KR20230049510A - Stocker - Google Patents

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KR20230049510A
KR20230049510A KR1020210132764A KR20210132764A KR20230049510A KR 20230049510 A KR20230049510 A KR 20230049510A KR 1020210132764 A KR1020210132764 A KR 1020210132764A KR 20210132764 A KR20210132764 A KR 20210132764A KR 20230049510 A KR20230049510 A KR 20230049510A
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KR
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unloading
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KR1020210132764A
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Inventor
이성호
이준호
박노재
강옥경
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세메스 주식회사
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Abstract

A stocker is provided to store articles for use in manufacturing integrated circuit elements, and comprises a housing, shelves, and a loading/unloading unit. The housing can be provided to form the outer shape of the stocker. The shelves can be arranged to face each other within the housing and can provide a space for storing the articles. The loading/unloading unit is disposed between the shelves facing each other to load the articles onto the shelves or unload the articles from the shelves, and can have a dual structure capable of loading or unloading two of the articles at the same time. Therefore, the stocker can include the loading/unloading unit capable of responding appropriately to the quantity of articles even when the quantity of articles is great.

Description

스토커{STOCKER}stalker {STOCKER}

본 발명은 스토커에 관한 것이다. 보다 상세하는 본 발명은 집적회로 소자의 제조에 사용하기 위한 물품을 보관하도록 이루어지는 스토커에 관한 것이다.The present invention relates to stalkers. The invention in more detail relates to a stocker configured to store articles for use in the manufacture of integrated circuit devices.

반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에서는 집적회로 소자의 제조에 사용하기 위한 물품, 예를 들면 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판, 집적회로 소자의 제조에 사용되는 레티클 등을 이송하는 이송 공정이 빈번하게 이루어질 수 있다.In the manufacture of integrated circuit devices such as semiconductor devices and display devices, transfer to transfer articles for use in the manufacture of integrated circuit devices, for example, substrates for manufacture of integrated circuit devices, reticles used in the manufacture of integrated circuit devices, etc. The process can be done frequently.

그리고 언급한 물품에 대한 이송 공정의 수행시 제조 장치로 로딩/언로딩이 이루어지는 물품을 일시 보관해야 할 필요도 있을 것이다.In addition, when performing the transfer process for the above-mentioned products, it may be necessary to temporarily store the products that are loaded/unloaded into the manufacturing device.

이에, 언급한 제조 장치는 로딩/언로딩이 이루어지는 물품을 일시 보관하는 스토커가 함께 구비되는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.Accordingly, the aforementioned manufacturing apparatus may have a structure provided with a stocker for temporarily storing items to be loaded/unloaded.

다만, 종래의 스토커에는 로딩/언로딩부가 물품을 한 번에 한 개만을 로딩 또는 언로딩할 수 있는 싱글 구조를 갖도록 구비되기 때문에 물품의 물량이 많을 경우 적절하게 대응하지 못할 수도 있다.However, since the conventional stocker has a loading/unloading unit having a single structure capable of loading or unloading only one item at a time, it may not be able to respond appropriately when the quantity of items is large.

한국공개특허 10-2020-0145388호Korean Patent Publication No. 10-2020-0145388

본 발명의 일 목적은 물품의 물량이 많을 경우에도 적절하게 대응할 수 있는 로딩/언로딩부가 구비되는 스토커를 제공하는데 있다.One object of the present invention is to provide a stocker equipped with a loading/unloading unit capable of responding appropriately even when the quantity of goods is large.

상기 일 목적을 달성하기 위한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스토커는 집적회로 소자의 제조에 사용하기 위한 물품을 보관하도록 이루어지는 것으로써, 하우징, 선반, 및 로딩/언로딩부를 포함하도록 이루어질 수 있다. 상기 하우징은 상기 스토커의 외형을 이루도록 구비될 수 있고, 상기 선반은 상기 하우징 내에 서로 마주하게 배치되되, 상기 물품을 보관하기 위한 공간을 제공하도록 구비될 수 있고, 상기 로딩/언로딩부는 상기 선반에 상기 물품을 로딩하거나 또는 상기 선반으로부터 상기 물품을 언로딩할 수 있게 서로 마주하는 상기 선반 사이에 배치되되, 상기 물품을 동시에 두 개를 로딩 또는 언로딩할 수 있는 듀얼 구조를 갖도록 구비될 수 있다.A stocker according to exemplary embodiments of the present invention for achieving the above object is made to store items for use in the manufacture of integrated circuit devices, and includes a housing, a shelf, and a loading / unloading unit. there is. The housing may be provided to form the outer shape of the stocker, the shelves may be provided to face each other in the housing and provide a space for storing the items, and the loading/unloading unit may be provided on the shelf It may be disposed between the shelves facing each other to load or unload the article from the shelf, and may have a dual structure capable of loading or unloading two articles at the same time.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 물품은 상기 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 수납하는 풉(FOUP) 또는/및 상기 집적회로 소자의 제조에 사용되는 레티클을 수납하는 컨테이너일 수 있다.In example embodiments, the article may be a FOUP for accommodating a substrate for fabrication of the integrated circuit device or/and a container for accommodating a reticle used for fabrication of the integrated circuit device.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 로딩/언로딩부는 상기 물품의 로딩 및 언로딩시 상기 물품을 핸들링하기 위한 핸들링부, 서로 마주하는 상기 선반을 따라 상기 핸들링부를 활주시키기 위한 활주부, 및 서로 마주하는 상기 선반 사이에서 상기 핸들링부를 회전시키기 위한 회전부로 이루어질 수 있다.In exemplary embodiments, the loading/unloading unit includes a handling unit for handling the items during loading and unloading of the items, a slide unit for sliding the handling unit along the shelf facing each other, and facing each other. It may be made of a rotation unit for rotating the handling unit between the shelves.

예시적인 실시예들에 있어서, 외부로부터 상기 스토커에 상기 물품을 로딩하거나 또는 상기 스토커로부터 외부에 상기 물품을 언로딩하는 포트가 상기 하우징의 일측에 더 배치되게 구비될 수 있다.In exemplary embodiments, a port for loading the article from the outside to the stocker or unloading the article from the stocker to the outside may be further disposed on one side of the housing.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 포트는 OHT(Overhead Hoist Transport)와 상기 물품을 로딩 또는 언로딩하는 OHT 포트, 및 작업자가 매뉴얼로 상기 물품을 로딩 또는 언로딩하는 매뉴얼 포트로 이루어질 수 있다.In exemplary embodiments, the port may include an overhead hoist transport (OHT) port for loading or unloading the product, and a manual port for manually loading or unloading the product by a worker.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 포트는 로딩 포트와 언로딩 포트가 페어(pair) 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In example embodiments, the port may be provided so that a loading port and an unloading port have a pair structure.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스토커는 집적회로 소자의 제조에 사용하기 위한 물품의 이송 공정 수행시 동시에 두 개를 로링 또는 언로딩할 수 있기 때문에 물품의 물량이 많을 경우에도 적절하게 대응할 수 있을 것이고, 그 결과 집적회로 소자의 제조에 따른 생산성의 향상을 기대할 수 있을 것이다.Since the stocker according to exemplary embodiments of the present invention can roll or unload two at the same time during the transfer process of goods for use in manufacturing integrated circuit devices, even when the quantity of goods is large, it can respond appropriately There will be, and as a result, productivity improvement according to the manufacturing of integrated circuit devices can be expected.

다만, 본 발명의 과제 및 효과는 상기 언급한 바에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the tasks and effects of the present invention are not limited to those mentioned above, and may be expanded in various ways without departing from the spirit and scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스토커를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.1 is a schematic diagram for explaining a stalker according to exemplary embodiments of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.Since the present invention can be applied with various changes and can have various forms, embodiments will be described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form disclosed, and should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. Like reference numbers have been used for like elements in describing each figure. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are only used for the purpose of distinguishing one component from another. Terms used in this application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "consisting of" are intended to designate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It should be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and unless explicitly defined in the present application, they should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning. don't

그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.And with reference to the accompanying drawings will be described in more detail exemplary embodiments. The same reference numerals are used for the same components in the drawings, and redundant descriptions of the same components are omitted.

도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스토커를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.1 is a schematic diagram for explaining a stalker according to exemplary embodiments of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스토커는 반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에 사용하기 위한 물품(11)을 이송하는 이송 공정의 수행시 제조 장치로 로딩/언로딩이 이루어지는 물품(11)을 일시 보관하도록 이루어지는 것으로써, 제조 장치에 부속되는 구조를 갖도록 이루어질 수 있거나 또는 제조 장치와 제조 장치 사이에 배치되는 구조를 갖도록 이루어질 수 있을 것이다.Referring to FIG. 1, the stocker according to exemplary embodiments of the present invention loads into a manufacturing device when performing a transfer process of transferring an article 11 for use in the manufacture of integrated circuit devices such as semiconductor devices and display devices. / As made to temporarily store the article 11 to be unloaded, it may be made to have a structure attached to the manufacturing device or may be made to have a structure disposed between the manufacturing device and the manufacturing device.

그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스토커에서 로딩 또는 언로딩이 이루어지는 물품(11)은 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 수납하는 풉(FOUP), 집적회로 소자의 제조에 사용되는 레티클을 수납하는 컨테이너 등일 수 있다.In addition, the article 11 loaded or unloaded in the stocker according to exemplary embodiments of the present invention is a FOUP for accommodating a substrate for manufacturing an integrated circuit device, and a reticle used for manufacturing an integrated circuit device. It may be a container for storing.

즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스토커는 기판, 레티클 등을 직접 로딩 또는 언로딩하는 것이 아니라 언급한 풉, 컨테이너 등을 로딩 또는 언로딩하는 구조를 갖도록 이루어질 수 있는 것이다.That is, the stocker according to exemplary embodiments of the present invention may be made to have a structure for loading or unloading the aforementioned foo, container, etc., rather than directly loading or unloading a substrate, a reticle, or the like.

또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스토커에서의 물품(11)에 대한 이송, 즉 스토커로 물품(11)을 전달하거나 또는 스토커로부터 물품(11)을 전달받는 작업은 집직회로 소자의 제조 라인의 천장 쪽에 구비되는 OHT에(Overhead Hoist Transport) 의해 이루어질 수 있거나 또는 작업자에 의해 매뉴얼로 이루어질 수 있다.In addition, the transfer of the item 11 from the stocker according to exemplary embodiments of the present invention, that is, the operation of delivering the item 11 to the stocker or receiving the item 11 from the stocker is the manufacturing of the integrated circuit device It can be done by OHT (Overhead Hoist Transport) provided on the ceiling side of the line, or it can be done manually by an operator.

구체적으로, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스토커는 하우징(13), 선반(15), 로딩/언로딩부(17), 포트 등이 구비되는 구조로 이루어질 수 있다.Specifically, the stocker according to exemplary embodiments of the present invention may have a structure including a housing 13, a shelf 15, a loading/unloading unit 17, a port, and the like.

하우징(13)은 스토커의 외형을 구성하도록 이루어지는 것으로써, 대략 직육면체 형상을 갖도록 이루어질 수 있다.The housing 13 is made to configure the outer shape of the stocker, and may be made to have a substantially rectangular parallelepiped shape.

선반(15)은 풉, 컨테이너 등과 같은 물품(11)을 보관하기 위한 공간을 제공하도록 구비될 수 있는 것으로써, 하우징(13)의 내부에서 서로 마주하게 배치되는 구조, 특히 두 개의 열을 따라 평행하게 배치 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 더불어 다층 구조를 갖도록 구비될 수도 있을 것이다.The shelf 15 may be provided to provide a space for storing items 11 such as foos, containers, etc., and is a structure disposed facing each other inside the housing 13, in particular parallel along two rows. It may be provided to have an arranged structure, and may also be provided to have a multi-layered structure.

이와 같이, 선반(15)은 복수개가 서로 마주보도 평행하도록 두 개의 열로 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 선반(15) 하나에 물품(11) 하나가 보관되는 크기를 갖도록 구비될 수 있다.In this way, the shelf 15 may be provided to have a structure in which a plurality of shelves 15 are arranged in two rows so as to face each other in parallel, and may be provided to have a size in which one article 11 is stored on one shelf 15. there is.

로딩/언로딩부(17)는 선반(15)에 물품(11)을 로딩하거나 또는 선반(15)으로부터 물품(11)을 언로딩할 수 있게 구비될 수 있는 것으로써, 언급한 바와 같이 선반(15)이 두 개의 열을 갖도록 배치될 경우에는 두 개의 열 사이인 서로 마주하는 선반(15) 사이에 배치되게 구비될 수 있지만, 이와 달리 선반(15)이 한 개의 열만을 갖도록 배치될 경우에는 선반(15)의 전방에 배치되게 구비될 수 있을 것이다.The loading/unloading unit 17 may be provided to load the article 11 on the shelf 15 or to unload the article 11 from the shelf 15, and as mentioned above, the shelf ( 15) may be provided to be disposed between the shelves 15 facing each other between the two columns when arranged to have two rows, but otherwise, when the shelves 15 are arranged to have only one row, the shelf It may be provided to be disposed in front of (15).

특히, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스토커에서의 로딩/언로딩부(17)는 물품(11)의 로딩 또는 언로딩시 물품(11)을 동시에 두 개를 로딩 또는 언로딩할 수 있는 듀얼 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In particular, the loading/unloading unit 17 in the stocker according to exemplary embodiments of the present invention can load or unload two items 11 at the same time when loading or unloading the items 11. It may be provided to have a dual structure.

그리고 로딩/언로딩부(17)는 물품(11)의 로딩 및 언로딩시 물품(11)을 핸들링하기 위한 핸들링부(19), 서로 마주하는 선반(15)을 따라 핸들링부(19)를 활주시키기 위한 활주부(21), 도시하지은 않았지만 서로 마주하는 선반(15) 사이에서 핸들링부(19)를 회전시키기 위한 회전부로 이루어질 수 있다.In addition, the loading/unloading unit 17 slides the handling unit 19 along the shelf 15 facing each other and the handling unit 19 for handling the items 11 during loading and unloading of the items 11. Although not shown, it may be composed of a sliding part 21 for rotating the handling part 19 between the shelves 15 facing each other.

핸들링부(19)는 물품(11)을 핸들링할 수 있는 구조를 갖는 로봇 암일 수 있는 것으로써, 본 발명에서의 핸들링부(19)는 동시에 두 개의 물품(11)을 핸들링할 수 있는 듀얼 구조를 갖는 로봇 암일 수 있다.The handling unit 19 may be a robot arm having a structure capable of handling items 11, and the handling unit 19 in the present invention has a dual structure capable of handling two items 11 at the same time. It may be a robot arm with

그리고 활주부(21)는 두 개의 열을 갖도록 배치되는 선반(15)을 따라 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 선반(15)을 따라 핸들링부(19)를 활주시키기 위한 가이드 레일 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.In addition, the sliding part 21 may be provided to have a structure extending along the shelf 15 arranged to have two rows, and has a guide rail structure for sliding the handling part 19 along the shelf 15. It may be provided to have.

이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스토커는 핸들링부(19)가 물품(11)을 핸들링함과 아울러 활주부(21)를 따라 활주함에 의해 물품(11)에 대한 로딩 또는 언로딩을 달성할 수 있는 것으로써. 특히 동시에 듀얼 구조를 갖는 핸들링부(19)를 사용함에 의해 두 개의 물품(11)에 대한 로딩 또는 언로딩을 달성할 수 있을 것이다.Accordingly, in the stocker according to exemplary embodiments of the present invention, the handling unit 19 handles the item 11 and slides along the sliding unit 21 to load or unload the item 11. as achievable. In particular, loading or unloading of two articles 11 may be achieved by using the handling unit 19 having a dual structure at the same time.

그리고 선반(15)이 두 개의 열을 갖는 구조로 배치되기 때문에 핸들링부(19)의 경우에도 두 개의 열 모두의 선반(15)에 대한 물품(11)의 로딩 또는 언로딩을 수행하도록 구비되어야 할 것이고, 이에 회전부가 핸들링부(19)를 회전시킬 수 있는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In addition, since the shelf 15 is arranged in a structure having two rows, even in the case of the handling unit 19, it should be provided to load or unload the articles 11 on the shelves 15 of both rows. Accordingly, the rotation unit may be provided to have a structure capable of rotating the handling unit 19.

즉, 서로 마주하는 두 개의 열 모두의 선반(15)에서의 물품(11)에 대한 로딩 또는 언로딩에 대응할 수 있어야 하기 때문에 회전부를 사용하여 핸들링부(19)를 회전시킬 수 있게 하는 것이다.That is, since it must be able to respond to loading or unloading of the articles 11 on the shelves 15 of both rows facing each other, the handling unit 19 can be rotated using the rotation unit.

여기서, 회전부는 주로 핸들링부(19)를 축 회전시킬 수 있는 회전 구동이 가능한 모터 등과 같은 부재일 수 있을 것이다.Here, the rotation unit may be a member such as a rotationally driven motor capable of pivoting the handling unit 19 .

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스토커는 핸들링부(19)가 물품(11)을 핸들링함과 아울러 활주부(21)를 따라 활주하고 그리고 회전함에 의해 선반(15)에서의 물품(11)에 대한 로딩 또는 언로딩을 달성할 수 있는 것으로써. 특히 듀얼 구조를 갖는 핸들링부(19)를 사용함에 의해 동시에 두 개의 물품(11)에 대한 로딩 또는 언로딩을 달성할 수 있을 것이다.In this way, the stocker according to exemplary embodiments of the present invention moves the items on the shelf 15 by sliding and rotating along the slide 21 while the handling portion 19 handles the product 11 . As being able to achieve loading or unloading for (11). In particular, by using the handling unit 19 having a dual structure, loading or unloading of two items 11 may be achieved at the same time.

그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스토커는 선반(15)이 다층 배치 구조를 갖도록 구비될 수 있는데, 이 경우에는 로딩/언로딩부(17)를 Z축 구동시키는 구조를 갖도록 할 경우 대처가 가능할 것이다.And the stocker according to exemplary embodiments of the present invention may be provided so that the shelf 15 has a multi-layer arrangement structure, in this case, the loading / unloading unit 17 to have a structure to drive the Z-axis to deal with will be possible

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스토커는 외부로부터 스토커로 물품(11)을 로딩하거나 또는 스토커로부터 외부로 물품(11)을 언로딩시키는 구조를 갖도록 구비되어야 하기 때문에 언급한 포트가 하우징(13)의 일측에 배치되도록 구비될 수 있다.Since the stocker according to exemplary embodiments of the present invention should have a structure for loading the article 11 from the outside into the stocker or unloading the article 11 from the stocker to the outside, the aforementioned port is the housing 13 ) It may be provided to be disposed on one side of.

즉, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스토커는 언급한 포트를 통하여 외부로부터 스토커로 물품(11)을 로딩하거나 또는 스토커로부터 외부로 물품(11)을 언로딩시킬 수 있는 것이다.That is, the stocker according to the exemplary embodiments of the present invention can load the article 11 from the outside to the stocker through the aforementioned port or unload the article 11 from the stocker to the outside.

그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스토커에서의 포트는 OHT와 물품(11)을 로딩 또는 언로딩하는 OHT 포트(23), 작업자가 매뉴얼로 물품(11)을 로딩 또는 언로딩하는 매뉴얼 포트(29) 등으로 이루어질 수 있다.And the port in the stocker according to exemplary embodiments of the present invention is an OHT port 23 for loading or unloading the OHT and the article 11, a manual port for loading or unloading the article 11 by the operator manually (29) and so on.

또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스토커에서의 포트는 로딩 포트와 언로딩 포트가 페어(pair) 구조를 갖도록 구비될 수 있는데, OHT 포트(23)에 로딩 포토(25)와 언로딩 포트(27)가 페어 구조를 갖도록 구비됨과 아울러 매뉴얼 포트(29)에도 로딩 포트(31)와 언로딩 포트(33)가 페어 구조를 갖도록 구비될 수 있다.In addition, the port in the stocker according to exemplary embodiments of the present invention may be provided so that the loading port and the unloading port have a pair structure, and the OHT port 23 has a loading port 25 and an unloading In addition to the port 27 having a pair structure, the manual port 29 may also have a loading port 31 and an unloading port 33 provided to have a pair structure.

이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스토커는 로딩/언로딩부(17)를 듀얼 구조를 갖도록 구비함으로써 동시에 두 개의 물품(11)을 로딩 또는 언로딩함과 아울러 로딩 포트와 언로딩 포트가 페어 구조를 갖도록 구비함으로써 물품(11)에 대한 로딩 또는 언로딩을 동시에 처리할 수 있는 공간 확보를 통하여 물품(11)에 대한 로딩 또는 언로딩에 따른 시간을 충분하게 단축시킬 수도 있을 것이다.In this way, the stocker according to exemplary embodiments of the present invention has a loading / unloading unit 17 having a dual structure, thereby loading or unloading two items 11 at the same time, as well as a loading port and unloading By providing the ports to have a pair structure, the time required for loading or unloading the product 11 can be sufficiently reduced by securing a space capable of handling loading or unloading of the product 11 at the same time.

본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 스토커는 적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 다수매 수납하는 풉 등과 같은 물품을 로딩 또는 언로딩하는 이송 공정에 사용할 수 있기에, 반도체 소자, 디스플레이 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.Since the stocker according to exemplary embodiments of the present invention can be used in a transfer process of loading or unloading items such as a foo that accommodates a plurality of substrates for manufacturing an integrated circuit device, semiconductor devices, display devices, etc. It will be able to be applied more actively to the manufacture of circuit elements.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. You will understand that you can.

11 : 물품 13 : 하우징
15 : 선반 17 : 로딩/언로딩부
23 : OHT 포트 25 : 매뉴얼 포트
100 : 스토커11 item 13 housing
15: shelf 17: loading / unloading unit
23: OHT port 25: Manual port
100: Stalker

Claims (6)

집적회로 소자의 제조에 사용하기 위한 물품을 보관하도록 이루어지는 스토커에 있어서,
상기 스토커의 외형을 구성하는 하우징;
상기 하우징 내에 서로 마주하게 배치되되, 상기 물품을 보관하기 위한 공간을 제공하는 선반; 및
상기 선반에 상기 물품을 로딩하거나 또는 상기 선반으로부터 상기 물품을 언로딩할 수 있게 서로 마주하는 상기 선반 사이에 배치되되, 상기 물품을 동시에 두 개를 로딩 또는 언로딩할 수 있는 듀얼 구조를 갖도록 구비되는 로딩/언로딩부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스토커.A stocker configured to store articles for use in the manufacture of integrated circuit devices,
A housing constituting the outer appearance of the stocker;
Shelves disposed facing each other in the housing and providing a space for storing the items; and
It is disposed between the shelves facing each other so that the article can be loaded on the shelf or the article can be unloaded from the shelf, and has a dual structure capable of loading or unloading two articles at the same time. A stocker comprising a loading/unloading unit. 제1 항에 있어서,
상기 물품은 상기 집적회로 소자로 제조하기 위한 기판을 수납하는 풉(FOUP) 또는/및 상기 집적회로 소자의 제조에 사용되는 레티클을 수납하는 컨테이너인 것을 특징으로 하는 스토커.According to claim 1,
The stocker, characterized in that the article is a container for accommodating a FOUP for accommodating a substrate for manufacturing the integrated circuit device and / and a reticle used for manufacturing the integrated circuit device. 제1 항에 있어서,
상기 로딩/언로딩부는 상기 물품의 로딩 및 언로딩시 상기 물품을 핸들링하기 위한 핸들링부, 서로 마주하는 상기 선반을 따라 상기 핸들링부를 활주시키기 위한 활주부, 및 서로 마주하는 상기 선반 사이에서 상기 핸들링부를 회전시키기 위한 회전부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 스토커.According to claim 1,
The loading/unloading unit includes a handling unit for handling the product during loading and unloading of the product, a sliding unit for sliding the handling unit along the shelves facing each other, and a handling unit between the shelves facing each other. A stocker characterized in that it consists of a rotating part for rotating. 제1 항에 있어서,
외부로부터 상기 스토커에 상기 물품을 로딩하거나 또는 상기 스토커로부터 외부에 상기 물품을 언로딩하는 포트가 상기 하우징의 일측에 더 배치되게 구비되는 것을 특징으로 하는 스토커.According to claim 1,
A stocker, characterized in that a port for loading the article from the outside to the stocker or unloading the article from the stocker to the outside is further disposed on one side of the housing. 제4 항에 있어서,
상기 포트는 OHT(Overhead Hoist Transport)와 상기 물품을 로딩 또는 언로딩하는 OHT 포트, 및 작업자가 매뉴얼로 상기 물품을 로딩 또는 언로딩하는 매뉴얼 포트로 이루어지는 것을 특징으로 하는 스토커.According to claim 4,
The port is a stocker, characterized in that consisting of OHT (Overhead Hoist Transport), an OHT port for loading or unloading the article, and a manual port for manually loading or unloading the article by a worker. 제4 항에 있어서,
상기 포트는 로딩 포트와 언로딩 포트가 페어(pair) 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 스토커.According to claim 4,
The port is a stocker, characterized in that the loading port and the unloading port are provided to have a pair structure.
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