KR20220128960A - 테스트 대상 디바이스의 정적 및 동적 특성화를 위한 통합형 측정 시스템 - Google Patents

테스트 대상 디바이스의 정적 및 동적 특성화를 위한 통합형 측정 시스템 Download PDF

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KR20220128960A
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그레고리 소볼류스키
제프리 제이. 트르고비치
브라이언 디. 스미스
제임스 디. 부치
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케이슬리 인스트러먼츠, 엘엘씨
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Abstract

테스트 및 측정 시스템은, 파워 디바이스로서, 하나 이상의 테스트 대상 디바이스(device under test; DUT)로의 연결을 허용하기 위한 인터페이스, 및 하나 이상의 프로세서로서, 실행되면 상기 하나 이상의 프로세서가 정적 특성화와 동적 특성화 사이의 선택을 수신하고, 상기 하나 이상의 DUT의 정적 또는 동적 특성화 중 선택된 특성화를 수행하도록 상기 파워 디바이스를 구성하게 하는, 코드를 실행하도록 구성되는, 상기 하나 이상의 프로세서를 포함하는, 파워 디바이스, 측정 디바이스로서, 사용자 인터페이스, 및 하나 이상의 프로세서로서, 실행되면 상기 하나 이상의 프로세서가 상기 사용자 인터페이스를 통하여 사용자 입력을 수신하고 - 상기 사용자 입력은 적어도 정적 특성화와 동적 특성화 사이의 선택을 포함함 -, 상기 정적 또는 동적 특성화 중 선택된 특성화를 상기 파워 디바이스로 전송하게 하는, 코드를 실행하도록 구성되는, 상기 하나 이상의 프로세서를 포함하는, 측정 디바이스, 및 상기 파워 디바이스를 상기 측정 디바이스에 연결하기 위한 커넥터를 포함한다. 통합형 정적 특성화 및 동적 특성화 플랫폼의 작동 방법은, 측정 디바이스의 사용자 인터페이스를 통하여, 하나 이상의 테스트 대상 디바이스(DUT)의 정적 특성화와 동적 특성화 사이에서 선택하는 사용자 입력을 수신하는 단계, 상기 사용자 입력을 상기 측정 디바이스와 파워 디바이스 사이의 연결을 통하여 전송하는 단계, 상기 사용자 입력을 파워 디바이스에서 수신하는 단계, 상기 하나 이상의 DUT의 정적 특성화 또는 동적 특성화 중 하나를 수행하도록, 상기 파워 디바이스 내에서 상기 하나 이상의 DUT로 가는 신호를 제어하는 단계, 및 특성화의 결과로서 초래되는 출력 데이터를 상기 측정 디바이스로 전송하는 단계를 포함한다.

Description

테스트 대상 디바이스의 정적 및 동적 특성화를 위한 통합형 측정 시스템{UNIFIED MEASUREMENT SYSTEM FOR STATIC AND DYNAMIC CHARACTERIZATION OF A DEVICE UNDER TEST}
관련 출원들
본 발명은 발명의 명칭이 "UNIFIED MEASUREMENT SYSTEM FOR STATIC AND DYNAMIC CHARACTERIZATION OF A DEVICE UNDER TEST"이고 2021 년 3 월 15 일에 출원된 미국 가특허 출원 번호 제 63/161,382 호 및 발명의 명칭이 "HIGH POWER STATIC AND DYNAMIC DUT CHARACTERIZATION"이고 2021 년 8 월 23 일에 출원된 미국 가특허 출원 번호 제 63/260,513 호에 대한 우선권을 주장하는데, 이들 각각은 그 전체 내용이 본원에 통합된다.
본 발명은 테스트 및 측정 시스템에 관한 것이고, 특히 디바이스의 정적 및 동적 특성화를 수행하기 위한 시스템 및 방법에 관한 것이다.
테스트 대상 디바이스(device under test; DUT), 예를 들어 실리콘-카바이드(silicon-carbide; SiC) 금속-산화물-반도체 필드-효과 트랜지스터(metal-oxide-semiconductor field-effect transistor; MOSFET)와 같은 반도체 디바이스는 일반적으로 전류/전압(I/V) 곡선과 같은 정적 특성화, 및 스위칭 파라미터와 같은 동적 특성화 양자 모두를 포함할 수 있다. 종래의 정적 특성화는 전용 정적 측정 플랫폼을 사용하는 것을 수반한다. 또한, DUT의 종래의 동적 특성화는 그 외의 측정 플랫폼, 일부 경우에는 전용 맞춤형 동적 플랫폼을 수반한다.
고전력 디바이스, 예컨대 FET와 관련한 추가적인 문제점이 생길 수 있는데, 그 이유는 이들이 안전 동작 영역(SOA)의 제한사항에 기인하여 펄스 신호로써 특성화를 거치기 때문이다. 이것은 동적 특성화를 위한 전문화된 회로를 사용하는 것을 수반할 수 있다.
개시된 장치 및 방법의 실시형태들은 종래 기술의 단점을 해결한다.
도 1은 전용 정적 특성화 측정 플랫폼의 일 예를 보여준다.
도 2는 전용 동적 특성화 측정 플랫폼의 일 예를 보여준다.
도 3은 통합형 측정 시스템의 일 실시형태를 보여준다.
도 4는 특성화 회로의 일 실시형태를 도시한다.
도 5는 정적 및 동적 특성화 양자 모두를 위하여 적응될 수 있는 회로의 일 실시형태를 도시한다.
종래 기술에 따르면, 테스트 대상 디바이스(DUT)의 고전력 특성화는 통상적으로 정적 측정 플랫폼을 수반한다. 도 1은 이러한 플랫폼(10)의 일 예를 도시한다. 이러한 예에서, 플랫폼은 테스트 및 측정 디바이스(12), DUT가 연결되는 테스트 설비(14), 및 파워 확장기(16)를 포함한다. 이러한 타입의 플랫폼의 예에는 키사이트(Keysight) B1505A, B1505B, 및 B1506B가 있다.
동적 파워 특성화를 수행하기 위하여, 사용자는 큰 바닥 모델 플랫폼, 또는 맞추형 플랫폼인 별개의 플랫폼, 예컨대 키사이트(Keysight) PD1500을 요구할 것이다. 도 2는 도시된 컴포넌트들 중 일부 또는 전부를 포함할 수 있는 이러한 플랫폼(20)의 일 예를 도시한다. 테스트 및 측정 디바이스(22)는 하나 이상의 테스트 및 측정 디바이스, 예컨대 오실로스코프 및 임피던스 분석기를 실제로 포함할 수 있다. 테스트 및 측정 디바이스는 테스트 보드인 DUT(26)에 고전압 프로브(24)에 의해서 연결된다. 테스트 보드는, 파워 스위치를 안정하게 온오프시키고 가능하게는 파워 보호를 제공하기 위해서 통상적으로 사용되는 드라이버 보드(28)를 가질 수 있다. DC 회로부(32)는 DC-링크 커패시턴스, DC 전압 공급부, 및 부하 인덕터를 포함할 수 있다. 전류 트랜스듀서(30) 및 신호 발생기(34)가 테스트 보드에 연결되어 보드가 테스팅될 수 있게 한다.
일반적으로, 특성화 디바이스는 별개의, 대형 기구 및 설비 플랫폼을 정적으로 또는 동적으로 취하게 된다. 본 발명의 실시형태는 두 개의 컴포넌트인 오실로스코프, 임피던스 분석기와 같은 대화형 테스트 및 측정 디바이스, 양자 모두의 조합, 또는 다른 많은 테스트 및 측정 디바이스 중 하나 이상을 제공한다. 간결성을 위하여, 본 명세서에서는 이러한 컴포넌트를 테스트 및 측정 디바이스라고 부를 것이다. 다른 컴포넌트는 테스트 보드를 장착하기 위한 DUT 인터페이스가 있는 전력 전달 및 측정 전단부인데, 이것은 본 명세서에서 설비라고도 불릴 수 있다. 본 발명의 실시형태는 두 개의 별개의 컴포넌트를 일반적으로 수반하지만, 이들은 하나의 하우징 내에 장착될 수도 있다.
본 명세서에서 사용될 때, "고전압"이라는 용어는 42 볼트 이상의 임의의 전압을 가리킨다.
본 발명의 실시형태는 여러 장점이 있는 이중-목적 특성화 플랫폼을 제공한다. 양자 모두의 컴포넌트를 의미하는 시스템은 한 명의 개인에 의해 수송될 수 있다. 이러한 설비는 안전을 위한 모든 고전압 회로부를 밀봉하고, 시스템에 고장이 생겨서 초래될 수 있는 고전압 시스템의 부적절한 동작을 방지하는 인터록을 가질 수 있다. 이러한 시스템은 사용자가 단지 DUT를 설비 내에 넣기만 하면 된다는 점에서 셋업을 단순화한다. 두 컴포넌트는 간단한 케이블에 의해서 연결되고, 따라서 이러한 시스템은 재배선 작업(re-cabling)을 요구하지 않는다. 측정 구성의 자동화된 스위칭은 사용자가 테스트에 대해서 소망되는 모든 파라미터를 획득할 수 있게 한다. 이러한 설비는 가열 및/또는 냉각 장비, 및 디바이스 손상의 경우에 디바이스 주위를 감싸는 보호 베리어를 더 포함할 수 있다.
도 3은 오실로스코프와 같은 테스트 및 측정 디바이스(40) 또는 다른 테스트 및 측정 디바이스를 가지는, 플랫폼이라고도 불릴 수 있는 테스트 및 측정 시스템의 일 실시형태를 보여준다. 설명을 쉽게 하기 위하여, 디바이스(40)는 측정 디바이스라고 불릴 수 있다. 시스템의 다른 부분은 정적 및 동적 파워 및 측정 디바이스(50)이고, 이것은 설명을 쉽게 하기 위하여 파워 디바이스라고 불릴 것이다. 이러한 용어는 이들 중 어느 디바이스의 성능을 한정하려는 의도가 아니며, 따라서 이러한 제한이 암시되어서는 안 된다.
측정 디바이스(40)는 사용자가 다양한 메뉴를 이용해서 상호작용할 수 있게 하는 사용자 인터페이스(44)를 포함하는 그 외의 많은 컴포넌트를 가질 수 있다. 사용자 인터페이스는 사용자가, 예컨대 터치 스크린 또는 다양한 버튼 및 노브를 가지는 디스플레이를 통해서, 실행할 테스트, 설정 파라미터 등에 대해서 선택할 수 있게 한다. 측정 디바이스(40)는, 사용자 입력을 수신하고 파라미터 및 다른 선택사항을 측정 디바이스로 전송하며, 파워 디바이스로부터 출력을 수신하고 데이터로부터 사용자에 대한 출력을 생성할 수 있는 하나 이상의 프로세서(46)를 가진다. 개인용 컴퓨팅 디바이스 또는 스마트 폰과 같은 원격 디바이스(42)도 원격으로 동작되도록, 측정 디바이스(40) 또는 파워 디바이스(50)를 통하여 테스트 및 측정 플랫폼에 접근할 수 있다. 본 명세서에서 사용될 때 "프로세서"라는 용어는 명령을 수신하고 동작을 수행할 수 있는 임의의 전자 컴포넌트, 예컨대 좀 더 상세하게 후술되는 바와 같은 마이크로콘트롤러 필드 프로그램가능 게이트 어레이(field programmable gate array; FPGA), 주문형 집적회로(application-specific integrated circuit; ASIC)를 의미한다.
측정 디바이스(40)는 케이블을 통해 또는 다른 직접 연결(48)을 통해 파워 디바이스(50)와 통신한다. 두 개의 디바이스 및 그들의 케이블은 한 명의 개인에 의해 수송될 수 있도록 휴대용으로 구성된다. 케이블은 디바이스가 재배선 작업이 없이 구성들을 전환할 수 있게 하는 연결 회로부를 통하여 각각의 디바이스에 연결된다.
파워 디바이스(50)는 여러 상이한 요소들을 더 가질 수 있다. 이것에는, 52와 같은 하나 이상의 프로세서, 테스트 대상 디바이스(DUT)에 고전압을 제공하는 고전압 회로부(56), 및 고전압 회로부에 대한 보호로서의 역할을 수행하는 인터록(54)이 있을 수 있다. 인터록은 고전압 회로부에 의해 생성된 고전압으로부터 초래되는 디바이스 손상 또는 임의의 위험한 상태를 방지하도록 설계된다. DUT는 DUT 인터페이스(58)에 장착되는데, 이것은 DUT가 장착되고 DUT가 파워 디바이스 내의 다양한 컴포넌트에 연결되도록 하는 범용 DUT 인터페이스를 포함할 수 있다.
고전압 회로부 및 DUT의 동작은 열을 생성할 수 있고, 및/또는 DUT는 동작할 특정 온도 범위를 필요로 할 수 있다. 파워 디바이스는 DUT의 온도를 제어하기 위한 온도 제어 회로부(62)를 포함할 수 있다. 하나 이상의 프로세서(52)는 온도를 모니터링하고, 팬, 스위칭가능 히트 싱크, 냉각 시스템, 히터 등과 같은 아이템을 포함할 수 있는 온도 콘트롤(62)을 작동시킨다. 파워 디바이스는 손상이 발생할 경우 하나 이상의 DUT를 보호하기 위한 베리어(64)를 더 포함할 수 있다. 파워 디바이스는 스위칭 회로(60)를 더 포함할 수 있다.
동작 시에, 사용자는 원격으로 또는 직접적으로 사용자 인터페이스를 통해서 입력하여, 디바이스(들)가 정적으로 또는 동적으로 특성화되어야 하는지 여부를 결정한다. 동적 특성화는 도 4에 도시되는 실시형태와 같은 하프 브릿지 회로를 사용하여 달성될 수 있다. 이중 펄스 방법이라고 불리는, 동적 특성화를 수행하는 하나의 방법도 이러한 타입 또는 회로를 사용한다. 동작 시에, 하단 디바이스인 DUT_bot은 턴온되어 Test_L 인덕터를 통과하는 소망되는 전류를 획득한다. 후속하여, 하단 디바이스인 DUT_bot이 턴오프되고 상단 디바이스인 DUT_top이 턴온된다. 그러면 Test_L 인덕터로부터 인덕터 전류가 순환된다. 또는, 오직 하나의 DUT만이 테스트되고 있다면, 상단 디바이스는 다이오드로 대체될 수 있다. 회로 특성에 의존하는 규정된 시간 이후에, 상단 디바이스는 턴오프되고 하단 디바이스가 턴온된다. 소망되는 데이터는 양자 모두의 디바이스 천이들 도중에 수집될 수 있고, 에너지 손실이 계산된다. 전압 및 디바이스를 통과하는 전류의 제어에 의존하여, 이러한 동일한 플랫폼이 정적 파라미터를 추출하기 위하여 사용될 수 있다.
상단 DUT를 다이오드 또는 단락으로 교체하면, 하단 디바이스의 게이트 제어가 가능해지고, 이것은 이제 정적 전류-전압(I/V) 곡선이 추출될 수 있게 한다. 상단 DUT가 이용가능하면, 정적 데이터를 추출하는 추가적인 방법이 사용될 수 있다. 이것은 하단 DUT에서의 포텐셜의 독립적인 게이트/드레인 펄싱을 포함할 수 있다. 이를 수행하기 위해서는, 시스템이 하단 DUT의 게이트에서의 전압을 제어하여, 디바이스의 적합한 전송 특성 측정이 이루어지게 할 것이다. 정적 I/V 디바이스 특성화는 인덕터 Test_L을 필요로 하지 않지만, 이것이 존재하면 동일한 회로가 정적 및 동적 특성화 양자 모두를 수행할 수 있게 된다. 상단 및 하단 DUT 양자 모두가 회로에 존재하고 동일한 타입의 디바이스라면, 최대 파워 구성은 두 디바이스들 사이에서 분할될 것이다. 디바이스 중 하나의 풀 파워 테스트가 소망된다면, 다른 디바이스는 단락으로 교체될 것이다.
도 5는 상단 및 하단 디바이스들 사이에서의 선택이 가능해지게 하도록 사용되는 스위치를 포함하는 하프-브릿지 스위칭 회로의 일 실시형태를 도시한다. 이러한 선택이 측정 디바이스에 있는 사용자 인터페이스를 통하여 파워 디바이스 내로 들어가고, 케이블을 통해서 파워 디바이스로 전달된다. 스위치(SW1)를 추가하면, 양자 모두의 DUT들이 사용된다면 이들 양자 모두는 정적 및 동적 구성에서 특성화될 수 있다. 도 5에 도시되는 구성은 DUT_bot을 선택한다. 동작 시에, 사용자는 정적 또는 동적 특성화, 및 하나 이상의 DUT들 중 하나의 선택을 도 3의 측정 디바이스(40)에 있는 사용자 인터페이스를 통하여 선택한다. 그러면, 하나 이상의 프로세서가 이러한 선택 및 임의의 다른 파라미터를 파워 디바이스로 전송한다. 이제, 파워 디바이스 내의 하나 이상의 프로세서가 회로(사용된다면)에게 신호를 제공하여 SW1을 세팅할 것이다.
이러한 테스트 및 측정 시스템은 여러 셋업 및 기구를 사용할 필요가 없이, 또는 심지어 특정한 구성에 재배선할 필요가 없이, 정적 및 동적 측정을 조합할 수 있는 능력을 제공한다. 시스템은 특성화 데이터를 출력한다. 이러한 데이터는 측정 디바이스에 있는 사용자 인터페이스에서 생성될 수 있고, 및/또는 분석 소프트웨어 패키지용 파일 내와 같은 파일로 추가적 분석을 위해서 출력될 수 있다. 이것은 파워 디바이스 또는 측정 디바이스 중 어느 하나에 있는 하나 이상의 프로세서에 의해서 달성될 수 있다.
본 발명의 양태들은 특수한 하드웨어, 펌웨어, 디지털 신호 프로세서, 또는 프로그래밍된 명령에 따라 동작하는 프로세서를 포함하는, 특수하게 프로그래밍된 범용 컴퓨터에서 동작할 수 있다. 콘트롤러 또는 프로세서란 용어는 본 명세서에서 사용될 때 마이크로프로세서, 마이크로컴퓨터, 주문형 집적 회로(ASIC), 및 전용 하드웨어 콘트롤러를 포함하도록 의도된다. 본 발명의 하나 이상의 양태는, 예컨대, 하나 이상의 컴퓨터(모니터링 모듈을 포함함), 또는 다른 디바이스에 의해 실행되는, 하나 이상의 프로그램 모듈 내의 컴퓨터-독출가능 데이터 및 컴퓨터-실행가능 명령으로 구현될 수 있다. 일반적으로, 프로그램 모듈은 컴퓨터 또는 다른 디바이스에 의해 실행될 때 특정 태스크를 수행하거나 특정한 추상적인 데이터 타입을 구현하는 루틴, 프로그램, 객체, 컴포넌트, 데이터 구조체 등을 포함한다. 컴퓨터 실행가능한 명령은 하드 디스크, 광학 디스크, 착탈식 저장 매체, 고상 메모리, 랜덤 액세스 메모리(RAM) 등과 같은 비-일시적 컴퓨터 판독가능 매체에 저장될 수 있다. 당업자가 알 수 있는 바와 같이, 프로그램 모듈의 기능은 다양한 양태들에서 소망되는 바에 따라 결합되거나 분산될 수 있다. 추가적으로, 기능은 집적 회로, FPGA 등과 같은 펌웨어 또는 하드웨어 균등물 내에 전체적으로 또는 부분적으로 구현될 수 있다. 본 발명의 하나 이상의 양태를 더 효과적으로 구현하기 위해서 특정한 데이터 구조체가 사용될 수 있고, 이러한 데이터 구조체는 본 명세서에서 설명되는 컴퓨터 실행가능 명령 및 컴퓨터-사용가능 데이터의 범위에 속하는 것으로 여겨진다.
일부 경우에, 개시된 양태들은 하드웨어, 펌웨어, 소프트웨어, 또는 이들의 임의의 조합으로 구현될 수 있다. 또한, 개시된 양태들은 하나 이상의 프로세서에 의하여 판독되고 실행될 수 있고 비일시적 머신-판독가능 매체에 운반되거나 저장되는 명령으로서 구현될 수 있다. 이러한 명령은 컴퓨터 프로그램 제품이라고 불릴 수 있다. 본 명세서에서 논의되는 바와 같은 컴퓨터-판독가능 매체는 컴퓨팅 디바이스에 의해 액세스될 수 있는 임의의 매체를 의미한다. 비한정적인 일 예로서, 컴퓨터-판독가능 매체는 컴퓨터 저장 미디어 및 통신 매체를 포함할 수 있다.
컴퓨터 저장 매체는 컴퓨터-판독가능 정보를 저장하기 위하여 사용될 수 있는 임의의 매체를 의미한다. 비한정적인 일 예로서, 컴퓨터 저장 매체는 RAM, ROM, 전기 소거가능 프로그램가능 판독 전용 메모리(EEPROM), 플래시 메모리 또는 다른 메모리 기술, 콤팩트 디스크 판독 전용 메모리(CD-ROM), 디지털 비디오 디스크(DVD), 또는 다른 광학적 디스크 저장소, 자기적 카세트, 자기적 테이프, 자기적 디스크 저장소 또는 다른 자기적 저장 디바이스, 및 임의의 기술로 구현된 임의의 다른 휘발성 또는 비휘발성, 착탈식 또는 비-착탈식 매체를 포함할 수 있다. 컴퓨터 저장 매체는 신호 그 자체 및 신호 송신의 일시적 형태를 배제한다.
통신 매체란 컴퓨터-판독가능 정보의 통신을 위해 사용될 수 있는 임의의 매체를 의미한다. 비한정적인 일 예로서, 통신 매체는 동축 케이블, 광섬유 케이블, 공기, 또는 전기, 광학, 무선 주파수(RF), 적외선, 음향 또는 다른 타입의 신호의 통신에 적합한 임의의 매체를 포함할 수 있다.
또한, 이러한 상세한 설명은 특정 피쳐들을 참조한다. 본 명세서의 개시내용이 그러한 특정 피쳐들의 모든 가능한 조합을 포함한다는 것이 이해되어야 한다. 예를 들어, 특정 피쳐가 특정 양태의 콘텍스트에서 개시되는 경우, 해당 피쳐는 가능한 정도에서는 다른 양태의 콘텍스트에서도 사용될 수 있다.
또한, 본 출원에서 두 개 이상의 규정된 단계 또는 동작을 가지는 방법을 언급하는 경우에, 규정된 단계 또는 동작은 콘텍스트 상 가능성이 없는 경우를 제외하고는 임의의 순서로 또는 동시에 수행될 수 있다.
예들
개시되는 기술의 예시적인 예들이 다음에 제공된다. 이러한 기술의 일 실시예는 후술되는 예들 중 하나 이상, 및 임의의 조합을 포함할 수 있다.
예 1은 테스트 및 측정 디바이스로서, 파워 디바이스로서, 하나 이상의 테스트 대상 디바이스(device under test; DUT)로의 연결을 허용하기 위한 인터페이스; 및 하나 이상의 프로세서로서, 실행시, 상기 하나 이상의 프로세서가, 정적 특성화와 동적 특성화 사이의 선택을 수신하고, 상기 하나 이상의 DUT의 정적 또는 동적 특성화 중 선택된 특성화를 수행하도록 상기 파워 디바이스를 구성하게 하는, 코드를 실행하도록 구성된, 상기 하나 이상의 프로세서를 포함하는, 파워 디바이스; 측정 디바이스로서, 사용자 인터페이스; 및 하나 이상의 프로세서로서, 실행시, 상기 하나 이상의 프로세서가, 상기 사용자 인터페이스를 통하여 사용자 입력을 수신하고 - 상기 사용자 입력은 정적 특성화와 동적 특성화 사이의 선택을 포함함 -, 상기 정적 및 동적 특성화 중 선택된 특성화를 상기 파워 디바이스로 전송하게 하는, 코드를 실행하도록 구성된, 상기 하나 이상의 프로세서를 포함하는, 측정 디바이스; 및 상기 파워 디바이스를 상기 측정 디바이스에 연결하기 위한 커넥터를 포함하는, 테스트 및 측정 디바이스이다.
예 2는 예 1에 있어서, 상기 파워 디바이스는, 상기 하나 이상의 DUT에 전력을 제공하도록 상기 DUT 인터페이스에 연결되는 고전압 회로부를 더 포함하는, 테스트 및 측정 시스템이다.
예 3은 예 2에 있어서, 상기 파워 디바이스는, 상기 고전압 회로부에 연결된 인터록을 더 포함하는, 테스트 및 측정 시스템이다.
예 4는 예 1 내지 예 3 중 어느 하나에 있어서, 상기 파워 디바이스는 온도 제어 장비를 포함하는, 테스트 및 측정 시스템이다.
예 5는 예 1 내지 예 4 중 어느 하나에 있어서, 상기 파워 디바이스는 상기 하나 이상의 DUT 주위에 보호 베리어를 포함하는, 테스트 및 측정 시스템이다.
예 6은 예 1 내지 예 5 중 어느 하나에 있어서, 상기 측정 디바이스의 하나 이상의 프로세서는, 원격 컴퓨터와 인터페이싱하기 위한 코드를 더 실행하는, 테스트 및 측정 시스템이다.
예 7은 예 1 내지 예 6 중 어느 하나에 있어서, 상기 측정 디바이스의 하나 이상의 프로세서는, 특성화 출력 데이터를 생성하기 위한 코드를 더 실행하는, 테스트 및 측정 시스템이다.
예 8은 예 7에 있어서, 상기 측정 디바이스의 하나 이상의 프로세서는 상기 특징결정 출력 데이터를 분석 소프트웨어 패키지를 위해 구성된 포맷으로 생성하기 위한 코드를 더 실행하는, 테스트 및 측정 시스템이다.
예 9는 예 7에 있어서, 상기 특징결정 출력 데이터는, 정적 특징결정 출력 데이터 및 동적 특징결정 출력 데이터를 포함하는, 테스트 및 측정 시스템이다.
예 10은 예 1 내지 예 8 중 어느 하나에 있어서, 상기 파워 디바이스는 상기 하나 이상의 DUT 중 하나를 선택하기 위한 스위칭 회로를 더 포함하는, 테스트 및 측정 시스템이다.
예 11은 예 10에 있어서, 상기 측정 디바이스의 하나 이상의 프로세서는, DUT 중 하나를 특성화를 위하여 지정하는 사용자 입력을 수신하고, 상기 사용자 입력을 상기 파워 디바이스로 전달하기 위한 코드를 실행하도록 더 구성되는, 테스트 및 측정 시스템이다.
예 12는 통합형 정적 특성화 및 동적 특성화 플랫폼의 작동 방법으로서, 측정 디바이스의 사용자 인터페이스를 통하여, 하나 이상의 테스트 대상 디바이스(DUT)의 정적 특성화와 동적 특성화 사이에서 선택하는 사용자 입력을 수신하는 단계; 상기 사용자 입력을 상기 측정 디바이스와 파워 디바이스 사이의 연결을 통하여 전송하는 단계; 상기 사용자 입력을 파워 디바이스에서 수신하는 단계; 상기 하나 이상의 DUT의 정적 특성화 또는 동적 특성화 중 하나를 수행하도록, 상기 파워 디바이스 내의 상기 하나 이상의 DUT로 가는 신호를 제어하는 단계; 및 특성화의 결과로서 초래되는 출력 데이터를 상기 측정 디바이스로 전송하는 단계를 포함하는, 작동 방법이다.
예 13은 예 12에 있어서, 상기 방법은, 상기 하나 이상의 DUT의 온도를 모니터링하는 단계를 더 포함하는, 작동 방법이다.
예 14는 예 12에 있어서, 상기 방법은, 상기 하나 이상의 DUT의 온도를 관리하도록, 온도 제어 장비를 작동시키는 단계를 더 포함하는, 작동 방법이다.
예 15는 예 12 내지 예 14 중 어느 하나에 있어서, 상기 방법은, 상기 사용자 인터페이스를 통하여 사용자 입력을 수신하고 - 상기 사용자 입력은 상기 하나 이상의 DUT 중 하나를 특성화를 위하여 선택함 -, 상기 사용자 입력을 상기 연결을 통하여 상기 파워 디바이스로 전송하는 단계를 더 포함하는, 작동 방법이다.
예 16은 예 15에 있어서, 상기 방법은, 상기 하나 이상의 DUT 중 하나를 선택하도록, 상기 파워 디바이스 내의 스위치를 설정하는 단계를 더 포함하는, 작동 방법이다.
예 17은 예 12 내지 예 16 중 어느 하나에 있어서, 상기 정적 특성화 또는 동적 특성화 중 하나를 수행하도록, 상기 하나 이상의 DUT로 가는 신호를 제어하는 단계는, 상기 하나 이상의 DUT의 동적 특성화를 수행하는 것을 포함하는, 작동 방법이다.
예 18은 예 12 내지 예 17 중 어느 하나에 있어서, 상기 동적 특성화를 수행하는 것은, 상기 하나 이상의 DUT 중 하나에서 이중 펄스 테스트 시퀀스를 수행하는 것을 포함하는, 작동 방법이다.
예 19는 예 12 내지 예 18 중 어느 하나에 있어서, 상기 정적 특성화 또는 동적 특성화 중 하나를 수행하도록, 상기 하나 이상의 DUT로 가는 신호를 제어하는 단계는, 상기 하나 이상의 DUT의 정적 특성화를 수행하는 것을 포함하는, 작동 방법이다.
예 20은 예 19에 있어서, 상기 하나 이상의 DUT의 정적 특성화를 수행하는 것은, 신호 하나 이상의 전류-전압 곡선을 출력하도록, 상기 하나 이상의 DUT 중 하나에 신호를 인가하는 것을 포함하는, 작동 방법이다.
청구항, 요약서 및 도면을 포함하는 명세서에서 개시되는 피쳐들 모두 및 개시되는 바에 따르는 임의의 방법 또는 프로세스의 단계를 모두는, 이러한 피쳐 및/또는 단계들 중 적어도 일부가 상호 배타적인 조합들을 제외하고는 임의의 조합으로 결합될 수 있다. 청구항, 요약서, 및 도면을 포함하는 명세서에 개시된 각 피쳐는 그렇지 않다고 명시되지 않으면 동일하거나 균등하거나 유사한 목적을 수행하는 다른 피쳐들에 의하여 대체될 수 있다.
비록 특정한 실시형태들이 도시되고 예시를 위해서 설명되었지만, 본 발명의 사상 및 범위에서 벗어나지 않으면서 다양한 변형이 이루어질 수 있다는 것이 이해될 것이다. 따라서, 본 발명은 첨부된 청구항에 의하여 한정되는 경우를 제외하고는 한정되어서는 안된다.

Claims (20)

  1. 테스트 및 측정 시스템으로서,
    파워 디바이스로서,
    하나 이상의 테스트 대상 디바이스(device under test; DUT)로의 연결을 허용하기 위한 인터페이스; 및
    하나 이상의 프로세서로서,
    실행시, 상기 하나 이상의 프로세서가,
    정적 특성화와 동적 특성화 사이의 선택을 수신하고,
    상기 하나 이상의 DUT의 정적 또는 동적 특성화 중 선택된 특성화를 수행하도록 상기 파워 디바이스를 구성하게 하는,
    코드를 실행하도록 구성된, 상기 하나 이상의 프로세서를 포함하는, 파워 디바이스;
    측정 디바이스로서,
    사용자 인터페이스; 및
    하나 이상의 프로세서로서,
    실행시, 상기 하나 이상의 프로세서가,
    상기 사용자 인터페이스를 통하여 사용자 입력을 수신하고 - 상기 사용자 입력은 적어도 정적 특성화와 동적 특성화 사이의 선택을 포함함 -,
    상기 정적 또는 동적 특성화 중 선택된 특성화를 상기 파워 디바이스로 전송하게 하는,
    코드를 실행하도록 구성된, 상기 하나 이상의 프로세서를 포함하는, 측정 디바이스; 및
    상기 파워 디바이스를 상기 측정 디바이스에 연결하기 위한 커넥터를 포함하는, 테스트 및 측정 디바이스.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 파워 디바이스는, 상기 하나 이상의 DUT에 전력을 제공하도록 상기 인터페이스에 연결되는 고전압 회로부를 더 포함하는, 테스트 및 측정 디바이스.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 파워 디바이스는, 상기 고전압 회로부에 연결된 인터록(interlock)을 더 포함하는, 테스트 및 측정 디바이스.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 파워 디바이스는 온도 제어 장비를 포함하는, 테스트 및 측정 디바이스.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 파워 디바이스는 상기 하나 이상의 DUT 주위에 보호 베리어를 포함하는, 테스트 및 측정 디바이스.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 측정 디바이스의 하나 이상의 프로세서는, 원격 컴퓨터와 인터페이싱하기 위한 코드를 더 실행하는, 테스트 및 측정 디바이스.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 측정 디바이스의 하나 이상의 프로세서는, 특성화 출력 데이터를 생성하기 위한 코드를 더 실행하는, 테스트 및 측정 디바이스.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 측정 디바이스의 하나 이상의 프로세서는 분석 소프트웨어 패키지를 위해 구성된 포맷으로 상기 특성화 출력 데이터를 생성하기 위한 코드를 더 실행하는, 테스트 및 측정 디바이스.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 특성화 출력 데이터는, 정적 특성화 출력 데이터 및 동적 특성화 출력 데이터를 포함하는, 테스트 및 측정 디바이스.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 파워 디바이스는 상기 하나 이상의 DUT 중 하나를 선택하기 위한 스위칭 회로를 더 포함하는, 테스트 및 측정 디바이스.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 측정 디바이스의 하나 이상의 프로세서는,
    DUT 중 하나를 특성화를 위하여 지정하는 사용자 입력을 수신하고, 상기 사용자 입력을 상기 파워 디바이스로 전달하기 위한 코드를 실행하도록 더 구성되는, 테스트 및 측정 디바이스.
  12. 통합형 정적 특성화 및 동적 특성화 플랫폼의 작동 방법으로서,
    측정 디바이스의 사용자 인터페이스를 통하여, 하나 이상의 테스트 대상 디바이스(DUT)의 정적 특성화와 동적 특성화 사이에서 선택하는 사용자 입력을 수신하는 단계;
    상기 사용자 입력을 상기 측정 디바이스와 파워 디바이스 사이의 연결을 통하여 전송하는 단계;
    상기 사용자 입력을 파워 디바이스에서 수신하는 단계;
    상기 하나 이상의 DUT의 정적 특성화 또는 동적 특성화 중 하나를 수행하도록, 상기 파워 디바이스 내의 상기 하나 이상의 DUT로 가는 신호를 제어하는 단계; 및
    특성화의 결과로서 초래되는 출력 데이터를 상기 측정 디바이스로 전송하는 단계를 포함하는, 작동 방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 방법은,
    상기 하나 이상의 DUT의 온도를 모니터링하는 단계를 더 포함하는, 작동 방법.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 방법은,
    상기 하나 이상의 DUT의 온도를 관리하도록, 온도 제어 장비를 작동시키는 단계를 더 포함하는, 작동 방법.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 방법은,
    상기 사용자 인터페이스를 통하여 사용자 입력을 수신하고 - 상기 사용자 입력은 상기 하나 이상의 DUT 중 하나를 특성화를 위하여 선택함 -, 상기 사용자 입력을 상기 연결을 통하여 상기 파워 디바이스로 전송하는 단계를 더 포함하는, 작동 방법.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 방법은,
    상기 하나 이상의 DUT 중 하나를 선택하도록, 상기 파워 디바이스 내의 스위치를 설정하는 단계를 더 포함하는, 작동 방법.
  17. 제 12 항에 있어서,
    상기 정적 특성화 또는 동적 특성화 중 하나를 수행하도록, 상기 하나 이상의 DUT로 가는 신호를 제어하는 단계는,
    상기 하나 이상의 DUT의 동적 특성화를 수행하는 것을 포함하는, 작동 방법.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 동적 특성화를 수행하는 것은,
    상기 하나 이상의 DUT 중 하나에서 이중 펄스 테스트 시퀀스를 수행하는 것을 포함하는, 작동 방법.
  19. 제 12 항에 있어서,
    상기 정적 특성화 또는 동적 특성화 중 하나를 수행하도록, 상기 하나 이상의 DUT로 가는 신호를 제어하는 단계는,
    상기 하나 이상의 DUT의 정적 특성화를 수행하는 것을 포함하는, 작동 방법.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 하나 이상의 DUT의 정적 특성화를 수행하는 것은,
    신호 하나 이상의 전류-전압 곡선을 출력하도록, 상기 하나 이상의 DUT 중 하나에 신호를 인가하는 것을 포함하는, 작동 방법.
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