KR20220105371A - 케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부에 관한 것으로, 이송 유닛에 의해 전후 방향으로 이동되는 하부 스테이지 상에 독립적으로 전후 방향으로 이동될 수 있는 상부 스테이지를 구비시킴에 의해, 목 영역이 늘어난 수커넥터가 거치부에 안착된 경우에도 케미컬 자동공급장치가 원만하고 정상적으로 구동될 수 있다.

Description

케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부{Male connector holding unit of chemical automatic supply apparatus}
본 문서는 케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부에 관한 것으로, 특히 수커넥터의 형상이 변형된 경우에도 케미컬 자동공급장치가 원만하고 정상적으로 구동되고, 더 나아가 변형된 수커넥터의 형상을 보정하는 얼라인먼트(Alignment)를 수행하는 것에 관한 것이다.
일반적으로 반도체, 반도체 장치, LCD, OLED를 제조하는 회사와 제약회사 및 페인트 회사 등 유해화학물질을 사용하는 모든 회사에서는 다양한 종류의 케미컬이 사용되고 있으며, 이러한 케미컬을 안전하게 공급하는 방식도 다양화되고 있다.
이러한 케미컬은 건물 외부에 정차된 탱크로리(Tank lorry)의 케미컬 탱크에서 건물 내부에 설치된 케미컬 저장탱크(Chemical storage tank)로 케미컬을 이송시킨 다음, 케미컬 저장탱크에서 단위 공정이 진행되는 챔버로 이송하는 방식으로 이루어진다. 또한, 이와는 반대로 케미컬을 케미컬 탱크에서 탱크로리로 이송하는 경우도 있다.
현재 ACQC 유닛(Automatic Clean Quick Coupler Unit)라고 불리우는 케미컬 자동공급장치가 출시되어 사용되고 있다. 여기서 케미컬 저장탱크는 통상 건물 내부에 구비되고, ACQC 유닛은 건물 외부에 있는 탱크로리의 케미컬 탱크와 건물 내부에 있는 케미컬 저장탱크 사이에서 중계 공급 역할을 한다. 구체적으로, ACQC 유닛은 케미컬용 수커넥터 거치부와 케미컬용 암커넥터를 포함하여 구성되어 있고 이송 수단(Transfer means)에 의해 케미컬용 수커넥터 거치부를 케미컬용 암커넥터로 이동하게 하여 자동적으로 케미컬용 수커넥터를 암커넥터에 삽입 되어 체결되도록 할 수 있다. 이로 인해 작업자가 케미컬에 노출되지 않고 안전하게 케미컬이 공급될 수 있다.
도 1은 종래의 ACQC 유닛의 측면을 설명하는 도면이다. 도 1은 한국특허공보(등록공보번호 : 10-1779493, 케미컬 자동공급장치)를 설명한다. 도시된 바와 같이, 케미컬 자동공급장치(1000, ACQC 유닛)는, 수커넥터 거치부(100), 하우징 본체(200), 이송용 하우징(300), 이송유닛(400), 및 암커넥터(500)를 포함하여 이루어질 수 있다.
이송유닛(400)의 일측 단부는 벽체(600)에 형성된 개방부(601)에 삽입되어 있을 수 있다. 벽체(600)는 건물을 구성하는 벽을 의미하고, 개방부(601)는 건물의 외부와 내부가 연통하도록 뚫린 형상으로 이루어져 있다.
작업자가 케미컬용 호스(700)가 연결된 수커넥터(20)를 수커넥터 거치부(100)에 안착 및 고정시키면, 이송유닛(400)의 구동에 의해 수커넥터 거치부(100)가 전방(Forward)으로 이동을 하게 되어 수커넥터(20)가 암커넥터(500)에 삽입되게 된다. 이송유닛(400)은 하나 이상의 이송 스테이지(Transfer stage, 410) 및 구동부(Driver)로 구성되어 있어 수커넥터 거치부(100)를 이송 스테이지(410)상에서 전후방(Forward / Backward)으로 슬라이딩 시킬 수 있다.
통상적으로 질소용 호스(800)도 케미컬용 호스(700)와 함께 케미컬 자동공급장치(1000)에 연결되어, 탱크로리에 질소(N2)를 공급함으로써 가압에 의해 케미컬의 공급을 가속화시킬 수 있다.
도 2는 수커넥터 및 주변 부품의 단면을 설명하는 도면이다. 도 2의 (a)는 정상적인 형상을 가지는 수커넥터를 설명하는 단면도이고, 도 2의 (a)는 목영역이 늘어나 비정상적인 형상을 가지는 수커넥터를 설명하는 단면도이다. 도 2의 (a)에 도시된 바와 같이, 수커넥터(20)는 암커넥터에 삽입되는 수커넥터의 헤드 영역(20-1)과 플랜지(Buffer flange)에 의해 체결되는 수커넥터의 목 영역(20-2)으로 구분될 수 있다. 또한, 플랜지(30)는 복수개의 볼트 및 너트에 의해 호스 플랜지(40)와 체결되어, 케미컬이 호스 플랜지(40)와 연결된 케미컬 호스(700) 및, 수커넥터의 노즐을 통해 수커넥터 외부로 토출되도록 구성되어 있다.
그런데, 수커넥터의 목 영역(20-2)은 변형이 잘 되는 테프론(Teflon) 재질로 되어 있고, 목 영역(20-2)이 헤드 영역(20-1)에 비해 더 가늘기 때문에 장시간 사용으로 인해 하중에 의해 목 영역에 형상 변형이 발생하는 경우도 있을 수 있다.
예를 들어, 수커넥터의 헤드 영역이 아래로 휘어지거나 위로 올라가는 경우도 있으며, 도 2의 (b)에 도시된 바와 같이, 수커넥터의 목 영역(20-2)이 전방으로(Forward) 늘어나는 경우도 있다. 이와 같이 수커넥터의 목 영역(20-2)이 늘어 나는 또 다른 원인으로, 호스 플랜지(40)와 플랜지(30)를 체결하고 분리하는 반복적인 과정이 누적되거나, 상하좌우 어느 한쪽으로 편심을 주어 체결하거나, 너무 강한 힘으로 체결하는 경우를 들 수 있다.
목 영역(20-2)이 늘어 나지 않은 정상적인 수커넥터의 경우에는 플랜지(30)와 헤드 영역(20-1)까지의 거리가 D 만큼 이격되어 있으나, 목 영역(20-2)이 d 만큼 늘어난 비정상적인 수커넥터의 경우에는 경우에는 도시된 바와 같이, 플랜지(30)와 헤드 영역(20-1)까지의 거리가 D + d 만큼 이격되게 된다. d는 1 ~ 5 mm일 수 있다.
이러한 비정상적인 수커넥터의 경우에도, 수커넥터의 헤드 영역(20-1)이 암커넥터(500)에 완전히 삽입되고 체결될 수 있어, 케미컬의 공급에는 실제로 문제는 없으나, 케미컬 자동공급장치(1000)는 수커넥터의 헤드 영역(20-1)이 암커넥터에 완전히 삽입 내지 체결되지 않은 것으로 인식할 수 있다. 예를 들어, 플랜지(30)를 기준으로, 플랜지(30)가 특정 위치로 전방 이동되었을 경우, 이를 감지하여 커넥터와 암커넥터 간 완전한 삽입 내지 체결로 인식하고 그 다음 공정이 수행되도록 제어되는 케미컬 자동공급장치의 경우에, 플랜지(30)가 더 전방으로 이동되지 못하게 된다면 케미컬 자동공급장치는 정상적인 구동을 수행할 수 없게 될 수 있다. 즉, 도 2의 (b)의 경우에 플랜지(30)가 d 만큼 더 전방 이동되지 못하게 되어 완전한 삽입 내지 체결이 이루어 지지 않은 것으로 인식될 수 있다.
이와 같이, 목 영역(20-2)이 늘어난 경우, 케미컬 자동공급장치는 완전한 삽입 내지 체결이 이루어 지지 않은 것으로 인식하여, 이송 수단(400)에 의한 수커넥터의 전방 이동을 계속 수행하거나 케미컬의 토출을 수행하지 않는 등으로 인해 다음 공정으로 진입하지 못하게 되는 문제가 야기될 수 있다.
한국특허공보(등록공보번호: 10-1779493, "케미컬 자동공급장치")는 수커넥터가 안착되는 수커넥터 거치부가 스테이지상에서 전후방향으로 이동이 되어 수커넥터가 암커넥터에 체결되고, 수커넥터가 암커넥터로부터 분리될 수 있도록 하는 기술이 개시되어 있다. 그러나, 변형된 경우에도 케미컬 자동공급장치가 원만하고 정상적으로 구동하는 기술에 대해서는 개시되어 있지 않다.
본 발명은 수커넥터의 형상이 변형된 경우에도 케미컬 자동공급장치가 원만하고 정상적으로 구동되고, 더 나아가 변형된 수커넥터의 형상을 보정하는 얼라인먼트(Alignment)를 수행하여 수커넥터와 암커넥터간에 정확하고 정교하게 거치시키는 것을 목적으로 한다.
케미컬 탱크와 케미컬 저장탱크 사이를 연결하여 케미컬을 공급하기 위해, 수커넥터와 결합된 플랜지를 안착시킨 상태에서 이송 유닛에 의해 수커넥터를 전후 방향으로 이송하여 수커넥터가 암커넥터와 연결되도록 하는 케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부는,
이송 유닛에 의해 전후 방향으로 이동되는 하부 스테이지,
하부 스테이지 상에 구비되고, 수커넥터와 결합된 플랜지가 안착되는 상부 스테이지,
전후 방향으로 연장되고, 하부 스테이지와 상부 스테이지에 연결된 탄성 부재,
전후 방향으로 연장되고, 하부 스테이지와 상부 스테이지 사이에 구비된 레일을 포함하며,
상부 스테이지는,
하부 스테이지 상에서 레일을 따라 전후 방향으로 이동될 수 있게 하여 수커넥터의 목 영역이 늘어 난 경우에도 케미컬 자동공급장치가 원만하고 정상적으로 구동될 수 있다.
본 발명은 목 영역이 늘어난 수커넥터가 거치부에 안착된 경우에도 케미컬 자동공급장치가 원만하고 정상적으로 구동될 수 있게 하여 케미컬 공급이 중단 없이 공급될 수 있다.
또한, 목 영역이 위 또는 아래로 휘어진 수커넥터가 거치부에 안착된 경우에 보정에 의해 얼라인먼트하여 수커넥터와 암커넥터가 정확히 체결되도록 할 수 있다.
이로 인해, 궁극적으로 케미컬 공급의 생산성을 높이고 작업자의 안전을 도모할 수 있다.
도 1은 종래의 ACQC 유닛의 측면을 설명하는 도면이다.
도 2는 수커넥터 및 주변 부품의 단면을 설명하는 도면이다.
도 3은 일 실시예에 따른 케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부를 설명하는 도면이다.
도 4는 일 실시예에 따라 수커넥터가 안착된 케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부의 절단 단면을 설명하는 도면이다.
도 5는 일 실시예에 따라 목 영역이 늘어난 수커넥터가 암커넥터에 체결되는 과정을 설명하는 도면이다.
도 6은 일 실시예에 따라 케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부의 구성을 설명하는 구성도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 기술되는 바람직한 실시예를 통하여 본 발명을 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 기술하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명 실시예들의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다. 본 발명 명세서 전반에 걸쳐 사용되는 용어들은 본 발명 실시예에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서, 사용자 또는 운용자의 의도, 관례 등에 따라 충분히 변형될 수 있는 사항이므로, 이 용어들의 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
또한 전술한, 그리고 추가적인 발명의 양상들은 후술하는 실시예들을 통해 명백해질 것이다. 본 명세서에서 선택적으로 기재된 양상이나 선택적으로 기재된 실시예의 구성들은 비록 도면에서 단일의 통합된 구성으로 도시되었다 하더라도 달리 기재가 없는 한 당업자에게 기술적으로 모순인 것이 명백하지 않다면 상호간에 자유롭게 조합될 수 있는 것으로 이해된다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 3은 일 실시예에 따른 케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부를 설명하는 도면이다. 도 3의 (a)는 사시도이고, 도 3의 (b)는 X-X'을 따라 상하로 절단한 측면을 설명하는 도면이다. 도시된 바와 같이, 케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부(100)는 스테이지(50), 하부 클램핑 홀더(60), 상부 클램핑 홀더(70), 하부 지지 패드(80), 상부 지지 패드(90)를 포함하고, 스테이지(50)는 하부 스테이지(51), 상부 스테이지(52), 탄성 부재(53) 및 레일(54)을 포함할 수 있다.
하부 스테이지(51)는 도 1의 이송 유닛(400)에 의해 전후 방향(Forward / Backward)으로 이동될 수 있다. 하부 스테이지(51)는 사각형의 플레이트 형상을 가질 수 있다.
상부 스테이지(52)는 하부 스테이지(51) 상에 구비되고, 도 2의 수커넥터와 결합된 플랜지(30)가 안착될 수 있다.
탄성 부재(53)는 전후 방향으로 연장되고, 하부 스테이지와 상부 스테이지에 연결된다. 탄성 부재(53)가 전후 방향으로 연장되어 있기 때문에 전후 방향으로 탄성력을 가질 수 있다. 탄성 부재(53)는 스프링일 수 있다.
레일(54)은 전후 방향으로 연장되고, 하부 스테이지와 상부 스테이지 사이에 구비되어 있을 수 있다. 레일(54)은 하부 스테이지 상에 구비되어 있을 수 있으며, 복수개로 구성될 수 있다. 이동 가이드의 기능을 하는 수단은 레일에 포함된 것으로 본다.
이와 같은 구성에 의해, 상부 스테이지(52)는, 하부 스테이지(51) 상에서 레일(54)을 따라 전후 방향으로 이동될 수 있으며, 탄성 부재에 의해 탄성 반발력을 가질 수 있다. 따라서, 탄성 부재의 압축에 의해 하부 스테이지(51)가 상부 스테이지(52)와는 독립적으로 전방으로 더 전진될 수 있고, 후방으로 밀려 이동된 상부 스테이지는 자동으로 전방으로 이동되어 원 위치로 복귀될 수 있다.
하부 스테이지(51)는, 하부 스테이지의 전후 방향의 위치 정보를 제공하는 위치 센서(55)를 더 포함할 수 있다. 위치 센서(55)는 광학 센서로 이루어 질 수 있으며 발광부 또는 수광부 일 수 있고, 이에 대응되는 수광부 또는 발광부는 별도로 케미컬 자동공급장치에 구비되어 있을 수 있다. 위치 센서(55)의 종류에는 제한이 없다.
일 실시예에 따른 케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부(100)는, 하부 클램핑 홀더(60), 상부 클램핑 홀더(70), 하부 지지 패드(80), 상부 지지 패드(90)를 더 포함할 수 있다.
하부 클램핑 홀더(60)는, 하부 스테이지(51)에 구비될 수 있다. 하부 클램핑 홀더(60)는 하부 스테이지(51)의 양측에 고정되어 하부 스테이지(51) 상에 위치될 수 있다.
상부 클램핑 홀더(70)는 하부 클램핑 홀더(60) 상에 구비될 수 있다. 상부 클램핑 홀더(70)는, 일측 단부가 하부 클램핑 홀더의 타측 단부에 힌지 체결되어 회전 될 수 있다. 상부 클램핑 홀더(70)와 하부 클램핑 홀더(60)에는 도시된 바와 같이 잠금 수단(70-1)이 구비되어 상부 클램핑 홀더(70)와 하부 클램핑 홀더(60)를 고정 결합시킬 수 있다.
하부 지지 패드(80)는, 하부 스테이지(51)에 구비되고, 상측 단부에 수커넥터의 목 영역(20-2)이 접촉될 수 있다.
상부 지지 패드(90)는, 하부 지지 패드(80)의 상부에 구비되고, 상부 클램핑 홀더(70)에 구비되어 수커넥터의 목 영역(20-2)을 접촉하고 가압할 수 있다.
수커넥터의 목 영역(20-2)은 전방에 위치한 수커넥터의 전방 목 영역(20-2-1)과 후방에 위치한 수커넥터의 후방 목 영역(20-2-2)으로 구분되고, 하부 지지 패드 및 상부 지지 패드는 수커넥터의 전방 목 영역에 접촉될 수 있다.
이와 같은 구조로 인해, 수커넥터(20)의 중심축을 암커넥터의 중심축과 일치시키도록 얼라인먼트할 수 있다. 따라서, 수커넥터의 목 영역(20-2)에 변형이 생겨서 수커넥터의 헤드 영역(20-2)이 위로 휘어지거나 아래로 휘어지는 경우에 이러한 구조로 인해 보정될 수 있다.
도 4는 일 실시예에 따라 수커넥터가 안착된 케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부의 절단 단면을 설명하는 도면이다. 도 4의 (a)는 목 영역이 늘어 나지 않은 정상 수커넥터가 안착된 수커넥터 거치부(100)를 설명하는 도면이고, 도 4의 (b)는 목 영역이 늘어 난 비정상 수커넥터가 안착된 수커넥터 거치부(100)를 설명하는 도면이다. 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 목 영역(20-2)이 늘어 나지 않은 수커넥터(20)가 수커넥터 거치부(100)에 안착됨으로써, 하부 지지 패드(80) 및 상부 지지 패드(90)는 수커넥터의 전방 목 영역(20-2-1)에 밀착 접촉되어 어떠한 갭(Gap)이 생성되지 않는다. 이로 인해, 하부 스테이지(51)도 충분히 전진되어 위치 센서(55)를 통해 하부 스테이지의 전후 방향의 위치 정보를 제공하여 정상적으로 수커넥터와 암커넥터가 체결되었음이 확인될 수 있다. 이후에, 이송유닛의 구동을 정지하거나 케미컬 자동공급장치는 케미컬을 토출하는 등의 다음 공정을 수행한다.
일 실시예에 따라, 위치 센서(55)는 플랜지(30)의 직하부에 구비되어 있을 수 있다. 따라서 플랜지(30)의 전진 위치의 감지하여 수커넥터와 암커넥터가 정상적으로 체결되었는지 아닌지가 확인될 수 있다. 도 4의 (a)의 경우에는 하부 스테이지가 정상적인 위치까지 전진되어 수커넥터와 암커넥터가 정상적으로 삽입되어 체결된 것으로 인식된다.
한편, 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 목 영역(20-2)이 d 만큼 늘어 난 수커넥터(20)가 수커넥터 거치부에 안착됨으로써, 하부 지지 패드(80) 및 상부 지지 패드(90)는 수커넥터의 전방 목 영역(20-2-1)에 밀착 접촉되지 못하고 d 만큼의 갭(Gap)이 생성되었다. 이와 같은 경우에 종래의 기술은 하부 스테이지(51)가 충분히 전진되지 못하게 되는데, 이로 인해 케미컬 자동공급장치는 위치 센서(55)를 통해 수커넥터와 암커넥터가 미체결 내지 불완전한 체결이 이루어진 것으로 인식하여 상기 다음 공정을 수행하지 않는 문제가 야기되었었다.
그러나, 도 4의 본 발명은 이와 같이 목 영역(20-2)이 d 만큼 늘어 난 경우에, 상부 스테이지(52)와는 독립적으로, 하부 스테이지(51)가 이송 유닛에 의해 d 만큼 더 전진될 수 있어 갭(Gap)이 생성되지 않게 된다. 따라서, 이러한 미체결 내지 불완전한 체결의 인식 문제를 해결할 수 있다.
도 5는 일 실시예에 따라 목 영역이 늘어난 수커넥터가 암커넥터에 체결되는 과정을 설명하는 도면이다. 도 5의 (a)는 수커넥터가 암커넥터에 체결되기 전의 도면이고, 도 5의 (b)는 수커넥터가 암커넥터에 체결된 후의 도면이다. 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 목 영역이 d 만큼 늘어난 비정상적인 수커넥터(20)가 수커넥터 거치부(100)에 안착되어 하부 스테이지가 d 만큼 더 전방으로 이동되지 못하게 되었다. 이로 인해 d 만큼의 갭(Gap)이 발생하였다. 그러나 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 수커넥터(20)가 암커넥터(500)에 삽입되어 체결될 때에는 상부 스테이지(52)가 후방으로 밀려 d 만큼 이동하는 동시에 하부 스테이지(51)가 전방으로 더 전진될 수 있어 어떠한 갭(Gap)이 발생하지 않는다. 본 발명의 이러한 구조로 인해 비록 수커넥터(20)는 d 만큼 늘어 났지만, 하부 스테이지, 더 나아가 지지 패드(80, 90)는 더 전방으로 더 전진될 수 있어 케미컬 자동공급장치는 정상적인 수커넥터가 수커넥터 거치부(100)에 안착되어 암커넥터와 완전한 체결이 이루어진 것으로 인식하게 된다. 따라서, 케미컬 자동공급장치는 이송 수단의 구동을 정지하고 케미컬을 토출하는 등의 다음 공정이 수행되도록 구동할 수 있게 된다.
도 6은 일 실시예에 따라 케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부의 구성을 설명하는 구성도이다.
도시된 바와 같이, 케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부(100)는 스테이지(50), 하부 클램핑 홀더(60), 상부 클램핑 홀더(70), 하부 지지 패드(80), 상부 지지 패드(90)를 포함하고, 더 나아가 스테이지(50)는 하부 스테이지(51), 상부 스테이지(52), 탄성 부재(53), 레일(54), 위치 센서(55), 제1의 연결부재(56), 제2의 연결부재(57)를 포함하여 구성될 수 있다.
하부 스테이지(51) 상에는 레일(54), 위치 센서(55), 제1의 연결부재(56)가 구비될 수 있다. 위치 센서(55)는 플랜지의 직하부에 위치될 수 있다.
상부 스테이지(52)는 개구부(Opening)를 구비할 수 있다. 제1의 연결부재(56)는 탄성 부재(53)의 일단에 구비되고 하부 스테이지(51)에 고정되어, 개구부 내에서 탄성 부재(53)와 하부 스테이지(51)를 연결할 수 있다.
제1의 연결부재(56)와 제2의 연결부재(56)의 위치는 자유롭게 결정될 수 있다.
제2의 연결부재(57)는 탄성 부재(53)의 타단에 구비되고 상부 스테이지(52)에 고정되어, 개구부 내에서 탄성 부재(53)와 상부 스테이지(52)를 연결할 수 있다.
일 실시예에 따라, 레일(54)은, 레일 상에 구비되고 레일을 따라 전후 방향으로 이동되는 이동바(54-1)를 더 포함할 수 있다. 이동바(54-1)와 상부 스테이지(52)가 고정 연결될 수 있다. 이로 인해 상부 스테이지가 이동바에 의해 레일을 따라 전후 이동될 수 있다. 개구부 상에는 커버(58)가 구비될 수 있다. 커버(58)는 투명 재질일 수 있다. 이로 인해 개구부 내에서 제1의 연결부재(56)의 전후방향 이동이 육안으로 확인될 수 있고 부품의 교체가 용이하다.
1000 : 케미컬 자동공급장치
100 : 수커넥터 거치부
50 : 스테이지
51 : 하부 스테이지
52 : 상부 스테이지
53 : 탄성 부재
54 : 레일
54-1 : 이동바
55 : 위치 센서
56 : 제1의 연결부재
57 : 제2의 연결부재
58 : 투명 커버
60 : 하부 클램핑 홀더
70 : 상부 클램핑 홀더
80 : 하부 지지 패드
90 : 상부 지지 패드

Claims (8)

  1. 케미컬 탱크와 케미컬 저장탱크 사이를 연결하여 케미컬을 공급하기 위해, 수커넥터와 결합된 플랜지를 안착시킨 상태에서 이송 유닛에 의해 수커넥터를 전후 방향으로 이송하여 수커넥터가 암커넥터와 연결되도록 하는 케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부에 있어서,
    이송 유닛에 의해 전후 방향으로 이동되는 하부 스테이지;
    하부 스테이지 상에 구비되고, 수커넥터와 결합된 플랜지가 안착되는 상부 스테이지; 및
    전후 방향으로 연장되고, 하부 스테이지와 상부 스테이지 사이에 구비된 레일;을 포함하며,
    상부 스테이지는,
    하부 스테이지 상에서 레일을 따라 전후 방향으로 이동되는 케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부.
  2. 제1항에 있어서,
    전후 방향으로 연장되고, 하부 스테이지와 상부 스테이지에 연결된 탄성 부재;를 더 포함하는 케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부.
  3. 제1항에 있어서,
    하부 스테이지는,
    하부 스테이지의 전후 방향의 위치 정보를 제공하는 위치 센서;를 더 포함하는 케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부.
  4. 제1항에 있어서,
    하부 스테이지에 구비되고, 상측 단부에 수커넥터의 목 영역이 접촉되는 하부 지지 패드;
    를 더 포함하는 케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부.
  5. 제4항에 있어서,
    하부 스테이지에 구비된 하부 클램핑 홀더;
    하부 클램핑 홀더 상에 구비된 상부 클램핑 홀더; 및
    하부 지지 패드의 상부에 구비되고, 상부 클램핑 홀더에 구비되어 수커넥터의 목 영역을 접촉하고 가압하는 상부 지지 패드;
    를 더 포함하는 케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 수커넥터의 목 영역은 전방에 위치한 수커넥터의 전방 목 영역과 후방에 위치한 수커넥터의 후방 목 영역으로 구분되고,
    상기 하부 지지 패드 및 상부 지지 패드는 수커넥터의 전방 목 영역에 접촉되는 케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부.
  7. 제1항에 있어서,
    상부 스테이지는 개구부를 구비하고,
    탄성 부재의 일단에 구비되고 하부 스테이지에 고정되어, 개구부 내에서 탄성 부재와 하부 스테이지를 연결하는 제1의 연결부재; 및
    탄성 부재의 타단에 구비되고 상부 스테이지에 고정되어, 개구부 내에서 탄성 부재와 상부 스테이지를 연결하는 제2의 연결부재;
    를 포함하는 케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부.
  8. 제1항에 있어서,
    레일은, 레일 상에 구비되고 레일을 따라 전후 방향으로 이동되는 이동바;를 더 포함하고,
    상기 이동바와 상부 스테이지가 고정 연결된 케미컬 자동공급장치의 수커넥터 거치부.
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