자가 환류 풍도에 노출되고, 상기 조명 PCB 모듈이 상기 자가 환류 풍도 내에서 상기 필터 프레임의 내측벽을 향해 접근하여 상기 내측벽에 결합되면 상기 광원이 상기 도광판에 접촉될 수 있다.Before the lighting PCB module is installed, one end of the light guide plate is exposed to the self-reflux airflow, and when the lighting PCB module approaches the inner wall of the filter frame within the self-reflux airflow and is coupled to the inner wall, the A light source may contact the light guide plate.

상기 조명 PCB 모듈은 상기 자가 환류 풍도 내에서 상기 광원과 상기 도광판의 상호 대면 부위를 보호하는 보호 커버를 포함하고, 상기 내측벽에는 보호 커버 안착부가 상기 자가 환류 풍도를 향해 돌출되고, 상기 조명 PCB 모듈이 상기 자가 환류 풍도 내에서 상기 필터 프레임의 내측벽을 향해 접근하여 상기 보호 커버의 적어도 일부가 상기 보호 커버 안착부에 안착될 수 있다.The lighting PCB module includes a protective cover for protecting a mutually facing portion of the light source and the light guide plate in the self-reflux airflow, and a protective cover seating portion protrudes toward the self-reflux airflow on the inner wall, and the lighting PCB module At least a part of the protective cover may be seated on the protective cover seating portion by approaching toward the inner wall of the filter frame within the self-reflux airflow.

상기 보호 커버는, 상기 보호 커버 안착부에 안착되도록 상기 보호 커버 안착부보다 높은 위치에서 돌출되는 상부 연결부; 및 상기 도광판의 상측에 안착되도록 상기 상부 연결부보다 낮은 위치에서 돌출되는 하부 연결부를 포함할 수 있다.The protective cover may include an upper connection portion protruding from a higher position than the protective cover seating portion to be seated on the protective cover seating portion; and a lower connection portion protruding from a position lower than the upper connection portion so as to be seated on an upper side of the light guide plate.

상기 필터 프레임의 하부에는 하측을 향해 개방된 구조로서, 상기 도광판을 수용하여 고정하는 장착부가 형성될 수 있다.A lower portion of the filter frame may be formed with a structure open toward the lower side and a mounting portion accommodating and fixing the light guide plate.

상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템은, 상기 필터의 상류측과 상기 필터의 하류측의 차압을 측정하는 차압 측정 센서를 구비하며, 상기 팬 필터 유닛을 제어하도록 상기 하우징 내에 설치되는 제어 모듈 및 상기 차압 측정 센서의 차압 측정을 가능하게 하도록 상기 차압 측정 센서와 상기 필터의 하류측 공기가 흐르는 영역에 연결되는 차압 측정 연결부를 더 포함하고, 상기 팬은 각 팬 필터 유닛의 차압 측정 센서에 의해 측정되는 상기 필터의 상류측과 하류측의 차압에 근거하여 제어될 수 있다.The hybrid fan filter unit module system includes a differential pressure measurement sensor for measuring differential pressure between an upstream side of the filter and a downstream side of the filter, and a control module installed in the housing to control the fan filter unit and measuring the differential pressure. and a differential pressure measuring connector connected to an area in which air flows downstream of the filter and the differential pressure measuring sensor to enable the sensor to measure the differential pressure, wherein the fan is the filter measured by the differential pressure measuring sensor of each fan filter unit. It can be controlled based on the differential pressure between the upstream and downstream sides of

상술한 해결수단을 통해 얻게 되는 본 발명의 효과는 다음과 같다.The effects of the present invention obtained through the above solutions are as follows.

본 발명은 팬 필터 유닛의 필터 프레임의 일측에 형성된 자가 환류 풍도를 통해, 팬 필터 유닛 자체에 자가환류 기능과 조절 기능을 부여하여 클린룸 내의 환류량을 필요에 따라 조절하고, 클린룸 내 순환풍량을 저감시킬 수 있다.The present invention provides a self-reflux function and a control function to the fan filter unit itself through the self-reflux airflow formed on one side of the filter frame of the fan filter unit, thereby adjusting the reflux amount in the clean room as necessary, and circulating air volume in the clean room. can reduce

또한, 본 발명은 내측벽과 외측벽 구조로 이루어진 필터 프레임에 설치되어 빛을 조사하는 조명부 구조를 통해, 팬 필터 유닛 상부에서 조명의 유지보수를 가능하게 하여 클린룸의 내부 청정도 유지를 용이하게 하는 등 사용자의 편의성을 증대시킬 수 있다.In addition, the present invention enables maintenance of lighting at the top of the fan filter unit through a lighting unit structure installed on a filter frame composed of an inner wall and an outer wall structure to irradiate light, thereby facilitating maintenance of the internal cleanliness of the clean room. etc., user convenience can be increased.

또한, 본 발명은 필터 프레임의 자가 환류 기능에 의해 기외정압 별 고정 풍속제어가 가능하여 기외정압 저감 효과를 얻을 수 있다.In addition, according to the present invention, fixed wind speed control for each external static pressure is possible by the self-reflux function of the filter frame, so that the effect of reducing the external static pressure can be obtained.

또한, 본 발명은 클린룸 내의 팬 필터 유닛과 조명을 동시에 설치할 수 있어서 조명공사의 초기 셋업 기간을 단축할 수 있다.In addition, the present invention can shorten the initial setup period of lighting work because it is possible to simultaneously install the fan filter unit and lighting in the clean room.

도 1a와 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템의 전체적인 모습을 서로 다른 방향에서 바라본 모습을 나타낸 사시도.
도 2는 도 1a와 도 1b에 도시된 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템의 각 구성요소들을 분해한 상태의 모습을 나타낸 분해 사시도.
도 3은 도 1a와 도 1b에 도시된 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템의 기준선 A-A를 따르는 단면도.
도 4는 도 3에 도시된 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템에 자가 환류 풍도 및 조명 PCB 모듈이 형성된 필터 프레임 부분을 확대하여 나타낸 부분 확대도.
도 5는 도 4에 도시된 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템의 필터 프레임 상부 커버 및 노브 부분을 확대하여 나타낸 부분 확대도.
도 6은 본 발명에서 제공하는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템의 구동에 따른 클린룸내 풍속 상태(b)와 종래 팬 필터 유닛의 구동에 따른 클린룸내 풍속 상태(a)를 비교하여 나타낸 개념도.
1A and 1B are perspective views illustrating the overall appearance of a hybrid fan filter unit module system according to an embodiment of the present invention viewed from different directions;
FIG. 2 is an exploded perspective view illustrating a disassembled state of each component of the hybrid fan filter unit module system shown in FIGS. 1A and 1B;
Fig. 3 is a cross-sectional view along baseline AA of the hybrid fan filter unit module system shown in Figs. 1A and 1B;
FIG. 4 is a partial enlarged view of a filter frame portion in which a self-reflux airflow and lighting PCB module is formed in the hybrid fan filter unit module system shown in FIG. 3 in an enlarged manner;
5 is an enlarged partial enlarged view of a filter frame upper cover and a knob portion of the hybrid fan filter unit module system shown in FIG. 4;
6 is a conceptual diagram illustrating a comparison between a wind speed state (b) in a clean room according to driving of a hybrid fan filter unit module system provided by the present invention and a wind velocity state (a) in a clean room according to driving of a conventional fan filter unit.

이하, 본 발명에 따른 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)에 대해 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, the hybrid fan filter unit module system 100 according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일·유사한 구성에 대해서는 동일·유사한 참조번호를 부여하고, 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.In this specification, the same or similar reference numerals are assigned to the same or similar components even in different embodiments, and overlapping descriptions thereof will be omitted.

본 명세서에 개시된 실시 예를 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 명세서에 개시된 실시 예의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.In describing the embodiments disclosed in this specification, if it is determined that detailed descriptions of related known technologies may obscure the gist of the embodiments disclosed in this specification, the detailed descriptions thereof will be omitted.

첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The accompanying drawings are only for easy understanding of the embodiments disclosed in this specification, and the technical idea disclosed in this specification is not limited by the accompanying drawings, and all changes and equivalents included in the spirit and technical scope of the present invention are included. It should be understood to include water or substitutes.

이하의 설명에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.In the following description, singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.

본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.In this application, terms such as "comprise" or "have" are intended to designate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It should be understood that the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof is not precluded.

도 1a와 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템의 전체적인 모습을 서로 다른 방향에서 바라본 모습을 나타낸 사시도다. 1A and 1B are perspective views showing the overall appearance of a hybrid fan filter unit module system according to an embodiment of the present invention viewed from different directions.

이들 도면을 참조하면, 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)은 하우징(110), 상기 하우징(110)에 의해 감싸이는 팬 유닛(120), 상기 팬 유닛(120)의 하측에 배치되어 상기 팬 유닛(120)에 구비되는 팬(혹은 팬 모터 조립체, 도 2 참조)에 의해 유동하는 공기를 정화시키는 필터(130)를 포함한다.Referring to these drawings, the hybrid fan filter unit module system 100 includes a housing 110, a fan unit 120 surrounded by the housing 110, and a fan unit disposed below the fan unit 120. A filter 130 purifying air flowing by a fan (or a fan motor assembly, see FIG. 2 ) provided in the 120 is included.

이러한 팬 필터 유닛 자체에 자가 환류 기능과 조명 기능이 부여될 수 있도록, 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)은 상기 필터(130)의 둘레를 감싸도록 형성되어 상기 하우징(110)의 하측에 결합되고, 상기 필터(130)의 적어도 일 측에 자가 환류 풍도(FD)를 형성하는 필터 프레임(140), 및 상기 필터 프레임(140)에 결합되어 하측으로 빛을 조사하는 조명부(160)를 포함한다.The hybrid fan filter unit module system 100 is formed to surround the circumference of the filter 130 and is coupled to the lower side of the housing 110 so that self-refluxing and lighting functions can be given to the fan filter unit itself. , A filter frame 140 forming a self-reflux airflow (FD) on at least one side of the filter 130, and a lighting unit 160 coupled to the filter frame 140 and irradiating light downward.

즉, 상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)은 필터 프레임(140)의 일측에 형성된 자가 환류 풍도(FD)를 통해, 팬 필터 유닛 자체에 자가환류 기능을 부여하여 필터(130) 상류측과 하류측 사이를 순환하는 리턴 풍도를 생성함으로써, 클린룸 내의 환류량을 조절하고, 천정 상부의 정체 구간을 해소함으로써 클린룸 내의 순환풍량을 저감시킬 수 있다.That is, the hybrid fan filter unit module system 100 provides a self-reflux function to the fan filter unit itself through the self-reflux airflow (FD) formed on one side of the filter frame 140, so that the filter 130 is upstream and downstream. It is possible to reduce the amount of circulating air in the clean room by adjusting the amount of reflux in the clean room and eliminating the congestion section of the upper part of the ceiling by generating the return air flow that circulates between the sides.

또한, 상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)은 상기 필터 프레임(140)에 결합되어 하측으로 빛을 조사하는 조명부(160)를 포함하므로, 클린룸 내의 팬 필터 유닛과 조명을 동시에 설치할 수 있어서 조명공사의 초기 셋업 기간을 단축할 수 있다.In addition, since the hybrid fan filter unit module system 100 includes a lighting unit 160 that is coupled to the filter frame 140 and emits light downward, it is possible to simultaneously install the fan filter unit and lighting in the clean room, The initial set-up period of the construction can be shortened.

이하에서는 위와 같은 효과를 구현하는 본 발명의 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)의 세부 구성에 대하여 도 1a, 도 1b, 도 2 그리고 도 3을 참조하여 설명한다.Hereinafter, the detailed configuration of the hybrid fan filter unit module system 100 of the present invention implementing the above effect will be described with reference to FIGS. 1A, 1B, 2, and 3 .

도 2는 도 1a와 도 1b에 도시된 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템의 각 구성요소들을 분해한 상태의 모습을 나타낸 분해 사시도다. 도 3은 도 1a와 도 1b에 도시된 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템의 기준선 A-A를 따르는 단면도다. FIG. 2 is an exploded perspective view illustrating a disassembled state of each component of the hybrid fan filter unit module system shown in FIGS. 1A and 1B. FIG. 3 is a cross-sectional view along the baseline A-A of the hybrid fan filter unit module system shown in FIGS. 1A and 1B.

하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)은 전체적으로 육면체에 가까운 형상을 갖는다. 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)은 육면체의 상면과 측면을 형성하는 하우징(110)을 포함한다. 여기서 상면이나 측면과 같은 방향에 대한 기준은 설명의 편의를 위해 도면을 참조하여 정한 것일 뿐, 절대적인 방향을 의미하는 것은 아니다. 그리고 하우징(110)의 하부에는 필터(130)와 필터 프레임(140)이 결합된다. The hybrid fan filter unit module system 100 as a whole has a shape close to a hexahedron. The hybrid fan filter unit module system 100 includes a housing 110 forming upper and side surfaces of a hexahedron. Here, the criterion for the direction, such as the top surface or the side surface, is only determined with reference to the drawings for convenience of explanation, and does not mean an absolute direction. In addition, the filter 130 and the filter frame 140 are coupled to the lower portion of the housing 110 .

하우징(110)은 메인 바디(111)와 측벽(112, 113)을 포함하여 구성될 수 있다. 여기서 메인 바디(111)는 상기 육면체의 서로 마주보는 두 측면과 상면을 형성하는 디귿자(ㄷ) 형상의 구성이다. 그리고 측벽(112, 113)은 상기 메인 바디(111)에 의해 형성되지 않는 나머지 두 측면을 형성하는 구성이다. 측벽(112, 113)은 서로 이격된 위치에서 서로 마주보도록 배치되며, 메인 바디(111)에 결합되거나 메인 바디(111)로부터 분리 가능한 구조로 형성된다.The housing 110 may include a main body 111 and side walls 112 and 113. Here, the main body 111 has a shape of a letter C forming two opposite side surfaces and an upper surface of the hexahedron. And the side walls 112 and 113 are configured to form the other two side surfaces not formed by the main body 111 . The side walls 112 and 113 are disposed to face each other at positions spaced apart from each other, and are coupled to or detachable from the main body 111 .

제1 측벽(112)과 제2 측벽(113)은 전체적으로 평판에 가까운 형상을 가지나, 제1 측벽(112)의 하단과 제2 측벽(113)의 하단은 후술하게 될 필터 프레임(140)에 안착되기 위한 형상을 갖는다. 예컨대 제1 측벽(112)의 하단과 제2 측벽(113)의 하단은 외측으로 돌출되어 제1 측벽(112)과 제2 측벽(113)은 니은자(ㄴ) 형상을 가질 수 있다.The first sidewall 112 and the second sidewall 113 have a shape close to a flat plate as a whole, but the lower end of the first sidewall 112 and the lower end of the second sidewall 113 are seated on the filter frame 140 to be described later. It has a shape to become. For example, the lower end of the first sidewall 112 and the lower end of the second sidewall 113 may protrude outward, so that the first sidewall 112 and the second sidewall 113 may have a shape of a letter (b).

다만, 하우징(110)의 위와 같은 구성은 필요에 따라 변경될 수 있다. 일 예로 하우징(110)은 메인 바디(111)와 두 측벽(112, 113)을 따로 구비하지 않고, 하나의 부재로 이루어질 수도 있다.However, the above configuration of the housing 110 may be changed as needed. For example, the housing 110 may be formed of a single member without having the main body 111 and the two side walls 112 and 113 separately.

상기 메인 바디(111)와 측벽(112, 113)으로 이루어진 하우징(110)과 하측의 필터 프레임(140) 사이에는, 공기 누설 방지를 위한 밀봉 패킹(117)이 배치될 수 있다. 밀봉 패킹(117)은 가스켓으로 이름할 수도 있다. 밀봉 패킹(117)은 탄성 소재, 예를 들어 고무 등의 소재로 형성될 수 있다. 또한, 밀봉 패킹(117)은 하우징(110)과 필터 프레임(140)의 접촉 부위를 따라 선형(곡선형)으로 형성되거나, 직사각형 내지 정사각형의 폐곡선 형상으로 형성될 수 있다.A sealing packing 117 for preventing air leakage may be disposed between the housing 110 composed of the main body 111 and the side walls 112 and 113 and the lower filter frame 140 . The sealing packing 117 may also be called a gasket. The sealing packing 117 may be formed of an elastic material such as rubber. In addition, the sealing packing 117 may be formed in a linear (curved) shape along a contact area between the housing 110 and the filter frame 140 or in a rectangular to square closed curve shape.

워킹 커버(116)는 하우징(110)의 상면에 배치된다. 워킹 커버(116)는 일 방향에서 팬 유닛(120)의 일 측과 타 측에 각각 배치된다. 워킹 커버(116)는 선형으로 연장될 수 있다.The working cover 116 is disposed on the upper surface of the housing 110 . The working cover 116 is respectively disposed on one side and the other side of the fan unit 120 in one direction. Working cover 116 may extend linearly.

밀봉 패킹(117)은 상기 팬(혹은 팬 모터 조립체, 121)에 의해 하우징(110) 내부로 유입되는 공기가 필터(130)를 통하지 않고 외부로 누출되는 것을 방지한다. 또한, 밀봉 패킹(117)은 자가 환류 풍도(FD)를 통해 환류하는 공기가 하우징(110)과 필터 프레임(140)의 틈으로 유입되는 것을 방지한다.The sealing packing 117 prevents air introduced into the housing 110 by the fan (or fan motor assembly 121) from leaking to the outside without passing through the filter 130. In addition, the sealing packing 117 prevents the air that refluxes through the self-reflux airflow (FD) from entering the gap between the housing 110 and the filter frame 140.

상기 하우징(110)의 내측에는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)의 전반적인 동작을 제어하는 제어 모듈(190)이 설치된다. 예컨대 제어 모듈(190)은 팬(121)의 모터를 제어하고, 조명부(160)의 On/Off와 조도를 조절하며, 기외정압에 따라 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)의 풍속을 제어하는 AVC(Active Velocity Control) 기능을 수행한다.A control module 190 for controlling the overall operation of the hybrid fan filter unit module system 100 is installed inside the housing 110 . For example, the control module 190 controls the motor of the fan 121, controls On/Off and illuminance of the lighting unit 160, and AVC controls the wind speed of the hybrid fan filter unit module system 100 according to the static pressure outside the aircraft. (Active Velocity Control) function.

팬 유닛(120)은 하우징(110)에 의해 형성되는 영역에 안착된다. 하우징(110)의 상면은 개구되어 있으며, 팬 유닛(120)은 하우징(110)의 상측으로 노출된다. 팬 유닛(120)의 팬(121)이 동작하면 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100) 상측의 공기가 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)의 내측으로 유입되며, 필터(130)를 통과하여 클린룸으로 공급된다.The fan unit 120 is seated in an area formed by the housing 110 . The upper surface of the housing 110 is open, and the fan unit 120 is exposed to the upper side of the housing 110 . When the fan 121 of the fan unit 120 operates, the air above the hybrid fan filter unit module system 100 flows into the hybrid fan filter unit module system 100 and passes through the filter 130 to clean room supplied with

상기 팬(121)은 그릴(126)이 장착된 풍도 가이드(127)가 상측에 배치될 수 있고, 팬(121)에 의해 유입되는 공기를 측면에서 가이드 하는 윈드밀 플레이트(122)를 구비할 수 있다. 윈드밀 플레이트(122)는 플레이트 지지부(123)에 의해 상기 하우징(110)에 고정될 수 있다.The fan 121 may have a wind direction guide 127 equipped with a grill 126 disposed on the upper side, and may include a windmill plate 122 for guiding the air introduced by the fan 121 from the side. . The windmill plate 122 may be fixed to the housing 110 by the plate support 123 .

하우징(110)의 하부에는 필터(130)가 설치된다. 필터(130)는 공기 중의 입자(PM)를 여과하는 파티클 필터를 의미하며, 납작한 육면체에 해당하는 형상을 가질 수 있다. 필터(130)는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)을 통해 클린룸으로 공급되는 공기로부터 입자상 물질을 여과하도록 형성된다.A filter 130 is installed under the housing 110 . The filter 130 means a particle filter that filters particles (PM) in the air, and may have a shape corresponding to a flat hexahedron. The filter 130 is formed to filter particulate matter from air supplied to the clean room through the hybrid fan filter unit module system 100 .

필터 프레임(140)은 필터(130)의 둘레를 감싸도록 형성되어 상기 하우징(110)의 하측에 결합되고, 상기 필터(130)의 적어도 일 측에 자가 환류 풍도(FD)를 형성한다. 여기서 필터(130)의 둘레란 도면을 기준으로 측방향에서의 둘레를 가리킨다. 이를테면 필터 프레임(140)은 필터(130)를 측방향에서 감싸는 구조로 형성된다. The filter frame 140 is formed to surround the circumference of the filter 130, is coupled to the lower side of the housing 110, and forms a self-reflux airflow (FD) on at least one side of the filter 130. Here, the circumference of the filter 130 refers to the circumference in the lateral direction based on the drawing. For example, the filter frame 140 is formed to surround the filter 130 in the lateral direction.

도 2와 도 3을 참조하면, 상기 필터 프레임(140)은 구체적으로 내측벽(141)과 외측벽(142)을 포함한다. 내측벽(141)은 필터(130)에 상대적으로 가깝게 배치되어 필터(130)를 감싼다. 내측벽(141)은 필터(130)의 측면에 해당하는 부분을 감싸도록 형성될 수 있으며, 필터(130)의 측면을 마주보도록 배치될 수 있다. 외측벽(142)은 상기 내측벽(141)의 외측에 배치되어 상기 내측벽(141)을 감싸도록 형성된다. 외측벽(142)은 내측벽(141)으로부터 이격된 위치에 배치될 수 있으며, 상기 하우징(110)보다 더 큰 필터 프레임(140)의 둘레를 형성할 수 있다.Referring to FIGS. 2 and 3 , the filter frame 140 specifically includes an inner wall 141 and an outer wall 142 . The inner wall 141 is disposed relatively close to the filter 130 to enclose the filter 130 . The inner wall 141 may be formed to surround a portion corresponding to the side of the filter 130 and may be disposed to face the side of the filter 130 . The outer wall 142 is disposed outside the inner wall 141 and is formed to surround the inner wall 141 . The outer wall 142 may be disposed at a position spaced apart from the inner wall 141 and may form a circumference of the filter frame 140 that is larger than the housing 110 .

자가 환류 풍도(FD)는 상기 내측벽(141)과 상기 외측벽(142) 사이에 형성될 수 있다. 자가 환류 풍도(FD)는 필터(130)의 일 측과 타 측에 각각 형성될 수 있으며, 여기서 필터(130)의 일 측과 타 측이란 필터(130)를 기준으로 서로 반대쪽을 의미한다. 자가 환류 풍도(FD)는 필터(130)의 양 측 변을 따라 선형으로 형성될 수 있다.A self-reflux airflow (FD) may be formed between the inner wall 141 and the outer wall 142 . The self-reflux airflow (FD) may be formed on one side and the other side of the filter 130, respectively, where one side and the other side of the filter 130 mean opposite sides of the filter 130. The self-reflux frequency (FD) may be formed linearly along both sides of the filter 130.

도면에 도시된 바와 달리 자가 환류 풍도(FD)는 필요에 따라 필터(130)의 4방에 각각 형성되는 것도 가능하다. 이 경우 각각의 자가 환류 풍도(FD)는 필터(130)의 4방 측 변을 따라 선형으로 형성될 수 있으며, 하나의 정사각형 또는 직사각형 형상으로 형성될 수 있다.Unlike what is shown in the drawing, the self-reflux airflow (FD) may be formed in each of the four rooms of the filter 130 as needed. In this case, each self-reflux airflow (FD) may be formed linearly along the four sides of the filter 130, and may be formed in a square or rectangular shape.

필터 프레임(140)은 내측벽(141)과 상기 외측벽(142) 사이에 형성되는 공간을 통해 자가 환류 풍도(FD)를 형성하며, 상기 외측벽(142)이 상기 하우징(110)보다 더 큰 둘레를 형성하면서 자가 환류 풍도(FD)를 형성하므로, 이러한 풍도(FD)는 결국 필터(130)를 통과하지 않는 별도의 풍도관으로 형성되어 필터(130)의 하류측 공기를 상류측으로 환류시키는 작용을 한다.The filter frame 140 forms a self-reflux airflow (FD) through a space formed between the inner wall 141 and the outer wall 142, and the outer wall 142 has a larger circumference than the housing 110. Since the self-reflux air flow (FD) is formed while forming, this wind air flow (FD) is eventually formed as a separate air flow pipe that does not pass through the filter 130, and serves to reflux the downstream air of the filter 130 to the upstream side. .

외측벽(142)이 하우징(110)보다 더 큰 필터 프레임(140)의 둘레를 형성함에 따라 자가 환류 풍도(FD)를 통해 환류되는 공기는 하우징(110)의 측면을 마주하는 영역을 따라 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)의 하류측에서 다시 상류측으로 환류된다.As the outer wall 142 forms a circumference of the filter frame 140 that is larger than the housing 110, the air that is refluxed through the self-reflux airflow (FD) flows along the area facing the side of the housing 110 as a hybrid fan filter. On the downstream side of the unit module system 100, it is refluxed back upstream.

이러한 자가 환류 풍도(FD) 구조는 필터(130)의 크기에 비례하여 사이즈가 용이하게 조절되어 설치될 수 있고, 적절한 세기로 팬(121)을 구동하는 경우에도 필터(130)의 양측에서 원활하게 자가 환류를 생성할 수 있도록 하며, 전체적인 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)의 크기와 구조를 콤팩트하게 설계 적용할 수 있도록 하는 장점이 있다.This self-reflux airflow (FD) structure can be easily installed and adjusted in size in proportion to the size of the filter 130, and can be smoothly installed on both sides of the filter 130 even when the fan 121 is driven with an appropriate strength. There is an advantage in that self-reflux can be generated and the size and structure of the entire hybrid fan filter unit module system 100 can be compactly designed and applied.

한편, 필터 프레임(140)의 하측에는 공기 유입홀(171)이 형성된 하부 커버(170)가 구비될 수 있다. 이러한 하부 커버(170)에는 조명부(160)의 적어도 일부를 지지할 수 있도록 조명부(160)가 설치된 측에 지지부(172)가 형성될 수 있다. 지지부(172)의 구조에 대하여는 도 4를 참조하여 다시 후술한다.Meanwhile, a lower cover 170 having an air inlet hole 171 may be provided at a lower side of the filter frame 140 . A support unit 172 may be formed on the side where the lighting unit 160 is installed to support at least a portion of the lighting unit 160 in the lower cover 170 . The structure of the support part 172 will be described again with reference to FIG. 4 .

상기 조명부(160)의 구조나 종류는 특별히 제한되지 않으며, 예를 들어, 패널상에 LED 칩이 다수 배치된 LED 모듈을 포함할 수 있다. 또한, 이러한 LED 모듈이 후술하는 자가 환류 풍도(FD) 등에 배치되었을 경우, LED 모듈의 손상이나 변형을 방지할 수 있도록, 보호 커버(162)가 결합된 광원 조립체 형태의 조명부(160)로도 구현될 수 있다.The structure or type of the lighting unit 160 is not particularly limited, and may include, for example, an LED module in which a plurality of LED chips are disposed on a panel. In addition, when such an LED module is disposed in a self-reflux air flow (FD), which will be described later, the lighting unit 160 in the form of a light source assembly coupled with a protective cover 162 can be implemented to prevent damage or deformation of the LED module. can

도 4는 도 3의 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템의 자가 환류 풍도 및 조명 PCB 모듈이 형성된 필터 프레임 부분을 확대하여 나타낸 부분 확대도이며, 도 5는 도 4에 도시된 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템의 필터 프레임 상부 커버 및 노브 부분을 확대하여 나타낸 부분 확대도다.FIG. 4 is an enlarged partial enlarged view of a filter frame portion in which a self-reflux wind speed and a lighting PCB module of the hybrid fan filter unit module system of FIG. 3 are formed, and FIG. 5 is a filter of the hybrid fan filter unit module system shown in FIG. 4 It is a partially enlarged view showing the frame upper cover and knob part enlarged.

자가 환류 풍도(FD)를 형성하는 내측벽(141)과 외측벽(142)은 각각 2개의 패널이 서로 마주보는 구조로 형성될 수 있다. 이 때 내측벽(141)에 포함되는 2개의 패널을 각각 제1 내측벽(141a)과 제2 내측벽(141c)으로 이름할 수 있고, 외측벽(142)에 포함되는 2개의 패널을 각각 제1 외측벽(141a)과 제2 외측벽(142c)으로 이름할 수 있다.The inner wall 141 and the outer wall 142 forming the self-reflux airflow (FD) may be formed in a structure in which two panels face each other. At this time, the two panels included in the inner wall 141 may be respectively referred to as the first inner wall 141a and the second inner wall 141c, and the two panels included in the outer wall 142 may be respectively referred to as the first inner wall 141a and the second inner wall 141c. It may be named as an outer wall 141a and a second outer wall 142c.

제1 내측벽(141a)은 자가 환류 풍도(FD) 쪽으로 배치되고, 제2 내측벽(141c)은 필터(130) 쪽으로 배치된다. 제1 내측벽(141a)과 제2 내측벽(141c)은 필터(130)의 측 방향을 기준으로 서로 이격된 위치에서 서로를 마주보도록 배치된다. 제1 내측벽(141a)과 제2 내측벽(141c)은 상하에서 서로 연결될 수 있다.The first inner wall 141a is disposed toward the self-reflux airflow (FD), and the second inner wall 141c is disposed toward the filter 130 . The first inner wall 141a and the second inner wall 141c are disposed to face each other at positions spaced apart from each other with respect to the lateral direction of the filter 130 . The first inner wall 141a and the second inner wall 141c may be connected to each other from above and below.

마찬가지로 제1 외측벽(142a)은 자가 환류 풍도(FD) 쪽으로 배치되고, 제2 외측벽(142c)은 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)의 외측 방향으로 배치된다. 제1 외측벽(142a)과 제2 외측벽(142c)은 필터(130)의 측 방향을 기준으로 서로 이격된 위치에서 서로를 마주보도록 배치된다. 제1 외측벽(142a)과 제2 외측벽(142c)은 상하에서 서로 연결될 수 있다.Likewise, the first outer wall 142a is disposed toward the self-reflux airflow (FD), and the second outer wall 142c is disposed toward the outside of the hybrid fan filter unit module system 100 . The first outer wall 142a and the second outer wall 142c are disposed to face each other at positions spaced apart from each other based on the lateral direction of the filter 130 . The first outer wall 142a and the second outer wall 142c may be connected to each other from above and below.

자가 환류 풍도(FD)의 형성에 실질적으로 기여하는 부분은 제1 내측벽(141a)과 제1 외측벽(142a)이다. 앞서 설명된 하부 커버(170)는 외측벽(142)의 하단 혹은 제1 외측벽(142a)의 하단에서 내측으로 돌출 및/또는 연장되는 부분에 해당할 수 있다. 이 경우 하부 커버(170)와 외측벽(142)은 단일 부재로 형성될 수 있다.Parts that substantially contribute to the formation of the self-reflux airflow (FD) are the first inner wall 141a and the first outer wall 142a. The aforementioned lower cover 170 may correspond to a portion protruding and/or extending inward from the lower end of the outer wall 142 or the lower end of the first outer wall 142a. In this case, the lower cover 170 and the outer wall 142 may be formed as a single member.

이러한 이중 패널 구조의 내측벽(141)과 외측벽(142)에는 필터 프레임(140)의 상부 커버(151)의 양 단부(151b, 151c)를 안착시켜 지지할 수 있도록, 상부 커버 안착부(141b 142b)가 각각 형성될 수 있다. 상부 커버 안착부의 구별을 위해 제1 과 제2 라는 서수가 부기될 수 있다.Both ends 151b and 151c of the upper cover 151 of the filter frame 140 can be seated and supported on the inner wall 141 and the outer wall 142 of the double panel structure, so that the upper cover mounting portions 141b 142b ) can be formed, respectively. In order to distinguish the upper cover mounting portion, ordinal numbers of first and second may be added.

내측벽(141)에 형성되는 제1 상부 커버 안착부(141b)는 제1 내측벽(141a)과 제2 내측벽(141c)의 사이에서 단차를 형성하여 구성될 수 있다. 제1 상부 커버 안착부(141b)의 단차는 자가 환류 풍도(FD)의 연장 방향을 따라 연장될 수 있으며, 상기 상부 커버(151)의 높이와 실질적으로 동일할 수 있다. 상부 커버(151)의 높이는 위치 별로 일정하지 않을 수 있기 때문에, 여기서 상부 커버(151)의 높이란 상기 제1 상부 커버 안착부(141b)에 안착되는 부분의 높이를 가리킨다.The first upper cover seating portion 141b formed on the inner wall 141 may be formed by forming a step between the first inner wall 141a and the second inner wall 141c. The step of the first upper cover mounting portion 141b may extend along the extension direction of the self-reflux airflow FD and may be substantially equal to the height of the upper cover 151 . Since the height of the upper cover 151 may not be constant for each position, the height of the upper cover 151 here refers to the height of a portion seated on the first upper cover mounting portion 141b.

외측벽(142)에 형성되는 제2 상부 커버 안착부(142b)는 제1 외측벽(142a)에서 내측으로 돌출되어 형성될 수 있다. 제2 상부 커버 안착부(142b)가 돌출되는 위치는 제1 외측벽(142a)의 상단과 하단 사이이며, 이에 따라 제2 상부 커버 안착부(142b)와, 제1 외측벽(142a)의 상단 사이에도 단차가 형성된다. 이 단차 또한 상부 커버(151)의 높이와 실질적으로 동일할 수 있으며, 상부 커버(151)의 높이의 의미에 대한 설명은 앞서 설명으로 갈음한다.The second upper cover mounting portion 142b formed on the outer wall 142 may protrude inward from the first outer wall 142a. The protruding position of the second upper cover mounting portion 142b is between the upper and lower ends of the first outer wall 142a, and thus also between the second upper cover mounting portion 142b and the upper end of the first outer wall 142a. A step is formed. This level difference may also be substantially the same as the height of the upper cover 151, and the description of the meaning of the height of the upper cover 151 is replaced with the previous description.

위에서 설명된 두 상부 커버 안착부(141b, 142b)의 형상은 서로 바뀔 수 있으며, 하나의 구조로 통일될 수도 있다. 필터 프레임(140)은 상부 커버(151)를 포함한다. 상기 상부 커버(151)는 내측벽(141)과 상기 외측벽(142)의 사이에 형성되어 상기 자가 환류 풍도(FD)의 상부를 덮는다. 상부 커버(151)는 자가 환류 풍도(FD)를 따라 선형으로 연장되는 구조를 갖는다.The shapes of the two upper cover mounting portions 141b and 142b described above may be interchanged or may be unified into one structure. The filter frame 140 includes an upper cover 151. The upper cover 151 is formed between the inner wall 141 and the outer wall 142 to cover the upper part of the self-reflux air flow (FD). The upper cover 151 has a structure extending linearly along the self-reflux airflow (FD).

상부 커버(151)는 상기 자가 환류 풍도(FD)의 연장 방향을 따라 서로 이격된 위치에 형성되는 복수의 환풍홀(151a)을 구비한다. 환풍홀(151a)은 환류량 조절을 위한 구성이다.The upper cover 151 includes a plurality of ventilation holes 151a formed at positions spaced apart from each other along the extension direction of the self-reflux airflow FD. The ventilation hole 151a is a configuration for adjusting the amount of reflux.

상기 상부 커버(151)에는 환류량 조절 커버(152)가 더 구비될 수 있는데, 환류량 조절 커버(152)는 상부 커버(151)의 상측 또는 하측에 설치된다. 환류량 조절 커버(152)는 상부 커버(151)에 대응되는 형상을 가질 수 있으며, 예컨대 자가 환류 풍도(FD)를 따라 선형으로 연장되는 구조를 가질 수 있다.The upper cover 151 may further include a reflux control cover 152 , and the reflux control cover 152 is installed on the upper or lower side of the upper cover 151 . The reflux control cover 152 may have a shape corresponding to that of the upper cover 151, and may have, for example, a structure extending linearly along the self-reflux air flow FD.

환류량 조절 커버(152)는 상기 자가 환류 풍도(FD)의 연장 방향을 따라 슬라이딩 이동 가능하게 형성된다. 그리고 환류량 조절 커버(152)는 상기 상부 커버(151)에 형성되는 복수의 환풍홀(151a)의 대응위치에 형성되는 복수의 환류량 조절홀(152a)을 구비한다.The reflux control cover 152 is formed to be slidably movable along the extending direction of the self reflux airflow (FD). Further, the reflux amount control cover 152 includes a plurality of reflux amount control holes 152a formed at corresponding positions of the plurality of ventilation holes 151a formed in the upper cover 151 .

도 4에 도시된 환류량 조절 커버(152)의 경우, 상부 커버(151)의 하측에 배치되어 자가 환류 풍도(FD)의 연장 방향을 따라 슬라이딩 가능하게 형성되어 있다.In the case of the reflux control cover 152 shown in FIG. 4, it is disposed on the lower side of the upper cover 151 and is slidably formed along the extension direction of the self reflux flow rate FD.

여기서, 상기 상부 커버(151)에 형성되는 복수의 환풍홀(151a)의 개구율은 상기 환류량 조절 커버(152)의 슬라이딩 이동에 따른 상기 복수의 환풍홀(151a)과 상기 복수의 환류량 조절홀(152a) 간 오버랩 비율에 따라 결정될 수 있다. 개구율의 조절은 자동 또는 수동으로 이루어질 수 있다.Here, the opening ratio of the plurality of ventilation holes 151a formed in the upper cover 151 is determined by the plurality of ventilation holes 151a and the plurality of ventilation holes 151a according to the sliding movement of the return amount control cover 152. It may be determined according to the overlap ratio between (152a). Adjustment of the aperture ratio can be done automatically or manually.

예컨대 개구율 조절을 수동으로 조작하고자 하는 경우, 상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)은 상기 환류량 조절 커버(152)에 결합되어 상기 환류량 조절 커버(152)의 슬라이딩 이동을 조절하는 노브(153)를 더 포함하고, 상기 상부 커버(151)에는 상기 노브(153)의 이동 가능 범위를 설정하는 장공(156)이 형성될 수 있다.For example, when manually adjusting the aperture ratio, the hybrid fan filter unit module system 100 is coupled to the reflux control cover 152 and adjusts the sliding movement of the reflux control cover 152 (153). ), and a long hole 156 for setting a movable range of the knob 153 may be formed in the upper cover 151 .

즉, 상기 필터 프레임(140)은 복수의 환풍홀(151a)이 형성된 상부 커버(151)와 상기 복수의 환풍홀(151a)의 대응위치에 형성되는 복수의 환류량 조절홀(152a)을 구비하는 환류량 조절 커버(152)를 포함하고, 상기 상부 커버(151)에 형성되는 복수의 환풍홀(151a)의 개구율이 상기 환류량 조절 커버(152)의 슬라이딩 이동에 따른 상기 복수의 환풍홀(151a)과 상기 복수의 환류량 조절홀(152a) 사이의 오버랩 비율에 따라 결정되도록 형성됨으로써, 상기 자가 환류 풍도(FD)의 환류량을 편리하게 조절할 수 있다.That is, the filter frame 140 is provided with an upper cover 151 having a plurality of ventilation holes 151a and a plurality of reflux control holes 152a formed at corresponding positions of the plurality of ventilation holes 151a. It includes a reflux amount control cover 152, and the opening ratio of the plurality of ventilation holes 151a formed in the upper cover 151 is adjusted according to the sliding movement of the reflux amount control cover 152. ) and the plurality of reflux control holes 152a, the reflux amount of the self reflux air flow FD can be conveniently adjusted.

더욱이, 필터 프레임(140)은 환류량 조절 커버(152)에 결합되어 상기 환류량 조절 커버(152)의 슬라이딩 이동을 조절하는 노브(153)를 더 포함하고, 상기 상부 커버(151)에는 상기 노브(153)의 이동 가능 범위를 설정하는 장공(156)이 형성되도록 이루어진다. 따라서, 사용자가 수동으로 상기 노브(153)를 잡고, 상기 환류량 조절 커버(152)의 슬라이딩 이동시켜 상기 복수의 환풍홀(151a)의 개구율을 조절함으로써, 상기 자가 환류 풍도(FD)의 환류량을 더욱 편리하게 조절할 수 있다.Furthermore, the filter frame 140 further includes a knob 153 coupled to the reflux control cover 152 to adjust the sliding movement of the reflux control cover 152, and the knob 153 is provided on the upper cover 151. It is made so that a long hole 156 for setting the movable range of 153 is formed. Therefore, the user manually holds the knob 153 and slides the reflux amount control cover 152 to adjust the opening ratio of the plurality of ventilation holes 151a, thereby adjusting the reflux amount of the self-reflux air flow rate FD. can be adjusted more conveniently.

개구율 조절은 반드시 상부 커버(151)를 통해 이루어져야 하는 것은 아니고, 하부 커버(170)에서 이루어지는 것도 가능하다. 이 경우, 환류량 조절 커버(152)는 하부 커버(170)의 상측 또는 하측에 위치하게 된다. 이와 같이 개구율 조절은 상부 커버(151)나 하부 커버(170) 중 어느 하나에서 이루어질 수 있으므로 이 명세서에서 상부 커버(151)와 하부 커버(170)를 구분하지 않고, 단순히 커버라고만 한다면 이는 상부 커버(151)와 하부 커버(170) 중 어느 하나를 가리키는 것으로 이해되어야 한다.Adjustment of the aperture ratio does not necessarily have to be performed through the upper cover 151, but may also be performed through the lower cover 170. In this case, the reflux control cover 152 is located above or below the lower cover 170 . In this way, since the adjustment of the aperture ratio can be performed in either the upper cover 151 or the lower cover 170, in this specification, the upper cover 151 and the lower cover 170 are not distinguished, and if simply a cover, this is an upper cover ( 151) and the lower cover 170.

한편, 필터 프레임(140)의 내측에는 조명부(160)가 설치된다. 여기서 필터 프레임(140)의 내측이란 자가 환류 풍도(FD)를 가리킨다.Meanwhile, the lighting unit 160 is installed inside the filter frame 140 . Here, the inside of the filter frame 140 refers to the self-reflux airflow (FD).

조명부(160)는 조명 PCB 모듈(161)과 도광판(165a), 확산판(165b)을 포함한다.The lighting unit 160 includes a lighting PCB module 161, a light guide plate 165a, and a diffusion plate 165b.

조명 PCB 모듈(161)이란, 광원 실장 PCB(163), 전원 공급부(164), 보호 커버(162)의 결합체를 가리킨다. 조명 PCB 모듈(161)은 필터 프레임(140)의 내측에 설치된다.The lighting PCB module 161 refers to a combination of a light source mounting PCB 163, a power supply unit 164, and a protective cover 162. The lighting PCB module 161 is installed inside the filter frame 140 .

광원 실장 PCB(163)는 광원이 실장되어 있는 PCB를 가리키는 것으로, 광원은 LED일 수 있다. 광원 실장 PCB(163)는 보호 커버(162)에 설치되며, 광원은 측 방향으로 발광한다. 여기서 측 방향이란 도 4를 기준으로 수평 방향을 가리키며, 필터 프레임(140)의 하부에서 필터(130)의 하측을 향하는 방향에 해당한다.The light source mounting PCB 163 refers to a PCB on which a light source is mounted, and the light source may be an LED. The light source mounting PCB 163 is installed on the protective cover 162, and the light source emits light in a lateral direction. Here, the lateral direction refers to a horizontal direction with reference to FIG. 4 , and corresponds to a direction from the bottom of the filter frame 140 to the bottom of the filter 130 .

전원 공급부(164)는 광원이 발광할 수 있도록 전기적 전원을 공급하는 구성으로 보호 커버(162)에 설치된다. 전원 공급부(164)의 설치 위치는 보호 커버(162)에서 광원의 반대쪽일 수 있으며, 이에 따라 전원 공급부(164)는 자가 환류 풍도(FD)에 노출될 수 있다.The power supply unit 164 is installed in the protective cover 162 to supply electrical power so that the light source can emit light. The installation position of the power supply unit 164 may be on the opposite side of the light source from the protective cover 162, and thus the power supply unit 164 may be exposed to self-reflux airflow (FD).

도광판(165a)은 광원에서 조사되는 빛을 가이드 하는 구성이고, 확산판(165b)은 상기 도광판(165a)에 의해 가이드되는 빛을 확산시키는 구성이다. 도광판(165a)과 확산판(165b)을 통합하여 광학판(165)으로 이름할 수 있다. 도광판(165a)과 확산판(165b)은 자가 환류 풍도(FD)와 나란하게 선형으로 형성된다. 확산판(165b)은 도광판(165a)의 하측에 배치된다.The light guide plate 165a guides the light emitted from the light source, and the diffusion plate 165b diffuses the light guided by the light guide plate 165a. The light guide plate 165a and the diffusion plate 165b may be collectively referred to as an optical plate 165 . The light guide plate 165a and the diffusion plate 165b are formed linearly parallel to the self-reflux airflow (FD). The diffusion plate 165b is disposed below the light guide plate 165a.

도광판(165a)의 일 단은 필터 프레임(140)의 내측에서 광원과 마주한다. 광원으로부터 측 방향으로 조사되는 빛은 도광판(165a)으로 입사되고, 빛은 도광판(165a)에 의해 필터의 하측으로 조사되도록 가이드 된다. 확산판(165b)은 도광판(165a)에 의해 가이드 된 빛을 확산시켜 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)의 하측으로 밝게 조명한다.One end of the light guide plate 165a faces the light source inside the filter frame 140 . Light radiated from the light source in a lateral direction is incident on the light guide plate 165a, and the light is guided by the light guide plate 165a to be irradiated to the lower side of the filter. The diffusion plate 165b diffuses the light guided by the light guide plate 165a and brightly illuminates the lower side of the hybrid fan filter unit module system 100 .

조명 PCB 모듈(161)이 설치되기 전 도광판(165a)의 일측 단부는 자가 환류 풍도(FD)에 노출되어 있다. 조명 PCB 모듈(161)이 상기 자가 환류 풍도(FD) 내에서 상기 필터 프레임(140)의 내측벽(141)을 향해 접근하여 상기 내측벽(141)에 결합되면 상기 광원이 상기 도광판(165a)과 자연스럽게 마주하게 된다. 자가 환류 풍도(FD) 내에서 광원과 도광판(165a)은 서로 자연스럽게 마주볼 수 있는 높이에 형성된다.Before the lighting PCB module 161 is installed, one end of the light guide plate 165a is exposed to the self-reflux airflow FD. When the lighting PCB module 161 approaches the inner wall 141 of the filter frame 140 within the self-reflux airflow (FD) and is coupled to the inner wall 141, the light source is connected to the light guide plate 165a. meet naturally. The light source and the light guide plate 165a are formed at a height where they can naturally face each other within the self-reflux airflow (FD).

다만, 여기서 마주하는 높이란 완전한 수평 방향에 한정되는 개념은 아니다. 마주하는 높이란 광원에서 측방향으로 발광되는 빛이 도광판(165a)에 입사될 수 있는 높이라고 이해되어야 한다.However, the height encountered here is not a concept limited to a completely horizontal direction. It should be understood that the facing height is a height at which light emitted from a light source in a lateral direction can be incident on the light guide plate 165a.

보호 커버(162)는 자가 환류 풍도(FD) 내에서 광원과 도광판(165a)의 상호 대면 부위를 보호한다. 예컨대 내측벽(141)에는 보호 커버 안착부(141d)가 자가 환류 풍도(FD)를 향해 돌출된다. 상기 보호 커버 안착부(141d)는 내측벽(141)의 상단과 하단 사이에서 자가 환류 풍도(FD) 쪽으로 돌출되며, 자가 환류 풍도(FD)를 따라 선형으로 연장될 수 있다.The protective cover 162 protects a mutually facing portion of the light source and the light guide plate 165a within the self-reflux airflow (FD). For example, on the inner wall 141, the protective cover seating portion 141d protrudes toward the self-reflux air flow FD. The protective cover seating portion 141d protrudes toward the self-reflux air flow FD between the upper and lower ends of the inner wall 141 and may extend linearly along the self-reflux air flow FD.

조명 PCB 모듈(161)이 자가 환류 풍도(FD) 내에서 필터 프레임(140)의 내측벽(141)을 향해 측방향으로 접근하면, 보호 커버(162)의 적어도 일부가 보호 커버 안착부(141d)에 안착된다. 광원과 도광판(165a)이 서로 자연스럽게 마주보는 높이에 위치할 수 있도록 하는 기구적 설정은 보호 커버(162)가 보호 커버 안착부(141d)에 안착되는 구조를 통해 구현될 수 있다.When the lighting PCB module 161 approaches the inner wall 141 of the filter frame 140 in the lateral direction within the self-reflux airflow (FD), at least a portion of the protective cover 162 is attached to the protective cover mounting portion 141d. settled in Mechanistic settings for positioning the light source and the light guide plate 165a at a height naturally facing each other may be implemented through a structure in which the protective cover 162 is seated on the protective cover mounting portion 141d.

여기서 보호 커버(162)의 적어도 일부란 보호 커버(162)의 상부 연결부(162a)를 가리킨다. 보호 커버(162)는 결합 위치 설정과 고정을 위해 내측벽(141)쪽으로 돌출되는 상부 연결부(162a)와 하부 연결부(162b)를 포함하는데, 상부 연결부(162a)는 보호 커버 안착부(141d)에 안착되고, 하부 연결부(162b)는 도광판(165a)의 상측에 안착된다.Here, at least a part of the protective cover 162 refers to the upper connection portion 162a of the protective cover 162 . The protective cover 162 includes an upper connecting portion 162a and a lower connecting portion 162b protruding toward the inner wall 141 for setting and fixing the coupling position, and the upper connecting portion 162a is attached to the protective cover mounting portion 141d. and the lower connection part 162b is seated on the upper side of the light guide plate 165a.

상부 연결부(162a)는 보호 커버 안착부(141d)에 안착되기 위해 보호 커버 안착부(141d)보다 높은 위치에서 돌출된다. 상부 연결부(162a)는 보호 커버 안착부(141d)와 마찬가지로 자가 환류 풍도(FD)를 따라 선형 연장될 수 있다. 보호 커버(162)가 보호 커버 안착부(141d)에 안착된 상태에서 볼트 등의 체결부재(미도시)가 보호 커버와 보호 커버 안착부(141d)를 관통하도록 설치되면, 보호 커버(162)의 고정이 이루어진다.The upper connecting portion 162a protrudes from a higher position than the protective cover mounting portion 141d to be seated on the protective cover mounting portion 141d. The upper connection portion 162a may linearly extend along the self-reflux airflow FD, similarly to the protective cover seating portion 141d. When a fastening member (not shown) such as a bolt is installed to pass through the protective cover and the protective cover seating portion 141d while the protective cover 162 is seated on the protective cover seating portion 141d, the fixation is made

하부 연결부(162b)는 상부 연결부(162a)보다 낮은 위치에서 돌출되어 도광판(165a)의 상측에 안착된다. 하부 연결부(162b)는 도광판(165a)의 상면에 직접 안착될 수도 있으나, 도광판(165a)과 하부 연결부(184)의 사이에 평평한 형태의 다른 부재가 위치할 수도 있다.The lower connection part 162b protrudes from a position lower than the upper connection part 162a and is seated on the upper side of the light guide plate 165a. The lower connection part 162b may be directly seated on the upper surface of the light guide plate 165a, or another flat member may be positioned between the light guide plate 165a and the lower connection part 184.

하부 연결부(162b)는 사선 방향으로 하향 돌출될 수 있다. 광원은 보호 커버(162)의 하단과 보호 커버(162)의 하부 연결부(162b)의 사이에 위치할 수 있으며 보호 커버(162)의 하단은 광원의 수용을 위해 절곡되어 있을 수 있다. 광원의 위치와 하부 연결부(162b)의 구조는 하부 연결부(162b)에 탄성력을 부여할 수 있으며, 하부 연결부(162b)로 하여금 도광판(165a)의 상부를 적당히 가압하여 텐션을 유지할 수 있도록 한다. 또한, 이는 도광판(165a)과 광원 간의 대면 위치를 설정할 수 있게 한다.The lower connection portion 162b may protrude downward in an oblique direction. The light source may be located between the lower end of the protective cover 162 and the lower connection portion 162b of the protective cover 162, and the lower end of the protective cover 162 may be bent to accommodate the light source. The location of the light source and the structure of the lower connection portion 162b may impart elasticity to the lower connection portion 162b, and allow the lower connection portion 162b to properly press the upper portion of the light guide plate 165a to maintain tension. Also, this makes it possible to set the facing position between the light guide plate 165a and the light source.

조명부(160)의 이와 같은 설치 및 분리 가능 구조는 필터 프레임(140)의 내측벽(141)과 외측벽(142) 사이에 형성되는 자가 환류 풍도(FD) 공간을 통해 사용자가 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100) 상부에서 조명부(160) 편리한 유지보수가 가능하게 하여 사용자의 편의성을 증대시킬 수 있다.Such an installable and detachable structure of the lighting unit 160 allows the user to use the hybrid fan filter unit module system through the FD space formed between the inner wall 141 and the outer wall 142 of the filter frame 140. (100) Convenient maintenance of the lighting unit 160 at the top is possible, thereby increasing user convenience.

이러한, 조명 PCB 모듈(161)의 설치 및 고정 구조는 상기와 같은 구성에 특별히 한정되지 않으며, 다양한 변형이 적용될 수 있다.The installation and fixing structure of the lighting PCB module 161 is not particularly limited to the above configuration, and various modifications may be applied.

내측벽(141)의 하단에는 하부가 개방된 구조로서, 도광판(165a) 및/또는 확산판(161b)을 고정하는 장착부(141e)가 형성될 수 있다. 장착부(141e)는 하부가 개방되어 있되, 나머지 부분은 도광판(165a)과 확산판(161b)을 감싼다.At the lower end of the inner wall 141, a mounting portion 141e having an open lower portion may be formed to fix the light guide plate 165a and/or the diffusion plate 161b. The lower portion of the mounting portion 141e is open, and the remaining portion surrounds the light guide plate 165a and the diffusion plate 161b.

장착부(141e)는 내측벽(141)과 외측벽(142)에 의해 형성될 수 있다. 예컨대 도 4에 도시된 바와 같이 내측벽(141)은 도광판(165a)의 상부를 덮고, 도광판(165a)과 확산판(161b)의 일 측 측면을 감싸며, 일 측 하부를 지지한다. 외측벽(142)은 도광판(165a)의 타 측 하부를 지지한다. 도광판(165a)과 확산판(161b)의 하측에서 내측벽(141)과 외측벽(142)이 서로 이격되어 있어 장착부(141e)가 하측으로 개방된 구조를 갖는다.The mounting portion 141e may be formed by the inner wall 141 and the outer wall 142 . For example, as shown in FIG. 4 , the inner wall 141 covers the upper part of the light guide plate 165a, surrounds one side surface of the light guide plate 165a and the diffusion plate 161b, and supports the lower part of one side. The outer wall 142 supports the lower portion of the other side of the light guide plate 165a. At the lower side of the light guide plate 165a and the diffusion plate 161b, the inner wall 141 and the outer wall 142 are spaced apart from each other, so that the mounting portion 141e is open downward.

도광판(165a)의 일 단은 내측벽(141)과 외측벽(142) 사이에 측 방향으로 개구되는 틈을 통해 필터 프레임(140)의 내측으로 삽입된다. 그리고 삽입된 도광판(165a)의 일 단에 앞서 설명된 광원이 마주하게 된다.One end of the light guide plate 165a is inserted into the filter frame 140 through a gap opened in the lateral direction between the inner wall 141 and the outer wall 142 . Also, the aforementioned light source faces one end of the inserted light guide plate 165a.

이러한 장착부(141e)는 상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)이 필터 프레임(140)에 조명부(160)를 장착한 상태에서도 콤팩트한 구조를 유지하면서 하측으로 효과적으로 빛을 조사할 수 있도록 하며, 도광판(165a)과 확산판(161b)을 상기 필터 프레임(140)에 편리하고 안정적으로 장착할 수 있도록 하는 장점이 있다.The mounting portion 141e enables the hybrid fan filter unit module system 100 to effectively irradiate light downward while maintaining a compact structure even when the lighting unit 160 is mounted on the filter frame 140, and the light guide plate 165a and the diffusion plate 161b can be conveniently and stably mounted on the filter frame 140.

도 6은 본 발명에서 제공하는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템의 구동에 따른 클린룸내 풍속 상태(b)와 종래 팬 필터 유닛의 구동에 따른 클린룸내 풍속 상태(a)를 비교하여 나타낸 개념도다.6 is a conceptual diagram showing a comparison between a wind speed state (b) in a clean room according to driving of a hybrid fan filter unit module system provided by the present invention and a wind velocity state (a) in a clean room according to driving of a conventional fan filter unit.

상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)은 앞서 설명한 바와 같이 필터 프레임(140)의 일측에 형성된 자가 환류 풍도(FD)를 통해, 팬 필터 유닛의 필터(130) 상류측과 하류측 사이를 순환하는 리턴 풍도를 생성하여 클린룸 내의 환류량을 조절하고, 순환풍량을 저감시킬 수 있다.As described above, the hybrid fan filter unit module system 100 circulates between the upstream side and the downstream side of the filter 130 of the fan filter unit through the self-reflux airflow (FD) formed on one side of the filter frame 140. It is possible to generate return airflow to adjust the amount of reflux in the clean room and reduce the amount of circulating wind.

이와 관련하여, 도 6의 (a)를 참조하면, 클린룸 상부에서 기외정압이 존 별로 상이한 것을 알 수 있는데, 기외정압 별로 필터 정압이 다르게 운전되며, 이로 인해 종래에는 클린룸 내 다수의 팬 필터 유닛의 간 풍속의 불균형이 발생하게 된다. 특히 기외정압이 낮은 존에서 팬 필터 유닛의 팬이 과도하게 빠른 속도로 운용됨에 따라 에너지 낭비가 발생하게 되는 문제가 있었다.In this regard, referring to (a) of FIG. 6, it can be seen that the outside static pressure is different for each zone at the top of the clean room, and the filter static pressure is operated differently for each outside static pressure, and thus, conventionally, a plurality of fan filters in the clean room An imbalance in wind speed between units occurs. In particular, as the fan of the fan filter unit operates at an excessively high speed in a zone where the outside static pressure is low, there is a problem in that energy is wasted.

그러나, 상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)을 클린룸에 적용한 경우, 이러한 문제를 해결할 수 있다. 이를 위해서는 먼저 제어 모듈(190)에 구비되는 정압 측정 센서 또는 차압 측정 센서를 상기 필터(130)의 하류측 공기가 흐르는 영역에 차압 측정 연결부로 연결하여 정압 또는 차압을 측정할 수 있어야 한다.However, when the hybrid fan filter unit module system 100 is applied to a clean room, this problem can be solved. To this end, first, the static pressure measurement sensor or the differential pressure measurement sensor provided in the control module 190 must be connected to the area where air flows downstream of the filter 130 through a differential pressure measurement connection so that the static pressure or the differential pressure can be measured.

즉, 상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)은 상기 필터(130)의 상류측과 상기 필터의 하류측의 차압을 측정하는 차압 측정 센서를 제어 모듈(190)에 구비할 수 있다. 차압 측정 센서는 1지점과 2지점의 차압을 측정하도록 형성되며, 예컨대 1지점은 필터(130)의 상류측 영역, 2지점은 필터(130)의 하류측 영역에 해당한다.That is, the hybrid fan filter unit module system 100 may include a differential pressure measuring sensor in the control module 190 that measures the differential pressure between the upstream side of the filter 130 and the downstream side of the filter. The differential pressure measuring sensor is formed to measure the differential pressure between one point and two points. For example, point 1 corresponds to an upstream area of the filter 130 and point 2 corresponds to a downstream area of the filter 130 .

또한, 상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)은 차압 측정 센서의 차압 측정을 가능하게 하도록 차압 측정 연결부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 차압 측정 연결부는 상기 차압 측정 센서의 2지점 측정부와, 상기 필터(130)의 하류측 공기가 흐르는 영역에 연결된다. 여기서, 상기 차압 측정 연결부의 소재나 구조 등은 특별히 제한되지 않으며, 예를 들어 피팅과 호스로 형성될 수 있다. 피팅은 하우징(110)에 설치될 수 있으며, 차압 측정 연결부는 하우징(110)이나 필터 프레임(140)의 적어도 일부를 관통할 수 있다.In addition, the hybrid fan filter unit module system 100 may further include a differential pressure measurement connector (not shown) to enable the differential pressure measurement of the differential pressure measurement sensor. The differential pressure measurement connection unit is connected to the two-point measurement unit of the differential pressure measurement sensor and an area where air flows downstream of the filter 130 . Here, the material or structure of the differential pressure measurement connector is not particularly limited, and may be formed of, for example, a fitting and a hose. The fitting may be installed in the housing 110 , and the differential pressure measurement connector may pass through at least a portion of the housing 110 or the filter frame 140 .

상기 팬(121)은 각 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)의 차압 측정 센서에 의해 측정되는 상기 필터(130)의 상류측과 하류측의 차압에 근거하여 제어될 수 있다. 특히 클린룸에 복수의 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)이 설치되는 경우, 각각의 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)은 각각의 제어 모듈(190)에 구비되는 차압 측정 센서에 의해 측정되는 차압에 근거하여 서로 독립적으로 제어된다. 이러한 제어는 팬(121)의 회전 속도(RPM)가 일정하게 고정되는 기존의 제어 방식과 구분된다.The fan 121 may be controlled based on differential pressure between the upstream side and the downstream side of the filter 130 measured by the differential pressure measurement sensor of each hybrid fan filter unit module system 100 . In particular, when a plurality of hybrid fan filter unit module systems 100 are installed in a clean room, each hybrid fan filter unit module system 100 has a differential pressure measured by a differential pressure measuring sensor provided in each control module 190. are controlled independently of each other. This control is different from the conventional control method in which the rotational speed (RPM) of the fan 121 is constantly fixed.

이와 관련하여 도 6을 참조하여 보다 자세히 설명하면, 클린룸의 기외정압은 존(Zone) 별로 다양하게 분포(-9 mmAq, -12 mmAq, -15 mmAq, -18 mmAq, -21 mmAq) 할 수 있다. 종래(a)에는 각 팬 필터 유닛에 구비되는 팬의 회전 속도를 970 RPM으로 일괄적으로 적용하였는데, 이 경우 존 별로 불균일한 상태가 초래되어 에너지 낭비 또는 클린룸 내 기류와 환경 개선에 한계가 있었다.In this regard, referring to FIG. 6, the external static pressure of the clean room can be variously distributed (-9 mmAq, -12 mmAq, -15 mmAq, -18 mmAq, -21 mmAq) for each zone. there is. In the prior art (a), the rotational speed of the fans provided in each fan filter unit was uniformly applied at 970 RPM, but in this case, non-uniform conditions were caused for each zone, resulting in energy waste or limitations in improving the airflow and environment in the clean room. .

그러나, 본 발명(b)에서와 같이 각 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템(100)의 차압 측정 센서에서 측정되는 차압에 근거하여, 팬(121)의 RPM을 제어할 경우 각 존 별로 팬(121)의 회전 속도를 910, 940, 970, 980, 990 등으로 독립 제어될 수 있다. 이 경우 차압의 크기에 따라 팬(121)의 회전속도를 감소시켜 에너지 절감 모드를 적용할 수도 있고, 팬(121)의 회전속도를 증가시켜 클린룸 내부의 압력과 풍속을 일정하게 유지시킴으로써, 기류 및 환경을 효과적으로 개선할 수 있다.However, as in the present invention (b), when the RPM of the fan 121 is controlled based on the differential pressure measured by the differential pressure measurement sensor of each hybrid fan filter unit module system 100, the fan 121 for each zone The rotation speed can be independently controlled by 910, 940, 970, 980, 990, etc. In this case, the energy saving mode may be applied by reducing the rotational speed of the fan 121 according to the magnitude of the differential pressure, or by increasing the rotational speed of the fan 121 to keep the pressure and wind speed inside the clean room constant, and can effectively improve the environment.

이러한 제어는 차압에 근거하여 팬(121)의 회전속도가 능동 제어된다는 점에서 AVC(Active Velocity Control) 기능으로 이름할 수 있다.Such control may be referred to as an Active Velocity Control (AVC) function in that the rotational speed of the fan 121 is actively controlled based on the differential pressure.

이러한 구성을 전제로, 도 6의 (b)를 참조하면 기외정압에 관계없이, 필터의 상류측과 하류측 차압에 근거하여 자동으로 팬의 풍속을 제어하고, 이를 통해 기외정압의 갭을 상쇄하도록 이루어진다. 이러한 제어 방식에 의하면 존 별로 기외정압이 서로 다르게 설정되더라도 각 팬 필터 유닛은 각 차압 측정 센서에 의해 측정되는 차압에 의해 각 팬의 풍속이 제어되며, 이를 통해 클린룸 내 팬 필터 유닛간 풍속의 균형이 이루어지고, 소비전력 및 환경 개선을 기대할 수 있게 된다.With this configuration, referring to (b) of FIG. 6, regardless of the external static pressure, the wind speed of the fan is automatically controlled based on the differential pressure between the upstream and downstream sides of the filter, thereby canceling the gap in the external static pressure. It is done. According to this control method, even if the static pressure outside the aircraft is set differently for each zone, the wind speed of each fan filter unit is controlled by the differential pressure measured by each differential pressure measurement sensor, and through this, the wind speed is balanced between the fan filter units in the clean room. This is achieved, and improvement in power consumption and environment can be expected.

이상에서 설명된 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템은 상기 설명된 실시예들의 구성과 방법에 한정되는 것이 아니라, 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.The hybrid fan filter unit module system described above is not limited to the configuration and method of the above-described embodiments, but the above embodiments may be configured by selectively combining all or part of each embodiment so that various modifications can be made. may be

100: 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템
110: 하우징
120: 팬 유닛
130: 필터
140: 필터 프레임
141: 내측벽
142: 외측벽
151: 상부커버
152: 환류량 조절 커버
153: 노브
161: 조명 PCB 모듈
162: 보호커버
170: 하부커버
190: 팬 제어 모듈
100: hybrid fan filter unit module system
110: housing
120: fan unit
130: filter
140: filter frame
141: inner wall
142: outer wall
151: upper cover
152: reflux control cover
153: knob
161: lighting PCB module
162: protective cover
170: lower cover
190: fan control module

Claims (11)

하우징;
상기 하우징의 내부에 배치되는 팬;
상기 팬의 하측에 배치되어 상기 팬에 의해 유동하는 공기를 정화시키는 필터;
상기 필터의 둘레를 감싸도록 형성되어 상기 하우징의 하측에 결합되고, 상기 필터의 적어도 일 측에 자가 환류 풍도를 형성하는 필터 프레임; 및
상기 필터 프레임에 결합되어 하측으로 빛을 조사하는 조명부;
를 포함하는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템.
housing;
a fan disposed inside the housing;
a filter disposed below the fan to purify the air flowing by the fan;
A filter frame formed to surround the circumference of the filter, coupled to the lower side of the housing, and forming a self-reflux air flow on at least one side of the filter; and
a lighting unit coupled to the filter frame and irradiating light downward;
A hybrid fan filter unit module system comprising a.
제1항에 있어서,
상기 필터 프레임은,
상기 필터에 가깝게 배치되는 내측벽; 및
상기 내측벽의 외측에 배치되어 상기 하우징보다 더 큰 둘레를 형성하는 외측벽을 포함하고,
상기 자가 환류 풍도는 상기 내측벽과 상기 외측벽의 사이에 형성되는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템.
According to claim 1,
The filter frame,
an inner wall disposed close to the filter; and
And an outer wall disposed outside the inner wall to form a circumference larger than the housing,
The self-reflux airflow is formed between the inner wall and the outer wall, the hybrid fan filter unit module system.
제2항에 있어서,
상기 자가 환류 풍도는 상기 필터의 양측에 각각 형성되고, 각각의 상기 자가 환류 풍도는 상기 필터의 양 측 변을 따라 선형으로 형성되는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템.
According to claim 2,
The self-reflux airflow is formed on both sides of the filter, and each of the self-reflux airflow is formed linearly along both sides of the filter.
제2항에 있어서,
상기 필터 프레임은,
상기 내측벽과 상기 외측벽의 사이에 형성되어 상기 자가 환류 풍도의 상부 또는 하부를 덮고, 상기 자가 환류 풍도의 연장 방향을 따라 서로 이격된 위치에 형성되는 복수의 환풍홀을 구비하는 커버; 및
상기 커버의 상측 또는 하측에 배치되어 상기 자가 환류 풍도의 연장 방향을 따라 슬라이딩 이동 가능하게 형성되고, 상기 커버에 형성되는 복수의 환풍홀에 대응위치에 형성되는 복수의 환류량 조절홀을 구비하는 환류량 조절 커버;
를 포함하는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템.
According to claim 2,
The filter frame,
a cover formed between the inner wall and the outer wall to cover the upper or lower portion of the self-reflux airflow and having a plurality of ventilation holes formed at positions spaced apart from each other along an extension direction of the self-reflux airflow; and
A reflux having a plurality of reflux amount control holes disposed on the upper or lower side of the cover to be slidably movable along the extension direction of the self reflux flow and formed at corresponding positions to the plurality of ventilation holes formed in the cover. volume control cover;
A hybrid fan filter unit module system comprising a.
제4항에 있어서,
상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템은 상기 환류량 조절 커버에 결합되어 상기 환류량 조절 커버의 슬라이딩 이동을 조절하는 노브를 더 포함하고,
상기 커버에는 상기 노브의 이동 가능 범위를 설정하는 장공이 형성되고,
상기 커버에 형성되는 복수의 환풍홀의 개구율은 상기 환류량 조절 커버의 슬라이딩 이동에 따른 상기 복수의 환풍홀과 상기 복수의 환류량 조절홀 간 오버랩 비율에 따라 결정되는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템.
According to claim 4,
The hybrid fan filter unit module system further includes a knob coupled to the reflux control cover to adjust the sliding movement of the reflux control cover,
A long hole for setting a movable range of the knob is formed in the cover,
The opening ratio of the plurality of ventilation holes formed in the cover is determined according to the overlap ratio between the plurality of ventilation holes and the plurality of return control holes according to the sliding movement of the return control cover.
제1항에 있어서,
상기 조명부는,
상기 필터 프레임의 내측에 설치되며, 측 방향으로 발광하는 광원을 구비하는 조명 PCB 모듈; 및
상기 자가 환류 풍도와 나란하게 선형으로 형성되며, 상기 광원으로부터 측 방향으로 조사되는 빛을 상기 필터의 하측으로 조사되도록 가이드 하는 도광판;
을 포함하는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템.
According to claim 1,
the lighting unit,
a lighting PCB module installed inside the filter frame and having a light source emitting light in a lateral direction; and
a light guide plate formed in a linear shape parallel to the self-reflux airflow and guiding the light emitted from the light source in a lateral direction to be irradiated to the lower side of the filter;
Hybrid fan filter unit module system comprising a.
제6항에 있어서,
상기 조명 PCB 모듈이 설치되기 전 상기 도광판의 일측 단부는 상기 자가 환류 풍도에 노출되고,
상기 조명 PCB 모듈이 상기 자가 환류 풍도 내에서 상기 필터 프레임의 내측벽을 향해 접근하여 상기 내측벽에 결합되면 상기 광원이 상기 도광판에 접촉되는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템.
According to claim 6,
Before the lighting PCB module is installed, one end of the light guide plate is exposed to the self-reflux airflow,
The hybrid fan filter unit module system in which the light source contacts the light guide plate when the lighting PCB module approaches the inner wall of the filter frame in the self-reflux airflow and is coupled to the inner wall.
제7항에 있어서,
상기 조명 PCB 모듈은 상기 자가 환류 풍도 내에서 상기 광원과 상기 도광판의 상호 대면 부위를 보호하는 보호 커버를 포함하고,
상기 내측벽에는 보호 커버 안착부가 상기 자가 환류 풍도를 향해 돌출되고,
상기 조명 PCB 모듈이 상기 자가 환류 풍도 내에서 상기 필터 프레임의 내측벽을 향해 접근하여 상기 보호 커버의 적어도 일부가 상기 보호 커버 안착부에 안착되는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템.
According to claim 7,
The lighting PCB module includes a protective cover for protecting a mutually facing portion of the light source and the light guide plate in the self-reflux wind speed,
The inner wall has a protective cover seating portion protruding toward the self-reflux airway,
The hybrid fan filter unit module system wherein the lighting PCB module approaches toward the inner wall of the filter frame within the self-reflux airflow and at least a portion of the protective cover is seated in the protective cover seating portion.
제8항에 있어서,
상기 보호 커버는,
상기 보호 커버 안착부에 안착되도록 상기 보호 커버 안착부보다 높은 위치에서 돌출되는 상부 연결부; 및
상기 도광판의 상측에 안착되도록 상기 상부 연결부보다 낮은 위치에서 돌출되는 하부 연결부를 포함하는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템.
According to claim 8,
The protective cover,
an upper connection portion protruding from a higher position than the protective cover seating portion to be seated on the protective cover seating portion; and
The hybrid fan filter unit module system includes a lower connection part protruding from a position lower than the upper connection part so as to be seated on the upper side of the light guide plate.
제6항에 있어서,
상기 필터 프레임의 하부에는 하측을 향해 개방된 구조로서, 상기 도광판을 수용하여 고정하는 장착부가 형성되어 있는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템.
According to claim 6,
The hybrid fan filter unit module system of claim 1 , wherein a lower portion of the filter frame has a structure that is opened toward the lower side, and a mounting portion accommodating and fixing the light guide plate is formed.
제1항에 있어서,
상기 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템은,
상기 필터의 상류측과 상기 필터의 하류측의 차압을 측정하는 차압 측정 센서를 구비하며, 상기 팬 필터 유닛을 제어하도록 상기 하우징 내에 설치되는 제어 모듈; 및
상기 차압 측정 센서의 차압 측정을 가능하게 하도록 상기 차압 측정 센서와 상기 필터의 하류측 공기가 흐르는 영역에 연결되는 차압 측정 연결부;
를 더 포함하고,
상기 팬은 각 팬 필터 유닛의 차압 측정 센서에 의해 측정되는 상기 필터의 상류측과 하류측의 차압에 근거하여 제어되는 하이브리드 팬 필터 유닛 모듈 시스템.
According to claim 1,
The hybrid fan filter unit module system,
a control module having a differential pressure measuring sensor for measuring a differential pressure between an upstream side of the filter and a downstream side of the filter, and installed in the housing to control the fan filter unit; and
a differential pressure measurement connecting portion connected to an area where air flows downstream of the differential pressure measurement sensor and the filter to enable the differential pressure measurement of the differential pressure measurement sensor;
Including more,
The hybrid fan filter unit module system of claim 1 , wherein the fan is controlled based on differential pressure between upstream and downstream sides of the filter measured by a differential pressure measurement sensor of each fan filter unit.
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