JPWO2019160126A1 - Photosensitive resin composition, cured film, printed wiring board and its manufacturing method, and photosensitive resin composition manufacturing kit - Google Patents

Photosensitive resin composition, cured film, printed wiring board and its manufacturing method, and photosensitive resin composition manufacturing kit Download PDF

Info

Publication number
JPWO2019160126A1
JPWO2019160126A1 JP2019572304A JP2019572304A JPWO2019160126A1 JP WO2019160126 A1 JPWO2019160126 A1 JP WO2019160126A1 JP 2019572304 A JP2019572304 A JP 2019572304A JP 2019572304 A JP2019572304 A JP 2019572304A JP WO2019160126 A1 JPWO2019160126 A1 JP WO2019160126A1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photosensitive resin
resin composition
meth
component
cured film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2019572304A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
雅善 木戸
雅善 木戸
哲哉 小木曽
哲哉 小木曽
友洋 好田
友洋 好田
勇志 朝比奈
勇志 朝比奈
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kaneka Corp
Original Assignee
Kaneka Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kaneka Corp filed Critical Kaneka Corp
Publication of JPWO2019160126A1 publication Critical patent/JPWO2019160126A1/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F220/00Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride ester, amide, imide or nitrile thereof
    • C08F220/02Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms; Derivatives thereof
    • C08F220/10Esters
    • C08F220/12Esters of monohydric alcohols or phenols
    • C08F220/16Esters of monohydric alcohols or phenols of phenols or of alcohols containing two or more carbon atoms
    • C08F220/18Esters of monohydric alcohols or phenols of phenols or of alcohols containing two or more carbon atoms with acrylic or methacrylic acids
    • C08F220/1804C4-(meth)acrylate, e.g. butyl (meth)acrylate, isobutyl (meth)acrylate or tert-butyl (meth)acrylate
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/032Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
    • G03F7/033Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders the binders being polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds, e.g. vinyl polymers
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/032Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
    • G03F7/035Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders the binders being polyurethanes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/28Applying non-metallic protective coatings

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Polyesters Or Polycarbonates (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)

Abstract

感光性樹脂組成物は、(A1)カルボキシル基を有し、エチレン性不飽和基を有さないポリマー;(A2)カルボキシル基、およびエチレン性不飽和基を有するポリマー;(B)エチレン性不飽和基を有し、カルボキシル基を有さない化合物(C)熱硬化性樹脂;(D)金属不活性化剤;(E)光重合開始剤;および(F)着色剤を含有する。感光性樹脂組成物の塗布膜に活性光線を照射した後、加熱により熱硬化を行うことにより、硬化膜を形成できる。The photosensitive resin composition is a polymer having (A1) a carboxyl group and no ethylenically unsaturated group; (A2) a polymer having a carboxyl group and an ethylenically unsaturated group; (B) an ethylenically unsaturated polymer. It contains a compound having a group and no carboxyl group (C) a thermosetting resin; (D) a metal inactivating agent; (E) a photopolymerization initiator; and (F) a coloring agent. A cured film can be formed by irradiating the coating film of the photosensitive resin composition with active light and then heat-curing it by heating.

Description

本発明は、着色剤を含む感光性樹脂組成物、感光性樹脂組成物の硬化により得られる硬化膜、ならびにプリント配線板上に硬化膜が設けられた硬化膜付きプリント配線板に関する。さらに、本発明は感光性樹脂組成物を調製するためのキットに関する。 The present invention relates to a photosensitive resin composition containing a colorant, a cured film obtained by curing the photosensitive resin composition, and a printed wiring board with a cured film provided with a cured film on the printed wiring board. Furthermore, the present invention relates to a kit for preparing a photosensitive resin composition.

フレキシブルプリント配線板(FPC)用の表面保護材には高い耐熱性が要求されるため、樹脂組成物を光硬化や熱硬化により硬化した硬化膜が用いられている。硬化膜の耐熱性を向上する方法として、樹脂組成物の架橋密度向上や、芳香環量の増加等が知られている(例えば、特許文献1、2)。 Since a surface protective material for a flexible printed wiring board (FPC) is required to have high heat resistance, a cured film obtained by curing a resin composition by photocuring or thermosetting is used. Known methods for improving the heat resistance of the cured film include improving the crosslink density of the resin composition and increasing the amount of aromatic rings (for example, Patent Documents 1 and 2).

特開2016−008267号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-008267 特開2001−249450号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2001-249450

一般に、FPCはデバイスの筐体内に実装され、通常の使用時においては外部から視認されない。そのため、従来は、FPCの表面保護材料には、意匠性の観点は要求されなかった。一方、近年では、部品の交換、追加、メンテナンス等の目的で筐体を取り外した際の、デバイス内部の視感の統一性や意匠性に対する要求が高まっている。これに伴って、デバイスの筐体内に実装される部品にも、黒色、赤色等の着色材料の需要が高まっている。 Generally, the FPC is mounted inside the housing of the device and is not visible from the outside during normal use. Therefore, conventionally, the surface protection material of FPC has not been required from the viewpoint of designability. On the other hand, in recent years, there has been an increasing demand for uniformity and design of the visual appearance inside the device when the housing is removed for the purpose of replacing, adding, or maintaining parts. Along with this, there is an increasing demand for coloring materials such as black and red for the parts mounted in the housing of the device.

FPCの表面保護材を構成する樹脂組成物に、染料や顔料等の着色剤を添加することにより、様々な色に着色した表面保護材が得られる。しかし、着色剤を添加した感光性樹脂組成物の硬化膜(着色硬化膜)は、着色剤を含まない場合に比べて、着色剤以外の組成が同一であっても、耐熱性に劣る場合がある。 By adding a colorant such as a dye or a pigment to the resin composition constituting the surface protective material of FPC, a surface protective material colored in various colors can be obtained. However, the cured film (colored cured film) of the photosensitive resin composition to which the colorant is added may be inferior in heat resistance even if the composition other than the colorant is the same, as compared with the case where the colorant is not contained. is there.

上記に鑑み、本発明は、着色剤を含み、硬化膜が耐熱性に優れる感光性樹脂組成物の提供を目的とする。 In view of the above, an object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition containing a colorant and having a cured film having excellent heat resistance.

本発明の樹脂組成物は、(A)カルボキシル基を有するポリマー、(B)分子内に少なくとも1つのエチレン性不飽和基を有し、カルボキシル基を有さない化合物、(C)熱硬化性樹脂、(D)金属不活性化剤、(E)光重合開始剤、および(F)着色剤を含有する。(A)成分は、(A1)カルボキシル基を有し、エチレン性不飽和基を有さないポリマーと、(A2)カルボキシル基を有し、エチレン性不飽和基を有するポリマーとを含む。 The resin composition of the present invention comprises (A) a polymer having a carboxyl group, (B) a compound having at least one ethylenically unsaturated group in the molecule and having no carboxyl group, and (C) a thermosetting resin. , (D) Metal inactivating agent, (E) Photopolymerization initiator, and (F) Coloring agent. The component (A) includes (A1) a polymer having a carboxyl group and no ethylenically unsaturated group, and (A2) a polymer having a carboxyl group and having an ethylenically unsaturated group.

(A1)成分および(A2)成分は、それぞれ、酸価が5〜200mgKOH/gであることが好ましく、重量平均分子量が1,000〜1,000,000であることが好ましい。(A2)成分は、1分子中に少なくとも1個のカルボキシル基と2個以上の(メタ)アクリロイル基とを含むポリマーであることが好ましい。(A2)成分の好ましい例としては、エポキシ樹脂と不飽和モノカルボン酸とを反応させて得られるエステルに、飽和または不飽和の多価カルボン酸無水物を付加して得られる酸変性エポキシ(メタ)アクリレートが挙げられる。 The acid value of each of the component (A1) and the component (A2) is preferably 5 to 200 mgKOH / g, and the weight average molecular weight is preferably 1,000 to 1,000,000. The component (A2) is preferably a polymer containing at least one carboxyl group and two or more (meth) acryloyl groups in one molecule. A preferred example of the component (A2) is an acid-modified epoxy (meth) obtained by adding a saturated or unsaturated polyvalent carboxylic acid anhydride to an ester obtained by reacting an epoxy resin with an unsaturated monocarboxylic acid. ) Acrylate can be mentioned.

(A2)成分および(B)成分におけるエチレン性不飽和基の具体例としては、ビニル基および(メタ)アクリロイル基が挙げられる。(A2)成分および(B)成分は、いずれも1分子中に2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する多官能(メタ)アクリル化合物であることが好ましい。 Specific examples of the ethylenically unsaturated group in the component (A2) and the component (B) include a vinyl group and a (meth) acryloyl group. Both the component (A2) and the component (B) are preferably polyfunctional (meth) acrylic compounds having two or more (meth) acryloyl groups in one molecule.

(B)成分として、1分子中に3個以上の(メタ)アクリロイル基を含む化合物を用いてもよい。架橋密度を高める観点から、(B)成分は、(メタ)アクリロイル基の官能基当量が80〜300である多官能(メタ)アクリレートを含むことが好ましい。(B)成分として、1分子中に3個以上の(メタ)アクリロイル基を含み、(メタ)アクリロイル基の官能基当量が80〜300である多官能(メタ)アクリル化合物を用いてもよい。(メタ)アクリロイル基の官能基当量が80〜300である多官能(メタ)アクリレートと、多官能(メタ)アクリルオリゴマーを併用してもよい。多官能(メタ)アクリルオリゴマーを併用することにより、硬化膜の柔軟性が向上する傾向がある。 As the component (B), a compound containing three or more (meth) acryloyl groups in one molecule may be used. From the viewpoint of increasing the crosslink density, the component (B) preferably contains a polyfunctional (meth) acrylate having a functional group equivalent of (meth) acryloyl group of 80 to 300. As the component (B), a polyfunctional (meth) acrylic compound containing three or more (meth) acryloyl groups in one molecule and having a functional group equivalent of (meth) acryloyl groups of 80 to 300 may be used. A polyfunctional (meth) acrylate having a functional group equivalent of (meth) acryloyl group of 80 to 300 may be used in combination with a polyfunctional (meth) acrylic oligomer. The combined use of a polyfunctional (meth) acrylic oligomer tends to improve the flexibility of the cured film.

(C)成分としては、1分子中に2以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ樹脂が好ましく、特に、重量平均分子量が1500以下の多官能エポキシ樹脂が好ましい。 As the component (C), a polyfunctional epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule is preferable, and a polyfunctional epoxy resin having a weight average molecular weight of 1500 or less is particularly preferable.

(D)成分としては、例えば、フェノール性水酸基を有するベンズアミド誘導体、またはフェノール性水酸基を有するヒドラジド誘導体がが用いられる。 As the component (D), for example, a benzamide derivative having a phenolic hydroxyl group or a hydrazide derivative having a phenolic hydroxyl group is used.

(E)成分としては、波長405nmに吸収帯を有する光ラジカル重合開始剤が好ましい。光ラジカル重合開始剤の波長405nmにおける吸光係数は、20[%-1・cm-1]以上が好ましい。(E)成分の具体例としては、オキシムエステル類が挙げられる。As the component (E), a photoradical polymerization initiator having an absorption band at a wavelength of 405 nm is preferable. The extinction coefficient of the photoradical polymerization initiator at a wavelength of 405 nm is preferably 20 [% -1 · cm -1 ] or more. Specific examples of the component (E) include oxime esters.

感光性樹脂組成物は、(A)、(B)および(C)の含有量の合計100重量部に対して、(A)の含有量((A1)と(A2)の含有量の合計)が、30〜80重量部であることが好ましい。(B)の含有量は5〜30重量部が好ましく、(C)の含有量は10〜40重量部が好ましい。 The photosensitive resin composition contains 100 parts by weight of the total contents of (A), (B) and (C), and the content of (A) (total of the contents of (A1) and (A2)). However, it is preferably 30 to 80 parts by weight. The content of (B) is preferably 5 to 30 parts by weight, and the content of (C) is preferably 10 to 40 parts by weight.

上記の感光性樹脂組成物は、少なくとも第1剤と第2剤とを個別に含むキットの形態で提供することもできる。すなわち、感光性樹脂組成物作製キットは、第1剤および第2剤を個別に含む。第1剤と第2剤とを混合することにより、感光性樹脂組成物を調製できる。 The above-mentioned photosensitive resin composition can also be provided in the form of a kit containing at least the first agent and the second agent individually. That is, the photosensitive resin composition preparation kit individually contains the first agent and the second agent. A photosensitive resin composition can be prepared by mixing the first agent and the second agent.

好ましい形態において、キットの第1剤は(A)成分を含み、第2剤は(D)成分を含む。(A)成分と(D)成分とを混合せずに保管しておくことにより、溶液の安定性が向上する傾向がある。キットの第1剤は、(A1)成分および(A2)成分に加えて(B)成分を含んでいてもよく、キットの第2剤は、(D)成分に加えて(E)成分を含んでいてもよい。キットの第2剤は、(C)成分を含んでいてもよい。 In a preferred embodiment, the first agent of the kit comprises component (A) and the second agent comprises component (D). By storing the component (A) and the component (D) without mixing, the stability of the solution tends to be improved. The first agent of the kit may contain the component (B) in addition to the components (A1) and (A2), and the second agent of the kit contains the component (E) in addition to the component (D). You may be. The second agent of the kit may contain the component (C).

上記の感光性樹脂組成物を光硬化および熱硬化することにより、硬化膜が得られる。例えば、上記の感光化性樹脂組成物を、プリント配線板の表面に塗布して塗布膜を形成し、塗布膜の面内の少なくとも一部に活性光線を照射して光硬化を行い、必要に応じてアルカリ等による現像を行った後、光硬化後の塗布膜を加熱して熱硬化を行うことにより、硬化膜付きプリント配線板を形成できる。プリント配線板は、ポリイミドフィルム等の可撓性を有するフィルム基材を用いたフレキシブルプリント配線板でもよい。 A cured film can be obtained by photocuring and thermosetting the above photosensitive resin composition. For example, the above-mentioned photosensitive resin composition is applied to the surface of a printed wiring board to form a coating film, and at least a part of the surface of the coating film is irradiated with active light to perform photocuring, and it is necessary. A printed wiring board with a cured film can be formed by heat-curing the coating film after photo-curing after developing with alkali or the like accordingly. The printed wiring board may be a flexible printed wiring board using a flexible film base material such as a polyimide film.

本発明の感光性樹脂組成物は、プリント配線板の金属配線上に着色硬化膜を形成した場合においても、高い耐熱性を実現可能である。 The photosensitive resin composition of the present invention can realize high heat resistance even when a colored cured film is formed on the metal wiring of the printed wiring board.

本発明の感光性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基含有ポリマー、(B)エチレン性不飽和基を有する光硬化性化合物、(C)熱硬化性樹脂、(D)金属不活性化剤、(E)光重合開始剤、および(F)着色剤を含有する。(A)成分は、(A1)カルボキシル基を有し、エチレン性不飽和基を有さないポリマーと、(A2)カルボキシル基を有し、エチレン性不飽和基を有する化合物とを含む。 The photosensitive resin composition of the present invention comprises (A) a carboxyl group-containing polymer, (B) a photocurable compound having an ethylenically unsaturated group, (C) a thermosetting resin, and (D) a metal inactivating agent. It contains (E) a photopolymerization initiator and (F) a colorant. The component (A) includes (A1) a polymer having a carboxyl group and no ethylenically unsaturated group, and (A2) a compound having a carboxyl group and having an ethylenically unsaturated group.

(A)成分がカルボキシル基を有するため、感光性樹脂組成物はアルカリ可溶性を有している。感光性樹脂組成物は、露光(活性光線の照射)により(E)成分が活性化され、(A2)成分および(B)成分の光ラジカル重合反応が進行する。光硬化により、樹脂組成物はアルカリに不溶となる。樹脂組成物を加熱すると、(C)成分が熱硬化する。熱硬化の際に、(A1)成分および(A2)成分のカルボキシル基が(C)成分と反応して架橋構造を形成する。(A2)成分が、光硬化による光架橋ネットワークの形成と、熱硬化による熱架橋ネットワークの形成の両方に寄与するため、高い膜強度と耐熱性を有する硬化膜を形成できる。(A1)成分は、光硬化性を有さず、熱架橋ネットワークの形成にのみ寄与する。そのため、硬化膜に柔軟性を持たせることができる。 Since the component (A) has a carboxyl group, the photosensitive resin composition is alkali-soluble. In the photosensitive resin composition, the component (E) is activated by exposure (irradiation with active light), and the photoradical polymerization reaction of the components (A2) and (B) proceeds. Photocuring makes the resin composition insoluble in alkali. When the resin composition is heated, the component (C) is thermoset. During thermosetting, the carboxyl groups of the components (A1) and (A2) react with the component (C) to form a crosslinked structure. Since the component (A2) contributes to both the formation of a photocrosslinked network by photocuring and the formation of a thermosetting network by thermosetting, a cured film having high film strength and heat resistance can be formed. The component (A1) does not have photocurability and contributes only to the formation of a thermally crosslinked network. Therefore, the cured film can be made flexible.

感光性樹脂組成物が(D)成分を含むことにより、銅箔等の金属層との界面での金属(イオン)に起因する硬化反応阻害や、硬化膜の劣化が抑制される。感光性樹脂組成物が(F)成分を含むことにより、黒色等の所望の色に着色した硬化膜が得られる。 When the photosensitive resin composition contains the component (D), inhibition of the curing reaction caused by the metal (ion) at the interface with the metal layer such as copper foil and deterioration of the cured film are suppressed. When the photosensitive resin composition contains the component (F), a cured film colored in a desired color such as black can be obtained.

以下、感光性樹脂組成物を構成する各成分の好ましい形態について、順に説明する。なお、特に断りがない限り、以下の各成分は、それぞれ、単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。本明細書において、「(メタ)アクリル」は、アクリルまたはメタクリルを意味し、「(メタ)アクリロイル」は、アクリロイルまたはメタクリロイルを意味する。 Hereinafter, preferred forms of each component constituting the photosensitive resin composition will be described in order. Unless otherwise specified, each of the following components may be used alone or in combination of two or more. As used herein, "(meth) acrylic" means acrylic or methacrylic, and "(meth) acryloyl" means acryloyl or methacryloyl.

<(A)カルボキシル基含有ポリマー>
(A)成分は、分子内に少なくとも1つのカルボキシル基を有するポリマーであり、樹脂組成物による塗膜を形成するための主成分である。(A)成分は、有機溶媒に対して可溶性である。(A)成分を溶解可能な有機溶媒としては、スルホキシド類、ホルムアミド類、アセトアミド類、ピロリドン類、ホスホルアミド類、ラクトン類、エーテル類、アセテート類等が挙げられる。(A)成分は、これらの有機溶媒のいずれかに、5重量%以上の濃度で溶解可能であるものが好ましい。
<(A) Carboxyl group-containing polymer>
The component (A) is a polymer having at least one carboxyl group in the molecule, and is a main component for forming a coating film of the resin composition. The component (A) is soluble in an organic solvent. Examples of the organic solvent in which the component (A) can be dissolved include sulfoxides, formamides, acetamides, pyrrolidones, phosphoramides, lactones, ethers, acetates and the like. The component (A) is preferably soluble in any of these organic solvents at a concentration of 5% by weight or more.

(A)成分のポリエチレングリコール換算の重量平均分子量は1,000〜1,000,000が好ましく、2,000〜200,000がより好ましく、3,000〜100,000がさらに好ましく、4,000〜50,000が特に好ましい。カルボキシル基含有化合物の重量平均分子量が上記範囲内であれば、耐熱性と柔軟性に優れる硬化膜が得られやすい。 The weight average molecular weight of the component (A) in terms of polyethylene glycol is preferably 1,000 to 1,000,000, more preferably 2,000 to 200,000, further preferably 3,000 to 100,000, and 4,000. ~ 50,000 is particularly preferable. When the weight average molecular weight of the carboxyl group-containing compound is within the above range, a cured film having excellent heat resistance and flexibility can be easily obtained.

感光性樹脂組成物は、(A)成分としてカルボキシル基含有ポリマーを有するため、硬化前の感光性樹脂組成物はアルカリ可溶性を示す。なお、感光性樹脂組成物に含まれる(A)成分のカルボキシル基は、2つのカルボキシル基が脱水したカルボン酸無水物であってもよい。 Since the photosensitive resin composition has a carboxyl group-containing polymer as the component (A), the photosensitive resin composition before curing is alkaline-soluble. The carboxyl group of the component (A) contained in the photosensitive resin composition may be a carboxylic acid anhydride obtained by dehydrating the two carboxyl groups.

(A)成分の酸価は、5〜200mgKOH/gが好ましく、10〜150mgKOH/gがより好ましく、15〜100mgKOH/gがさらに好ましい。(A)成分の酸価が上記範囲であることにより、硬化前の感光性樹脂組成物が、適度のアルカリ可溶性を示す。また、酸価が上記範囲であることにより、硬化膜の耐熱性、絶縁信頼性および耐薬品性を向上できるとともに、柔軟性を付与できる。 The acid value of the component (A) is preferably 5 to 200 mgKOH / g, more preferably 10 to 150 mgKOH / g, and even more preferably 15 to 100 mgKOH / g. When the acid value of the component (A) is in the above range, the photosensitive resin composition before curing exhibits an appropriate alkali solubility. Further, when the acid value is in the above range, the heat resistance, insulation reliability and chemical resistance of the cured film can be improved, and flexibility can be imparted.

前述のように、(A)成分は、(A1)エチレン性不飽和基を有さないポリマーと、(A2)エチレン性不飽和基を有するポリマーを含む。(A1)成分は、熱架橋ネットワークの形成に寄与し、光架橋ネットワークの形成には寄与しない。(A2)成分は、熱架橋ネットワークの形成と光架橋ネットワークの形成の両方に寄与する。 As described above, the component (A) includes (A1) a polymer having no ethylenically unsaturated group and (A2) a polymer having an ethylenically unsaturated group. The component (A1) contributes to the formation of the thermally crosslinked network and does not contribute to the formation of the photocrosslinked network. The component (A2) contributes to both the formation of the thermally crosslinked network and the formation of the photocrosslinked network.

<(A1)エチレン性不飽和基を有さないカルボキシル基含有ポリマー>
(A1)成分は、カルボキシル基を含み、エチレン性不飽和基を含まないポリマーである。(A1)成分の具体例としては、カルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマー、カルボキシル基含有ビニル系ポリマー、酸変性ポリウレタン、酸変性ポリエステル、酸変性ポリカーボネート、酸変性ポリアミド、酸変性ポリイミド、酸変性ポリウレタンアミド、酸変性ポリウレタンイミド等が挙げられる。硬化膜の柔軟性および耐薬品性等の観点から、カルボキシル基含有(メタ)アクリル系共重合体、酸変性ポリウレタン、酸変性ポリアミド、酸変性ポリイミドが好ましい。
<(A1) Carboxyl group-containing polymer having no ethylenically unsaturated group>
The component (A1) is a polymer containing a carboxyl group and no ethylenically unsaturated group. Specific examples of the component (A1) include a carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer, a carboxyl group-containing vinyl polymer, an acid-modified polyurethane, an acid-modified polyester, an acid-modified polycarbonate, an acid-modified polyamide, an acid-modified polyimide, and an acid-modified polyurethane. Examples thereof include amide and acid-modified polyurethaneimide. From the viewpoint of the flexibility and chemical resistance of the cured film, a carboxyl group-containing (meth) acrylic copolymer, an acid-modified polyurethane, an acid-modified polyamide, and an acid-modified polyimide are preferable.

(A1)成分は、各種公知の方法により得られる。重合は、溶液重合および無溶媒重合のいずれでもよいが、反応を制御する為には、溶液重合が好ましい。溶液重合の有機溶媒としては、モノマー成分および重合後のポリマーの両方を溶解できるものを特に制限なく用いることができる。溶液重合における溶媒量は、溶液濃度が5〜90重量%、好ましくは20〜70重量%となるように調整すればよい。 The component (A1) can be obtained by various known methods. The polymerization may be either solution polymerization or solvent-free polymerization, but solution polymerization is preferable in order to control the reaction. As the organic solvent for solution polymerization, a solvent capable of dissolving both the monomer component and the polymer after polymerization can be used without particular limitation. The amount of solvent in solution polymerization may be adjusted so that the solution concentration is 5 to 90% by weight, preferably 20 to 70% by weight.

カルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマーは、(メタ)アクリル酸エステル、ならびに1分子中にカルボキシル基および重合可能な二重結合を有する化合物を、モノマー成分として含む共重合体である。カルボキシル基含有モノマーとしては、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、イソクロトン酸、ミリストレイン酸、パルミトレイン酸、オレイン酸、エライジン酸、バクセン酸、ガドレイン酸、エイコセン酸、エルカ酸、ネルボン酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート、フタル酸モノヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸ダイマー、2−(メタ)アクリロイオキシプロピルヘキサヒドロフタル酸、2−(メタ)アクリロイオキシエチルコハク酸、マレイン酸、フマル酸、シトラコン酸、メサコン酸、アトロパ酸、けい皮酸、リノール酸、エイコサジエン酸、ドコサジエン酸、リノレン酸、ピノレン酸、エレオステアリン酸、ミード酸、ジホモ−Y−リノレン酸、エイコサトリエン酸、ステアリドン酸、アラキドン酸、エイコサテトラエン酸、アドレン酸、ボセオペンタエン酸、エイコサペンタエン酸、オズボンド酸、イワシ酸、テトラコサペンタエン酸、ドコサヘキサエン酸、ニシン酸、2,2,2−トリス(メタ)アクリロイロキシメチルコハク酸、2−トリス(メタ)アクリロイロキシメチルエチルフタル酸等が挙げられる。(メタ)アクリル酸エステルとしては、(メタ)アクリル酸アルキルエステルが好ましい。 The carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer is a copolymer containing a (meth) acrylic acid ester and a compound having a carboxyl group and a polymerizable double bond in one molecule as a monomer component. Examples of the carboxyl group-containing monomer include (meth) acrylic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, myristolenic acid, palmitreic acid, oleic acid, ellagic acid, buxenoic acid, gadrain acid, eicosenoic acid, erucic acid, nervonic acid, and ω-carboxy. -Polycaprolactone mono (meth) acrylate, monohydroxyethyl phthalate (meth) acrylate, (meth) acrylic acid dimer, 2- (meth) acryloyoxypropyl hexahydrophthalic acid, 2- (meth) acryloyoxyethyl succinct Acids, maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid, atropic acid, cinnamic acid, linoleic acid, eikosazienoic acid, docosadienoic acid, linolenic acid, pinolenic acid, eleostearic acid, meadic acid, dihomo-Y-linolenic acid , Eikosatrienic acid, stearidonic acid, arachidonic acid, eikosatetraenoic acid, adrenoic acid, boseopentaenoic acid, eikosapentaenoic acid, osbondic acid, sardine acid, tetracosapentaenoic acid, docosahexaenoic acid, heric acid, 2,2 Examples thereof include 2-tris (meth) acryloyloxymethylsuccinic acid and 2-tris (meth) acryloyloxymethylethylphthalic acid. As the (meth) acrylic acid ester, a (meth) acrylic acid alkyl ester is preferable.

カルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマーは、カルボキシル基含有モノマーおよび(メタ)アクリル酸エステルに加えて、共重合成分として、ジアセトン(メタ)アクリルアミド等の(メタ)アクリルアミド、アクリロニトリルおよびビニル−n−ブチルエーテル等のビニルアルコールのエステル類、スチレン、ビニルトルエン等を含んでいてもよい。カルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマーは、例えば上記のモノマー成分のラジカル重合により得られる。ラジカル重合は熱重合でも光重合でもよい。ラジカル重合には、重合開始剤を用いてもよい。カルボキシル基含有(メタ)アクリル系ポリマーは、好ましくは、熱重合開始剤として、アゾ系化合物、有機過酸化物、過硫酸塩、過酸化水素等を用いた溶液重合により得られる。 In addition to the carboxyl group-containing monomer and (meth) acrylic acid ester, the carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer contains (meth) acrylamide such as diacetone (meth) acrylamide, acrylonitrile, and vinyl-n-butyl ether as copolymerization components. Etc., Esters of vinyl alcohol, styrene, vinyl toluene and the like may be contained. The carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer can be obtained, for example, by radical polymerization of the above-mentioned monomer components. The radical polymerization may be thermal polymerization or photopolymerization. A polymerization initiator may be used for radical polymerization. The carboxyl group-containing (meth) acrylic polymer is preferably obtained by solution polymerization using an azo compound, an organic peroxide, a persulfate, hydrogen peroxide or the like as a thermal polymerization initiator.

酸変性ポリウレタンは、例えば、2つの水酸基および1つのカルボキシル基を含有するジオール化合物と、ジイソシアネート化合物を反応させることにより得られる。 The acid-modified polyurethane can be obtained, for example, by reacting a diol compound containing two hydroxyl groups and one carboxyl group with a diisocyanate compound.

酸変性ポリエステルは、例えば、2つの水酸基および1つのカルボキシル基を含有するジオール化合物と、ジカルボン酸を反応させることにより得られる。 The acid-modified polyester is obtained, for example, by reacting a diol compound containing two hydroxyl groups and one carboxyl group with a dicarboxylic acid.

酸変性ポリアミドは、アミド酸構造を有する化合物であり、例えば、ジアミノ化合物とテトラカルボン酸二無水物との反応により得られる。 The acid-modified polyamide is a compound having an amic acid structure, and is obtained, for example, by reacting a diamino compound with a tetracarboxylic dianhydride.

酸変性ポリイミドは、例えば、ジイソシアネート化合物とテトラカルボン酸二無水物との反応により得られる。テトラカルボン酸二無水物をジイソシアネート化合物の当量よりも過剰に加えることにより、末端にカルボン酸無水物基を有するイミド化合物が得られる。末端にカルボン酸無水物基を有するイミド化合物に、水および/またはメタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール等の第一級アルコールを反応させることにより、末端にカルボキシル基を有するイミド化合物が得られる。 The acid-modified polyimide can be obtained, for example, by reacting a diisocyanate compound with a tetracarboxylic dianhydride. By adding tetracarboxylic dianhydride in excess of the equivalent of the diisocyanate compound, an imide compound having a carboxylic acid anhydride group at the terminal is obtained. By reacting an imide compound having a carboxylic acid anhydride group at the terminal with water and / or a primary alcohol such as methanol, ethanol, propanol or butanol, an imide compound having a carboxyl group at the terminal can be obtained.

2つの水酸基および1つのカルボキシル基を含有するジオール化合物としては、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)プロピオン酸、2,2−ビス(2−ヒドロキシエチル)プロピオン酸、2,2−ビス(3−ヒドロキシメプロピル)プロピオン酸、2,3−ジヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)ブタン酸、2,2−ビス(2−ヒドロキシエチル)ブタン酸、2,2−ビス(3−ヒドロキシプロピル)ブタン酸、2,3−ジヒドロキシブタン酸、2,4−ジヒドロキシ−3,3−ジメチルブタン酸、および2,3−ジヒドロキシヘキサデカン酸等の脂肪族系ジオール;2,3−ジヒドロキシ安息香酸、2,4−ジヒドロキシ安息香酸、2,5−ジヒドロキシ安息香酸、2,6−ジヒドロキシ安息香酸、3,4−ジヒドロキシ安息香酸、3,5−ジヒドロキシ安息香酸等の芳香族系ジオールが挙げられる。特に、脂肪族系ジオールを用いた場合に、感光性樹脂組成物が感光性に優れる傾向がある。 Examples of the diol compound containing two hydroxyl groups and one carboxyl group include 2,2-bis (hydroxymethyl) propionic acid, 2,2-bis (2-hydroxyethyl) propionic acid, and 2,2-bis (3-). Hydroxymepropyl) propionic acid, 2,3-dihydroxy-2-methylpropionic acid, 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid, 2,2-bis (2-hydroxyethyl) butanoic acid, 2,2-bis Alibo diols such as (3-hydroxypropyl) butanoic acid, 2,3-dihydroxybutanoic acid, 2,4-dihydroxy-3,3-dimethylbutanoic acid, and 2,3-dihydroxyhexadecanoic acid; 2,3- Fragrant diols such as dihydroxybenzoic acid, 2,4-dihydroxybenzoic acid, 2,5-dihydroxybenzoic acid, 2,6-dihydroxybenzoic acid, 3,4-dihydroxybenzoic acid, and 3,5-dihydroxybenzoic acid Can be mentioned. In particular, when an aliphatic diol is used, the photosensitive resin composition tends to have excellent photosensitivity.

ジイソシアネート化合物は、脂環族ジイソシアネート化合物および脂肪族ジイソシアネート化合物のいずれでもよい。ジイソシアネート化合物は、ジイソシアネート化合物のイソシアネート基と反応可能な官能基を二つ以上有する化合物との反応物であってもよく、例えば、末端にイソシアネート基を有するウレタン化合物でもよい。 The diisocyanate compound may be either an alicyclic diisocyanate compound or an aliphatic diisocyanate compound. The diisocyanate compound may be a reaction product of a compound having two or more functional groups capable of reacting with the isocyanate group of the diisocyanate compound, and may be, for example, a urethane compound having an isocyanate group at the terminal.

テトラカルボン酸二無水物は、芳香族テトラカルボン酸二無水物および脂肪族テトラカルボン酸二無水物のいずれでもよく、芳香環にカルボン酸無水物基が直接結合している芳香族テトラカルボン酸二無水物が好ましい。中でも芳香族テトラカルボン酸二無水物が好ましく、無水カルボキシル基が芳香環に直接結合しているものが好ましい。ジアミノ化合物は、芳香族ジアミンおよび脂肪族ジアミンのいずれでもよく、芳香族ジアミンが好ましい。 The tetracarboxylic dianhydride may be either an aromatic tetracarboxylic dianhydride or an aliphatic tetracarboxylic dianhydride, and the aromatic tetracarboxylic dianhydride having a carboxylic acid anhydride group directly bonded to the aromatic ring. An anhydride is preferred. Of these, aromatic tetracarboxylic dianhydrides are preferable, and those in which an anhydrous carboxyl group is directly bonded to an aromatic ring are preferable. The diamino compound may be either an aromatic diamine or an aliphatic diamine, and an aromatic diamine is preferable.

<(A2)カルボキシル基およびエチレン性不飽和基を有するポリマー>
(A2)成分は、カルボキシル基に加えて、エチレン性不飽和基を有するポリマーである。エチレン性不飽和基としては、(メタ)アクリロイル基およびビニル基が挙げられる。(A2)成分は、熱硬化の際に(C)成分と反応し、光硬化の際に(B)成分と反応するため、硬化膜の架橋密度が高められるとともに、耐熱性や耐薬品性が向上する傾向がある。
<(A2) Polymer having carboxyl group and ethylenically unsaturated group>
The component (A2) is a polymer having an ethylenically unsaturated group in addition to the carboxyl group. Ethylene unsaturated groups include (meth) acryloyl groups and vinyl groups. Since the component (A2) reacts with the component (C) during heat curing and with the component (B) during photocuring, the crosslink density of the cured film is increased, and heat resistance and chemical resistance are improved. Tends to improve.

(A2)成分としては、エポキシ樹脂と不飽和モノカルボン酸とを反応させて得られるエステルに、飽和または不飽和の多価カルボン酸無水物を付加して得られる酸変性エポキシ(メタ)アクリレート;エチレン性不飽和基および/またはカルボキシル基を有するジオール化合物と、ジイソシアネート化合物との重合物であるウレタン(メタ)アクリレート;カルボキシル基および重合可能な二重結合を有する(メタ)アクリル酸と(メタ)アクリルエステル等との共重合体の側鎖のカルボキシル基の一部をグリシジル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル基とエポキシ基を有する化合物のエポキシ基と反応させて得られる(メタ)アクリル化(メタ)アクリレート等が挙げられる。 As the component (A2), an acid-modified epoxy (meth) acrylate obtained by adding a saturated or unsaturated polyvalent carboxylic acid anhydride to an ester obtained by reacting an epoxy resin with an unsaturated monocarboxylic acid; Urethane (meth) acrylate, which is a polymer of a diol compound having an ethylenically unsaturated group and / or a carboxyl group and a diisocyanate compound; (meth) acrylic acid and (meth) having a carboxyl group and a polymerizable double bond. (Meta) acrylicization obtained by reacting a part of the carboxyl group of the side chain of the copolymer with acrylic ester or the like with the (meth) acrylic group such as glycidyl (meth) acrylate and the epoxy group of the compound having an epoxy group. Examples thereof include (meth) acrylate.

上記エポキシ(メタ)アクリレートの合成に用いられる飽和または不飽和の多塩基酸無水物としては、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、マレイン酸、コハク酸、トリメリット酸等の無水物が挙げられる。酸変性エポキシ(メタ)アクリレートの骨格構造(エポキシ樹脂の骨格構造)としては、ビスフェノールA型、ビスフェノールE型、ビスフェノールF型、ビフェニル型、クレゾールノボラック型、フェノールノボラック型等が挙げられる。(A2)成分として、エポキシ樹脂の骨格中に、ポリオキシアルキレンやポリウレタン鎖等の柔軟性の高い構造を導入した酸変性エポキシ(メタ)アクリレートを用いてもよい。(A2)成分として、ポリウレタン鎖等の柔軟な骨格構造を有するポリマーを用いることにより、硬化膜の柔軟性が向上する傾向がある。 Examples of the saturated or unsaturated polybasic acid anhydride used in the synthesis of the epoxy (meth) acrylate include anhydrides such as phthalic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrophthalic acid, maleic acid, succinic acid, and trimellitic acid. Can be mentioned. Examples of the skeleton structure of the acid-modified epoxy (meth) acrylate (skeleton structure of the epoxy resin) include bisphenol A type, bisphenol E type, bisphenol F type, biphenyl type, cresol novolac type, and phenol novolac type. As the component (A2), an acid-modified epoxy (meth) acrylate in which a highly flexible structure such as a polyoxyalkylene or a polyurethane chain is introduced into the skeleton of the epoxy resin may be used. By using a polymer having a flexible skeletal structure such as a polyurethane chain as the component (A2), the flexibility of the cured film tends to be improved.

カルボキシル基を有するエポキシ(メタ)アクリレートの市販品としては、日本化薬製のKAYARAD ZFRシリーズ、ZARシリーズ、ZCRシリーズ、CCRシリーズ、PCRシリーズ、UXEシリーズ等が挙げられる。カルボキシル基を有するウレタン(メタ)アクリレートの市販品としては、日本化薬製のUXシリーズ等が挙げられる。(メタ)アクリル化(メタ)アクリレートの市販品としては、ダイセル・サイテック製のサイクロマーACAシリーズ等が挙げられる。 Examples of commercially available products of epoxy (meth) acrylate having a carboxyl group include KAYARAD ZFR series, ZAR series, ZCR series, CCR series, PCR series, and UXE series manufactured by Nippon Kayaku. Examples of commercially available urethane (meth) acrylates having a carboxyl group include the UX series manufactured by Nippon Kayaku. Examples of commercially available products of (meth) acrylicized (meth) acrylate include the cyclomer ACA series manufactured by Daicel Cytec.

(A)成分の含有量((A1)と(A2)の含有量の合計)は、感光性樹脂組成物の全固形分100重量部に対して、好ましくは10〜80重量部、より好ましくは、20〜70重量部、さらに好ましくは30〜60重量部である。(A)成分、(B)成分および(C)成分の合計100重量部に対する(A)成分の含有量は、30〜80重量部が好ましく、40〜75重量部がより好ましく、50〜70重量部がさらに好ましい。上記範囲内に(A)成分の量を調整することにより、硬化膜の耐熱性および耐薬品性が向上する傾向がある。 The content of the component (A) (the total content of (A1) and (A2)) is preferably 10 to 80 parts by weight, more preferably 10 to 80 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total solid content of the photosensitive resin composition. It is 20 to 70 parts by weight, more preferably 30 to 60 parts by weight. The content of the component (A) with respect to a total of 100 parts by weight of the component (A), the component (B) and the component (C) is preferably 30 to 80 parts by weight, more preferably 40 to 75 parts by weight, and 50 to 70 parts by weight. Parts are more preferred. By adjusting the amount of the component (A) within the above range, the heat resistance and chemical resistance of the cured film tend to be improved.

(A)成分、(B)成分および(C)成分の合計100重量部に対する(A1)成分の含有量は、10〜50重量部が好ましく、15〜45重量部がより好ましく、20〜40重量部がさらに好ましい。(A)成分、(B)成分および(C)成分の合計100重量部に対する(A2)成分の含有量は、10〜50重量部が好ましく、15〜45重量部がより好ましく、20〜40重量部がさらに好ましい。(A1)成分の含有量と(A2)成分の含有量の比(A2)/(A1)は、0.2〜5が好ましく、0.5〜2がより好ましく、0.7〜1.5がさらに好ましい。 The content of the component (A1) with respect to a total of 100 parts by weight of the component (A), the component (B) and the component (C) is preferably 10 to 50 parts by weight, more preferably 15 to 45 parts by weight, and 20 to 40 parts by weight. Parts are more preferred. The content of the component (A2) with respect to a total of 100 parts by weight of the component (A), the component (B) and the component (C) is preferably 10 to 50 parts by weight, more preferably 15 to 45 parts by weight, and 20 to 40 parts by weight. Parts are more preferred. The ratio (A2) / (A1) of the content of the component (A1) to the content of the component (A2) is preferably 0.2 to 5, more preferably 0.5 to 2, and 0.7 to 1.5. Is even more preferable.

<(B)光硬化性化合物>
(B)成分は、少なくとも1つのエチレン性不飽和基を有する光硬化性化合物である。エチレン性不飽和基としては、(メタ)アクリロイル基およびビニル基が挙げられる。(B)成分は、上記の(A2)成分とともに、光架橋ネットワークを形成する。なお、(A2)成分はカルボキシル基を含み、(C)成分とともに熱架橋ネットワークの形成にも寄与するのに対して、(B)成分はカルボキシル基を含まないため、光架橋ネットワークの形成のみに寄与する。
<(B) Photocurable compound>
The component (B) is a photocurable compound having at least one ethylenically unsaturated group. Ethylene unsaturated groups include (meth) acryloyl groups and vinyl groups. The component (B) forms a photocrosslinked network together with the component (A2) described above. The component (A2) contains a carboxyl group and contributes to the formation of a thermally crosslinked network together with the component (C), whereas the component (B) does not contain a carboxyl group, so that only the formation of a photocrosslinked network is possible. Contribute.

(メタ)アクリロイル基を有する化合物の具体例としては、ステアリル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、メトキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシトリエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシジプロピレングリコール(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、フェノキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、フェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシエチレングリコール(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、ノニルフェノキシポリプロピレングリコール(メタ)アクリレート、β−(メタ)アクリロイルオキシエチルハイドロジェンフタレート、β−(メタ)アクリロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、3−クロロ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、1−(メタ)アクリロイルオキシプロピル−2−フタレート、ポリオキシエチレンアルキルエーテル(メタ)アクリレート、等の単官能(メタ)アクリル化合物;エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−1−(メタ)アクリロキシ−3−(メタ)アクリロキシプロパン、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,3−ブチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、
ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ(メタ)アクリレート、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−1,3−ジ(メタ)アクリロキシプロパン、3−メチル−1,5−ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、2,4−ジエチル−1,5−ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,4−シクロヘキサンジメタノールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、4,4’−イソプロピリデンジフェノールジ(メタ)アクリレート、2,2−ビス[4−((メタ)アクリロキシエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−((メタ)アクリロキシ・ジエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−((メタ)アクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−水添ビス[4−((メタ)アクリロキシ・ポリエトキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−((メタ)アクリロキシ・ポリプロポキシ)フェニル]プロパン、ビスフェノールF EO変性(n=2〜50)ジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールA EO変性(n=2〜50)ジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールS EO変性(n=2〜50)ジ(メタ)アクリレート、等の多官能(メタ)アクリル化合物が挙げられる。
Specific examples of the compound having a (meth) acryloyl group include stearyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, methoxydiethylene glycol (meth) acrylate, methoxytriethylene glycol (meth) acrylate, and methoxypolyethylene glycol (meth) acrylate. Methoxydipropylene glycol (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, phenoxydiethylene glycol (meth) acrylate, phenoxypolyethylene glycol (meth) acrylate, nonylphenoxyethylene glycol (meth) acrylate, nonylphenoxypolyethylene glycol (meth) acrylate, nonyl Phenoxypolypropylene glycol (meth) acrylate, β- (meth) acryloyloxyethyl hydrogen phthalate, β- (meth) acryloyloxyethyl hydrogen succinate, 3-chloro-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 1- (meth) ) Monofunctional (meth) acrylic compounds such as acryloyloxypropyl-2-phthalate, polyoxyethylene alkyl ether (meth) acrylate; ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) ) Acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, dipropylene glycol di (meth) acrylate, tripropylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, 2-hydroxy- 1- (meth) acryloxy-3- (meth) acryloxypropane, 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,3-butylene glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) Acrylate,
Neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, tricyclodecanedimethanol di (meth) acrylate, 2,4-diethyl-1,5-pentanediol di (meth) acrylate, 2-hydroxy- 1,3-Di (meth) acryloxypropane, 3-methyl-1,5-pentanediol di (meth) acrylate, 2,4-diethyl-1,5-pentanediol di (meth) acrylate, 1,4- Cyclohexanedimethanol di (meth) acrylate, 1,9-nonanediol di (meth) acrylate, 4,4'-isopropyridene diphenol di (meth) acrylate, 2,2-bis [4-((meth) acryloxy) Ethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4-((meth) acryloxy diethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4-((meth) acryloxy polyethoxy) phenyl] propane, 2,2- Hydrogenated bis [4-((meth) acryloxy polyethoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4-((meth) acryloxy polypropoxy) phenyl] propane, bisphenol F EO modification (n = 2-50) Polyfunctional (meth) acrylic compounds such as di (meth) acrylate, bisphenol A EO modified (n = 2 to 50) di (meth) acrylate, bisphenol S EO modified (n = 2 to 50) di (meth) acrylate, etc. Can be mentioned.

多官能(メタ)アクリル化合物は、1分子中に3以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物でもよい。3官能以上の(メタ)アクリル化合物としては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、エトキシ化トチメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、プロポキシ化トチメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、イソシアヌル酸トリ(エタン(メタ)アクリレート)、1,3,5−トリ(メタ)アクリロイルヘキサヒドロ−s−トリアジン、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタスリトールテトラ(メタ)アクリレート、エトキシ化ペンタスリトールテトラ(メタ)アクリレート、プロポキシ化ペンタスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレート、等が挙げられる。 The polyfunctional (meth) acrylic compound may be a compound having three or more (meth) acryloyl groups in one molecule. Examples of the trifunctional or higher functional (meth) acrylic compound include trimethyl propanthyl (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, ethoxylated totimethylol propanthyl (meth) acrylate, and propoxylated totimethylol propanthyl (meth) acrylate. , Isocyanurate tri (ethane (meth) acrylate), 1,3,5-tri (meth) acryloylhexahydro-s-triazine, tetramethylolmethanetetra (meth) acrylate, pentathritol tetra (meth) acrylate, ethoxylated Pentathritol tetra (meth) acrylate, propoxylated pentathritol tetra (meth) acrylate, ditrimethylolpropantetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol poly (meth) acrylate, etc. Be done.

ビニル基を有する化合物の具体例としては、ジアリルアミン、ジアリルジメチルシラン、ジアリルジスルフィド、ジアリルエーテル、ジアリルシアヌレート、ジアリルイソフタレート、ジアリルテレフタレート、1,3−ジアリロキシ−2−プロパノール、ジアリルスルフィドジアリルマレエート、イソシアヌル酸トリアリル、トリアリル1,3,5−ベンゼンカルボキシレート、トリアリルアミン、トリアリルシトレート、トリアリルホスフェート等が挙げられる。 Specific examples of the compound having a vinyl group include diallylamine, diallyldimethylsilane, diallyl disulfide, diallyl ether, diallyl cyanurate, diallyl isophthalate, diallyl terephthalate, 1,3-dialyloxy-2-propanol, diallyl sulfide diallyl maleate, and the like. Examples thereof include triallyl isocyanurate, triallyl 1,3,5-benzenecarboxylate, triallylamine, triallyl citrate, and triallyl phosphate.

(B)成分は、ウレタン(メタ)アクリレート樹脂、エポキシ(メタ)アクリレート樹脂、ポリエステル(メタ)アクリレート樹脂、アクリル(メタ)アクリレート樹脂等のポリマー(オリゴマー)であってもよい。 The component (B) may be a polymer (oligoform) such as a urethane (meth) acrylate resin, an epoxy (meth) acrylate resin, a polyester (meth) acrylate resin, or an acrylic (meth) acrylate resin.

硬化膜の耐熱性の観点から、(B)成分として、1分子中に2以上の(メタ)アクリロイル基を含む多官能(メタ)アクリル化合物を用いることが好ましい。多官能(メタ)アクリル化合物を用いることにより、(B)成分とともに(B)成分による光架橋ネットワークが形成される。架橋密度を高める観点から、(B)成分として、1分子中に3個以上の(メタ)アクリロイル基を含む多官能(メタ)アクリル化合物を用いてもよい。 From the viewpoint of heat resistance of the cured film, it is preferable to use a polyfunctional (meth) acrylic compound containing two or more (meth) acryloyl groups in one molecule as the component (B). By using the polyfunctional (meth) acrylic compound, a photocrosslinked network consisting of the component (B) and the component (B) is formed. From the viewpoint of increasing the crosslink density, a polyfunctional (meth) acrylic compound containing three or more (meth) acryloyl groups in one molecule may be used as the component (B).

硬化膜の架橋密度を高める観点から、3個以上の(メタ)アクリロイル基を含む多官能(メタ)アクリル化合物の分子量は1000以下が好ましく、800以下がより好ましく、700以下がさらに好ましい。 From the viewpoint of increasing the crosslink density of the cured film, the molecular weight of the polyfunctional (meth) acrylic compound containing three or more (meth) acryloyl groups is preferably 1000 or less, more preferably 800 or less, still more preferably 700 or less.

架橋密度を高める観点から、(B)成分として、(メタ)アクリロイル基の官能基当量(1当量の(メタ)アクリロイル基を含む化合物の質量(g))が300以下である多官能(メタ)アクリル化合物を用いることが好ましい。多官能(メタ)アクリル化合物の官能基当量は一般に80以上である。硬化膜の架橋密度を高めて耐熱性を向上する観点から、多官能(メタ)アクリル化合物の官能基当量は、250以下がより好ましく、200以下がさらに好ましい。多官能(メタ)アクリル化合物の官能基当量は、180以下または150以下であってもよい。 From the viewpoint of increasing the crosslink density, as the component (B), the functional group equivalent of the (meth) acryloyl group (the mass (g) of the compound containing 1 equivalent of the (meth) acryloyl group) is 300 or less. It is preferable to use an acrylic compound. The functional group equivalent of a polyfunctional (meth) acrylic compound is generally 80 or more. From the viewpoint of increasing the crosslink density of the cured film and improving the heat resistance, the functional group equivalent of the polyfunctional (meth) acrylic compound is more preferably 250 or less, and further preferably 200 or less. The functional group equivalent of the polyfunctional (meth) acrylic compound may be 180 or less or 150 or less.

上記のように、(B)成分としては、(メタ)アクリロイル基の官能基当量が300以下である3官能以上の多官能(メタ)アクリレートを用いることが好ましい。3官能以上の多官能(メタ)アクリレートにより光架橋ネットワークが形成された硬化膜では、(A2)成分の複数のポリマー鎖が近接して存在する(架橋距離が短い)ため、架橋密度が高く強固な構造が形成されやすく、耐熱性が向上する傾向がある。 As described above, as the component (B), it is preferable to use a trifunctional or higher functional (meth) acrylate having a functional group equivalent of (meth) acryloyl group of 300 or less. In a cured film in which a photocrosslinking network is formed by a trifunctional or higher polyfunctional (meth) acrylate, a plurality of polymer chains of the component (A2) are present in close proximity (the crosslink distance is short), so that the crosslink density is high and strong. Structure is likely to be formed, and heat resistance tends to be improved.

一方、(メタ)アクリロイル基の官能基当量が小さい(すなわち官能基密度が高い)多官能(メタ)アクリレートによる短距離の架橋構造密度が過度に高くなると、硬化膜の柔軟性が低下する場合がある。架橋密度を高めて耐熱性を向上しつつ、硬化膜の柔軟性を高める観点から、(B)成分として、官能基当量が小さい多官能(メタ)アクリル化合物に加えて、多官能(メタ)アクリルオリゴマーを用いてもよい。特に、(B)成分として、3官能以上の(メタ)アクリル化合物と、多官能(メタ)アクリルオリゴマーを用いることにより、短距離の架橋構造と長距離の架橋構造が併存するため、耐熱性を高めつつ柔軟性を有する硬化膜が形成されやすい。 On the other hand, if the short-range crosslinked structure density of the polyfunctional (meth) acrylate having a small functional group equivalent (that is, a high functional group density) of the (meth) acryloyl group becomes excessively high, the flexibility of the cured film may decrease. is there. From the viewpoint of increasing the flexibility of the cured film while increasing the crosslink density and improving the heat resistance, as the component (B), in addition to the polyfunctional (meth) acrylic compound having a small functional group equivalent, polyfunctional (meth) acrylic Oligomers may be used. In particular, by using a trifunctional or higher functional (meth) acrylic compound and a polyfunctional (meth) acrylic oligomer as the component (B), a short-distance crosslinked structure and a long-distance crosslinked structure coexist, thus providing heat resistance. A cured film having flexibility while being enhanced is likely to be formed.

多官能(メタ)アクリルオリゴマーとしては、ウレタン(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、アクリル(メタ)アクリレート等が挙げられる。柔軟性に優れる硬化膜が形成されやすいことから、ウレタン(メタ)アクリレートが好ましい。多官能(メタ)アクリルオリゴマーは2官能の(メタ)アクリル化合物であることが好ましい。 Examples of the polyfunctional (meth) acrylic oligomer include urethane (meth) acrylate, epoxy (meth) acrylate, polyester (meth) acrylate, and acrylic (meth) acrylate. Urethane (meth) acrylate is preferable because a cured film having excellent flexibility is easily formed. The polyfunctional (meth) acrylic oligomer is preferably a bifunctional (meth) acrylic compound.

硬化膜の耐熱性と柔軟性とを両立する観点から、多官能(メタ)アクリルオリゴマーの分子量は、250〜20,000程度が好ましく、300〜15,000がより好ましく、350〜10,000がさらに好ましい。多官能(メタ)アクリルオリゴマーの分子量は400以上であってもよく、5,000以下、3,000以下、2,000以下1,500以下または1,000以下であってもよい。 From the viewpoint of achieving both heat resistance and flexibility of the cured film, the molecular weight of the polyfunctional (meth) acrylic oligomer is preferably about 250 to 20,000, more preferably 300 to 15,000, and 350 to 10,000. More preferred. The molecular weight of the polyfunctional (meth) acrylic oligomer may be 400 or more, 5,000 or less, 3,000 or less, 2,000 or less, 1,500 or less, or 1,000 or less.

多官能(メタ)アクリルオリゴマーの(メタ)アクリロイル基は、アクリルでもメタクリロイルでもよい。前述のように、光硬化性を高める観点から、一般には両末端にアクリロイル基を有するオリゴマーが用いられることが多いが、光架橋性を適度に調整して硬化膜の柔軟性を高める観点から、両末端にメタクリロイル基を有するウレタンジメタクリレート等のメタクリルオリゴマーを用いてもよい。(B)成分としてメタクリル化合物を用いた場合、アクリル化合物を用いた場合に比べて光ラジカル重合の反応性が低いため、光硬化後に未反応(未硬化)のメタクリル化合物が残存しやすい。未反応のオリゴマーは、硬化膜中で可塑剤的に作用するため、硬化膜の柔軟性向上に寄与すると考えられる。 The (meth) acryloyl group of the polyfunctional (meth) acrylic oligomer may be acrylic or methacryloyl. As described above, from the viewpoint of enhancing photocurability, oligomers having acryloyl groups at both ends are generally used, but from the viewpoint of appropriately adjusting the photocrosslinkability to enhance the flexibility of the cured film, A methacrylic oligomer such as urethane dimethacrylate having a methacryloyl group at both ends may be used. When a methacrylic compound is used as the component (B), the reactivity of photoradical polymerization is lower than that when an acrylic compound is used, so that an unreacted (uncured) methacrylic compound tends to remain after photocuring. Since the unreacted oligomer acts as a plasticizer in the cured film, it is considered to contribute to the improvement of the flexibility of the cured film.

(B)成分の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分100重量部に対して、好ましくは1〜50重量部、より好ましくは3〜40重量部、さらに好ましくは、5〜30重量部、特に好ましくは、10〜20重量部である。(A)成分、(B)成分および(C)成分の合計100重量部に対する(B)成分の含有量は、5〜30重量部が好ましく、8〜25重量部がより好ましく、10〜20重量部がさらに好ましい。上記範囲内に(B)成分の量を調整することにより、硬化膜の柔軟性と耐熱性を両立し易くなる。 The content of the component (B) is preferably 1 to 50 parts by weight, more preferably 3 to 40 parts by weight, still more preferably 5 to 30 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total solid content of the photosensitive resin composition. Parts, particularly preferably 10 to 20 parts by weight. The content of the component (B) with respect to a total of 100 parts by weight of the component (A), the component (B) and the component (C) is preferably 5 to 30 parts by weight, more preferably 8 to 25 parts by weight, and 10 to 20 parts by weight. Parts are more preferred. By adjusting the amount of the component (B) within the above range, it becomes easy to achieve both the flexibility and heat resistance of the cured film.

(B)成分が、3官能以上の多官能(メタ)アクリル化合物と、2官能以上の多官能(メタ)アクリルオリゴマーとを含む場合、(A)成分、(B)成分および(C)成分の合計100重量部に対する、3官能以上の多官能(メタ)アクリル化合物の含有量は、1〜25重量部が好ましく、3〜20重量部がより好ましく、5〜15重量部がさらに好ましい。多官能(メタ)アクリルオリゴマーの含有量は、1〜25重量部が好ましく、3〜20重量部がより好ましく、5〜15重量部がさらに好ましい。 When the component (B) contains a polyfunctional (meth) acrylic compound having a trifunctionality or higher and a polyfunctional (meth) acrylic oligomer having a bifunctionality or higher, the component (A), the component (B) and the component (C) The content of the trifunctional or higher functional (meth) acrylic compound with respect to 100 parts by weight in total is preferably 1 to 25 parts by weight, more preferably 3 to 20 parts by weight, still more preferably 5 to 15 parts by weight. The content of the polyfunctional (meth) acrylic oligomer is preferably 1 to 25 parts by weight, more preferably 3 to 20 parts by weight, still more preferably 5 to 15 parts by weight.

<(C)熱硬化性樹脂>
熱硬化性樹脂は、分子内に少なくとも1つの熱硬化性官能基を有する化合物である。熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、オキセタン樹脂、イソシアネート樹脂、ブロックイソシアネート樹脂、シアネート樹脂が好ましい。中でも、上記(A)成分のカルボキシル基と反応して熱架橋ネットワークを形成可能であることから、エポキシ樹脂が好ましい。硬化膜に耐熱性を付与できると共に、金属箔等の導体や回路基板に対する接着性を付与できることから、1分子中に2以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ樹脂が好ましい。
<(C) Thermosetting resin>
A thermosetting resin is a compound having at least one thermosetting functional group in the molecule. As the thermosetting resin, an epoxy resin, an oxetane resin, an isocyanate resin, a blocked isocyanate resin, and a cyanate resin are preferable. Of these, an epoxy resin is preferable because it can react with the carboxyl group of the component (A) to form a thermally crosslinked network. A polyfunctional epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule is preferable because it can impart heat resistance to the cured film and also impart adhesiveness to conductors such as metal foils and circuit boards.

多官能エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、フェノキシ型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、アミン型エポキシ樹脂等が挙げられる。エポキシ樹脂は、ウレタン、ゴム、キレート、ダイマー酸等による変性エポキシ樹脂でもよい。(C)成分として、市販のエポキシ樹脂をそのまま用いてもよい。 Examples of the polyfunctional epoxy resin include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, phenoxy type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, and phenol novolac. Examples thereof include type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, trisphenol methane type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, amine type epoxy resin and the like. The epoxy resin may be a modified epoxy resin such as urethane, rubber, chelate, or dimer acid. A commercially available epoxy resin may be used as it is as the component (C).

硬化膜の耐熱性および耐薬品等の観点から、エポキシ樹脂のエポキシ当量(1当量のエポキシ基を含む化合物の質量(g))は2000以下が好ましく、1500以下がより好ましい。エポキシ樹脂の重量平均分子量は、150〜2000程度が好ましく、200〜1500程度がより好ましい。 From the viewpoint of heat resistance and chemical resistance of the cured film, the epoxy equivalent of the epoxy resin (mass (g) of the compound containing 1 equivalent of the epoxy group) is preferably 2000 or less, and more preferably 1500 or less. The weight average molecular weight of the epoxy resin is preferably about 150 to 2000, more preferably about 200 to 1500.

(C)成分の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分100重量部に対して、好ましくは1〜80重量部、さらに好ましくは、5〜50重量部、特に好ましくは、10〜30重量部である。(A)成分、(B)成分および(C)成分の合計100重量部に対する(C)成分の含有量は、10〜40重量部が好ましく、15〜35重量部がより好ましく、20〜30重量部がさらに好ましい。上記範囲内に(C)成分の量を調整することにより、耐熱性および耐薬品性に優れ、かつ柔軟性を有する硬化膜が得られやすい。 The content of the component (C) is preferably 1 to 80 parts by weight, more preferably 5 to 50 parts by weight, and particularly preferably 10 to 30 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total solid content of the photosensitive resin composition. It is a part by weight. The content of the component (C) with respect to a total of 100 parts by weight of the component (A), the component (B) and the component (C) is preferably 10 to 40 parts by weight, more preferably 15 to 35 parts by weight, and 20 to 30 parts by weight. The portion is more preferable. By adjusting the amount of the component (C) within the above range, it is easy to obtain a cured film having excellent heat resistance and chemical resistance and flexibility.

<(D)金属不活性化剤>
金属不活性化剤は、金属と錯体を形成して不活性化することにより、金属(イオン)に起因する硬化反応阻害や、硬化膜の劣化を抑制する作用を有する。銅と錯体を形成可能な不活性化剤としては、シュウ酸、マロン酸等の多塩基酸;グリシン、プロリン等のアミノ酸類;アミド化合物;ヒドラジド化合物等が挙げられる。
<(D) Metal inactivating agent>
The metal inactivating agent has the effect of inhibiting the curing reaction caused by the metal (ion) and suppressing the deterioration of the cured film by forming a complex with the metal and inactivating it. Examples of the inactivating agent capable of forming a complex with copper include polybasic acids such as oxalic acid and malonic acid; amino acids such as glycine and proline; amide compounds; and hydrazide compounds.

金属不活性化剤は、現像により膜が除去された領域の金属表面への残存が少ない化合物が好ましい。金属との結合力が強い金属不活性化剤を用いると、現像後にリンスを行っても金属表面の不活性化剤が十分に除去されず、不活性化剤の残渣が欠点として視認される場合がある。特に、着色剤を含む感光性組成物の硬化により形成された着色硬化膜(典型的には黒色硬化膜)がパターニングされている場合は、非着色膜に比べて、表面に露出した金属への付着物等が視認されやすい。そのため、金属不活性化剤としては、銅等の金属に対する適度の結合性を有し、現像および/または現像後のリンスにより、金属表面から容易に除去できるものが好ましい。 The metal inactivating agent is preferably a compound having a small amount of residue on the metal surface in the region where the film has been removed by development. When a metal inactivating agent having a strong binding force to a metal is used, the inactivating agent on the metal surface is not sufficiently removed even if rinsing is performed after development, and the residue of the inactivating agent is visually recognized as a defect. There is. In particular, when a colored cured film (typically a black cured film) formed by curing a photosensitive composition containing a colorant is patterned, the metal exposed on the surface is more exposed than the non-colored film. Adhesions are easily visible. Therefore, the metal inactivating agent preferably has an appropriate binding property to a metal such as copper and can be easily removed from the metal surface by development and / or rinsing after development.

銅に対して適度の結合性を有し、かつ不活性化作用と金属表面からの除去性に優れることから、金属不活性化剤としては、N−(2H−1,2,4−トリアゾール−5−イル)サリチルアミド(市販品として、ADEKA製「アデカスタブ CDA−1」)等のフェノール性水酸基を有するベンズアミド誘導体;N’1,N’12−ビス(2−ヒドロキシベンゾイル)ドデカンジヒドラジド(市販品として、ADEKA製「アデカスタブ CDA−1」)、およびN’−ビス{3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオニル}ヒドラジン(市販品として、ADEKA製「アデカスタブ CDA−10」)等のフェノール性水酸基を有するヒドラジド誘導体が好ましい。 N- (2H-1,2,4-triazole-) is a metal inactivating agent because it has an appropriate binding property to copper and is excellent in inactivating action and removing property from the metal surface. 5-Il) A benzamide derivative having a phenolic hydroxyl group such as salicylamide (commercially available, "Adecastab CDA-1" manufactured by ADEKA); N'1, N'12-bis (2-hydroxybenzoyl) dodecandihydrazide (commercially available). As ADEKA's "Adecastab CDA-1"), and N'-bis {3- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionyl} hydrazine (as a commercial product, ADEKA's "Adecastab CDA-" A hydrazide derivative having a phenolic hydroxyl group such as 10 ”) is preferable.

(D)成分の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分100重量部に対して、好ましくは0.1〜1.0重量部、さらに好ましくは、0.2〜0.5重量部である。上記範囲内に(D)成分の量を調整することにより、重合阻害を抑制して硬化膜の耐熱性を向上可能できるとともに、残渣に起因する性能や意匠性の低下を抑制できる。また、(D)成分の量が上記範囲内であることにより、金属との界面近傍での硬化膜の劣化が抑制される傾向がある。 The content of the component (D) is preferably 0.1 to 1.0 parts by weight, more preferably 0.2 to 0.5 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total solid content of the photosensitive resin composition. Is. By adjusting the amount of the component (D) within the above range, it is possible to suppress polymerization inhibition and improve the heat resistance of the cured film, and it is possible to suppress deterioration of performance and design due to the residue. Further, when the amount of the component (D) is within the above range, deterioration of the cured film in the vicinity of the interface with the metal tends to be suppressed.

<(E)光重合開始剤>
(E)成分としての光重合開始剤は、UV(紫外光)等の光エネルギーを吸収して活性化し、上記(A2)成分および(B)成分のエチレン性不飽和基の光ラジカル重合反応による光架橋ネットワークの形成を、開始・促進させる化合物(光ラジカル重合開始剤)である。
<(E) Photopolymerization Initiator>
The photopolymerization initiator as the component (E) absorbs and activates light energy such as UV (ultraviolet light), and is subjected to a photoradical polymerization reaction of the ethylenically unsaturated groups of the components (A2) and (B). A compound (photoradical polymerization initiator) that initiates and promotes the formation of a photobridge network.

光ラジカル重合開始剤の例としては、ベンゾイン系化合物、アセトフェノン類、アミノケトン類、オキシムエステル類、アシルホスフィンオキサイド系化合物、アゾ系化合物等の自己開裂型の光ラジカル重合開始剤;およびベンゾフェノン類、ベンゾインエーテル類、ベンジルケタール類、ジベンゾスベロン類、アントラキノン類、キサントン類、チオキサントン類、ハロゲノアセトフェノン類、ジアルコキシアセトフェノン類、ヒドロキシアセトフェノン類、ハロゲノビスイミダゾール類、ハロゲノトリアジン類等の水素引抜型の光ラジカル重合開始剤が挙げられる。 Examples of photoradical polymerization initiators are self-cleaving photoradical polymerization initiators such as benzoin compounds, acetophenones, aminoketones, oxime esters, acylphosphine oxide compounds, azo compounds; and benzophenones, benzoins. Hydrogen abstraction type photorades such as ethers, benzyl ketals, dibenzosverones, anthraquinones, xanthones, thioxanthones, halogenoacetophenones, dialkoxyacetophenones, hydroxyacetophenones, halogenobis imidazoles, and halogenotriazines. A polymerization initiator can be mentioned.

光ラジカル重合開始剤としては、波長405nmに吸収帯を有するものが好ましい。波長405nmに吸収帯を有する光ラジカル重合開始剤を用いることにより、硬化膜の耐熱性が向上する傾向がある。光ラジカル重合開始剤は、光路長1cmの石英セルを用いて可視−紫外分光光度計により測定した0.001重量%のメタノール溶液の波長405nmにおける吸光度が0.02以上であることが好ましい。換言すると、波長405nmにおける吸光係数が、20[%-1・cm-1]以上である光ラジカル重合開始剤を用いることが好ましい。The photoradical polymerization initiator preferably has an absorption band at a wavelength of 405 nm. By using a photoradical polymerization initiator having an absorption band at a wavelength of 405 nm, the heat resistance of the cured film tends to be improved. The photoradical polymerization initiator preferably has an absorbance of 0.02 or more at a wavelength of 405 nm of a 0.001 wt% methanol solution measured by a visible-ultraviolet spectrophotometer using a quartz cell having an optical path length of 1 cm. In other words, it is preferable to use a photoradical polymerization initiator having an extinction coefficient at a wavelength of 405 nm of 20 [% -1 · cm -1] or more.

上記405nmに吸収帯を有する光ラジカル重合開始剤としては、アシルホスフィンオキサイド系化合物、アセトフェノン類、アミノケトン類、オキシムエステル類等が挙げられる。中でも、光感度が高いことから、オキシムエステル類が好ましい。波長405nmに吸収帯を有するオキシムエステル類の市販品としては、ADEKA製の「アデカアークルズ NCI−831」、「アデカアークルズ N−1717」および「アデカアークルズ N−1919」、BASF製の「イルガキュア OXE03」等が挙げられる。 Examples of the photoradical polymerization initiator having an absorption band at 405 nm include acylphosphine oxide compounds, acetophenones, aminoketones, and oxime esters. Of these, oxime esters are preferable because of their high photosensitivity. Commercially available products of oxime esters having an absorption band at a wavelength of 405 nm include "ADEKA ARKULS NCI-831", "ADEKA ARKULS N-1717" and "ADEKA ARKULS N-1919" manufactured by ADEKA, and "ADEKA Arklus N-1919" manufactured by BASF. Irgacure OXE03 "and the like.

(E)成分の含有量は、(A2)成分および(B)成分の固形分合計100重量部対して、0.1〜20重量部が好ましく、0.3〜10重量部がより好ましく、0.5〜5重量部がさらに好ましい。上記配合割合にすることにより、感光性樹脂組成物の感光性が向上して光硬化反応を効率化できるとともに、過露光を防止できる。 The content of the component (E) is preferably 0.1 to 20 parts by weight, more preferably 0.3 to 10 parts by weight, and 0, based on 100 parts by weight of the total solid content of the components (A2) and (B). .5 to 5 parts by weight is more preferable. By setting the blending ratio as described above, the photosensitivity of the photosensitive resin composition can be improved, the photocuring reaction can be made more efficient, and overexposure can be prevented.

<(F)着色剤>
着色剤は、硬化膜を所望の色とするために添加される。着色剤は、染料または顔料のいずれかである。着色剤としては、青色着色剤、赤色着色剤、黄色着色剤、橙色着色剤、紫色着色剤等が挙げられる。複数の着色剤を組み合わせることにより様々な色の硬化膜を形成できる。以下に、着色剤の具体例をカラーインデックス番号で示す。
<(F) Colorant>
Colorants are added to give the cured film the desired color. The colorant is either a dye or a pigment. Examples of the colorant include a blue colorant, a red colorant, a yellow colorant, an orange colorant, a purple colorant and the like. By combining a plurality of colorants, cured films of various colors can be formed. Specific examples of colorants are shown below by color index numbers.

青色着色剤としては、例えば、フタロシアニン系、アントラキノン系またはジオキサジン系等の顔料であるC.I.Pigment Blue 15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、60;染料系であるSolvent Blue 35、63、68、70、83、87、94、97、122、136、67、70が挙げられる。上記以外にも金属置換もしくは無置換のフタロシアニン化合物も青色着色剤として使用できる。特に、着色力の観点から銅フタロシアニン系着色剤が好ましい。 Examples of the blue colorant include phthalocyanine-based, anthraquinone-based, and dioxazine-based pigments such as C.I. I. Pigment Blue 15, 15: 1, 15: 2, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 60; Dye-based Solvent Blue 35, 63, 68, 70, 83, 87, 94, 97, 122, 136, 67, 70 can be mentioned. In addition to the above, metal-substituted or unsubstituted phthalocyanine compounds can also be used as the blue colorant. In particular, a copper phthalocyanine-based colorant is preferable from the viewpoint of coloring power.

赤色着色剤としては、例えば、C.I.Pigment Red 122、149、166、177、179、242、224、254、264、272が挙げられる。 Examples of the red colorant include C.I. I. Pigment Red 122, 149, 166, 177, 179, 242, 224, 254, 264, 272.

黄色着色剤としては、例えば、C.I.Pigment Yellow 83、110、128、138、139、150、151、154、155、180、181が挙げられる。 Examples of the yellow colorant include C.I. I. Pigment Yellow 83, 110, 128, 138, 139, 150, 151, 154, 155, 180, 181.

橙色着色剤としては、例えば、C.I.Pigment Orange 5、13、14、16、17、24、34、36、38、40、43、46、49、51、55、59、61、63、64、71、73が挙げられる。 Examples of the orange colorant include C.I. I. Pigment Orange 5, 13, 14, 16, 17, 24, 34, 36, 38, 40, 43, 46, 49, 51, 55, 59, 61, 63, 64, 71, 73.

紫色着色剤としては、例えば、C.I.Pigment Violet 19、23、29、30、32、36、37、38、39、40、50;Solvent Violet 13、36が挙げられる。 Examples of the purple colorant include C.I. I. Pigment Violet 19, 23, 29, 30, 32, 36, 37, 38, 39, 40, 50; Solvent Violet 13, 36.

上記の着色剤を組み合わせて黒色着色剤とすることもできる。以下に、硬化膜を黒色とするための着色剤の組み合わせの具体例を示す。以下の比率は、重量比を表している。
青色着色剤1.0に対して、橙色着色剤を1.5〜3.0の比率で組み合わせる。
青色着色剤1.0に対して、赤色着色剤を1.2〜3.0の比率で組み合わせる。
青色着色剤1.0に対して、紫色着色剤を1.2〜3.0の比率で組み合わせる。
青色着色剤1.0に対して、黄色着色剤を1.5〜4、および橙色着色剤を1.0〜2.5の比率で組み合わせる。
青色着色剤1.0に対して、赤色着色剤を1.0〜2.0、および黄色着色剤を1.5〜3.0の比率で組み合わせる。
青色着色剤1.0に対して、黄色着色剤を1.0〜3.0、および紫色着色剤を1.0〜2.0の比率で組み合わせる。
青色着色剤1.0に対して、橙色着色剤を0.5〜2.0、および紫色着色剤を0.5〜2.0の比率で組み合わせる。
上記の中でも、黒色度に優れ、着色剤の量の調整が容易であることから、青色着色剤、橙色着色剤および紫色着色剤の組み合わせが好ましい。
The above colorants can be combined to form a black colorant. A specific example of a combination of colorants for making the cured film black is shown below. The following ratios represent weight ratios.
The orange colorant is combined with the blue colorant 1.0 at a ratio of 1.5 to 3.0.
The red colorant is combined with the blue colorant 1.0 at a ratio of 1.2 to 3.0.
The purple colorant is combined with the blue colorant 1.0 at a ratio of 1.2 to 3.0.
The yellow colorant is combined at a ratio of 1.5 to 4 and the orange colorant is combined at a ratio of 1.0 to 2.5 with respect to the blue colorant 1.0.
The red colorant is combined in a ratio of 1.0 to 2.0 and the yellow colorant is combined in a ratio of 1.5 to 3.0 with respect to the blue colorant 1.0.
The yellow colorant is combined in a ratio of 1.0 to 3.0 and the purple colorant is combined in a ratio of 1.0 to 2.0 with respect to the blue colorant 1.0.
The orange colorant is combined in a ratio of 0.5 to 2.0 and the purple colorant is combined in a ratio of 0.5 to 2.0 with respect to the blue colorant 1.0.
Among the above, a combination of a blue colorant, an orange colorant, and a purple colorant is preferable because the blackness is excellent and the amount of the colorant can be easily adjusted.

(F)成分の含有量は、着色剤の種類や、硬化膜の色に応じて適宜設定すればよい。例えば、黒色の硬化膜を得るためには、感光性樹脂組成物の固形分全量100重量部に対する(F)成分の含有量は、3重量部以上が好ましく、4重量部以上がより好ましい。着色性の観点からは、着色剤の量が多いことに特段の問題はないが、着色剤の量の増大に伴って、光硬化性が低下しやすく、特に金属層との界面(光照射面からみて底部の界面)の光硬化が不十分となる場合がある。また、着色剤の量が多い場合は、チクソトロピックスインデックスが高くなり、インクろ過時の目詰まりや印刷性の悪化、解像度の低下が懸念される。そのため、感光性樹脂組成物の固形分全量100重量部に対する(F)成分の含有量は、10重量部以下が好ましく、7重量部以下がより好ましい。 The content of the component (F) may be appropriately set according to the type of the colorant and the color of the cured film. For example, in order to obtain a black cured film, the content of the component (F) with respect to 100 parts by weight of the total solid content of the photosensitive resin composition is preferably 3 parts by weight or more, and more preferably 4 parts by weight or more. From the viewpoint of colorability, there is no particular problem with the large amount of colorant, but as the amount of colorant increases, the photocurability tends to decrease, and in particular, the interface with the metal layer (light irradiation surface). Photocuring of the bottom interface) may be insufficient. Further, when the amount of the colorant is large, the thixotropics index becomes high, and there is a concern that clogging during ink filtration, deterioration of printability, and deterioration of resolution may occur. Therefore, the content of the component (F) with respect to 100 parts by weight of the total solid content of the photosensitive resin composition is preferably 10 parts by weight or less, more preferably 7 parts by weight or less.

<その他の成分>
感光性樹脂組成物は、上記(A)〜(F)成分に加えて、必要に応じて、充填剤、接着助剤、消泡剤、レベリング剤、重合禁止剤、難燃剤等の各種添加剤を含んでいてもよい。充填剤としては、シリカ、マイカ、タルク、硫酸バリウム、ワラストナイト、炭酸カルシウム等の無機充填剤、および有機ポリマー充填剤が挙げられる。消泡剤およびレベリング剤としては、シリコーン系化合物、アクリル系化合物等が挙げられる。接着助剤(密着性付与剤ともいう)としては、シランカップリング剤、トリアゾール系化合物、テトラゾール系化合物、トリアジン系化合物等が挙げられる。重合禁止剤としては、例えば、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル等が挙げられる。
<Other ingredients>
In addition to the above components (A) to (F), the photosensitive resin composition contains various additives such as a filler, an adhesive aid, a defoaming agent, a leveling agent, a polymerization inhibitor, and a flame retardant, if necessary. May include. Examples of the filler include inorganic fillers such as silica, mica, talc, barium sulfate, wallastonite, and calcium carbonate, and organic polymer fillers. Examples of the defoaming agent and the leveling agent include silicone compounds and acrylic compounds. Examples of the adhesion aid (also referred to as an adhesion imparting agent) include a silane coupling agent, a triazole-based compound, a tetrazole-based compound, and a triazine-based compound. Examples of the polymerization inhibitor include hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether and the like.

難燃剤としては、リン酸エステル系化合物、含ハロゲン系化合物、金属水酸化物、有機リン系化合物、シリコーン系化合物等を用いることができる。環境汚染防止の観点から、金属水酸化物、リン系化合物等の非ハロゲン系難燃剤が好ましい。 As the flame retardant, a phosphoric acid ester compound, a halogen-containing compound, a metal hydroxide, an organic phosphorus compound, a silicone compound and the like can be used. From the viewpoint of preventing environmental pollution, non-halogen flame retardants such as metal hydroxides and phosphorus compounds are preferable.

<感光性樹脂組成物の調製>
上記の各成分、および必要に応じて適宜の溶媒を混合することにより、感光性樹脂組成物が得られる。上記の各成分は、混合前および/または混合後に、必要に応じて、粉砕・分散や、脱泡等の操作を行ってもよい。粉砕・分散は、例えば、ビーズミル、ボールミル、3本ロール等の混練装置を用いて実施すればよい。
<Preparation of photosensitive resin composition>
A photosensitive resin composition can be obtained by mixing each of the above components and, if necessary, an appropriate solvent. Each of the above components may be subjected to operations such as pulverization / dispersion and defoaming, if necessary, before and / or after mixing. The pulverization / dispersion may be carried out using, for example, a kneading device such as a bead mill, a ball mill, or a three-roll.

感光性樹脂組成物は、一部の成分と他の成分とを個別に含むキットの形態で提供することもできる。例えば、感光性樹脂組成物作製キットは、第1剤および第2剤を個別に含む。溶液状態で反応する複数の成分を混合すると、溶液の保管安定性が低くなる場合があるのに対して、これらを混合せずに保管しておくことにより、溶液の安定性が高められ、輸送・保管等のリードタイムに柔軟に対応できる。 The photosensitive resin composition can also be provided in the form of a kit containing some components and other components individually. For example, the photosensitive resin composition preparation kit contains the first agent and the second agent individually. Mixing multiple components that react in a solution state may reduce the storage stability of the solution, whereas storing them unmixed enhances the stability of the solution and transports it. -Flexible for lead time such as storage.

上記の感光性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基含有ポリマーと、(D)金属不活性化剤とを溶液中で共存させると、経時的に粘度が上昇する場合がある。そのため、保管安定性を高める観点から、第1剤が(A)成分を含み、第2剤が(D)成分を含む感光性樹脂組成物作製キットとして提供してもよい。(A)成分と(D)成分とを混合せずに第1剤と第2剤を個別に含むキットとして保管しておくことにより、粘度上昇を抑制できる。 When the (A) carboxyl group-containing polymer and (D) the metal inactivating agent coexist in a solution, the viscosity of the above-mentioned photosensitive resin composition may increase with time. Therefore, from the viewpoint of enhancing storage stability, the first agent may be provided as a photosensitive resin composition preparation kit containing the component (A) and the second agent may contain the component (D). By storing the first agent and the second agent individually as a kit without mixing the component (A) and the component (D), the increase in viscosity can be suppressed.

キットの第1剤は、(A1)成分および(A2)成分に加えて(B)成分を含んでいてもよく、キットの第2剤は、(D)成分に加えて(E)成分を含んでいてもよい。光重合性(感光性)を有する(A2)成分および(B)成分と、(E)光重合開始剤とを混合せずに保管しておくことにより、保管環境での光硬化を抑制できる。キットの第2剤は、(C)成分を含んでいてもよい。(A)カルボキシル基含有ポリマーと(C)エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂とを混合せずに保管しておくことにより、保管環境での(A)成分のカルボキシル基と(C)成分のエポキシ基等の官能基との反応を防止できる。 The first agent of the kit may contain the component (B) in addition to the components (A1) and (A2), and the second agent of the kit contains the component (E) in addition to the component (D). You may be. By storing the photopolymerizable (photosensitive) components (A2) and (B) and the photopolymerization initiator (E) without mixing, photocuring in the storage environment can be suppressed. The second agent of the kit may contain the component (C). By storing the (A) carboxyl group-containing polymer and the (C) thermosetting resin such as an epoxy resin without mixing, the carboxyl group of the (A) component and the epoxy of the (C) component in the storage environment are stored. It is possible to prevent a reaction with a functional group such as a group.

感光性樹脂組成物作製キットが、第1剤および第2剤からなる2液型である場合、(F)成分は第1剤および第2剤のいずれに含まれていてもよく、両方に含まれていてもよい。キットを構成する第1剤の組成物と第2剤の組成物とを混合することにより、感光性樹脂組成物を調製できる。なお、感光性樹脂組成物作製キットは、第1剤と第2剤からなる2液型に限定されず、3液以上を混合するタイプのものでもよい。 When the photosensitive resin composition preparation kit is a two-component type composed of the first agent and the second agent, the component (F) may be contained in either the first agent or the second agent, and is contained in both of them. It may be. A photosensitive resin composition can be prepared by mixing the composition of the first agent and the composition of the second agent constituting the kit. The photosensitive resin composition preparation kit is not limited to the two-component type composed of the first agent and the second agent, and may be a type in which three or more liquids are mixed.

<硬化膜の形成>
感光性樹脂組成物を基板に塗布し、必要に応じて加熱により溶媒を除去した後、光硬化および熱硬化を行うことにより、硬化膜が形成される。感光性樹脂組成物は着色剤を有しているため、黒色等に着色した着色硬化膜が得られる。上記の感光性組成物を用いることにより、銅箔等の金属上にも耐熱性に優れる硬化膜を形成できる。
<Formation of cured film>
A cured film is formed by applying a photosensitive resin composition to a substrate, removing a solvent by heating if necessary, and then performing photocuring and thermosetting. Since the photosensitive resin composition has a colorant, a colored cured film colored in black or the like can be obtained. By using the above-mentioned photosensitive composition, a cured film having excellent heat resistance can be formed on a metal such as a copper foil.

一般に、黒色等の着色剤を含む樹脂組成物を光硬化すると、硬化膜は光照射面と反対側の界面近傍での硬化が不十分となり、耐熱性に劣る場合がある。特に、金属上に硬化膜を形成した場合に、耐熱性が低下しやすい。金属上に硬化膜を形成した際の耐熱性の低下の一因として、金属と硬化膜との界面近傍での重合阻害や樹脂の分解が考えられる。特に、金属イオンが存在すると、樹脂の分解が促進されるため、金属との界面での密着性が低下し、硬化膜の耐熱性が低下しやすいと考えられる。 In general, when a resin composition containing a colorant such as black is photocured, the cured film is insufficiently cured in the vicinity of the interface on the opposite side of the light irradiation surface, and may be inferior in heat resistance. In particular, when a cured film is formed on a metal, the heat resistance tends to decrease. One of the causes of the decrease in heat resistance when the cured film is formed on the metal is considered to be polymerization inhibition near the interface between the metal and the cured film and decomposition of the resin. In particular, it is considered that the presence of metal ions promotes the decomposition of the resin, so that the adhesion at the interface with the metal is lowered and the heat resistance of the cured film is likely to be lowered.

上記のように、感光性樹脂組成物が(D)金属不活性化剤を含むことにより、金属に起因する樹脂の分解や重合阻害が抑制され、金属と硬化膜との界面での密着性が向上するため、耐熱性が向上すると考えられる。また、感光性樹脂組成物が、光架橋ネットワークの形成と熱架橋ネットワークの形成の両方に寄与する(A2)成分を含むため、金属界面近傍での光硬化が十分でない場合でも、熱架橋により架橋性が高められることも、耐熱性向上に寄与していると考えられる。 As described above, when the photosensitive resin composition contains the (D) metal inactivating agent, the decomposition and polymerization inhibition of the resin caused by the metal are suppressed, and the adhesion at the interface between the metal and the cured film is improved. It is considered that the heat resistance is improved because of the improvement. Further, since the photosensitive resin composition contains the component (A2) that contributes to both the formation of the photocrosslinking network and the formation of the thermocrosslinking network, even if the photocuring in the vicinity of the metal interface is not sufficient, the crosslinking is performed by thermal crosslinking. It is considered that the improvement of the property also contributes to the improvement of the heat resistance.

(E)成分として、波長405nmに吸収帯を有する光重合開始剤を用いた場合に、硬化膜の耐熱性がさらに向上する傾向がある。長波長に吸収帯を有する光重合開始剤を用いることにより、樹脂組成物が着色剤を有している場合でも、底部(金属との界面近傍)での光硬化が進行しやすいことが、耐熱性向上に寄与していると考えられる。 When a photopolymerization initiator having an absorption band at a wavelength of 405 nm is used as the component (E), the heat resistance of the cured film tends to be further improved. By using a photopolymerization initiator having an absorption band at a long wavelength, even if the resin composition has a colorant, photocuring at the bottom (near the interface with the metal) is likely to proceed, which is heat resistant. It is thought that it contributes to the improvement of sex.

感光性樹脂組成物の塗膜に、紫外線や短波長可視光等の活性光線を照射すると、照射面近傍の光重合開始剤が光を吸収して活性化され、照射面近傍で吸収されなかった光が底部(金属との界面近傍)に届く。そのため、一般には、底部よりも照射面側の方が、光硬化が進行しやすい。特に、感光性樹脂組成物が着色剤を含んでいる場合は、光重合開始剤に加えて着色剤も活性光線を吸収するため、底部に届く活性光線の量が少なく、光照射面に比べて、底部の光硬化が不十分となりやすい。 When the coating film of the photosensitive resin composition was irradiated with active light such as ultraviolet rays or short-wavelength visible light, the photopolymerization initiator in the vicinity of the irradiation surface was activated by absorbing the light and was not absorbed in the vicinity of the irradiation surface. Light reaches the bottom (near the interface with the metal). Therefore, in general, photocuring is more likely to proceed on the irradiated surface side than on the bottom. In particular, when the photosensitive resin composition contains a colorant, the colorant also absorbs the active light in addition to the photopolymerization initiator, so that the amount of the active light reaching the bottom is small and the amount of the active light reaches the bottom is smaller than that of the light irradiation surface. , The photocuring of the bottom tends to be insufficient.

短波長の光は相対的に高エネルギーであるため、活性光線の照射による光硬化では、光照射面近傍では、短波長光が優先的に利用され、光照射面近傍で吸収されなかった長波長光が底部に届きやすい。(E)成分として長波長(405nm)に吸収帯を有する光重合開始剤を用いることにより、底部に届いた長波長光による光硬化が進行しやすい。そのため、組成物が着色剤を有している場合でも、底部での光硬化反応を維持可能であり、硬化膜の耐熱性が向上すると考えられる。 Since short-wavelength light has a relatively high energy, in photocuring by irradiation with active light, short-wavelength light is preferentially used near the light-irradiated surface, and long-wavelength light that is not absorbed near the light-irradiated surface is used. Light easily reaches the bottom. By using a photopolymerization initiator having an absorption band at a long wavelength (405 nm) as the component (E), photocuring by the long wavelength light reaching the bottom is likely to proceed. Therefore, even when the composition has a colorant, it is considered that the photocuring reaction at the bottom can be maintained and the heat resistance of the cured film is improved.

すなわち、(D)成分としての金属不活性剤を含むことにより、底部(金属との界面近傍)での硬化阻害や樹脂の分解が抑制され、かつ長波長に吸収帯を有する光重合開始剤を用いることにより、底部での光硬化反応性が向上する。さらに、組成物が黒色等の着色剤を含んでいる場合でも、熱硬化は膜の厚み方向での差がなくほぼ均一に進行するため、底部の硬化不足を補うことができる。そのため、金属との界面での密着性に優れるとともに、金属との界面近傍においても高い架橋密度を有し、耐熱性に優れる硬化膜が形成されると考えられる。 That is, by containing the metal inactivating agent as the component (D), a photopolymerization initiator having an absorption band at a long wavelength while suppressing curing inhibition at the bottom (near the interface with the metal) and decomposition of the resin can be obtained. By using it, the photocuring reactivity at the bottom is improved. Further, even when the composition contains a colorant such as black, the thermosetting proceeds substantially uniformly without a difference in the thickness direction of the film, so that the insufficient curing of the bottom can be compensated. Therefore, it is considered that a cured film having excellent adhesion at the interface with the metal, having a high crosslink density even in the vicinity of the interface with the metal, and having excellent heat resistance is formed.

感光性樹脂組成物を用いた硬化膜の形成は、各種公知の方法により実施し得る。基板上への感光性樹脂組成物(溶液)の塗布は、スクリ−ン印刷、カーテンロール、リバースロール、スプレーコーティング、スピンナーを利用した回転塗布等により行えばよい。塗膜の厚みは、乾燥後の厚みが5〜100μm程度、好ましくは10〜50μm程度となるように調整すればよい。加熱により乾燥を行う場合、熱硬化反応を抑制する観点から、乾燥温度は120℃以下が好ましく、40〜100℃がより好ましい。 The formation of the cured film using the photosensitive resin composition can be carried out by various known methods. The photosensitive resin composition (solution) may be applied onto the substrate by screen printing, curtain roll, reverse roll, spray coating, rotary coating using a spinner, or the like. The thickness of the coating film may be adjusted so that the thickness after drying is about 5 to 100 μm, preferably about 10 to 50 μm. When drying by heating, the drying temperature is preferably 120 ° C. or lower, more preferably 40 to 100 ° C. from the viewpoint of suppressing the thermosetting reaction.

乾燥後の塗膜を露光することにより、光硬化が行われる。露光の際に、塗膜上にフォトマスクを配置して、塗膜の面内の一部を選択的に露光した後、現像することによりレリーフパターンを形成できる。露光の際には、紫外線、可視光線等の活性光線を照射する。(E)成分として長波長に吸収帯を有する光重合開始剤を用いる場合は、可視光短波長(例えば、400〜450nm)の光を含む光源から露光を行うことが好ましい。LEDを用いて露光を行う場合、発光ピーク波長が385nmよりも長波長のLEDを用いることが好ましい。 Photocuring is performed by exposing the dried coating film. At the time of exposure, a relief pattern can be formed by arranging a photomask on the coating film, selectively exposing a part of the surface of the coating film, and then developing the photomask. At the time of exposure, it irradiates active rays such as ultraviolet rays and visible rays. When a photopolymerization initiator having an absorption band at a long wavelength is used as the component (E), it is preferable to perform exposure from a light source containing light having a short wavelength of visible light (for example, 400 to 450 nm). When exposure is performed using an LED, it is preferable to use an LED having an emission peak wavelength longer than 385 nm.

現像液としては、一般にアルカリ水溶液が用いられ、有機アルカリ水溶液および無機アルカリ水溶液を特に制限なく用いることができる。現像液は、メタノ−ル、エタノ−ル、n−プロパノ−ル、イソプロパノ−ル、N−メチル−2−ピロリドン等の水と混和性を有する有機溶媒を含んでいてもよい。現像液のアルカリ濃度は、一般に0.01〜20重量%、好ましくは、0.02〜10重量%であり、現像液の温度は一般に0〜80℃、好ましくは10〜60℃である。現像後のレリーフパターンは、水、酸性水溶液等のリンス液によりリンスすることが好ましい。 An alkaline aqueous solution is generally used as the developing solution, and an organic alkaline aqueous solution and an inorganic alkaline aqueous solution can be used without particular limitation. The developer may contain an organic solvent that is miscible with water, such as metall, etanol, n-propanol, isopropanol, and N-methyl-2-pyrrolidone. The alkali concentration of the developer is generally 0.01 to 20% by weight, preferably 0.02 to 10% by weight, and the temperature of the developer is generally 0 to 80 ° C, preferably 10 to 60 ° C. The relief pattern after development is preferably rinsed with a rinsing solution such as water or an acidic aqueous solution.

現像後に加熱処理を行うことにより、熱硬化が進行し、上記の(A)成分および(C)成分による熱架橋ネットワークが形成されため、耐熱性の高い硬化膜が得られる。硬化膜の厚みは、配線厚み等を考慮して決定され、例えば、2〜50μm程度である。 By performing heat treatment after development, thermosetting proceeds and a heat-crosslinked network consisting of the above components (A) and (C) is formed, so that a cured film having high heat resistance can be obtained. The thickness of the cured film is determined in consideration of the wiring thickness and the like, and is, for example, about 2 to 50 μm.

熱硬化を十分に進行させるとともに、熱による金属配線の酸化を抑制する観点から、硬化温度(熱硬化時の最高温度)は、100〜250℃が好ましく、120〜200℃がより好ましく、130〜180℃がさらに好ましい。 From the viewpoint of sufficiently advancing thermosetting and suppressing oxidation of metal wiring due to heat, the curing temperature (maximum temperature at the time of thermosetting) is preferably 100 to 250 ° C, more preferably 120 to 200 ° C, and 130 to 130 to 180 ° C. is more preferable.

感光性樹脂組成物から得られる硬化膜は、例えば、10〜1000μm程度の解像力を有するため、プリント配線板の表面保護材として好適に用いられる。また、硬化膜が柔軟性に優れるため、ポリイミドフィルム等の可撓性フィルム上に金属配線を備えるフレキシブルプリント配線板の硬化膜としても好適に用いられる。また、感光性樹脂組成物は、各種配線被覆保護材、感光性の耐熱性接着剤、電線・ケーブル絶縁被膜等の形成に用いることもできる。 The cured film obtained from the photosensitive resin composition has, for example, a resolving power of about 10 to 1000 μm, and is therefore preferably used as a surface protective material for a printed wiring board. Further, since the cured film is excellent in flexibility, it is also suitably used as a cured film of a flexible printed wiring board provided with metal wiring on a flexible film such as a polyimide film. Further, the photosensitive resin composition can also be used for forming various wiring coating protective materials, photosensitive heat-resistant adhesives, electric wire / cable insulating coatings and the like.

以下に実施例を示して本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples.

[合成例]
以下の合成例では、(A1)カルボキシル基を有し、光重合性官能基を有さないポリマーを重合した。合成例1〜3で得られた溶液およびポリマーの特性は、以下の方法により評価した。
[Synthesis example]
In the following synthesis example, a polymer having (A1) carboxyl group and no photopolymerizable functional group was polymerized. The properties of the solutions and polymers obtained in Synthesis Examples 1 to 3 were evaluated by the following methods.

<固形分濃度>
JIS K 5601−1−2に従って測定を行った。乾燥条件は170℃×1時間とした。
<Solid content concentration>
The measurement was performed according to JIS K 5601-1-2. The drying conditions were 170 ° C. × 1 hour.

<重量平均分子量>
ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により、下記条件で測定を行った。
使用装置:東ソー HLC-8220GPC相当品
カラム:東ソー TSK gel Super AWM-H(6.0mm I.D.×15cm)×2本
ガードカラム:東ソー TSK guard column Super AW-H
溶離液:30mM LiBr + 20mM H3PO4 in DMF
流速:0.6mL/min
カラム温度:40℃
検出条件:RI:ポラリティ(+)、レスポンス(0.5sec)
試料濃度:約5mg/mL
分子量標準品:PEG(ポリエチレングリコール)
<Weight average molecular weight>
The measurement was carried out by gel permeation chromatography (GPC) under the following conditions.
Equipment used: Tosoh HLC-8220 GPC equivalent Column: Tosoh TSK gel Super AWM-H (6.0mm ID x 15cm) x 2 Guard columns: Tosoh TSK guard column Super AW-H
Eluent: 30mM LiBr + 20mM H 3 PO 4 in DMF
Flow velocity: 0.6 mL / min
Column temperature: 40 ° C
Detection conditions: RI: Polarity (+), Response (0.5 sec)
Sample concentration: Approximately 5 mg / mL
Molecular weight standard product: PEG (polyethylene glycol)

<酸価>
JIS K 5601−2−1に従って測定を行った。
<Acid value>
The measurement was performed according to JIS K 5601-2-1.

(合成例1)
攪拌機、温度計、滴下漏斗、および窒素導入管を備えた反応容器に、重合用溶媒としてメチルトリグライム(1,2−ビス(2−メトキシエトキシ)エタン)100.0gを仕込み、窒素気流下で攪拌しながら80℃に昇温した。これに、室温で予め混合しておいた、メタクリル酸12.0g(0.14モル)、メタクリル酸ベンジル28.0g(0.16モル)、メタクリル酸ブチル60.0g(0.42モル)、およびラジカル重合開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル0.5gを、80℃に保温した状態で3時間かけて滴下漏斗から滴下した。滴下終了後、反応溶液を攪拌しながら90℃に昇温し、反応溶液の温度を90℃に保ちながらさらに2時間攪拌を行い、分子内にカルボキシル基を含有するアクリル系ポリマー(A1−1)の溶液を得た。溶液の固形分濃度は50%、ポリマーの重量平均分子量は48,000、酸価は78mgKOH/gであった。
(Synthesis Example 1)
A reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer, a dropping funnel, and a nitrogen introduction tube was charged with 100.0 g of methyltriglime (1,2-bis (2-methoxyethoxy) ethane) as a solvent for polymerization under a nitrogen stream. The temperature was raised to 80 ° C. with stirring. To this, 12.0 g (0.14 mol) of methacrylic acid, 28.0 g (0.16 mol) of benzyl methacrylate and 60.0 g (0.42 mol) of butyl methacrylate, which were premixed at room temperature, were added. And 0.5 g of azobisisobutyronitrile as a radical polymerization initiator was added dropwise from a dropping funnel over 3 hours while keeping the temperature at 80 ° C. After completion of the dropping, the temperature of the reaction solution was raised to 90 ° C. while stirring, and the reaction solution was stirred for another 2 hours while maintaining the temperature at 90 ° C. to obtain an acrylic polymer (A1-1) containing a carboxyl group in the molecule. Solution was obtained. The solid content concentration of the solution was 50%, the weight average molecular weight of the polymer was 48,000, and the acid value was 78 mgKOH / g.

(合成例2)
攪拌機、温度計、滴下漏斗、および窒素導入管を備えた反応容器に、重合用溶媒としてメチルトリグライム30.00gおよびノルボルネンジイソシアネート10.31g(0.050モル)を仕込み、窒素気流下で攪拌しながら80℃に加温して溶解させた。この溶液に、ポリカーボネートジオール(旭化成株式会社製、商品名:PCDL T5652、重量平均分子量2000)50.00g(0.025モル)および2,2−ビス(ヒドロキシメチル)ブタン酸3.70g(0.025モル)をメチルトリグライム30.00gに溶解した溶液を1時間かけて滴下漏斗から滴下した。この溶液を80℃で5時間加熱攪拌して、分子内にカルボキシル基を含有するウレタンポリマー(A1−2)の溶液を得た。溶液の固形分濃度は52%、ポリマーの重量平均分子量は5,600、酸価は22mgKOH/gであった。
(Synthesis Example 2)
A reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer, a dropping funnel, and a nitrogen introduction tube was charged with 30.00 g of methyl triglime and 10.31 g (0.050 mol) of norbornene diisocyanate as a solvent for polymerization, and stirred under a nitrogen stream. While warming to 80 ° C., it was dissolved. To this solution, 50.00 g (0.025 mol) of polycarbonate diol (manufactured by Asahi Kasei Co., Ltd., trade name: PCDL T5652, weight average molecular weight 2000) and 3.70 g (0.02 mol) of 2,2-bis (hydroxymethyl) butanoic acid were added. A solution prepared by dissolving 30.00 g of methyl triglime (025 mol) was added dropwise from a dropping funnel over 1 hour. This solution was heated and stirred at 80 ° C. for 5 hours to obtain a solution of urethane polymer (A1-2) containing a carboxyl group in the molecule. The solid content concentration of the solution was 52%, the weight average molecular weight of the polymer was 5,600, and the acid value was 22 mgKOH / g.

(合成例3)
攪拌機、温度計、滴下漏斗、および窒素導入管を備えた反応容器に、重合用溶媒としてメチルトリグライム35.00gおよびノルボルネンジイソシアネート10.31g(0.050モル)を仕込み、窒素気流下で攪拌しながら80℃に加温して溶解させた。この溶液に、ポリカーボネートジオール50.00g(0.025モル)をメチルトリグライム35.00gに溶解した溶液を1時間かけて滴下漏斗から滴下し、80℃で2時間加熱攪拌した後、3,3’,4,4’−オキシジフタル酸二無水物15.51g(0.050モル)を添加し、190℃に昇温して1時間加熱撹拌した。その後、80℃に冷却して、純水3.60g(0.200モル)を添加し、110℃に昇温して5時間加熱還流し、分子内にカルボキシル基を含有するウレタンイミドポリマー(A1−3)の溶液を得た。溶液の固形分濃度は53%、ポリマーの重量平均分子量は9,200、酸価は86mgKOH/gであった。
(Synthesis Example 3)
In a reaction vessel equipped with a stirrer, a thermometer, a dropping funnel, and a nitrogen introduction tube, 35.00 g of methyl triglime and 10.31 g (0.050 mol) of norbornene diisocyanate were charged as a solvent for polymerization and stirred under a nitrogen stream. While warming to 80 ° C., it was dissolved. A solution prepared by dissolving 50.00 g (0.025 mol) of polycarbonate diol in 35.00 g of methyl triglime was added dropwise to this solution from a dropping funnel over 1 hour, and the mixture was heated and stirred at 80 ° C. for 2 hours, and then 3,3. 15.51 g (0.050 mol) of',4,4'-oxydiphthalic dianhydride was added, the temperature was raised to 190 ° C., and the mixture was heated and stirred for 1 hour. Then, the mixture was cooled to 80 ° C., 3.60 g (0.200 mol) of pure water was added, the temperature was raised to 110 ° C., the mixture was heated under reflux for 5 hours, and a urethaneimide polymer (A1) containing a carboxyl group in the molecule was added. The solution of -3) was obtained. The solid content concentration of the solution was 53%, the weight average molecular weight of the polymer was 9,200, and the acid value was 86 mgKOH / g.

[実施例、比較例および参考例の樹脂組成物の調製]
表1に示す配合の組成物をメチルトリグライムに溶解させ、攪拌装置により撹拌した後、3本ロールミルで2回パスした。その後、脱泡装置で脱泡を行い、均一な溶液を調製した。溶媒としてのメチルトリグライムの量(上記合成例のポリマー溶液に含まれる溶媒も含めた全溶媒量)は、(A)〜(C)成分の合計(固形分)100重量部に対して、60重量部であった。また、各樹脂組成物には、表1に示す成分の他に、0.2重量部のブタジエン系消泡剤(共栄社化学製「フローレン AC−2000」)を添加した。
[Preparation of resin compositions of Examples, Comparative Examples and Reference Examples]
The compositions of the formulations shown in Table 1 were dissolved in methyl triglime, stirred by a stirrer, and then passed twice with a 3-roll mill. Then, defoaming was performed with a defoaming device to prepare a uniform solution. The amount of methyl triglime as a solvent (the total amount of the solvent including the solvent contained in the polymer solution of the above synthesis example) is 60 with respect to 100 parts by weight of the total (solid content) of the components (A) to (C). It was a weight part. Further, in addition to the components shown in Table 1, 0.2 parts by weight of a butadiene defoamer (“Floren AC-2000” manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) was added to each resin composition.

[硬化膜の形成および評価]
<感光性>
厚み25μmのポリイミドフィルム(カネカ製「アピカル25NPI」)上に、感光性樹脂組成物を、ベーカー式アプリケーターを用いて最終乾燥厚みが20μmになるように100mm×100mmの面積に流延・塗布し、80℃で20分乾燥した。ライン幅/スペース幅=100μm/100μmのネガ型フォトマスクを載置して、高圧水銀ランプを用いて300mJ/cmの積算露光量の紫外線を照射して露光した後、1.0重量%の炭酸ナトリウム水溶液(30℃)を、1.0kgf/mmの吐出圧で90秒スプレーして、現像を行った。純水で洗浄した後、150℃のオーブン中で30分加熱硬化させ、感光性樹脂組成物のパターン硬化膜(レリーフパターン)を作製した。
[Formation and evaluation of cured film]
<Photosensitivity>
On a polyimide film having a thickness of 25 μm (“Apical 25 NPI” manufactured by Kaneka Corporation), the photosensitive resin composition was cast and applied to an area of 100 mm × 100 mm using a baker-type applicator so that the final dry thickness was 20 μm. It was dried at 80 ° C. for 20 minutes. After placing a negative photomask with line width / space width = 100 μm / 100 μm and irradiating it with ultraviolet rays with an integrated exposure amount of 300 mJ / cm 2 using a high-pressure mercury lamp, 1.0% by weight A sodium carbonate aqueous solution (30 ° C.) was sprayed at a discharge pressure of 1.0 kgf / mm 2 for 90 seconds for development. After washing with pure water, it was heat-cured in an oven at 150 ° C. for 30 minutes to prepare a pattern-cured film (relief pattern) of the photosensitive resin composition.

実施例、参考例および比較例の各組成物を用いて形成したレリーフパターンを、光学顕微鏡にて観察したところ、いずれの組成物を用いた場合も、パターンの顕著な線太りや現像残渣はみられず、ライン幅/スペース幅=100/100μmの感光パターンが描けていた。 When the relief patterns formed using the compositions of Examples, Reference Examples and Comparative Examples were observed with an optical microscope, the pattern was markedly thickened and the development residue was not observed regardless of which composition was used. A photosensitive pattern of line width / space width = 100/100 μm could be drawn.

<耐熱性>
厚み25μmのポリイミドフィルム(カネカ製「アピカル25NPI」)と厚み12μmの電解銅箔とをポリイミド系接着剤により張り合わせたフレキシブル銅張積層板の銅箔を、ライン幅/スペース幅=100μm/100μmのストライプ状パターンにエッチングし、10容量%の硫酸水溶液中に1分間浸漬して銅箔の表面処理を行った後、純水で洗浄してフレキシブルプリント基板を作製した。上記と同様の方法で、感光性樹脂組成物の流延・塗布、乾燥、露光、現像および加熱硬化を行い、フレキシブルプリント基板上に硬化膜を形成した。なお、露光の際にはフォトマスクを用いず、全面に紫外線を照射した。
<Heat resistance>
A copper foil of a flexible copper-clad laminate made by laminating a polyimide film with a thickness of 25 μm (“Apical 25 NPI” manufactured by Kaneka) and an electrolytic copper foil with a thickness of 12 μm with a polyimide adhesive, and a stripe of line width / space width = 100 μm / 100 μm. The shape pattern was etched and immersed in a 10% by volume sulfuric acid aqueous solution for 1 minute to surface-treat the copper foil, and then washed with pure water to prepare a flexible printed substrate. The photosensitive resin composition was cast / coated, dried, exposed, developed and heat-cured in the same manner as described above to form a cured film on the flexible printed circuit board. At the time of exposure, the entire surface was irradiated with ultraviolet rays without using a photomask.

この試料を半田浴に浸漬して10秒後に引き上げ、外観観察およびテープ剥離試験を行い、下記の基準により評価した。なお、評価1では半田浴の温度を320℃、評価2では半田浴の温度を350℃とした。
○:試験前後で外観変化なく、テープ剥離試験で硬化膜が剥離しなかったもの
△:外観変化はないが、テープ剥離試験で硬化膜が剥離したもの
×:試験後に、硬化膜の膨れや剥がれる等の外観変化がみられたもの
This sample was immersed in a solder bath, pulled up 10 seconds later, and subjected to appearance observation and tape peeling test, and evaluated according to the following criteria. In evaluation 1, the temperature of the solder bath was 320 ° C., and in evaluation 2, the temperature of the solder bath was 350 ° C.
◯: No change in appearance before and after the test, and the cured film did not peel off in the tape peeling test Δ: No change in appearance, but the cured film peeled off in the tape peeling test ×: Swelling or peeling of the cured film after the test Those with changes in appearance such as

<柔軟性>
感光性樹脂組成物を、ベーカー式アプリケーターを用いて、厚み25μmのポリイミドフィルム(カネカ製「アピカル25NPI」)に最終乾燥厚みが20μmになるように100mm×100mmの面積に流延・塗布し、80℃で20分乾燥した。試験片を15mm×100mmのサイズにカットし、上記と同様の方法で、露光、現像および加熱硬化を行い、ポリイミドフィルム上に硬化膜を形成し、柔軟性評価用試料を作製した。
<Flexibility>
Using a baker-type applicator, the photosensitive resin composition was cast and applied to a polyimide film having a thickness of 25 μm (“Apical 25 NPI” manufactured by Kaneka Corporation) over an area of 100 mm × 100 mm so that the final dry thickness was 20 μm. It was dried at ° C. for 20 minutes. The test piece was cut into a size of 15 mm × 100 mm, exposed, developed and heat-cured in the same manner as described above to form a cured film on the polyimide film, and a sample for flexibility evaluation was prepared.

評価用試料を、硬化膜が外側になるように180°折り曲げ、折り曲げ箇所に200gの荷重を3秒間乗せた。荷重を除去後、折り曲げ箇所を目視にて観察し、亀裂の有無を評価した。この作業を硬化膜に亀裂が入るまで実施し、亀裂が生じなかった回数を耐折回数とした。例えば、2回目の試験で亀裂が生じた場合、耐折回数は1である。 The evaluation sample was bent 180 ° so that the cured film was on the outside, and a load of 200 g was placed on the bent portion for 3 seconds. After removing the load, the bent portion was visually observed to evaluate the presence or absence of cracks. This work was carried out until cracks were formed in the cured film, and the number of times that no cracks were not generated was defined as the number of folding resistance. For example, if a crack occurs in the second test, the number of breaks is 1.

実施例、参考例および比較例の感光性樹脂組成物の配合ならびに硬化膜の評価結果を、表1に一覧で示す。表中の各成分の数値は、(A)〜(C)成分の合計(樹脂分)を100重量部とする配合量(重量部)であり、各成分の詳細は以下に示す通りである。 Table 1 lists the formulations of the photosensitive resin compositions of Examples, Reference Examples and Comparative Examples, and the evaluation results of the cured film. The numerical value of each component in the table is a blending amount (part by weight) in which the total (resin content) of the components (A) to (C) is 100 parts by weight, and the details of each component are as shown below.

(1)日本化薬製「KAYARAD UXE−3000」;ウレタン骨格を有する酸変性エポキシアクリレートのカルビトールアセテート希釈液(重量平均分子量10,000、酸価98mgKOH/g)
(2)日本化薬製「KAYARAD CCR−1235」 クレゾールノボラック骨格を有する酸変性エポキシアクリレート樹脂のカルビトールアセテート/ソルベントナフサ希釈液(重量平均分子量8,000、酸価80mgKOH/g)
(3)日本化薬社製「KAYARAD DPHA」;ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの混合物
(4)Rahn製「GENOMER 4297」;脂肪族ウレタンメタクリレート(重量平均分子量400〜600)
(5)三菱化学製「jER828」;ビスフェノールA型エポキシ樹脂(平均分子量370、エポキシ当量190)
(6)ADEKA製「アデカスタブ CDA−1」;N−(2H−1,2,4−トリアゾール−5−イル)サリチルアミド
(7)ADEKA製「アデカスタブ CDA−10」;N’−ビス{3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオニル}ヒドラジン
(8)BASF製「イルガキュア OXE02」;エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(o−アセチルオキシム);0.001%メタノール溶液の波長405nmにおける吸光度:0.002
(9)ADEKA製「アデカアークルズ NCI−831」;ニトロ基置換カルバゾール型オキシムエステル光ラジカル重合開始剤;0.001%メタノール溶液の波長405nmにおける吸光度:0.03
(10)黒色着色剤:下記の青色着色剤、橙着色剤および紫着色剤を、重量比1:1:1で混合した着色剤
青色着色剤:BASF製「GLVO」;Pigment Blue 15:3
橙着色剤:クラリアント製「GRL」;Pigment Orange 43
紫着色剤:クラリアント製「ER−02」;Pigment Violet 19
(1) "KAYARAD UXE-3000" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd .; Carbitol acetate diluted solution of acid-modified epoxy acrylate having a urethane skeleton (weight average molecular weight 10,000, acid value 98 mgKOH / g)
(2) "KAYARAD CCR-1235" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. Carbitol acetate / solventnaphtha diluted solution of acid-modified epoxy acrylate resin having a cresol novolak skeleton (weight average molecular weight 8,000, acid value 80 mgKOH / g)
(3) "KAYARAD DPHA" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd .; a mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate (4) "GENOMER 4297" manufactured by Rahn; aliphatic urethane methacrylate (weight average molecular weight 400 to 600)
(5) Mitsubishi Chemical "jER828"; bisphenol A type epoxy resin (average molecular weight 370, epoxy equivalent 190)
(6) ADEKA "ADEKA STAB CDA-1"; N- (2H-1,2,4-triazole-5-yl) salicylamide (7) ADEKA "ADEKA STAB CDA-10";N'-bis {3- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionyl} hydrazine (8) BASF "Irgacure OXE02"; Etanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazole -3-Il]-, 1- (o-acetyloxime); Absorbance of 0.001% methanol solution at a wavelength of 405 nm: 0.002
(9) "ADEKA Arkuru's NCI-831" manufactured by ADEKA; nitro group-substituted carbazole-type oxime ester photoradical polymerization initiator; absorbance of 0.001% methanol solution at a wavelength of 405 nm: 0.03
(10) Black colorant: A colorant obtained by mixing the following blue colorant, orange colorant and purple colorant at a weight ratio of 1: 1: 1. Blue colorant: "GLVO" manufactured by BASF; Pigment Blue 15: 3
Orange colorant: Clariant "GRL"; Pigment Orange 43
Purple colorant: Clariant "ER-02"; Pigment Violet 19

Figure 2019160126
Figure 2019160126

(D)成分(金属不活性化剤)を含まない比較例1は、硬化膜のはんだ耐熱性が劣っていた。波長405nmの吸光度が大きい光重合開始剤を用いた比較例2では、比較例1に比べて320℃のはんだ耐熱性が改善されていたが、350℃のはんだ耐熱性には改善がみられなかった。着色剤を含まない組成物を用いた比較例3では、比較例1,2よりも高いはんだ耐熱性を示した。 In Comparative Example 1 containing no component (D) (metal inactivating agent), the solder heat resistance of the cured film was inferior. In Comparative Example 2 using a photopolymerization initiator having a large absorbance at a wavelength of 405 nm, the solder heat resistance at 320 ° C. was improved as compared with Comparative Example 1, but the solder heat resistance at 350 ° C. was not improved. It was. In Comparative Example 3 using the composition containing no colorant, the solder heat resistance was higher than that of Comparative Examples 1 and 2.

(D)成分としてベンズアミド誘導体を添加した実施例5では、比較例1に比べてはんだ耐熱性の改善がみられた。着色剤を含まない組成物を用いた参考例1では、実施例1よりも優れたはんだ耐熱性を示した。これらの結果から、着色剤を含む組成物では、硬化膜の耐熱性が低下する傾向があるが、金属不活性化剤を添加することにより、耐熱性が向上することが分かる。 In Example 5 in which the benzamide derivative was added as the component (D), improvement in solder heat resistance was observed as compared with Comparative Example 1. In Reference Example 1 using the composition containing no colorant, the solder heat resistance was superior to that of Example 1. From these results, it can be seen that the heat resistance of the cured film tends to decrease in the composition containing the colorant, but the heat resistance is improved by adding the metal inactivating agent.

(E)成分(光重合開始剤)を、波長405nmに吸収帯を有する光重合開始剤に変更した実施例3では、実施例5よりもさらに耐熱性が向上していた。実施例3と同一の光重合開始剤を用いた実施例1,2,4,6〜8も、実施例3と同様、優れた耐熱性を示した。これらの結果から、着色剤を含む感光性樹脂組成物において、金属不活性化剤を用いるとともに、長波長に吸収帯を有する光重合開始剤を用いることにより、優れた耐熱性を有する硬化膜を形成できることが分かる。 In Example 3 in which the component (E) (photopolymerization initiator) was changed to a photopolymerization initiator having an absorption band at a wavelength of 405 nm, the heat resistance was further improved as compared with Example 5. Examples 1, 2, 4, 6 to 8 using the same photopolymerization initiator as in Example 3 also showed excellent heat resistance as in Example 3. From these results, in the photosensitive resin composition containing a colorant, by using a metal inactivating agent and a photopolymerization initiator having an absorption band at a long wavelength, a cured film having excellent heat resistance can be obtained. It turns out that it can be formed.

硬化膜の柔軟性に着目すると、(A1)成分として、ポリマー(A1−2)を用いた実施例2、およびポリマー(A1−3)を用いた実施例3では、実施例1に比べて、耐折回数が増加しており、柔軟性が向上していることが分かる。また、(B)成分として多官能アクリレートのみを用いた実施例6に比べて、多官能アクリレートとウレタンメタクリレートを併用した実施例5では、硬化膜の柔軟性が向上しており、実施例8と実施例7との対比においても同様の傾向がみられた。(A2)成分としてウレタン骨格を有するポリマーを用いた実施例5では、実施例7に比べて硬化膜の柔軟性が向上しており、実施例6と実施例8との対比においても同様の傾向がみられた。 Focusing on the flexibility of the cured film, in Example 2 using the polymer (A1-2) as the component (A1) and in Example 3 using the polymer (A1-3), compared with Example 1. It can be seen that the number of folding resistances has increased and the flexibility has improved. Further, as compared with Example 6 in which only the polyfunctional acrylate was used as the component (B), in Example 5 in which the polyfunctional acrylate and urethane methacrylate were used in combination, the flexibility of the cured film was improved, and compared with Example 8. A similar tendency was observed in comparison with Example 7. In Example 5 in which a polymer having a urethane skeleton was used as the component (A2), the flexibility of the cured film was improved as compared with Example 7, and the same tendency was observed in the comparison between Example 6 and Example 8. Was seen.

これらの結果から、熱架橋ネットワークの形成に寄与する(A1)成分および(B)成分、ならびに光架橋ネットワークおよび熱架橋ネットワークの形成に寄与する(A2)成分として、分子量の大きい(官能基当量の大きい)化合物や、ウレタン鎖を有するポリマー(オリゴマー)を用いることにより、高い耐熱性を有し、かつ柔軟性に優れる硬化膜を形成できることが分かる。 From these results, the components (A1) and (B) that contribute to the formation of the thermally crosslinked network, and the components (A2) that contribute to the formation of the photocrosslinked network and the thermally bridged network have a large molecular weight (functional group equivalent). It can be seen that a cured film having high heat resistance and excellent flexibility can be formed by using a (large) compound or a polymer (oligomer) having a urethane chain.

Claims (22)

(A1)カルボキシル基を有し、エチレン性不飽和基を有さないポリマー;
(A2)カルボキシル基、およびエチレン性不飽和基を有するポリマー;
(B)エチレン性不飽和基を有し、カルボキシル基を有さない化合物
(C)熱硬化性樹脂;
(D)金属不活性化剤;
(E)光重合開始剤;および
(F)着色剤
を含有する、感光性樹脂組成物。
(A1) A polymer having a carboxyl group and no ethylenically unsaturated group;
(A2) Polymer having carboxyl group and ethylenically unsaturated group;
(B) Compound having ethylenically unsaturated group and no carboxyl group (C) Thermosetting resin;
(D) Metal inactivating agent;
A photosensitive resin composition containing (E) a photopolymerization initiator; and (F) a colorant.
前記(E)光重合開始剤が、波長405nmに吸収帯を有する、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the photopolymerization initiator (E) has an absorption band at a wavelength of 405 nm. 前記(F)着色剤が、黒色着色剤である、請求項1または2に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 1 or 2, wherein the colorant (F) is a black colorant. 前記(F)着色剤が、有機顔料を含み、
前記有機顔料が、青色有機顔料、橙色有機顔料、黄色有機顔料、赤色有機顔料、および紫色有機顔料からなる群から選択される1種以上を含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。
The (F) colorant contains an organic pigment and contains
The invention according to any one of claims 1 to 3, wherein the organic pigment contains at least one selected from the group consisting of a blue organic pigment, an orange organic pigment, a yellow organic pigment, a red organic pigment, and a purple organic pigment. Photosensitive resin composition.
前記(A2)として、1分子中に少なくとも1個のカルボキシル基と2個以上の(メタ)アクリロイル基とを含むポリマーを含有する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin according to any one of claims 1 to 4, wherein the photosensitive resin (A2) contains a polymer containing at least one carboxyl group and two or more (meth) acryloyl groups in one molecule. Composition. 前記(A2)として、エポキシ(メタ)アクリレートを含有する、請求項5に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 5, which contains an epoxy (meth) acrylate as the (A2). 前記(B)として、1分子中に2個以上の(メタ)アクリロイル基を含む化合物を含有する、請求項1〜6のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 6, wherein (B) contains a compound containing two or more (meth) acryloyl groups in one molecule. 前記(B)として、1分子中に3個以上の(メタ)アクリロイル基を含み(メタ)アクリロイル基の官能基当量が80〜300である多官能(メタ)アクリレートを含有する、請求項1〜6のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 As the above (B), claims 1 to 1 contain a polyfunctional (meth) acrylate containing three or more (meth) acryloyl groups in one molecule and having a functional group equivalent of the (meth) acryloyl group of 80 to 300. 6. The photosensitive resin composition according to any one of 6. 前記(B)として、1分子中に3個以上の(メタ)アクリロイル基を含み(メタ)アクリロイル基の官能基当量が80〜300である多官能(メタ)アクリル化合物と、1分子中に2個以上の(メタ)アクリロイル基を含む多官能(メタ)アクリルオリゴマーとを含む、請求項1〜6のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 As the above (B), a polyfunctional (meth) acrylic compound containing three or more (meth) acryloyl groups in one molecule and having a functional group equivalent of 80 to 300 (meth) acryloyl groups and 2 in one molecule. The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 6, which comprises a polyfunctional (meth) acrylic oligomer containing more than one (meth) acryloyl group. 前記(C)として、1分子中に2以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ樹脂を含有する、請求項1〜9のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 9, which contains a polyfunctional epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule as the (C). 前記(A1)および前記(A2)は、それぞれ、酸価が5〜200mgKOH/gであり、重量平均分子量が1,000〜1,000,000である、請求項1〜10のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 Any one of claims 1 to 10, wherein each of (A1) and (A2) has an acid value of 5 to 200 mgKOH / g and a weight average molecular weight of 1,000 to 1,000,000. The photosensitive resin composition according to. 前記(E)光重合開始剤が、オキシムエステルである、請求項1〜11のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 11, wherein the photopolymerization initiator (E) is an oxime ester. 前記(D)金属不活性化剤として、フェノール性水酸基を有するベンズアミド誘導体、およびフェノール性水酸基を有するヒドラジド誘導体からなる群から選択される1種以上を含有する、請求項1〜12のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 Any one of claims 1 to 12 containing, as the (D) metal inactivating agent, at least one selected from the group consisting of a benzamide derivative having a phenolic hydroxyl group and a hydrazide derivative having a phenolic hydroxyl group. The photosensitive resin composition according to the section. 前記(A1)、(A2)、(B)および(C)の含有量の合計100重量部に対して、前記(A1)と(A2)の含有量の合計が30〜80重量部、前記(B)の含有量が5〜30重量部、前記(C)の含有量が10〜40重量部である、請求項1〜13のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。 The total content of (A1), (A2), (B) and (C) is 100 parts by weight, and the total content of (A1) and (A2) is 30 to 80 parts by weight. The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 13, wherein the content of B) is 5 to 30 parts by weight, and the content of (C) is 10 to 40 parts by weight. 請求項1〜14のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物を調製するための感光性樹脂組成物作製キットであって、
第1剤および第2剤を個別に含み、
前記第1剤が、前記(A1)および前記(A2)を含み、
前記第2剤が、前記(D)を含む、
感光性樹脂組成物作製キット。
A photosensitive resin composition preparation kit for preparing the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 14.
Contains the first and second agents separately
The first agent comprises said (A1) and said (A2).
The second agent comprises the above (D).
Photosensitive resin composition preparation kit.
前記第2剤が、前記(E)を含む、請求項15に記載の感光性樹脂組成物作製キット。 The photosensitive resin composition preparation kit according to claim 15, wherein the second agent comprises the above (E). 前記第2剤が、前記(C)を含む、請求項15または16に記載の感光性樹脂組成物作製キット。 The photosensitive resin composition preparation kit according to claim 15 or 16, wherein the second agent comprises (C). 前記第1剤が、前記(B)を含む、請求項15〜17のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物作製キット。 The photosensitive resin composition preparation kit according to any one of claims 15 to 17, wherein the first agent comprises (B). 請求項1〜14のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物からなる硬化膜。 A cured film made of a cured product of the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 14. プリント配線板の金属配線上に接して、請求項19に記載の硬化膜を備える硬化膜付きプリント配線板。 A printed wiring board with a cured film, which is in contact with the metal wiring of the printed wiring board and includes the cured film according to claim 19. 前記プリント配線板が可撓性を有する、請求項20に記載の硬化膜付きプリント配線板。 The printed wiring board with a cured film according to claim 20, wherein the printed wiring board has flexibility. 請求項1〜14のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物をプリント配線板の金属配線形成面に塗布して塗布膜を形成し、
前記塗布膜の面内の少なくとも一部に活性光線を照射して光硬化を行い、
光硬化後の塗布膜を加熱して熱硬化を行う、
硬化膜付きプリント配線板の製造方法。

The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 14 is applied to a metal wiring forming surface of a printed wiring board to form a coating film.
At least a part of the surface of the coating film is irradiated with active light to cure the light.
The coating film after photo-curing is heated to perform thermosetting.
A method for manufacturing a printed wiring board with a cured film.

JP2019572304A 2018-02-19 2019-02-15 Photosensitive resin composition, cured film, printed wiring board and its manufacturing method, and photosensitive resin composition manufacturing kit Pending JPWO2019160126A1 (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018026581 2018-02-19
JP2018026581 2018-02-19
PCT/JP2019/005720 WO2019160126A1 (en) 2018-02-19 2019-02-15 Photo-sensitive resin composition, cured film, printed-wiring board and manufacturing method therefor, and photo-sensitive resin composition preparation kit

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPWO2019160126A1 true JPWO2019160126A1 (en) 2021-02-25

Family

ID=67618686

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019572304A Pending JPWO2019160126A1 (en) 2018-02-19 2019-02-15 Photosensitive resin composition, cured film, printed wiring board and its manufacturing method, and photosensitive resin composition manufacturing kit

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JPWO2019160126A1 (en)
CN (1) CN111758073A (en)
TW (1) TW201938609A (en)
WO (1) WO2019160126A1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115918275B (en) * 2021-03-25 2023-10-27 株式会社钟化 Method for manufacturing flexible printed board
CN114958089B (en) * 2022-05-19 2023-05-26 广东阿诺捷喷墨科技有限公司 Wear-resistant UV ink for measuring tape, preparation method and measuring tape

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012168472A (en) * 2011-02-16 2012-09-06 Kaneka Corp Novel white photosensitive resin composition and utilization thereof
JP2012168473A (en) * 2011-02-16 2012-09-06 Kaneka Corp Novel white photosensitive resin composition and utilization thereof
JP2013061639A (en) * 2011-08-19 2013-04-04 Fujifilm Corp Photosensitive resin composition, and photosensitive film, photosensitive laminate, method for forming permanent pattern, and printed substrate using same
JP2013205552A (en) * 2012-03-28 2013-10-07 Fujifilm Corp Photosensitive resin composition, photosensitive laminate, flexible circuit board and method for forming permanent pattern
JP2015121653A (en) * 2013-12-24 2015-07-02 互応化学工業株式会社 Method for manufacturing coated wiring board
JP2016149388A (en) * 2015-02-10 2016-08-18 東洋インキScホールディングス株式会社 Circuit board with electromagnetic wave shield film, and production method of the same
JP2017068247A (en) * 2015-09-29 2017-04-06 株式会社タムラ製作所 Photosensitive resin composition
WO2017122717A1 (en) * 2016-01-12 2017-07-20 日立化成株式会社 Photosensitive resin composition, dry film using same, printed wiring board, and method for manufacturing printed wiring board

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5858739B2 (en) * 2011-11-15 2016-02-10 株式会社カネカ Novel photosensitive resin composition preparation kit and use thereof
JP6010484B2 (en) * 2013-02-28 2016-10-19 株式会社カネカ Photosensitive resin composition preparation kit and use thereof

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012168472A (en) * 2011-02-16 2012-09-06 Kaneka Corp Novel white photosensitive resin composition and utilization thereof
JP2012168473A (en) * 2011-02-16 2012-09-06 Kaneka Corp Novel white photosensitive resin composition and utilization thereof
JP2013061639A (en) * 2011-08-19 2013-04-04 Fujifilm Corp Photosensitive resin composition, and photosensitive film, photosensitive laminate, method for forming permanent pattern, and printed substrate using same
JP2013205552A (en) * 2012-03-28 2013-10-07 Fujifilm Corp Photosensitive resin composition, photosensitive laminate, flexible circuit board and method for forming permanent pattern
JP2015121653A (en) * 2013-12-24 2015-07-02 互応化学工業株式会社 Method for manufacturing coated wiring board
JP2016149388A (en) * 2015-02-10 2016-08-18 東洋インキScホールディングス株式会社 Circuit board with electromagnetic wave shield film, and production method of the same
JP2017068247A (en) * 2015-09-29 2017-04-06 株式会社タムラ製作所 Photosensitive resin composition
WO2017122717A1 (en) * 2016-01-12 2017-07-20 日立化成株式会社 Photosensitive resin composition, dry film using same, printed wiring board, and method for manufacturing printed wiring board

Also Published As

Publication number Publication date
WO2019160126A1 (en) 2019-08-22
TW201938609A (en) 2019-10-01
CN111758073A (en) 2020-10-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5789612B2 (en) Novel photosensitive resin composition preparation kit and use thereof
JP5639284B2 (en) Black photosensitive resin composition and use thereof
TWI519892B (en) Novel photosensitive resin composition and its use
JP6764874B2 (en) Flexible printed wiring board using black resin composition, polyimide with black resin cured film and its manufacturing method, and black resin cured film
JPWO2019160126A1 (en) Photosensitive resin composition, cured film, printed wiring board and its manufacturing method, and photosensitive resin composition manufacturing kit
JP6010484B2 (en) Photosensitive resin composition preparation kit and use thereof
JP5887106B2 (en) Novel photosensitive resin composition preparation kit and use thereof
JP5858740B2 (en) Novel photosensitive resin composition preparation kit and use thereof
JP2021063950A (en) Photosensitive resin composition, screen printing plate composed of photosensitive resin composition and method for manufacturing the sane, and method for manufacturing solar cell from photosensitive resin composition using screen printing plate
JP5789455B2 (en) Novel photosensitive resin composition preparation kit and use thereof
JP6010483B2 (en) Photosensitive resin composition preparation kit and use thereof
JP5858739B2 (en) Novel photosensitive resin composition preparation kit and use thereof
CN113677721A (en) Photosensitive resin composition preparation kit, photosensitive resin composition, cured film, substrate with cured film, and method for producing substrate with cured film
JP5877690B2 (en) Novel photosensitive resin composition preparation kit and use thereof
JP5764371B2 (en) Novel photosensitive resin composition and use thereof
WO2020080345A1 (en) Curable resin composition, cured film, substrate having cured film, and production method therefor
JP5858747B2 (en) Novel photosensitive resin composition preparation kit and use thereof
JP7292261B2 (en) Photosensitive resin composition, dry film, cured film, printed wiring board and manufacturing method thereof
JP5764368B2 (en) Novel photosensitive resin composition and use thereof
JP5858746B2 (en) Novel photosensitive resin composition preparation kit and use thereof
WO2020080352A1 (en) Resin composition, cured film, printed wiring board with cured film, and method for producing same

Legal Events

Date Code Title Description
RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20200721

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20211223

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230110

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230308

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20230606