KR20230065312A - 접촉 단자, 검사 지그, 검사 장치, 및 제조 방법 - Google Patents

Abstract

통 형상체로부터 도체가 빠질 우려를 저감시키는 것이 용이한 접촉 단자, 검사 지그, 검사 장치, 및 제조 방법을 제공한다. 접촉 단자 Pr은, 통 형상체 Pa와, 대략 막대형 형상을 갖는 제1 도체 P1을 구비하고, 통 형상체 Pa의 일단으로부터 통 형상체 Pa의 타단측을 향해 연장되는 제1 슬릿 SL1이 형성되고, 제1 슬릿 SL1의 타단측의 단부로부터 일단측으로 제1 거리 D1 이격된 위치에, 제1 슬릿 SL1의 폭이 좁아진 협소부 N1이 마련되고, 제1 도체 P1의 막대 형상 본체 Pb1은, 제1 슬릿 SL1의, 타단측의 단부와 협소부 N1 사이의 영역인 수용부 A1 내에 위치하고, 제1 슬릿 SL1의 폭 방향인 X 방향 및 통 형상체의 축방향 Z에 대하여 수직인 Y 방향을 향해서 협소부 N1과 간섭 가능한 위치까지 돌출되는 걸림 결합부 K1을 포함한다.

Description

접촉 단자, 검사 지그, 검사 장치, 및 제조 방법

본 발명은, 검사 대상의 검사에 사용되는 접촉 단자, 이 접촉 단자를 검사 대상에 접촉시키기 위한 검사 지그, 그 검사 지그를 구비한 검사 장치, 및 제조 방법에 관한 것이다.

종래부터 측정 대상물의 도전 패드에 접촉하는 막대 형상의 도체와, 이 막대 형상의 도체가 삽입되는 원통 형상의 통체를 구비하고, 통체의 주위벽의 일부가 스프링으로 되어 있는 코일 스프링 프로브가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).

일본 특허 공개 제2007-24664호 공보

그런데, 근년, 측정 대상물의 반도체 기판이나 회로 기판의 미세화가 진행되고 있다. 측정 대상물의 검사점이나, 검사점 간의 인접 피치도 작아져 있다. 그 때문에, 검사에 사용되는 프로브(접촉 단자)의 직경은 0.1㎜ 정도로 된다. 그 때문에, 상술한 코일 스프링 프로브로 직경을 0.1㎜로 한 경우, 직경 0.1㎜의 통체 중에, 더 가는 막대 형상의 도체를 삽입하게 된다.

통체 중에 막대 형상의 도체를 삽입한 것만으로는, 통체로부터 막대 형상의 도체가 빠져버릴 우려가 있다. 그러나, 상술한 바와 같은 미세 구조의 접촉 단자에, 막대 형상의 도체의 빠짐을 방지하는 기구를 마련하는 것은 용이하지 않다.

본 발명의 목적은, 통 형상체로부터 도체가 빠질 우려를 저감시키는 것이 용이한 접촉 단자, 검사 지그, 검사 장치 및 제조 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 일례에 따른 접촉 단자는, 도전성을 갖는 통 형상체와, 대략 막대형 형상을 갖고, 상기 통 형상체의 일단측의 통 내에 위치하는 막대 형상 본체 및 상기 통 형상체의 상기 일단으로부터 돌출되는 외부 도체부를 갖는 제1 도체를 구비하고, 상기 통 형상체의 일단으로부터 상기 통 형상체의 타단측을 향해 연장되는 제1 슬릿이 형성되고, 상기 제1 슬릿의 상기 타단측의 단부로부터 상기 일단측에 미리 설정된 제1 거리 이격된 위치에, 상기 제1 슬릿의 폭이 좁아진 협소부가 마련되고, 상기 막대 형상 본체는, 상기 제1 슬릿의, 상기 타단측의 단부와 상기 협소부 사이의 영역인 수용부 내에 위치하고, 상기 제1 슬릿의 폭 방향인 제1 방향 및 상기 통 형상체의 축방향에 대하여 수직인 제2 방향을 향해서 상기 협소부와 간섭 가능한 위치까지 돌출되는 걸림 결합부를 포함한다.

또한, 본 발명의 일례에 따른 검사 지그는, 상술한 접촉 단자와, 상기 접촉 단자를 지지하는 지지 부재를 구비한다.

또한, 본 발명의 일례에 따른 검사 장치는, 상술한 검사 지그와, 상기 접촉 단자를 검사 대상에 마련된 검사점에 접촉시킴으로써 얻어지는 전기 신호에 기초하여, 상기 검사 대상의 검사를 행하는 검사 처리부를 구비한다.

또한, 본 발명의 일례에 따른 통 형상체의 제조 방법은, 상술한 접촉 단자에 있어서의 통 형상체의 제조 방법이며, (a1) 도전성의 통 형상의 부재에 있어서의 외벽면에 포토레지스트를 형성하고, (a2) 상기 외벽면의 상기 일단으로부터 이격된 위치에 있어서 상기 포토레지스트에 제1 형상을 노광하고, 상기 제1 형상은, 상기 제1 방향을 마주 보는 한 쌍의 변이, 상기 일단측을 향함에 따라서 서서히 가까워지면서 합류하는 제1 부분을 포함하는 형상이며, (a3) 상기 포토레지스트의 상기 노광된 부분을 제거하고, (a4) 상기 포토레지스트의 상기 제거된 부분에 있어서 노출되는 상기 외벽면을 에칭함과 함께, 상기 제1 부분으로부터 확대해서 제거된 부분이 상기 통 형상의 부재의 상기 일단에 도달하여 상기 협소부를 형성할 때까지 상기 에칭을 계속한다.

또한, 본 발명의 일례에 따른 통 형상체의 제조 방법은, 상술한 접촉 단자에 있어서의 통 형상체의 제조 방법이며, (b1) 도전성의 통 형상의 부재에 있어서의 외벽면에 포토레지스트를 형성하고, (b2) 제1 형상과, 상기 제1 형상으로부터 이격된 제2 형상을 상기 포토레지스트에 노광하고, 상기 제1 형상은, 상기 제1 방향을 마주 보는 한 쌍의 변이, 상기 일단측을 향함에 따라서 서서히 가까워지면서 합류하는 제1 부분을 포함하는 형상이며, 상기 제2 형상은, 상기 외벽면의 상기 일단으로부터 상기 타단 방향으로 연장되는 제2 부분과, 상기 제2 부분에 연결됨과 함께 상기 제1 방향을 마주 보는 한 쌍의 변이, 상기 타단측을 향함에 따라서 서서히 가까워지면서 합류하는 제3 부분을 포함하는 형상이며, (b3) 상기 포토레지스트의 상기 노광된 부분을 제거하고, (b4) 상기 포토레지스트의 상기 제거된 부분에 있어서 노출되는 상기 외벽면을 에칭함과 함께, 상기 제1 부분으로부터 확대해서 제거된 부분과 상기 제3 부분으로부터 확대해서 제거된 부분이 연통하여 상기 협소부 및 상기 깔때기 형상부를 형성할 때까지 상기 에칭을 계속한다.

또한, 본 발명의 일례에 따른 제1 도체의 제조 방법은, 상술한 접촉 단자에 있어서의 제1 도체의 제조 방법이며, (c1) 상기 한 쌍의 협폭 판부 중 한쪽을 형성하고, (c2) 상기 한쪽의 협폭 판부의 위에 상기 중심 판부를 적층하고, (c3) 상기 중심 판부의 위에 상기 한 쌍의 협폭 판부 중 다른 쪽을 적층한다.

이와 같은 구성의 접촉 단자, 검사 지그, 및 검사 장치는, 통 형상체로부터 도체가 빠질 우려를 저감시키는 것이 용이하다. 또한, 이와 같은 제조 방법에 의하면, 통 형상체로부터 도체가 빠질 우려를 저감시키는 것이 용이한 접촉 단자를 제조하는 것이 용이하다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 접촉 단자 Pr을 구비한 검사 장치(1)의 구성을 개략적으로 나타내는 개념도이다.
도 2는 도 1에 도시한 검사 지그(3)의 구성의 일례를 간략화해서 나타내는 모식적인 단면도이다.
도 3은 X 방향에서 본 접촉 단자 Pr의 분해도이다.
도 4는 Y 방향에서 본 접촉 단자 Pr의 분해도이다.
도 5는 제1 슬릿 SL1(제2 슬릿 SL2) 부근의 확대 사시도이다.
도 6은 제1 도체 P1의 정면 및 측면도이다.
도 7은 제2 도체 P2의 정면 및 측면도이다.
도 8은 통 형상체 Pa의 제조 방법의 일례를 나타내는 흐름도이다.
도 9는 통 형상체 Pa의 제조 방법의 설명도이다.
도 10은 도 8에 도시한 제조 방법에 의해 형성된 제1 슬릿 SL1(제2 슬릿 SL2)의 설명도이다.
도 11은 통 형상체 Pa의 변형예에 따른 제조 방법의 일례를 나타내는 흐름도이다.
도 12는 통 형상체 Pa의 변형예에 따른 제조 방법의 설명도이다.
도 13은 도 11에 도시한 제조 방법에 의해 형성된 제1 슬릿 SL1(제2 슬릿 SL2)의 설명도이다.
도 14는 제1 도체 P1의 제조 방법 설명도이다.
도 15는 제1 도체 P1(제2 도체 P2)의 단면도이다.
도 16은 변형예에 따른 제1 슬릿 SL1(제2 슬릿 SL2) 부근의 확대 사시도이다.

이하, 본 발명에 따른 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다. 또한, 각 도면에 있어서 동일한 부호를 부여한 구성은, 동일한 구성임을 나타내고, 그 설명을 생략한다. 각 도면에는, 방향 관계를 명확하게 하기 위해서 적절히 XYZ 직교 좌표축을 나타내고 있다. +X, -X(X 방향)는 제1 방향, +Y, -Y(Y 방향)는 제2 방향, +Z는 일단 방향, -Z는 타단 방향에 상당한다. 또한, 각 도면에 있어서, 제2 슬릿 SL2 및 제2 도체 P2에 관한 부분의 부호를 괄호 쓰기로 나타내는 경우가 있다.

도 1에 도시한 검사 장치(1)는, 예를 들어 반도체 웨이퍼 등의, 검사 대상물(101)에 형성된 회로를 검사하기 위한 반도체 검사 장치이다.

검사 대상물(101)에는, 예를 들어 실리콘 등의 반도체 기판에, 복수의 반도체 칩에 대응하는 회로가 형성되어 있다. 또한, 검사 대상물은, 반도체 칩, CSP(Chip Size Package), 반도체 소자(IC: Integrated Circuit) 등의 전자 부품이어도 되고, 그 밖에 전기적인 검사를 행하는 대상으로 되는 것이면 된다.

또한, 검사 장치는 반도체 검사 장치에 한정되지 않고, 예를 들어 기판을 검사하는 기판 검사 장치여도 된다. 검사 대상물이 되는 기판은, 예를 들어 프린트 배선 기판, 유리 에폭시 기판, 플렉시블 기판, 세라믹 다층 배선 기판, 반도체 패키지용 패키지 기판, 인터포저 기판, 필름 캐리어 등의 기판이어도 되고, 액정 디스플레이, EL(Electro-Luminescence) 디스플레이, 터치 패널 디스플레이 등의 디스플레이용 전극판이나, 터치 패널용 등의 전극판이어도 되고, 다양한 기판이어도 된다.

도 1에 도시한 검사 장치(1)는, 검사부(4)와, 시료대(6)와, 검사 처리부(8)를 구비하고 있다. 시료대(6)의 상면에는, 검사 대상물(101)이 적재되는 적재부(6a)가 마련되어 있고, 시료대(6)는, 검사 대상의 검사 대상물(101)을 소정의 위치에 고정하도록 구성되어 있다.

적재부(6a)는, 예를 들어 승강 가능하게 되어 있으며, 시료대(6) 내에 수용된 검사 대상물(101)을 검사 위치에 상승시키거나, 검사 완료의 검사 대상물(101)을 시료대(6) 내에 저장하거나 하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 적재부(6a)는, 예를 들어 검사 대상물(101)을 회전시켜서, 오리엔테이션·플랫을 소정의 방향으로 향하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 검사 장치(1)는, 도시를 생략한 로봇 암 등의 반송 기구를 구비하고, 그 반송 기구에 의해, 검사 대상물(101)을 적재부(6a)에 적재하거나, 검사 완료의 검사 대상물(101)을 적재부(6a)로부터 반출하기도 한다.

검사부(4)는, 검사 지그(3), 접속 플레이트(35), 및 테스터 헤드(37)를 구비하고 있다. 검사 지그(3)는, 검사 대상물(101)에 복수의 접촉 단자 Pr을 접촉시켜서 검사하기 위한 지그이며, 예를 들어 소위 프로브 카드로서 구성되어 있다.

검사 대상물(101)에는, 복수의 칩이 형성되어 있다. 각 칩에는, 복수의 패드나 범프 등의 검사점이 형성되어 있다. 검사 지그(3)는, 검사 대상물(101)에 형성된 복수의 칩 중 일부의 영역(예를 들어 도 1에 해칭으로 나타내는 영역, 이하, '검사 영역'이라고 칭함)에 대응하여, 검사 영역 내의 각 검사점에 대응하도록, 복수의 접촉 단자 Pr을 보유 지지하고 있다.

검사 영역 내의 각 검사점에 접촉 단자 Pr을 접촉시켜서 당해 검사 영역 내의 검사가 종료되면, 적재부(6a)가 검사 대상물(101)을 하강시키고, 시료대(6)가 평행 이동하여 검사 영역을 이동시키고, 적재부(6a)가 검사 대상물(101)을 상승시켜서 새로운 검사 영역에 접촉 단자 Pr을 접촉시켜 검사를 행한다. 이와 같이, 검사 영역을 순차 이동시키면서 검사를 행함으로써, 검사 대상물(101) 전체의 검사가 실행되도록 되어 있다.

또한, 도 1은, 검사 장치(1)의 구성의 일례를, 발명의 이해를 용이하게 한다는 관점에서 간략적 및 개념적으로 나타낸 설명도이며, 접촉 단자 Pr의 개수, 밀도, 배치나, 검사부(4) 및 시료대(6)의 각 부의 형상, 크기의 비율 등에 대해서도, 간략화, 개념화해서 기재하고 있다. 예를 들어, 접촉 단자 Pr의 배치의 이해를 용이하게 한다는 관점에서, 일반적인 반도체 검사 장치보다도 검사 영역을 크게 강조해서 기재하고 있으며, 검사 영역은 더 작아도 되고, 더 커도 된다.

테스터 헤드(37)는, 접속 플레이트(35)를 착탈 가능하게 구성되어 있다. 접속 플레이트(35)에는, 각 접촉 단자 Pr의 단부와 접촉해서 도통하는 후술하는 전극(34a)이 마련되어 있다. 테스터 헤드(37)는, 각 전극(34a)과 검사 처리부(8)를, 도시를 생략한 케이블이나 접속 단자 등에 의해 전기적으로 접속한다. 접속 플레이트(35)는, 각 접촉 단자 Pr과 테스터 헤드(37)의 사이에서 피치 변환을 행해도 된다.

검사 지그(3)는, 복수의 접촉 단자 Pr과, 복수의 접촉 단자 Pr을 보유 지지하는 지지 부재(31)를 구비하고 있다.

검사부(4)는, 테스터 헤드(37) 및 접속 플레이트(35)를 통해 검사 지그(3)의 각 접촉 단자 Pr을, 검사 처리부(8)와 전기적으로 접속하거나, 그 접속을 전환하거나 하는 도시를 생략한 접속 회로를 구비하고 있다.

이에 의해, 검사 처리부(8)는, 임의의 접촉 단자 Pr에 대하여 검사용 신호를 공급하거나, 임의의 접촉 단자 Pr로부터 신호를 검출하거나 하는 것이 가능하게 되어 있다.

검사 처리부(8)는, 예를 들어 전원 회로, 전압계, 전류계, 및 마이크로컴퓨터 등을 구비하고 있다. 검사 처리부(8)는, 도시를 생략한 구동 기구를 제어하여 검사부(4)를 이동, 위치 결정하고, 검사 대상물(101)의 각 검사점에, 각 접촉 단자 Pr을 접촉시킨다.

이에 의해, 각 검사점과, 검사 처리부(8)가 전기적으로 접속된다.

검사 처리부(8)는, 상술한 상태에서 검사 지그(3)의 각 접촉 단자 Pr을 통해 검사 대상물(101)의 각 검사점에 검사용 전류 또는 전압을 공급하고, 각 접촉 단자 Pr로부터 얻어진 전압 또는 전류 등의 전기 신호에 기초하여, 예를 들어 회로 패턴의 단선이나 단락 등의 검사 대상물(101)의 검사를 실행한다. 혹은, 검사 처리부(8)는, 교류의 전류 또는 전압을 각 검사점에 공급함으로써 각 접촉 단자 Pr로부터 얻어진 전압 또는 전류 등의 전기 신호에 기초하여, 검사 대상의 임피던스를 측정하는 것이어도 된다.

도 2에 도시한 지지 부재(31)는, 예를 들어 판 형상의 지지 플레이트(31a, 31b, 31c)가 적층됨으로써 구성되어 있다. 지지 플레이트(31a, 31b, 31c)를 관통하도록, 복수의 관통 구멍이 형성되어 있다.

지지 플레이트(31a, 31b)에는, 소정 직경의 개구 구멍을 포함하는 삽입 관통 구멍 Ha가 각각 형성되어 있다. 검사 대상인 검사 대상물(101)과 대향하는 면측에 위치하는 지지 플레이트(31c)에는, 삽입 관통 구멍 Ha보다도 구멍 직경이 작은 소경부 Ha1이 형성되어 있다. 그리고, 지지 플레이트(31a, 31b)의 삽입 관통 구멍 Ha와, 지지 플레이트(31c)의 소경부 Ha1이 연통됨으로써, 지지 부재(31)를 관통하는 관통 구멍이 형성되어 있다.

또한, 지지 부재(31)는, 판 형상의 지지 플레이트(31a, 31b, 31c)가 적층되어 구성되는 예에 한정되지 않고, 예를 들어 일체의 부재에, 삽입 관통 구멍 Ha 및 소경부 Ha1을 포함하는 관통 구멍이 마련된 구성으로 해도 된다. 또한, 관통 구멍의 전체가 소정 직경을 갖는 삽입 관통 구멍 Ha로 된 구조로 해도 된다. 또한, 지지 부재(31)의 지지 플레이트(31a, 31b)를 서로 적층한 예 대신에, 지지 플레이트(31a)와 지지 플레이트(31b)를 서로 이격시킨 상태에서, 예를 들어 지주 등에 의해 연결된 구성으로 해도 된다.

지지 플레이트(31a)의 후단측에는, 예를 들어 절연성의 수지 재료에 의해 구성된 접속 플레이트(35)가 설치되어 있다. 이 접속 플레이트(35)에 의해 관통 구멍의 후단측 개구부, 즉 삽입 관통 구멍 Ha의 후단면이 폐색되어 있다. 접속 플레이트(35)에는, 관통 구멍의 후단측 개구부에 대향하는 위치에 있어서, 접속 플레이트(35)를 관통하도록 배선(34)이 설치되어 있다. 지지 플레이트(31a)에 대향하는 접속 플레이트(35)의 전방면과, 배선(34)의 단부면이 동일 평면상에 위치하도록 설정되어 있다. 이 배선(34)의 단부면이 전극(34a)으로 되어 있다.

배선(34)은, 도전성 선재의 측면을 절연 피복한 와이어가 접속 플레이트(35)를 -Z로부터 +Z 방향으로 관통하는 와이어 스페이스 트랜스포머여도 된다. 혹은, MLO(Multilayer Organic) 또는 MLC(Multilayer Ceramic)를 사용한, 절연성의 수지 재료 또는 세라믹 재료로 이루어지는 기판 내를, -Z 방향으로부터 +Z 방향을 향함에 따라서 서로의 거리가 단계적으로 작아지도록 패터닝 형성된 도전층이어도 된다.

지지 부재(31)의 각 관통 구멍에, 접촉 단자 Pr이 각각 삽입되어 지지되어 있다. 접촉 단자 Pr은, 도전성을 갖는 소재에 의해 통 형상으로 형성된 통 형상체 Pa와, 도전성을 갖는 소재에 의해 막대 형상으로 형성된 제1, 제2 도체 P1, P2를 구비하고 있다.

통 형상체 Pa, 제1 도체 P1, 제2 도체 P2의 재료로서는, 예를 들어 팔라듐, 구리, 로듐, 니켈, 및 이들 합금 등을, 단독 또는 조합해서 사용할 수 있다.

도 2 내지 도 5를 참조하여, 통 형상체 Pa는, 예를 들어 약 25 내지 300㎛의 외경과, 약 10 내지 250㎛의 내경을 갖는 튜브를 사용하여 형성할 수 있다. 예를 들어, 통 형상체 Pa의 외경을 약 120㎛, 내경을 약 100㎛, 전체 길이를 약 3000㎛ 로 할 수 있다. 또한, 통 형상체 Pa의 내주에는, 금 또는 그 합금으로 이루어지는 도금 등의 도체층을 실시해도 된다. 도체층에 의해 통 형상체의 도전성을 향상시킬 수 있다. 또한, 통 형상체 Pa의 둘레면을, 필요에 따라 절연 피복한 구조로 해도 된다.

제1 도체 P1, 제2 도체 P2는, 예를 들어 길이 약 1000 내지 3000㎛, 굵기 약 8 내지 250㎛ 정도의, 전체적으로 대략 막대 형상의 형상을 갖고 있다.

통 형상체 Pa의 +Z(일단)측에는, 통 형상체 Pa의 +Z 방향측 단부로부터 통 형상체 Pa의 -Z 방향(타단)측을 향해 연장되는 한 쌍의 제1 슬릿 SL1이 형성되어 있다(도 3). 한 쌍의 제1 슬릿 SL1은, Y 방향에 서로 대향하는 위치에 형성되어 있다. 각 제1 슬릿 SL1의 -Z측 단부 SL1a로부터 +Z측에 미리 설정된 제1 거리 D1 이격된 위치에, 제1 슬릿 SL1의 폭이 좁아진 협소부 N1이 형성되어 있다(도 4).

각 제1 슬릿 SL1의 -Z측 단부 SL1a와 협소부 N1 사이의 영역은, 수용부 A1로 되어 있다. 각 제1 슬릿 SL1에는, 협소부 N1의 +Z측에 연결됨과 함께, +Z측을 향함에 따라 광폭이 되는 깔때기 형상부 R1이 형성되어 있다(도 5).

통 형상체 Pa의 -Z(타단)측에는, 통 형상체 Pa의 -Z 방향측 단부로부터 통 형상체 Pa의 +Z 방향(일단)측을 향해 연장되는 한 쌍의 제2 슬릿 SL2가 형성되어 있다(도 3). 한 쌍의 제2 슬릿 SL2는, Y 방향에 서로 대향하는 위치에 형성되어 있다. 제2 슬릿 SL2의 +Z측 단부 SL2a로부터 -Z측에 미리 설정된 제1 거리 D1 이격된 위치에, 제2 슬릿 SL2의 폭이 좁아진 협소부 N2가 형성되어 있다(도 4).

협소부 N1, N2의 폭 W5(도 10)는, 후술하는 판 형상 돌기 B1, B2의 두께와 대략 동일하거나 또는 조금 넓어져 있다.

각 제2 슬릿 SL2의 +Z측 단부 SL2a와 협소부 N2 사이의 영역은, 수용부 A2로 되어 있다. 각 제2 슬릿 SL2에는, 각각, 협소부 N2의 -Z측에 연결됨과 함께, -Z측을 향함에 따라 광폭이 되는 깔때기 형상부 R2가 형성되어 있다(도 5).

통 형상체 Pa는, 제1 슬릿 SL1의 -Z측에 연결되는 단부측 통부 PP1과, 단부측 통부 PP1의 -Z측에 연결되는 나선형의 제1 스프링부 Pe1과, 제1 스프링부 Pe1의 -Z측에 연결되는 중앙측 통부 Pf를 구비하고 있다(도 3, 도 4). 통 형상체 Pa는, 제2 슬릿 SL2의 +Z측에 연결되는 단부측 통부 PP2와, 단부측 통부 PP2의 +Z측에 연결되는 나선형의 제2 스프링부 Pe2를 구비하고, 제2 스프링부 Pe2의 +Z측에 중앙측 통부 Pf가 연결되어 있다.

제1 도체 P1은, 전체로서, Z 방향으로 연장되는 대략 막대형 형상을 갖고 있다. 제1 도체 P1은, 판 형상으로 연장되는 중심 판부 PL1의 X 방향 양측에 한 쌍의 협폭 판부 PN1이 적층된 형상을 갖고 있다(도 5, 도 6). 협폭 판부 PN1은, 중심 판부 PL1보다도 협폭으로 되어 있다. 또한, 제1 도체 P1은, 중심 판부 PL1과 한 쌍의 협폭 판부 PN1이 적층된 형상을 갖고 있으면 되며, 중심 판부 PL1과 한 쌍의 협폭 판부 PN1은, 일체의 일 부재로서 형성되어 있어도 된다.

제1 도체 P1은, 통 형상체 Pa의 +Z측의 통 내에 위치하는 막대 형상 본체 Pb1과, 통 형상체 Pa의 +Z측 단부(일단)로부터 돌출되는 외부 도체부 Pc1을 갖는다(도 3).

막대 형상 본체 Pb1은, 중심 판부 PL1이, Y 방향 양측으로 폭이 넓어짐으로써 각 협소부 N1 내로 돌출되어 위치하는 Y 방향으로 한 쌍의 판 형상 돌기 B1을 포함하고 있다(도 6, 도 5). 판 형상 돌기 B1의 -Z(타단)측 벽면 KW1은, 제1 슬릿 SL1의 -Z측 단부 SL1a와 간섭한다. 이에 의해, 통 형상체 Pa에 대한 제1 도체 P1의 삽입 위치를 위치 결정 가능하게 되어 있다.

또한, 판 형상 돌기 B1의 Y 방향의 폭 W3은, 지지 플레이트(31c)의 소경부 Ha1의 내경보다도 크다. 이에 의해, 판 형상 돌기 B1의 +Z측 벽면 B1W가 지지 플레이트(31c)의 -Z측의 면에 맞닿고, 제1 도체 P1이 지지 플레이트(31c)로부터 빠지지 않도록 되어 있다. 그 한편, 판 형상 돌기 B1의 -Z측 벽면 KW1은 -Z측 단부 SL1a에 맞닿는다. 그 결과, 제1 스프링부 Pe1 및 제2 스프링부 Pe2의 가압력에 의해, +Z측 벽면 B1W가 지지 플레이트(31c)의 -Z측의 면에, -Z측 벽면 KW1이 -Z측 단부 SL1a에, 각각 탄성적으로 압접된다. 그 결과, 제1 도체 P1이 안정적으로 보유 지지된다. 또한, 제1 도체 P1과 통 형상체 Pa의 도통이 안정화된다.

또한 막대 형상 본체 Pb1은, 판 형상 돌기 B1의 X 방향 양측에 있어서 협폭 판부 PN1이 Y 방향 양측으로 폭이 넓어짐으로써, 통 형상체 Pa의 각 수용부 A1 내에 있어서, Y 방향(제2 방향) 양측으로 돌출되는 한 쌍의 걸림 결합부 K1을 포함하고 있다. 걸림 결합부 K1의 정상부가, 통 형상체 Pa의 내주면, 보다 구체적으로는 협소부 N1에 위치하는 통 형상체 Pa의 내주면보다도 외주측으로 돌출되도록, 걸림 결합부 K1의 돌출량이 설정되어 있다. 이에 의해, 걸림 결합부 K1이, 협소부 N1과 간섭 가능한 위치까지 돌출되도록 되어 있다.

각 걸림 결합부 K1의 -Z(타단)측에는, -Z측을 향함에 따라 돌출량이 감소하는 경사면 KS1이 형성되어 있다.

막대 형상 본체 Pb1의 선단은, 중앙측 통부 Pf 내에 위치한다(도 3). 이에 의해, 검사 시에 제1 스프링부 Pe1 및 제2 스프링부 Pe2가 신축한 경우라도, 막대 형상 본체 Pb1의 선단이 제1 스프링부 Pe1 또는 제2 스프링부 Pe2에 걸릴 우려가 저감된다.

막대 형상 본체 Pb1은, 단부측 통부 PP1 내에 위치하는 광폭부 PW1과, 제1 스프링부 Pe1 내에 위치하는 협폭부 PS1을 포함한다(도 6). 협폭부 PS1의 폭 W1은, 광폭부 PW1의 폭 W2보다도 좁다.

광폭부 PW1의 폭 W2는, 통 형상체 Pa(단부측 통부 PP1)의 내경과 대략 동일하거나, 또는 약간 작다. 이에 의해, 통 형상체 Pa에 대하여 제1 도체 P1이, Y 방향으로 움직일(덜걱거릴) 우려가 저감된다. 또한, 도 2에 도시한 예에서는, 각 접촉 단자 Pr의 통 형상체 Pa 상호간은 지지 플레이트(31a, 31b)의 벽으로 칸막이되어 있지만, 통 형상체 Pa 상호간이 벽으로 칸막이되어 있지 않은 구조를 채용할 수도 있다. 이와 같은 구조를 채용해서 복수의 접촉 단자 Pr을 서로 협소한 간격으로 검사 지그(3)에 마련한 경우라도, 광폭부 PW1을 마련함으로써, 인접하는 접촉 단자 Pr의 통 형상체 Pa끼리가 접촉될 우려를 저감시킬 수 있다.

한편, 제1 스프링부 Pe1 내에 위치하는 협폭부 PS1의 폭 W1은, 폭 W2보다도 작고, 따라서 통 형상체 Pa(제1 스프링부 Pe1)의 내면과 협폭부 PS1의 간격을 확보할 수 있다. 그 결과, 검사 시에 제1 스프링부 Pe1이 신축된 경우라도, 협폭부 PS1과 제1 스프링부 Pe1이 마찰해서 손모될 우려가 저감된다. 또한, 제1 스프링부 Pe1 내에 위치하는 협폭부 PS1이, 제1 스프링부 Pe1의 신축 시에 있어서의 좌굴을 억제한다.

협폭 판부 PN1은, 협소부 N1보다도 +Z(일단)측의 위치에서, 협소부 N1에 위치하는 부분보다도 폭이 넓은 확대부 EX1을 더 포함한다(도 5). 협소부 N1에 위치하는 부분에서는, 협폭 판부 PN1은, 제1 슬릿 SL1의 협소부 N1과의 간섭을 피하기 위해 폭이 좁아져 있다. 만약 가령, 협폭 판부 PN1이 협소부 N1에 위치하는 부분과 동일한 폭인 채로 +Z 방향으로 연장되어 있는 경우, 협폭 판부 PN1과 깔때기 형상부 R1 사이의 간격이 넓어지기 때문에, 통 형상체 Pa가 제1 도체 P1에 대하여 X 방향으로 상대적으로 움직이기 쉬워(덜걱거리기 쉬워)진다.

도 2에 도시한 예에서는, 각 접촉 단자 Pr의 통 형상체 Pa 상호간은 지지 플레이트(31a, 31b)의 벽으로 칸막이되어 있지만, 통 형상체 Pa 상호간이 벽으로 칸막이되어 있지 않은 구조를 채용한 경우, 통 형상체 Pa가 제1 도체 P1에 대하여 X 방향에 덜걱거리면, 인접하는 통 형상체 Pa끼리 접촉될 우려가 증대한다.

한편, 협소부 N1보다도 +Z(일단)측의 위치에서는, 협폭 판부 PN1의 폭을 크게 해도 협소부 N1과 간섭하지 않는다. 이에, 확대부 EX1을 마련함으로써, 협소부 N1과의 간섭을 피하면서 통 형상체 Pa의 X 방향으로의 덜걱거림을 저감하여, 인접하는 통 형상체 Pa끼리 접촉될 우려를 감소시키는 것이 가능해진다.

제2 도체 P2는, 전체로서, Z 방향으로 연장되는 대략 막대형 형상을 갖고 있다. 제2 도체 P2는, 대략적으로, 제1 도체 P1의 외부 도체부 Pc1의 선단 형상을 제외한 부분을 180도 회전(+Z와 -Z를 교체)시킨 형상을 포함하고 있다.

즉, 도 3 내지 도 7 에 도시한 바와 같이, 제2 도체 P2가 구비하는 중심 판부 PL2, 협폭 판부 PN2, 협폭부 PS2, 광폭부 PW2, 판 형상 돌기 B2, +Z측 벽면 KW2, -Z측 벽면 B2W, 걸림 결합부 K2, 경사면 KS2 및 확대부 EX2의 각 부는, 제1 도체 P1의 중심 판부 PL1, 협폭 판부 PN1, 협폭부 PS1, 광폭부 PW1, 판 형상 돌기 B1, -Z측 벽면 KW1, +Z측 벽면 B1W, 걸림 결합부 K1, 경사면 KS1 및 확대부 EX1의 각 부에 각각 대응하는 형상을 갖고 있다. 그 결과, 제2 도체 P2의 각 부는, 제1 도체 P1의 각 부와 마찬가지의 효과를 발휘할 수 있다.

다음으로, 접촉 단자 Pr의 제조 방법에 대하여 설명한다. 우선, 통 형상체 Pa의 제조 방법에 대하여, 도 8 내지 도 10을 참조하면서 설명한다. 도 9, 도 10은, 제1 슬릿 SL1과 제2 슬릿 SL2의 형성 방법의 설명을 겸하고 있다. 도 9, 도 10, 도 12, 도 13에서는, 제2 슬릿 SL2에 관한 부호 및 방향을 괄호 쓰기로 나타내고 있다.

우선, 도전성의 통 형상의 부재인 금속 튜브 T의 외벽면에 포토레지스트를 형성한다(스텝 S1: (b1)).

다음으로, 포토레지스트에, 제1 형상 F1과, 제2 형상 F2를 간격 W4, 이격된 위치에서 노광한다(스텝 S2: 도 9: (b2)).

제1 형상 F1은, X 방향을 마주 보는 한 쌍의 변 F11, F12가, +Z(-Z)측을 향함에 따라서 서서히 가까워지면서 합류하는 제1 부분 F13을 포함하는 형상이다. 제2 형상 F2는, 금속 튜브 T의 단부 E에서 -Z(+Z) 방향으로 연장되는 제2 부분 F21과, 제2 부분 F21에 연결됨과 함께 X 방향을 마주 보는 한 쌍의 변 F22, F23이, -Z(+Z)측을 향함에 따라서 서서히 가까워지면서 합류하는 제3 부분 F24를 포함하는 형상이다.

또한, 제2 부분 F21은, 제3 부분 F24와 마찬가지로, X 방향을 마주 보는 한 쌍의 변이, -Z(+Z)측을 향함에 따라서 서서히 가까워지면서 합류하는 형상이어도 된다.

다음으로, 포토레지스트를 현상함으로써, 노광된 제1 형상 F1 및 제2 형상 F2의 부분 포토레지스트를 제거해서 금속 튜브 T의 외벽면을 노출시킨다(스텝 S3: (b3)).

다음으로, 이 외벽면의 노출 부분을 에칭하고, 제1 형상 F1의 제1 부분 F13에 대응하는 노출 부분으로부터 확대해서 제거된 부분과 제2 형상 F2의 제3 부분 F24에 대응하는 노출 부분으로부터 확대해서 제거된 부분이 연통할 때까지 에칭을 계속한다(스텝 S4: 도 10: (b4)).

스텝 S4에 있어서, 제1 형상 F1 및 제2 형상 F2에 대응하는 노출 부분을 에칭하면, 우선 금속 튜브 T의 주위벽이 두께 방향으로 제거되는 것과 병행하여 제1 형상 F1 및 제2 형상 F2에 대응하는 부분의 주위벽이 침식된다. 그 결과, 제1 형상 F1보다도 약간 확대된 구멍과, 제2 형상 F2보다도 약간 확대된 절결이 형성된다. 또한 에칭을 계속하면, 제1 형상 F1 및 제2 형상 F2의 외연 부분에 대응하는 부분의 주위벽이 더욱 침식되어, 제1 형상 F1에 기초하는 구멍과 제2 형상 F2에 기초하는 절결이 계속해서 확대된다.

그 결과, 제1 부분 F13으로부터 확대해서 제거된 부분과 제3 부분 F24로부터 확대해서 제거된 부분이 연통하고, 수용부 A1(A2), 협소부 N1(N2), 및 깔때기 형상부 R1(R2)이 연결된 제1 슬릿 SL1(제2 슬릿 SL2)이 형성된다.

이 경우, 협소부 N1(N2)의 폭 W5는, 에칭의 계속 시간에 의해 결정되므로, 폭 W5를 미소한 간격으로 하는 것이 용이하다. 만약 가령, 스텝 S2에 있어서, 처음부터 제1 형상 F1과 제2 형상 F2가 연결된 형상, 즉 협소부 N1(N2)의 간격이 개방되어 있는 형상으로 노광을 행한 경우, 적어도 금속 튜브 T의 주위벽의 두께가 제거될 때까지, 에칭을 계속할 필요가 있다.

주위벽의 두께가 제거될 때까지의 에칭 기간 중에는, 협소부 N1(N2)도 또한 병행하여 침식을 받아, 폭 W5가 확대되어버린다. 이와 같이, 금속 튜브 T의 주위벽의 두께를 에칭하는 시간 동안에 폭 W5가 확대되어버리므로, 폭 W5를 적절한 미소 간격으로 형성하는 것이 어렵다.

한편, 본 제조 방법에 의하면, 금속 튜브 T의 주위벽의 두께를 제거할 때까지 에칭을 계속해도, 제1 형상 F1과 제2 형상 F2가 연결되지 않거나, 혹은 폭 W5가 매우 미소하게 되도록, 미리 간격 W4를 설정해 둔다. 그리고, 스텝 S2 내지 S4를 실행함으로써, 주위벽의 두께 제거와는 무관계하게 에칭 시간을 제어함으로써, 원하는 미소한 폭 W5를 형성하는 것이 가능해진다.

폭 W5를 미소하게 형성할 수 있으면, 통 형상체 Pa를 가늘게, 즉 접촉 단자 Pr을 가늘게 하는 것이 용이해진다. 그 결과, 보다 미소한 검사 대상을 검사하는 것이 용이해진다.

제1 스프링부 Pe1 및 제2 스프링부 Pe2에 대해서는, 금속 튜브 T의 주위벽에, 에칭이나 레이저 가공 등, 다양한 가공 방법에 의해 제1 나선 홈 Pg1 및 제2 나선 홈 Pg2를 형성함으로써, 제1 스프링부 Pe1 및 제2 스프링부 Pe2를 형성할 수 있다.

또한, 통 형상체 Pa는, 깔때기 형상부 R1, R2를 구비하고 있지 않아도 된다. 이하, 통 형상체 Pa가, 깔때기 형상부 R1, R2를 구비하지 않은 경우의 통 형상체 Pa의 제조 방법에 대하여, 도 11 내지 도 13을 참조하면서 설명한다.

우선, 도전성의 통 형상의 부재인 금속 튜브 T의 외벽면에 포토레지스트를 형성한다(스텝 S1a: (a1)).

다음으로, 금속 튜브 T의 단부로부터 간격 W6 이격된 위치에서, 포토레지스트에 제1 형상 F1을 노광한다(스텝 S2a: 도 12: (a2)).

다음으로, 포토레지스트를 현상함으로써, 노광된 제1 형상 F1의 부분의 포토레지스트를 제거해서 금속 튜브 T의 외벽면을 노출시킨다(스텝 S3a: (a3)).

다음으로, 이 외벽면의 노출 부분을 에칭하고, 제1 형상 F1의 제1 부분 F13에 대응하는 노출 부분으로부터 확대해서 제거된 부분이, 금속 튜브 T의 단부 E에 도달할 때까지 에칭을 계속한다(스텝 S4a: 도 13: (a4)).

스텝 S4a에 있어서, 제1 형상 F1에 대응하는 노출 부분을 에칭하면, 우선 금속 튜브 T의 주위벽이 두께 방향으로 제거되는 것과 병행하여 제1 형상 F1의 외연 부분에 대응하는 부분의 주위벽이 침식된다. 그 결과, 제1 형상 F1보다도 약간 확대된 구멍이 형성된다. 또한 에칭을 계속하면, 제1 형상 F1의 외연 부분에 대응하는 부분의 주위벽이 더욱 침식되어, 제1 형상 F1에 기초하는 구멍이 계속해서 확대된다.

그 결과, 제1 부분 F13으로부터 확대되어 제거된 부분이 단부 E에 도달하고, 수용부 A1(A2) 및 협소부 N1(N2)이 형성되고, 제1 슬릿 SL1(제2 슬릿 SL2)이 형성된다.

스텝 S2a 내지 S4a에 의해서도, 스텝 S2 내지 S4와 마찬가지로, 금속 튜브 T의 주위벽의 두께를 제거할 때까지 에칭을 계속해도, 제1 형상 F1이 단부 E에 도달되지 않거나, 혹은 폭 W5가 매우 미소하게 되도록, 미리 간격 W4를 설정해 둔다. 그리고, 스텝 S2a 내지 S4a를 실행함으로써, 주위벽의 두께 제거와는 무관계로, 에칭 시간을 제어함으로써 원하는 미소한 폭 W5를 형성하는 것이 가능해진다.

다음으로, 제1 도체 P1의 제조 방법에 대하여 설명한다. 또한, 제2 도체 P2는, 제1 도체 P1과 마찬가지로 제조할 수 있으므로, 그 설명을 생략한다. 제1 도체 P1의 제조에는, MEMS(Micro Electro Mechanical Systems), 리소그래피, 반도체 제조 프로세스, 전주, 및 3D 프린터에 의한 입체 성형 등 다양한 미세 가공 기술을 이용할 수 있다.

도 14를 참조하여, 상술한 바와 같은 미세 가공 기술을 이용하여, 우선, 제1 층 L1로서, 한 쌍의 협폭 판부 PN1 중 한쪽을 형성한다(c1).

다음으로, 제1 층 L1의 협폭 판부 PN1의 위에 제2 층 L2로서 중심 판부 PL1을 적층한다(c2). 다음으로, 제2 층 L2의 중심 판부 PL1의 위에 제3 층 L3으로서, 한 쌍의 협폭 판부 PN1 중 다른 쪽을 적층한다(c3).

이와 같이, 제1 도체 P1(제2 도체 P2)은, 판 형상으로 연장되는, 중심 판부 PL1(PL2)과 중심 판부 PL1(PL2)보다도 폭이 좁은 한 쌍의 협폭 판부 PN1(PN2)을 포함하고, 한 쌍의 협폭 판부 PN1(PN2)이 중심 판부 PL1(PL2)의 X 방향 양측에 적층된 형상을 갖고 있다. 그 결과, 상술한 바와 같은 미세 가공 기술을 이용하여, 판 형상 돌기 B1(B2)이나 걸림 결합부 K1(K2) 등의 미세 구조를 형성하는 것이 용이하다.

제1 도체 P1(제2 도체 P2)은, 한 쌍의 협폭 판부 PN1(PN2)이 중심 판부 PL1(PL2)의 X 방향 양측에 적층된 형상을 갖고 있으므로, 접촉 단자 Pr의 축방향에 수직인 단면은, 도 15에 도시한 바와 같이 된다. 이 형상에 의해, 통 형상체 Pa 내에 수용된 제1 도체 P1(제2 도체 P2)의 단면적은, 단면 형상이 정사각형인 경우보다도 증대된다. 그 결과, 접촉 단자 Pr의 전기 저항을 저감시키는 것이 용이해진다.

다음으로, 접촉 단자 Pr의 조립 방법에 대하여, 도 4 내지 도 6을 참조하면서 설명한다. 우선, 상술한 바와 같이 제조된 통 형상체 Pa, 제1 도체 P1, 및 제2 도체 P2를 준비한다. 다음으로, 제1 도체 P1의 -Z측 단부를 통 형상체 Pa의 +Z측 단부로부터 삽입한다. 이때, 폭이 좁은 협폭부 PS1로부터 먼저 통 형상체 Pa에 삽입되므로, 제1 도체 P1을 원활하게 통 형상체 Pa에 삽입할 수 있다.

다음으로, 판 형상 돌기 B1의 -Z측 벽면 KW1이 통 형상체 Pa의 +Z측 단부까지 오면, -Z측 벽면 KW1과 깔때기 형상부 R1이 간섭한다. 깔때기 형상부 R1은, 협소부 N1의 +Z측에 연결되고, +Z측을 향함에 따라 광폭이 되므로, -Z측 벽면 KW1과 깔때기 형상부 R1이 간섭한 후에도 제1 도체 P1을 계속해서 삽입하면, -Z측 벽면 KW1이 협소부 N1을 향해 가이드되고, -Z측 벽면 KW1이 협소부 N1을 빠져나가서 판 형상 돌기 B1이 협소부 N1의 간격 내에 위치한다.

이에 의해, 걸림 결합부 K1의 위치를, 협소부 N1에 대하여 간섭 가능한 적절한 위치에 위치 결정할 수 있다.

또한 제1 도체 P1을 계속해서 삽입하면, 걸림 결합부 K1의 경사면 KS1이 협소부 N1에 내측으로부터 맞닿고, 협소부 N1에 대하여 경사면 KS1이 미끄럼 이동하면서, 협소부 N1을 외주 방향으로 펴서 넓히고, 걸림 결합부 K1이 협소부 N1을 넘어 수용부 A1 내에 들어간다.

이와 같이, 걸림 결합부 K1에 경사면 KS1이 마련되어 있음으로써, 걸림 결합부 K1을 원활하게 수용부 A1 내에 위치시킬 수 있다. 그리고, 걸림 결합부 K1을 수용부 A1 내에 위치시킴으로써 걸림 결합부 K1이 협소부 N1과 걸림 결합하므로, 통 형상체 Pa로부터 제1 도체 P1이 빠질 우려를 저감시키는 것이 용이해진다.

또한, 걸림 결합부 K1, K2는, 협소부 N1, N2와 걸림 결합 가능하면 되며, 반드시 경사면 KS1, KS2를 구비하고 있지 않아도 된다.

또한 제1 도체 P1을 계속해서 삽입하면, 판 형상 돌기 B1의 -Z측 벽면 KW1이 제1 슬릿 SL1의 -Z측 단부 SL1a와 간섭하고, 통 형상체 Pa에 대한 제1 도체 P1의 삽입 위치가 위치 결정된다. 이때, 광폭부 PW1이 단부측 통부 PP1 내에 위치하기 때문에, 통 형상체 Pa의 내경에 대한 광폭부 PW1의 간극이 작아져서, 통 형상체 Pa에 대하여 제1 도체 P1이, Y 방향으로 움직일 우려가 저감된다.

제2 도체 P2는, 제1 도체 P1과 마찬가지로 하여 통 형상체 Pa에 삽입할 수 있다.

또한, 제1 도체 P1 및 제2 도체 P2는, 예를 들어 도 16에 도시한 바와 같이, 확대부 EX1, EX2를 구비하고 있지 않아도 되며, 판 형상 돌기 B1, B2를 더 구비하고 있지 않아도 된다.

또한, 제1 슬릿 SL1, 제2 슬릿 SL2, 판 형상 돌기 B1, B2, 걸림 결합부 K1, K2 및 확대부 EX1, EX2는, 한 쌍씩 마련되어 있는 예를 나타내었지만, 하나씩이어도 된다. 그러나, 한 쌍씩 구비함으로써, 제1 도체 P1, 제2 도체 P2가 180도 회전해도 통 형상체 Pa에 삽입할 수 있으므로, 접촉 단자 Pr의 조립이 용이해진다.

또한, 접촉 단자 Pr은 제2 도체 P2를 구비하지 않고, 통 형상체 Pa는 제2 슬릿 SL2를 구비하지 않고 있어도 된다. 또한, 통 형상체 Pa는, 제1 스프링부 Pe1, 제2 스프링부 Pe2, 또는 중앙측 통부 Pf를 구비하지 않고 있어도 된다.

즉, 본 발명의 일례에 따른 접촉 단자는, 도전성을 갖는 통 형상체와, 대략 막대형 형상을 갖고, 상기 통 형상체의 일단측의 통 내에 위치하는 막대 형상 본체 및 상기 통 형상체의 상기 일단으로부터 돌출되는 외부 도체부를 갖는 제1 도체를 구비하고, 상기 통 형상체의 일단으로부터 상기 통 형상체의 타단측을 향해 연장되는 제1 슬릿이 형성되고, 상기 제1 슬릿의 상기 타단측의 단부로부터 상기 일단측에 미리 설정된 제1 거리 이격된 위치에, 상기 제1 슬릿의 폭이 좁아진 협소부가 마련되고, 상기 막대 형상 본체는, 상기 제1 슬릿의, 상기 타단측의 단부와 상기 협소부 사이의 영역인 수용부 내에 위치하고, 상기 제1 슬릿의 폭 방향인 제1 방향 및 상기 통 형상체의 축방향에 대하여 수직인 제2 방향을 향해서 상기 협소부와 간섭 가능한 위치까지 돌출되는 걸림 결합부를 포함한다.

이 구성에 의하면, 수용부 내에 위치하는 걸림 결합부가, 협소부와 간섭 가능한 위치까지 돌출되어 있으므로, 통 형상체로부터 제1 도체가 빠지려고 하면 협소부와 걸림 결합부가 간섭한다. 그 결과, 통 형상체로부터 제1 도체가 빠질 우려를 저감시키는 것이 용이해진다.

또한, 상기 걸림 결합부의 상기 타단측에는, 상기 타단측을 향함에 따라 돌출량이 감소되는 경사면이 형성되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 접촉 단자를 조립할 때에, 통 형상체에 제1 도체를 삽입하면, 걸림 결합부의 경사면이 협소부에 내측으로부터 맞닿고, 협소부에 대하여 경사면이 미끄럼 이동하면서, 협소부를 외주 방향으로 펴서 넓히고, 걸림 결합부가 협소부 N1을 넘어 수용부 내에 들어간다. 따라서, 접촉 단자의 조립이 용이해진다.

또한, 상기 제1 슬릿은, 상기 협소부의 상기 일단측에 연결됨과 함께, 상기 일단측을 향함에 따라 광폭이 되는 깔때기 형상부를 더 포함하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 접촉 단자를 조립할 때에, 통 형상체에 제1 도체를 삽입하면, 걸림 결합부가 깔때기 형상부와 간섭한다. 깔때기 형상부는, 협소부의 상기 일단측에 연결되고, 상기 일단측을 향함에 따라 광폭이 되므로, 걸림 결합부와 깔때기 형상부가 간섭한 후에도 제1 도체를 계속해서 삽입하면, 걸림 결합부가 협소부를 향해서 가이드된다. 이에 의해, 걸림 결합부의 위치를, 협소부에 대하여 간섭 가능한 적절한 위치에 위치 결정할 수 있다.

또한, 상기 통 형상체는, 상기 제1 슬릿의 상기 타단측에 연결되는 단부측 통부와, 상기 단부측 통부의 상기 타단측에 연결되는 나선형의 스프링부를 더 포함하고, 상기 막대 형상 본체는, 상기 단부측 통부 내에 위치하는 광폭부와, 상기 광폭부보다도 폭이 좁은 상기 스프링부 내에 위치하는 협폭부를 더 포함하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 스프링부 내에 위치하는 협폭부가 협폭임으로써 스프링부의 내면과 협폭부 사이의 간격이 증대한다. 그 결과, 스프링부가 신축된 경우라도, 협폭부와 스프링부가 마찰해서 손모될 우려가 저감된다. 한편, 통 형상체의 신축하지 않는 단부측 통부 내에 위치하는 광폭부는, 협폭부보다도 폭이 넓기 때문에 단부측 통부 내면과 광폭부의 간격이 좁아진다. 그 결과, 통 형상체에 대하여 제1 도체가, 축방향으로 수직으로 움직일 우려가 저감된다.

또한, 상기 통 형상체는, 상기 스프링부의 상기 타단측에 연결되는 중앙측 통부를 더 포함하고, 상기 막대 형상 본체의 선단은, 상기 중앙측 통부 내에 위치하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 막대 형상 본체의 선단은, 스프링부를 피해서 중앙측 통부 내에 위치한다. 이에 의해, 검사시에 스프링부가 신축한 경우라도, 막대 형상 본체의 선단이 스프링부에 걸릴 우려가 저감되어, 막대 형상 본체가 스프링부의 좌굴을 더욱 억제한다.

또한, 상기 제1 슬릿은, 상기 제2 방향에 서로 대향하는 위치에 한 쌍, 형성되고, 상기 걸림 결합부는, 상기 한 쌍의 제1 슬릿의 각각에 대응하여 마련되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 제1 도체가 180도 회전해도 통 형상체에 삽입할 수 있으므로, 접촉 단자의 조립이 용이해진다.

또한, 상기 제1 도체는, 상기 제2 방향에 판 형상으로 돌출되고, 상기 협소부 내에 위치하는 판 형상 돌기를 더 포함하고, 상기 걸림 결합부는, 상기 판 형상 돌기의 상기 제1 방향 양측에, 각각 마련되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 판 형상 돌기가 협소부 내에 위치함으로써, 걸림 결합부의 위치를, 협소부에 대하여 간섭 가능한 적절한 위치에 위치 결정할 수 있다.

또한, 상기 판 형상 돌기의 상기 타단측 벽면은, 상기 제1 슬릿의 상기 타단측 단부와 간섭하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 판 형상 돌기의 타단측 벽면이 제1 슬릿의 타단측 단부와 간섭함으로써, 통 형상체에 대한 제1 도체의 삽입 위치를 위치 결정할 수 있다.

또한, 상기 제1 도체는, 판 형상으로 연장되는, 중심 판부와 상기 중심 판부보다도 폭이 좁은 한 쌍의 협폭 판부를 포함하고, 상기 한 쌍의 협폭 판부가 상기 중심 판부의 상기 제1 방향 양측에 적층된 형상을 갖고, 상기 판 형상 돌기는, 상기 중심 판부가 상기 제2 방향으로 폭이 넓어진 형상을 갖고, 상기 걸림 결합부는, 상기 한 쌍의 협폭 판부가 상기 제2 방향으로 폭이 넓어진 형상을 갖고 있는 것이 바람직하다.

이와 같은 형상을 갖는 제1 도체는, 적층 형성 가능한 미세 가공 기술에 의해 제조하는 것이 용이하다.

또한, 상기 협폭 판부는, 상기 협소부보다도 상기 일단측의 위치에서, 상기 협소부에 위치하는 부분보다도 폭이 넓은 확대부를 더 포함하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 협소부보다도 일단측의, 폭에 제약을 받기 어려운 위치에서, 협폭 판부가 폭이 넓은 확대부를 가짐으로써, 협폭 판부의 도체 단면적이 증대한다. 그 결과, 제1 도체의 저항값을 저감시키는 것이 용이해진다.

또한, 상기 통 형상체에는, 상기 통 형상체의 상기 타단으로부터 상기 일단측을 향해 연장되는, 상기 제1 슬릿을 180도 회전시킨 형상의 제2 슬릿이 더 형성되고, 상기 통 형상체의 상기 타단측에는, 상기 제1 도체의 상기 외부 도체부의 선단 형상을 제외한 부분을 180도 회전시킨 형상을 포함하는 제2 도체가 더 설치되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 통 형상체의 양단에, 막대 형상의 도체를 설치할 수 있다.

또한, 본 발명의 일례에 따른 검사 지그는, 상술한 접촉 단자와, 상기 접촉 단자를 지지하는 지지 부재를 구비한다.

이 구성에 의하면, 통 형상체로부터 도체가 빠질 우려를 저감시키는 것이 용이한 접촉 단자를 사용한 검사 지그가 얻어진다.

또한, 본 발명의 일례에 따른 검사 장치는, 상술한 검사 지그와, 상기 접촉 단자를 검사 대상에 마련된 검사점에 접촉시킴으로써 얻어지는 전기 신호에 기초하여, 상기 검사 대상의 검사를 행하는 검사 처리부를 구비한다.

이 구성에 의하면, 통 형상체로부터 도체가 빠질 우려를 저감시키는 것이 용이한 접촉 단자를 사용한 검사 장치가 얻어진다.

또한, 본 발명의 일례에 따른 통 형상체의 제조 방법은, 상술한 접촉 단자에 있어서의 통 형상체의 제조 방법이며, (a1) 도전성의 통 형상의 부재에 있어서의 외벽면에 포토레지스트를 형성하고, (a2) 상기 외벽면의 상기 일단으로부터 이격된 위치에 있어서 상기 포토레지스트에 제1 형상을 노광하고, 상기 제1 형상은, 상기 제1 방향을 마주 보는 한 쌍의 변이, 상기 일단측을 향함에 따라서 서서히 가까워지면서 합류하는 제1 부분을 포함하는 형상이며, (a3) 상기 포토레지스트의 상기 노광한 부분을 제거하고, (a4) 상기 포토레지스트의 상기 제거된 부분에 있어서 노출되는 상기 외벽면을 에칭함과 함께, 상기 제1 부분으로부터 확대해서 제거된 부분이 상기 통 형상의 부재의 상기 일단에 도달하여 상기 협소부를 형성할 때까지 상기 에칭을 계속한다.

또한, 본 발명의 일례에 따른 통 형상체의 제조 방법은, 상술한 접촉 단자에 있어서의 통 형상체의 제조 방법이며, (b1) 도전성의 통 형상의 부재에 있어서의 외벽면에 포토레지스트를 형성하고, (b2) 제1 형상과, 상기 제1 형상으로부터 이격된 제2 형상을 상기 포토레지스트에 노광하고, 상기 제1 형상은, 상기 제1 방향을 마주 보는 한 쌍의 변이, 상기 일단측을 향함에 따라서 서서히 가까워지면서 합류하는 제1 부분을 포함하는 형상이며, 상기 제2 형상은, 상기 외벽면의 상기 일단으로부터 상기 타단 방향으로 연장되는 제2 부분과, 상기 제2 부분에 연결됨과 함께 상기 제1 방향을 마주 보는 한 쌍의 변이, 상기 타단측을 향함에 따라서 서서히 가까워지면서 합류하는 제3 부분을 포함하는 형상이며, (b3) 상기 포토레지스트의 상기 노광한 부분을 제거하고, (b4) 상기 포토레지스트의 상기 제거된 부분에 있어서 노출되는 상기 외벽면을 에칭함과 함께, 상기 제1 부분으로부터 확대해서 제거된 부분과 상기 제3 부분으로부터 확대해서 제거된 부분이 연통하여 상기 협소부 및 상기 깔때기 형상부를 형성할 때까지 상기 에칭을 계속한다.

이들 제조 방법에 의하면, 상술한 통 형상체에 있어서의 협소부를, 미세한 간격으로 형성하는 것이 용이하다.

또한, 본 발명의 일례에 따른 제1 도체의 제조 방법은, 상술한 접촉 단자에 있어서의 제1 도체의 제조 방법이며, (c1) 상기 한 쌍의 협폭 판부 중 한쪽을 형성하고, (c2) 상기 한쪽의 협폭 판부의 위에 상기 중심 판부를 적층하고, (c3) 상기 중심 판부의 위에 상기 한 쌍의 협폭 판부 중 다른 쪽을 적층한다.

이 제조 방법에 의하면, 상술한 제1 도체를 제조하는 것이 용이하다.

1: 검사 장치
3: 검사 지그
4: 검사부
6a: 적재부
6: 시료대
8: 검사 처리부
31a, 31b, 31c: 지지 플레이트
31: 지지 부재
34a: 전극
34: 배선
35: 접속 플레이트
37: 테스터 헤드
101: 검사 대상물
A1, A2: 수용부
B1, B2: 판 형상 돌기
B1W: +Z측 벽면
D1: 제1 거리
E: 단부
EX1, EX2: 확대부
F1: 제1 형상
F11, F12, F22, F23: 변
F13: 제1 부분
F2: 제2 형상
F21: 제2 부분
F24: 제3 부분
Ha: 삽통 구멍
Ha1: 소경부
K1, K2: 걸림 결합부
KS1, KS2: 경사면
KW1: -Z측 벽면
KW2: +Z측 벽면
L1: 제1 층
L2: 제2 층
L3: 제3 층
N1, N2: 협소부
P1: 제1 도체
P2: 제2 도체
P2A: -Z 단부
Pa: 통 형상체
Pb1, Pb2: 막대 형상 본체
Pc1, Pc2: 외부 도체부
Pe1: 제1 스프링부(스프링부)
Pe2: 제2 스프링부(스프링부)
Pf: 중앙측 통부
Pg1: 제1 나선 홈
Pg2: 제2 나선 홈
PL1, PL2: 중심 판부
PN1, PN2: 폭협 판부
PP1, PP2: 단부측 통부
Pr: 접촉 단자
PS1, PS2: 폭협부
PW1, PW2: 폭광부
R1, R2: 깔때기 형상부
SL1: 제1 슬릿
SL1a: -Z측 단부
SL2: 제2 슬릿
SL2a: +Z측 단부
T: 금속 튜브
W1, W2, W3, W4, W5: 폭
W6: 간격

Claims (16)

1. 도전성을 갖는 통 형상체와,
   대략 막대형 형상을 갖고, 상기 통 형상체의 일단측의 통 내에 위치하는 막대 형상 본체 및 상기 통 형상체의 상기 일단으로부터 돌출되는 외부 도체부를 갖는 제1 도체를 구비하고,
   상기 통 형상체의 일단으로부터 상기 통 형상체의 타단측을 향해 연장되는 제1 슬릿이 형성되고,
   상기 제1 슬릿의 상기 타단측의 단부로부터 상기 일단측에 미리 설정된 제1 거리 이격된 위치에, 상기 제1 슬릿의 폭이 좁아진 협소부가 마련되고,
   상기 막대 형상 본체는, 상기 제1 슬릿의, 상기 타단측의 단부와 상기 협소부와의 사이의 영역인 수용부 내에 위치하고, 상기 제1 슬릿의 폭 방향인 제1 방향 및 상기 통 형상체의 축방향에 대하여 수직인 제2 방향을 향해서 상기 협소부와 간섭 가능한 위치까지 돌출되는 걸림 결합부를 포함하는 접촉 단자.
2. 제1항에 있어서,
   상기 걸림 결합부의 상기 타단측에는, 상기 타단측을 향함에 따라 돌출량이 감소하는 경사면이 형성되어 있는 접촉 단자.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 제1 슬릿은, 상기 협소부의 상기 일단측에 연결됨과 함께, 상기 일단측을 향함에 따라 광폭이 되는 깔때기 형상부를 더 포함하는 접촉 단자.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 통 형상체는, 상기 제1 슬릿의 상기 타단측에 연결되는 단부측 통부와, 상기 단부측 통부의 상기 타단측에 연결되는 나선형의 스프링부를 더 포함하고,
   상기 막대 형상 본체는, 상기 단부측 통부 내에 위치하는 광폭부와, 상기 광폭부보다도 폭이 좁은 상기 스프링부 내에 위치하는
   협폭부를 더 포함하는 접촉 단자.
5. 제4항에 있어서,
   상기 통 형상체는, 상기 스프링부의 상기 타단측에 연결되는 중앙측 통부를 더 포함하고,
   상기 막대 형상 본체의 선단은, 상기 중앙측 통부 내에 위치하는 접촉 단자.
6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1 슬릿은, 상기 제2 방향에 서로 대향하는 위치에 한 쌍 형성되고,
   상기 걸림 결합부는, 상기 한 쌍의 제1 슬릿의 각각에 대응하여 마련되어 있는 접촉 단자.
7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 제1 도체는, 상기 제2 방향에 판 형상으로 돌출되고, 상기 협소부 내에 위치하는 판 형상 돌기를 더 포함하고,
   상기 걸림 결합부는, 상기 판 형상 돌기의 상기 제1 방향 양측에, 각각 마련되어 있는 접촉 단자.
8. 제7항에 있어서,
   상기 판 형상 돌기의 상기 타단측 벽면은, 상기 제1 슬릿의 상기 타단측 단부와 간섭하는 접촉 단자.
9. 제7항 또는 제8항에 있어서,
   상기 제1 도체는, 판 형상으로 연장되는, 중심 판부와 상기 중심 판부보다도 폭이 좁은 한 쌍의 협폭 판부를 포함하고, 상기 한 쌍의 협폭 판부가 상기 중심 판부의 상기 제1 방향 양측에 적층된 형상을 갖고,
   상기 판 형상 돌기는, 상기 중심 판부가 상기 제2 방향으로 폭이 넓어진 형상을 갖고,
   상기 걸림 결합부는, 상기 한 쌍의 협폭 판부가 상기 제2 방향으로 폭이 넓어진 형상을 갖고 있는 접촉 단자.
10. 제9항에 있어서,
    상기 협폭 판부는, 상기 협소부보다도 상기 일단측의 위치에서, 상기 협소부에 위치하는 부분보다도 폭이 넓은 확대부를 더 포함하는, 접촉 단자.
11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 통 형상체에는, 상기 통 형상체의 상기 타단으로부터 상기 일단측을 향해 연장되는, 상기 제1 슬릿을 180도 회전시킨 형상의 제2 슬릿이 더 형성되고,
    상기 통 형상체의 상기 타단측에는, 상기 제1 도체의 상기 외부 도체부의 선단 형상을 제외한 부분을 180도 회전시킨 형상을 포함하는 제2 도체가 더 설치되어 있는 접촉 단자.
12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 기재된 접촉 단자와,
    상기 접촉 단자를 지지하는 지지 부재를 구비하는 검사 지그.
13. 제12항에 기재된 검사 지그와,
    상기 접촉 단자를 검사 대상에 마련된 검사점에 접촉시킴으로써 얻어지는 전기 신호에 기초하여, 상기 검사 대상의 검사를 행하는 검사 처리부를 구비하는 검사 장치.
14. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 기재된 접촉 단자에 있어서의 통 형상체의 제조 방법이며, (a1) 도전성의 통 형상의 부재에 있어서의 외벽면에 포토레지스트를 형성하고, (a2) 상기 외벽면의 상기 일단으로부터 이격된 위치에 있어서 상기 포토레지스트에 제1 형상을 노광하고, 상기 제1 형상은, 상기 제1 방향을 마주 보는 한 쌍의 변이, 상기 일단측을 향함에 따라서 서서히 가까워지면서 합류하는 제1 부분을 포함하는 형상이며, (a3) 상기 포토레지스트의 상기 노광한 부분을 제거하고, (a4) 상기 포토레지스트의 상기 제거된 부분에 있어서 노출되는 상기 외벽면을 에칭함과 함께, 상기 제1 부분으로부터 확대해서 제거된 부분이 상기 통 형상의 부재의 상기 일단에 도달하여 상기 협소부를 형성할 때까지 상기 에칭을 계속하는 통 형상체의 제조 방법.
15. 제3항에 기재된 접촉 단자에 있어서의 통 형상체의 제조 방법이며, (b1) 도전성의 통 형상의 부재에 있어서의 외벽면에 포토레지스트를 형성하고, (b2) 제1 형상과, 상기 제1 형상으로부터 이격된 제2 형상을 상기 포토레지스트에 노광하고,
    상기 제1 형상은, 상기 제1 방향을 마주 보는 한 쌍의 변이, 상기 일단측을 향함에 따라서 서서히 가까워지면서 합류하는 제1 부분을 포함하는 형상이며,
    상기 제2 형상은, 상기 외벽면의 상기 일단으로부터 상기 타단 방향으로 연장되는 제2 부분과, 상기 제2 부분에 연결됨과 함께 상기 제1 방향을 마주 보는 한 쌍의 변이, 상기 타단측을 향함에 따라서 서서히 가까워지면서 합류하는 제3 부분을 포함하는 형상이며, (b3) 상기 포토레지스트의 상기 노광한 부분을 제거하고, (b4) 상기 포토레지스트의 상기 제거된 부분에 있어서 노출되는 상기 외벽면을 에칭함과 함께, 상기 제1 부분으로부터 확대해서 제거된 부분과 상기 제3 부분으로부터 확대해서 제거된 부분이 연통하여 상기 협소부 및 상기 깔때기 형상부를 형성할 때까지 상기 에칭을 계속하는 통 형상체의 제조 방법.
16. 제9항 또는 제10항에 기재된 접촉 단자에 있어서의 제1 도체의 제조 방법이며, (c1) 상기 한 쌍의 협폭 판부 중 한쪽을 형성하고, (c2) 상기 한쪽의 협폭 판부의 위에 상기 중심 판부를 적층하고, (c3) 상기 중심 판부의 위에 상기 한 쌍의 협폭 판부 중 다른 쪽을 적층하는 제1 도체의 제조 방법.

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