KR20220138252A - 표면 탄성파 필터 - Google Patents

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KR20220138252A
KR20220138252A KR1020210044176A KR20210044176A KR20220138252A KR 20220138252 A KR20220138252 A KR 20220138252A KR 1020210044176 A KR1020210044176 A KR 1020210044176A KR 20210044176 A KR20210044176 A KR 20210044176A KR 20220138252 A KR20220138252 A KR 20220138252A
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엄준혁
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(주)와이솔
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Abstract

본 발명은 신호선에 의해 연결되는 한 쌍의 직렬 공진기 사이에 병렬 공진기가 접속되는 구조를 적어도 하나 이상 포함하는 표면 탄성파 필터에 있어서, 상기 병렬 공진기는 압전기판 상에 배치된 IDT(Interdigital Transducer)와, 상기 압전기판 상에 상기 IDT의 양측에 배치된 한 쌍의 반사기를 포함하고, 상기 한 쌍의 반사기 중 어느 하나는 제1 반사기와 상기 제1 반사기로부터 전기적으로 격리된 제2 반사기로 분리되어 있으며, 상기 제1 반사기와 제2 반사기 사이로 상기 2개의 직렬 공진기 사이를 연결하는 신호선(Signal Line)이 통과하고, 상기 신호선에서 상기 제1 반사기와 제2 반사기 사이로 통과하는 부분(신호선 반사부)은 반사기로 동작하기 위한 적어도 하나 이상의 전극지(electrode finger)를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 필터에 관한 것이다.

Description

표면 탄성파 필터{SURFACE ACOUSTIC WAVE FILTER}
본 발명은 표면 탄성파 필터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 공간적 효율성을 향상시킬 수 있는 표면 탄성파 필터에 관한 것이다.
표면 탄성파(Surface Acoustic Wave)는 탄성체 기판의 표면을 따라 전파되는 음향파이다. 이러한 음향파는 압전 효과의 결과물로서 전기 신호로부터 생성되고, 음향파의 전계가 기판 표면 부근에 집중되면 그 표면 바로 위에 놓인 다른 반도체의 전도 전자와 상호 작용할 수 있다. 음향파가 전파되는 매질은 전자기계 결합 계수가 높고 음향파 에너지 손실이 낮은 압전 물질이며, 반도체는 전도 전자의 이동도가 높고 최적의 저항률을 가진 물체로서 직류 전원 요소가 낮아 최적의 효율을 확보할 수 있다. 이러한 표면 탄성파와 반도체 전도 전자의 상호 작용을 이용하여 전자 회로를 전자 기계적 소자로 대체한 것이 표면 탄성파 소자 (SAW device)이다.
이때 압전성을 갖는 기판 상에 형성된 금속 전극을 IDT(Inter Digital Transducer) 전극이라 하는데 이는 압전체에 전기적 신호를 인가하고 압전체에 발생된 표면 탄성파를 전기 신호로 변환하는 기능을 수행한다. 이러한 IDT 전극은 빗살 형태로 다수의 전극지를 교대로 교차시켜 형성한다.
이러한 표면 탄성파 소자(이하, SAW 소자)는 다양한 통신 응용으로 사용될 뿐만 아니라, 이동통신 휴대폰, 기지국, GPS 장치 등의 중요한 부품으로 사용되고 있다. 가장 흔히 사용되는 SAW 소자 형태는 표면 탄성파 필터와 같은 통과대역 필터(passband filter) 및 공진기(resonator)이다. 낮은 가격뿐만 아니라 작은 사이즈와 우수한 기술적 파라미터(저손실, 선택성 등등)로 인해, SAW 소자는 다른 물리적 원리에 기반한 소자에 비하여 실질적으로 더 높은 경쟁력을 점유하고 있다.
표면 탄성파 필터는 매우 다양한 종류가 있는데, 특히 이동 통신 단말기와 같은 장치의 송신단에는 고주파측의 스커트 특성이 우수한 래더(Ladder)형 표면 탄성파 필터가 주로 사용되고 있고, 수신단에는 통과 대역의 저주파측의 스커트 특성이 우수한 DMS(Double Mode coupled Saw) 필터가 주로 사용되고 있다.
도 1은 종래의 SAW 필터 칩의 예시이다. 도 1에 도시된 바와 같이 종래에는 SAW 필터 내에서 2개 직렬 공진기(S1, S2) 사이에 병렬 공진기(P1)가 배치되는 경우, 직렬 공진기(S1, S2) 사이를 연결하는 신호선(signal line)이 병렬 공진기(P2)가 차지하고 있는 영역을 우회하여 배치되고 있었다.
따라서, 종래의 SAW 필터에서는 2개의 직렬 공진기를 연결하는 신호선이 병렬 공진기를 우회하여 배치될 수 있도록 도 1에 도시된 바와 같이 최소한의 신호선 영역의 확보가 필요하였다.
도 2는 도 1의 A 영역을 도식화 한 것으로서, SAW 필터의 병렬 공진기(P1)는 압전기판 상에 배치된 IDT(Interdigital Transducer)(1)와, 압전기판 상에 IDT(Interdigital Transducer)의 양측에 각각 배치된 제1, 제2 반사기(2, 3)을 포함하고, 제1, 제2 반사기(2, 3)는 각각 접지와 연결된다. 이때 도 2에 도시된 바와 같이 SAW 필터의 직렬 공진기(S1, S2)를 연결하는 신호선(L)이 제1 반사기(2)를 우회하도록 배치됨으로써 많은 공간을 차지하고 있다.
그러나, 이와 같이 신호선이 별도의 영역을 차지하는 것은 최근 요구되고 있는 SAW 필터 칩의 소형화 추세에 부응하지 못하고 SAW 필터의 공간 효율성을 저하시키기 때문에 문제가 되고 있었다.
이에 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 종래의 표면 탄성파 필터와 실질적으로 동일한 효과를 가지면서도 공간적 효율성을 향상시킴으로써 장치의 소형화를 가능하게 하는 표면 탄성파 필터를 제공하는데 있다
본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상술한 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 본 발명은 신호선에 의해 연결되는 한 쌍의 직렬 공진기 사이에 병렬 공진기가 접속되는 구조를 적어도 하나 이상 포함하는 표면 탄성파 필터에 있어서, 상기 병렬 공진기는 압전기판 상에 배치된 IDT(Interdigital Transducer)와, 상기 압전기판 상에 상기 IDT의 양측에 배치된 한 쌍의 반사기를 포함하고, 상기 한 쌍의 반사기 중 어느 하나는 제1 반사기와 상기 제1 반사기로부터 전기적으로 격리된 제2 반사기로 분리되어 있으며, 상기 제1 반사기와 제2 반사기 사이로 상기 한 쌍의 직렬 공진기 사이를 연결하는 신호선(Signal Line)이 통과하고, 상기 신호선에서 상기 제1 반사기와 제2 반사기 사이로 통과하는 부분(신호선 반사부)은 반사기로 동작하기 위한 적어도 하나 이상의 전극지(electrode finger)를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 필터를 제공한다.
상기 제1 반사기와 상기 제2 반사기는 각각 접지에 연결되어 있는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 신호선에 의해 연결되는 한 쌍의 직렬 공진기 사이에 병렬 공진기가 접속되는 구조를 2 이상 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 신호선 반사부의 전극지의 길이 및 폭은 상기 제1 반사기와 상기 제2 반사기의 전극지의 길이 및 폭과 동일한 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 신호선 반사부는 복수의 전극지를 포함하고, 상기 복수의 전극지 사이의 간격은 상기 제1 반사기와 상기 제2 반사기의 전극지 사이의 간격과 동일한 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 복수의 전극지의 일측 단부에 위치한 전극지와 이에 인접한 상기 제1 반사기의 전극지 사이의 간격 및 상기 복수의 전극지의 타측 단부에 위치한 전극지와 이에 인접한 상기 제2 반사기의 전극지 사이의 간격은 상기 제1 반사기와 상기 제2 반사기의 전극지 사이의 간격과 동일한 것을 특징으로 하는 할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 표면 탄성파 필터의 경우 한 쌍의 직렬 공진기를 연결하는 신호선이 병렬 공진기의 어느 한 쪽의 반사기 사이로 지나가도록 배치되고, 반사기 사이로 지나가는 신호선의 부분에 전극지가 형성되어 실질적으로 신호선이 반사기의 역할을 부분적으로 대체할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 실시예에 따른 표면 탄성파 필터의 경우 칩 내부에서 직렬 공진기를 연결하는 신호선이 병렬 공진기를 우회하면서 공간을 차지할 필요가 없으므로 종래의 표면 탄성파 필터 칩에 비해 공간적인 효율성이 향상될 수 있고 소형화가 가능한 이점이 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면 2개의 직렬 공진기 사이에 병렬 공진기가 접속되는 구조를 많이 포함하는 표면 탄성파 필터일수록 종래기술에 비해 신호선이 병렬 공진기를 우회하는 공간이 더욱 더 절약될 수 있으므로 공간적인 효율성이 현저하게 향상될 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해 될 수 있을 것이다.
도 1은 종래기술에 따른 SAW 필터 칩의 구조를 나타낸다.
도 2는 도 1의 A 영역의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 탄성파 필터의 회로 구성을 모식적으로 도시한 도면이다.
도 4는 도 3의 표면 탄성파 필터의 구조를 도시한 도면이다.
도 5는 도 4의 B 영역의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 도 5의 제1 반사기 및 제2 반사기를 확대하여 도시한 도면이다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 이하 설명 및 첨부된 도면들에서 실질적으로 동일한 구성요소들은 각각 동일한 부호들로 나타냄으로써 중복 설명을 생략하기로 한다. 또한 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 탄성파 필터의 회로 구성을 모식적으로 도시한 도면이고, 도 4는 도 3의 표면 탄성파 필터의 구조를 도시한 도면이다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 탄성파 필터는 제1 직렬 공진기(S1), 제2 직렬 공진기(S2), 병렬 공진기(P1) 및 DMS 필터(DMS)를 포함할 수 있다.
상기 제1 직렬 공진기(S1)와 제2 직렬 공진기(S2)는 표면 탄성파 공진기로서 입력단자(In)와 출력단자(Out) 사이에서 신호선(L)에 의해 직렬로 접속되어 있다.
상기 병렬 공진기(P1)는 표면 탄성파 공진기로서 일단이 제1 직렬 공진기(S1)와 제2 직렬 공진기(S2) 사이의 노드에 접속되고, 타단이 접지 전위에 접속되는 그라운드 단자(미도시)에 접속되어 있다.
도 5는 도 4의 B 영역의 구성을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 6은 도 5의 제1 반사기 및 제2 반사기를 확대하여 도시한 도면이다.
도 5 및 도 6에 일 실시예로 도시된 바와 같이, 병렬 공진기(P1)는 압전기판 상에 배치된 IDT(Interdigital Transducer)와, 압전기판 상에 상기 IDT의 양측에 배치된 좌측 반사기(R1) 및 우측 반사기(R2)를 포함하여 구성될 수 있다.
IDT 및 한 쌍의 반사기(R1, R2)는 압전기판 상에 직접적으로 형성되는 금속막에 의해 패터닝될 수 있고, 금속막은 예를 들어 Cu로 이루어지는 박막으로 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면 도 6에 도시된 바와 같이 IDT의 좌측에 배치된 좌측 반사기(R1)는 제1 반사기(R1-1)와 상기 제1 반사기로부터 전기적으로 격리된 제2 반사기(R1-2)로 분리되어 있으며, 상기 제1 반사기(R1-1)와 제2 반사기(R1-2) 사이로 제1 직렬 공진기(S1)와 제2 직렬 공진기(S2)를 연결하는 신호선(L)이 통과한다. 상기 제1 반사기(R1-1)와 상기 제2 반사기(R1-2)는 각각 접지에 연결되어 있다. 다만, 이는 하나의 실시예일뿐이므로 경우에 따라서는 좌측 반사기(R1)가 아닌 우측 반사기(R2)가 제1 반사기와 제2 반사기로 분리되고 그 사이로 신호선이 통과할 수도 있다.
상기 제1 반사기(R1-1)와 제2 반사기(R1-2) 사이로 통과하는 상기 신호선의 부분(신호선의 반사부)(L1)은 복수의 전극지(electrode finger)(LF)를 포함할 수 있다. 이 신호선 반사부(L1)에 위치하는 복수의 전극지(LF)는 제1 반사기(R1-1)와 제2 반사기(R1-2)의 전극지(F1-1, F1-2)와 실질적으로 같은 역할을 하면서 동시에 신호선으로서의 역할도 수행한다.
하나 또는 다수의 실시예에서 상기 신호선(L)의 반사부(L1)의 전극지(LF)의 형상은 제1 반사기(R1-1)의 전극지(F1-1) 및 제2 반사기(R2)의 전극지(F1-2)와 실질적으로 동일하게 형성될 수 있다. 즉, 신호선 반사부(L1)의 전극지(LF)의 폭과 길이가 제1 및 제2 반사기의 전극지(F1-1, F1-2)의 폭과 길이와 실질적으로 동일하게 형성될 수 있으며, 신호선 반사부(L1)의 전극지(LF) 사이의 간격(DL)도 제1 반사기(R1-1)의 전극지(F1-1) 사이의 간격(D1-1)과 제2 반사기(R1-2)의 전극지(F1-2) 사이의 간격(D1-2)과 동일하게 형성될 수 있다.
신호선 반사부(L1)와 제1 반사기(R1-1) 및 제2 반사기(R1-2)는 각각 전기적으로 격리되어 있으므로, 신호선 반사부의 양단의 전극지(LF)와 이에 인접한 제1 반사기(R1-1)의 전극지(F1-1) 및 제2 반사기(R1-2)의 전극지(F1-2) 사이에는 각각 간격(DLR1, DLR2)이 형성된다.
상기 신호선 반사부의 전극지(LF)와 제1 반사부의 전극지(F1-2) 및 제2 반사부의 전극지(F1-2) 사이의 간격(DLR1, DLR2)은 반사기의 특성에 영향을 줄 수 있으므로 신호선 반사부(L1)의 전극지(LF)와 이에 인접한 제1 반사부(R1-1) 및 제2 반사부(R1-2)의 전극지(F1-1, F1-2) 사이의 간격(DLR1, DLR2)은 실질적으로 제1 반사부(R1-1)와 제2 반사부(R1-2)의 전극지(F1-1, F1-2) 사이의 간격(D1-1, D1-2)과 동일하게 형성될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면 IDT의 전극지(F) 사이의 간격, 제1 반사기의 전극지 사이의 간격(D1-1), 제2 반사기의 전극지 사이의 간격(D1-2), 신호선 반사부의 전극지 사이의 간격(DL), 우측 반사기의 전극지 사이의 간격(DR2) 및 신호선 반사부와 제1/제2 반사기 사이의 간격(DLR1, DLR2)이 모두 실질적으로 동일하게 형성될 수 있다.
표면 탄성파 필터의 병렬 공진기(P1)에서 IDT의 좌측에 배치되는 제1 반사기(R1-1)의 전극지(F1-1)의 개수와 제2 반사기(R1-2)의 전극지(F1-2)의 개수 및 신호선의 반사부(L1)의 전극지(LF)의 개수는 합산하여 대략 10개 내지 20개 사이에서 정해지며, IDT의 우측에 배치되는 우측 반사기(R2)의 전극지(R2F)의 개수도 대략 10개 내지 20개 사이에서 정해질 수 있다.
IDT의 좌측에 배치되는 제1 반사기(R1-1)의 전극지(F1-1)의 개수와 제2 반사기(R1-2)의 전극지(F1-2)의 개수 및 신호선의 반사부(L1)의 전극지(LF)의 개수의 합은 IDT의 우측에 배치되는 우측 반사기(R2)의 전극지(R2F)의 개수와 동일하게 형성될 수 있지만, 이에 한정되는 것은 아니고 공진기의 크기와 종류 및 특성 등에 따라 IDT의 좌측에 배치되는 제1 반사기의 전극지(F1-1)의 개수와 제2 반사기의 전극지(F1-2)의 개수 및 신호선의 반사부의 전극지(LF)의 개수가 IDT의 우측에 배치되는 우측 반사기의 전극지(R2F)의 개수와 다르게 형성될 수도 있다.
한편, 접지와 연결되지 않은 신호선 반사기(L1)의 전극지(LF)의 개수가 접지와 연결된 제1 반사기(R1-1)의 전극지(F1-1)의 개수와 제2 반사기(R1-2)의 전극지(F1-2)의 개수에 비해 너무 많으면 노치가 발생되는 등 반사기의 특성에 부정적인 영향을 줄 수 있다. 따라서, 이와 같은 부정적인 영향을 감소시키기 위해서, 접지와 연결된 제1 반사기의 및 제2 반사기의 전극지(F1-1, F1-2)의 개수와 접지와 연결되지 않은 신호선 반사기의 전극지(LF)의 개수의 비는 2:1 이하가 되는 것이 바람직하다.
상기 본 발명의 실시예에 따르면 한 쌍의 직렬 공진기(S1, S2)와 그 사이에 접속된 병렬 공진기(P1)를 포함하는 표면 탄성파 필터에 있어서, 한 쌍의 직렬 공진기(S1, S2)를 연결하는 신호선(L)이 병렬 공진기(P1)의 어느 한 쪽의 반사기들(R1-1, R1-2) 사이로 통과하도록 배치되고, 반사기(R1-1, R1-2) 사이로 지나가는 신호선의 부분(L1)에 전극지(LF)가 형성됨으로써 실질적으로 신호선이 반사기의 전극지의 일부를 대체 할 수 있게 된다.
따라서, 본 발명의 표면 탄성파 필터는 칩 내부에서 직렬 공진기를 연결하는 신호선(L)이 병렬 공진기(P1)를 우회하기 위해 공간을 차지할 필요가 없으므로 도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같은 종래의 표면 탄성파 필터 칩에 비해 공간적인 효율성이 향상될 수 있고 소형화가 가능한 이점이 있다.
도 3 내지 도 6에 도시된 실시예에서는 표면 탄성파 필터의 경우 신호선(L)에 의해 연결되는 한 쌍의 직렬 공진기(S1, S2) 사이에 병렬 공진기(P1)가 접속된 구조를 하나만 가지고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 이러한 구조(2개의 직렬 공진기(S1, S2) 사이에 병렬 공진기(P1)가 접속되는 구조)가 2개 이상 포함되는 표면 탄성파 필터의 경우에도 각각의 구조마다 본 발명의 실시예에 따른 병렬 공진기(P1)의 구조를 적용할 수 있다. 2개의 직렬 공진기(S1, S2) 사이에 병렬 공진기(P1)가 접속되는 구조를 더 많이 포함하는 표면 탄성파 필터일수록 종래기술에 비해 신호선이 병렬 공진기를 우회하는 공간이 더욱 절약될 수 있으므로 종래기술에 비해 공간적인 효율성이 현저하게 향상될 수 있다.
이제까지 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예들을 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
본 명세서에 사용된 용어들은 특정 실시예를 설명하기 위한 목적으로만 사용되며 제한의 의도를 갖지는 않는다. 예를 들어, 예를 들어, "포함할 수 있다"와 같은 허용 문구가 본 명세서에 사용되는 경우, 적어도 하나의 실시예는 형상부(들)을 포함한다. 본 명세서에서 사용되는 단수 형태는 본문에 달리 명시되지 않는 한 복수 형태도 포함할 수 있다. 용어 "포함하다", "포함하는", 및 "갖는"은 포괄적인 용어로, 기재된 특징부, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 구성 요소가 존재함을 명시하지만, 하나 이상의 다른 구성, 정수, 단계, 동작, 요소, 구성 요소 및/또는 이들의 그룹의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다. 본 명세서에 기술된 방법 단계, 공정 및 동작은 수행 순서인 것으로 구체적으로 밝혀지지 않는 한, 반드시 언급되거나 예시된 특정한 순서로 수행되어야 하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 물론, 추가적인 단계나 대안적인 단계가 채용될 수도 있다.
요소가 다른 요소에 "접촉", "연결", 또는 "결합"되는 것으로 언급될 경우, 해당 요소는 다른 요소에 직접적으로 접촉, 연결, 또는 결합될 수 있거나, 개재 요소가 존재할 수 있다.
용어 제1, 제2, 제3 등이 다양한 요소, 구성 요소, 영역, 층 및/또는 섹션을 설명하기 위해 본 명세서에서 사용될 수 있지만, 이들 요소, 구성 요소, 영역, 층 및/또는 섹션은 이들 용어에 의해 제한되어서는 안 된다. 이들 용어는 어느 한 요소, 구성 요소, 영역, 층 또는 섹션을 다른 영역, 층 또는 섹션과 구별하기 위해서만 사용될 수 있다. 본 명세서에서 사용되는 "제1", "제2" 등과 같은 용어와 여타의 수와 관련된 용어는 본문에서 달리 명시하지 않는 한, 순서를 의미하지 않는다.
S1: 직렬 공진기
S2: 직렬 공진기
P1: 병렬 공진기
R1: 좌측 반사기
R2: 우측 반사기
R1-1: 제1 반사기
R1-2: 제2 반사기
L: 신호선
L1: 신호선 반사부

Claims (6)

  1. 신호선에 의해 연결되는 한 쌍의 직렬 공진기 사이에 병렬 공진기가 접속되는 구조를 적어도 하나 이상 포함하는 표면 탄성파 필터에 있어서,
    상기 병렬 공진기는 압전기판 상에 배치된 IDT(Interdigital Transducer)와, 상기 압전기판 상에 상기 IDT의 양측에 배치된 한 쌍의 반사기를 포함하고,
    상기 한 쌍의 반사기 중 어느 하나는 제1 반사기와 상기 제1 반사기로부터 전기적으로 격리된 제2 반사기로 분리되어 있으며,
    상기 제1 반사기와 제2 반사기 사이로 상기 한 쌍의 직렬 공진기 사이를 연결하는 신호선(Signal Line)이 통과하고,
    상기 신호선에서 상기 제1 반사기와 제2 반사기 사이로 통과하는 부분(신호선 반사부)은 반사기로 동작하기 위한 적어도 하나 이상의 전극지(electrode finger)를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 필터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 반사기와 상기 제2 반사기는 각각 접지에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 필터.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 신호선에 의해 연결되는 한 쌍의 직렬 공진기 사이에 병렬 공진기가 접속되는 구조를 2 이상 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 필터.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 신호선 반사부의 전극지의 길이 및 폭은 상기 제1 반사기와 상기 제2 반사기의 전극지의 길이 및 폭과 동일한 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 필터.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 신호선 반사부는 복수의 전극지를 포함하고, 상기 복수의 전극지 사이의 간격은 상기 제1 반사기와 상기 제2 반사기의 전극지 사이의 간격과 동일한 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 필터.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 복수의 전극지의 일측 단부에 위치한 전극지와 이에 인접한 상기 제1 반사기의 전극지 사이의 간격 및 상기 복수의 전극지의 타측 단부에 위치한 전극지와 이에 인접한 상기 제2 반사기의 전극지 사이의 간격은 상기 제1 반사기와 상기 제2 반사기의 전극지 사이의 간격과 동일한 것을 특징으로 하는 표면 탄성파 필터.
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