KR20230005409A - Manufacturing method of flexible printed circuit board - Google Patents

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Abstract

플렉시블 프린트 기판의 제조 방법은, 필름 형상 지지체(13)와, 필름 형상 지지체(13)의 양면에 마련된 배선(14)을 갖는 기판(11)의 양면에, 수직 현수 인상식 롤 코터를 사용하여 액상 감광성 수지 조성물(17)을 도포하는 공정을 구비한다. 기판(11)에는 구멍(15)이 마련되어 있다. 액상 감광성 수지 조성물(17)은, 회전수 50rpm으로 3분간 회전시킨 후의 점도가 1.0㎩·s 이상 15.0㎩·s 이하이다. 액상 감광성 수지 조성물(17)은, 회전수 50rpm으로 3분간 회전시킨 후의 점도에 대한 회전수 5rpm으로 3분간 회전시킨 후의 점도의 비가 1.5 이상 3.0 이하이다. 액상 감광성 수지 조성물(17)의 경화막의 탄성률은 0.1㎬ 이상 1.5㎬ 이하이다. 액상 감광성 수지 조성물(17)을 도포할 때, 기판(11)의 양면에 액상 감광성 수지 조성물(17)을 동시에 도포한다.A method for manufacturing a flexible printed circuit board is a liquid phase coating method using a vertical suspension roll coater on both sides of a substrate 11 having a film support 13 and wirings 14 provided on both sides of the film support 13. A step of applying the photosensitive resin composition 17 is provided. A hole 15 is provided in the substrate 11 . The viscosity after rotating the liquid photosensitive resin composition 17 at 50 rpm for 3 minutes is 1.0 Pa.s or more and 15.0 Pa.s or less. The ratio of the viscosity of the liquid photosensitive resin composition 17 after being rotated for 3 minutes at a rotation speed of 5 rpm to the viscosity after rotation at a rotation speed of 50 rpm for 3 minutes is 1.5 or more and 3.0 or less. The elastic modulus of the cured film of the liquid photosensitive resin composition 17 is 0.1 GPa or more and 1.5 GPa or less. When the liquid photosensitive resin composition 17 is applied, the liquid photosensitive resin composition 17 is simultaneously applied to both sides of the substrate 11 .

Description

플렉시블 프린트 기판의 제조 방법Manufacturing method of flexible printed circuit board

본 발명은, 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a flexible printed circuit board.

전자 부품의 소형화, 경량화, 다기능화에 수반하여, 전자 기기의 내부에 내장되는 플렉시블 프린트 기판의 개구에는, 소경화된 랜드 등에 부품을 실장 가능한 미세성(이하, 「미세 개구성」이라고 기재하는 경우가 있음)이 요구되고 있다. 플렉시블 프린트 기판의 미세 개구를 형성하는 방법으로서, 보호막이 형성되기 전의 플렉시블 프린트 기판(이하, 단순히 「기판」이라고 기재하는 경우가 있음)의 부품 실장 부분이 액상 감광성 수지 조성물을 포함하는 막을 형성하고, 이 막을 포토리소그래피에 의해 패터닝하여 미세 개구가 마련된 보호막을 형성하는 방법이 알려져 있다.With the miniaturization, weight reduction, and multifunctionalization of electronic components, the openings of flexible printed circuit boards built into the inside of electronic devices have fineness enabling components to be mounted on small-diameter lands (hereinafter referred to as “fine openings”). has) is required. A method for forming fine openings in a flexible printed circuit board, wherein a film containing a liquid photosensitive resin composition is formed on a component mounting portion of a flexible printed circuit board (hereinafter sometimes simply referred to as "substrate") before a protective film is formed, A method of patterning this film by photolithography to form a protective film provided with fine openings is known.

또한, 근년에는, 스마트폰으로 대표되는 휴대 기기의 대화면화, 박형화에 수반하여, 휴대 기기에 사용되는 플렉시블 프린트 기판에는, 좁은 부분으로 접어서 내장하기 쉽게 하기 위해, 절곡한 형상을 유지하기 쉬운 저반발성도 요구되고 있다. 플렉시블 프린트 기판의 저반발성을 높이는 방법으로서, 기판의 절곡 부분에 벤딩 잉크라고 불리는 열경화성 수지 조성물을 부분적으로 도포하는 방법이 알려져 있다.Further, in recent years, with the increase in screen size and thinning of portable devices represented by smartphones, flexible printed circuit boards used in portable devices are easy to fold into a narrow part and incorporate, so that the bent shape can be easily maintained. Saints are also required. [0002] As a method for improving the low resilience of a flexible printed circuit board, a method of partially applying a thermosetting resin composition called bending ink to a bent portion of the substrate is known.

또한, 플렉시블 프린트 기판에는, 통상, 관통 구멍(스루홀)이나 비관통 구멍(블라인드 비아)이 마련되어 있고, 기판에 액상 감광성 수지 조성물을 도포할 때, 관통 구멍이나 비관통 구멍에 액상 감광성 수지 조성물을 매립할 필요가 있다. 이 때문에, 플렉시블 프린트 기판에는, 관통 구멍이나 비관통 구멍에 액상 감광성 수지 조성물이 충분히 매립되어 있는 것(이하, 「매립성」이라고 기재하는 경우가 있음)도 요구되고 있다. 또한, 이하에 있어서, 관통 구멍 및 비관통 구멍을 통합하여 「구멍」이라고 기재하는 경우가 있다. 또한, 이하에 있어서, 구멍은, 하나의 구멍 또는 복수개의 구멍을 의미한다. 또한, 구멍이 마련된 기판에는, 관통 구멍만이 마련된 기판과, 비관통 구멍만이 마련된 기판과, 관통 구멍 및 비관통 구멍의 양쪽이 마련된 기판이 포함된다.In addition, the flexible printed circuit board is usually provided with through holes (through holes) or non-through holes (blind vias), and when applying the liquid photosensitive resin composition to the substrate, the liquid photosensitive resin composition is applied to the through holes or non-through holes. It needs to be landfilled. For this reason, flexible printed circuit boards are also required to sufficiently embed the liquid photosensitive resin composition in through-holes and non-through-holes (hereinafter sometimes referred to as "embedded property"). In addition, in the following, a through hole and a non-through hole may be collectively described as a "hole". In addition, in the following, a hole means one hole or a plurality of holes. In addition, the substrate provided with holes includes a substrate provided with only through holes, a substrate provided with only non-through holes, and a substrate provided with both through holes and non-through holes.

이러한 상황 하에서, 플렉시블 프린트 기판의 미세 개구성, 저반발성 또는 매립성을 높이기 위해, 다양한 보호막용 수지 조성물(상세하게는, 액상 감광성 수지 조성물 등)이나 보호막용 수지 조성물의 도포 장치가 검토되어 있다(예를 들어, 특허문헌 1 내지 4 참조).Under these circumstances, various resin compositions for protective films (specifically, liquid photosensitive resin compositions, etc.) and coating devices for resin compositions for protective films have been studied in order to improve the fine opening properties, low repulsion properties or embedding properties of flexible printed circuit boards. (For example, see Patent Documents 1 to 4).

일본 특허 공개 제2015-161764호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-161764 일본 특허 공개 제2020-148971호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2020-148971 국제 공개 제2018/092330호International Publication No. 2018/092330 일본 특허 공개 제2015-115602호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2015-115602

그러나, 특허문헌 1 내지 4에 기재된 기술만으로는, 보호막용 수지 조성물을 포함하는 도막(이하, 단순히 「도막」이라고 기재하는 경우가 있음)의 외관 불량 및 도막이 형성된 기판의 외관 불량의 발생을 억제하는 것은 어렵다. 도막의 외관 불량 및 도막이 형성된 기판의 외관 불량은, 모두 제품의 수율 저하로 연결된다.However, only the techniques described in Patent Literatures 1 to 4 suppress the appearance defects of the coating film containing the resin composition for a protective film (hereinafter sometimes simply referred to as "coating film") and the appearance defect of the substrate on which the coating film is formed. difficult. Both the appearance defect of the coating film and the appearance defect of the substrate on which the coating film is formed lead to a decrease in product yield.

본 발명은 이들 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 도막의 외관 불량 및 도막이 형성된 기판의 외관 불량의 발생을 억제할 수 있는 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법을 제공하는 것이다.The present invention has been made in view of these problems, and its object is to provide a method for manufacturing a flexible printed circuit board capable of suppressing the appearance defects of a coating film and appearance defects of a substrate on which a coating film is formed.

본 발명에 관한 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법은, 필름 형상 지지체와, 상기 필름 형상 지지체의 양면에 마련된 배선을 갖는 기판의 양면에, 수직 현수 인상식 롤 코터를 사용하여 액상 감광성 수지 조성물을 도포하는 공정을 구비한다. 상기 기판에는 구멍이 마련되어 있다. 상기 수직 현수 인상식 롤 코터는, 각각 독립된 복수개의 링 형상 홈을 갖는 한 쌍의 도포 롤을 구비한다. 상기 도포 롤의 롤 직경은 70㎜ 이상 150㎜ 이하이다. 상기 액상 감광성 수지 조성물은, 회전수 50rpm으로 3분간 회전시킨 후의 점도가 1.0㎩·s 이상 15.0㎩·s 이하이고, 또한 회전수 50rpm으로 3분간 회전시킨 후의 점도에 대한 회전수 5rpm으로 3분간 회전시킨 후의 점도의 비가 1.5 이상 3.0 이하이다. 상기 액상 감광성 수지 조성물의 경화막의 탄성률은 0.1㎬ 이상 1.5㎬ 이하이다. 상기 액상 감광성 수지 조성물을 도포할 때, 상기 기판의 양면에 상기 액상 감광성 수지 조성물을 동시에 도포한다.A method for manufacturing a flexible printed circuit board according to the present invention is a step of applying a liquid photosensitive resin composition to both surfaces of a substrate having a film-like support and wiring provided on both sides of the film-like support using a vertical suspension roll coater. to provide A hole is provided in the board. The vertical suspension roll coater includes a pair of coating rolls each having a plurality of independent ring-shaped grooves. The roll diameter of the said application roll is 70 mm or more and 150 mm or less. The liquid photosensitive resin composition has a viscosity of 1.0 Pa·s or more and 15.0 Pa·s or less after being rotated at a rotation speed of 50 rpm for 3 minutes, and is rotated for 3 minutes at a rotation speed of 5 rpm for a viscosity after being rotated for 3 minutes at a rotation speed of 50 rpm. The viscosity ratio after being made is 1.5 or more and 3.0 or less. The elastic moduli of the cured film of the said liquid photosensitive resin composition are 0.1 GPa or more and 1.5 GPa or less. When applying the liquid photosensitive resin composition, the liquid photosensitive resin composition is simultaneously applied to both surfaces of the substrate.

본 발명의 일 실시 형태에 관한 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법에서는, 상기 필름 형상 지지체의 횡폭 및 종폭이 모두 200㎜ 이상 600㎜ 이하이다.In the method for manufacturing a flexible printed circuit board according to an embodiment of the present invention, both the horizontal width and the vertical width of the film-shaped support are 200 mm or more and 600 mm or less.

본 발명의 일 실시 형태에 관한 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법에서는, 상기 필름 형상 지지체의 두께가 8.0㎛ 이상 50.0㎛ 이하이다.In the method for manufacturing a flexible printed circuit board according to an embodiment of the present invention, the thickness of the film-like support is 8.0 μm or more and 50.0 μm or less.

본 발명의 일 실시 형태에 관한 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법에서는, 상기 배선의 두께가 8㎛ 이상 50㎛ 이하이다.In the manufacturing method of the flexible printed circuit board according to one embodiment of the present invention, the thickness of the wiring is 8 μm or more and 50 μm or less.

본 발명의 일 실시 형태에 관한 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법에서는, 상기 구멍의 직경이 50㎛ 이상 250㎛ 이하이다.In the manufacturing method of the flexible printed circuit board according to one embodiment of the present invention, the diameter of the hole is 50 μm or more and 250 μm or less.

본 발명의 일 실시 형태에 관한 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법에서는, 상기 필름 형상 지지체가, 폴리이미드, 폴리아미드, 폴리에스테르, 폴리카르보네이트, 폴리아릴레이트, 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리클로로트리플루오로에틸렌, 폴리불화비닐리덴, 폴리불화비닐, 퍼플루오로알콕시불소 수지, 사불화에틸렌·육불화프로필렌 공중합체, 에틸렌·사불화에틸렌 공중합체 및 에틸렌·클로로트리플루오로에틸렌 공중합체로 이루어지는 군으로부터 선택되는 일종 이상의 폴리머를 포함한다.In the method for manufacturing a flexible printed circuit board according to an embodiment of the present invention, the film-shaped support is made of polyimide, polyamide, polyester, polycarbonate, polyarylate, polytetrafluoroethylene, or polychlorotrifluoroethylene. from the group consisting of ethylene, polyvinylidene fluoride, polyvinyl fluoride, perfluoroalkoxy fluororesins, tetrafluoroethylene/hexafluoropropylene copolymers, ethylene/tetrafluoroethylene copolymers, and ethylene/chlorotrifluoroethylene copolymers; It includes one or more selected polymers.

본 발명의 일 실시 형태에 관한 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법에서는, 상기 액상 감광성 수지 조성물이, 회전수 50rpm으로 3분간 회전시킨 후의 점도에 대한 회전수 50rpm으로 24시간 회전시킨 후의 점도의 비가 1.20 이하이다.In the method for producing a flexible printed circuit board according to one embodiment of the present invention, the ratio of the viscosity of the liquid photosensitive resin composition after rotating at a rotational speed of 50rpm for 3 minutes to the viscosity after rotating at a rotational speed of 50rpm for 24 hours is 1.20 or less. .

본 발명의 일 실시 형태에 관한 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법에서는, 상기 액상 감광성 수지 조성물이, 결합제 폴리머, 광 라디칼 중합 개시제, 열경화성 수지, 평균 입자경 0.01㎛ 이상 100㎛ 이하의 입자 및 유기 용매를 함유한다.In the method for producing a flexible printed circuit board according to an embodiment of the present invention, the liquid photosensitive resin composition contains a binder polymer, a radical photopolymerization initiator, a thermosetting resin, particles having an average particle diameter of 0.01 μm or more and 100 μm or less, and an organic solvent. .

본 발명의 일 실시 형태에 관한 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법에서는, 상기 결합제 폴리머가, 1분자 중에 우레탄 결합을 갖는 폴리머, 1분자 중에 이미드기를 갖는 폴리머, 1분자 중에 (메트)아크릴로일기를 갖는 폴리머 및 1분자 중에 카르복시기를 갖는 폴리머로 이루어지는 군으로부터 선택되는 일종 이상의 폴리머이다.In the method for producing a flexible printed circuit board according to an embodiment of the present invention, the binder polymer is a polymer having a urethane bond in one molecule, a polymer having an imide group in one molecule, and a (meth)acryloyl group in one molecule. It is one or more types of polymers selected from the group consisting of polymers and polymers having a carboxyl group in one molecule.

본 발명의 일 실시 형태에 관한 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법에서는, 상기 유기 용매가, 비점 180℃ 이상의 수용성 유기 용매이다.In the method for manufacturing a flexible printed circuit board according to an embodiment of the present invention, the organic solvent is a water-soluble organic solvent having a boiling point of 180°C or higher.

본 발명의 일 실시 형태에 관한 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법에서는, 상기 입자의 함유량이, 상기 결합제 폴리머 100중량부에 대하여, 5중량부 이상 100중량부 이하이다.In the manufacturing method of the flexible printed circuit board according to one embodiment of the present invention, the content of the particles is 5 parts by weight or more and 100 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the binder polymer.

본 발명의 일 실시 형태에 관한 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법에서는, 상기 입자가 가교 폴리머 입자이다.In the method for producing a flexible printed circuit board according to an embodiment of the present invention, the particles are crosslinked polymer particles.

본 발명에 따르면, 도막의 외관 불량 및 도막이 형성된 기판의 외관 불량의 발생을 억제할 수 있는 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법을 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide a method for manufacturing a flexible printed circuit board capable of suppressing occurrence of appearance defects of a coating film and appearance defects of a substrate on which a coating film is formed.

도 1은 본 발명에 관한 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법의 일례를 설명하기 위한 주요부 단면도이다.
도 2는 본 발명에 관한 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법의 일례를 설명하기 위한 다른 주요부 단면도이다.
도 3은 본 발명에 관한 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법의 일례를 설명하기 위한 다른 주요부 단면도이다.
도 4는 본 발명에 관한 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법의 일례를 설명하기 위한 다른 주요부 단면도이다.
도 5는 본 발명에 관한 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법의 일례를 설명하기 위한 다른 주요부 단면도이다.
도 6은 본 발명에 관한 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법의 일례에 있어서 사용되는 도포 롤을, 그 축심을 포함하는 평면으로 절단했을 때의 단면도이다.
1 is a cross-sectional view of main parts for explaining an example of a method for manufacturing a flexible printed circuit board according to the present invention.
2 is another main part sectional view for explaining an example of the manufacturing method of the flexible printed circuit board concerning this invention.
3 is another main part sectional view for explaining an example of the manufacturing method of the flexible printed circuit board concerning this invention.
4 is another main part sectional view for explaining an example of the manufacturing method of the flexible printed circuit board concerning this invention.
5 is another main part sectional view for explaining an example of the manufacturing method of the flexible printed circuit board concerning this invention.
Fig. 6 is a cross-sectional view when an application roll used in an example of a method for manufacturing a flexible printed circuit board according to the present invention is cut along a plane including its axis.

이하, 본 발명의 적합한 실시 형태에 대하여 상세하게 설명하지만, 본 발명은 이것들에 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 명세서 중에 기재된 학술 문헌 및 특허문헌의 모두가, 본 명세서 중에 있어서 참고로서 원용된다.Preferred embodiments of the present invention will be described in detail below, but the present invention is not limited thereto. In addition, all of the scientific literature and patent literature described in this specification are incorporated as a reference in this specification.

먼저, 본 명세서 중에서 사용되는 용어에 대하여 설명한다. 「롤 코터」는, 회전 가능한 한 쌍의 도포 롤을 갖는 도포 장치이다. 롤 코터의 도포 방식에는, 기판을 수직 방향으로 현수 인상하면서 액상 감광성 수지 조성물을 기판에 도포하는 수직 현수 인상식과, 기판을 수평 방향으로 반송하면서 액상 감광성 수지 조성물을 기판에 도포하는 수평 반송식이 있다. 수직 현수 인상식 롤 코터는, 수평 반송식 롤 코터에 비해, 도포 장치의 간소화 및 공간 절약화가 가능하다. 또한, 수직 현수 인상식 롤 코터는, 액상 감광성 수지 조성물이 도포된 기판을 현수한 상태로 건조할 수 있기 때문에, 도막의 건조 공정에서의 이물의 부착을 억제할 수 있다.First, terms used in this specification will be described. A "roll coater" is an application device having a pair of rotatable application rolls. The coating method of the roll coater includes a vertical suspension pulling method in which the liquid photosensitive resin composition is applied to the substrate while the substrate is suspended in the vertical direction, and a horizontal transport method in which the liquid photosensitive resin composition is applied to the substrate while conveying the substrate in the horizontal direction. Compared with a horizontal conveyance type roll coater, a vertical suspension type roll coater can simplify and save space of an application apparatus. In addition, since the vertical suspension roll coater can dry the substrate coated with the liquid photosensitive resin composition in a suspended state, it is possible to suppress adhesion of foreign substances in the drying process of the coating film.

필름 형상 지지체의 「두께」는, 필름 형상 지지체를 두께 방향으로 절단한 단면의 전자 현미경 화상으로부터 무작위로 측정 개소를 10군데 선택하고, 선택한 10군데의 측정 개소의 두께를 측정하여 얻어진 10개의 측정값의 산술 평균값이다. 배선의 「두께」는, 배선을 두께 방향으로 절단한 단면의 전자 현미경 화상으로부터 무작위로 측정 개소를 10군데 선택하고, 선택한 10군데의 측정 개소의 두께를 측정하여 얻어진 10개의 측정값의 산술 평균값이다. 「점도」는, 브룩필드형 회전 점도계를 사용하여, 측정 온도 25℃에 있어서 측정되는 점도이다. 점도의 측정 방법은, 후술하는 실시예와 동일한 방법 또는 그것에 준하는 방법이다.The "thickness" of the film-like support is 10 measurement values obtained by randomly selecting 10 measurement points from an electron microscope image of a cross-section of the film-like support cut in the thickness direction and measuring the thickness of the selected 10 measurement points. is the arithmetic mean of The "thickness" of a wiring is the arithmetic mean value of 10 measured values obtained by randomly selecting 10 measurement points from an electron microscope image of a cross-section of the wire cut in the thickness direction and measuring the thickness of the selected 10 measurement points. . "Viscosity" is a viscosity measured at a measurement temperature of 25°C using a Brookfield rotational viscometer. A method for measuring the viscosity is the same method as or a method similar to that of Examples described later.

「액상 감광성 수지 조성물의 경화막」은, 경화 후의 액상 감광성 수지 조성물을 포함하는 도막이다. 이하, 액상 감광성 수지 조성물의 경화막을, 단순히 「경화막」이라고 기재하는 경우가 있다. 또한, 본 명세서에 있어서 「경화 후」란, 더 가열해도 도막의 탄성률의 상승을 볼 수 없게 된 상태를 말한다. 구체적으로는, 도막에 대하여, 온도 150℃에서 60분간 더 가열해도, 도막의 탄성률의 상승 폭이 0.01㎬ 미만에 들게 된 상태를 말한다. 탄성률의 측정 방법은, 후술하는 실시예와 동일한 방법 또는 그것에 준하는 방법이다.The "cured film of the liquid photosensitive resin composition" is a coating film containing the liquid photosensitive resin composition after curing. Hereinafter, the cured film of the liquid photosensitive resin composition may be simply referred to as a "cured film". In addition, in this specification, "after curing" refers to a state in which an increase in the modulus of elasticity of the coating film is no longer seen even if further heated. Specifically, with respect to the coating film, even if it is further heated at a temperature of 150°C for 60 minutes, it refers to a state in which the range of increase in the elastic modulus of the coating film is less than 0.01 GPa. The method for measuring the modulus of elasticity is the same method as or a method similar to that of Examples described later.

「광 라디칼 중합 개시제」란, 광 조사에 의해 활성종으로서 라디칼을 발생시키는 화합물을 가리킨다.A "photoradical polymerization initiator" refers to a compound that generates radicals as active species upon irradiation with light.

「평균 입자경」은, 레이저 회절/산란식 입도 분포 측정 장치(예를 들어, 호리바 세이사쿠쇼사제 「LA-950V2」)를 사용하여 측정한, 체적 기준의 메디안 직경(적산 분포값 50%에 대한 입자경)이다.The "average particle diameter" is the volume-based median diameter (relative to the integrated distribution value of 50%) measured using a laser diffraction/scattering type particle size distribution analyzer (for example, "LA-950V2" manufactured by Horiba Seisakusho Co., Ltd.) particle size).

이하, 화합물명의 뒤에 「계」를 붙여, 화합물 및 그의 유도체를 포괄적으로 총칭하는 경우가 있다. 화합물명의 뒤에 「계」를 붙여 중합체명을 나타내는 경우에는, 중합체의 반복 단위가 화합물 또는 그의 유도체에서 유래하는 것을 의미한다. 또한, 아크릴 및 메타크릴을 포괄적으로 「(메트)아크릴」이라고 총칭하는 경우가 있다. 또한, 아크릴레이트 및 메타크릴레이트를 포괄적으로 「(메트)아크릴레이트」라고 총칭하는 경우가 있다. 또한, 아크릴로일기 및 메타크릴로일기를 포괄적으로 「(메트)아크릴로일기」라고 총칭하는 경우가 있다. 본 명세서에 예시된 성분이나 관능기 등은, 특기하지 않는 한, 단독으로 사용해도 되고, 2종 이상을 병용해도 된다.Hereinafter, "system" is appended to the compound name to collectively refer to compounds and their derivatives in some cases. When a polymer name is indicated by appending "system" to the end of the compound name, it means that the repeating unit of the polymer is derived from a compound or a derivative thereof. In addition, there are cases where acryl and methacryl are collectively referred to as "(meth)acryl". In addition, acrylates and methacrylates are collectively referred to as "(meth)acrylates" in some cases. In addition, an acryloyl group and a methacryloyl group are collectively referred to as "(meth)acryloyl group" in some cases. The components, functional groups, etc. exemplified in this specification may be used alone or in combination of two or more, unless otherwise specified.

이하의 설명에 있어서 참조하는 도면은, 이해하기 쉽게 하기 위해, 각각의 구성 요소를 주체로 모식적으로 도시하고 있고, 도시된 각 구성 요소의 크기, 개수, 형상 등은, 도면 작성의 사정상으로부터 실제와는 다른 경우가 있다. 또한, 설명의 사정상, 나중에 설명하는 도면에 있어서, 먼저 설명한 도면과 동일 구성 부분에 대해서는, 동일 부호를 붙여, 그 설명을 생략하는 경우가 있다.The drawings referred to in the following description are schematically showing each component as a main body for easy understanding, and the size, number, shape, etc. of each component shown are actual from the point of view of drawing. may be different from In addition, for convenience of explanation, in the drawings described later, the same reference numerals are assigned to the same components as those in the previously described drawings, and the description thereof may be omitted.

<플렉시블 프린트 기판의 제조 방법><Method of manufacturing flexible printed circuit board>

본 실시 형태에 관한 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법은, 기판의 양면에, 수직 현수 인상식 롤 코터를 사용하여 액상 감광성 수지 조성물을 도포하는 공정을 구비한다. 기판은, 필름 형상 지지체와, 필름 형상 지지체의 양면에 마련된 배선을 갖는다. 기판에는 구멍이 마련되어 있다. 수직 현수 인상식 롤 코터는, 각각 독립된 복수개의 링 형상 홈을 갖는 한 쌍의 도포 롤을 구비한다. 도포 롤의 롤 직경은 70㎜ 이상 150㎜ 이하이다. 액상 감광성 수지 조성물은, 회전수 50rpm으로 3분간 회전시킨 후의 점도가 1.0㎩·s 이상 15.0㎩·s 이하이다. 액상 감광성 수지 조성물은, 회전수 50rpm으로 3분간 회전시킨 후의 점도에 대한 회전수 5rpm으로 3분간 회전시킨 후의 점도의 비가 1.5 이상 3.0 이하이다. 액상 감광성 수지 조성물의 경화막의 탄성률은 0.1㎬ 이상 1.5㎬ 이하이다. 액상 감광성 수지 조성물을 도포할 때, 기판의 양면에 액상 감광성 수지 조성물을 동시에 도포한다.The method for manufacturing a flexible printed circuit board according to the present embodiment includes a step of applying a liquid photosensitive resin composition to both surfaces of the substrate using a vertical suspension roll coater. The substrate has a film-like support and wiring provided on both sides of the film-like support. A hole is provided in the substrate. A vertical suspension pull-up type roll coater includes a pair of coating rolls each having a plurality of independent ring-shaped grooves. The roll diameter of an application roll is 70 mm or more and 150 mm or less. The viscosity after rotating the liquid photosensitive resin composition for 3 minutes at a rotational speed of 50 rpm is 1.0 Pa·s or more and 15.0 Pa·s or less. The ratio of the viscosity after rotating the liquid photosensitive resin composition at a rotation speed of 50 rpm for 3 minutes to the viscosity after rotation for 3 minutes at a rotation speed of 5 rpm is 1.5 or more and 3.0 or less. The elastic modulus of the cured film of the liquid photosensitive resin composition is 0.1 GPa or more and 1.5 GPa or less. When applying the liquid photosensitive resin composition, the liquid photosensitive resin composition is simultaneously applied to both sides of the substrate.

본 실시 형태에 관한 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법에서는, 액상 감광성 수지 조성물을 도포할 때, 기판의 양면에 액상 감광성 수지 조성물을 동시에 도포하기 때문에, 기판에 마련된 구멍에 액상 감광성 수지 조성물을 매립하면서 도포할 수 있다.In the manufacturing method of the flexible printed circuit board according to the present embodiment, since the liquid photosensitive resin composition is simultaneously applied to both surfaces of the substrate when applying the liquid photosensitive resin composition, the liquid photosensitive resin composition can be applied while filling holes provided in the substrate. can

이하, 액상 감광성 수지 조성물을 회전수 50rpm으로 3분간 회전시킨 후의 점도 A에 대한 회전수 5rpm으로 3분간 회전시킨 후의 점도 B의 비(B/A)를, 틱소트로픽 인덱스값의 약칭인 「TI값」이라고 기재하는 경우가 있다. 또한, 액상 감광성 수지 조성물을 회전수 50rpm으로 3분간 회전시킨 후의 점도(회전 개시로부터 3분 후에 브룩필드형 회전 점도계가 나타낸 점도)를, 단순히 「점도」라고 기재하는 경우가 있다. 점도는, 예를 들어 액상 감광성 수지 조성물의 고형분 농도를 변경함으로써 조정할 수 있다. TI값은, 예를 들어 액상 감광성 수지 조성물 중의 입자(예를 들어, 후술하는 (D) 성분)의 양을 변경함으로써 조정할 수 있다.Hereinafter, the ratio of the viscosity B after rotating the liquid photosensitive resin composition at a rotational speed of 50rpm for 3 minutes to the viscosity A after rotating for 3 minutes at a rotational speed of 5rpm (B / A) is referred to as "TI value, which is an abbreviation of thixotropic index value. 」 in some cases. In addition, the viscosity after rotating the liquid photosensitive resin composition at a rotational speed of 50 rpm for 3 minutes (the viscosity indicated by a Brookfield rotational viscometer 3 minutes after the start of rotation) may be simply described as "viscosity". The viscosity can be adjusted by changing the solid content concentration of the liquid photosensitive resin composition, for example. TI value can be adjusted by changing the quantity of particle|grains (for example, component (D) mentioned later) in a liquid photosensitive resin composition, for example.

본 실시 형태에 따르면, 도막의 외관 불량 및 도막이 형성된 기판의 외관 불량의 발생을 억제할 수 있는 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법을 제공할 수 있다. 그 이유는, 이하와 같이 추측된다.According to the present embodiment, it is possible to provide a method for manufacturing a flexible printed circuit board capable of suppressing occurrence of appearance defects of a coating film and appearance defects of a substrate on which a coating film is formed. The reason is estimated as follows.

본 실시 형태에서 사용되는 수직 현수 인상식 롤 코터는, 한 쌍의 도포 롤을 구비하고, 각각의 도포 롤이 링 형상 홈을 복수개 갖는다. 그리고, 복수개의 링 형상 홈은 각각 독립되어 있다. 이 때문에, 본 실시 형태에서는, 기판에 액상 감광성 수지 조성물을 도포할 때, 1개의 나선 형상 홈(이하, 단순히 「나선 형상 홈」이라고 기재하는 경우가 있음)이 마련된 도포 롤에 의해 도포하는 경우에 비해, 필름 형상 지지체를 구비하는 기판과 홈이 균일하게 접한다. 또한, 본 실시 형태에서는, 기판에 액상 감광성 수지 조성물을 도포할 때, 기판의 양면에 액상 감광성 수지 조성물을 동시에 도포한다. 이러한 점에서, 본 실시 형태에서는, 기판에 액상 감광성 수지 조성물을 도포할 때, 기판에 균일하게 롤 압력을 전할 수 있기 때문에, 기판의 변형을 억제할 수 있다.The vertical suspension pull-up type roll coater used in the present embodiment includes a pair of application rolls, and each application roll has a plurality of ring-shaped grooves. And, each of the plurality of ring-shaped grooves is independent. For this reason, in this embodiment, when applying the liquid photosensitive resin composition to the substrate, in the case of applying with an application roll provided with one spiral groove (hereinafter, simply referred to as "spiral groove") In contrast, the substrate provided with the film-shaped support and the grooves are in uniform contact. Further, in this embodiment, when applying the liquid photosensitive resin composition to the substrate, the liquid photosensitive resin composition is simultaneously applied to both surfaces of the substrate. From this point of view, in this embodiment, when applying the liquid photosensitive resin composition to the substrate, since the roll pressure can be transmitted uniformly to the substrate, deformation of the substrate can be suppressed.

또한, 본 실시 형태에서는, 액상 감광성 수지 조성물의 경화막의 탄성률이 0.1㎬ 이상 1.5㎬ 이하의 범위 내이고, 또한 도포 롤의 롤 직경이 150㎜ 이하이기 때문에, 본 실시 형태에 따르면, 기판에 액상 감광성 수지 조성물을 도포할 때, 롤 압력에 기인하는 기판의 파손(상세하게는, 찢어짐 등)을 억제할 수 있다.In addition, in this embodiment, since the elastic modulus of the cured film of the liquid photosensitive resin composition is in the range of 0.1 GPa or more and 1.5 GPa or less, and the roll diameter of the application roll is 150 mm or less, according to the present embodiment, the substrate has a liquid photosensitive property. When applying the resin composition, breakage (specifically, tearing, etc.) of the substrate caused by roll pressure can be suppressed.

이와 같이, 본 실시 형태에 따르면, 기판에 액상 감광성 수지 조성물을 도포할 때, 기판의 변형 및 기판의 파손을 억제할 수 있기 때문에, 도막이 형성된 기판의 외관 불량의 발생을 억제할 수 있다.In this way, according to the present embodiment, when the liquid photosensitive resin composition is applied to the substrate, deformation of the substrate and damage to the substrate can be suppressed, so that the appearance defect of the substrate on which the coating film is formed can be suppressed.

또한, 일반적으로, 수직 현수 인상식 롤 코터를 사용하여 기판의 양면에 액상 감광성 수지 조성물을 동시에 도포하는 경우, 지지체가 필름 형상이 아닌 기판(경질 기판, 다층 기판 등)에서는, 지지체가 도공 중의 롤 압력을 견딜 수 있기 때문에, 기판의 변형, 찢어짐 등이 발생하기 어렵다. 한편, 수직 현수 인상식 롤 코터를 사용하여, 필름 형상 지지체를 갖는 기판의 양면에 액상 감광성 수지 조성물을 동시에 도포하는 경우, 통상, 필름 형상 지지체가 도공 중의 롤 압력에 견딜 수 없어, 기판의 변형, 찢어짐 등이 발생하기 쉽다. 그러나, 본 실시 형태에서는, 상기한 바와 같이, 기판에 액상 감광성 수지 조성물을 도포할 때, 기판의 변형 및 기판의 파손을 억제할 수 있기 때문에, 도막이 형성된 기판의 외관 불량의 발생을 억제할 수 있다.Further, in general, when a liquid photosensitive resin composition is simultaneously applied to both sides of a substrate using a vertical suspension roll coater, in a substrate where the support is not in the form of a film (rigid substrate, multilayer substrate, etc.), the support is the roll during coating. Since it can withstand pressure, deformation, tearing, etc. of the substrate are less likely to occur. On the other hand, when a liquid photosensitive resin composition is simultaneously applied to both sides of a substrate having a film-like support using a vertical suspension roll coater, usually the film-like support cannot withstand the roll pressure during coating, resulting in deformation of the substrate, It is easy to cause tearing, etc. However, in the present embodiment, as described above, when the liquid photosensitive resin composition is applied to the substrate, deformation of the substrate and damage to the substrate can be suppressed, so that occurrence of defects in appearance of the substrate on which the coating film is formed can be suppressed. .

또한, 본 실시 형태에서는, 도포 롤의 롤 직경이 70㎜ 이상이기 때문에, 도포 롤과 기판 사이에 있어서 액상 감광성 수지 조성물이 과잉으로 체류하는 현상(액 고임)이 발생하기 어려워지는 경향이 있다. 따라서, 본 실시 형태에서는, 액상 감광성 수지 조성물의 도포에 의해 형성되는 도막에 있어서, 도포 롤의 홈의 자국이나 줄무늬의 발생이 억제되는 경향이 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 액상 감광성 수지 조성물의 점도가 1.0㎩·s 이상 15.0㎩·s 이하이고, 또한 액상 감광성 수지 조성물의 TI값이 1.5 이상 3.0 이하이기 때문에, 액상 감광성 수지 조성물의 도포에 의해 형성되는 도막에 있어서, 핀 홀이나 피복 불균일의 발생이 억제되는 경향이 있다. 이러한 점에서, 본 실시 형태에 따르면, 도막의 외관 불량의 발생을 억제할 수 있다.Moreover, in this embodiment, since the roll diameter of an application roll is 70 mm or more, the phenomenon (liquid pool) in which the liquid photosensitive resin composition excessively stays between an application roll and a board|substrate tends to become difficult to occur. Therefore, in the present embodiment, in the coating film formed by application of the liquid photosensitive resin composition, there is a tendency for the occurrence of groove marks and stripes of the application roll to be suppressed. In addition, in this embodiment, since the viscosity of the liquid photosensitive resin composition is 1.0 Pa.s or more and 15.0 Pa.s or less, and the TI value of the liquid photosensitive resin composition is 1.5 or more and 3.0 or less, by application|coating of the liquid photosensitive resin composition In the coating film formed, the occurrence of pinholes and coating unevenness tends to be suppressed. From this point of view, according to the present embodiment, occurrence of poor appearance of the coating film can be suppressed.

본 실시 형태에 있어서, 도막의 외관 불량의 발생을 더 억제하기 위해서는, 액상 감광성 수지 조성물의 점도가, 1.5㎩·s 이상 13.0㎩·s 이하인 것이 바람직하고, 2.0㎩·s 이상 12.0㎩·s 이하인 것이 보다 바람직하다.In this embodiment, in order to further suppress the appearance defect of the coating film, the viscosity of the liquid photosensitive resin composition is preferably 1.5 Pa·s or more and 13.0 Pa·s or less, and is 2.0 Pa·s or more and 12.0 Pa·s or less. it is more preferable

본 실시 형태에 있어서, 도막의 외관 불량의 발생을 더 억제하기 위해서는, 액상 감광성 수지 조성물의 TI값이, 1.6 이상 2.7 이하인 것이 바람직하고, 1.7 이상 2.5 이하인 것이 보다 바람직하다.In this embodiment, in order to further suppress the appearance defect of the coating film, the TI value of the liquid photosensitive resin composition is preferably 1.6 or more and 2.7 or less, and more preferably 1.7 or more and 2.5 or less.

본 실시 형태에 있어서, 도막이 형성된 기판의 외관 불량의 발생을 더 억제하기 위해서는, 액상 감광성 수지 조성물의 경화막의 탄성률이, 0.2㎬ 이상 1.4㎬ 이하인 것이 바람직하고, 0.3㎬ 이상 1.3㎬ 이하인 것이 보다 바람직하다. 액상 감광성 수지 조성물의 경화막의 탄성률은, 예를 들어 액상 감광성 수지 조성물 중의 결합제 폴리머의 종류 및 그 양, 그리고 액상 감광성 수지 조성물 중의 입자(예를 들어, 후술하는 (D) 성분)의 종류 및 그 양 중 적어도 하나를 변경함으로써 조정할 수 있다.In this embodiment, in order to further suppress the appearance defect of the board|substrate on which the coating film was formed, it is preferable that the elastic modulus of the cured film of a liquid photosensitive resin composition is 0.2 GPa or more and 1.4 GPa or less, and it is more preferable that it is 0.3 GPa or more and 1.3 GPa or less. . The modulus of elasticity of the cured film of the liquid photosensitive resin composition is, for example, the type and amount of the binder polymer in the liquid photosensitive resin composition, and the type and amount of particles (for example, component (D) described later) in the liquid photosensitive resin composition. can be adjusted by changing at least one of them.

본 실시 형태에 있어서, 도막이 형성된 기판의 외관 불량의 발생을 더 억제하기 위해서는, 필름 형상 지지체의 횡폭 및 종폭이, 모두 150㎜ 이상 650㎜ 이하인 것이 바람직하고, 모두 200㎜ 이상 600㎜ 이하인 것이 보다 바람직하고, 모두 250㎜ 이상 550㎜ 이하인 것이 더욱 바람직하다. 또한, 「필름 형상 지지체의 횡폭」이란, 기판에 액상 감광성 수지 조성물을 도포할 때에 있어서, 도포 롤의 축심 방향과 평행한 방향의 필름 형상 지지체의 폭을 의미한다. 또한, 「필름 형상 지지체의 종폭」이란, 기판에 액상 감광성 수지 조성물을 도포할 때에 있어서, 도포 롤의 축심 방향과 직교하는 방향의 필름 형상 지지체의 폭을 의미한다.In this embodiment, in order to further suppress the appearance defect of the substrate on which the coating film is formed, the horizontal width and vertical width of the film-like support are both preferably 150 mm or more and 650 mm or less, and both are more preferably 200 mm or more and 600 mm or less. And, it is more preferable that both are 250 mm or more and 550 mm or less. In addition, "lateral width of a film-shaped support body" means the width of a film-shaped support body in the direction parallel to the axial center direction of an application roll, when apply|coating a liquid photosensitive resin composition to a board|substrate. In addition, "the vertical width of a film-shaped support body" means the width|variety of a film-shaped support body in the direction orthogonal to the axial center direction of an application roll, when apply|coating a liquid photosensitive resin composition to a board|substrate.

본 실시 형태에 있어서, 도막이 형성된 기판의 외관 불량의 발생을 더 억제하기 위해서는, 필름 형상 지지체의 두께가, 8.0㎛ 이상인 것이 바람직하고, 10.0㎛ 이상인 것이 보다 바람직하고, 12.0㎛ 이상인 것이 더욱 바람직하다. 또한, 본 실시 형태에 있어서, 도막의 외관 불량의 발생을 더 억제하기 위해서는, 필름 형상 지지체의 두께가 50.0㎛ 이하인 것이 바람직하다.In this embodiment, in order to further suppress the appearance defect of the substrate on which the coating film is formed, the thickness of the film-shaped support is preferably 8.0 μm or more, more preferably 10.0 μm or more, and even more preferably 12.0 μm or more. Further, in the present embodiment, in order to further suppress the appearance defect of the coating film, it is preferable that the thickness of the film-like support is 50.0 μm or less.

본 실시 형태에 있어서, 도막의 외관 불량의 발생을 더 억제하기 위해서는, 배선의 두께가, 8㎛ 이상 50㎛ 이하인 것이 바람직하고, 10㎛ 이상 50㎛ 이하인 것이 보다 바람직하고, 15㎛ 이상 50㎛ 이하인 것이 더욱 바람직하다.In the present embodiment, in order to further suppress the appearance defect of the coating film, the thickness of the wiring is preferably 8 μm or more and 50 μm or less, more preferably 10 μm or more and 50 μm or less, and 15 μm or more and 50 μm or less. it is more preferable

본 실시 형태에 있어서, 필름 형상 지지체의 양면에 마련된 배선 사이의 도통을 확보하면서, 매립성이 우수한 플렉시블 프린트 기판을 얻기 위해서는, 기판에 마련된 구멍의 직경(개구 직경)이, 50㎛ 이상 250㎛ 이하인 것이 바람직하고, 50㎛ 이상 200㎛ 이하인 것이 보다 바람직하다.In this embodiment, in order to obtain a flexible printed circuit board excellent in embedding property while ensuring conduction between wirings provided on both sides of the film-shaped support, the diameter (opening diameter) of the hole provided in the board is 50 μm or more and 250 μm or less. It is preferable, and it is more preferable that they are 50 micrometers or more and 200 micrometers or less.

본 실시 형태에 있어서, 수직 현수 인상식 롤 코터를 장시간 연속으로 운전하고, 액상 감광성 수지 조성물의 도포 공정을 장시간 연속으로 행했을 때, 기판의 도포 롤에 대한 첩부를 억제하기 위해서는, 액상 감광성 수지 조성물이, 회전수 50rpm으로 3분간 회전시킨 후의 점도 A에 대한 회전수 50rpm으로 24시간 회전시킨 후의 점도 C의 비(C/A)가 1.20 이하인 것이 바람직하고, 1.15 이하인 것이 보다 바람직하다. 이하, 액상 감광성 수지 조성물을 회전수 50rpm으로 3분간 회전시킨 후의 점도 A에 대한 회전수 50rpm으로 24시간 회전시킨 후의 점도 C의 비(C/A)를, 「경시 점도비」라고 기재하는 경우가 있다. 경시 점도비의 하한은, 특별히 한정되지 않고, 예를 들어 1.00이어도 된다. 또한, 기판의 도포 롤에 대한 첩부는, 제품의 수율 저하로 연결된다. 경시 점도비는, 예를 들어 액상 감광성 수지 조성물에 포함되는 유기 용매의 종류를 변경함으로써 조정할 수 있다. 비점이 높은 유기 용매를 사용하면, 경시 점도비가 작아진다.In the present embodiment, when the vertical suspension roll coater is operated continuously for a long time and the application step of the liquid photosensitive resin composition is continuously performed for a long time, in order to suppress the sticking of the substrate to the coating roll, the liquid photosensitive resin composition The ratio (C/A) of the viscosity C after rotation at a rotation speed of 50 rpm for 24 hours to the viscosity A after rotation at a rotation speed of 50 rpm for 3 minutes (C/A) is preferably 1.20 or less, and more preferably 1.15 or less. Hereinafter, the ratio (C/A) of the viscosity C after rotating the liquid photosensitive resin composition at a rotational speed of 50rpm for 24 hours to the viscosity A after rotating at a rotational speed of 50rpm for 3 minutes (C/A) is referred to as "viscosity ratio over time". there is. The lower limit of the viscosity ratio over time is not particularly limited, and may be, for example, 1.00. Moreover, sticking of a board|substrate to an application roll leads to the fall of the yield of a product. The viscosity ratio with the passage of time can be adjusted by changing the kind of organic solvent contained in the liquid photosensitive resin composition, for example. When an organic solvent with a high boiling point is used, the viscosity ratio over time decreases.

본 실시 형태에 있어서, 도막의 외관 불량 및 도막이 형성된 기판의 외관 불량의 발생을 더 억제하기 위해서는, 하기 조건 1을 충족시키는 것이 바람직하고, 하기 조건 1 및 2를 충족시키는 것이 보다 바람직하다. 또한, 본 실시 형태에 있어서, 도막의 외관 불량 및 도막이 형성된 기판의 외관 불량의 발생을 더 억제함과 함께, 수직 현수 인상식 롤 코터를 장시간 연속으로 운전하고, 액상 감광성 수지 조성물의 도포 공정을 장시간 연속으로 행했을 때, 기판의 도포 롤에 대한 첩부를 억제하기 위해서는, 하기 조건 1 및 3을 충족시키는 것이 바람직하고, 하기 조건 1, 2 및 3을 충족시키는 것이 보다 바람직하다.In this embodiment, in order to further suppress the appearance defects of the coating film and the appearance defects of the substrate on which the coating film is formed, it is preferable to satisfy the following condition 1, and it is more preferable to satisfy the following conditions 1 and 2. Further, in the present embodiment, while further suppressing the appearance defects of the coating film and the appearance defects of the substrate on which the coating film is formed, the vertical suspension roll coater is continuously operated for a long time, and the application step of the liquid photosensitive resin composition is performed for a long time. When performed continuously, in order to suppress the sticking of the substrate to the coating roll, it is preferable to satisfy the following conditions 1 and 3, and it is more preferable to satisfy the following conditions 1, 2 and 3.

조건 1: 필름 형상 지지체의 횡폭 및 종폭이 모두 200㎜ 이상 600㎜ 이하이고, 또한 필름 형상 지지체의 두께가 8.0㎛ 이상 50.0㎛ 이하이다.Condition 1: Both the horizontal and vertical widths of the film-like support are 200 mm or more and 600 mm or less, and the film-like support has a thickness of 8.0 μm or more and 50.0 μm or less.

조건 2: 배선의 두께가 8㎛ 이상 50㎛ 이하이다.Condition 2: The thickness of the wiring is 8 μm or more and 50 μm or less.

조건 3: 액상 감광성 수지 조성물의 경시 점도비가 1.20 이하이다.Condition 3: The viscosity ratio over time of the liquid photosensitive resin composition is 1.20 or less.

이하, 본 실시 형태에 대하여, 적절히 도면을 참조하면서 설명한다. 참조하는 도 1 내지 도 5는, 본 실시 형태에 관한 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법의 일례(특히, 도포 공정)를 설명하기 위한 주요부 단면도이다. 또한, 도 1 내지 도 5에 있어서, 모두, 도면의 좌측을 제조 공정의 상류측이라고 하고, 도면의 우측을 제조 공정의 하류측이라고 하여 설명한다.Hereinafter, this embodiment will be described with appropriate reference to the drawings. 1 to 5 to be referred to are main part cross-sectional views for explaining an example of a method for manufacturing a flexible printed circuit board according to the present embodiment (particularly, an application step). 1 to 5, the left side of the drawing is referred to as the upstream side of the manufacturing process, and the right side of the drawing is referred to as the downstream side of the manufacturing process.

본 실시 형태의 도포 공정에서는, 먼저, 현수 지그(10)에 의해 현수된 기판(11)이, 제조 공정 상류측으로부터, 한 쌍의 도포 롤(12a 및 12b)의 상측으로 이송된다(도 1). 도 1에 있어서, 도포 롤(12a)은, 제조 공정 상류측에 위치하는 도포 롤이고, 도포 롤(12b)은, 제조 공정 하류측에 위치하는 도포 롤이다. 도포 롤(12a) 및 도포 롤(12b)은, 모두 롤 직경이 70㎜ 이상 150㎜ 이하이다. 또한, 기판(11)은, 필름 형상 지지체(13)와, 필름 형상 지지체(13)의 양면에 마련된 배선(14)을 갖는다. 기판(11)에는 구멍(15)이 마련되어 있다. 배선(14)의 폭은, 예를 들어 10㎛ 이상 200㎛ 이하이다. 배선(14)의 간격(피치)은, 예를 들어 10㎛ 이상 200㎛ 이하이다.In the application process of this embodiment, first, the substrate 11 suspended by the suspension jig 10 is transferred from the upstream side of the manufacturing process to the upper side of the pair of application rolls 12a and 12b (FIG. 1). . 1, the application roll 12a is an application roll located on the upstream side of a manufacturing process, and the application roll 12b is an application roll located on the downstream side of a manufacturing process. As for the application roll 12a and the application roll 12b, both have a roll diameter of 70 mm or more and 150 mm or less. Further, the substrate 11 has a film support 13 and wirings 14 provided on both surfaces of the film support 13 . A hole 15 is provided in the substrate 11 . The width of the wiring 14 is, for example, 10 μm or more and 200 μm or less. The spacing (pitch) of the wirings 14 is, for example, 10 μm or more and 200 μm or less.

도 1의 상태에 있어서, 도포 롤(12a)과 도포 롤(12b) 사이에는, 기판(11)을 통과할 수 있을 정도의 간격이 마련되어 있다. 도포 롤(12a)은, 제조 공정 상류측의 닥터 바(16a)와 접하고 있고, 또한 닥터 바(16a)로부터 소정의 압력(예를 들어, 0.5kgf/㎠ 이상 3.0kgf/㎠ 이하)이 가해진다. 도포 롤(12b)은, 제조 공정 하류측의 닥터 바(16b)와 접하고 있고, 또한 닥터 바(16b)로부터 소정의 압력(예를 들어, 0.5kgf/㎠ 이상 3.0kgf/㎠ 이하)이 가해진다.In the state of FIG. 1 , between the application roll 12a and the application roll 12b, there is provided a space enough to pass through the substrate 11 . The application roll 12a is in contact with the doctor bar 16a on the upstream side of the manufacturing process, and a predetermined pressure (for example, 0.5 kgf/cm 2 or more and 3.0 kgf/cm 2 or less) is applied from the doctor bar 16a. . The application roll 12b is in contact with the doctor bar 16b on the downstream side of the manufacturing process, and a predetermined pressure (for example, 0.5 kgf/cm 2 or more and 3.0 kgf/cm 2 or less) is applied from the doctor bar 16b. .

또한, 도포 롤(12a) 및 도포 롤(12b)은, 각각 소정의 회전 속도(예를 들어, 1m/분 이상 10m/분 이하)로 회전하고 있다. 도포 롤(12a)과 닥터 바(16a) 사이 및 도포 롤(12b)과 닥터 바(16b) 사이에는, 액상 감광성 수지 조성물(17)이 모아져 있다. 도포 롤(12a)의 표면 및 도포 롤(12b)의 표면에는, 액상 감광성 수지 조성물(17)이 전사되어 있다.In addition, the application roll 12a and the application roll 12b rotate at predetermined rotational speeds (for example, 1 m/min or more and 10 m/min or less), respectively. Between the application roll 12a and the doctor bar 16a and between the application roll 12b and the doctor bar 16b, the liquid photosensitive resin composition 17 is collected. The liquid photosensitive resin composition 17 is transferred to the surface of the application roll 12a and the surface of the application roll 12b.

도 1에 나타내는 상태로부터 현수 지그(10)가 하강하고, 현수된 기판(11)이, 도포 롤(12a)과 도포 롤(12b) 사이를 지나, 기판(11)의 상단부가 도포 롤(12a)과 도포 롤(12b) 사이에 위치하는 장소(도 2 참조)까지 이송된다. 그리고, 도 2에 나타낸 바와 같이, 현수 지그(10)가 기판(11)을 이격시킴과 함께, 기판(11)의 하단부를 고정 지그(18)가 파지한다.From the state shown in Fig. 1, the suspension jig 10 descends, and the suspended substrate 11 passes between the application rolls 12a and 12b, and the upper end of the substrate 11 falls on the application roll 12a. It is conveyed to a place (refer to Fig. 2) located between the coating roll 12b. Then, as shown in FIG. 2 , the suspension jig 10 separates the substrate 11 and the fixing jig 18 grips the lower end of the substrate 11 .

이어서, 각각 회전하는 도포 롤(12a)과 도포 롤(12b)이, 기판(11)을 사이에 끼우고 기판(11)에 압력이 가해지도록 기판(11)을 압입함과 함께, 고정 지그(18)가 기판(11)의 하단부를 이격한다(도 3). 기판(11)이 고정 지그(18)로부터 이격되면, 도포 롤(12a) 및 도포 롤(12b)이 회전하고 있기 때문에, 기판(11)의 양면에, 동시에 액상 감광성 수지 조성물(17)이 도포되면서, 기판(11)이 상방으로 들어올려진다. 또한, 도 3의 상태에 있어서, 도포 롤(12a) 및 도포 롤(12b)의 압입량은, 예를 들어 100㎛ 이상 200㎛ 이하의 범위이다.Next, the rotating application roll 12a and the application roll 12b press the substrate 11 so that the substrate 11 is sandwiched therebetween and the substrate 11 is pressurized, and the fixing jig 18 ) is spaced apart from the lower end of the substrate 11 (FIG. 3). When the substrate 11 is separated from the fixing jig 18, since the application roll 12a and the application roll 12b are rotating, the liquid photosensitive resin composition 17 is simultaneously applied to both sides of the substrate 11 while , the substrate 11 is lifted upward. In addition, in the state of FIG. 3, the press-in amount of the application roll 12a and the application roll 12b is the range of 100 micrometers or more and 200 micrometers or less, for example.

이어서, 양면 동시에 액상 감광성 수지 조성물(17)이 도포되면서 상방으로 들어올려진 기판(11)의 상단부가, 현수 지그(10)에 의해 파지된다(도 4). 기판(11)이 들어올려질 때, 기판(11)에 마련된 구멍(15)에 액상 감광성 수지 조성물(17)이 매립되고, 또한 기판(11)의 양면에 액상 감광성 수지 조성물(17)을 포함하는 도막(19)이 형성된다. 현수 지그(10)를 가능한 한 도포 롤(12a) 및 도포 롤(12b)에 접근시킨 상태에서, 현수 지그(10)에 의해 기판(11)의 상단부를 파지함으로써, 기판(11)의 도포 롤(12a) 또는 도포 롤(12b)로의 감김을 방지할 수 있다.Next, while the liquid photosensitive resin composition 17 is applied on both sides simultaneously, the upper end of the substrate 11 lifted upward is held by the suspension jig 10 (FIG. 4). When the substrate 11 is lifted, the liquid photosensitive resin composition 17 is embedded in the hole 15 provided in the substrate 11, and further comprising the liquid photosensitive resin composition 17 on both sides of the substrate 11 A coating film 19 is formed. By holding the upper end of the substrate 11 with the suspension jig 10 in a state where the suspension jig 10 is brought as close to the application roll 12a and the application roll 12b as possible, the application roll of the substrate 11 ( 12a) or winding onto the application roll 12b can be prevented.

이어서, 양면에 도막(19)이 형성된 기판(11)이, 현수 지그(10)에 의해 현수된 상태에서, 제조 공정 하류측으로 이송된다(도 5). 그리고, 제조 공정 하류측으로 이송된 기판(11)은, 도시하지 않은 건조로에 투입되어 건조된다. 예를 들어, 기판(11)은, 현수된 상태에서 건조로로 반송된다. 그리고, 기판(11)이 건조로 내부를 통과할 때, 기판(11)이 건조된다.Subsequently, the substrate 11 having the coating film 19 formed on both sides is transported to the downstream side of the manufacturing process while being suspended by the suspension jig 10 (FIG. 5). Then, the substrate 11 transferred to the downstream side of the manufacturing process is put into a drying furnace (not shown) and dried. For example, the substrate 11 is transported to a drying furnace in a suspended state. Then, when the substrate 11 passes through the inside of the drying furnace, the substrate 11 is dried.

건조로 내부에서는, 예를 들어 기판(11)에 형성된 도막(19)에, 필터에 의해 환경 이물이 제거된 열풍이 쏘이게 된다. 기판(11)은 지지체가 필름 형상이기 때문에, 복수매의 기판(11)을 동시에 건조시킬 때는, 기판(11)끼리의 간격이 좁으면, 건조로 내의 열풍 순환에 의해 기판(11)이 부채질되어, 기판(11)끼리가 첩부되기 쉬워진다. 따라서, 복수매의 기판(11)을 동시에 건조시킬 때는, 기판(11)끼리의 간격을, 기판(11)의 종폭보다도 크게 하는 것이 바람직하다.Inside the drying furnace, hot air from which environmental foreign substances are removed by a filter is blown onto the coating film 19 formed on the substrate 11, for example. Since the support of the substrate 11 is in the form of a film, when drying a plurality of substrates 11 at the same time, if the interval between the substrates 11 is narrow, the substrates 11 are fanned by hot air circulation in the drying furnace. , the substrates 11 are easily attached to each other. Therefore, when drying a plurality of substrates 11 at the same time, it is preferable to make the distance between the substrates 11 larger than the vertical width of the substrates 11 .

기판(11)의 건조 온도는, 60℃ 이상 130℃ 이하인 것이 바람직하고, 70℃ 이상 120℃ 이하인 것이 보다 바람직하다. 기판(11)의 건조 온도를 60℃ 이상으로 함으로써, 액상 감광성 수지 조성물(17)에 포함되는 유기 용매를 충분히 제거할 수 있기 때문에, 건조 후의 도막(19)에 대한 이물 부착 등을 억제할 수 있다. 또한, 기판(11)의 건조 온도를 130℃ 이하로 함으로써, 액상 감광성 수지 조성물(17)의 경화 반응을 억제할 수 있기 때문에, 후공정인 포토리소그래피 공정에 있어서, 현상 시간의 증대 등을 억제할 수 있다. 또한, 건조 온도는, 건조로로의 기판(11)의 투입 매수나 도공 속도에 의해 적절히 설정할 수 있다.The drying temperature of the substrate 11 is preferably 60°C or more and 130°C or less, and more preferably 70°C or more and 120°C or less. Since the organic solvent contained in the liquid photosensitive resin composition 17 can fully be removed by setting the drying temperature of the board|substrate 11 to 60 degreeC or more, adhesion of foreign material etc. to the coating film 19 after drying can be suppressed. . In addition, since the curing reaction of the liquid photosensitive resin composition 17 can be suppressed by setting the drying temperature of the substrate 11 to 130° C. or less, in the photolithography process, which is a post-process, an increase in developing time and the like can be suppressed. can In addition, the drying temperature can be appropriately set depending on the number of charged substrates 11 to the drying furnace and the coating speed.

기판(11)의 건조 시간은, 1분 이상 60분 이하인 것이 바람직하고, 3분 이상 40분 이하인 것이 보다 바람직하다. 건조 시간을 1분 이상으로 함으로써, 액상 감광성 수지 조성물(17)에 포함되는 유기 용매를 충분히 제거할 수 있기 때문에, 건조 후의 도막(19)에 대한 이물 부착 등을 억제할 수 있다. 또한, 건조 시간을 60분 이하로 함으로써, 액상 감광성 수지 조성물(17)의 경화 반응을 억제할 수 있기 때문에, 후공정인 포토리소그래피 공정에 있어서, 현상 시간의 증대 등을 억제할 수 있다. 또한, 건조 시간은, 건조로로의 기판(11)의 투입 매수나 도공 속도에 의해 적절히 설정할 수 있다.It is preferable that they are 1 minute or more and 60 minutes or less, and, as for the drying time of the board|substrate 11, it is more preferable that they are 3 minutes or more and 40 minutes or less. Since the organic solvent contained in the liquid photosensitive resin composition 17 can fully be removed by setting drying time to 1 minute or more, adhesion of foreign matter to the coating film 19 after drying, etc. can be suppressed. Moreover, since the hardening reaction of the liquid photosensitive resin composition 17 can be suppressed by making drying time into 60 minutes or less, in the photolithography process which is a post process, the increase of developing time etc. can be suppressed. In addition, the drying time can be appropriately set according to the number of charged substrates 11 to the drying furnace and the coating speed.

이어서, 도포 롤(12a) 및 도포 롤(12b)의 일례에 대하여 설명한다. 도 6은, 도포 롤(12a) 및 도포 롤(12b)의 일례인 도포 롤(100)을, 그 축심을 포함하는 평면으로 절단했을 때의 단면도이다. 도 6에 나타내는 도포 롤(100)은, 원통 형상의 중공부를 갖는 금속제의 코어(110)와, 코어(110)의 외주면에 배치된 표층 롤(120)을 갖는다.Next, an example of the application roll 12a and the application roll 12b is demonstrated. Fig. 6 is a cross-sectional view when the application roll 100, which is an example of the application roll 12a and the application roll 12b, is cut along a plane including its axial center. An application roll 100 shown in FIG. 6 includes a metal core 110 having a cylindrical hollow portion and a surface layer roll 120 arranged on an outer circumferential surface of the core 110 .

표층 롤(120)은, 액상 감광성 수지 조성물(17)(도 1 참조)이 전사되는 롤이고, 예를 들어 온도 25℃의 분위기 하에서 탄력성을 갖는 고무로 구성된다. 표층 롤(120)을 구성하는 고무로서는, 특별히 한정되지 않지만, 부틸 고무, 에틸렌프로필렌 고무, 우레탄 고무, 니트릴 고무 등의 내약품성과 내마모성을 갖는 것이 바람직하다.The surface layer roll 120 is a roll onto which the liquid photosensitive resin composition 17 (see Fig. 1) is transferred, and is made of, for example, rubber having elasticity in an atmosphere at a temperature of 25°C. The rubber constituting the surface layer roll 120 is not particularly limited, but is preferably one having chemical resistance and abrasion resistance, such as butyl rubber, ethylene propylene rubber, urethane rubber, and nitrile rubber.

또한, 표층 롤(120)은, 링 형상 홈(120a)을 복수개 갖는다. 복수개의 링 형상 홈(120a)은 각각 독립되어 있다. 링 형상 홈(120a)의 단면 형상은, 특별히 한정되지 않고, V자 형상, U자 형상 등의 형상을 채용할 수 있다. 도막(19)(도 5 참조)의 외관 불량 및 도막(19)이 형성된 기판(11)(도 5 참조)의 외관 불량을 더 억제하기 위해서는, 링 형상 홈(120a)의 단면 형상이 V자 형상인 것이 바람직하다. 링 형상 홈(120a)의 피치 P는, 예를 들어 500㎛ 이상 1000㎛ 이하이다. 링 형상 홈(120a)의 개구 폭은, 예를 들어 500㎛ 이상 1000㎛ 이하이다. 링 형상 홈(120a)의 깊이는, 예를 들어 200㎛ 이상 900㎛ 이하이다.In addition, the surface layer roll 120 has a plurality of ring-shaped grooves 120a. Each of the plurality of ring-shaped grooves 120a is independent. The cross-sectional shape of the ring-shaped groove 120a is not particularly limited, and shapes such as a V-shape and a U-shape can be employed. In order to further suppress the appearance defect of the coating film 19 (see Fig. 5) and the appearance defect of the substrate 11 (see Fig. 5) on which the coating film 19 is formed, the cross-sectional shape of the ring-shaped groove 120a is V-shaped. It is desirable to be The pitch P of the ring-shaped grooves 120a is, for example, 500 μm or more and 1000 μm or less. The opening width of the ring-shaped groove 120a is, for example, 500 μm or more and 1000 μm or less. The depth of the ring-shaped groove 120a is, for example, 200 μm or more and 900 μm or less.

표층 롤(120)의 폭 W는, 기판(11)(도 1 참조)을 현수하는 방식에 따라 적절히 선택하면 된다. 예를 들어, 도 1에 나타낸 바와 같이, 기판(11)의 상단부만을 현수 지그(10)로 파지하는 경우는, 기판(11)의 횡폭보다도 표층 롤(120)의 폭 W를 넓게 하는 쪽이, 기판(11)으로의 액상 감광성 수지 조성물(17)의 도공 면적을 넓게 할 수 있기 때문에 바람직하다. 한편, 기판(11)의 좌우 양단부를 현수 지그로 파지하는 경우(도시하지 않음)는, 기판(11)의 횡폭보다도 표층 롤(120)의 폭 W를 좁게 하는 쪽이, 기판(11)의 파지 여유부를 용이하게 마련할 수 있기 때문에 바람직하다.What is necessary is just to select the width|variety W of the surface layer roll 120 suitably according to the method which suspends the board|substrate 11 (refer FIG. 1). For example, as shown in FIG. 1 , when holding only the upper end of the substrate 11 with the suspension jig 10, the width W of the surface layer roll 120 is wider than the horizontal width of the substrate 11, Since the coating area of the liquid photosensitive resin composition 17 to the board|substrate 11 can be widened, it is preferable. On the other hand, in the case of gripping both left and right ends of the substrate 11 with a suspension jig (not shown), it is better to make the width W of the surface layer roll 120 narrower than the horizontal width of the substrate 11 for gripping the substrate 11. This is preferable because the margin portion can be easily provided.

도포 롤(100)의 롤 직경 D는, 70㎜ 이상 150㎜ 이하이다. 도막(19)의 외관 불량 및 도막(19)이 형성된 기판(11)의 외관 불량을 더 억제하기 위해서는, 도포 롤(100)의 롤 직경 D는, 80㎜ 이상 140㎜ 이하인 것이 바람직하고, 90㎜ 이상 130㎜ 이하인 것이 보다 바람직하고, 100㎜ 이상 120㎜ 이하인 것이 더욱 바람직하다.The roll diameter D of the application roll 100 is 70 mm or more and 150 mm or less. In order to further suppress the appearance defect of the coating film 19 and the appearance defect of the substrate 11 on which the coating film 19 is formed, the roll diameter D of the coating roll 100 is preferably 80 mm or more and 140 mm or less, and is 90 mm It is more preferable that it is more than 130 mm, and it is more preferable that it is 100 mm or more and 120 mm or less.

이어서, 본 실시 형태에 관한 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법의 요소에 대하여, 상세하게 설명한다.Next, elements of the manufacturing method of the flexible printed circuit board according to the present embodiment will be described in detail.

[필름 형상 지지체][Film-shaped support]

필름 형상 지지체로서는, 특별히 한정되지 않지만, 내열성, 내약품성 및 치수 안정성의 관점에서, 폴리이미드, 폴리아미드, 폴리에스테르, 폴리카르보네이트, 폴리아릴레이트, 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리클로로트리플루오로에틸렌, 폴리불화비닐리덴, 폴리불화비닐, 퍼플루오로알콕시불소 수지, 사불화에틸렌·육불화프로필렌 공중합체, 에틸렌·사불화에틸렌 공중합체 및 에틸렌·클로로트리플루오로에틸렌 공중합체로 이루어지는 군으로부터 선택되는 일종 이상의 폴리머를 포함하는 필름 형상 지지체가 바람직하고, 폴리이미드를 포함하는 필름 형상 지지체가 보다 바람직하다. 필름 형상 지지체는, 폴리머 이외의 성분으로서, 예를 들어 필러 등의 첨가제를 포함해도 된다. 단, 유연성이 우수한 필름 형상 지지체로 하기 위해서는, 필름 형상 지지체 중의 폴리머의 함유율이, 필름 형상 지지체 전량에 대하여, 70중량% 이상인 것이 바람직하고, 80중량% 이상인 것이 보다 바람직하고, 90중량% 이상인 것이 더욱 바람직하고, 100중량%여도 된다.The film-shaped support is not particularly limited, but from the viewpoints of heat resistance, chemical resistance and dimensional stability, polyimide, polyamide, polyester, polycarbonate, polyarylate, polytetrafluoroethylene, polychlorotrifluoro Selected from the group consisting of ethylene, polyvinylidene fluoride, polyvinyl fluoride, perfluoroalkoxy fluororesin, tetrafluoroethylene/hexafluoropropylene copolymer, ethylene/tetrafluoroethylene copolymer, and ethylene/chlorotrifluoroethylene copolymer A film-like support containing at least one type of polymer is preferred, and a film-like support containing polyimide is more preferred. The film-shaped support may also contain, for example, additives such as fillers as components other than the polymer. However, in order to obtain a film-like support excellent in flexibility, the polymer content in the film-like support is preferably 70% by weight or more, more preferably 80% by weight or more, and more preferably 90% by weight or more with respect to the total amount of the film-like support. More preferably, it may be 100% by weight.

[배선][Wiring]

필름 형상 지지체에 마련되는 배선으로서는, 특별히 한정되지 않지만, 배선 형상 안정성 및 배선 미세화의 관점에서, 전해 구리박 혹은 압연 구리박을 서브트랙티브법으로 에칭함으로써 형성된 배선, 또는 구리 페이스트 혹은 은 페이스트를 필름 형상 지지체 위에 스크린 인쇄함으로써 형성된 배선이 바람직하다.The wiring provided on the film-shaped support is not particularly limited, but from the viewpoint of wiring shape stability and wiring refinement, wiring formed by etching electrolytic copper foil or rolled copper foil by a subtractive method, or copper paste or silver paste as a film A wiring formed by screen printing on a shape support is preferred.

[구멍][hole]

기판에 마련되는 구멍으로서는, 특별히 한정되지 않지만, 구멍 형상 안정성 및 층간 접속 신뢰성의 관점에서, 레이저 가공기(더 구체적으로는, 탄산 가스 레이저, UV 레이저, YAG 레이저, 엑시머 레이저 등을 사용한 가공기)나 NC 드릴 가공기 등을 사용하여, 필름 형상 지지체를 갖는 플렉시블 동장 적층판에 구멍을 형성하고, 구멍 내를, 클리닝 처리(디스미어 처리) 및 카본 처리한 후, 구리 도금 처리(무전해 구리 도금 처리, 전해 구리 도금 처리 등)한 것이 바람직하다.The hole provided in the substrate is not particularly limited, but from the viewpoint of hole shape stability and interlayer connection reliability, a laser processing machine (more specifically, a processing machine using a carbon dioxide laser, UV laser, YAG laser, excimer laser, etc.) or NC A hole is formed in a flexible copper-clad laminate having a film-shaped support using a drilling machine or the like, and the inside of the hole is subjected to cleaning treatment (desmear treatment) and carbon treatment, followed by copper plating treatment (electrolytic copper plating treatment, electrolytic copper Plating treatment, etc.) is preferred.

[액상 감광성 수지 조성물][Liquid photosensitive resin composition]

액상 감광성 수지 조성물로서는, 특별히 한정되지 않지만, 도포성, 패터닝성 및 경화성의 관점에서, 결합제 폴리머(이하, 「(A) 성분」이라고 기재하는 경우가 있음), 광 라디칼 중합 개시제(이하, 「(B) 성분」이라고 기재하는 경우가 있음), 열경화성 수지(이하, 「(C) 성분」이라고 기재하는 경우가 있음), 평균 입자경 0.01㎛ 이상 100㎛ 이하의 입자(이하, 「(D) 성분」이라고 기재하는 경우가 있음) 및 유기 용매(이하, 「(E) 성분」이라고 기재하는 경우가 있음)를 함유하는 액상 감광성 수지 조성물이 바람직하다.The liquid photosensitive resin composition is not particularly limited, but from the viewpoints of applicability, patterning properties and curability, a binder polymer (hereinafter sometimes referred to as "component (A)"), a photoradical polymerization initiator (hereinafter referred to as "( B) component”), thermosetting resin (hereinafter sometimes referred to as “component (C)”), particles having an average particle diameter of 0.01 μm or more and 100 μm or less (hereinafter “component (D)”) A liquid photosensitive resin composition containing (sometimes described as “component (E)”) and an organic solvent (hereinafter sometimes described as “component (E)”) is preferred.

{(A) 성분}{component (A)}

(A) 성분으로서는, 예를 들어 (E) 성분에 대하여 가용성이고, 또한 폴리에틸렌글리콜 환산의 중량 평균 분자량이 1,000 이상 1,000,000 이하인 폴리머를 사용할 수 있다. 폴리에틸렌글리콜 환산의 중량 평균 분자량의 측정 방법은, 후술하는 실시예와 동일한 방법 또는 그것에 준하는 방법이다. 또한, 「(A) 성분이 (E) 성분에 대하여 가용성이다」란, (E) 성분 100중량부에 대하여 (A) 성분을 5중량부 첨가하고, 온도 40℃에서 1시간 교반한 후, 온도 25℃까지 냉각하여 24시간 방치한 용액이, 불용해물 및 석출물이 없는 용액인 것을 의미한다.As component (A), for example, a polymer that is soluble with respect to component (E) and has a weight average molecular weight in terms of polyethylene glycol of 1,000 or more and 1,000,000 or less can be used. The method for measuring the weight average molecular weight in terms of polyethylene glycol is the same method as or a method similar to that of Examples described later. In addition, "component (A) is soluble in component (E)" means that 5 parts by weight of component (A) was added to 100 parts by weight of component (E), and after stirring at a temperature of 40 ° C. for 1 hour, the temperature This means that the solution cooled to 25°C and left for 24 hours is a solution free from insoluble matter and precipitates.

(A) 성분의 중량 평균 분자량을 1,000 이상으로 함으로써, 얻어지는 경화막의 유연성이나 내약품성을 향상시킬 수 있다. 또한, (A) 성분의 중량 평균 분자량을 1,000,000 이하로 함으로써, 액상 감광성 수지 조성물의 점도가 과도하게 커지는 것을 억제할 수 있다.(A) By making the weight average molecular weight of a component into 1,000 or more, the softness|flexibility and chemical-resistance of the cured film obtained can be improved. Moreover, it can suppress that the viscosity of a liquid photosensitive resin composition becomes large too much because the weight average molecular weight of (A) component shall be 1,000,000 or less.

(A) 성분의 구체예로서는, 폴리우레탄계 수지, (메트)아크릴계 수지, 폴리비닐계 수지, 폴리스티렌계 수지, 폴리에틸렌계 수지, 폴리프로필렌계 수지, 폴리이미드계 수지, 폴리아미드계 수지, 폴리아세탈계 수지, 폴리카르보네이트계 수지, 폴리에스테르계 수지, 폴리페닐렌에테르계 수지, 폴리페닐렌술피드계 수지, 폴리에테르술폰계 수지, 폴리에테르에테르케톤계 수지 등을 들 수 있고, 이것들을 단독으로 또는 2종류 이상을 조합하여 사용할 수 있다.Specific examples of component (A) include polyurethane-based resins, (meth)acrylic-based resins, polyvinyl-based resins, polystyrene-based resins, polyethylene-based resins, polypropylene-based resins, polyimide-based resins, polyamide-based resins, and polyacetal-based resins. , polycarbonate-based resins, polyester-based resins, polyphenylene ether-based resins, polyphenylene sulfide-based resins, polyether sulfone-based resins, polyether ether ketone-based resins, and the like, these alone or Two or more types can be used in combination.

그 중에서도, 1분자 중에 우레탄 결합을 갖는 폴리머, 1분자 중에 이미드기를 갖는 폴리머, 1분자 중에 (메트)아크릴로일기를 갖는 폴리머 및 1분자 중에 카르복시기를 갖는 폴리머로 이루어지는 군으로부터 선택되는 일종 이상의 폴리머를, (A) 성분으로서 사용하는 것이 바람직하다.Among them, at least one kind of polymer selected from the group consisting of a polymer having a urethane bond in one molecule, a polymer having an imide group in one molecule, a polymer having a (meth)acryloyl group in one molecule, and a polymer having a carboxyl group in one molecule It is preferable to use as (A) component.

1분자 중에 우레탄 결합을 갖는 폴리머를 (A) 성분으로서 사용하면, 얻어지는 경화막의 저반발성 및 꺾임 내성이 향상됨과 함께, 경화막의 휨이 작아지는 경향이 있다. 또한, 1분자 중에 이미드기를 갖는 폴리머를 (A) 성분으로서 사용하면, 얻어지는 경화막의 내열성, 난연성 및 전기 절연 신뢰성이 향상되는 경향이 있다. 또한, 1분자 중에 (메트)아크릴로일기를 갖는 폴리머를 (A) 성분으로서 사용하면, 액상 감광성 수지 조성물의 감광성이 향상됨과 함께, 얻어지는 경화막의 내약품성이 향상되는 경향이 있다. 또한, 1분자 중에 카르복시기를 갖는 폴리머를 (A) 성분으로서 사용하면, 액상 감광성 수지 조성물의 알칼리 현상성이 향상됨과 함께, 얻어지는 경화막과 기판의 밀착성이 향상되는 경향이 있다.When a polymer having a urethane bond in one molecule is used as the component (A), while the low resilience and bending resistance of the obtained cured film are improved, the curvature of the cured film tends to be small. In addition, when a polymer having an imide group in one molecule is used as the component (A), the heat resistance, flame retardancy, and electrical insulation reliability of the obtained cured film tend to improve. Moreover, when the polymer which has a (meth)acryloyl group in 1 molecule is used as component (A), while the photosensitivity of a liquid photosensitive resin composition improves, the chemical resistance of the cured film obtained tends to improve. In addition, when a polymer having a carboxyl group in one molecule is used as the component (A), the alkali developability of the liquid photosensitive resin composition is improved, and the adhesion between the obtained cured film and the substrate tends to be improved.

또한, (A) 성분은, 1분자 중에 복수종의 관능기를 갖는 폴리머여도 된다. 예를 들어, (A) 성분으로서, 1분자 중에 우레탄 결합과 이미드기를 갖는 폴리머를 사용하면, 얻어지는 경화막의 저반발성, 꺾임 내성, 내열성, 난연성 및 전기 절연 신뢰성이 향상됨과 함께, 경화막의 휨이 작아지는 경향이 있다. 또한, (A) 성분으로서, 1분자 중에 우레탄 결합과 카르복시기와 (메트)아크릴로일기를 갖는 폴리머를 사용하면, 액상 감광성 수지 조성물의 감광성 및 알칼리 현상성, 얻어지는 경화막의 저반발성, 꺾임 내성 및 내약품성, 그리고 얻어지는 경화막과 기판의 밀착성이 향상됨과 함께, 경화막의 휨이 작아지는 경향이 있다. 따라서, 1분자 중에 우레탄 결합을 갖는 폴리머는, 이미드기, 카르복시기 및 (메트)아크릴로일기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 일종 이상의 관능기를 더 갖는 것이 바람직하다.Moreover, the polymer which has multiple types of functional groups in one molecule may be sufficient as (A) component. For example, as component (A), when a polymer having a urethane bond and an imide group in one molecule is used, the low resilience, bending resistance, heat resistance, flame retardancy, and electrical insulation reliability of the cured film obtained are improved, and the warpage of the cured film tends to become smaller. In addition, as component (A), when a polymer having a urethane bond, a carboxy group, and a (meth)acryloyl group in one molecule is used, the photosensitivity and alkali developability of the liquid photosensitive resin composition, the low resilience of the obtained cured film, the bending resistance and While chemical resistance and the adhesiveness of the obtained cured film and a board|substrate improve, there exists a tendency for the curvature of a cured film to become small. Therefore, it is preferable that the polymer which has a urethane bond in 1 molecule further has one or more functional groups selected from the group which consists of an imide group, a carboxy group, and a (meth)acryloyl group.

(1분자 중에 우레탄 결합을 갖는 폴리머)(Polymer having a urethane bond in one molecule)

「1분자 중에 우레탄 결합을 갖는 폴리머」란, 1분자 중에 적어도 하나의 우레탄 결합을 갖는 폴리머를 의미한다. 1분자 중에 우레탄 결합을 갖는 폴리머로서는, 예를 들어 하기 일반식 (1)로 표현되는 디올 화합물과, 하기 일반식 (2)로 표현되는 디이소시아네이트 화합물의 반응물인, 하기 일반식 (3)으로 표현되는 반복 단위를 갖는 폴리머를 들 수 있다."Polymer having a urethane bond in one molecule" means a polymer having at least one urethane bond in one molecule. As a polymer having a urethane bond in one molecule, for example, represented by the following general formula (3), which is a reaction product of a diol compound represented by the following general formula (1) and a diisocyanate compound represented by the following general formula (2) and polymers having repeating units.

Figure pct00001
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Figure pct00002
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Figure pct00003
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일반식 (1), 일반식 (2) 및 일반식 (3) 중, R1 및 X1은, 각각 독립적으로, 2가의 유기기를 나타낸다.In General Formula (1), General Formula (2) and General Formula (3), R 1 and X 1 each independently represent a divalent organic group.

일반식 (1)로 표현되는 디올 화합물로서는, 예를 들어 에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 1,3-부탄디올, 1,4-부탄디올, 1,5-펜탄디올, 네오펜틸글리콜, 3-메틸-1,5-펜탄디올, 1,6-헥산디올, 1,8-옥탄디올, 2-메틸-1,8-옥탄디올, 1,9-노난디올, 1,10-데칸디올, 1,4-시클로헥산디올, 1,4-시클로헥산디메탄올 등의 알킬렌디올; 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콜, 폴리테트라메틸렌글리콜, 테트라메틸렌글리콜과 네오펜틸글리콜의 랜덤 공중합체 등의 폴리옥시알킬렌디올; 다가 알코올과 다염기산을 반응시켜 얻어지는 폴리에스테르디올; 카르보네이트 골격을 갖는 폴리카르보네이트디올; γ-부티로락톤, ε-카프로락톤, δ-발레로락톤 등의 락톤류를 개환 부가 반응시켜 얻어지는 폴리카프로락톤 디올; 비스페놀 A, 비스페놀 A의 에틸렌옥시드 부가물, 비스페놀 A의 프로필렌옥시드 부가물, 수소 첨가 비스페놀 A, 수소 첨가 비스페놀 A의 에틸렌옥시드 부가물, 수소 첨가 비스페놀 A의 프로필렌옥시드 부가물 등의 비스페놀 A계 화합물 등을 들 수 있고, 이것들을 단독으로 또는 2종류 이상을 조합하여 사용할 수 있다.Examples of the diol compound represented by the general formula (1) include ethylene glycol, diethylene glycol, propylene glycol, 1,3-butanediol, 1,4-butanediol, 1,5-pentanediol, neopentyl glycol, and 3-butanediol. Methyl-1,5-pentanediol, 1,6-hexanediol, 1,8-octanediol, 2-methyl-1,8-octanediol, 1,9-nonanediol, 1,10-decanediol, 1, alkylene diols such as 4-cyclohexanediol and 1,4-cyclohexanedimethanol; polyoxyalkylene diols such as polyethylene glycol, polypropylene glycol, polytetramethylene glycol, and random copolymers of tetramethylene glycol and neopentyl glycol; Polyesterdiol obtained by reacting a polyhydric alcohol and a polybasic acid; polycarbonate diols having a carbonate skeleton; polycaprolactone diol obtained by subjecting lactones such as γ-butyrolactone, ε-caprolactone, and δ-valerolactone to a ring-opening addition reaction; Bisphenol A, ethylene oxide adduct of bisphenol A, propylene oxide adduct of bisphenol A, hydrogenated bisphenol A, ethylene oxide adduct of hydrogenated bisphenol A, propylene oxide adduct of hydrogenated bisphenol A, etc. A-type compounds etc. are mentioned, These can be used individually or in combination of 2 or more types.

도공 중의 롤 압력 분산성이 우수한 액상 감광성 수지 조성물을 얻기 위해, 그리고 얻어지는 경화막의 저반발성 및 꺾임 내성을 높이기 위해서는, 일반식 (1)로 표현되는 디올 화합물로서는, 폴리옥시알킬렌디올, 폴리에스테르디올, 폴리카르보네이트디올, 폴리카프로락톤디올 등의 장쇄 디올이 바람직하다.In order to obtain a liquid photosensitive resin composition excellent in roll pressure dispersibility during coating and to improve the low resilience and bending resistance of the obtained cured film, as the diol compound represented by the general formula (1), polyoxyalkylenediol, polyester Long-chain diols such as diols, polycarbonate diols, and polycaprolactone diols are preferred.

일반식 (2)로 표현되는 디이소시아네이트 화합물로서는, 예를 들어, 디페닐메탄-2,4'-디이소시아네이트, 3,2'- 또는 3,3'- 또는 4,2'- 또는 4,3'- 또는 5,2'- 또는 5,3'- 또는 6,2'- 또는 6,3'-디메틸디페닐메탄-2,4'-디이소시아네이트, 3,2'- 또는 3,3'- 또는 4,2'- 또는 4,3'- 또는 5,2'- 또는 5,3'- 또는 6,2'- 또는 6,3'-디에틸디페닐메탄-2,4'-디이소시아네이트, 3,2'- 또는 3,3'- 또는 4,2'- 또는 4,3'- 또는 5,2'- 또는 5,3'- 또는 6,2'- 또는 6,3'-디메톡시디페닐메탄-2,4'-디이소시아네이트, 디페닐메탄-4,4'-디이소시아네이트, 디페닐메탄-3,3'-디이소시아네이트, 디페닐메탄-3,4'-디이소시아네이트, 디페닐에테르-4,4'-디이소시아네이트, 벤조페논-4,4'-디이소시아네이트, 디페닐술폰-4,4'-디이소시아네이트, 트릴렌-2,4-디이소시아네이트, 트릴렌-2,6-디이소시아네이트, m-크실릴렌디이소시아네이트, p-크실릴렌디이소시아네이트, 나프탈렌-2,6-디이소시아네이트, 4,4'-[2,2-비스(4-페녹시페닐)프로판]디이소시아네이트, 수소 첨가 디페닐메탄디이소시아네이트, 수소 첨가 크실릴렌디이소시아네이트 등의 방향족 디이소시아네이트 화합물; 이소포론디이소시아네이트, 노르보르넨디이소시아네이트 등의 지환족 디이소시아네이트 화합물; 헥사메틸렌디이소시아네이트, 트리메틸헥사메틸렌디이소시아네이트, 리딘디이소시아네이트 등의 지방족 디이소시아네이트 화합물 등을 들 수 있고, 이것들을 단독으로 또는 2종류 이상을 조합하여 사용할 수 있다.Examples of the diisocyanate compound represented by the general formula (2) include diphenylmethane-2,4'-diisocyanate, 3,2'- or 3,3'- or 4,2'- or 4,3 '- or 5,2'- or 5,3'- or 6,2'- or 6,3'-dimethyldiphenylmethane-2,4'-diisocyanate, 3,2'- or 3,3'- or 4,2'- or 4,3'- or 5,2'- or 5,3'- or 6,2'- or 6,3'-diethyldiphenylmethane-2,4'-diisocyanate; 3,2'- or 3,3'- or 4,2'- or 4,3'- or 5,2'- or 5,3'- or 6,2'- or 6,3'-dimethoxydi Phenylmethane-2,4'-diisocyanate, diphenylmethane-4,4'-diisocyanate, diphenylmethane-3,3'-diisocyanate, diphenylmethane-3,4'-diisocyanate, diphenyl ether -4,4'-diisocyanate, benzophenone-4,4'-diisocyanate, diphenylsulfone-4,4'-diisocyanate, torylene-2,4-diisocyanate, torylene-2,6-di Isocyanate, m-xylylene diisocyanate, p-xylylene diisocyanate, naphthalene-2,6-diisocyanate, 4,4'-[2,2-bis(4-phenoxyphenyl)propane] diisocyanate, hydrogenation Aromatic diisocyanate compounds, such as diphenylmethane diisocyanate and hydrogenated xylylene diisocyanate; alicyclic diisocyanate compounds such as isophorone diisocyanate and norbornene diisocyanate; Aliphatic diisocyanate compounds, such as hexamethylene diisocyanate, trimethyl hexamethylene diisocyanate, and ridine diisocyanate, etc. are mentioned, These can be used individually or in combination of 2 or more types.

특히, 지환족 디이소시아네이트 화합물 및 지방족 디이소시아네이트 화합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 일종 이상은, 일반식 (2)로 표현되는 디이소시아네이트 화합물로서 사용한 경우, 감광성이 우수한 액상 감광성 수지 조성물이 얻어지기 때문에 바람직하다.In particular, when at least one selected from the group consisting of an alicyclic diisocyanate compound and an aliphatic diisocyanate compound is used as a diisocyanate compound represented by the general formula (2), a liquid photosensitive resin composition having excellent photosensitivity is obtained, so it is preferable. .

1분자 중에 우레탄 결합을 갖는 폴리머를 합성할 때는, 디올 화합물과 디이소시아네이트 화합물을, 수산기수와 이소시아네이트기수의 비율이, 이소시아네이트기/수산기=0.5 이상 2.0 이하로 되도록 배합하는 것이 바람직하다.When synthesizing a polymer having a urethane bond in one molecule, it is preferable to blend the diol compound and the diisocyanate compound so that the ratio of the number of hydroxyl groups to the number of isocyanate groups is isocyanate group/hydroxyl group = 0.5 or more and 2.0 or less.

또한, 2종류 이상의 디올 화합물을 사용하는 경우, 디이소시아네이트 화합물과의 반응은, 2종류 이상의 디올 화합물을 혼합한 후에 행해도 되고, 각각의 디올 화합물과 디이소시아네이트 화합물을 별개로 반응시켜도 된다. 또한, 디올 화합물과 디이소시아네이트 화합물을 반응시킨 후에, 얻어진 말단 이소시아네이트 화합물을 또 다른 디올 화합물과 반응시키고, 그 반응물을, 또 다른 디이소시아네이트 화합물과 반응시켜도 된다. 또한, 2종류 이상의 디이소시아네이트 화합물을 사용하는 경우도 마찬가지이다. 이와 같이 하여, 1분자 중에 우레탄 결합을 갖는 원하는 폴리머를 합성할 수 있다.In addition, when using two or more types of diol compounds, reaction with a diisocyanate compound may be performed after mixing two or more types of diol compounds, and each diol compound and diisocyanate compound may be reacted separately. Moreover, after making a diol compound and a diisocyanate compound react, you may make the obtained terminal isocyanate compound react with another diol compound, and you may make the reaction material react with another diisocyanate compound. In addition, the case where two or more types of diisocyanate compounds are used is also the same. In this way, a desired polymer having a urethane bond in one molecule can be synthesized.

디올 화합물과 디이소시아네이트 화합물의 반응 온도는, 반응 시간의 단축화 및 겔화 억제의 관점에서, 40℃ 이상 160℃ 이하인 것이 바람직하고, 60℃ 이상 150℃ 이하인 것이 보다 바람직하다. 디올 화합물과 디이소시아네이트 화합물의 반응 시간은, 출발 물질의 양이나, 채용되는 반응 조건에 의해 적절히 선택할 수 있다. 또한, 필요에 따라, 알칼리 금속, 알칼리 토류 금속, 주석, 아연, 티타늄, 코발트 등의 금속이나 반금속을 포함하는 화합물; 제3 급 아민류 등의 촉매 존재 하에서 반응을 행해도 된다.The reaction temperature of the diol compound and the diisocyanate compound is preferably 40°C or more and 160°C or less, and more preferably 60°C or more and 150°C or less, from the viewpoint of shortening the reaction time and suppressing gelation. The reaction time of the diol compound and the diisocyanate compound can be appropriately selected depending on the amount of starting materials and the reaction conditions employed. Further, if necessary, compounds containing metals or semimetals such as alkali metals, alkaline earth metals, tin, zinc, titanium, and cobalt; You may react in the presence of catalysts, such as tertiary amines.

디올 화합물과 디이소시아네이트 화합물은, 용매를 사용하지 않고 반응시킬 수도 있지만, 반응을 제어하기 위해서는, 유기 용매 중에서 반응시키는 것이 바람직하다. 여기서 사용되는 유기 용매는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 후술하는 (E) 성분의 구체예에서 예로 든 유기 용매를 사용할 수 있다.Although a diol compound and a diisocyanate compound can also be reacted without using a solvent, in order to control reaction, it is preferable to make it react in an organic solvent. Although the organic solvent used here is not specifically limited, For example, the organic solvent mentioned in the specific example of component (E) mentioned later can be used.

중합 반응의 반응성을 높이기 위해서는, 반응 시에 사용되는 유기 용매의 양이, 반응 용액 중의 용질의 중량 농도, 즉 용액 농도가 5중량% 이상 90중량% 이하가 되는 양인 것이 바람직하다. 반응 용액 중의 용질의 중량 농도는, 보다 바람직하게는 10중량% 이상 80중량% 이하이다.In order to increase the reactivity of the polymerization reaction, the amount of the organic solvent used during the reaction is preferably such that the weight concentration of the solute in the reaction solution, that is, the solution concentration is 5% by weight or more and 90% by weight or less. The weight concentration of the solute in the reaction solution is more preferably 10% by weight or more and 80% by weight or less.

1분자 중에 우레탄 결합과 (메트)아크릴로일기를 갖는 폴리머는, 예를 들어 디올 화합물 및 디이소시아네이트 화합물에 더하여, 하기 일반식 (4)로 표현되는 화합물(이하, 「화합물 (4)」라고 기재하는 경우가 있음) 및 하기 일반식 (5)로 표현되는 화합물(이하, 「화합물 (5)」라고 기재하는 경우가 있음)로 이루어지는 군으로부터 선택되는 일종 이상을 모노머로서 사용하여, 중합 반응을 행함으로써 얻어진다.The polymer having a urethane bond and a (meth)acryloyl group in one molecule is, for example, in addition to a diol compound and a diisocyanate compound, a compound represented by the following general formula (4) (hereinafter referred to as "compound (4)" A polymerization reaction is performed using at least one selected from the group consisting of a compound represented by general formula (5) (hereinafter sometimes referred to as "compound (5)") and a compound represented by the following general formula (5) as a monomer. obtained by doing

Figure pct00004
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일반식 (4) 중, m은 1 이상 3 이하의 정수를 나타내고, R2는 m+1가의 유기기를 나타내고, R3은 수소 원자 또는 메틸기를 나타낸다.In general formula (4), m represents an integer of 1 or more and 3 or less, R 2 represents an m+1 valent organic group, and R 3 represents a hydrogen atom or a methyl group.

Figure pct00005
Figure pct00005

일반식 (5) 중, n은 1 이상 3 이하의 정수를 나타내고, X2는 n+1가의 유기기를 나타내고, X3은 수소 원자 또는 메틸기를 나타낸다.In general formula (5), n represents an integer of 1 or more and 3 or less, X 2 represents an n+1 valent organic group, and X 3 represents a hydrogen atom or a methyl group.

화합물 (4)로서는, 예를 들어 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메트)아크릴레이트, 2-히드록시부틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필(메트)아크릴레이트, 2-히드록시-1-아크릴옥시-3-메타크릴옥시프로판, o-페닐페놀글리시딜에테르(메트)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜 모노(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트, 트리스(2-히드록시에틸)이소시아누레이트디(메트)아크릴레이트, 1,4-시클로헥산디메탄올 모노(메트)아크릴레이트, 4-히드록시페닐(메트)아크릴레이트, 2-(4-히드록시페닐)에틸(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있고, 이것들을 단독으로 또는 2종류 이상을 조합하여 사용할 수 있다.As compound (4), for example, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, 2-hydroxypropyl (meth)acrylate, 2-hydroxybutyl (meth)acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxy Cypropyl (meth)acrylate, 2-hydroxy-1-acryloxy-3-methacryloxypropane, o-phenylphenol glycidyl ether (meth)acrylate, polyethylene glycol mono(meth)acrylate, pentaeryth Lithol tri(meth)acrylate, tris(2-hydroxyethyl)isocyanurate di(meth)acrylate, 1,4-cyclohexanedimethanol mono(meth)acrylate, 4-hydroxyphenyl(meth) Acrylate, 2-(4-hydroxyphenyl)ethyl (meth)acrylate, etc. are mentioned, These can be used individually or in combination of 2 or more types.

화합물 (5)로서는, 예를 들어 2-아크릴로일옥시에틸이소시아네이트, 2-메타크릴로일옥시에틸이소시아네이트, 1,1-(비스아크릴로일옥시메틸)에틸이소시아네이트, 2-(2-메타크릴로일옥시에틸옥시)에틸이소시아네이트 등을 들 수 있고, 이것들을 단독으로 또는 2종류 이상을 조합하여 사용할 수 있다.Examples of the compound (5) include 2-acryloyloxyethyl isocyanate, 2-methacryloyloxyethyl isocyanate, 1,1-(bisacryloyloxymethyl)ethyl isocyanate, and 2-(2-methacrylic acid). Royloxyethyloxy) ethyl isocyanate etc. are mentioned, These can be used individually or in combination of 2 or more types.

1분자 중에 우레탄 결합과 카르복시기를 갖는 폴리머는, 예를 들어 디올 화합물 및 디이소시아네이트 화합물에 더하여, 하기 일반식 (6)으로 표현되는 화합물(이하, 「화합물 (6)」이라고 기재하는 경우가 있음)을 모노머로서 사용하여, 중합 반응을 행함으로써 얻어진다.A polymer having a urethane bond and a carboxyl group in one molecule is, for example, a compound represented by the following general formula (6) in addition to a diol compound and a diisocyanate compound (hereinafter sometimes referred to as "compound (6)") It is obtained by carrying out a polymerization reaction using as a monomer.

Figure pct00006
Figure pct00006

일반식 (6) 중, R4는 3가의 유기기를 나타낸다.In General Formula (6), R 4 represents a trivalent organic group.

화합물 (6)으로서는, 예를 들어 2,2-비스(히드록시메틸)프로피온산, 2,2-비스(2-히드록시에틸)프로피온산, 2,2-비스(3-히드록시프로필)프로피온산, 2,3-디히드록시-2-메틸프로피온산, 2,2-비스(히드록시메틸)부탄산, 2,2-비스(2-히드록시에틸)부탄산, 2,2-비스(3-히드록시프로필)부탄산, 2,3-디히드록시부탄산, 2,4-디히드록시-3,3-디메틸부탄산, 2,3-디히드록시헥사데칸산, 2,3-디히드록시벤조산, 2,4-디히드록시벤조산, 2,5-디히드록시벤조산, 2,6-디히드록시벤조산, 3,4-디히드록시벤조산, 3,5-디히드록시벤조산 등을 들 수 있고, 이것들을 단독으로 또는 2종류 이상을 조합하여 사용할 수 있다.As compound (6), for example, 2,2-bis(hydroxymethyl)propionic acid, 2,2-bis(2-hydroxyethyl)propionic acid, 2,2-bis(3-hydroxypropyl)propionic acid, 2 ,3-dihydroxy-2-methylpropionic acid, 2,2-bis(hydroxymethyl)butanoic acid, 2,2-bis(2-hydroxyethyl)butanoic acid, 2,2-bis(3-hydroxy propyl)butanoic acid, 2,3-dihydroxybutanoic acid, 2,4-dihydroxy-3,3-dimethylbutanoic acid, 2,3-dihydroxyhexadecanoic acid, 2,3-dihydroxybenzoic acid , 2,4-dihydroxybenzoic acid, 2,5-dihydroxybenzoic acid, 2,6-dihydroxybenzoic acid, 3,4-dihydroxybenzoic acid, 3,5-dihydroxybenzoic acid, etc. , These can be used individually or in combination of 2 or more types.

액상 감광성 수지 조성물의 감광성을 높이기 위해서는, 지방족계의 화합물 (6)을 사용하는 것이 바람직하다.In order to improve the photosensitivity of the liquid photosensitive resin composition, it is preferable to use an aliphatic compound (6).

1분자 중에 우레탄 결합과 이미드기를 갖는 폴리머는, 예를 들어 디올 화합물 및 디이소시아네이트 화합물에 더하여, 테트라카르복실산 이무수물을 모노머로서 사용하여, 중합 반응을 행함으로써 얻어진다.A polymer having a urethane bond and an imide group in one molecule is obtained, for example, by conducting a polymerization reaction using tetracarboxylic dianhydride as a monomer in addition to a diol compound and a diisocyanate compound.

테트라카르복실산 이무수물로서는, 예를 들어 피로멜리트산 이무수물, 3,3', 4,4'-비페닐테트라카르복실산 이무수물, p-페닐렌비스(트리멜리테이트 무수물), 2,3,6,7-나프탈렌테트라카르복실산 이무수물, 1,2,5,6-나프탈렌테트라카르복실산 이무수물, 2,2',3,3'-비페닐테트라카르복실산 이무수물, 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복실산 이무수물, 4,4'-옥시디프탈산 무수물, 9,9-비스(3,4-디카르복시페닐)플루오렌 이무수물, 4,4'-(헥사플루오로이소프로필리덴)디프탈산 무수물, 디시클로헥실-3,3',4,4'-테트라카르복실산 이무수물, 1,2,4,5-시클로헥산테트라카르복실산 이무수물, 1,2,3,4-시클로부탄테트라카르복실산 이무수물, 2,2-비스[4-(3,4-디카르복시페녹시)페닐]프로판 이무수물 등을 들 수 있고, 이것들을 단독으로 또는 2종류 이상을 조합하여 사용할 수 있다.As tetracarboxylic dianhydride, for example, pyromellitic dianhydride, 3,3', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, p-phenylene bis(trimellitate anhydride), 2, 3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,2',3,3'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3 ,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic anhydride, 9,9-bis(3,4-dicarboxyphenyl)fluorene dianhydride, 4,4 '-(hexafluoroisopropylidene)diphthalic anhydride, dicyclohexyl-3,3',4,4'-tetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride water, 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis[4-(3,4-dicarboxyphenoxy)phenyl]propane dianhydride, and the like; It can be used individually or in combination of 2 or more types.

(1분자 중에 이미드기를 갖는 폴리머)(Polymer having an imide group in one molecule)

「1분자 중에 이미드기를 갖는 폴리머」란, 1분자 중에 적어도 하나의 이미드기를 갖는 폴리머를 의미한다. 1분자 중에 이미드기를 갖는 폴리머로서는, 예를 들어 상술한 1분자 중에 우레탄 결합과 이미드기를 갖는 폴리머를 들 수 있다. 또한, 예를 들어 테트라카르복실산 이무수물(더 구체적으로는, 상술한 1분자 중에 우레탄 결합과 이미드기를 갖는 폴리머를 합성하기 위한 테트라카르복실산 이무수물로서 예로 든 화합물 등)과, 디아민을 반응시킴으로써, 1분자 중에 이미드기를 갖는 폴리머를 얻을 수도 있다."Polymer having an imide group in one molecule" means a polymer having at least one imide group in one molecule. As a polymer which has an imide group in one molecule, the polymer which has a urethane bond and an imide group in one molecule mentioned above is mentioned, for example. Further, for example, tetracarboxylic dianhydride (more specifically, the compounds exemplified as tetracarboxylic dianhydride for synthesizing a polymer having a urethane bond and an imide group in one molecule described above) and diamine By reacting, a polymer having an imide group in one molecule can also be obtained.

1분자 중에 이미드기를 갖는 폴리머를 얻기 위한 원료가 되는 디아민으로서는, 예를 들어 p-페닐렌디아민, 4,4'-디아미노벤즈아닐리드, 2,2'-비스(트리플루오로메틸)벤지딘, 9,9-비스(4-아미노페닐)플루오렌, 4-아미노페닐-4-아미노벤조에이트, 1,4-디아미노시클로헥산, m-페닐렌디아민, 4,4'-옥시디아닐린, 3,4'-옥시디아닐린, 2,2'-비스(트리플루오로메틸)-4,4'-디아미노디페닐에테르, N,N'-비스(4-아미노페닐)테레프탈아미드, 4,4'-디아미노디페닐술폰, m-톨리딘, o-톨리딘, 4,4'-비스(4-아미노페녹시)비페닐, 2-(4-아미노페닐)-6-아미노벤조옥사졸, 3,5-디아미노벤조산, 4,4'-디아미노-3,3'-디히드록시비페닐, 4,4'-메틸렌비스(시클로헥산아민), 1,3-비스(3-아미노프로필)테트라메틸디실록산 등을 들 수 있고, 이것들을 단독으로 또는 2종류 이상을 조합하여 사용할 수 있다.As diamine used as a raw material for obtaining a polymer having an imide group in one molecule, for example, p-phenylenediamine, 4,4'-diaminobenzanilide, 2,2'-bis(trifluoromethyl)benzidine, 9,9-bis(4-aminophenyl)fluorene, 4-aminophenyl-4-aminobenzoate, 1,4-diaminocyclohexane, m-phenylenediamine, 4,4'-oxydianiline, 3 ,4'-oxydianiline, 2,2'-bis(trifluoromethyl)-4,4'-diaminodiphenyl ether, N,N'-bis(4-aminophenyl)terephthalamide, 4,4 '-diaminodiphenylsulfone, m-tolidine, o-tolidine, 4,4'-bis(4-aminophenoxy)biphenyl, 2-(4-aminophenyl)-6-aminobenzoxazole, 3,5-diaminobenzoic acid, 4,4'-diamino-3,3'-dihydroxybiphenyl, 4,4'-methylenebis(cyclohexanamine), 1,3-bis(3-aminopropyl ) Tetramethyldisiloxane etc. can be mentioned, These can be used individually or in combination of 2 or more types.

테트라카르복실산 무수물과 디아민을 반응시키는 방법으로서는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 하기 방법 1 내지 3에 나타내는 방법을 들 수 있다.Although it does not specifically limit as a method of making tetracarboxylic acid anhydride and diamine react, For example, the method shown to the following methods 1-3 is mentioned.

방법 1: 테트라카르복실산 이무수물을 유기 용제 중에 분산 또는 용해시킨 용액 중에, 디아민을 첨가하여 반응시켜 폴리아미드산 용액을 조제한다. 디아민의 총 첨가량은, 테트라카르복실산 이무수물 1몰에 대하여, 0.50몰 이상 1.50몰 이하의 비율이 되도록 조정하는 것이 바람직하다. 테트라카르복실산 이무수물과 디아민의 반응이 종료된 후, 얻어진 폴리아미드산 용액을, 100℃ 이상 300℃ 이하, 보다 바람직하게는, 150℃ 이상 250℃ 이하로 가열하여 이미드화를 행한다.Method 1: In a solution obtained by dispersing or dissolving tetracarboxylic dianhydride in an organic solvent, diamine is added and reacted to prepare a polyamic acid solution. It is preferable to adjust the total addition amount of diamine so that it may become a ratio of 0.50 mol or more and 1.50 mol or less with respect to 1 mol of tetracarboxylic dianhydride. After the reaction between tetracarboxylic dianhydride and diamine is completed, the resulting polyamic acid solution is heated to 100°C or more and 300°C or less, more preferably 150°C or more and 250°C or less, to imidize.

방법 2: 상기 방법 1과 동일한 방법으로 폴리아미드산 용액을 조제한다. 조제한 폴리아미드산 용액 중에 이미드화 촉매(바람직하게는, 피리딘, 피콜린, 이소퀴놀린, 트리메틸아민, 트리에틸아민, 트리부틸아민 등의 제3급 아민) 및 탈수제(무수 아세트산 등)를 첨가하고, 60℃ 이상 180℃ 이하로 가열하여, 이미드화를 행한다.Method 2: A polyamic acid solution was prepared in the same manner as in Method 1 above. An imidation catalyst (preferably, a tertiary amine such as pyridine, picoline, isoquinoline, trimethylamine, triethylamine, or tributylamine) and a dehydrating agent (such as acetic anhydride) are added to the prepared polyamic acid solution, Imidization is performed by heating to 60°C or higher and 180°C or lower.

방법 3: 상기 방법 1과 동일한 방법으로 폴리아미드산 용액을 조제한다. 조제한 폴리아미드산 용액을, 100℃ 이상 250℃ 이하로 설정한 진공 오븐 내에 넣고, 감압 하에서 가열하여 이미드화를 행한다.Method 3: A polyamic acid solution was prepared in the same manner as in Method 1 above. The prepared polyamic acid solution is placed in a vacuum oven set at 100°C or higher and 250°C or lower, and heated under reduced pressure to imidize.

(1분자 중에 (메트)아크릴로일기를 갖는 폴리머)(Polymer having a (meth)acryloyl group in one molecule)

「1분자 중에 (메트)아크릴로일기를 갖는 폴리머」란, 1분자 중에 적어도 하나의 (메트)아크릴로일기를 갖는 폴리머를 의미한다. 1분자 중에 (메트)아크릴로일기를 갖는 폴리머로서는, 예를 들어 상술한 1분자 중에 우레탄 결합과 (메트)아크릴로일기를 갖는 폴리머를 들 수 있다. 또한, 예를 들어 에폭시 수지와, (메트)아크릴산을 반응시킴으로써, 1분자 중에 (메트)아크릴로일기를 갖는 폴리머를 얻을 수도 있다."Polymer having a (meth)acryloyl group in one molecule" means a polymer having at least one (meth)acryloyl group in one molecule. As a polymer which has a (meth)acryloyl group in 1 molecule, the polymer which has a urethane bond and a (meth)acryloyl group in 1 molecule mentioned above is mentioned, for example. Moreover, the polymer which has a (meth)acryloyl group in 1 molecule can also be obtained by making an epoxy resin and (meth)acrylic acid react, for example.

1분자 중에 (메트)아크릴로일기를 갖는 폴리머를 얻기 위한 원료가 되는 에폭시 수지로서는, 예를 들어 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 비스페놀 S형 에폭시 수지, 수소 첨가 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비페닐형 에폭시 수지, 페녹시형 에폭시 수지, 나프탈렌형 에폭시 수지, 페놀노볼락형 에폭시 수지, 크레졸노볼락형 에폭시 수지, 트리스페놀메탄형 에폭시 수지, 디시클로펜타디엔형 에폭시 수지, 아민형 에폭시 수지, 가요성 에폭시 수지, 우레탄 변성 에폭시 수지, 고무 변성 에폭시 수지, 킬레이트 변성 에폭시 수지, 복소환 함유 에폭시 수지 등을 들 수 있고, 이것들을 단독으로 또는 2종류 이상을 조합하여 사용할 수 있다.As an epoxy resin used as a raw material for obtaining a polymer having a (meth)acryloyl group in one molecule, for example, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin , Biphenyl type epoxy resin, phenoxy type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, trisphenolmethane type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, amine type epoxy resin , flexible epoxy resins, urethane-modified epoxy resins, rubber-modified epoxy resins, chelate-modified epoxy resins, heterocycle-containing epoxy resins, and the like, and these may be used alone or in combination of two or more.

비스페놀 A형 에폭시 수지의 구체예로서는, 미츠비시 케미컬사제의 상품명 jER(등록 상표) 828, jER(등록 상표) 1001, jER(등록 상표) 1002, ADEKA사제의 상품명 아데카 레진(등록 상표) EP-4100E, 아데카 레진(등록 상표) EP-4300E, 닛폰 가야쿠사제의 상품명 RE-310S, RE-410S, DIC사제의 상품명 에피클론 840S, 에피클론 850S, 에피클론 1050, 에피클론 7050, 닛테츠 에폭시 제조사제의 상품명 에포토토(등록 상표) YD-115, 에포토토(등록 상표) YD-127, 에포토토(등록 상표) YD-128 등을 들 수 있다.As a specific example of the bisphenol A type epoxy resin, Mitsubishi Chemical Corporation brand name jER (registered trademark) 828, jER (registered trademark) 1001, jER (registered trademark) 1002, ADEKA Corporation brand name Adeka Resin (registered trademark) EP-4100E, Adeka Resin (registered trademark) EP-4300E, trade names RE-310S, RE-410S, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade names manufactured by DIC, Epiclon 840S, Epiclon 850S, Epiclon 1050, Epiclon 7050, manufactured by Nippon-Tsu Epoxy Co., Ltd. trade names EPOTOTO (registered trademark) YD-115, EPOTOTO (registered trademark) YD-127, EPOTOTO (registered trademark) YD-128, and the like.

비스페놀 F형 에폭시 수지의 구체예로서는, 미츠비시 케미컬사제의 상품명 jER(등록 상표) 806, jER(등록 상표) 807, ADEKA사제의 상품명 아데카 레진(등록 상표) EP-4901E, 아데카 레진(등록 상표) EP-4930, 아데카 레진(등록 상표) EP-4950, 닛폰 가야쿠사제의 상품명 RE-303S, RE-304S, RE-403S, RE-404S, DIC사제의 상품명 에피클론 830, 에피클론 835, 닛테츠 에폭시 제조사제의 상품명 에포토토(등록 상표) YDF-170, 에포토토(등록 상표) YDF-175S, 에포토토(등록 상표) YDF-2001 등을 들 수 있다.As a specific example of the bisphenol F-type epoxy resin, trade name jER (registered trademark) 806, jER (registered trademark) 807 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, trade name Adeka Resin (registered trademark) EP-4901E manufactured by ADEKA, Adeka Resin (registered trademark) EP-4930, Adeka Resin (registered trademark) EP-4950, trade names RE-303S, RE-304S, RE-403S, RE-404S manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., trade names manufactured by DIC Corporation Epiclone 830, Epiclone 835, Nis Trade names EPOTOTO (registered trademark) YDF-170, EPOTOTO (registered trademark) YDF-175S, EPOTOTO (registered trademark) YDF-2001 and the like available from Tetsu Epoxy Co., Ltd. are exemplified.

비스페놀 S형 에폭시 수지의 구체예로서는, DIC사제의 상품명 에피클론 EXA-1514 등을 들 수 있다.As a specific example of a bisphenol S-type epoxy resin, DIC Corporation brand name Epiclon EXA-1514 etc. are mentioned.

수소 첨가 비스페놀 A형 에폭시 수지의 구체예로서는, 미츠비시 케미컬사제의 상품명 jER(등록 상표) YX8000, jER(등록 상표) YX8034, jER(등록 상표) YL7170, ADEKA사제의 상품명 아데카 레진(등록 상표) EP-4080E, DIC사제의 상품명 에피클론 EXA-7015, 닛테츠 에폭시 제조사제의 상품명 에포토토(등록 상표) YD-3000, 에포토토(등록 상표) YD-4000D 등을 들 수 있다.As a specific example of hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, trade name jER (registered trademark) YX8000 by Mitsubishi Chemical Corporation, jER (registered trademark) YX8034, jER (registered trademark) YL7170, trade name Adeka Resin (registered trademark) EP- by ADEKA Corporation 4080E, trade name Epiclone EXA-7015 manufactured by DIC Corporation, trade name EPOTOTO (registered trademark) YD-3000 manufactured by Nippontsu Epoxy Co., Ltd., EPOTOTO (registered trademark) YD-4000D, and the like.

비페닐형 에폭시 수지의 구체예로서는, 미츠비시 케미컬사제의 상품명 jER(등록 상표) YX4000, jER(등록 상표) YL6121H, jER(등록 상표) YL6640, jER(등록 상표) YL6677, 닛폰 가야쿠사제의 상품명 NC-3000, NC-3000H 등을 들 수 있다.As a specific example of the biphenyl type epoxy resin, trade name jER (registered trademark) YX4000 by Mitsubishi Chemical Corporation, jER (registered trademark) YL6121H, jER (registered trademark) YL6640, jER (registered trademark) YL6677, trade name NC- by Nippon Kayaku Co., Ltd. 3000, NC-3000H, etc. are mentioned.

페녹시형 에폭시 수지의 구체예로서는, 미츠비시 케미컬사제의 상품명 jER(등록 상표) 1256, jER(등록 상표) 4250, jER(등록 상표) 4275 등을 들 수 있다.As a specific example of a phenoxy-type epoxy resin, the trade name jER (registered trademark) 1256, jER (registered trademark) 4250, jER (registered trademark) 4275 by Mitsubishi Chemical Corporation, etc. are mentioned.

나프탈렌형 에폭시 수지의 구체예로서는, DIC사제의 상품명 에피클론 HP-4032, 에피클론 HP-4700, 에피클론 HP-4200, 닛폰 가야쿠사제의 상품명 NC-7000L 등을 들 수 있다.Specific examples of the naphthalene type epoxy resin include Epiclon HP-4032, Epiclon HP-4700, Epiclone HP-4200, manufactured by DIC Corporation, and NC-7000L, manufactured by Nippon Kayaku.

페놀노볼락형 에폭시 수지의 구체예로서는, 미츠비시 케미컬사제의 상품명 jER(등록 상표) 152, jER(등록 상표) 154, 닛폰 가야쿠사제의 상품명 EPPN(등록 상표)-201-L, DIC사제의 상품명 에피클론 N-740, 에피클론 N-770, 닛테츠 에폭시 제조사제의 상품명 에포토토(등록 상표) YDPN-638 등을 들 수 있다.Specific examples of the phenol novolac type epoxy resin include jER (registered trademark) 152 and jER (registered trademark) 154 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, EPPN (registered trademark) -201-L manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. and trade name Epi by DIC Corporation. Clone N-740, Epiclon N-770, trade name EPOTOTO (registered trademark) YDPN-638 manufactured by Nippon-Tsu Epoxy Co., Ltd., etc. are mentioned.

크레졸 노볼락형 에폭시 수지의 구체예로서는, 닛폰 가야쿠사제의 상품명 EOCN(등록 상표)-1020, EOCN(등록 상표)-102S, EOCN(등록 상표)-103S, EOCN(등록 상표)-104S, DIC사제의 상품명 에피클론 N-660, 에피클론 N-670, 에피클론 N-680, 에피클론 N-695 등을 들 수 있다.Specific examples of the cresol novolak type epoxy resin include EOCN (registered trademark) -1020, EOCN (registered trademark) -102S, EOCN (registered trademark) -103S, EOCN (registered trademark) -104S, manufactured by DIC Corporation, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. trade names Epiclone N-660, Epiclone N-670, Epiclone N-680, Epiclone N-695 and the like.

트리스페놀메탄형 에폭시 수지의 구체예로서는, 닛폰 가야쿠사제의 상품명 EPPN(등록 상표)-501H, EPPN(등록 상표)-501HY, EPPN(등록 상표)-502H 등을 들 수 있다.As a specific example of a trisphenolmethane type|mold epoxy resin, Nippon Kayaku Co., Ltd. brand name EPPN (registered trademark) -501H, EPPN (registered trademark) -501HY, EPPN (registered trademark) -502H, etc. are mentioned.

디시클로펜타디엔형 에폭시 수지의 구체예로서는, 닛폰 가야쿠사제의 상품명 XD-1000, DIC사제의 상품명 에피클론 HP-7200 등을 들 수 있다.As a specific example of the dicyclopentadiene type epoxy resin, Nippon Kayaku Co., Ltd. product name XD-1000, DIC company product name Epiclon HP-7200, etc. are mentioned.

아민형 에폭시 수지의 구체예로서는, 미츠비시 케미컬사제의 상품명 jER(등록 상표) 604, jER(등록 상표) 630, 닛테츠 에폭시 제조사제의 상품명 에포토토(등록 상표) YH-434, 에포토토(등록 상표) YH-434L, 미츠비시 가스 가가쿠사제의 상품명 TETRAD(등록 상표)-X, TERRAD(등록 상표)-C 등을 들 수 있다.As specific examples of the amine-type epoxy resin, trade names jER (registered trademark) 604 and jER (registered trademark) 630 manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd., trade names Epototo (registered trademark) YH-434 and Epototo (registered trademark) manufactured by Nippon Epoxy Co., Ltd. trademark) YH-434L, trade names TETRAD (registered trademark) -X, TERRAD (registered trademark) -C manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., and the like.

가요성 에폭시 수지의 구체예로서는, 미츠비시 케미컬사제의 상품명 jER(등록 상표) 871, jER(등록 상표) 872, jER(등록 상표) YL7175, jER(등록 상표) YL7217, DIC사제의 상품명 에피클론 EXA-4850 등을 들 수 있다.As specific examples of the flexible epoxy resin, trade names jER (registered trademark) 871, jER (registered trademark) 872, jER (registered trademark) YL7175, jER (registered trademark) YL7217 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, trade name Epiclone EXA-4850 manufactured by DIC Corporation etc. can be mentioned.

우레탄 변성 에폭시 수지의 구체예로서는, ADEKA사제의 상품명 아데카 레진(등록 상표) EPU-6, 아데카 레진(등록 상표) EPU-73, 아데카 레진(등록 상표) EPU-78-11 등을 들 수 있다.Specific examples of the urethane-modified epoxy resin include Adeka Resin (registered trademark) EPU-6, Adeka Resin (registered trademark) EPU-73, and Adeka Resin (registered trademark) EPU-78-11 manufactured by ADEKA. there is.

고무 변성 에폭시 수지의 구체예로서는, ADEKA사제의 상품명 아데카 레진(등록 상표) EPR-4023, 아데카 레진(등록 상표) EPR-4026, 아데카 레진(등록 상표) EPR-1309 등을 들 수 있다.Specific examples of rubber-modified epoxy resins include Adeka Resin (registered trademark) EPR-4023, Adeka Resin (registered trademark) EPR-4026, and Adeka Resin (registered trademark) EPR-1309, both manufactured by ADEKA.

킬레이트 변성 에폭시 수지의 구체예로서는, ADEKA사제의 상품명 아데카 레진(등록 상표) EP-49-10, 아데카 레진(등록 상표) EP-49-20 등을 들 수 있다.Specific examples of the chelate-modified epoxy resin include Adeka Resin (registered trademark) EP-49-10, Adeka Resin (registered trademark) EP-49-20, etc., manufactured by ADEKA.

복소환 함유 에폭시 수지의 구체예로서는, 닛산 가가쿠사제의 상품명 TEPIC(등록 상표) 등을 들 수 있다.As a specific example of a heterocyclic containing epoxy resin, the brand name TEPIC (trademark) by Nissan Chemical Industries, Ltd., etc. are mentioned.

에폭시 수지와 (메트)아크릴산을 반응시키는 방법으로서는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 에폭시 수지를 유기 용제 중에 분산 또는 용해시킨 용액 중에, (메트)아크릴산 및 에스테르화 촉매(예를 들어, 트리메틸아민, 트리에틸아민 등의 제3 급 아민; 트리페닐포스핀 등의 인 화합물; 2-에틸-4-메틸이미다졸 등의 이미다졸 화합물 등)를 첨가하여, 40℃ 이상 120℃ 이하로 가열함으로써 반응시키는 방법을 들 수 있다. (메트)아크릴산의 총 첨가량은, 에폭시 수지의 에폭시기 1몰에 대하여, 0.1몰 이상 1.0몰 이하의 비율이 되도록 조정하는 것이 바람직하다.The method for reacting the epoxy resin and (meth)acrylic acid is not particularly limited, but for example, (meth)acrylic acid and an esterification catalyst (eg, trimethylamine, Reaction by adding a tertiary amine such as triethylamine; a phosphorus compound such as triphenylphosphine; an imidazole compound such as 2-ethyl-4-methylimidazole, etc.) and heating to 40°C or more and 120°C or less can tell you how to do it. The total amount of (meth)acrylic acid added is preferably adjusted to a ratio of 0.1 mol or more and 1.0 mol or less with respect to 1 mol of the epoxy group of the epoxy resin.

(1분자 중에 카르복시기를 갖는 폴리머)(Polymer having a carboxy group in one molecule)

「1분자 중에 카르복시기를 갖는 폴리머」란, 1분자 중에 적어도 하나의 카르복시기를 갖는 폴리머를 의미한다. 1분자 중에 카르복시기를 갖는 폴리머로서는, 예를 들어 상술한 1분자 중에 우레탄 결합과 카르복시기를 갖는 폴리머를 들 수 있다. 또한, 예를 들어 에폭시 수지와 (메트)아크릴산을 반응시킨 후에, 다염기산 무수물을 더 반응시킴으로써, 1분자 중에 카르복시기를 갖는 폴리머를 얻을 수도 있다."Polymer having a carboxy group in one molecule" means a polymer having at least one carboxy group in one molecule. As a polymer which has a carboxy group in one molecule, the polymer which has a urethane bond and a carboxy group in one molecule mentioned above is mentioned, for example. Moreover, after making an epoxy resin and (meth)acrylic acid react, for example, the polymer which has a carboxyl group in 1 molecule can also be obtained by further reacting a polybasic acid anhydride.

에폭시 수지와 (메트)아크릴산을 반응시킨 후에, 다염기산 무수물을 더 반응시킴으로써, 1분자 중에 카르복시기를 갖는 폴리머를 얻는 방법으로서는, 예를 들어, 에폭시 수지와 (메트)아크릴산을 상술한 방법으로 반응시킨 후에, 다염기산 무수물을 첨가하여, 60℃ 이상 150℃ 이하로 가열함으로써 반응시키는 방법을 들 수 있다. 다염기산 무수물의 총 첨가량은, 얻어지는 고형분의 산가가 10㎎KOH/g 이상 160㎎KOH/g 이하로 되도록 조정하는 것이 바람직하다.As a method of obtaining a polymer having a carboxyl group in one molecule by further reacting a polybasic acid anhydride after reacting an epoxy resin with (meth)acrylic acid, for example, after reacting an epoxy resin with (meth)acrylic acid by the method described above, , a method to react by adding a polybasic acid anhydride and heating to 60°C or higher and 150°C or lower. It is preferable to adjust the total addition amount of the polybasic acid anhydride so that the acid value of the obtained solid content is 10 mgKOH/g or more and 160 mgKOH/g or less.

또한, 상기 방법 이외에도, (메트)아크릴산과 (메트)아크릴산에스테르를 반응시킴으로써, 1분자 중에 카르복시기를 갖는 폴리머를 얻을 수도 있다. (메트)아크릴산과 (메트)아크릴산에스테르를 반응시키는 방법으로서는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 (메트)아크릴산과 (메트)아크릴산에스테르를, 용매 중, 라디칼 중합 개시제 존재 하에서 라디칼 중합 반응시키는 방법을 들 수 있다.In addition to the above method, a polymer having a carboxy group in one molecule can also be obtained by reacting (meth)acrylic acid with (meth)acrylic acid ester. The method for reacting (meth)acrylic acid and (meth)acrylic acid ester is not particularly limited. For example, a method for radically polymerizing (meth)acrylic acid and (meth)acrylic acid ester in a solvent in the presence of a radical polymerization initiator may be used. can be heard

(메트)아크릴산에스테르로서는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 (메트)아크릴산메틸, (메트)아크릴산에틸, (메트)아크릴산부틸((메트)아크릴산n-부틸), (메트)아크릴산이소부틸, (메트)아크릴산t-부틸, (메트)아크릴산헥실, (메트)아크릴산2-에틸헥실, (메트)아크릴산옥틸, (메트)아크릴산노닐, (메트)아크릴산데실, (메트)아크릴산도데실, (메트)아크릴산스테아릴, (메트)아크릴산벤질 등을 들 수 있고, 이것들을 단독으로 또는 2종류 이상을 조합하여 사용할 수 있다. 액상 감광성 수지 조성물의 경화막의 유연성 및 내약품성을 향상시키기 위해서는, (메트)아크릴산에스테르로서는, (메트)아크릴산메틸, (메트)아크릴산에틸, (메트)아크릴산부틸 및 (메트)아크릴산 벤질로 이루어지는 군으로부터 선택되는 일종 이상이 바람직하다.The (meth)acrylate ester is not particularly limited, and examples thereof include methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, butyl (meth)acrylate (n-butyl (meth)acrylate), isobutyl (meth)acrylate, ( t-butyl (meth)acrylate, hexyl (meth)acrylate, 2-ethylhexyl (meth)acrylate, octyl (meth)acrylate, nonyl (meth)acrylate, decyl (meth)acrylate, dodecyl (meth)acrylate, (meth) Stearyl acrylate, (meth)acrylate benzyl, etc. are mentioned, These can be used individually or in combination of 2 or more types. In order to improve the flexibility and chemical resistance of the cured film of the liquid photosensitive resin composition, as the (meth)acrylic acid ester, from the group consisting of methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, butyl (meth)acrylate and benzyl (meth)acrylate One or more selected types are preferred.

라디칼 중합 개시제로서는, 예를 들어 아조비스이소부티로니트릴, 아조비스(2-메틸부티로니트릴), 2,2'-아조비스-2,4-디메틸발레로니트릴 등의 아조계 화합물; t-부틸하이드로퍼옥시드, 쿠멘하이드로퍼옥시드, 벤조일퍼옥시드, 디쿠밀퍼옥시드, 디-t-부틸퍼옥시드 등의 유기 과산화물; 과황산칼륨, 과황산나트륨, 과황산암모늄 등의 과황산염; 과산화수소 등을 들 수 있고, 이것들을 단독으로 또는 2종류 이상을 조합하여 사용할 수 있다.Examples of the radical polymerization initiator include azo compounds such as azobisisobutyronitrile, azobis(2-methylbutyronitrile), and 2,2'-azobis-2,4-dimethylvaleronitrile; organic peroxides such as t-butyl hydroperoxide, cumene hydroperoxide, benzoyl peroxide, dicumyl peroxide, and di-t-butyl peroxide; persulfates such as potassium persulfate, sodium persulfate, and ammonium persulfate; Hydrogen peroxide etc. are mentioned, These can be used individually or in combination of 2 or more types.

중합 반응의 반응성을 높이면서, 얻어지는 폴리머의 분자량의 저하를 억제하기 위해서는, 라디칼 중합 개시제의 사용량이, 사용하는 모노머 100중량부에 대하여, 0.001중량부 이상 5중량부 이하인 것이 바람직하고, 0.01중량부 이상 1중량부 이하인 것이 보다 바람직하다.In order to suppress a decrease in the molecular weight of the resulting polymer while increasing the reactivity of the polymerization reaction, the amount of the radical polymerization initiator used is preferably 0.001 parts by weight or more and 5 parts by weight or less, and 0.01 parts by weight, based on 100 parts by weight of the monomers used. It is more preferable that it is above 1 part by weight or less.

중합 반응의 반응성을 높이기 위해서는, 상기 라디칼 중합 반응 시에 사용할 수 있는 용매의 양이, 반응 용액 중의 용질의 중량 농도, 즉 용액 농도가 5중량% 이상 90중량% 이하로 되는 양인 것이 바람직하다. 반응 용액 중의 용질의 중량 농도는, 보다 바람직하게는 20중량% 이상 70중량% 이하이다.In order to increase the reactivity of the polymerization reaction, the amount of the solvent that can be used during the radical polymerization reaction is preferably such that the weight concentration of the solute in the reaction solution, that is, the solution concentration is 5% by weight or more and 90% by weight or less. The weight concentration of the solute in the reaction solution is more preferably 20% by weight or more and 70% by weight or less.

상기 라디칼 중합 반응의 반응 온도는, 반응 시간의 단축화 및 겔화 억제의 관점에서, 20℃ 이상 120℃ 이하인 것이 바람직하고, 50℃ 이상 100℃ 이하인 것이 보다 바람직하다. 상기 라디칼 중합 반응의 반응 시간은, 출발 물질의 양이나, 채용되는 반응 조건에 의해 적절히 선택할 수 있다.The reaction temperature of the radical polymerization reaction is preferably 20°C or more and 120°C or less, and more preferably 50°C or more and 100°C or less, from the viewpoint of shortening the reaction time and suppressing gelation. The reaction time of the radical polymerization reaction can be appropriately selected depending on the amount of starting materials and the reaction conditions employed.

도막의 외관 불량 및 도막이 형성된 기판의 외관 불량의 발생을 더 억제하기 위해서는, (A) 성분의 함유율은, 액상 감광성 수지 조성물 전량에 대하여, 10중량% 이상 50중량% 이하인 것이 바람직하고, 20중량% 이상 40중량% 이하인 것이 보다 바람직하다.In order to further suppress the appearance defect of the coating film and the appearance defect of the board|substrate on which the coating film was formed, the content rate of component (A) is preferably 10% by weight or more and 50% by weight or less with respect to the total amount of the liquid photosensitive resin composition, and 20% by weight It is more preferable that it is more than 40 weight% or less.

{(B) 성분}{component (B)}

(B) 성분으로서는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 미힐러케톤, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 4,4',4"-트리스(디메틸아미노)트리페닐메탄, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐-1,2'-디이미다졸, 아세토페논, 벤조인, 2-메틸벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인이소프로필에테르, 벤조인이소부틸에테르, 2-t-부틸안트라퀴논, 1,2-벤조-9,10-안트라퀴논, 메틸안트라퀴논, 티오크산톤, 2,4-디에틸티오크산톤, 2-이소프로필티오크산톤, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 디아세틸벤질, 벤질디메틸케탈, 벤질디에틸케탈, 4,4'-디아지드칼콘, 2,2-디메톡시-1,2-디페닐에탄-1-온, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 1-[4-(2-히드록시에톡시)-페닐]-2-히드록시-2-메틸-1-프로판-1-온, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논-1, 비스(2,4,6-트리메틸벤조일)-페닐포스핀옥시드, 비스(2,6-디메톡시벤조일)-2,4,4-트리메틸펜틸포스핀옥시드, (2,4,6-트리메틸벤조일)디페닐포스핀옥시드, 에틸-4-디메틸아미노벤조에이트, 2-에틸헥실-4-디메틸아미노벤조에이트 등을 들 수 있고, 이것들을 단독으로 또는 2종류 이상을 조합하여 사용할 수 있다.Although it does not specifically limit as a component (B), For example, Michler's ketone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4', 4 "-tris (dimethylamino) triphenylmethane, 2 ,2'-bis(2-chlorophenyl)-4,4',5,5'-tetraphenyl-1,2'-diimidazole, acetophenone, benzoin, 2-methylbenzoin, benzoin methyl ether , benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, 2-t-butyl anthraquinone, 1,2-benzo-9,10-anthraquinone, methyl anthraquinone, thioxanthone, 2,4 -Diethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, diacetylbenzyl, benzyldimethylketal, benzyldiethylketal, 4,4'-diazidechalcone, 2,2- Dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1-[4-(2-hydroxyethoxy)-phenyl]- 2-Hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2- Dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butanone-1, bis(2,4,6-trimethylbenzoyl)-phenylphosphine oxide, bis(2,6-dimethoxybenzoyl)-2,4 , 4-trimethylpentylphosphine oxide, (2,4,6-trimethylbenzoyl) diphenylphosphine oxide, ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl-4-dimethylaminobenzoate and the like; , These can be used individually or in combination of 2 or more types.

광 라디칼 중합의 반응성 및 해상성을 높이기 위해서는, (B) 성분의 함유율은, 액상 감광성 수지 조성물 전량에 대하여, 0.5중량% 이상 5중량% 이하인 것이 바람직하고, 0.8중량% 이상 4중량% 이하인 것이 보다 바람직하다.In order to enhance the reactivity and resolution of photoradical polymerization, the content of component (B) is preferably 0.5% by weight or more and 5% by weight or less, and more preferably 0.8% by weight or more and 4% by weight or less with respect to the total amount of the liquid photosensitive resin composition. desirable.

{(C) 성분}{Component (C)}

(C) 성분으로서는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 에폭시 수지, 옥세탄 수지, 페놀 수지, 이소시아네이트 수지, 블록 이소시아네이트 수지, 비스말레이미드 수지, 비스알릴나드이미드 수지, 폴리에스테르 수지(예를 들어, 불포화 폴리에스테르 수지 등), 디알릴프탈레이트 수지, 규소 수지, 비닐에스테르 수지, 멜라민 수지, 폴리비스말레이미드트리아진 수지(BT 수지), 시아네이트 수지(예를 들어, 시아네이트에스테르 수지 등), 우레아 수지, 구아나민 수지, 술포아미드 수지, 아닐린 수지, 폴리우레아 수지, 티오우레탄 수지, 폴리아조메틴 수지, 에피술피드 수지, 벤조옥사진 수지, 이것들의 공중합체 수지, 이들 수지를 변성시킨 변성 수지, 이들 수지끼리 또는 다른 수지와의 혼합물 등을 들 수 있다.Although it does not specifically limit as component (C), For example, epoxy resin, oxetane resin, phenol resin, isocyanate resin, block isocyanate resin, bismaleimide resin, bisallyl nadimide resin, polyester resin (for example, unsaturated polyester resins, etc.), diallyl phthalate resins, silicon resins, vinyl ester resins, melamine resins, polybismaleimidetriazine resins (BT resins), cyanate resins (eg cyanate ester resins, etc.), urea Resins, guanamine resins, sulfoamide resins, aniline resins, polyurea resins, thiourethane resins, polyazomethine resins, episulfide resins, benzoxazine resins, copolymer resins thereof, modified resins obtained by modifying these resins, Mixtures of these resins or with other resins are exemplified.

얻어지는 경화막에 대하여 내열성을 부여하면서, 금속박 등의 도체나 회로 기판에 대한 접착성을 부여하기 위해서는, (C) 성분으로서는, 에폭시 수지가 바람직하고, 다관능 에폭시 수지가 보다 바람직하다. 「다관능 에폭시 수지」란, 1분자 중에 적어도 2개의 에폭시기를 함유하는 화합물을 가리킨다. 다관능 에폭시 수지로서는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 상기 「1분자 중에 (메트)아크릴로일기를 갖는 폴리머를 얻기 위한 원료가 되는 에폭시 수지」의 구체예로서 예로 든 것을 사용할 수 있다.In order to impart adhesiveness to conductors such as metal foil or circuit boards while imparting heat resistance to the resulting cured film, as the component (C), an epoxy resin is preferable, and a polyfunctional epoxy resin is more preferable. A "multifunctional epoxy resin" refers to a compound containing at least two epoxy groups in one molecule. Although it does not specifically limit as a polyfunctional epoxy resin, For example, what was mentioned as a specific example of the said "epoxy resin used as a raw material for obtaining the polymer which has a (meth)acryloyl group in one molecule" can be used.

액상 감광성 수지 조성물에는, (C) 성분의 경화제가 포함되어 있어도 된다. (C) 성분의 경화제로서는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 페놀노볼락 수지, 크레졸노볼락 수지, 나프탈렌형 페놀 수지 등의 페놀 수지; 아미노 수지; 우레아 수지; 멜라민; 디시안디아미드 등을 들 수 있고, 이것들을 단독으로 또는 2종류 이상을 조합하여 사용할 수 있다.The curing agent of component (C) may be contained in the liquid photosensitive resin composition. Although it does not specifically limit as a hardening|curing agent of component (C), For example, Phenol resins, such as a phenol novolak resin, a cresol novolac resin, and a naphthalene type phenol resin; amino resins; urea resin; melamine; Dicyandiamide etc. are mentioned, These can be used individually or in combination of 2 or more types.

액상 감광성 수지 조성물에는, (C) 성분의 경화 촉진제가 포함되어 있어도 된다. (C) 성분의 경화 촉진제로서는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 트리페닐포스핀 등의 포스핀계 화합물; 제3급 아민; 트리메탄올아민, 트리에탄올아민 등의 알코올 아민계 화합물; 1,8-디아자비시클로[5,4,0]-7-운데세늄테트라페닐보레이트 등의 보레이트계 화합물; 이미다졸, 2-에틸이미다졸, 2-에틸-4-메틸이미다졸, 2-페닐이미다졸, 2-운데실이미다졸, 1-벤질-2-메틸이미다졸, 2-헵타데실이미다졸, 2-이소프로필이미다졸, 2,4-디메틸이미다졸, 2-페닐-4-메틸이미다졸 등의 이미다졸계 화합물; 2-메틸이미다졸린, 2-에틸이미다졸린, 2-이소프로필이미다졸린, 2-페닐이미다졸린, 2-운데실이미다졸린, 2,4-디메틸이미다졸린, 2-페닐-4-메틸이미다졸린 등의 이미다졸린계 화합물; 2,4-디아미노-6-[2-(2-메틸-1-이미다졸릴)에틸]-1,3,5-트리아진, 2,4-디아미노-6-[2-(2-운데실-1-이미다졸릴)에틸]-1,3,5-트리아진, 2,4-디아미노-6-(2'-에틸-4'-메틸이미다졸릴)에틸-1,3,5-트리아진 등의 트리아진계 화합물 등을 들 수 있고, 이것들을 단독으로 또는 2종류 이상을 조합하여 사용할 수 있다.The curing accelerator of component (C) may be contained in the liquid photosensitive resin composition. Although it does not specifically limit as a hardening accelerator of (C) component, For example, phosphine type compounds, such as triphenylphosphine; tertiary amines; alcohol amine compounds such as trimethanolamine and triethanolamine; borate-based compounds such as 1,8-diazabicyclo[5,4,0]-7-undecenium tetraphenylborate; Imidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-undecylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 2-hepta imidazole-based compounds such as decylimidazole, 2-isopropylimidazole, 2,4-dimethylimidazole, and 2-phenyl-4-methylimidazole; 2-methylimidazoline, 2-ethylimidazoline, 2-isopropylimidazoline, 2-phenylimidazoline, 2-undecylimidazoline, 2,4-dimethylimidazoline, 2-phenyl- imidazoline-based compounds such as 4-methylimidazoline; 2,4-diamino-6-[2-(2-methyl-1-imidazolyl)ethyl]-1,3,5-triazine, 2,4-diamino-6-[2-(2- Undecyl-1-imidazolyl) ethyl] -1,3,5-triazine, 2,4-diamino-6- (2'-ethyl-4'-methylimidazolyl) ethyl-1,3, Triazine type compounds, such as 5-triazine, etc. are mentioned, These can be used individually or in combination of 2 or more types.

또한, (A) 성분으로서, 예를 들어 산가 10㎎KOH/g 이상의 폴리머(바람직하게는, 산가 10㎎KOH/g 이상 160㎎KOH/g 이하의 폴리머)를 사용하는 경우는, (C) 성분의 경화제 및 경화 촉진제를 액상 감광성 수지 조성물에 배합하지 않아도 된다. (A) 성분의 산가는, 예를 들어 (A) 성분을 합성할 때, 카르복시기 및 카르복실산 무수물기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 일종 이상의 기를 갖는 모노머의 투입량을 변경함으로써 조정할 수 있다.Further, as component (A), for example, when a polymer having an acid value of 10 mgKOH/g or more (preferably a polymer having an acid value of 10 mgKOH/g or more and 160 mgKOH/g or less) is used, component (C) It is not necessary to mix the curing agent and curing accelerator in the liquid photosensitive resin composition. The acid value of component (A) can be adjusted, for example, by changing the charged amount of a monomer having one or more groups selected from the group consisting of a carboxyl group and a carboxylic acid anhydride group when synthesizing component (A).

얻어지는 경화막의 유연성 및 내약품성을 향상시키기 위해서는, (C) 성분의 함유율은, 액상 감광성 수지 조성물 전량에 대하여, 1중량% 이상 10중량% 이하인 것이 바람직하고, 3중량% 이상 8중량% 이하인 것이 보다 바람직하다.In order to improve the flexibility and chemical resistance of the resulting cured film, the content of component (C) is preferably 1% by weight or more and 10% by weight or less, and more preferably 3% by weight or more and 8% by weight or less with respect to the total amount of the liquid photosensitive resin composition. desirable.

{(D) 성분}{Component (D)}

(D) 성분으로서는, 평균 입자경 0.01㎛ 이상 100㎛ 이하의 입자인 한, 특별히 한정되지 않고, 예를 들어, 무기 입자 및 유기 입자로 이루어지는 군으로부터 선택되는 일종 이상의 입자를 사용할 수 있다. (D) 성분을 액상 감광성 수지 조성물에 배합함으로써, 액상 감광성 수지 조성물의 점도나 요변성을 조정할 수 있다.Component (D) is not particularly limited as long as it is a particle having an average particle diameter of 0.01 μm or more and 100 μm or less, and one or more types of particles selected from the group consisting of inorganic particles and organic particles can be used, for example. (D) The viscosity and thixotropy of a liquid photosensitive resin composition can be adjusted by mix|blending component (D) with a liquid photosensitive resin composition.

액상 감광성 수지 조성물의 해상성을 높이면서, 얻어지는 경화막의 유연성 및 내약품성을 향상시키기 위해서는, (D) 성분의 평균 입자경은, 0.01㎛ 이상 50㎛ 이하인 것이 바람직하고, 0.01㎛ 이상 10㎛ 이하인 것이 보다 바람직하다.In order to improve the flexibility and chemical resistance of the resulting cured film while enhancing the resolution of the liquid photosensitive resin composition, the average particle diameter of component (D) is preferably 0.01 μm or more and 50 μm or less, and more preferably 0.01 μm or more and 10 μm or less. desirable.

(D) 성분의 구체예로서는, 실리카, 마이카, 탈크, 클레이, 티타늄산바륨, 황산바륨, 월라스토나이트, 탄산칼슘, 탄산마그네슘, 산화알루미늄, 산화티타늄, 질화규소, 질화알루미늄 등의 무기물의 입자; 코어 셸 고무, 가교 폴리머 등의 유기물의 입자를 들 수 있고, 이것들을 단독으로 또는 2종류 이상을 조합하여 사용할 수 있다.Specific examples of component (D) include inorganic particles such as silica, mica, talc, clay, barium titanate, barium sulfate, wollastonite, calcium carbonate, magnesium carbonate, aluminum oxide, titanium oxide, silicon nitride, and aluminum nitride; and organic particles such as core-shell rubber and crosslinked polymer, and these may be used alone or in combination of two or more.

무기 입자로서는, 얻어지는 경화막의 경화 수축을 억제하면서, 얻어지는 경화막의 경도 및 밀착성을 높이는 관점에서, 실리카 입자가 바람직하다. 실리카 입자로서는, 용융 실리카 입자, 파쇄 실리카 입자, 구상 실리카 입자, 결정성 실리카 입자, 퓸드실리카 입자 등을 들 수 있다.As the inorganic particles, silica particles are preferable from the viewpoint of increasing the hardness and adhesion of the obtained cured film while suppressing cure shrinkage of the obtained cured film. Examples of silica particles include fused silica particles, crushed silica particles, spherical silica particles, crystalline silica particles, and fumed silica particles.

유기 입자로서는, 도공 중의 롤 압력의 분산성을 높이면서, 얻어지는 경화막의 유연성 및 내약품성을 높이는 관점에서, 가교 폴리머 입자가 바람직하고, 평균 입자경 1㎛ 이상 10㎛ 이하의 가교 폴리머 입자가 보다 바람직하고, 평균 입자경 1㎛ 이상 5㎛ 이하의 가교 폴리머 입자가 더욱 바람직하다. 가교 폴리머 입자의 구체예로서는, 다이니치 세이카 고교사제의 상품명 다이믹 비즈(등록 상표) UCN-8070CM 클리어, UCN-8150CM 클리어, UCN-5070D 클리어, UCN-5150D 클리어, 네가미 고교사제의 상품명 아트펄(등록 상표) C-100 투명, C-200 투명, C-300 투명, C-300WA, C-400 투명, C-400WA, C-600 투명, C-800 투명, C-800WA, C-1000T, P-400T, P-800T, U-600T, CF-600T, JB-400T, JB-800T, CE-400T, CE-800T, MM-120T 등을 들 수 있고, 이것들을 단독으로 또는 2종류 이상을 조합하여 사용할 수 있다.As the organic particles, crosslinked polymer particles are preferable, and crosslinked polymer particles having an average particle diameter of 1 μm or more and 10 μm or less are more preferable from the viewpoint of improving the flexibility and chemical resistance of the obtained cured film while increasing the dispersibility of the roll pressure during coating. , crosslinked polymer particles having an average particle diameter of 1 µm or more and 5 µm or less are more preferred. As specific examples of the crosslinked polymer particles, trade name Dynamic Beads (registered trademark) UCN-8070CM Clear, UCN-8150CM Clear, UCN-5070D Clear, UCN-5150D Clear, trade name Art Pearl (manufactured by Dainichi Seika Kogyo Co., Ltd.), manufactured by Negami Kogyo Co., Ltd. registered trademark) C-100 Clear, C-200 Clear, C-300 Clear, C-300WA, C-400 Clear, C-400WA, C-600 Clear, C-800 Clear, C-800WA, C-1000T, P -400T, P-800T, U-600T, CF-600T, JB-400T, JB-800T, CE-400T, CE-800T, MM-120T and the like, these alone or in combination of two or more and can be used.

얻어지는 경화막의 유연성을 더 높이기 위해서는, (D) 성분으로서, 폴리우레탄 입자를 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 도공 중의 롤 압력의 분산성을 높이면서, 얻어지는 경화막의 유연성을 더 높이기 위해서는, (D) 성분으로서, 가교 폴리머 입자인 가교 폴리우레탄 입자를 사용하는 것이 바람직하다.In order to further increase the flexibility of the obtained cured film, it is preferable to use polyurethane particles as component (D). In addition, in order to further increase the flexibility of the obtained cured film while increasing the dispersibility of the roll pressure during coating, it is preferable to use crosslinked polyurethane particles that are crosslinked polymer particles as component (D).

도막의 외관 불량 및 도막이 형성된 기판의 외관 불량의 발생을 더 억제하기 위해서는, (D) 성분의 함유량은, (A) 성분 100중량부에 대하여, 5중량부 이상 100중량부 이하인 것이 바람직하고, 5중량부 이상 80중량부 이하인 것이 보다 바람직하고, 10중량부 이상 80중량부 이하인 것이 더욱 바람직하고, 20중량부 이상 80중량부 이하인 것이 보다 더욱 바람직하다.In order to further suppress the appearance defects of the coating film and the appearance defects of the substrate on which the coating film is formed, the content of component (D) is preferably 5 parts by weight or more and 100 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of component (A), 5 It is more preferably 80 parts by weight or more, more preferably 10 parts by weight or more and 80 parts by weight or less, and even more preferably 20 parts by weight or more and 80 parts by weight or less.

{(E) 성분}{Component (E)}

(E) 성분은, 액상 감광성 수지 조성물의 점도를 조정하기 위해 사용되는 성분이다. (E) 성분으로서는, 예를 들어 디메틸술폭시드, 디에틸술폭시드 등의 술폭시드계 용매; N,N-디메틸포름아미드, N,N-디에틸포름아미드 등의 포름아미드계 용매; N,N-디메틸아세트아미드, N,N-디에틸아세트아미드 등의 아세트아미드계 용매; N-메틸-2-피롤리돈, N-비닐-2-피롤리돈 등의 피롤리돈계 용매; 헥사메틸포스포르아미드; γ-부티로락톤 등을 들 수 있다. 또한, 필요에 따라, 이들 유기 용매와, 방향족 탄화수소(더 구체적으로는, 크실렌, 톨루엔 등)를 조합하여 사용할 수도 있다.(E) component is a component used in order to adjust the viscosity of a liquid photosensitive resin composition. (E) As a component, For example, Sulfoxide solvents, such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide; formamide solvents such as N,N-dimethylformamide and N,N-diethylformamide; acetamide-based solvents such as N,N-dimethylacetamide and N,N-diethylacetamide; pyrrolidone solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone and N-vinyl-2-pyrrolidone; hexamethylphosphoramide; (gamma)-butyrolactone etc. are mentioned. Further, if necessary, these organic solvents and aromatic hydrocarbons (more specifically, xylene, toluene, etc.) may be used in combination.

또한, (E) 성분으로서는, 1,2-디메톡시에탄, 비스(2-메톡시에틸)에테르, 비스[2-(2-메톡시에톡시에틸)]에테르, 1,2-디에톡시에탄, 비스(2-에톡시에틸)에테르, 비스(2-부톡시에틸)에테르 등의 대칭 글리콜디에테르계 용매; 메틸아세테이트, 에틸아세테이트, 이소프로필아세테이트, n-프로필아세테이트, 부틸아세테이트, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜 모노부틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜 모노부틸에테르아세테이트, 3-메톡시부틸아세테이트, 에틸렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜 모노에틸에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜디아세테이트, 1,3-부틸렌글리콜디아세테이트 등의 아세테이트계 용매; 디프로필렌글리콜메틸에테르, 트리프로필렌글리콜메틸에테르, 프로필렌글리콜n-프로필에테르, 디프로필렌글리콜n-프로필에테르, 프로필렌글리콜n-부틸에테르, 디프로필렌글리콜n-부틸에테르, 트리프로필렌글리콜n-프로필에테르, 프로필렌글리콜페닐에테르, 디프로필렌글리콜디메틸에테르, 1,3-디옥솔란, 에틸렌글리콜 모노부틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노부틸에테르, 에틸렌글리콜 모노에틸에테르, 트리에틸렌글리콜디메틸에테르 등의 에테르계 용매 등도 사용할 수 있다.Further, as component (E), 1,2-dimethoxyethane, bis(2-methoxyethyl) ether, bis[2-(2-methoxyethoxyethyl)] ether, 1,2-diethoxyethane, symmetrical glycol diether solvents such as bis(2-ethoxyethyl) ether and bis(2-butoxyethyl) ether; Methyl acetate, ethyl acetate, isopropyl acetate, n-propyl acetate, butyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, 3- acetate solvents such as methoxybutyl acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol diacetate, and 1,3-butylene glycol diacetate; Dipropylene glycol methyl ether, tripropylene glycol methyl ether, propylene glycol n-propyl ether, dipropylene glycol n-propyl ether, propylene glycol n-butyl ether, dipropylene glycol n-butyl ether, tripropylene glycol n-propyl ether, Propylene glycol phenyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, 1,3-dioxolane, ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol monoethyl ether , ether solvents such as triethylene glycol dimethyl ether can also be used.

액상 감광성 수지 조성물의 경시 점도비를 1.20 이하로 용이하게 조정하기 위해서는, (E) 성분으로서는, 비점 180℃ 이상의 수용성 유기 용매를 사용하는 것이 바람직하다. 비점 180℃ 이상의 수용성 유기 용매는, 휘발하기 어려운 데다가, 흡습에 기인하는 점도 변화가 비교적 작기 때문에, (E) 성분으로서 비점 180℃ 이상의 수용성 유기 용매를 사용하면, 수직 현수 인상식 롤 코터를 장시간 연속으로 운전해도, 액상 감광성 수지 조성물의 점도 변화가 비교적 작아진다. 도막의 건조 시간을 단축하기 위해서는, (E) 성분의 비점은, 250℃ 이하인 것이 바람직하다.In order to easily adjust the viscosity ratio over time of the liquid photosensitive resin composition to 1.20 or less, it is preferable to use a water-soluble organic solvent having a boiling point of 180°C or higher as the component (E). A water-soluble organic solvent with a boiling point of 180 ° C. or higher is difficult to volatilize and the change in viscosity due to moisture absorption is relatively small. Therefore, when a water-soluble organic solvent with a boiling point of 180 ° C. or higher is used as component (E), a vertical suspension roll coater can be used continuously for a long time. Even if it is operated as, the viscosity change of the liquid photosensitive resin composition becomes relatively small. In order to shorten the drying time of the coating film, it is preferable that the boiling point of component (E) is 250°C or less.

또한, 「비점 180℃ 이상의 수용성 유기 용매」란, 1기압에 있어서 비점이 180℃ 이상이고, 또한 1기압에 있어서 온도 20℃에서 동 체적의 순수와 완만하게 섞은 후, 유동이 가라앉았을 때 당해 혼합액이 균일한 외관을 유지하고 있는 유기 용매를 가리킨다.In addition, "a water-soluble organic solvent having a boiling point of 180 ° C. or higher" means a mixed liquid having a boiling point of 180 ° C. or higher at 1 atm and when the flow subsides after gently mixing with pure water of the same volume at a temperature of 20 ° C. at 1 atm. It refers to an organic solvent that maintains this uniform appearance.

비점 180℃ 이상의 수용성 유기 용매로서는, 예를 들어 트리에틸렌글리콜디메틸에테르, 테트라에틸렌글리콜디메틸에테르, 폴리에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디프로필렌글리콜메틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노부틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노헥실에테르, 트리에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜 모노부틸에테르아세테이트 등을 들 수 있고, 이것들을 단독으로 또는 2종류 이상을 조합하여 사용할 수 있다.Examples of the water-soluble organic solvent having a boiling point of 180° C. or higher include triethylene glycol dimethyl ether, tetraethylene glycol dimethyl ether, polyethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, dipropylene glycol methyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, and diethylene glycol diethyl ether. ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monohexyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether acetate, and the like, and these It can be used individually or in combination of 2 or more types.

액상 감광성 수지 조성물의 점도를 도공에 적합한 범위로 용이하게 조정하기 위해서는, (E) 성분의 함유율은, 액상 감광성 수지 조성물 전량에 대하여, 10중량% 이상 80중량% 이하인 것이 바람직하고, 20중량% 이상 70중량% 이하인 것이 보다 바람직하다.In order to easily adjust the viscosity of the liquid photosensitive resin composition to a range suitable for coating, the content of component (E) is preferably 10% by weight or more and 80% by weight or less, and 20% by weight or more with respect to the total amount of the liquid photosensitive resin composition. It is more preferable that it is 70 weight% or less.

{그밖의 성분}{other ingredients}

액상 감광성 수지 조성물은, 필요에 따라, 그밖의 성분((A) 성분 내지 (E) 성분과 다른 성분)으로서, 라디칼 중합성 화합물, 난연제, 소포제, 레벨링제, 착색제, 접착 보조제, 중합 금지제 등의 각종 첨가제를 포함하고 있어도 된다. 그밖의 성분의 합계 함유율은, 액상 감광성 수지 조성물 전량에 대하여, 예를 들어 20중량% 이하이고, 10중량% 이하인 것이 바람직하다.The liquid photosensitive resin composition, if necessary, as other components (components (A) to (E) and other components), radical polymerizable compounds, flame retardants, antifoaming agents, leveling agents, colorants, adhesive aids, polymerization inhibitors, etc. You may contain various additives of. The total content of the other components is, for example, 20% by weight or less, preferably 10% by weight or less, based on the total amount of the liquid photosensitive resin composition.

라디칼 중합성 화합물이란, 라디칼 중합 개시제에 의해 중합 반응이 진행되는 라디칼 중합성기를 1분자 중에 함유하는 화합물을 가리킨다. 라디칼 중합성 화합물로서는, 분자량(폴리머의 경우는, 중량 평균 분자량)이 1,000 미만인 화합물이 바람직하다. 그 중에서도, 1분자 중에 불포화 이중 결합을 적어도 하나 갖는 화합물이 바람직하고, (메트)아크릴로일기 및 비닐기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 하나 이상의 기를 갖는 화합물이 보다 바람직하다.A radically polymerizable compound refers to a compound containing in one molecule a radically polymerizable group in which a polymerization reaction proceeds with a radical polymerization initiator. As the radical polymerizable compound, a compound having a molecular weight (in the case of a polymer, a weight average molecular weight) of less than 1,000 is preferable. Especially, the compound which has at least one unsaturated double bond in 1 molecule is preferable, and the compound which has at least one group selected from the group which consists of a (meth)acryloyl group and a vinyl group is more preferable.

(A) 성분이 (메트)아크릴로일기를 갖고 있지 않은 경우, 액상 감광성 수지 조성물이, 광 라디칼 중합 가능한 성분으로서 라디칼 중합성 화합물을 포함하는 것이 바람직하다. 즉, 액상 감광성 수지 조성물은, (메트)아크릴로일기를 갖는 (A) 성분을 함유하거나, 또는 그밖의 성분으로서 라디칼 중합성 화합물을 함유하는 것이 바람직하다. 또한, (A) 성분이 (메트)아크릴로일기를 갖고 있어도, 광 라디칼 중합의 반응성을 높이기 위해, 액상 감광성 수지 조성물이 라디칼 중합성 화합물을 포함하는 것이 바람직하다.(A) When component does not have a (meth)acryloyl group, it is preferable that a liquid photosensitive resin composition contains a radically polymerizable compound as a component capable of radical photopolymerization. That is, it is preferable that the liquid photosensitive resin composition contains the (A) component which has a (meth)acryloyl group, or contains a radically polymerizable compound as another component. Moreover, in order to improve the reactivity of radical photopolymerization even if (A) component has a (meth)acryloyl group, it is preferable that the liquid photosensitive resin composition contains a radically polymerizable compound.

이하, 라디칼 중합성 화합물의 구체예를 든다. 또한, 이하에 있어서, 에틸렌옥시드를 「EO」라고 기재한다. 또한, EO의 평균 부가 몰수를 「n」이라고 기재한다. 라디칼 중합성 화합물의 구체예로서는, EO 변성 비스페놀 F 디아크릴레이트(n: 2 이상 50 이하), EO 변성 비스페놀 A 디아크릴레이트(n: 2 이상 50 이하), EO 변성 비스페놀 S 디아크릴레이트(n: 2 이상 50 이하), EO 변성 비스페놀 F 디메타크릴레이트(n: 2 이상 50 이하), EO 변성 비스페놀 A 디메타크릴레이트(n: 2 이상 50 이하), EO 변성 비스페놀 S 디메타크릴레이트(n: 2 이상 50 이하), 1,6-헥산디올디아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디아크릴레이트, 에틸렌글리콜디아크릴레이트, 펜타에리트리톨디아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트, 테트라메틸올프로판테트라아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜디아크릴레이트, 1,6-헥산디올디메타크릴레이트, 네오펜틸글리콜디메타크릴레이트, 펜타에리트리톨디메타크릴레이트, 트리메틸올프로판트리메타크릴레이트, 펜타에리트리톨트리메타크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사메타크릴레이트, 테트라메틸올프로판테트라메타크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 메톡시디에틸렌글리콜메타크릴레이트, 메톡시폴리에틸렌글리콜메타크릴레이트, 3-클로로-2-히드록시프로필메타크릴레이트, 스테아릴메타크릴레이트, 페녹시에틸아크릴레이트, 페녹시디에틸렌글리콜아크릴레이트, 페녹시폴리에틸렌글리콜아크릴레이트, 라우릴아크릴레이트, 에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 디에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디메타크릴레이트, 1,3-부틸렌글리콜디메타크릴레이트, 1,6-헥산디올디메타크릴레이트, 네오펜틸글리콜디메타크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜디메타크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디아크릴레이트, 트리프로필렌글리콜디아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜디아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리메타크릴레이트, 테트라메틸올메탄트리아크릴레이트, 메톡시디프로필렌글리콜메타크릴레이트, 메톡시트리에틸렌글리콜아크릴레이트, 노닐페녹시폴리에틸렌글리콜아크릴레이트, 노닐페녹시폴리프로필렌글리콜아크릴레이트, 이소스테아릴아크릴레이트, 노닐페녹시에틸렌글리콜아크릴레이트, 1,4-부탄디올디메타크릴레이트, 3-메틸-1,5-펜탄디올디메타크릴레이트, 1,9-노난디올메타크릴레이트, 2,4-디에틸-1,5-펜탄디올디메타크릴레이트, 디프로필렌글리콜디아크릴레이트, 2,4-디에틸-1,5-펜탄디올디아크릴레이트, 디트리메틸올프로판테트라아크릴레이트, 디펜타에리트리톨폴리아크릴레이트, 이소시아누르산트리알릴, 글리시딜메타크릴레이트, 글리시딜알릴에테르, 트리알릴1,3,5-벤젠카르복실레이트, 트리알릴아민, 트리알릴포스페이트, 디알릴아민, 디알릴디메틸실란, 디알릴디술피드, 디알릴에테르, 디알릴이소프탈레이트, 디알릴테레프탈레이트, 1,3-디알릴옥시-2-프로판올, 4,4'-이소프로필리덴디페놀디메타크릴레이트, 4,4'-이소프로필리덴디페놀디아크릴레이트 등을 들 수 있고, 이것들은 단독으로 혹은 2종류 이상을 조합하여 사용할 수 있다.Hereinafter, specific examples of radically polymerizable compounds are given. In addition, ethylene oxide is described as "EO" below. In addition, the average added mole number of EO is described as "n". As specific examples of the radically polymerizable compound, EO modified bisphenol F diacrylate (n: 2 or more and 50 or less), EO modified bisphenol A diacrylate (n: 2 or more and 50 or less), EO modified bisphenol S diacrylate (n: 2 or more and 50 or less), EO modified bisphenol F dimethacrylate (n: 2 or more and 50 or less), EO modified bisphenol A dimethacrylate (n: 2 or more and 50 or less), EO modified bisphenol S dimethacrylate (n : 2 or more and 50 or less), 1,6-hexanediol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate , dipentaerythritol hexaacrylate, tetramethylolpropane tetraacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate , trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, tetramethylolpropane tetramethacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, methoxydiethylene glycol methacrylate , methoxy polyethylene glycol methacrylate, 3-chloro-2-hydroxypropyl methacrylate, stearyl methacrylate, phenoxyethyl acrylate, phenoxy diethylene glycol acrylate, phenoxy polyethylene glycol acrylate, lauryl Acrylates, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, polyethylene glycol dimethacrylate, 1,3-butylene glycol dimethacrylate, 1,6-hexane Diol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, polypropylene glycol dimethacrylate, polyethylene glycol diacrylate, tripropylene glycol diacrylate, polypropylene glycol diacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, Tetramethylolmethane triacrylate, methoxy dipropylene glycol methacrylate, methoxy triethylene glycol acrylate, nonylphenoxy polyethylene glycol acrylate, nonylphenoxy polypropylene glycol acrylate, Isostearyl acrylate, nonylphenoxyethylene glycol acrylate, 1,4-butanediol dimethacrylate, 3-methyl-1,5-pentanediol dimethacrylate, 1,9-nonanediol methacrylate, 2 ,4-diethyl-1,5-pentanediol dimethacrylate, dipropylene glycol diacrylate, 2,4-diethyl-1,5-pentanediol diacrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, di Pentaerythritol polyacrylate, isocyanurate triallyl, glycidyl methacrylate, glycidyl allyl ether, triallyl 1,3,5-benzenecarboxylate, triallylamine, triallyl phosphate, diallyl Amine, diallyldimethylsilane, diallyl disulfide, diallyl ether, diallyl isophthalate, diallyl terephthalate, 1,3-diallyloxy-2-propanol, 4,4'-isopropylidenediphenol dimetha A acrylate, 4,4'- isopropylidene diphenol diacrylate, etc. are mentioned, These can be used individually or in combination of 2 or more types.

액상 감광성 수지 조성물의 수계 현상액에 대한 용해성을 높여, 현상 시간을 단축하기 위해서는, 라디칼 중합성 화합물로서는, EO 변성 비스페놀 F 디아크릴레이트(n: 2 이상 50 이하), EO 변성 비스페놀 A 디아크릴레이트(n: 2 이상 50 이하), EO 변성 비스페놀 S 디아크릴레이트(n: 2 이상 50 이하), EO 변성 비스페놀 F 디메타크릴레이트(n: 2 이상 50 이하), EO 변성 비스페놀 A 디메타크릴레이트(n: 2 이상 50 이하) 및 EO 변성 비스페놀 S 디메타크릴레이트(n: 2 이상 50 이하)로 이루어지는 군으로부터 선택되는 일종 이상이 바람직하다.In order to increase the solubility of the liquid photosensitive resin composition in an aqueous developing solution and shorten the development time, as the radically polymerizable compound, EO-modified bisphenol F diacrylate (n: 2 or more and 50 or less), EO-modified bisphenol A diacrylate ( n: 2 or more and 50 or less), EO modified bisphenol S diacrylate (n: 2 or more and 50 or less), EO modified bisphenol F dimethacrylate (n: 2 or more and 50 or less), EO modified bisphenol A dimethacrylate ( n: 2 or more and 50 or less) and EO-modified bisphenol S dimethacrylate (n: 2 or more and 50 or less) at least one selected from the group consisting of is preferred.

액상 감광성 수지 조성물의 라디칼 중합 반응성을 높이면서, 액상 감광성 수지 조성물의 수계 현상액에 대한 용해성을 높이기 위해서는, 라디칼 중합성 화합물의 함유율은, 액상 감광성 수지 조성물 전량에 대하여, 1중량% 이상 10중량% 이하인 것이 바람직하다.In order to increase the solubility of the liquid photosensitive resin composition in an aqueous developer while enhancing the radical polymerization reactivity of the liquid photosensitive resin composition, the content rate of the radical polymerizable compound is 1% by weight or more and 10% by weight or less with respect to the total amount of the liquid photosensitive resin composition. it is desirable

난연제로서는, 할로겐계 난연제, 인계 난연제, 금속 수산화물, 안티몬계 난연제 등을 들 수 있다.Examples of the flame retardant include halogen-based flame retardants, phosphorus-based flame retardants, metal hydroxides, and antimony-based flame retardants.

할로겐계 난연제란, 1분자 중에 적어도 하나의 할로겐 원자를 함유하고, 유기물의 연소를 억제하는 화합물을 가리킨다. 할로겐계 난연제로서는, 예를 들어 브롬계 화합물, 염소계 화합물 등을 들 수 있고, 이것들을 단독으로 또는 2종류 이상을 조합하여 사용할 수 있다.A halogen-based flame retardant refers to a compound that contains at least one halogen atom in one molecule and suppresses combustion of organic substances. Examples of the halogen-based flame retardant include bromine-based compounds and chlorine-based compounds, and these may be used alone or in combination of two or more.

인계 난연제란, 1분자 중에 적어도 하나의 인 원자를 함유하고, 유기물의 연소를 억제하는 화합물을 가리킨다. 인계 난연제로서는, 예를 들어 적인, 축합 인산에스테르계 화합물, 환상 유기 인계 화합물, 포스파젠계 화합물, 인 함유 폴리올계 화합물, 인 함유 아민계 화합물, 폴리인산암모늄, 멜라민인산염, 포스핀산염 등을 들 수 있고, 이것들을 단독으로 또는 2종류 이상을 조합하여 사용할 수 있다.A phosphorus-based flame retardant refers to a compound that contains at least one phosphorus atom in one molecule and suppresses combustion of organic substances. Examples of the phosphorus-based flame retardant include red phosphorus, condensed phosphate ester-based compounds, cyclic organic phosphorus-based compounds, phosphazene-based compounds, phosphorus-containing polyol-based compounds, phosphorus-containing amine-based compounds, ammonium polyphosphate, melamine phosphate, and phosphinic acid salts. These can be used alone or in combination of two or more.

난연제로서 기능하는 금속 수산화물로서는, 예를 들어 수산화알루미늄, 수산화마그네슘 등을 들 수 있고, 이것들을 단독으로 또는 2종류 이상을 조합하여 사용할 수 있다.As a metal hydroxide which functions as a flame retardant, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, etc. are mentioned, for example, These can be used individually or in combination of 2 or more types.

안티몬계 난연제란, 1분자 중에 적어도 하나의 안티몬 원자를 함유하고, 유기물의 연소를 억제하는 화합물을 가리킨다. 안티몬계 난연제로서는, 예를 들어 삼산화안티몬을 들 수 있다.An antimony-based flame retardant refers to a compound that contains at least one antimony atom in one molecule and suppresses combustion of organic substances. As an antimony flame retardant, antimony trioxide is mentioned, for example.

소포제로서는, 예를 들어 아크릴계 화합물, 비닐계 화합물, 부타디엔계 화합물 등을 들 수 있다.As an antifoamer, an acryl-type compound, a vinyl-type compound, a butadiene-type compound etc. are mentioned, for example.

레벨링제로서는, 예를 들어 아크릴계 화합물, 비닐계 화합물 등을 들 수 있다.As a leveling agent, an acrylic compound, a vinyl type compound, etc. are mentioned, for example.

착색제로서는, 예를 들어 프탈로시아닌계 화합물, 아조계 화합물, 카본 블랙 등을 들 수 있다.As a coloring agent, a phthalocyanine type compound, an azo type compound, carbon black etc. are mentioned, for example.

접착 보조제(밀착성 부여제라고도 함)로서는, 예를 들어 실란 커플링제, 트리아졸계 화합물, 테트라졸계 화합물, 트리아진계 화합물 등을 들 수 있다.Examples of the adhesive aid (also referred to as an adhesion imparting agent) include silane coupling agents, triazole-based compounds, tetrazole-based compounds, and triazine-based compounds.

중합 금지제로서는, 예를 들어 하이드로퀴논, 하이드로퀴논 모노메틸에테르 등을 들 수 있다.As a polymerization inhibitor, hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, etc. are mentioned, for example.

[액상 감광성 수지 조성물의 조제 방법][Preparation method of liquid photosensitive resin composition]

액상 감광성 수지 조성물은, 예를 들어 상기 (A) 내지 (E) 성분 및 필요에 따라 사용하는 그밖의 성분을 분쇄·분산시켜 혼합함으로써, 조제할 수 있다. 분쇄·분산 방법으로서는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들어 비즈 밀, 볼 밀, 3개 롤밀 등의 혼련 장치를 사용하는 방법을 들 수 있다. 그 중에서도, 3개 롤밀을 사용하여 분쇄·분산시켜 혼합하는 방법은, 입도 분포가 균일해지기 때문에 바람직하다.The liquid photosensitive resin composition can be prepared, for example, by pulverizing and dispersing the above components (A) to (E) and other components used as necessary and mixing them. Although it does not specifically limit as a grinding|pulverization / dispersion method, For example, the method of using a kneading apparatus, such as a bead mill, a ball mill, and a 3-roll mill, is mentioned. Among them, the method of pulverizing and dispersing using a three-roll mill and mixing is preferable because the particle size distribution becomes uniform.

[임의의 공정][Random process]

본 실시 형태에서는, 액상 감광성 수지 조성물을 도포하는 공정 이외는, 상술한 기판을 건조시키는 공정(건조 공정)을 포함하여 임의의 공정이다. 임의의 공정으로서는, 건조 공정 이외에, 예를 들어 이하에 나타내는 미세 개구 형성 공정 및 경화 공정을 들 수 있다.In this embodiment, it is an arbitrary process including the process of drying the board|substrate mentioned above (drying process) other than the process of apply|coating the liquid photosensitive resin composition. As an arbitrary process, the fine opening formation process and hardening process shown below other than a drying process are mentioned, for example.

(미세 개구 형성 공정)(Fine opening formation process)

건조 공정 후의 도막에, 네가티브형의 포토마스크를 통해, 활성 에너지선(더 구체적으로는, 자외선, 가시광선, 전자선 등)을 조사하여, 도막의 일부를 노광한다. 이에 의해, 도막의 노광부에 있어서 광 라디칼 중합 가능한 성분이 중합된다. 이어서, 미노광부를, 스프레이, 패들, 침지, 초음파 등의 현상 방식을 사용하여, 현상액으로 씻어냄으로써, 도막을 패터닝하여, 미세 개구를 형성한다. 또한, 현상 장치의 분무 압력이나 유속, 현상액의 온도에 따라, 개구될 때까지의 시간이 다르기 때문에, 적절히 최적의 장치 조건을 알아내는 것이 바람직하다.Active energy rays (more specifically, ultraviolet rays, visible rays, electron beams, etc.) are irradiated to the coating film after the drying step through a negative photomask to expose a part of the coating film. As a result, the component capable of photo-radical polymerization is polymerized in the exposed portion of the coating film. Next, the unexposed portion is washed with a developing solution using a developing method such as spray, paddle, immersion, and ultrasonic waves, thereby patterning the coating film and forming fine openings. In addition, since the time until opening differs depending on the spray pressure and flow rate of the developing device and the temperature of the developing solution, it is desirable to appropriately determine the optimal device conditions.

현상액으로서는, 알칼리성 수용액이 바람직하다. 현상액에는, 메탄올, 에탄올, 1-프로판올, 2-프로판올, N-메틸-2-피롤리돈 등의 수용성 유기 용매가 함유되어 있어도 된다. 알칼리성 수용액에 포함되는 알칼리성 화합물로서는, 예를 들어 알칼리 금속, 알칼리 토류 금속 또는 암모늄 이온의, 수산화물, 탄산염 또는 탄산수소염이나, 아민 화합물 등을 들 수 있고, 구체적으로는, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 수산화암모늄, 탄산나트륨, 탄산칼륨, 탄산암모늄, 탄산수소나트륨, 탄산수소칼륨, 탄산수소암모늄, 테트라메틸암모늄히드록시드, 테트라에틸암모늄히드록시드, 테트라프로필암모늄히드록시드, 테트라이소프로필암모늄히드록시드, N-메틸디에탄올아민, N-에틸디에탄올아민, N,N-디메틸에탄올아민, 트리에탄올아민, 트리이소프로필아민 등을 들 수 있고, 수용액이 염기성을 나타내는 것이라면, 이것들 이외의 화합물도 사용할 수 있다. 알칼리성 수용액 중의 알칼리성 화합물의 농도는, 바람직하게는 0.01중량% 이상 20중량% 이하, 보다 바람직하게는 0.02중량% 이상 10중량% 이하이다. 또한, 현상액의 온도는, 액상 감광성 수지 조성물의 조성이나, 알칼리 현상액의 조성에 의하지만, 일반적으로는 0℃ 이상 80℃ 이하이고, 바람직하게는 10℃ 이상 60℃ 이하이다.As a developing solution, alkaline aqueous solution is preferable. The developing solution may contain a water-soluble organic solvent such as methanol, ethanol, 1-propanol, 2-propanol, or N-methyl-2-pyrrolidone. Examples of the alkaline compound contained in the alkaline aqueous solution include hydroxides, carbonates or hydrogencarbonates of alkali metals, alkaline earth metals or ammonium ions, amine compounds, etc. Specifically, sodium hydroxide, potassium hydroxide, hydroxide Ammonium, Sodium Carbonate, Potassium Carbonate, Ammonium Carbonate, Sodium Bicarbonate, Potassium Bicarbonate, Ammonium Bicarbonate, Tetramethylammonium Hydroxide, Tetraethylammonium Hydroxide, Tetrapropylammonium Hydroxide, Tetraisopropylammonium Hydroxide , N-methyldiethanolamine, N-ethyldiethanolamine, N,N-dimethylethanolamine, triethanolamine, triisopropylamine, etc., and compounds other than these can be used as long as the aqueous solution is basic. there is. The concentration of the alkaline compound in the alkaline aqueous solution is preferably 0.01% by weight or more and 20% by weight or less, more preferably 0.02% by weight or more and 10% by weight or less. The temperature of the developing solution depends on the composition of the liquid photosensitive resin composition and the composition of the alkaline developing solution, but is generally 0°C or more and 80°C or less, preferably 10°C or more and 60°C or less.

현상에 의해 형성한 미세 개구는, 그 내부를 세정하여, 불필요한 잔분을 제거하는 것이 바람직하다. 세정액으로서는, 물, 산성 수용액 등을 들 수 있다.It is preferable to clean the inside of the micro-openings formed by development to remove unnecessary residues. As the cleaning liquid, water, acidic aqueous solution, and the like are exemplified.

(경화 공정)(curing process)

이어서, 미세 개구가 형성된 도막(패터닝된 도막)의 가열 처리를 행한다. 가열 처리를 행하여, 도막을 구성하는 분자 구조 중에 잔존하는 반응성기(예를 들어, (C) 성분의 반응성기 등)를 반응시킴으로써, 내열성이 풍부한 경화막을 얻을 수 있다. 이상의 공정을 거쳐서, 플렉시블 프린트 기판이 얻어진다. 경화막의 두께는, 배선의 두께 등을 고려하여 결정되지만, 2㎛ 이상 50㎛ 이하인 것이 바람직하다. 경화 공정에 있어서의 최종 경화 온도는, 배선 등의 산화를 방지하여, 배선과 필름 형상 지지체의 밀착성을 저하시키지 않는 것을 목적으로 하여, 저온인 것이 바람직하다. 최종 경화 온도는, 100℃ 이상 250℃ 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 120℃ 이상 200℃ 이하이고, 더욱 바람직하게는 130℃ 이상 180℃ 이하이다. 최종 경화 온도에 있어서의 경화 시간은, 예를 들어 1분 이상 120분 이하이다. 본 실시 형태에 의해 형성된 경화막은, 유연성, 난연성 및 전기 절연 신뢰성이 우수하면서, 경화 공정 후의 휨이 작은 경향이 있다. 그 때문에, 본 실시 형태에 의해 형성된 경화막은, 플렉시블 프린트 기판의 절연 재료로서 특히 적합하다.Next, heat treatment is performed on the coating film (patterned coating film) in which fine openings are formed. A cured film with high heat resistance can be obtained by performing heat treatment and reacting the reactive groups remaining in the molecular structure constituting the coating film (for example, the reactive groups of component (C), etc.). Through the above process, a flexible printed circuit board is obtained. The thickness of the cured film is determined in consideration of the thickness of wiring and the like, but is preferably 2 μm or more and 50 μm or less. The final curing temperature in the curing step is preferably low for the purpose of preventing oxidation of the wiring or the like and not reducing the adhesion between the wiring and the film-shaped support. The final curing temperature is preferably 100°C or higher and 250°C or lower, more preferably 120°C or higher and 200°C or lower, still more preferably 130°C or higher and 180°C or lower. The curing time at the final curing temperature is, for example, 1 minute or more and 120 minutes or less. The cured film formed according to the present embodiment tends to have small warpage after the curing step while being excellent in flexibility, flame retardancy and electrical insulation reliability. Therefore, the cured film formed according to this embodiment is particularly suitable as an insulating material for a flexible printed circuit board.

실시예Example

이하, 실시예에 의해 본 발명을 구체적으로 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예에만 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be specifically described by examples, but the present invention is not limited only to these examples.

먼저, 후술하는 결합제 폴리머 P1 내지 P4의 중량 평균 분자량 및 산가, 그리고 결합제 폴리머 P1 내지 P4를 각각 포함하는 수지 용액 SP1 내지 SP4의 고형분 농도의 측정 방법에 대하여 설명한다.First, a method for measuring the weight average molecular weight and acid value of the binder polymers P1 to P4 and the solid content concentration of the resin solutions SP1 to SP4 each containing the binder polymers P1 to P4 will be described.

<중량 평균 분자량의 측정 방법><Measurement method of weight average molecular weight>

결합제 폴리머 P1 내지 P4의 중량 평균 분자량은, 하기 조건에서 측정했다.The weight average molecular weights of the binder polymers P1 to P4 were measured under the following conditions.

· 사용 장치: 도소사제 「HLC-8220GPC」Device used: Tosoh Corporation "HLC-8220GPC"

· 칼럼: 도소사제 「TSKgel Super AWM-H」(6.0mmI.D.×15㎝)×2개Column: Tosoh Corporation "TSKgel Super AWM-H" (6.0mmI.D. × 15cm) × 2

· 가드 칼럼: 도소사제 「TSKguardcolumn Super AW-H」×1개・Guard column: Tosoh Corporation “TSKguardcolumn Super AW-H” × 1

· 용리액: LiBr(농도: 30mmol/L) 및 H3PO4(농도: 20mmol/L)를 용해한 N,N-디메틸포름아미드 용액Eluent: N,N-dimethylformamide solution in which LiBr (concentration: 30mmol/L) and H 3 PO 4 (concentration: 20mmol/L) are dissolved

· 유속: 0.6mL/분· Flow rate: 0.6mL/min

· 칼럼 온도: 40℃· Column temperature: 40 ℃

· 검출기: RI(시차 굴절계)Detector: RI (Differential Refractometer)

· RI의 검출 조건: 폴라리티(+), 리스폰스(0.5초)RI detection conditions: polarity (+), response (0.5 sec)

· 시료 농도: 5㎎/mLSample concentration: 5 mg/mL

· 표준품: PEG(폴리에틸렌글리콜)Standard product: PEG (polyethylene glycol)

<산가의 측정 방법><Acid value measurement method>

결합제 폴리머 P1 내지 P4의 산가는, JIS K 5601-2-1(1999년)에 기재된 방법으로 측정했다.The acid values of the binder polymers P1 to P4 were measured by the method described in JIS K 5601-2-1 (1999).

<수지 용액의 고형분 농도의 측정 방법><Method for Measuring Solid Concentration of Resin Solution>

수지 용액 SP1 내지 SP4의 고형분 농도는, JIS K 5601-1-2(2008년)에 기재된 방법으로 측정했다. 측정할 때의 건조 조건은 170℃×1시간이었다.Solid content concentrations of the resin solutions SP1 to SP4 were measured by the method described in JIS K 5601-1-2 (2008). Drying conditions at the time of measurement were 170 degreeC x 1 hour.

<수지 용액의 조제><Preparation of resin solution>

이하, (A) 성분으로서의 결합제 폴리머 P1 내지 P4를 각각 포함하는 수지 용액 SP1 내지 SP4의 조제 방법에 대하여 설명한다. 또한, 이하에 있어서, 특기하지 않는 한, 질소 기류 하에서 반응(교반)을 행하였다.Hereinafter, a method for preparing resin solutions SP1 to SP4 each containing binder polymers P1 to P4 as component (A) will be described. In addition, in the following, the reaction (stirring) was performed under a nitrogen stream unless otherwise specified.

[결합제 폴리머 P1을 포함하는 수지 용액 SP1의 조제][Preparation of Resin Solution SP1 Containing Binder Polymer P1]

교반기, 온도계 및 질소 도입관을 구비한 반응 용기에, 중합용 용매로서의 트리에틸렌글리콜디메틸에테르(이하, 「TEGDM」이라고 기재하는 경우가 있음) 35.00g과, 노르보르넨디이소시아네이트 10.31g(0.050몰)을 투입하고, 용기 내용물을 질소 기류 하에서 교반하면서 80℃로 가온하여, 노르보르넨디이소시아네이트를 TEGDM에 용해시켰다. 이어서, 용기 내용물에, 폴리카르보네이트디올(아사히 가세이사제 「PCDL T5652」, 중량 평균 분자량: 2,000)의 TEGDM 용액을 1시간 걸려서 첨가한 후, 얻어진 용액을, 80℃로 가온하면서 2시간 교반했다. 또한, 상기 폴리카르보네이트디올의 TEGDM 용액은, 폴리카르보네이트디올 50.00g(0.025몰)을 TEGDM 35.00g에 용해한 용액이었다. 이어서, 용기 내용물에 4,4'-옥시디프탈산 무수물 15.51g(0.050몰)을 첨가하여, 용기 내용물을 190℃로 가온하면서 1시간 교반했다. 이어서, 용기 내용물을 80℃까지 냉각한 후, 용기 내용물에 순수 3.60g(0.200몰)을 첨가했다. 이어서, 용기 내용물을 110℃로 가온하면서 5시간 환류하여, 1분자 중에 우레탄 결합과 이미드기를 갖는 결합제 폴리머 P1을 포함하는 수지 용액 SP1을 얻었다. 얻어진 수지 용액 SP1의 고형분 농도는 53중량%였다. 또한, 결합제 폴리머 P1의 중량 평균 분자량 및 산가는, 각각 9,200 및 86㎎KOH/g이었다.In a reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer and a nitrogen inlet tube, 35.00 g of triethylene glycol dimethyl ether (hereinafter sometimes referred to as "TEGDM") as a polymerization solvent and 10.31 g (0.050 mol) of norbornene diisocyanate was added, and the contents of the container were heated to 80° C. while stirring under a nitrogen stream to dissolve norbornene diisocyanate in TEGDM. Next, to the contents of the container, a TEGDM solution of polycarbonate diol (“PCDL T5652” manufactured by Asahi Kasei Co., Ltd., weight average molecular weight: 2,000) was added over 1 hour, and then the obtained solution was stirred for 2 hours while heating to 80 ° C. did. In addition, the polycarbonate diol TEGDM solution was a solution obtained by dissolving 50.00 g (0.025 mol) of polycarbonate diol in 35.00 g of TEGDM. Next, 15.51 g (0.050 mol) of 4,4'-oxydiphthalic anhydride was added to the contents of the vessel, and the contents of the vessel were stirred for 1 hour while being heated to 190°C. Then, after cooling the container contents to 80 degreeC, 3.60 g (0.200 mol) of pure water was added to the container contents. Then, the contents of the container were refluxed for 5 hours while heating to 110°C to obtain a resin solution SP1 containing a binder polymer P1 having a urethane bond and an imide group in one molecule. Solid content concentration of obtained resin solution SP1 was 53 weight%. In addition, the weight average molecular weight and acid value of binder polymer P1 were 9,200 and 86 mgKOH/g, respectively.

[결합제 폴리머 P2를 포함하는 수지 용액 SP2의 조제][Preparation of Resin Solution SP2 Containing Binder Polymer P2]

교반기, 온도계 및 질소 도입관을 구비한 반응 용기에, 중합용 용매로서의 TEGDM 40.00g과, 노르보르넨디이소시아네이트 20.62g(0.100몰)을 투입하고, 용기 내용물을 질소 기류 하에서 교반하면서 80℃로 가온하여, 노르보르넨디이소시아네이트를 TEGDM에 용해시켰다. 이어서, 용기 내용물에, 폴리카르보네이트디올(아사히 가세이사제 「PCDL T5652」, 중량 평균 분자량: 2,000), 2,2-비스(히드록시메틸)부탄산 및 2-히드록시에틸메타크릴레이트의 TEGDM 용액을 1시간 걸려서 첨가했다. 얻어진 용액을 80℃로 가온하면서 5시간 교반하여, 1분자 중에 우레탄 결합과 카르복시기와 메타크릴로일기를 갖는 결합제 폴리머 P2를 포함하는 수지 용액 SP2를 얻었다. 또한, 상기 폴리카르보네이트디올, 2,2-비스(히드록시메틸)부탄산 및2-히드록시에틸메타크릴레이트의 TEGDM 용액은, 폴리카르보네이트디올 50.00g(0.025몰)과 2,2-비스(히드록시메틸)부탄산 3.70g(0.025몰)과 2-히드록시에틸메타크릴레이트 13.02g(0.100몰)을 TEGDM 40.00g에 용해한 용액이었다. 얻어진 수지 용액 SP2의 고형분 농도는 52중량%였다. 또한, 결합제 폴리머 P2의 중량 평균 분자량 및 산가는, 각각 8,600 및 18㎎KOH/g이었다.40.00 g of TEGDM as a polymerization solvent and 20.62 g (0.100 mol) of norbornene diisocyanate were added to a reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer, and a nitrogen inlet tube, and the contents of the vessel were heated to 80° C. while stirring under a nitrogen stream. , norbornenediisocyanate was dissolved in TEGDM. Next, to the contents of the container, polycarbonate diol (“PCDL T5652” manufactured by Asahi Kasei Co., Ltd., weight average molecular weight: 2,000), 2,2-bis(hydroxymethyl)butanoic acid and 2-hydroxyethyl methacrylate The TEGDM solution was added over 1 hour. The obtained solution was stirred for 5 hours while heating at 80°C to obtain resin solution SP2 containing binder polymer P2 having a urethane bond, a carboxy group and a methacryloyl group in one molecule. In addition, the TEGDM solution of the polycarbonate diol, 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid and 2-hydroxyethyl methacrylate, polycarbonate diol 50.00g (0.025 mol) and 2,2 - It was a solution in which 3.70 g (0.025 mol) of bis(hydroxymethyl)butanoic acid and 13.02 g (0.100 mol) of 2-hydroxyethyl methacrylate were dissolved in 40.00 g of TEGDM. The solid content concentration of obtained resin solution SP2 was 52 weight%. In addition, the weight average molecular weight and acid value of binder polymer P2 were 8,600 and 18 mgKOH/g, respectively.

[결합제 폴리머 P3을 포함하는 수지 용액 SP3의 조제][Preparation of Resin Solution SP3 Containing Binder Polymer P3]

교반기, 온도계 및 질소 도입관을 구비한 반응 용기에, 중합용 용매로서의 TEGDM 100.00g을 투입하고, 용기 내용물을 질소 기류 하에서 교반하면서 80℃까지 승온했다. 이어서, 용기 내용물의 온도를 80℃로 유지한 상태에서, 적하 깔때기를 사용하여 반응 용기에 메타크릴산계 화합물을 포함하는 혼합물을 3시간 걸려서 적하했다. 또한, 상기 메타크릴산계 화합물을 포함하는 혼합물은, 온도 25℃의 분위기 하에서 미리 혼합해 둔, 메타크릴산 12.0g(0.14몰), 메타크릴산벤질 28.0g(0.16몰), 메타크릴산부틸 60.0g(0.42몰) 및 라디칼 중합 개시제로서의 아조비스이소부티로니트릴 0.5g의 혼합물이었다. 적하 종료 후, 용기 내용물을 교반하면서 90℃까지 승온했다. 이어서, 용기 내용물의 온도를 90℃로 유지한 상태에서, 용기 내용물을 2시간 교반하여, 1분자 중에 카르복시기를 갖는 결합제 폴리머 P3을 포함하는 수지 용액 SP3을 얻었다. 얻어진 수지 용액 SP3의 고형분 농도는 50중량%였다. 또한, 결합제 폴리머 P3의 중량 평균 분자량 및 산가는, 각각 48,000 및 78㎎KOH/g이었다.100.00 g of TEGDM as a polymerization solvent was charged into a reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer and a nitrogen inlet tube, and the temperature of the contents of the vessel was raised to 80°C while stirring under a nitrogen stream. Then, the mixture containing the methacrylic acid compound was added dropwise to the reaction container over 3 hours using a dropping funnel while maintaining the temperature of the contents of the container at 80°C. In addition, the mixture containing the said methacrylic acid compound is 12.0 g (0.14 mol) of methacrylic acid, 28.0 g (0.16 mol) of benzyl methacrylate, and 60.0 butyl methacrylate which were previously mixed in the atmosphere of the temperature of 25 degreeC. g (0.42 mol) and 0.5 g of azobisisobutyronitrile as a radical polymerization initiator. After completion of the dropping, the temperature was raised to 90°C while stirring the contents of the container. Then, the contents of the container were stirred for 2 hours while the temperature of the contents of the container was maintained at 90°C, and resin solution SP3 containing binder polymer P3 having a carboxy group in one molecule was obtained. Solid content concentration of obtained resin solution SP3 was 50 weight%. In addition, the weight average molecular weight and acid value of binder polymer P3 were 48,000 and 78 mgKOH/g, respectively.

[결합제 폴리머 P4를 포함하는 수지 용액 SP4의 조제][Preparation of Resin Solution SP4 Containing Binder Polymer P4]

교반기, 온도계 및 질소 도입관을 구비한 반응 용기에, 중합용 용매로서의 디에틸렌글리콜디에틸에테르(이하, 「DEGDE」라고 기재하는 경우가 있음) 35.00g과, 노르보르넨디이소시아네이트 10.31g(0.050몰)을 투입하고, 용기 내용물을 질소 기류 하에서 교반하면서 80℃로 가온하여, 노르보르넨디이소시아네이트를 DEGDE에 용해시켰다. 이어서, 용기 내용물에 폴리카르보네이트디올(아사히 가세이사제 「PCDL T5652」, 중량 평균 분자량: 2,000)의 DEGDE 용액을 1시간 걸려서 첨가한 후, 얻어진 용액을 80℃로 가온하면서 2시간 교반했다. 또한, 상기 폴리카르보네이트디올의 DEGDE 용액은, 폴리카르보네이트디올 50.00g(0.025몰)을 DEGDE 35.00g에 용해한 용액이었다. 이어서, 용기 내용물에 2,2-비스[4-(3,4-디카르복시페녹시)페닐]프로판 이무수물 26.02g(0.050몰)을 첨가하여, 용기 내용물을 190℃로 가온하면서 1시간 교반했다. 이어서, 용기 내용물을 80℃까지 냉각한 후, 용기 내용물에 순수 3.60g(0.200몰)을 첨가했다. 이어서, 용기 내용물을 110℃로 가온하면서 5시간 환류하여, 1분자 중에 우레탄 결합과 이미드기를 갖는 결합제 폴리머 P4를 포함하는 수지 용액 SP4를 얻었다. 얻어진 수지 용액 SP4의 고형분 농도는 55중량%였다. 또한, 결합제 폴리머 P4의 중량 평균 분자량 및 산가는, 각각 5,500 및 90㎎KOH/g이었다.In a reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer and a nitrogen inlet pipe, 35.00 g of diethylene glycol diethyl ether (hereinafter sometimes referred to as “DEGDE”) as a polymerization solvent and 10.31 g (0.050 mol) of norbornene diisocyanate ) was added, and the contents of the container were heated to 80° C. while stirring under a nitrogen stream to dissolve norbornene diisocyanate in DEGDE. Next, after adding a DEGDE solution of polycarbonate diol (“PCDL T5652” manufactured by Asahi Kasei, weight average molecular weight: 2,000) to the contents of the container over 1 hour, the obtained solution was stirred for 2 hours while heating to 80°C. In addition, the DEGDE solution of the said polycarbonate diol was a solution which melt|dissolved 50.00 g (0.025 mol) of polycarbonate diol in 35.00 g of DEGDE. Next, 26.02 g (0.050 mol) of 2,2-bis[4-(3,4-dicarboxyphenoxy)phenyl]propane dianhydride was added to the contents of the vessel, and the contents of the vessel were stirred for 1 hour while heating to 190°C. . Then, after cooling the container contents to 80 degreeC, 3.60 g (0.200 mol) of pure water was added to the container contents. Then, the contents of the container were refluxed for 5 hours while heating to 110°C, and resin solution SP4 containing binder polymer P4 having a urethane bond and an imide group in one molecule was obtained. Solid content concentration of obtained resin solution SP4 was 55 weight%. In addition, the weight average molecular weight and acid value of binder polymer P4 were 5,500 and 90 mgKOH/g, respectively.

<액상 감광성 수지 조성물의 조제><Preparation of liquid photosensitive resin composition>

상술한 조제 방법으로 얻어진 수지 용액 SP1 내지 SP4의 어느 것과, 후술하는 표 1 내지 표 7에 기재된 각 성분(상세하게는, (A) 성분 이외의 성분)을, 교반 날개를 구비한 교반 장치에서 혼합했다. 이어서, 얻어진 혼합물을, 3개 롤밀에 2회 통과시킨 후, 탈포 장치에서 탈포하여, 실시예 1 내지 25 및 비교예 1 내지 8에서 사용하는 액상 감광성 수지 조성물을 각각 얻었다. 또한, 얻어진 액상 감광성 수지 조성물 중의 입자의 평균 입자경을 측정한바, 실시예 1 내지 25 및 비교예 1 내지 8의 어느 것에 대해서도 10㎛ 이하였다.Any of the resin solutions SP1 to SP4 obtained by the preparation method described above and each component listed in Tables 1 to 7 described later (specifically, components other than component (A)) are mixed with a stirring device equipped with a stirring blade. did. Next, after passing the obtained mixture twice through three roll mills, it was defoamed with a defoaming device to obtain liquid photosensitive resin compositions used in Examples 1 to 25 and Comparative Examples 1 to 8, respectively. Moreover, when the average particle diameter of the particle|grains in the obtained liquid photosensitive resin composition was measured, it was 10 micrometers or less also in any of Examples 1-25 and Comparative Examples 1-8.

<액상 감광성 수지 조성물의 물성의 측정 방법 및 액상 감광성 수지 조성물의 평가 방법><Method for Measuring Physical Properties of Liquid Photosensitive Resin Composition and Evaluation Method for Liquid Photosensitive Resin Composition>

[점도의 측정 방법][Viscosity measurement method]

각 액상 감광성 수지 조성물의 점도(후술하는 표 1 내지 표 7에 기재된 점도)는, 브룩필드형 회전 점도계(브룩필드사제 「HBDV-I」)를 사용하여 이하의 조건에서 측정을 개시하고, 측정(회전) 개시로부터 3분 후에 브룩필드형 회전 점도계가 나타낸 점도로 했다. 이하, 여기서 측정된 점도를 「V50」이라고 기재하는 경우가 있다.The viscosity of each liquid photosensitive resin composition (the viscosity described in Tables 1 to 7 described later) was measured under the following conditions using a Brookfield rotational viscometer ("HBDV-I" manufactured by Brookfield), and measured ( Rotation) It was set as the viscosity shown by the Brookfield type rotational viscometer 3 minutes after the start. Hereinafter, the viscosity measured here may be described as "V 50 ".

· 스핀들: No.3Spindle: No.3

· 측정 온도: 25℃・Measurement temperature: 25℃

· 회전수: 50rpmRotation speed: 50rpm

[TI값의 측정 방법][Measurement method of TI value]

각 액상 감광성 수지 조성물에 대하여, 회전수를 5rpm으로 변경한 것 이외는, 상기 [점도의 측정 방법]과 동일한 조건에서 측정을 개시하고, 측정(회전) 개시로부터 3분 후에 브룩필드형 회전 점도계가 나타낸 점도와, 상기 V50으로부터 TI값을 산출했다.For each liquid photosensitive resin composition, except that the rotation speed was changed to 5 rpm, the measurement was started under the same conditions as in [Viscosity Measurement Method], and 3 minutes after the start of measurement (rotation), a Brookfield rotational viscometer The TI value was calculated from the indicated viscosity and the above V 50 .

[경시 점도비의 측정 방법][Measurement method of viscosity ratio over time]

각 액상 감광성 수지 조성물에 대하여, 상기 [점도의 측정 방법]과 동일한 조건에서 측정을 개시하고, 측정(회전) 개시로부터 24시간 후에 브룩필드형 회전 점도계가 나타낸 점도와, 상기 V50으로부터 경시 점도비를 산출했다.For each liquid photosensitive resin composition, the measurement was started under the same conditions as in the [Method for Measuring Viscosity], and the viscosity shown by the Brookfield rotational viscometer 24 hours after the start of the measurement (rotation) and the viscosity ratio over time from the above V 50 Calculated.

[경화막의 탄성률의 측정 방법][Method for measuring elastic modulus of cured film]

각 액상 감광성 수지 조성물을, 베이커식 애플리케이터를 사용하여, 두께 25㎛의 폴리테트라플루오로에틸렌제 시트 위의 일부(면적 200㎜×200㎜의 영역)에 도포했다. 이때, 경화막의 두께가 20㎛로 되도록, 액상 감광성 수지 조성물의 도포량을 조정했다. 이어서, 액상 감광성 수지 조성물을 포함하는 도막을, 건조 온도 80℃ 또한 건조 시간 20분의 조건에서 건조시킨 후, 적산 노광량 300mJ/㎠의 조건에서 도막 전체면에 자외선을 조사하여 노광했다. 이어서, 1.0중량%의 탄산나트륨 수용액(온도: 30℃)을 현상액으로서 사용하여, 노광 후의 도막에 대하여, 토출압 1.0kgf/㎟의 조건에서 90초간 스프레이 현상을 행하였다. 이어서, 현상 후의 도막을, 순수로 세정한 후, 온도 150℃의 오븐 내에서 60분간 가열하여, 폴리테트라플루오로에틸렌제 시트 위에 액상 감광성 수지 조성물의 경화막을 형성했다. 그리고, 형성한 경화막을, 폴리테트라플루오로에틸렌제 시트로부터 박리하고, 길이 200㎜ 또한 폭 15㎜의 크기로 재단하여, 두께 20㎛의 시험편을 얻었다. 얻어진 시험편을 사용하여, 경화막의 탄성률을 하기 조건에서 측정했다.Each liquid photosensitive resin composition was applied to a part (an area of 200 mm x 200 mm area) on a polytetrafluoroethylene sheet having a thickness of 25 µm using a Baker's applicator. At this time, the coating amount of the liquid photosensitive resin composition was adjusted so that the thickness of the cured film might be 20 μm. Next, after drying the coating film containing the liquid photosensitive resin composition under the conditions of a drying temperature of 80° C. and a drying time of 20 minutes, the entire surface of the coating film was irradiated with ultraviolet rays under the conditions of a cumulative exposure amount of 300 mJ/cm 2 and exposed. Subsequently, spray development was performed for 90 seconds under conditions of a discharge pressure of 1.0 kgf/mm 2 to the coated film after exposure using a 1.0% by weight aqueous solution of sodium carbonate (temperature: 30° C.) as a developing solution. Next, after washing the developed coating film with pure water, it was heated in an oven at a temperature of 150°C for 60 minutes to form a cured film of the liquid photosensitive resin composition on the sheet made of polytetrafluoroethylene. Then, the formed cured film was peeled off from the sheet made of polytetrafluoroethylene and cut into a size of 200 mm in length and 15 mm in width to obtain a test piece having a thickness of 20 μm. The elastic modulus of the cured film was measured under the following conditions using the obtained test piece.

· 사용 장치: 인장 시험기(시마즈 세이사쿠쇼사제 「오토그래프 S형」)Device used: Tensile tester (“Autograph S type” manufactured by Shimadzu Corporation)

· 측정 온도: 23℃・Measurement temperature: 23℃

· 인장 속도: 50㎜/분· Tensile speed: 50 mm / min

[미세 개구성의 평가 방법][Evaluation method of fine porosity]

각 액상 감광성 수지 조성물을, 베이커식 애플리케이터를 사용하여, 두께 25㎛의 폴리이미드 필름(가네카사제 「아피칼(등록 상표) 25NPI」)의 일부(면적 200㎜×200㎜의 영역) 위에 도포했다. 이때, 경화막의 두께가 20㎛로 되도록, 액상 감광성 수지 조성물의 도포량을 조정했다. 이어서, 액상 감광성 수지 조성물을 포함하는 도막을, 건조 온도 80℃ 또한 건조 시간 20분의 조건에서 건조시킨 후, 직경 30㎛, 50㎛, 80㎛, 100㎛, 120㎛, 150㎛ 및 200㎛의 원 형상의 차광 영역을 갖는 네가티브형 포토마스크를 통해, 적산 노광량 300mJ/㎠의 조건에서 도막에 자외선을 조사하여 노광했다. 이어서, 1.0중량%의 탄산나트륨 수용액(온도: 30℃)을 현상액으로서 사용하여, 노광 후의 도막에 대하여, 토출압 1.0kgf/㎟의 조건에서 90초간 스프레이 현상을 행하였다. 이어서, 현상 후의 도막을, 순수로 세정한 후, 온도 150℃의 오븐 내에서 60분간 가열하여, 폴리이미드 필름 위에 액상 감광성 수지 조성물의 경화막을 형성했다. 얻어진 경화막을 광학 현미경으로 관찰하여, 형성된 구멍 중 최소의 직경을, 미세 개구성의 평가값으로 했다.Each liquid photosensitive resin composition was applied onto a part (area of 200 mm × 200 mm in area) of a polyimide film (“Apical (registered trademark) 25NPI” manufactured by Kaneka Corporation) having a thickness of 25 μm using a Baker-style applicator. . At this time, the coating amount of the liquid photosensitive resin composition was adjusted so that the thickness of the cured film might be 20 μm. Then, after drying the coating film containing the liquid photosensitive resin composition under conditions of a drying temperature of 80° C. and a drying time of 20 minutes, a diameter of 30 μm, 50 μm, 80 μm, 100 μm, 120 μm, 150 μm and 200 μm Through a negative photomask having a circular light-shielding region, the coating film was irradiated with ultraviolet rays and exposed under conditions of a cumulative exposure amount of 300 mJ/cm 2 . Subsequently, spray development was performed for 90 seconds under conditions of a discharge pressure of 1.0 kgf/mm 2 to the coated film after exposure using a 1.0% by weight aqueous solution of sodium carbonate (temperature: 30° C.) as a developing solution. Next, after washing the developed coating film with pure water, it was heated in an oven at a temperature of 150°C for 60 minutes to form a cured film of the liquid photosensitive resin composition on the polyimide film. The obtained cured film was observed with an optical microscope, and the smallest diameter among the holes formed was used as the evaluation value of fine opening properties.

[반발력의 측정 방법][Method of measuring repulsive force]

먼저, 필름 형상 지지체로서의 폴리이미드 필름(가네카사제 「픽시오(등록 상표) BP FRS-522#SW」, 두께: 12.5㎛)의 양면에 전해 구리박(두께: 12㎛)을 접합한 플렉시블 동장 적층판을 준비했다. 이 플렉시블 동장 적층판의 편면의 구리박을 패터닝하여, 필름 형상 지지체 위에 라인 폭/스페이스 폭=100㎛/100㎛의 빗형 패턴을 형성했다. 이어서, 빗형 패턴이 형성된 적층판을, 10체적%의 황산 수용액 중에 1분간 침지한 후, 순수로 세정했다. 이어서, 각 액상 감광성 수지 조성물을, 베이커식 애플리케이터를 사용하여, 빗형 패턴 위에 도포했다. 이때, 빗형 패턴 위에 있어서의 경화막의 두께가 20㎛로 되도록, 액상 감광성 수지 조성물의 도포량을 조정했다. 이어서, 액상 감광성 수지 조성물을 포함하는 도막을, 건조 온도 80℃ 또한 건조 시간 20분의 조건에서 건조시킨 후, 적산 노광량 300mJ/㎠의 조건에서 도막 전체면에 자외선을 조사하여 노광했다. 이어서, 1.0중량%의 탄산나트륨 수용액(온도: 30℃)을 현상액으로서 사용하여, 노광 후의 도막에 대하여, 토출압1.0kgf/㎟의 조건에서 90초간 스프레이 현상을 행하였다. 이어서, 현상 후의 도막을, 순수로 세정한 후, 온도 150℃의 오븐 내에서 60분간 가열하여, 빗형 패턴 위에 액상 감광성 수지 조성물의 경화막을 형성했다. 이어서, 얻어진 경화막을 포함하는 적층체를, 폭 15㎜×길이 200㎜의 크기로 재단하여, 시험편을 얻었다. 이 시험편을, 외주 50㎜의 루프 형상으로 둥글게 하여 반발력 측정 장치(도요 세이키 세이사쿠쇼제 「루프 스티프니스 테스터(등록 상표)」)에 고정하고, 루프 형상으로 둥글게 한 시험편을, 최단 루프 직경이 10㎜로 될 때까지 압입하고, 루프 형상으로 둥글게 한 시험편으로부터의 반발력을 측정했다. 반발력이 작을수록, 저반발성이 우수한 경화막이라고 평가할 수 있다.First, an electrolytic copper foil (thickness: 12 μm) is bonded to both sides of a polyimide film ("Pixio (registered trademark) BP FRS-522#SW" manufactured by Kaneka Corporation, thickness: 12.5 μm) as a film-shaped support. Flexible copper foil Laminates were prepared. The copper foil on one side of this flexible copper-clad laminate was patterned to form a comb-shaped pattern with line width/space width = 100 µm/100 µm on the film-shaped support. Next, the laminated board on which the comb-shaped pattern was formed was immersed in a 10% by volume sulfuric acid aqueous solution for 1 minute, and then washed with pure water. Next, each liquid photosensitive resin composition was applied on the comb-shaped pattern using a Baker-style applicator. At this time, the coating amount of the liquid photosensitive resin composition was adjusted so that the thickness of the cured film on the comb pattern would be 20 μm. Next, after drying the coating film containing the liquid photosensitive resin composition under the conditions of a drying temperature of 80° C. and a drying time of 20 minutes, the entire surface of the coating film was irradiated with ultraviolet rays under the conditions of a cumulative exposure amount of 300 mJ/cm 2 and exposed. Subsequently, spray development was performed for 90 seconds under the condition of a discharge pressure of 1.0 kgf/mm 2 to the coated film after exposure, using a 1.0% by weight aqueous solution of sodium carbonate (temperature: 30° C.) as a developing solution. Next, after washing the developed coating film with pure water, it was heated in an oven at a temperature of 150°C for 60 minutes to form a cured film of the liquid photosensitive resin composition on the comb pattern. Next, the laminated body containing the obtained cured film was cut into a size of 15 mm in width x 200 mm in length to obtain a test piece. This test piece was rounded into a loop shape with an outer circumference of 50 mm and fixed to a repulsive force measuring device (“Loop Stiffness Tester (registered trademark)” manufactured by Toyo Seiki Seisakusho), and the test piece rounded into a loop shape was It was press-fitted until it reached mm, and the repulsive force from the test piece rounded into a loop was measured. It can be evaluated as a cured film excellent in low repulsion property, so that repulsive force is small.

[땜납 내열성의 평가 방법][Evaluation method of solder heat resistance]

각 액상 감광성 수지 조성물을, 베이커식 애플리케이터를 사용하여, 두께 35㎛의 전해 구리박 위에 도포했다. 이때, 경화막의 두께가 20㎛로 되도록, 액상 감광성 수지 조성물의 도포량을 조정했다. 이어서, 액상 감광성 수지 조성물을 포함하는 도막을, 건조 온도 80℃ 또한 건조 시간 20분의 조건에서 건조시킨 후, 적산 노광량 300mJ/㎠의 조건에서 도막 전체면에 자외선을 조사하여 노광했다. 이어서, 1.0중량%의 탄산나트륨 수용액(온도: 30℃)을 현상액으로서 사용하여, 노광 후의 도막에 대하여, 토출압 1.0kgf/㎟의 조건에서 90초간 스프레이 현상을 행하였다. 이어서, 현상 후의 도막을, 순수로 세정한 후, 온도 150℃의 오븐 내에서 60분간 가열하여, 전해 구리박 위에 액상 감광성 수지 조성물의 경화막을 형성하여, 시험편을 얻었다. 얻어진 시험편을 온도 260℃의 땜납욕에 침지한 후, 10초 후에 인상하는 조작을 1회의 조작으로 하고, 이 조작을 3회 연속으로 행하였다. 이어서, 경화막 표면의 상태를 눈으로 보아 관찰하여, 경화막 표면에 있어서 팽창이나 박리가 확인되지 않은 경우를 「A(땜납 내열성이 우수하다)」라고 평가했다. 한편, 경화막 표면에 있어서 팽창이나 박리가 확인된 경우를 「B(땜납 내열성이 우수하지 않다)」라고 평가했다.Each liquid photosensitive resin composition was applied onto an electrolytic copper foil having a thickness of 35 μm using a Baker-style applicator. At this time, the coating amount of the liquid photosensitive resin composition was adjusted so that the thickness of the cured film might be 20 μm. Next, after drying the coating film containing the liquid photosensitive resin composition under the conditions of a drying temperature of 80° C. and a drying time of 20 minutes, the entire surface of the coating film was irradiated with ultraviolet rays under the conditions of a cumulative exposure amount of 300 mJ/cm 2 and exposed. Subsequently, spray development was performed for 90 seconds under conditions of a discharge pressure of 1.0 kgf/mm 2 to the coated film after exposure using a 1.0% by weight aqueous solution of sodium carbonate (temperature: 30° C.) as a developing solution. Next, after washing the developed coating film with pure water, it was heated in an oven at a temperature of 150°C for 60 minutes to form a cured film of the liquid photosensitive resin composition on the electrolytic copper foil, and a test piece was obtained. After immersing the obtained test piece in a soldering bath at a temperature of 260°C, the operation of pulling up after 10 seconds was made one operation, and this operation was performed three times in succession. Next, the state of the surface of the cured film was visually observed, and the case where swelling or peeling was not observed on the surface of the cured film was evaluated as "A (excellent in solder heat resistance)". On the other hand, the case where swelling or peeling was confirmed on the surface of the cured film was evaluated as "B (not excellent in solder heat resistance)".

[전기 절연 신뢰성의 평가 방법][Evaluation Method of Electrical Insulation Reliability]

먼저, 필름 형상 지지체로서의 폴리이미드 필름(가네카사제 「픽시오(등록 상표) BP FRS-142#SW」, 두께: 25㎛)의 양면에 전해 구리박(두께: 12㎛)을 접합한 플렉시블 동장 적층판을 준비했다. 이 플렉시블 동장 적층판의 편면의 구리박을 패터닝하여, 필름 형상 지지체 위에 라인 폭/스페이스 폭=100㎛/100㎛의 빗형 패턴을 형성했다. 이어서, 빗형 패턴이 형성된 적층판을, 10체적%의 황산 수용액 중에 1분간 침지한 후, 순수로 세정했다. 이어서, 각 액상 감광성 수지 조성물을, 베이커식 애플리케이터를 사용하여, 빗형 패턴 위에 도포했다. 이때, 빗형 패턴 위에 있어서의 경화막의 두께가 20㎛로 되도록, 액상 감광성 수지 조성물의 도포량을 조정했다. 이어서, 액상 감광성 수지 조성물을 포함하는 도막을, 건조 온도 80℃ 또한 건조 시간 20분의 조건에서 건조시킨 후, 적산 노광량 300mJ/㎠의 조건에서 도막 전체면에 자외선을 조사하여 노광했다. 이어서, 1.0중량%의 탄산나트륨 수용액(온도: 30℃)을 현상액으로서 사용하여, 노광 후의 도막에 대하여, 토출압 1.0kgf/㎟의 조건에서 90초간 스프레이 현상을 행하였다. 이어서, 현상 후의 도막을, 순수로 세정한 후, 온도 150℃의 오븐 내에서 60분간 가열하여, 빗형 패턴 위에 액상 감광성 수지 조성물의 경화막을 형성하여, 시험편을 얻었다. 이어서, 온도 85℃ 또한 상대 습도 85%의 환경 하에서, 시험편의 양 단자 부분에 100V의 직류 전압을 인가하여, 양 단자 사이의 저항값의 변화를 관찰했다. 그리고, 인가 개시로부터 1000시간 경과했을 때 1.0×108Ω 이상의 저항값을 나타낸 경우를 「A(전기 절연 신뢰성이 우수하다)」라고 평가했다. 한편, 인가 개시로부터 1000시간 경과했을 때 1.0×108Ω 미만의 저항값을 나타낸 경우를 「B(전기 절연 신뢰성이 우수하지 않다)」라고 평가했다.First, a flexible copper foil (thickness: 12 μm) bonded to both sides of a polyimide film (“Pixio (registered trademark) BP FRS-142#SW” manufactured by Kaneka Corporation, thickness: 25 μm) as a film-shaped support body Laminates were prepared. The copper foil on one side of this flexible copper-clad laminate was patterned to form a comb-shaped pattern with line width/space width = 100 µm/100 µm on the film-shaped support. Subsequently, the laminated plate on which the comb pattern was formed was immersed in a 10% by volume sulfuric acid aqueous solution for 1 minute, and then washed with pure water. Next, each liquid photosensitive resin composition was applied onto the comb-shaped pattern using a Baker-style applicator. At this time, the coating amount of the liquid photosensitive resin composition was adjusted so that the thickness of the cured film on the comb pattern would be 20 μm. Next, after drying the coating film containing the liquid photosensitive resin composition under the conditions of a drying temperature of 80° C. and a drying time of 20 minutes, the entire surface of the coating film was irradiated with ultraviolet rays under the conditions of a cumulative exposure amount of 300 mJ/cm 2 and exposed. Subsequently, spray development was performed for 90 seconds under conditions of a discharge pressure of 1.0 kgf/mm 2 to the coated film after exposure, using a 1.0% by weight aqueous solution of sodium carbonate (temperature: 30° C.) as a developing solution. Next, after washing the developed coating film with pure water, it was heated in an oven at a temperature of 150°C for 60 minutes to form a cured film of the liquid photosensitive resin composition on the comb pattern, and a test piece was obtained. Next, in an environment of a temperature of 85°C and a relative humidity of 85%, a DC voltage of 100 V was applied to both terminal portions of the test piece, and a change in resistance between the terminals was observed. Then, when 1000 hours elapsed from the start of application, the case where a resistance value of 1.0×10 8 Ω or more was exhibited was evaluated as “A (excellent electrical insulation reliability)”. On the other hand, a case where a resistance value of less than 1.0×10 8 Ω was exhibited after 1000 hours elapsed from the start of application was evaluated as “B (not excellent in electrical insulation reliability)”.

[도막 표면의 점착성의 평가 방법][Method for Evaluating Adhesion on Surface of Coating Film]

각 액상 감광성 수지 조성물을, 베이커식 애플리케이터를 사용하여, 두께 25㎛의 폴리이미드 필름(가네카사제 「아피칼(등록 상표) 25NPI」)의 일부(면적 100㎜×100㎜의 영역) 위에 도포했다. 이때, 건조 후의 액상 감광성 수지 조성물을 포함하는 도막의 두께가 20㎛로 되도록, 액상 감광성 수지 조성물의 도포량을 조정했다. 이어서, 도막을, 건조 온도 80℃ 또한 건조 시간 20분의 조건에서 건조시켜, 도막을 갖는 필름을 얻었다. 이어서, 도막을 갖는 필름을 50㎜×30㎜의 스트립 형상으로 잘라내고, 도막을 내측으로 하여 도막면끼리를 중첩하고, 중첩한 부분에 300g의 추를 3초간 둔 후, 추를 제거하고, 중첩한 부분을 떼어냈다. 그리고, 떼어낸 후의 도막면을 눈으로 보아 관찰하여, 도막면에 첩부된 자국이 남아 있지 않은 경우를 「A(양호하다)」라고 평가하고, 도막면에 첩부된 자국이 남아 있던 경우를 「B(양호하지 않다)」라고 평가했다.Each liquid photosensitive resin composition was applied on a part (area of 100 mm x 100 mm area) of a polyimide film (“Apical (registered trademark) 25NPI” manufactured by Kaneka Corporation) having a thickness of 25 μm using a baker’s applicator. . At this time, the application quantity of the liquid photosensitive resin composition was adjusted so that the thickness of the coating film containing the liquid photosensitive resin composition after drying might be set to 20 micrometers. Next, the coating film was dried on conditions of a drying temperature of 80°C and a drying time of 20 minutes to obtain a film having a coating film. Next, the film having the coating film is cut into a strip shape of 50 mm × 30 mm, the coating film surfaces are overlapped with the coating film inside, and a weight of 300 g is placed on the overlapped portion for 3 seconds, the weight is removed, and the overlapping One part was removed. Then, the surface of the coated film after peeling was visually observed, and the case where no marks adhered to the coated film surface remained was evaluated as "A (good)", and the case where marks adhered to the coated film surface remained was evaluated as "B". (not good)”.

<기판의 제작><Production of substrate>

먼저, 필름 형상 지지체로서의 폴리이미드 필름(가네카사제 「픽시오(등록 상표) BP FRS#SW」)의 양면에 전해 구리박을 접합한 플렉시블 동장 적층판을 준비했다. 이 플렉시블 동장 적층판에, 직경(개구 직경) 30㎛, 50㎛, 80㎛, 100㎛, 130㎛, 190㎛, 240㎛ 및 290㎛의 관통 구멍을 각 600개 마련했다. 이어서, 관통 구멍 내의 클리닝 처리(디스미어 처리) 및 카본 처리를 행하였다. 이어서, 관통 구멍 내를 전해 구리 도금 처리한 후, 양면의 전해 구리박을 패터닝함으로써 배선을 형성하고, 필름 형상 지지체와, 필름 형상 지지체의 양면에 마련된 배선을 갖고, 또한 관통 구멍이 마련된 기판을 얻었다. 실시예 1 내지 25 및 비교예 1 내지 8의 각각에 대하여, 후술하는 표 1 내지 표 7에, 사용한 기판의 종폭 및 횡폭, 사용한 필름 형상 지지체의 두께, 그리고 사용한 기판의 배선의 두께를 나타낸다.First, a flexible copper-clad laminate was prepared in which electrolytic copper foil was bonded to both surfaces of a polyimide film (“Pixio (registered trademark) BP FRS#SW” manufactured by Kaneka Corporation) as a film-shaped support. In this flexible copper-clad laminate, 600 through holes each having diameters (opening diameters) of 30 μm, 50 μm, 80 μm, 100 μm, 130 μm, 190 μm, 240 μm and 290 μm were provided. Subsequently, cleaning treatment (desmear treatment) and carbon treatment were performed in the through hole. Next, after carrying out the electrolytic copper plating process on the inside of the through hole, wiring was formed by patterning the electrolytic copper foil on both sides to obtain a film support and a substrate having wiring provided on both sides of the film support and having through holes. . For each of Examples 1 to 25 and Comparative Examples 1 to 8, in Tables 1 to 7 described later, the vertical and horizontal widths of the substrates used, the thickness of the film-shaped supports used, and the thickness of wiring of the substrates used are shown.

<액상 감광성 수지 조성물의 기판에의 도포 및 도막의 형성><Application of liquid photosensitive resin composition to substrate and formation of coating>

상기 수순으로 제작한 기판의 양면에, 한 쌍의 도포 롤을 구비하는 수직 현수 인상식 롤 코터를 사용하여 액상 감광성 수지 조성물(후술하는 표 1 내지 표 7에 기재된 액상 감광성 수지 조성물의 어느 것)을 도포했다. 이때, 기판의 양면에 액상 감광성 수지 조성물을 동시에 도포했다. 도포 조건은 이하와 같았다. 또한, 이하의 도포 조건에 있어서, 「도포 롤」은, 「한 쌍의 도포 롤의 각각」을 의미한다.On both sides of the substrate produced in the above procedure, a liquid photosensitive resin composition (one of the liquid photosensitive resin compositions described in Tables 1 to 7 described later) is applied using a vertical suspension roll coater equipped with a pair of coating rolls. applied At this time, the liquid photosensitive resin composition was simultaneously applied to both surfaces of the substrate. Application conditions were as follows. In addition, in the following application conditions, "application roll" means "each of a pair of application rolls."

· 도포 롤의 표층(표층 롤)의 재질: 에틸렌프로필렌 고무· Material of the surface layer (surface layer roll) of the application roll: ethylene propylene rubber

· 표층 롤의 폭: 680㎜· Width of surface layer roll: 680 mm

· 도포 롤의 롤 직경: 후술하는 표 1 내지 표 7에 기재된 바와 같다· Roll diameter of the application roll: as described in Tables 1 to 7 described later

· 도포 롤의 홈의 종류: 후술하는 표 1 내지 표 7에 기재된 바와 같다· Type of groove of application roll: as described in Tables 1 to 7 described later

· 도포 롤의 홈의 피치: 700㎛Pitch of the grooves of the application roll: 700 μm

· 도포 롤의 홈의 개구 폭: 700㎛· Opening width of the groove of the application roll: 700㎛

· 도포 롤의 홈의 단면 형상: V자 형상· Cross-sectional shape of the groove of the application roll: V-shape

· 도포 롤의 홈의 깊이: 350㎛· Depth of the groove of the application roll: 350㎛

· 닥터 바의 압력: 1.5kgf/㎠Doctor bar pressure: 1.5kgf/cm2

· 도포 롤의 압입량: 150㎛· Press-in amount of application roll: 150㎛

· 도포 롤의 회전 속도: 5m/분Rotational speed of application roll: 5 m/min

이어서, 액상 감광성 수지 조성물이 도포된 기판을, 현수한 상태에서, 건조 온도 80℃ 또한 건조 시간 20분의 조건에서 건조시켰다. 건조 후의 액상 감광성 수지 조성물을 포함하는 도막의 두께(배선 위에 있어서의 도막의 두께)는, 양면 모두 20㎛였다.Then, the substrate coated with the liquid photosensitive resin composition was dried under conditions of a drying temperature of 80°C and a drying time of 20 minutes in a suspended state. The thickness of the coating film containing the liquid photosensitive resin composition after drying (thickness of the coating film on the wiring) was 20 µm on both sides.

<기판의 평가 방법><Evaluation method of substrate>

[매립성][Landfillability]

건조 후의 각 기판의 관통 구멍(상세하게는, 직경 30㎛, 50㎛, 80㎛, 100㎛, 130㎛, 190㎛, 240㎛ 및 290㎛의 각 600개의 관통 구멍)을 광학 현미경으로 관찰하여, 충전율이 100%인 경우(600개의 관통 구멍이 모두 충전되어 있는 경우)의 관통 구멍의 최대의 직경을, 매립성의 평가값으로 했다. 예를 들어, 「매립성의 평가값이 50㎛이다」란, 직경 30㎛ 및 50㎛의 관통 구멍에 대해서는 각 600개의 관통 구멍이 모두 충전되어 있지만, 직경 80㎛의 관통 구멍에 대해서는 600개의 관통 구멍의 일부 또는 전부가 충전되어 있지 않은 것을 의미한다. 따라서, 이 평가값이 클수록, 매립성이 우수하다고 평가할 수 있다.After drying, the through holes of each substrate (specifically, 600 through holes each having diameters of 30 μm, 50 μm, 80 μm, 100 μm, 130 μm, 190 μm, 240 μm and 290 μm) were observed with an optical microscope, The maximum diameter of the through-holes when the filling rate was 100% (when all 600 through-holes were filled) was taken as the evaluation value of the embedding property. For example, "Evaluation value of embeddability is 50 µm" indicates that all 600 through-holes of 30 µm and 50 µm in diameter are filled, but 600 through-holes of 80 µm in diameter are filled. It means that part or all of is not charged. Therefore, it can be evaluated that the embedding property is excellent, so that this evaluation value is large.

[기판의 도포 롤로의 첩부][Attachment of Substrate to Applying Roll]

상기 <액상 감광성 수지 조성물의 기판에의 도포 및 도막의 형성>에서 설명한 조건에서, 수직 현수 인상식 롤 코터를 24시간 연속으로 운전하여, 액상 감광성 수지 조성물을 기판에 도포할 때, 기판의 도포 롤로의 첩부의 유무를 눈으로 보아 확인했다. 그리고, 기판의 도포 롤로의 첩부에 대하여, 이하의 기준으로 판정했다.Under the conditions described in the above <Application of liquid photosensitive resin composition to substrate and formation of coating film>, when the liquid photosensitive resin composition is applied to the substrate by operating the vertical suspension roll coater continuously for 24 hours, the application roll of the substrate The presence or absence of concubine was visually confirmed. And the following criteria judged about sticking with the application|coating roll of a board|substrate.

(기판의 도포 롤로의 첩부의 판정 기준)(Criterion for sticking the substrate with the coating roll)

A: 운전 개시로부터 24시간 후까지, 기판의 롤로의 첩부가 확인되지 않았다.A: The sticking of the board|substrate to the roll was not confirmed until 24 hours after the start of operation.

B: 운전 개시로부터 3분 후까지는 기판의 롤로의 첩부가 확인되지 않았지만, 3분 후부터 24시간 후까지의 사이에 기판의 롤로의 첩부가 확인되었다.B: Although sticking of the substrate to the roll was not confirmed until 3 minutes after the start of operation, sticking of the substrate to the roll was confirmed between 3 minutes and 24 hours later.

C: 운전 개시로부터 3분 후까지 기판의 롤로의 첩부가 확인되었다.C: The sticking of the board|substrate to the roll was confirmed until 3 minutes after the start of operation.

[도막의 외관][Appearance of coating]

건조 후의 각 기판의 도막을 눈으로 보아 관찰하여, 핀 홀, 배선을 덮는 도막의 피복 불균일, 도포 롤의 홈의 자국 및 줄무늬에 대하여, 각각 유무를 확인했다. 그리고, 도막의 외관에 대하여, 이하의 기준으로 판정했다. 판정이 A 또는 B인 경우, 「도막의 외관 불량의 발생을 억제할 수 있다」라고 평가했다. 한편, 판정이 C인 경우, 「도막의 외관 불량의 발생을 억제할 수 없다」라고 평가했다.The coating film of each board|substrate after drying was visually observed, and the presence or absence of pinholes, non-uniform coating of the coating film covering the wiring, traces of grooves of the coating roll, and stripes were respectively confirmed. Then, the appearance of the coating film was judged according to the following criteria. When the judgment was A or B, it was evaluated as "it is possible to suppress the appearance defect of the coating film." On the other hand, when the judgment was C, it was evaluated as "the occurrence of poor appearance of the coating film cannot be suppressed."

(도막의 외관의 판정 기준)(Criterion for determining the appearance of the coating film)

A: 핀 홀, 피복 불균일, 홈의 자국 및 줄무늬 모두 확인되지 않았다.A: No pinholes, coating unevenness, groove marks, or streaks were observed.

B: 핀 홀, 피복 불균일, 홈의 자국 및 줄무늬 중 적어도 하나의 결함 개소가 합계 1군데 또는 2군데 확인되었다.B: A total of one or two defective locations of at least one of pinholes, coating unevenness, groove marks, and streaks were confirmed.

C: 핀 홀, 피복 불균일, 홈의 자국 및 줄무늬 중 적어도 하나의 결함 개소가 합계 3군데 이상 확인되었다.C: A total of 3 or more defective locations of at least one of pinholes, coating unevenness, groove marks, and streaks were confirmed.

[도막이 형성된 기판의 외관][Appearance of the substrate on which the coating film is formed]

건조 후의 각 기판의 외관을 눈으로 보아 관찰하여, 기판의 찢어짐 및 기판의 변형에 대하여, 각각 유무를 확인했다. 그리고, 도막이 형성된 기판의 외관에 대하여, 이하의 기준으로 판정했다. 판정이 A 또는 B인 경우, 「도막이 형성된 기판의 외관 불량의 발생을 억제할 수 있다」라고 평가했다. 한편, 판정이 C인 경우, 「도막이 형성된 기판의 외관 불량의 발생을 억제할 수 없다」라고 평가했다.The appearance of each board|substrate after drying was visually observed, and the presence/absence of tearing of a board|substrate and deformation of a board|substrate was confirmed, respectively. And the appearance of the board|substrate on which the coating film was formed was judged according to the following criteria. When the judgment was A or B, it was evaluated as "it is possible to suppress occurrence of defective appearance of the substrate on which the coating film is formed." On the other hand, when the judgment was C, it was evaluated as "the appearance defect of the board|substrate on which the coating film was formed cannot be suppressed."

(도막이 형성된 기판의 외관의 판정 기준)(Criterion for determining the appearance of a substrate on which a coating film is formed)

A: 기판의 찢어짐 및 기판의 변형 모두 확인되지 않았다.A: Neither the tearing of the substrate nor the deformation of the substrate was confirmed.

B: 기판의 찢어짐은 확인되지 않았지만, 기판의 변형이 확인되었다.B: No tearing of the substrate was observed, but deformation of the substrate was observed.

C: 기판의 찢어짐 및 기판의 변형 모두 확인되었다.C: Both tearing of the substrate and deformation of the substrate were confirmed.

<평가 결과><Evaluation result>

실시예 1 내지 25 및 비교예 1 내지 8에 대하여, 사용한 액상 감광성 수지 조성물의 성분 및 그의 배합량, 사용한 기판의 종폭 및 횡폭, 사용한 필름 형상 지지체의 두께, 사용한 기판의 배선의 두께, 사용한 도포 롤의 롤 직경, 사용한 도포 롤의 홈의 종류, 사용한 액상 감광성 수지 조성물의 물성 및 평가 결과, 그리고 기판의 평가 결과를, 표 1 내지 표 7에 나타낸다. 또한, 표 1 내지 표 7에 있어서, 액상 감광성 수지 조성물의 조성의 란의 수치는, 당해 성분의 배합량(단위: 중량부)이다. 표 1 내지 표 7에 있어서, (E) 성분(유기 용매)의 배합량에는, 수지 용액 SP1, 수지 용액 SP2, 수지 용액 SP3 또는 수지 용액 SP4 중의 유기 용매의 양도 포함된다. 표 1 내지 표 7에 있어서, 「-」는, 당해 성분을 배합하지 않은 것을 의미한다. 표 1 내지 표 7에 있어서, 「링 형상 홈」은, 각각 독립된 복수개의 링 형상 홈이다.For Examples 1 to 25 and Comparative Examples 1 to 8, the components of the liquid photosensitive resin composition used and their compounding amounts, the vertical and horizontal widths of the substrates used, the thickness of the film-shaped support used, the thickness of the wiring of the substrates used, the coating rolls used Tables 1 to 7 show the roll diameter, the type of groove of the application roll used, the physical properties and evaluation results of the liquid photosensitive resin composition used, and the evaluation results of the substrate. In Tables 1 to 7, the numerical value in the column of the composition of the liquid photosensitive resin composition is the compounding amount of the component (unit: parts by weight). In Tables 1 to 7, the amount of the organic solvent in Resin Solution SP1, Resin Solution SP2, Resin Solution SP3, or Resin Solution SP4 is included in the blending amount of component (E) (organic solvent). In Tables 1 to 7, "-" means that the component is not blended. In Tables 1 to 7, "ring-shaped grooves" are a plurality of independent ring-shaped grooves.

또한, 표 1 내지 표 7에 있어서, 「369」, 「828」, 「8070」, 「972」, 「1000」, 「TEGDM」, 「DEGDE」, 「321」 및 「2000」은, 각각 이하와 같다.In Tables 1 to 7, "369", "828", "8070", "972", "1000", "TEGDM", "DEGDE", "321", and "2000" respectively represent the following same.

· 369: 광 라디칼 중합 개시제로서의 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논-1(IGM Resins사제 「Omnirad(등록 상표) 369」)369: 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butanone-1 as an optical radical polymerization initiator ("Omnirad (registered trademark) 369" manufactured by IGM Resins)

· 828: 에폭시 수지(미츠비시 케미컬사제 「jER(등록 상표) 828」)828: Epoxy resin ("jER (registered trademark) 828" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)

· 8070: 가교 폴리우레탄 입자(다이니치 세이카 고교사제 「다이믹 비즈(등록 상표) UCN-8070CM 클리어」, 평균 입자경: 7㎛)8070: Crosslinked polyurethane particles ("Dynamic Beads (registered trademark) UCN-8070CM Clear" manufactured by Dainichi Seika Kogyo Co., Ltd., average particle diameter: 7 μm)

· 972: 실리카 입자(닛폰 에어로실사제 「에어로실(등록 상표) R-972」, 평균 입자경: 0.016㎛)972: Silica particles ("Aerosil (registered trademark) R-972" manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd., average particle diameter: 0.016 µm)

· 1000: 가교 폴리우레탄 입자(네가미 고교사제 「아트 펄(등록 상표) C-1000T」, 평균 입자경: 3㎛)1000: Crosslinked polyurethane particles (“Art Pearl (registered trademark) C-1000T” manufactured by Negami Kogyo Co., Ltd., average particle diameter: 3 μm)

· TEGDM: 트리에틸렌글리콜디메틸에테르(비점 216℃의 수용성 유기 용매)TEGDM: Triethylene glycol dimethyl ether (a water-soluble organic solvent with a boiling point of 216 ° C)

· DEGDE: 디에틸렌글리콜디에틸에테르(비점 189℃의 수용성 유기 용매)DEGDE: diethylene glycol diethyl ether (a water-soluble organic solvent with a boiling point of 189 ° C)

· 321: EO 변성 비스페놀 A 디메타크릴레이트(쇼와 덴코 머티리얼즈사제 「팬크릴(등록 상표) FA-321M」, EO의 평균 부가 몰수: 10)321: EO modified bisphenol A dimethacrylate ("Pancryl (registered trademark) FA-321M" manufactured by Showa Denko Materials, average added mole number of EO: 10)

· 2000: 부타디엔계 소포제(교에샤 가가쿠사제 「플로렌 AC-2000」)2000: Butadiene-based antifoaming agent (“Floren AC-2000” manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.)

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실시예 1 내지 25에서는, 사용한 한 쌍의 도포 롤이, 모두, 복수개의 링 형상 홈을 갖고 있었다. 실시예 1 내지 25에서는, 복수개의 링 형상 홈이, 각각 독립되어 있었다. 실시예 1 내지 25에서는, 수직 현수 인상식 롤 코터를 사용하여 액상 감광성 수지 조성물을 도포할 때 사용한 도포 롤의 롤 직경이 70㎜ 이상 150㎜ 이하였다. 실시예 1 내지 25에서는, 사용한 액상 감광성 수지 조성물의 점도가 1.0㎩·s 이상 15.0㎩·s 이하였다. 실시예 1 내지 25에서는, 사용한 액상 감광성 수지 조성물의 TI값이 1.5 이상 3.0 이하였다. 실시예 1 내지 25에서는, 사용한 액상 감광성 수지 조성물의 경화막의 탄성률이 0.1㎬ 이상 1.5㎬ 이하였다.In Examples 1 to 25, each of the pair of application rolls used had a plurality of ring-shaped grooves. In Examples 1 to 25, the plurality of ring-shaped grooves were independent of each other. In Examples 1 to 25, the roll diameter of the coating roll used when applying the liquid photosensitive resin composition using a vertical suspension roll coater was 70 mm or more and 150 mm or less. In Examples 1 to 25, the viscosities of the liquid photosensitive resin composition used were 1.0 Pa·s or more and 15.0 Pa·s or less. In Examples 1 to 25, the TI values of the liquid photosensitive resin composition used were 1.5 or more and 3.0 or less. In Examples 1-25, the elastic modulus of the cured film of the used liquid photosensitive resin composition was 0.1 GPa or more and 1.5 GPa or less.

실시예 1 내지 25에서는, 도막의 외관의 판정이 A 또는 B였다. 따라서, 실시예 1 내지 25의 제조 방법은, 도막의 외관 불량의 발생을 억제할 수 있었다. 실시예 1 내지 25에서는, 도막이 형성된 기판의 외관의 판정이 A 또는 B였다. 따라서, 실시예 1 내지 25의 제조 방법은, 도막이 형성된 기판의 외관 불량의 발생을 억제할 수 있었다.In Examples 1 to 25, the evaluation of the appearance of the coating film was A or B. Therefore, the production methods of Examples 1 to 25 were able to suppress the appearance defects of the coating film. In Examples 1 to 25, the evaluation of the appearance of the substrate on which the coating film was formed was A or B. Therefore, the manufacturing methods of Examples 1 to 25 were able to suppress the appearance defect of the substrate on which the coating film was formed.

비교예 1에서는, 사용한 액상 감광성 수지 조성물의 점도가 15.0㎩·s를 초과하고 있었다. 비교예 1에서는, 사용한 액상 감광성 수지 조성물의 TI값이 3.0을 초과하고 있었다. 비교예 2에서는, 사용한 액상 감광성 수지 조성물의 경화막의 탄성률이 1.5㎬을 초과하고 있었다. 비교예 3에서는, 사용한 액상 감광성 수지 조성물의 점도가 15.0㎩·s를 초과하고 있었다. 비교예 4에서는, 사용한 액상 감광성 수지 조성물의 TI값이 3.0을 초과하고 있었다. 비교예 5에서는, 사용한 액상 감광성 수지 조성물의 TI값이 1.5 미만이었다. 비교예 6에서는, 수직 현수 인상식 롤 코터를 사용하여 액상 감광성 수지 조성물을 도포할 때 사용한 도포 롤의 롤 직경이 150㎜를 초과하고 있었다. 비교예 7에서는, 수직 현수 인상식 롤 코터를 사용하여 액상 감광성 수지 조성물을 도포할 때 사용한 도포 롤의 롤 직경이 70㎜ 미만이었다. 비교예 8에서는, 수직 현수 인상식 롤 코터를 사용하여 액상 감광성 수지 조성물을 도포할 때 사용한 도포 롤의 홈이 나선 형상 홈이었다.In Comparative Example 1, the viscosity of the liquid photosensitive resin composition used was exceeding 15.0 Pa·s. In Comparative Example 1, the TI value of the liquid photosensitive resin composition used was exceeding 3.0. In Comparative Example 2, the elastic modulus of the cured film of the liquid photosensitive resin composition used was exceeding 1.5 GPa. In Comparative Example 3, the viscosity of the liquid photosensitive resin composition used was exceeding 15.0 Pa·s. In Comparative Example 4, the TI value of the liquid photosensitive resin composition used was exceeding 3.0. In Comparative Example 5, the TI value of the liquid photosensitive resin composition used was less than 1.5. In Comparative Example 6, the roll diameter of the coating roll used when applying the liquid photosensitive resin composition using a vertical suspension roll coater exceeded 150 mm. In Comparative Example 7, the roll diameter of the coating roll used when applying the liquid photosensitive resin composition using a vertical suspension roll coater was less than 70 mm. In Comparative Example 8, the groove of the coating roll used when applying the liquid photosensitive resin composition using a vertical suspension roll coater was a spiral groove.

비교예 1, 3 내지 5 및 7에서는, 도막의 외관의 판정이 C였다. 따라서, 비교예 1, 3 내지 5 및 7의 제조 방법은, 도막의 외관 불량의 발생을 억제할 수 없었다. 비교예 2, 6 및 8에서는, 도막이 형성된 기판의 외관의 판정이 C였다. 따라서, 비교예 2, 6 및 8의 제조 방법은, 도막이 형성된 기판의 외관 불량의 발생을 억제할 수 없었다.In Comparative Examples 1, 3 to 5 and 7, the evaluation of the external appearance of the coating film was C. Therefore, the manufacturing methods of Comparative Examples 1, 3 to 5, and 7 could not suppress the appearance defect of the coating film. In Comparative Examples 2, 6, and 8, the evaluation of the appearance of the substrate on which the coating film was formed was C. Therefore, the manufacturing methods of Comparative Examples 2, 6, and 8 could not suppress the appearance defect of the board|substrate on which the coating film was formed.

이상의 결과로부터, 본 발명에 따르면, 도막의 외관 불량 및 도막이 형성된 기판의 외관 불량의 발생을 억제할 수 있는 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법을 제공할 수 있는 것이 나타났다.From the above results, according to the present invention, it was found that a method for manufacturing a flexible printed circuit board capable of suppressing the appearance defects of a coating film and appearance defects of a substrate formed with a coating film can be provided.

11: 기판
12a, 12b, 100: 도포 롤
13: 필름 형상 지지체
14: 배선
15: 구멍
17: 액상 감광성 수지 조성물
120a: 링 형상 홈
11: Substrate
12a, 12b, 100: application roll
13: film-shaped support
14: Wiring
15: hole
17: liquid photosensitive resin composition
120a: ring-shaped groove

Claims (12)

필름 형상 지지체와, 상기 필름 형상 지지체의 양면에 마련된 배선을 갖는 기판의 양면에, 수직 현수 인상식 롤 코터를 사용하여 액상 감광성 수지 조성물을 도포하는 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법이며,
상기 기판에는 구멍이 마련되어 있고,
상기 수직 현수 인상식 롤 코터는, 각각 독립된 복수개의 링 형상 홈을 갖는 한 쌍의 도포 롤을 구비하고,
상기 도포 롤의 롤 직경이 70㎜ 이상 150㎜ 이하이고,
상기 액상 감광성 수지 조성물은, 회전수 50rpm으로 3분간 회전시킨 후의 점도가 1.0㎩·s 이상 15.0㎩·s 이하이고, 또한 회전수 50rpm으로 3분간 회전시킨 후의 점도에 대한 회전수 5rpm으로 3분간 회전시킨 후의 점도의 비가 1.5 이상 3.0 이하이고,
상기 액상 감광성 수지 조성물의 경화막의 탄성률이 0.1㎬ 이상 1.5㎬ 이하이고,
상기 액상 감광성 수지 조성물을 도포할 때, 상기 기판의 양면에 상기 액상 감광성 수지 조성물을 동시에 도포하는, 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법.
A method for producing a flexible printed circuit board in which a liquid photosensitive resin composition is applied to both surfaces of a film-like support and a substrate having wiring provided on both sides of the film-like support using a vertical suspension roll coater,
A hole is provided in the board,
The vertical suspension roll coater includes a pair of coating rolls each having a plurality of independent ring-shaped grooves,
The roll diameter of the coating roll is 70 mm or more and 150 mm or less,
The liquid photosensitive resin composition has a viscosity of 1.0 Pa·s or more and 15.0 Pa·s or less after being rotated at a rotation speed of 50 rpm for 3 minutes, and is rotated for 3 minutes at a rotation speed of 5 rpm for a viscosity after being rotated for 3 minutes at a rotation speed of 50 rpm. The ratio of the viscosity after being made is 1.5 or more and 3.0 or less,
The elastic modulus of the cured film of the liquid photosensitive resin composition is 0.1 GPa or more and 1.5 GPa or less,
When the liquid photosensitive resin composition is applied, the liquid photosensitive resin composition is simultaneously applied to both surfaces of the substrate.
제1항에 있어서, 상기 필름 형상 지지체의 횡폭 및 종폭이 모두 200㎜ 이상 600㎜ 이하인, 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법.The method for manufacturing a flexible printed circuit board according to claim 1, wherein both the horizontal and vertical widths of the film-shaped support are 200 mm or more and 600 mm or less. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 필름 형상 지지체의 두께가 8.0㎛ 이상 50.0㎛ 이하인, 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법.The method for manufacturing a flexible printed circuit board according to claim 1 or 2, wherein the thickness of the film-shaped support is 8.0 μm or more and 50.0 μm or less. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 배선의 두께가 8㎛ 이상 50㎛ 이하인, 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법.The method for manufacturing a flexible printed circuit board according to any one of claims 1 to 3, wherein the wiring has a thickness of 8 μm or more and 50 μm or less. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구멍의 직경이 50㎛ 이상 250㎛ 이하인, 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법.The method for manufacturing a flexible printed circuit board according to any one of claims 1 to 4, wherein the hole has a diameter of 50 μm or more and 250 μm or less. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 필름 형상 지지체는, 폴리이미드, 폴리아미드, 폴리에스테르, 폴리카르보네이트, 폴리아릴레이트, 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리클로로트리플루오로에틸렌, 폴리불화비닐리덴, 폴리불화비닐, 퍼플루오로알콕시불소 수지, 사불화에틸렌·육불화프로필렌 공중합체, 에틸렌·사불화에틸렌 공중합체 및 에틸렌·클로로트리플루오로에틸렌 공중합체로 이루어지는 군으로부터 선택되는 일종 이상의 폴리머를 포함하는, 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법.The method according to any one of claims 1 to 5, wherein the film-shaped support is made of polyimide, polyamide, polyester, polycarbonate, polyarylate, polytetrafluoroethylene, and polychlorotrifluoroethylene. , polyvinylidene fluoride, polyvinyl fluoride, perfluoroalkoxy fluororesins, tetrafluoroethylene/hexafluoropropylene copolymers, ethylene/tetrafluoroethylene copolymers, and ethylene/chlorotrifluoroethylene copolymers. A method for manufacturing a flexible printed circuit board comprising at least one type of polymer. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 액상 감광성 수지 조성물은, 회전수 50rpm으로 3분간 회전시킨 후의 점도에 대한 회전수 50rpm으로 24시간 회전시킨 후의 점도의 비가 1.20 이하인, 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법.The flexible print according to any one of claims 1 to 6, wherein the liquid photosensitive resin composition has a ratio of viscosity after rotation at 50 rpm for 3 minutes to viscosity after rotation at 50 rpm for 24 hours of 1.20 or less. A method for manufacturing a substrate. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 액상 감광성 수지 조성물은, 결합제 폴리머, 광 라디칼 중합 개시제, 열경화성 수지, 평균 입자경 0.01㎛ 이상 100㎛ 이하의 입자 및 유기 용매를 함유하는, 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법.The flexible photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 7, wherein the liquid photosensitive resin composition contains a binder polymer, a radical photopolymerization initiator, a thermosetting resin, particles having an average particle diameter of 0.01 μm or more and 100 μm or less, and an organic solvent. A method for manufacturing a printed circuit board. 제8항에 있어서, 상기 결합제 폴리머는, 1분자 중에 우레탄 결합을 갖는 폴리머, 1분자 중에 이미드기를 갖는 폴리머, 1분자 중에 (메트)아크릴로일기를 갖는 폴리머 및 1분자 중에 카르복시기를 갖는 폴리머로 이루어지는 군으로부터 선택되는 일종 이상의 폴리머인, 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법.The method of claim 8, wherein the binder polymer is a polymer having a urethane bond in one molecule, a polymer having an imide group in one molecule, a polymer having a (meth)acryloyl group in one molecule, and a polymer having a carboxyl group in one molecule. A method for producing a flexible printed circuit board, which is at least one kind of polymer selected from the group consisting of: 제8항 또는 제9항에 있어서, 상기 유기 용매는, 비점 180℃ 이상의 수용성 유기 용매인, 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법.The method for manufacturing a flexible printed circuit board according to claim 8 or 9, wherein the organic solvent is a water-soluble organic solvent having a boiling point of 180°C or higher. 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 입자의 함유량이, 상기 결합제 폴리머 100중량부에 대하여, 5중량부 이상 100중량부 이하인, 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법.The method for producing a flexible printed circuit board according to any one of claims 8 to 10, wherein the content of the particles is 5 parts by weight or more and 100 parts by weight or less with respect to 100 parts by weight of the binder polymer. 제8항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 입자는 가교 폴리머 입자인, 플렉시블 프린트 기판의 제조 방법.The method for manufacturing a flexible printed circuit board according to any one of claims 8 to 11, wherein the particles are crosslinked polymer particles.
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