KR20230050078A - Article transport unit and article storage devuce including same - Google Patents

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KR20230050078A
KR20230050078A KR1020210133345A KR20210133345A KR20230050078A KR 20230050078 A KR20230050078 A KR 20230050078A KR 1020210133345 A KR1020210133345 A KR 1020210133345A KR 20210133345 A KR20210133345 A KR 20210133345A KR 20230050078 A KR20230050078 A KR 20230050078A
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조길현
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세메스 주식회사
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Abstract

The present invention provides a transfer unit. According to the present invention, a transfer unit includes: a body; a hand; a deflection auxiliary unit that maintains the hand supporting a transfer object in a horizontal state. Therefore, a deterioration in the quality of the transfer object can be prevented by compensating for the deflection of the hand that may occur due to the weight of the transfer object.

Description

반송 유닛 및 이를 포함하는 물품 저장 장치{ARTICLE TRANSPORT UNIT AND ARTICLE STORAGE DEVUCE INCLUDING SAME}Transport unit and article storage device including the same {ARTICLE TRANSPORT UNIT AND ARTICLE STORAGE DEVUCE INCLUDING SAME}

본 발명은 물품을 반송하는 반송 유닛과 이를 포함하는 물품 저장 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a conveying unit for conveying articles and an article storage device including the same.

일반적으로, 반도체 소자 제조 공정은 기판 또는 웨이퍼(이하 기판으로 용어를 통일함)를 대상으로 노광, 식각, 확산, 증착, 및 금속 공정 등의 다양하게 이루어지는 단위 공정을 반복적으로 수행하여 이루어진다. 각 단위 공정에서는 다수 기판이 적재될 수 있는 캐리어를 이용하여 기판을 이동시키거나 캐리어 상태로 각 공정에 투입한다.In general, a semiconductor device manufacturing process is performed by repeatedly performing various unit processes such as exposure, etching, diffusion, deposition, and metal processing on a substrate or wafer (hereinafter referred to as the substrate). In each unit process, substrates are moved using a carrier capable of loading a plurality of substrates or introduced into each process in a carrier state.

상기 캐리어들은 스토커(Stocker)에 보관될 수 있다. 스토커는 상기 캐리어들을 수납하기 위한 복수의 선반들을 구비할 수 있고, 스토커의 내부에는 상기 캐리어들을 반송하기 위한 반송 로봇이 배치될 수 있다. 반송 로봇은 수평 및 수직 방향을 이동될 수 있으며, 캐리어를 반송한다.The carriers may be stored in a stocker. The stocker may include a plurality of shelves for storing the carriers, and a transport robot for transporting the carriers may be disposed inside the stocker. The transport robot can move in horizontal and vertical directions and transports the carrier.

반송 로봇은 캐리어를 재치하여 반송하기 위한 핸드(포크)을 포함하고, 핸드는 캐리어의 이적재를 위하여 선반 내부로 반출입된다. 이때, 캐리어가 재치된 상태의 핸드에는 캐리어 무게에 의한 처짐이 발생할 수 있다. 핸드에 처짐이 발생하면, 핸드에 재치된 캐리어가 핸드가 처짐에 대응하는 각도로 기울어질 수 있다. 특히, 캐리어에 기울기가 발생한 상태로 스토커의 선반에 적재되는 경우, 적재 과정에서 캐리어에 충격 및 진동이 발생할 수 있고, 이에 따라 캐리어에 적재된 기판이 손상되거나 기판의 품질이 저하되는 문제가 발생할 수 있다.The transport robot includes a hand (fork) for placing and transporting the carrier, and the hand is carried in and out of the shelf to transfer and load the carrier. At this time, sagging due to the weight of the carrier may occur in the hand where the carrier is placed. When sagging of the hand occurs, the carrier placed on the hand may be tilted at an angle corresponding to the sagging of the hand. In particular, when the carrier is loaded on the shelf of the stocker with the carrier tilted, shock and vibration may occur in the carrier during the loading process, which may cause damage to the substrate loaded on the carrier or deterioration of the quality of the substrate. there is.

대한민국 등록특허 제10-2277209호(2021.07.08)Republic of Korea Patent Registration No. 10-2277209 (2021.07.08)

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 물품을 안정적으로 적재할 수 있는 반송 로봇 및 이를 포함하는 물품 저장 장치를 제공하고자 한다.The present invention is to solve the above problems, and to provide a transport robot capable of stably loading goods and an article storage device including the same.

해결하고자 하는 과제는 이에 제한되지 않고, 언급되지 않은 기타 과제는 통상의 기술자라면 이하의 기재로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.The problem to be solved is not limited thereto, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명의 실시예에 의하면, 몸체; 상기 몸체 상에 설치되어 물품을 지지하는 핸드; 상기 몸체 상에 설치되고 상기 핸드의 일단과 결합하여 상기 핸드를 전후 방향으로 이동시키는 구동부; 상기 핸드와 연결되어 상기 핸드를 수평 상태로 유지시키는 처짐 보조 유닛을 포함하는 반송 유닛이 제공될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the body; a hand installed on the body to support an article; a drive unit installed on the body and coupled to one end of the hand to move the hand in the forward and backward directions; A conveying unit including a deflection assisting unit connected to the hand and maintaining the hand in a horizontal state may be provided.

일 실시예에서, 상기 핸드는 상기 구동부에 의하여 상기 몸체에 대하여 이격되는 제1 방향과 접근되는 제2 방향으로 이동 가능할 수 있다.In one embodiment, the hand may be movable in a first direction that is spaced apart from the body and a second direction that is close to the body by the driving unit.

일 실시예에서, 상기 제1 방향과 상기 제2 방향은 상기 몸체에 대한 전후 방향이고 상기 처짐 보조 유닛은 상기 핸드와 상기 몸체 사이에 배치될 수 있다.In one embodiment, the first direction and the second direction are forward and backward directions with respect to the body, and the deflection assisting unit may be disposed between the hand and the body.

일 실시예에서, 상기 처짐 보조 유닛은 탄성에 의한 복원력을 이용하여 상기 핸드를 수평 상태로 유지시키는 탄성 부재를 포함할 수 있다.In one embodiment, the deflection assistance unit may include an elastic member that maintains the hand in a horizontal state by using a restoring force due to elasticity.

일 실시예에서, 상기 탄성 부재는 양 단부가 상기 핸드와 상기 몸체에 각각 연결될 수 있다.In one embodiment, both ends of the elastic member may be respectively connected to the hand and the body.

일 실시예에서, 상기 탄성 부재는 상기 제1 방향으로 이동된 상기 핸드에 의하여 인장 가능하게 배치되고, 상기 핸드에 의하여 인장되는 때 원 상태로 돌아가려는 복원력에 의하여 상기 핸드에 대한 제2 방향의 모멘트를 발생시킬 수 있다.In one embodiment, the elastic member is disposed to be tensionable by the hand moved in the first direction, and a moment in the second direction relative to the hand is caused by a restoring force to return to the original state when the elastic member is stretched by the hand. can cause

본 발명의 실시예에 의하면, 물품이 로딩되거나 언로딩되는 로드 포트; 상기 물품을 적재하기 위한 다수의 선반; 상기 물품을 지지하여 반송하는 반송 유닛을 포함하는 물품 저장 장치가 제공될 수 있다. 상기 반송 유닛은 몸체와; 상기 몸체 상에 설치되어 물품을 지지하는 핸드와; 상기 몸체 상에 설치되고 상기 핸드의 일단과 결합하여 상기 핸드를 상기 몸체에 대하여 이격되는 제1 방향과 접근되는 제2 방향으로 이동시키는 구동부와; 상기 핸드를 수평 상태로 유지시키는 처짐 보조 유닛을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, a load port through which articles are loaded or unloaded; a plurality of shelves for stacking the items; An article storage device including a conveyance unit supporting and conveying the article may be provided. The conveying unit includes a body; a hand installed on the body to support an article; a driving unit installed on the body and coupled to one end of the hand to move the hand in a first direction away from the body and a second direction approaching the body; A deflection assisting unit for maintaining the hand in a horizontal state may be included.

본 발명의 실시예에 의하면, 반송 로봇의 핸드가 선반에 물품을 적재하는 동안에 물품을 지지하는 핸드에 적용된 탄성 부재에 의하여 수평 상태로 유지될 수 있다. 즉, 핸드가 물품을 선반에 적재하기 위하여 선반을 향해 이동하는 때, 반송 로봇의 몸체와 핸드 사이에 적용된 탄성 부재가 인장함에 따라 발생하는 탄성 부재의 복원력에 의하여 핸드의 상태가 수평으로 유지될 수 있는 것이다. 따라서, 핸드가 물품의 중량에 의하여 처지지 않으므로 물품이 기울어지지 않고 안정적으로 선반에 적재될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the hand of the transport robot can be maintained in a horizontal state by an elastic member applied to the hand supporting the product while loading the product on the shelf. That is, when the hand moves toward the shelf to load an article on the shelf, the state of the hand can be maintained horizontally by the restoring force of the elastic member applied between the hand and the body of the transport robot, resulting from tension of the elastic member. There is. Therefore, since the hand does not sag due to the weight of the product, the product can be stably loaded on the shelf without tilting.

발명의 효과는 이에 한정되지 않고, 언급되지 않은 기타 효과는 통상의 기술자라면 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 명확히 이해할 수 있을 것이다.Effects of the invention are not limited thereto, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from this specification and the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 물품 저장 장치를 설명하기 위한 개략적인 정면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 물품 저장 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 반송 로봇을 확대한 평면도이다.
도 4 내지 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 반송 로봇을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 의한 예상 효과를 도시한 그래프이다.1 is a schematic front view for explaining an article storage device according to an embodiment of the present invention.
2 is a schematic plan view for explaining an article storage device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is an enlarged plan view of the transfer robot shown in FIG. 2 .
4 to 7 are views for explaining a transfer robot according to an embodiment of the present invention.
8 is a graph showing expected effects according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 이하의 각 도면에 있어서, XYZ 좌표계를 이용하여 도면 중의 방향을 설명한다. 상기 XYZ 좌표계에 있어서는, 연직 방향을 Z방향으로 하고, 수평 방향을 X방향, Y방향으로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. This invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments set forth herein. In each of the drawings below, directions in the drawings are described using the XYZ coordinate system. In the XYZ coordinate system, the vertical direction is the Z direction, and the horizontal directions are the X and Y directions.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 본 발명의 본질과 관계없는 부분은 그에 대한 상세한 설명을 생략할 수 있으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 부여할 수 있다.In order to clearly describe the present invention, detailed descriptions of parts irrelevant to the essence of the present invention may be omitted, and the same reference numerals may be assigned to the same or similar components throughout the specification.

또한, 참조하는 도면에서 구성 요소의 크기, 선의 두께 등은 이해의 편의상 다소 과장되거나 축소되어 표현될 수 있다.In addition, the sizes of components and the thickness of lines in the drawings may be exaggerated or reduced for ease of understanding.

또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 여기서 사용되는 용어는 단지 특정 실시예를 언급하기 위한 것으로서 본 발명을 한정하도록 의도되지 않으며, 본 명세서에서 다르게 정의되지 않는 한 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 이해되는 개념으로 해석될 수 있다.In addition, when a part "includes" a certain component, it means that it may further include other components without excluding other components unless otherwise stated. The terms used herein are not intended to limit the present invention only as to refer to specific embodiments, and are concepts understood by those of ordinary skill in the art to which the present invention belongs unless otherwise defined herein. can be interpreted

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and unless explicitly defined in the present application, they should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning. don't

도 1 내지 도 3을 참고하면 본 발명의 실시예에 따른 물품 저장 장치(100)는 로드 포트(110), 복수의 선반(120), 반송 로봇(130)을 포함한다.Referring to FIGS. 1 to 3 , an article storage device 100 according to an embodiment of the present invention includes a load port 110 , a plurality of shelves 120 , and a transfer robot 130 .

로드 포트(110)는 반도체 소자의 제조에 이용되는 웨이퍼 또는 레티클 등의 다수의 물품을 수용하는 용기(10)가 안착되는 공간을 제공하고, 용기(10)를 로딩하거나 언로딩한다. 로드 포트(110)는 물품 저장 장치(100)의 외부로부터 물품 저장 장치(100)의 내부 공간으로, 또는 물품 저장 장치(100)의 내부 공간으로부터 물품 저장 장치(100)의 외부로 용기(10)를 전달하기 위한 것이다.The load port 110 provides a space in which a container 10 accommodating a plurality of items such as wafers or reticles used in manufacturing semiconductor devices is seated, and loads or unloads the container 10 . The load port 110 moves the container 10 from the outside of the product storage device 100 to the inner space of the product storage device 100 or from the inner space of the product storage device 100 to the outside of the product storage device 100. is to convey

용기(10)는 기판을 수용하는 풉(FOUP, Front Open Unifies POD), 포스비(FOSB, Front Opening Shipping Box), 맥(MAC, Multi Application Carrier), 포드(POD) 또는 레티클 포드 등일 수 있다.The container 10 may be a Front Open Unifies POD (FOUP), a Front Opening Shipping Box (FOSB), a Multi Application Carrier (MAC), a POD, or a reticle pod for accommodating a substrate.

다수의 웨이퍼 또는 레티클은 용기(10)에 수용된 상태로 로드 포트(110)에 안착된다. 로드 포트(110)의 안착면에는 복수의 정렬 핀(미도시)이 구비될 수 있고, 용기(10)의 하면에는 정렬 홈(미도시)이 구비될 수 있다. 용기(10)가 로드 포트(110)에 안착될 때, 상기 정렬 핀(미도시)이 상기 정렬 홈(미도시)에 삽입됨으로써 용기(10)를 로드 포트(110)에 정확하게 안착시킬 수 있다.A plurality of wafers or reticles are seated in the load port 110 while being accommodated in the container 10 . A plurality of alignment pins (not shown) may be provided on the seating surface of the load port 110, and alignment grooves (not shown) may be provided on the lower surface of the container 10. When the container 10 is seated on the load port 110, the container 10 can be accurately seated on the load port 110 by inserting the aligning pin (not shown) into the aligning groove (not shown).

복수의 선반(120)은 용기(10)를 적재한다. 선반(120)은 도 1 및 도 2와 같이 수평 방향(X축 방향, Y축 방향) 및 수직 방향(Z축 방향)으로 배열될 수 있다. 구체적으로, 수평 방향으로 복수의 행(行)과 열(列)이 각각 나란히 배치될 수 있고, 수직 방향으로 복수 단(段)이 나란히 배치될 수 있다. 설명의 편의를 위하여 도 1 및 도 2에서는 선반(120)을 2열6행5단으로 배열하였으나, 다른 수의 단과 행, 열로 배열될 수도 있다. 각각의 선반(120) 바닥면에는 정렬 핀(미도시)들이 구비될 수 있다. 용기(10)가 선반(120)에 적재될 때, 선반(120)의 정렬 핀(미도시)이 상기 용기(10)의 정렬 홈(미도시)에 삽입되므로, 용기(10)를 각 선반(120)에 정확하게 적재할 수 있다.A plurality of shelves 120 stack containers 10 . The shelves 120 may be arranged in a horizontal direction (X-axis direction and Y-axis direction) and a vertical direction (Z-axis direction) as shown in FIGS. 1 and 2 . Specifically, a plurality of rows and columns may be arranged side by side in a horizontal direction, and a plurality of stages may be arranged side by side in a vertical direction. For convenience of description, the shelves 120 are arranged in 2 columns, 6 rows, and 5 columns in FIGS. 1 and 2, but may be arranged in other numbers of columns, rows, and rows. Alignment pins (not shown) may be provided on the bottom surface of each shelf 120 . When the container 10 is loaded on the shelf 120, an alignment pin (not shown) of the shelf 120 is inserted into an alignment groove (not shown) of the container 10, so that the container 10 is placed on each shelf ( 120) can be accurately loaded.

반송 로봇(130)은 X 방향, Y 방향, Z 방향의 각 방향으로 용기(10)를 반송 가능하며 로드 포트(110)와 선반(120)의 사이, 및/또는 선반(120)으로부터 다른 선반(120)으로 용기(10)를 반송 가능하다. 구체적으로, 반송 로봇(130)은 용기(10)의 반송을 위해 X축 방향, Z축 방향으로 이동 및 회전 이동이 가능하도록 구비될 수 있다. 상세히 도시하진 않았지만, 반송 로봇(130)은 반송 로봇(130)을 X축 방향으로 이동시키기 위한 X축 구동부(미도시), 반송 로봇(130)을 Z축 방향으로 이동시키기 위한 Z축 구동부(미도시) 및 반송 로봇(130)을 회전시키기 위한 회전 구동부(미도시)를 구비할 수 있다. 반송 로봇(130)은 X축 구동부(미도시)와 Z축 구동부(미도시)에 의하여 목표 위치의 선반에 접근할 수 있다.The transport robot 130 can transport the container 10 in each of the X, Y, and Z directions, between the load port 110 and the shelf 120, and/or from the shelf 120 to another shelf ( The container 10 can be transported to 120). Specifically, the transfer robot 130 may be provided to move and rotate in the X-axis direction and the Z-axis direction to transfer the container 10 . Although not shown in detail, the transfer robot 130 includes an X-axis drive unit (not shown) for moving the transfer robot 130 in the X-axis direction, and a Z-axis drive unit (not shown) for moving the transfer robot 130 in the Z-axis direction. ) and a rotation drive unit (not shown) for rotating the transfer robot 130 . The transfer robot 130 may approach the shelf at the target position by using an X-axis driving unit (not shown) and a Z-axis driving unit (not shown).

또한, 반송 로봇(130)은 몸체와 몸체 상에 설치되어 용기(10)를 지지하는 핸드(132)를 포함하며, 핸드(132)는 선반(120)을 향해 이동 가능하게 구성될 수 있다. 핸드(132)는 X축 방향에 수직하는 Y축 방향(전후 방향)으로 이동 가능하게 구성될 수 있으며, 이때 반송 로봇(130)은 핸드(132)를 구동하기 위한 Y축 구동부(미도시)를 몸체 상에 구비할 수 있다. 핸드(132)는 Y축 구동부(미도시)에 의하여 반송 로봇(130)의 몸체로부터 이격되는 제1 방향으로 이동함으로써 목표 선반에 진입할 수 있다. 핸드(132)는 Y축 구동부(미도시)에 의하여 반송 로봇(130)의 몸체로부터 접근되는 제2 방향으로 이동함으로써 목표 선반으로부터 진출할 수 있다. 이때, 제1 방향과 제2 방향은 몸체에 대해 수평으로 전진하는 방향과 수평으로 후진하는 방향이고, 이와 같은 동작을 통해 용기(10)를 로딩 또는 언로딩할 수 있다.In addition, the transport robot 130 includes a body and a hand 132 installed on the body to support the container 10, and the hand 132 may be configured to be movable toward the shelf 120. The hand 132 may be configured to be movable in the Y-axis direction (front-rear direction) perpendicular to the X-axis direction, and at this time, the transfer robot 130 includes a Y-axis driving unit (not shown) for driving the hand 132. It can be provided on the body. The hand 132 may enter the target shelf by moving in a first direction spaced apart from the body of the transport robot 130 by a Y-axis driving unit (not shown). The hand 132 may advance from the target shelf by moving in a second direction approaching from the body of the transport robot 130 by a Y-axis driving unit (not shown). At this time, the first direction and the second direction are a direction of moving forward horizontally and a direction of moving backward horizontally with respect to the body, and the container 10 can be loaded or unloaded through such an operation.

핸드(132)는 용기(10)의 하면을 지지하거나 용기(10)의 상부 또는 측면을 파지하여 물품을 반송할 수 있다. 핸드(132)는 신장과 수축이 가능한 다관절 핸드일 수 있다.The hand 132 may carry the product by supporting the lower surface of the container 10 or gripping the upper or side surface of the container 10 . The hand 132 may be a multi-joint hand capable of extension and contraction.

상기 X축, Y축 및 Z축 구동부들(미도시) 및 회전 구동부(미도시)는 모터 및 타이밍 벨트와 풀리들을 포함하는 동력 전달 장치를 이용하여 각각 구성될 수 있다. 이에 따라 반송 로봇(130)은 용기(10)를 로드 포트(110)에 안착시키거나 로드 포트(110)로부터 용기(10)를 반송할 수 있다. 또한, 반송 로봇(130)은 용기(10)를 선반(120)에 적재하거나 선반(120)으로부터 용기(10)를 이재할 수 있다.The X-axis, Y-axis, and Z-axis drive units (not shown) and rotation drive unit (not shown) may be configured using a power transmission device including a motor, timing belt, and pulleys, respectively. Accordingly, the transport robot 130 may seat the container 10 on the load port 110 or transport the container 10 from the load port 110 . In addition, the transport robot 130 may load the container 10 on the shelf 120 or transfer the container 10 from the shelf 120 .

도 4 내지 도 7은 본 발명의 실시예에 따른 반송 로봇(130)을 개략적으로 설명하기 위한 도면이다.4 to 7 are diagrams schematically illustrating the transfer robot 130 according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예에 의한 반송 로봇(130)은 핸드(132)를 수평 상태로 유지하기 위한 처짐 보조 유닛(134)을 더 포함할 수 있다. 처짐 보조 유닛(134)은 용기(10)가 적재된 핸드(132)의 처짐을 보완하기 위한 것으로 반송 로봇(130)의 몸체와 핸드(132) 사이에 배치된다. 일 예로, 처짐 보조 유닛(134)은 탄성에 의한 복원력을 이용하여 핸드(132)를 수평 상태로 유지시킬 수 있는 탄성 부재를 포함할 수 있다.The transfer robot 130 according to the embodiment of the present invention may further include a deflection assisting unit 134 for maintaining the hand 132 in a horizontal state. The deflection assisting unit 134 compensates for the deflection of the hand 132 on which the container 10 is loaded, and is disposed between the body of the transfer robot 130 and the hand 132 . For example, the deflection assisting unit 134 may include an elastic member capable of maintaining the hand 132 in a horizontal state using restoring force due to elasticity.

탄성 부재(134)는 양 단부가 반송 로봇(130)의 몸체와 핸드(132)에 각각 연결될 수 있다. 탄성 부재(134)는 목표 선반으로 진입하기 위하여 제1 방향으로 이동된 핸드(132)에 의하여 인장 가능하게 배치될 수 있다. 탄성 부재(134)가 인장되면, 탄성 부재(134)에는 원 상태로 돌아가고자 하는 복원력이 발생하고, 탄성 부재(134)의 복원력에 의하여 처진 상태의 핸드(132)에 대한 제2 방향의 모멘트가 발생함에 따라 핸드(132)의 처짐이 보완될 수 있다.Both ends of the elastic member 134 may be connected to the body and the hand 132 of the transfer robot 130, respectively. The elastic member 134 may be tensionably disposed by the hand 132 moved in the first direction to enter the target shelf. When the elastic member 134 is stretched, a restoring force to return to the original state is generated in the elastic member 134, and a moment in the second direction with respect to the hand 132 in the drooping state is generated by the restoring force of the elastic member 134. As this occurs, the deflection of the hand 132 may be compensated for.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 핸드(132)은 용기(10)의 무게에 의한 처짐 현상을 수반할 수 있다. 핸드(132)의 처짐 현상에 의하면 핸드(132) 상에 적재된 용기(10)가 기울어지고, 용기(10)가 기울어진 상태로 물품 저장 장치(100)의 선반(120)에 적재되면 용기(10)에 충격과 진동이 발생할 수 있다. 용기(10)에 발생한 충격과 진동은 용기(10)에 적재된 기판들에 영향을 주어 기판의 손상이나 품질 저하를 유발할 수 있는 문제가 있다.As shown in FIGS. 4 and 5 , the hand 132 may sag due to the weight of the container 10 . According to the sagging phenomenon of the hand 132, the container 10 loaded on the hand 132 is tilted, and when the container 10 is loaded on the shelf 120 of the article storage device 100 in an inclined state, the container ( 10) may cause shock and vibration. Shock and vibration generated in the container 10 affect the substrates loaded in the container 10, causing damage to the substrates or deterioration in quality.

처짐 보조 유닛(134)은 이를 방지하기 위한 것으로, 반송 로봇(130)의 몸체와 핸드(132) 사이에 배치된다. 예를 들어, 탄성 부재(134)는 코일 스프링으로 양쪽 단부가 반송 로봇(130)의 몸체와 핸드(132)의 후면에 각각 연결된 형태로 제공될 수 있다. 반송 로봇(130)의 몸체와 핸드(132) 사이에 배치된 코일 스프링은 핸드(132)가 목표 선반으로 진입하면 인장되어 원 상태로 복원되려는 복원력이 발생할 수 있다.The deflection assist unit 134 is to prevent this and is disposed between the body of the transfer robot 130 and the hand 132 . For example, the elastic member 134 may be provided in a form in which both ends of the coil spring are respectively connected to the body of the transfer robot 130 and the rear surface of the hand 132 . The coil spring disposed between the body of the transport robot 130 and the hand 132 is tensioned when the hand 132 enters the target shelf, and restoring force to be restored to the original state may be generated.

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 핸드(132)는 목표 선반으로 물품(10)을 적재하거나 반출하기 위하여 반송 로봇(130)의 몸체로부터 이격되는 제1 방향으로 이동될 수 있다. 핸드(132)가 제1 방향으로 이동됨에 따라, 핸드(132)와 반송 로봇(130)의 몸체 사이에 배치된 탄성 부재(134)는 인장된다. 인장된 탄성 부재(134)에는 원 상태로 돌아가려는 복원력이 발생하고, 복원력에 의한 모멘트가 하방으로 기울어진 핸드(132)에 발생됨으로써 핸드(132)의 상태가 수평 상태로 보완될 수 있다.As shown in FIGS. 6 and 7 , the hand 132 may be moved in a first direction away from the body of the transport robot 130 to load or take out the product 10 to the target shelf. As the hand 132 moves in the first direction, the elastic member 134 disposed between the hand 132 and the body of the transfer robot 130 is stretched. A restoring force to return to the original state is generated in the stretched elastic member 134, and a moment due to the restoring force is generated in the downward inclined hand 132, so that the state of the hand 132 can be supplemented to a horizontal state.

도 8은 기존의 반송 유닛과 본 발명의 실시예에 따른 반송 유닛에 의하여 선반으로 적재된 용기에 발생하는 충격을 동역학 해석을 통해 비교한 그래프이다.8 is a graph comparing impacts generated on containers loaded on a shelf by a conventional conveying unit and a conveying unit according to an embodiment of the present invention through dynamic analysis.

도 8을 참고하면, 수평 상태로 보완된 핸드(132)에 의하여 선반(120)으로 적재된 용기(10)에는 가해지는 충격 하중은 처진 상태로 선반(120)으로 적재된 용기(10)에 가해진 충격 하중에 비하여 감소되고, 충격 횟수 역시 감소될 것으로 해석된 것을 확인할 수 있다. 또한, 충격 지속 시간 역시 감소될 것으로 해석된 것을 확인할 수 있다. 따라서, 핸드의 처짐이 보완된 본 발명의 실시예에 의하면, 용기(10)에 적재된 물품으로 전달되는 충격 및 진동이 현저하게 감소될 수 있을 것으로 예상된다.Referring to FIG. 8, the shock load applied to the container 10 loaded on the shelf 120 by the hand 132 supplemented in a horizontal state is It can be confirmed that it is interpreted as being reduced compared to the impact load and that the number of impacts is also reduced. In addition, it can be confirmed that the impact duration is also interpreted to be reduced. Therefore, according to the embodiment of the present invention in which the deflection of the hand is compensated for, it is expected that shock and vibration transmitted to the goods loaded in the container 10 can be remarkably reduced.

본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있으므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다.Those skilled in the art to which the present invention pertains should understand that the embodiments described above are illustrative in all respects and not limiting, since the present invention can be embodied in other specific forms without changing the technical spirit or essential characteristics thereof. only do

본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is indicated by the following claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts should be construed as being included in the scope of the present invention. .

10: 용기
100: 스토커
110: 로드 포트
120: 선반
130: 반송 로봇
132: 핸드
134: 탄성 부재10: Courage
100: Stalker
110: load port
120: shelf
130: transport robot
132: hand
134: elastic member

Claims (9)

몸체;
상기 몸체 상에 설치되어 물품이 적재된 용기를 지지하는 핸드;
상기 몸체 상에 설치되고 상기 핸드의 일단과 결합하여 상기 핸드를 전후 방향으로 이동시키는 구동부;
상기 핸드와 연결되어 상기 핸드를 수평 상태로 유지시키는 처짐 보조 유닛을 포함하는 반송 유닛.
body;
a hand installed on the body to support a container loaded with articles;
a drive unit installed on the body and coupled to one end of the hand to move the hand in the forward and backward directions;
A carrying unit including a deflection assisting unit connected to the hand and maintaining the hand in a horizontal state.
 제1항에 있어서,
상기 핸드는
상기 구동부에 의하여 상기 몸체에 대하여 이격되는 제1 방향과 접근되는 제2 방향으로 이동 가능한 반송 유닛.
According to claim 1,
said hand
A transport unit capable of moving in a first direction spaced apart from the body and a second direction approaching the body by the driving unit.
 제2항에 있어서,
상기 제1 방향과 상기 제2 방향은 상기 몸체에 대한 전후 방향이고
상기 처짐 보조 유닛은 상기 핸드와 상기 몸체 사이에 배치된 반송 유닛.
According to claim 2,
The first direction and the second direction are forward and backward directions with respect to the body,
The deflection auxiliary unit is disposed between the hand and the body.
 제3항에 있어서,
상기 처짐 보조 유닛은 탄성에 의한 복원력을 이용하여 상기 핸드를 수평 상태로 유지시키는 탄성 부재를 포함하는 반송 유닛.
According to claim 3,
The deflection auxiliary unit includes an elastic member that maintains the hand in a horizontal state by using a restoring force due to elasticity.
 제4항에 있어서,
상기 탄성 부재는,
양 단부가 상기 핸드와 상기 몸체에 각각 연결된 반송 유닛.
According to claim 4,
The elastic member,
A conveying unit having both ends connected to the hand and the body, respectively.
 제5항에 있어서,
상기 탄성 부재는,
상기 제1 방향으로 이동된 상기 핸드에 의하여 인장 가능하게 배치되고,
상기 핸드에 의하여 인장되는 때, 원 상태로 돌아가려는 복원력에 의하여 상기 핸드에 대한 제2 방향의 모멘트를 발생시키는 반송 유닛.
According to claim 5,
The elastic member,
Disposed to be tensionable by the hand moved in the first direction,
The conveying unit generates a moment in a second direction with respect to the hand by a restoring force to return to an original state when the hand is stretched.
 물품이 적재된 용기가 로딩되거나 언로딩되는 로드 포트;
상기 용기를 적재하기 위한 다수의 선반;
상기 용기를 지지하여 반송하는 반송 유닛을 포함하고,
상기 반송 유닛은 몸체와; 상기 몸체 상에 설치되어 상기 용기를 지지하는 핸드와; 상기 몸체 상에 설치되고 상기 핸드의 일단과 결합하여 상기 핸드를 상기 몸체에 대하여 이격되는 제1 방향과 접근되는 제2 방향으로 이동시키는 구동부와; 상기 핸드를 수평 상태로 유지시키는 처짐 보조 유닛을 포함하는 물품 저장 장치.
a load port through which a container loaded with articles is loaded or unloaded;
a plurality of shelves for loading the container;
A conveying unit supporting and conveying the container,
The conveying unit includes a body; a hand installed on the body to support the container; a driving unit installed on the body and coupled to one end of the hand to move the hand in a first direction away from the body and a second direction approaching the body; Article storage device including a deflection assist unit for maintaining the hand in a horizontal state.
 제7항에 있어서,
상기 처짐 보조 유닛은 양 단부가 상기 핸드와 상기 몸체에 각각 연결되고,
탄성에 의한 복원력을 이용하여 상기 핸드를 수평 상태로 유지시키는 탄성 부재 탄성 부재를 포함하는 물품 저장 장치.
According to claim 7,
The deflection assist unit has both ends connected to the hand and the body, respectively,
An elastic member that maintains the hand in a horizontal state by using a restoring force due to elasticity An article storage device including an elastic member.
 제8항에 있어서,
상기 탄성 부재는,
상기 제1 방향으로 이동된 상기 핸드에 의하여 인장 가능하게 배치되고,
상기 핸드에 의하여 인장되는 때, 원 상태로 돌아가려는 복원력에 의하여 상기 핸드에 대한 상기 제2 방향의 모멘트를 발생시키는 물품 저장 장치.According to claim 8,
The elastic member,
Disposed to be tensionable by the hand moved in the first direction,
An article storage device generating a moment in the second direction with respect to the hand by a restoring force to return to an original state when being stretched by the hand.
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