KR20230054462A - 종결합 공진자형 탄성파 필터 및 탄성파 필터 - Google Patents

종결합 공진자형 탄성파 필터 및 탄성파 필터 Download PDF

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KR20230054462A
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유야 히라츠카
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가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
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Abstract

대형화를 초래하지 않고 통과 대역 고역 측의 감쇠량을 크게 할 수 있는 종결합 공진자형 탄성파 필터를 제공한다.
제1 IDT 전극 및 제2 IDT 전극을 포함하는 복수개의 IDT 전극(2~6)과 제1, 제2 반사기(7, 8)를 포함하고, IDT 전극(2~6)이 핫 측 빗형 전극(2a, 3b, 4a, 5b, 6a)과, 그라운드 측 빗형 전극(2b, 3a, 4b, 5a, 6b)을 가지며, 제1 IDT 전극에 상당하는 IDT 전극(3, 5)의 핫 측 빗형 전극(3b, 5b)이 제1, 제2 반사기(7, 8) 중 적어도 하나에 전기적으로 접속되고, IDT 전극(3, 5)과 제1, 제2 반사기(7, 8) 사이에 제2 IDT 전극에 상당하는 IDT 전극(2, 6)이 배치되며, IDT 전극(3, 5)의 핫 측 빗형 전극(3b, 5b)이 입력단 및 출력단 중 하나에 접속되고, IDT 전극(2, 6)의 핫 측 빗형 전극(2a, 6a)이 입력단 및 출력단 중 다른 하나에 접속되는, 종결합 공진자형 탄성파 필터(1).

Description

종결합 공진자형 탄성파 필터 및 탄성파 필터
본 발명은 복수개의 IDT 전극 및 제1, 제2 반사기를 가지는 종결합 공진자형 탄성파 필터, 및 그것을 포함하는 탄성파 필터에 관한 것이다.
종래, 종결합 공진자형 탄성파 필터에서 교락(橋絡) 용량을 접속한 구조가 알려져 있다. 예를 들면, 하기의 특허문헌 1에서는 교락 용량을 접속함으로써, 필터의 통과 대역의 고역(高域) 측 근방에서의 감쇠극이 통과 대역에 가까워지고 있다. 그 때문에, 통과 대역 고역 측에서의 감쇠 특성이 개선되고 있다.
상기 교락 용량은 종결합 공진자형 탄성파 필터의 입력단과 출력단 사이에서 종결합 공진자형 탄성파 필터와 병렬로 접속되어 있다.
국제공개공보 WO2005/101657
상기 교락 용량을 마련하는 경우, 교락 용량을 칩 표면에 구성할 필요가 있다. 그 때문에, 교락 용량을 마련한 분량만큼, 칩 표면의 면적이 증대된다. 따라서, 종결합 공진자형 탄성파 필터의 대형화를 초래한다는 문제가 있었다.
본 발명의 목적은 대형화를 초래하지 않고, 통과 대역 고역 측의 감쇠 특성을 개선할 수 있는 종결합 공진자형 탄성파 필터 및 탄성파 필터를 제공하는 것에 있다.
본 발명에 따른 종결합 공진자형 탄성파 필터는 제1 IDT 전극 및 제2 IDT 전극을 포함하는 복수개의 IDT 전극과, 상기 복수개의 IDT 전극의 탄성파 전파방향 양측에 배치된 제1 반사기 및 제2 반사기를 포함하고, 상기 복수개의 IDT 전극이 각각 핫(hot) 측 전위에 접속되는 핫 측 빗형 전극과, 그라운드 측 전위에 접속되는 그라운드 측 빗형 전극을 가지며, 상기 제1 IDT 전극의 상기 핫 측 빗형 전극이 상기 제1 반사기 및 상기 제2 반사기 중 적어도 하나에 전기적으로 접속되고, 상기 제1 IDT 전극과, 상기 제1 IDT 전극의 상기 핫 측 빗형 전극이 접속된 상기 제1 반사기 및 상기 제2 반사기 중 적어도 하나의 사이에 상기 제2 IDT 전극이 배치되며, 상기 제1 IDT 전극의 상기 핫 측 빗형 전극이 입력단 및 출력단 중 하나에 접속되고, 상기 제2 IDT 전극의 상기 핫측 전위에 접속되는 빗형 전극이 입력단 및 출력단 중 다른 하나에 접속된다.
본 발명에 따르면, 대형화를 초래하지 않고 통과 대역 고역 측의 감쇠 특성을 개선할 수 있는 종결합 공진자형 탄성파 필터 및 탄성파 필터를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 종결합 공진자형 탄성파 필터의 회로도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시형태에 따른 종결합 공진자형 탄성파 필터의 모식적 회로도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 종결합 공진자형 탄성파 필터를 가지는 복합 필터 장치를 나타내는 회로도이다.
도 4는 실시예 1 및 비교예 1의 종결합 공진자형 탄성파 필터를 포함하는 실시예 1 및 비교예 1의 수신 필터의 감쇠량-주파수 특성을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 종결합 공진자형 탄성파 필터의 모식적 회로도이다.
도 6은 실시예 2 및 비교예 2의 수신 필터의 감쇠량-주파수 특성을 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 제3 실시형태에 따른 종결합 공진자형 탄성파 필터의 모식적 회로도이다.
도 8은 본 발명의 제4 실시형태에 따른 종결합 공진자형 탄성파 필터의 모식적 회로도이다.
도 9는 본 발명의 제5 실시형태에 따른 종결합 공진자형 탄성파 필터의 모식적 회로도이다.
이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명함으로써, 본 발명을 분명하게 한다.
한편, 본 명세서에 기재된 각 실시형태는 예시적인 것이며, 다른 실시형태 간에 구성의 부분적인 치환 또는 조합이 가능한 것을 지적해 둔다.
도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 종결합 공진자형 탄성파 필터의 회로도이다. 또한 도 2는 본 종결합 공진자형 탄성파 필터의 모식적 회로도이다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 종결합 공진자형 탄성파 필터(1)는 복수개의 IDT 전극(2~6)을 가진다. IDT 전극(2~6)은 탄성파 전파방향을 따라 늘어서 있다. 여기서 탄성파 전파방향이란, IDT 전극(2~6)의 전극지(電極指)가 연장되는 방향과 직교하는 방향이다.
IDT 전극(2~6)이 마련되어 있는 영역의 탄성파 전파방향 양측에 제1, 제2 반사기(7, 8)가 마련되어 있다.
따라서, 종결합 공진자형 탄성파 필터(1)는 5개의 IDT 전극(2~6)을 가지는 5 IDT형 종결합 공진자형 탄성파 필터이다.
종결합 공진자형 탄성파 필터(1)는 Band20의 수신 필터이다. 따라서, 수신 대역은 791㎒~821㎒이다.
입력 단자(9)는 안테나 단자에 접속되는 부분이다. 출력 단자(10)는 수신 단자이며, 수신된 신호를 출력한다.
IDT 전극(2~6)은 각각, 한 쌍의 빗형 전극인 2a, 2b~6a, 6b를 가진다. IDT 전극(2)을 예로 들면, 빗형 전극(2a)은 복수개의 제1 전극지(2a1)를 가진다. 빗형 전극(2b)은 복수개의 제2 전극지(2b1)를 가진다. 복수개의 제1 전극지(2a1)와 복수개의 제2 전극지(2b1)는 서로 맞물려 있다. 제1 전극지(2a1)와 제2 전극지(2b1)가 연장되는 방향과 직교하는 방향이 상술한 탄성파 전파방향이다.
IDT 전극(3~6)의 빗형 전극(3a, 3b~6a, 6b)도 빗형 전극(2a, 2b)과 마찬가지의 구조를 가진다.
제1, 제2 반사기(7, 8)는 복수개의 전극지의 양 단을 단락시킨 구조를 가진다. 즉, 제1, 제2 반사기(7, 8)는 그레이팅형 반사기이다.
종결합 공진자형 탄성파 필터(1)에서는 IDT 전극(2)의 빗형 전극(2a), IDT 전극(4)의 빗형 전극(4a) 및 IDT 전극(6)의 빗형 전극(6a)이 입력 단자(9)에 접속되어 있다. 즉, 빗형 전극(2a, 4a, 6a)은 핫 측 전위에 접속된다. 한편, 빗형 전극(2b, 4b, 6b)은 공통 접속되고, 그라운드 측 전위에 접속된다. 따라서, 빗형 전극(2a, 4a, 6a)이 IDT 전극(2, 4, 6)에서의 핫 측 빗형 전극이며, 빗형 전극(2b, 4b, 6b)이 그라운드 측 빗형 전극이다.
한편, IDT 전극(3, 5)의 빗형 전극(3b, 5b)이 공통 접속되고, 출력 단자(10)에 접속되어 있다. 빗형 전극(3a, 5a)은 공통 접속되고, 그라운드 측 전위에 접속된다. 따라서, IDT 전극(3, 5)에서는 빗형 전극(3b, 5b)이 핫 측 빗형 전극이며, 빗형 전극(3a, 5a)이 그라운드 측 빗형 전극이다.
종결합 공진자형 탄성파 필터(1)의 특징은 이하의 1)~4)에 있다. 1) 본 발명의 제1 IDT 전극에 상당하는 IDT 전극(3, 5)의, 핫 측 빗형 전극(3b, 5b)이 제1 반사기(7) 및 제2 반사기(8)에 접속되어 있다. 2) 제1 IDT 전극에 상당하는 IDT 전극(3, 5)과, 제1, 제2 반사기(7, 8) 사이에 각각, 제2 IDT 전극에 상당하는 IDT 전극(2, 6)이 배치되어 있다. 3) 제1 IDT 전극에 상당하는 IDT 전극(3, 5)의 핫 측 빗형 전극(3b, 5b)이 출력 단자(10)에 접속되어 있다. 4) 제2 IDT 전극에 상당하는 IDT 전극(2, 6)의 핫 측 빗형 전극(2a, 6a)이 입력 단자(9)에 접속되어 있다. 그로써, 통과 대역 고역 측의 감쇠 특성이 개선되어 있다. 이를, 구체적인 실시예 1 및 비교예 1의 특성을 나타냄으로써 분명하게 한다.
도 3은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 종결합 공진자형 탄성파 필터(1)를 가지는 복합 필터 장치(11)를 나타내는 회로도이다.
복합 필터 장치(11)는 안테나 단자(12)를 가진다. 안테나 단자(12)는 안테나에 접속된다. 안테나 단자(12)와 출력 단자(10) 사이에 수신 필터(13)가 접속되어 있다. 안테나 단자(12)와 송신 단자(14) 사이에 송신 필터(15)가 접속되어 있다. 복합 필터 장치(11)는 수신 필터(13)와 송신 필터(15)를 가지는 듀플렉서이다.
한편, 복합 필터 장치(11)에서는 수신 필터(13) 및 송신 필터(15) 이외에, 다른 대역 통과형 필터가 1개 또는 2개 이상 접속되어 있어도 된다. 즉, 복합 필터 장치(11)는 트리플렉서 등의 멀티플렉서이어도 된다.
수신 필터(13)는 종결합 공진자형 탄성파 필터(1)에 직렬로 접속된 직렬암(serial arm) 공진자(S1, S2)를 가진다. 또한, 직렬암 공진자(S1)와 직렬암 공진자(S2) 사이의 접속점과 그라운드 측 전위 사이에 병렬암(parallel arm) 공진자(P1)가 접속되어 있다. 수신 필터(13)는 본 발명에 따른 탄성파 필터이다. 다만, 본 발명에 따른 탄성파 필터는 수신 필터에 한정되지는 않는다.
실시예 1로서, 제1 실시형태의 종결합 공진자형 탄성파 필터(1)를 구성했다. 비교를 위해, 제1, 제2 반사기(7, 8)를 IDT 전극(3, 5)의 핫 측 빗형 전극(3b, 5b)과 전기적으로 접속하지 않고 제1, 제2 반사기(7, 8)를 띄운 상태로 한 것을 제외하고는 상기 실시예 1과 마찬가지로 하여, 비교예 1의 종결합 공진자형 탄성파 필터를 구성했다.
상기 실시예 1 및 비교예 1의 종결합 공진자형 탄성파 필터를 포함하는 실시예 1 및 비교예 1의 수신 필터의 감쇠량-주파수 특성을 도 4에 나타낸다. 도 4에서의 실선은 실시예 1의 수신 필터의 감쇠량-주파수 특성을 나타내고, 파선은 비교예 1의 감쇠량-주파수 특성을 나타낸다.
도 4로부터 분명한 바와 같이, 비교예 1에 비해 실시예 1에 따르면, 통과 대역 고역 측의 830㎒~855㎒에서 큰 감쇠량이 얻어졌다. 따라서, 통과 대역 고역 측의 감쇠 특성이 효과적으로 개선되었다. 한편, 도 4에서 주파수 영역(A)은 Band20의 송신 측 통과 대역이다. 따라서, 실시예 1에 따르면, Band20의 송신 측 통과 대역에서의 감쇠량이 충분히 확보된 Band20의 수신 필터를 제공할 수 있는 것을 알 수 있다.
상기와 같이 실시예 1에서 통과 대역 고역 측의 감쇠량을 개선할 수 있었던 것은, 입력 단자(9)와 출력 단자(10) 사이에 발생하는 용량이 증가했음에 의한다고 생각된다. 한편, 여기서의 용량이란, 압전 기판 상에 배선을 마련한 것에 의한 특성 임피던스의 용량이나, 인접하는 복수개의 IDT 전극 사이에 발생하는 용량을 말한다.
본 발명에서는 제1, 제2 반사기(7, 8)에 인접하지 않는 제1 IDT 전극, 즉, 본 실시형태에서의 IDT 전극(3, 5)의 핫 측 배선과 제1, 제2 반사기(7, 8)를 접속함으로써, 상기 용량 성분이 형성된 것으로 생각된다. 그로써, 감쇠극이 통과 대역에 가까워지고, 통과 대역 고역 측에서의 통과 대역 근방의 감쇠량이 커진 것으로 생각된다.
상기와 같이 본 발명에서는 상기 전기적 접속 구조에 의해 상기 용량 성분이 이용되기 때문에, 압전 기판 상에 별도로 교락 용량을 구성하기 위한 커패시터를 마련할 필요는 없다. 따라서, 대형화를 초래하지 않고 통과 대역 고역 측의 감쇠 특성을 개선할 수 있다.
제1 실시형태에서는 제1 IDT 전극으로서의 IDT 전극(3, 5)의 핫 측 빗형 전극(3b, 5b)이 제1, 제2 반사기(7, 8)와 공통 접속되고, 출력 단자(10)에 접속되어 있었다. 다만, 본 발명은 이와 같은 접속 구조에 한정되지 않는다. 이하, 제2 실시형태~제5 실시형태를 설명한다.
제2~제5 실시형태에서는 도 2와 마찬가지로 모식적 회로도로 회로 구성을 나타낸다.
도 5는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 종결합 공진자형 탄성파 필터의 모식적 회로도이다. 제2 실시형태의 종결합 공진자형 탄성파 필터(21)에서는 5개의 IDT 전극(2~6)이 탄성파 전파방향으로 배치되어 있다. 그리고 제1, 제2 반사기(7, 8)가, IDT 전극(2~6)이 마련된 영역의 양측에 배치되어 있다. 종결합 공진자형 탄성파 필터(21)에서는 제1 IDT 전극에 상당하는 IDT 전극(3, 5)과, 제1, 제2 반사기(7, 8) 사이에 제2 IDT 전극에 상당하는 IDT 전극(2, 6)이 배치되어 있다. 제1 실시형태와 다른 점은, 입력 단자(9)에 접속된 IDT 전극(3, 5)의 핫 측 빗형 전극이 제1, 제2 반사기(7, 8)와 전기적으로 접속되어 있는 점에 있다. 즉, 입력 단자(9)에 IDT 전극(3, 5)의 핫 측 빗형 전극이 접속되어 있다. 이 입력 단자(9)에 제1, 제2 반사기(7, 8)도 접속되어 있다. IDT 전극(2, 4, 6)의 핫 측 빗형 전극은 출력 단자(10)에 접속되어 있다.
이와 같이, 본 발명에서는 제1 IDT 전극의 핫 측 빗형 전극은 입력 단자(9)에 접속되어 있어도 되고, 그 경우, 제2 IDT 전극의 핫 측 빗형 전극은 출력 단자(10)에 접속되어 있다.
종결합 공진자형 탄성파 필터(21)는, 그 밖의 구성은 종결합 공진자형 탄성파 필터(1)와 마찬가지이다.
상기 종결합 공진자형 탄성파 필터(21)를 가지는 실시예 2의 수신 필터를 실시예 1과 마찬가지로 하여 구성했다. 단, 실시예 2에서는 종결합 공진자형 탄성파 필터(21)에서 제1, 제2 반사기(7, 8)에 인접하는 IDT 전극(2, 6)의 전극지는 그라운드 측 전위에 접속되는 전극지이다.
또한, 비교예 2로서, 상기 실시예 2의 수신 필터에서의 종결합 공진자형 탄성파 필터의 제1, 제2 반사기(7, 8)를 IDT 전극(3, 5)의 핫 측 빗형 전극과 전기적으로 접속하지 않는 것을 제외하고는 실시예 2와 동일한 수신 필터를 구성했다.
도 6은 실시예 2 및 비교예 2의 수신 필터의 감쇠량-주파수 특성을 나타내는 도면이다. 실선이 실시예 2의 결과를 나타내고, 파선이 비교예 2의 결과를 나타낸다.
도 6에서 주파수 영역(A)은 Band20의 송신 필터의 통과 대역을 나타낸다.
도 6으로부터 분명한 바와 같이, 실시예 2에서도 비교예 2에 비해, 통과 대역 고역 측, 특히 Band20의 송신 대역에서의 감쇠량이 충분히 크다. 따라서, 실시예 1과 마찬가지로 대형화를 초래하지 않고, 통과 대역 고역 측의 감쇠량을 크게 할 수 있는 것을 알 수 있다.
다만, 도 4의 실시예 1과 비교한 경우, 실시예 2에서는 통과 대역 고역 측에서의 감쇠량의 개선 효과가 작다. 이는, 제1, 제2 반사기(7, 8)에 인접한 IDT 전극(2, 6)의 전극지의 극성이 그라운드 측 전위로 되어 있기 때문에, 감쇠극을 통과 대역에 가까워지게 하는 효과가 작아졌기 때문으로 생각된다.
도 7은 본 발명의 제3 실시형태에 따른 종결합 공진자형 탄성파 필터의 모식적 회로도이다.
종결합 공진자형 탄성파 필터(31)는 3개의 IDT 전극(32~34)을 가진다. IDT 전극(32~34)이 마련된 영역의 양측에 제1, 제2 반사기(35, 36)가 마련되어 있다. 본 발명에서는 종결합 공진자형 탄성파 필터에서의 복수개의 IDT 전극의 수는 특별히 한정되지 않고, 3 IDT형 종결합 공진자형 탄성파 필터이어도 된다.
여기서는 IDT 전극(33)이 제1 IDT 전극에 상당하고, IDT 전극(33)과 제1 반사기(35) 사이에 제2 IDT 전극에 상당하는 IDT 전극(32)이 배치되어 있다. 또한, 제1 IDT 전극에 상당하는 IDT 전극(33)과 제2 반사기(36) 사이에 제2 IDT 전극에 상당하는 IDT 전극(34)이 배치되어 있다.
IDT 전극(33)의 출력 단자(10)에 접속되어 있는 핫 측 빗형 전극이 제1, 제2 반사기(35, 36)에 접속되어 있다. 따라서, 본 실시형태에서도 제1, 제2 실시형태와 마찬가지로, 통과 대역 고역 측의 감쇠량을 개선할 수 있다.
도 8은 본 발명의 제4 실시형태에 따른 종결합 공진자형 탄성파 필터의 모식적 회로도이다.
종결합 공진자형 탄성파 필터(41)는 3개의 IDT 전극(42~44)과 제1, 제2 반사기(45, 46)를 가진다. 따라서, 종결합 공진자형 탄성파 필터(41)는 3 IDT형 종결합 공진자형 탄성파 필터이다.
제1 IDT 전극에 상당하는 IDT 전극(43)과 제2 반사기(46) 사이에 제2 IDT 전극에 상당하는 IDT 전극(44)이 접속되어 있다. 여기서는 IDT 전극(43)의 출력 단자(10)에 접속되어 있는 빗형 전극, 즉, 핫 측 빗형 전극이 제2 반사기(46)에 접속되어 있다.
따라서, 제1~제3 실시형태와 마찬가지로, 통과 대역 고역 측의 감쇠량을 개선할 수 있다.
한편, 제1 반사기(45)는 제1 IDT 전극에 상당하는 IDT 전극(43)에 접속되어 있지 않다. 이와 같이, 제1, 제2 반사기(45, 46) 중 하나인 제2 반사기(46)만이 제1 IDT 전극의 핫 측 빗형 전극에 접속되어 있어도 된다.
즉, 본 발명에서는 제1 IDT 전극의 핫 측 빗형 전극에 제1, 제2 반사기 중 적어도 하나가 접속되어 있으면 된다. 이 경우에도 통과 대역 고역 측의 감쇠량을 개선할 수 있다.
도 9는 본 발명의 제5 실시형태에 따른 종결합 공진자형 탄성파 필터의 모식적 회로도이다.
종결합 공진자형 탄성파 필터(51)는 2개의 IDT 전극(52, 53)을 가진다. IDT 전극(52, 53)이 마련되어 있는 영역의 양측에 제1, 제2 반사기(54, 55)가 마련되어 있다. 이와 같이, 본 발명에서는 복수개의 IDT 전극(52, 53)의 수는 짝수개이어도 된다.
종결합 공진자형 탄성파 필터(51)는 입력 단자(9) 측에서는 제2 반사기(55)가 IDT 전극(52)의 핫 측 빗형 전극에 접속되어 있다. 따라서, 입력 단자(9) 측에서는 IDT 전극(52)이 제1 IDT 전극에 상당하고, IDT 전극(53)이 제2 IDT 전극에 상당한다. 따라서, 통과 대역 고역 측의 감쇠량을 개선할 수 있다.
또한, 출력 단자(10) 측에서는 IDT 전극(53)의 핫 측 빗형 전극이 제1 반사기(54)와 접속되어 있다. 이 경우, 출력 단자(10) 측에서는 IDT 전극(53)이 제1 IDT 전극에 상당하고, IDT 전극(52)이 제2 IDT 전극에 상당한다.
따라서, 출력 단자(10) 측에서의 상기 전기적 접속 구조에 의해, 통과 대역 고역 측의 감쇠량을 개선할 수 있다.
상기와 같이, 본 발명에서 복수개의 IDT 전극의 수는 홀수개이어도 되고 짝수개이어도 된다. 본 실시형태와 같이, m개(m은 짝수)의 IDT 전극을 가지는 경우, m개의 IDT 전극 중 제1 반사기에 인접하는 IDT 전극이 제2 IDT 전극이 되고, 제2 IDT 전극의 제1 반사기와는 반대 측에 위치하는 IDT 전극이 제1 IDT 전극에 상당하게 된다.
또한, 복수개의 IDT 전극이 n개(n은 홀수)의 IDT 전극인 경우, n개의 IDT 전극이 제1 반사기 측으로부터 제2 반사기 측을 향해 늘어서 있는 구조에서, 제1 반사기 측으로부터 짝수번째에 위치하는 IDT 전극이 제1 IDT 전극이며, 제1, 제2 반사기에 인접하는 홀수번째의 IDT 전극이 제2 IDT 전극이 된다.
1, 21, 31, 41, 51: 종결합 공진자형 탄성파 필터
2, 3, 4, 5, 6: IDT 전극
2a, 2b, 3a, 3b, 4a, 4b, 5a, 5b, 6a, 6b: 빗형 전극
2a1, 2b1: 제1, 제2 전극지
7, 8: 제1, 제2 반사기
9: 입력 단자
10: 출력 단자
11: 복합 필터 장치
12: 안테나 단자
13: 수신 필터
14: 송신 단자
15: 송신 필터
32, 33, 34: IDT 전극
35, 36: 제1, 제2 반사기
42, 43, 44: IDT 전극
45, 46: 제1, 제2 반사기
52, 53: IDT 전극
54, 55: 제1, 제2 반사기
P1: 병렬암 공진자
S1, S2: 직렬암 공진자

Claims (13)

  1. 제1 IDT 전극 및 제2 IDT 전극을 포함하는 복수개의 IDT 전극과,
    상기 복수개의 IDT 전극의 탄성파 전파방향 양측에 배치된 제1 반사기 및 제2 반사기를 포함하고,
    상기 복수개의 IDT 전극이 각각, 핫(hot) 측 전위에 접속되는 핫 측 빗형 전극과, 그라운드 측 전위에 접속되는 그라운드 측 빗형 전극을 가지며,
    상기 제1 IDT 전극의 상기 핫 측 빗형 전극이 상기 제1 반사기 및 상기 제2 반사기 중 적어도 하나에 전기적으로 접속되고,
    상기 제1 IDT 전극과, 상기 제1 IDT 전극의 상기 핫 측 빗형 전극이 접속된 상기 제1 반사기 및 상기 제2 반사기 중 적어도 하나 사이에 상기 제2 IDT 전극이 배치되며,
    상기 제1 IDT 전극의 상기 핫 측 빗형 전극이 입력단 및 출력단 중 하나에 접속되고, 상기 제2 IDT 전극의 상기 핫 측 전위에 접속되는 빗형 전극이 입력단 및 출력단 중 다른 하나에 접속되는, 종결합 공진자형 탄성파 필터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 IDT 전극이 상기 제1 및 제2 반사기 중 하나에 전기적으로 접속되는, 종결합 공진자형 탄성파 필터.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 IDT 전극이 상기 제1 및 제2 반사기 쌍방에 전기적으로 접속되는, 종결합 공진자형 탄성파 필터.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 IDT 전극이, 상기 제1 IDT 전극의 상기 핫 측 빗형 전극이 접속된 상기 제1 및 제2 반사기 중 적어도 하나와 인접하고,
    상기 제2 IDT 전극에서의, 상기 제1 또는 상기 제2 반사기와 인접하는 전극지(電極指)가 핫 측 전위에 접속되는, 종결합 공진자형 탄성파 필터.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 IDT 전극이, 상기 제1 IDT 전극의 상기 핫 측 빗형 전극이 접속된 상기 제1 및 제2 반사기 중 적어도 하나와 인접하고,
    상기 제2 IDT 전극에서의, 상기 제1 또는 상기 제2 반사기와 인접하는 전극지가 그라운드 측 전위에 접속되는, 종결합 공진자형 탄성파 필터.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수개의 IDT 전극이 n(n은 홀수)개의 IDT 전극을 포함하고, 상기 n개의 IDT 전극 중, 상기 제1 반사기 측으로부터 짝수번째에 위치하는 상기 IDT 전극이 상기 제1 IDT 전극이며, 상기 제1 및 상기 제2 반사기에 인접하는 홀수번째의 상기 IDT 전극이 상기 제2 IDT 전극인, 종결합 공진자형 탄성파 필터.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1 IDT 전극의 상기 핫 측 빗형 전극이 출력단에 접속되고, 상기 제2 IDT 전극의 상기 핫 측 빗형 전극이 입력단에 접속되는, 종결합 공진자형 탄성파 필터.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 제1 IDT 전극의 상기 핫 측 빗형 전극이 입력단에 접속되고, 상기 제2 IDT 전극의 상기 핫 측 빗형 전극이 출력단에 접속되는, 종결합 공진자형 탄성파 필터.
  9. 제7항 또는 제8항에 있어서,
    상기 n이 5인, 종결합 공진자형 탄성파 필터.
  10. 제7항 또는 제8항에 있어서,
    상기 n이 3인, 종결합 공진자형 탄성파 필터.
  11. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 복수개의 IDT 전극이 m(m은 짝수)개의 IDT 전극을 포함하고, 상기 m개의 IDT 전극 중 상기 제1 반사기에 인접하는 상기 IDT 전극이 상기 제2 IDT 전극이며, 상기 제2 IDT 전극의 상기 제1 반사기와는 반대 측에 위치하는 IDT 전극이 상기 제1 IDT 전극인, 종결합 공진자형 탄성파 필터.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 m이 2이며, 상기 제1 IDT 전극이 상기 제1 반사기에 접속되면서 상기 제2 반사기에 인접하고, 상기 제2 반사기가 상기 제2 IDT 전극과 접속되는, 종결합 공진자형 탄성파 필터.
  13. 입력단과 출력단을 잇는 직렬암(serial arm)을 가지며, 상기 직렬암에서 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 기재된 종결합 공진자형 탄성파 필터와 직렬암 공진자가 직렬로 접속되고, 상기 직렬암과 그라운드 측 전위 사이에 적어도 하나의 병렬암(parallel arm) 공진자가 접속되는, 탄성파 필터.
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