KR20220137752A

KR20220137752A - 액추에이터 장치 및 이러한 액추에이터 장치를 작동시키기 위한 방법

Info

Publication number: KR20220137752A
Application number: KR1020227031198A
Authority: KR
Inventors: 게오르크 바흐마이어; 볼프강 쵤스; 크리스토퍼 맥클라나한; 패트릭 프로이즈
Original assignee: 메티스모션 게엠베하
Priority date: 2020-02-14
Filing date: 2020-02-14
Publication date: 2022-10-12
Also published as: JP7471689B2; WO2021160289A1; EP4104286A1; CN115552784A; EP4104286B1; JP2023515787A; US20230059303A1

Abstract

본 발명은 적어도 하나의 출력 요소(12)를 갖는 액추에이터 장치(10)에 관한 것으로, 그 출력 요소에는 유체가 공급될 수 있고 그에 의해 출력 요소는 적어도 하나의 유지 위치로 이동 가능하다. 액추에이터(34)가 제공되고, 액추에이터(34)를 제어함으로써 펌핑 작동시에 그 액추에이터가 작동 가능하고, 펌핑 작동시에 액추에이터(34)를 제어함으로써 액추에이터(34)의 적어도 일부분(T)이 제1 방향(36) 및 제1 방향(36)에 반대인 제2 방향(38)으로 교대로 이동 가능하며, 그리하여 출력 요소(12)에 유체를 공급하기 위해 유체가 출력 요소(12)에 전달될 수 있다. 배출 채널(32)이 또한 제공되며, 유체가 그 배출 채널을 통해 출력 요소(12)로부터 배출될 수 있다.

Description

액추에이터 장치 및 이러한 액추에이터 장치를 작동시키기 위한 방법

본 발명은 액추에이터 장치 및 이러한 액추에이터 장치를 작동시키기 위한 방법에 관한 것이다.

액추에이터 장치 및 이러한 액추에이터 장치를 작동시키기 위한 방법은 일반적인 종래 기술로부터 이미 충분히 알려져 있다. 이러한 액추에이터 장치는 구동 요소 및 출력 요소를 포함할 수 있다. 구동 요소를 이동시킴으로써, 예를 들어 출력 요소의 이동이 발생할 수 있어, 구동 요소에 추가로 그리고 출력 요소에 추가로 제공된 적어도 하나의 추가 구성요소가 예를 들어, 출력 요소의 이동에 의해 이동될 수 있다. 특히 유체식 그리고 특히 유압식 전달 장치가 구동 요소와 출력 요소 사이에 제공될 수 있다. 이 전달 장치에 의해, 예를 들어, 구동 요소를 이동시키기 위해 제1 힘이 구동 요소에 가해질 수 있고, 출력 요소는 결과적으로 구성요소를 이동시키기 위해 제1 힘에 비해 더 낮거나 더 큰 제2 힘을 제공한다. 대안적으로 또는 추가적으로, 출력 요소를 이동시키기 위해 구동 요소가 이동되는 경우 출력 요소가 구동 요소보다 더 빠르게 또는 느리게 이동하는 것을 생각할 수 있다. 이로써 액추에이터 장치는 상이한 용례의 경우들에 대해 적절하게 사용될 수 있다.

출력 요소를 이동시키고 또한 결과적으로 구성요소를 이동시킴으로써 출력 요소 및 구성요소를 각각 제1 위치로부터 제1 위치와는 다른 제2 위치로 이동시키고 또한 특히 그것들을 제2 위치에 유지시키는 것이 가능하다. 출력 요소 및 구성요소를 제2 위치에 각각 유지시키기 위해, 유지력이 예를 들어, 출력 요소에 가해지거나 출력 요소가 구성요소에 유지력을 가한다. 그와 관련하여, 구성요소 및 출력 요소가 각각 제2 위치로부터 제1 위치로 또는 제1 위치를 향해 빠르게 이동할 수 있게 하는 것이 바람직할 수 있다. 이와 관련하여, 유지력을 가하거나 제공하는 것을 가능한 한 빨리, 즉 짧은 시간 내에 종료하는 것이 바람직하다.

따라서, 본 발명의 목적은, 적어도 하나의 구성요소가 액추에이터 장치에 의해 특히 유리하게 이동될 수 있게 해주는 액추에이터 장치 및 이러한 액추에이터 장치를 작동시키기 위한 방법을 제공하는 것이다.

이 목적은 청구항 1의 특징을 갖는 액추에이터 장치 및 청구항 15의 특징을 갖는 방법에 의해 달성된다. 본 발명의 편리한 개량예들을 갖는 유리한 구성들은 나머지 청구항들에 명시되어 있다.

본 발명의 제1 양태는 적어도 하나의 출력 요소를 포함하는 액추에이터 장치에 관한 것이다. 출력 요소에는 유체, 특히 가스 또는 액체, 특히 가능한 한 비압축성이거나 또는 적어도 실질적으로 비압축성인 액체가 공급될 수 있으며, 그에 따라, 그 출력 요소는 적어도 하나의 유지 위치로 이동 가능하다. 다시 말해서, 출력 요소에 유체를 공급함으로써, 그 출력 요소는 특히 병진적인 방식으로 그리고/또는 이동 방향으로 예를 들어 초기 위치로부터 이 초기 위치와는 다른 유지 위치로 이동될 수 있다. 예를 들어, 출력 요소는, 출력 하우징, 특히 출력 실린더에 예를 들어 병진 이동 가능하게 수용되는 출력 피스톤일 수 있다. 출력 피스톤에 유체를 공급함으로써, 출력 피스톤은 특히 초기 위치로부터 유지 위치로 출력 실린더에 대해 특히 병진적인 방식으로 그리고/또는 이동 방향으로 이동될 수 있다. 여기서, 유체는 예를 들어, 출력 실린더 안으로, 특히 출력 실린더에 의해 부분적으로 그리고 출력 피스톤에 의해 부분적으로 경계가 정해지는 출력 챔버 안으로 도입된다. 또한, 출력 요소는 주름형 벨로우즈 또는 스프링 벨로우즈의 벽, 특히 바닥인 것을 생각할 수 있다. 예를 들어, 유체는 주름형 벨로우즈 안으로 도입되고, 그리하여, 출력 요소가 특히 병진적인 방식으로 그리고/또는 이동 방향으로, 특히 주름형 벨로우즈의 추가 벽, 특히 추가 측벽에 대해 이동된다. 이로써, 주름형 벨로우즈가 예를 들어, 신장된다.

추가로, 액추에이터 장치는 바람직하게는 전기적으로 작동 가능한 적어도 하나의 액추에이터를 포함한다. 이 액추에이터는 액추에이터를 제어함으로써 펌핑 작동시에 작동 가능하다. 액추에이터를 제어함으로써, 특히 액추에이터가 전기적으로 작동 가능하면, 전기 에너지, 특히 전류 또는 전기 전압이 액추에이터에 인가됨을 이해할 수 있다. 이로써, 액추에이터에 전기 에너지 또는 전기 전압이 공급된다는 것이 특히 이해할 수 있다. 예를 들어, 액추에이터는 선형 액추에이터이다. 특히, 액추에이터는 예를 들어, 압전 액추에이터와 같은 솔리드-스테이트(solid-state) 액추에이터일 수 있다. 또한, 액추에이터는 예를 들어, 솔레노이드 또는 폴리머 액추에이터와 같은 다른 솔리드-스테이트 액추에이터로 형성되는 것을 생각할 수 있다. 펌핑 작동시에, 액추에이터를 제어함으로써 액추에이터의 적어도 일부분은 특히 병진적으로 제1 방향 및 제1 방향에 반대인 제2 방향으로 교대로 이동 가능하고, 그리하여, 출력 요소에 유체를 공급하기 위해 유체가 출력 요소에 전달 가능한데, 특히 출력 챔버 안으로 전달 가능하다. 액추에이터의 그 부분은 예를 들어, 슬라이더라고도 하는 전기자일 수 있으며, 이 전기자는 예를 들어, 액추에이터를 제어함으로써 왕복된다. 액추에이터가 예를 들어, 솔리드-스테이트 액추에이터, 특히 압전 액추에이터이면, 따라서, 액추에이터를 제어함으로써, 예를 들어, 액추에이터는 길이가 교대로 연장 또는 신장되고 또한 수축 또는 단축된다. 액추에이터의 연장 또는 신장시에, 액추에이터의 적어도 그 부분은 예를 들어 제1 방향으로 이동하고, 액추에이터의 길이 단축시에는 액추에이터의 적어도 그 부분은 예를 들어 제2 방향으로 이동한다.

추가로, 액추에이터 장치는 적어도 하나의 배출 채널을 포함하고, 특히 출력 요소에 유체가 공급된 후에, 유체가 그 배출 채널을 통해 출력 요소로부터 배출될 수 있다. 예를 들어, 유체는 출력 챔버로부터 배출될 수 있고, 따라서, 특히 유체가 출력 챔버 안으로 도입된 후, 따라서 출력 요소에 유체가 공급된 후, 배출 채널에 의해 출력 요소로부터 배출될 수 있다. 이와 관련하여, 배출 채널은 예를 들어, 출력 챔버에 유체적으로 연결된다.

추가로, 액추에이터 장치는 2 개의 밸브 요소들을 포함하는 밸브 장치를 포함하고, 그 밸브 요소들은 서로에 대해 이동 가능하고, 그에 따라 밸브 장치가 적어도 하나의 폐쇄된 상태와 적어도 하나의 개방 상태 사이에서 변이 가능하거나 전환 가능하다. 특히, 밸브 요소들은 예를 들어, 서로에 대해 병진 이동될 수 있으며, 그에 따라 밸브 장치를 폐쇄된 상태와 개방 상태 사이에서 변이시키거나 전환시킬 수 있다. 폐쇄된 상태에서, 배출 채널은 밸브 장치에 의해 특히 유체적으로 차단되며, 그에 따라 유체는 폐쇄된 상태에서 배출 라인을 통해 흐를 수 없거나, 또는 폐쇄된 상태에서 유체는 특히 배출 채널에 의해 출력 챔버 및 출력 요소로부터 각각 배출될 수 없거나 배출된다. 따라서, 출력 요소는 배출 채널을 차단하면서 폐쇄된 상태에서 유체에 의해 유지 위치에 유지될 수 있다. 다시 말해서, 밸브 장치가 그의 폐쇄된 상태에 있을 때, 펌핑 작동시에 유체가 예를 들어, 액추에이터에 의해, 특히 출력 챔버 안으로 펌핑되면, 이에 따라, 밸브 장치가 그의 폐쇄된 상태에 있을 때 출력 요소에 유체가 공급되고, 이리하여, 액추에이터에 의해 발생하는 유체의 점진적 펌핑으로 출력 요소가 특히 연속적으로 유지 위치로 이동된다. 그때, 밸브 장치가 여전히 폐쇄된 상태에 있는 중에 예를 들어, 펌핑이 종료되면, 배출 채널이 예를 들어, 밸브 장치에 의해 차단되고 그에 따라 출력 챔버 및 출력 요소로부터의 유체의 배출이 각기 방지되기 때문에, 출력 요소는 출력 챔버에 위치되고 출력 요소에 대해 공급되는 유체(액추에이터에 의해 이전에 펌핑되었음)에 의해 유지 위치에 유지된다. 다시 말해서, 예를 들어, 유체는 액추에이터에 의해 펌핑되어 출력 요소에 유체가 공급되기 때문에, 유체는 출력 요소에 구동력을 가하고, 출력 요소는 특히 대항력에 저항하여 출력 힘에 의해 유지 위치로 이동 가능하거나 이동되며, 그 대항력은 예를 들어 출력 요소에 작용하고 이동력에 반대이다. 배출 채널이 밸브 장치에 의해 그 안에서 폐쇄되기 때문에, 펌핑이 종료된 후에 그리고 펌핑이 행해지지 않은 상태로 유지되는 동안, 출력 요소는 유체에 의해 대항력에 저항하여 유지 위치에 유지된다. 다시 말해서, 대항력으로 인해 출력 요소가 유지 위치로부터 다시 초기 위치로 또는 초기 위치를 향해 다시 이동하지 않고, 또한 대항력로 인해 유체가 출력 챔버 밖으로 흐르거나 배출 채널을 통해 출력 요소로부터 배출되지 않는다.

그러나, 개방 상태에서, 밸브 장치가 배출 채널을 해제하여, 개방 상태에서 배출 채널이 해제한다. 따라서, 밸브 요소 및 이에 따른 밸브 장치는, 개방 상태에서 유체가 배출 채널을 통해 출력 요소들 및 출력 챔버로부터 각각 배출되는 것을 허용하고, 그리하여, 밸브 요소는, 개방 상태에서, 출력 요소가 유지 위치로부터 이 유지 위치와는 다른 적어도 하나의 회피 위치로 이동하는 것을 허용한다. 출력 요소가 유지 위치로부터 회피 위치로 이동하는 과정에서, 출력 요소는 예를 들어 초기 위치로 또는 초기 위치를 향해 이동하고, 그에 따라 회피 위치는 예를 들어, 초기 위치이거나 회피 위치는 유지 위치와 초기 위치 사이에 있다.

따라서, 예를 들어, 펌핑이 종료되고 밸브 장치가 특히 시간 기간 동안 여전히 폐쇄된 상태로 유지되면, 출력 요소의 이동이 그 시간 기간 동안 행해지지 않은 상태로 유지되거나 출력 요소는 그 시간 기간 동안 유지 위치에 있으며, 출력 요소는 그 시간 기간 동안 유체에 의해 유지 위치에 유지된다. 예를 들어, 밸브 장치가 그 시간 기간 후에 폐쇄된 상태로부터 개방 상태로 변이되면, 유체가 배출 채널을 통해 출력 요소로부터 배출될 수 있기 때문에, 대항력으로 인해 예를 들어 출력 요소가 유지 위치로부터 회피 위치로 이동된다. 예를 들어, 출력 챔버에 처음 수용된 유체의 적어도 일부가, 유지 위치로부터 회피 위치로 이동하는 출력 요소에 의해 배출 채널을 통해 작업 챔버 밖으로 이동되는데, 특히 가압된다.

따라서, 폐쇄된 상태를 조절함으로써, 출력 요소는 유지 위치로 이동될 수 있고 그 유지 위치에 유지될 수 있다. 개방 상태를 조절함으로써, 유지 위치로부터 회피 위치로의 출력 요소의 이동이 허용될 수 있는데, 왜냐하면, 그리하여, 유체가 예를 들어, 출력 챔버로부터 배출 채널을 통해 배출되고 출력 요소로부터 각각 배출될 수 있고 또한 대항력에 저항하여 출력 요소를 유지 위치에 더 이상 유지시킬 수 없기 때문이다.

그와 관련하여, 액추에이터 장치는, 액추에이터의 부분을 제1 방향으로 이동시킴으로써, 밸브 요소들 중의 제1 밸브 요소가 제1 작동 방향으로 특히 병진 이동 가능하고 그에 따라 제2 밸브 요소를 향해 이동 가능하도록 형성되며, 그리하여, 밸브 장치는 특히 개방 상태로부터 폐쇄된 상태로 변이 가능하다. 예를 들어, 제1 작동 방향은 제1 방향과 일치하거나 제1 작동 방향은 제1 방향에 평행하게 연장된다. 또한, 제1 작동 방향이 제1 방향에 대해 비스듬하게 또는 수직으로 연장되거나 제1 작동 방향이 제1 방향에 반대인 것을 생각할 수 있다.

예를 들어, 액추에이터의 그 부분은 적어도 간접적으로, 특히 직접 그리고 적어도 일시적으로, 특히 영구적으로 제1 밸브 요소에 운동 결합되며, 그에 따라, 액추에이터의 그 부분이 제1 방향으로 이동되면 제1 밸브 요소가 제1 작동 방향으로 이동된다. 또한, 액추에이터의 그 부분은 제1 방향으로의 이동 동안 제1 방향으로 제1 밸브 요소에 적어도 일시적으로 적어도 간접적으로 지지되거나 지지될 수 있는 것을 생각할 수 있으며, 그에 따라 그 일부분이 제1 방향으로 이동되면, 제1 밸브 요소는 제1 작동 방향, 특히 제1 방향으로 이동된다. 이로써, 제1 밸브 요소는 예를 들어, 개방 상태로부터 시작하여 제2 밸브 요소를 향해 이동될 수 있고, 그리하여 밸브 장치는 개방 상태로부터 폐쇄된 상태로 변이 가능하거나 변이된다. 예를 들어, 밸브 요소들은 개방 상태에서 서로 이격되어 있으며, 그에 따라 유체가 예를 들어, 밸브 요소들 사이에서 흐를 수 있고 또한 예를 들어, 밸브 장치 또는 밸브 요소들이 배치될 수 있는 배출 채널이 각기 해제된다. 폐쇄된 상태에서, 밸브 요소들은 예를 들어 특히 직접 서로에 맞닿게 되며, 그에 따라 밸브 요소들이 서로에 대해 밀봉되고 결과적으로 배출 채널을 차단하게 된다. 다시 말해, 유체는 예를 들어, 폐쇄된 상태에서 밸브 요소들 사이에서 흐를 수 없고, 그리하여 배출 채널은 예를 들어, 폐쇄된 상태에서 밸브 요소들에 의해 유체적으로 차단된다.

추가로, 액추에이터 장치는, 그 부분을 제2 방향으로 이동시킴으로써, 제1 밸브 요소가 제1 작동 방향에 반대인 제2 작동 방향으로 제2 밸브 요소로부터 멀어지게 이동할 수 있도록 형성되며, 그리하여 밸브 장치는 특히 폐쇄된 상태로부터 개방 상태로 변이 가능하다. 제2 작동 방향은 예를 들어, 제2 방향과 일치하거나 제2 방향에 평행하게 연장된다. 또한, 제2 작동 방향은 제2 방향에 대해 비스듬히 또는 수직으로 연장되거나 제2 복귀 장치에 반대인 것으로 생각할 수 있다. 특히, 작동 방향들은 서로 평행하게 연장되고 서로 반대이다. 다시 말해서, 액추에이터의 부분이 제2 방향으로 이동되면, 이에 따라 제2 작동 방향으로의 제2 밸브 요소의 이동이 발생하거나 허용되고, 그리하여 제2 밸브 요소가 제1 밸브 요소로부터 멀어지게 이동한다. 이로써, 밸브 장치가 개방된다. 액추에이터의 그 부분을 제2 방향으로 이동시킴으로써 제2 밸브 요소로부터 멀어지는 제2 작동 방향으로의 제1 밸브 요소의 이동이 발생할 수 있다는 특징에 의해, 특히, 예를 들어, 그 부분을 제2 방향으로 이동시킴으로써, 제1 밸브 요소가 제2 작동 방향으로 제2 밸브 요소로부터 멀어지게 이동할 수 있거나 또는 제1 밸브 요소는 제2 작동 방향으로 제1 밸브 요소로부터 멀어지게 적극적으로 이동되며, 그에 따라, 특히, 제1 밸브 요소는 그 부분과 함께, 특히 제1 작동 방향 및/또는 제2 작동 방향으로 이동 가능함을 이해할 수 있다. 특히, 예를 들어, 스프링과 같은 작동 장치가 제공될 수 있으며, 이 작동 장치에 의해 제1 밸브 요소는, 예를 들어 제2 방향으로 발생하는 그 부분의 이동의 결과로 제2 이동 방향으로 이동 가능하다. 예를 들어, 제1 밸브 요소는 액추에이터의 그 부분에 특히 단단히 운동 결합되며, 그에 따라 예를 들어 액추에이터의 그 부분이 제1 속도로 그리고/또는 제1 경로만큼 제1 방향 또는 제2 방향으로 이동되면, 이로써 제1 밸브 요소는 제2 속도로 그리고/또는 제2 경로만큼 제1 작동 방향 또는 제2 작동 방향으로 이동되며, 제2 속도는 제1 속도에 대응하고 그리고/또는 제2 경로는 제1 경로에 대응함을 생각할 수 있다.

액추에이터 장치는, 펌핑 작동시에 액추에이터의 그 부분을 제1 방향과 제2 방향으로 교대로 이동시키도록 형성되어, 펌핑 작동시에 밸브 장치가 특히 초기에 폐쇄된 상태로 변이된 후에, 펌핑 작동시에 발생하는 제1 방향 및 제2 방향으로의 제1 부분의 교대 이동에도 불구하고 밸브 장치는 폐쇄된 상태로 유지되며, 그리하여, 유체가 펌핑 작동시에 출력 요소에 전달 가능하거나 전달된다. 다시 말해서, 액추에이터의 적어도 그 부분은 펌핑 작동시에 제1 방향과 제2 방향으로 교대로 이동되며, 그에 따라, 예를 들어, 전술한 바와 같이, 제1 밸브 요소가 그 일부분에 운동 결합되더라도, 펌핑 작동시에, 밸브 장치가 초기에 특히 개방 상태로부터 폐쇄된 상태로 변이된 후에, 펌핑 작동시에 발생하는 제1 부분의 교대 이동에도 불구하고 밸브 장치는 유지된다. 따라서, 제1 밸브 요소가 예를 들어, 액추에이터의 그 부분과 함께 제1 방향과 제2 방향으로 교대로 왕복하더라도, 밸브 장치는 폐쇄된 상태로 유지되거나 밸브 요소들은 예를 들어, 서로에 맞닿은 상태로 유지되며, 그에 따라 배출 채널이 차단되고 또한 차단된 상태로 유지되며 그리고 펌핑 작동시에 유체가 출력 요소에, 특히 출력 챔버 안으로 전달 가능하고, 특히 출력 요소는 펌핑 작동시에 펌핑 작동에 의해 특히 초기 위치로부터 유지 위치로 이동 가능하거나 이동된다.

그와 관련하여, 액추에이터 장치는, 펌핑 작동과는 다르고 예를 들어 펌핑 작동 다음에 있는 개방 작동으로 작동 가능하고, 개방 작동시에, 제2 방향으로 발생하는 액추에이터의 그 부분의 이동으로 인해, 제2 작동 방향으로 진행하고 제2 밸브 요소로부터 멀어지는 제1 밸브 요소의 이동이 발생하고 또한 그에 따라 밸브 장치가 폐쇄된 상태로부터 개방 상태로 변이된다. 다시 말해, 개방 작동으로 인해, 밸브 장치가 개방되고, 또한 출력 요소가 예를 들어 대항력을 회피할 수 있으며 결과적으로 유지 위치로부터 회피 위치로 이동할 수 있거나 이동한다. 특히, 밸브 요소들 사이의 상대 이동은 펌핑 작동시에 행해지지 않은 상태로 유지되어 밸브 장치는 펌핑 작동시에 폐쇄된 상태로 유지되는 것이 제공된다.

액추에이터 장치에 의해, 한편으로, 특히 예를 들어, 유체에 의해 발생할 수 있거나 그 부분과 출력 요소 사이의 전달 장치를 통해 출력 요소를 펌핑 작동시에 특히 초기 위치로부터 유지 위치로 이동시키는 것이 가능하다. 그런 다음, 밸브 장치가 폐쇄된 상태로 유지되고 있을 때 펌핑 또는 펌핑 작동이 종료되면, 출력 요소는 유체에 의해 유지 위치에 유지될 수 있다. 다른 한편으로, 액추에이터 장치는, 특히 액추에이터의 대응하는 제어에 의해 또는 액추에이터의 제어를 변경함으로써만 폐쇄된 상태로부터 개방 상태로의 밸브 장치의 특히 빠른 변이를 허용한다. 따라서, 액추에이터가 예를 들어, 제1 방식으로 제어되면, 펌핑 작동이 발생한다. 그런 다음 액추에이터가 예를 들어, 제1 방식과 다른 제2 방식으로 제어되면, 펌핑 작동으로부터 개방 작동으로 변경되고 밸브 장치의 개방이 특히 빠르게 발생할 수 있다. 따라서, 밸브 장치가 예를 들어, 처음 폐쇄되어 출력 요소가 유체에 의해 처음 유지 위치에 유지되면, 그리고 예를 들어, 유지 위치로부터 회피 위치로의 액추에이터의 이동이 특히 빠르게 발생하게 하는 상황이 생기면, 폐쇄된 상태로부터 개방 상태로의 밸브 장치의 변이가 특히 빠르게 발생할 수 있다. 예를 들어, 밸브 장치가 폐쇄된 상태로 유지되어, 적어도 실질적으로 일정한 전기 전압이 액추에이터에 인가되거나 액추에이터에 특히 충분히 높은 전기 전압이 적어도 실질적으로 일정하게 또는 연속적으로 공급된다. 예를 들어, 펌핑 작동은, 제1 전기 전압 및 제1 전기 전압에 대해 낮은 제2 전기 전압(또한 0일 수 있음)이 액추에이터에 교대로 인가되게 액추에이터가 제어되도록 발생한다. 제1 전압과 제2 전압 사이에서 충분히 빠르게 교대되면, 밸브 장치가 폐쇄된 상태로 남아 있거나 유지되는 동안에, 펌핑 작동이 발생할 수 있다. 예를 들어, 펌핑 작동이 발생하도록 액추에이터가 다시 제어됨이 없이, 전기 전압(출력 요소를 유지 위치에 유지시키기 위해 액추에이터에 적어도 실질적으로 연속적으로 인가됨)이 감소되면, 그에 따라 밸브 장치는 특히 빠르게 개방될 수 있다.

예를 들어, 펌핑 작동 및 개방 작동을 특히 유리하게 실현할 수 있도록 하기 위해, 유리한 구성에서, 액추에이터 장치는 예를 들어, 적어도 제1 밸브 요소에 결합되는 감쇠기 장치를 포함하고, 이 감쇠기 장치는 바람직하게는 비선형 감쇠기로 형성된다. 비선형 감쇠기는 이하에서 다음과 같이 이해되어야 한다: 예를 들어, 제1 작동력이 감쇠기에 가해지면, 이에 따라 감쇠기는 예를 들어, 길이가 단축되거나 스웨이징(swaging)되거나 압축된다. 예를 들어, 제1 작동력에 반대되는 제2 작동력이 감쇠기에 가해지면, 이에 따라 감쇠기가 예를 들어, 연장되는데, 즉 신장되거나 팽창된다. 이로써, 감쇠기 장치는 예를 들어, 특히 비선형 감쇠기이거나 또는 비선형 감쇠기는 특히, 예를 들어, 제1 작동력이 크기 면에서 제2 작동력에 대응하는 경우, 감쇠기는 제1 속도로 길이가 단축되고 또한 제1 속도와 다른 제2 속도로 팽창되는 것을 특징으로 한다. 다시 말해, 작동력들은, 크기가 동일하더라도, 상이한 속도들이 나타나게 하는데, 감쇠기는 그 상이한 속도들로 길이가 단축되거나 팽창된다. 반대로 보면, 예를 들어, 감쇠기가 동일한 속도로 길이가 팽창 및 단축되어야 하는 경우, 제2 작동력은 제1 작동력과 달라야 하고 따라서 제1 작동력보다 크거나 작아야 한다. 감쇠기는 팽창시에 인장 하중을 받는데, 즉 인장력을 받으며, 감쇠기는 그의 길이 단축시에는 압축 응력 또는 압축력을 받는 것이 명백하다. 길이의 팽창과 단축 모두에서, 감쇠기는 감쇠를 유발하며, 여기서 감쇠는 팽창시에 인장 단계라고 하고 감쇠는 길이의 단축시에는 압축 단계라고 한다. 감쇠기는 예를 들어, 비선형 감쇠기이기 때문에, 인장 단계는 압축 단계보다 더 단단하거나 부드럽다. 다시 말해, 감쇠기를 팽창시킬 때 감쇠는 감쇠기의 길이를 단축시킬 때 보다 더 강하거나 덜 강하다. 다시 말해서, 감쇠기는, 그의 비선형성으로 인해, 감쇠기를 팽창시킬 때 제1 감쇠 또는 제1 감쇠 효과를 제공하고, 또한 감쇠기의 길이를 단축시킬 때에는 제1 감쇠와 다른 제2 감쇠 또는 제2 감쇠 효과를 제공한다. 다시 말해서, 비선형 감쇠기가 예를 들어, 제1 속도로 팽창되면, 이에 따라 제1 감쇠력이 나타나게 된다. 감쇠기가 제2 속도로 길이가 단축되면, 즉 압축되면, 이에 따라, 예를 들어 제2 감쇠력이 나타나게 된다. 감쇠기는 이제 비선형이기 때문에, 제1 속도가 제2 속도에 대응하거나 그 반대의 경우, 특히 충분히 알려진 식과 관련하여, 제1 감쇠력은 제2 감쇠력보다 크거나 작다.

F_d = dv

여기서, F_d는 각각의 감쇠력을 나타내고, v는 감쇠기가 팽창 또는 압축될 때의 각각의 속도를 나타내며, d는 감쇠기의 감쇠 상수를 나타낸다. 따라서, 감쇠기는 예를 들어, 그의 인장 단계에 대한 제1 감쇠 상수 및 그의 압축 단계에 대한, 제1 감쇠 상수와 상이한 제2 감쇠 상수를 가지며, 이는 예를 들어, 제1 감쇠 상수보다 크거나 작다.

펌핑 작동을 시작하기 위해 제공되는 제1 방향으로의 액추에이터의 그 부분의 특히 초기 제1 이동시에, 감쇠기 장치는 제1 작동 방향으로 제2 밸브 요소를 향한 제1 밸브 요소의 이동을 허용하고, 그리하여, 감쇠기 장치는 밸브 장치를 개방 상태로부터 폐쇄된 상태로 변이시킬 수 있다. 제2 방향으로의 그 부분의 다음 이동시, 감쇠기 장치는, 특히 적어도 일시적으로 밸브 장치의 개방 상태로의 변이를 일으키는, 제2 밸브 요소로부터 멀어지는 제2 작동 방향으로의 제1 밸브 요소의 이동을 방지하며, 그리하여, 감쇠기 장치는 밸브 장치를 폐쇄된 상태로 유지시킨다. 이로써, 밸브 장치가 폐쇄된 상태로 유지되고 있을 때, 액추에이터의 그 부분은 펌핑 작동시에 제1 방향과 제2 방향으로 교대로 이동 가능하다. 이 실시예로, 밸브 장치는 특히 액추에이터의 대응하는 제어 또는 액추에이터의 제어의 대응하는 변화에 의해서만 특히 간단하게 개방되고 폐쇄될 수 있는데, 즉 개방 상태와 폐쇄된 상태 사이에서 전환될 수 있다.

그와 관련하여, 펌핑 작동시에 감쇠기 장치는, 개방 상태로의 밸브 장치의 변이를 일으키는, 제2 밸브 요소로부터 멀어지는 제2 작동 방향으로의 제1 밸브 요소의 이동을 방지하고, 그에 따라 밸브 장치를 폐쇄된 상태로 유지시키고, 밸브 장치가 폐쇄된 상태로 유지되는 동안, 바람직하게는 밸브 요소들 사이의 상대 이동이 행해지지 않은 상태로 유지되는 동안, 액추에이터의 그 부분 및 그에 따라 밸브 요소들은 제1 작동 방향과 제2 작동 방향으로 특히 공통적으로 교대로 이동 가능한 것이 특히 유리한 것으로 입증되었다. 다시 말해서, 비선형 감쇠기의 형태로 된 감쇠기 장치는 특히 인장 단계에 대해 예를 들어, 압축 단계보다 더 강성적이며, 그에 따라, 밸브 요소들의 상대 이동이 발생함이 없이, 즉 밸브 장치가 폐쇄된 상태로부터 개방 상태로 변이되지 않고, 감쇠기 장치 및 밸브 요소들은 펌핑 작동시에 액추에이터의 그 부분과 함께 예를 들어 블럭으로서 왕복된다.

추가 실시예는, 감쇠기 장치는, 제1 작동 방향 및/또는 제2 작동 방향을 따라 발생하고 개방 작동시 밸브 장치의 폐쇄된 상태로부터 개방 상태로의 변이를 일으키는, 밸브 요소들 사이의 상대 이동을 허용하도록 형성되는 것을 특징으로 한다. 예를 들어, 출력 요소를 유지 위치에 유지하기 위해 액추에이터에 인가되는 전기 전압이 충분히 천천히 감소되거나 감소되어, 펌핑 작동을 일으키는 액추에이터의 제어가 행해지지 않은 상태로 유지되며, 그에 따라 예를 들어, 비선형 감쇠기의 단단하거나 강성적인 인장 단계에도 압축을 해제하고 그 결과 밸브 요소들 사이의 상대 이동을 일으키기에 충분한 시간이 비선형 감쇠기에 주어지며, 그에 따라 밸브 요소들은 서로 멀어지게 이동되거나 밸브 장치가 개방된다. 이는, 예를 들어, 액추에이터의 제어 또는 전기 에너지, 특히 전기 전압 또는 전류를 액추에이터에 공급하는 것이 행해지지 않은 상태로 유지되거나 이것이 오랫동안 행해지지 않은 상태로 유지됨으로써 발생한다.

본 발명의 다른 특히 유리한 실시예에서, 액추에이터 장치는 스탑을 포함하고, 밸브 요소들 및 액추에이터의 부분은 제1 방향 및 제2 방향을 따라 그 스탑에 대해 이동 가능하다. 스탑의 도움으로 밸브 장치의 특히 빠른 개방이 특히 간단한 방식으로 발생할 수 있다.

추가 실시 형태는, 감쇠기 장치는, 제1 밸브 요소와 함께 이동 가능하고 그 밸브 요소에 특히 단단히 결합되는 제1 감쇠기 요소 및 제1 감쇠기 요소에 대해 특히 병진 이동 가능한 제2 감쇠기 요소를 포함하는 것을 특징으로 한다. 감쇠기를 팽창 및 압축시킬 때, 감쇠기 요소들은 예를 들어 서로에 대해 특히 병진 이동되며, 그에 따라 특히 감쇠기 요소들 중의 하나는 다른 감쇠기 요소 안으로 이동되거나 그 반대도 가능하다. 바람직하게는, 밸브 장치를 개방 상태로부터 폐쇄된 상태로 변이시키고 또한 펌핑 작동을 시작하기 위해 제공되는, 액추에이터의 부분을 제1 방향으로 이동시킴으로써 발생하는 제2 밸브 요소를 향한 제1 작동 방향으로의 제1 밸브 요소의 이동시에, 감쇠기 요소들이 서로에 대해 이동 가능하며, 특히 서로의 안으로 이동 가능하다.

추가 실시예는, 감쇠기 요소들은 제1 방향 및 제2 방향으로 스탑에 대해 특히 병진 이동 가능하고, 제2 방향으로의 제2 감쇠기 요소의 이동은 스탑에 의해 제한될 수 있고, 그에 따라, 액추에이터의 부분을 제1 방향으로 이동시킴으로써 발생하고 밸브 장치를 개방 상태로부터 폐쇄된 상태로 변이시키고 또한 펌핑 작동을 시작하기 위해 제공되는, 제2 밸브 요소를 향한 제1 작동 방향으로의 제1 밸브 요소의 이동시에, 제1 방향으로의 제2 감쇠기 요소의 이동이 행해지지 않은 상태로 유지되는 동안에, 제1 감쇠기 요소는 제1 방향으로 제2 감쇠기 요소에 대해 특히 병진 이동 가능한 것을 특징으로 한다. 이로써, 감쇠기 요소들은 특히 간단하게 또한 유리하게 펌핑 작동과 개방 작동 사이의 빠른 전환이 가능하도록 그들의 이동에 대해 유리하게 영향을 받을 수 있다.

본 발명의 다른 특히 유리한 실시예에서, 액추에이터 장치는 감쇠기 요소들에 특히 적어도 간접적으로 결합되는 복귀 요소를 포함하고, 이 복귀 요소는 예를 들어 특히 기계적 스프링으로 형성될 수 있다. 이 복귀 요소에 의해 감쇠기 요소들은 제1 방향 및/또는 제2 방향을 따라 서로에 대해 이동 가능하며, 제1 작동 방향 및/또는 제2 작동 방향을 따라 진행하고 밸브 장치의 폐쇄된 상태로부터 개방 상태로의 변이를 일으키는, 밸브 요소들 사이의 이전에 언급된 상대 이동이 복귀 요소에 의해 발생할 수 있다.

그와 관련하여, 복귀 요소는 한편으로 제1 감쇠기 요소에 다른 한편으로는 제2 감쇠기 요소에 특히 단단하게 그리고/또는 직접 결합되는 것이 특히 유리한 것으로 입증되었다.

본 발명의 추가 구성에서, 감쇠기 요소들은 특히 서로 대향하는 2 개의 감쇠기 챔버들의 경계를 정하고, 감쇠기 챔버들에는 감쇠 매체, 특히 감쇠 유체가 각각 수용되며, 감쇠 매체는 감쇠기 챔버들 안으로 도입될 수 있고 또한 감쇠기 챔버들 밖으로 전달될 수 있는 것이 제공된다. 특히, 감쇠 유체는 감쇠 챔버들 사이에서 흐르고, 그에 따라 한 감쇠기 챔버로부터 다른 감쇠기 챔버 안으로 또한 그 반대로 흐를 수 있다.

개방 작동과 펌핑 작동 사이에서 특히 유리하게 전환할 수 있도록, 본 발명의 추가 구성에서, 감쇠 매체는 유체인 것이 제공된다.

추가 실시 형태는 구동 요소를 특징으로 하고, 이 구동 요소는 제1 구동 부분, 제2 구동 부분 및 이들 구동 부분들에 의해 경계가 정해지는 구동 챔버를 포함한다. 출력 요소에 대한 이전의 그리고 이하의 설명들은 구동 요소에도 쉽게 적용될 수 있다. 따라서, 구동 부분은 예를 들어 구동 피스톤이거나 또는 주름형 벨로우즈 또는 스프링 벨로우즈의 벽, 특히 바닥일 수 있으며, 제2 구동 부분은 예를 들어 구동 하우징, 특히 구동 실린더이거나 또는 주름형 벨로우즈 또는 스프링 벨로우즈의 추가 벽, 특히 측벽일 수 있다. 펌핑 작동시에, 제1 구동 부분은 제2 밸브 요소와 함께 제2 구동 부분에 대해 제1 방향과 제2 방향으로 교대로 이동 가능하거나 이동되며, 그리하여 유체가 구동 챔버 밖으로 출력 요소에 전달 가능하고 또한 구동 챔버 안으로 전달 가능하다.

추가 실시 형태는 복귀 장치를 특징으로 하고, 이 복귀 장치는 예를 들어 특히 기계적 스프링으로 형성될 수 있다. 이 복귀 장치에 의해 제1 구동 부분 및 제2 밸브 요소가 제2 방향으로 제2 구동 부분에 대해 이동 가능하다.

복귀 장치는 스탑 요소에 결합되고, 이는 제1 구동 부분 및 제2 밸브 요소와 함께 이동 가능하며, 스탑 요소는 제2 방향으로 제2 감쇠기 요소 및 복귀 요소에 적어도 간접적으로 지지되며, 그에 따라, 특히, 제2 감쇠기 요소에 대해 그리고 복귀 요소에 대해 제2 방향으로 발생하는 제2 밸브 요소 및 제1 구동 부분의 이동이 스탑 요소에 의해 제한되거나 방지될 수 있는 것이 더 특히 유리한 것으로 입증되었다.

액추에이터 장치는 감쇠 매체가 흐를 수 있는 채널 및 이 채널에 배치되는 체크 밸브를 포함하고, 그 체크 밸브는 감쇠 매체가 채널을 통해 제1 유동 방향으로 진행하여 감쇠기 챔버들 중의 한 감쇠기 챔버 안으로 들어가는 유동을 허용하고, 감쇠 매체가 제1 유동 방향에 반대인 제2 유동 방향으로 그 한 감쇠기 챔버 밖으로 나가는 유동에 대해서는 채널을 차단하는 것이 더 특히 유리한 것으로 입증되었다.

본 발명의 제2 양태는 액추에이터 장치, 특히 본 발명의 제1 양태에 따른 액추에이터 장치를 작동시키기 위한 방법에 관한 것이다. 본 발명의 제1 양태의 이점들 및 유리한 구성들은 본 발명의 제2 양태의 이점들 및 유리한 구성들로 간주되어야 하며 그 반대도 마찬가지이다. 본 발명의 제2 양태에서, 액추에이터 장치는, 유체가 공급될 수 있고 그에 따라 적어도 하나의 유지 위치로 이동 가능한 적어도 하나의 출력 요소를 포함한다.

추가로, 액추에이터 장치는 펌핑 작동시에 제어되어 작동되는 액추에이터를 포함하고, 펌핑 작동시에 액추에이터를 제어함으로써 액추에이터의 적어도 일부분이 제1 방향 및 제1 방향에 반대인 제2 방향으로 교대로 이동되고, 그리하여 출력 요소에 유체를 공급하기 위해 유체가 출력 요소에 전달된다.

추가로, 액추에이터 장치는 적어도 하나의 배출 채널을 포함하고, 유체가 그 배출 채널을 통해 출력 요소로부터 배출될 수 있다.

추가로, 액추에이터 장치는 2개의 밸브 요소들을 포함하는 밸브 장치를 포함하고, 밸브 요소들은 서로에 대해 이동 가능하고, 그리하여 밸브 장치는 배출 채널을 차단하는 적어도 하나의 폐쇄된 상태와 배출 채널을 해제하는 적어도 하나의 개방 상태 사이에서 변이 가능하며, 폐쇄된 상태에서, 출력 요소는 배출 채널을 차단하면서 유체에 의해 유지 위치에 유지될 수 있고, 개방 상태에서, 밸브 요소들은 유체가 출력 요소로부터 배출 채널을 통해 배출되는 것을 허용하고 또한 그에 따라 출력 요소가 유지 위치로부터 이 유지 위치와는 다른 적어도 하나의 회피 위치로 이동하는 것을 허용한다.

액추에이터의 부분을 제1 방향으로 이동시킴으로써, 밸브 요소들 중의 제1 요소가 제1 작동 방향으로 이동 가능하며 그에 따라 제2 밸브 요소를 향해 이동 가능하고, 그리하여 밸브 장치는 폐쇄된 상태로 변이 가능하다. 액추에이터의 부분을 제2 방향으로 이동시킴으로써, 제1 밸브 요소가 제1 작동 방향에 반대인 제2 작동 방향으로 제2 밸브 요소로부터 멀어지게 이동할 수 있고, 그리하여 밸브 장치는 개방 상태로 변이 가능하다. 펌핑 작동시에, 액추에이터 장치는 액추에이터의 그 부분을 제1 방향과 제2 방향으로 교대로 이동시키고, 그에 따라 펌핑 작동시에, 특히 초기에 밸브 장치를 폐쇄된 상태로 변이시킨 후에, 펌핑 작동시에 발생하는 제1 방향 및 제2 방향으로의 액추에이터의 그 부분의 교대 이동에도 불구하고 밸브 장치는 폐쇄된 상태로 유지되며, 그리하여 펌핑 작동시에 유체가 출력 요소에 전달된다. 추가로, 액추에이터 장치는, 펌핑 작동과는 다르고 펌핑 작동 다음에 있는 개방 작동으로 작동되고, 개방 작동시에, 제2 방향으로 발생하는 액추에이터의 그 부분의 이동으로 인해, 제2 작동 방향으로 진행하고 제2 밸브 요소로부터 멀어지는 제1 밸브 요소의 이동이 발생하고 또한 그에 따라 밸브 장치가 폐쇄된 상태로부터 개방 상태로 변이된다.

본 발명의 추가 이점들, 특징들 및 세부 사항들은 바람직한 실시예들에 대한 이하의 설명으로부터 그리고 도면에 근거하여 명백하다. 설명에서 위에 언급된 특징들과 특징의 조합들 및 도면의 설명에서 아래에 언급되어 있고 그리고/또는 도면에 단독으로 나타나 있는 특징들과 및 특징의 조합들은, 본 발명의 범위를 벗어남이 없이, 각각 특정된 조합으로뿐만 아니라 다른 조합들로 또는 단독으로 사용 가능하다.

도 1은 본 발명에 따른 액추에이터 장치의 제1 실시예의 개략도이다.
도 2는 도 1에 따른 액추에이터 장치의 부분적인 개략도이다.
도 3은 도 1에 따른 액추에이터 장치의 추가 개략도이다.
도 4는 도 1에 따른 액추에이터 장치의 추가 개략도이다.
도 5는 도 1에 따른 액추에이터 장치의 추가 개략도이다.
도 6은 도 1에 따른 액추에이터 장치의 추가 개략도이다.
도 7은 도 1에 따른 액추에이터 장치의 추가 개략도이다.
도 8은 액추에이터 장치의 제2 실시예의 부분적인 개략 단면도이다.
도 9는 액추에이터 장치의 제3 실시예의 개략 단면도이다.
도 10은 액추에이터 장치의 제3 실시예의 추가 개략도이다.
도 11 은 액추에이터 장치의 제3 실시예의 추가 개략도이다.
도 12 는 액추에이터 장치의 제3 실시예의 추가 개략도이다.
도 13은 액추에이터 장치의 제3 실시예의 추가 개략도이다.
도 14 는 액추에이터 장치의 제4 실시예의 부분적인 개략 단면도이다.
도 15는 액추에이터 장치의 액추에이터의 제어를 도시하기 위한 선도이다.
도 16 은 액추에이터 장치의 제5 실시예의 개략도이다.
도 17 은 액추에이터의 추가 제어를 도시하기 위한 선도이다.
도 18 은 액추에이터의 추가 제어를 도시하기 위한 선도이다.
도 19 는 액추에이터의 추가 제어를 도시하기 위한 선도이다.
도 20 은 액추에이터 장치의 제6 실시예의 개략도이다.
도면에서, 동일하거나 기능적으로 동일한 요소들에는 동일한 참조 부호들이 제공되어 있다.

도 1은 유압 액추에이터, 특히 압전-유압 액추에이터로서 형성된 액추에이터 장치(10)의 제1 실시예를 개략도로 도시한다. 액추에이터 장치(10)는, 제1 실시예에서 제1 피스톤으로서 형성되는 출력 요소(12)를 포함한다. 제1 피스톤은 출력 피스톤이라고도 한다. 출력 요소(12)는 예를 들어, 실린더로 형성된 하우징(14)에 병진 이동 가능하게 수용되며, 하우징(14)은 또한 출력 하우징으로 지칭되고 따라서 출력 실린더로서 형성될 수 있다. 예를 들어, 피스톤 또는 스프링 또는 주름형 벨로우즈의 바닥으로 형성되는 출력 요소(12)는, 도 1에서 이중 화살표(16)로 도시된 이동 방향을 따라 하우징(14)에 대해 병진 이동 가능하다. 그와 관련하여, 출력 요소(12)와 하우징(14) 각각은 출력 챔버(18)의 경계를 부분적으로 정하고, 출력 챔버(18)는 출력 요소(12)에 의해 직접 경계가 정해진다. 이제, 예를 들어, 가스 또는 액체로 형성된 유체가 특히 채널(20)을 통해 출력 챔버(18) 안으로 도입되면, 그에 따라 출력 요소(12)에는, 출력 챔버(18) 안으로 도입되는 유체가 특히 직접 공급된다.

출력 요소(12)는 피스톤 로드(22)에 연결되어, 피스톤 로드(22) 및 출력 요소(12)가 하우징(14)에 대해 이동 방향을 따라 공통적으로 병진 이동 가능하다. 예를 들어, 출력 요소(12)가, 이동 방향과 일치하거나 이동 방향에 평행하게 연장되고 도 1에서 화살표(24)로 도시된 제1 출력 방향으로 이동되면, 그에 따라 피스톤 로드(22)는 하우징(14)에 대해 제1 출력 방향으로 이동되고 하우징(14) 밖으로 적어도 부분적으로 이동된다. 출력 요소(12)가, 제1 출력 방향에 반대이고 이동 방향과 일치하거나 이동 방향에 평행하게 연장되는 도 1에 화살표(26)로 도시된 제2 출력 방향으로 하우징(14)에 대해 특히 병진 이동되면, 그에 따라 피스톤 로드(22)는 하우징(14)에 대한 제2 출력 방향으로 그 하우징(14)에 대해 특히 병진 이동되며, 여기서 피스톤 로드(22)는 적어도 부분적으로 하우징(14) 안으로 이동된다.

그와 관련하여, 액추에이터 장치(10)는 현재 기계적 스프링으로 형성되어 있는 스프링 요소(28)를 포함한다. 스프링 요소(28)는 특히 이동 방향을 따라 한편으로 하우징(14)에 적어도 간접적으로, 특히 직접 지지되고 다른 한편으로는 적어도 간접적으로, 특히 직접 출력 요소(12)에 지지된다. 그와 관련하여, 제1 실시예에서, 스프링 요소(28)는, 하우징(14) 및 출력 요소(12)에 의해 각각 부분적으로 경계가 정해지는, 출력 챔버(18)와 대향하는 스프링 챔버(30)에 배치된다. 출력 요소(12)가 제1 출력 방향으로 이동되면, 그에 따라 스프링 요소(28)는 응력을 받게 된다. 결과적으로, 스프링 요소(28)는 대항력이라고도 하는 스프링력을 제공하며, 특히, 배출 채널(32)을 통해 출력 챔버(18) 밖으로 나가는 유체의 유동이 특히 허용되면, 그 스프링력에 의해 출력 요소(12)는 제2 출력 방향으로 이동 가능하거나 이동된다.

출력 요소(12)는 특히 피스톤 로드(22)를 통해 도면들에는 도시되지 않은 구성요소에 적어도 간접적으로 결합되며, 특히 운동 결합된다. 예를 들어, 그 구성요소는 출력 요소(12)를 이동시킴으로써 이동될 수 있다. 유체를 출력 챔버(18) 안으로 펌핑 또는 전달하면, 출력 요소(12)에는 특히 직접적으로 유체가 공급되고, 이 유체는 출력 챔버(18) 안으로 펌핑되거나 전달된다. 그리하여, 출력 요소(12)는 예를 들어, 도 1에 나타나 있는 초기 위치로부터 이 초기 위치와는 다른 유지 위치로 이동 가능하거나 이동된다. 예를 들어, 출력 요소(12)를 유지 위치로 이동시킨 후에 추가 유체가 더 이상 출력 챔버(18) 안으로 전달되지 않거나 또는 출력 요소(12)를 유지 위치로 이동시킨 후에 출력 챔버(18) 안으로의 유체의 추가 전달이 행해지지 않은 상태로 유지되고 또한 특히 배출 채널(32)이 차단되어, 출력 요소(12)를 유지 위치로 이동시킨 후에, 출력 챔버(18) 안에 수용된 유체의 배출이 방지되면, 출력 요소(12)는, 특히 스프링 요소(28)에 의해 제공되는 스프링력 또는 대항력에 저항하여, 출력 챔버(18)에 수용된 유체에 의해 유지 위치에 유지된다. 유지 위치에서, 스프링 요소(28)는 예컨대 응력을 받아, 스프링 요소(28)는 유지 위치에서 이전에 언급된 스프링력 또는 대항력을 제공한다.

그러나, 예를 들어, 배출 채널(32)이 해제되어 출력 챔버(18)에 처음 수용된 유체의 적어도 일부가 배출 채널(32)을 통해 출력 챔버(18) 밖으로 흘러 배출 채널(32) 안으로 흐를 수 있으면, 그에 따라 출력 요소(12)는 스프링력을 회피할 수 있고, 그리하여, 출력 요소(12)는 스프링력에 의해 유지 위치로부터 유지 위치와는 다른 회피 위치로 이동 가능하거나 이동된다. 예를 들어, 회피 위치는 초기 위치이거나 회피 위치는 특히 이동 방향을 따라 초기 위치와 유지 위치 사이에 배치되며, 그에 따라, 예를 들어, 배출 채널(32)이 개방되면 출력 요소(12)가 대항력에 의해 유지 위치로부터 초기 위치로 또는 초기 위치를 향해 그리고 거기서 예를 들어, 회피 위치로 이동 가능하거나 이동된다.

액추에이터 장치(10)는 액추에이터(34)를 포함하며, 이는 예를 들어, 솔리드-스테이트 액추에이터, 특히 압전 액추에이터로서 형성될 수 있다. 액추에이터(34)는 특히 전기적으로 제어 가능하다. 다시 말해서, 액추에이터(34)는 전기적으로 작동 가능하다. 액추에이터(34)의 전기적 작동 또는 전기적 제어에 의해, 액추에이터(34)에 전기 전압(Upiezo)이 공급될 수 있거나 공급되는 것으로 이해할 것이다. 다시 말해, 전기 전압이 액추에이터(34)에 인가되어 액추에이터(34)를 제어한다. 특히, 액추에이터(34)를 제어한다는 것은, 액추에이터(34)에 대한 전기 전압의 인가가 변하는 것으로 이해할 수 있다. 이로써, 특히 전기 전압(Upiezo)이 제1 값과 제2 값 사이에서 변한다는 것을 이해할 수 있다. 바람직하게는, 제1 값은 0이 아닌 값이고, 제2 값은 바람직하게는 제1 값과 상이한 값이다. 제2 값은 0이 아닌 값일 수 있거나 제2 값은 0이다. 액추에이터(34)의 제어를 종료한다는 것은, 특히, 액추에이터(34)에 대한 전기 전압의 인가가 행해지지 않은 상태로 유지되는 것으로 이해할 수 있는데, 이는 액추에이터(34)에 대한 전기 에너지 또는 전기 전압의 공급이 행해지지 않은 상태로 유지됨을 의미한다.

액추에이터(34)를 제어함으로써, 액추에이터(34)는 펌핑 작동으로 작동 가능하며, 펌핑 작동시에, 액추에이터(34)를 제어함으로써, 액추에이터(34)의 적어도 일부분(T)은, 화살표(36)로 도시된 제1 방향 및 제1 방향에서의 반대이고 화살표(38)로 도시된 제2 방향으로 교대로, 특히 병진 이동 가능하고, 그리하여 출력 요소(12)에 유체를 공급하기 위해 유체가 출력 요소(12)에 전달 가능하고 특히 출력 챔버(18) 안으로 전달 가능하다. 액추에이터(34)에 그 전기 전압 또는 전기 전압을 인가함으로써, 예를 들어, 액추에이터(34)의 길이 증가가 발생하고, 이에 의해 부분(T)이 예를 들어, 특히 경로(s_piezo)만큼 제1 방향으로 이동한다. 액추에이터(34)에 대한 전기 전압의 인가가 예를 들어, 종료되거나 전기 전압이 감소되면, 그에 따라 액추에이터(34)의 길이 단축이 발생하여 적어도 부분(T)이 예를 들어, 특히 이전에 언급한 경로만큼 제2 방향으로 다시 이동하게 된다. 부분(T)을 제1 방향으로 이동시킴으로써, 유체가 출력 챔버(18) 안으로 전달될 수 있다. 또한, 액추에이터 장치(10)는 배출 채널(32)을 포함하고, 이 배출 채널을 통해, 출력 챔버(18)에 처음 수용된 유체가 출력 챔버(18) 및 따라서 출력 요소(12)로부터 적어도 부분적으로 배출될 수 있다.

도 1로부터 명백한 바와 같이, 액추에이터 장치(10)는 제1 실시예에서 전달 장치라고도 하는 구동 요소(41)를 포함하며, 이 구동 요소는 전달 요소(40)라고도 하는 제1 구동 부분 및 제2 구동 부분이라고도 하는 전달 하우징(42)을 포함한다. 전달 요소(40)는 전달 하우징(42)에 대해 도 1에서 화살표(44)로 도시된 제2 이동 방향을 따라 병진 이동 가능하다. 제1 실시예에서, 전달 요소(40)는 피스톤이고, 전달 하우징(42)은 하우징, 특히 실린더이다. 또한, 출력 요소(12) 또는 전달 요소(40)는 주름형 벨로우즈의 제1 벽, 특히 바닥인 것을 생각할 수 있으며, 하우징(14) 또는 전달 하우징(42)은 예를 들어, 주름형 벨로우즈의 제2 벽, 특히 측벽이다. 예를 들어, 유체가 주름형 벨로우즈 안으로 전달되면, 이에 따라 바닥은 특히 제1 출력 방향으로 예를 들어, 측벽에 대해 병진 이동된다. 그에 따라 유체가 예를 들어, 주름형 벨로우즈로부터, 특히 출력 챔버(18)로부터 배출되면, 이에 따라 예를 들어, 제2 출력 방향으로 측벽에 대한 바닥의 이동이 발생한다. 이는 특히 전달 요소(40)가 제1 벽으로서 형성되고 전달 하우징(42)이 주름형 벨로우즈의 제2 벽으로서 형성되는 경우에, 전달 요소(40) 및 전달 하우징(42)에 적용될 수 있다.

전달 요소(40) 및 전달 하우징(42)은 각각 구동 챔버라고도 하는 전달 챔버(46)의 경계를 부분적으로 정하며, 그 전달 챔버의 경계는 전달 요소(40)에 의해 직접 정해진다. 전달 요소(40)를 전달 하우징(42)에 대해 이동시키면, 전달 챔버(46)의 부피가 변하게 된다. 예를 들어, 전달 요소(40)가 도 1에서 화살표(48)로 도시된 제1 전달 방향(제2 이동 방향과 일치하거나 그 제2 이동 방향에 평행하게 연장됨)으로 전달 하우징(42)에 대해 특히 병진 이동되면, 그에 따라 전달 챔버(46)의 부피가 감소된다. 예를 들어, 전달 요소(40)가 제1 전달 방향에 반대인 제2 전달 방향(도 2에서 화살표(50)로 도시되어 있고 제2 이동 방향과 일치하거나 제2 이동 방향에 평행하게 연장됨)으로 전달 하우징(42)에 대해 특히 병진 이동되면, 그에 따라 전달 챔버(46)의 부피가 증가된다.

추가로, 액추에이터 장치(10)는 저장소(52)를 포함하고, 이 저장소는 저장소 챔버(54)를 포함한다. 그와 관련하여, 유체 또는 유체의 적어도 일부가 저장소 챔버(54)에 배치된다. 전달 요소(40)가 제2 전달 방향으로 전달 하우징(42)에 대해 특히 병진 이동되면, 그에 따라 저장소 챔버(54) 및 이에 따라 저장소(52)에 처음 수용된 유체의 적어도 일부가 공급 채널이라고도 하는 채널(56)을 통해 저장소 챔버(54) 밖으로 흡입되거나 전달되거나, 채널(56)을 통해 흡입되거나 전달되며 그리고 전달 챔버(46) 안으로 흡입되거나 전달된다. 그와 관련하여, 체크 밸브(58)가 채널(56)에 배치되며, 이 체크 밸브는 저장소 챔버(54)를 향해서는 차단되고 반대 방향으로는 개방되며, 따라서 공급 챔버라고도 하는 전달 챔버(46)를 향해서는 개방된다. 그리하여, 체크 밸브(58)에 의해, 유체가 바람직하지 않게 저장소 챔버(54)를 향해 채널(56) 안으로 따라서 예를 들어, 전달 챔버(46) 밖으로 나가 저장소 챔버(54) 안으로 흐르는 것을 피할 수 있다.

제1 실시예에서, 저장소(52)는 유체 또는 유압 실린더로서 형성된다. 대안적으로, 저장소(52)는 스프링 또는 주름형 벨로우즈로 형성되는 것을 생각할 수 있다. 제1 실시예에서, 저장소(52)는 저장소 하우징(60) 및 저장소 피스톤(62)을 포함하며, 이들은 각각 저장소 챔버(54)의 경계를 부분적으로 정한다. 저장소 피스톤(62)은 도 1에서 이중 화살표(64)로 도시된 저장소 방향을 따라 저장소 하우징(60)에 대해 병진 이동 가능하다. 그와 관련하여, 저장소(52)는 예를 들어, 기계적 스프링으로 형성되는 스프링 요소(66)를 포함한다. 예를 들어, 스프링 요소(66)는 특히 저장소 방향을 따라 예를 들어, 저장소 챔버(54)와 대향하는 수용 챔버(68)에 배치된다. 그와 관련하여, 수용 챔버(68)의 경계는 또한 예를 들어, 저장소 피스톤(62)과 저장소 하우징(60)에 의해 각각 부분적으로 정해진다. 스프링 요소(66)는 저장소 방향을 따라 한편으로 저장소 하우징(60)에 적어도 간접적으로, 특히 직접 지지되고 다른 한편으로는 저장소 피스톤(62)에 적어도 간접적으로, 특히 직접 지지된다. 스프링 요소(66)가 응력을 받으면, 그 스프링 요소(66)는 저장소 피스톤(62)에 스프링력을 가하고, 이에 의해 유체는 예를 들어, 압력 하에서 저장소 챔버(54)에 저장될 수 있다. 따라서, 저장소(52)는 예를 들어, 압력 저장소이고, 유체가 압력 하에서 그 압력 저장소에 의해 또는 압력 저장소에 저장될 수 있다.

유체가 저장소 챔버(54)로부터 배출되면, 따라서, 스프링 요소(66)는 예를 들어, 적어도 부분적으로 이완될 수 있고 저장소 챔버(54)의 부피 감소가 발생한다. 유체가 저장소 챔버(54) 안으로 도입되면, 따라서, 이 결과, 저장소 챔버(54)의 부피 증가가 발생하고 그에 따라 스프링 요소(66)에 응력이 가해지게 된다.

전달 요소(40)가 전달 하우징(42)에 대해 제1 전달 방향으로 특히 병진 이동되면, 이 결과, 전달 챔버(46)의 부피 감소가 발생하고 또한 전달 챔버(46)에 위치되는 유체의 적어도 일부가 전달 요소(40)에 의해 전달 챔버(46) 밖으로 전달된다. 체크 밸브(58)는 전달 챔버(46)로부터 유체가 저장소 챔버(54) 안으로 흐르는 것을 방지하기 때문에, 전달 요소(40)에 의해 전달 챔버(46) 밖으로 전달되는 유체는 채널(20)을 통해 흐르고 채널(20)에 의해 출력 챔버(18) 안으로 안내되어 도입된다. 그와 관련하여, 체크 밸브(70)가 채널(20)에 배치되며, 이 체크 밸브는 전달 챔버(46)를 향해서는 차단되고 반대 방향으로 그에 따라 출력 챔버(18)를 향해 개방된다. 전반적으로, 채널(56)은 예를 들어, 한편으로 전달 챔버(46)에 유체적으로 연결되고 다른 한편으로는 저장소 챔버(54)에 유체적으로 연결된다는 것이 명백하다. 예를 들어, 채널(20)은 한편으로 출력 챔버(18)에 유체적으로 연결되고 또한 다른 한편으로는 전달 챔버(46)에 유체적으로 연결된다. 체크 밸브(70)는, 전달 요소(40)가 제2 전달 방향으로 이동되는 경우 유체가 채널(20)을 통해 출력 챔버(18) 밖으로 전달, 특히 흡입되는 것을 방지하며, 그에 따라, 전달 요소(40)가 제2 전달 방향으로 이동할 때 유체의 적어도 일부가 저장소 챔버(54) 밖으로 전달되어 전달 챔버(46) 안으로 전달된다.

이하에서 더 상세히 설명되는 바와 같이, 제1 전달 방향으로의 전달 요소(40)의 이동은, 제1 방향으로 발생하는 액추에이터(34)의 부분(T)의 이동에 의해 이루어지고, 제2 전달 방향으로의 전달 요소(40)의 이동은, 제2 방향으로 발생하는 액추에이터(34)의 부분(T)의 이동에 의해 이루어진다. 전달 하우징(42)은 예를 들어, 특히 적어도 전달 방향을 따라 기본 요소(72)에 고정되며, 그에 따라 전달 하우징(42)과 기본 요소(72) 사이의 상대 이동이 적어도 전달 방향으로 방지되거나 행해지지 않은 상태로 유지된다. 예를 들어, 기본 요소는 스탑이거나 스탑으로서 기능하며, 이 스탑에 의해, 특히 제1 및/또는 제2 방향으로의 액추에이터 장치의 다른 구성요소들의 이동들이 적어도 제한되거나 방지될 수 있다. 특히, 기본 요소는 하우징일 수 있으며, 이 하우징 안에는, 예를 들어 특히 하우징에 대해 이동 가능한 액추에이터 장치(10)의 요소들, 이를 테면 예컨대 전달 요소(40)가 배치될 수 있다.

그와 관련하여, 스프링 요소(74)가 제공되며, 이 스프링 요소는 전달 방향을 따라 한편으로 기본 요소(72)에 지지되고 다른 한편으로는 전달 요소(40)에 지지된다. 다시 말해서, 바람직하게는 기계적 스프링인 스프링 요소(74)는 한편으로 예를 들어, 기본 요소(72) 및 예를 들어, 전달 하우징(42)과 결합되고 또한 다른 한편으로는 전달 요소(40)와 결합된다. 특히, 스프링 요소(74)의 제1 로케이션(S1)은 기본 요소(72)에 고정되고, 스프링 요소(74)의 제2 로케이션(S2)은 전달 요소(40)에 결합되며, 따라서 기본 요소(72) 및 전달 하우징(42)에 대해 전달 방향을 따라 전달 요소(40)와 함께 특히 병진 이동 가능하다. 예를 들어, 로케이션들(S1, S2)은 스프링 요소(74)의 각각의 단부들이다. 따라서, 전달 요소(40)가 예컨대 제1 전달 방향으로 전달 하우징(42)에 대해 이동되면, 따라서, 스프링 요소(74)가 응력을 받는데, 특히 압축된다. 예를 들어, 전달 요소(40)가 전달 하우징(42) 및 기본 요소(72)에 대해 제2 전달 방향으로 이동되면, 그에 따라, 스프링 요소(74)가 적어도 부분적으로 이완되는데, 특히 신장된다. 스프링 요소(74)에 응력을 가함으로써, 그 스프링 요소는 예를 들어, 스프링력을 제공하고, 이 스프링력에 의해 전달 요소(40)는 예를 들어, 전달 하우징(42) 및 따라서 기본 요소(72)에 대해 제2 전달 방향으로 이동 가능하다.

액추에이터 장치(10)는 2 개의 밸브 요소들(78, 80)을 포함하는 밸브 장치(76)를 포함한다. 밸브 요소들(78, 80)은 도 1에서 이중 화살표(82)로 도시된 밸브 방향을 따라 서로에 대해 특히 병진 이동 가능하다. 제1 실시예에서, 밸브 방향은 제1 방향 및 제2 방향과 일치하거나 제1 방향과 평행하게 또한 제2 방향에 평행하게 연장되며, 제2 방향은 제1 방향에 평행하게 연장되고 제1 방향에 반대이다.

밸브 요소들(78, 80)을 서로에 대해 이동시킴으로써, 밸브 장치(76)는 도 1에 나타나 있는 개방 상태(O)와 예를 들면 도 4에 나타나 있는 폐쇄된 상태(S) 사이에서 변이 가능하거나 전환 가능하다. 추가로, 배출 채널(32)은 한편으로 특히 채널(20)의 적어도 일부분을 통해 출력 챔버(18)에 유체적으로 연결되고 다른 한편으로는 저장소 챔버(54)에 유체적으로 연결된다는 것이 도 1로부터 명백하다. 따라서, 출력 챔버(18)에 처음 위치된 유체의 적어도 일부가 배출 채널(32)을 통해 출력 챔버(18)로부터 배출되어, 출력 챔버(18)로부터 배출된 유체가 배출 채널(32)을 통해 흐르면, 따라서, 출력 챔버(18) 및 이에 따라 출력 요소(12)로부터 배출된 유체는 배출 채널(32)에 의해 출력 챔버(18)로부터 저장소 챔버(54)로, 특히 그 안으로 전달된다. 그와 관련하여, 배출 장치(76)가 배출 채널(32)에 배치되어, 밸브 장치(76)가 폐쇄된 상태(S)에서 배출 채널(32)을 유체적으로 차단한다. 이로써, 출력 요소(12)는, 설명된 방식으로 유지 위치로 이동된 후, 특히 대항력에 저항하여 유지 위치에 유지될 수 있다. 다시 말해, 상태(S)에서는 출력 챔버(18)로부터의 유체의 배출이 방지된다. 그러나, 밸브 장치(76)는 개방 상태(O)에서 배출 채널(32)을 해제하여, 배출 채널(32)이 개방되고, 개방 위치(O)에서 출력 챔버(18)로부터의 유체의 적어도 일부가 그 배출 채널을 통해 흐를 수 있다. 다시 말해, 밸브 요소들(78, 80) 및 이에 따른 밸브 장치(76)는 개방 상태(S)에서 배출 채널(32)을 통한 출력 챔버(18) 및 그에 따른 출력 요소(12)로부터 유체의 배출을 허용하며, 그리하여, 밸브 요소들(78, 80) 및 이에 따른 밸브 장치(76)는 유지 위치로부터 회피 위치로 가는 출력 요소(12)의 전술한 이동을 허용한다.

추가로, 출력 장치(10)는, 액추에이터(34)의 부분(T)을 예를 들어, 개방 상태(O)에서 시작하여 제1 방향(화살표(36))으로 이동시킴으로써, 제1 밸브 요소(78)가 화살표(36)로 도시된 제1 작동 방향으로 이동 가능하고 그리하여 제2 밸브 요소(80)를 향해 이동 가능하도록 형성되며, 이에 의해 밸브 장치(76)는 개방 상태(O)로부터 폐쇄된 상태(S)로 변이 가능하다. 다시 말해, 각각, 제1 실시예에서 제1 방향은 제1 작동 방향과 일치하고 그 반대도 마찬가지이다. 따라서, 밸브 장치(76)가 예를 들어, 처음에 개방 상태(O)에 있고 또한 부분(T)이 액추에이터(34)의 대응하는 제어에 의해 제1 방향으로 이동되면, 그에 따라 밸브 요소(78)는 제1 방향으로 밸브 요소(80)에 대해 이동되며 거기서 밸브 요소(80)를 향해 이동되며, 그에 따라 특히, 밸브 요소(78)가 밸브 요소(80)와 접촉하여 밸브 장치(76)가 폐쇄되는데, 즉 폐쇄된 상태(S)로 전환된다.

도 1로부터, 예를 들어, 밸브 요소(80)는 예를 들어, 밸브 볼로서 형성된 밸브 요소(78)를 위한 밸브 시트를 형성한다는 것이 명백하다. 개방 상태(O)에서, 밸브 요소들(78, 80)은 서로 이격되어 있어, 밸브 요소(78)는 밸브 시트로부터 이격되어 밸브 시트에 안착되지 않는다. 그러나, 밸브 요소들(78, 80)은 폐쇄된 상태(S)에서는 적어도 간접적으로, 특히 직접 서로 맞닿음하여, 밸브 요소(78)는 예를 들어, 그의 대응하는 밸브 시트에 안착 된다. 제1 실시예에서, 밸브 요소(78)는, 예를 들어, 부분(T)에 특히 단단히 결합되어, 그 부분(T)이 액추에이터(34)의 대응하는 제어로 제1 경로만큼 그리고/또는 제1 속도로 이동되면, 그로 인해 밸브 요소(78)는 제2 경로만큼 그리고/또는 제2 속도로 이동되며, 제2 경로는 제1 경로에 대응하고 제2 속도는 제1 속도에 대응한다. 더욱이, 제2 밸브 요소(80)는 전달 요소(40)에 특히 단단히 결합되거나 운동 결합되어, 밸브 요소(80)는 예를 들어 전달 방향을 따라 전달 요소(40)와 함께 이동할 수 있는 것이 제공된다. 따라서, 예를 들어, 제1 방향은 제1 전달 방향과 일치하고 제2 방향은 제2 전달 방향과 일치한다. 특히, 밸브 요소(80) 및 전달 요소(40)는 서로에 결합되는데, 특히 운동 결합되며, 그에 따라 예를 들어, 전달 요소(40)가 제3 경로만큼 그리고/또는 제3 속도로 이동되면, 그로 인해 밸브 요소(80)는 특히 전달 요소(40)와 함께 제4 경로만큼 그리고/또는 제4 속도로 이동되며, 제3 속도는 제4 속도에 대응하고 제3 경로는 제4 경로에 대응한다. 추가로, 저장소 하우징(60) 및 하우징(14)이 또한 기본 요소(72)에 고정된다는 것이 도 1로부터 명백하다. 그와 관련하여, 부분(T)은 기본 요소(72)에 대해 제1 방향 및 제2 방향을 따라 특히 병진 이동 가능하다. 또한, 스프링 요소(74), 특히 로케이션(S2)이 밸브 요소(80)에 특히 단단히 결합되어 있어, 특히 전달 요소(40)가 예를 들어 이동되면, 로케이션(S2), 전달 요소(40) 및 밸브 요소(80)는 예를 들어, 공통적으로 동일한 속도로 그리고 동일한 경로만큼 이동 가능하거나 이동된다는 것이 도 1로부터 명백하다. 액추에이터(34)의 부분(T)을 제2 방향으로 이동시킴으로써, 제1 작동 방향에 반대이고 그에 따라 제1 방향에 반대인 제2 작동 방향으로 제1 밸브 요소(78)가 제2 밸브 요소(80)로부터 멀어지게 이동될 수 있고, 이로써 밸브 장치(76)는 폐쇄된 상태(S)로부터 개방 상태(O)로 변이 가능하다.

따라서, 제2 작동 방향은 제2 방향과 일치한다. 다시 말해서, 액추에이터(34)는, 부분(T)이 기본 요소(72)에 대해 제2 방향으로 이동하도록 액추에이터(34)의 길이가 짧아지도록 제어되고, 이에 따라 밸브 요소(78)가 밸브 요소(80)에 대해 제2 방향으로 그에 따라 밸브 요소(80)로부터 멀어지는 방향으로 이동될 수 있고, 그리하여 밸브 장치(76)가 예를 들어 폐쇄된 상태(S)로부터 시작하여 개방될 수 있는데, 즉 폐쇄된 상태(S)로부터 개방 상태(O)로 전환될 수 있다.

이제, 액추에이터 장치(10)는, 펌핑 작동시에 액추에이터(34)의 부분(T)을 제1 방향(화살표(36))과 제2 방향(화살표(38))으로 교대로 이동시키도록 형성되어 있어, 펌핑 작동시에, 초기에 밸브 장치(76)를 폐쇄된 상태(S)로 변이시킨 후에, 펌핑 작동시에 발생하는 제1 방향 및 제2 방향으로의 부분(T)의 교대 이동에도 불구하고 밸브 장치(76)는 폐쇄된 상태(S)로 유지되며, 그리하여 펌핑 작동시에 유체가 출력 챔버(18) 안으로 그에 따라 출력 요소(12)에 전달 가능하거나 전달된다. 다시 말해서, 밸브 장치(76)가 폐쇄된 상태(S)에 있고 폐쇄된 상태(S)로 유지되며 또한 특히 밸브 요소들(78, 80) 사이의 상대 이동들이 행해지지 않은 상태로 유지되는 동안에, 부분(T), 밸브 요소(78, 80) 및 전달 요소(40)는 펌핑 작동시에 기본 요소(72)에 대해 그에 따라 전달 하우징(42)에 대해 제1 방향 및 제2 방향으로 공통적으로 또는 동시에 교대로 이동하며, 그에 따라, 유체는 교대로 저장소 챔버(54)로부터 채널(56)을 통해 전달 챔버(46) 안으로 전달되고 그 후에 전달 챔버(46) 밖으로 전달되고 그리하여 전달 챔버(46)로부터 채널(20)을 통해 출력 챔버(18) 안으로 전달되며 따라서 출력 요소(12)에 전달된다. 그리고 배출 채널(32)을 통한 출력 챔버(18)로부터의 유체 배출은 행해지지 않은 상태로 유지된다(배출 채널(32)의 밸브 장치(76)가 폐쇄되기 때문에). 특히, 밸브 장치(76)가 배출 채널(32)에서 예를 들어, 출력 챔버(18)로부터 배출 채널(32)을 통해 저장소 챔버(54) 안으로 흐르는 유체의 유동 방향으로 출력 챔버(18)와 저장소 챔버(54) 사이에 배치된다는 것이 도 1로부터 명백하다.

추가로, 액추에이터 장치(10)는, 펌핑 작동과는 다르고 예를 들어 펌핑 작동 다음의 개방 작동으로 작동 가능하다. 개방 작동에서 또는 개방 작동을 실현하기 위해, 액추에이터(34)는, 예를 들어, 액추에이터(34)의 부분(T)이 기본 요소(72)에 대해 제2 방향으로 이동되고 그 결과 제1 밸브 요소(78)가 제2 방향으로 제2 밸브 요소(80)로부터 멀어지게 이동되고 그리하여 밸브 장치(76)가 폐쇄된 상태(S)로부터 개방 상태(O)로 변이하도록 제어된다. 따라서, 밸브 장치(76)는 펌핑 작동시에 또는 펌핑 작동으로 개방되어, 유체가 예를 들어, 출력 챔버(18)로부터 배출되고 출력 요소(12)가 결과적으로 대항력을 회피할 수 있다.

예를 들어, 액추에이터 장치(10)는 유지 작동에서 작동 가능하며, 유지 작동에서는 유체를 출력 챔버(18) 안으로 전달하는 것이 행해지지 않은 상태로 유지되고 밸브 장치(76)가 폐쇄되어, 출력 요소(12)는 유지 작동시에 출력 챔버(18)에 수용된 유체에 의해 유지 위치에 유지된다. 특히, 유지 작동시에 액추에이터(34)에는 특히 적어도 실질적으로 일정한 전기 전압이 적어도 실질적으로 연속적으로 공급되고, 이에 의해 밸브 장치(76)는 유지 작동시에 특히 액추에이터(34)에 의해 그의 부분(T)을 통해 그리고 액추에이터(34)를 통전시켜 폐쇄된 상태로 각각 유지된다. 그와 관련하여, 액추에이터 장치(10)는 특히 빠르게, 즉 특히 짧은 시간에 유지 작동으로부터 개방 작동(해제 작동이라고도 함)으로 전환할 수 있게 하며, 그에 따라 밸브 장치(76)가 특히 빨리 개방될 수 있고 또한 결과적으로 출력 요소(12)가 대항력을 특히 빠르게 회피할 수 있다. 이와 관련하여, 액추에이터(34)에 인가되는 전기 전압은 예를 들어, 0으로 감소된다. 이에 의해, 유지 작동에서 그리고 출력 요소(12)에 의해 실현되는 이전에 언급된 구성요소의 유지는 예를 들어, 그 구성요소가 대응하는 힘을 회피할 수 있도록 예를 들어, 취소될 수 있다. 제1 실시예에서, 액추에이터 장치(10)는 스탑 유닛(84)을 포함하고, 이 스탑 유닛은 하드 스탑 유닛이라고도 하며 도 2에 확대되어 도시되어 있다. 스탑 유닛(84)은 제1 스탑(86)을 포함하고, 제1 스탑은 전달 요소(40), 로케이션(S2), 특히 밸브 요소(80)와 함께 특히 제1 방향 및 제2 방향으로, 특히 직접적인 방식으로, 즉 바람직하게 전달 장치 없이 이동 가능하다. 따라서, 밸브 요소(80)가 예를 들어, 제5 속도로 그리고/또는 제5 경로만큼 기본 요소(72)에 대해 제1 또는 제2 방향으로 이동되면, 그에 따라 스탑(86)은 제6 속도로 그리고/또는 제6 경로만큼 기본 요소(72)에 대해 제1 또는 제2 방향으로 이동되거나 밸브 요소(80)와 함께 이동되며, 제5 속도는 제6 속도에 대응하며 그리고/또는 제5 경로는 제6 경로에 대응한다. 추가로, 스탑 유닛(84)은 제2 스탑(88) 및 제3 스탑(90)을 포함하며, 이들 스탑은, 또한 스탑(86)으로서, 기본 요소(72)에 대해 제1 방향 및 제2 방향으로 특히 병진 이동 가능하다. 스탑들(86, 88, 90)은 스탑 요소들이라고도 한다.

추가로, 제1 실시예에 따른 액추에이터 장치(10)는 비선형 감쇠기(92)의 형태로 된 감쇠기 장치를 포함한다. 비선형 감쇠기(92)는 감쇠기 피스톤(94)의 형태로 된 제1 감쇠기 요소 및 감쇠기 하우징(96)의 형태로 된 제2 감쇠기 요소를 포함하고, 감쇠기 하우징은 예를 들어, 실린더로 형성된다. 감쇠기 피스톤(94)은 감쇠기 하우징(96)에 대해 제1 방향 및 제2 방향으로 병진 이동 가능하다. 그와 관련하여, 감쇠기 요소들은 각각 특히 서로 대향하는 감쇠기(92)의 두 감쇠기 챔버들(98, 100)의 경계를 부분적으로 정하고, 감쇠기 챔버들(98, 100)은 2 개의 연결 경로들(102, 104)을 통해 서로에 유체적으로 연결되거나 연결 가능하다. 연결 경로들(102, 104)은 예를 들어, 적어도 부분적으로 서로 분리된다.

감쇠기 피스톤(94)은 제1 밸브 요소(78)에 운동 결합되고, 따라서 밸브 요소(78)와 함께 특히 기본 요소(72)에 대해 제1 방향 및 제2 방향으로 특히 병진 이동 가능하다. 예를 들어, 감쇠기 하우징(96)은 기본 요소(72)에 대해 제1 방향 및 제2 방향을 따라 특히 병진 이동 가능하다. 추가로, 감쇠기 하우징(96)은 스탑들(88, 90)에 결합되어 있어, 감쇠기 하우징(96), 스탑(88) 및 스탑(90)은 기본 요소(72)에 대해 제1 방향 및 제2 방향으로 공통적으로 또는 동시에 이동 가능하다. 그와 관련하여, 밸브 요소(78)와 부분(T)의 공통적인 이동성에 대한 이전의 그리고 이하의 설명들은 감쇠기 피스톤(94)과 밸브 요소(78) 또는 감쇠기 하우징(96)과 스탑들(88, 90)에도 예를 들어 쉽게 적용될 수 있고 그 반대도 마찬가지다. 예를 들어, 감쇠기 피스톤(94)이 감쇠기 하우징(96)에 대해 제1 방향으로 병진 이동되고 그리하여 감쇠기 챔버(100)의 부피가 감소되며, 그에 따라 특히 감쇠기 챔버(100)가 감소되는 정도로 감쇠기 챔버(98)의 부피가 증가된다. 감쇠기 피스톤(94)이 감쇠기 하우징(96)에 대해 제2 방향으로 병진 이동되면, 그에 따라 감쇠기 챔버(100)의 부피가 증가되고, 그리고 특히 감쇠기 챔버(100)의 부피가 증가되는 정도로 감쇠기 챔버(98)의 부피가 감소된다.

스로틀(throttle)(106)이 연결 경로(102)에 배치되며, 이 스로틀은 예를 들어, 조절 가능하거나 강성적인 스로틀로 형성될 수 있다. 체크 밸브(108)가 연결 경로(104)에 배치되며, 이 체크 밸브는 감쇠기 챔버(100)를 향해서는 차단되고 감쇠기 챔버(98)를 향해 개방된다. 따라서, 체크 밸브(108)는 감쇠기 챔버(100)로부터 연결 경로(104) 및 체크 밸브(108)를 통해 감쇠기 챔버(98) 안으로 들어가는 감쇠 매체의 유동을 허용한다. 그러나, 감쇠기 챔버(98)로부터 연결 경로(104) 및 체크 밸브(108)를 통해 감쇠기 챔버(100) 안으로 가는 감쇠 매체의 역방향 유동은 체크 밸브(108)에 의해 회피된다. 감쇠 매체라고도 하는 감쇠 매체는 예를 들어, 가스 또는 바람직하게는 액체, 특히 오일이었다. 따라서, 감쇠기 피스톤(94)이 예를 들어, 감쇠기 하우징(96)에 대해 제1 방향으로 이동되면, 따라서, 감쇠기 챔버(100)에 처음 수용된 감쇠기 유체는 감쇠기 피스톤(94)에 의해 감쇠기 챔버(100) 밖으로 전달되며, 그에 따라, 예컨대, 체크 밸브(108)가 개방되고 그리하여 유동 단면을 해제하여 감쇠 매체에 대한 유동 저항이 스로틀(106)에 대해 낮아지게 되므로, 감쇠 매체는 적어도 주로 또는 완전히 감쇠기 챔버(100)로부터 연결 경로(104) 및 체크 밸브(108)를 통해 감쇠기 챔버(98) 안으로 흐르게 된다. 따라서, 제1 양의 감쇠 매체가 예를 들어, 연결 경로(104)를 통해 감쇠기 챔버(98) 안으로 흐르고, 반면에 연결 경로(102)를 통해 감쇠기 챔버(98) 안으로 들어가는 감쇠 매체의 유동은 예를 들어 행해지지 않은 상태로 유지되거나 제1 양에 대해 낮은 양의 감쇠 매체가 연결 경로(102) 및 스로틀(106)을 통해 감쇠기 챔버(98) 안으로 흐르게 된다.

예를 들어, 감쇠기 피스톤(94)이 감쇠기 하우징(96)에 대해 제2 방향으로 특히 병진 이동되면, 그에 따라, 감쇠기 챔버(98)에 처음 수용된 감쇠 매체가 감쇠기 피스톤(94)에 의해 감쇠기 챔버(98) 밖으로 전달되며, 그에 따라, 특히, 체크 밸브(108)가 감쇠기 챔버(98)로부터 감쇠기 챔버(100) 안으로 들어가는 감쇠 매체의 유동을 위해 연결 경로(104)를 차단하기 때문에, 감쇠기 챔버(98) 밖으로 전달되는 감쇠 매체가 특히 완전히 연결 경로(102) 및 그에 따라 스로틀(106)을 통해 감쇠기 챔버(100) 안으로 흐르게 된다. 감쇠기 피스톤(94)을 감쇠기 하우징(96)에 대해 제1 방향으로 이동시킴으로써, 비선형 감쇠기(92)가 압축되는데, 즉 길이가 짧아지거나 스웨이징된다. 감쇠기 피스톤(94)을 감쇠기 하우징(96)에 대해 제2 방향으로 이동시킴으로써, 비선형 감쇠기(92)가 신장되는데, 즉 팽창된다. 감쇠기(92)를 압축 및 팽창시킬 때 감쇠 매체가 감쇠기 챔버들(98, 100) 사이에서 흐를 수 있기 때문에, 감쇠기(92)를 팽창 또는 압축시킬 때 발생하는 감쇠기 요소들 사이의 각각의 상대 이동이 특히 감쇠 매체에 의해 감쇠된다. 감쇠기(92)를 팽창시킬 때의 감쇠를 "인장 단계"라고도 하며, 감쇠기(92)를 압축시킬 때의 감쇠를 "압축 단계"라고도 한다. 그와 관련하여, 압축 단계는 인장 단계보다 더 부드럽거나 덜 강성적이다. 따라서, 압축 단계는 제1 감쇠 상수를 갖고, 인장 단계는 제2 감쇠 상수를 갖는다. 그와 관련하여, 제1 감쇠 상수는 제2 감쇠 상수보다 낮다. 따라서, 압축 단계는 감쇠기 요소들 사이의 동일한 상대 속도로 인장 단계보다 더 낮은 감쇠력을 제공한다. 따라서, 제1 힘, 특히 제1 압축력이 예를 들어, 감쇠기(92)에 가해져 제1 힘으로 감쇠기(92)를 압축시키면, 그로 인해 제1 상대 속도가 생기고, 감쇠기(92)의 압축시에 감쇠기 요소들이 그 제1 상대 속도로 서로에 대해 병진 이동하게 된다. 예를 들어, 제2 힘, 특히 제2 인장력이 감쇠기(92)에 가해져 제2 힘으로 감쇠기(92)를 팽창시키면, 그로 인해 제2 상대 속도가 생기고, 감쇠기(92)의 팽창시에 감쇠기 요소들이 그 제2 상대 속도로 서로에 대해 이동하게 된다. 압축 단계는 이제 덜 강하고, 감쇠기(92)의 인장 단계 보다 덜 강성적이거나 더 부드럽기 때문에, 즉 압축 단계의 감쇠 상수가 인장 단계의 감쇠 상수보다 낮기 때문에, 제2 힘이 수학적 크기에 대해 제1 힘에 대응하면, 제1 상대 속도는 제2 상대 속도보다 크다. 따라서, 감쇠기(92)의 압축은 감쇠기(92)의 팽창보다 덜 심하게 감쇠된다. 제1 방향으로 발생하는 기본 요소(72)에 대한 부분(T)의 이동을 예를 들어, 부분(T)의 양의 편향(positive deflection)이라고도 한다. 제2 방향으로 발생하는 기본 요소(72)에 대한 부분(T)의 이동을 예를 들어, 액추에이터(34) 또는 부분(T)의 음의 편향이라고도 한다. 도 1로부터 명백한 바와 같이, 감쇠기 피스톤(94)은 밸브 요소(78) 및 부분(T)에 운동 결합되어 있어, 예를 들어, 부분(T)과 밸브 요소(78)가 제7 속도로 그리고/또는 제7 경로만큼 제1 방향으로 기본 요소(72)에 대해 특히 병진 이동되면, 감쇠기 피스톤(94)은 제8 속도로 그리고/또는 제8 경로만큼 기본 요소(72)에 대해 제1 방향 또는 제2 방향으로 특히 병진 이동되고, 제7 속도는 제8 속도에 대응하고 제7 경로는 제8 경로에 대응한다.

스프링 요소(110)가 감쇠기(92)와 관련되어 있고, 이 스프링 요소는 한편으로 감쇠기 피스톤(94)에 결합되고 다른 한편으로는 감쇠기 하우징(96)에 결합된다. 예를 들어, 스프링 요소(110)는 기계적 스프링으로 형성된다. 예를 들어, 감쇠기 피스톤(94)이 감쇠기 하우징(96)에 대해 제1 방향으로 이동되어 감쇠기(92)가 압축되면, 그에 따라 스프링 요소(110)가 응력을 받는데, 특히 압축된다. 감쇠기 피스톤(94)이 감쇠기 하우징(96)에 대해 제2 방향으로 이동되어 감쇠기(92)가 팽창되면, 이에 따라 스프링 요소(110)가 이완되는데, 특히 팽창된다. 특히 스프링 요소(110)가 응력을 받는 경우, 스프링 요소(110)는 스프링력을 제공할 수 있으며, 특히 스프링 요소(110)에 충분히 긴 시간이 주어지면, 감쇠기(92)는 그 스프링력에 의해 팽창될 수 있다.

도 2에 3개의 거리들(s1, s2, s3)이 도시되어 있다. 거리(s1)는 제1 또는 제2 방향에 평행하게 연장되고, 스탑들(86, 88) 사이의 거리이다. 거리(s2)는 또한 제1 또는 제2 방향에 평행하게 연장되고 따라서 거리(s1)에 평행하며 스탑들(86, 90) 사이의 거리이다. 거리(s3)는 또한 제1 또는 제2 방향에 평행하게 연장되고 따라서 거리들(s1, s2)에 평행하며 스탑(90)과 기본 요소(72) 사이의 거리이다. 거리(s1)가 0보다 크면, 스탑들(86, 88)은 제1 또는 제2 방향을 따라 서로 이격되는데, 즉 개방된다. 그러나, 거리(s1)가 0이면, 스탑들(86, 88)이 서로 접촉하여 스탑들(86, 88)이 폐쇄된다. 이는 거리(s2)에 대해서도 마찬가지다. 거리 (s2)가 0보다 크면, 스탑들(86, 90)이 서로 이격되어 개방된다. 거리(s2)가 0이면, 따라서 스탑들(86, 88)은 서로 접촉하여 폐쇄된다. 거리(s3)가 0보다 크면, 스탑(90)은 제4 스탑을 나타내는 기본 요소(72)로부터 이격되어, 스탑(90) 및 제4 스탑으로서 기능하는 기본 요소(72)가 개방된다. 그러나, 거리(s3)가 0이면, 스탑(90)은 기본 요소(72)와 접촉하고, 스탑(90) 및 제4 스탑으로서 기능하는 기본 요소(72)는 폐쇄된다. 스탑들(88, 90)은 기본 요소(72)에 대해 제1 또는 제2 방향으로 공통적으로 또는 동시에 이동 가능하고 거기서 예를 들어, 감쇠기 하우징(96)과 함께 이동 가능하다. 추가로, 스탑(86)은 특히 로케이션(S2), 밸브 요소(80) 및/또는 전달 요소(40)와 함께 기본 요소(72) 및 스탑들(88, 90)에 대해 제1 또는 제2 방향으로 이동 가능하다. 그리하여, 거리(s1, s2, s3)는, 거리(s1, s2, s3)가 각각 0 및 0 보다 더 큰 값들을 취할 수 있도록, 변화될 수 있다. 바람직하게는, 스프링 요소(110)는 스프링 요소(74) 보다 강하여, 스프링 요소(110)는 예를 들어, 제1 스프링 상수를 갖고 스프링 요소(74)는 제2 스프링 상수를 가지며, 제1 스프링 상수는 제2 스프링 상수보다 크다.

도 3은 액추에이터 장치(10) 및 액추에이터(34)의 작동 전의 제약을 각각 도시한다. 도 3에 따르면, 액추에이터(34)의 제어 또는 액추에이터(34)에 대한 전기 전압의 공급은 예를 들어 행해지지 않은 상태로 유지되고, 밸브 장치(76)는 예를 들어, 개방된다. 추가로, 바람직하게는, 스탑들(86, 88)이 서로 접촉하고 또한 스탑(90)과 기본 요소(72)가 서로 접촉하도록 거리들(s1, s3)이 0인 것이 제공된다. 도 3은 예를 들어, 제1 시점(t0)에서의 액추에이터 장치(10)를 도시하고, 그 시점에서 스프링 요소(110) 및/또는 감쇠기(92)는 예를 들어 제1 길이 또는 제1 편향(도 3에서 s_f2 _{_t0}로 표시되어 있음)을 갖는다. 시점(t0)에서, 스프링 요소(74)는 스탑(86)을 스탑(88)에 누르고, 그에 따라 스탑들(86, 88)은 서로 접촉하고, 스프링 요소(110)는 스탑(90)을 기본 요소(72)에 눌러 거리(s3)는 0이다. 스프링 요소(110)는 스프링 요소(74)보다 강하기 때문에, 스탑(90)은 기본 요소(72)와 접촉한 상태로 유지되고 거리(s3)는 0으로 각각 유지된다. 시점(t0)에서, 예를 들어, 기계적으로 제어되는 밸브로 형성되는 밸브 장치(76)가 개방되어 있고, 액추에이터(34)에 전기 전압을 공급함으로써 부분(T)이 최대로 편향될 수 있도록 부분(T)은 예를 들어, 최대 스트로크의 절반으로 편향된다. 따라서, 예를 들어, 시점(t0)에서, 액추에이터(34)에 전기 전압이 공급되어, 특히 부분(T)이 그의 최대 스트로크의 절반으로 편향된다. 예를 들어, 액추에이터(34)는 편향을 필요로 하거나 수행하며 또는 액추에이터(34)의 그러한 편향이 발생하며, 특히 각각의 이동 방향을 따라 볼 때, 그 편향은 밸브 장치(76)의 개방보다 최소로 크거나 밸브 장치를 개방하기 위해 필요한 것보다 최소로 크며, 그에 따라 밸브 요소들(78, 80) 사이의 거리 보다 최소로 크다. 따라서, 액추에이터(34)의 요구되는 편향은 이론적으로 특히 최대 스트로크의 적어도 40 또는 60 %일 수 있다. 이것은 개방된 상태에서 밸브 장치(76)의 조절된 거리에만 의존한다. 그러나, 밸브 장치(76)의 요구되는 개방은 액추에이터(34)의 최대 편향 또는 최대 스트로크의 적어도 50 %인 것이 유리한데, 그렇지 않으면, 출력 챔버(18)로부터 유체를 배출함에 있어 밸브 장치(76)의 개방 단면이 작아서 배출이 더 오래 걸리기 때문이다.

이는, 예를 들어, 부분(T)이 최소 편향과 최대 편향 사이에서 움직일 수 있음을 의미하며, 최대 편향은 최대 스트로크라고도 한다. 액추에이터(34)에 전기 에너지 또는 전기 전압을 공급함으로써, 부분(T)은 예를 들어, 최대로 편향될 수 있고 따라서 최소 편향으로부터 시작하여 최대 편향으로 편향될 수 있다. 예를 들어, 액추에이터(34)에 전기 전압이 공급되는 것이 방지되면, 부분(T)은 제로 위치 또는 초기 위치라고도 하는 최소 편향을 취할 수 있다. 부분(T)이 최소 편향으로부터 시작하여 최대 편향으로 편향되면, 부분(T)은, 예를 들어, 최소 편향에서 시작하여 최대 편향에서 끝나는 거리를 이동하게 된다. 부분(T)이 최대 편향의 50 %로 편향되면, 부분(T)은 이전에 언급된 거리의 절반에 있게 된다. 이는 예를 들어, 시점(t0)에서의 경우이다. 예를 들어, 액추에이터(34)에 공급되는 전기 전압이 클수록, 특히 최소 편향으로부터 시작하는 부분(T)의 편향은 더 크게 된다. 예를 들어, 부분(T)의 최소 편향을 조절하기 위해, 액추에이터(34)에 공급되는 전기 전압은 0이다. 예를 들어, 부분(T)의 최대 편향을 일으키기 위해, 전기 전압은 그의 최대 값을 갖는다. 부분(T)을 최대로 편향된 상태로 유지시키기 위해, 액추에이터(34)에는 편향 값을 갖는 전압이 적어도 실질적으로 연속적으로 공급된다. 예를 들어, 부분(T)을 최대 편향의 50 %로 편향시키기 위해, 예를 들어, 액추에이터(34)에 공급되는 전기 전압의 추가 편향 값이 조절되고, 그 추가 편향 값은 바람직하게는 0 보다 큰 제1 편향 값의 예를 들어 50 %이다.

도 3은 제2 시점(t1)에서의 액추에이터 장치(10)를 나타내며, 이 시점은 시간적으로 제1 시점(t0) 다음에 있다. 액추에이터(34)에 공급되는 전기 전압은 예를 들어, DC 또는 DC 전압이라고도 하는 직류 전압이다. 예를 들어, 시점(t0)에서 액추에이터(34)에 공급되는 전압의 값 또는 편향 값이 증가되면, 이에 따라 부분(T)은 제1 시점(t0)으로부터 시작하여 더 편향되고, 그리하여 액추에이터(34)의 길이 또는 길이 증가가 발생한다. 다시 말해서, 이로써 부분(T)은 기본 요소(72)에 대해 제1 방향으로 이동된다. 도 3 및 도 4의 개요로부터 명백한 바와 같이, 그리하여 밸브 장치(76)가 폐쇄되어, 밸브 장치(76)는 제2 시점(t1)에서 그의 폐쇄된 상태(S)로 있다. 여기서, 스프링 요소(110) 또는 감쇠기(92)는 시점(t0)에서의 길이 또는 편향(s_{F2_t0})보다 작은 제2 편향 또는 제2 길이(s_F2 _{_t1})를 갖는다. 다시 말해서, s_F2 _{_t1} ＜ s_{F2_t0} 이 성립한다.

감쇠기(92)의 압축 단계는 인장 단계보다 더 부드럽거나 덜 단단하거나 덜 강성적이다. 다시 말해, 감쇠기(92)를 압축할 때 체크 밸브(108)가 개방되고 감쇠기(92)를 팽창시킬 때 체크 밸브(108)가 폐쇄되기 때문에, 감쇠기(92)의 인장 단계는 압축 단계 보다 더 단단하거나 더 강성적이다. 시점(t0)으로부터 시작하여, 부분(T)을 기본 요소(72)에 대해 제1 방향으로 이동시킴으로써, 감쇠기(92)가 압축될 수 있고 이에 따라 밸브 요소(78)가 기본 요소(72)에 대해 제1 방향으로 영향을 받을 수 있고 밸브 요소(80)를 향해 이동될 수 있고 이에 따라 밸브 장치(76)가 폐쇄될 수 있으며, 감쇠기(92)는 압축시에 충분히 부드럽고 특히 팽창시보다 더 부드럽기 때문에 거리(s1, s3)는 0으로 유지된다.

도 5 및 도 6은, 밸브 장치(76)가 폐쇄되고 폐쇄된 상태로 유지되는 동안 출력 챔버(18) 안으로 유체를 펌핑하는 것을 도시한다. 제2 시점(t1)에서의 밸브 장치(76)의 이전에 설명된 폐쇄 후에 그리고 특히 액추에이터(34)에 DC 전압을 인가한 후, 펌핑 절차라고도 하는 펌핑 작동을 시작하기 위해, 즉 일으키기 위해 교류 전압(AC 전압)으로서 전압이 예를 들어 액추에이터(34)에 인가된다. 따라서, 액추에이터(34)에 공급되는 전압이 시점(t1)으로부터 시작하여 특히 이전에 언급된 AC 전압의 범위 내에서 더 증가되면, 부분(T)이 더 편향되는데, 즉 기본 요소(72)에 대해 제1 방향으로 이동된다. 여기서 밸브 장치(76)는 폐쇄되어 있기 때문에, 부분(T) 및 밸브 요소(78)를 기본 요소(72)에 제1 방향으로 이동시키면, 전달 요소(40)도 또한 예를 들어, 제2 로케이션(S2)도 특히 기본 요소(72)에 대해 제1 방향으로 이동된다. 이에 의해, 전달 챔버(46)의 부피가 감소되거나 유체가 전달 요소(40)에 의해 전달 챔버(46) 외부로 전달되어 출력 챔버(18) 안으로 펌핑된다. 전달 챔버(46)의 부피를 구동 또는 전달 부피라고도 하며, 이 부피는 밸브 장치(76)를 통한 부분(T)의 설명된 편향에 의해 감소된다. 기본 요소(72)에 대해 발생하는 제1 방향으로의 부분(T) 및 밸브 요소(78)의 이러한 이동시에, 비선형 감쇠기의 압축 단계가 부드럽기 때문에, 그리고 스탑(90)이 제1 방향을 따라 기본 요소(72)와 접촉하거나 기본 요소(72)에 지지되어, 기본 요소(72)에 대해 제1 방향으로 발생하는 감쇠기 하우징(96)의 이동이 방지되거나 회피되기 때문에, 비선형 감쇠기(92)는 특히 더 압축된다. 그 결과, 시간적으로 시점(t1) 다음에 있고 도 5에 나타나 있는 제3 시점(t2)에서, s_F2 _{_t2} ＜ s_F2 _{_t1}가 되도록, s_F2 _{_} _t2로 표시된 스프링 요소(110) 또는 감쇠기(92)의 편향 또는 길이가 발생한다. 그와 관련하여, 전달 요소(40)가 기본 요소(72) 및 감쇠기 하우징(96)에 대해 제1 방향으로 특히 병진 이동되기 때문에, 스탑(86)은 스탑(88)으로부터 멀어지게 이동되고, 이에 의해 거리(s1)는 시점(t2)에서 0 보다 크게 되거나 0 보다 크다. 다시 말해, 스탑들(86, 88)은 시점(t2)에서 서로 이격된다.

액추에이터(34)는 펌핑 작동 동안에 또는 펌핑 작동을 실현하기 위해 바람직하게는 AC 전압으로서 형성되는 이전에 언급된 전압으로 작동되고, 그에 따라 액추에이터(34)에 공급되는 전압의 상이한 큰 값들이 예를 들어 교대로 조절되기 때문에(바람직하게는, 그 값들 중의 적어도 하나는 0 보다 크고 또한 다른 값도 0 보다 크며 그 하나의 값과 다르며, 다른 값은 또한 0일 수 있는 것이 제공됨), 부분(T)은 펌핑 작동 동안에 기본 요소(72)에 대해 제1 방향과 제2 방향으로 교대로 이동된다. 따라서, 전달 요소(40)(이에 의해 유체가 출력 챔버(18) 안으로 전달되었음)를 기본 요소(72)에 대해 그리고 특히 전달 하우징(42)에 대해 제2 방향 또는 제2 전달 방향으로 이동시키고 그에 따라 새로운 유체를 전달 챔버(46) 안으로 전달, 특히 흡입시킬 수 있도록, 액추에이터(34)에 공급되는 전압이 감소된다. 이에 의해, 부분(T)이 기본 요소(72)에 대해 제2 방향으로 이동된다. 이를 또한 액추에이터(34)의 후퇴 또는 길이 단축이라고 한다. AC 전압으로 액추에이터(34)를 제어함으로 인해, 액추에이터(34) 또는 부분(T)이 전압의 다음 증가까지 후퇴할 수 있는 짧은 단계만 존재한다. 비선형 감쇠기는 그의 팽창에 있어 매우 강성적이고, 그에 따라 짧은 시간 기간 동안 액추에이터(34)를 후퇴시킴에 있어 매우 강성적이기 때문에, 전달 요소(110)는 짧은 시간 기간 동안 감쇠기(92)의 팽창을 일으키지 않거나 단지 매우 작은 팽창을 일으키며, 그리하여, 도 6에 나타나 있는 바와 같이, 시점(t2) 다음에 있는, 그 도에 나타나 있는 시점(t3)에 근거하여, 밸브 장치(76)는 폐쇄된 상태로 유지되고 스탑(90)은 특히 제2 방향으로 기본 요소(72)로부터 멀어지게 이동되며, 그에 따라 거리(s3)는 0이 되거나 0 보다 크다. 그와 관련하여, 거리(s1)도 0이 되거나 0보다 크며 스탑(86)이 스탑(88)으로부터 이격되며, 그리하여, 스프링 요소(74) 또는 그의 스프링력이 해제되고 그에 따라 한편으로 흡입 밸브로서 형성되거나 기능하는 체크 밸브(58)를 통해 유체가 전달 챔버(46) 안으로 흡입되고 다른 한편으로는 밸브 장치(76)가 폐쇄된 상태로 유지된다. 특히, 도 4 및 5는 액추에이터 장치(10)의 각각의 상태들 또는 위치들을 나타내며, 여기서 도 5 및 6에 나타나 있는 상태들 또는 위치들은 펌핑 작동시에 여러 번 연속적으로 교대한다. 이에 의해, 유체는 전달 챔버(46)로부터 출력 챔버(18) 안으로 그리고 저장소 챔버(54)로부터 전달 챔버(46) 안으로 교대로 전달될 수 있다. 다시 말해서, 펌핑 작동시에, AC 전압으로 형성되는 전기 전압으로 액추에이터(34)를 제어하여, 도 5 및 도 6에 나타나 있는 액추에이터 장치(10)의 상태들 사이에서 교대로 또한 연속적으로 변경되어, 유체가 출력 챔버(18) 안으로 전달된다. 여기서, 밸브 요소들(78, 80) 및 이와 함께 전달 요소(40)는 교대로 이동되고 이에 따라 제1 방향 및 제2 방향으로 왕복하며, 감쇠기(92) 및 이에 따른 감쇠기 요소들 및 스탑들(86, 88, 90)은 기본 요소(72)에 대해 제1 방향 및 제2 방향으로 적어도 실질적으로 블럭으로서 이동된다. 비선형 감쇠기(92)의 인장 단계는 압축 단계보다 더 강하거나 강성적이기 때문에, 액추에이터(34)를 후퇴시킬 때, 감쇠기(92)의 팽창이 발생하지 않거나 단지 매우 약간의 팽창만 발생하며, 그에 따라 밸브 장치(76)가 개방됨에 따라 밸브 요소들(78, 80)은 서로 멀어지게 이동하지 않거나 멀리 이동하지 않는다. 따라서, 밸브 장치(76)는 전달 요소(40)와 밸브 요소들(78, 80)을 왕복시킬 때 폐쇄된 상태로 유지된다. 그와 관련하여, 스프링 요소(110) 또는 감쇠기(92)는 sF2_t3로 표시되는, 시점(t3)에서의 길이 또는 편향을 갖는다. 감쇠기(92)의 인장 단계가 압축 단계보다 더 강성적이거나 더 단단하기 때문에, 액추에이터(34)를 후퇴시킬 때, 감쇠기(92)의 실질적인 팽창이 발생하지 않으며, 그에 따라 제3 시점(t3)에서 s_F2 _{_t2} = s_F2 _{_t3} 또는 s_F2 _{_t2} ≒ s_{F2_t3}이 성립한다. 유체를 출력 챔버(18) 안으로 전달함으로써, 출력 요소(12)는 유지 위치로 이동된다. 예를 들어, 출력 요소(12)의 추가 이동이 행해지지 않은 상태로 유지되고 또한 출력 요소(12)가 유지 위치에 유지되어야 하면, 액추에이터(34)는 예를 들어, DC 전압으로 다시 제어되며, 이에 의해 밸브 장치(76)는 폐쇄된 상태로 유지된다.

예를 들어, 유지 위치로부터 회피 위치로의 출력 요소(12)의 이동을 허용하고 밸브 장치(76)를 개방하기 위해, 특히 DC 전압으로 형성되는 미리 조절된 전압은 예를 들어, 특히 천천히 0까지 낮아진다. 그런 다음, 스프링 요소(110) 또는 그의 스프링력은 비선형 감쇠기(92)의 추출을 허용하며, 그에 따라 감쇠기(92) 또는 스프링 요소(110)는, 도 7에 나타나 있고 시점(t3) 다음에 있는 제5 시점(t4)에서 길이 또는 편향(s_F2 _{_t4})을 갖는다. 그에 따라, 예를 들어, s_F2 _{_t4} ＞ s_F2 _{_t3}이 성립한다. 그 결과, 유체는 출력 챔버(18)로부터 저장소 챔버(54) 안으로 흐를 수 있다. 대안적으로, 전압이 빠르게 낮아질 수 있다. 그러면, 스탑(90)이 기본 요소(72)로부터 들어 올려지지만, 스프링 요소(110)는 밸브 장치를 개방하기 위해 먼저 감쇠기를 추출해야 한다(펌핑 주파수보다 "약간" 더 오래 걸림).

그와 관련하여, 밸브 장치(76)를 개방하는 시간 거동은 특히 인장 방향으로의 또는 인장 단계에 대한 비선형 감쇠기(92)의 시간 또는 감쇠 거동에 의존한다. 이 시간 또는 감쇠 거동은, 전달 요소(40) 및 이와 함께 예를 들어, 밸브 요소들(78, 80)이 펌핑 작동시에 제1 방향과 제2 방향으로 교대로 이동하는, 즉 왕복하는 주파수와 일치해야 한다. 이로써 유체가 펌핑되기 때문에, 그 주파수를 펌핑 주파수라고도 한다. 시간 거동은 펌핑 주파수와 일치해야 하는데, 왜냐하면, 감쇠기(92)를 분리되게 너무 빨리 끌어당기거나 팽창시키면, 너무 느린 펌핑시에(즉, 펌핑 작동시에 전압 낮추기와 전압의 다음 상승 사이에 과도하게 긴 시간이 있는 경우), 밸브 장치(76)가 개방될 것이기 때문이다. 도 8은 액추에이터 장치(10)의 제2 실시예를 나타낸다. 특히, 액추에이터 장치(10)의 기계적 구현은 도 8로부터 명백하다.

도 9 내지 도 13은 액추에이터 장치(10)의 제3 실시예를 나타낸다. 제3 실시예에서, 구동 피스톤 또는 전달 피스톤이라고도 하는 전달 요소(40)는, 밸브 장치(76)를 우회하면서 특히 직접적인 방식으로 또는 부분(T)이 제9 속도로 그리고/또는 제9 경로만큼 기본 요소(72)에 대해 제1 방향 또는 제2 방향으로 이동되고 그 결과 전달 요소(40)가 제10 속도로 그리고/또는 제10 경로만큼 기본 요소(72)에 대해 제1 방향 또는 제2 방향으로 이동되도록 액추에이터(34)의 부분(T)에 운동 결합되며, 각각, 제9 경로는 제10 경로에 대응하고 제9 속도는 제10 속도에 대응한다. 예를 들어, 제1 및 제2 실시예들에서 부분(T)에 의해 전달 요소(40)를 이동시키기 위해, 그 부분(T)은 작동력을 제공하며, 이 작동력은 부분(T)으로부터 전달 경로를 통해 전달 요소(40)에 전달되고 특히 그리하여 전달 요소(40)를 기본 요소(72)에 대해 제1 전달 방향 또는 제1 방향으로 특히 병진 이동시킨다. 제1 및 제2 실시예들에서, 밸브 장치(76)는 전달 경로에 배치된다. 제3 실시예에서, 밸브 장치(76)는 전달 경로 밖에 배치되어, 전달 요소(40)를 이동시키기 위해 부분(T)에 의해 제공되는 작동력이 밸브 장치(76), 즉 밸브 요소들(78, 80)을 우회하게 되며, 따라서 부품(T)으로부터 전달 요소(40)까지 이르는 그의 경로 상에서 밸브 요소들(78, 80)을 경유하거나 통과하지 않는다.

추가로, 제3 실시예에서는, 흡입 밸브로서 형성되거나 기능하는 체크 밸브(58)가 전달 피스톤으로서 형성된 전달 요소(40)에 수용되어 그 전달 요소(40)에 통합되는 것이 제공된다. 따라서, 체크 밸브(58)는 예를 들어, 전달 요소(40)와 함께, 특히 기본 요소(72)에 대해 그리고/또는 병진적인 방식으로 제1 또는 제2 전달 방향으로 이동 가능하다. 추가로, 채널(56)의 적어도 일부분은 전달 요소(40), 특히 추가 챔버(112)를 통해 연장되며, 그 추가 챔버는 전달 챔버(46)와 대향하며 그리고/또는 전달 요소(40) 및 전달 하우징(42)에 의해 각각 부분적으로 경계가 정해진다. 따라서, 유체는 저장소 챔버(54)로부터 전달 챔버(46)까지 또는 그 안으로 이르는 경로 상에서 챔버(112)를 통해 그리고 전달 요소(40)를 통해 흐르고, 채널(56)에 배치되는 체크 밸브(58)가 그 전달 요소에 배치된다. 더욱이, 제3 실시예에서, 밸브 요소(80)는 적어도 제1 방향 및 제2 방향으로 기본 요소(72)에 고정되어, 특히 기본 요소(72)에 대해 제1 방향 및 제2 방향으로 발생하는 밸브 요소(80)와 기본 요소(72) 사이의 특히 병진적인 상대 이동이 방지되는 것이 제공된다. 추가로, 연결 경로들(102, 104) 및 이에 따른 스로틀(106) 및 체크 밸브(108)는 감쇠기 피스톤(94)에 배치되고 따라서 특히 감쇠기 하우징(96)에 대해 감쇠기 피스톤(94)과 함께 특히 병진 이동 가능하다.

제1 실시예에서, 스탑들(86, 88)은 예를 들어, 제1 접촉부라고도 하는 제1 스탑 쌍(114)을 형성한다. 그와 관련하여, 스탑들(86, 88)이 서로 이격되어 있거나 거리(s1)가 0보다 크다는 특징에 의해, 스탑 쌍(114) 또는 제1 접촉부는 개방된다는 것을 이해할 것이다. 제3 실시예에서, 스탑 쌍(114)은 또한 스탑들(86, 88)을 포함한다. 추가로, 제1 실시예에서, 스탑(90)과 기본 요소(72)는 제2 접촉부라고도 하는 제2 스탑 쌍(116)을 형성한다. 거리(s3)가 0보다 크거나 스탑(90)과 기본 요소(72)가 서로 이격되어 있다는 특징에 의해, 특히, 스탑 쌍(116) 또는 제2 접촉부는 개방된다는 것을 이해할 수 있다. 제3 실시예에서, 스탑 쌍(116)은 스탑(90) 및 스탑(118)(스탑 요소라고도 함)을 포함한다. 스탑들(88, 118)은 특히 감쇠기 피스톤(94)과 함께 그에 따라 예를 들어 감쇠기 하우징(96)에 대해 제1 방향 및 제2 방향으로 기본 요소(72)에 대해 특히 공통적으로 또는 동시에 특히 병진 이동 가능하다. 제3 실시예에서, 감쇠기 하우징(96)은 적어도 제1 방향 및 제2 방향으로 기본 요소(72)에 고정된다. 스탑(90)은 밸브 요소(78)에 결합되고 거기서 기본 요소(72)에 대해 제1 방향 및 제2 방향으로 밸브 요소(78)와 함께 예를 들어 공통적으로 또는 동시에 이동 가능하다. 스탑(86)은 부분(T) 및 전달 요소(40)에 결합, 특히 운동 결합되어 있어, 부분(T), 전달 요소(40) 및 스탑(86)은 기본 요소(72)에 대해 제1 방향 및 제2 방향으로 예를 들어 특히 병진 이동 가능하다. 제1 실시예에서, 스탑들(86, 90)은 예를 들어, 제3 스탑 쌍을 형성하는데, 이는 제3 실시예에서는 생략되어 있다. 특히, 스탑(88)은 태핏(tappet)으로 형성되는데, 이 태핏은 밸브 장치(76) 및 비선형 감쇠기(92)를 특히 그의 압축에 대해 작동시키기 위해 사용되며, 부분(T)에 의해 특히 스탑(88)을 통해 특히 기본 요소(72)에 대해 그리고/또는 병진적인 방식으로 제1 방향으로 이동 가능하거나 이동된다.

도 10은 개방된 상태에 있는 액추에이터 장치(10)를 나타내며, 그에 따라 도 10은 예를 들어 도 1 또는 도 3에 대응한다. 도 10에서, 액추에이터(34)는 예를 들어 통전되지 않아, 부분(T)은 편향을 취하지 않거나 최소 편향을 취한다. 추가로, 특히, 스프링 요소(110)는 스프링 요소(74) 보다 강하기 때문에, 제1 접촉부(스탑 쌍(114)) 및 제2 접촉부(스탑 쌍(116)) 둘 모두는 폐쇄되어 있고, 배출 밸브라고 하거나 배출 밸브로서 기능하는 밸브 장치(76)는 개방되어 있다. 그리하여, 스프링 요소(110)는 스탑(118)을 스탑(90)에 누르고, 또한 스프링 요소(110)는 추가로 스탑(88)을 스탑(86)에 누른다. 그 결과, 밸브 요소(78)는 스탑들(90, 118)을 통해 밸브 요소(80)로부터 멀어지게 이동되어, 스프링 요소(110)는 밸브 장치(76)를 개방된 상태로 유지시킨다.

도 11은 유지 상태라고도 하는 유지 작동을 나타내며, 그에 따라 특히 액추에이터(34)에 DC 전압으로서 전기 전압이 공급되어 부분(T)이 그의 최대 스트로크 또는 최대 편향의 적어도 실질적으로 50 %를 차지하거나 밸브 장치가 폐쇄되거나 폐쇄된 상태로 유지되는만큼 차지하고 있어, 도 11에서 밸브 장치(76)는 액추에이터(34)에 의해 예를 들어, 폐쇄되고 폐쇄된 상태로 유지된다. 유지 상태 또는 유지 작동에서, 제1 접촉부 및 제2 접촉부도 폐쇄되고, 스프링 요소(110)는 예를 들어, 부분(T)의 편향에 의해 도 10에 비해 약간 압축되어 있어, 밸브 장치(76)가 폐쇄되어 있을 때 스프링 요소(110)는 제2 접촉부를 폐쇄된 상태로 유지한다.

도 12는 전달 챔버(46)로부터 유체를 출력 챔버(18) 안으로 펌핑하는 것을 도시하며, 여기서 액추에이터(34)는 특히 AC 전압으로서 형성되는 전기 전압으로, 특히, 액추에이터(34)에 공급되는 전기 전압이 교대로 그리고 연속적으로 증가 및 감소되도록 특히 동적으로 제어된다. 전달 챔버(46)로부터 유체를 출력 챔버(18) 안으로 전달할 때 또는 전달하기 위해, 비선형 감쇠기(92)로 인해, 또는 비선형 감쇠기(92)의 인장 단계가 매우 단단하고 특히 압축 단계보다 단단하다는 사실에 의해, 또는 밸브 장치(76)의 개방이 발생하도록 스프링 요소(110)가 감쇠기(92)를 팽창시키고 그 결과 제2 접촉부를 폐쇄할 수 있게 하기에는 전기 전압을 낮추거나 감소시키기 시작할 때와 이어서 전압을 증가시키기 시작할 때 사이의 시간 기간이 너무 작다는 사실에 의해, 스프링 요소(110)는 동적 작업시에 제2 접촉부를 폐쇄할 수 없기 때문에, 제1 접촉부가 폐쇄되고 제2 접촉부는 개방된다.

마지막으로, 도 13은 저장소(52)로부터 유체를 전달 챔버(46) 안으로 전달하는 것을 도시한다. 여기서, 유체를 출력 챔버(18) 안으로 전달하기 위해 증가된, AC 전압으로서 형성되는 전압은 동적 펌핑 작동시에 감소되며, 그리하여 부분(T) 및 이와 함께 전달 요소(40)는 전달 하우징(42)에 대해 제2 방향으로 이동된다. 이 이동은, 스프링 요소(110)에 의해 발생하거나 발생할 수 있고 감쇠기(92)가 밸브 장치(76)를 폐쇄된 상태로 유지시키고 제1 접촉부가 개방되고 그리고 제2 접촉부가 또한 개방되도록 제2 접촉부를 폐쇄하거나 폐쇄된 상태로 유지시키기 위해 요구되는 감쇠기(92)의 팽창 보다 더 빨리 발생한다. 따라서, 펌핑 작동시에, 전달 요소(40) 및 스탑(86)은 제1 방향과 제2 방향으로 교대로 빠르게 이동되고 따라서 밸브 장치(76)의 개방이 행해지지 않은 상태로 유지되도록 부분(T)에 의해 왕복된다. 유체를 출력 챔버(18) 안으로 전달할 때, 제1 접촉부가 폐쇄되고 제2 접촉부는 개방된 상태로 유지되며, 유체를 전달 챔버(46) 안으로 전달할 때, 제1 접촉부와 제2 접촉부는 개방되어, 양 접촉부들이 동시에 개방된다. 비선형 감쇠기(92), 특히 그의 비선형성 또는 저역 통과 거동은 스프링 요소들(74, 110)의 과도한 편향들을 방지하여, 배출 밸브가 폐쇄되고 또한 폐쇄된 상태로 유지된다.

도 14는 액추에이터 장치(10)의 제4 실시예를 나타낸다. 특히, 도 14는 액추에이터 장치(10)의 기계적 구현을 도시한다. 저장소(52)에 유체적으로 연결된 포트는 도 14에서 "120"으로 표시되어 있고, 출력 챔버(18)에 유체적으로 연결된 포트는 도 14에서 "122"로 표시되어 있다.

도 15는 가로축(124)에 시간이 표시되어 있는 선도를 나타낸다. 도 15에 나타나 있는 선도의 세로축(126)에는, 액추에이터(34)에 인가되는 전압이 표시되어 있다. 도 15에 나타나 있는 선도에 진행(128)이 기록되어 있으며, 이 진행은 액추에이터(34)에 공급되는 전압을 시간에 따라 도시한다. 따라서, 진행(128)은 액추에이터(34)에 인가되는 전압의 시간적 진행이다. 도 15에서, 제1 시간 기간은 펌핑 작동이 발생하는 P1으로 표시되어 있다. 또한, 제1 시간 기간(P1) 다음의 제2 시간 기간(P2)이 도 15에 나타나 있는데, 이 제2 시간 기간에서 액추에이터 장치(10)는 그의 유지 작동 또는 유지 상태에 있다. 추가로, 제2 시간 기간(P2) 다음의 제3 시간 기간(P3)이 도 15에 나타나 있는데, 제3 시간 기간 동안에 액추에이터 장치(10)는 그의 개방 작동으로 있다. 도 15로부터 명백한 바와 같이, 출력 챔버(18) 안으로 유체를 펌핑하기 위해, 전압이 AC 전압으로서 연속적으로 그리고 교대로 빠르게 증가되고 감소된다. 그 후, 전압은 출력 요소(12)를 유지 위치에 유지시키기 위해 적어도 실질적으로 일정하게 유지된다. 유지 위치로부터 회피 위치로의 출력 요소(12)의 이동을 허용하거나 일으키기 위해, 액추에이터(34)에 공급되는 전압은 시간 기간(P3) 동안 특히 천천히 감소되어 밸브 장치(76)의 개방을 이룬다.

도 16은 액추에이터 장치(10)의 제5 실시예의 개략도를 도시한다. 제5 실시예에서, 감쇠기 장치는 예를 들어, 비선형 감쇠기로 형성되지 않고 선형 감쇠기(93)로서 형성된다. 이는, 감쇠기(93)의 압축 단계와 인장 단계는 동등하게 강하거나 동등하게 강성적이어서 감쇠기(93)의 압축 단계와 인장 단계는 예를 들어 동일한 감쇠 상수들을 갖는 다는 것을 의미한다. 나머지에 대해, 제5 실시예는 제4 실시예에 대응한다.

도 17은 도 15에 따른 선도를 나타내지만, 진행(128)에 근거하여 명백한 바와 같이, 이제 액추에이터(34)는 도 15에 대해 또는 제4 실시예에 대해 다른 방식으로 제어된다. 도 17에 도시된 액추에이터(34)의 제어로, 펌핑 작동, 유지 작동 및 개방 작동은 비선형 감쇠기(92)의 사용 없이, 특히 선형 감쇠기(93)를 사용하여 실현될 수 있다. 이와 관련하여, 도 17의 진행(128)에 근거하여 명백한 바와 같이, 동적 펌핑 작동 동안에, 진행은 감소되는 경우 보다 더 느리게 증가되거나 증가되는 경우 보다 실질적으로 더 빠르게 감소된다. 이에 의해, 밸브 장치(76)의 개방을 이루기 위한 충분한 시간이 스프링 요소(110)에 주어지지 않는다. 따라서, 제5 실시예에서도 특히 제어에 의해서만, 밸브 장치(76)는 특히 선형 감쇠기(93)에 의해 폐쇄된 상태로 유지되며, 액추에이터(34)에 공급되는 전압은 펌핑 작동의 범위 내에서 감소되어, 새로운 유체를 전달 챔버(46) 안으로 전달하는데, 특히 흡입시킨다. 특히 제1 실시예에서의 제어는 적어도 실질적으로 사인파형으로 이루어진다는 것이 명백하다. 특히 제5 실시예에서의 제어는 예를 들어, 톱니형으로 이루어지지만, 대안적으로 펄스 폭 변조 또는 사인파 방식으로 이루어질 수도 있다.

도 18 및 19는 또한 도 17에 따른 선도를 나타내지만, 이 선도는 이제 진행(128)으로 도시된 액추에이터(34)의 추가 제어를 갖는다. 제1 시간 기간(Z1) 동안에, 밸브 장치(76)는 개방되고 액추에이터(34)에는 전기 전압이 공급되지 않으며, 그에 따라 예를 들어, 부분(T)은 그의 최소 편향을 취한다. 제1 시간 기간(Z1) 다음의 제2 시간 기간(Z2) 동안, 액추에이터(34)에 공급되는 전압은 먼저 특히 천천히 증가되고, 그런 다음에 적어도 실질적으로 일정하게 유지되며, 이에 의해 부분(T)은 기본 요소(72)에 대해 제1 방향으로 특히 어떤 위치로 이동되며, 밸브 장치(76)는 폐쇄되고 부분(T)은 언급된 위치에 유지되고 밸브 장치(76)는 폐쇄된 상태로 유지된다. 시간 기간(Z2) 다음의 제3 시간 기간(Z3) 동안, 이전에 설명된 펌핑 작동이 발생하고, 그의 범위 내에서 부분(T) 및 이와 함께 전달 요소(40)는 기본 요소(72)에 대해 제1 방향 및 제2 방향으로 이동된다. 시간 기간(Z3) 다음의 시간 기간(Z4) 동안, 유지 작동이 발생하고, 이 동안 액추에이터(34)에는 적어도 실질적으로 일정한 전압이 공급된다. 그리하여, 밸브 장치(76)는 폐쇄된 상태로 유지되고 출력 요소(12)는 유지 위치에 유지된다. 시간적으로 시간 기간(Z4) 다음에 있는 시간 기간(Z5) 동안에, 개방 작동이 발생하고, 이 개방 작동에서 또는 동안에, 액추에이터(34)에 공급되는 전압은 특히 충분히 천천히 감소되거나 증가되며, 그에 따라 특히 스프링 요소(110)에 의한 밸브 장치(76)의 개방이 허용되거나 발생하게 된다. 시간 기간(Z5) 다음에 시간 기간(Z6)이 있고, 이 시간 기간 동안에, 예를 들어 시간 기간(Z1) 동안인 밸브 장치(76)가 다시 개방된다. 이는 도 19에 대해서도 마찬가지이다.

마지막으로, 도 20은 액추에이터 장치(10)의 제6 실시예를 나타낸다. 여기서, 액추에이터 장치(10)는 특히 밸브 장치(76)에 추가로 제공된 서보 밸브(130)를 포함하며, 이는 서보 드레인 밸브라고도 하며 예를 들어 전기적으로 작동 가능하다, 예를 들어, 서보 밸브(130)는 배출 채널(32)에서 밸브 장치(76)와 직렬로 배치되거나 연결되며, 여기서 서보 밸브(130)는 예를 들어, 출력 챔버(18)로부터 서보 밸브(130) 및 밸브 장치(76)를 통해 저장소 챔버(54) 안으로 흐르는 유체의 유동 방향으로 밸브 장치(76)의 상류에 배치된다. 예를 들어, 그리고 서보 밸브(130)는 결국 제2 개방 상태와 제2 폐쇄된 상태 사이에서 전기적으로 전환될 수 있다. 특히, 서보 밸브(130)는 예를 들어, 적어도 제2 폐쇄된 상태로부터 제2 개방 상태로 전환될 수 있다. 이로써, 배출 채널(32)은 예를 들어, 특히 빠르게 해제될 수 있다. 이에 의해, 특히 서보 밸브(130)의 프리(pre) 챔버(132)가 예를 들어 특히 빠르게 개방되거나 해제되며, 그에 따라, 서보 밸브(130)를 제2 개방 위치로 전환시킴으로써, 출력 챔버(18)에 수용된 유체의 적어도 일부가 프리 챔버(132) 안으로 배출될 수 있고 그에 따라 출력 챔버(18)로부터 배출되거나 출력 요소(12)로부터 배출될 수 있다. 제6 실시예 및 모든 다른 실시예들에서, 밸브 장치(76)는 액추에이터(34)에 의해 작동되는데, 특히 제어 또는 조절된다.

서보 밸브(130)는 밸브 요소(134) 및 밸브 스프링(136)을 포함하고, 밸브 스프링은 예를 들어, 1 bar의 낮은 개방 압력을 갖는다. 예를 들어, 배출 채널(32)을 통해 밸브 요소(134)에 작용하는 유체가 개방 압력보다 낮은 압력을 가지면, 밸브 요소(134)는 밸브 스프링(136)에 의해 폐쇄된 상태로 유지된다. 밸브 요소(134)에 작용하는 유체의 압력이 개방 압력에 대응하거나 밸브 요소(134)에 작용하는 유체의 압력이 개방 압력보다 크면, 결과적으로 밸브 요소(134)가 밸브 스프링(136)에 저항하여 개방되고, 이에 의해 서보 밸브(130)가 배출 채널(32) 또는 프리 챔버(132)를 해제한다. 다시 말해서, 배출 채널(32)은 채널 부분(T2)을 포함하고, 이 채널 부분은, 출력 챔버(18)로부터 밸브 장치(76) 또는 서보 밸브(130)로 흐르는 유체의 유동 방향으로 출력 챔버(18)의 하류에 그리고 프리 챔버(132)의 상류에 배치된다. 제2 폐쇄된 상태에서, 채널 부분(T2)은 밸브 요소(134)에 의해 프리 챔버(132)로부터 유체적으로 분리되어, 유체가 출력 챔버(18)로부터 프리 챔버(132) 안으로 흐를 수 없다. 서보 밸브(130)를 제2 폐쇄된 상태로부터 제2 개방 상태로 변이시킴으로써, 밸브 요소(134)는 채널 부분(T2)과 프리 챔버(132) 사이의 유체 연결을 해제시킨다. 다시 말해, 프리 챔버(132)가 해제되거나 채널 부분(T2)에 유체 연결되어, 출력 챔버(18)에 처음 수용된 유체의 적어도 일부가 출력 챔버(18) 밖으로 흘러 채널 부분(T2)을 통해 프리 챔버(132) 안으로 유입할 수 있다. 이는, 특히, 채널 부분(T2)에 수용되고 밸브 요소(134)에 특히 직접 작용하는 유체의 압력이 개방 압력에 대응하거나 그 보다 큰 경우에 발생한다.

스로틀(138)이 서보 밸브(130)와 관련되어 있는데, 이 스로틀은 서보 밸브(130), 특히 프리 챔버(132) 및 밸브 요소(134)와 병렬로 배치되거나 연결된다. 스로틀(138)은 우회 채널(140)에 배치되고, 이 스로틀은 각각의 접합부(V1)에서 채널 부분(T2)에 유체적으로 연결되고 접합부(V2)에서는 배출 채널(32)의 다른 채널 부분(T3)에 유체적으로 연결된다. 그와 관련하여, 우회 채널(140)은 예를 들어, 배출 채널(32)의 일 구성요소일 수 있다. 접합부(V1)는, 출력 챔버(18)로부터 또는 그 밖으로 채널 부분(T2)을 통해 서보 밸브(130)로 그리고 이 서보 밸브(130)를 통해 밸브 장치(76)로 흐르는 유체의 유동 방향으로 밸브 요소(134)의 상류에 배치되며, 접합부(V2)는 이전에 언급된 유동 방향에 대해 서보 밸브(130)의 하류에, 특히 밸브 요소(134)의 하류에, 그리고 밸브 장치(76)의 상류에 배치된다. 우회 채널(140)을 통해 흐르는 유체는 서보 밸브(130)를 우회하며 그에 따라 그 서보 밸브(130)를 통해 흐르지 않지만, 서보 밸브(130)를 우회하면서 우회 채널(140)을 통해 밸브 장치(76)로 흐른다. 출력 챔버(18)로부터 저장소 챔버(54)로 흐르는 유체의 유동 방향으로, 배출 채널(32)의 제3 채널 부분(T4)이 밸브 장치(76)의 하류에 배치되어, 밸브 장치(76)에서 나오는 유체가 채널 부분(T4)에 의해 저장소 챔버(54)에 전달된다.

그와 관련하여, 서보 밸브(130)는 밸브 하우징(142)을 포함하고, 이 밸브 하우징에는 서보 밸브(130)의 밸브 피스톤(144)이 병진 이동 가능하게 수용된다. 그와 관련하여, 밸브 피스톤(144)은 밸브 하우징(142)에 대해 도 20에서 이중 화살표(146)로 도시된 피스톤 방향을 따라 병진 이동할 수 있다. 그와 관련하여, 밸브 스프링(136)은 피스톤 방향을 따라 한편으로 밸브 피스톤(144)에 적어도 간접적으로, 특히 직접 지지되고 다른 한편으로는 밸브 요소(134)에 적어도 간접적으로, 특히 직접 지지된다. 그와 관련하여, 프리 챔버(132)는 부분적으로 밸브 하우징(142)에 의해 또한 부분적으로 밸브 피스톤(144)에 의해 형성되거나 경계가 정해진다. 추가로, 서보 밸브(130)는 추가 밸브 챔버(148)를 포함하고, 이 밸브 챔버는 예를 들어, 특히 피스톤 방향을 따라 프리 챔버(132)와 대향한다. 그와 관련하여, 한편으로는 밸브 장치(76)에 유체적으로 연결되고 다른 한편으로는 저장소 챔버(54)에 유체적으로 연결되는 채널 부분(T4)은 접합부(V3)에서 프리 챔버(132)에 유체적으로 연결되며, 접합부(V3)는, 밸브 장치(76)로부터 나와서 저장소 챔버(54)로 흐르는 유체의 유동 방향으로 밸브 장치(76)의 하류에 그리고 저장소 챔버(54)의 상류에 배치된다. 밸브 피스톤(144)이 밸브 하우징(142)에 대해 대응적으로 이동되어 프리 챔버(132)의 부피 감소가 발생하면, 밸브 챔버(148)의 부피 증가가 동일한 정도로 발생하고 그 반대도 마찬가지이다.

전반적으로, 제6 실시예 및 다른 실시예들에서 밸브 장치(76)는 특히 밸브 장치(76)의 개폐에 대하여 액추에이터(34)에 의해 작동되고, 특히 제어 또는 조절된다는 것이 명백하다. 특히, 밸브 요소(134)에, 특히 채널 부분(T2)에서 작용하는 유체의 압력이 개방 압력보다 작으면, 밸브 요소(134)는 쉽게 폐쇄된 상태로 유지된다. 전술한 바와 같이, 밸브 장치(76)가 액추에이터(34)에 의해 또는 액추에이터(34)의 대응하는 제어에 의해 폐쇄되고 또한 이어서 펌핑 작동이 수행되면, 스로틀로 인해 예를 들어, 프리 챔버(130)와 밸브 챔버(148) 사이의 작은 압력차가 출력측에 생기게 되지만, 밸브 요소(134)는 밸브 스프링(136)으로 인해, 특히 밸브 스프링(136)에 의해 제공되고 밸브 요소(134)에 작용하는 스프링력으로 인해 폐쇄된 상태로 유지된다. 이는 다른 유압 단면들을 통해서도 실현될 수 있다.

밸브 장치(76)가 액추에이터(34)의 대응하는 제어에 의해 개방되면, 특히 스로틀(138)이 우회 채널(140)에 배치되어 있다는 사실로 인해, 밸브 장치(76)를 통해 밸브 챔버(148) 내의 압력이 채널 부분(T2)에서 보다 더 빠르게 감소된다. 결과적으로, 밸브 요소(134)가 개방되거나 서보 밸브(130)가 제2 폐쇄된 상태로부터 제2 개방 상태로 변이된다. 밸브 장치(76) 자체와 대조적으로 또는 비교하여, 서보 밸브(130) 또는 밸브 요소(134)는 상당히 더 큰 편향을 실현할 수 있어, 점도가 높은 유체들이 특히 빠르게 흐를 수 있는데, 이는 출력 챔버(18)로부터 배출될 수 있음을 의미한다.

Claims

액추에이터 장치(10)로서,
유체가 공급될 수 있고 그에 따라 적어도 하나의 유지 위치로 이동 가능한 적어도 하나의 출력 요소(12),
액추에이터(34) ― 상기 액추에이터(34)는 상기 액추에이터(34)를 제어함으로써 펌핑 작동으로 작동 가능하며, 상기 펌핑 작동시에 상기 액추에이터(34)를 제어함으로써 상기 액추에이터(34)의 적어도 일부분(T)이 제1 방향(36) 및 상기 제1 방향(36)에 반대인 제2 방향(38)으로 교대로 이동 가능하고, 그리하여 상기 출력 요소(12)에 유체를 공급하기 위해 유체가 상기 출력 요소(12)에 전달될 수 있음 ―,
적어도 하나의 배출 채널(32) ― 상기 유체가 상기 배출 채널을 통해 상기 출력 요소(12)로부터 배출될 수 있음 ―, 및
2개의 밸브 요소들(78, 80)을 포함하는 밸브 장치(76)를 포함하고,
상기 밸브 요소들은 서로에 대해 이동 가능하고, 그리하여 상기 밸브 장치(76)는 상기 배출 채널(32)을 차단하는 적어도 하나의 폐쇄된 상태(S)와 상기 배출 채널(32)을 해제하는 적어도 하나의 개방 상태(O) 사이에서 변이 가능하며, 상기 폐쇄된 상태에서, 상기 출력 요소(12)는 상기 배출 채널(32)을 차단하면서 상기 유체에 의해 상기 유지 위치에 유지될 수 있고, 상기 개방 상태에서, 상기 밸브 요소들(78, 80)은 상기 유체가 상기 출력 요소(12)로부터 상기 배출 채널(32)을 통해 배출되는 것을 허용하고 또한 그에 따라 상기 출력 요소(12)가 상기 유지 위치로부터 적어도 하나의 회피 위치로 이동하는 것을 허용하며,
상기 액추에이터(34)의 상기 부분(T)을 상기 제1 방향(36)으로 이동시킴으로써, 상기 밸브 요소들(78, 80) 중의 제1 요소가 상기 제1 작동 방향(36)으로 이동 가능하며 그에 따라 상기 제2 밸브 요소(80)를 향해 이동 가능하고, 그리하여 상기 밸브 장치(76)는 상기 폐쇄된 상태(S)로 변이 가능하며,
상기 부분(T)을 제2 방향(38)으로 이동시킴으로써, 상기 제1 밸브 요소(78)가 상기 제1 작동 방향(36)에 반대인 상기 제2 작동 방향(38)으로 상기 제2 밸브 요소(80)로부터 멀어지게 이동할 수 있고, 그리하여 상기 밸브 장치(76)는 상기 개방 상태(O)로 변이 가능하며,
상기 액추에이터 장치(10)는, 상기 펌핑 작동시에 상기 액추에이터(34)의 상기 부분(T)을 상기 제1 방향(36)과 상기 제2 방향(38)으로 교대로 이동시키도록 형성되어 있고, 그에 따라 펌핑 작동시에, 상기 밸브 장치(76)를 상기 폐쇄된 상태(S)로 변이시킨 후에, 펌핑 작동시에 발생하는 상기 제1 방향(36) 및 상기 제2 방향(38)으로의 상기 부분(T)의 교대 이동에도 불구하고 상기 밸브 장치(76)는 상기 폐쇄된 상태(S)로 유지되며, 그리하여 펌핑 작동시에 상기 유체가 상기 출력 요소(10)에 전달 가능하고,
상기 액추에이터 장치(10)는, 상기 펌핑 작동과는 다르고 상기 펌핑 작동 다음에 있는 개방 작동으로 작동 가능하고, 개방 작동시에, 상기 제2 방향(38)으로 발생하는 상기 액추에이터(34)의 상기 부분(T)의 이동으로 인해, 상기 제2 작동 방향(38)으로 진행하고 상기 제2 밸브 요소(80)로부터 멀어지는 상기 제1 밸브 요소(78)의 이동이 발생하고 또한 그에 따라 상기 밸브 장치(76)가 상기 폐쇄된 상태(S)로부터 상기 개방 상태(O)로 변이되는,
액추에이터 장치.
제1 항에 있어서,
감쇠기 장치(92, 93)를 포함하고, 상기 감쇠기 장치는, 상기 제1 작동 방향(36)으로 상기 제2 밸브 요소(80)를 향한 상기 제1 밸브 요소(78)의 이동을 허용하고, 그에 따라, 펌핑 작동의 시작을 위해 제공되는 상기 제1 방향(36)으로의 상기 부분(T)의 이동시에 상기 밸브 장치(76)가 상기 개방 상태(O)로부터 상기 폐쇄된 상태(S)로 변이되는 것을 허용하고, 또한 상기 개방 상태(O)로의 상기 밸브 장치(76)의 변이를 일으키는, 상기 제2 밸브 요소(80)로부터 멀어지는 상기 제2 작동 방향(38)으로의 상기 제1 밸브 요소(80)의 이동을 방지하고, 그에 따라, 상기 제2 방향(38)으로의 상기 부분(T)의 후속 이동시에 상기 밸브 장치(76)를 상기 폐쇄된 상태(S)로 유지시키고, 그리하여, 펌핑 작동시에, 상기 밸브 장치(76)가 상기 폐쇄된 상태(S)로 유지되는 동안에 상기 액추에이터(34)의 상기 부분(T)이 상기 제1 방향(36)과 상기 제2 방향(38)으로 교대로 이동 가능한,
액추에이터 장치.
제2 항에 있어서,
상기 펌핑 작동시에 상기 감쇠기 장치(92, 93)는, 상기 개방 상태(O)로의 상기 밸브 장치(76)의 변이를 일으키는, 상기 제2 밸브 요소(80)로부터 멀어지는 상기 제2 작동 방향(38)으로의 상기 제1 밸브 요소(78)의 이동을 방지하고, 그에 따라 상기 밸브 장치(76)를 상기 폐쇄된 상태(S)로 유지시킨다는 사실에 의해, 상기 밸브 장치(76)가 상기 폐쇄된 상태(S)로 유지되는 동안에 상기 액추에이터(34)의 상기 부분(T) 및 그에 따라 상기 밸브 요소들(78, 80)은 상기 제1 작동 방향(36)과 상기 제2 작동 방향(38)으로 교대로 이동 가능한,
액추에이터 장치.
제2 항 또는 제3 항에 있어서,
상기 감쇠기 장치(92, 93)는, 상기 제1 작동 방향(36) 및/또는 상기 제2 작동 방향(38)을 따라 발생하고 그리고 개방 작동시 상기 밸브 장치(76)의 상기 폐쇄된 상태(S)로부터 상기 개방 상태(O)로의 변이를 일으키는, 상기 밸브 요소들(78, 80) 사이의 상대 이동을 허용하도록 형성되어 있는,
액추에이터 장치.
제2 항 내지 제4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 액추에이터 장치는 적어도 하나의 스탑(72)을 포함하고, 상기 밸브 요소들(78, 80) 및 상기 액추에이터(34)의 상기 부분(T)은 상기 제1 방향(36) 및 상기 제2 방향(38)을 따라 상기 스탑(72)에 대해 이동 가능한,
액추에이터 장치.
제2 항 내지 제5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 감쇠기 장치(92, 93)는, 상기 제1 밸브 요소(78)와 함께 이동 가능한 제1 감쇠기 요소(94) 및 상기 제1 감쇠기 요소(94)에 대해 특히 병진 이동 가능한 제2 감쇠기 요소(96)를 포함하고, 상기 밸브 장치(76)를 상기 개방 상태(O)로부터 상기 폐쇄된 상태(S)로 변이시키고 또한 상기 펌핑 작동을 시작하기 위해 제공되는, 상기 부분(T)을 상기 제1 방향(36)으로 이동시킴으로써 발생하는 상기 제2 밸브 요소(80)를 향한 상기 제1 작동 방향(36)으로의 상기 제1 밸브 요소(78)의 이동시에 상기 감쇠기 요소들(94, 96)이 서로에 대해 이동 가능한,
액추에이터 장치.
제5 항 또는 제6 항에 있어서,
상기 제1 감쇠기 요소들(94, 96)은 상기 제1 방향(36) 및 상기 제2 방향(38)으로 상기 스탑(72)에 대해 이동 가능하고, 상기 제2 방향(38)으로의 상기 제2 감쇠기 요소(96)의 이동은 상기 스탑(72)에 의해 제한될 수 있고, 그에 따라, 상기 부분(T)을 상기 제1 방향(36)으로 이동시킴으로써 발생하고 상기 밸브 장치(76)를 상기 개방 상태(O)로부터 상기 폐쇄된 상태(S)로 변이시키고 또한 상기 펌핑 작동을 시작하기 위해 제공되는, 상기 제2 밸브 요소(80)를 향한 상기 제1 작동 방향(36)으로의 상기 제1 밸브 요소(78)의 이동시에, 상기 제1 감쇠기 요소(94)는 상기 제1 방향(36)으로 상기 제2 감쇠기 요소(96)에 대해 이동 가능한 한편, 상기 제1 방향(36)으로의 상기 제2 감쇠기 요소(96)의 이동은 행해지지 않은 상태로 유지되는,
액추에이터 장치.
제6 항 또는 제7 항에 있어서,
복귀 요소(110)를 포함하고, 상기 복귀 요소에 의해 상기 감쇠기 요소들(94, 96)은 상기 제1 방향(36) 및/또는 상기 제2 방향(38)을 따라 서로에 대해 이동 가능하며, 그리하여, 상기 제1 작동 방향(36) 및/또는 상기 제2 작동 방향(38)을 따라 진행하고 상기 밸브 장치(76)의 상기 폐쇄된 상태(S)로부터 상기 개방 상태(O)로의 변이를 일으키는, 상기 밸브 요소들(78, 80) 사이의 상대 이동이 상기 복귀 요소(110)에 의해 발생할 수 있는,
액추에이터 장치.
제8 항에 있어서,
상기 복귀 요소(110)는 한편으로 상기 제1 감쇠기 요소(94)에 결합되고 다른 한편으로는 상기 제2 감쇠기 요소(96)에 결합되는,
액추에이터 장치.
제6 항 내지 제9 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 감쇠기 요소들(94, 96)은 2 개의 감쇠기 챔버들(98, 100)의 경계를 정하고, 상기 감쇠기 챔버들에는 감쇠 매체가 각각 수용되며, 상기 감쇠 매체는 상기 감쇠기 챔버들(98, 100) 안으로 도입될 수 있고 또한 상기 감쇠기 챔버들(98, 100) 밖으로 전달될 수 있는,
액추에이터 장치.
제10 항에 있어서,
상기 감쇠 매체는 유체인,
액추에이터 장치.
제1 항 내지 제11 항 중 어느 한 항에 있어서,
구동 요소(41)를 포함하고, 상기 구동 요소는 제1 구동 부분(40), 제2 구동 부분(42) 및 상기 구동 부분들(40, 42)에 의해 경계가 정해지는 적어도 하나의 구동 챔버(46)를 포함하고, 상기 제1 구동 부분(40)은 펌핑 작동시에 상기 액추에이터(34)의 상기 부분(T)에 의해 특히 상기 제2 밸브 요소(80)와 함께 상기 제2 구동 부분(42)에 대해 상기 제1 방향(36)과 상기 제2 방향(38)으로 교대로 이동 가능하며, 그리하여, 유체가 상기 구동 챔버(46) 밖으로 상기 출력 요소(12)에 전달 가능하고 또한 상기 구동 챔버(46) 안으로 전달 가능한,
액추에이터 장치.
제12 항에 있어서,
상기 액추에이터 장치는 체크 밸브(58)를 더 포함하고, 상기 체크 밸브를 통해 상기 유체가 상기 구동 챔버(46) 안으로 도입될 수 있는,
액추에이터 장치.
제12 항 또는 제13 항에 있어서,
복귀 장치(74)를 포함하고, 상기 복귀 장치에 의해 상기 제1 구동 부분(40) 및 바람직하게는 상기 제2 밸브 요소(80)가 상기 제2 방향(38)으로 상기 제2 구동 부분(42)에 대해 이동 가능한,
액추에이터 장치.
액추에이터 장치(10)를 작동시키기 위한 방법으로서,
상기 액추에이터 장치는,
유체가 공급될 수 있고 그에 따라 적어도 하나의 유지 위치로 이동 가능한 적어도 하나의 출력 요소(12),
펌핑 작동시에 제어되어 작동되는 액추에이터(34) ― 상기 펌핑 작동시에 상기 액추에이터(34)를 제어함으로써 상기 액추에이터(34)의 적어도 일부분(T)이 제1 방향(36) 및 상기 제1 방향(36)에 반대인 제2 방향(38)으로 교대로 이동되고, 그리하여 상기 출력 요소(12)에 유체를 공급하기 위해 유체가 상기 출력 요소(12)에 전달될 수 있음 ―,
적어도 하나의 배출 채널(32) ― 상기 유체가 상기 배출 채널을 통해 상기 출력 요소(12)로부터 배출될 수 있음 ―, 및
2개의 밸브 요소들(78, 80)을 포함하는 밸브 장치(76)를 포함하고,
상기 밸브 요소들은 서로에 대해 이동 가능하고, 그리하여 상기 밸브 장치(76)는 상기 배출 채널(32)을 차단하는 적어도 하나의 폐쇄된 상태(S)와 상기 배출 채널(32)을 해제하는 적어도 하나의 개방 상태(O) 사이에서 변이 가능하며, 상기 폐쇄된 상태에서, 상기 출력 요소(12)는 상기 배출 채널(32)을 차단하면서 상기 유체에 의해 상기 유지 위치에 유지될 수 있고, 상기 개방 상태에서, 상기 밸브 요소들(78, 80)은 상기 유체가 상기 출력 요소(12)로부터 상기 배출 채널(32)을 통해 배출되는 것을 허용하고 또한 그에 따라 상기 출력 요소(12)가 상기 유지 위치로부터 적어도 하나의 회피 위치로 이동하는 것을 허용하며,
상기 액추에이터(34)의 상기 부분(T)을 상기 제1 방향(36)으로 이동시킴으로써, 상기 밸브 요소들(78, 80) 중의 제1 요소가 상기 제1 작동 방향(36)으로 이동 가능하며 그에 따라 상기 제2 밸브 요소(80)를 향해 이동 가능하고, 그리하여 상기 밸브 장치(76)는 상기 폐쇄된 상태(S)로 변이 가능하며,
상기 부분(T)을 제2 방향(38)으로 이동시킴으로써, 상기 제1 밸브 요소(78)가 상기 제1 작동 방향(36)에 반대인 상기 제2 작동 방향(38)으로 상기 제2 밸브 요소(80)로부터 멀어지게 이동할 수 있고, 그리하여 상기 밸브 장치(76)는 상기 개방 상태(O)로 변이 가능하며,
상기 액추에이터 장치(10)는, 상기 펌핑 작동시에 상기 액추에이터(34)의 상기 부분(T)을 상기 제1 방향(36)과 상기 제2 방향(38)으로 교대로 이동시키고, 그에 따라 펌핑 작동시에, 상기 밸브 장치(76)를 상기 폐쇄된 상태(S)로 변이시킨 후에, 펌핑 작동시에 발생하는 상기 제1 방향(36) 및 상기 제2 방향(38)으로의 상기 부분(T)의 교대 이동에도 불구하고 상기 밸브 장치(76)는 상기 폐쇄된 상태(S)로 유지되며, 그리하여 펌핑 작동시에 상기 유체가 상기 출력 요소(10)에 전달 가능하고,
상기 액추에이터 장치(10)는, 상기 펌핑 작동과는 다르고 상기 펌핑 작동 다음에 있는 개방 작동으로 작동되고, 상기 개방 작동시에, 상기 제2 방향(38)으로 발생하는 상기 액추에이터(34)의 상기 부분(T)의 이동으로 인해, 상기 제2 작동 방향(38)으로 진행하고 상기 제2 밸브 요소(80)로부터 멀어지는 상기 제1 밸브 요소(78)의 이동이 발생하고 또한 그에 따라 상기 밸브 장치(76)가 상기 폐쇄된 상태(S)로부터 상기 개방 상태(O)로 변이되는,
액추에이터 장치를 작동시키기 위한 방법.