KR20230019295A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20230019295A
KR20230019295A KR1020210099854A KR20210099854A KR20230019295A KR 20230019295 A KR20230019295 A KR 20230019295A KR 1020210099854 A KR1020210099854 A KR 1020210099854A KR 20210099854 A KR20210099854 A KR 20210099854A KR 20230019295 A KR20230019295 A KR 20230019295A
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chamber
substrate
friction member
clamping
chamber body
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KR1020210099854A
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이종두
오승훈
제진모
김기봉
이영훈
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명은 기판 처리 장치를 제공한다. 기판 처리 장치는, 바디; 상기 바디 내 처리 공간으로 처리 유체를 공급하는 유체 공급 유닛; 및 상기 처리 공간으로부터 처리 유체를 배기하는 유체 배기 라인을 포함하고, 상기 바디는, 제1바디; 상기 제1바디에 대하여 상대적으로 이동하는 제2바디; 및 상기 제1바디와 상기 제2바디의 마찰을 방지하는 마찰 방지 부재를 포함하고, 상기 마찰 방지 부재는, 상기 제1바디 또는 상기 제2바디가 가지는 면들 중 적어도 둘 이상의 면을 연속적으로 덮도록 구성될 수 있다.

Description

기판 처리 장치{APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATE}
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것이다.
반도체 소자를 제조하기 위해서, 기판에 사진, 식각, 애싱, 이온 주입, 그리고 박막 증착 등의 다양한 공정들을 통해 원하는 패턴을 웨이퍼 등의 기판 상에 형성한다. 각각의 공정에는 다양한 처리 액, 처리 가스들이 사용되며, 공정 진행 중에는 파티클, 그리고 공정 부산물이 발생한다. 이러한 파티클, 그리고 공정 부산물을 기판으로부터 제거하기 위해 각각의 공정 전후에는 세정 공정이 수행된다.
일반적인 세정 공정은 기판을 케미칼 및 린스 액으로 처리한 후에 건조 처리한다. 건조 처리의 일 예로, 기판을 고속으로 회전시켜 기판 상에 잔류하는 린스 액을 제거하는 회전 건조 공정이 있다. 그러나, 이러한 회전 건조 방식은 기판 상에 형성된 패턴을 무너뜨릴 우려가 있다.
이에, 최근에는 기판 상에 이소프로필알코올(IPA)과 같은 유기 용제를 공급하여 기판 상에 잔류하는 린스 액을 표면 장력이 낮은 유기 용제로 치환하고, 이후 기판 상에 초임계 상태의 처리 유체를 공급하여 기판에 잔류하는 유기 용제를 제거하는 초임계 건조 공정이 이용되고 있다. 초임계 건조 공정에서는 내부가 밀폐된 공정 챔버로 건조용 가스를 공급하고, 건조용 가스를 가열 및 가압한다. 이에, 건조용 가스의 온도 및 압력은 모두 임계점 이상으로 상승하고 건조용 가스는 초임계 상태로 상 변화한다.
초임계 건조 공정을 수행하는 기판 처리 장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 상부 바디(1), 하부 바디(2), 상부 바디(1)와 하부 바디(2)는 서로 조합되어 내부 공간을 형성하고, 내부 공간에서는 웨이퍼 등의 기판(W)이 지지 부재(4)에 의해 지지되며, 내부 공간으로는 건조용 가스가 공급된다. 건조용 가스가 초임계 상태를 유지하기 위해서는, 내부 공간의 압력을 고압으로 유지하는 것이 매우 중요하다. 내부 공간은 오-링과 같은 실링 부재(3)에 의해 실링된다. 또한, 상부 바디(1)와 하부 바디(2)가 서로 접촉되는 영역에서 파티클 등의 불순물이 발생되는 것을 최소화 하기 위해, 하부 바디(2)가 가지는 접합면에는 접촉 필름(5)이 설치된다.
한편, 건조용 가스에 의해 기판(W)이 건조되는 동안에는 내부 공간의 압력에 의해 상부 바디(1)와 하부 바디(2)에는 다양한 방향으로 진동이 발생한다. 이러한 진동은, X-Y-Z 방향 뿐 아니라, X 방향을 축으로 회전하는 방향, Y 방향을 축으로 회전하는 방향, Z 방향을 축으로 회전하는 방향 등과 같이 다양한 방향으로, 그리고 불규칙하게 발생한다. 이 경우, 도 2에 도시된 바와 같이, 접촉 필름(5)에는 변형 또는 밀림 현상이 발생될 수 있다.
본 발명은 기판을 효율적으로 처리할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 바디 사이에 제공되는 마찰 방지 부재에 밀림 현상 또는 변형 현상이 발생되는 것을 최소화 할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 고압 공정 중 바디가 미세하게 진동하는 것을 최소화 할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 마찰 방지 부재의 교체 주기를 늘릴 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재들로부터 통상의 기술자가 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 기판 처리 장치를 제공한다. 기판 처리 장치는, 바디; 상기 바디 내 처리 공간으로 처리 유체를 공급하는 유체 공급 유닛; 및 상기 처리 공간으로부터 처리 유체를 배기하는 유체 배기 라인을 포함하고, 상기 바디는, 제1바디; 상기 제1바디에 대하여 상대적으로 이동하는 제2바디; 및 상기 제1바디와 상기 제2바디의 마찰을 방지하는 마찰 방지 부재를 포함하고, 상기 마찰 방지 부재는, 상기 제1바디 또는 상기 제2바디가 가지는 면들 중 적어도 둘 이상의 면을 연속적으로 덮도록 구성될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1바디 또는 상기 제2바디가 가지는 면들은, 제1면; 및 상기 제1면으로부터 연장되는 제2면을 포함하고, 상기 마찰 방지 부재는, 상기 제1면을 덮도록 구성되는 제1부분; 및 상기 제1부분이 연장되는 방향에 교차하여 상기 제1부분으로부터 연장되며, 상기 제2면을 덮도록 구성되는 제2부분을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제2부분은 복수로 제공될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제2부분들은 중 어느 일부는 상기 제1부분으로부터 위를 향하는 방향으로 연장되고, 상기 제2부분들 중 다른 일부는 제1부분으로부터 아래를 향하는 방향으로 연장될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제2부분들은 중 어느 일부는 상기 제1부분으로부터 위를 향하는 방향으로 경사지게 연장되고, 상기 제2부분들 중 다른 일부는 제1부분으로부터 아래를 향하는 방향으로 경사지게 연장될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 마찰 방지 부재는, 상기 제1부분, 그리고 상기 제2부분이 일체인 형상을 가질 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제2부분들은, 서로 이격되되, 그 간격이 15mm ~ 20mm 일 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1바디 또는 상기 제2바디가 가지는 면들은, 상기 제1면 및 상기 제2면으로부터 연장되는 제3면을 더 포함하고, 상기 마찰 방지 부재는, 상기 제1부분으로부터 연장되는 제3부분을 더 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1바디는, 상기 처리 공간을 정의하는 챔버 바디이고, 상기 제2바디는, 상기 챔버 바디를 클램핑하는 클램핑 바디일 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1바디 및 상기 제2바디는 각각, 서로 조합되어 상기 처리 공간을 정의하는 제1챔버 바디 및 제2챔버 바디일 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1바디 또는 상기 제2바디 중 어느 하나는 측 방향으로 이동가능하게 제공될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1바디 또는 상기 제2바디 중 어느 하나는 상하 방향으로 이동가능하게 제공될 수 있다.
또한, 본 발명은 기판을 처리하는 장치를 제공한다. 기판 처리 장치는, 기판을 처리하는 처리 공간을 정의하는 챔버 바디 - 상기 챔버 바디는 제1챔버 바디, 그리고 상기 제1챔버 바디에 대하여 상대적으로 이동 가능하게 제공되는 제2챔버 바디를 포함함 - ; 상기 제1챔버 바디와 상기 제2챔버 바디가 밀착되는 닫힘 위치에 있을 때, 상기 제1챔버 바디 및 상기 제2챔버 바디를 클램핑 하는 클램핑 바디; 및 상기 클램핑 바디와 상기 챔버 바디의 마찰을 방지하는 마찰 방지 부재를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 마찰 방지 부재는, 상기 클램핑 바디 또는 상기 챔버 바디 중 어느 하나가 가지는 면들 중 적어도 둘 이상의 면을 연속적으로 덮도록 구성될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 마찰 방지 부재는, 복수로 제공되고, 서로 이격되어 배치될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 마찰 방지 부재들 중 일부는, 상부에서 바라볼 때, 원주 방향을 따라 서로 이격되어 배열될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 클램핑 바디 또는 상기 챔버 바디 중 어느 하나가 가지는 면들은, 제1면; 상기 제1면으로부터 연장되는 제2면; 및 상기 제1면 및 상기 제2면으로부터 연장되는 제3면을 포함하고, 상기 마찰 방지 부재는, 상기 제1면을 덮도록 구성되는 제1부분; 상기 제1부분이 연장되는 방향에 교차하여 상기 제1부분으로부터 연장되며, 상기 제2면을 덮도록 구성되는 제2부분; 및 상기 제1부분으로부터 연장되는 제3부분을 포함할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 마찰 방지 부재는 폴리이미드 필름일 수 있다.
또한, 본 발명은 초임계 상태의 처리 유체를 이용하여 기판을 처리하는 장치를 제공한다. 기판 처리 장치는, 바디; 상기 바디 내 처리 공간으로 상기 처리 유체를 공급하는 유체 공급 유닛; 및 상기 처리 공간으로부터 처리 유체를 배기하는 유체 배기 라인을 포함하고, 상기 바디는, 기판을 처리하는 처리 공간을 정의하는 챔버 바디 - 상기 챔버 바디는 제1챔버 바디, 그리고 상기 제1챔버 바디에 대하여 상대적으로 이동 가능하게 제공되는 제2챔버 바디를 포함함 - ; 상기 제1챔버 바디와 상기 제2챔버 바디가 밀착되는 닫힘 위치에 있을 때, 상기 제1챔버 바디 및 상기 제2챔버 바디를 클램핑하는 클램핑 바디 - 상기 클램핑 바디는 제1클램핑 바디, 그리고 상기 제1클램핑 바디와 마주하는 제2클램핑 바디를 포함함 - ; 및 상기 클램핑 바디와 상기 챔버 바디의 마찰을 방지하는 마찰 방지 부재를 포함하고, 상기 마찰 방지 부재는, 상기 클램핑 바디에 설치되고, 상기 클램핑 바디가 가지는 면들 중 적어도 적어도 둘 이상의 면을 연속적으로 덮도록 구성될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 클램핑 바디가 가지는 면들은, 지면과 평행한 제1면; 상기 제1면에 대하여 교차하여 연장되는 제2면; 및 상기 제1면 및 상기 제2면에 대하여 교차하여 연장되고, 상기 제1클램핑 바디와 상기 제2클램핑 바디가 서로 마주하는 면인 제3면을 포함하고, 상기 마찰 방지 부재는, 상기 제1면을 덮도록 구성되는 제1부분; 상기 제1부분으로부터 연장되며, 상기 제2면을 덮도록 구성되는 제2부분; 및 상기 제1부분으로부터 연장되며, 상기 제3면을 덮도록 구성되는 제3부분을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명은 초임계 상태의 처리 유체를 이용하여 기판을 처리하는 장치를 제공한다. 기판 처리 장치는, 제1바디; 상기 제1바디와 서로 조합되어 기판이 처리되는 처리 공간을 정의하는 제2바디; 및 상기 제1바디, 그리고 상기 제2바디가 접합되는 접합면 - 상기 접합면은 상기 제1바디 또는 상기 제2바디가 가지는 면임 - 에 설치되는 마찰 방지 부재를 포함하고, 상기 마찰 방지 부재는, 복수로 제공될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 마찰 방지 부재들은, 서로 이격되어 상기 접합면에 설치될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1바디 및 상기 제2바디 중 어느 하나를 상기 제1바디 및 상기 제2바디 중 다른 하나에 대하여 상대적으로 이동 시키는 이동 유닛을 더 포함하고, 상기 마찰 방지 부재들 사이의 간격은, 상기 제1바디 및 상기 제2바디 중 어느 하나가 이동하여 상기 처리 공간을 정의하는 닫힘 위치에 있을 때, 상기 마찰 방지 부재들 중 어느 하나가 인접하는 상기 마찰 방지 부재들 중 다른 하나와 이격될 수 있게 하는 간격일 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판을 효율적으로 처리할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 바디 사이에 제공되는 마찰 방지 부재에 밀림 현상 또는 변형 현상이 발생되는 것을 최소화 할 수 있다.
또한, 본 발명은 고압 공정 중 바디가 미세하게 진동하는 것을 최소화 할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 마찰 방지 부재의 교체 주기를 늘릴 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면들로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 일반적인 기판 처리 장치의 모습을 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1의 접촉 필름에 변형 또는 밀림 현상이 발생된 모습을 보여주는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 도면이다.
도 4는 도 3의 액 처리 챔버의 일 실시 예를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 5는 도 3의 건조 챔버의 일 실시 예를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 6은 도 5의 상부 바디 및 하부 바디가 닫힘 위치에 위치되는 모습을 보여주는 도면이다.
도 7은 도 5의 제1클램핑 바디 및 제2클램핑 바디가 클램핑 위치에 위치되는 모습을 보여주는 도면이다.
도 8a는 도 5의 클램프 바디 중 어느 하나를 보여주는 사시도이다.
도 8b는 도 5의 클램프 바디 중 다른 하나를 보여주는 사시도이다.
도 9는 도 5의 챔버 바디와 클램프 바디의 일 부분을 확대하여 보여주는 도면이다.
도 10, 도 11, 그리고 도 12는 클램프 바디에 전달될 수 있는 챔버 바디의 진동들을 보여주는 도면들이다.
도 13은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마찰 방지 부재의 모습을 보여주는 도면이다.
도 14, 그리고 도 15는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마찰 방지 부재의 모습을 보여주는 도면이다.
도 16은 본 발명의 마찰 방지 부재의 다른 실시 예를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 17 내지 도 22는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 건조 챔버 및 마찰 방지 부재들을 보여주는 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.
어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미이다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미인 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하에서는, 도 3 내지 도 22를 참조하여 본 발명의 실시 예에 대하여 설명한다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 도면이다.
도 3을 참조하면, 기판 처리 장치는 인덱스 모듈(10), 처리 모듈(20), 그리고 제어기(30)를 포함한다. 상부에서 바라볼 때, 인덱스 모듈(10)과 처리 모듈(20)은 일 방향을 따라 배치된다. 이하, 인덱스 모듈(10)과 처리 모듈(20)이 배치된 방향을 제1방향(X)이라 하고, 상부에서 바라볼 때 제1방향(X)과 수직한 방향을 제2방향(Y)이라 하고, 제1방향(X) 및 제2방향(Y)에 모두 수직한 방향을 제3방향(Z)이라 한다.
인덱스 모듈(10)은 기판(W)이 수납된 용기(C)로부터 기판(W)을 처리 모듈(20)로 반송하고, 처리 모듈(20)에서 처리가 완료된 기판(W)을 용기(C)로 수납한다. 인덱스 모듈(10)의 길이 방향은 제2방향(Y)으로 제공된다. 인덱스 모듈(10)은 로드포트(12)와 인덱스 프레임(14)을 가진다. 인덱스 프레임(14)을 기준으로 로드포트(12)는 처리 모듈(20)의 반대 측에 위치된다. 기판(W)들이 수납된 용기(C)는 로드포트(12)에 놓인다. 로드포트(12)는 복수 개가 제공될 수 있으며, 복수의 로드포트(12)는 제2방향(Y)을 따라 배치될 수 있다.
용기(C)로는 전면 개방 일체 식 포드(Front Open Unified Pod:FOUP)와 같은 밀폐용 용기가 사용될 수 있다. 용기(C)는 오버헤드 트랜스퍼(Overhead Transfer), 오버헤드 컨베이어(Overhead Conveyor), 또는 자동 안내 차량(Automatic Guided Vehicle)과 같은 이송 수단(도시되지 않음)이나 작업자에 의해 로드포트(12)에 놓일 수 있다.
인덱스 프레임(14)에는 인덱스 로봇(120)이 제공된다. 인덱스 프레임(14) 내에는 길이 방향이 제2방향(Y)으로 제공된 가이드 레일(124)이 제공되고, 인덱스 로봇(120)은 가이드 레일(124) 상에서 이동 가능하게 제공될 수 있다. 인덱스 로봇(120)은 기판(W)이 놓이는 핸드(122)를 포함하며, 핸드(122)는 전진 및 후진 이동, 제3방향(Z)을 축으로 한 회전, 그리고 제3방향(Z)을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다. 핸드(122)는 복수 개가 상하 방향으로 이격되게 제공되고, 핸드(122)들은 서로 독립적으로 전진 및 후진이동할 수 있다.
제어기(30)는 기판 처리 장치를 제어할 수 있다. 제어기(30)는 기판 처리 장치의 제어를 실행하는 마이크로프로세서(컴퓨터)로 이루어지는 프로세스 컨트롤러와, 오퍼레이터가 기판 처리 장치를 관리하기 위해서 커맨드 입력 조작 등을 행하는 키보드나, 기판 처리 장치의 가동 상황을 가시화해서 표시하는 디스플레이 등으로 이루어지는 유저 인터페이스와, 기판 처리 장치에서 실행되는 처리를 프로세스 컨트롤러의 제어로 실행하기 위한 제어 프로그램이나, 각종 데이터 및 처리 조건에 따라 각 구성부에 처리를 실행시키기 위한 프로그램, 즉 처리 레시피가 저장된 기억부를 구비할 수 있다. 또한, 유저 인터페이스 및 기억부는 프로세스 컨트롤러에 접속되어 있을 수 있다. 처리 레시피는 기억 부 중 기억 매체에 기억되어 있을 수 있고, 기억 매체는, 하드 디스크이어도 되고, CD-ROM, DVD 등의 가반성 디스크나, 플래시 메모리 등의 반도체 메모리 일 수도 있다.
처리 모듈(20)은 버퍼 유닛(200), 반송 챔버(300), 액 처리 챔버(400), 그리고 건조 챔버(500)를 포함한다. 버퍼 유닛(200)은 처리 모듈(20)로 반입되는 기판(W)과 처리 모듈(20)로부터 반출되는 기판(W)이 일시적으로 머무르는 공간을 제공한다. 액 처리 챔버(400)는 기판(W) 상에 액을 공급하여 기판(W)을 액 처리하는 액 처리 공정을 수행한다. 건조 챔버(500)는 기판(W) 상에 잔류하는 액을 제거하는 건조 공정을 수행한다. 반송 챔버(300)는 버퍼 유닛(200), 액 처리 챔버(400), 그리고 건조 챔버(500) 간에 기판(W)을 반송한다.
반송 챔버(300)는 그 길이 방향이 제1방향(X)으로 제공될 수 있다. 버퍼 유닛(200)은 인덱스 모듈(10)과 반송 챔버(300) 사이에 배치될 수 있다. 액 처리 챔버(400)와 건조 챔버(500)는 반송 챔버(300)의 측부에 배치될 수 있다. 액 처리 챔버(400)와 반송 챔버(300)는 제2방향(Y)을 따라 배치될 수 있다. 건조 챔버(500)와 반송 챔버(300)는 제2방향(Y)을 따라 배치될 수 있다. 버퍼 유닛(200)은 반송 챔버(300)의 일단에 위치될 수 있다.
일 예에 의하면, 액 처리 챔버(400)들은 반송 챔버(300)의 양측에 배치되고, 건조 챔버(500)들은 반송 챔버(300)의 양측에 배치되며, 액 처리 챔버(400)들은 건조 챔버(500)들보다 버퍼 유닛(200)에 더 가까운 위치에 배치될 수 있다. 반송 챔버(300)의 일측에서 액 처리 챔버(400)들은 제1방향(X) 및 제3방향(Z)을 따라 각각 A X B(A, B는 각각 1 또는 1보다 큰 자연수) 배열로 제공될 수 있다. 또한, 반송 챔버(300)의 일측에서 건조 챔버(500)들은 제1방향(X) 및 제3방향(Z)을 따라 각각 C X D(C, D는 각각 1 또는 1보다 큰 자연수)개가 제공될 수 있다. 상술한 바와 달리, 반송 챔버(300)의 일측에는 액 처리 챔버(400)들만 제공되고, 그 타측에는 건조 챔버(500)들만 제공될 수 있다.
반송 챔버(300)는 반송 로봇(320)을 가진다. 반송 챔버(300) 내에는 길이 방향이 제1방향(X)으로 제공된 가이드 레일(324)이 제공되고, 반송 로봇(320)은 가이드 레일(324) 상에서 이동 가능하게 제공될 수 있다. 반송 로봇(320)은 기판(W)이 놓이는 핸드(322)를 포함하며, 핸드(322)는 전진 및 후진 이동, 제3방향(Z)을 축으로 한 회전, 그리고 제3방향(Z)을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다. 핸드(322)는 복수 개가 상하 방향으로 이격되게 제공되고, 핸드(322)들은 서로 독립적으로 전진 및 후진 이동할 수 있다.
버퍼 유닛(200)은 기판(W)이 놓이는 버퍼(220)를 복수 개 구비한다. 버퍼(220)들은 제3방향(Z)을 따라 서로 간에 이격되도록 배치될 수 있다. 버퍼 유닛(200)은 전면(front face)과 후면(rear face)이 개방된다. 전면은 인덱스 모듈(10)과 마주보는 면이고, 후면은 반송 챔버(300)와 마주보는 면이다. 인덱스 로봇(120)은 전면을 통해 버퍼 유닛(200)에 접근하고, 반송 로봇(320)은 후면을 통해 버퍼 유닛(200)에 접근할 수 있다.
도 4는 도 3의 액 처리 챔버의 일 실시 예를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 4를 참조하면, 액 처리 챔버(400)는 하우징(410), 컵(420), 지지 유닛(440), 액 공급 유닛(460), 그리고 승강 유닛(480)을 가진다.
하우징(410)은 기판(W)이 처리되는 내부 공간을 가질 수 있다. 하우징(410)은 대체로 육면체의 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 하우징(410)은 직육면체의 형상을 가질 수 있다. 또한, 하우징(410)에는 기판(W)이 반입되거나, 반출되는 개구(미도시)가 형성될 수 있다. 또한, 하우징(410)에는 개구를 선택적으로 개폐하는 도어(미도시)가 설치될 수 있다.
컵(420)은 상부가 개방된 통 형상을 가질 수 있다. 컵(420)은 처리 공간을 가지고, 기판(W)은 처리 공간 내에서 액 처리 될 수 있다. 지지 유닛(440)은 처리 공간에서 기판(W)을 지지한다. 액 공급 유닛(460)은 지지 유닛(440)에 지지된 기판(W) 상으로 처리 액을 공급한다. 처리 액은 복수 종류로 제공되고, 기판(W) 상으로 순차적으로 공급될 수 있다. 승강 유닛(480)은 컵(420)과 지지 유닛(440) 간의 상대 높이를 조절한다.
일 예에 의하면, 컵(420)은 복수의 회수통(422, 424, 426)을 가진다. 회수통들(422, 424, 426)은 각각 기판 처리에 사용된 액을 회수하는 회수 공간을 가진다. 각각의 회수통들(422, 424, 426)은 지지 유닛(440)을 감싸는 링 형상으로 제공된다. 액 처리 공정이 진행시 기판(W)의 회전에 의해 비산되는 처리 액은 각 회수통(422, 424, 426)의 유입구(422a, 424a, 426a)를 통해 회수 공간으로 유입된다. 일 예에 의하면, 컵(420)은 제1회수통(422), 제2회수통(424), 그리고 제3회수통(426)을 가진다. 제1회수통(422)은 지지 유닛(440)을 감싸도록 배치되고, 제2회수통(424)은 제1회수통(422)을 감싸도록 배치되고, 제3회수통(426)은 제2회수통(424)을 감싸도록 배치된다. 제2회수통(424)으로 액을 유입하는 제2유입구(424a)는 제1회수통(422)으로 액을 유입하는 제1유입구(422a)보다 상부에 위치되고, 제3회수통(426)으로 액을 유입하는 제3유입구(426a)는 제2유입구(424a)보다 상부에 위치될 수 있다.
지지 유닛(440)은 지지판(442)과 구동축(444)을 가진다. 지지판(442)의 상면은 대체로 원형으로 제공되고 기판(W)보다 큰 직경을 가질 수 있다. 지지판(442)의 중앙부에는 기판(W)의 후면을 지지하는 지지핀(442a)이 제공되고, 지지핀(442a)은 기판(W)이 지지판(442)으로부터 일정 거리 이격되도록 그 상단이 지지판(442)으로부터 돌출되게 제공된다. 지지판(442)의 가장자리부에는 척핀(442b)이 제공된다. 척핀(442b)은 지지판(442)으로부터 상부로 돌출되게 제공되며, 기판(W)이 회전될 때 기판(W)이 지지 유닛(440)으로부터 이탈되지 않도록 기판(W)의 측부를 지지한다. 구동축(444)은 구동기(446)에 의해 구동되며, 기판(W)의 저면 중앙과 연결되며, 지지판(442)을 그 중심축을 기준으로 회전시킨다.
일 예에 의하면, 액 공급 유닛(460)은 노즐(462)을 포함할 수 있다. 노즐(462)은 기판(W)으로 처리 액을 공급할 수 있다. 처리 액은 케미칼, 린스 액 또는 유기 용제일 수 있다. 케미칼은 강산 또는 강염기의 성질을 가지는 케미칼일 수 있다. 또한, 린스 액은 순수 일 수 있다. 또한, 유기 용제는 이소프로필알코올(IPA)일 수 있다. 또한, 액 공급 유닛(460)은 복수의 노즐(462)들을 포함할 수 있고, 각각의 노즐(462)들에서는 서로 상이한 종류의 처리 액을 공급할 수 있다. 예컨대, 노즐(462)들 중 어느 하나에서는 케미칼을 공급하고, 노즐(462)들 중 다른 하나에서는 린스 액을 공급하고, 노즐(462)들 중 또 다른 하나에서는 유기 용제를 공급할 수 있다. 또한, 제어기(30)는 노즐(462)들 중 다른 하나에서 기판(W)으로 린스 액을 공급한 이후, 노즐(462)들 중 또 다른 하나에서 유기 용제를 공급하도록 액 공급 유닛(460)을 제어할 수 있다. 이에, 기판(W) 상에 공급된 린스 액은 표면 장력이 작은 유기 용제로 치환될 수 있다.
승강 유닛(480)은 컵(420)을 상하 방향으로 이동시킨다. 컵(420)의 상하 이동에 의해 컵(420)과 기판(W) 간의 상대 높이가 변경된다. 이에 의해 기판(W)에 공급되는 액의 종류에 따라 처리액을 회수하는 회수통(422, 424, 426)이 변경되므로, 액들을 분리회수할 수 있다. 상술한 바와 달리, 컵(420)은 고정 설치되고, 승강 유닛(480)은 지지 유닛(440)을 상하 방향으로 이동시킬 수 있다.
도 5는 도 3의 건조 챔버의 일 실시 예를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 건조 챔버(500)는 초임계 상태의 건조용 유체를 이용하여 기판(W) 상에 잔류하는 처리 액을 제거할 수 있다. 예컨대, 건조 챔버(500)는 초임계 상태의 이산화탄소(CO2)를 이용하여 기판(W) 상에 잔류하는 유기 용제를 제거하는 건조 공정을 수행할 수 있다.
건조 챔버(500)는 챔버 바디(510, 제1바디의 일 예), 클램핑 바디(520, 제2바디의 일 예), 유체 공급 유닛(530), 유체 배기 라인(540), 지지 부재(550), 제1이동 유닛(560), 제2이동 유닛(570), 그리고 마찰 방지 부재(580)를 포함할 수 있다. 챔버 바디(510)와 클램핑 바디(520)는 바디라 통칭될 수 있다.
챔버 바디(510)는 상부 바디(512, 제1바디의 다른 예), 그리고 하부 바디(514, 제2바디의 다른 예)를 포함할 수 있다. 상부 바디(512)와 하부 바디(514)는 서로 조합되어 처리 공간(511)을 형성할 수 있다. 상부 바디(512)와 하부 바디(514) 중 어느 하나는 다른 하나에 대하여 상대적으로 이동 가능하도록 구성될 수 있다. 예컨대, 상부 바디(512), 그리고 하부 바디(514) 중 어느 하나는 제1이동 유닛(560)에 의해 이동될 수 있다. 제1이동 유닛(560)은 승강 구동기(562) 및 승강 판(564)을 포함할 수 있다. 승강 구동기(562)는 복수로 제공되며, 승강 판(564)과 연결될 수 있다. 승강 판(564)은 하부 바디(514)와 결합될 수 있다. 승강 구동기(562)가 승강 판(564)을 승강시키면, 하부 바디(514)도 승강 판(564)과 함께 승강될 수 있다. 챔버 바디(510) 내에는 처리 공간(511)에 공급된 건조용 유체를 가열하기 위한 히터가 매설될 수 있다. 또한, 상부 바디(512), 그리고 하부 바디(514)가 닫힘 위치에 있을 때, 내부 공간(511)의 기밀성을 높일 수 있도록, 하부 바디(514)에는 홈이 형성되고, 상기 홈에는 실링 부재인 오-링(516)이 삽입될 수 있다.
상부 바디(512)의 위치는 고정되고, 하부 바디(514)가 제1이동 유닛(560)에 의해 제3방향(Z)을 따라 승강될 수 있다. 이하에서는, 하부 바디(514)가 상승하여 상부 바디(512)와 맞닿아 처리 공간(511)을 형성하는 위치를 닫힘 위치라하고, 하부 바디(514)가 하강하여 상부 바디(512)와 이격되는 위치를 열림 위치라한다.
클램핑 바디(520)는 제1클램핑 바디(522), 그리고 제2클램핑 바디(524)를 포함할 수 있다. 제1클램핑 바디(522)와 제2클램핑 바디(524)는 서로 반대되는 위치에서 챔버 바디(510)를 클램핑 할 수 있다. 제1클램핑 바디(522), 그리고 제2클램핑 바디(524)의 내측면은, 닫힘 위치에 있는 챔버 바디(510)의 외측면과 대체로 대응되는 형상을 가질 수 있다. 제1클램핑 바디(522)와 제2클램핑 바디(524)는 제2이동 유닛(570)에 의해 이동될 수 있다. 제2이동 유닛(570)은 복수로 제공될 수 있다. 제2이동 유닛(570) 중 어느 하나는, 상부 바디(512) 및 제1클램핑 바디(522)와 연결될 수 있고, 제2이동 유닛(570) 중 다른 하나는, 상부 바디(512) 및 제2클램핑 바디(524)와 연결될 수 있다.
제2이동 유닛(570)은 상부 바디(522)와 결합되는 제1몸체(572), 클램핑 바디(520)와 결합되며, 이동 레일(578)을 따라 이동되는 제2몸체(574), 그리고 고정된 외부 벽체(B)와 결합되는 제3몸체(576)를 포함할 수 있다. 제2몸체(574)는 제1방향(X)을 따라 이동하면서, 클램프 바디(520)를 챔버 바디(510)를 향하는 방향으로 이동시킬 수 있다.
유체 공급 유닛(530)은 처리 공간(511)으로 건조용 유체를 공급할 수 있다. 유체 공급 유닛(530)이 공급하는 건조용 유체는 이산화탄소(CO2)를 포함할 수 있다. 유체 공급 유닛(530)은 유체 공급원(531), 제1공급 라인(533), 제1공급 밸브(535), 제2공급 라인(537), 그리고 제2공급 밸브(539)를 포함할 수 있다.
유체 공급원(531)은 처리 공간(511)으로 공급되는 건조용 유체를 저장 및/또는 공급 할 수 있다. 유체 공급원(531)은 제1공급 라인(533) 및/또는 제2공급 라인(537)으로 건조용 유체를 공급할 수 있다. 예컨대, 제1공급 라인(533)에는 제1공급 밸브(535)가 설치될 수 있다. 또한, 제1공급 라인(533)은 상부 바디(512)에 형성된 제1공급 채널(512a)과 연결될 수 있다. 또한, 제2공급 라인(537)에는 제2공급 밸브(539)가 설치될 수 있다. 또한, 제2공급 라인(537)은 하부 바디(514)에 형성된 제2공급 채널(514a)과 연결될 수 있다. 제1공급 밸브(535)와 제2공급 밸브(539)는 온/오프 밸브일 수 있다. 제1공급 밸브(535)와 제2공급 밸브(539)의 온/오프에 따라, 제1공급 라인(533) 또는 제2공급 라인(537)에 선택적으로 건조용 유체가 흐를 수 있다.
상술한 예에서는 하나의 유체 공급원(531)에 제1공급 라인(533), 그리고 제2공급 라인(537)이 연결되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 유체 공급원(531)은 복수로 제공되고, 제1공급 라인(533)은 복수의 유체 공급원(531) 중 어느 하나와 연결되고, 제2공급 라인(537)은 유체 공급원(531)들 중 다른 하나와 연결될 수도 있다.
또한, 제1공급 라인(533)은 처리 공간(511)의 상부에서 건조용 가스를 공급하는 상부 공급 라인일 수 있다. 예컨대, 제1공급 라인(533)은 처리 공간(511)에 위에서 아래를 향하는 방향으로 건조용 가스를 공급할 수 있다. 또한, 제2공급 라인(537)은 처리 공간(511)의 하부에서 건조용 가스를 공급하는 하부 공급 라인일 수 있다. 예컨대, 제2공급 라인(537)은 처리 공간(511)에 아래에서 위를 향하는 방향으로 건조용 가스를 공급할 수 있다.
유체 배기 라인(540)은 처리 공간(511)으로부터 건조용 유체를 배기할 수 있다. 유체 배기 라인(540)은 처리 공간에 감압을 제공하는 감압 부재(미도시)와 연결될 수 있다. 또한, 유체 배기 라인(540)은 하부 바디(514)에 형성된 배기 채널(514b)과 연결될 수 있다. 감압 부재는 펌프일 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고 감압 부재는 처리 공간에 감압을 제공할 수 있는 공지된 장치로 다양하게 변형될 수 있다.
지지 부재(550)는 처리 공간(511)에서 기판(W)을 지지할 수 있다. 지지 부재(550)는 처리 공간(511)에서 기판(W)의 가장자리 영역을 지지할 수 있다. 지지 부재(550)는 기판(W)의 가장자리 영역 하면을 지지할 수 있다. 지지 부재(550)는 상부 바디(512)에 설치될 수 있다.
마찰 방지 부재(580)는 클램프 바디(520)에 설치될 수 있다. 마찰 방지 부재(580)는, 클램프 바디(520)의 내측면에 설치될 수 있다. 마찰 방지 부재(580)는 클램프 바디(520)와 챔버 바디(510)가 서로 접촉될 수 있는 영역, 즉 접합면에 설치될 수 있다. 마찰 방지 부재(580)는 마찰 방지 필름으로 불릴 수도 있다. 마찰 방지 부재(580)는 복수로 제공될 수 있다. 마찰 방지 부재(580)들 중 일부는 클램프 바디(520)의 내측면 하부에 설치되고, 마찰 방비 부재(580)들 중 다른 일부는 클램핑 바디(520)의 내측면 상부에 설치될 수 있다.
마찰 방지 부재(580)는 제1클램프 바디(522), 제2클램프 바디(524) 각각에 설치될 수 있다. 제1클램프 바디(522)의 내측면 하부에는 2 개의 마찰 방지 부재(580)가 설치되고, 제1클램프 바디(522)의 내측면 상부에도 2 개의 마찰 방지 부재(580)가 설치될 수 있다. 이와 유사하게, 제2클램프 바디(522)의 내측면 하부에는 2 개의 마찰 방지 부재(580)가 설치되고, 제2클램프 바디(522)의 내측면 상부에도 2 개의 마찰 방지 부재(580)가 설치될 수 있다. 즉, 마찰 방지 부재(580)는 8 개의 포인트에 설치될 수 있다. 마찰 방지 부재(580)그 설치 위치 및 구체적인 형상에 대한 내용은 후술한다.
도 6은 도 5의 상부 바디 및 하부 바디가 닫힘 위치에 위치되는 모습을 보여주는 도면이고, 도 7은 도 5의 제1클램핑 바디 및 제2클램핑 바디가 클램핑 위치에 위치되는 모습을 보여주는 도면이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 기판(W)에 대한 건조 공정, 예컨대 초임계 상태의 건조용 유체를 이용하여 기판(W)을 건조하는 고압 건조 공정이 시작되면, 제1이동 유닛(560)은 상부 바디(512) 또는 하부 바디(514) 중 어느 하나를 다른 하나에 대해 이격되는 열림 위치에서, 밀착되는 닫힘 위치로 이동시킬 수 있다(도 6 참조). 이후, 고압 건조 공정이 수행되는 동안, 상부 바디(512)와 하부 바디(514)의 이동을 제한하기 위해, 제1클램프 바디(522) 및 제2클램프 바디(524)는, 상부 바디(512) 및 하부 바디(514)의 이동 제한을 해제하는 해제 위치에서 상부 바디(512) 및 하부 바디(514)의 이동을 제한하는 클램핑 위치로 이동될 수 있다(도 7 참조).
도 8a는 도 5의 클램프 바디 중 어느 하나를 보여주는 사시도이고, 도 8b는 도 5의 클램프 바디 중 다른 하나를 보여주는 사시도이고, 도 9는 도 5의 챔버 바디와 클램프 바디의 일 부분을 확대하여 보여주는 도면이다.
도 8a, 도 8b, 그리고 도 9를 참조하면, 상부 바디(512) 및 하부 바디(514)가 서로 밀착되는 닫힘 위치에 있을 때, 챔버 바디(520)의 외측면은 클램프 바디(520)가 가지는 내측면과 서로 대응하는 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 상부 바디(512) 및 하부 바디(514)가 닫힘 위치에 있을 때, 챔버 바디(520)의 외측면 중 일부는 제1클램프 바디(522)의 내측면에 의해 클램핑되고, 챔버 바디(520)의 외측면 중 다른 일부는 제2클램프 바디(524)의 내측면에 의해 클램핑 될 수 있다.
마찰 방지 부재(580)는 제1클램프 바디(522)의 내측면에 설치될 수 있다. 마찰 방지 부재(580)는 제2클램프 바디(524)의 내측면에 설치될 수 있다. 마찰 방지 부재(580)들은 제1클램프 바디(522) 및 제2클램프 바디(524)의 내측면에 접착제 등에 의해 부착 설치 될 수도 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고 마찰 방지 부재(580)들은 볼트/나사와 같은 결합 수단에 의해 클램프 바디(520)의 내측면에 결합 설치될 수도 있다.
마찰 방지 부재(580)는 제1클램프 바디(522)의 내측면에 복수 개가 설치될 수 있다. 제1클램프 바디(522)의 내측면에 설치되는 마찰 방지 부재(580)는 서로 이격되어 설치될 수 있다. 제1클램프 바디(522)가 클램핑 위치에 있을 때, 마찰 방지 부재(580)들이 압축될 수 있는데, 마찰 방지 부재(580)들 사이의 간격은 마찰 방지 부재(580)들이 압축되더라도 서로 겹쳐지지 않는 간격으로 배치될 수 있다. 또한, 마찰 방지 부재(580)는 제1클램프 바디(522)의 내측면의 하부에 복수 개(예컨대, 2 개)가 서로 이격되어 설치될 수 있다. 또한, 마찰 방지 부재(580)는 제1클램프 바디(522)의 내측면의 상부에 복수 개(예컨대, 2 개)가 서로 이격되어 설치될 수 있다. 마찰 방지 부재(580)들은 상부에서 바라볼 때, 원주 방향을 따라 서로 이격되어 설치될 수 있다. 예컨대, 제1클램프 바디(522)의 내측면 상부에 배치되는 2 개의 마찰 방지 부재(580)들은 상부에서 바라볼 때, 원주 방향을 따라 서로 이격되어 설치될 수 있다. 또한, 제1클램프 바디(522)의 내측면 하부에 배치되는 2 개의 마찰 방지 부재(580)들은 상부에서 바라볼 때, 원주 방향을 따라 서로 이격되어 설치될 수 있다. 제2클램프 바디(524)에 설치되는 마찰 방지 부재(580)들의 배치는, 제1클램프 바디(522)에 설치되는 마찰 방지 부재(580)들의 배치와 서로 대칭되므로, 반복되는 설명은 생략한다.
또한, 제1클램프 바디(522) 및 제2클램프 바디(524)의 내측면은 각각 제1면(520a), 제2면(520b, 520c) 및 제3면(520d)을 포함할 수 있다. 제1면(520a)은 지면에 평행한 면일 수 있다. 제2면(520b, 520c)은 제1면(520a)으로부터 연장되는 면일 수 있다. 제2면(520b, 520c)는 제1면(520a)이 연장되는 방향에 대하여 교차하는 방향으로 연장되는 면일 수 있다. 예컨대, 제2면(520b, 520c)은 제1면(520a)이 연장되는 방향에 대하여 수직한 방향으로 연장되는 면일 수 있다. 제3면(520d)은 제1면(520a) 및 제2면(520c)으로부터 연장되는 면일 수 있다. 제3면(520d)은 제1면(520a)이 연장되는 방향에 대하여 수직한 방향으로 연장되고, 제2면(520c)이 연장되는 방향에 대하여 수직한 방향으로 연장되는 면일 수 있다.
마찰 방지 부재(580)는 클램핑 바디(520)가 가지는 내측 면들 중 적어도 둘 이상의 면을 연속적으로 덮도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 마찰 방지 부재(580)는 제1부분(581), 제2부분(582, 583), 그리고 제3부분(584)을 포함할 수 있다. 제1부분(581)은 클램핑 바디(520)의 제1면(520a)을 덮도록 구성될 수 있다. 제1부분(581)은 상부에서 바라볼 때 호 형상을 가질 수 있다.
제2부분(582, 583)은 제1부분(581)으로부터 연장될 수 있다. 제2부분(582, 583)은 제1부분(581)이 연장되는 방향에 교차하여 연장될 수 있다. 예컨대, 제2부분(582, 583)은 제1부분(581)이 연장되는 방향에 수직한 방향으로 연장될 수 있다. 제2부분(582, 583)은 제2면(520b, 520c)을 덮도록 구성될 수 있다. 제2부분(582, 583) 중 일부는 위 방향으로 연장될 수 있고, 제2부분(582, 583) 중 다른 일부는 아래 방향으로 연장될 수 있다. 또한, 제2부분(582, 583)들은 복수로 제공되고, 제2부분(582, 583)들은 서로 이격되어 제공될 수 있다. 제2부분(582, 583)들이 서로 이격되는 간격은 약 15mm 내지 약 20mm 정도일 수 있다. 또한, 마찰 방지 부재(580)는 제3면(520d)을 덮도록 구성되는 제3부분(584)을 더 포함할 수 있다. 제3부분(584)은 제1부분(581)으로부터 연장될 수 있다.
또한, 마찰 방지 부재(580)가 가지는 제1부분(581), 제2부분(582, 583), 그리고 제3부분(584)은 일체로 제공될 수 있다. 즉, 마찰 방지 부재(580)는 여러 필름들이 각각 클램프 바디(520)의 내측면에 부착되는 것이 아닌, 제1부분(581), 제2부분(582, 583), 그리고 제3부분(584)을 하나의 몸체가 가지도록 일체로 가공된 형태를 가질 수 있다. 이는 여러 필름들이 겹쳐져 제1부분(581), 제2부분(582, 583), 그리고 제3부분(584)을 가지도록 마찰 방지 부재(580)를 구성하는 경우, 처리 공간(511)의 압력에 의해 발생하는 진동에 의해 마찰 방지 부재(580)가 훼손될 확률이 높기 때문이다.
본원의 마찰 방지 부재(580)는 단순히 평면에 부착되는 형상이 아닌, 입체 형태의 필름 구조물로 제공된다. 또한, 마찰 방지 부재(580)는 챔버 바디(510)가 전달하는 수직, 수평, 전후로 작용하는 힘을 견딜 수 있도록 설치된다.
구체적으로, 챔버 바디(510)는 도 10에 도시된 바와 같이 위 아래 방향, 예컨대 제3방향(Z)을 따라 흔들리는 진동(V1)을 클램프 바디(520)에 전달할 수 있다. 이때, 제3방향(Z)을 따라 흔들리는 진동(V1)이 클램프 바디(520)로 전달되더라도, 마찰 방지 부재(580)의 제1부분(581)이 받는 힘은 클램프 바디(520)의 제1면(520a)을 향하는 방향으로 전달되므로, 마찰 방지 부재(580)에는 변형이나, 밀림 현상이 거의 발생되지 않는다.
또한, 챔버 바디(510)는 도 11에 도시된 바와 같이 전후 방향, 예컨대, 제1방향(X)을 따라 흔들리는 진동(V2)을 클램프 바디(520)에 전달할 수 있다. 이때, 제1방향(X)을 따라 흔들리는 진동(V2)이 마찰 방지 부재(580)에 전달되더라도, 마찰 방지 부재(580)의 제3부분(584), 그리고 제2부분(583)에 의해 밀림 현상이 발생되는 것을 제한할 수 있다.
또한, 챔버 바디(510)는 도 12에 도시된 바와 같이 제3방향(Z)을 축으로 반복 회전하는 회전 진동(V3)을 클램프 바디(520)에 전달할 수 있다. 이때, 제3방향(Z)을 축으로 반복 회전하는 회전 진동(V3)이 마찰 방지 부재(580)에 전달되더라도, 마찰 방지 부재(580)의 제3부분(584)에 의해 밀림 현상이 발생되는 것을 제한할 수 있다.
상술한 진동들은 단순한 예시에 불과하며, 상술한 진동 외에도 다양한 형태의 진동이 마찰 방지 부재(580)에 전달될 수 있다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 마찰 방지 부재(580)는 마찰 방지 부재(580)가 구부러지는 변곡 포인트를 가짐에 따라 다양한 방향으로 지지력을 가지고, 이에 변형이나 밀림 현상이 쉽게 발생하지 않는다. 즉, 마찰 방지 부재(580)가 평면형 구조를 가지기에, 진동에 의해 변형이나 밀림 현상이 쉽게 발생하였으나, 본 발명의 일 실시 예에 따른 마찰 방지 부재(580)는 입체형 구조를 가지므로 상술한 문제점이 발생되는 것을 최소화 할 수 있다.
상술한 예에서는 마찰 방지 부재(580)가 제1부분(581), 제2부분(582, 583) 및 제3부분(584)을 가지는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 예컨대, 도 13에 도시된 바와 같이 마찰 방지 부재(580)는 제1면(520a)만을 덮도록 구성될 수 있다.
상술한 예에서는, 제2부분(582, 583)이 제1부분(581)으로부터 수직한 방향으로 연장되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 도 14, 그리고 도 15에 도시된 바와 같이 제2부분(582, 583)은 제1부분(581)으로부터 위 방향 및 아래 방향으로 연장되되, 경사진 방향으로 연장될 수도 있다.
상술한 예에서는 마찰 방지 부재(580)가 클램핑 바디(520)의 내측면에 설치되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 도 16에 도시된 바와 같이 마찰 방지 부재(580a)는 상부 바디(512) 또는 하부 바디(514)의 접합면에 설치될 수도 있다. 예컨대, 마찰 방지 부재(580a)는 하부 바디(514)의 접합면에 설치되되, 하부 바디(514)가 가지는 제1면(510a) 및 제2면(520b)을 연속적으로 덮도록 구성될 수 있다. 예컨대, 마찰 방지 부재(580a)는 제1면(510a)을 덮도록 구성되는 제1부분(581a)과, 제2면(510b)을 덮도록 구성되는 제2부분(582b)을 포함할 수 있다. 또한, 마찰 방지 부재(580a)는 실링 부재(516)보다는 외측에 설치될 수 있다. 이는, 마찰 방지 부재(580a)의 마찰로 발생되는 파티클이 처리 공간(511)에 유입되는 것을 최소화 하기 위한 것이다.
도 17은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 건조 챔버를 개략적으로 보여주는 도면이다. 상술한 예에서는 챔버(510)가 상부 바디(512), 그리고 하부 바디(514)로 구성되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 도 17에 도시된 바와 같이 챔버(510a)는 베이스 바디(512a) 및 도어 바디(514a)를 포함할 수 있다. 베이스 바디(512a) 및 도어 바디(514a)는 서로 조합되어 처리 공간(518a)을 형성할 수 있다. 베이스 바디(512a)는 측 방향이 개방된 통 형상을 가질 수 있고, 도어 바디(514a)는 측 방향으로 이동되어, 처리 공간(518a)을 선택적으로 개폐할 수 있다. 또한, 도어 바디(514a)에는, 마찰 방지 부재(580b)가 부착 설치될 수 있다. 마찰 방지 부재(580b)는 베이스 바디(512a)와 마주하는 도어 바디(514a)의 제1면을 덮는 제1부분(581b), 그리고 제1면과 평행하지 않은 도어 바디(514a)의 제2면을 덮는 제2부분(582b)을 포함할 수 있다. 즉, 단면에서 바라볼 때, 마찰 방지 부재(580, 590)는 대체로 'ㄱ', 'ㄴ' 형상을 가질 수 있다. 경우에 따라서는, 도 18에 도시된 바와 같이 , 마찰 방지 부재(580, 590)는 대체로 'ㄷ', 'ㄴ' 형상을 가질 수도 있다.
도 17은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 건조 챔버를 개략적으로 보여주는 도면이다. 초임계 유체를 이용하여 기판(W)을 건조하는 건조 챔버(600)는 베이스 바디(612) 및 도어 바디(614)를 포함할 수 있다. 베이스 바디(612) 및 도어 바디(614)는 서로 조합되어 처리 공간(611)을 형성할 수 있다. 베이스 바디(612)는 측 방향이 개방된 통 형상을 가질 수 있고, 도어 바디(614)는 측 방향으로 이동되어, 처리 공간(611)을 선택적으로 개폐할 수 있다. 도어 바디(614)에는 기판(W)을 지지하는 지지 선반(616)이 결합될 수 있다.
건조용 유체(G)를 공급하는 제1공급 라인(633)은 지지 선반(616)에 지지된 기판(W)의 측면으로 건조용 유체(G)를 공급할 수 있다. 건조용 유체를 공급하는 제2공급 라인(637)은 지지 선반(616)의 하방으로 건조용 유체를 공급할 수 있다.
건조용 유체(G)를 배기하는 배기 라인(651)은 처리 공간(611)을 아래를 향하는 방향으로 배기할 수 있다.
도어 바디(614)에는, 마찰 방지 부재(580b)가 부착 설치될 수 있다. 마찰 방지 부재(580b)는 베이스 바디(612)와 마주하는 도어 바디(614)의 제1면을 덮는 제1부분(581b), 그리고 제1면과 평행하지 않은 도어 바디(614)의 제2면을 덮는 제2부분(582b)을 포함할 수 있다. 단면에서 바라볼 때, 마찰 방지 부재(580, 590)는 대체로 'ㄱ', 'ㄴ' 형상을 가질 수 있다. 경우에 따라서는, 도 18에 도시된 바와 같이, 마찰 방지 부재(580c)는 대체로 'ㄷ' 형상을 가질 수도 있다.
도 19는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 건조 챔버를 개략적으로 보여주는 도면이다. 초임계 유체를 이용하여 기판(W)을 건조하는 건조 챔버(700)는 베이스 바디(712) 및 도어 바디(714)를 포함할 수 있다. 베이스 바디(712) 및 도어 바디(714)는 서로 조합되어 처리 공간을 형성할 수 있다. 베이스 바디(712)는 측 방향이 개방된 통 형상을 가질 수 있고, 도어 바디(714)는 측 방향으로 이동되어, 처리 공간을 선택적으로 개폐할 수 있다. 도어 바디(714)에는 기판(W)을 지지하는 지지 선반(716)이 결합될 수 있다.
공급 라인(733)이 공급하는 건조용 유체(G)는 지지 선반(716) 및 베이스 바디(712)가 형성하는 건조용 유체(G)의 유동 경로를 따라 흐를 수 있다. 건조용 유체(G)의 유동 경로는 기판(W)의 상면을 따라 흐를 수 있게 형성될 수 있다.
건조용 유체(G)를 배기하는 배기 라인(751)은 처리 공간(611)을 위를 향하는 방향으로 배기할 수 있다.
도어 바디(714)에는, 마찰 방지 부재(580d)가 부착 설치될 수 있다. 마찰 방지 부재(580d)는 베이스 바디(712)와 마주하는 도어 바디(714)의 제1면을 덮는 제1부분, 그리고 제1면과 평행하지 않은 도어 바디(714)의 제2면을 덮는 제2부분을 포함할 수 있다. 단면에서 바라볼 때, 마찰 방지 부재(580d)는 대체로 'ㄱ', 'ㄴ' 형상을 가질 수 있다.
도 20은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 건조 챔버를 개략적으로 보여주는 도면이다. 초임계 유체를 이용하여 기판(W)을 건조하는 건조 챔버(800)는 바디(810), 승강 부재(820)를 포함할 수 있다. 바디(810)는 상부 바디(812)와 하부 바디(814)를 포함할 수 있다. 상부 바디(812)와 하부 바디(814)는 서로 조합되어 기판(W)이 처리되는 처리 공간을 형성할 수 있다. 또한, 건조 챔버(800)는 처리 공간에서 기판(W)을 지지하는 지지 부재(830)를 포함할 수 있다. 또한, 건조 챔버(800)는 상부 바디(812) 및 하부 바디(814)가 형성하는 처리 공간의 기밀성을 유지할 수 있게 하는 실링 부재(816)를 더 포함할 수 있다.
또한, 상부 바디(812)에는 건조용 유체(G)를 공급하는 상부 채널(812a)이 형성될 수 있다. 또한, 하부 바디(814)에는 건조용 유체(G)의 공급 및 배기를 모두 수행할 수 있는 하부 채널(814b)이 형성될 수 있다. 하부 채널(814b)은 건조용 유체(G)를 공급하는 공급 채널(814a) 및 건조용 유체(G)을 배기하는 배기 채널(814c)과 유체 연통될 수 있다.
상부 바디(812) 및 하부 바디(814)가 접촉되는 접합면에는 마찰 방지 부재(580e)가 제공될 수 있다. 마찰 방지 부재(580e)는 하부 바디(814)에 설치될 수 있다. 마찰 방지 부재(580e)는 상부 바디(812) 및 하부 바디(814)가 서로 마주하는 면을 덮는 제1부분, 그리고 제1면에 수직한 제2면을 덮는 제2부분을 포함할 수 있다. 단면에서 바라볼 때, 마찰 방지 부재(580e)는 대체로 'ㄱ' 형상을 가질 수 있다.
도 21은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 건조 챔버를 개략적으로 보여주는 도면이다. 초임계 유체를 이용하여 기판(W)을 건조하는 건조 챔버(900)는 챔버 바디(910) 및 클램프 바디(920)를 포함할 수 있다. 챔버 바디(910)는 제1챔버 바디(912) 및 제2챔버 바디(914)를 포함할 수 있다. 제2챔버 바디(914)는 제1챔버 바디(912)에 대하여 상대적으로 이동가능하게 제공될 수 있다. 이 둘 바디는 서로 조합되어 건조용 유체에 의해 기판이 처리되는 처리 공간을 형성할 수 있다. 또한, 초임계 상태의 건조용 유체에 의해 기판이 처리되는 경우, 제1챔버 바디(912) 및 제2챔버 바디(914)는 압력에 의해 닫힘 상태가 풀릴 수 있다.
이에, 클램프 바디(920)는 건조 챔버(900)에서 기판이 처리되는 동안, 챔버 바디(910)를 클램핑 할 수 있다.
클램프 바디(920)는 제1클램프 바디(922) 및 제2클램프 바디(924)를 포함할 수 있다. 제1클램프 바디(922)가 가지는 돌기들(922a, 922b)은 각각 제1챔버 바디(912)에 형성된 홈(9122) 및 제2챔버 바디(914)에 형성된 홈(9142)에 각각 삽입될 수 있다. 또한, 제2클램프 바디(924)가 가지는 돌기들(924a, 924b)은 각각 제2챔버 바디(914)에 형성된 홈(9124) 및 제2챔버 바디(914)에 형성된 홈(9144)에 각각 삽입될 수 있다.
또한, 마찰 방지 부재(580f)는 클램프 바디(920)와 챔버 바디(910)가 접합되는 접합면에 설치될 수 있다. 예컨대, 마찰 방지 부재(580f)는 클램프 바디(920)가 가지는 돌기들(922a, 922b, 924a, 924b)을 덮도록 구성될 수 있다. 또한, 마찰 방지 부재(580f)들은 돌기들(922a, 922b, 924a, 924b) 각각이 가지는 면들 중 적어도 둘 이상을 덮도록 구성될 수 있다.
도 22는 도 17에서 도시하고 있는 건조 챔버(600)에 설치될 수 있는 마찰 방지 부재(580g)의 다른 실시 예를 도시한다. 마찰 방지 부재(580g)는 복수로 제공될 수 있다. 마찰 방지 부재(580g)는 베이스 바디(612)와 도어 바디(614)가 서로 접합되는 접합면에 설치될 수 있다. 구체적으로, 마찰 방지 부재(580g)는 도어 바디(614)가 가지는 접합면에 복수 개가 서로 이격되어 설치될 수 있다. 또한, 상술한 바와 같이 도어 바디(614)는 베이스 바디(612)에 대하여 이동 유닛에 의해 상대적으로 이동 가능하게 제공될 수 있다. 또한, 마찰 방지 부재(580g)들 사이의 간격은, 도어 바디(614)가 이동하여 처리 공간을 정의하는 닫힘 위치에 있을 때, 마찰 방지 부재(580g)들 중 어느 하나가 인접하는 마찰 방지 부재(580g)들 중 다른 하나와 이격될 수 있게 하는 간격일 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
챔버 바디 : 510
클램프 바디 : 520
유체 공급 유닛 : 530
유체 배기 라인 : 540
지지 부재 : 550
제1이동 유닛 : 560
제2이동 유닛 : 570
마찰 방지 부재: 580

Claims (23)

  1. 기판을 처리하는 장치에 있어서,
    바디;
    상기 바디 내 처리 공간으로 처리 유체를 공급하는 유체 공급 유닛; 및
    상기 처리 공간으로부터 처리 유체를 배기하는 유체 배기 라인을 포함하고,
    상기 바디는,
    제1바디;
    상기 제1바디에 대하여 상대적으로 이동하는 제2바디; 및
    상기 제1바디와 상기 제2바디의 마찰을 방지하는 마찰 방지 부재를 포함하고,
    상기 마찰 방지 부재는,
    상기 제1바디 또는 상기 제2바디가 가지는 면들 중 적어도 둘 이상의 면을 연속적으로 덮도록 구성되는, 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1바디 또는 상기 제2바디가 가지는 면들은,
    제1면; 및
    상기 제1면으로부터 연장되는 제2면을 포함하고,
    상기 마찰 방지 부재는,
    상기 제1면을 덮도록 구성되는 제1부분; 및
    상기 제1부분이 연장되는 방향에 교차하여 상기 제1부분으로부터 연장되며, 상기 제2면을 덮도록 구성되는 제2부분을 포함하는, 기판 처리 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제2부분은 복수로 제공되는, 기판 처리 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제2부분들은 중 어느 일부는 상기 제1부분으로부터 위를 향하는 방향으로 연장되고, 상기 제2부분들 중 다른 일부는 제1부분으로부터 아래를 향하는 방향으로 연장되는, 기판 처리 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제2부분들은 중 어느 일부는 상기 제1부분으로부터 위를 향하는 방향으로 경사지게 연장되고, 상기 제2부분들 중 다른 일부는 제1부분으로부터 아래를 향하는 방향으로 경사지게 연장되는, 기판 처리 장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 마찰 방지 부재는,
    상기 제1부분, 그리고 상기 제2부분이 일체인 형상을 가지는, 기판 처리 장치.
  7. 제3항에 있어서,
    상기 제2부분들은,
    서로 이격되되, 그 간격이 15mm ~ 20mm 인, 기판 처리 장치.
  8. 제2항에 있어서,
    상기 제1바디 또는 상기 제2바디가 가지는 면들은,
    상기 제1면 및 상기 제2면으로부터 연장되는 제3면을 더 포함하고,
    상기 마찰 방지 부재는,
    상기 제1부분으로부터 연장되는 제3부분을 더 포함하는, 기판 처리 장치.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1바디는,
    상기 처리 공간을 정의하는 챔버 바디이고,
    상기 제2바디는,
    상기 챔버 바디를 클램핑하는 클램핑 바디인, 기판 처리 장치.
  10. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1바디 및 상기 제2바디는 각각,
    서로 조합되어 상기 처리 공간을 정의하는 제1챔버 바디 및 제2챔버 바디인, 기판 처리 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제1바디 또는 상기 제2바디 중 어느 하나는 측 방향으로 이동가능하게 제공되는, 기판 처리 장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 제1바디 또는 상기 제2바디 중 어느 하나는 상하 방향으로 이동가능하게 제공되는, 기판 처리 장치.
  13. 기판을 처리하는 장치에 있어서,
    기판을 처리하는 처리 공간을 정의하는 챔버 바디 - 상기 챔버 바디는 제1챔버 바디, 그리고 상기 제1챔버 바디에 대하여 상대적으로 이동 가능하게 제공되는 제2챔버 바디를 포함함 - ;
    상기 제1챔버 바디와 상기 제2챔버 바디가 밀착되는 닫힘 위치에 있을 때, 상기 제1챔버 바디 및 상기 제2챔버 바디를 클램핑 하는 클램핑 바디; 및
    상기 클램핑 바디와 상기 챔버 바디의 마찰을 방지하는 마찰 방지 부재를 포함하는, 기판 처리 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 마찰 방지 부재는,
    상기 클램핑 바디 또는 상기 챔버 바디 중 어느 하나가 가지는 면들 중 적어도 둘 이상의 면을 연속적으로 덮도록 구성되는, 기판 처리 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 마찰 방지 부재는,
    복수로 제공되고, 서로 이격되어 배치되는, 기판 처리 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 마찰 방지 부재들 중 일부는,
    상부에서 바라볼 때, 원주 방향을 따라 서로 이격되어 배열되는, 기판 처리 장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 클램핑 바디 또는 상기 챔버 바디 중 어느 하나가 가지는 면들은,
    제1면;
    상기 제1면으로부터 연장되는 제2면; 및
    상기 제1면 및 상기 제2면으로부터 연장되는 제3면을 포함하고,
    상기 마찰 방지 부재는,
    상기 제1면을 덮도록 구성되는 제1부분;
    상기 제1부분이 연장되는 방향에 교차하여 상기 제1부분으로부터 연장되며, 상기 제2면을 덮도록 구성되는 제2부분; 및
    상기 제1부분으로부터 연장되는 제3부분을 포함하는, 기판 처리 장치.
  18. 제13항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 마찰 방지 부재는 폴리이미드 필름인, 기판 처리 장치.
  19. 초임계 상태의 처리 유체를 이용하여 기판을 처리하는 장치에 있어서,
    바디;
    상기 바디 내 처리 공간으로 상기 처리 유체를 공급하는 유체 공급 유닛; 및
    상기 처리 공간으로부터 처리 유체를 배기하는 유체 배기 라인을 포함하고,
    상기 바디는,
    기판을 처리하는 처리 공간을 정의하는 챔버 바디 - 상기 챔버 바디는 제1챔버 바디, 그리고 상기 제1챔버 바디에 대하여 상대적으로 이동 가능하게 제공되는 제2챔버 바디를 포함함 - ;
    상기 제1챔버 바디와 상기 제2챔버 바디가 밀착되는 닫힘 위치에 있을 때, 상기 제1챔버 바디 및 상기 제2챔버 바디를 클램핑하는 클램핑 바디 - 상기 클램핑 바디는 제1클램핑 바디, 그리고 상기 제1클램핑 바디와 마주하는 제2클램핑 바디를 포함함 - ; 및
    상기 클램핑 바디와 상기 챔버 바디의 마찰을 방지하는 마찰 방지 부재를 포함하고,
    상기 마찰 방지 부재는,
    상기 클램핑 바디에 설치되고,
    상기 클램핑 바디가 가지는 면들 중 적어도 적어도 둘 이상의 면을 연속적으로 덮도록 구성되는, 기판 처리 장치.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 클램핑 바디가 가지는 면들은,
    지면과 평행한 제1면;
    상기 제1면에 대하여 교차하여 연장되는 제2면; 및
    상기 제1면 및 상기 제2면에 대하여 교차하여 연장되고, 상기 제1클램핑 바디와 상기 제2클램핑 바디가 서로 마주하는 면인 제3면을 포함하고,
    상기 마찰 방지 부재는,
    상기 제1면을 덮도록 구성되는 제1부분;
    상기 제1부분으로부터 연장되며, 상기 제2면을 덮도록 구성되는 제2부분; 및
    상기 제1부분으로부터 연장되며, 상기 제3면을 덮도록 구성되는 제3부분을 포함하는, 기판 처리 장치.
  21. 초임계 상태의 처리 유체를 이용하여 기판을 처리하는 장치에 있어서,
    제1바디;
    상기 제1바디와 서로 조합되어 기판이 처리되는 처리 공간을 정의하는 제2바디; 및
    상기 제1바디, 그리고 상기 제2바디가 접합되는 접합면 - 상기 접합면은 상기 제1바디 또는 상기 제2바디가 가지는 면임 - 에 설치되는 마찰 방지 부재를 포함하고,
    상기 마찰 방지 부재는,
    복수로 제공되는, 기판 처리 장치.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 마찰 방지 부재들은,
    서로 이격되어 상기 접합면에 설치되는, 기판 처리 장치.
  23. 제22항에 있어서,
    상기 제1바디 및 상기 제2바디 중 어느 하나를 상기 제1바디 및 상기 제2바디 중 다른 하나에 대하여 상대적으로 이동 시키는 이동 유닛을 더 포함하고,
    상기 마찰 방지 부재들 사이의 간격은,
    상기 제1바디 및 상기 제2바디 중 어느 하나가 이동하여 상기 처리 공간을 정의하는 닫힘 위치에 있을 때, 상기 마찰 방지 부재들 중 어느 하나가 인접하는 상기 마찰 방지 부재들 중 다른 하나와 이격될 수 있게 하는 간격인, 기판 처리 장치.
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