KR20220104712A - Wheel support structure, holder, holder unit and holder assembly - Google Patents

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KR20220104712A
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야스토모 오카지마
료타 사카구치
카즈마 하세다
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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

휠 지지 구조(500)는 중심 지지부(600) 및 측면 지지부(700)를 포함한다. 중심 지지부(600)는 홀더(300)의 폭방향에 평행인 회전 중심축 둘레로 스크라이빙 휠(800)이 회전하도록 스크라이빙 휠(800)을 지지한다. 측면 지지부(700)는 휠 중심면(802)이 회전 중심축에 대하여 경사진 스크라이빙 휠(800)의 휠 측면(830)을 지지한다.The wheel support structure 500 includes a central support 600 and a side support 700 . The central support 600 supports the scribing wheel 800 so that the scribing wheel 800 rotates around a rotational central axis parallel to the width direction of the holder 300 . The side support 700 supports the wheel side 830 of the scribing wheel 800 with the wheel center surface 802 inclined with respect to the central axis of rotation.

Description

휠 지지 구조, 홀더, 홀더 유닛 및, 홀더 어셈블리Wheel support structure, holder, holder unit and holder assembly

본 발명은 휠 지지 구조, 홀더, 홀더 유닛 및, 홀더 어셈블리에 관한 것이다.The present invention relates to a wheel support structure, a holder, a holder unit, and a holder assembly.

취성 재료 기판(brittle material substrate) 등의 피가공물의 스크라이브 가공에 스크라이브 장치가 이용된다. 스크라이브 장치는 피가공물에 대하여 스크라이빙 휠(scribing wheel)을 주사하여, 피가공물에 스크라이브 라인을 형성한다. 특허문헌 1에는, 종래의 스크라이브 장치의 일 예가 기재되어 있다.A scribing apparatus is used for scribe processing of a workpiece such as a brittle material substrate. The scribing device scans a scribing wheel with respect to the work piece to form a scribe line on the work piece. Patent Document 1 describes an example of a conventional scribing device.

일본공개특허공보 2018-140597호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2018-140597

스크라이브 가공 시에 있어서의 스크라이빙 휠의 자세가 안정되지 않는 경우, 스크라이브 가공된 피가공물의 품질이 저하할 우려가 있다.When the posture of the scribing wheel at the time of scribing is not stable, there is a possibility that the quality of the scribing-processed to-be-processed object may fall.

본 발명의 목적은 피가공물의 품질의 향상에 기여하는 휠 지지 구조, 홀더, 홀더 유닛 및, 홀더 어셈블리를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a wheel support structure, a holder, a holder unit, and a holder assembly that contribute to the improvement of the quality of a workpiece.

본 발명에 관한 휠 지지 구조는 홀더의 폭방향에 평행한 회전 중심축 둘레로 스크라이빙 휠이 회전하도록 상기 스크라이빙 휠을 지지하는 중심 지지부와, 상기 스크라이빙 휠의 중심면이 상기 회전 중심축에 대하여 경사진 상기 스크라이빙 휠의 측면을 지지하는 측면 지지부를 구비한다.The wheel support structure according to the present invention includes a central support for supporting the scribing wheel so that the scribing wheel rotates about a rotational central axis parallel to the width direction of the holder, and a center surface of the scribing wheel rotates and a side support for supporting the side of the scribing wheel inclined with respect to the central axis.

이하의 설명에서는, 휠 측면, 휠 중심면, 경사 상태라는 용어가 사용되는 경우가 있다. 휠 측면은 스크라이빙 휠의 측면을 의미한다. 휠 중심면은 스크라이빙 휠의 중심면을 의미한다. 경사 상태는 휠 중심면이 회전 중심축에 대하여 경사진 스크라이빙 휠의 상태를 의미한다.In the following description, the terms wheel side, wheel center plane, and inclined state are sometimes used. Wheel side refers to the side of the scribing wheel. The wheel center plane means the center plane of the scribing wheel. The inclined state means a state of the scribing wheel in which the wheel center plane is inclined with respect to the rotation center axis.

경사 상태의 스크라이빙 휠이 피가공물에 밀어붙여진 경우, 휠 중심면이 회전 중심축에 직교하는 상태에 가까워지도록 스크라이빙 휠을 회전시키는 토크(이하 「밀어붙임 시 토크」라고 함)가 스크라이빙 휠에 작용한다. 휠 측면은 측면 지지부에 밀어붙여진다. 밀어붙임 시 토크가 작용한 경사 상태의 스크라이빙 휠의 휠 측면이 측면 지지부에 지지되기 때문에, 홀더에 대한 스크라이빙 휠의 상태가 안정된다. 이는 피가공물의 품질의 향상에 기여한다.When the inclined scribing wheel is pressed against the workpiece, the torque that rotates the scribing wheel (hereinafter referred to as the “pushing torque”) is Acts on the criving wheel. The wheel sides are pressed against the side supports. Since the wheel side of the scribing wheel in the inclined state applied with torque during pushing is supported by the side support, the state of the scribing wheel with respect to the holder is stable. This contributes to the improvement of the quality of the workpiece.

상기 휠 지지 구조의 일 예에서는, 상기 측면 지지부는 측면에 접촉하는 지지면을 포함한다.In an example of the wheel support structure, the side support includes a support surface in contact with the side surface.

상기 휠 지지 구조에 의하면, 측면 지지부에 있어서의 응력 집중이 억제된다.According to the wheel support structure, stress concentration in the side support portion is suppressed.

상기 휠 지지 구조의 일 예에서는, 상기 지지면은 상기 스크라이빙 휠이 배치되는 배치 공간을 규정한다.In an example of the wheel support structure, the support surface defines an arrangement space in which the scribing wheel is disposed.

상기 휠 지지 구조에 의하면, 지지면이 휠 측면을 지지하는 역할과, 배치 공간을 규정하는 역할을 갖기 때문에, 휠 지지 구조의 구성이 간략화된다.According to the above wheel support structure, since the support surface has a role of supporting the wheel side surface and a role of defining an arrangement space, the configuration of the wheel support structure is simplified.

상기 휠 지지 구조의 일 예에서는, 상기 지지면은 상기 홀더의 전후 방향에 대하여 경사진다.In an example of the wheel support structure, the support surface is inclined with respect to the front-rear direction of the holder.

상기 휠 지지 구조에 의하면, 지지면의 경사의 설정에 의해, 경사 상태의 스크라이빙 휠의 측면을 지지한다고 하는 측면 지지부의 기능이 실현되어, 휠 지지 구조의 구성이 간략화된다.According to the above wheel support structure, the function of the side support part of supporting the side surface of the scribing wheel in an inclined state is realized by setting the inclination of the support surface, and the configuration of the wheel support structure is simplified.

상기 휠 지지 구조의 일 예에서는, 상기 측면은 제1 휠 측면 및 제2 휠 측면을 포함하고, 상기 측면 지지부는 상기 제1 휠 측면 및 상기 제2 휠 측면을 지지한다.In an example of the wheel support structure, the side surface includes a first wheel side surface and a second wheel side surface, and the side support part supports the first wheel side surface and the second wheel side surface.

상기 휠 지지 구조에 의하면, 각 휠 측면이 측면 지지부에 지지되기 때문에, 스크라이빙 휠의 상태가 더욱 안정된다.According to the above wheel support structure, since each wheel side is supported by the side support, the condition of the scribing wheel is more stable.

상기 휠 지지 구조의 일 예에서는, 상기 측면 지지부는 상기 제1 휠 측면 중의 상기 회전 중심축에 대하여 전방 및 후방의 한쪽에 위치하는 부분과, 상기 제2 휠 측면 중의 상기 회전 중심축에 대하여 전방 및 후방의 다른 한쪽에 위치하는 부분을 지지한다.In an example of the wheel support structure, the side support portion includes a portion positioned at one of the front and rear with respect to the central axis of rotation of the first wheel side, and a front and rear portion of the second wheel side with respect to the central axis of rotation. Support the part located on the other side of the rear.

상기 휠 지지 구조에 의하면, 밀어붙임 시 토크를 스크라이빙 휠의 양측에서 받도록 각 휠 측면이 지지되기 때문에, 스크라이빙 휠의 상태가 더욱 안정된다.According to the wheel support structure, since each wheel side is supported so as to receive torque from both sides of the scribing wheel when pushing, the state of the scribing wheel is more stable.

본 발명에 관한 휠 지지 구조는 홀더의 폭방향에 평행 또는 교차하는 회전 중심축 둘레로 스크라이빙 휠이 회전하도록 상기 스크라이빙 휠을 지지하는 중심 지지부와, 상기 스크라이빙 휠의 중심면이 상기 회전 중심축에 대하여 경사진 상기 스크라이빙 휠의 측면을 지지하는 측면 지지부를 구비하고, 상기 측면 지지부는 상기 측면에 접촉하는 지지면을 포함하고, 상기 지지면은 상기 홀더의 전후 방향에 대하여 경사진다.The wheel support structure according to the present invention includes a central support for supporting the scribing wheel so that the scribing wheel rotates around a central axis of rotation parallel to or intersecting the width direction of the holder, and a center surface of the scribing wheel a side support for supporting a side surface of the scribing wheel inclined with respect to the central axis of rotation; inclined

상기 휠 지지 구조에 의하면, 밀어붙임 시 토크가 작용한 경사 상태의 스크라이빙 휠의 휠 측면이 측면 지지부에 지지되기 때문에, 홀더에 대한 스크라이빙 휠의 자세가 안정된다. 이는 피가공물의 품질의 향상에 기여한다.According to the wheel support structure, since the wheel side of the scribing wheel in an inclined state to which torque is applied during pushing is supported by the side support, the posture of the scribing wheel with respect to the holder is stabilized. This contributes to the improvement of the quality of the workpiece.

본 발명에 관한 홀더는 상기 휠 지지 구조를 구비한다.The holder according to the present invention has the above wheel support structure.

상기 홀더에 의하면, 휠 지지 구조와 마찬가지의 효과가 얻어진다.According to the said holder, the effect similar to a wheel support structure is acquired.

본 발명에 관한 홀더 유닛은 상기 홀더와, 상기 스크라이빙 휠과, 상기 스크라이빙 휠을 지지하는 핀을 구비한다.The holder unit according to the present invention includes the holder, the scribing wheel, and a pin for supporting the scribing wheel.

상기 홀더 유닛에 의하면, 휠 지지 구조와 마찬가지의 효과가 얻어진다.According to the said holder unit, the effect similar to a wheel support structure is acquired.

본 발명에 관한 홀더 어셈블리는 상기 홀더 유닛과, 홀더 조인트 유지구에 대하여 회전할 수 있도록 상기 홀더 유닛을 상기 홀더 조인트 유지구에 연결하는 홀더 조인트를 구비한다.The holder assembly according to the present invention includes the holder unit and a holder joint connecting the holder unit to the holder joint holder so as to be rotatable with respect to the holder joint holder.

상기 홀더 어셈블리에 의하면, 휠 지지 구조와 마찬가지의 효과가 얻어진다.According to the holder assembly, an effect similar to that of the wheel support structure is obtained.

본 발명에 관한 휠 지지 구조, 홀더, 홀더 유닛 및, 홀더 어셈블리는 피가공물의 품질의 향상에 기여한다.The wheel support structure, the holder, the holder unit, and the holder assembly according to the present invention contribute to the improvement of the quality of the workpiece.

도 1은 스크라이브 헤드의 측면도이다.
도 2는 스크라이브 헤드의 정면도이다.
도 3은 스크라이빙 휠의 측면도이다.
도 4는 스크라이빙 휠의 단면도이다.
도 5는 홀더 유닛의 단면도(1)이다.
도 6은 홀더 유닛의 단면도(2)이다.
도 7은 홀더 어셈블리의 측면도(1)이다.
도 8은 홀더 어셈블리의 측면도(2)이다.
도 9는 홀더 어셈블리의 측면도(3)이다.
도 10은 휠 지지 구조의 제1 형태를 나타내는 도(1)이다.
도 11은 휠 지지 구조의 제1 형태를 나타내는 도(2)이다.
도 12는 휠 지지 구조의 제1 형태를 나타내는 도(3)이다.
도 13은 휠 지지 구조의 제2 형태를 나타내는 도(1)이다.
도 14는 휠 지지 구조의 제2 형태를 나타내는 도(2)이다.
도 15는 휠 지지 구조의 제2 형태를 나타내는 도(3)이다.
도 16은 휠 지지 구조의 제3 형태를 나타내는 도(1)이다.
도 17은 휠 지지 구조의 제3 형태를 나타내는 도(2)이다.
도 18은 휠 지지 구조의 제4 형태를 나타내는 도(1)이다.
도 19는 휠 지지 구조의 제4 형태를 나타내는 도(2)이다.
도 20은 휠 지지 구조의 제4 형태를 나타내는 도(3)이다.
도 21은 홀더의 정면도이다.
도 22는 홀더의 배면도이다.
도 23은 홀더의 측면도이다.
도 24는 홀더의 저면도이다.
도 25는 홀더의 단면도이다.1 is a side view of a scribe head;
2 is a front view of the scribe head;
3 is a side view of a scribing wheel;
4 is a cross-sectional view of a scribing wheel;
5 is a cross-sectional view (1) of the holder unit.
6 is a cross-sectional view (2) of the holder unit.
7 is a side view 1 of the holder assembly.
8 is a side view 2 of the holder assembly.
9 is a side view 3 of the holder assembly.
Fig. 10 is a view (1) showing a first form of the wheel support structure.
Fig. 11 is a view (2) showing a first form of the wheel support structure.
Fig. 12 is a view (3) showing a first form of the wheel support structure.
Fig. 13 is a view (1) showing a second form of the wheel support structure.
Fig. 14 is a view (2) showing a second form of the wheel support structure.
Fig. 15 is a view (3) showing a second form of the wheel support structure.
Fig. 16 is a view (1) showing a third form of the wheel support structure.
Fig. 17 is a view (2) showing a third form of the wheel support structure.
Fig. 18 is a view (1) showing a fourth form of the wheel support structure.
Fig. 19 is a view (2) showing a fourth form of the wheel support structure.
Fig. 20 is a view (3) showing a fourth form of the wheel support structure.
21 is a front view of the holder;
22 is a rear view of the holder;
23 is a side view of the holder;
24 is a bottom view of the holder.
25 is a cross-sectional view of the holder.

(발명을 실시하기 위한 형태)(Form for implementing the invention)

도 1, 도 2에 나타나는 스크라이브 헤드(10)는 피가공물의 스크라이브 가공에 이용된다. 피가공물은 예를 들면 기판을 포함한다. 기판은 예를 들면 취성 재료 기판을 포함한다. 취성 재료 기판은 예를 들면 유리 기판, 세라믹스 기판, 실리콘 기판, 화합물 반도체 기판, 사파이어 기판 및, 석영 기판의 적어도 1개를 포함한다. 세라믹스 기판은 예를 들면 저온 소성 세라믹스 및 고온 소성 세라믹스의 적어도 1개를 포함한다. 스크라이브 헤드(10)는 피가공물을 스크라이브 가공하는 스크라이브 가공 장치에 조입(incorporation)된다. 일 예에서는, 스크라이브 가공 장치는 주사 장치 및 스크라이브 헤드(10)를 구비한다. 스크라이브 헤드(10)는 주사 장치에 부착된다. 주사 장치는 피가공물에 대한 스크라이브 헤드(10)의 위치를 임의로 변경할 수 있도록 구성된다. 일 예에서는, 주사 장치는 제1 주사부 및 제2 주사부의 적어도 1개를 포함한다. 제1 주사부는 피가공물의 피가공면에 대하여 평행한 방향에 관한 스크라이브 헤드(10)의 위치를 변경한다. 제2 주사부는 피가공물의 피가공면에 대하여 수직인 방향에 관한 스크라이브 헤드(10)의 위치를 변경한다.The scribing head 10 shown in FIGS. 1 and 2 is used for scribing of a workpiece. The workpiece includes, for example, a substrate. The substrate includes, for example, a brittle material substrate. The brittle material substrate includes, for example, at least one of a glass substrate, a ceramic substrate, a silicon substrate, a compound semiconductor substrate, a sapphire substrate, and a quartz substrate. The ceramic substrate contains, for example, at least one of low-temperature fired ceramics and high-temperature fired ceramics. The scribe head 10 is incorporated into a scribe processing apparatus for scribe processing a workpiece. In one example, a scribe processing apparatus includes an injection device and a scribe head 10 . A scribe head 10 is attached to the injection device. The injection device is configured to be able to arbitrarily change the position of the scribe head 10 with respect to the workpiece. In one example, the injection device comprises at least one of a first injection part and a second injection part. The first scanning unit changes the position of the scribe head 10 with respect to the direction parallel to the surface to be processed of the workpiece. The second scanning unit changes the position of the scribe head 10 with respect to the direction perpendicular to the surface to be processed of the workpiece.

스크라이브 헤드(10)는 베이스(11), 연결 구조(20), 홀더 조인트 유지구(40) 및, 홀더 어셈블리(50)를 구비한다. 베이스(11)는 주사 장치에 부착된다. 베이스(11)와 주사 장치의 관계에 대해서 예시한다. 제1예에서는, 베이스(11)는 주사 장치의 제1 주사부에 부착된다. 제2예에서는, 베이스(11)는 주사 장치의 제2 주사부에 부착된다. 홀더 조인트 유지구(40)는 연결 구조(20)를 통하여 베이스(11)에 부착된다. 연결 구조(20)의 구성에 대해서 예시한다. 제1예에서는, 연결 구조(20)는 홀더 조인트 유지구(40)가 베이스(11)에 대하여 소정 방향으로 이동할 수 있도록 홀더 조인트 유지구(40)를 베이스(11)에 연결한다. 소정 방향은 예를 들면 피가공물의 피가공면에 대하여 수직인 방향 및, 피가공물의 피가공면에 대하여 평행한 방향의 적어도 한쪽을 포함한다. 제2예에서는, 연결 구조(20)는 홀더 조인트 유지구(40)가 베이스(11)에 대하여 이동할 수 없도록 홀더 조인트 유지구(40)를 베이스(11)에 연결한다.The scribe head 10 includes a base 11 , a connecting structure 20 , a holder joint holder 40 , and a holder assembly 50 . The base 11 is attached to the injection device. The relationship between the base 11 and the injection device is exemplified. In a first example, the base 11 is attached to the first injection part of the injection device. In a second example, the base 11 is attached to the second injection part of the injection device. The holder joint holder 40 is attached to the base 11 through the connecting structure 20 . The configuration of the connection structure 20 is exemplified. In the first example, the connection structure 20 connects the holder joint holder 40 to the base 11 so that the holder joint holder 40 can move in a predetermined direction with respect to the base 11 . The predetermined direction includes, for example, at least one of a direction perpendicular to the surface to be processed and a direction parallel to the surface to be processed. In the second example, the connection structure 20 connects the holder joint holder 40 to the base 11 so that the holder joint holder 40 cannot move with respect to the base 11 .

도 1, 도 2는 제1예의 연결 구조(20)를 나타낸다. 연결 구조(20)는 레일(21) 및 슬라이더(22)를 포함한다. 레일(21)은 베이스(11) 및 홀더 조인트 유지구(40)의 한쪽에 부착된다. 슬라이더(22)는 베이스(11) 및 홀더 조인트 유지구(40)의 다른 한쪽에 부착된다. 도시되는 예에서는, 레일(21)은 베이스(11)에 부착된다. 슬라이더(22)는 홀더 조인트 유지구(40)에 부착된다. 연결 구조(20)는 예를 들면 피가공물의 피가공면에 대하여 수직인 방향에 있어서, 베이스(11)와 홀더 조인트 유지구(40)의 상대적인 이동을 허용한다.1 and 2 show the connection structure 20 of the first example. The connecting structure 20 includes a rail 21 and a slider 22 . The rail 21 is attached to one of the base 11 and the holder joint holder 40 . The slider 22 is attached to the other side of the base 11 and the holder joint holder 40 . In the example shown, the rail 21 is attached to the base 11 . The slider 22 is attached to the holder joint holder 40 . The connecting structure 20 allows relative movement of the base 11 and the holder joint holder 40, for example, in a direction perpendicular to the surface to be machined.

홀더 조인트 유지구(40)는 홀더 어셈블리(50)를 유지하는 상태와, 홀더 어셈블리(50)를 유지하지 않는 상태를 선택할 수 있도록 구성된다. 홀더 어셈블리(50)는 홀더 조인트(100) 및 홀더 유닛(200)을 구비한다. 홀더 조인트(100)는 홀더 유닛(200)을 지지하고, 홀더 조인트 유지구(40)에 탈착할 수 있도록 구성된다. 홀더 유닛(200)은 홀더(300) 및 스크라이빙 휠(800)을 포함한다. 홀더(300)는 홀더 조인트(100)에 결합한다. 스크라이빙 휠(800)은 홀더(300)에 대하여 회전할 수 있도록 홀더(300)에 지지된다. 홀더 유닛(200)은 홀더 조인트(100)를 통하여 홀더 조인트 유지구(40)에 연결된다.The holder joint holder 40 is configured to be able to select a state in which the holder assembly 50 is held and a state in which the holder assembly 50 is not held. The holder assembly 50 includes a holder joint 100 and a holder unit 200 . The holder joint 100 supports the holder unit 200 and is configured to be detachably attached to the holder joint holder 40 . The holder unit 200 includes a holder 300 and a scribing wheel 800 . The holder 300 is coupled to the holder joint 100 . The scribing wheel 800 is supported on the holder 300 to be able to rotate with respect to the holder 300 . The holder unit 200 is connected to the holder joint holder 40 through the holder joint 100 .

스크라이브 헤드(10)는 하중 조절부(30)를 추가로 구비한다. 하중 조절부(30)는 스크라이빙 휠(800)을 피가공물에 밀어붙이는 힘을 조절한다. 하중 조절부(30)는 액츄에이터(31) 및 브래킷(32)을 포함한다. 브래킷(32)은 베이스(11)에 부착된다. 액츄에이터(31)는 브래킷(32)에 부착된다. 액츄에이터(31)는 예를 들면 홀더 조인트 유지구(40), 홀더 조인트 유지구(40)에 부착되는 레일(21), 또는, 홀더 조인트 유지구(40)에 부착되는 슬라이더(22)를 피가공물을 향하여 누른다. 액츄에이터(31)는 예를 들면 동력 실린더, 솔레노이드, 전동기, 서보 모터 및, 리니어 액츄에이터의 적어도 1개를 포함한다. 동력 실린더는 예를 들면 유압 실린더, 공압 실린더, 수압 실린더 및, 전동 실린더의 적어도 1개를 포함한다.The scribe head 10 further includes a load control unit 30 . The load control unit 30 adjusts the force of pushing the scribing wheel 800 to the workpiece. The load adjusting unit 30 includes an actuator 31 and a bracket 32 . A bracket 32 is attached to the base 11 . The actuator 31 is attached to the bracket 32 . The actuator 31 may, for example, use the holder joint holder 40 , the rail 21 attached to the holder joint holder 40 , or the slider 22 attached to the holder joint holder 40 to the workpiece. Press towards The actuator 31 includes, for example, at least one of a power cylinder, a solenoid, an electric motor, a servo motor, and a linear actuator. The power cylinder includes, for example, at least one of a hydraulic cylinder, a pneumatic cylinder, a hydraulic cylinder, and an electric cylinder.

도 3, 도 4에 나타나는 바와 같이, 스크라이빙 휠(800)은 본체(810) 및 날끝부(820)를 포함한다. 스크라이빙 휠(800)의 기초적 구조는 예를 들면 제1 구조 및 제2 구조로 분류된다. 제1 구조에서는, 본체(810) 및 날끝부(820)를 포함하는 스크라이빙 휠(800)의 전체가 단일의 고경도 재료에 의해 형성된다. 제2 구조에서는, 스크라이빙 휠(800)은 고경도 재료에 의해 형성되는 본체(810) 및, 본체(810)와는 상이한 고경도 재료에 의해 형성되는 날끝부(820)를 포함한다. 고경도 재료로서는 예를 들면 초경합금, 다결정 다이아몬드 및, 단결정 다이아몬드를 들 수 있다. 다결정 다이아몬드는 예를 들면 다이아몬드 소결체(Poly-Crystalline Diamond, 약칭은 PCD), 또는, 나노 다결정 다이아몬드(Nano-Polycrystalline Diamond, 약칭은 NPD)이다.3 and 4 , the scribing wheel 800 includes a body 810 and a blade tip 820 . The basic structure of the scribing wheel 800 is classified into, for example, a first structure and a second structure. In the first structure, the entire scribing wheel 800 including the body 810 and the blade tip 820 is formed by a single high-hardness material. In the second structure, the scribing wheel 800 includes a body 810 formed of a high-hardness material, and a blade tip 820 formed of a high-hardness material different from the body 810 . Examples of the high hardness material include cemented carbide, polycrystalline diamond, and single crystal diamond. The polycrystalline diamond is, for example, a sintered diamond (Poly-Crystalline Diamond, abbreviation PCD) or nano-polycrystalline diamond (Nano-Polycrystalline Diamond, abbreviation NPD).

본체(810)는 스크라이빙 휠(800)의 중심축인 휠 중심축(801) 둘레에 형성된다. 이하에서는, 휠 중심축(801)을 따르는 방향을 스크라이빙 휠(800)의 축방향이라고 칭한다. 스크라이빙 휠(800)의 중심면인 휠 중심면(802)은 스크라이빙 휠(800)의 축방향에 있어서 스크라이빙 휠(800)의 중심을 통과하고, 휠 중심축(801)에 직교하도록 규정된다. 스크라이빙 휠(800)은 휠 중심면(802)에 대하여 대칭 또는 비대칭이다. 도 3에 나타나는 예에서는, 스크라이빙 휠(800)은 휠 중심면(802)에 대하여 대칭이다.The body 810 is formed around the wheel central axis 801 which is the central axis of the scribing wheel 800 . Hereinafter, a direction along the wheel central axis 801 is referred to as an axial direction of the scribing wheel 800 . The wheel center surface 802, which is the center surface of the scribing wheel 800, passes through the center of the scribing wheel 800 in the axial direction of the scribing wheel 800, and is on the wheel center axis 801. defined to be orthogonal. The scribing wheel 800 is symmetrical or asymmetrical with respect to the wheel center plane 802 . In the example shown in FIG. 3 , the scribing wheel 800 is symmetrical with respect to the wheel center plane 802 .

도 3에 나타나는 스크라이빙 휠(800)의 측면에서 보면, 본체(810)의 형상은 환(環)이다. 날끝부(820)는 본체(810)에 대하여 스크라이빙 휠(800)의 지름 방향의 외방에 형성된다. 날끝부(820)는 스크라이빙 휠(800)의 날을 구성한다. 스크라이빙 휠(800)의 측면에서 보면, 날끝부(820)의 형상은 환이다. 날끝부(820)의 두께는 스크라이빙 휠(800)의 지름 방향의 외방을 향함에 따라서 얇아진다. 날끝부(820)의 선단에는, 스크라이빙 휠(800)의 원주(圓周)에 상당하는 능선(821)이 형성된다.When viewed from the side of the scribing wheel 800 shown in FIG. 3 , the shape of the body 810 is annular. The blade tip 820 is formed on the outside in the radial direction of the scribing wheel 800 with respect to the body 810 . The blade tip 820 constitutes the blade of the scribing wheel 800 . When viewed from the side of the scribing wheel 800, the shape of the blade tip 820 is a ring. The thickness of the blade tip 820 becomes thinner as it goes outward in the radial direction of the scribing wheel 800 . A ridge line 821 corresponding to the circumference of the scribing wheel 800 is formed at the tip of the blade tip portion 820 .

본체(810)는 내주면(811), 휠 구멍(812), 모따기(813) 및, 휠 측면(830)을 포함한다. 내주면(811)은 휠 구멍(812)을 규정한다. 휠 구멍(812)은 본체(810)를 스크라이빙 휠(800)의 축방향으로 관통한다. 휠 구멍(812)은 원형이다. 모따기(813)는 휠 구멍(812)의 주위에 형성된다. 휠 측면(830)은 제1 휠 측면(831) 및 제2 휠 측면(832)을 포함한다. 일 예에서는, 각 휠 측면(831, 832)은 평면이다. 각 휠 측면(831, 832)은 휠 중심면(802)에 대하여 평행하다. 제1 휠 측면(831)은 휠 중심면(802)에 대하여 스크라이빙 휠(800)의 축방향의 한쪽에 형성된다. 제2 휠 측면(832)은 휠 중심면(802)에 대하여 스크라이빙 휠(800)의 축방향의 다른 한쪽에 형성된다. 휠 측면(830)의 외주와 날끝부(820)의 사이에는 경계부(840)가 형성된다. 경계부(840)는 휠 측면(830)과 날끝부(820)의 외면의 사이에 형성되는 엣지, 또는, 이에 상당하는 부분이다.The body 810 includes an inner peripheral surface 811 , a wheel hole 812 , a chamfer 813 , and a wheel side surface 830 . The inner peripheral surface 811 defines a wheel hole 812 . The wheel hole 812 penetrates the body 810 in the axial direction of the scribing wheel 800 . The wheel bore 812 is circular. A chamfer 813 is formed around the wheel hole 812 . The wheel side 830 includes a first wheel side 831 and a second wheel side 832 . In one example, each wheel side 831 , 832 is planar. Each wheel side 831 , 832 is parallel to the wheel center plane 802 . The first wheel side surface 831 is formed on one side of the axial direction of the scribing wheel 800 with respect to the wheel center surface 802 . A second wheel side 832 is formed on the other axial side of the scribing wheel 800 with respect to the wheel center surface 802 . A boundary portion 840 is formed between the outer periphery of the wheel side 830 and the blade tip 820 . The boundary portion 840 is an edge formed between the wheel side surface 830 and the outer surface of the blade tip portion 820 , or a portion corresponding thereto.

도 5, 도 6은 홀더(300)의 일 예를 나타낸다. 홀더(300)는 홀더 본체(400) 및 휠 지지 구조(500)를 구비한다. 홀더 본체(400)는 홀더 조인트(100)를 통하여 홀더 조인트 유지구(40)에 연결된다. 휠 지지 구조(500)는 중심 지지부(600)를 구비한다. 중심 지지부(600)는 스크라이빙 휠(800)의 회전 중심축인 휠 회전 중심축(601)을 규정한다. 중심 지지부(600)는 휠 회전 중심축(601) 둘레로 스크라이빙 휠(800)이 회전하도록 스크라이빙 휠(800)을 지지한다. 휠 회전 중심축(601)은 예를 들면 홀더 유닛(200)의 평면에서 보면 홀더(300)의 폭방향에 평행, 또는, 홀더(300)의 폭방향에 교차한다.5 and 6 show an example of the holder 300 . The holder 300 includes a holder body 400 and a wheel support structure 500 . The holder body 400 is connected to the holder joint holder 40 through the holder joint 100 . The wheel support structure 500 has a central support 600 . The central support 600 defines a wheel rotation center axis 601 which is a rotation center axis of the scribing wheel 800 . The central support 600 supports the scribing wheel 800 so that the scribing wheel 800 rotates around the wheel rotation central axis 601 . The wheel rotation center axis 601 is parallel to the width direction of the holder 300 or intersects the width direction of the holder 300 in a plan view of the holder unit 200 , for example.

중심 지지부(600)의 구성에 대해서 예시한다. 도 5, 도 6에 나타나는 중심 지지부(600)의 제1예에서는, 중심 지지부(600)는 핀(610) 및 핀 지지부(620)를 포함한다. 일 예에서는, 핀(610)은 원기둥이다. 핀(610)은 핀 지지부(620)에 지지되는 제1 단부(611), 제2 단부(612) 및, 스크라이빙 휠(800)을 지지하는 중간부(613)를 포함한다. 핀 지지부(620)는 홀더 본체(400)에 형성된다. 핀(610)의 중심축은 휠 회전 중심축(601)을 규정한다. 홀더 본체(400) 및 핀 지지부(620)의 관계에 대해서 예시한다. 제1예에서는, 홀더 본체(400)와 핀 지지부(620)는 단일의 물체를 구성한다. 제2예에서는, 개별적으로 구성된 홀더 본체(400)와 핀 지지부(620)가 결합된다.The configuration of the central support portion 600 is exemplified. In the first example of the central support 600 shown in FIGS. 5 and 6 , the central support 600 includes a pin 610 and a pin support 620 . In one example, the pin 610 is a cylinder. The pin 610 includes a first end 611 , a second end 612 supported by the pin support 620 , and an intermediate portion 613 supporting the scribing wheel 800 . The pin support 620 is formed on the holder body 400 . The central axis of the pin 610 defines the wheel rotation central axis 601 . The relationship between the holder body 400 and the pin support part 620 will be exemplified. In the first example, the holder body 400 and the pin support 620 constitute a single object. In the second example, the individually configured holder body 400 and the pin support 620 are coupled.

핀 지지부(620)는 제1 지지부(621), 제2 지지부(622) 및, 배치면(630)을 포함한다. 제1 지지부(621)와 제2 지지부(622)의 사이에는, 스크라이빙 휠(800)이 배치되는 배치 공간(310)이 형성된다. 배치면(630)은 배치 공간(310)을 규정한다. 배치면(630)은 제1 배치면(631) 및 제2 배치면(632)을 포함한다. 제1 배치면(631)은 제1 지지부(621)에 형성된다. 제1 배치면(631)은 배치 공간(310)의 제1 측부(311)에 위치한다. 제2 배치면(632)은 제2 지지부(622)에 형성된다. 제2 배치면(632)은 배치 공간(310)의 제2 측부(312)에 위치한다.The pin support 620 includes a first support 621 , a second support 622 , and a mounting surface 630 . An arrangement space 310 in which the scribing wheel 800 is disposed is formed between the first support part 621 and the second support part 622 . The placement surface 630 defines a placement space 310 . The placement surface 630 includes a first placement surface 631 and a second placement surface 632 . The first mounting surface 631 is formed on the first support 621 . The first placement surface 631 is located on the first side 311 of the placement space 310 . The second placement surface 632 is formed on the second support 622 . The second placement surface 632 is located on the second side 312 of the placement space 310 .

제1 지지부(621)에는, 핀(610)의 제1 단부(611)가 삽입되는 제1 핀 삽입 구멍(621A)이 형성된다. 제1 핀 삽입 구멍(621A)은 제1 지지부(621)를 관통한다. 제2 지지부(622)에는, 핀(610)의 제2 단부(612)가 삽입되는 제2 핀 삽입 구멍(622A)이 형성된다. 제2 핀 삽입 구멍(622A)은 제2 지지부(622)를 관통한다. 각 핀 삽입 구멍(621A, 622A)의 중심축은 동축이다.A first pin insertion hole 621A into which the first end 611 of the pin 610 is inserted is formed in the first support portion 621 . The first pin insertion hole 621A passes through the first support portion 621 . A second pin insertion hole 622A into which the second end 612 of the pin 610 is inserted is formed in the second support portion 622 . The second pin insertion hole 622A passes through the second support portion 622 . The central axis of each of the pin insertion holes 621A and 622A is coaxial.

스크라이빙 휠(800)은 배치 공간(310)에 배치된다. 핀(610)은 휠 구멍(812), 제1 핀 삽입 구멍(621A) 및, 제2 핀 삽입 구멍(622A)에 삽입되고, 각 지지부(621, 622)에 지지된다. 스크라이빙 휠(800)은 핀(610)의 중간부(613)에 지지된다. 핀(610)과 스크라이빙 휠(800)의 끼워맞춤은 극간끼움이다. 핀(610)의 각 단부(611, 612)와 각 핀 삽입 구멍(621A, 622A)의 끼워맞춤은 극간끼움, 중간끼움, 또는, 꽉끼움이다. 스크라이빙 휠(800)의 내주면(811)과 핀(610)의 중간부(613)의 외주면(614)의 사이에는, 클리어런스(602)가 형성된다.The scribing wheel 800 is disposed in the arrangement space 310 . The pin 610 is inserted into the wheel hole 812 , the first pin insertion hole 621A, and the second pin insertion hole 622A, and is supported by the respective support portions 621 and 622 . The scribing wheel 800 is supported on the middle portion 613 of the pin 610 . The fit between the pin 610 and the scribing wheel 800 is a gap fit. The fitting between the respective ends 611 and 612 of the pin 610 and the respective pin insertion holes 621A and 622A is a gap fitting, an intermediate fitting, or a tight fitting. A clearance 602 is formed between the inner circumferential surface 811 of the scribing wheel 800 and the outer circumferential surface 614 of the intermediate portion 613 of the pin 610 .

핀(610)이 원기둥인 경우, 홀더 유닛(200)의 평면에서 보면 휠 회전 중심축(601)과 홀더(300)의 폭방향의 관계는 주로 각 핀 삽입 구멍(621A, 622A)의 중심축과 홀더(300)의 폭방향의 관계에 따라서 설정된다. 제1예에서는, 각 핀 삽입 구멍(621A, 622A)의 중심축은 홀더(300)의 폭방향에 평행하다. 휠 회전 중심축(601)은 홀더(300)의 폭방향에 평행하다. 제2예에서는, 핀 삽입 구멍(621A, 622A)의 중심축은 홀더(300)의 폭방향에 교차한다. 휠 회전 중심축(601)은 홀더(300)의 폭방향에 교차한다.When the pin 610 is a cylinder, when viewed in a plan view of the holder unit 200, the relationship between the wheel rotation central axis 601 and the width direction of the holder 300 is mainly the central axis of each pin insertion hole 621A, 622A and It is set according to the relationship of the width direction of the holder 300. In the first example, the central axis of each of the pin insertion holes 621A and 622A is parallel to the width direction of the holder 300 . The wheel rotation center axis 601 is parallel to the width direction of the holder 300 . In the second example, the central axes of the pin insertion holes 621A and 622A intersect the width direction of the holder 300 . The wheel rotation center axis 601 intersects the width direction of the holder 300 .

각 핀 삽입 구멍(621A, 622A)의 외측의 개구에는, 핀(610)의 탈락을 방지하는 폐색부(640)가 형성된다. 폐색부(640)의 구성에 대해서 예시한다. 도 5에 나타나는 제1예에서는, 폐색부(640)는 핀 지지부(620)의 외부에 형성된다. 도 6에 나타나는 제2예에서는, 폐색부(640)는 각 핀 삽입 구멍(621A, 622A) 내에 형성된다. 폐색부(640)와 핀 지지부(620)의 관계에 대해서 예시한다. 제1예에서는, 폐색부(640)는 핀 지지부(620)에 탈착할 수 있도록 구성된다. 제2예에서는, 폐색부(640)는 고정 수단에 의해 핀 지지부(620)에 고정된다. 고정 수단은 예를 들면, 코킹, 접착 및, 용접의 적어도 1개를 포함한다.A closing portion 640 for preventing the pin 610 from falling off is formed in the opening on the outside of each of the pin insertion holes 621A and 622A. The configuration of the occlusion unit 640 will be exemplified. In the first example shown in FIG. 5 , the closure part 640 is formed outside the pin support part 620 . In the second example shown in Fig. 6, the blocking portion 640 is formed in each of the pin insertion holes 621A and 622A. The relationship between the closure part 640 and the pin support part 620 is exemplified. In the first example, the closure part 640 is configured to be detachable from the pin support part 620 . In the second example, the obturator 640 is fixed to the pin support 620 by a fixing means. The fixing means include, for example, at least one of caulking, gluing and welding.

중심 지지부(600)의 제2예에서는, 중심 지지부(600)는 지지축 및 축 지지부를 포함한다. 축 지지부는 홀더 본체(400)에 형성된다. 축 지지부는 제1 지지부(621) 및 제2 지지부(622)를 포함한다. 제1 지지부(621)와 제2 지지부(622)의 사이에는, 스크라이빙 휠(800)이 배치되는 배치 공간(310)이 형성된다. 지지축은 제1 지지부(621)에 형성되는 제1 지지축 및, 제2 지지부(622)에 형성되는 제2 지지축을 포함한다. 제1 지지축은 제1 지지부(621)와 일체적으로 구성된다. 제2 지지축은 제2 지지부(622)와 일체적으로 구성된다. 각 지지축은 스크라이빙 휠(800)의 휠 구멍(812)에 삽입된다. 각 지지축의 중심축은 휠 회전 중심축(601)을 규정한다.In the second example of the central support 600 , the central support 600 includes a support shaft and a shaft support. The shaft support is formed in the holder body 400 . The shaft support includes a first support 621 and a second support 622 . An arrangement space 310 in which the scribing wheel 800 is disposed is formed between the first support part 621 and the second support part 622 . The support shaft includes a first support shaft formed on the first support part 621 and a second support shaft formed on the second support part 622 . The first support shaft is integrally configured with the first support part 621 . The second support shaft is integrally configured with the second support portion 622 . Each support shaft is inserted into the wheel hole 812 of the scribing wheel 800 . The central axis of each support shaft defines a wheel rotation central axis 601 .

홀더 본체(400)와 핀 지지부(620) 또는 축 지지부의 관계에 대해서 예시한다. 제1예에서는, 홀더 본체(400)와 핀 지지부(620) 또는 축 지지부는 단일의 물체를 구성한다. 제2예에서는, 개별적으로 구성된 홀더 본체(400)와 핀 지지부(620) 또는 축 지지부가 결합된다. 홀더 본체(400)와 핀 지지부(620) 또는 축 지지부는 분리할 수 없는 형태, 또는, 분리할 수 있는 형태를 취할 수 있다.The relationship between the holder body 400 and the pin support 620 or the shaft support will be exemplified. In the first example, the holder body 400 and the pin support 620 or shaft support constitute a single object. In the second example, the individually configured holder body 400 and the pin support 620 or shaft support are combined. The holder body 400 and the pin support part 620 or the shaft support part may take a form that cannot be separated, or a form that can be separated.

홀더(300) 및 홀더 조인트(100)의 형태에 대해서 설명한다. 제1 형태에서는, 홀더(300)와 홀더 조인트(100)는 분리할 수 없도록 일체적으로 구성된다. 도 7은 제1 형태의 일 예를 나타낸다. 제2 형태에서는, 홀더(300)와 홀더 조인트(100)는 탈착할 수 있도록 개별적으로 구성된다. 도 8은 제2 형태의 제1예를 나타낸다. 도 9는 제2 형태의 제2예를 나타낸다.The shape of the holder 300 and the holder joint 100 will be described. In the first aspect, the holder 300 and the holder joint 100 are integrally configured so as not to be separated. 7 shows an example of the first form. In the second aspect, the holder 300 and the holder joint 100 are separately configured to be detachable. Fig. 8 shows a first example of the second aspect. Fig. 9 shows a second example of the second aspect.

도 7에 나타나는 제1 형태에서는, 홀더 조인트(100)는 기부(基部)(110)를 포함한다. 기부(110)는 홀더 조인트 유지구(40)에 부착된다. 기부(110)는 베어링부(120) 및 축(130)을 포함한다. 베어링부(120)는 축(130)을 지지한다. 축(130)은 홀더 본체(400)에 형성된다. 축(130)과 홀더 본체(400)의 관계에 대해서 예시한다. 제1예에서는, 축(130)과 홀더 본체(400)는 단일의 물체를 구성한다. 제2예에서는, 개별적으로 구성된 축(130)과 홀더 본체(400)가 결합된다.In the first aspect shown in FIG. 7 , the holder joint 100 includes a base 110 . The base 110 is attached to the holder joint holder 40 . The base 110 includes a bearing portion 120 and a shaft 130 . The bearing part 120 supports the shaft 130 . The shaft 130 is formed in the holder body 400 . The relationship between the shaft 130 and the holder body 400 is exemplified. In the first example, the shaft 130 and the holder body 400 constitute a single object. In the second example, the individually configured shaft 130 and the holder body 400 are coupled.

베어링부(120)의 구성에 대해서 예시한다. 제1예에서는, 베어링부(120)는 1 또는 복수의 래디얼 베어링(121)을 포함한다. 제2예에서는, 베어링부(120)는 제1예의 구성에 더하여, 케이스(122), 스토퍼(140) 및, 스페이서의 적어도 1개를 추가로 포함한다. 도 7은 2개의 래디얼 베어링(121), 케이스(122) 및, 스토퍼(140)를 포함하는 제2예의 베어링부(120)를 나타낸다. 래디얼 베어링(121)의 내륜(121A)은 축(130)에 고정된다. 케이스(122)는 래디얼 베어링(121)을 수용한다. 래디얼 베어링(121)의 외륜(121B)은 케이스(122)에 고정된다. 축(130), 내륜(121A) 및, 홀더(300)는 외륜(121B) 및 케이스(122)에 대하여 축(130)의 중심축(LA) 둘레로 회전한다. 베어링부(120)에 스페이서가 포함되는 예에서는, 한쪽의 래디얼 베어링(121)과 다른 한쪽의 래디얼 베어링(121)의 사이에 스페이서가 형성된다. 스페이서는 축(130)에 고정된다.The configuration of the bearing part 120 will be exemplified. In the first example, the bearing portion 120 includes one or a plurality of radial bearings 121 . In the second example, in addition to the configuration of the first example, the bearing part 120 further includes at least one of a case 122 , a stopper 140 , and a spacer. 7 shows the bearing part 120 of the second example including two radial bearings 121 , a case 122 , and a stopper 140 . The inner ring 121A of the radial bearing 121 is fixed to the shaft 130 . The case 122 accommodates the radial bearing 121 . The outer ring 121B of the radial bearing 121 is fixed to the case 122 . The shaft 130 , the inner ring 121A, and the holder 300 rotate about the central axis LA of the shaft 130 with respect to the outer ring 121B and the case 122 . In the example in which the spacer is included in the bearing part 120, a spacer is formed between the one radial bearing 121 and the other radial bearing 121. As shown in FIG. The spacer is fixed to the shaft 130 .

스토퍼(140)는 예를 들면 제1 스토퍼(141) 및 제2 스토퍼(142)를 포함한다. 제1 스토퍼(141)는 축(130)의 선단에 형성된다. 제1 스토퍼(141)는 래디얼 베어링(121)의 이동을 규제하는 제1 규제면(141A)을 포함한다. 제2 스토퍼(142)는 축(130)의 근원에 형성된다. 제2 스토퍼(142)는 래디얼 베어링(121)의 이동을 규제하는 제2 규제면(142A)을 포함한다.The stopper 140 includes, for example, a first stopper 141 and a second stopper 142 . The first stopper 141 is formed at the tip of the shaft 130 . The first stopper 141 includes a first regulating surface 141A for regulating the movement of the radial bearing 121 . The second stopper 142 is formed at the base of the shaft 130 . The second stopper 142 includes a second regulating surface 142A for regulating the movement of the radial bearing 121 .

제1 스토퍼(141)의 구성에 대해서 예시한다. 제1 스토퍼(141)는 축(130)의 암 나사부에 맞물리는 나사 부착 패스너를 포함한다. 나사 부착 패스너는 예를 들면 나사 또는 볼트를 포함한다. 나사 부착 패스너의 헤드는 제1 규제면(141A)을 구성한다. 한쪽의 래디얼 베어링(121)의 내륜(121A)의 단면은 제1 규제면(141A)에 접촉한다. 제2 스토퍼(142)의 구성에 대해서 예시한다. 제2 스토퍼(142)는 축(130)의 둘레에 형성되는 플랜지를 포함한다. 플랜지의 단면은 제2 규제면(142A)을 구성한다. 다른 한쪽의 래디얼 베어링(121)의 내륜(121A)의 단면은 제2 규제면(142A)에 접촉한다.The configuration of the first stopper 141 will be exemplified. The first stopper 141 includes a threaded attachment fastener that engages a female threaded portion of the shaft 130 . Threaded fasteners include, for example, screws or bolts. The head of the screwed fastener constitutes the first regulating surface 141A. The end face of the inner ring 121A of one radial bearing 121 is in contact with the first regulating surface 141A. The configuration of the second stopper 142 will be exemplified. The second stopper 142 includes a flange formed around the shaft 130 . The cross section of the flange constitutes the second regulating surface 142A. The end face of the inner ring 121A of the other radial bearing 121 is in contact with the second regulating surface 142A.

도 8에 나타나는 제2 형태의 제1예에서는, 홀더 조인트(100)는 기부(110) 및 홀더 부착부(150)를 포함한다. 홀더 부착부(150)는 베이스(160)를 포함한다. 베이스(160)는 예를 들면 제1 플레이트(161) 및 제2 플레이트(162)를 포함한다. 제1 플레이트(161)는 축(130)의 중심축(LA)을 따르는 방향에 관한 홀더(300)의 위치를 결정한다. 제2 플레이트(162)는 축(130)의 중심축(LA)에 직교하는 방향에 관한 홀더(300)의 위치를 결정한다. 축(130)은 베이스(160)에 형성된다. 축(130)과 베이스(160)의 관계에 대해서 예시한다. 제1예에서는, 축(130)과 베이스(160)는 단일의 물체를 구성한다. 제2예에서는, 개별적으로 구성된 축(130)과 베이스(160)가 결합된다. 축(130) 및 베이스(160)는 분리할 수 없는 형태, 또는, 분리할 수 있는 형태를 취할 수 있다. 축(130)은 예를 들면 제1 플레이트(161)에 형성된다.In the first example of the second configuration shown in FIG. 8 , the holder joint 100 includes a base 110 and a holder attachment portion 150 . The holder attachment part 150 includes a base 160 . The base 160 includes, for example, a first plate 161 and a second plate 162 . The first plate 161 determines the position of the holder 300 with respect to the direction along the central axis LA of the axis 130 . The second plate 162 determines the position of the holder 300 in a direction orthogonal to the central axis LA of the axis 130 . The shaft 130 is formed on the base 160 . The relationship between the shaft 130 and the base 160 is exemplified. In the first example, the shaft 130 and the base 160 constitute a single object. In the second example, the individually configured shaft 130 and the base 160 are coupled. The shaft 130 and the base 160 may take a non-separable form or a separable form. The shaft 130 is formed, for example, on the first plate 161 .

도 9에 나타나는 제2 형태의 제2예에서는, 홀더 조인트(100)는 기부(110) 및 홀더 부착부(150)를 포함한다. 홀더 부착부(150)는 소켓(170)을 포함한다. 소켓(170)은 예를 들면 배치 공간(170A)을 포함한다. 배치 공간(170A)은 홀더 본체(400)를 배치할 수 있도록 형성된다. 축(130)은 소켓(170)에 형성된다. 축(130)과 소켓(170)의 관계에 대해서 예시한다. 제1예에서는, 축(130)과 소켓(170)은 단일의 물체를 구성한다. 제2예에서는, 개별적으로 구성된 축(130)과 소켓(170)이 결합된다. 축(130) 및 소켓(170)은 분리할 수 없는 형태, 또는, 분리할 수 있는 형태를 취할 수 있다.In the second example of the second aspect shown in FIG. 9 , the holder joint 100 includes a base 110 and a holder attachment portion 150 . The holder attachment part 150 includes a socket 170 . Socket 170 includes, for example, placement space 170A. The arrangement space 170A is formed so as to arrange the holder body 400 . Shaft 130 is formed in socket 170 . The relationship between the shaft 130 and the socket 170 is exemplified. In the first example, shaft 130 and socket 170 constitute a single object. In the second example, the individually configured shaft 130 and socket 170 are coupled. The shaft 130 and the socket 170 may take a non-separable form, or a separable form.

도 8, 도 9의 제2 형태의 홀더(300) 및 홀더 조인트(100)에 포함되는 베어링부(120)는 예를 들면 제1 형태의 홀더(300) 및 홀더 조인트(100)에 포함되는 베어링부(120)와 마찬가지로 구성된다. 축(130), 내륜(121A), 홀더 부착부(150) 및, 홀더(300)는 외륜(121B) 및 케이스(122)에 대하여 축(130)의 중심축(LA) 둘레로 회전한다.The bearing part 120 included in the holder 300 and the holder joint 100 of the second type of FIGS. 8 and 9 is, for example, a bearing included in the holder 300 and the holder joint 100 of the first type. It is configured similarly to the unit 120 . The shaft 130 , the inner ring 121A, the holder attachment portion 150 , and the holder 300 rotate about the central axis LA of the shaft 130 with respect to the outer ring 121B and the case 122 .

일 예에서는, 홀더 어셈블리(50)의 측면에서 보면, 휠 중심축(801) 및, 스크라이빙 휠(800)과 피가공면의 접촉점은 홀더(300)의 중심축(LB) 상에 위치한다. 축(130)의 중심축(LA)과 휠 중심축(801)의 관계에 대해서 예시한다. 제1예에서는, 축(130)의 중심축(LA)과 휠 중심축(801)의 사이에 트레일(trail)이 설정된다. 제2예에서는, 축(130)의 중심축(LA)과 휠 중심축(801)의 사이에 트레일이 설정되지 않는다.In one example, when viewed from the side of the holder assembly 50 , the wheel central axis 801 and the contact point between the scribing wheel 800 and the processing surface are located on the central axis LB of the holder 300 . . The relationship between the central axis LA of the shaft 130 and the wheel central axis 801 will be exemplified. In the first example, a trail is set between the central axis LA of the shaft 130 and the wheel central axis 801 . In the second example, no trail is set between the central axis LA of the shaft 130 and the wheel central axis 801 .

트레일은 축(130)의 중심축(LA)과 피가공면의 교점과, 스크라이빙 휠(800)과 피가공물의 접촉점의 거리이다. 도 7∼도 9에 나타나는 홀더 어셈블리(50)의 측면에서 보면, 축(130)의 중심축(LA)과 홀더(300)의 중심축(LB)은 평행하다. 축(130)의 중심축(LA)과 홀더(300)의 중심축(LB)의 거리가 트레일에 상당한다. 트레일이 설정되는 형태에서는, 스크라이빙 휠(800)의 주사 방향(DS)에 있어서 휠 중심축(801)이 축(130)의 중심축(LA)보다도 후방에 위치하는 경우, 스크라이빙 휠(800)의 직진성이 높아진다.The trail is the distance between the intersection of the central axis LA of the shaft 130 and the surface to be processed, and the contact point between the scribing wheel 800 and the workpiece. When viewed from the side of the holder assembly 50 shown in FIGS. 7 to 9 , the central axis LA of the shaft 130 and the central axis LB of the holder 300 are parallel. The distance between the central axis LA of the shaft 130 and the central axis LB of the holder 300 corresponds to the trail. In the form in which the trail is set, when the wheel central axis 801 is located rearward than the central axis LA of the shaft 130 in the scanning direction DS of the scribing wheel 800, the scribing wheel (800) increases the straightness.

홀더 어셈블리(50)에 제2 형태의 홀더(300) 및 홀더 조인트(100)가 포함되는 경우, 홀더 어셈블리(50)는 연결 구조(210)를 추가로 구비한다. 연결 구조(210)는 홀더 조인트(100)와 홀더(300)를 연결한다. 연결 구조(210)는 예를 들면 기계적인 결합 방법에 의해 홀더 조인트(100)와 홀더(300)를 연결하는 기계 결합부(211) 및, 자기적인 결합 방법에 의해 홀더 조인트(100)와 홀더(300)를 연결하는 자기 결합부(212)의 적어도 1개를 포함한다.When the holder assembly 50 includes the holder 300 and the holder joint 100 of the second type, the holder assembly 50 further includes a connection structure 210 . The connection structure 210 connects the holder joint 100 and the holder 300 . The connection structure 210 includes, for example, a mechanical coupling part 211 for connecting the holder joint 100 and the holder 300 by a mechanical coupling method, and the holder joint 100 and the holder ( ) by a magnetic coupling method. and at least one of the magnetic coupling units 212 connecting the 300 .

도 8에 나타나는 예에서는, 연결 구조(210)는 기계 결합부(211)를 포함한다. 기계 결합부(211)의 구성에 대해서 예시한다. 제1예에서는, 기계 결합부(211)는 나사 부착 패스너에 의해 홀더 부착부(150)와 홀더 본체(400)를 연결한다. 나사 부착 패스너는 나사 또는 볼트를 포함한다. 제2예에서는, 기계 결합부(211)는 감합부(嵌合部)에 의해 홀더 부착부(150)와 홀더 본체(400)를 연결한다. 감합부는 홀더 부착부(150) 및 홀더 본체(400)의 한쪽에 형성되는 제1 감합부와, 홀더 부착부(150) 및 홀더 본체(400)의 다른 한쪽에 형성되는 제2 감합부를 포함한다. 도 7은 제1예의 기계 결합부(211)를 나타낸다. 기계 결합부(211)는 홀더 부착부(150)에 형성되는 암 나사부, 홀더 본체(400)에 형성되는 관통 구멍 및, 나사 부착 패스너를 포함한다. 나사 부착 패스너는 홀더 본체(400)의 관통 구멍에 삽입되어, 홀더 부착부(150)의 암 나사부에 맞물린다. 나사 부착 패스너에 의해 홀더 본체(400)가 홀더 부착부(150)에 고정된다.In the example shown in FIG. 8 , the connection structure 210 includes a mechanical coupling portion 211 . The structure of the mechanical coupling part 211 is illustrated. In the first example, the mechanical coupling portion 211 connects the holder attachment portion 150 and the holder body 400 by means of a screw attachment fastener. Screw attachment fasteners include screws or bolts. In the second example, the mechanical coupling portion 211 connects the holder attaching portion 150 and the holder main body 400 by a fitting portion. The fitting portion includes a first fitting portion formed on one side of the holder attachment portion 150 and the holder body 400 , and a second fitting portion formed on the other side of the holder attachment portion 150 and the holder body 400 . 7 shows the mechanical coupling portion 211 of the first example. The mechanical coupling portion 211 includes a female screw portion formed in the holder attachment portion 150 , a through hole formed in the holder body 400 , and a screw attachment fastener. The screw attachment fastener is inserted into the through hole of the holder body 400 and engages with the female thread portion of the holder attachment portion 150 . The holder body 400 is fixed to the holder attachment portion 150 by means of a screw attachment fastener.

도 9에 나타나는 예에서는, 연결 구조(210)는 자기 결합부(212)를 포함한다. 자기 결합부(212)의 구성에 대해서 예시한다. 제1예에서는, 자기 결합부(212)는 소켓(170)에 형성되는 영구 자석 및, 홀더 본체(400)에 형성되는 자성체를 포함한다. 제2예에서는, 자기 결합부(212)는 소켓(170)에 형성되는 자성체 및, 홀더 본체(400)에 형성되는 영구 자석을 포함한다. 제3예에서는, 자기 결합부(212)는 소켓(170)에 형성되는 영구 자석 및, 홀더 본체(400)에 형성되는 영구 자석을 포함한다. 영구 자석과 자성체의 사이에 작용하는 자력, 또는, 영구 자석과 영구 자석의 사이에 작용하는 자력에 의해 홀더(300)가 소켓(170)에 유지된다.In the example shown in FIG. 9 , the connection structure 210 includes a magnetic coupling portion 212 . The configuration of the magnetic coupling unit 212 will be exemplified. In the first example, the magnetic coupling portion 212 includes a permanent magnet formed in the socket 170 and a magnetic body formed in the holder body 400 . In the second example, the magnetic coupling portion 212 includes a magnetic material formed in the socket 170 and a permanent magnet formed in the holder body 400 . In the third example, the magnetic coupling portion 212 includes a permanent magnet formed in the socket 170 and a permanent magnet formed in the holder body 400 . The holder 300 is held in the socket 170 by the magnetic force acting between the permanent magnet and the magnetic body, or the magnetic force acting between the permanent magnet and the permanent magnet.

연결 구조(210)에 자기 결합부(212)가 포함되는 경우, 일 예에서는, 홀더 부착부(150)는 홀더 규제부(180)를 추가로 구비한다. 홀더 규제부(180)는 소켓(170)에 대한 홀더(300)의 위치가 안정되도록 홀더(300)에 접촉한다. 홀더 규제부(180)는 예를 들면 핀(181)을 포함한다. 핀(181)은 배치 공간(170A)에 형성된다. 핀(181)은 소켓(170)에 지지된다. 홀더(300)는 경사면(330)을 추가로 포함한다. 경사면(330)은 홀더(300)의 측면에서 보면 홀더(300)의 중심축(LB)에 대하여 경사진다. 경사면(330)은 홀더(300)의 중심축(LB)을 따르는 방향에 관한 제1 단부(331) 및 제2 단부(332)를 포함한다. 제1 단부(331)는 제2 단부(332)보다도 스크라이빙 휠(800)로부터 멀다. 경사면(330)은 제1 단부(331)가 제2 단부(332)보다도 홀더(300)의 중심축(LB)에 가까워지도록 경사진다.When the magnetic coupling part 212 is included in the connection structure 210 , in one example, the holder attachment part 150 further includes a holder regulating part 180 . The holder regulating part 180 contacts the holder 300 so that the position of the holder 300 with respect to the socket 170 is stabilized. The holder regulating part 180 includes, for example, a pin 181 . The fins 181 are formed in the arrangement space 170A. Pin 181 is supported on socket 170 . The holder 300 further includes an inclined surface 330 . The inclined surface 330 is inclined with respect to the central axis LB of the holder 300 when viewed from the side of the holder 300 . The inclined surface 330 includes a first end 331 and a second end 332 in a direction along the central axis LB of the holder 300 . The first end 331 is further from the scribing wheel 800 than the second end 332 . The inclined surface 330 is inclined so that the first end 331 is closer to the central axis LB of the holder 300 than the second end 332 .

자기 결합부(212)에 의해 홀더(300)가 소켓(170)에 유지된 상태에서는, 경사면(330)은 핀(181)에 접촉한다. 경사면(330)과 핀(181)의 접촉에 의해, 홀더(300)의 중심축(LB)을 따르는 방향에 관한 소켓(170)에 대한 홀더(300)의 위치가 결정된다. 홀더 어셈블리(50)의 측면에서 보면, 축(130)의 중심축(LA)과 직교하는 방향의 힘이 홀더(300)에 작용한다. 이 힘에 의해 홀더 본체(400)의 외주면의 일부가 소켓(170)의 내주면에 밀어붙여진다.In a state in which the holder 300 is held in the socket 170 by the magnetic coupling portion 212 , the inclined surface 330 is in contact with the pin 181 . The contact of the inclined surface 330 with the pin 181 determines the position of the holder 300 with respect to the socket 170 in a direction along the central axis LB of the holder 300 . When viewed from the side of the holder assembly 50 , a force in a direction perpendicular to the central axis LA of the shaft 130 acts on the holder 300 . A part of the outer circumferential surface of the holder body 400 is pressed against the inner circumferential surface of the socket 170 by this force.

도 10∼도 20은 홀더 유닛(200)의 평면에서 보면 홀더 유닛(200)의 모델을 나타낸다. 홀더(300)에 대해서는 예를 들면 제1 기준면(301) 및 제2 기준면(302)이 규정된다. 제1 기준면(301)은 홀더(300)의 높이 방향을 규정하는 제1축 및, 홀더(300)의 전후 방향을 규정하는 제2축에 평행하다. 제2 기준면(302)은 홀더(300)의 높이 방향을 규정하는 제1축 및, 홀더(300)의 폭방향을 규정하는 제3축에 평행하다. 홀더(300)의 측면에서 보면 홀더(300)의 전후 방향은 홀더(300)의 높이 방향에 직교한다. 홀더(300)의 정면에서 보면 홀더(300)의 폭방향은 홀더(300)의 높이 방향에 직교한다. 제1축과 제2축은 직교한다. 제1축과 제3축은 직교한다. 제2축과 제3축은 직교한다. 도시되는 예에서는, 제1 기준면(301)은 홀더(300)의 폭방향의 중심으로 규정된다. 제2 기준면(302)은 홀더(300)의 전후 방향의 중심으로 규정된다. 홀더(300)의 중심축(LB)은 제1축에 평행하다. 제1 기준면(301)과 제2 기준면(302)은 직교한다.10 to 20 show a model of the holder unit 200 when viewed in a plan view of the holder unit 200 . For the holder 300 , for example, a first reference plane 301 and a second reference plane 302 are defined. The first reference plane 301 is parallel to a first axis defining a height direction of the holder 300 and a second axis defining a front-rear direction of the holder 300 . The second reference plane 302 is parallel to a first axis defining a height direction of the holder 300 and a third axis defining a width direction of the holder 300 . When viewed from the side of the holder 300 , the front and rear directions of the holder 300 are orthogonal to the height direction of the holder 300 . When viewed from the front of the holder 300 , the width direction of the holder 300 is orthogonal to the height direction of the holder 300 . The first axis and the second axis are orthogonal to each other. The first axis and the third axis are orthogonal. The second axis and the third axis are orthogonal. In the illustrated example, the first reference plane 301 is defined as the center of the holder 300 in the width direction. The second reference plane 302 is defined as the center of the holder 300 in the front-rear direction. The central axis LB of the holder 300 is parallel to the first axis. The first reference plane 301 and the second reference plane 302 are orthogonal to each other.

이하에서는, 제1 기준면(301) 및 제2 기준면(302)에 의해 규정되는 영역을 각각 다음과 같이 칭한다. 홀더(300)의 전후 방향에 있어서 제2 기준면(302)에 대한 전방의 영역을 「전방 영역(RA)」이라고 칭한다. 홀더(300)의 전후 방향에 있어서 제2 기준면(302)에 대한 후방의 영역을 「후방 영역(RB)」이라고 칭한다. 홀더(300)의 폭방향에 있어서 제1 기준면(301)에 대한 한쪽의 영역을 「제1 측방 영역(RC)」이라고 칭한다. 홀더(300)의 폭방향에 있어서 제1 기준면(301)에 대한 다른 한쪽의 영역을 「제2 측방 영역(RD)」이라고 칭한다. 도시되는 예에서는, 제1 측방 영역(RC)은 제1 기준면(301)에 대하여 배치 공간(310)의 제1 측부(311)가 위치하는 영역이다. 제2 측방 영역(RD)은 제1 기준면(301)에 대하여 배치 공간(310)의 제2 측부(312)가 위치하는 영역이다.Hereinafter, the regions defined by the first reference plane 301 and the second reference plane 302 are respectively referred to as follows. In the front-back direction of the holder 300, the area|region in front with respect to the 2nd reference plane 302 is called "front area|region RA." In the front-back direction of the holder 300, the area|region behind with respect to the 2nd reference plane 302 is called "rear area|region RB". In the width direction of the holder 300, one area|region with respect to the 1st reference plane 301 is called "1st lateral area|region RC". The other area|region with respect to the 1st reference plane 301 in the width direction of the holder 300 is called "second lateral area|region RD". In the illustrated example, the first lateral region RC is a region in which the first side portion 311 of the arrangement space 310 is located with respect to the first reference plane 301 . The second lateral region RD is a region in which the second side portion 312 of the arrangement space 310 is positioned with respect to the first reference plane 301 .

휠 지지 구조(500)는 측면 지지부(700)를 추가로 구비한다. 측면 지지부(700)는 경사 상태의 스크라이빙 휠(800)의 휠 측면(830)을 지지한다. 스크라이빙 휠(800)의 경사 상태는 홀더 유닛(200)의 평면에서 보면 휠 중심면(802)이 휠 회전 중심축(601)에 대하여 경사진 상태이다.The wheel support structure 500 further includes side supports 700 . The side support 700 supports the wheel side 830 of the scribing wheel 800 in an inclined state. The inclination state of the scribing wheel 800 is a state in which the wheel center plane 802 is inclined with respect to the wheel rotation center axis 601 in a plan view of the holder unit 200 .

도 3에 나타나는 바와 같이, 휠 측면(830)은 접촉부(830A) 및 비접촉부(830B)를 포함한다. 접촉부(830A)는 스크라이빙 휠(800)이 정지한 상태, 또는, 스크라이빙 휠(800)이 회전한 상태에 있어서 측면 지지부(700)에 접촉하는 부분이다. 일 예에서는, 접촉부(830A)는 휠 측면(830)에 있어서의 지름 방향의 외방의 부분을 포함한다. 지름 방향의 외방의 부분은 경계부(840)에 인접하는 부분을 포함한다. 비접촉부(830B)는 스크라이빙 휠(800)이 정지한 상태 및, 스크라이빙 휠(800)이 회전한 상태의 어느 것에 있어서도 측면 지지부(700)에 접촉하지 않는 부분이다. 일 예에서는, 비접촉부(830B)는 휠 측면(830)에 있어서의 지름 방향의 내방의 부분을 포함한다. 지름 방향의 내방의 부분은 모따기(813)에 인접하는 부분을 적어도 포함한다.As shown in FIG. 3 , the wheel side 830 includes a contact portion 830A and a non-contact portion 830B. The contact portion 830A is a portion in contact with the side support portion 700 in a state in which the scribing wheel 800 is stationary or in a state in which the scribing wheel 800 is rotated. In one example, the contact portion 830A includes a radially outward portion of the wheel side surface 830 . The radially outward portion includes a portion adjacent to the boundary portion 840 . The non-contact portion 830B is a portion that does not contact the side support portion 700 in either a state in which the scribing wheel 800 is stopped or a state in which the scribing wheel 800 is rotated. In one example, the non-contact portion 830B includes a radially inward portion of the wheel side surface 830 . The radially inward portion includes at least a portion adjacent to the chamfer 813 .

도 10∼도 20을 참조하여, 휠 지지 구조(500)에 관한 몇개의 형태에 대해서 설명한다. 이하에서는, 스크라이빙 휠(800)이 피가공물에 접촉하고 있지 않은 상태를 「기준 상태」라고 칭한다. 스크라이빙 휠(800)이 피가공물에 밀어붙여지고, 주사가 개시되기 전의 상태를 「초기 접촉 상태」라고 칭한다.With reference to FIGS. 10-20, some forms regarding the wheel support structure 500 are demonstrated. Hereinafter, a state in which the scribing wheel 800 is not in contact with the workpiece is referred to as a “reference state”. The state before the scribing wheel 800 is pressed against the workpiece and scanning is started is called an "initial contact state".

도 10∼도 12에 나타나는 휠 지지 구조(500)의 제1 형태에서는, 측면 지지부(700)는 지지면(710)을 포함한다. 지지면(710)은 경사 상태의 스크라이빙 휠(800)의 휠 측면(830)을 지지한다. 일 예에서는, 지지면(710)은 배치 공간(310)을 규정한다. 핀 지지부(620)의 배치면(630)은 지지면(710)을 포함한다. 지지면(710)은 배치 공간(310)의 제1 측부(311)에 위치하는 제1 지지면(711) 및, 배치 공간(310)의 제2 측부(312)에 위치하는 제2 지지면(712)을 포함한다. 제1 지지면(711)은 제1 배치면(631)에 포함된다. 제2 지지면(712)은 제2 배치면(632)에 포함된다.In a first version of the wheel support structure 500 shown in FIGS. 10-12 , the side support 700 includes a support surface 710 . The support surface 710 supports the wheel side 830 of the scribing wheel 800 in an inclined state. In one example, the support surface 710 defines a deployment space 310 . The placement surface 630 of the pin support 620 includes a support surface 710 . The support surface 710 includes a first support surface 711 located on the first side 311 of the placement space 310 and a second support surface 711 located on the second side 312 of the placement space 310 ( 712). The first support surface 711 is included in the first arrangement surface 631 . The second support surface 712 is included in the second placement surface 632 .

휠 회전 중심축(601)은 홀더(300)의 폭방향에 평행하다. 지지면(710)은 홀더 유닛(200)의 평면에서 보면 홀더(300)의 전후 방향에 대하여 경사진다. 지지면(710)이 홀더(300)의 전후 방향에 대하여 경사지는 상태란, 각 지지면(711, 712)의 적어도 1개가 홀더(300)의 전후 방향에 대하여 경사지는 상태를 말한다. 도시되는 예에서는, 각 지지면(711, 712)의 양쪽이 홀더(300)의 전후 방향에 대하여 경사진다. 제1 지지면(711)은 전방 영역(RA)에 있어서 제1 기준면(301)에 접근하도록 경사진다. 제2 지지면(712)은 전방 영역(RA)에 있어서 제1 기준면(301)으로부터 떨어지도록 경사진다. 제1 지지면(711)과 제2 지지면(712)은 평행하다. 제1 지지면(711)과 제2 지지면(712)의 거리는 스크라이빙 휠(800)의 본체(810)의 두께보다도 크다.The wheel rotation center axis 601 is parallel to the width direction of the holder 300 . The support surface 710 is inclined with respect to the front-rear direction of the holder 300 in a plan view of the holder unit 200 . The state in which the support surface 710 is inclined with respect to the front-rear direction of the holder 300 refers to a state in which at least one of the respective support surfaces 711 and 712 is inclined with respect to the front-rear direction of the holder 300 . In the illustrated example, both of the respective support surfaces 711 and 712 are inclined with respect to the front-rear direction of the holder 300 . The first support surface 711 is inclined to approach the first reference surface 301 in the front area RA. The second support surface 712 is inclined so as to be separated from the first reference surface 301 in the front area RA. The first support surface 711 and the second support surface 712 are parallel. The distance between the first support surface 711 and the second support surface 712 is greater than the thickness of the body 810 of the scribing wheel 800 .

제1 형태의 휠 지지 구조(500)의 기준 상태는 예를 들면 제1∼제6 기준 상태를 포함한다.The reference state of the wheel support structure 500 of the first type includes, for example, first to sixth reference states.

도 10에 나타나는 제1 기준 상태에서는, 휠 중심면(802)은 휠 회전 중심축(601)에 대하여 경사진다. 스크라이빙 휠(800)은 경사 상태이다. 홀더(300)의 폭방향에 있어서 제1 지지면(711)과 제1 휠 측면(831)이 대향한다. 홀더(300)의 폭방향에 있어서 제2 지지면(712)과 제2 휠 측면(832)이 대향한다. 휠 중심면(802)은 홀더(300)의 전후 방향에 대하여 경사지고, 지지면(710)에 평행하다.In the first reference state shown in FIG. 10 , the wheel center plane 802 is inclined with respect to the wheel rotation center axis 601 . The scribing wheel 800 is in an inclined state. The first support surface 711 and the first wheel side surface 831 face each other in the width direction of the holder 300 . The second support surface 712 and the second wheel side surface 832 face each other in the width direction of the holder 300 . The wheel center plane 802 is inclined with respect to the front-rear direction of the holder 300 and is parallel to the support surface 710 .

제1 지지면(711)과 제1 휠 측면(831)은 평행하다. 제1 휠 측면(831)의 접촉부(830A) 및 비접촉부(830B)는 제1 지지면(711)에 접촉하지 않는다. 제1 지지면(711)과 제1 휠 측면(831)의 사이에는 공간이 형성된다. 제2 지지면(712)과 제2 휠 측면(832)은 평행하다. 제2 휠 측면(832)의 접촉부(830A) 및 비접촉부(830B)는 제2 지지면(712)에 접촉하지 않는다. 제2 지지면(712)과 제2 휠 측면(832)의 사이에는 공간이 형성된다.The first support surface 711 and the first wheel side surface 831 are parallel. The contact portion 830A and the non-contact portion 830B of the first wheel side surface 831 do not contact the first support surface 711 . A space is formed between the first support surface 711 and the first wheel side surface 831 . The second support surface 712 and the second wheel side 832 are parallel. The contact portion 830A and the non-contact portion 830B of the second wheel side surface 832 do not contact the second support surface 712 . A space is formed between the second support surface 712 and the second wheel side surface 832 .

제2 기준 상태에서는, 제1 휠 측면(831)이 제1 지지면(711)에 접촉하고, 제2 휠 측면(832)은 제2 지지면(712)에 접촉하지 않는다. 그 외의 점은 제1 기준 상태와 마찬가지이다. 제3 기준 상태에서는, 제2 휠 측면(832)은 제2 지지면(712)에 접촉하고, 제1 휠 측면(831)은 제1 지지면(711)에 접촉하지 않는다. 그 외의 점은 제1 기준 상태와 마찬가지이다. 제4 기준 상태에서는, 지지면(710)과 휠 측면(830)이 비평행하여, 휠 측면(830)이 지지면(710)에 접촉하지 않는다. 그 외의 점은 제1 기준 상태와 마찬가지이다. 제5 기준 상태에서는, 휠 측면(830)과 지지면(710)의 관계가 제1∼제4 기준 상태와는 상이하고, 추가로 이하의 제6 기준 상태와 같이 각 측면(831, 832)이 각 지지면(711, 712)에 접촉한 상태와도 상이하다.In the second reference state, the first wheel side surface 831 contacts the first support surface 711 , and the second wheel side surface 832 does not contact the second support surface 712 . Other points are the same as in the first reference state. In the third reference state, the second wheel side surface 832 contacts the second support surface 712 , and the first wheel side surface 831 does not contact the first support surface 711 . Other points are the same as in the first reference state. In the fourth reference state, the support surface 710 and the wheel side surface 830 are non-parallel, so that the wheel side surface 830 does not contact the support surface 710 . Other points are the same as in the first reference state. In the fifth reference state, the relationship between the wheel side surface 830 and the support surface 710 is different from the first to fourth reference states, and in addition, as in the following sixth reference state, the respective side surfaces 831 and 832 are It is also different from the state in contact with each of the support surfaces 711 and 712 .

도 11에 나타나는 제6 기준 상태에서는, 휠 중심면(802)은 휠 회전 중심축(601)에 대하여 경사진다. 스크라이빙 휠(800)은 경사 상태이다. 홀더(300)의 폭방향에 있어서 제1 지지면(711)과 제1 휠 측면(831)이 대향한다. 홀더(300)의 폭방향에 있어서 제2 지지면(712)과 제2 휠 측면(832)이 대향한다. 휠 중심면(802)은 홀더(300)의 전후 방향 및 지지면(710)에 대하여 경사진다.In the sixth reference state shown in FIG. 11 , the wheel center plane 802 is inclined with respect to the wheel rotation center axis 601 . The scribing wheel 800 is in an inclined state. The first support surface 711 and the first wheel side surface 831 face each other in the width direction of the holder 300 . The second support surface 712 and the second wheel side surface 832 face each other in the width direction of the holder 300 . The wheel center surface 802 is inclined with respect to the front-rear direction and the support surface 710 of the holder 300 .

제1 지지면(711)과 제1 휠 측면(831)은 비평행하다. 제1 휠 측면(831)의 접촉부(830A)의 일부는 전방 영역(RA)에 있어서 제1 지지면(711)에 접촉한다. 제1 휠 측면(831)의 접촉부(830A)의 다른 부분 및, 비접촉부(830B)는 제1 지지면(711)에 접촉하지 않는다. 제1 휠 측면(831)의 접촉부(830A)의 다른 부분 및, 비접촉부(830B)와 제1 지지면(711)의 사이에는 공간이 형성된다.The first support surface 711 and the first wheel side surface 831 are non-parallel. A portion of the contact portion 830A of the first wheel side surface 831 contacts the first support surface 711 in the front area RA. The other portion of the contact portion 830A of the first wheel side surface 831 and the non-contact portion 830B do not contact the first support surface 711 . A space is formed between the other portion of the contact portion 830A of the first wheel side surface 831 and the non-contact portion 830B and the first support surface 711 .

제2 지지면(712)과 제2 휠 측면(832)은 비평행하다. 제2 휠 측면(832)의 접촉부(830A)의 일부는 후방 영역(RB)에 있어서 제2 지지면(712)에 접촉한다. 제2 휠 측면(832)의 접촉부(830A)의 다른 부분 및, 비접촉부(830B)는 제2 지지면(712)에 접촉하지 않는다. 제2 휠 측면(832)의 접촉부(830A)의 다른 부분 및, 비접촉부(830B)와 제2 지지면(712)의 사이에는 공간이 형성된다.The second support surface 712 and the second wheel side 832 are non-parallel. A portion of the contact portion 830A of the second wheel side surface 832 contacts the second support surface 712 in the rear region RB. The other portion of the contact portion 830A of the second wheel side surface 832 and the non-contact portion 830B do not contact the second support surface 712 . A space is formed between the other portion of the contact portion 830A of the second wheel side surface 832 and the non-contact portion 830B and the second support surface 712 .

스크라이브 가공 시에는, 기준 상태의 스크라이빙 휠(800)이 피가공물에 밀어붙여지고, 스크라이빙 휠(800)의 상태가 기준 상태로부터 초기 접촉 상태로 전이한다. 스크라이빙 휠(800)이 피가공물에 밀어붙여지는 것에 수반하여, 스크라이빙 휠(800)은 피가공물로부터 반력을 받는다. 이 반력에 의해, 휠 중심면(802)에 평행한 중심축 둘레로 스크라이빙 휠(800)을 제1 회전 방향으로 회전시키는 토크인 밀어붙임 시 토크가 스크라이빙 휠(800)에 작용한다. 제1 회전 방향은 휠 중심면(802)이 휠 회전 중심축(601)에 직교하는 상태에 가까워지도록 스크라이빙 휠(800)이 회전하는 방향이다. 스크라이빙 휠(800)이 제1 회전 방향으로 회전하는 경우, 홀더(300)의 전후 방향에 대한 휠 중심면(802)의 기울기가 작아진다.During scribing, the scribing wheel 800 in a reference state is pressed against the workpiece, and the state of the scribing wheel 800 transitions from the reference state to the initial contact state. As the scribing wheel 800 is pressed against the work piece, the scribing wheel 800 receives a reaction force from the work piece. By this reaction force, a torque at the time of pushing, which is a torque that rotates the scribing wheel 800 in the first rotational direction around the central axis parallel to the wheel center plane 802, acts on the scribing wheel 800 . The first rotational direction is a direction in which the scribing wheel 800 rotates so that the wheel center plane 802 approaches a state orthogonal to the wheel rotational central axis 601 . When the scribing wheel 800 rotates in the first rotational direction, the inclination of the wheel center surface 802 with respect to the front-rear direction of the holder 300 decreases.

제1∼제5 기준 상태의 어느 하나로부터 초기 접촉 상태로 전이한 경우라도, 초기 접촉 상태에서는 스크라이빙 휠(800)의 상태는 도 11에 나타나는 제6 기준 상태와 실질적으로 마찬가지의 상태로 된다. 기준 상태가 제1∼제5 기준 상태 중 어느 하나인 경우, 초기 접촉 상태로의 전이에 수반하여, 각 휠 측면(831, 832)이 대응하는 지지면(711, 712)에 접촉하기까지 스크라이빙 휠(800)이 제1 회전 방향으로 회전한다.Even when transitioning from any one of the first to fifth reference states to the initial contact state, the state of the scribing wheel 800 in the initial contact state is substantially the same as the sixth reference state shown in FIG. 11 . . When the reference state is any of the first to fifth reference states, with the transition to the initial contact state, scribe until each wheel side surface 831 , 832 contacts the corresponding support surface 711 , 712 . The ice wheel 800 rotates in the first rotation direction.

도 11에 나타나는 제6 기준 상태로부터 초기 접촉 상태로 전이하는 경우, 스크라이빙 휠(800)은 실질적으로는 제1 회전 방향으로 회전하지 않는다. 초기 접촉 상태에서는, 스크라이빙 휠(800)의 상태는 경사 상태이고, 스크라이빙 휠(800)에 작용하는 밀어붙임 시 토크에 의해 휠 측면(830)은 지지면(710)에 밀어붙여진다. 제1 휠 측면(831)의 접촉부(830A)는 제1 지지면(711)에 밀어붙여진다. 제2 휠 측면(832)의 접촉부(830A)는 제2 지지면(712)에 밀어붙여진다.When transitioning from the sixth reference state shown in FIG. 11 to the initial contact state, the scribing wheel 800 does not substantially rotate in the first rotational direction. In the initial contact state, the state of the scribing wheel 800 is an inclined state, and the wheel side 830 is pushed to the support surface 710 by the pushing torque acting on the scribing wheel 800 . . The contact portion 830A of the first wheel side 831 is pressed against the first support surface 711 . The contact portion 830A of the second wheel side 832 is pressed against the second support surface 712 .

제1 지지면(711)은 제1 휠 측면(831)을 지지한다. 일 예에서는, 제1 지지면(711)은 제1 휠 측면(831) 중의 제2 기준면(302)에 대하여 전방 및 후방의 한쪽에 위치하는 부분을 지지한다. 도시되는 예에서는, 제1 지지면(711)은 제1 휠 측면(831)의 접촉부(830A) 중의 전방 영역(RA)에 위치하는 부분을 지지한다. 다른 예에서는, 제1 지지면(711)은 제1 휠 측면(831)의 접촉부(830A) 중의 후방 영역(RB)에 위치하는 부분을 지지한다.The first support surface 711 supports the first wheel side surface 831 . In one example, the first support surface 711 supports a portion of the first wheel side surface 831 positioned at one of the front and rear sides with respect to the second reference surface 302 . In the illustrated example, the first support surface 711 supports a portion located in the front area RA of the contact portion 830A of the first wheel side surface 831 . In another example, the first support surface 711 supports a portion located in the rear region RB of the contact portion 830A of the first wheel side surface 831 .

제2 지지면(712)은 제2 휠 측면(832)을 지지한다. 일 예에서는, 제2 지지면(712)은 제2 휠 측면(832) 중의 제2 기준면(302)에 대하여 전방 및 후방의 다른 한쪽에 위치하는 부분을 지지한다. 도시되는 예에서는, 제2 지지면(712)은 제2 휠 측면(832)의 접촉부(830A) 중의 후방 영역(RB)에 위치하는 부분을 지지한다. 다른 예에서는, 제2 지지면(712)은 제2 휠 측면(832)의 접촉부(830A) 중의 전방 영역(RA)에 위치하는 부분을 지지한다.The second support surface 712 supports the second wheel side 832 . In one example, the second support surface 712 supports a portion of the second wheel side surface 832 positioned on the other side of the front and rear with respect to the second reference surface 302 . In the illustrated example, the second support surface 712 supports a portion located in the rear region RB of the contact portion 830A of the second wheel side surface 832 . In another example, the second support surface 712 supports a portion of the contact portion 830A of the second wheel side surface 832 located in the front area RA.

밀어붙임 시 토크가 작용하는 경사 상태의 스크라이빙 휠(800)의 휠 측면(830)이 측면 지지부(700)에 지지되기 때문에, 홀더(300)에 대한 스크라이빙 휠(800)의 상태가 안정된다. 제1 휠 측면(831) 중의 제2 기준면(302)에 대하여 전방 및 후방의 한쪽에 위치하는 부분이 제1 지지면(711)에 지지되고, 제2 휠 측면(832) 중의 제2 기준면(302)에 대하여 전방 및 후방의 다른 한쪽에 위치하는 부분이 제2 지지면(712)에 지지되는 예에서는, 홀더(300)에 대한 스크라이빙 휠(800)의 상태가 보다 안정된다.Since the wheel side 830 of the scribing wheel 800 in an inclined state to which torque acts upon pushing is supported by the side support 700 , the state of the scribing wheel 800 with respect to the holder 300 is is stabilized A portion of the first wheel side surface 831 positioned at one of the front and rear with respect to the second reference surface 302 is supported on the first support surface 711 , and the second reference surface 302 of the second wheel side surface 832 is ), in an example in which portions located on the other side of the front and rear are supported by the second support surface 712 , the state of the scribing wheel 800 with respect to the holder 300 is more stable.

스크라이브 가공에서는, 초기 접촉 상태로부터 스크라이빙 휠(800)을 주사 방향(DS)에 주사하는 주사 상태로 전이한다. 주사 방향(DS)은 예를 들면 기준 상태에 있어서의 홀더(300)의 전후 방향에 평행한 방향이다. 주사 상태에서는, 스크라이빙 휠(800)은 휠 회전 중심축(601) 둘레로 회전하고, 피가공물로부터 반력을 받는다. 트레일이 설정된 홀더 어셈블리(50)에서는, 이 반력에 의해, 홀더 조인트(100)의 축(130)의 중심축(LA) 둘레로 홀더 유닛(200)을 제2 회전 방향으로 회전시키는 토크(이하 「주사 시 토크」라고 함)가 홀더 유닛(200)에 작용한다. 제2 회전 방향은 홀더 유닛(200)의 평면에서 보면 휠 중심면(802)이 주사 방향(DS)에 평행인 상태에 가까워지도록 홀더 유닛(200)이 회전하는 방향이다.In the scribing process, it transitions from the initial contact state to the scanning state which scans the scribing wheel 800 in the scanning direction DS. The scanning direction DS is a direction parallel to the front-back direction of the holder 300 in a reference state, for example. In the scanning state, the scribing wheel 800 rotates around the wheel rotation center axis 601 and receives a reaction force from the workpiece. In the holder assembly 50 in which the trail is set, a torque (hereinafter referred to as " referred to as “torque during injection”) acts on the holder unit 200 . The second rotation direction is a direction in which the holder unit 200 rotates so that the wheel center plane 802 approaches a state parallel to the scanning direction DS when viewed in a plan view of the holder unit 200 .

초기 접촉 상태에 있어서 휠 중심면(802)이 홀더(300)의 전후 방향에 대하여 경사지는 예에서는, 초기 접촉 상태로부터 주사 상태로 전이한 직후, 휠 중심면(802)은 주사 방향(DS)에 대하여 경사져 있다. 주사 시 토크에 의해 홀더 유닛(200)이 제2 회전 방향으로 회전하고, 도 12에 나타나는 바와 같이 휠 중심면(802)이 주사 방향(DS)에 평행한 상태로 된다. 초기 접촉 상태에 있어서 휠 중심면(802)이 홀더(300)의 전후 방향에 평행한 예에서는, 초기 접촉 상태로부터 주사 상태로 전이한 경우에 휠 중심면(802)은 주사 방향(DS)에 평행하다.In the example in which the wheel center surface 802 is inclined with respect to the front-rear direction of the holder 300 in the initial contact state, immediately after transitioning from the initial contact state to the scanning state, the wheel center surface 802 is in the scanning direction DS inclined with respect to The holder unit 200 rotates in the second rotation direction by the torque during scanning, and as shown in FIG. 12 , the wheel center surface 802 becomes parallel to the scanning direction DS. In the example in which the wheel center plane 802 is parallel to the front-rear direction of the holder 300 in the initial contact state, the wheel center surface 802 is parallel to the scanning direction DS when transitioning from the initial contact state to the scanning state do.

주사 상태에서는, 스크라이빙 휠(800)은 피가공물로부터 반력을 받고, 밀어붙임 시 토크가 스크라이빙 휠(800)에 계속적으로 작용하여, 휠 측면(830)이 지지면(710)에 지지된 상태가 유지된다. 이 때문에, 스크라이빙 휠(800)의 주사 중에 있어서의 스크라이빙 휠(800)의 미소한 자세의 변화가 억제되어, 스크라이빙 휠(800)의 직진성이 향상한다. 이는 피가공물에 형성되는 스크라이브 라인의 균일성 및, 피가공물의 품질의 향상에 기여한다.In the scanning state, the scribing wheel 800 receives a reaction force from the workpiece, and when pushed, torque continuously acts on the scribing wheel 800 , so that the wheel side 830 is supported on the support surface 710 . state is maintained. For this reason, minute changes in the posture of the scribing wheel 800 during scanning of the scribing wheel 800 are suppressed, and the straightness of the scribing wheel 800 is improved. This contributes to the improvement of the uniformity of the scribe line formed on the workpiece and the quality of the workpiece.

도 13∼도 15에 나타나는 휠 지지 구조(500)의 제2 형태에서는, 홀더 유닛(200)의 평면에서 보면 홀더(300)의 폭방향과 휠 회전 중심축(601)의 관계가 도 10∼도 2에 나타나는 제1 형태의 휠 지지 구조(500)와는 상이하다. 그 외의 점은 제1 형태와 실질적으로 마찬가지이다.In the second form of the wheel support structure 500 shown in FIGS. 13 to 15 , in the plan view of the holder unit 200 , the relationship between the width direction of the holder 300 and the wheel rotation center axis 601 is shown in FIGS. It is different from the first type of wheel support structure 500 shown in 2 . Other points are substantially the same as in the first aspect.

중심 지지부(600)는 경사 구조(650)를 포함한다. 경사 구조(650)는 홀더 유닛(200)의 평면에서 보면 홀더(300)의 폭방향에 대하여 휠 회전 중심축(601)이 경사지도록 구성된다. 일 예에서는, 경사 구조(650)는 핀(610) 및 각 핀 삽입 구멍(621A, 622A)을 포함한다. 제1 핀 삽입 구멍(621A)은 홀더 유닛(200)의 평면에서 보면 자신의 중심축이 홀더(300)의 폭방향에 대하여 경사지도록 제1 지지부(621)에 형성된다. 제2 핀 삽입 구멍(622A)은 홀더 유닛(200)의 평면에서 보면 자신의 중심축이 홀더(300)의 폭방향에 대하여 경사지도록 제2 지지부(622)에 형성된다. 각 핀 삽입 구멍(621A, 622A)의 중심축은 동축이다. 핀(610)이 각 핀 삽입 구멍(621A, 622A)에 삽입된 상태에서는, 홀더 유닛(200)의 평면에서 보면 휠 회전 중심축(601)은 홀더(300)의 폭방향에 교차한다.The central support 600 includes an inclined structure 650 . The inclined structure 650 is configured such that the wheel rotation central axis 601 is inclined with respect to the width direction of the holder 300 when viewed in a plan view of the holder unit 200 . In one example, the inclined structure 650 includes a pin 610 and respective pin insertion holes 621A and 622A. The first pin insertion hole 621A is formed in the first support portion 621 so that its central axis is inclined with respect to the width direction of the holder 300 when viewed in a plan view of the holder unit 200 . The second pin insertion hole 622A is formed in the second support portion 622 so that its central axis is inclined with respect to the width direction of the holder 300 when viewed in a plan view of the holder unit 200 . The central axis of each of the pin insertion holes 621A and 622A is coaxial. In a state in which the pin 610 is inserted into each of the pin insertion holes 621A and 622A, the wheel rotation center axis 601 intersects the width direction of the holder 300 when viewed in a plan view of the holder unit 200 .

제2 형태의 휠 지지 구조(500)의 기준 상태는 제1 형태의 휠 지지 구조(500)와 마찬가지로 제1∼제6 기준 상태를 포함한다. 도 13은 제2 형태의 휠 지지 구조(500)에 있어서의 제1 기준 상태를 나타낸다. 도 14는 제2 형태의 휠 지지 구조(500)에 있어서의 제6 기준 상태를 나타낸다. 제2 형태의 휠 지지 구조(500)에 있어서의 각 기준 상태는 제1 형태의 휠 지지 구조(500)에 있어서의 대응하는 기준 상태에 준한다.The reference state of the wheel support structure 500 of the second type includes first to sixth reference states, like the wheel support structure 500 of the first type. 13 shows a first reference state in the wheel support structure 500 of the second type. 14 shows a sixth reference state in the wheel support structure 500 of the second type. Each reference state in the wheel support structure 500 of the second form corresponds to a corresponding reference state in the wheel support structure 500 of the first form.

기준 상태의 스크라이빙 휠(800)이 피가공물에 밀어붙여짐으로써, 스크라이빙 휠(800)의 상태가 기준 상태로부터 초기 접촉 상태로 전이한다. 제1∼제5 기준 상태 중 어느 하나로부터 초기 접촉 상태로 전이한 경우라도, 초기 접촉 상태에서는 스크라이빙 휠(800)의 상태는 도 14에 나타나는 제6 기준 상태와 실질적으로 마찬가지의 상태가 된다. 제2 형태의 휠 지지 구조(500)에 있어서의 기준 상태로부터 초기 접촉 상태로의 전이의 모습 및, 초기 접촉 상태는 제1 형태의 휠 지지 구조(500)에 있어서의 대응하는 상태에 준한다.As the scribing wheel 800 in the reference state is pressed against the workpiece, the state of the scribing wheel 800 transitions from the reference state to the initial contact state. Even when transitioning from any one of the first to fifth reference states to the initial contact state, the state of the scribing wheel 800 in the initial contact state is substantially the same as the sixth reference state shown in FIG. 14 . . The state of transition from the reference state to the initial contact state and the initial contact state in the wheel support structure 500 of the second form correspond to the corresponding state in the wheel support structure 500 of the first form.

스크라이빙 휠(800)의 주사의 개시에 수반하여, 초기 접촉 상태로부터 주사 상태로 전이한다. 주사 상태에서는, 도 15에 나타나는 바와 같이 휠 중심면(802)이 주사 방향(DS)에 평행한 상태가 된다. 제2 형태의 휠 지지 구조(500)에 있어서의 초기 접촉 상태로부터 주사 상태로의 전이의 모습 및, 주사 상태는 제1 형태의 휠 지지 구조(500)에 있어서의 대응하는 상태에 준한다.Upon initiation of scanning of the scribing wheel 800, transition from the initial contact state to the scanning state. In the scanning state, as shown in FIG. 15 , the wheel center plane 802 is in a state parallel to the scanning direction DS. The state of transition from the initial contact state to the scan state in the wheel support structure 500 of the second form and the scan state correspond to the corresponding state in the wheel support structure 500 of the first form.

도 16, 도 17에 나타나는 휠 지지 구조(500)의 제3 형태에서는, 측면 지지부(700)는 돌출부(720)를 포함한다. 돌출부(720)는 경사 상태의 스크라이빙 휠(800)의 휠 측면(830)을 지지한다. 돌출부(720)는 배치면(630)으로부터 배치 공간(310)을 향하여 돌출한다. 일 예에서는, 배치면(630)은 홀더(300)의 전후 방향에 평행하다. 제1 배치면(631)과 제2 배치면(632)의 거리는 스크라이빙 휠(800)의 본체(810)의 두께보다도 크다.In the third form of the wheel support structure 500 shown in FIGS. 16 and 17 , the side support 700 includes a protrusion 720 . The protrusion 720 supports the wheel side 830 of the scribing wheel 800 in an inclined state. The protrusion 720 protrudes from the arrangement surface 630 toward the arrangement space 310 . In one example, the placement surface 630 is parallel to the front-rear direction of the holder 300 . The distance between the first placement surface 631 and the second placement surface 632 is greater than the thickness of the body 810 of the scribing wheel 800 .

돌출부(720)는 배치 공간(310)의 제1 측부(311)에 위치하는 제1 돌출부(721) 및, 배치 공간(310)의 제2 측부(312)에 위치하는 제2 돌출부(722)를 포함한다. 제1 돌출부(721)는 제1 배치면(631) 중의 전방 영역(RA)에 위치하는 부분에 형성된다. 제2 돌출부(722)는 제2 배치면(632) 중의 후방 영역(RB)에 위치하는 부분에 형성된다. 제1 배치면(631)에 대한 제1 돌출부(721)의 높이와 제2 배치면(632)에 대한 제2 돌출부(722)의 높이는 동일하다.The protrusion 720 includes a first protrusion 721 positioned on the first side 311 of the arrangement space 310 and a second protrusion 722 positioned on the second side 312 of the arrangement space 310 . include The first protrusion 721 is formed in a portion located in the front area RA of the first arrangement surface 631 . The second protrusion 722 is formed in a portion located in the rear region RB of the second arrangement surface 632 . The height of the first protrusion 721 with respect to the first arrangement surface 631 and the height of the second protrusion 722 with respect to the second arrangement surface 632 are the same.

제3 형태의 휠 지지 구조(500)의 기준 상태는 예를 들면 제1∼제7 기준 상태를 포함한다. The reference state of the wheel support structure 500 of the third type includes, for example, first to seventh reference states.

도 16에 나타나는 제1 기준 상태에서는, 휠 중심면(802)은 휠 회전 중심축(601)에 대하여 경사진다. 스크라이빙 휠(800)은 경사 상태이다. 홀더(300)의 폭방향에 있어서 제1 배치면(631)과 제1 휠 측면(831)이 대향한다. 홀더(300)의 폭방향에 있어서 제2 배치면(632)과 제2 휠 측면(832)이 대향한다. 휠 중심면(802)은 홀더(300)의 전후 방향 및 배치면(630)에 대하여 경사진다.In the first reference state shown in FIG. 16 , the wheel center plane 802 is inclined with respect to the wheel rotation center axis 601 . The scribing wheel 800 is in an inclined state. The first mounting surface 631 and the first wheel side surface 831 face each other in the width direction of the holder 300 . The second arrangement surface 632 and the second wheel side surface 832 face each other in the width direction of the holder 300 . The wheel center surface 802 is inclined with respect to the front-rear direction and the arrangement surface 630 of the holder 300 .

제1 배치면(631)과 제1 휠 측면(831)은 비평행하다. 제1 휠 측면(831)의 접촉부(830A)의 일부는 전방 영역(RA)에 있어서 제1 돌출부(721)에 접촉한다. 제1 휠 측면(831)의 접촉부(830A)의 다른 부분 및, 비접촉부(830B)는 제1 배치면(631)에 접촉하지 않는다. 제1 휠 측면(831)의 접촉부(830A)의 다른 부분 및, 비접촉부(830B)와 제1 배치면(631)의 사이에는 공간이 형성된다.The first placement surface 631 and the first wheel side surface 831 are non-parallel. A portion of the contact portion 830A of the first wheel side surface 831 contacts the first protrusion 721 in the front area RA. The other portion of the contact portion 830A of the first wheel side surface 831 and the non-contact portion 830B do not contact the first placement surface 631 . A space is formed between the other portion of the contact portion 830A of the first wheel side surface 831 and the non-contact portion 830B and the first arrangement surface 631 .

제2 배치면(632)과 제2 휠 측면(832)은 비평행하다. 제2 휠 측면(832)의 접촉부(830A)의 일부는 후방 영역(RB)에 있어서 제2 돌출부(722)에 접촉한다. 제2 휠 측면(832)의 접촉부(830A)의 다른 부분 및, 비접촉부(830B)는 제2 배치면(632)에 접촉하지 않는다. 제2 휠 측면(832)의 접촉부(830A)의 다른 부분 및, 비접촉부(830B)와 제2 배치면(632)의 사이에는 공간이 형성된다.The second placement surface 632 and the second wheel side 832 are non-parallel. A portion of the contact portion 830A of the second wheel side surface 832 contacts the second protrusion 722 in the rear region RB. The other portion of the contact portion 830A of the second wheel side 832 and the non-contact portion 830B do not contact the second placement surface 632 . A space is formed between the other portion of the contact portion 830A of the second wheel side surface 832 and the non-contact portion 830B and the second placement surface 632 .

제2 기준 상태에서는, 제1 휠 측면(831)은 제1 돌출부(721)에 접촉하지 않는다. 그 외의 점은 제1 기준 상태와 마찬가지이다. 제3 기준 상태에서는, 제1 휠 측면(831)은 제1 돌출부(721)에 접촉하지 않는다. 제2 휠 측면(832)의 접촉부(830A)의 일부는 전방 영역(RA)에 있어서 제2 배치면(632)에 접촉한다. 그 외의 점은 제1 기준 상태와 마찬가지이다. 제4 기준 상태에서는, 제2 휠 측면(832)은 제2 돌출부(722)에 접촉하지 않는다. 그 외의 점은 제1 기준 상태와 마찬가지이다. 제5 기준 상태에서는, 제2 휠 측면(832)은 제2 돌출부(722)에 접촉하지 않는다. 제1 휠 측면(831)의 접촉부(830A)의 일부는 후방 영역(RB)에 있어서 제1 배치면(631)에 접촉한다. 그 외의 점은 제1 기준 상태와 마찬가지이다. 제6 기준 상태에서는, 제1 휠 측면(831)의 접촉부(830A)의 일부는 후방 영역(RB)에 있어서 제1 배치면(631)에 접촉한다. 제2 휠 측면(832)의 접촉부(830A)의 일부는 전방 영역(RA)에 있어서 제2 배치면(632)에 접촉한다. 그 외의 점은 제1 기준 상태와 마찬가지이다. 제7 기준 상태에서는, 제1 휠 측면(831)은 제1 돌출부(721)에 접촉하지 않는다. 제2 휠 측면(832)은 제2 돌출부(722)에 접촉하지 않는다. 그 외의 점은 제1 기준 상태와 마찬가지이다.In the second reference state, the first wheel side surface 831 does not contact the first protrusion 721 . Other points are the same as in the first reference state. In the third reference state, the first wheel side surface 831 does not contact the first protrusion 721 . A portion of the contact portion 830A of the second wheel side 832 contacts the second placement surface 632 in the front area RA. Other points are the same as in the first reference state. In the fourth reference state, the second wheel side surface 832 does not contact the second protrusion 722 . Other points are the same as in the first reference state. In the fifth reference state, the second wheel side surface 832 does not contact the second protrusion 722 . A portion of the contact portion 830A of the first wheel side surface 831 contacts the first placement surface 631 in the rear region RB. Other points are the same as in the first reference state. In the sixth reference state, a portion of the contact portion 830A of the first wheel side surface 831 contacts the first placement surface 631 in the rear region RB. A portion of the contact portion 830A of the second wheel side 832 contacts the second placement surface 632 in the front area RA. Other points are the same as in the first reference state. In the seventh reference state, the first wheel side surface 831 does not contact the first protrusion 721 . The second wheel side 832 does not contact the second protrusion 722 . Other points are the same as in the first reference state.

스크라이빙 휠(800)이 피가공물에 밀어붙여짐으로써 기준 상태로부터 초기 접촉 상태로 전이한다. 제2∼제7 기준 상태 중 어느 하나로부터 초기 접촉 상태로 전이한 경우라도, 초기 접촉 상태에서는 스크라이빙 휠(800)의 상태는 도 16에 나타나는 제1 기준 상태와 실질적으로 마찬가지의 상태로 된다. 기준 상태가 제2∼제7 기준 상태 중 어느 하나인 경우, 초기 접촉 상태로의 전이에 수반하여, 각 휠 측면(831, 832)이 대응하는 돌출부(721, 722)에 접촉하기까지 스크라이빙 휠(800)이 제1 회전 방향으로 회전한다.As the scribing wheel 800 is pressed against the workpiece, it transitions from the reference state to the initial contact state. Even when transitioning from any one of the second to seventh reference states to the initial contact state, the state of the scribing wheel 800 in the initial contact state is substantially the same as the first reference state shown in FIG. 16 . . When the reference state is any of the second to seventh reference states, accompanying the transition to the initial contact state, scribing is performed until each wheel side surface 831 , 832 contacts the corresponding projection 721 , 722 . The wheel 800 rotates in the first rotational direction.

도 16에 나타나는 제1 기준 상태로부터 초기 접촉 상태로 전이하는 경우, 스크라이빙 휠(800)은 실질적으로는 제1 회전 방향으로 회전하지 않는다. 초기 접촉 상태에서는, 스크라이빙 휠(800)의 상태는 경사 상태이고, 스크라이빙 휠(800)에 작용하는 밀어붙임 시 토크에 의해 휠 측면(830)은 지지면(710)에 밀어붙여진다. 제1 휠 측면(831)의 접촉부(830A)는 제1 돌출부(721)에 밀어붙여진다. 제2 휠 측면(832)의 접촉부(830A)는 제2 돌출부(722)에 밀어붙여진다.When transitioning from the first reference state shown in FIG. 16 to the initial contact state, the scribing wheel 800 does not substantially rotate in the first rotational direction. In the initial contact state, the state of the scribing wheel 800 is an inclined state, and the wheel side 830 is pushed to the support surface 710 by the pushing torque acting on the scribing wheel 800 . . The contact portion 830A of the first wheel side 831 is pressed against the first protrusion 721 . The contact portion 830A of the second wheel side 832 is pressed against the second protrusion 722 .

제1 돌출부(721)는 제1 휠 측면(831)을 지지한다. 일 예에서는, 제1 돌출부(721)는 제1 휠 측면(831) 중의 제2 기준면(302)에 대하여 전방 및 후방의 한쪽에 위치하는 부분을 지지한다. 도시되는 예에서는, 제1 돌출부(721)는 제1 휠 측면(831)의 접촉부(830A) 중의 전방 영역(RA)에 위치하는 부분을 지지한다. 다른 예에서는, 제1 돌출부(721)는 제1 휠 측면(831)의 접촉부(830A) 중의 후방 영역(RB)에 위치하는 부분을 지지한다.The first protrusion 721 supports the first wheel side 831 . In one example, the first protrusion 721 supports a portion of the first wheel side surface 831 positioned on one side of the front and rear with respect to the second reference plane 302 . In the illustrated example, the first protrusion 721 supports a portion of the contact portion 830A of the first wheel side surface 831 located in the front area RA. In another example, the first protrusion 721 supports a portion located in the rear region RB of the contact portion 830A of the first wheel side surface 831 .

제2 돌출부(722)는 제2 휠 측면(832)을 지지한다. 일 예에서는, 제2 돌출부(722)는 제2 휠 측면(832) 중의 제2 기준면(302)에 대하여 전방 및 후방의 다른 한쪽에 위치하는 부분을 지지한다. 도시되는 예에서는, 제2 돌출부(722)는 제2 휠 측면(832)의 접촉부(830A) 중의 후방 영역(RB)에 위치하는 부분을 지지한다. 다른 예에서는, 제2 돌출부(722)는 제2 휠 측면(832)의 접촉부(830A) 중의 전방 영역(RA)에 위치하는 부분을 지지한다.The second protrusion 722 supports the second wheel side 832 . In one example, the second protrusion 722 supports a portion of the second wheel side 832 positioned on the other side of the front and rear with respect to the second reference plane 302 . In the illustrated example, the second protrusion 722 supports a portion located in the rear region RB of the contact portion 830A of the second wheel side surface 832 . In another example, the second protrusion 722 supports a portion of the contact portion 830A of the second wheel side surface 832 located in the front area RA.

스크라이빙 휠(800)의 주사의 개시에 수반하여, 초기 접촉 상태로부터 주사 상태로 전이한다. 주사 상태에서는, 도 17에 나타나는 바와 같이 휠 중심면(802)이 주사 방향(DS)에 평행한 상태가 된다. 제3 형태의 휠 지지 구조(500)에 있어서의 초기 접촉 상태로부터 주사 상태로의 전이의 모습 및, 주사 상태는 제1 형태의 휠 지지 구조(500)에 있어서의 대응하는 상태에 준한다.Upon initiation of scanning of the scribing wheel 800, transition from the initial contact state to the scanning state. In the scanning state, as shown in FIG. 17 , the wheel center plane 802 is in a state parallel to the scanning direction DS. The state of transition from the initial contact state to the scan state in the wheel support structure 500 of the third form and the scan state correspond to the corresponding state in the wheel support structure 500 of the first form.

도 18∼도 20에 나타나는 휠 지지 구조(500)의 제4 형태에서는, 중심 지지부(600)는 경사 구조(650)를 포함한다. 경사 구조(650)는 홀더 유닛(200)의 평면에서 보면 홀더(300)의 폭방향에 대하여 휠 회전 중심축(601)이 경사지도록 구성된다. 일 예에서는, 경사 구조(650)는 핀(610) 및 각 핀 삽입 구멍(621A, 622A)을 포함한다. 핀(610)의 중간부(613)는 제1 단부(611) 및 제2 단부(612)에 대하여 경사진다. 제1 단부(611)의 중심축과 제2 단부(612)의 중심축은 평행하다. 중간부(613)의 중심축은 각 단부(611, 612)의 중심축에 교차한다. 중간부(613)의 중심축은 휠 회전 중심축(601)을 규정한다.In a fourth aspect of the wheel support structure 500 shown in FIGS. 18-20 , the central support 600 includes an inclined structure 650 . The inclined structure 650 is configured such that the wheel rotation central axis 601 is inclined with respect to the width direction of the holder 300 when viewed in a plan view of the holder unit 200 . In one example, the inclined structure 650 includes a pin 610 and respective pin insertion holes 621A and 622A. The middle portion 613 of the pin 610 is inclined with respect to the first end 611 and the second end 612 . The central axis of the first end 611 and the central axis of the second end 612 are parallel. The central axis of the intermediate portion 613 intersects the central axis of each end portion 611 , 612 . The central axis of the intermediate portion 613 defines the wheel rotation central axis 601 .

제1 핀 삽입 구멍(621A)은 홀더 유닛(200)의 평면에서 보면 자신의 중심축이 홀더(300)의 폭방향에 평행하도록 제1 지지부(621)에 형성된다. 제1 핀 삽입 구멍(621A)의 중심축은 전방 영역(RA) 및 후방 영역(RB)의 한쪽에 위치한다. 제2 핀 삽입 구멍(622A)은 홀더 유닛(200)의 평면에서 보면 자신의 중심축이 홀더(300)의 폭방향에 대하여 평행하도록 제2 지지부(622)에 형성된다. 제2 핀 삽입 구멍(622A)의 중심축은 전방 영역(RA) 및 후방 영역(RB)의 다른 한쪽에 위치한다. 제1 핀 삽입 구멍(621A)의 중심축과 제2 핀 삽입 구멍(622A)의 중심축은 평행하다.The first pin insertion hole 621A is formed in the first support portion 621 such that its central axis is parallel to the width direction of the holder 300 when viewed in a plan view of the holder unit 200 . The central axis of the first pin insertion hole 621A is located in one of the front area RA and the rear area RB. The second pin insertion hole 622A is formed in the second support portion 622 so that its central axis is parallel to the width direction of the holder 300 when viewed in a plan view of the holder unit 200 . The central axis of the second pin insertion hole 622A is located on the other side of the front area RA and the rear area RB. The central axis of the first pin insertion hole 621A and the central axis of the second pin insertion hole 622A are parallel.

핀(610)의 제1 단부(611)가 제1 핀 삽입 구멍(621A)에 삽입되고, 제2 단부(612)가 제2 핀 삽입 구멍(622A)에 삽입된 상태에서는, 홀더 유닛(200)의 평면에서 보면 휠 회전 중심축(601)은 홀더(300)의 폭방향에 교차한다.In a state in which the first end 611 of the pin 610 is inserted into the first pin insertion hole 621A, and the second end 612 is inserted into the second pin insertion hole 622A, the holder unit 200 When viewed in the plane of the wheel rotation central axis 601 intersects the width direction of the holder 300 .

측면 지지부(700)는 지지면(710)을 포함한다. 지지면(710)은 경사 상태의 스크라이빙 휠(800)의 휠 측면(830)을 지지한다. 일 예에서는, 지지면(710)은 배치 공간(310)을 규정한다. 핀 지지부(620)의 배치면(630)은 지지면(710)을 포함한다. 지지면(710)은 배치 공간(310)의 제1 측부(311)에 위치하는 제1 지지면(711) 및, 배치 공간(310)의 제2 측부(312)에 위치하는 제2 지지면(712)을 포함한다. 제1 지지면(711)은 제1 배치면(631)에 포함된다. 제2 지지면(712)은 제2 배치면(632)에 포함된다. 지지면(710)은 홀더 유닛(200)의 평면에서 보면 홀더(300)의 전후 방향에 평행하다. 제1 지지면(711)과 제2 지지면(712)의 거리는 스크라이빙 휠(800)의 본체(810)의 두께보다도 크다.The side support 700 includes a support surface 710 . The support surface 710 supports the wheel side 830 of the scribing wheel 800 in an inclined state. In one example, the support surface 710 defines a deployment space 310 . The placement surface 630 of the pin support 620 includes a support surface 710 . The support surface 710 includes a first support surface 711 located on the first side 311 of the placement space 310 and a second support surface 711 located on the second side 312 of the placement space 310 ( 712). The first support surface 711 is included in the first arrangement surface 631 . The second support surface 712 is included in the second placement surface 632 . The support surface 710 is parallel to the front-rear direction of the holder 300 in a plan view of the holder unit 200 . The distance between the first support surface 711 and the second support surface 712 is greater than the thickness of the body 810 of the scribing wheel 800 .

제4 형태의 휠 지지 구조(500)의 기준 상태는 예를 들면 제1∼제7 기준 상태를 포함한다.The reference state of the wheel support structure 500 of the fourth type includes, for example, first to seventh reference states.

도 18에 나타나는 제1 기준 상태에서는, 휠 중심면(802)은 휠 회전 중심축(601)에 대하여 경사진다. 스크라이빙 휠(800)은 경사 상태이다. 홀더(300)의 폭방향에 있어서 제1 배치면(631)과 제1 휠 측면(831)이 대향한다. 홀더(300)의 폭방향에 있어서 제2 배치면(632)과 제2 휠 측면(832)이 대향한다. 휠 중심면(802)은 홀더(300)의 전후 방향 및 배치면(630)에 대하여 평행하다.In the first reference state shown in FIG. 18 , the wheel center plane 802 is inclined with respect to the wheel rotation center axis 601 . The scribing wheel 800 is in an inclined state. The first mounting surface 631 and the first wheel side surface 831 face each other in the width direction of the holder 300 . The second arrangement surface 632 and the second wheel side surface 832 face each other in the width direction of the holder 300 . The wheel center plane 802 is parallel to the front-rear direction and the placement surface 630 of the holder 300 .

제1 지지면(711)과 제1 휠 측면(831)은 평행하다. 제1 휠 측면(831)의 접촉부(830A) 및 비접촉부(830B)는 제1 지지면(711)에 접촉하지 않는다. 제1 지지면(711)과 제1 휠 측면(831)의 사이에는 공간이 형성된다. 제2 지지면(712)과 제2 휠 측면(832)은 평행하다. 제2 휠 측면(832)의 접촉부(830A) 및 비접촉부(830B)는 제2 지지면(712)에 접촉하지 않는다. 제2 지지면(712)과 제2 휠 측면(832)의 사이에는 공간이 형성된다.The first support surface 711 and the first wheel side surface 831 are parallel. The contact portion 830A and the non-contact portion 830B of the first wheel side surface 831 do not contact the first support surface 711 . A space is formed between the first support surface 711 and the first wheel side surface 831 . The second support surface 712 and the second wheel side 832 are parallel. The contact portion 830A and the non-contact portion 830B of the second wheel side surface 832 do not contact the second support surface 712 . A space is formed between the second support surface 712 and the second wheel side surface 832 .

제2 기준 상태에서는, 제1 휠 측면(831)이 제1 지지면(711)에 접촉하고, 제2 휠 측면(832)은 제2 지지면(712)에 접촉하지 않는다. 그 외의 점은 제1 기준 상태와 마찬가지이다. 제3 기준 상태에서는, 제2 휠 측면(832)은 제2 지지면(712)에 접촉하고, 제1 휠 측면(831)은 제1 지지면(711)에 접촉하지 않는다. 그 외의 점은 제1 기준 상태와 마찬가지이다. 제4 기준 상태에서는, 휠 중심면(802)은 홀더(300)의 전후 방향 및 배치면(630)에 대하여 경사진다. 제1 휠 측면(831)의 접촉부(830A)의 일부는 전방 영역(RA)에 있어서 제1 지지면(711)에 접촉한다. 제2 휠 측면(832)은 제2 지지면(712)에 접촉하지 않는다. 그 외의 점은 제1 기준 상태와 마찬가지이다. 제5 기준 상태에서는, 휠 중심면(802)은 홀더(300)의 전후 방향 및 배치면(630)에 대하여 경사진다. 제2 휠 측면(832)의 접촉부(830A)의 일부는 후방 영역(RB)에 있어서 제2 지지면(712)에 접촉한다. 제1 휠 측면(831)은 제1 지지면(711)에 접촉하지 않는다. 그 외의 점은 제1 기준 상태와 마찬가지이다. 제6 기준 상태에서는, 휠 측면(830)과 지지면(710)의 관계가 제1∼제5 기준 상태와는 상이하고, 추가로 이하의 제7 기준 상태와 같이 각 측면(831, 832)이 각 지지면(711, 712)에 접촉한 상태와도 상이하다.In the second reference state, the first wheel side surface 831 contacts the first support surface 711 , and the second wheel side surface 832 does not contact the second support surface 712 . Other points are the same as in the first reference state. In the third reference state, the second wheel side surface 832 contacts the second support surface 712 , and the first wheel side surface 831 does not contact the first support surface 711 . Other points are the same as in the first reference state. In the fourth reference state, the wheel center plane 802 is inclined with respect to the front-rear direction and the arrangement surface 630 of the holder 300 . A portion of the contact portion 830A of the first wheel side surface 831 contacts the first support surface 711 in the front area RA. The second wheel side 832 does not contact the second support surface 712 . Other points are the same as in the first reference state. In the fifth reference state, the wheel center plane 802 is inclined with respect to the front-rear direction and the arrangement surface 630 of the holder 300 . A portion of the contact portion 830A of the second wheel side surface 832 contacts the second support surface 712 in the rear region RB. The first wheel side 831 does not contact the first support surface 711 . Other points are the same as in the first reference state. In the sixth reference state, the relationship between the wheel side surface 830 and the support surface 710 is different from the first to fifth reference states, and in addition, as in the following seventh reference state, the respective side surfaces 831 and 832 are It is also different from the state in contact with each of the support surfaces 711 and 712 .

도 19에 나타나는 제7 기준 상태에서는, 휠 중심면(802)은 휠 회전 중심축(601)에 대하여 경사진다. 스크라이빙 휠(800)은 경사 상태이다. 홀더(300)의 폭방향에 있어서 제1 지지면(711)과 제1 휠 측면(831)이 대향한다. 홀더(300)의 폭방향에 있어서 제2 지지면(712)과 제2 휠 측면(832)이 대향한다. 휠 중심면(802)은 홀더(300)의 전후 방향 및 지지면(710)에 대하여 경사진다.In the seventh reference state shown in FIG. 19 , the wheel center plane 802 is inclined with respect to the wheel rotation center axis 601 . The scribing wheel 800 is in an inclined state. The first support surface 711 and the first wheel side surface 831 face each other in the width direction of the holder 300 . The second support surface 712 and the second wheel side surface 832 face each other in the width direction of the holder 300 . The wheel center surface 802 is inclined with respect to the front-rear direction and the support surface 710 of the holder 300 .

제1 지지면(711)과 제1 휠 측면(831)은 비평행하다. 제1 휠 측면(831)의 접촉부(830A)의 일부는 전방 영역(RA)에 있어서 제1 지지면(711)에 접촉한다. 제1 휠 측면(831)의 접촉부(830A)의 다른 부분 및, 비접촉부(830B)는 제1 지지면(711)에 접촉하지 않는다. 제1 휠 측면(831)의 접촉부(830A)의 다른 부분 및, 비접촉부(830B)와 제1 지지면(711)의 사이에는 공간이 형성된다.The first support surface 711 and the first wheel side surface 831 are non-parallel. A portion of the contact portion 830A of the first wheel side surface 831 contacts the first support surface 711 in the front area RA. The other portion of the contact portion 830A of the first wheel side surface 831 and the non-contact portion 830B do not contact the first support surface 711 . A space is formed between the other portion of the contact portion 830A of the first wheel side surface 831 and the non-contact portion 830B and the first support surface 711 .

제2 지지면(712)과 제2 휠 측면(832)은 비평행하다. 제2 휠 측면(832)의 접촉부(830A)의 일부는 후방 영역(RB)에 있어서 제2 지지면(712)에 접촉한다. 제2 휠 측면(832)의 접촉부(830A)의 다른 부분 및, 비접촉부(830B)는 제2 지지면(712)에 접촉하지 않는다. 제2 휠 측면(832)의 접촉부(830A)의 다른 부분 및, 비접촉부(830B)와 제2 지지면(712)의 사이에는 공간이 형성된다.The second support surface 712 and the second wheel side 832 are non-parallel. A portion of the contact portion 830A of the second wheel side surface 832 contacts the second support surface 712 in the rear region RB. The other portion of the contact portion 830A of the second wheel side surface 832 and the non-contact portion 830B do not contact the second support surface 712 . A space is formed between the other portion of the contact portion 830A of the second wheel side surface 832 and the non-contact portion 830B and the second support surface 712 .

스크라이빙 휠(800)이 피가공물에 밀어붙여짐으로써 기준 상태로부터 초기 접촉 상태로 전이한다. 제1∼제6 기준 상태 중 어느 하나로부터 초기 접촉 상태로 전이한 경우라도, 초기 접촉 상태에서는 스크라이빙 휠(800)의 상태는 도 19에 나타나는 제7 기준 상태와 실질적으로 마찬가지의 상태가 된다. 기준 상태가 제1∼제6 기준 상태 중 어느 하나인 경우, 초기 접촉 상태로의 전이에 수반하여, 각 휠 측면(831, 832)이 대응하는 지지면(711, 712)에 접촉하기까지 스크라이빙 휠(800)이 제1 회전 방향으로 회전한다. 제4 형태의 휠 지지 구조(500)에 있어서의 초기 접촉 상태는 제1 형태의 휠 지지 구조(500)에 있어서의 대응하는 상태에 준한다.As the scribing wheel 800 is pressed against the workpiece, it transitions from the reference state to the initial contact state. Even when a transition is made from any one of the first to sixth reference states to the initial contact state, the state of the scribing wheel 800 is substantially the same as the seventh reference state shown in FIG. 19 in the initial contact state. . When the reference state is any one of the first to sixth reference states, with the transition to the initial contact state, scribe until each wheel side surface 831 , 832 contacts the corresponding support surface 711 , 712 . The ice wheel 800 rotates in the first rotation direction. The initial contact state in the wheel support structure 500 of the fourth form corresponds to the corresponding state in the wheel support structure 500 of the first form.

스크라이빙 휠(800)의 주사의 개시에 수반하여, 초기 접촉 상태로부터 주사 상태로 전이한다. 주사 상태에서는, 도 20에 나타나는 바와 같이 휠 중심면(802)이 주사 방향(DS)에 평행한 상태로 된다. 제4 형태의 휠 지지 구조(500)에 있어서의 초기 접촉 상태로부터 주사 상태로의 전이의 모습 및, 주사 상태는 제1 형태의 휠 지지 구조(500)에 있어서의 대응하는 상태에 준한다.Upon initiation of scanning of the scribing wheel 800, transition from the initial contact state to the scanning state. In the scanning state, as shown in FIG. 20, the wheel center plane 802 is in a state parallel to the scanning direction DS. The state of transition from the initial contact state to the scan state and the scan state in the wheel support structure 500 of the fourth form correspond to the corresponding state in the wheel support structure 500 of the first form.

도 21∼도 25를 참조하여, 도 9에 나타나는 홀더 유닛(200)의 구체적 구성에 대해서 설명한다. 도 25는 도 23의 25-25선을 따르는 홀더 유닛(200)의 단면을 나타낸다. 홀더(300)의 형상은 전체적으로는 대략 원기둥이다. 일 예에서는, 홀더(300)의 표면(320)은 외주면(321), 정부(頂部) 평면(322), 상부 평면(323), 하부 평면(324), 측부 평면(325), 저부 평면(326) 및, 경사면(330)을 포함한다. 외주면(321)은 홀더(300)에 있어서의 원기둥의 측면에 상당한다.With reference to FIGS. 21-25, the specific structure of the holder unit 200 shown in FIG. 9 is demonstrated. FIG. 25 shows a cross-section of the holder unit 200 taken along line 25-25 of FIG. 23 . The shape of the holder 300 is generally cylindrical. In one example, the surface 320 of the holder 300 has an outer peripheral surface 321 , a top plane 322 , a top plane 323 , a bottom plane 324 , a side plane 325 , and a bottom plane 326 . ) and an inclined surface 330 . The outer peripheral surface 321 corresponds to the side surface of the cylinder in the holder 300 .

정부 평면(322)은 홀더 본체(400)의 상부(410)의 단면에 상당한다. 정부 평면(322)은 제1 기준면(301)에 직교한다. 상부 평면(323)은 홀더 본체(400)의 상부(410)의 정면에 형성된다. 상부 평면(323)은 제2 기준면(302)에 평행하다. 하부 평면(324)은 홀더 본체(400)의 하부(430)의 정면 및 각 지지부(621, 622)의 정면에 형성된다. 하부 평면(324)은 제2 기준면(302)에 평행하다. 측부 평면(325)은 홀더 본체(400)의 하부(430)의 측면 및 각 지지부(621, 622)의 측면에 형성된다. 측부 평면(325)은 제1 기준면(301)에 평행하다. 저부 평면(326)은 각 지지부(621, 622)의 저면에 맞닿는다. 저부 평면(326)은 제1 기준면(301)에 직교한다.The top plane 322 corresponds to a cross section of the upper part 410 of the holder body 400 . The top plane 322 is orthogonal to the first reference plane 301 . The upper plane 323 is formed on the front surface of the upper part 410 of the holder body 400 . The upper plane 323 is parallel to the second reference plane 302 . The lower plane 324 is formed on the front surface of the lower part 430 of the holder body 400 and the front surface of each of the supporting parts 621 and 622 . The lower plane 324 is parallel to the second reference plane 302 . The side plane 325 is formed on the side surface of the lower part 430 of the holder body 400 and the side surface of each of the support parts 621 and 622 . The side plane 325 is parallel to the first reference plane 301 . The bottom plane 326 abuts against the bottom surface of each of the supports 621 and 622 . The bottom plane 326 is orthogonal to the first reference plane 301 .

경사면(330)은 홀더 본체(400)의 중간부(420)의 정면에 있어서 상부 평면(323)의 하방에 형성된다. 홀더(300)의 측면에서 보면 경사면(330)은 제2 기준면(302)에 대하여 경사진다. 홀더(300)의 측면에서 보면 경사면(330)은 상부 평면(323)에 대하여 홀더(300)의 전방에 형성된다. 경사면(330)의 제1 단부(331)는 상부 평면(323)과 경사면(330)의 경계를 형성한다.The inclined surface 330 is formed below the upper plane 323 in the front of the middle part 420 of the holder body 400 . When viewed from the side of the holder 300 , the inclined surface 330 is inclined with respect to the second reference surface 302 . When viewed from the side of the holder 300 , the inclined surface 330 is formed in front of the holder 300 with respect to the upper plane 323 . The first end 331 of the inclined surface 330 forms a boundary between the upper plane 323 and the inclined surface 330 .

홀더(300)는 오목부(340)를 포함한다. 일 예에서는, 오목부(340)는 정면 오목부(341) 및 측면 오목부(342)를 포함한다. 정면 오목부(341)는 홀더 본체(400)의 하부(430)의 정면 및 각 지지부(621, 622)의 정면에 형성된다. 홀더(300)의 측면에서 보면 정면 오목부(341)는 홀더 본체(400)의 중간부(420)에 대하여 홀더(300)의 중심축(LB)을 향하여 패인다. 하부 평면(324)은 정면 오목부(341)의 저면에 상당한다. 정면 오목부(341)의 저면인 하부 평면(324)은 상부 평면(323)에 평행하다.The holder 300 includes a recess 340 . In one example, recess 340 includes front recess 341 and side recess 342 . The front recessed portion 341 is formed on the front surface of the lower portion 430 of the holder body 400 and on the front surface of each of the supporting portions 621 and 622 . When viewed from the side of the holder 300 , the front concave portion 341 is recessed toward the central axis LB of the holder 300 with respect to the middle portion 420 of the holder body 400 . The lower plane 324 corresponds to the bottom surface of the front recessed portion 341 . A lower plane 324 , which is a bottom surface of the front recess 341 , is parallel to the upper plane 323 .

측면 오목부(342)는 홀더 본체(400)의 하부(430)의 측면 및 각 지지부(621, 622)의 측면에 형성된다. 홀더(300)의 정면에서 보면 측면 오목부(342)는 홀더 본체(400)의 중간부(420)에 대하여 홀더(300)의 중심축(LB)을 향하여 패인다. 측부 평면(325)은 측면 오목부(342)의 저면에 상당한다. 각 핀 삽입 구멍(621A, 622A)은 각 지지부(621, 622)에 있어서 측면 오목부(342)의 하방에 형성된다. 각 지지부(621, 622)의 구성에 대해서 예시한다. 도시되는 제1예에서는, 각 지지부(621, 622)에 있어서의 각 핀 삽입 구멍(621A, 622A)의 하부에는 개구 홈(623)이 형성된다. 개구 홈(623)은 저부 평면(326)에 개구한다. 개구 홈(623)은 각 핀 삽입 구멍(621A, 622A)에 연결되고, 각 핀 삽입 구멍(621A, 622A)에 평행하다. 제2예에서는, 각 지지부(621, 622)에 있어서의 각 핀 삽입 구멍(621A, 622A)의 하부에는 개구 홈(623)은 형성되지 않는다.The side recessed portion 342 is formed on the side surface of the lower portion 430 of the holder body 400 and the side surface of each of the support portions 621 and 622 . When viewed from the front of the holder 300 , the side concave portion 342 is recessed toward the central axis LB of the holder 300 with respect to the middle portion 420 of the holder body 400 . The side plane 325 corresponds to the bottom surface of the side recessed part 342 . Each pin insertion hole 621A, 622A is formed below the side recessed part 342 in each support part 621, 622. The structure of each support part 621, 622 is illustrated. In the illustrated first example, an opening groove 623 is formed in the lower portion of each of the pin insertion holes 621A and 622A in each of the supporting portions 621 and 622 . The opening groove 623 opens in the bottom plane 326 . The opening groove 623 is connected to each pin insertion hole 621A, 622A, and is parallel to each pin insertion hole 621A, 622A. In the second example, the opening grooves 623 are not formed in the lower portions of the respective pin insertion holes 621A and 622A in the respective supporting portions 621 and 622 .

홀더 유닛(200)의 정면에서 보면, 배치 공간(310)은 하부 평면(324)에 개구한다. 홀더 유닛(200)의 배면에서 보면, 배치 공간(310)은 외주면(321)에 개구한다. 홀더 유닛(200)의 저면에서 보면, 배치 공간(310)은 저부 평면(326)에 개구한다. 지지면(710)은 홀더(300)의 전후 방향에 대하여 경사진다. 지지면(710)은 상부 평면(323) 및 하부 평면(324)에 직교하는 평면에 대하여 경사진다. 지지면(710)은 측부 평면(325)에 대해서도 경사진다. 제1 지지면(711)과 제2 지지면(712)은 평행하다. 스크라이빙 휠(800)은 휠 중심면(802)이 홀더(300)의 전후 방향에 대하여 경사지도록 배치 공간(310)에 배치된다.When viewed from the front of the holder unit 200 , the arrangement space 310 opens in the lower plane 324 . When viewed from the rear surface of the holder unit 200 , the arrangement space 310 is opened on the outer peripheral surface 321 . When viewed from the bottom of the holder unit 200 , the arrangement space 310 is opened in the bottom plane 326 . The support surface 710 is inclined with respect to the front-rear direction of the holder 300 . The support surface 710 is inclined with respect to a plane orthogonal to the upper plane 323 and the lower plane 324 . The support surface 710 is also inclined with respect to the side plane 325 . The first support surface 711 and the second support surface 712 are parallel. The scribing wheel 800 is disposed in the arrangement space 310 so that the wheel center surface 802 is inclined with respect to the front-rear direction of the holder 300 .

또한, 상기 실시 형태의 설명은 본 발명에 관한 휠 지지 구조 등이 취할 수 있는 형태를 제한하는 것을 의도하고 있지 않다. 본 발명에 관한 휠 지지 구조 등은 실시 형태에 예시된 형태와는 상이한 형태를 취할 수 있다. 그의 일 예는, 실시 형태의 구성의 일부를 치환, 변경, 혹은, 생략한 형태, 또는, 실시 형태에 새로운 구성을 부가한 형태이다.In addition, the description of the said embodiment is not intended to limit the form which the wheel support structure etc. which concern on this invention can take. The wheel support structure etc. which concern on this invention can take a form different from the form illustrated in embodiment. One example thereof is a form in which a part of the structure of the embodiment is substituted, changed, or omitted, or a form in which a new structure is added to the embodiment.

40: 홀더 조인트 유지구
50: 홀더 어셈블리
100: 홀더 조인트
200: 홀더 유닛
300: 홀더
310: 배치 공간
500: 휠 지지 구조
600: 중심 지지부
610: 핀
700: 측면 지지부
710: 지지면
800: 스크라이빙 휠
801: 휠 중심축
802: 휠 중심면
830: 휠 측면
831: 제1 휠 측면
832: 제2 휠 측면40: holder joint holder
50: holder assembly
100: holder joint
200: holder unit
300: holder
310: layout space
500: wheel support structure
600: center support
610: pin
700: side support
710: support surface
800: scribing wheel
801: wheel central axis
802: wheel center plane
830: wheel side
831: first wheel side
832: second wheel side

Claims (10)

홀더의 폭방향에 평행한 회전 중심축 둘레로 스크라이빙 휠이 회전하도록 상기 스크라이빙 휠을 지지하는 중심 지지부와,
상기 스크라이빙 휠의 중심면이 상기 회전 중심축에 대하여 경사진 상기 스크라이빙 휠의 측면을 지지하는 측면 지지부를 구비하는 휠 지지 구조.a central support for supporting the scribing wheel so that the scribing wheel rotates about a central axis of rotation parallel to the width direction of the holder;
A wheel support structure including a side support for supporting a side surface of the scribing wheel in which a center surface of the scribing wheel is inclined with respect to the central axis of rotation. 제1항에 있어서,
상기 측면 지지부는 상기 측면에 접촉하는 지지면을 포함하는 휠 지지 구조.According to claim 1,
and the side support portion includes a support surface in contact with the side surface. 제2항에 있어서,
상기 지지면은 상기 스크라이빙 휠이 배치되는 배치 공간을 규정하는 휠 지지 구조.3. The method of claim 2,
The support surface defines an arrangement space in which the scribing wheel is disposed. 제2항 또는 제3항에 있어서,
상기 지지면은 상기 홀더의 전후 방향에 대하여 경사지는 휠 지지 구조.4. The method of claim 2 or 3,
The support surface is a wheel support structure inclined with respect to the front-rear direction of the holder. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 측면은 제1 휠 측면 및 제2 휠 측면을 포함하고,
상기 측면 지지부는 상기 제1 휠 측면 및 상기 제2 휠 측면을 지지하는 휠 지지 구조.5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The side comprises a first wheel side and a second wheel side,
The side support portion is a wheel support structure for supporting the first wheel side and the second wheel side. 제5항에 있어서,
상기 측면 지지부는 상기 제1 휠 측면 중의 상기 회전 중심축에 대하여 전방 및 후방의 한쪽에 위치하는 부분과, 상기 제2 휠 측면 중의 상기 회전 중심축에 대하여 전방 및 후방의 다른 한쪽에 위치하는 부분을 지지하는 휠 지지 구조.6. The method of claim 5,
The side support portion comprises a portion located at one of the front and rear sides with respect to the central axis of rotation of the first wheel side, and a portion located at the other side of the front and rear side of the second wheel side with respect to the central axis of rotation. Supporting wheel support structure. 홀더의 폭방향에 평행 또는 교차하는 회전 중심축 둘레로 스크라이빙 휠이 회전하도록 상기 스크라이빙 휠을 지지하는 중심 지지부와,
상기 스크라이빙 휠의 중심면이 상기 회전 중심축에 대하여 경사진 상기 스크라이빙 휠의 측면을 지지하는 측면 지지부를 구비하고,
상기 측면 지지부는 상기 측면에 접촉하는 지지면을 포함하고,
상기 지지면은 상기 홀더의 전후 방향에 대하여 경사지는 휠 지지 구조.a central support for supporting the scribing wheel so that the scribing wheel rotates about a central axis of rotation parallel or intersecting the width direction of the holder;
and a side support part for supporting a side surface of the scribing wheel in which the center surface of the scribing wheel is inclined with respect to the central axis of rotation;
The side support includes a support surface in contact with the side,
The support surface is a wheel support structure inclined with respect to the front-rear direction of the holder. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 휠 지지 구조를 구비하는 홀더.A holder provided with the wheel support structure in any one of Claims 1-7. 제8항에 기재된 홀더와,
상기 스크라이빙 휠과,
상기 스크라이빙 휠을 지지하는 핀을 구비하는 홀더 유닛.The holder according to claim 8,
the scribing wheel;
A holder unit having a pin for supporting the scribing wheel. 제9항에 기재된 홀더 유닛과,
홀더 조인트 유지구에 대하여 회전할 수 있도록 상기 홀더 유닛을 상기 홀더 조인트 유지구에 연결하는 홀더 조인트를 구비하는 홀더 어셈블리.The holder unit according to claim 9;
and a holder joint connecting the holder unit to the holder joint holder so as to be rotatable relative to the holder joint holder.
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