KR20220122836A - 와이어 코팅장치 - Google Patents

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백민
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신웅철
백민
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Abstract

본 발명은 작은 직경을 가지는 본딩 와이어와 같은 와이어의 표면에 얇은 절연 박막을 균일하게 코팅할 수 있는 와이어 코팅장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 와이어 절연박막 코팅장치는, 외부와 차단된 상태에서 와이어 표면에 절연 박막을 코팅하는 코팅부; 상기 코팅부 내부와 외부를 이동가능하게 설치되며, 상기 와이어의 내외측이 노출된 상태에서 상기 와이어가 권취되어 상기 코팅부 내부에서 절연 박막 코팅 공정이 진행되는 와이어 공정 세팅부;를 포함한다.

Description

와이어 코팅장치{THE APPARATUS FOR COATING THE WIRE}
본 발명은 와이어 코팅장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 작은 직경을 가지는 본딩 와이어와 같은 와이어의 표면에 얇은 절연 박막을 균일하게 코팅할 수 있는 와이어 코팅장치에 관한 것이다.
반도체 소자의 전극과 실장 기판의 리드프레임을 전기적으로 연결하는 패키지 공정에서 본딩 와이어를 사용하는데, 기존에는 이러한 본딩 와이어로 전기 전도도, 열전도도 및 내화학성이 매우 우수한 금을 이용하였다.
그러나 금은 귀금속으로서 가격이 매우 높아 반도체 패키지의 제조 단가가 증가하는 문제가 있다. 따라서 이러한 금을 원재료로 하는 기존의 본딩 와이어를 대체하기 위해 재료비가 저렴한 주재료(은, 구리 등)를 채용한 본딩 와이어의 연구가 진행되고 있다.
금으로 제조된 본딩 와이어를 대체하기 위해 전기 전도도가 우수한 구리(Cu) 본딩 와이어에 대한 개발이 진행되고 있으나, 이는 공기 중에서 노출될 경우 표면이 쉽게 산화되기 때문에 접합성에 문제가 있고, 반도체 소자의 집적도가 높아지면서 이웃한 본딩 와이어 사이의 거리가 짧아져서 본딩 와이어 간 접촉으로 인한 쇼트 발생 문제도 있다.
이러한 문제점 해결을 위하여 구리 본딩 와이어의 외면에 팔라듐을 형성하거나 폴리머를 코팅하는 기술이 제시되어 있으나, 팔라듐을 형성하는 경우 팔라듐의 전기 저항이 구리보다 6배 이상 높은 문제가 있고, 폴리머 코팅의 경우 와이어 본딩시 본딩 특성이 나쁘고 접합성도 떨어지는 문제점이 있다.
따라서 본딩 와이어의 표면에 구리의 산화를 방지하면서도 우수한 절연특성을 가지는 절연박막을 형성할 수 있는 기술의 개발이 절실하게 요구되고 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 작은 직경을 가지는 본딩 와이어와 같은 와이어의 표면에 얇은 절연 박막을 균일하게 코팅할 수 있는 와이어 코팅장치를 제공하는 것이다.
전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 와이어 절연박막 코팅장치는, 외부와 차단된 상태에서 와이어 표면에 절연 박막을 코팅하는 코팅부; 상기 코팅부 내부와 외부를 이동가능하게 설치되며, 상기 와이어의 내외측이 노출된 상태에서 상기 와이어가 권취되어 상기 코팅부 내부에서 절연 박막 코팅 공정이 진행되는 와이어 공정 세팅부;를 포함한다.
그리고 본 발명에서 상기 와이어 공정 세팅부는, 중앙에 기둥 형상으로 형성되는 중앙부; 상기 중앙부의 외측에 다수개가 서로 이격되어 형성되며, 상기 와이어가 점접촉되는 상태로 권취되도록 선형 접촉단을 가지는 와이어 접촉부;를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 와이어 접촉부는 상기 중앙부를 중심으로 일정한 각간격을 가지도록 방사상 형태로 다수개가 설치되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 와이어 접촉부는 긴 막대 형상인 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 와이어 접촉부는 플레이트 형상인 것이 바람직하다.
또한 본 발명에 따른 와이어 절연박막 코팅장치에는, 상기 코팅부 외부에 설치되며, 상기 와이어 공정 세팅부에 상기 와이어를 서로 길이 방향으로 접촉되지 않도록 권취하는 와이어 로딩부;가 더 구비되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 와이어 로딩부는, 일정량의 와이어가 권취되어 있는 와이어 공급롤; 상기 와이어 공정 세팅부를 회전시켜 상기 와이어 공급롤에서 상기 와이어 공정 세팅부로 상기 와이어를 공정 상태로 옮겨 감는 회전부; 상기 와이어 공급롤과 상기 와이어 공정 세팅부 사이에서 상기 와이어 공정 세팅부에 감기는 와이어의 상대적인 위치를 상기 와이어 공정 세팅부의 길이 방향으로 변동시켜 상기 와이어가 길이 방향으로 밀착되지 않도록 권취하는 와이어 펼침부; 상기 와이어 펼침부에 설치되며, 상기 와이어 공정 세팅부에 권취되는 상기 와이어의 장력을 일정하게 조정하는 장력 조정부;를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 와이어 펼침부는, 상기 와이어 공정 세팅부의 길이방향으로 이동하면서 상기 와이어 공정 세팅부 상에서의 상기 와이어의 권취 위치를 변동시키는 이동 베어링인 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 와이어 펼침부는, 고정된 위치에서 상기 와이어를 상기 와이어 공정 세팅부에 전달하는 베어링; 상기 와이어 공정 세팅부를 상기 베어링에 대하여 상대 이동시키면서 상기 와이어의 권취 위치를 변동시키는 세팅부 이동수단;인 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 와이어는 구리(Cu), 금(Au), 은(Ag) 또는 알루미늄(Al) 중 어느 하나로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 와이어는 본딩 와이어(Bonding Wire)인 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 와이어는 상기 와이어 접촉부 상에서 이웃한 와이어와의 간격이 10 mm 이하로 권취되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 와이어는 상기 와이어 접촉부 상에서 이웃한 와이어와의 간격이 0.5 mm 이하로 권취되는 것이 더욱 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 절연박막은 1 ~ 100 nm 두께로 코팅되는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 절연박막은 Al2O3, TiO2, SiO2 중 적어도 하나를 포함하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 상기 코팅부는 원자층 증착장치인 것이 바람직하다.
본 발명의 와이어 절연박막 코팅장치에 의하면 본딩 와이어와 같은 소직경 와이어를 대량으로 세팅한 상태에서 와이어의 전면에 걸쳐서 절연 박막을 균일하게 코팅할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 절연박막 코팅장치의 구성을 도시하는 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 공정 세팅부의 구조를 도시하는 사시도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 와이어 공정 세팅부의 구조를 도시하는 사시도이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 와이어 공정 세팅부의 구조를 도시하는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 공정 세팅부의 구조를 도시하는 측면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 와이어 절연박막 코팅장치의 구성을 도시하는 개념도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어의 구조를 도시하는 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 권취 상태를 도시하는 도면이다.
도 9은 본 발명의 다른 실시예에 따른 와이어 권취 상태를 도시하는 도면이다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.
본 실시예에 따른 와이어 절연박막 코팅장치(100)는 도 1에 도시된 바와 같이, 코팅부(110)와 와이어 공정 세팅부(120)를 포함하여 구성된다. 먼저 상기 코팅부(110)는 외부와 차단된 상태에서 와이어(1) 표면에 절연 박막(2)을 코팅하는 구성요소이다. 즉, 상기 코팅부(110)는 상기 와이어 공정 세팅부(120)에 권취되어 있는 일정한 길이의 와이어(1) 표면에 전체적으로 절연 박막(2)을 균일하게 코팅하는 것이다.
이를 위하여 본 실시예에서 상기 코팅부(110)는 원자층 증착장치(Atomic Layer Deposition Apparatus) 또는 화학기상증착장치(Chemical Vapor Deposition Apparatus) 등으로 구성될 수 있다. 간단하게 상기 코팅부(110) 구조를 설명하면, 도 1에 도시된 바와 같이, 코팅 챔버(112)와 상기 코팅 챔버(112)에 설치되어 개구부를 단속하는 게이트밸브(114)를 포함하여 구성될 수 있다.
여기에서 상기 코팅 챔버(112)에는 절연 박막(2) 코팅을 위한 기체 공급부와 기체 배기부 등 다양한 구성요소들이 설치되며, 상기 게이트 밸브(114)는 상기 와이어 공정 세팅부(120)의 출입을 위하여 상기 코팅 챔버(112)의 개구부를 단속한다.
다음으로 상기 와이어 공정 세팅부(120)는 상기 코팅부(110) 내부에서 와이어 표면에 대한 절연 박막(2) 코팅 공정이 이루어질 수 있도록 상기 와이어(1)를 세팅하는 구성요소이다. 따라서 본 실시예에서 상기 와이어 공정 세팅부(120)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 코팅부(110) 내부와 외부를 이동가능하게 설치되며, 상기 와이어(1)의 내외측이 노출된 상태에서 상기 와이어(1)가 권취되어 상기 코팅부(110) 내부에서 절연 박막 코팅 공정이 진행될 수 있는 구조를 가진다.
여기에서 '와이어의 내외측이 노출된 상태에서 권취된다'는 것은, 일정한 길이의 상기 와이어(1)가 상기 와이어 공정 세팅부(120)에 다수번 감긴 상태에서 상기 와이어의 와이어 공정 세팅부 외측 방향 표면 뿐만아니라, 내측 방향 표면도 노출되도록 권취되는 것을 말한다. 이렇게 상기 와이어의 내외측이 모두 노출된 상태로 상기 와이어 공정 세팅부(120)에 권취되면, 상기 와이어의 노출된 모든 표면에 절연 박막이 피복될 수 있는 것이다. 물론 상기 와이의 표면 중 상기 와이어 공정 세팅부(120)에 접촉하는 일부 지점은 절연 박막이 코팅되지 않을 수도 있다.
이를 위하여 본 실시예에서는 상기 와이어 공정 세팅부(120)를 구체적으로 도 2에 도시된 바와 같이, 중앙부(122)와 와이어 접촉부(124)를 포함하여 구성할 수 있다. 먼저 상기 중앙부(122)는 중앙에 원기둥 또는 다각기둥 형상으로 형성되는 구성요소로서, 상기 와이어 접촉부(124)가 설치되는 공간 및 구조를 제공한다.
다음으로 상기 와이어 접촉부(124)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 중앙부(120)의 외측에 다수개가 서로 이격되어 형성되며, 상기 와이어(1)가 점접촉되는 상태로 권취되도록 선형 접촉단을 가지는 구성요소이다. 즉, 상기 와이어 접촉부(124)는 외측으로 향하여 상기 와이어가 접촉되는 부분인 접촉단의 형상이 면 형상이 아닌 선형으로 이루어져서, 그 외면에 권취되는 상기 와이어와 선접촉이나 면접촉이 아닌 점접촉만이 이루어지는 구조를 가진다.
따라서 상기 와이어 접촉부(124, 124a)는 도 2, 3에 도시된 바와 같이, 긴 막대(bar) 형상을 가지거나, 도 4에 도시된 바와 같이, 플레이트(plate) 형상을 가질 수 있다. 상기 와이어 접촉부(124, 124a)가 긴 막대 형상을 가지는 경우, 도 2, 3에 도시된 바와 같이, 상기 와이어 접촉부(124, 124a)를 상기 중앙부(122, 122a)에 연결하는 연결부(126, 126a)가 더 구비된다.
한편 본 실시예에서 상기 와이어 접촉부(124)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 중앙부(120)를 중심으로 일정한 각간격(θ)을 가지도록 방사상 형태로 다수개가 설치되는 것이, 권취되는 와이어의 모든 구간에 대하여 균일한 장력을 유지할 수 있어서 바람직하다.
그리고 상기 와이어 접촉부(124) 중 상기 와이어와 접촉하는 접촉단은 부드러운 곡면 형상을 가지는 것이, 권취된 와이어의 손상 및 절단을 방지할 수 있어서 바람직하다.
그리고 본 실시예에 따른 와이어 절연박막 코팅장치(100)에는 도 1에 도시된 바와 같이, 와이어 로딩부(130)가 더 구비되는 것이 바람직하다. 상기 와이어 공정 세팅부(120)에는 절연 박막 코팅 공정 진행에 적합하게 와이어가 로딩되어야 하는데, 상기 와이어 로딩부(130)가 상기 와이어 공정 세팅부(120)에 대한 와이어 로딩 공정을 수행하는 것이다.
즉, 상기 와이어 로딩부(130)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 코팅부(110) 외부에 설치되며, 상기 와이어 공정 세팅부(120)에 상기 와이어(1)를 절연 박막 코팅 공정에 적합하게, 즉 상기 와이어 세팅부(120)에 권취되는 와이어가 서로 길이 방향으로 접촉되지 않도록 권취하는 것이다.
여기에서 '와이어가 서로 길이 방향으로 접촉되지 않도록 권취된다'는 것은, 하나의 와이어 공정 세팅부(120)에 권취되는 와이어(1)가 도 8, 9에 도시된 바와 같이, 서로 다른 겹의 와이어들은 서로 엇갈린 상태로 만나면서 감길 수는 있지만, 동일한 겹의 와이어들은 서로 나란하게 접촉된 상태로 감기지 않고 서로 일정 간격 이격된 상태로 감기는 것을 말한다.
이때 본 실시예에서 상기 와이어(1)는 상기 와이어 접촉부(124) 상에서 이웃한 와이어와의 간격이 10 mm 이하로 권취되는 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 상기 와이어는 상기 와이어 접촉부 상에서 이웃한 와이어와의 간격이 0.5 mm 이하로 권취된다.
이를 위해 본 실시예에서는 상기 와이어 로딩부(130)를 구체적으로 도 1에 도시된 바와 같이, 와이어 공급롤(132), 회전부(134), 와이어 펼침부(136) 및 장력 조정부(138)를 포함하여 구성할 수 있다.
먼저 상기 와이어 공급롤(132)은 일정량의 와이어가 권취되어 있으며, 지속적으로 상기 와이어 공정 세팅부(120) 방향으로 와이어를 공급한다. 따라서 상기 와이어 공급롤(132)은 일정량의 와이어가 권취되어 있는 롤러로 구성되며, 와이어 공급사에서 공급된 상태 그대로 설치될 수도 있다.
다음으로 상기 회전부(134)는 상기 와이어 공정 세팅부(120)를 회전시켜 상기 와이어 공급롤(132)에서 상기 와이어 공정 세팅부(120)로 상기 와이어(1)를 공정 상태로 옮겨 감는 구성요소이다. 즉, 상기 회전부(134)는 상기 와이어 공급롤(132)에 인접하게 설치되며, 비어 있는 상기 와이어 공정 세팅부(120)가 결합되며, 상기 와이어 공정 세팅부(120)를 회전시킨다. 이렇게 상기 회전부에 의하여 상기 와이어 공정 세팅부(120)가 회전하는 상태에서 그 외주면에 상기 와이어가 감기면서 와이어가 상기 와이어 공정 세팅부(120)에 로딩(loading)되는 것이다.
다음으로 상기 와이어 펼침부(136)는 상기 와이어 공급롤(132)과 상기 와이어 공정 세팅부(120) 사이에서 상기 와이어 공정 세팅부(120)에 감기는 와이어의 상대적인 위치를 상기 와이어 공정 세팅부의 길이 방향으로 변동시켜, 상기 와이어가 길이 방향으로 밀착되지 않도록 권취하는 구성요소이다.
상기 와이어 공정 세팅부(120)를 상기 회전부(134)가 회전시키면서 상기 와이어를 그 외주면에 감는 공정을 진행하면서 상기 와이어를 상기 와이어 공정 세팅부(120)의 동일한 위치에 반복적으로 감으면, 와이어와 이웃한 와이어가 길이방향으로 서로 접촉되어 와이어의 전면이 절연 박막으로 코팅될 수 없는 상태가 된다. 따라서 상기 와이어 펼침부(136)는 상기 와이어를 감는 과정에서 상기 와이어 공정 세팅부(120)를 길이 방향으로 이동시키던가, 감기는 과정에서 상기 와이어를 이동시켜 상기 와이어가 상기 와이어 공정 세팅부 상에 권취되는 위치가 중복되지 않고 일정 간격 이격되도록 하는 것이다.
이를 위하여 본 실시예에서는 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 와이어 펼침부를 상기 와이어 공정 세팅부의 길이방향으로 이동하면서 상기 와이어 공정 세팅부 상에서의 상기 와이어의 권취 위치를 변동시키는 이동 베어링(236)으로 구성할 수 있다.
또한 상기 와이어 펼침부(136)를 도 1에 도시된 바와 같이, 고정된 위치에서 상기 와이어를 상기 와이어 공정 세팅부에 전달하는 베어링(136)과, 상기 와이어 공정 세팅부(120)를 상기 베어링(136)에 대하여 상대 이동시키면서 상기 와이어의 권취 위치를 변동시키는 세팅부 이동수단(도면에 미도시)으로 구성할 수도 있다. 이 경우 상기 세팅부 이동수단은 상기 회전부(134)에 내재되어 설치될 수 있다.
다음으로 상기 장력 조정부(138)는 상기 와이어 펼침부에 설치되며, 상기 와이어 공정 세팅부(120)에 권취되는 상기 와이어의 장력을 일정하게 조정하는 구성요소이다. 즉, 상기 장력 조정부(138)는 상기 와이어 공급롤(132)에서 풀려서 상기 와이어 공정 세팅부(120)에 감기는 상기 와이어를 일정한 장력으로 당겨서 상기 와이어 공정 세팅부에 감긴 상태에서 상기 와이어의 장력이 일정하도록 조정하는 것이다.
이상에서는 상기 와이어 로딩부(130)에서 상기 와이어 공정 세팅부(120)로 와이어를 옮겨 감으면서 세팅하는 것을 설명하였지만, 반대로 절연 박막 형성 공정이 완료된 후, 상기 와이어 공정 세팅부(120)에서 상기 와이어 공급롤(132)로 와이어를 옮겨 감을 수도 있다. 이 경우 상기 와이어를 공정 세팅 과정과 반대 방향으로 이동시키면서 공정이 진행된다.
한편 본 실시예에 따른 와이어 절연박막 코팅장치에서 도 6에 도시된 바와 같이, 공정이 완료된 와이어 공정 세팅부(220b)에서 와이어(1)를 배출용 스풀(242)에 감아서 배출하는 와이어 언로딩부(240)가 더 구비될 수도 있다. 이 경우 상기 배출용 스풀(242)이 상기 공급롤(232)과 상이한 구조 또는 스펙을 가지는 경우에 적용될 수 있으며, 공정이 속도를 높일 수 있는 장점이 있다.
그리고 본 실시예에서 상기 와이어(1)는 구리(Cu), 금(Au), 은(Ag) 또는 알루미늄(Al) 중 어느 하나로 이루어지는 것이 바람직하며, 구체적으로 상기 와이어는 본딩 와이어(Bonding Wire)인 것이 바람직하다.
그리고 본 실시예에서 상기 절연박막은 1 ~ 100 nm 두께로 코팅되는 것이, 바람직하며, 구체적으로 상기 절연박막은 Al2O3, TiO2, SiO2 중 적어도 하나를 포함하는 것이 바람직하다.
100 : 본 발명의 일 실시예에 따른 와이어 절연박막 코팅장치
110 : 코팅부 120 : 와이어 공정 세팅부
130 : 와이어 로딩부 1 : 와이어
2 : 절연 박막

Claims (16)

  1. 외부와 차단된 상태에서 와이어 표면에 절연 박막을 코팅하는 코팅부;
    상기 코팅부 내부와 외부를 이동가능하게 설치되며, 상기 와이어의 내외측이 노출된 상태에서 상기 와이어가 권취되어 상기 코팅부 내부에서 절연 박막 코팅 공정이 진행되는 와이어 공정 세팅부;를 포함하는 와이어 절연박막 코팅장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 와이어 공정 세팅부는,
    중앙에 기둥 형상으로 형성되는 중앙부;
    상기 중앙부의 외측에 다수개가 서로 이격되어 형성되며, 상기 와이어가 점접촉되는 상태로 권취되도록 선형 접촉단을 가지는 와이어 접촉부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 절연박막 코팅장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 와이어 접촉부는,
    상기 중앙부를 중심으로 일정한 각간격을 가지도록 방사상 형태로 다수개가 설치되는 것을 특징으로 하는 와이어 절연박막 코팅장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 와이어 접촉부는,
    긴 막대 형상인 것을 특징으로 하는 와이어 절연박막 코팅장치.
  5. 제2항에 있어서, 상기 와이어 접촉부는,
    플레이트 형상인 것을 특징으로 하는 와이어 절연박막 코팅장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 코팅부 외부에 설치되며, 상기 와이어 공정 세팅부에 상기 와이어를 서로 길이 방향으로 접촉되지 않도록 권취하는 와이어 로딩부;가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 와이어 절연박막 코팅장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 와이어 로딩부는,
    일정량의 와이어가 권취되어 있는 와이어 공급롤;
    상기 와이어 공정 세팅부를 회전시켜 상기 와이어 공급롤에서 상기 와이어 공정 세팅부로 상기 와이어를 공정 상태로 옮겨 감는 회전부;
    상기 와이어 공급롤과 상기 와이어 공정 세팅부 사이에서 상기 와이어 공정 세팅부에 감기는 와이의 상대적인 위치를 상기 와이어 공정 세팅부의 길이 방향으로 변동시켜 상기 와이어가 길이 방향으로 밀착되지 않도록 권취하는 와이어 펼침부;
    상기 와이어 펼침부에 설치되며, 상기 와이어 공정 세팅부에 권취되는 상기 와이어의 장력을 일정하게 조정하는 장력 조정부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 절연박막 코팅장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 와이어 펼침부는,
    상기 와이어 공정 세팅부의 길이방향으로 이동하면서 상기 와이어 공정 세팅부 상에서의 상기 와이어의 권취 위치를 변동시키는 이동 베어링인 것을 특징으로 하는 와이어 절연 박막 코팅장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 와이어 펼침부는,
    고정된 위치에서 상기 와이어를 상기 와이어 공정 세팅부에 전달하는 베어링;
    상기 와이어 공정 세팅부를 상기 베어링에 대하여 상대 이동시키면서 상기 와이어의 권취 위치를 변동시키는 세팅부 이동수단;인 것을 특징으로 하는 와이어 절연 박막 코팅장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 와이어는 구리(Cu), 금(Au), 은(Ag) 또는 알루미늄(Al) 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 와이어 절연박막 코팅장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 와이어는 본딩 와이어(Bonding Wire)인 것을 특징으로 하는 와이어 절연박막 코팅장치.
  12. 제2항에 있어서,
    상기 와이어는 상기 와이어 접촉부 상에서 이웃한 와이어와의 간격이 10 mm 이하로 권취되는 것을 특징으로 와이어 절연박막 코팅장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 와이어는 상기 와이어 접촉부 상에서 이웃한 와이어와의 간격이 0.5 mm 이하로 권취되는 것을 특징으로하는 와이어 절연박막 코팅장치.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 절연박막은 1 ~ 100 nm 두께로 코팅되는 것을 특징으로 하는 와이어 절연박막 코팅장치.
  15. 제1항에 있어서, 상기 절연박막은,
    Al2O3, TiO2, SiO2 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 절연박막 코팅장치.
  16. 제1항에 있어서,
    상기 코팅부는 원자층 증착장치인 것을 특징으로 하는 와이어 절연박막 코팅장치.
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