KR20230056462A - 열적외선 차폐막 성능검사장치 - Google Patents

열적외선 차폐막 성능검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명인 차폐성능검사장치는, 외부로부터 유입되는 외부광을 차단하는 외부광차폐박스, 외부광차폐박스와 검사대상차폐막 사이인 제1 챔버에 설치되며, 시험광을 방출하는 광원, 외부광차폐박스의 내측벽을 둘러싸며 설치되고 시험광을 검출하는 제1 광검출기, 외부광차폐박스 내부에 배치되며 시험광을 차단하는 검사대상차폐막, 검사대상차폐막의 내측벽에 둘러싸며 설치되고, 시험광을 검출하는 제2 광검출기 및 제1 광검출기로부터 검출된 제1 시험광데이터 및 제2 광검출기로부터 검출된 제2 시험광데이터에 기초하여 검사대상차폐막의 시험광차폐성능을 판단하는 검사기를 포함한다.

Description

열적외선 차폐막 성능검사장치{INSPECTION DEVICE FOR THERMAL INFRARED SHIELDING PERFORMANCE}
본 발명은 적외선분광기에 구비된 열적외선 차폐막의 차폐성능을 검사하기 위한 차폐성능검사장치에 관한 것이다.
적외선분광기는 망원경에 설치되며 망원경 내부로 입사되는 적외선영역대의 광을 분석하여 대상을 관찰할 수 있다.
일반적으로, 상온에서는 주변물체로부터 나오는 배경복사광(적외선)에 의해서 적외선분광기가 간섭을 받을 수 있다. 따라서, 망원경 내부로 입사되는 적외선영역대의 타겟 광만을 분석하기 위해서는 극저온 상태에서 구동하여 간섭을 야기하는 배경복사광을 차단할 필요성이 있다. 이에, 적외선분광기는 적외선차폐막을 구비한다.
종래에는, 적외선차폐막의 적외선차폐성능을 검사하기 위해서 액화질소와 같은 극저온의 냉매를 통해 적외선분광기의 내부를 냉각하고, 센서를 이용하여 적외선영역대의 배경복사광이 검출되는지를 검사하였다. 다만, 액화질소와 같은 극저온의 냉매와 극저온에서 구동하는 적외선 센서를 사용하여 차폐성능을 검사하는 경우, 비용이 많이 들고 시간이 오래걸린다.
이에, 상온에서 가시광선 영역대의 광을 이용하여 저비용, 고효율로 적외선분광기에 구비된 차폐막의 차폐성능을 검사하는 기술이 필요한 실정이다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 가시광선 영역대의 광 및 센서를 이용하여 적외선분광기에 구비된 차폐막의 적외선차폐성능을 검사하는 차폐성능검사장치를 제공하기 위함이다.
본 발명의 한 실시예에 따른 차폐성능검사장치는, 외부로부터 유입되는 외부광을 차단하는 외부광차폐박스, 외부광차폐박스와 검사대상차폐막 사이인 제1 챔버에 설치되며, 시험광을 방출하는 광원, 외부광차폐박스의 내측벽을 둘러싸며 설치되고 시험광을 검출하는 제1 광검출기, 외부광차폐박스 내부에 배치되며 시험광을 차단하는 검사대상차폐막, 검사대상차폐막의 내측벽을 둘러싸며 설치되고, 시험광을 검출하는 제2 광검출기 및 제1 광검출기로부터 검출된 제1 시험광데이터 및 제2 광검출기로부터 검출된 제2 시험광데이터에 기초하여 검사대상차폐막의 시험광차폐성능을 판단하는 검사기를 포함한다.
또한, 본 발명의 한 실시예에 따른 광원은 가시광선을 방출하는 가시광원을 포함한다.
또한, 본 발명의 한 실시예에 따른 외부광차폐박스의 내측벽과 검사대상차폐막의 외측벽 및 내측벽은 시험광을 반사하도록 경면 가공된다.
또한, 본 발명의 한 실시예에 따른 제1 시험광데이터는 제1 광검출기에 의해 검출된 시험광의 제1 광자플럭스데이터를 포함하고, 제2 시험광데이터는 제2 광검출기에 의해 검출된 시험광의 제2 광자플럭스데이터를 포함한다.
또한, 본 발명의 한 실시예에 따른 검사기는, 시험광이 외부광차폐박스의 내측벽 또는 검사대상차폐막의 외측벽에 반사되어 제1 광검출기에서 검출되는 제1 시험광데이터와 검사대상차폐막을 관통하여 제2 광검출기에서 검출되는 제2 시험광데이터에 기초하여 검사대상차폐막의 시험광차폐성능을 판단한다.
또한, 본 발명의 한 실시예에 따른 검사기는, 제1 시험광데이터에서 산출된 제1 광자플럭스데이터와 제2 시험광데이터에서 산출된 제2 광자플럭스데이터의 비율인 차폐성능비율값을 산출하고, 차폐성능비율값과 기준차폐성능값을 비교한다.
또한, 본 발명의 한 실시예에 따른 검사기는, 차폐성능비율값이 기준차폐성능값 미만인 경우, 검사대상차폐막의 시험광차폐성능은 정상이고 시험광이 검사대상차폐막의 내부로 유입되지 않는 것으로 판단하고, 차폐성능비율값이 기준차폐성능값 이상인 경우, 검사대창차폐막의 시험광차폐성능은 비정상이라고 판단하고 시험광이 검사대상차폐막의 내부로 유입되는 것으로 판단한다.
본 발명에 따른 차폐성능검사장치는 상온에서 가시광선 영역대의 광 및 센서를 이용하여 적외선차폐막에 구비된 차폐막의 차폐성능을 검사할 수 있다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 차폐성능검사장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 검사대상차폐막의 차폐성능을 검사하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 차폐성능검사장치의 구동방법을 설명하기 위한 도면이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시 예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다. 따라서 앞서 설명한 참조 부호는 다른 도면에서도 사용할 수 있다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 과장되게 나타낼 수 있다.
또한, 설명에서 "동일하다"라고 표현한 것은, "실질적으로 동일하다"는 의미일 수 있다. 즉, 통상의 지식을 가진 자가 동일하다고 납득할 수 있을 정도의 동일함일 수 있다. 그 외의 표현들도 "실질적으로"가 생략된 표현들일 수 있다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 차폐성능검사장치를 설명하기 위한 도면이다.
본 발명의 한 실시예에 따른 차폐성능검사장치(1)는 외부광차폐박스(10), 검사대상차폐막(20), 광원(30), 제1 광검출기(40), 제2 광검출기(50), 및 검사기(60)를 포함한다.
본 발명의 검사대상차폐막(20)(또는, 적외선차폐막)의 적외선차폐성능은 빛의 파장대와 무관한 광자의 개수 비율을 통해서 산출될 수 있으므로 상온상태 및 가시광선 영역대의 광을 이용하여 측정될 수 있다. 이하, 차폐성능검사장치(1)는 상온 및 가시광선의 영역대의 빛을 가지는 주변환경에서 동작하는 것으로 가정한다.
외부광차폐박스(10)는 외부(주변물체)로부터 차폐막 성능측정 환경(즉, 외부광차폐박스(10)의 내부)로 유입되는 간섭외부광(가시광선 영역대의 광)을 차단할 수 있다.
구체적으로, 외부광차폐박스(10)는 검사대상차폐막(20)의 외부에 위치한다. 이때, 적외선분광기(70)는 검사대상차폐막(20)의 내부에 위치할 수 있다. 외부광차폐박스(10)는 주변물체로부터 유입되는 간섭외부광이 제1 광검출기(40)로 유입되는 것을 차단할 수 있다.
외부광차폐박스(10)의 내벽(10(a), 도 2 참고)은 경면가공될 수 있다.
구체적으로, 외부광차폐박스(10)의 내벽(10(a))은 경면가공되어, 광원(30)에서 방출되는 광이 제1 챔버(CH1)의 내부로 고르게 퍼지게 할 수 있다. 광원(30)에서 방출되는 광은 외부광차폐박스(10)의 내벽(10(a))의 제1 지점으로 직접 입사될 수 있다. 또는, 광원(30)에서 방출되는 광은 외부광차폐박스(10)의 내벽(10(a))의 제2 지점에서 반사되어 상기 제1 지점으로 입사될 수 있다. 이때, 제1 지점과 제2 지점은 서로 다른 지점일 수 있다.
검사대상차폐막(20)은 외부로부터 적외선분광기(70)로 유입되는 간섭외부광을 차단할 수 있다.
구체적으로, 검사대상차폐막(20)은 외부광차폐박스(10)의 내부에 위치한다. 검사대상차폐막(20)은 주변물체로부터 유입되는 외부광이 적외선분광기(70)에 유입되는 것을 차단할 수 있다.
본 발명에서 검사대상차폐막(20)의 외부광차폐성능을 검사하는 과정은 광원(30)에서 방출되는 가시광선 영역대의 광을 이용하여 검사할 수 있으며, 아래, 도 2에서 구체적으로 설명하기로 한다.
검사대상차폐막(20)의 외벽(20(a), 도 2 참고) 및 내벽(20(b), 도 2 참고)은 경면가공될 수 있다.
구체적으로, 검사대상차폐막(20)의 외벽(20(a))은 경면가공되어, 광원(30)에서 방출되는 광이 제1 챔버(CH1)의 내부로 고르게 퍼지게 할 수 있다. 광원(30)에서 방출되는 광은 외부광차폐박스(10)의 내벽(10(a))의 제1 지점으로 직접 입사될 수 있다. 또는, 광원(30)에서 방출되는 광은 외부광차폐박스(10)의 내벽(10(a))의 제2 지점에서 반사되어 상기 제1 지점으로 입사될 수 있다. 또는, 광원(30)에서 방출되는 광은 검사대상차폐막(20)의 외벽(20(a))의 제3 지점에서 반사되어 상기 제1 지점으로 입사될 수 있다. 이때, 제1 내지 제3 지점은 서로 다른 지점일 수 있다.
검사대상차폐막(20)의 내벽(20(b))은 경면가공되어, 검사대상차폐막(20)의 내부로 유입된 광이 제2 챔버(CH2)의 내부로 고르게 퍼지게 할 수 있다. 검사대상차폐막(20)의 내부로 유입되는 광은 검사대상차폐막(20)의 내벽(20(b))의 제4 지점으로 직접 입사될 수 있다. 또는, 검사대상차폐막(20)의 내벽(20(b))의 제5 지점에서 반사되어 상기 제4 지점으로 입사될 수 있다. 이때, 제4 내지 제5 지점은 서로 다른 지점일 수 있다.
광원(30)은 외부광차폐박스(10)에 연결되며, 외부광차폐박스(10)와 검사대상차폐막(20)의 사이 공간인 제1 챔버(ch1, 도 2 참고)에 위치할 수 있다. 광원(30)은 가시광선영역대의 광을 방출할 수 있다. 이하, 광원(30)에서 방출되는 가시광선영역대의 광을 시험광이라 명명하기로 한다.
광원(30)은 가시광선 영역대의 시험광을 방출하는 가시광원일 수 있다. 광원(30)에서 방출된 가시광선 영역대의 시험광은 외부광차폐박스(10)의 내측벽과 검사대상차폐막(20)의 외측벽 사이인 제1 챔버(CH1)를 향하여 발산될 수 있다.
제1 광검출기(40)는 외부광차폐박스(10)의 내측벽을 둘러싸며 설치되고, 광원(30)에서 발산되는 시험광을 검출할 수 있다.
구체적으로, 제1 광검출기(40)는 광원(30)에서 발산되어 외부광차폐박스(10)의 어느 하나의 내측벽으로 직접적으로 입사되는 시험광을 검출할 수 있다. 또한, 제1 광검출기(40)는 광원(30)에서 발산되어 외부광차폐박스(10)의 다른 하나의 내측벽에 반사되어 외부광차폐박스(10)의 상기 어느 하나의 내측벽으로 입사되는 시험광을 검출할 수 있다. 또는, 제1 광검출기(40)는 광원(30)에서 발산되어 검사대상차폐막(20)의 어느 하나의 외측벽에 반사되어 외부광차폐박스(10)의 상기 어느 하나의 내측벽으로 입사되는 시험광을 검출할 수 있다.
제2 광검출기(50)는 검사대상차폐막(20)의 내측벽을 둘러싸며 설치되고, 광원(30)에서 발산되어 제2 챔버(CH2, 도 2참고)에 존재하는 시험광을 검출할 수 있다. 검사대상차폐막(20)의 차폐성능이 떨어지는 경우, 광원(30)에서 발산된 시험광은 검사대상차폐막(20)의 내부(또는, 제2 챔버(CH2))로 유입될 수 있다.
구체적으로, 제2 광검출기(50)는 광원(30)에서 발산되어 검사대상차폐막(20)을 관통하여 검사대상차폐막(20)의 내측벽으로 직접적으로 입사되는 시험광을 검출할 수 있다. 또한, 제2 광검출기(50)는 광원(30)에서 발산되어 검사대상차폐막(20)을 관통하고, 검사대상차폐막(20)의 어느 하나의 내측벽에 반사되어 검사대상차폐막(20)의 다른 하나의 내측벽으로 입사되는 시험광을 검출할 수 있다.
검사기(60)는 제1 광검출기(40) 및 제2 광검출기(50)에 연결되며, 제1 광검출기(40)로부터 검출된 제1 시험광데이터 및 제2 광검출기(50)로부터 검출된 제2 시험광데이터에 기초하여 검사대상차폐막(20)의 시험광차폐성능을 검사할 수 있다.
검사기(60)가 검출한 제1 시험광데이터는 제1 광검출기(40)에 도달한 시험광의 제1 광자플럭스데이터를 포함한다. 검사기(60)가 검출한 제2 시험광데이터는 제2 광검출기(50)에 도달한 시험광의 제2 광자플럭스데이터를 포함한다. 광자플럭스데이터란, 단위면적당 광검출기가 검출한 시험광의 선속에 관한 데이터(즉, 매초당 검출된 광자의 개수)를 의미한다.
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 검사대상차폐막의 차폐성능을 검사하는 과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 2를 참고하면, 차폐성능검사장치(1)의 X/Z축 단면이 도시된다.
검사대상차폐막(20)은 광원(30)에서 방출된 시험광(M)이 검사대상차폐막(20)의 내부로 유입되는 것을 차단하는 역할을 하나, 검사대상차폐막(20)의 외벽(20(a)) 및/또는 내벽(20(b)에 균열 또는 틈이 발생하는 경우, 광원(30)에서 방출된 시험광(M)은 검사대상차폐막(20)을 투과하여 적외선분광기(70)로 유입될 수 있다.
도 2를 참고하면, 광원(30)에서 방출된 가시광선영역대의 시험광(M)은 제1 챔버(ch1)의 내부로 발산할 수 있다.
이하, 도 2에서는, 광원(30)에서 방출된 시험광(M)이 검사대상차폐막(20)의 외측벽의 일 지점(P1)에서 외부광차폐박스(10)의 내측벽의 일 지점(P11)에 도달한 시험광 및 검사대상차폐막(20)의 외측벽의 일 지점(P1)을 관통하여 검사대상차폐막(20)의 내측벽의 일 지점(P12)에 도달한 시험광을 이용하여 검사대상차폐막(20)의 시험광차폐성능을 측정하는 과정을 예로 들어 설명하나, 광원(30)에서 방출된 시험광(M)이 외부광차폐박스(10)의 내측벽으로 직접 입사하는 경우, 광원(30)에서 방출된 시험광(M)이 외부광차폐박스(10)의 내측벽의 일 지점에서 반사되어 외부광차폐박스(10)의 내측벽의 다른 일 지점으로 입사하는 경우, 광원(30)에서 방출된 시험광(M)이 검사대상차폐막(20)을 관통하여 검사대상차폐막(20)의 내측벽의 일 지점에서 반사되어 검사대상차폐막(20)의 내측벽의 다른 일 지점으로 입사하는 경우에도 동일한 과정으로 검사대상차폐막(20)의 시험광차폐성능을 측정할 수 있으므로, 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
광원(30)에서 방출된 시험광(M)은 경면가공된 검사대상차폐막(20)의 외측벽의 일 지점(P1)에서 반사되어 외부광차폐박스(10)의 내측벽의 일 지점(P11)에 도달할 수 있다. 이하, 경면가공된 검사대상차폐막(20)의 외측벽의 일 지점(P1)에서 반사되어 외부광차폐박스(10)의 내측벽의 일 지점(P11)에 도달한 시험광을 제1 시험광(A)이라 명명한다.
광원(30)에서 방출된 시험광(M)은 검사대상차폐막(20)의 외측벽의 일 지점(P1)을 관통하여 검사대상차폐막(20)의 내측벽의 일 지점(P12)에 도달할 수 있다. 이하, 검사대상차폐막(20)의 외측벽의 일 지점(P1)을 관통하여 검사대상차폐막(20)의 내측벽의 일 지점(P12)에 도달한 시험광을 제2 시험광(B)라 명명한다.
외부광차폐박스(10)의 내측벽의 일 지점(P11)에 위치한 제1 광검출기(40)는 제1 시험광(A)을 검출할 수 있다. 검사대상차폐막(20)의 내측벽의 일 지점(P12)에 위치한 제2 광검출기(50)는 제2 시험광(B)을 검출할 수 있다.
검사기(60)는 제1 광검출기(40)에서 검출한 제1 시험광(A)을 이용하여 제1 시험광데이터를 산출하고, 제1 시험광데이터에 기초하여 제1 광자플럭스데이터를 산출할 수 있다. 검사기(60)는 제2 광검출기(50)에서 검출한 제2 시험광(B)을 이용하여 제2 시험광데이터를 산출하고, 제2 시험광데이터에 기초하여 제2 광자플럭스데이터를 산출할 수 있다.
검사기(60)는 제1 광자플럭스데이터와 제2 광자플럭스데이터의 비율인 차폐성능비율값을 산출할 수 있다. 검사기(60)는 차폐성능비율값과 미리 저장된 기준차폐성능값을 비교하여 검사대상차폐막(20)의 시험광차폐성능을 판단할 수 있다.
검사기(60)는 차폐성능비율값이 기준차폐성능값 미만인 경우, 검사대상차폐막(20)의 시험광차폐성능은 '정상'이라고 판단할 수 있다.
구체적으로, 차폐성능비율값이 기준차폐성능값 미만인 경우, 제1 광자플럭스데이터의 값이 제2 광자플럭스데이터의 값보다 매우 큰 것을 의미한다. 따라서, 광원(30)에서 방출된 시험광은 검사대상차폐막(20)의 제2 챔버(ch2)로 유입되지 않은 것을 의미하므로, 검사기(60)는 검사대상차폐막(20)의 시험광차폐성능이 '정상'이라고 판단할 수 있다.
검사기(60)는 차폐성능비율값이 기준차폐성능값 이상인 경우, 검사대상차폐막(20)의 시험광차폐성능은 '비정상'이라고 판단할 수 있다.
구체적으로, 차폐성능비율값이 기준차폐성능값 이상인 경우, 제1 광자플럭스데이터의 값이 제2 광자플럭스데이터의 값과 유사하다. 따라서, 광원(30)에서 방출된 시험광은 검사대상차폐막(20)의 제2 챔버(ch2)로 유입된 것을 의미하므로, 검사기(60)는 검사대상차폐막(20)의 시험광차폐성능이 '비정상'이라고 판단할 수 있다.
상술한 바와 같이, 도 2를 참고하면, 본 발명의 한 실시예에 따른 광원(30)에서 방출된 가시광선 영역대의 시험광을 이용하여 검사대상차폐막(20)의 시험광차폐성능을 검사할 수 있다.
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 차폐성능검사장치의 구동방법을 설명하기 위한 도면이다.
단계(S10)에서 제1 챔버(ch1)에 위치하는 광원(30)에서 가시광선 영역대의 시험광을 방출한다.
구체적으로, 광원(30)은 외부광차폐박스(10)와 검사대상차폐막(20) 사이 공간인 제1 챔버(ch1)에 위치하며, 외부광차폐박스(10)와 연결될 수 있다.
광원(30)은 가시광선 영역대의 시험광을 방출하는 가시광원으로 구성될 수 있으며, 외부광차폐박스(10)의 내측벽와 검사대상차폐막(20)의 외측벽을 향하여 가시광선영역대의 시험광을 방출할 수 있다.
단계(S11)에서 외부광차폐박스(10)의 내측벽에 구비된 제1 광검출기(40)에서 시험광을 검출할 수 있다.
구체적으로, 외부광차폐박스(10)의 내측벽에는 제1 광검출기(40)가 구비될 수 있으며, 제1 광검출기(40)는 광원(30)에서 방출되는 시험광을 검출할 수 있다.
단계(S12)에서 검사대상차폐막(20)의 내측벽에 구비된 제2 광검출기(50)에서 시험광을 검출할 수 있다.
구체적으로, 검사대상차폐막(20)의 내측벽에는 제2 광검출기(50)가 구비될 수 있으며, 제2 광검출기(50)는 검사대상차폐막(20) 내부의 제2 챔버(ch2)에 존재하는 시험광을 검출할 수 있다.
단계(S13)에서 제1 광검출기(40) 및 제2 광검출기(50)에서 검출된 시험광의 광자플럭스데이터 값을 산출하고 차폐성능비율값을 산출한다.
구체적으로, 검사기(60)는 제1 광검출기(40) 및 제2 광검출기(50)에서 검출된 시험광을 이용하여 시험광데이터를 산출하고, 시험광데이터를 이용하여 광자플럭스데이터 값을 산출할 수 있다.
검사기(60)는 광자플럭스데이터 값의 비율을 이용하여 차폐성능비율값을 산출할 수 있다.
단계(S14)에서 차폐성능비율값이 기준차폐성능값 미만인지 판단하여 검사대상차폐막(20)의 시험광차폐성능을 판단할 수 있다.
구체적으로, 검사기(60)는 차폐성능비율값이 기준차폐성능값 미만인 경우, 검사대상차폐막(20)의 시험광차폐성능은 '정상'이라고 판단할 수 있다. 검사기(60)는 차폐성능비율값이 기준차폐성능값 이상인 경우, 검사대상차폐막(20)의 시험광차폐성능은 '비정상'이라고 판단할 수 있다.
지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
1: 차폐성능검사장치
10: 외부광차폐박스
20: 검사대상차폐막
30: 광원
40: 제1 광검출기
50: 제2 광검출기
60: 검사기
70: 적외선분광기

Claims (7)

  1. 외부로부터 유입되는 외부광을 차단하는 외부광차폐박스;
    상기 외부광차폐박스와 검사대상차폐막 사이인 제1 챔버에 설치되며, 시험광을 방출하는 광원;
    상기 외부광차폐박스의 내측벽을 둘러싸며 설치되고 상기 시험광을 검출하는 제1 광검출기;
    상기 외부광차폐박스 내부에 배치되며 상기 시험광을 차단하는 검사대상차폐막;
    상기 검사대상차폐막의 내측벽을 둘러싸며 설치되고, 상기 시험광을 검출하는 제2 광검출기; 및
    상기 제1 광검출기로부터 검출된 제1 시험광데이터 및 상기 제2 광검출기로부터 검출된 제2 시험광데이터에 기초하여 상기 검사대상차폐막의 시험광차폐성능을 판단하는 검사기를 포함하는,
    차폐성능검사장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 광원은 가시광선을 방출하는 가시광원을 포함하는,
    차폐성능검사장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 외부광차폐박스의 내측벽과 상기 검사대상차폐막의 외측벽 및 내측벽은 상기 시험광을 반사하도록 경면 가공된,
    차폐성능검사장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 시험광데이터는 상기 제1 광검출기에 의해 검출된 상기 시험광의 제1 광자플럭스데이터를 포함하고,
    상기 제2 시험광데이터는 상기 제2 광검출기에 의해 검출된 상기 시험광의 제2 광자플럭스데이터를 포함하는,
    차폐성능검사장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 검사기는,
    상기 시험광이 상기 외부광차폐박스의 내측벽 또는 상기 검사대상차폐막의 외측벽에 반사되어 상기 제1 광검출기에서 검출되는 제1 시험광데이터와 상기 검사대상차폐막을 관통하여 상기 제2 광검출기에서 검출되는 제2 시험광데이터에 기초하여 상기 검사대상차폐막의 상기 시험광차폐성능을 판단하는,
    차폐막 성능검사장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 검사기는,
    상기 제1 시험광데이터에서 산출된 제1 광자플럭스데이터와 상기 제2 시험광데이터에서 산출된 제2 광자플럭스데이터의 비율인 차폐성능비율값을 산출하고, 상기 차폐성능비율값과 기준차폐성능값을 비교하는,
    차폐성능검사장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 검사기는,
    상기 차폐성능비율값이 상기 기준차폐성능값 미만인 경우, 상기 검사대상차폐막의 상기 시험광차폐성능은 정상이고 상기 시험광이 상기 검사대상차폐막의 내부로 유입되지 않는 것으로 판단하고,
    상기 차폐성능비율값이 상기 기준차폐성능값 이상인 경우, 상기 검사대창차폐막의 시험광차폐성능은 비정상이라고 판단하고 상기 시험광이 상기 검사대상차폐막의 내부로 유입되는 것으로 판단하는,
    차폐성능검사장치.
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KR101325356B1 (ko) * 2012-05-31 2013-11-08 광운대학교 산학협력단 태양전지 품질 측정 방법 및 장치
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KR20190035853A (ko) * 2016-08-04 2019-04-03 오피르 옵트로닉스 솔루션즈 리미티드 Led용 광도계 테스트 시스템

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