KR20220151975A - Carrier device for substrate inspection using magnetic repulsive force - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 기판 검사용 캐리어 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 검사대상 기판을 자기적 척력을 이용하여 지지함으로써 상부에서 하강하는 복수의 프로브들에 대응하여 검사대상 기판을 수평으로 완전하게 접촉되도록 한 캐리어 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a carrier device for inspecting a substrate, and more particularly, supports the substrate to be inspected using a magnetic repulsive force so that the substrate to be inspected is completely contacted horizontally in response to a plurality of probes descending from the top. It relates to a carrier device.
최근 기판에 실장되는 부품의 수가 많아지고 회로가 고집적화됨으로써 부품을 실장하기 위해 배치되는 전극 및 다른 기판과 연결되는 접점의 수가 점차 늘어나고 있는 추세에서 부품을 실장하기 전 해당 전극 또는 기판의 상태를 점검하는 것은 매우 중요한 과정 중 하나로 인식되고 있다. Recently, as the number of components mounted on boards increases and circuits are highly integrated, the number of electrodes arranged to mount components and contacts connected to other boards is gradually increasing. It is recognized as one of the most important processes.
이러한 목적을 위해 기판 검사 장치는 검사대상 기판의 다수의 전극들에 동시에 접촉하여 각 전극들의 상태 및 검사대상 기판의 각 부의 상태를 시험할 수 있도록 다수의 접촉부(예, 프로브)들을 갖는 검사용 헤드를 구비하고 있으며, 기판 검사 장치에 대응하여 검사대상 기판은 소정의 캐리어 장치에 의해 지지될 수 있다. 이때, 캐리어 장치에 올려진 검사대상 기판의 각 전극들과 검사용 헤드의 프로브들이 정확하게 접촉하여 전기적으로 접속되어야 하는데, 이 과정에서 검사용 헤드는 검사대상 기판을 소정의 압력으로 누르게 된다. For this purpose, the substrate inspection apparatus is a test head having a plurality of contact parts (eg, probes) so as to simultaneously contact a plurality of electrodes of the substrate to be inspected and test the state of each electrode and each part of the substrate to be inspected. In correspondence with the substrate inspection device, the substrate to be inspected may be supported by a predetermined carrier device. At this time, each electrode of the substrate to be inspected placed on the carrier device and the probes of the inspection head must be electrically connected by accurately contacting each other. In this process, the inspection head presses the substrate to be inspected with a predetermined pressure.
하지만, 검사 헤드와 검사대상 기판이 서로에 대해 평행하지 않고 약간 기울어져 있다면(본 명세서에서는, "수평이 맞지 않음"으로 정의함), 검사용 헤드를 검사대상 기판을 향해 누를 때, 적어도 하나의 전극-접촉부 쌍 중에서 힘이 집중되는 부분이 발생하고, 그 부분에서 검사대상 기판 또는 전극이 또한 접촉부가 손상될 수 있다.However, if the inspection head and the substrate to be inspected are not parallel to each other and are slightly tilted (in this specification, it is defined as "out of level"), when the inspection head is pressed toward the substrate to be inspected, at least one A portion of the electrode-contact portion pair where force is concentrated occurs, and the substrate to be inspected or the electrode may also be damaged in that portion.
이러한 수평이 맞지 않는 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 공개특허번호 특2000-0005901호(명칭: IC 디바이스의 테스트용 캐리어 보드)(이하 '종래 기술'이라 한다)가 공지되어 있으며, 이 종래 기술에서는, 캐리어 장치를 스프링으로 플로팅시키는 구성을 개시하고 있다. 이 구성에 따르면, 검사 헤드를 검사대상 기판에 대해 누를 때, 힘이 집중되는 부분은 스프링이 더 많이 압축되고 그리고 힘이 약하게 작용하는 부분은 스프링이 덜 압축되어서, 누르는 힘이 분산됨에 따라 검사대상 기판 또는 전극의 손상을 방지할 수 있다. 특히, 검사 헤드와 검사대상 기판의 수평이 맞지 않더라도 스프링의 압축되는 정도에 따라서 수평이 맞추어질 수 있게 되므로, 검사 헤드의 전극들과 검사대상 기판의 전극들이 잘 접촉할 수 있게 된다. In order to solve this uneven problem, Patent Publication No. 2000-0005901 (name: carrier board for testing of IC devices) (hereinafter referred to as 'prior art') is known, and in this prior art, Disclosed is a configuration in which a carrier device is floated by a spring. According to this configuration, when the test head is pressed against the substrate to be inspected, the spring is compressed more in the part where the force is concentrated and the spring is less compressed in the part where the force acts weakly, so that the pressing force is distributed to the object to be inspected. Damage to the substrate or electrode can be prevented. In particular, even if the inspection head and the substrate to be inspected are not level, they can be leveled according to the degree of compression of the spring, so that the electrodes of the inspection head and the electrodes of the substrate to be inspected can make good contact.
그러나, 위와 같은 스프링을 이용한 캐리어 장치는, 스프링의 탄성이 시간이 지남에 따라 약화될 수 있고, 아울러 스프링과 주위의 가이드 부재들 간에 마찰로 인해 스프링이 마모됨에 따라 전체적으로 캐리어 장치의 스프링 기반 지지 기능을 약화시키는 문제를 초래할 수 있다. However, in the carrier device using the above spring, the elasticity of the spring may be weakened over time, and as the spring is worn due to friction between the spring and the surrounding guide members, the spring-based support function of the carrier device as a whole can lead to problems that weaken the
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 개발된 것으로, 스프링을 이용한 기판 지지구조 대신 자성체 간 척력을 이용하여 검사대상 기판을 지지하도록 구성된 캐리어 장치를 제공하는데 그 목적이 있다. The present invention has been developed to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a carrier device configured to support a substrate to be inspected using a repulsive force between magnetic bodies instead of a substrate support structure using a spring.
위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 한 형태에 따르면, 기판 검사장치의 복수의 프로브들에 대응하여 검사대상 기판을 상기 프로브들과 수평을 유지하도록 지지하는 캐리어 장치로서, 검사대상 기판을 올려놓고 고정할 수 있도록 구성된 상부 플레이트, 상기 상부 플레이트의 아래에 배치되는 중간 플레이트, 및 상기 중간 플레이트 아래에 배치하는 베이스 플레이트를 포함하고, 상기 상부 플레이트의 아랫면과 상기 중간 플레이트의 윗면에는 서로 동일한 극성으로 상,하 자기적 척력을 형성하는 복수의 자성체들이 각각 설치되고, 상기 베이스 플레이트의 윗면과 상기 중간 플레이트의 아랫면에는 서로 동일한 극성으로 상,하 자기적 척력을 형성하는 복수의 자성체들이 각각 설치되는 것을 특징으로 하는, 자기적 척력을 이용하는 기판 검사용 캐리어 장치가 제공된다.According to one aspect of the present invention for achieving the above object, a carrier device supporting a substrate to be inspected so as to remain horizontal with the probes corresponding to a plurality of probes of a substrate inspection apparatus, and placing the substrate to be inspected An upper plate configured to be fixed, an intermediate plate disposed under the upper plate, and a base plate disposed under the intermediate plate, wherein the lower surface of the upper plate and the upper surface of the intermediate plate have the same polarity as each other. A plurality of magnetic bodies forming lower and lower magnetic repulsive forces are respectively installed, and a plurality of magnetic bodies forming upper and lower magnetic repulsive forces with the same polarity are respectively installed on the upper surface of the base plate and the lower surface of the intermediate plate. To, there is provided a carrier device for inspecting a substrate using a magnetic repulsive force.
본 발명에 따르면, 복수의 자성체들은 동일한 극성의 영구자석 또는 전자석일 수 있으며, 특히 전자석의 자기적 척력을 이용하는 경우에는, 자석에 인가되는 전력을 제어함으로써 복수의 프로브들의 압력에 대응하는 접촉 강도를 다양하게 제어할 수 있다. According to the present invention, the plurality of magnetic bodies may be permanent magnets or electromagnets of the same polarity, and in particular, in the case of using the magnetic repulsive force of the electromagnet, the contact strength corresponding to the pressure of the plurality of probes is increased by controlling the power applied to the magnets. It can be controlled in various ways.
본 발명에 따르면, 상부 플레이트와 중간 플레이트는 상기 베이스 플레이트 상에 고정되는 일정한 높이의 펜스 프레임에 의해 둘러싸여 제공되는 것이 바람직하다. 여기서, 상기 중간 플레이트는 베이스 플레이트와의 사이에 자성체들의 척력에 의한 ?C팅이 가능하도록 상기 베이스 플레이트의 윗면으로부터 일정 간격 이격된 상부에 유지되되, 중간 플레이트의 길이 중앙의 양측 너비단의 각 측단에 유지돌기들이 형성되고, 각각의 유지돌기는 상기 베이스 플레이트의 표면 또는 상기 베이스 플레이트 상의 상기 펜스 프레임의 양 단부에 고정된 스텝퍼의 가이드홈에 삽입되어 승강가능한 상태로 유지되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 상부 플레이트는 중간 플레이트와의 사이에 자성체들의 척력에 의한 틸팅이 가능하도록 중간 플레이트의 윗면으로부터 일정 간격 이격된 상부에 유지되되, 상기 상부 플레이트의 너비 중앙의 양측 길이단의 각 측단에 끼움홈이 형성되고, 각각의 끼움홈에 상기 중간 플레이트 상에 고정된 스텝퍼의 유지돌기가 각각 삽입되어 회전가능한 상태로 유지되는 것이 바람직하다. According to the present invention, it is preferable that the upper plate and the middle plate are provided surrounded by a fence frame having a certain height fixed on the base plate. Here, the intermediate plate is maintained at an upper portion spaced apart from the upper surface of the base plate at a predetermined interval so that magnetic materials can be repelled between the base plate and each side end of the width end on both sides of the center of the length of the intermediate plate It is preferable that holding protrusions are formed on the base plate, and each holding protrusion is inserted into the guide groove of the stepper fixed to the surface of the base plate or to both ends of the fence frame on the base plate to be maintained in an elevating state. In addition, the upper plate is maintained at an upper part spaced apart from the upper surface of the intermediate plate at a predetermined interval so that tilting by the repulsive force of the magnetic bodies between the intermediate plate and the upper plate is maintained, and is inserted into each side end of both length ends in the center of the width of the upper plate It is preferable that a groove is formed, and each holding protrusion of the stepper fixed on the intermediate plate is inserted into each fitting groove and maintained in a rotatable state.
상술한 바와 같이, 본 발명은 기존의 스프링을 이용한 지지 구조를 배제하고 3단에 걸친 자성체들간의 자기적 척력을 이용하여 검사대상 기판의 전후 좌우 각도를 조절하게 되므로 상부에서 하강하는 복수의 프로브들과 수평을 유지하도록 검사대상 기판의 각도를 보다 원활하게 조정할 수 있다. 이로써, 기판 검사 장치의 복수의 프로브와 검사대상 기판의 전극 패드의 복수의 전극들 간에 보다 효율적이고 완전한 접촉이 보장될 수 있다. As described above, the present invention eliminates the existing support structure using springs and adjusts the left and right angles of the substrate to be inspected using the magnetic repulsive force between the magnetic bodies over three stages, so that a plurality of probes descending from the top It is possible to more smoothly adjust the angle of the substrate to be inspected so as to keep the substrate horizontal. Thus, more efficient and perfect contact between the plurality of probes of the substrate inspection apparatus and the plurality of electrodes of the electrode pad of the substrate to be inspected can be ensured.
또한, 본 발명은 기존의 스프링을 이용한 지지 구조를 배제하였으므로 장기간 사용에 따른 스프링력 약화 또는 마모 등 스프링의 열화에 따른 지지 기능 약화 등의 문제를 막을 수 있으며, 또한 기존의 스프링 지지 구조에 비해 더욱 슬림하고 내구성이 높은 장치 설계도 가능하다. In addition, since the present invention excludes the existing support structure using a spring, problems such as weakening of the spring force due to long-term use or weakening of the support function due to deterioration of the spring such as wear and tear can be prevented, and moreover, compared to the existing spring support structure. It is also possible to design slim and durable devices.
또한, 본 발명의 기판 검사용 캐리어 장치에서 전자석의 자기적 척력을 이용하는 경우에는, 자석에 인가되는 전력을 제어하여 자기적 척력을 임의로 조절할 수 있으므로 복수의 프로브들의 압력에 대응하는 접촉 강도를 다양하게 제어할 수 있으며, 다양한 검사대상 기판에 능동적으로 대응할 수 있게 된다. 또한, 검사용 헤드와 검사대상 기판이 다양한 형태로 수평이 맞지 않더라도 효과적으로 대응할 수 있게 된다. In addition, in the case of using the magnetic repulsive force of an electromagnet in the carrier device for substrate inspection of the present invention, the magnetic repulsive force can be arbitrarily adjusted by controlling the power applied to the magnet, so that the contact strength corresponding to the pressure of the plurality of probes can be varied. control, and can actively respond to various inspection target substrates. In addition, even if the inspection head and the inspection target substrate are not level in various forms, it can effectively respond.
도 1은 본 발명에 따른 기판 검사용 캐리어 장치의 외관 사시도,
도 2는 도 1에 따른 기판 검사용 캐리어 장치의 구성 일부의 분해 사시도,
도 3은 도 2에 따른 기판 검사용 캐리어 장치의 구성 일부의 결합 배치도,
도 4는 도 2에 따른 기판 검사용 캐리어 장치의 구성 일부의 A-A선 단면도,
도 5는 도 2에 따른 기판 검사용 캐리어 장치의 구성 일부의 B-B선 단면도.1 is an external perspective view of a carrier device for inspecting a substrate according to the present invention;
Figure 2 is an exploded perspective view of a part of the configuration of the carrier device for substrate inspection according to Figure 1;
Figure 3 is a coupling arrangement of a part of the configuration of the carrier device for substrate inspection according to Figure 2,
4 is a cross-sectional view taken along line AA of a part of the carrier device for inspecting a substrate according to FIG. 2;
Fig. 5 is a cross-sectional view along line BB of a part of the carrier device for inspecting a substrate according to Fig. 2;
이하 첨부된 도면과 실시예들을 통해 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described in more detail through the accompanying drawings and embodiments.
아래의 실시예에서는 발명을 설명함에 있어서 필연적인 부분들을 제외하고는 그 도시와 설명을 생략하였으며, 명세서 전체를 걸쳐 동일 유사한 요소에 대하여는 동일한 부호를 부여하고 그에 대한 상세한 설명은 반복하지 않고 생략하기로 한다.In the following embodiments, the drawings and descriptions are omitted except for essential parts in describing the invention, and the same reference numerals are assigned to the same and similar elements throughout the specification, and detailed descriptions thereof will be omitted without repetition. do.
도 1은 본 발명에 따른 기판 검사용 캐리어 장치의 외관 사시도, 도 2는 도 1에 따른 기판 검사용 캐리어 장치의 구성 일부의 분해 사시도, 도 3은 도 2에 따른 장치 구성의 결합 배치도, 도 4는 도 2에 따른 장치 구성의 A-A선 단면도, 도 5는 도 2에 따른 장치 구성의 B-B선 단면도이다.1 is an external perspective view of a carrier device for substrate inspection according to the present invention, FIG. 2 is an exploded perspective view of a part of the configuration of the carrier device for substrate inspection according to FIG. 1, FIG. 3 is a combined arrangement view of the device configuration according to FIG. 2, FIG. is a cross-sectional view of the device configuration according to FIG. 2 along line A-A, and FIG. 5 is a cross-sectional view along line B-B of the device configuration according to FIG.
본 발명의 기판 검사용 캐리어 장치는 복수의 프로브를 상부에서 하방향으로 이동시켜 검사대상 기판의 소정의 위치, 즉 전극 패드 상의 복수의 전극들에 접촉시키는 검사장치(미도시)에 대응하여 상기 검사대상 기판을 지지하고 자기적 척력을 이용하여 검사대상 기판의 균형을 잡도록 구성한 것으로, 여기서 자기적 척력이란 복수의 자성체 상호간에 작용하는 미는 힘을 지칭하며, 이러한 자기적 척력에 의해 밀어올려진 검사대상 기판은 전극 패드 상의 각 전극들이 검사용 헤드의 각각의 프로브들과 수평 상태를 유지하게 되어 완전한 전기적 접촉이 이루어질 수 있다. 도면에 도시하지는 않았지만, 검사장치의 검사용 헤드에 구비된 각각의 프로브들은 임의 형태의 돌출된 구조로 제공되거나 내부에 소정의 완충수단을 갖는 포고핀(pogo pin)일 수 있으며, 이러한 구조는 전극 패드의 전극들에 대해서도 동일하게 적용될 수 있다. The carrier device for inspecting a substrate according to the present invention moves a plurality of probes from top to bottom to contact a predetermined position of a substrate to be inspected, that is, a plurality of electrodes on an electrode pad, corresponding to the inspection device (not shown). It is configured to support the target substrate and balance the inspection target substrate using magnetic repulsive force. Here, the magnetic repulsive force refers to the pushing force acting between a plurality of magnetic bodies, and the inspection target pushed up by this magnetic repulsive force. Each electrode on the electrode pad maintains a horizontal state with each probe of the inspection head, so that perfect electrical contact can be made. Although not shown in the drawings, each of the probes provided in the inspection head of the inspection device may be provided in an arbitrary form of protruding structure or may be a pogo pin having a predetermined buffering means therein, and this structure is an electrode The same can be applied to the electrodes of the pad.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판 검사용 캐리어 장치는 총 3단에 걸친 자기적 척력을 이용하는 구성을 갖출 수 있으며, 이러한 3단의 자기적 척력이 작용되는 구성으로, 검사대상 기판(미도시)을 올려놓고 고정할 수 있도록 구성된 상부 플레이트(100)와, 이 상부 플레이트(100)의 아래에 배치되고 상기 상부 플레이트(100)와의 사이에 소정의 자기적 척력이 작용하도록 구성된 중간 플레이트(200), 그리고 상기 중간 플레이트(200)의 아래에 배치되고 상기 중간 플레이트(200)와의 사이에 소정의 자기적 척력이 작용하도록 구성된 베이스 플레이트(300)를 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the carrier device for inspecting a substrate may have a configuration using magnetic repulsive force over a total of three stages, and with a configuration in which these three stages of magnetic repulsive force act, ) An
상부 플레이트(100)와 중간 플레이트(200)는 이들 사이에 자기적 척력이 작용하도록 하도록 하기 위한 구성으로, 상부 플레이트(100)의 아랫면과 중간 플레이트(200)의 윗면에 서로 동일한 극성으로 상,하 자기적 척력을 형성하는 다수의 자성체(magnet)(110)(210)들이 각각 설치될 수 있다. The
또한, 베이스 플레이트(300)와 중간 플레이트(200)도 이들 사이에 자기적 척력이 작용하도록 하기 위한 구성으로, 베이스 플레이트(300)의 윗면과 중간 플레이트(200)의 아랫면에 서로 동일한 극성으로 상,하 자기적 척력을 형성하는 다수의 자성체(310)(220)들이 각각 설치될 수 있다. In addition, the
여기서, 자성체(110)(210)(220)(310)들은 동일한 극성의 영구자석 또는 자력 조절이 가능한 전자석일 수 있다. 특히, 전자석의 경우에는 인가되는 전류 세기를 조절하여 척력의 정도를 임의로 제어할 수 있으므로 검사장치의 각 프로브들에 대한 검사대상 기판의 수평 정도 또는 각도 조절을 위한 틸팅(tilting)이 보다 용이하게 수행될 수 있는 장점이 있다. Here, the
본 발명의 도 1을 참조하면, 상부 플레이트(100)와 중간 플레이트(200)는 베이스 플레이트(300) 상에 고정되는 일정한 높이의 펜스 프레임(400)에 의해 둘러싸인 형태로 제공될 수 있다. 여기서, 베이스 플레이트(300)는 상부 플레이트(100)와 중간 플레이트(200), 및 이들을 둘러싸는 펜스 프레임(400)을 함께 올려놓을 수 있도록 이들 구성요소에 비해 보다 넓은 면적을 갖는 것이 바람직할 수 있다. Referring to FIG. 1 of the present invention, the
또한, 펜스 프레임(400)에 의해 둘러싸인 중간 플레이트(200)는 베이스 플레이트(300)와의 사이에 자성체들(220)(310)의 척력에 의한 틸팅(tilting)이 가능하도록 베이스 플레이트(300)의 윗면으로부터 일정 간격 이격된 상부에 유지되는 것이 바람직하다. 이를 위해, 중간 플레이트(200)는 길이 중앙의 양측 너비단의 각 측단에 도 2에 도시된 바와 같은 유지돌기(241)들이 형성될 수 있으며, 각각의 유지돌기(241)는 베이스 플레이트(300)의 표면 또는 베이스 플레이트(300) 상의 펜스 프레임(400)의 양 단부에 고정된 스텝퍼(230)의 가이드홈(231)에 삽입되어 승강가능한 상태로 유지될 수 있다. 여기서, 가이드홈(231)은 유지돌기(241)들의 승강 작용을 위해 상하 방향으로 길쭉한 모양을 가질 수 있다. In addition, the upper surface of the
이와 같은 구성으로부터 중간 플레이트(200)의 아랫면에 구비된 다수의 자성체들(220)과 베이스 플레이트(300)의 윗면에 구비된 자성체들(310) 간에 척력에 의해 유지돌기들(241)이 가이드홈(231)을 따라 상하 이동하면서 중간 플레이트(200)의 높이를 조절할 수 있게 되고, 또한 상기 유지돌기들(241)을 중심으로 중간 플레이트(200)의 기울기를 조절할 수 있게 된다. From this configuration, the
또한, 중간 플레이트(200)의 상부에 위치되는 상부 플레이트(100)는 중간 플레이트(200)와의 사이에 자성체들(110)(210)의 척력에 의한 틸팅(tilting)이 가능하도록 중간 플레이트(200)의 윗면으로부터 일정 간격 이격된 상부에 유지되는 것이 바람직하다. 이를 위해, 상부 플레이트(100)는 너비 중앙의 양측 길이단의 각 측단에 도 2에 도시된 바와 같은 끼움홈(120; 또는 유지돌기)이 형성되고, 이 끼움홈(120)들에는 상기 중간 플레이트(200) 상에 고정된 스텝퍼(130)의 유지돌기(131; 또는 가이드홈)들이 각각 삽입되어 회전가능한 상태로 유지될 수 있다. In addition, the
이와 같은 구성으로부터 상부 플레이트(100)의 아랫면에 구비된 다수의 자성체들(110)과 중간 플레이트(200)의 윗면에 구비된 자성체들(210) 간에 척력에 의해 유지돌기(241)들을 중심으로 상부 플레이트(100)의 기울기를 조절할 수 있게 되며, 이를 통해 상부 플레이트(100) 상에 올려진 검사대상 기판의 전극 패드 상의 각 전극들을 검사용 헤드의 각 프로브들과 수평 상태로 완전한 전기적 접촉이 이루어지도록 하게 된다. From this configuration, a plurality of
한편, 본 실시예에서 중간 플레이트(200)의 윗면에 구비된 자성체(210)들과 베이스 플레이트(300)의 윗면에 구비된 자성체(310)들은 모두 돌출된 형태로 도시되고, 또한 상부 플레이트(100)의 아랫면에 설치된 자성체(110)들과 중간 플레이트(200)의 아랫면에 구비된 자성체(220)들은 모두 함몰된 형태로 도시되었으나, 본 발명은 이에 한정하지 않고 중간 플레이트(200)의 윗면과 베이스 플레이트(300)의 윗면에 구비된 자성체(210)(310)들을 함몰된 형태를 갖도록 구성하고, 상부 플레이트(100)의 아랫면과 중간 플레이트(200)의 아랫면에 구비된 자성체(110)(220)들을 돌출된 형태를 갖도록 구성하는 것도 물론 가능하다. Meanwhile, in this embodiment, the
이상과 같이 본 발명의 기판 검사용 캐리어 장치는 기존의 스프링 지지 구조를 배제하고 3단에 걸친 자성체들간의 자기적 척력을 이용하여 검사대상 기판의 전후 좌우 각도를 조정할 수 있도록 한 것으로서, 이를 통해 상부에서 하강하는 복수의 프로브들과 수평을 유지하도록 검사대상 기판의 각도를 보다 원활하게 조정할 수 있게 되어 기판 검사 장치의 복수의 프로브와 검사대상 기판의 전극 패드의 복수의 전극들 간에 보다 효율적이고 완전한 접촉을 보장할 수 있게 된다. As described above, the carrier device for inspecting a substrate of the present invention excludes the existing spring support structure and uses the magnetic repulsive force between the magnetic bodies over three stages to adjust the front and rear left and right angles of the substrate to be inspected. It is possible to more smoothly adjust the angle of the substrate to be inspected so as to be level with the plurality of probes descending from the substrate inspection apparatus, and more efficient and complete contact between the plurality of probes of the substrate inspection device and the plurality of electrodes of the electrode pad of the substrate to be inspected. will be able to guarantee
또한, 본 발명의 기판 검사용 캐리어 장치는 기존의 스프링 지지 구조를 배제하고 자성체들간의 자기적 척력을 이용하였으므로 장기간 사용에 따른 스프링력 약화 또는 마모 등 스프링의 열화에 따른 지지 기능 약화 등의 문제를 막을 수 있고, 또한 기존의 스프링 지지 구조에 비해 더욱 슬림한 장치 설계가 가능하다. In addition, since the carrier device for substrate inspection of the present invention excludes the existing spring support structure and uses the magnetic repulsive force between magnetic bodies, problems such as weakening of the spring force due to long-term use or weakening of the support function due to deterioration of the spring such as wear It can be prevented, and it is also possible to design a slimmer device compared to the existing spring support structure.
또한, 본 발명의 기판 검사용 캐리어 장치는, 전자석의 자기적 척력을 이용하는 경우에는, 자석에 인가되는 전력을 제어함으로써 복수의 프로브들의 압력에 대응하는 접촉 강도를 다양하게 제어할 수 있게 되는 장점이 있다. In addition, the carrier device for substrate inspection of the present invention has the advantage of being able to control the contact strength corresponding to the pressure of a plurality of probes in various ways by controlling the power applied to the magnet when the magnetic repulsive force of the electromagnet is used. have.
이상 본 발명의 다양한 실시예들에 대하여 설명하였으나, 지금까지 설명한 내용들은 본 발명의 바람직한 실시예들 중 그 일부를 예시한 정도에 불과하며, 아래에 첨부된 청구범위에 나타날 수 있는 것을 제외하고는 상술한 내용에 의해 제한되지 않는다. 따라서, 본 발명은 이와 동일한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 청구범위에 기재된 범위 내에서 발명의 기술적 사상과 요지를 벗어나지 않으면서 균등물의 많은 변화, 수정 및 대체가 이루어질 수 있음을 이해하여야 할 것이다. Although various embodiments of the present invention have been described above, the contents described so far are merely examples of some of the preferred embodiments of the present invention, except for what may appear in the claims appended below. It is not limited by the above content. Therefore, the present invention understands that many changes, modifications and substitutions of equivalents can be made by those skilled in the art without departing from the technical spirit and gist of the invention within the scope described in the claims below. will have to
100 : 상부 플레이트
200 : 중간 플레이트
300 : 베이스 플레이트
400 : 펜스 프레임
110,210,220,310 : 자성체
120 : 끼움홈
130 : 스텝퍼
131 : 유지돌기
230 : 스텝퍼
231 : 가이드홈
241 : 유지돌기100: upper plate
200: middle plate
300: base plate
400: fence frame
110,210,220,310: magnetic body
120: fitting groove
130: stepper
131: retaining protrusion
230: stepper
231: guide home
241: retaining protrusion
Claims (5)
검사대상 기판을 올려놓고 고정할 수 있도록 구성된 상부 플레이트,
상기 상부 플레이트의 아래에 배치되고 상기 상부 플레이트와의 사이에 소정의 자기적 척력이 작용하도록 구성된 중간 플레이트, 및
상기 중간 플레이트 아래에 배치되고 상기 중간 플레이트와의 사이에 소정의 자기적 척력이 작용하도록 구성된 베이스 플레이트를 포함하고,
상기 상부 플레이트의 아랫면과 상기 중간 플레이트의 윗면에는 서로 동일한 극성으로 상,하 자기적 척력을 형성하는 복수의 자성체들이 각각 설치되고,
상기 베이스 플레이트의 윗면과 상기 중간 플레이트의 아랫면에는 서로 동일한 극성으로 상,하 자기적 척력을 형성하는 복수의 자성체들이 각각 설치된 것을 특징으로 하는, 자기적 척력을 이용하는 기판 검사용 캐리어 장치.A carrier device corresponding to a plurality of probes of a substrate inspection apparatus and supporting a substrate to be inspected to remain horizontal with the probes,
An upper plate configured to place and fix the substrate to be inspected,
An intermediate plate disposed below the upper plate and configured to allow a predetermined magnetic repulsive force to act between the upper plate and the upper plate; and
A base plate disposed under the intermediate plate and configured to allow a predetermined magnetic repulsive force to act between the intermediate plate and the intermediate plate;
A plurality of magnetic bodies forming upper and lower magnetic repulsive forces with the same polarity are respectively installed on the lower surface of the upper plate and the upper surface of the intermediate plate,
A carrier device for inspecting a substrate using a magnetic repulsive force, characterized in that a plurality of magnetic bodies forming upper and lower magnetic repulsive forces with the same polarity are respectively installed on the upper surface of the base plate and the lower surface of the intermediate plate.
상기 복수의 자성체들은 동일한 극성의 영구자석 또는 전자석인 것을 특징으로 하는, 자기적 척력을 이용하는 기판 검사용 캐리어 장치.According to claim 1,
Characterized in that the plurality of magnetic bodies are permanent magnets or electromagnets of the same polarity, a carrier device for inspecting a substrate using magnetic repulsion.
상기 중간 플레이트는 상기 베이스 플레이트와의 사이에 자성체들의 척력에 의한 ?C팅이 가능하도록 상기 베이스 플레이트의 윗면으로부터 일정 간격 이격된 상부에 유지되고, 상기 상부 플레이트는 상기 중간 플레이트와의 사이에 자성체들의 척력에 의한 틸팅이 가능하도록 중간 플레이트의 윗면으로부터 일정 간격 이격된 상부에 유지되는 것을 특징으로 하는, 자기적 척력을 이용하는 기판 검사용 캐리어 장치.According to claim 1,
The intermediate plate is maintained at an upper portion spaced apart from the upper surface of the base plate at a predetermined interval so that magnetic bodies can be repelled between the base plate and the magnetic body by repulsive force, and the upper plate is positioned between the intermediate plate and the magnetic body. A carrier device for inspecting a substrate using a magnetic repulsive force, characterized in that maintained at an upper portion spaced apart by a predetermined distance from the upper surface of the intermediate plate to enable tilting by the repulsive force.
상기 상부 플레이트와 상기 중간 플레이트는 상기 베이스 플레이트 상에 고정되는 일정한 높이의 펜스 프레임에 의해 둘러싸여 제공되고, 상기 중간 플레이트는 길이 중앙의 양측 너비단의 각 측단에 유지돌기들이 형성되고, 각각의 유지돌기는 상기 베이스 플레이트의 표면 또는 상기 베이스 플레이트 상의 상기 펜스 프레임의 양 단부에 고정된 스텝퍼의 가이드홈에 삽입되어 승강가능한 상태로 유지되는 것을 특징으로 하는, 자기적 척력을 이용하는 기판 검사용 캐리어 장치.According to claim 3,
The upper plate and the intermediate plate are provided surrounded by a fence frame having a constant height fixed on the base plate, and retaining protrusions are formed on each side of both width ends of the middle plate in the middle of the length, and each retaining protrusion Is inserted into the guide groove of the stepper fixed to the surface of the base plate or both ends of the fence frame on the base plate and is maintained in a movable state, a carrier device for inspecting a substrate using magnetic repulsive force.
상기 상부 플레이트는 너비 중앙의 양측 길이단의 각 측단에 끼움홈이 형성되고, 각각의 끼움홈에 상기 중간 플레이트 상에 고정된 스텝퍼의 유지돌기가 각각 삽입되어 회전가능한 상태로 유지되는 것을 특징으로 하는, 자기적 척력을 이용하는 기판 검사용 캐리어 장치.According to claim 3,
The upper plate is characterized in that fitting grooves are formed at each side end of both length ends at the center of the width, and holding protrusions of the stepper fixed on the intermediate plate are inserted into each fitting groove to be maintained in a rotatable state , A carrier device for inspecting a substrate using magnetic repulsive force.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210059352A KR102536724B1 (en) | 2021-05-07 | 2021-05-07 | Carrier device for substrate inspection using magnetic repulsive force |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210059352A KR102536724B1 (en) | 2021-05-07 | 2021-05-07 | Carrier device for substrate inspection using magnetic repulsive force |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20220151975A true KR20220151975A (en) | 2022-11-15 |
| KR102536724B1 KR102536724B1 (en) | 2023-05-30 |
Family
ID=84041951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| KR1020210059352A KR102536724B1 (en) | 2021-05-07 | 2021-05-07 | Carrier device for substrate inspection using magnetic repulsive force |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102536724B1 (en) |
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Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6154251B2 (en) | 2013-08-29 | 2017-06-28 | 日置電機株式会社 | Circuit board inspection equipment |
-
2021
- 2021-05-07 KR KR1020210059352A patent/KR102536724B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR102536724B1 (en) | 2023-05-30 |
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