KR20220130491A - 단결정 성장 장치 - Google Patents

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KR20220130491A
KR20220130491A KR1020210035462A KR20210035462A KR20220130491A KR 20220130491 A KR20220130491 A KR 20220130491A KR 1020210035462 A KR1020210035462 A KR 1020210035462A KR 20210035462 A KR20210035462 A KR 20210035462A KR 20220130491 A KR20220130491 A KR 20220130491A
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crystal growth
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왕학의
안윤하
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에스케이실트론 주식회사
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    • C30B15/30—Mechanisms for rotating or moving either the melt or the crystal
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Abstract

본 실시예는 소정의 공간을 제공하는 돔 챔버(dome chamber); 상기 돔 챔버 상측에 길게 연통되는 풀 챔버(pull chamber); 상기 돔 챔버 내부에 구비되고, 실리콘 융액이 담기는 도가니; 상기 도가니에 담긴 실리콘 융액으로부터 단결정을 상기 풀 챔버까지 인상시키는 시드 케이블(seed cable); 및 상기 풀 챔버 내에서 상기 시드 케이블을 측방향으로 지지하는 적어도 하나 이상의 케이블 홀더(wire holder)를 포함하는 서포터(supporter);를 포함하는 단결정 성장 장치를 제공한다.

Description

단결정 성장 장치 {Single crystal growth apparatus}
본 발명은 단결정을 인상시키는 시드 케이블의 흔들림을 방지할 수 있는 단결정 성장 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 등의 전자부품을 생산하기 위한 소재로 사용되는 단결정 잉곳은 초크랄스키 법(Czochralski, 이하 CZ 라 함)에 의해 제조된다.
CZ 법에 의한 단결정 잉곳 제조 방법은, 석영 도가니에 다결정 실리콘 등의 고체 원료를 충전하고, 히터로 가열하여 용융시켜 실리콘 융액(melt)을 형성하고, 안정화(stabilization) 공정을 거쳐 실리콘 융액 내의 기포를 제거한 다음, 네킹(necking) 공정과, 숄더링(shouldering) 공정과, 바디 성장(body growth) 공정과, 테일링(tailing) 공정을 순차적으로 진행한다.
상세하게, 도가니에 폴리 실리콘을 투입하고, 도가니를 흑연 발열체인 히터에 의해 가열한 후, 용융 결과 형성된 실리콘 융액에 종자 결정을 접촉시키고, 계면에서 결정화가 일어나도록 하여 종자 결정을 회전하면서 서서히 인상시킴으로써, 원하는 직경을 가진 실리콘 단결정 잉곳을 성장시킨다.
한국공개특허 제2001-0082689호에는 종축을 중심으로 회전할 수 있는 종자 결정이 매달리는 시드 홀더가 시드 케이블에 의해 수직으로 이동할 수 있도록 지지되는 단결정 인상장치가 개시된다.
종래 기술에 따르면, 단결정이 매달리는 시드 케이블이 승강 및 회전되기 때문에 시드 케이블의 길이가 길어질수록 시드 케이블의 흔들림이 더욱 심해지고, 시드 케이블에 매달린 단결정의 스윙 궤적이 커짐에 따라 원하는 잉곳 형상으로 생산할 수 없을 뿐 아니라 잉곳의 품질 편차가 높아지는 문제점이 있다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 단결정을 인상시키는 시드 케이블의 흔들림을 방지할 수 있는 단결정 성장 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 실시예는 소정의 공간을 제공하는 돔 챔버(dome chamber); 상기 돔 챔버 상측에 길게 연통되는 풀 챔버(pull chamber); 상기 돔 챔버 내부에 구비되고, 실리콘 융액이 담기는 도가니; 상기 도가니에 담긴 실리콘 융액으로부터 단결정을 상기 풀 챔버까지 인상시키는 시드 케이블(seed cable); 및 상기 풀 챔버 내에서 상기 시드 케이블을 측방향으로 지지하는 적어도 하나 이상의 케이블 홀더(cable holder)를 포함하는 서포터(supporter);를 포함하는 단결정 성장 장치를 제공한다.
상기 서포터는, 상기 풀 챔버의 상하 방향 중간 지점에 하나만 구비될 수 있다.
상기 서포터는, 상기 풀 챔버의 상하 방향 중간 지점을 기준으로 상/하측에 두 개가 구비될 수 있다.
상기 케이블 홀더는, 석영 재질로 구성될 수 있다.
상기 케이블 홀더는, 상기 시드 케이블이 맞닿는 면에 길이 방향으로 긴 홈부를 구비할 수 있다.
상기 홈부는, 소정의 직경을 가진 반원 형상으로 구비될 수 있다.
상기 홈부는, 길이(h)에 대한 직경(d)의 비율이 5/8 이하로 구성될 수 있다.
본 실시예는, 상기 시드 케이블의 측방향 흔들림을 감지하는 센서부;를 더 포함하고, 상기 서포터는, 상기 센서부의 측정값에 따라 상기 케이블 홀더를 측방향으로 이동시킬 수 있다.
상기 센서부는, 상기 서포터 보다 하측에 위치하는 상기 풀 챔버의 일측에 구비된 발광부와, 상기 발광부와 대향되도록 상기 풀 챔버의 타측에 구비된 수광부를 포함할 수 있다.
상기 서포터는, 상기 풀 챔버의 내외측에 걸쳐 위치되고, 상기 케이블 홀더의 측방향으로 연결된 샤프트와, 상기 풀 챔버 일측에 연결되고, 상기 샤프트를 수용하는 하우징과, 상기 하우징 일측에 구비된 구동 모터와, 상기 샤프트와 구동 모터 사이에 구비되고, 상기 구동 모터의 회전력을 상기 샤프트의 왕복 직선 운동으로 전환시키는 동력 전달부를 포함할 수 있다.
상기 동력 전달부는, 상기 구동 모터의 회전축에 연결된 볼 스크루와, 상기 볼 스크루와 나란히 배치된 가이드 레일을 포함하고, 상기 샤프트는, 상기 볼 스크루와 맞물리는 너트부와, 상기 가이드 레일과 맞물리는 레일부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 단결정 성장 장치는 풀 챔버의 내에서 서포터가 시드 케이블을 측방향으로 지지해줌으로서, 시드 케이블의 공진점을 변경하여 시드 케이블의 과도한 흔들림을 방지할 수 있다.
따라서, 시드 케이블에 매달린 단결정의 스윙을 감소시킬 수 있고, 단결정을 원하는 형태의 잉곳으로 성장시킬 수 있으며, 일정한 위치에서 단결정이 성장되도록 하여 잉곳의 품질 편차를 해소시킬 수 있다.
도 1 내지 도 2는 본 실시예에 따른 단결정 성장 장치가 간략하게 도시된 도면.
도 3은 본 실시예에 적용된 서포터가 도시된 도면.
도 4는 본 실시예에 적용된 케이블 홀더가 도시된 도면.
이하에서는, 본 실시예에 대하여 첨부되는 도면을 참조하여 상세하게 살펴보도록 한다.
도 1 내지 도 2는 본 실시예에 따른 단결정 성장 장치가 간략하게 도시된 도면이다.
본 실시예의 단결정 성장 장치는 도 1 내지 도 2에 도시된 바와 같이 단결정 성장이 이루어지는 밀폐 공간인 돔 챔버(dome chamber : 111,112)와, 돔 챔버(111,112) 상측에 단결정의 인상 경로를 제공하는 풀 챔버(pull chamber : 113)와, 돔 챔버(111,112) 내측에 회전 및 승강 가능하게 구비된 도가니(120)와, 도가니(120)에 담긴 실리콘 융액으로부터 단결정을 인상시키는 시드 케이블(132)을 포함하는 인상 유닛(130)과, 풀 챔버(113) 내에서 시드 케이블(132)의 흔들림을 방지하는 적어도 하나 이상의 서포터(140,150)와, 시드 케이블(132)의 흔들림을 감지하여 서포터(140,150)의 작동을 제어하는 센서부(S)를 포함할 수 있다.
돔 챔버(111,112)는 단결정 잉곳이 성장되는 소정의 밀폐 공간을 제공하고, 각종 구성 요소가 내/외측에 장착될 수 있다. 돔 챔버(111,112)는 원통 형상의 본체(111)와, 본체(111) 상측에 결합되는 돔 형상의 커버(112)로 구성될 수 있다.
본체(111) 내부에 도가니(120), 도가니(120)를 가열하는 히터(미도시), 히터의 열이 외부로 빠져나가는 것을 방지하는 단열재(미도시), 도가니(120)에서 인상되는 단결정을 냉각시키는 열차폐 부재(미도시) 등이 구비될 수 있다.
커버(112) 상측에 잉곳 성장 공정을 관찰할 수 있는 뷰 포트(view port)가 구비될 수 있다.
풀 챔버(113)는 커버(112)의 상부 중심에 연결된 긴 원통 형상으로서, 완전히 성장한 잉곳의 길이와 직경 보다 크게 구비될 수 있다.
풀 챔버(113)는 돔 챔버(111,112)의 축중심과 일치하도록 결합되고, 하기에서 설명될 시드 케이블(132)은 풀 챔버(113)의 축중심과 일치하도록 위치되는 것이 바람직하다.
인상 유닛(130)은 종자 결정을 매달아 도가니(120)에 담긴 실리콘 융액(M)에 담그고, 종자 결정을 서서히 인상시키도록 구성될 수 있다.
인상 유닛(130)은 종자 결정이 장착되는 시드척(seed chuck : 131)과, 시드척이 매달리는 시드 케이블(seed cable : 132)과, 시드 케이블(132)을 승강시키는 인상 구동부(133a,133b)와, 인상 구동부(133a,133b)가 내장되는 케이스(134)를 포함할 수 있다.
시드척(131)은 상하 방향으로 체결된 상/하부 시드척으로 구성될 수 있는데, 하부 시드척의 하단에 종자 결정이 체결될 수 있고, 상부 시드척의 상단에 시드 케이블(132)이 연결될 수 있으나, 한정되지 아니한다.
시드척(131)에 매달린 종자 결정이 실리콘 융액(M)에 담긴 상태에서 서서히 회전되면, 단결정이 종자 결정에 주변에서 성장하게 된다.
시드 케이블(132)은 풀 챔버(113)를 통하여 외부까지 연장되고, 풀 챔버(113) 상측에 위치된 구동부에 의해 승강 가능하게 구비될 수 있다.
시드 케이블(132)은 무거운 잉곳을 지탱하기 위하여 인장 강도가 높게 설계되는데, 텅스텐 재질의 와이어들이 꼬임된 형태로 구성될 수 있다.
인상 구동부(133a,133b)는 시드 케이블(132)을 승강시킬 수 있도록 풀 챔버(113)의 외부 상측에 구비되는데, 구동 모터(motor : 133a)와, 드럼(drum : 133b) 등을 포함할 수 있다.
구동 모터(133a)는 드럼(133b)을 정/역 방향으로 회전시키도록 구성되고, 드럼(133b)은 시드 케이블(132)이 감기는 원통 형상으로 구성될 수 있다.
구동 모터(133a)가 회전하면, 시드 케이블(132)이 감기는 방향으로 드럼(133b)이 회전됨에 따라 시드 케이블(132)을 승강시킬 수 있다. 반면, 구동 모터(133a)가 반대로 회전하면, 시드 케이블(132)이 풀리는 방향으로 드럼(133b)이 회전됨에 따라 시드 케이블(132)을 하강시킬 수 있다.
케이스(134)는 풀 챔버(113)의 상측을 막아주도록 구비될 수 있다. 케이스(134)는 인상 구동부(133a,133b)를 내장할 수 있다.
그런데, 시드척(131)을 회전시키기 위하여 시드 케이블(132)과 인상 구동부(133a,133b) 및 케이스(134) 전체가 시드 케이블(132)을 중심으로 회전 가능하게 장착되어야 한다. 따라서, 케이스(134)는 풀 챔버(113)의 상측에 회전 가능하게 장착될 수 있는데, 회전 링 등에 의해 장착될 수 있다.
서포터(140,150)는 풀 챔버(113) 내에서 시드 케이블(132)의 흔들림을 잡아주기 위하여 구비되는데, 시드 케이블(132)을 측방향으로 지지하도록 구비될 수 있다.
단결정이 매달린 시드 케이블(132)이 회전 및 승강될 때, 시드 케이블(132)의 고유 진동수 모드를 분석한 결과, 1차 진동 모드에서 시드 케이블(132)의 최하단이 가장 큰 진동 변위를 나타내고, 2차 진동 모드에서 시드 케이블(132)의 중간 지점이 가장 큰 진동 변위를 나타낸다. 따라서, 서포터(140,150)는 시드 케이블(132)의 진동 모드를 고려하여 시드 케이블(132)의 진동 변위가 가장 크게 나타나는 풀 챔버(113)의 전체 길이(상하 방향) 중 중간 지점에 설치되는 것이 바람직하다.
실시예에서, 두 개의 서포터(140,150)가 풀 챔버(113)의 중간 지점을 기준으로 상/하측에 위치되는데, 풀 챔버(113)의 양측 즉, 서로 반대 방향에 구비될 수 될 수 있다. 물론, 하나의 서포터(140,150)만 풀 챔버(113)의 중간 지점에 구비될 수 있으며, 한정되지 아니한다.
센서부(S)는 비접촉식으로 시드 케이블(132)의 측방향 흔들림을 감지하는데, 센서부(S)의 측정값에 따라 서포터(140,150)의 작동을 제어할 수 있다. 센서부(S)를 구성하는 센서의 종류 및 설치 위치는 다양하게 구성될 수 있으며, 한정되지 아니한다.
실시예에 따르면, 센서부(S)는 일종의 광 센서로 구성될 수 있는데, 발광부와 수광부가 내장된 센서부(S)는 풀 챔버(113)의 상측에 구비될 수 있다. 또한, 발광부(S1)와 수광부(S2)가 풀 챔버(113)의 양측 즉, 시드 케이블(132) 양측 방향에 서로 대향되게 구비될 수 있는데, 서포터(140,150) 보다 하측에 각각 구비될 수 있다.
이와 같이, 센서부(S)가 시드 케이블(132)의 측방향 흔들림을 감지하면, 센서부(S)의 측정값에 비례하여 하기에서 설명될 각 서포터(140,150)에 내장된 케이블 홀더(미도시)가 서로 중심을 향하여 이동되고, 서로 반대 방향에서 케이블 홀더들(미도시)이 시드 케이블(132)을 양측 방향에서 지지함으로서, 단결정 성장 공정 중 시드 케이블(132)의 측방향 흔들림을 안정적으로 잡아줄 수 있다.
마찬가지로, 하나의 서포터(150)만 구비되더라도 하나의 케이블 홀더(미도시)가 시드 케이블(132)을 일측 방향으로 지지함으로서, 시드 케이블(132)의 측방향 흔들림을 잡아줄 수 있다.
이와 같이, 서포터(140,150)가 시드 케이블(132)을 측방향으로 지지하면, 시드 케이블(132)의 공진점을 변경하여 시드 케이블(132)의 과도한 흔들림을 방지할 수 있다.
따라서, 시드 케이블(132)에 매달린 단결정의 스윙을 감소시킬 수 있고, 단결정을 원하는 형태의 잉곳으로 성장시킬 수 있으며, 일정한 위치에서 단결정이 성장되도록 하여 잉곳의 품질 편차를 해소시킬 수 있다.
도 3은 본 실시예에 적용된 서포터가 도시된 도면이고, 도 4는 본 실시예에 적용된 케이블 홀더가 도시된 도면이다.
본 실시예의 서포터는 도 3 내지 도 4에 도시된 바와 같이 케이블 홀더(151)와, 샤프트(152)와, 하우징(153)과, 구동 모터(154)와, 동력 전달부(155,156)로 구성될 수 있다.
케이블 홀더(151)는 풀 챔버(113) 내측에 위치되고, 시드 케이블(132 : 도 2에 도시)과 직접 접촉하여 시드 케이블(132 : 도 2에 도시)을 측방향에서 지지하도록 구성될 수 있다.
케이블 홀더(151)는 직접 시드 케이블(132 : 도 2에 도시)과 맞닿아 마찰 및 마모될 수 있으며, 케이블 홀더(151)의 일부가 떨어지더라도 단결정 성장 공정에 영향을 미치지 않기 위하여 케이블 홀더(151)는 석영 재질로 구성되는 것이 바람직하다.
케이블 홀더(151)는 폭 방향 보다 길이 방향으로 긴 형태로 구성되는데, 시드 케이블(132 : 도 2에 도시)을 안정적으로 지지하기 위하여 시드 케이블(132 : 도 2에 도시)과 맞닿는 케이블 홀더(151)의 일면에 상하 방향으로 길게 홈부(151a)가 구비될 수 있다.
홈부(151a)는 케이블 홀더(151)와 같은 길이(h)를 가지고, 그 단면이 소정의 직경(d)을 가진 반원 형상으로 구비될 수 있는데, 홈부(151)의 길이에 대한 직경의 비율(d/h)에 따라 케이블 홀더(151)가 시드 케이블(132 : 도 2에 도시)의 측방향 변위를 제어할 수 있다.
시뮬레이션 결과, 케이블 홀더(151)가 시드 케이블을 측방향으로 지지하지 않는 경우, 실리콘 융액 계면에서 시드 케이블의 궤도(orbit) 최대값(max)이 2.5mm로 나타난다. 그런데, 직경(d)을 변경하면서 d=6/h=8, d=5/h=8, d=4.5/h=8인 홈부(151a)를 가진 각 케이블 홀더(151)가 시드 케이블을 측방향으로 지지하는 경우, 실리콘 융액 계면에서 시드 케이블의 궤도(orbit) 최대값(max)이 각각 2.5mm, 1.6mm, 1.6mm 로 나타난다. 또한, 길이(h)를 변경하여 d=5/h=40, d=5/h=80 인 홈부(151a)를 가진 각 케이블 홀더(151)가 시드 케이블을 측방향으로 지지하는 경우, 실리콘 융액 계면에서 시드 케이블의 궤도(orbit) 최대값(max)이 각각 1.4mm, 1.4mm 로 나타난다.
따라서, 케이블 홀더(151)가 시드 케이블(132 : 도 2에 도시)을 지지하더라도 시드 케이블의 측방향 흔들림을 효과적으로 잡아주기 위하여 시드 케이블을 지지하는 홈부(151a)의 길이에 대한 직경의 비율(d/h)이 5/8 이하로 구성되는 것이 바람직하다.
샤프트(152)는 케이블 홀더(151)의 측방향으로 연결되는데, 풀 챔버(113) 내/외측에 걸쳐 구비될 수 있다. 샤프트(152)는 케이블 홀더(151)를 시드 케이블의 측방향으로 밀어줄 수 있다.
샤프트(152)의 일단은 케이블 홀더(151)와 연결되고, 샤프트(152)의 타단은 동력 전달부(155,156)와 연결될 수 있다. 샤프트(152)의 타단은 하기에서 설명될 동력 전달부(155,156)에 의해 구동 모터(154)의 회전력을 직선 왕복 운동으로 변환시키기 위하여 너트부(152n) 및 레일부(152r) 등이 구비될 수 있다.
하우징(153)은 풀 챔버(113) 일측에 연결되는데, 서포터(150)가 풀 챔버(113)의 내/외측에 걸쳐 설치되더라도 풀 챔버(113)의 일측을 밀폐시킬 수 있다.
구동 모터(154)는 풀 챔버(113) 외측 즉, 하우징(153)의 일측에 장착되고, 샤프트(152)를 왕복 이동시키는 구동력을 제공한다. 구동 모터(154)는 회전축을 정방향과 역방향으로 회전시킬 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다. 물론, 센서부의 측정값에 따라 제어 신호가 구동 모터(154)에 입력되면, 구동 모터(154)의 작동을 제어할 수 있다.
동력 전달부(155,156)는 샤프트(152)와 구동 모터(154) 사이를 연결하도록 하우징(153)에 내장되는데, 구동 모터(154)의 회전력을 샤프트(152)의 왕복 직선 운동으로 변환시키도록 다양하게 구성될 수 있다.
동력 전달부(155,156)는 구동 모터(154)의 회전축과 동축으로 연결된 볼 스크루(155)와, 볼 스크루(155) 하측에 나란히 구비된 가이드 레일(156)로 구성될 수 있다. 샤프트(152)는 볼 스크루(155)와 가이드 레일(156) 사이에 구비될 수 있는데, 샤프트 측 너트부(152n)가 볼 스트루(155)와 맞물리도록 설치되고, 샤프트 측 레일부(152r)가 가이드 레일(156)과 맞물리도록 장착될 수 있다.
구동 모터(154)가 회전하면, 볼 스크루(155)가 회전하고, 너트부(152n)가 볼 스크루(155)를 따라 이동하는 동시에 레일부(155r)가 가이드 레일(156)을 따라 이동하면서 샤프트(152)를 측방향으로 전/후진시킬 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다.
따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
111, 112 : 돔 챔버 113 : 풀 챔버
120 : 도가니 130 : 인상 유닛
140,150 : 서포터 151 : 케이블 홀더
152 : 샤프트 153 : 하우징
154 : 구동 모터 155 : 볼 스크루
156 : 가이드 레일

Claims (11)

  1. 소정의 공간을 제공하는 돔 챔버(dome chamber);
    상기 돔 챔버 상측에 길게 연통되는 풀 챔버(pull chamber);
    상기 돔 챔버 내부에 구비되고, 실리콘 융액이 담기는 도가니;
    상기 도가니에 담긴 실리콘 융액으로부터 단결정을 상기 풀 챔버까지 인상시키는 시드 케이블(seed cable); 및
    상기 풀 챔버 내에서 상기 시드 케이블을 측방향으로 지지하는 적어도 하나 이상의 케이블 홀더(cable holder)를 포함하는 서포터(supporter);를 포함하는 단결정 성장 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 서포터는,
    상기 풀 챔버의 상하 방향 중간 지점에 하나만 구비되는 단결정 성장 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 서포터는,
    상기 풀 챔버의 상하 방향 중간 지점을 기준으로 상/하측에 두 개가 구비되는 단결정 성장 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 케이블 홀더는,
    석영 재질로 구성되는 단결정 성장 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 케이블 홀더는,
    상기 시드 케이블이 맞닿는 면에 길이 방향으로 긴 홈부를 구비하는 단결정 성장 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 홈부는,
    소정의 직경을 가진 반원 형상으로 구비되는 단결정 성장 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 홈부는,
    길이(h)에 대한 직경(d)의 비율이 5/8 이하로 구성되는 단결정 성장 장치.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 시드 케이블의 측방향 흔들림을 감지하는 센서부;를 더 포함하고,
    상기 서포터는,
    상기 센서부의 측정값에 따라 상기 케이블 홀더를 측방향으로 이동시키는 단결정 성장 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 센서부는,
    상기 서포터 보다 하측에 위치하는 상기 풀 챔버의 일측에 구비된 발광부와,
    상기 발광부와 대향되도록 상기 풀 챔버의 타측에 구비된 수광부를 포함하는 단결정 성장 장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 서포터는,
    상기 풀 챔버의 내외측에 걸쳐 위치되고, 상기 케이블 홀더의 측방향으로 연결된 샤프트와,
    상기 풀 챔버 일측에 연결되고, 상기 샤프트를 수용하는 하우징과,
    상기 하우징 일측에 구비된 구동 모터와,
    상기 샤프트와 구동 모터 사이에 구비되고, 상기 구동 모터의 회전력을 상기 샤프트의 왕복 직선 운동으로 전환시키는 동력 전달부를 포함하는 단결정 성장 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 동력 전달부는,
    상기 구동 모터의 회전축에 연결된 볼 스크루와,
    상기 볼 스크루와 나란히 배치된 가이드 레일을 포함하고,
    상기 샤프트는,
    상기 볼 스크루와 맞물리는 너트부와,
    상기 가이드 레일과 맞물리는 레일부를 포함하는 단결정 성장 장치.
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