KR20230034504A - 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템 - Google Patents

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Abstract

셧다운이나 이상 작동 등의 비상시 스테이지의 작동을 정지시키는 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템은, 프로브 카드와 웨이퍼가 공급되어 검사가 이루어지도록 3축 방향으로 이송되는 복수개의 스테이지를 포함하는 스테이지 챔버; 상기 스테이지 챔버 내부로 공급되는 전원의 셧다운 또는 상기 복수개의 스테이지의 이상 작동을 감지하는 감지부; 상기 감지부에서 입력된 입력 신호에 따라 상기 복수개의 스테이지의 일부 또는 전부의 이송을 정지시키는 록킹 신호를 출력시키는 제어부; 및 상기 제어부의 출력 신호에 따라 상기 복수개의 스테이지의 일부 또는 전부의 이송이 정지되도록 록킹하는 록킹 수단;을 포함할 수 있다.

Description

프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템{Emergency stage locking system for Prober}
본 발명은 웨이퍼를 검사하는 장비인 프로버에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 셧다운이나 이상 작동 등의 비상시 스테이지의 작동을 정지시키는 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 검사 장비인 웨이퍼 프로버(Wafer prober)는 반도체 전공정(前工程)이 모두 완료된 웨이퍼를 대상으로 후공정(後工程)으로 들어가기 직전에, 웨이퍼 상에 만들어진 반도체 소자들의 전기적 특성을 검사하여 불량 유무를 확인하는 장비이다.
다수의 반도체 소자가 형성된 반도체 웨이퍼에 있어서, 각 반도체 소자의 전기적 특성 검사를 하기 위해, 웨이퍼 검사 장치로서 프로버가 이용되고 있다. 프로버는 웨이퍼와 대향하는 원판형 프로브 카드를 구비하고, 프로브 카드는 웨이퍼의 반도체 소자의 각 전극 패드나 각 솔더 범프와 대향하도록 배치되는 복수의 기둥형 접촉단자인 콘택트 프로브를 구비한다.
프로버에서는 프로브 카드의 각 콘택트 프로브가 반도체 소자의 전극 패드나 솔더 범프와 접촉하고 각 콘택트 프로브에서 각 전극 패드나 각 솔더 범프에 접속된 반도체 소자의 전기 회로로 검사 신호를 흐르게 함으로써 전기 회로의 도통 상태 등을 검사한다.
종래 기술에 의하면, 프로버는 챔버 내부로 웨이퍼가 공급되고, 상부에서 프로브 카드가 공급된 다음 프로브 카드의 콘택트 프로브가 웨이퍼의 일정 부분에 접촉하고 전기적으로 검사하고 이동하는 것을 반복하게 되는데, 셧다운이나 이상 작동 등의 경우에는 프로브 카드와 웨이퍼가 접촉된 상태에서 움직이게 되면 고가인 프로브 카드와 웨이퍼가 손상되는 문제점이 있었다.
KR 2222827 B1
본 발명에 따르면 프로버의 셧다운이나 이상 작동 시 물리적으로 스테이지를 고정함으로써 프로브 카드와 웨이퍼의 손상을 미연에 방지할 수 있는 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템을 제공하고자 한다.
본 발명의 일측면에 따른 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템은, 프로브 카드와 웨이퍼가 공급되어 검사가 이루어지도록 3축 방향으로 이송되는 복수개의 스테이지를 포함하는 스테이지 챔버; 상기 스테이지 챔버 내부로 공급되는 전원의 셧다운 또는 상기 복수개의 스테이지의 이상 작동을 감지하는 감지부; 상기 감지부에서 입력된 입력 신호에 따라 상기 복수개의 스테이지의 일부 또는 전부의 이송을 정지시키는 록킹 신호를 출력시키는 제어부; 및 상기 제어부의 출력 신호에 따라 상기 복수개의 스테이지의 일부 또는 전부의 이송이 정지되도록 록킹하는 록킹 수단;을 포함할 수 있다.
이때, 상기 복수개의 스테이지는, 베이스 상면에 평면상 X축 방향으로 구비된 직선의 제1 레일을 따라 이송되는 제1 스테이지와, 상기 제1 스테이지의 상면에 평면상 Y축 방향으로 구비된 직선의 제2 레일을 따라 이송되는 제2 스테이지를 포함하고, 상기 록킹 수단은 상기 제1 스테이지와 제2 스테이지에 설치될 수 있다.
이때, 상기 록킹 수단은 상기 제1 스테이지와 제2 스테이지의 하부에 각각 설치되고, 상기 록킹 신호에 따라 상기 제1 레일과 제2 레일을 물리적으로 압박하여 마찰력에 의해 정지하도록 록킹할 수 있다.
이때, 상기 복수개의 스테이지는, 상기 제2 스테이지 상부에 승강 모듈에 의해 Z축 방향으로 승강 가능하게 설치되는 제3 스테이지를 포함하고, 상기 승강 모듈은 상기 록킹 신호에 따라 상기 제3 스테이지가 하강하도록 작동할 수 있다.
이때, 상기 록킹 수단은 상기 복수개의 스테이지를 안내하는 레일을 물어 마찰력에 의해 록킹되도록 압축 공기에 의해 작동될 수 있다.
이때, 상기 스테이지 챔버로 공급되는 전원의 셧다운 시, 상기 록킹 수단의 작동을 위한 구동력을 공급하는 비상 구동원을 더 포함할 수 있다.
이때, 상기 스테이지 챔버의 일측에는 상기 록킹 수단을 자동 또는 수동으로 작동시킬 수 있도록 전환시키는 전환 스위치가 구비될 수 있다.
이때, 상기 전환 스위치는 상기 스테이지 챔버의 전면 또는 후면에 위치할 수 있다.
이때, 상기 스테이지 챔버의 전면 또는 후면에는 전장 부품이 구비된 전장부 공간을 갖는 전장 도어가 구비되고, 상기 전환 스위치는 상기 전장 도어 내부에 설치될 수 있다.
이때, 상기 스테이지 챔버는 복수개가 배열되어 그룹 프로버를 구성하되, 상기 그룹 프로버의 일측에는 전체 프로버의 상기 록킹 수단을 자동 또는 수동으로 작동시킬 수 있도록 전환시키는 통합 전환 스위치가 구비될 수 있다.
상기의 구성에 따라, 본 발명에 따른 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템은, 테스트 작동 중 셧다운이나 이상 작동이 감지되면 모든 위치에서 작동이 정지되도록 함으로써 프로브 카드와 웨이퍼 접촉 상태에서 스테이지의 이송을 방지하여 프로브 카드와 웨이퍼의 손상을 미연에 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템이 적용될 수 있는 그룹 프로버의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템이 적용될 수 있는 단일 프로버의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템이 작동되는 스테이지 챔버 내부의 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 A 부분의 확대도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템이 작동되는 스테이지 챔버 내부의 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템이 적용된 스테이지의 부분 상세 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템의 일부 구성요소인 전환 스위치의 위치가 도시된 스테이지 챔버의 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템의 구성 블록도이다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 단어와 용어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정 해석되지 않고, 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 발명자가 용어와 개념을 정의할 수 있는 원칙에 따라 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
그러므로 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 해당하고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것이 아니므로 해당 구성은 본 발명의 출원시점에서 이를 대체할 다양한 균등물과 변형예가 있을 수 있다.
본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 설명하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소의 "전방", "후방", "상부" 또는 "하부"에 있다는 것은 특별한 사정이 없는 한 다른 구성 요소와 바로 접하여 "전방", "후방", "상부" 또는 "하부"에 배치되는 것뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 구성 요소가 배치되는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소와 "연결"되어 있다는 것은 특별한 사정이 없는 한 서로 직접 연결되는 것뿐만 아니라 간접적으로 서로 연결되는 경우도 포함한다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명에 따른 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템을 설명한다.
본 발명에 따른 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템은, 도 1 내지 도 8을 참고하면, 스테이지 챔버(100), 감지부(141), 제어부(142), 그리고 록킹 수단(131b, 132b, 133a)을 포함한다.
우선, 상기 스테이지 챔버(100)는 단일 프로버와 그룹 프로버에 모두 적용될 수 있음은 물론이다. 도 1을 참고하면 그룹 프로버(10)가 도시되어 있는 바, 그룹 프로버(10)의 각 프로버에 감지부(141), 록킹 수단을 설치하고, 하나의 제어부(142) 또는 복수개의 제어부를 두어 통합 관리하거나 각각 별도로 관리할 수도 있을 것이다.
상기 스테이지 챔버(100)는, 도 2 내지 도 6을 참고하면, 프로브 카드와 웨이퍼가 공급되어 검사가 이루어지도록 3축 방향으로 이송되는 복수개의 스테이지(130)를 포함할 수 있다.
이때, 상기 복수개의 스테이지(130)는, 베이스(131) 상면에 평면상 X축 방향으로 구비된 직선의 제1 레일(131a)을 따라 이송되는 제1 스테이지(132)와, 상기 제1 스테이지(132)의 상면에 평면상 Y축 방향으로 구비된 직선의 제2 레일(132a)을 따라 이송되는 제2 스테이지(133)를 포함하고, 상기 록킹 수단(131b, 132b)은 상기 제1 스테이지(132)와 제2 스테이지(133)에 설치될 수 있다.
이때, 상기 제1 스테이지(132)와 제2 스테이지(133)의 하부에 각각 록킹 수단(131b, 132b)이 설치되고, 상기 록킹 신호에 따라 상기 제1 레일(131a)과 제2 레일(132a)을 물리적으로 압박하여 마찰력에 의해 정지하도록 록킹할 수 있다.
이때, 상기 복수개의 스테이지(130)는, 상기 제2 스테이지(133) 상부에 승강 모듈(133a)에 의해 Z축 방향으로 승강 가능하게 설치되는 제3 스테이지(134)를 포함하고, 상기 승강 모듈(133a)은 상기 록킹 신호에 따라 상기 제3 스테이지(134)가 하강하도록 수동 또는 자동으로 작동할 수 있다.
따라서, 상기 스테이지 챔버(100) 내부의 하부 측에 고정된 베이스(131)로부터 제1 스테이지(132), 제2 스테이지(133), 그리고 제3 스테이지(134)가 순차적으로 설치되어 있고, 제3 스테이지(134)에 통상 웨이퍼가 안착되고, 그 상부에서 프로브 카드가 접촉되어 테스트가 이루어지게 된다.
이때, 상기 제1 스테이지(132)와 제2 스테이지(133)는 각 하부 측에 구비된 레일(131a, 132a)을 따라 직선 이송이 가능하도록 되어 있고, 제1 스테이지(132)와 제2 스테이지(133) 하부에는 레일(131a, 132a)에 맞물리는 가이드 레일 홈이 레일에 물려 직선 이송되도록 되어 있다.
이때, 상기 제1 스테이지(132)와 제2 스테이지(133)의 이송은 레일과 가이드 레일 홈에 의해 안내되지만, 이것들의 구동은 널리 알려진 리니어 모터(Linear Motor)에서 이루어질 수 있다. 제어부(142)는 제1 스테이지(132)와 제2 스테이지(133)의 리니어 모터를 제어함으로써 수평면 상에서 웨이퍼의 위치를 X, Y축에 대하여 조정할 수 있게 된다.
상기 감지부(141)는, 도 8을 참고하면, 상기 스테이지 챔버(100) 내부로 공급되는 전원의 셧다운 또는 상기 복수개의 스테이지(130)의 이상 작동을 감지할 수 있다.
이때, 상기 감지부(141)의 예로는, 전기적인 셧다운을 감지하는 부품 또는 회로, 또는 다양한 센서를 적용할 수 있을 것이다. 또한 이상 작동은 예를 들면, 다양한 모션 센서나 위치 센서 등을 적용하거나 비전 시스템을 적용할 수 있을 것이다.
상기 제어부(142)는, 도 8을 참고하면, 상기 감지부(141)에서 입력된 입력 신호에 따라 상기 복수개의 스테이지(130)의 일부 또는 전부의 이송이 정지하도록 록킹 신호를 출력시킬 수 있다. 즉 상기 제어부(142)는 셧다운이나 이상 작동이 감지되면 모든 작동 또는 일부 작동을 정지하도록 제어할 수 있다.
상기 록킹 수단(131b, 132b)은, 도 3 내지 도 8을 참고하면, 상기 제어부(142)의 출력 신호에 따라 상기 복수개의 스테이지(130)의 일부 또는 전부의 이송을 정지하도록 록킹할 수 있다.
이때, 상기 록킹 수단(131b, 132b)은 상기 복수개의 스테이지(130)를 안내하는 레일을 물어 마찰력에 의해 록킹되도록 압축 공기에 의해 작동되는 에어 록킹 부재일 수 있다.
이때, 상기 스테이지 챔버(100)로 공급되는 전원의 셧다운 시, 상기 록킹 수단(131b, 132b)의 작동을 위한 구동력을 공급하는 비상 구동원(143)을 더 포함할 수 있다. 여기서 상기 비상 구동원(143)은 배터리와 같은 비상 전원을 적용할 수도 있을 것이다.
이때, 상기 스테이지 챔버(100)의 일측에는, 도 7을 참고하면, 상기 록킹 수단(131b, 132b)을 자동 또는 수동으로 작동시킬 수 있도록 전환시키는 전환 스위치(121)가 구비될 수 있다.
이때, 상기 전환 스위치(121)는 상기 스테이지 챔버(100)의 전면 또는 후면에 위치할 수 있는 바, 여기서는, 상기 스테이지 챔버(100)의 전면 또는 후면에는 전장 부품이 구비된 전장부 공간인 전장 부품 수납 공간을 갖는 전장 도어(120)가 구비되고, 상기 전환 스위치(121)는 상기 전장 도어(120) 내부의 수납 공간에 설치될 수 있다. 전장 도어(120)는 여기서는 스테이지 챔버 본체(110)와 힌지 결합되거나 피스 등에 의해 조립될 수도 있다.
이때, 상기 스테이지 챔버(100)는 복수개가 배열되어 그룹 프로버를 구성하되, 상기 그룹 프로버의 일측에는 전체 프로버의 상기 록킹 수단을 자동 또는 수동으로 작동시킬 수 있도록 전환시키는 통합 전환 스위치가 구비될 수 있다.
도 1을 참고하면, 본 발명에 따른 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템이 적용될 수 있는 그룹 프로버(10)가 도시되어 있다. 본 발명은 단일 프로버, 한 쌍의 프로버, 또는 그룹 프로버 모두에 적용될 수 있음은 물론이다. 도 1에서는 그룹 프로버(10)가 도시되어 있고, 여기에 본 발명에 따른 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템이 적용된 것을 보여준다. 하나의 스테이지 챔버(100)는 프레임(11)의 각 셀에 각각 조립 및 고정 설치될 수 있고, 각 스테이지 챔버(100)마다 전술한 전환 스위치(121)가 설치될 수도 있고, 프레임(11) 측면에 설치된 통합 전장부(12)에 통합 전환 스위치가 설치될 수 있다. 물론 각 스테이지 챔버(100)의 전환 스위치(121)가 통합 전장부(12)에 각각 개별적으로 설치될 수도 있다.
도 2를 참고하면, 단일의 스테이지 챔버(100) 하나가 도시되어 있다. 스테이지 챔버(100)의 본체(110) 일단 외측에는 전장 도어(120)가 설치될 수 있고, 그 전장 도어(120)는 도어 몸체 내측에 스테이지 챔버(100)의 내부를 제어하기 위한 전장품이 수납되는 수납 공간이 마련될 수 있고, 그 수납 공간에 록킹 수단(131b, 132b)을 수동과 자동으로 전환하기 위한 전환 스위치(121)가 배치될 수 있다. 스테이지 챔버(100)는 밀폐된 공간을 이루고 내부에는 스테이지들(130)이 이송될 수 있도록 설치되어 있으며, 웨이퍼와 해당 프로브 카드가 제공되어 테스트가 이루어지게 된다. 스테이지 챔버(100)의 전후방을 연결하여 이물질을 필터링하기 위한 공조 장비 또한 도시되어 있다.
도 3 내지 도 5를 참고하면, 스테이지 챔버 내부의 웨이퍼의 위치를 조정하기 위한 스테이지들(130)이 설치되어 있다. 최하부의 베이스(131)는 스테이지 챔버(100) 내측 최하부에 고정된다. 베이스(131)의 상면에는 제1 레일(131a)이 X축 방향을 따라 구비되어 있다. 상기 베이스(131) 상부에는 제1 레일(131a)에 맞물리는 가이드 레일 홈이 하부면에 형성된 제1 스테이지(132)가 설치된다. 따라서 제1 스테이지(132)는 베이스(131)에 대하여 X축 방향을 따라 직선 이동 가능하다. 제1 스테이지(132) 상부면에는 제2 레일(132a)이 구비되어 있다. 제1 스테이지(132)의 상부에는 제2 레일(132a)에 맞물리는 가이드 레일 홈이 하부면에 형성된 제2 스테이지(133)가 Y축 방향을 따라 직선 이동 가능하게 설치될 수 있다. 제2 스테이지(133)의 상부에는 제3 스테이지(134)가 승강 모듈(133a)에 의해 승강 방향, 즉 Z축 방향을 따라 직선 이동 가능하게 설치될 수 있다.
이때, 제3 스테이지(134) 상부에는 테스트 대상 웨이퍼가 안착되고, 웨이퍼 상측의 해당 프로브 카드와 접촉하고 전기적 신호가 공급되어 테스트가 진행된다. 웨이퍼의 테스트 결과가 나오면 검사가 이루어진 웨이퍼는 스테이지 챔버(100) 외부로 반출되고, 새로운 웨이퍼가 스테이지 챔버(100)로 공급되어 테스트를 반복하게 된다.
이때, 테스트용 웨이퍼를 제3 스테이지(134)에 안착시키기 위하여 스테이지들(130)이 각 리니어 모터의 작동과 승강 모듈(133a)의 작동에 의해 안착 위치로 이동하게 되고, 웨이퍼 안착 후, 안착 위치에서 테스트 위치까지 다시 이동하게 된다. 그 후 테스트가 이루어질 수 있다.
이때, 테스트 중, 셧다운이나 이상 작동이 발생하게 되면 프로브 카드의 콘택트 프로브가 웨이퍼에 물리적으로 접촉하고 있는 상태이기 때문에 고가의 프로브 카드와 웨이퍼에 손상을 줄 수 있다. 특히 X, Y 축 방향으로의 움직임은 치명적인 손상을 가져오게 된다.
이때, 셧다운이 발생되면 감지부에서 이를 감지하고, 감지된 입력 신호는 제어부(142)로 입력되고, 제어부(142)는 록킹 신호를 출력한다. 록킹 신호가 출력됨과 동시에 록킹 수단(131b, 132b)인 에어 록킹 부재가 작동되어 제1 레일(131a)과 제2 레일(132a)을 물어 록킹하게 된다. 물론 이와 동시에 승강 모듈(133a) 또한 록킹하도록 구성할 수도 있다. 또한 승강 모듈(133a)은 록킹된 상태에서 자중에 의해 하강하도록 함으로써 자연스럽게 콘택트 프로브와 웨이퍼가 이격되도록 할 수도 있다.
도 6을 참고하면, 제1 스테이지(132)가 리니어 모터에 의해 제1 레일(131a)을 따라 이동될 때, 에어 록킹 부재(131b)가 함께 제1 레일(131a)을 따라 이동하는 것이 도시되어 있다. 에어 록킹 부재는 제1 스테이지(131a)와 함께 제1 레일(131a)을 따라 이동하다가 록킹 신호에 따라 제1 레일(131a)을 물어 마찰력에 의해 물리적으로 고정하게 되고, 결국 제1 스테이지(132)가 그 위치에서 정지하게 된다. 에어 록킹 부재(131b, 132b)는 이동 시 충분히 레일(131a, 132a)을 물어 정지할 수 있는 적절한 위치에 설치될 수 있다.
도 7을 참고하면, 록킹 수단(131b, 132b)을 자동 또는 수동을 전환할 수 있는 전환 스위치(121)가 스테이지 챔버(100) 일측에 설치된 것이 도시되어 있다. 그룹 프로버의 경우에는, 전환 스위치(121)는 각각의 스테이지 챔버(100)에 설치되어 개별로 전환 제어가 가능하도록 할 수도 있고, 통합 전장부를 따로 두어 통합 전환 스위치를 하나 또는 개별 스테이지 수만큼 둘 수도 있다. 여기서는 스테이지 챔버(100) 일측에 전장부가 수납되는 수납 공간을 갖는 전장 도어(120) 내부에 전장부품과 함께 전환 스위치(121)도 설치할 수 있다.
도 8을 참고하면, 록킹 수단(131b, 132b)을 제어하기 제어 블록도가 도시되어 있다. 제어부(142)는 감지부(141)로부터 입력 신호를 받게 되고, 전환 스위치(121)가 오토 즉 자동인 경우에 입력 신호에 따라 록킹 신호를 출력하게 된다. 이때, 록킹 수단(131b, 132b)인 에어 록킹 부재를 작동시켜 제1 스테이지(132)와 제2 스테이지(133)가 정지하도록 하거나 승강 모듈(133a) 작동을 멈추도록 제어할 수도 있다. 동시에 록킹 신호에 따라 비상 구동원(143)을 구동할 수도 있다.
본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시예에 의해 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.
10 : 그룹 프로버
11 : 프레임 12 : 통합 전장부
100 : 프로버 스테이지 110 : 프로버 스테이지 챔버
120 : 전장 도어 121 : 전환 스위치
130 : 스테이지 131 : 베이스
131a : 제1 레일 131b, 132b : 에어 록킹 부재
132 : 제1 스테이지 132a : 제2 레일
133 : 제2 스테이지 133a : 승강 모듈
134 : 제3 스테이지 141 : 감지부
142 : 제어부 143 : 비상 구동원

Claims (10)

  1. 프로브 카드와 웨이퍼가 공급되어 검사가 이루어지도록 3축 방향으로 이송되는 복수개의 스테이지를 포함하는 스테이지 챔버;
    상기 스테이지 챔버 내부로 공급되는 전원의 셧다운 또는 상기 복수개의 스테이지의 이상 작동을 감지하는 감지부;
    상기 감지부에서 입력된 입력 신호에 따라 상기 복수개의 스테이지의 일부 또는 전부의 이송을 정지시키는 록킹 신호를 출력시키는 제어부;
    상기 제어부의 출력 신호에 따라 상기 복수개의 스테이지의 일부 또는 전부의 이송이 정지되도록 록킹하는 록킹 수단;을 포함하는, 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 복수개의 스테이지는, 베이스 상면에 평면상 X축 방향으로 구비된 직선의 제1 레일을 따라 이송되는 제1 스테이지와, 상기 제1 스테이지의 상면에 평면상 Y축 방향으로 구비된 직선의 제2 레일을 따라 이송되는 제2 스테이지를 포함하고,
    상기 록킹 수단은 상기 제1 스테이지와 제2 스테이지에 설치된, 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 록킹 수단은 상기 제1 스테이지와 제2 스테이지의 하부에 각각 설치되고, 상기 록킹 신호에 따라 상기 제1 레일과 제2 레일을 물리적으로 압박하여 마찰력에 의해 정지하도록 록킹하는, 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템.
  4. 제2 항에 있어서,
    상기 복수개의 스테이지는, 상기 제2 스테이지 상부에 승강 모듈에 의해 Z축 방향으로 승강 가능하게 설치되는 제3 스테이지를 포함하고,
    상기 승강 모듈은 상기 록킹 신호에 따라 상기 제3 스테이지가 하강하도록 작동하는, 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 록킹 수단은 상기 복수개의 스테이지를 안내하는 레일을 물어 마찰력에 의해 록킹되도록 압축 공기에 의해 작동되는 에어 록킹 부재인, 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 스테이지 챔버로 공급되는 전원의 셧다운 시, 상기 록킹 수단의 작동을 위한 구동력을 공급하는 비상 구동원을 더 포함하는, 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 스테이지 챔버의 일측에는 상기 록킹 수단을 자동 또는 수동으로 작동시킬 수 있도록 전환시키는 전환 스위치가 구비된, 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 전환 스위치는 상기 스테이지 챔버의 전면 또는 후면에 위치하는, 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 스테이지 챔버의 전면 또는 후면에는 전장 부품이 구비된 전장부 공간을 갖는 전장 도어가 구비되고, 상기 전환 스위치는 상기 전장 도어 내부에 설치된, 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 스테이지 챔버는 복수개가 배열되어 그룹 프로버를 구성하되, 상기 그룹 프로버의 일측에는 전체 프로버의 상기 록킹 수단을 자동 또는 수동으로 작동시킬 수 있도록 전환시키는 통합 전환 스위치가 구비된, 프로버의 비상시 스테이지 록킹 시스템.
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