KR20220149673A - Positive photosensitive resin composition - Google Patents

Positive photosensitive resin composition Download PDF

Info

Publication number
KR20220149673A
KR20220149673A KR1020227030030A KR20227030030A KR20220149673A KR 20220149673 A KR20220149673 A KR 20220149673A KR 1020227030030 A KR1020227030030 A KR 1020227030030A KR 20227030030 A KR20227030030 A KR 20227030030A KR 20220149673 A KR20220149673 A KR 20220149673A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
resin composition
positive photosensitive
photosensitive resin
crosslinking agent
agent
Prior art date
Application number
KR1020227030030A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
마사유키 가와시마
히데유키 다카하시
Original Assignee
에이지씨 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 에이지씨 가부시키가이샤 filed Critical 에이지씨 가부시키가이샤
Publication of KR20220149673A publication Critical patent/KR20220149673A/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0005Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
    • G03F7/0007Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/039Macromolecular compounds which are photodegradable, e.g. positive electron resists
    • G03F7/0392Macromolecular compounds which are photodegradable, e.g. positive electron resists the macromolecular compound being present in a chemically amplified positive photoresist composition
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/22Exposing sequentially with the same light pattern different positions of the same surface
    • H01L51/50
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00Electroluminescent light sources
    • H05B33/12Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K50/00Organic light-emitting devices

Abstract

본 발명은, 알칼리 가용성 수지 (A), 감광제 (B), N 원자를 갖는 가교제 (C1), SH 기를 갖는 가교제 (C2) 및 F 원자를 갖는 발잉크제 (D) 를 함유하고, 질량비로 C2/C1 가 0.3 < C2/C1 < 1.0 의 범위에 있는 포지티브형 감광성 수지 조성물에 관한 것이다.The present invention contains an alkali-soluble resin (A), a photosensitizer (B), a crosslinking agent having an N atom (C1), a crosslinking agent having an SH group (C2) and an ink repellent agent having an F atom (D), in a mass ratio of C2 /C1 relates to the positive photosensitive resin composition in the range of 0.3<C2/C1<1.0.

Description

포지티브형 감광성 수지 조성물Positive photosensitive resin composition

본 발명은, 포지티브형 감광성 수지 조성물에 관한 것이다.The present invention relates to a positive photosensitive resin composition.

포지티브형 감광성 수지 조성물은, 컬러 필터나 유기 EL 소자의 화소부에 사용되는 격벽이나 마이크로 렌즈의 제조에 사용되고 있다 (예를 들어, 특허문헌 1).A positive photosensitive resin composition is used for manufacture of the partition used for the pixel part of a color filter or organic electroluminescent element, and microlens (for example, patent document 1).

일본 공개특허공보 2010-185991호Japanese Patent Laid-Open No. 2010-185991

최근에는 제품의 요구 성능이 높아지고 있어, 종래의 포지티브형 감광성 수지 조성물에서는 성능이 충분하지 않다.In recent years, the required performance of a product is increasing, and the performance is not enough in the conventional positive photosensitive resin composition.

이와 같은 상황하, 패터닝성이 높고, 발액성이 우수한 포지티브형 감광성 수지 조성물이 요구되고 있다.Under such circumstances, a positive photosensitive resin composition having high patterning properties and excellent liquid repellency is required.

본 발명은, 이하의 양태를 포함한다.The present invention includes the following aspects.

1. 알칼리 가용성 수지 (A),1. Alkali-soluble resin (A),

감광제 (B),photosensitizer (B);

N 원자를 갖는 가교제 (C1),a crosslinking agent having an N atom (C1);

SH 기를 갖는 가교제 (C2), 및,a crosslinking agent having an SH group (C2), and

F 원자를 갖는 발잉크제 (D) 를 함유하고,containing an ink repellent agent (D) having an F atom,

질량비로 C2/C1 가 0.3 < C2/C1 < 1.0 의 범위에 있는 포지티브형 감광성 수지 조성물.The positive photosensitive resin composition in which C2/C1 is in the range of 0.3<C2/C1<1.0 by mass ratio.

2. 상기 가교제 (C2) 의 비율이, 질량비로, (A)+(B)+(C1)+(C2)+(D) 의 합계에 대하여 4 질량% ∼ 19 질량% 의 범위에 있는,2. The proportion of the crosslinking agent (C2) is in the range of 4% by mass to 19% by mass relative to the total of (A)+(B)+(C1)+(C2)+(D) in mass ratio,

상기 1 에 기재된 포지티브형 감광성 수지 조성물.The positive photosensitive resin composition according to 1 above.

3. 상기 감광제 (B) 가 퀴논디아지드 화합물을 함유하는 상기 1 또는 2 에 기재된 포지티브형 감광성 수지 조성물.3. The positive photosensitive resin composition according to 1 or 2, wherein the photosensitive agent (B) contains a quinonediazide compound.

4. 상기 가교제 (C1) 이 멜라민 수지인 상기 1 ∼ 3 중 어느 하나에 기재된 포지티브형 감광성 수지 조성물.4. The positive photosensitive resin composition in any one of said 1-3 whose said crosslinking agent (C1) is a melamine resin.

5. 상기 가교제 (C2) 가 분자 중에 2 ∼ 4 개의 상기 SH 기를 갖는 상기 1 ∼ 4 중 어느 하나에 기재된 포지티브형 감광성 수지 조성물.5. The positive photosensitive resin composition as described in any one of said 1-4 in which the said crosslinking agent (C2) has 2-4 said SH groups in a molecule|numerator.

6. 상기 알칼리 가용성 수지 (A) 의 질량 평균 분자량 (Mw) 이 500 ∼ 20000인 상기 1 ∼ 5 중 어느 하나에 기재된 포지티브형 감광성 수지 조성물.6. The positive photosensitive resin composition in any one of said 1-5 whose mass average molecular weights (Mw) of the said alkali-soluble resin (A) are 500-20000.

7. 추가로 용매 (E) 를 갖고, 상기 용매에 있어서의 비점이 170 ℃ 이상인 화합물의 비율이 10 ∼ 70 질량% 의 범위에 있는 상기 1 ∼ 6 중 어느 하나에 기재된 포지티브형 감광성 수지 조성물.7. Furthermore, it has a solvent (E), The positive photosensitive resin composition in any one of said 1-6 in which the ratio of the compound whose boiling point in the said solvent is 170 degreeC or more is 10-70 mass %.

8. 상기 1 ∼ 7 중 어느 하나에 기재된 포지티브형 감광성 수지 조성물을 경화시킨 경화물.8. Hardened|cured material which hardened|cured the positive photosensitive resin composition in any one of said 1-7.

9. 상기 8 에 기재된 경화물을 격벽으로서 포함하는 광학 소자.9. An optical element comprising the cured product according to 8 above as a barrier rib.

본 발명에 의하면, 패터닝성이 높고, 발액성이 우수한 포지티브형 감광성 수지 조성물을 제공할 수 있다.ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, patterning property is high and the positive photosensitive resin composition excellent in liquid repellency can be provided.

도 1 은 샘플 단면 (斷面) 화상의 개략도로, 테이퍼각의 측정 방법을 나타내는 도이다.
도 2 는 샘플 단면 화상의 개략도이고, 스컴의 측정 방법을 나타내는 도면이다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic diagram of a sample cross-section image, and is a figure which shows the measuring method of a taper angle.
Fig. 2 is a schematic diagram of a cross-sectional image of a sample, and is a diagram showing a method for measuring a scum.

이하, 본 발명의 포지티브형 감광성 수지 조성물에 대해서 설명한다.Hereinafter, the positive photosensitive resin composition of this invention is demonstrated.

[포지티브형 감광성 수지 조성물][Positive photosensitive resin composition]

본 발명의 포지티브형 감광성 수지 조성물은, 필수 성분과 임의 성분의 조합으로 이루어진다. 필수 성분은 포지티브형 감광성 수지 조성물에 필수적으로 함유되는 것으로 성능의 주요한 기능을 제공한다. 임의 성분은 필요에 따라 사용된다.The positive photosensitive resin composition of this invention consists of a combination of an essential component and an arbitrary component. The essential component is essentially contained in the positive photosensitive resin composition and provides a major function of performance. Optional ingredients are used as needed.

본 명세서에 있어서 특별한 기재가 없는 경우, % 는 질량% 를 의미한다. 단, 본 명세서에 있어서, 질량 기준의 비율 (백분율, 부 등) 은 중량 기준의 비율 (백분율, 부 등) 과 동일하다. 수치 범위는 반올림한 범위를 포함한다. 또한, 수치 범위를 「X ∼ Y」로 나타내는 경우 「X 이상 Y 이하」를 의미한다.In this specification, when there is no special description, % means mass %. However, in this specification, the ratio by mass (percentage, parts, etc.) is the same as the ratio by weight (percentage, parts, etc.). Numerical ranges are inclusive of rounded ranges. In addition, when a numerical range is represented by "X to Y", "X or more and Y or less" is meant.

[필수 성분][Essential Ingredients]

필수 성분으로서 알칼리 가용성 수지 (A), 감광제 (B), N 원자를 갖는 가교제 (C1), SH 기를 갖는 가교제 (C2) 및 F 원자를 갖는 발잉크제 (D) 를 들 수 있다.As essential components, an alkali-soluble resin (A), a photosensitizer (B), a crosslinking agent having an N atom (C1), a crosslinking agent having an SH group (C2), and an ink repellent agent having an F atom (D) are mentioned.

<알칼리 가용성 수지 (A)> <Alkali-soluble resin (A)>

알칼리 가용성 수지 (A) 는, 현상 공정에서 사용되는 알칼리에 대하여 용해되는 수지이고, 화소부 등에서 사용되는 격벽의 주성분이 되는 수지이다.Alkali-soluble resin (A) is resin which melt|dissolves with respect to the alkali used in the image development process, and is resin used as a main component of the partition used in a pixel part etc.

본 발명에서 사용되는 알칼리 가용성 수지 (A) 로는, 포지티브형 감광성 수지 조성물에 사용되는 공지된 수지를 사용할 수 있다.As alkali-soluble resin (A) used by this invention, well-known resin used for a positive photosensitive resin composition can be used.

구체예로는, 일본 특허공보 제6177495호, 일본 특허공보 제5447384호, 일본 특허공보 제4770985호, 일본 특허공보 제4600477호, 일본 특허공보 제5444749호, 및 국제 공개 제2019/156000호에 기재된 알칼리 가용성 수지가 개시되지만, 알칼리 가용성 수지 (A) 는 이것들에 한정되지 않는다.Specific examples include Japanese Patent Publication No. 6177495, Japanese Patent Publication No. 5447384, Japanese Patent Publication No. 4770985, Japanese Patent Publication No. 4600477, Japanese Patent Publication No. 5444749, and International Publication No. 2019/156000 Although alkali-soluble resin is disclosed, alkali-soluble resin (A) is not limited to these.

바람직한 알칼리 가용성 수지 (A) 의 구체예로는 이하가 예시되지만, 알칼리 가용성 수지 (A) 는 이것들에 한정되지 않는다.Although the following are illustrated as a specific example of preferable alkali-soluble resin (A), alkali-soluble resin (A) is not limited to these.

알칼리 가용성 수지 (A) 로는 Tg 가 높은 N 치환 말레이미드, 벤질메타크릴레이트, 아크릴산의 공중합체가 바람직하다.As alkali-soluble resin (A), the copolymer of N-substituted maleimide with high Tg, benzyl methacrylate, and acrylic acid is preferable.

잔사 제거성이 우수하기 때문에, 알칼리 가용성 수지 (A) 의 질량 평균 분자량은 500 ∼ 20000 의 범위에 있는 것이 바람직하고, 3000 ∼ 10000 의 범위에 있는 것이 더욱 바람직하고, 3000 ∼ 8000 의 범위에 있는 것이 특히 바람직하다.Since it is excellent in residue removability, it is preferable that the mass average molecular weight of alkali-soluble resin (A) exists in the range of 500-20000, It is more preferable that it exists in the range of 3000-10000, What exists in the range of 3000-8000 Especially preferred.

본 명세서에 있어서 질량 평균 분자량 (Mw) 은, 겔 퍼미에이션 크로마토그래피 (GPC) 에 의해 테트라하이드로푸란을 이동상으로 하여 측정되는, 표준 폴리스티렌을 기준으로 하여 환산한 질량 평균 분자량을 의미한다.In the present specification, the mass average molecular weight (Mw) means a mass average molecular weight measured by gel permeation chromatography (GPC) using tetrahydrofuran as a mobile phase and converted on the basis of standard polystyrene.

알칼리 가용성 수지 (A) 의 사용량은, 질량비로, (A)+(B)+(C1)+(C2)+(D) 의 합계에 대하여 50 ∼ 70 % 의 범위에 있는 것이 바람직하다. 사용량이 이 범위에 있음으로써, 본 발명의 효과를 효과적으로 발휘할 수 있다.The usage-amount of alkali-soluble resin (A) is mass ratio, and it is preferable to exist in 50 to 70% of range with respect to the sum total of (A)+(B)+(C1)+(C2)+(D). When the usage-amount exists in this range, the effect of this invention can be exhibited effectively.

<감광제 (B)><Photosensitizer (B)>

감광제 (B) 는, 노광시에 광과 반응하여 포지티브형 감광성 수지 조성물의 알칼리 용액에 대한 용해성을 변화시키는 화합물이다.A photosensitive agent (B) is a compound which reacts with light at the time of exposure, and changes the solubility with respect to the alkaline solution of a positive photosensitive resin composition.

본 발명에서 사용되는 감광제 (B) 로는, 포지티브형 감광성 수지 조성물에 사용되는 공지된 감광제를 들 수 있다.As a photosensitive agent (B) used by this invention, the well-known photosensitive agent used for a positive photosensitive resin composition is mentioned.

감광제 (B) 로는, 감광성이 우수하기 때문에 퀴논디아지드기를 갖는 화합물 (이하 퀴논디아지드 화합물이라고도 한다) 이 바람직하고, 현상 용해성의 제어와 내열성의 점에서 4,4'-[1-[4-[1-(4-하이드록시페닐)-1-메틸에틸]페닐]에틸리덴]비스페놀과 6-디아조-5,6-디하이드로-5-옥소나프탈렌-1-술폰산의 에스테르 화합물이 특히 바람직하다.As the photosensitizer (B), a compound having a quinonediazide group (hereinafter also referred to as a quinonediazide compound) is preferable because of its excellent photosensitivity, and 4,4'-[1-[4-] from the viewpoint of control of developing solubility and heat resistance. Particularly preferred are ester compounds of [1-(4-hydroxyphenyl)-1-methylethyl]phenyl]ethylidene]bisphenol and 6-diazo-5,6-dihydro-5-oxonaphthalene-1-sulfonic acid. .

감광제 (B) 의 사용량은, 질량비로, (A)+(B)+(C1)+(C2)+(D) 의 합계에 대하여 10 ∼ 35 % 의 범위가 바람직하고, 15 ∼ 30 % 의 범위가 더욱 바람직하고, 16 ∼ 22 % 의 범위가 특히 바람직하고, 18 ∼ 20 % 의 범위가 가장 바람직하다. 사용량이 이 범위에 있음으로써, 본 발명의 효과를 효과적으로 발휘할 수 있다.The amount of the photosensitive agent (B) used is preferably in the range of 10 to 35%, and preferably in the range of 15 to 30%, relative to the total of (A)+(B)+(C1)+(C2)+(D) in terms of mass ratio. is more preferably, particularly preferably in the range of 16 to 22%, and most preferably in the range of 18 to 20%. When the usage-amount exists in this range, the effect of this invention can be exhibited effectively.

<가교제><crosslinking agent>

본 발명에 있어서, 가교제로는 N 원자를 갖는 가교제 (C1) 과 SH 기를 갖는 가교제 (C2) 의 2 종의 가교제가 사용된다. 질량비로 C2/C1 는 0.3 초과이고, 0.35 이상이 바람직하며, 0.4 이상이 보다 바람직하다. C2/C1 는 1.0 미만이고, 0.9 미만이 보다 바람직하며, 0.8 미만이 더욱 바람직하다. C2/C1 는 0.3 < C2/C1 < 1.0 의 범위에 있고, 바람직하게는 0.35 ≤ C2/C1 < 0.9 의 범위에 있고, 더욱 바람직하게는 0.4 ≤ C2/C1 < 0.8 의 범위에 있다. C2/C1 가 이 범위에 있음으로써 본 발명의 효과를 바람직하게 발휘할 수 있다.In the present invention, as the crosslinking agent, two types of crosslinking agents are used: a crosslinking agent having an N atom (C1) and a crosslinking agent having an SH group (C2). C2/C1 in mass ratio is more than 0.3, 0.35 or more are preferable, and 0.4 or more are more preferable. C2/C1 is less than 1.0, more preferably less than 0.9, still more preferably less than 0.8. C2/C1 is in the range of 0.3 < C2/C1 < 1.0, preferably in the range of 0.35 < C2/C1 < 0.9, more preferably in the range of 0.4 < C2/C1 < 0.8. When C2/C1 exists in this range, the effect of this invention can be exhibited preferably.

가교제는, 포지티브형 감광성 수지 조성물의 경화성에 기여하는 화합물이며 2 개 이상의 광 또는 열 경화성 관능기를 갖는다. 광 또는 열 경화성 관능기로서, 알콕시메틸기나 티올기가 바람직하다.A crosslinking agent is a compound which contributes to sclerosis|hardenability of a positive photosensitive resin composition, and has two or more photo or thermosetting functional groups. As the photo- or thermosetting functional group, an alkoxymethyl group or a thiol group is preferable.

가교제가 갖는 광 또는 열 경화성 관능기의 수는, 1 분자 중, 2 개 이상이고, 3 개 이상이 바람직하다. 광 또는 열 경화성 관능기의 수가 많을수록, 도막의 경화성이 향상된다.The number of the photo- or thermosetting functional groups which a crosslinking agent has is 2 or more in 1 molecule, and 3 or more are preferable. Sclerosis|hardenability of a coating film improves, so that there are many numbers of a photo- or thermosetting functional group.

가교제의 질량 평균 분자량은, 현상액의 침투 및 액 중으로의 확산의 관점에서 200 이상 1000 미만이 바람직하고, 300 이상 800 미만이 보다 바람직하다.The mass average molecular weight of the crosslinking agent is preferably 200 or more and less than 1000, and more preferably 300 or more and less than 800, from the viewpoint of permeation of the developer and diffusion into the solution.

가교제는, 본 발명의 효과를 발휘하는 한에 있어서 N 원자를 갖는 가교제 (C1) 과 SH 기를 갖는 가교제 (C2) 이외의 가교제를 함유해도 된다.The crosslinking agent may contain a crosslinking agent other than the crosslinking agent (C1) having an N atom and the crosslinking agent having an SH group (C2) as long as the effect of the present invention is exhibited.

<N 원자를 갖는 가교제 (C1)><Crosslinking agent having N atom (C1)>

N 원자를 갖는 가교제 (C1) 을 사용함으로써, 가열에 의한 형상 변화가 억제되어 본 발명의 포지티브형 감광성 수지 조성물의 패터닝성이 크게 향상된다.By using the crosslinking agent (C1) which has an N atom, the shape change by heating is suppressed and the patterning property of the positive photosensitive resin composition of this invention improves significantly.

N 원자를 갖는 가교제 (C1) 의 구체예는 이하에 나타나지만, N 원자를 갖는 가교제 (C1) 은 이들에 한정되지 않는다.Specific examples of the crosslinking agent (C1) having an N atom are shown below, but the crosslinking agent (C1) having an N atom is not limited to these.

N 원자를 갖는 가교제 (C1) 로는 예를 들어 우레아 수지, 멜라민 수지 및 아미드 수지를 들 수 있고, 내열성의 관점에서 특히 멜라민 수지가 바람직하다. 멜라민 수지의 구체예로는 이하에 나타나지만, 멜라민 수지는 이들에 한정되지 않는다.Examples of the crosslinking agent (C1) having an N atom include a urea resin, a melamine resin, and an amide resin, and a melamine resin is particularly preferable from the viewpoint of heat resistance. Although it shows below as a specific example of a melamine resin, a melamine resin is not limited to these.

미쓰이 사이텍 (주) 제조 메톡시메틸 타입 멜라민 화합물 (상품명 : 사이멜 (등록상표) 300, 동 301, 동 303, 동 350), 부톡시메틸 타입 멜라민 화합물 (상품명 : 마이코트 (등록상표) 506, 동 508), 주식회사 산와 케미컬 제조 메톡시메틸 타입 멜라민 화합물 (상품명 : 니카락 (등록상표) MW-30, 동 MW-22, 동 MW-11, 동 MW-100LM, 동 MS-001, 동 MX-002, 동 MX-730, 동 MX-750, 동 MX-035), 부톡시메틸 타입 멜라민 화합물 (상품명 : 니카락 (등록상표) MX-45, 동 MX-410, 동 MX-302), 사이멜 (등록상표) 303 (미쓰이 사이텍 (주) 제조).Mitsui Cytec Co., Ltd. Methoxymethyl type melamine compound (trade name: Cymel (registered trademark) 300, copper 301, copper 303, copper 350), butoxymethyl type melamine compound (trade name: Mycoat (registered trademark) 506, 508), Sanwa Chemical Co., Ltd. Methoxymethyl type melamine compound (trade name: Nickarak (registered trademark) MW-30, Dong MW-22, Dong MW-11, Dong MW-100LM, Dong MS-001, Dong MX- 002, copper MX-730, copper MX-750, copper MX-035), butoxymethyl type melamine compound (trade name: Nikalac (registered trademark) MX-45, copper MX-410, copper MX-302), Cymel (registered trademark) 303 (manufactured by Mitsui Cytech Co., Ltd.).

가교제 (C1) 의 사용량은, 질량비로, (A)+(B)+(C1)+(C2)+(D) 의 합계에 대하여 8 % 이상이 바람직하고, 10 % 이상이 보다 바람직하고, 11 % 이상이 더욱 바람직하다. 또, 이러한 사용량은 25 % 이하가 바람직하고, 20 % 이하가 보다 바람직하고, 18 % 이하가 더욱 바람직하다. 사용량은 8 ∼ 25 % 의 범위가 바람직하고, 10 ∼ 20 % 의 범위가 더욱 바람직하고, 11 ∼ 18 % 의 범위가 특히 바람직하다. 가교제 (C1) 의 사용량이 이 범위에 있음으로써, 본 발명의 효과를 효과적으로 발휘할 수 있다.The amount of the crosslinking agent (C1) used is preferably 8% or more, more preferably 10% or more, based on the total of (A)+(B)+(C1)+(C2)+(D), in mass ratio, 11 % or more is more preferable. Moreover, as for this usage-amount, 25 % or less is preferable, 20 % or less is more preferable, and 18 % or less is still more preferable. The usage-amount is preferably in the range of 8 to 25%, more preferably in the range of 10 to 20%, particularly preferably in the range of 11 to 18%. When the usage-amount of a crosslinking agent (C1) exists in this range, the effect of this invention can be exhibited effectively.

<SH 기를 갖는 가교제 (C2)><Crosslinking agent having SH group (C2)>

SH 기를 갖는 가교제 (C2) 를 사용함으로써, 발잉크제와 수소 결합과 같은 상호 작용이 있어, 현상에서의 현상액 내성이 향상되고, 본 발명의 포지티브형 감광성 수지 조성물의 발액성이 크게 향상된다.By using the crosslinking agent (C2) which has an SH group, there exists interaction like an ink repellent agent and a hydrogen bond, the developing solution tolerance in image development improves, and the liquid repellency of the positive photosensitive resin composition of this invention improves significantly.

SH 기를 갖는 가교제 (C2) 의 구체예는 이하에 나타내지만, SH 기를 갖는 가교제 (C2) 는 이들에 한정되지 않는다. SH 기를 갖는 가교제 (C2) 로는 예를 들면, 1,4-비스(3-메르캅토프로필옥시)부탄, 1,4-비스(3-메르캅토부티릴옥시)부탄, 펜타에리트리톨테트라키스(3-메르캅토부티레이트), 펜타에리트리톨테트라키스(3-메르캅토프로필레이트), 1,3,5-트리스(3-메르캅토부틸옥시에틸)-1,3,5-트리아진-2,4,6(1H,3H,5H)-트리온, 1,2-에탄디티올, 1,3-프로판디티올, 1,6-헥산디티올, 1,12-도데칸디티올, 1,2-비스-2-메르캅토에틸티오에탄, 1,2-비스-3-메르캅토프로필티오에탄, 1,3-비스-2-메르캅토에틸티오프로판, 1,4-비스-2-메르캅토에틸티오부탄, 1,6-비스-2-메르캅토에틸티오헥산, 비스-2-(2-메르캅토에틸티오)에틸술파이드, 1,4-시클로헥산디티올, 비스-2-메르캅토에톡시메탄, 1,2-비스-2-메르캅토에톡시에탄, 비스-2-(2-메르캅토에톡시)에틸에테르, 1,4-벤젠디티올, 1,3-벤젠디티올, 1,2-벤젠디티올, 4-t-부틸-1,2-벤젠디티올, 1,2-비스(메르캅토메틸렌)벤젠, 1,3-비스(메르캅토메틸렌)벤젠, 1,4-비스(메르캅토메틸렌)벤젠, 1,2-비스(메르캅토에틸렌)벤젠, 1,3-비스(메르캅토에틸렌)벤젠, 1,4-비스(메르캅토에틸렌)벤젠, 1,2-비스(2-메르캅토에틸렌티오)벤젠, 1,3-비스(2-메르캅토에틸렌티오)벤젠, 1,4-비스(2-메르캅토에틸렌티오)벤젠, 1,2-비스(2-메르캅토에틸렌티오메틸렌)벤젠, 1,3-비스(2-메르캅토에틸렌티오메틸렌)벤젠, 1,4-비스(2-메르캅토에틸렌티오메틸렌)벤젠, 1,2-비스(메르캅토에틸렌옥시)벤젠, 1,3-비스(메르캅토에틸렌옥시)벤젠, 1,4-비스(메르캅토에틸렌옥시)벤젠, 4,4'-디티오페놀, 4,4'-비페닐디티올, 1,3,5-트리메르캅토벤젠, 트리메르캅토에틸이소시아누레이트, 펜타에리트리톨테트라티오글리콜레이트, 펜타에리트리톨트리티오글리콜레이트 등을 들 수 있다.Specific examples of the crosslinking agent (C2) having an SH group are shown below, but the crosslinking agent (C2) having an SH group is not limited to these. Examples of the crosslinking agent (C2) having an SH group include 1,4-bis(3-mercaptopropyloxy)butane, 1,4-bis(3-mercaptobutyryloxy)butane, pentaerythritoltetrakis(3). -mercaptobutyrate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptopropylate), 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxyethyl)-1,3,5-triazine-2,4, 6(1H,3H,5H)-trione, 1,2-ethanedithiol, 1,3-propanedithiol, 1,6-hexanedithiol, 1,12-dodecanedithiol, 1,2-bis- 2-mercaptoethylthioethane, 1,2-bis-3-mercaptopropylthioethane, 1,3-bis-2-mercaptoethylthiopropane, 1,4-bis-2-mercaptoethylthiobutane, 1,6-bis-2-mercaptoethylthiohexane, bis-2-(2-mercaptoethylthio)ethyl sulfide, 1,4-cyclohexanedithiol, bis-2-mercaptoethoxymethane, 1 ,2-bis-2-mercaptoethoxyethane, bis-2-(2-mercaptoethoxy)ethyl ether, 1,4-benzenedithiol, 1,3-benzenedithiol, 1,2-benzenedithi Ol, 4-t-butyl-1,2-benzenedithiol, 1,2-bis(mercaptomethylene)benzene, 1,3-bis(mercaptomethylene)benzene, 1,4-bis(mercaptomethylene) Benzene, 1,2-bis(mercaptoethylene)benzene, 1,3-bis(mercaptoethylene)benzene, 1,4-bis(mercaptoethylene)benzene, 1,2-bis(2-mercaptoethylenethio ) Benzene, 1,3-bis (2-mercaptoethylene thio) benzene, 1,4-bis (2-mercapto ethylene thio) benzene, 1,2-bis (2-mercapto ethylene thiomethylene) benzene, 1 ,3-bis(2-mercaptoethylenethiomethylene)benzene, 1,4-bis(2-mercaptoethylenethiomethylene)benzene, 1,2-bis(mercaptoethyleneoxy)benzene, 1,3-bis( Mercaptoethyleneoxy)benzene, 1,4-bis(mercaptoethyleneoxy)benzene, 4,4'-dithiophenol, 4,4'-biphenyldithiol, 1,3,5-trimercaptobenzene, trimercaptoethyl isocyanurate, pentaerythritol tetrathioglycolate, pentaerythritol trithioglycolate, and the like.

또 SH 기를 갖는 가교제 (C2) 로서, 예를 들면 다음의 구조를 갖는 화합물을 들 수 있다.Moreover, as a crosslinking agent (C2) which has an SH group, the compound which has the following structure is mentioned, for example.

HS-(CH2CH2S)n-H 〔n 은 1 ∼ 4 의 정수를 나타낸다.〕HS-(CH 2 CH 2 S) n -H [n represents an integer of 1 to 4.]

HS-(CH2CH2S)m-CH2-C6H6-CH2-(S-CH2CH2)m-SH 〔상기 m 은 0 ∼ 3 의 정수를 나타낸다.〕HS-(CH 2 CH 2 S) m -CH 2 -C 6 H 6 -CH 2 -(S-CH 2 CH 2 ) m -SH [wherein m represents an integer of 0 to 3]

HS-C6H6-S-C6H6-SHHS-C 6 H 6 -SC 6 H 6 -SH

이들 화합물 중에서, 가교제 (C2) 는, 분자 중, SH 기를 2 ∼ 4 개 갖는 화합물이 바람직하고, 특히 바람직하게는 SH 기를 3 개 갖는 화합물이다.Among these compounds, the crosslinking agent (C2) is preferably a compound having 2 to 4 SH groups in the molecule, and particularly preferably a compound having 3 SH groups.

가교제 (C2) 의 사용량은, 질량비로, (A)+(B)+(C1)+(C2)+(D) 의 합계에 대하여 4 % 이상이 바람직하고, 5 % 이상이 보다 바람직하고, 6 % 이상이 더욱 바람직하다. 또, 이러한 사용량은 19 % 이하가 바람직하고, 15 % 이하가 보다 바람직하고, 12 % 이하가 더욱 바람직하다. 사용량은 4 ∼ 19 % 의 범위가 바람직하고, 5 ∼ 15 % 의 범위가 더욱 바람직하고, 6 ∼ 12 % 의 범위가 특히 바람직하다. 가교제 (C2) 의 사용량이 이 범위에 있음으로써, 본 발명의 효과를 효과적으로 발휘할 수 있다.The amount of the crosslinking agent (C2) used is preferably 4% or more, more preferably 5% or more, based on the total of (A)+(B)+(C1)+(C2)+(D) in mass ratio, 6 % or more is more preferable. Moreover, 19 % or less of this usage-amount is preferable, 15 % or less is more preferable, and 12 % or less is still more preferable. The amount used is preferably in the range of 4 to 19%, more preferably in the range of 5 to 15%, particularly preferably in the range of 6 to 12%. When the usage-amount of a crosslinking agent (C2) exists in this range, the effect of this invention can be exhibited effectively.

<F 원자를 갖는 발잉크제 (D)><Ink repellent agent having F atom (D)>

발잉크제 (D) 는, 본 발명의 포지티브형 감광성 수지 조성물로 제작한 격벽에 잉크를 튕겨내는 기능을 부여한다. 그 때문에 본 발명의 발잉크제 (D) 는 F 원자를 갖고, 적당한 소수성과 친수성을 갖는다.Ink repellent agent (D) provides the function which repels ink to the partition produced with the positive photosensitive resin composition of this invention. Therefore, the ink repellent agent (D) of this invention has an F atom, and has moderate hydrophobicity and hydrophilicity.

F 원자를 갖는 발잉크제 (D) 로는, F 원자를 갖는 한 통상적으로 포지티브형 감광성 수지 조성물에 사용되는 발잉크제로부터 선택할 수 있다.As the ink repellent agent (D) which has an F atom, as long as it has an F atom, it can select from the ink repellent agent normally used for a positive photosensitive resin composition.

바람직한 구체예로서, 예를 들면 아크릴의 공중합체 및 실리콘 골격을 갖는 수지를 들 수 있다. 발잉크제 (D) 가 이들을 함유함으로써, 발액성과 현상 잔사 저감 효과가 우수하다.Preferred specific examples include acrylic copolymers and resins having a silicone skeleton. When the ink repellent agent (D) contains these, it is excellent in liquid repellency and the image development residue reduction effect.

또, 보다 바람직한 구체예로서 이하에 기재된 발잉크제를 들 수 있다.Moreover, the ink repellent agent described below is mentioned as a more preferable specific example.

일본 특허공보 제4609587호, 일본 특허공보 제4905563호, 일본 특허공보 제5152332호, 일본 특허공보 제5173543호, 일본 특허공보 제5466375호, 일본 특허공보 제5338258호, 국제 공개 제2013/024764호, 국제 공개 제2013/133392호, 일본 특허공보 제5516484호, 국제 공개 제2016/088757호, 및 국제 공개 제2019/156000호에 기재된 F 원자를 갖는 발잉크제.Japanese Patent Publication No. 4609587, Japanese Patent Publication No. 4905563, Japanese Patent Publication No. 5152332, Japanese Patent Publication No. 5173543, Japanese Patent Publication No. 5466375, Japanese Patent Publication No. 5338258, International Publication No. 2013/024764, The ink repellent agent which has F atom as described in International Publication No. 2013/133392, Japanese Patent Publication No. 5516484, International Publication No. 2016/088757, and International Publication No. 2019/156000.

그 중에서도, 발잉크제 (D) 는, 광이나 열에 의해 가교할 수 있는 성분을 갖는 것이 바람직하다. 상기의 성분으로서, 구체적으로는 예를 들어, 특정한 관능기를 포함하는 성분 등을 들 수 있다. 이러한 관능기로는, (메트)아크릴로일기, 에폭시기, 글리시딜기, 티올기를 들 수 있다.Especially, it is preferable that an ink repellent agent (D) has a component which can be bridge|crosslinked by light or a heat|fever. As said component, the component etc. which contain a specific functional group are specifically mentioned, for example. As such a functional group, a (meth)acryloyl group, an epoxy group, a glycidyl group, and a thiol group are mentioned.

또, 발잉크제 (D) 는, 발잉크제의 조성물 중의 안정성을 높이기 위해, 상용성 향상 성분을 갖는 것이 바람직하다. 상용성 향상 성분으로서 구체적으로는, 특정한 관능기를 포함하는 성분 등을 들 수 있다. 이러한 관능기로는, 알킬기, 페닐기, 페닐아미노기, 하이드록시페닐기 등을 들 수 있다.Moreover, in order for an ink repellent agent (D) to improve stability in the composition of an ink repellent agent, it is preferable to have a compatibility improvement component. Specific examples of the compatibility improving component include a component containing a specific functional group. As such a functional group, an alkyl group, a phenyl group, a phenylamino group, a hydroxyphenyl group, etc. are mentioned.

발잉크제 (D) 의 사용량은, 질량비로, (A)+(B)+(C1)+(C2)+(D) 의 합계에 대하여 0.1 ∼ 2.0 % 의 범위에 있는 것이 바람직하고, 0.5 ∼ 1.0 % 의 범위에 있는 것이 특히 바람직하다. 사용량이 이 범위에 있음으로써, 본 발명의 효과를 효과적으로 발휘할 수 있다.It is preferable that the usage-amount of ink repellent agent (D) exists in 0.1 to 2.0% of range with respect to the sum total of (A)+(B)+(C1)+(C2)+(D) by mass ratio, and 0.5- It is particularly preferable to be in the range of 1.0%. When the usage-amount exists in this range, the effect of this invention can be exhibited effectively.

[임의 성분][Optional Ingredients]

<용매 (E)><Solvent (E)>

본 발명의 포지티브형 감광성 수지 조성물은, 용매 (E) 를 함유해도 된다.The positive photosensitive resin composition of the present invention may contain a solvent (E).

용매 (E) 를 함유함으로써, 포지티브형 감광성 수지 조성물의 도공성, 기판에 대한 밀착성, 안정성이 우수하다.By containing a solvent (E), it is excellent in the coatability of a positive photosensitive resin composition, the adhesiveness to a board|substrate, and stability.

용매 (E) 는, 포지티브형 감광성 수지 조성물에 사용되는 공지된 용매를 사용할 수 있다. 구체적으로는 알코올류, 에테르류, 방향족류, 및 탄화수소를 들 수 있지만, 용매 (E) 는 이들에 한정되지 않는다.As a solvent (E), the well-known solvent used for a positive photosensitive resin composition can be used. Specific examples thereof include alcohols, ethers, aromatics, and hydrocarbons, but the solvent (E) is not limited thereto.

포지티브형 감광성 수지 조성물의 도막의 균일성이 높아지고, 또한 층 분리가 우수하기 때문에, 용매 (E) 에 있어서의 비점이 170 ℃ 이상인 화합물의 비율이 10 ∼ 70 % 의 범위인 것이 바람직하고, 20 ∼ 60 % 의 범위가 더욱 바람직하고, 30 ∼ 50 % 의 범위가 특히 바람직하다. 비점이 170 ℃ 이상인 화합물의 비율이 이 범위에 있음으로써, 경화물 표면의 발액성에 관하여, 보다 효과적으로 발휘할 수 있다.Since the uniformity of the coating film of the positive photosensitive resin composition becomes high and it is excellent in layer separation, it is preferable that the ratio of the compound whose boiling point in a solvent (E) is 170 degreeC or more is 10-70% of range, 20- The range of 60% is more preferable, and the range of 30-50% is especially preferable. When the ratio of the compound with a boiling point of 170 degreeC or more exists in this range, it can exhibit more effectively with respect to the liquid repellency of the surface of hardened|cured material.

<그 밖의 성분><Other ingredients>

본 발명의 포지티브형 감광성 수지 조성물은, 필요에 따라 본 발명의 효과를 손상시키지 않는 범위에서, 열경화제, 열경화 촉진제, 착색제, 실란 커플링제, 미립자, 증점제, 가소제, 소포제, 레벨링제, 크레이터링 방지제 및 자외선 흡수제 등, 포지티브형 감광성 수지 조성물로서 첨가되는 공지된 성분을 첨가해도 된다. 보다 구체적으로는, 일본 특허공보 제6098635호, 단락 0080 ∼ 0095 에 기재된 성분 등을 추가해도 된다.The positive photosensitive resin composition of the present invention, if necessary, as long as the effects of the present invention are not impaired, a thermosetting agent, a thermosetting accelerator, a colorant, a silane coupling agent, fine particles, a thickener, a plasticizer, an antifoaming agent, a leveling agent, a repelling agent You may add well-known components added as a positive photosensitive resin composition, such as an inhibitor and a ultraviolet absorber. More specifically, you may add the component etc. of Unexamined-Japanese-Patent No. 6098635 and Paragraph 0080-0095.

[포지티브형 감광성 수지 조성물의 조제 방법][Method for preparing positive photosensitive resin composition]

포지티브형 감광성 수지 조성물은, 알칼리 가용성 수지 (A), 감광제 (B), 가교제 (C1), 가교제 (C2) 및 발잉크제 (D), 그리고 필요에 따라 용매 (E) 및 그 밖의 성분을 균일해질 때까지 혼합허여 조제된다.The positive photosensitive resin composition comprises an alkali-soluble resin (A), a photosensitive agent (B), a crosslinking agent (C1), a crosslinking agent (C2) and an ink repellent agent (D), and optionally a solvent (E) and other components uniformly It is prepared by mixing it until it dissolves.

본 발명의 포지티브형 감광성 수지 조성물은, 유기 EL 소자, 마이크로 렌즈, 컬러 필터, 및 유기 TFT 어레이 등의 광학 소자에 바람직하게 사용되지만, 용도는 이들에 한정되지 않는다. 예를 들어, 본 발명의 포지티브형 감광성 수지 조성물을 경화한 경화물을 상기 용도 등에 바람직하게 사용할 수 있다.Although the positive photosensitive resin composition of this invention is used suitably for optical elements, such as an organic electroluminescent element, a microlens, a color filter, and an organic TFT array, a use is not limited to these. For example, the hardened|cured material which hardened|cured the positive photosensitive resin composition of this invention can be used suitably for the said use etc.

일례로서 유기 EL소자의 제조 방법을 나타낸다.As an example, the manufacturing method of an organic electroluminescent element is shown.

유리 등의 투명 기판에 주석 도프 산화인듐 (ITO) 등의 투명 전극을 스퍼터법 등에 의해 제막하고, 필요에 따라, 원하는 패턴으로 투명 전극을 에칭한다. 다음으로, 본 발명의 포지티브형 감광성 수지 조성물을 사용하여 격벽을 형성하고, 도트의 친잉크화 처리를 한 후, 잉크젯법을 이용하여 도트에 정공 수송 재료, 발광 재료의 용액을 순차 도포하고, 건조하여, 정공 수송층 및 발광층을 형성한다. 그 후, 알루미늄 등의 전극을 증착법 등에 의해 형성함으로써, 유기 EL 소자의 화소가 얻어진다.A transparent electrode such as tin-doped indium oxide (ITO) is formed on a transparent substrate such as glass by a sputtering method or the like, and the transparent electrode is etched in a desired pattern if necessary. Next, a barrier rib is formed using the positive photosensitive resin composition of the present invention, and after the ink-philic treatment of the dots is performed, a solution of a hole transport material and a light emitting material is sequentially applied to the dots using an inkjet method, followed by drying. Thus, a hole transport layer and a light emitting layer are formed. Then, the pixel of an organic electroluminescent element is obtained by forming electrodes, such as aluminum, by vapor deposition or the like.

실시예Example

실시예 및 비교예에 의해 본 발명을 구체적으로 설명하지만, 본 발명의 효과를 발휘하는 한에 있어서 실시형태를 적절히 변경할 수 있다. 예 1 ∼ 예 8 은 실시예이고, 예 9 ∼ 예 14 는 비교예이다.Although an Example and a comparative example demonstrate this invention concretely, as long as the effect of this invention is exhibited, embodiment can be changed suitably. Examples 1 to 8 are Examples, and Examples 9 to 14 are comparative examples.

<측정 조건·평가 조건><Measurement conditions/Evaluation conditions>

[평가용 샘플][Sample for evaluation]

표 1 에 기재된 포지티브형 감광성 수지 조성물을 사용하여, ITO 기판 상에 경화막을 제작하고 평가용 샘플로 하였다. 평가용 샘플로서 평가용 샘플 1 과 2 의 2 종류를 준비하였다.Using the positive photosensitive resin composition of Table 1, the cured film was produced on the ITO board|substrate, and it was set as the sample for evaluation. Two types of evaluation samples 1 and 2 were prepared as evaluation samples.

평가용 샘플 1 을 사용하여 패터닝성을 평가하였다.Sample 1 for evaluation was used to evaluate patternability.

평가용 샘플 2 를 사용하여 발액성을 평가하였다.The liquid repellency was evaluated using the sample 2 for evaluation.

[평가용 샘플 1][Sample 1 for evaluation]

ITO 기판 (주식회사 쿠라모토 제작소 제조의 저항값 10 Ω/sq 이하의 ITO 품, 치수 7.5 cm × 7.5 cm × 0.7 mm) 을 에탄올 중에서 초음파 세정 (30 초간) 하였다. 이어서 5 분간 자외선/오존 세정 (장치 : PL7-200 센 엔지니어링 주식회사 제조) 을 실시하였다.An ITO substrate (ITO product with a resistance value of 10 Ω/sq or less, dimensions of 7.5 cm × 7.5 cm × 0.7 mm manufactured by Kuramoto Corporation) was ultrasonically cleaned (30 seconds) in ethanol. Then, ultraviolet/ozone cleaning (apparatus: PL7-200 by Sen Engineering Co., Ltd.) was performed for 5 minutes.

상기 세정 후의 유리 기판 표면에, 스피너 (미카사 주식회사 제조 IH-DX2) 를 사용하여, 포지티브형 감광성 수지 조성물을 회전수 610 rpm 으로 10 초간 유지하여, 스핀 도포하였다. 다음으로, 100 ℃ 에서 2 분간 핫 플레이트 상에서 건조시켜, 막두께 1.3 ㎛ 의 막을 형성하였다.Using a spinner (IH-DX2 manufactured by Mikasa Co., Ltd.) on the surface of the glass substrate after washing, the positive photosensitive resin composition was held at a rotation speed of 610 rpm for 10 seconds, and spin-coated. Next, it dried on a hot plate at 100 degreeC for 2 minutes, and formed the film|membrane with a film thickness of 1.3 micrometers.

얻어진 막의 표면을, 이하의 조건으로 노광하였다.The surface of the obtained film|membrane was exposed on condition of the following.

<조건><condition>

[포토마스크] : 20 mm × 20 mm 의 범위에 이하의 패턴으로 차광부를 갖는다.[Photomask]: It has a light-shielding part in the following pattern in the range of 20 mm x 20 mm.

차광부의 형상 : 각각 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 12, 14, 16, 18, 20, 30, 40, 50 ㎛ × 1000 ㎛Shape of light shielding part: 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 12, 14, 16, 18, 20, 30, 40, 50 μm × 1000 μm, respectively

패턴 간격 : 50 ㎛Pattern spacing: 50 μm

[램프] : 우시오 전기사 제조 USH-255BY, 365 nm 환산의 노광 파워 (노광 출력) 가 25 mW/cm2 [Lamp]: USH-255BY manufactured by Ushio Electric Co., Ltd., 365 nm equivalent exposure power (exposure output) is 25 mW/cm 2

[조사 조건] : 330 nm 이하의 광은 커트하고, 그 때 50 ㎛ 의 간극을 두고, 25 mW/cm2 로 8 초간 조사하였다.[Irradiation conditions]: Light of 330 nm or less was cut, and at that time, a gap of 50 µm was left and irradiated at 25 mW/cm 2 for 8 seconds.

노광 후의 처리가 행해진 ITO 기판을 테트라메틸수산화암모늄 수용액 (0.4 질량%) 에 40 초간 침지하여 현상하였다. 그 후, 수세와 건조를 실시하였다.The ITO substrate subjected to the post-exposure treatment was immersed in an aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide (0.4 mass%) for 40 seconds to develop. Then, water washing and drying were performed.

건조 후의 기판을 핫 플레이트 상에서 가열 (220 ℃, 60 분간) 하여, 특정한 패턴을 갖는 경화막을 갖는 ITO 기판을 제작하였다 (평가용 샘플 1).The board|substrate after drying was heated (220 degreeC, 60 minutes) on the hotplate, and the ITO board|substrate which has a cured film which has a specific pattern was produced (sample 1 for evaluation).

[평가용 샘플 2][Sample 2 for evaluation]

노광하는 공정을 제외한 것 이외에는, 평가용 샘플 1 과 동일한 방법으로 평가용 샘플 2 를 제작하였다.Sample 2 for evaluation was produced in the same manner as in Sample 1 for evaluation except for the step of exposing.

[패터닝성][Patternability]

평가용 샘플 1 에 대하여, 패터닝성의 평가로서로서 테이퍼각와 스컴의 양을 평가하였다.About the sample 1 for evaluation, the taper angle and the quantity of a scum were evaluated as patterning property evaluation.

[테이퍼각][Taper Angle]

분석 장치로서 FEI 의 XL-30ESEM 을 사용하여, 평가용 샘플 1 의 경화막의 단면 화상을 촬영하였다. 그리고 경화막의 30 ㎛ 의 폭의 패턴에 대해 단면 화상으로부터 테이퍼각를 측정하였다.The cross-sectional image of the cured film of the sample 1 for evaluation was image|photographed using XL-30ESEM of FEI as an analysis apparatus. And the taper angle was measured from the cross-sectional image about the 30 micrometers width pattern of a cured film.

<단면 화상으로부터의 테이퍼각의 측정 방법><Measuring method of taper angle from cross-sectional image>

경화막의 두께가 막두께의 최대값의 80 % 의 높이가 되는 부분에서 접선을 그어, 접선과 기판면이 만드는 각도를 테이퍼각 (θ) 으로 하였다 (도 1).A tangent line was drawn in the portion where the thickness of the cured film became the height of 80% of the maximum value of the film thickness, and the angle between the tangent line and the substrate surface was defined as the taper angle (θ) ( FIG. 1 ).

평가는 이하의 기준으로 실시하였다.Evaluation was performed on the following reference|standard.

우수 : 25°≤ θ 였다.Excellent: 25°≤θ.

양호 : 20°≤ θ < 25°였다.Good: 20°≤θ<25°.

불가 : θ < 20°였다.Impossible: θ < 20°.

우수 또는 양호를 합격으로 하였다.Excellent or good was set as pass.

[스컴][Scum]

테이퍼각의 측정에서 사용한 단면도로부터 스컴량을 측정하였다.The amount of scum was measured from the cross-sectional view used in the measurement of the taper angle.

먼저 기판면과 경화막이 접하는 단부를 A 점으로 하였다. 다음으로 경화막의 두께가 막두께의 최대값의 50 % 의 높이가 되는 부분에서 접선을 그어, 접선과 기판면이 교차하는 점을 B 점으로 하였다. A 점과 B 점의 거리를 d 로 하고, d 를 이용하여 스컴량을 이하의 기준으로 평가하였다 (도 2).First, the edge part which a board|substrate surface and a cured film contact|connected was made into A point. Next, a tangent line was drawn in the part used as the height of 50% of the maximum value of a film thickness, and the thickness of a cured film made the point where a tangent line and a board|substrate surface cross|intersect B point. The distance between point A and point B was set to d, and the amount of scum was evaluated using d based on the following criteria (FIG. 2).

양호 : 2 ㎛ > d 였다.Good: It was 2 micrometers > d.

불가 : 2 ㎛ ≤ d 였다.Impossible: 2 μm ≤ d.

양호를 합격으로 하였다.Good was set as pass.

[발액성][Liquid repellency]

평가용 샘플 2 에 대하여, θ/2 법에 의해 PGMEA 에 대한 접촉각을 측정하였다. 평가는 이하의 기준이다.With respect to the sample 2 for evaluation, the contact angle with respect to PGMEA was measured by the (theta)/2 method. Evaluation is based on the following criteria.

우수 : 접촉각이 45°이상이었다.Excellent: The contact angle was 45° or more.

양호 : 접촉각이 40°이상, 45°미만이었다.Good: The contact angle was 40 degrees or more and less than 45 degrees.

가능 : 접촉각이 30°이상, 40°미만이었다.Possible: The contact angle was more than 30° and less than 40°.

불가 : 접촉각이 30°미만이었다.Impossible: The contact angle was less than 30°.

우수, 양호, 가능을 합격으로 하였다.Excellent, good, and possible were set as pass.

[실시예 및 비교예][Examples and Comparative Examples]

표 1 에 기재된 비율로 원료를 균일해질 때까지 교반 (약 30 분) 하여, 포지티브형 감광성 수지 조성물을 조제하였다. 이것을 사용하여 각각 평가용 샘플 1, 2 를 제작하고 평가를 실시하였다. 평가 결과를 표 1 에 나타낸다. 또한, 표 중의 공란은 해당 열의 성분을 함유하지 않은 것을 나타낸다.At the ratio of Table 1, the raw material was stirred (about 30 minutes) until it became uniform, and the positive photosensitive resin composition was prepared. Using this, samples 1 and 2 for evaluation were respectively produced and evaluated. Table 1 shows the evaluation results. In addition, a blank in a table|surface indicates that the component of the said column is not contained.

Figure pct00001
Figure pct00001

<약어의 설명><Explanation of abbreviations>

[알칼리 가용성 수지 (A)][Alkali-soluble resin (A)]

A1 : N-페닐말레이미드, 벤질메타크릴레이트, 아크릴산의 공중합체 (Mw 6200, 고형분 20 %) A1: copolymer of N-phenylmaleimide, benzyl methacrylate, and acrylic acid (Mw 6200, solid content 20%)

[감광제 (B)][Photosensitizer (B)]

B1 : (4-{4-[1,1-비스(4-하이드록시페닐)에틸]-α,α-디메틸벤질}페놀과 6-디아조-5,6-디하이드로-5-옥소-나프탈렌-1-술폰산의 (모노 ∼ 테트라) 에스테르)B1: (4-{4-[1,1-bis(4-hydroxyphenyl)ethyl]-α,α-dimethylbenzyl}phenol and 6-diazo-5,6-dihydro-5-oxo-naphthalene -1-sulfonic acid (mono to tetra) esters)

[N 원자를 갖는 가교제 (C1)][Crosslinking agent having N atom (C1)]

C1-1 : N-헥사 (또는 펜타 또는 테트라) 메틸올멜라민폴리 (2 ∼ 6) 알킬 (C = 1 ∼ 4) 에테르헥사메톡시메틸멜라민 단량체 (분자량 390) 96 % 이상C1-1: N-hexa (or penta or tetra) methylolmelamine poly (2 to 6) alkyl (C = 1 to 4) etherhexamethoxymethylmelamine monomer (molecular weight 390) 96% or more

C1-2 : N-헥사 (또는 펜타 또는 테트라) 메틸올멜라민폴리 (2 ∼ 6) 알킬 (C = 1 ∼ 4) 에테르헥사메톡시메틸멜라민 단량체 (분자량 390) 70 ∼ 80 % C1-2: N-hexa (or penta or tetra) methylolmelamine poly (2 to 6) alkyl (C = 1 to 4) etherhexamethoxymethylmelamine monomer (molecular weight 390) 70 to 80%

[SH 기를 갖는 가교제 (C2)][Crosslinker having SH group (C2)]

C2-1 : 1,3,5-트리스(2-(3-술파닐부타노일옥시)에틸)-1,3,5-트리아지난-2,4,6-트리온 단량체 (분자량 567) C2-1: 1,3,5-tris(2-(3-sulfanylbutanoyloxy)ethyl)-1,3,5-triazinane-2,4,6-trione monomer (molecular weight 567)

C2-2 : 펜타에리트리톨테트라키스(3-메르캅토부티레이트) 단량체 (분자량 545) C2-2: pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate) monomer (molecular weight 545)

[발잉크제 (D)][Ink repellent agent (D)]

D1 : 이하의 방법으로 합성한 것을 사용하였다.D1: What was synthesized by the following method was used.

(합성 방법) (synthesis method)

2-부타논 (415.1 g), CH2=C(CH3)COOCH2CH2(CF2)6F (81.0 g), 메타크릴산 (18.0 g), 2-하이드록시에틸메타크릴레이트 (81.0 g), 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) (5.0 g) 및 n-도데실메르캅탄 (4.7 g) 을 질소 분위기하에서 교반하면서, 50 ℃ 에서 24 시간 중합시켰다. 추가로 70 ℃ 에서 5 시간 가열하여, 중합 개시제를 불활성화하고, 공중합체의 용액을 얻었다. 공중합체는, 수평균 분자량이 5540, 질량 평균 분자량이 13200 이었다.2-butanone (415.1 g), CH 2 =C(CH 3 )COOCH 2 CH 2 (CF 2 ) 6 F (81.0 g), methacrylic acid (18.0 g), 2-hydroxyethyl methacrylate (81.0 g), 2,2'-azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) (5.0 g) and n-dodecylmercaptan (4.7 g) were polymerized at 50°C for 24 hours while stirring under a nitrogen atmosphere. Furthermore, it heated at 70 degreeC for 5 hours, the polymerization initiator was deactivated, and the solution of the copolymer was obtained. The copolymer had a number average molecular weight of 5540 and a mass average molecular weight of 13200.

이어서, 상기 공중합체의 용액 130.0 g, 1,1-(비스아크릴로일옥시메틸)에틸이소시아네이트 (33.5 g), 디부틸주석디라우레이트 (0.13 g), t-부틸-p-벤조퀴논 (1.5 g) 을 교반하면서, 40 ℃ 에서 24 시간 중합시켰다.Then, 130.0 g of a solution of the above copolymer, 1,1-(bisacryloyloxymethyl)ethyl isocyanate (33.5 g), dibutyltindilaurate (0.13 g), t-butyl-p-benzoquinone (1.5 g) was polymerized at 40°C for 24 hours while stirring.

중합물을 헥산을 사용하여 정제하고, 이어서 건조를 실시하여, 발잉크제 (D1) 65.6 g 을 얻었다.The polymer was purified using hexane, followed by drying to obtain 65.6 g of an ink repellent agent (D1).

D2 : 이하의 방법으로 합성한 것을 사용하였다.D2: What was synthesized by the following method was used.

(합성 방법) (synthesis method)

F(CF2)6CH2CH2Si(OCH3)3 (0.38 g), Si(OC2H5)4 (0.63 g), CH2=CHCOO(CH2)3Si(OCH3)3 (0.71 g) 및 PGME : 프로필렌글리콜모노메틸에테르 (7.44 g) 를 균일해질 때까지 혼합하였다.F(CF 2 ) 6 CH 2 CH 2 Si(OCH 3 ) 3 (0.38 g), Si(OC 2 H 5 ) 4 (0.63 g), CH 2 =CHCOO(CH 2 ) 3 Si(OCH 3 ) 3 ( 0.71 g) and PGME: propylene glycol monomethyl ether (7.44 g) were mixed until uniform.

혼합 용액에, 1 % 염산 수용액을 0.85 g 적하하였다. 적하 종료 후, 40 ℃ 에서 5 시간 교반하고 반응을 실시하여, 이 반응액을 발잉크제 (D2) 로 하였다.To the mixed solution, 0.85 g of 1% hydrochloric acid aqueous solution was added dropwise. After completion|finish of dripping, it reacted by stirring at 40 degreeC for 5 hours, and this reaction liquid was made into the ink repellent agent (D2).

[용매 (E)][Solvent (E)]

EDM : 디에틸렌글리콜에틸메틸에테르 (비점 176 ℃) EDM: Diethylene glycol ethyl methyl ether (boiling point 176 ℃)

EDEGAC : 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트 (비점 217 ℃) EDEGAC: Diethylene glycol monoethyl ether acetate (boiling point 217 ℃)

PGME : 프로필렌글리콜모노메틸에테르 (비점 120 ℃) PGME: propylene glycol monomethyl ether (boiling point 120 ℃)

PGMEA : 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 (비점 146 ℃) PGMEA: propylene glycol monomethyl ether acetate (boiling point 146 ℃)

본 발명을 상세하게 또한 특정 실시양태를 참조하여 설명하였지만, 본 발명의 정신과 범위를 일탈하지 않고 다양한 변경이나 수정을 가할 수 있음은 당업자에게 있어서 분명하다. 본 출원은, 2020년 3월 4일에 출원된 일본 특허출원 (특원 2020-037173호) 에 기초한 것으로서, 그 내용은 여기에 참조로서 받아들여진다.Although the present invention has been described in detail and with reference to specific embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. This application is based on the Japanese Patent Application (Japanese Patent Application No. 2020-037173) for which it applied on March 4, 2020, The content is taken in here as a reference.

Claims (9)

알칼리 가용성 수지 (A),
감광제 (B),
N 원자를 갖는 가교제 (C1),
SH 기를 갖는 가교제 (C2), 및,
F 원자를 갖는 발잉크제 (D) 를 함유하고,
질량비로 C2/C1 가 0.3 < C2/C1 < 1.0 의 범위에 있는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
alkali-soluble resin (A);
photosensitizer (B);
a crosslinking agent having an N atom (C1);
a crosslinking agent having an SH group (C2), and
containing an ink repellent agent (D) having an F atom,
The positive photosensitive resin composition in which C2/C1 is in the range of 0.3<C2/C1<1.0 by mass ratio.
제 1 항에 있어서,
상기 가교제 (C2) 의 비율이, 질량비로, (A)+(B)+(C1)+(C2)+(D) 의 합계에 대하여 4 질량% ∼ 19 질량% 의 범위에 있는, 포지티브형 감광성 수지 조성물.
The method of claim 1,
Positive photosensitivity, wherein the proportion of the crosslinking agent (C2) is in the range of 4% by mass to 19% by mass relative to the total of (A)+(B)+(C1)+(C2)+(D) in mass ratio resin composition.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 감광제 (B) 가 퀴논디아지드 화합물을 함유하는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
3. The method according to claim 1 or 2,
The positive photosensitive resin composition in which the said photosensitive agent (B) contains a quinonediazide compound.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가교제 (C1) 이 멜라민 수지인 포지티브형 감광성 수지 조성물.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The positive photosensitive resin composition in which the said crosslinking agent (C1) is a melamine resin.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가교제 (C2) 가 분자 중에 2 ∼ 4 개의 상기 SH 기를 갖는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The positive photosensitive resin composition in which the said crosslinking agent (C2) has 2-4 said SH groups in a molecule|numerator.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 알칼리 가용성 수지 (A) 의 질량 평균 분자량 (Mw) 이 500 ∼ 20000 인 포지티브형 감광성 수지 조성물.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
The positive photosensitive resin composition whose mass average molecular weights (Mw) of the said alkali-soluble resin (A) are 500-20000.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
추가로 용매 (E) 를 함유하고, 상기 용매에 있어서의 비점이 170 ℃ 이상인 화합물의 비율이 10 ∼ 70 질량% 의 범위에 있는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
7. The method according to any one of claims 1 to 6,
The positive photosensitive resin composition further contains a solvent (E), and the ratio of the compound whose boiling point in the said solvent is 170 degreeC or more is 10-70 mass %.
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 기재된 포지티브형 감광성 수지 조성물을 경화시킨 경화물.Hardened|cured material which hardened|cured the positive photosensitive resin composition in any one of Claims 1-7. 제 8 항에 기재된 경화물을 격벽으로서 포함하는 광학 소자.An optical element comprising the cured product according to claim 8 as a barrier rib.
KR1020227030030A 2020-03-04 2021-03-01 Positive photosensitive resin composition KR20220149673A (en)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2020-037173 2020-03-04
JP2020037173 2020-03-04
PCT/JP2021/007785 WO2021177253A1 (en) 2020-03-04 2021-03-01 Positive-type photosensitive resin composition

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20220149673A true KR20220149673A (en) 2022-11-08

Family

ID=77614271

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020227030030A KR20220149673A (en) 2020-03-04 2021-03-01 Positive photosensitive resin composition

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JPWO2021177253A1 (en)
KR (1) KR20220149673A (en)
CN (1) CN115176201A (en)
TW (1) TW202141188A (en)
WO (1) WO2021177253A1 (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010185991A (en) 2009-02-12 2010-08-26 Jsr Corp Radiation-sensitive composition, microlens, and method for forming the same

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013161862A1 (en) * 2012-04-27 2013-10-31 富士フイルム株式会社 Chemically amplified positive photosensitive resin composition, method for manufacturing hardened film, hardened film, organic el display device, and liquid-crystal display device
KR102411740B1 (en) * 2014-07-18 2022-06-21 에이지씨 가부시키가이샤 Negative-type photosensitive resin composition, and resin cured film, partition and optical element
JP6506184B2 (en) * 2016-01-21 2019-04-24 富士フイルム株式会社 Photosensitive resin composition, method of producing cured product, cured film, display device, and touch panel
JP7075243B2 (en) * 2018-02-28 2022-05-25 太陽ホールディングス株式会社 Photosensitive resin compositions, dry films, cured products, and electronic components

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010185991A (en) 2009-02-12 2010-08-26 Jsr Corp Radiation-sensitive composition, microlens, and method for forming the same

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2021177253A1 (en) 2021-09-10
TW202141188A (en) 2021-11-01
WO2021177253A1 (en) 2021-09-10
CN115176201A (en) 2022-10-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106031306B (en) Negative light-sensitive resin combination, resin cured film, partition wall and optical element
US7097959B1 (en) Negative resist composition
JP4517229B2 (en) Silsesquioxane-containing compound and method for producing the same
CN106662815A (en) Negative light-sensitive resin combination, resin cured film, next door and optical element
KR102392964B1 (en) Photosensitive resin composition for light-shielding film, display substrate having the light-shielding film obtained by curing the same, and manufacturing method of display substrate
KR102378162B1 (en) Negative photosensitive resin composition, partition, and optical element
KR20110132556A (en) Coloring composition, color filter, and color liquid crystal display element
JP7047652B2 (en) Radiation-sensitive resin compositions and their uses
KR20200088797A (en) Negative photosensitive resin composition
KR20100094810A (en) A colored photosensitive resin composition, color filter employing the same and the liquid crystal display device having the same
KR20200115270A (en) Photosensitive resin composition, cured material thereof, substrate with that cured material, and producing method of that substrate
KR20220149673A (en) Positive photosensitive resin composition
JP7035889B2 (en) Radiation-sensitive resin compositions and their uses
KR102285071B1 (en) Radiation-sensitive resin composition, cured film, method for forming the cured film, and electronic device
JP4466184B2 (en) Photosensitive resin composition and cured film thereof
KR101235254B1 (en) Negative resist compositions with high heat resistance
KR20220150301A (en) Positive photosensitive resin composition
KR102654731B1 (en) Radiation-sensitive resin composition and use thereof
JP7063049B2 (en) Radiation-sensitive compositions and their uses
TWI815191B (en) Resin composition and cured film
WO2024038814A1 (en) Positive-type photosensitive resin composition, partition wall, and optical element
KR20220149672A (en) Positive photosensitive resin composition
TW202409729A (en) Positive photosensitive resin composition, barrier rib and optical element
KR20230141486A (en) Photosensitve resin composition, cured film thereof, substrate with that, and manufacturing method for that substrate
KR20100081929A (en) Positive-working photosensitive resin composition, cured film, interlayer insulating film, organic el display device, and liquid crystal display device