KR20220094605A

KR20220094605A - 검사장치

Info

Publication number: KR20220094605A
Application number: KR1020200185994A
Authority: KR
Inventors: 엄희일
Original assignee: 리노공업주식회사
Priority date: 2020-12-29
Filing date: 2020-12-29
Publication date: 2022-07-06
Also published as: WO2022145934A1; CN116670518A; KR102433590B1; JP2024500523A; TW202229891A; TWI785920B

Abstract

피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사장치가 개시된다. 검사장치는 상기 피검사체에 검사신호를 전달하는 프로브를 가진 검사소켓, 상기 검사소켓에 개폐 회동 가능하게 결합되는 푸셔본체, 상기 피검사체를 상기 프로브에 대해 가압 및 가압해제하도록 상기 푸셔본체에 지지되는 푸셔유닛 및 상기 푸셔유닛을 차폐 및 차폐해제 가능한 열차폐커버를 포함한다.

Description

검사장치{TEST DEVICE}

본 발명은 반도체와 같은 피검사체의 전기적 특성을 검사하는 검사장치에 관한 것이다.

반도체와 같은 전자제품의 제조과정에는 최종적으로 제조된 전자제품의 전기적 특성을 검사하는 검사장치가 요구된다. 이러한 검사장치는 전자제품을 검사하는 과정에서 발생된 열은 검사 시에 저항을 상승시키는 인자로서 제품 검사의 신뢰성을 저하시키고, 내부의 회로를 단락시켜 제품 고장의 원인이 된다. 따라서, 파워(Power) 반도체, 차량용 반도체, 시스템 반도체의 테스트에는 발생된 열의 빠른 방출이 필수 요건이라 할 수 있다.

검사장치는 검사대상인 전자제품을 수용하는 인서트와 검사신호를 전달하는 프로브들을 가진 검사소켓 , 및 검사소켓에 결합되어 인서트를 개폐하는 푸셔어셈블리를 포함하고 있다.

피검사체들은 극한 환경에서의 전기적 특성을 검사하여야 할 필요가 있다. 이를 위해 검사장치는 극한 환경을 만들기 위한 가열소자나 냉각소자를 구비하고 있다. 검사장치는 가열소자나 냉각소자에 의해 급격하게 온도가 변화하여 설정 검사온도를 벗어나는 경우가 발생한다. 이때, 다수의 검사장치들이 배치된 검사챔버 내로 열기 또는 냉기를 불어 넣음으로써, 검사장치들은 빠르게 설정 온도범위에 도달할 수 있도록 조절될 수 있다. 그러나, 검사챔버 내의 위치에 따라 열기나 냉기의 영향이 다르기 때문에, 검사챔버 내의 다수 검사장치는 동시에 설정온도 조건을 충족하지 못하고 검사장치들 마다 설정온도에 도달하는 타이밍이 달라지는 문제가 있다.

본 발명의 목적은 신뢰성 있는 검사장치를 제공하는 데에 있다.

상술한 과제를 달성하기 위한, 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사장가 제공된다. 검사장치는 상기 피검사체에 검사신호를 전달하는 프로브를 가진 검사소켓, 상기 검사소켓에 개폐 회동 가능하게 결합되는 푸셔본체, 상기 피검사체를 상기 프로브에 대해 가압 및 가압해제하도록 상기 푸셔본체에 지지되는 푸셔유닛 및 상기 푸셔유닛을 차폐 및 차폐해제 가능한 열차폐커버를 포함한다.

상기 푸셔유닛은 일면의 가압면과 타면의 방열면을 갖는 푸셔베이스와 상기 푸셔베이스의 방열면에 마련되어 열을 방출하는 방열핀을 가지며, 상기 열차폐커버는 상기 방열핀을 차폐 및 차폐해제할 수 있다.

상기 열차폐커버는 축심 대칭으로 마련된 2개의 부채꼴 차폐면을 형성하는 차폐부를 각각 가지며 상기 축심에 대해 상대 회동가능하도록 상호 축결합된 복수의 커버블레이드를 포함할 수 있다.

상기 복수의 커버블레이드는 상기 푸셔본체의 상면에 고정 설치된 고정블레이드 및 상기 고정블레이드에 대해 개폐 회동 가능하도록 축결합된 복수의 개폐블레이드를 포함할 수 있다.

상기 복수의 커버블레이드는 하나의 커버블레이드에 마련된 멈춤돌기와 다른 커버블레이드에 마련된 가이드홈을 가가지며, 상기 가이드홈에 수용되어 상대 회동 범위를 제한하는 멈춤돌기를 포함할 수 있다.

상기 복수의 커버블레이드는 반경방향 외측 단부로부터 하방으로 절곡 연장되어 상기 푸셔본체의 상면에 접촉하는 원주방향 차폐벽을 형성하는 스커트부를 가질 수 있다.

상기 고정블레이드는 2개의 부채꼴 차폐면의 반경방향 단부에 상향 돌출된 회동제한벽을 포함할 수 있다.

본 발명의 검사장치는 푸셔유닛의 방열핀을 덮는 열차폐커버가 설치되고, 열차폐커버의 개폐량을 조절함으로써 검사장치의 외부 온도 영향을 조절할 수 있다. 결과적으로, 단일 검사실에 배치된 다수의 검사장치는 위치에 따라 열차폐커버의 개폐량을 조절하여 동일한 온도 조건 하에서 검사가 이루어지도록 할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 검사장치에서 열차폐커버가 폐쇄된 상태를 나타내는 도면이다.
도 2는 도 2의 검사장치에서 열차폐커버가 폐쇄된 상태를 나타내는 도면이다.
도 3은 도 1의 검사장치를 분해하여 위에서 본 사시도이다.
도 4는 도 1의 검사장치를 분해하여 아래에서 본 사시도이다.
도 5는 도 1의 열차폐커버를 분리한 상태의 사시도이다.
도 6은 도 5의 열차폐커버를 분해하여 위에서 본 사시도이다.
도 7은 도 5의 열차폐커버를 분해하여 아래에서 본 사시도이다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 상세히 설명한다. 설명의 편의상 본 발명의 이해를 위해 관련된 부분들만을 설명하였고, 발명과 직접적으로 관련이 없는 부분은 도면 또는 설명에서 배제하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 부여하였다.

그리고, 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백한 상세한 설명들은 개시되지 않을 수 있다. 본 발명에서, 제1, 제2 등과 같은 관계 용어들은 하나의 존재를 다른 존재로부터 구분하기 위해 이용될 수 있으며, 실제 관계나 이들 간의 순서에 의미를 두지 않는다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 검사장치(1)에서 열차폐커버가 폐쇄된 상태를 나타내는 도면이고, 도 2는 도 2의 검사장치(1)에서 열차폐커버가 폐쇄된 상태를 나타내는 도면이고 도 3은 도 1의 검사장치(1)를 분해하여 위에서 본 사시도이고, 도 4는 도 1의 검사장치(1)를 분해하여 아래에서 본 사시도이다.

도 1 내지 4를 참조하면, 검사장치(1)는 검사소켓(10), 푸셔본체(20), 푸셔유닛(30), 열차폐커버(40), 히터(40) 및 온도센서(50)를 포함한다.

검사소켓(10)은 소켓프레임(11), 소켓프레임(11)에 장착되고 탄성적으로 신축 가능한 복수의 프로브들을 지지하는 프로브지지체(12), 및 상기 프로브지지체(12) 상에 배치되어 반도체 등과 같은 전자제품(이하, "피검사체"라 칭한다)을 수용하는 인서트(13)를 포함한다. 상술한 바와 같은 검사소켓(10)은 설명을 위한 하나의 예로서 설명된 것으로 상술한 구조만으로 한정되지 않는다.

검사소켓(10)은 푸셔본체(20)를 힌지 결합하기 위한 힌지핀(14) 및 후술하는 푸셔본체(20)의 래치(22)에 걸리는 걸림턱(15)을 포함한다.

피검사체는 범프와 같은 다수의 피검사접점을 포함하며, POP(package On Package)반도체와 같이 적층구조의 반도체가 적용될 수 있다. 피검사체는 프로브지지체(12)에 지지된 프로브들에 대응하도록 인서트(13) 내에 수용된다. 이와 같이 배치된 피검사체는 후술하는 푸셔유닛(30)의 가압에 의해 대응하는 프로브들을 향해 이동하여 프로브들에 접촉하면서 검사가 이루어질 수 있다.

푸셔본체(20)는 검사소켓(10)의 상부를 개폐하도록 검사소켓(10)의 일측에 회동 가능하게 결합된다. 푸셔본체(20)는 일측에 마련된 힌지결합부(21), 타측에 마련된 래치(22) 및 검사 시에 푸셔유닛(30)을 동작시키는 조작래버(23)를 포함한다.

푸셔본체(20)는 중앙에 푸셔유닛(30)을 수용하는 푸셔수용부(25)를 포함한다.

푸셔본체(20)는 상면에 열차폐커버(40)를 고정 지지하는 고정핀(26)을 포함한다.

푸셔유닛(30)은 검사소켓(10)의 인서트(23) 내에 로딩된 피검사체를 향해 접근 및 이격되도록 푸셔본체(20)의 푸셔수용부(25)에 수용되어 지지된다.

푸셔유닛(30)은 판상의 푸셔베이스(31), 푸셔베이스(31)의 일면에 마련된 푸셔(32) 및 푸셔베이스(31)의 타면에 마련된 방열핀(33)을 포함한다.

푸셔(32)는 검사 시에 피검사체에 접근 및 접촉하여 가압한다. 이때, 피검사체의 단자는 프로브에 접촉할 수 있다.

방열핀(33)은 검사 시에 발생하는 열과 히터(5)에 의해 발생한 열을 외부로 방출하여 검사소켓(10)의 온도를 조절할 수 있다.

푸셔유닛(30)은 푸셔베이스(31)의 측면에 파여져 히터(50)가 장착되는 히터수용부(34)를 포함한다.

푸셔유닛(30)은 중앙에 파여져 온도센서(60)가 장착되는 센서장착부(35)를 포함한다.

열차폐커버(40)는 방열핀(33)을 차폐하도록 마련된다. 열차폐커버(40)는 도 1 및 2와 같이 개폐량이 조절될 수 있다. 즉, 열차폐커버(40)는 개폐량에 따라 검사소켓(10) 내의 열이 방출되는 양을 조절할 수 있다.

히터(50)는 검사온도 조건을 충족시키기 위해 푸셔유닛(30)을 가열한다.

온도센서(60)는 검사소켓(10) 내의 온도를 검출한다.

도 5는 도 1의 열차폐커버(40)를 분리한 상태의 사시도이고, 도 6은 도 5의 열차폐커버(40)를 분해하여 위에서 본 사시도이고, 도 7은 도 5의 열차폐커버(40)를 분해하여 아래에서 본 사시도이다.

도 5 내지 도 7을 참조하면, 열차폐커버(40)는 상호 축심(44)에 의해 결합된, 고정블레이드(41), 제1개폐블레이드(42) 및 제2개폐블레이드(43)를 포함한다. 제1개폐블레이드(42)와 제2개폐블레이드(43)는 축심(44)을 기준으로 회동 가능하게 순서대로 고정블레이드(41)에 결합된다.

고정블레이드(41)는 고정핀(26)에 의해 푸셔본체(20)의 상면에 고정된다. 고정블레이드(41)는 축심(44) 대칭으로 마련된 제1 및 제2부채꼴 차폐면을 가진 제1 및 제2차폐부(411,412), 제1 및 제2부채꼴 차폐면의 반경방향 외측 단부로부터 하방으로 절곡 연장되어 푸셔본체(20)의 상면에 접촉하는 원주방향 차폐벽을 형성하는 제1 및 제2스커트부(413,414)를 가진다.

고정블레이드(41)는 제1 및 제2부채꼴 차폐면 사이에는 축심(44)이 통과하는 제1축공(416)포함한다.

고정블레이드(41)는 제1차폐부(411)의 제1부채꼴 차폐면의 상면에 돌출하는 제1멈춤돌기(417)와 제2차폐부(412)의 제2부채꼴 차폐면의 상면에 돌출하는 제2멈춤돌기(418)를 포함한다. 제1 및 제2멈춤돌기(417,418)는 축심(44)에 대해 대칭으로 배치된다.

고정블레이드(41)는 제1부채꼴 차폐면의 반경 일단부에 마련되어 제1개폐블레이드(42)의 회동을 제한하는 제1걸림턱(419-1) 및 제2부채꼴 차폐면의 반경 타단부에 마련되어 제1개폐블레이드(42)의 회동을 제한하는 제2걸림턱(419-2)을 포함한다. 제1 및 제2걸림턱(419-1,419-2)은 축심(44)에 대해 대칭으로 배치된다.

제1개폐블레이드(42)는 축심(44)에 의해 고정블레이드(41)의 제1축공(416)에 회전 가능하게 결합된다. 제1개폐블레이드(42)는 축심(44) 대칭으로 마련된 각각 제3 및 제4부채꼴 차폐면을 가진 제3 및 제4차폐부(421,422), 제3 및 제4부채꼴 차폐면의 반경방향 외측 단부로부터 하방으로 절곡 연장되고 고정블레이드(41)의 원주단부면에 각각 접촉되고 원주방향 차폐벽을 형성하는 제3 및 제4스커트부(423,424)를 가진다.

제1개폐블레이드(42)는 제3 및 제4부채꼴 차폐면 사이에 축심(44)이 통과하는 제2축공(426)을 포함한다.

제1개폐블레이드(42)는 제3차폐부(421)의 제3부채꼴 차폐면의 상면에 돌출하는 제3멈춤돌기(428)와 제4차폐부(422)의 제4부채꼴 차폐면의 상면에 돌출하는 제4멈춤돌기(429)를 포함한다. 제3 및 제4멈춤돌기(428,429)는 축심(44)에 대해 대칭으로 배치된다.

제1개폐블레이드(42)는 제3차폐부(421)의 제3부채꼴 차폐면의 하면에 반경방향 외측단부를 따라 파여진 제1가이드홈(425)과 제4차폐부(422)의 제4부채꼴 차폐면의 하면에 반경방향 외측단부를 따라 파여진 제2가이드홈(427)을 포함한다. 제1 및 제2가이드홈(425,427)은 각각 고정블레이드(41)의 제1 및 제2멈춤돌기(417,418)를 수용한다.

제2개폐블레이드(43)는 축심(44)에 의해 제1개폐블레이드(42)의 제2축공(426)에 회전 가능하게 결합된다. 제2개폐블레이드(43)는 축심(44) 대칭으로 마련된 제5 및 제6부채꼴 차폐면을 가진 제5 및 제6차폐부(431,432), 제5 및 제6부채꼴 차폐면의 반경방향 외측 단부로부터 하방으로 절곡 연장되고 제1개폐블레이드(42)의 원주단부면에 각각 접촉되고 원주방향 차폐벽을 형성하는 제5 및 제6스커트부(433,434)를 가진다.

제2개폐블레이드(43)는 제5 및 제6부채꼴 차폐면 사이의 하면에 축심(44)이 수용되는 축홈(436)포함한다.

제2개폐블레이드(43)는 제5차폐부(431)의 제5부채꼴 차폐면의 하면에 반경방향 외측단부를 따라 파여진 제3가이드홈(435)과, 제6차폐부(432)의 제6부채꼴 차폐면의 하면에 반경방향 외측단부를 따라 파여진 제4가이드홈(437)을 포함한다. 제3 및 제4가이드홈(435,437)은 각각 제1개폐블레이드(42)의 제3 및 제4멈춤돌기(428,429)를 수용한다.

이상과 같이, 본 발명의 실시예에 따른 검사장치(1)에서, 방열핀(33)을 덮고 있는 열차폐커버(40)는 고정블레이드(41)를 중심으로 제1개폐블레이드(42) 또는 제2개폐블레이드(43)가 회전됨에 따라 방열핀(33)의 외부 노출을 조절할 수 있다. 그 결과, 방열핀(33)은 노출 정도에 따라 방열효율이 조절될 수 있다.

앞서 설명한 명세서에서, 본 발명 및 그 장점들이 특정 실시예들을 참조하여 설명되었다. 그러나, 아래의 청구항에서 설명하는 바와 같은 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변경이 가능함은 이 기술 분야에서 보통의 기술을 가진 자에게 명백할 것이다. 이에 따라, 명세서와 도면은 한정 보다는 본 발명의 예시로서 간주되어야 한다. 모든 이러한 가능한 수정들은 본 발명의 범위 내에서 이루어져야 한다.

1: 검사장치
10: 검사소켓
11: 소켓프레임
12: 프로브지지체
13: 인서트
20: 푸셔본체
21: 힌지결합부
22: 래치
23: 조작래버
30: 푸셔유닛
31: 푸셔베이스
32: 푸셔
33: 방열핀
40: 열차폐커버
41: 고정블레이드
42: 제2개폐블레이드
43: 제2개폐블레이드
50: 히터
60: 온도센서

Claims

피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사장치에 있어서,
상기 피검사체에 검사신호를 전달하는 프로브를 가진 검사소켓;
상기 검사소켓에 개폐 회동 가능하게 결합되는 푸셔본체;
상기 피검사체를 상기 프로브에 대해 가압 및 가압해제하도록 상기 푸셔본체에 지지되는 푸셔유닛; 및
상기 푸셔유닛을 차폐 및 차폐해제 가능한 열차폐커버를 포함하는 검사장치.
제 1항에 있어서,
상기 푸셔유닛은 일면의 가압면과 타면의 방열면을 갖는 푸셔베이스와 상기 푸셔베이스의 방열면에 마련되어 열을 방출하는 방열핀을 가지며,
상기 열차폐커버는 상기 방열핀을 차폐 및 차폐해제하는 검사장치.
제 1항에 있어서,
상기 열차폐커버는 축심 대칭으로 마련된 2개의 부채꼴 차폐면을 형성하는 차폐부를 각각 가지며 상기 축심에 대해 상대 회동가능하도록 상호 축결합된 복수의 커버블레이드를 포함하는 검사장치.
제 3항에 있어서,
상기 복수의 커버블레이드는 상기 푸셔본체의 상면에 고정 설치된 고정블레이드 및 상기 고정블레이드에 대해 개폐 회동 가능하도록 축결합된 복수의 개폐블레이드를 포함하는 검사장치.
제 4항에 있어서,
상기 복수의 커버블레이드는 하나의 커버블레이드에 마련된 멈춤돌기와 다른 커버블레이드에 마련된 가이드홈을 가가지며, 상기 가이드홈에 수용되어 상대 회동 범위를 제한하는 멈춤돌기를 포함하는 검사장치.
제 3항에 있어서,
상기 복수의 커버블레이드는 반경방향 외측 단부로부터 하방으로 절곡 연장되어 상기 푸셔본체의 상면에 접촉하는 원주방향 차폐벽을 형성하는 스커트부를 갖는 검사장치.
제 4항에 있어서,
상기 고정블레이드는 2개의 부채꼴 차폐면의 반경방향 단부에 상향 돌출된 회동제한벽을 포함하는 검사장치.