KR20220092364A - Cutting apparatus - Google Patents

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KR20220092364A
KR20220092364A KR1020210161161A KR20210161161A KR20220092364A KR 20220092364 A KR20220092364 A KR 20220092364A KR 1020210161161 A KR1020210161161 A KR 1020210161161A KR 20210161161 A KR20210161161 A KR 20210161161A KR 20220092364 A KR20220092364 A KR 20220092364A
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cutting
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사토시 사와키
사토시 미야타
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

The present invention is to provide a cutting apparatus having a cutting blade exchange unit, which can prevent a cutting blade from being loaded into a cutting blade accommodating unit where another cutting blade is already accommodated. A cutting blade is loaded into a cutting blade accommodating unit where an accommodation determining unit determines that there is no cutting blade accommodated. Therefore, it is prevented that a cutting blade is loaded into a cutting blade accommodating unit where another cutting blade is already accommodated.

Description

절삭 장치{CUTTING APPARATUS}CUTTING APPARATUS

본 발명은, 절삭 유닛에 장착된 절삭 블레이드를 자동적으로 착탈하는 절삭 블레이드 교환 유닛을 구비하는 절삭 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a cutting device having a cutting blade exchange unit for automatically attaching and detaching a cutting blade mounted on the cutting unit.

IC (Integrated Circuit) 및 LSI (Large Scale Integration) 등의 반도체 디바이스의 칩은, 휴대 전화 및 퍼스널 컴퓨터 등의 각종 전자 기기에 있어서 불가결한 구성이다. 이와 같은 칩은, 일반적으로, 표면에 다수의 반도체 디바이스가 형성된 웨이퍼를 개개의 반도체 디바이스를 포함하는 영역마다 분할함으로써 제조된다.DESCRIPTION OF RELATED ART Chips of semiconductor devices, such as IC (Integrated Circuit) and LSI (Large Scale Integration), are an indispensable structure in various electronic apparatuses, such as a cellular phone and a personal computer. Such a chip is generally manufactured by dividing a wafer in which a plurality of semiconductor devices are formed on a surface thereof into regions including individual semiconductor devices.

웨이퍼 등의 피가공물의 분할은, 예를 들어, 절삭 장치에 의해 피가공물을 절삭함으로써 실시된다. 이와 같은 절삭 장치는, 일반적으로, 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 회전 가능하게 장착한 절삭 유닛을 구비한다. 그리고, 회전하는 절삭 블레이드의 외주 가장자리를 반도체 디바이스를 포함하는 영역의 경계를 따라 피가공물에 접촉시킴으로써, 피가공물이 절삭되어 개개의 칩으로 분할된다.Division of a to-be-processed object, such as a wafer, is performed by cutting a to-be-processed object with a cutting device, for example. Generally, such a cutting device is provided with a chuck table which holds a to-be-processed object, and the cutting unit which rotatably mounted the cutting blade which cuts the to-be-processed object hold|maintained by the chuck table. Then, by bringing the outer peripheral edge of the rotating cutting blade into contact with the work piece along the boundary of the region including the semiconductor device, the work piece is cut and divided into individual chips.

이 절삭 블레이드는, 피가공물을 절삭함으로서 마모된다. 그 때문에, 이와 같은 절삭 장치에 있어서는, 절삭 블레이드를 정기적으로 교환할 필요가 있다. 이 점을 감안하여, 절삭 블레이드의 교환을 자동적으로 실시하는 절삭 블레이드 교환 유닛 (절삭 블레이드 교환 장치) 을 구비하는 절삭 장치가 제안되어 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).This cutting blade is worn by cutting the workpiece. Therefore, in such a cutting device, it is necessary to replace|exchange a cutting blade regularly. In view of this point, a cutting device including a cutting blade replacement unit (cutting blade replacement device) for automatically replacing cutting blades has been proposed (see, for example, Patent Document 1).

구체적으로는, 이 절삭 블레이드 교환 유닛은, 절삭 블레이드를 개별적으로 수용하는 복수의 절삭 블레이드 수용부 (블레이드 수용 수단) 를 갖는 절삭 블레이드 스토커 (블레이드 랙) 와, 절삭 블레이드 스토커와 절삭 유닛 사이에서 절삭 블레이드를 반송하는 절삭 블레이드 반송 기구 (안내 수단, 가동 기판, 위치 부여 수단, 체결 너트 착탈 기구 및 절삭 블레이드 착탈 기구) 를 구비한다. 그리고, 사용이 완료된 절삭 블레이드의 절삭 유닛으로부터 절삭 블레이드 스토커로의 반송과, 미사용의 절삭 블레이드의 절삭 블레이드 스토커로부터 절삭 유닛으로의 반송이 절삭 블레이드 반송 기구에 의해 자동으로 실시된다.Specifically, this cutting blade exchange unit includes a cutting blade stocker (blade rack) having a plurality of cutting blade accommodating portions (blade receiving means) for individually accommodating cutting blades, and a cutting blade between the cutting blade stocker and the cutting unit. and a cutting blade conveying mechanism (a guide means, a movable substrate, a positioning means, a fastening nut attaching/detaching mechanism, and a cutting blade attaching/removing mechanism) for conveying the . And conveyance of the used cutting blade from the cutting unit to the cutting blade stocker and conveyance of an unused cutting blade from the cutting blade stocker to a cutting unit are performed automatically by a cutting blade conveyance mechanism.

일본 공개특허공보 2007-105829호Japanese Patent Laid-Open No. 2007-105829

절삭 장치에 있어서는, 일반적으로, 복수의 절삭 블레이드 수용부에 수용된 사용이 완료된 절삭 블레이드의 폐기 및/또는 그것들에 대한 미사용의 절삭 블레이드의 보충은, 오퍼레이터에 의해 수동으로 실시된다. 절삭 장치는, 통상적으로 이와 같은 오퍼레이터의 조작을 검출하여, 복수의 절삭 블레이드 수용부에 있어서의 사용이 완료된 절삭 블레이드 및 미사용의 절삭 블레이드의 수용 상황을 파악하도록 구성된다.In a cutting device, in general, discarding of used cutting blades accommodated in a plurality of cutting blade accommodating portions and/or replenishment of unused cutting blades thereto are performed manually by an operator. A cutting device is normally comprised so that it may detect such an operator's operation, and grasp|ascertain the accommodation status of the used cutting blade in a some cutting blade accommodating part, and an unused cutting blade.

단, 어떠한 에러가 발생하여 절삭 장치가 일시 정지한 상태에서 오퍼레이터가 이와 같은 조작을 실시한 경우에는, 복수의 절삭 블레이드 수용부에 있어서의 절삭 블레이드의 수용 상황을 절삭 장치가 정확하게 파악할 수 없을 우려가 있다. 그리고, 이와 같은 상황을 절삭 장치가 정확하게 파악할 수 없으면, 다양한 문제가 발생할 우려가 있다.However, when an operator performs such an operation while the cutting device is temporarily stopped due to an error, the cutting device may not be able to accurately grasp the state of accommodation of the cutting blades in the plurality of cutting blade accommodating units. . And, if the cutting device cannot grasp such a situation accurately, there is a possibility that various problems may arise.

예를 들어, 미사용의 절삭 블레이드가 수용된 절삭 블레이드 수용부에 대하여, 절삭 블레이드 반송 기구가 사용이 완료된 절삭 블레이드를 반입할 우려가 있다. 이 경우, 양 절삭 블레이드가 충돌하여, 절삭 블레이드 반송 기구 또는 미사용의 절삭 블레이드의 파손 등의 문제가 발생할 우려가 있다.For example, there exists a possibility that a cutting blade conveyance mechanism may carry in a used cutting blade with respect to the cutting blade accommodating part in which the unused cutting blade was accommodated. In this case, there is a possibility that both cutting blades collide, causing problems such as damage to the cutting blade conveying mechanism or unused cutting blades.

이상의 점을 감안하여, 본 발명의 목적은, 절삭 블레이드 교환 유닛을 구비하는 절삭 장치에 있어서, 이미 다른 절삭 블레이드가 수용되어 있는 절삭 블레이드 수용부에 대하여 절삭 블레이드가 반입되는 것을 방지하는 것이다.In view of the above, it is an object of the present invention to prevent a cutting blade from being carried into a cutting blade accommodating portion in which another cutting blade is already accommodated in a cutting device including a cutting blade exchange unit.

본 발명에 의하면, 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지된 그 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 회전 가능하게 장착한 절삭 유닛과, 그 절삭 유닛에 장착된 그 절삭 블레이드를 자동적으로 착탈하는 절삭 블레이드 교환 유닛을 구비한 절삭 장치로서, 그 절삭 블레이드 교환 유닛은, 그 절삭 블레이드를 개별적으로 수용하는 복수의 절삭 블레이드 수용부를 갖는 절삭 블레이드 스토커와, 그 절삭 블레이드 스토커와 그 절삭 유닛 사이에서 그 절삭 블레이드를 반송하는 절삭 블레이드 반송 기구를 구비하고, 그 절삭 블레이드 스토커는, 그 절삭 블레이드 수용부에 그 절삭 블레이드가 수용되어 있는지의 여부의 판정에 사용되는 수용 판정 유닛을 구비하고, 그 절삭 블레이드 반송 기구는, 그 수용 판정 유닛을 사용하여 그 절삭 블레이드가 수용되어 있지 않은 것으로 판정된 그 절삭 블레이드 수용부에 그 절삭 블레이드를 반입하는 절삭 장치가 제공된다.According to the present invention, a chuck table for holding a workpiece, a cutting unit rotatably mounted with a cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table, and the cutting blade mounted on the cutting unit are automatically installed A cutting apparatus having a detachable cutting blade exchange unit, the cutting blade exchange unit comprising: a cutting blade stocker having a plurality of cutting blade accommodating portions for individually accommodating the cutting blade; and a cutting blade stocker and the cutting unit. A cutting blade conveying mechanism for conveying the cutting blade is provided, and the cutting blade stocker includes an accommodation determination unit used for determining whether the cutting blade is accommodated in the cutting blade receiving portion, the cutting blade The conveying mechanism is provided with a cutting device for carrying the cutting blade into the cutting blade accommodating part determined that the cutting blade is not accommodated using the accommodation determination unit.

바람직하게는, 그 절삭 장치는, 그 절삭 블레이드 반송 기구의 동작을 제어하는 제어 유닛을 추가로 포함하고, 그 수용 판정 유닛은, 그 절삭 블레이드 수용부에 광을 조사하는 조명부와, 그 조명부로부터 광이 조사된 상태에서 광을 수광하여 전기 신호로 변환시키는 촬상 소자를 포함하고, 그 제어 유닛은, 그 수용 판정 유닛의 촬상에 의해 얻어지는 화상에 포함되는 그 절삭 블레이드에 대응하는 부분으로부터 휘도를 산출하는 휘도 산출부와, 그 절삭 블레이드 수용부에 그 절삭 블레이드가 수용되어 있는 상태에 있어서의 그 수용 판정 유닛에 의한 촬상에 의해 얻어지는 화상에 포함되는 그 절삭 블레이드에 대응하는 부분의 휘도와, 그 절삭 블레이드 수용부에 그 절삭 블레이드가 수용되지 않고, 또한 그 절삭 블레이드 수용부로부터 소정의 거리만큼 떨어진 위치에 그 절삭 블레이드가 위치된 상태에 있어서의 그 수용 판정 유닛에 의한 촬상에 의해 얻어지는 화상에 포함되는 그 절삭 블레이드에 대응하는 부분의 휘도를 구별하는 기준이 되는 임계값을 기억하는 임계값 기억부와, 그 휘도 산출부에서 산출된 그 휘도를 그 임계값 기억부에 기억된 그 임계값과 비교함으로써, 그 절삭 블레이드 수용부에 그 절삭 블레이드가 수용되어 있는지의 여부를 판정하는 판정부를 포함한다.Preferably, the cutting device further comprises a control unit for controlling the operation of the cutting blade conveying mechanism, the acceptance determination unit comprising: an illumination unit irradiating light to the cutting blade receiving unit; and light from the illumination unit an imaging element that receives light in this irradiated state and converts it into an electrical signal, the control unit calculating luminance from a portion corresponding to the cutting blade included in an image obtained by imaging of the acceptance determination unit The luminance calculation unit, the luminance of a portion corresponding to the cutting blade included in an image obtained by imaging by the accommodation determination unit in a state in which the cutting blade is accommodated in the cutting blade accommodating unit, and the cutting blade The cutting blade is not accommodated in the accommodating portion, and is included in the image obtained by imaging by the accommodation determination unit in a state where the cutting blade is positioned at a position separated by a predetermined distance from the cutting blade accommodating portion. By comparing the threshold value stored in the threshold value stored in the threshold value stored in the threshold value storage unit, the luminance calculated by the luminance calculation unit and a threshold value storage unit for storing a threshold value used as a criterion for discriminating the brightness of the portion corresponding to the cutting blade, and a judging unit for judging whether the cutting blade is accommodated in the cutting blade accommodating unit.

바람직하게는, 그 절삭 블레이드는, 그 절삭 블레이드의 종류 및 특성 중 일방 또는 쌍방을 기록한 기록부를 구비하고, 그 판정부는, 그 수용 판정 유닛에 의한 촬상에 의해 얻어지는 화상에 포함되는 그 기록부에 대응하는 부분에 기초하여 그 절삭 블레이드의 종류 및 특성 중 일방 또는 쌍방을 판정한다.Preferably, the cutting blade includes a recording unit for recording one or both of the types and characteristics of the cutting blade, and the determination unit corresponds to the recording unit included in the image obtained by imaging by the acceptance determination unit. One or both of the types and characteristics of the cutting blade are determined based on the part.

바람직하게는, 그 조명부는, 사광 (斜光) 조명이다.Preferably, the illuminating unit is a diagonal illumination.

바람직하게는, 그 절삭 블레이드 수용부는, 투명한 지지 부재의 표면에 형성되고, 그 수용 판정 유닛은, 그 지지 부재의 이면측에 배치 형성되고, 그 수용 판정 유닛은, 그 지지 부재를 개재하여, 그 절삭 블레이드를 촬상한다.Preferably, the cutting blade receiving portion is formed on the surface of the transparent support member, the acceptance determination unit is disposed on the back side of the support member, and the acceptance determination unit is formed through the support member, Image the cutting blade.

본 발명에 있어서는, 수용 판정 유닛을 사용하여 절삭 블레이드가 수용되어 있지 않은 것으로 판정된 절삭 블레이드 수용부에 절삭 블레이드가 반입된다. 이로써, 이미 다른 절삭 블레이드가 수용되어 있는 절삭 블레이드 수용부에 대하여 절삭 블레이드가 반입되는 것이 방지된다.In the present invention, the cutting blade is loaded into the cutting blade accommodating portion which is determined to have not been accommodated using the acceptance determination unit. Thereby, it is prevented that a cutting blade is carried in with respect to the cutting blade accommodating part in which another cutting blade is already accommodated.

도 1 은, 절삭 장치의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 절삭 유닛의 일례를 모식적으로 나타내는 분해 사시도이다.
도 3(A) 는, 절삭 블레이드의 일례의 표면측을 모식적으로 나타내는 사시도이고, 도 3(B) 는, 절삭 블레이드의 일례의 이면측을 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 4 는, 절삭 블레이드 교환 유닛의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 5 는, 절삭 블레이드 스토커의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 6 은, 착탈 유닛의 일례를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 7(A) 는, 절삭 블레이드 수용부에 다른 절삭 블레이드가 수용되어 있는 절삭 블레이드 스토커의 일부를 모식적으로 나타내는 측면도이고, 도 7(B) 는, 절삭 블레이드 수용부에 다른 절삭 블레이드가 수용되어 있지 않은 절삭 블레이드 스토커의 일부를 모식적으로 나타내는 측면도이다.1 is a perspective view schematically showing an example of a cutting device.
2 is an exploded perspective view schematically showing an example of a cutting unit.
Fig. 3(A) is a perspective view schematically showing the front side of an example of the cutting blade, and Fig. 3(B) is a perspective view schematically showing the back side of an example of the cutting blade.
4 is a perspective view schematically showing an example of a cutting blade exchange unit.
5 is a perspective view schematically showing an example of a cutting blade stocker.
6 is a perspective view schematically illustrating an example of a detachable unit.
7(A) is a side view schematically showing a part of a cutting blade stocker in which another cutting blade is accommodated in the cutting blade receiving portion, and FIG. 7(B) is a cutting blade receiving portion in which another cutting blade is accommodated. It is a side view schematically showing a part of the cutting blade stocker which is not present.

첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 실시형태에 대해 설명한다. 도 1 은, 실시형태에 관련된 절삭 장치를 모식적으로 나타내는 사시도이다. 또한, 도 1 에 나타내는 X 축 방향 (가공 이송 방향, 제 1 수평 방향, 전후 방향) 및 Y 축 방향 (산출 이송 방향, 제 2 수평 방향, 좌우 방향) 은, 수평면 상에 있어서 직교하는 방향이다. 또, 도 1 에 나타내는 Z 축 방향 (절입 이송 방향, 상하 방향, 높이 방향) 은, X 축 방향 및 Y 축 방향에 직교하는 방향 (연직 방향) 이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Embodiment of this invention is described with reference to an accompanying drawing. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view which shows typically the cutting device which concerns on embodiment. In addition, the X-axis direction (process feed direction, 1st horizontal direction, front-back direction) and Y-axis direction (calculation feed direction, 2nd horizontal direction, left-right direction) shown in FIG. 1 are directions orthogonal on a horizontal plane. In addition, the Z-axis direction (cutting feed direction, an up-down direction, a height direction) shown in FIG. 1 is a direction (vertical direction) orthogonal to an X-axis direction and a Y-axis direction.

도 1 에 나타내는 절삭 장치 (2) 는, 절삭 장치 (2) 를 구성하는 각 구성 요소를 지지 또는 수용하는 기대 (4) 를 구비한다. 기대 (4) 의 전단측의 모서리부에는, 기대 (4) 의 상면측에서 개구되는 직사각형상의 개구 (4a) 가 형성되어 있다.The cutting device 2 shown in FIG. 1 is provided with the base 4 which supports or accommodates each component which comprises the cutting device 2 . A rectangular opening 4a opened from the upper surface side of the base 4 is formed in a corner portion on the front end side of the base 4 .

개구 (4a) 의 측방에는, 기대 (4) 의 상면측에서 개구되고, 길이 방향이 X 축 방향을 따라 형성된 직사각형상의 개구 (4b) 가 형성되어 있다. 개구 (4a) 의 내부에는, 카세트 (8) 가 재치 (載置) 되는 카세트 재치대 (6) 가 형성되어 있다. 카세트 (8) 는, 절삭 장치 (2) 에 있어서 절삭되는 복수의 피가공물 (11) 을 수용 가능한 직방체상의 용기이다.On the side of the opening 4a, a rectangular opening 4b which is opened from the upper surface side of the base 4 and whose longitudinal direction is formed along the X-axis direction is formed. A cassette mounting table 6 on which the cassette 8 is mounted is formed inside the opening 4a. The cassette 8 is a rectangular parallelepiped container capable of accommodating the plurality of workpieces 11 to be cut by the cutting device 2 .

카세트 재치대 (6) 에는 승강 유닛 (도시 생략) 이 연결되어 있고, 이 승강 유닛은 카세트 재치대 (6) 를 Z 축 방향을 따라 이동 (승강) 시킨다. 그리고, 카세트 재치대 (6) 의 상면에는, 복수의 피가공물 (11) 이 수용된 카세트 (8) 가 재치된다. 또한, 도 1 에서는, 카세트 (8) 의 윤곽만이 이점쇄선으로 도시되어 있다.A raising/lowering unit (not shown) is connected to the cassette mounting table 6, and this lifting unit moves the cassette mounting table 6 along the Z-axis direction (elevating and lowering). And on the upper surface of the cassette mounting table 6, the cassette 8 in which the some to-be-processed object 11 was accommodated is mounted. Incidentally, in Fig. 1, only the outline of the cassette 8 is shown by a double-dotted line.

피가공물 (11) 은, 예를 들어, 실리콘 등의 반도체로 이루어지는 원반상의 웨이퍼이고, 대체로 평행한 표면 및 이면을 구비한다. 피가공물 (11) 은, 격자상으로 배열된 복수의 분할 예정 라인 (스트리트) 에 의해 복수의 직사각형상의 영역으로 구획되어 있다.The to-be-processed object 11 is a disk-shaped wafer which consists of semiconductors, such as silicon|silicone, for example, and is provided with the substantially parallel surface and back surface. The workpiece 11 is partitioned into a plurality of rectangular regions by a plurality of division lines (streets) arranged in a grid shape.

또, 피가공물 (11) 의 표면측의 분할 예정 라인에 의해 구획된 영역의 각각에는, IC 및 LSI 등의 반도체 디바이스가 형성되어 있다. 그리고, 절삭 장치 (2) 에 의해 피가공물 (11) 을 분할 예정 라인을 따라 절삭하여 분할하면 반도체 디바이스의 칩이 얻어진다.Moreover, semiconductor devices, such as an IC and an LSI, are formed in each area|region divided by the division schedule line on the surface side of the to-be-processed object 11. FIG. And when the to-be-processed object 11 is cut along the division scheduled line with the cutting device 2 and is divided|segmented, the chip|tip of a semiconductor device will be obtained.

피가공물 (11) 의 이면 (하면) 측에는, 피가공물 (11) 보다 직경이 큰 원형의 테이프 (다이싱 테이프) (13) 가 첩부되어 있다. 테이프 (13) 는, 예를 들어, 원형으로 형성된 필름상의 기재와, 기재 상에 형성된 점착제 (풀층) 를 구비한다.On the back surface (lower surface) side of the to-be-processed object 11, the circular tape (dicing tape) 13 whose diameter is larger than the to-be-processed object 11 is affixed. The tape 13 includes, for example, a film-like base material formed in a circle, and an adhesive (a glue layer) formed on the base material.

기재는, 예를 들어, 폴리올레핀, 폴리염화비닐 또는 폴리에틸렌테레프탈레이트 등의 수지로 이루어지고, 점착제는, 예를 들어, 에폭시계, 아크릴계 또는 고무계의 접착제 등으로 이루어진다. 또, 점착제로서, 자외선의 조사에 의해 경화되는 자외선 경화형의 수지가 사용되어도 된다.The base material is made of, for example, a resin such as polyolefin, polyvinyl chloride, or polyethylene terephthalate, and the pressure-sensitive adhesive is, for example, an epoxy-based, acrylic-based or rubber-based adhesive. Moreover, as an adhesive, UV curable resin hardened|cured by irradiation of an ultraviolet-ray may be used.

테이프 (13) 의 외주부는, SUS (스테인리스강) 등의 금속으로 이루어지는 환상의 프레임 (15) 에 첩부되어 있다. 프레임 (15) 의 중앙부에는, 피가공물 (11) 보다 직경이 큰 원상 (圓狀) 의 개구가 형성되어 있다.The outer peripheral part of the tape 13 is affixed to the annular frame 15 which consists of metals, such as SUS (stainless steel). A circular opening having a larger diameter than that of the object 11 is formed in the central portion of the frame 15 .

피가공물 (11) 을 프레임 (15) 의 개구의 내측에 배치하고, 테이프 (13) 의 중앙부를 피가공물 (11) 의 이면측에 첩부함과 함께 테이프 (13) 의 외주부를 프레임 (15) 에 첩부하면, 피가공물 (11) 이 테이프 (13) 를 개재하여 프레임 (15) 에 의해 지지된다.The to-be-processed object 11 is arrange|positioned inside the opening of the frame 15, the center part of the tape 13 is affixed to the back side of the to-be-processed object 11, and the outer periphery of the tape 13 is attached to the frame 15. When affixed, the to-be-processed object 11 is supported by the frame 15 via the tape 13. As shown in FIG.

또한, 피가공물 (11) 의 종류, 재질, 형상, 구조 및 크기 등에 제한은 없다. 피가공물 (11) 은, 예를 들어, 실리콘 이외의 반도체 (GaAs, InP, GaN 또는 SiC 등), 유리, 세라믹스, 수지 또는 금속 등으로 이루어지는 웨이퍼여도 된다. 또, 피가공물 (11) 에 형성되는 디바이스의 종류, 수량, 형상, 구조, 크기 및 배치 등에도 제한은 없으며, 피가공물 (11) 에는 디바이스가 형성되어 있지 않아도 된다.In addition, there are no restrictions on the type, material, shape, structure, size, etc. of the to-be-processed object 11 . The workpiece 11 may be, for example, a wafer made of a semiconductor other than silicon (such as GaAs, InP, GaN, or SiC), glass, ceramics, resin, or metal. Moreover, there is no restriction|limiting also in the kind, quantity, shape, structure, size, arrangement|positioning, etc. of the device formed in the to-be-processed object 11, The to-be-processed object 11 does not need to form a device.

기대 (4) 의 개구 (4b) 의 내부에는, 볼 나사식의 척 테이블 이동 기구 (10) 가 형성되어 있다. 척 테이블 이동 기구 (10) 는, 평판상의 이동 테이블 (10a) 을 구비하고 있고, 이동 테이블 (10a) 을 X 축 방향을 따라 이동시킬 수 있다.A ball screw type chuck table moving mechanism 10 is formed inside the opening 4b of the base 4 . The chuck table moving mechanism 10 is provided with the flat plate-shaped moving table 10a, and can move the moving table 10a along the X-axis direction.

또, 이동 테이블 (10a) 의 X 축 방향에 있어서의 일방측 및 타방측 (전방 및 후방) 에는, 척 테이블 이동 기구 (10) 의 상측을 덮고 X 축 방향을 따라 신축되는 벨로즈상의 방진 방적 커버 (12) 가 형성되어 있다.Moreover, on one side and the other side (front and rear) of the movement table 10a in the X-axis direction, it covers the upper side of the chuck table movement mechanism 10, and a bellows-shaped dustproof and dripproof cover expands and contracts along the X-axis direction. (12) is formed.

이동 테이블 (10a) 상에는, 피가공물 (11) 을 유지하는 척 테이블 (14) 이 형성되어 있다. 척 테이블 (14) 의 상면은, 수평면 (XY 평면) 에 대체로 평행한 면이고, 피가공물 (11) 을 유지하는 원상의 유지면 (14a) 을 구성하고 있다.On the moving table 10a, the chuck table 14 which holds the to-be-processed object 11 is formed. The upper surface of the chuck table 14 is a surface substantially parallel to a horizontal plane (XY plane), and comprises the circular holding surface 14a which holds the to-be-processed object 11. As shown in FIG.

유지면 (14a) 은, 척 테이블 (14) 의 내부에 형성된 유로 (도시 생략) 및 밸브 (도시 생략) 등을 개재하여, 이젝터 등의 흡인원 (도시 생략) 에 접속되어 있다. 또, 척 테이블 (14) 의 주위에는, 피가공물 (11) 을 지지하고 있는 프레임 (15) 을 파지하여 고정시키는 복수의 클램프 (16) 가 형성되어 있다.The holding surface 14a is connected to a suction source (not shown) such as an ejector via a flow path (not shown) and a valve (not shown) formed inside the chuck table 14 . Further, around the chuck table 14, a plurality of clamps 16 for holding and fixing the frame 15 supporting the workpiece 11 are formed.

척 테이블 이동 기구 (10) 는, 척 테이블 (14) 을 이동 테이블 (10a) 과 함께 X 축 방향을 따라 이동시킬 수 있다. 또, 척 테이블 (14) 은 모터 등의 회전 구동원 (도시 생략) 에 접속되어 있고, 회전 구동원은 유지면 (14a) 의 중심을 통과하는 Z 축 방향에 대체로 평행한 회전축의 둘레로 척 테이블 (14) 을 회전시킬 수 있다.The chuck table moving mechanism 10 can move the chuck table 14 together with the moving table 10a along the X-axis direction. Further, the chuck table 14 is connected to a rotational drive source (not shown) such as a motor, and the rotational drive source is connected to the chuck table 14 around a rotational shaft substantially parallel to the Z-axis direction passing through the center of the holding surface 14a. ) can be rotated.

개구 (4b) 의 전단부의 상방에는, Y 축 방향을 따라 배치된 1 쌍의 가이드 레일 (18) 이 형성되어 있다. 1 쌍의 가이드 레일 (18) 의 일방은, 수평면에 대체로 평행한 바닥벽과, 바닥벽의, 1 쌍의 가이드 레일 (18) 의 타방에서 먼 쪽의 단부로부터 세워져 형성되는 측벽을 구비한다. 동일하게, 1 쌍의 가이드 레일 (18) 의 타방은, 수평면에 대체로 평행한 바닥벽과, 바닥벽의, 1 쌍의 가이드 레일 (18) 의 일방에서 먼 쪽의 단부로부터 세워져 형성되는 측벽을 구비한다.Above the front end of the opening 4b, a pair of guide rails 18 arranged along the Y-axis direction are formed. One side of the pair of guide rails 18 is provided with a bottom wall substantially parallel to a horizontal plane, and a side wall which stands up from the edge part on the far side from the other side of the pair of guide rails 18 of a bottom wall. Similarly, the other side of the pair of guide rails 18 is provided with a bottom wall substantially parallel to the horizontal plane, and a side wall of the bottom wall that is formed by standing up from the end farther from one of the pair of guide rails 18 do.

그리고, 1 쌍의 가이드 레일 (18) 의 X 축 방향에 있어서의 간격은, 조정 가능하다. 예를 들어, 각 가이드 레일 (18) 의 바닥벽이 프레임 (15) 의 하면측을 지지한 상태에서, 그 측벽이 프레임 (15) 의 외주 가장자리와 접촉하도록, 1 쌍의 가이드 레일 (18) 의 X 축 방향에 있어서의 간격이 조정된다. 이로써, 피가공물 (11) 및 프레임 (15) 의 위치 맞춤이 실시된다.And the space|interval in the X-axis direction of a pair of guide rail 18 is adjustable. For example, in a state where the bottom wall of each guide rail 18 supports the lower surface side of the frame 15 , the side wall of the pair of guide rails 18 is in contact with the outer peripheral edge of the frame 15 . The spacing in the X-axis direction is adjusted. Thereby, alignment of the to-be-processed object 11 and the frame 15 is performed.

또, 기대 (4) 의 상면에는, 문형의 제 1 지지 구조 (20) 가 개구 (4b) 에 걸쳐지도록 배치되어 있다. 제 1 지지 구조 (20) 의 전면 (前面) 측 (가이드 레일 (18) 측) 에는, Y 축 방향을 따른 레일 (22) 이 고정되어 있다. 레일 (22) 의 전면측에는, 제 1 반송 유닛 이동 기구 (24) 를 개재하여 제 1 반송 유닛 (26) 이 연결되어 있다.Moreover, on the upper surface of the base 4, it is arrange|positioned so that the gate-shaped 1st support structure 20 may span the opening 4b. A rail 22 along the Y-axis direction is fixed to the front side (guide rail 18 side) of the first support structure 20 . The first conveying unit 26 is connected to the front side of the rail 22 via the 1st conveying unit moving mechanism 24. As shown in FIG.

제 1 반송 유닛 이동 기구 (24) 는, 레일 (22) 의 전면측을 슬라이드할 수 있고, 즉, Y 축 방향을 따라 이동할 수 있다. 또, 제 1 반송 유닛 이동 기구 (24) 는 에어 실린더 등의 승강 유닛을 구비하고 있고, 승강 유닛은 Z 축 방향을 따라 승강하는 로드를 갖는다.The first conveying unit moving mechanism 24 can slide on the front side of the rail 22 , that is, it can move along the Y-axis direction. Moreover, the 1st conveyance unit moving mechanism 24 is provided with raising/lowering units, such as an air cylinder, The raising/lowering unit has a rod which raises/lowers along the Z-axis direction.

이 승강 유닛의 로드의 하단부에는, 제 1 반송 유닛 (26) 이 고정되어 있다. 그 때문에, 제 1 반송 유닛 이동 기구 (24) 는, 레일 (22) 의 전면측을 슬라이드함으로써 제 1 반송 유닛 (26) 을 Y 축 방향을 따라 이동시키고, 또한/또는, 로드를 승강시킴으로써 제 1 반송 유닛 (26) 을 Z 축 방향을 따라 이동시킬 수 있다.A first conveying unit 26 is fixed to the lower end of the rod of the elevating unit. Therefore, the 1st conveying unit moving mechanism 24 moves the 1st conveying unit 26 along the Y-axis direction by sliding the front side of the rail 22, and/or by raising/lowering a rod, the 1st The conveying unit 26 can be moved along the Z-axis direction.

또한, 제 1 반송 유닛 (26) 은, 프레임 (15) 을 유지하는 복수의 흡인 패드를 구비한다. 흡인 패드의 하면은, 프레임 (15) 의 상면측을 흡인 유지하는 유지면을 구성하고 있다. 흡인 패드의 유지면은, 흡인 패드의 내부에 형성된 유로 (도시 생략), 당해 유로에 연통되는 배관 (도시 생략) 및 당해 배관에 있어서의 기체의 흐름을 제어하는 밸브 (도시 생략) 등을 개재하여, 이젝터 등의 흡인원 (도시 생략) 에 접속되어 있다.Further, the first conveying unit 26 is provided with a plurality of suction pads holding the frame 15 . The lower surface of the suction pad constitutes a holding surface that sucks and holds the upper surface side of the frame 15 . The holding surface of the suction pad is provided via a flow path (not shown) formed inside the suction pad, a pipe (not shown) communicating with the flow path, and a valve (not shown) for controlling the flow of gas in the pipe. , is connected to a suction source (not shown) such as an ejector.

또, 제 1 반송 유닛 (26) 의 개구 (4a) 측 (카세트 (8) 측) 의 단부에는, 프레임 (15) 을 파지하는 파지부 (26a) 가 형성되어 있다. 제 1 반송 유닛 이동 기구 (24) 는, 카세트 (8) 에 수용된 프레임 (15) 을 파지부 (26a) 가 파지한 상태의 제 1 반송 유닛 (26) 이 카세트 (8) 로부터 떨어지도록, Y 축 방향을 따라 이동할 (레일 (22) 의 전면측을 슬라이드할) 수 있다. 이 경우, 피가공물 (11) 이 프레임 (15) 과 함께 카세트 (8) 로부터 반출되고, 1 쌍의 가이드 레일 (18) 상에 배치된다.Moreover, the holding part 26a which grips the flame|frame 15 is formed in the edge part of the opening 4a side (cassette 8 side) of the 1st conveyance unit 26. As shown in FIG. The first conveying unit moving mechanism 24 has a Y axis so that the first conveying unit 26 in a state in which the holding portion 26a grips the frame 15 accommodated in the cassette 8 is separated from the cassette 8 . It can move along the direction (slide the front side of the rail 22). In this case, the to-be-processed object 11 is carried out from the cassette 8 together with the frame 15, and is arrange|positioned on the pair of guide rails 18. As shown in FIG.

동일하게, 제 1 반송 유닛 이동 기구 (24) 는, 1 쌍의 가이드 레일 (18) 상에 배치된 프레임 (15) 을 파지부 (26a) 가 파지한 상태의 제 1 반송 유닛 (26) 이 카세트 (8) 에 가까워지도록, Y 축 방향을 따라 이동할 (레일 (22) 의 전면측을 슬라이드할) 수 있다. 이 경우, 피가공물 (11) 이 프레임 (15) 과 함께 카세트 (8) 에 반입된다.Similarly, as for the 1st conveying unit moving mechanism 24, the 1st conveying unit 26 in a state in which the gripping part 26a gripped the frame 15 arrange|positioned on a pair of guide rails 18 is a cassette It is possible to move (slide the front side of the rail 22) along the Y-axis direction so as to approach (8). In this case, the workpiece 11 is loaded into the cassette 8 together with the frame 15 .

또한, 제 1 지지 구조 (20) 의 전면측에는, Y 축 방향을 따른 레일 (28) 이 고정되어 있다. 레일 (28) 의 전면측에는, 제 2 반송 유닛 이동 기구 (30) 를 개재하여 제 2 반송 유닛 (32) 이 연결되어 있다.Moreover, the rail 28 along the Y-axis direction is being fixed to the front side of the 1st support structure 20. As shown in FIG. The 2nd conveying unit 32 is connected to the front side of the rail 28 via the 2nd conveying unit moving mechanism 30. As shown in FIG.

제 2 반송 유닛 이동 기구 (30) 는, 레일 (28) 의 전면측을 슬라이드할 수 있고, 즉, Y 축 방향을 따라 이동할 수 있다. 또, 제 2 반송 유닛 이동 기구 (30) 는 에어 실린더 등의 승강 유닛을 구비하고 있고, 승강 유닛은 Z 축 방향을 따라 승강하는 로드를 갖는다.The second conveying unit moving mechanism 30 can slide on the front side of the rail 28 , that is, it can move along the Y-axis direction. Moreover, the 2nd conveyance unit moving mechanism 30 is equipped with raising/lowering units, such as an air cylinder, The raising/lowering unit has a rod which raises/lowers along the Z-axis direction.

이 승강 유닛의 로드의 하단부에는, 제 2 반송 유닛 (32) 이 고정되어 있다. 그 때문에, 제 2 반송 유닛 이동 기구 (30) 는, 레일 (28) 의 전면측을 슬라이드함으로써 제 2 반송 유닛 (32) 을 Y 축 방향을 따라 이동시키고, 또한/또는, 로드를 승강시킴으로써 제 2 반송 유닛 (32) 을 Z 축 방향을 따라 이동시킬 수 있다.A second conveying unit 32 is fixed to the lower end of the rod of the elevating unit. Therefore, the 2nd conveyance unit moving mechanism 30 moves the 2nd conveyance unit 32 along the Y-axis direction by sliding the front side of the rail 28, and/or the 2nd by raising/lowering a rod. The conveying unit 32 can be moved along the Z-axis direction.

또한, 제 2 반송 유닛 (32) 은, 프레임 (15) 을 유지하는 복수의 흡인 패드를 구비한다. 흡인 패드의 하면은, 프레임 (15) 의 상면측을 흡인 유지하는 유지면을 구성하고 있다. 흡인 패드의 유지면은, 흡인 패드의 내부에 형성된 유로 (도시 생략), 당해 유로에 연통되는 배관 (도시 생략) 및 당해 배관에 있어서의 기체의 흐름을 제어하는 밸브 (도시 생략) 등을 개재하여, 이젝터 등의 흡인원 (도시 생략) 에 접속되어 있다.Further, the second conveying unit 32 includes a plurality of suction pads holding the frame 15 . The lower surface of the suction pad constitutes a holding surface that sucks and holds the upper surface side of the frame 15 . The holding surface of the suction pad is provided via a flow path (not shown) formed inside the suction pad, a pipe (not shown) communicating with the flow path, and a valve (not shown) for controlling the flow of gas in the pipe. , is connected to a suction source (not shown) such as an ejector.

제 1 지지 구조 (20) 의 후방에는, 문형의 제 2 지지 구조 (34) 가 개구 (4b) 에 걸쳐지도록 배치되어 있다. 제 2 지지 구조 (34) 의 전면측 (제 1 지지 구조 (20) 측) 의 Y 축 방향에 있어서의 양 단부에는, 볼 나사식의 절삭 유닛 이동 기구 (36a, 36b) 가 형성되어 있다.At the rear of the first support structure 20, a gate-shaped second support structure 34 is arranged so as to span the opening 4b. Ball screw-type cutting unit moving mechanisms 36a and 36b are formed at both ends in the Y-axis direction of the front side (first support structure 20 side) of the second support structure 34 .

절삭 유닛 이동 기구 (36a) 의 하부에는, 피가공물 (11) 을 절삭하는 절삭 유닛 (38a) 이 고정되고, 또, 절삭 유닛 이동 기구 (36b) 의 하부에는, 피가공물 (11) 을 절삭하는 절삭 유닛 (38b) 이 고정되어 있다.A cutting unit 38a for cutting the work 11 is fixed to the lower portion of the cutting unit moving mechanism 36a, and a cutting unit for cutting the work 11 is fixed to the lower portion of the cutting unit moving mechanism 36b. The unit 38b is fixed.

그리고, 절삭 유닛 이동 기구 (36a) 는 절삭 유닛 (38a) 을 Y 축 방향 및/또는 Z 축 방향을 따라 이동시킬 수 있고, 또, 절삭 유닛 이동 기구 (36b) 는 절삭 유닛 (38b) 을 Y 축 방향 및/또는 Z 축 방향을 따라 이동시킬 수 있다.Then, the cutting unit moving mechanism 36a can move the cutting unit 38a along the Y-axis direction and/or the Z-axis direction, and the cutting unit moving mechanism 36b moves the cutting unit 38b along the Y-axis. direction and/or along the Z-axis direction.

도 2 는, 절삭 유닛 (38a) 을 모식적으로 나타내는 분해 사시도이다. 절삭 유닛 (38a) 은, 원통상의 하우징 (40) 을 구비한다. 하우징 (40) 에는, Y 축 방향을 따라 배치된 원통상의 스핀들 (회전축) (42) 이 수용되어 있다.2 is an exploded perspective view schematically showing the cutting unit 38a. The cutting unit 38a includes a cylindrical housing 40 . The housing 40 accommodates a cylindrical spindle (rotation shaft) 42 arranged along the Y-axis direction.

스핀들 (42) 의 선단부는 하우징 (40) 의 외부로 노출되어 있고, 이 선단부에는 마운트 (44) 가 고정되어 있다. 또, 스핀들 (42) 의 기단부 (타단측) 에는, 스핀들 (42) 을 회전시키는 모터 등의 회전 구동원 (도시 생략) 이 연결되어 있다.The distal end of the spindle 42 is exposed to the outside of the housing 40, and a mount 44 is fixed to the distal end. Moreover, a rotation drive source (not shown), such as a motor which rotates the spindle 42, is connected to the base end (other end side) of the spindle 42. As shown in FIG.

마운트 (44) 는, 원반상의 플랜지부 (46) 와, 플랜지부 (46) 의 표면 (46a) 의 중앙부로부터 돌출되는 원통상의 지지축 (48) 을 구비한다. 플랜지부 (46) 의 외주부의 표면 (46a) 측에는, 표면 (46a) 으로부터 돌출되는 환상의 볼록부 (46b) 가 형성되어 있다. 볼록부 (46b) 의 선단면 (46c) 은, 표면 (46a) 에 대하여 대체로 평행하게 형성되어 있다.The mount 44 includes a disk-shaped flange portion 46 and a cylindrical support shaft 48 protruding from the central portion of the surface 46a of the flange portion 46 . On the surface 46a side of the outer peripheral portion of the flange portion 46, an annular convex portion 46b protruding from the surface 46a is formed. The tip surface 46c of the convex portion 46b is formed substantially parallel to the surface 46a.

지지축 (48) 의 외주면에는, 나사부 (48a) 가 형성되어 있다. 또, 지지축 (48) 의 선단면의 중앙부에는 오목부 (48b) 가 형성되어 있다. 지지축 (48) 에는, 피가공물 (11) 을 절삭하는 환상의 절삭 블레이드 (50) 가 장착된다.A screw portion 48a is formed on the outer peripheral surface of the support shaft 48 . Moreover, the recessed part 48b is formed in the center part of the front-end|tip surface of the support shaft 48. As shown in FIG. An annular cutting blade 50 for cutting the workpiece 11 is attached to the support shaft 48 .

도 3(A) 는, 절삭 블레이드 (50) 의 표면측을 모식적으로 나타내는 사시도이고, 도 3(B) 는, 절삭 블레이드 (50) 의 이면측을 모식적으로 나타내는 사시도이다. 절삭 블레이드 (50) 는, 알루미늄 (Al) 등의 금속 재료로 이루어지는 환상의 기대 (52) 와, 기대 (52) 의 외주 가장자리를 따라 형성된 환상의 절삭날 (54) 을 구비한다.FIG. 3A is a perspective view schematically showing the front side of the cutting blade 50 , and FIG. 3B is a perspective view schematically showing the back side of the cutting blade 50 . The cutting blade 50 is provided with the annular base 52 which consists of metal materials, such as aluminum (Al), and the annular cutting edge 54 formed along the outer peripheral edge of the base 52.

기대 (52) 의 중앙부에는, 지지축 (48) 이 삽입 가능하도록 기대 (52) 를 두께 방향으로 관통하는 개구 (52a) 가 형성되어 있다. 또, 기대 (52) 의 개구 (52a) 의 주위에는, 기대 (52) 의 두께 방향을 따라 표면측으로 돌출되는 환상의 볼록부 (52b) 가 형성되어 있다.In the central part of the base 52, the opening 52a which penetrates the base 52 in the thickness direction so that the support shaft 48 may be inserted is formed. Moreover, around the opening 52a of the base 52, the annular convex part 52b which protrudes to the surface side along the thickness direction of the base 52 is formed.

또, 기대 (52) 의 이면측에는, 절삭 블레이드 (50) 의 종류 및 특성 중 일방 또는 쌍방을 기록한 기록부 (52c) 가 형성되어 있다. 기록부 (52c) 는, 예를 들어, 일차원 코드 (바코드) 또는 이차원 코드 (QR (Quick Response) 코드 (등록 상표) 등) 이다.Moreover, on the back surface side of the base 52, the recording part 52c which recorded one or both of the types and characteristics of the cutting blade 50 is formed. The recording unit 52c is, for example, a one-dimensional code (bar code) or a two-dimensional code (QR (Quick Response) code (registered trademark) or the like).

절삭날 (54) 은, 예를 들어, 다이아몬드 등으로 이루어지는 지립을 니켈 도금층으로 고정시킴으로써 형성된다. 단, 절삭날 (54) 의 지립 및 결합재의 재질에 제한은 없으며, 피가공물 (11) 의 재질 및 가공 목적 등에 따라 적절히 선택된다.The cutting edge 54 is formed by fixing the abrasive grain which consists of diamond etc. with a nickel plating layer, for example. However, the material of the abrasive grain of the cutting edge 54 and the binder is not limited, and it is appropriately selected according to the material of the to-be-processed object 11, a processing purpose, etc.

도 2 를 다시 참조하여, 절삭 유닛 (38a) 의 나머지의 구성 요소에 대해 설명한다. 지지축 (48) 의 나사부 (48a) 에는, 절삭 블레이드 (50) 를 고정시키기 위한 환상의 너트 (56) 가 체결된다. 너트 (56) 의 중앙부에는, 지지축 (48) 의 직경에 대응하는 원형의 개구 (56a) 가 형성되어 있다.Referring again to FIG. 2 , the remaining components of the cutting unit 38a will be described. An annular nut 56 for fixing the cutting blade 50 is fastened to the threaded portion 48a of the support shaft 48 . A circular opening 56a corresponding to the diameter of the support shaft 48 is formed in the central portion of the nut 56 .

개구 (56a) 에는, 지지축 (48) 에 형성된 나사부 (48a) 에 대응하는 나사홈이 형성되어 있다. 또, 너트 (56) 에는, 너트 (56) 를 두께 방향으로 관통하는 복수의 관통공 (56b) 이, 너트 (56) 의 둘레 방향을 따라 대체로 등간격으로 형성되어 있다.A screw groove corresponding to the screw portion 48a formed in the support shaft 48 is formed in the opening 56a. Moreover, in the nut 56, the some through-hole 56b which penetrates the nut 56 in the thickness direction is formed along the circumferential direction of the nut 56 at substantially equal intervals.

절삭 블레이드 (50) 는, 기대 (52) 의 개구 (52a) 에 지지축 (48) 이 삽입되도록, 마운트 (44) 에 장착된다. 그리고, 너트 (56) 를 지지축 (48) 의 나사부 (48a) 에 나사 결합하여 체결하면, 절삭 블레이드 (50) 가 플랜지부 (46) 의 선단면 (46c) 과 너트 (56) 에 의해 협지된다. 이로써, 절삭 블레이드 (50) 가 스핀들 (42) 의 선단부에 고정된다.The cutting blade 50 is mounted on a mount 44 such that the support shaft 48 is inserted into the opening 52a of the base 52 . Then, when the nut 56 is screwed to the threaded portion 48a of the support shaft 48 and fastened, the cutting blade 50 is clamped by the distal end surface 46c of the flange portion 46 and the nut 56 . . Thereby, the cutting blade 50 is fixed to the front end of the spindle 42 .

또한, 여기서는, 절삭 유닛 (38a) 에 대해 설명하였지만, 절삭 유닛 (38b) 도 절삭 유닛 (38a) 과 동일한 구성을 갖는다. 그리고, 절삭 유닛 (38a) 에 장착된 절삭 블레이드 (50) 와 절삭 유닛 (38b) 에 장착된 절삭 블레이드 (50) 는, 서로 대면하도록 배치된다.In addition, although the cutting unit 38a was demonstrated here, the cutting unit 38b also has the same structure as the cutting unit 38a. And the cutting blade 50 attached to the cutting unit 38a and the cutting blade 50 attached to the cutting unit 38b are arrange|positioned so that they may face each other.

또한, 도 1 에 나타내는 바와 같이, X 축 방향에 있어서 절삭 유닛 (38a, 38b) 에 인접하는 위치에는 척 테이블 (14) 에 유지된 피가공물 (11) 등을 촬상하는 카메라 (60) 가 형성되어 있다.In addition, as shown in Fig. 1, a camera 60 for imaging the workpiece 11 held by the chuck table 14 and the like is provided at a position adjacent to the cutting units 38a and 38b in the X-axis direction. have.

카메라 (60) 는, 예를 들어, 가시광을 수광하여 전기 신호로 변환시키는 촬상 소자를 구비하는 가시광 카메라, 또는, 적외선을 수광하여 전기 신호로 변환시키는 촬상 소자를 구비하는 적외선 카메라 등에 의해 구성된다.The camera 60 is configured by, for example, a visible light camera provided with an imaging element that receives visible light and converts it into an electrical signal, or an infrared camera that includes an imaging element that receives infrared light and converts it into an electrical signal.

절삭 장치 (2) 에 있어서는, 예를 들어, 척 테이블 (14) 상의 피가공물 (11) 을 카메라 (60) 로 촬상함으로써 취득된 화상에 기초하여, 피가공물 (11) 과 절삭 유닛 (38a, 38b) 의 위치를 맞출 수 있다.In the cutting device 2, for example, based on the image acquired by imaging the to-be-processed object 11 on the chuck table 14 with the camera 60, the to-be-processed object 11 and the cutting units 38a, 38b ) can be positioned.

또, 개구 (4b) 에서 보아 개구 (4a) 와는 반대측의 개구 (4b) 의 측방에는, 세정 유닛 (62) 이 배치되어 있다. 세정 유닛 (62) 은, 통상 (筒狀) 의 세정 공간 내에서 피가공물 (11) 을 유지하는 스피너 테이블 (62a) 을 구비하고 있다.Moreover, the cleaning unit 62 is arrange|positioned on the side of the opening 4b on the opposite side to the opening 4a as seen from the opening 4b. The washing unit 62 is equipped with a spinner table 62a which holds the to-be-processed object 11 in the normal washing|cleaning space.

스피너 테이블 (62a) 에는, 스피너 테이블 (62a) 을 Z 축 방향에 대체로 평행한 회전축의 둘레로 회전시키는 모터 등의 회전 구동원 (도시 생략) 이 연결되어 있다. 스피너 테이블 (62a) 의 상방에는, 스피너 테이블 (62a) 에 의해 유지된 피가공물 (11) 을 향하여 세정용의 유체 (예를 들어, 물과 에어를 혼합한 혼합 유체) 를 분사하는 노즐 (62b) 이 배치되어 있다.A rotational drive source (not shown), such as a motor which rotates the spinner table 62a around the rotation axis substantially parallel to the Z-axis direction, is connected to the spinner table 62a. Above the spinner table 62a, a nozzle 62b that jets a cleaning fluid (for example, a mixed fluid mixed with water and air) toward the workpiece 11 held by the spinner table 62a. this is placed

절삭 장치 (2) 에 있어서는, 예를 들어, 피가공물 (11) 을 유지하는 스피너 테이블 (62a) 을 회전시키면서, 노즐 (62b) 로부터 피가공물 (11) 을 향하여 유체를 분사함으로써, 피가공물 (11) 을 세정할 수 있다.In the cutting device 2, for example, while rotating the spinner table 62a holding the workpiece 11, the fluid is sprayed from the nozzle 62b toward the workpiece 11, whereby the workpiece 11 is ) can be cleaned.

또, 제 2 지지 구조 (34) 의 이면측 (후방측) 에는, 절삭 블레이드 (50) 를 교환하는 절삭 블레이드 교환 유닛 (64) 이 형성되어 있다. 도 4 는, 절삭 블레이드 교환 유닛 (64) 을 모식적으로 나타내는 사시도이다. 절삭 블레이드 교환 유닛 (64) 은, 복수의 절삭 블레이드 (50) 를 유지하여 보관하는 1 쌍의 절삭 블레이드 스토커 (70a, 70b) 를 구비한다.Moreover, on the back side (rear side) of the 2nd support structure 34, the cutting blade exchange unit 64 which replaces the cutting blade 50 is formed. 4 is a perspective view schematically showing the cutting blade exchange unit 64 . The cutting blade exchange unit 64 includes a pair of cutting blade stockers 70a and 70b for holding and storing the plurality of cutting blades 50 .

절삭 블레이드 스토커 (70a, 70b) 는, Y 축 방향을 따라 서로 대향하도록 배치된다. 절삭 블레이드 스토커 (70a, 70b) 에는, 피가공물 (11) 의 절삭에 사용된 사용이 완료된 절삭 블레이드 (50) 및 교환용의 절삭 블레이드 (50) (미사용의 절삭 블레이드 (50)) 가 보관된다.The cutting blade stockers 70a and 70b are arranged to face each other along the Y-axis direction. In the cutting blade stockers 70a and 70b, the used cutting blade 50 used for cutting the workpiece 11 and the replacement cutting blade 50 (unused cutting blade 50) are stored.

절삭 블레이드 스토커 (70a, 70b) 는, Z 축 방향을 따라 배치된 기둥상의 지지 구조 (72) 를 구비한다. 지지 구조 (72) 는, 예를 들어, 제 2 지지 구조 (34) (도 1 참조) 의 후방에 형성되고, 기대 (4) 의 상면에 고정된다. 단, 지지 구조 (72) 의 설치 장소에 제한은 없다.The cutting blade stockers 70a and 70b are provided with a columnar support structure 72 arranged along the Z-axis direction. The support structure 72 is formed in the back of the 2nd support structure 34 (refer FIG. 1), and is fixed to the upper surface of the base 4, for example. However, there is no restriction|limiting in the installation place of the support structure 72. As shown in FIG.

지지 구조 (72) 에는, Y 축 방향을 따라 배치된 원통상의 스핀들 (74) 이 수용되어 있다. 스핀들 (74) 의 선단부 (일단측) 는 지지 구조 (72) 의 측면으로부터 노출되어 있고, 스핀들 (74) 의 기단부 (타단측) 에는 모터 등의 회전 구동원 (도시 생략) 이 연결되어 있다.A cylindrical spindle 74 arranged along the Y-axis direction is accommodated in the support structure 72 . The front end (one end side) of the spindle 74 is exposed from the side surface of the support structure 72 , and a rotational drive source (not shown) such as a motor is connected to the base end (the other end side) of the spindle 74 .

또, 스핀들 (74) 의 선단부에는, 원반상의 지지 부재 (76) 가 고정되어 있다. 지지 부재 (76) 는, 회전 구동원으로부터 스핀들 (74) 을 통하여 전달되는 동력에 의해, Y 축 방향에 대체로 평행한 회전축의 둘레로 회전한다.Moreover, the disk-shaped support member 76 is being fixed to the front-end|tip part of the spindle 74. As shown in FIG. The support member 76 rotates about a rotational axis generally parallel to the Y-axis direction by the power transmitted from the rotational driving source through the spindle 74 .

도 5 는, 절삭 블레이드 스토커 (70a) 를 모식적으로 나타내는 사시도이다. 또한, 이하에서는 절삭 블레이드 스토커 (70a) 에 대해 설명하지만, 절삭 블레이드 스토커 (70b) 도 절삭 블레이드 스토커 (70a) 와 동일하게 구성된다.5 is a perspective view schematically showing the cutting blade stocker 70a. In addition, although the cutting blade stocker 70a is demonstrated below, the cutting blade stocker 70b is also comprised similarly to the cutting blade stocker 70a.

지지 부재 (76) 는, 서로 대체로 평행한 표면 (76a) 및 이면 (76b) 을 갖고, 스핀들 (74) 의 선단부는 지지 부재 (76) 의 이면 (76b) 측에 고정되어 있다. 그리고, 지지 부재 (76) 의 표면 (76a) 측에는, 절삭 블레이드 (50) 를 보관하는 복수의 절삭 블레이드 수용부 (78) 가 형성되어 있다.The support member 76 has a surface 76a and a back surface 76b that are substantially parallel to each other, and the tip end of the spindle 74 is fixed to the back surface 76b side of the support member 76 . And on the surface 76a side of the support member 76, the some cutting blade accommodating part 78 which holds the cutting blade 50 is formed.

구체적으로는, 지지 부재 (76) 에는, 지지 부재 (76) 를 두께 방향 (Y 축 방향) 으로 관통하는 복수의 원형의 개구 (76c) 가 형성된다. 예를 들어, 복수의 개구 (76c) 는 지지 부재 (76) 의 둘레 방향을 따라 대체로 등간격으로 형성된다.Specifically, the support member 76 is provided with a plurality of circular openings 76c penetrating the support member 76 in the thickness direction (Y-axis direction). For example, the plurality of openings 76c are formed at substantially equal intervals along the circumferential direction of the support member 76 .

개구 (76c) 에는, 투명한 재질로 이루어지고, 또한 절삭 블레이드 (50) 를 지지하는 원반상의 지지 부재 (80) 가 끼워넣어진다. 그리고, 지지 부재 (80) 는, 개구 (76c) 의 내부에서 지지 부재 (76) 에 고정된다.A disk-shaped support member 80 made of a transparent material and supporting the cutting blade 50 is fitted into the opening 76c. And the support member 80 is fixed to the support member 76 inside the opening 76c.

지지 부재 (80) 의 중앙부에는, 지지 부재 (80) 의 표면 (80a) 으로부터 돌출되는 원통상의 보스부 (지지축) (82) 가 형성되어 있다. 보스부 (82) 는, 예를 들어, 지지 부재 (80) 와 동일한 투명한 재질로 이루어지고, 지지 부재 (80) 의 중앙부에 고정된다.In the central portion of the support member 80 , a cylindrical boss portion (support shaft) 82 protruding from the surface 80a of the support member 80 is formed. The boss portion 82 is made of, for example, the same transparent material as the support member 80 , and is fixed to the central portion of the support member 80 .

보스부 (82) 는, 그 직경이 절삭 블레이드 (50) 의 기대 (52) 에 형성된 개구 (52a) (도 2 참조) 의 직경에 대응하도록 형성되어 있다. 즉, 보스부 (82) 는, 기대 (52) 의 개구 (52a) 에 삽입 가능하게 되어 있다.The boss part 82 is formed so that its diameter may correspond to the diameter of the opening 52a (refer FIG. 2) formed in the base 52 of the cutting blade 50. As shown in FIG. That is, the boss part 82 is insertable into the opening 52a of the base 52. As shown in FIG.

기대 (52) 의 개구 (52a) 에 보스부 (82) 가 삽입되면, 절삭 블레이드 (50) 가 지지 부재 (80) 의 표면 (80a) 과 보스부 (82) 에 의해 지지된다. 즉, 절삭 블레이드 수용부 (78) 는, 지지 부재 (80) 의 표면 (80a) 과 보스부 (82) 에 의해 구성된다.When the boss portion 82 is inserted into the opening 52a of the base 52 , the cutting blade 50 is supported by the surface 80a of the support member 80 and the boss portion 82 . That is, the cutting blade receiving portion 78 is constituted by the surface 80a of the support member 80 and the boss portion 82 .

또, 지지 부재 (76) 의 이면 (76b) 측에는, 지지 구조 (72) 의 측면에 고정된 촬상 유닛 (수용 판정 유닛) (86) 이 형성되어 있다. 촬상 유닛 (86) 은, 대물 렌즈 (86a) 와, 대물 렌즈 (86a) 를 둘러싸도록 형성된 환상의 조명부 (86b) 와, 조명부 (86b) 로부터 광이 조사된 상태에서 대물 렌즈 (86a) 를 통과한 가시광 또는 적외선 등의 광을 수광하여 전기 신호로 변환시키는 촬상 소자 (도시 생략) 를 갖는다.Moreover, on the back surface 76b side of the support member 76, the imaging unit (accommodation determination unit) 86 fixed to the side surface of the support structure 72 is formed. The imaging unit 86 includes an objective lens 86a, an annular illuminating unit 86b formed to surround the objective lens 86a, and a light irradiated from the illuminating unit 86b passing through the objective lens 86a. It has an imaging element (not shown) which receives light, such as visible light or infrared light, and converts it into an electric signal.

조명부 (86b) 는, 예를 들어, 광이 집약되도록 지지 부재 (76) 의 이면 (76b) 측을 향하여 비스듬하게 가시광 또는 적외선을 조사하는 사광 조명이다. 또, 촬상 유닛 (86) 은, Y 축 방향에 있어서 지지 부재 (76) 와 중첩되는 위치에 배치되어 있고, 촬상 유닛 (86) 과 대향하는 위치에 위치된 절삭 블레이드 수용부 (78) 를 촬상한다.The illumination unit 86b is, for example, a diagonal illumination that irradiates visible light or infrared rays obliquely toward the back surface 76b side of the support member 76 so that the light is concentrated. Moreover, the imaging unit 86 is arrange|positioned at the position overlapping with the support member 76 in the Y-axis direction, and the cutting blade accommodating part 78 located in the position opposite to the imaging unit 86 is imaged. .

그리고, 절삭 장치 (2) 에 있어서는, 촬상 유닛 (86) 에 의한 촬상에 의해 얻어진 화상에 기초하여 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 절삭 블레이드 (50) 가 수용되어 있는지의 여부가 판정된다. 또한, 이 판정의 상세한 내용에 대해서는 후술한다.And in the cutting device 2, it is determined whether the cutting blade 50 is accommodated in the cutting blade accommodating part 78 based on the image obtained by imaging by the imaging unit 86. In addition, the detailed content of this determination is mentioned later.

또, 지지 부재 (76) 를 회전시키면, 절삭 블레이드 수용부 (78) 가 지지 부재 (76) 의 둘레 방향을 따라 이동하고, 촬상 유닛 (86) 에 대향하는 절삭 블레이드 수용부 (78) 가 변경된다. 이로써, 촬상 유닛 (86) 에 의한 촬상의 대상이 되는 절삭 블레이드 수용부 (78) 가 선택된다.Moreover, when the support member 76 is rotated, the cutting blade accommodating part 78 moves along the circumferential direction of the support member 76, and the cutting blade accommodating part 78 opposite to the imaging unit 86 is changed. . Thereby, the cutting blade accommodating part 78 used as the object of imaging by the imaging unit 86 is selected.

지지 부재 (80) 의 재질은, 촬상 유닛 (86) 의 촬상에 이용되는 광의 종류에 따라 적절히 선택된다. 예를 들어, 조명부 (86b) 로부터 조사되는 광이 가시광인 경우, 지지 부재 (80) 는 가시광이 투과하는 부재에 의해 구성된다. 지지 부재 (80) 는, 예를 들어, 플라스틱 또는 유리 (석영 유리, 붕규산 유리 등) 등으로 이루어진다. 또, 보스부 (82) 에도, 지지 부재 (80) 와 동일한 재료를 사용할 수 있다.The material of the support member 80 is appropriately selected according to the kind of light used for imaging by the imaging unit 86 . For example, when the light irradiated from the illumination portion 86b is visible light, the supporting member 80 is constituted by a member through which the visible light is transmitted. The support member 80 is made of plastic or glass (quartz glass, borosilicate glass, etc.), for example. Moreover, for the boss part 82, the same material as the support member 80 can be used.

또한, 지지 부재 (76) 에 개구 (76c) 및 지지 부재 (80) 를 형성하는 대신에, 지지 부재 (76) 자체를 플라스틱 또는 유리 등의 투명한 재료에 의해 구성해도 된다. 이 경우에는, 지지 부재 (76) 의 표면 (76a) 으로부터 돌출되는 복수의 보스부 (82) 가 형성되고, 지지 부재 (76) 의 표면 (76a) 과 보스부 (82) 에 의해 절삭 블레이드 수용부 (78) 가 구성된다.Further, instead of forming the opening 76c and the supporting member 80 in the supporting member 76, the supporting member 76 itself may be made of a transparent material such as plastic or glass. In this case, a plurality of boss portions 82 protruding from the surface 76a of the support member 76 are formed, and the cutting blade receiving portion is formed by the surface 76a and the boss portion 82 of the support member 76 . (78) is constructed.

도 4 에 나타내는 바와 같이, 절삭 블레이드 스토커 (70a, 70b) 는, 절삭 블레이드 스토커 (70a) 의 지지 부재 (76) 의 표면 (76a) 과 절삭 블레이드 스토커 (70b) 의 지지 부재 (76) 의 표면 (76a) 이 대면하도록, 서로 이격된 상태로 배치된다. 그리고, 정면에서 봤을 때에 절삭 블레이드 스토커 (70a, 70b) 의 사이에는, 절삭 블레이드 (50) 를 유지하여 반송하는 절삭 블레이드 반송 기구 (88) 가 형성되어 있다.As shown in Fig. 4, the cutting blade stockers 70a and 70b are a surface 76a of the supporting member 76 of the cutting blade stocker 70a and a surface of the supporting member 76 of the cutting blade stocker 70b ( 76a) are arranged to face each other, spaced apart from each other. And a cutting blade conveyance mechanism 88 for holding and conveying the cutting blade 50 is formed between the cutting blade stockers 70a and 70b when viewed from the front.

절삭 블레이드 반송 기구 (88) 는, 후술하는 착탈 유닛 (착탈 기구) (98) 을 이동시키는 착탈 유닛 이동 기구 (90) 를 구비한다. 착탈 유닛 이동 기구 (90) 는, X 축 방향 및 Y 축 방향과 대체로 평행하게 배치된 판상의 기대 (90a) 를 구비한다. 기대 (90a) 는, 예를 들어, 제 2 지지 구조 (34) (도 1 참조) 의 후방에 배치된다.The cutting blade conveyance mechanism 88 is provided with the attachment/detachment unit movement mechanism 90 which moves the attachment/detachment unit (attachment mechanism) 98 mentioned later. The attachment/detachment unit movement mechanism 90 is provided with the plate-shaped base 90a arrange|positioned substantially parallel to the X-axis direction and the Y-axis direction. The base 90a is, for example, disposed behind the second support structure 34 (see FIG. 1 ).

기대 (90a) 의 하면측에는, X 축 방향을 따라 배치된 볼 나사 (92) 가 고정되어 있다. 또, 볼 나사 (92) 에는, 직방체상의 이동 블록 (94) 이 나사 결합되어 있고, 이동 블록 (94) 의 하면측에는, 측면에서 봤을 때에 コ 자 (U 자) 형으로 형성된 지지 부재 (96) 가 고정되어 있다. 지지 부재 (96) 는, 절삭 블레이드 (50) 및 너트 (56) (도 2 참조) 의 착탈을 실시하는 착탈 유닛 (98) 을 지지하고 있다.A ball screw 92 arranged along the X-axis direction is fixed to the lower surface side of the base 90a. Further, a rectangular parallelepiped moving block 94 is screwed to the ball screw 92, and on the lower surface side of the moving block 94, a support member 96 formed in a U-shape when viewed from the side is provided. It is fixed. The support member 96 supports the attachment/detachment unit 98 which attaches and detaches the cutting blade 50 and the nut 56 (refer FIG. 2).

볼 나사 (92) 의 단부에는, 펄스 모터 (도시 생략) 가 접속되어 있다. 이 펄스 모터에 의해 볼 나사 (92) 를 회전시키면, 지지 부재 (96) 에 의해 지지된 착탈 유닛 (98) 이 볼 나사 (92) 를 따라 X 축 방향으로 이동한다. 이로써, 착탈 유닛 (98) 의 X 축 방향에 있어서의 위치가 제어된다.A pulse motor (not shown) is connected to the end of the ball screw 92 . When the ball screw 92 is rotated by this pulse motor, the detachable unit 98 supported by the support member 96 moves along the ball screw 92 in the X-axis direction. Thereby, the position in the X-axis direction of the attachment/detachment unit 98 is controlled.

또, 착탈 유닛 이동 기구 (90) 는, 기대 (90a) 를 Y 축 방향을 따라 이동시키는 볼 나사식의 Y 축 이동 기구 (도시 생략) 를 구비한다. 이 Y 축 이동 기구에 의해, 착탈 유닛 (98) 의 Y 축 방향에 있어서의 위치가 제어된다.Moreover, the attachment/detachment unit movement mechanism 90 is equipped with the ball screw type Y-axis movement mechanism (not shown) which moves the base 90a along a Y-axis direction. By this Y-axis movement mechanism, the position in the Y-axis direction of the attachment/detachment unit 98 is controlled.

도 6 은, 착탈 유닛 (98) 을 모식적으로 나타내는 사시도이다. 착탈 유닛 (98) 을 지지하는 지지 부재 (96) 는, 이동 블록 (94) 의 하면측에 고정된 판상의 상벽부 (96a) 와, 상벽부 (96a) 의 후방측의 단부에서 하방을 향하여 돌출되는 기둥상의 측벽부 (96b) 와, 측벽부 (96b) 의 하단부에서 전방측으로 돌출되고, 상벽부 (96a) 와 대체로 평행하게 배치된 판상의 지지부 (96c) 를 구비한다.6 : is a perspective view which shows the attachment/detachment unit 98 typically. The support member 96 for supporting the detachable unit 98 protrudes downward from the plate-shaped upper wall portion 96a fixed to the lower surface side of the moving block 94 and the rear end of the upper wall portion 96a. A columnar side wall portion 96b to be used, and a plate-shaped support portion 96c protruding forward from the lower end of the side wall portion 96b and disposed substantially parallel to the upper wall portion 96a are provided.

착탈 유닛 (98) 은, 지지 부재 (96) 의 지지부 (96c) 에 의해 지지되어 있다. 착탈 유닛 (98) 은, 절삭 블레이드 (50) 의 착탈을 실시하는 블레이드 착탈 유닛 (100) 과, 절삭 블레이드 (50) 를 고정시키기 위한 너트 (56) (도 2 참조) 의 착탈을 실시하는 너트 착탈 유닛 (130) 을 구비한다.The detachable unit 98 is supported by the support part 96c of the support member 96 . The attaching/detaching unit 98 is a nut attaching/detaching unit 100 for attaching and detaching the cutting blade 50 and a nut 56 for fixing the cutting blade 50 (refer to FIG. 2 ). A unit 130 is provided.

블레이드 착탈 유닛 (100) 및 너트 착탈 유닛 (130) 은, 지지 부재 (96) 의 지지부 (96c) 상에 고정되어 있다. 블레이드 착탈 유닛 (100) 은, 회전 구동원을 구성하는 모터 (102) 와, 모터 (102) 에 접속된 동력 전달 기구 (104) 를 구비한다. 모터 (102) 와 동력 전달 기구 (104) 는, 서로 인접하도록 X 축 방향을 따라 배치되어 있다.The blade attaching and detaching unit 100 and the nut attaching and detaching unit 130 are being fixed on the support part 96c of the support member 96 . The blade attachment/detachment unit 100 includes a motor 102 constituting a rotation drive source, and a power transmission mechanism 104 connected to the motor 102 . The motor 102 and the power transmission mechanism 104 are arranged along the X-axis direction so as to be adjacent to each other.

모터 (102) 는, 중공의 입방체상으로 형성되고, 로터 및 스테이터 등의 구성 요소를 수용하는 케이싱 (102a) 과, 로터와 접속되고, Z 축 방향을 따라 배치된 스핀들 (도시 생략) 을 구비한다. 모터 (102) 의 스핀들의 선단부는 케이싱 (102a) 의 상면으로부터 노출되어 있고, 스핀들의 선단부에는 원반상의 활차 (102b) 가 고정되어 있다.The motor 102 is formed in a hollow cube shape and includes a casing 102a for accommodating components such as a rotor and a stator, and a spindle (not shown) connected to the rotor and arranged along the Z-axis direction. . The tip of the spindle of the motor 102 is exposed from the upper surface of the casing 102a, and a disc-shaped pulley 102b is fixed to the tip of the spindle.

동력 전달 기구 (104) 는, 중공의 입방체상으로 형성된 케이싱 (104a) 과, 케이싱 (104a) 에 수용되고, Z 축 방향을 따라 배치된 스핀들 (도시 생략) 을 구비한다. 동력 전달 기구 (104) 의 스핀들의 선단부는 케이싱 (104a) 의 상면으로부터 노출되어 있고, 스핀들의 선단부에는 원반상의 활차 (104b) 가 고정되어 있다.The power transmission mechanism 104 includes a casing 104a formed in the shape of a hollow cube, and a spindle (not shown) accommodated in the casing 104a and disposed along the Z-axis direction. The tip of the spindle of the power transmission mechanism 104 is exposed from the upper surface of the casing 104a, and a disk-shaped pulley 104b is fixed to the tip of the spindle.

케이싱 (104a) 에는, 케이싱 (104a) 을 좌우 방향 (Y 축 방향) 으로 관통하는 관통공 (104c) 이 형성되어 있다. 이 관통공 (104c) 에는, 원통상의 샤프트 (106) 가 케이싱 (104a) 을 관통하도록 삽입되어 있고, 샤프트 (106) 의 양 단부는 케이싱 (104a) 의 양 측면으로부터 노출되어 있다.The casing 104a is provided with a through hole 104c penetrating the casing 104a in the left-right direction (Y-axis direction). In this through hole 104c, a cylindrical shaft 106 is inserted so as to pass through the casing 104a, and both ends of the shaft 106 are exposed from both sides of the casing 104a.

샤프트 (106) 는, Y 축 방향에 대체로 평행한 회전축의 둘레로 회전 가능한 상태로 유지되어 있고, 케이싱 (104a) 의 내부에서 동력 전달 기구 (104) 의 스핀들과 연결되어 있다. 구체적으로는, 케이싱 (104a) 의 내부에는, Z 축 방향을 따라 배치된 동력 전달 기구 (104) 의 스핀들의 회전의 동력을, Y 축을 따라 배치된 샤프트 (106) 의 회전의 동력으로 변환시키는 변환 기구가 형성되어 있다.The shaft 106 is kept rotatable about a rotational axis substantially parallel to the Y-axis direction, and is connected with the spindle of the power transmission mechanism 104 inside the casing 104a. Specifically, inside the casing 104a, a conversion that converts the rotational power of the spindle of the power transmission mechanism 104 arranged along the Z-axis into the rotational power of the shaft 106 arranged along the Y-axis. instrument is formed.

이 변환 기구는, 예를 들어, 베벨 기어 (스파이럴 베벨 기어, 직선 베벨 기어 등) 또는 하이포이드 기어에 의해 구성된다. 모터 (102) 와 동력 전달 기구 (104) 는, 벨트 또는 체인 등으로 이루어지는 환상의 연결 부재 (108) 에 의해 연결되어 있다.This conversion mechanism is constituted by, for example, a bevel gear (a spiral bevel gear, a straight bevel gear, etc.) or a hypoid gear. The motor 102 and the power transmission mechanism 104 are connected by an annular connecting member 108 made of a belt, a chain, or the like.

구체적으로는, 연결 부재 (108) 는, 모터 (102) 의 활차 (102b) 의 측면, 및 동력 전달 기구 (104) 의 활차 (104b) 의 측면과 접촉하도록, 평면에서 봤을 때에 타원상으로 활차 (102b) 및 활차 (104b) 에 감겨져 있다.Specifically, the connecting member 108 has an elliptical shape in plan view so as to come into contact with the side surface of the pulley 102b of the motor 102 and the side surface of the pulley 104b of the power transmission mechanism 104. 102b) and the pulley 104b.

모터 (102) 에 전력이 공급되면, 모터 (102) 의 동력이 활차 (102b), 연결 부재 (108) 및 활차 (104b) 를 통하여 동력 전달 기구 (104) 의 회전축에 전달된다. 또, 케이싱 (104a) 의 내부에 형성된 변환 기구에 의해, 동력 전달 기구 (104) 의 스핀들의 동력이 샤프트 (106) 에 전달되고, 샤프트 (106) 가 회전한다. 이와 같이 하여, 모터 (102) 의 동력이 동력 전달 기구 (104) 에 의해 샤프트 (106) 에 전달된다.When electric power is supplied to the motor 102 , the power of the motor 102 is transmitted to the rotary shaft of the power transmission mechanism 104 via the pulley 102b , the connecting member 108 and the pulley 104b . Moreover, the power of the spindle of the power transmission mechanism 104 is transmitted to the shaft 106 by the conversion mechanism formed inside the casing 104a, and the shaft 106 rotates. In this way, the power of the motor 102 is transmitted to the shaft 106 by the power transmission mechanism 104 .

샤프트 (106) 의 일단측에는, 절삭 유닛 (38a) (도 1 참조) 에 장착되어 있는 절삭 블레이드 (50), 및 절삭 유닛 (38a) 에 새로 장착되는 절삭 블레이드 (50) 를 유지하는 블레이드 유지 유닛 (110a) 이 고정되어 있다.On one end side of the shaft 106, a cutting blade 50 mounted to a cutting unit 38a (see Fig. 1), and a blade holding unit holding a cutting blade 50 newly mounted to the cutting unit 38a ( 110a) is fixed.

또, 샤프트 (106) 의 타단측에는, 절삭 유닛 (38b) (도 1 참조) 에 장착되어 있는 절삭 블레이드 (50), 및 절삭 유닛 (38b) 에 새로 장착되는 절삭 블레이드 (50) 를 유지하는 블레이드 유지 유닛 (110b) 이 고정되어 있다.Moreover, on the other end side of the shaft 106, the cutting blade 50 attached to the cutting unit 38b (refer FIG. 1), and the blade holding|maintenance which holds the cutting blade 50 newly attached to the cutting unit 38b. The unit 110b is fixed.

블레이드 유지 유닛 (110a, 110b) 의 각각은, 측면에서 봤을 때에 타원상으로 형성되고, 샤프트 (106) 의 선단부에 고정된 판상의 지지 부재 (112) 와, 지지 부재 (112) 의 동력 전달 기구 (104) 와는 반대측을 향하는 면측에 형성된 블레이드 파지 유닛 (114a, 114b) 을 구비한다.Each of the blade holding units 110a, 110b is formed in an elliptical shape when viewed from the side, and includes a plate-shaped support member 112 fixed to the tip of the shaft 106, and a power transmission mechanism of the support member 112 ( 104) and blade holding units 114a and 114b formed on the side facing the opposite side.

블레이드 파지 유닛 (114a) 은 지지 부재 (112) 의 일단 (전단) 측에 고정되고, 블레이드 파지 유닛 (114b) 은 지지 부재 (112) 의 타단 (후단) 측에 고정되어 있다. 블레이드 파지 유닛 (114a, 114b) 의 각각은, 지지 부재 (112) 에 고정된 원통상의 파지부 (116) 를 구비한다.The blade gripping unit 114a is fixed to one end (front end) side of the support member 112 , and the blade gripping unit 114b is fixed to the other end (rear end) side of the support member 112 . Each of the blade gripping units 114a and 114b has a cylindrical gripping portion 116 fixed to the support member 112 .

파지부 (116) 는, 동력 전달 기구 (104) 와는 반대측을 향하는 표면 (116a) 을 구비한다. 또, 파지부 (116) 에는, 표면 (116a) 으로부터 돌출되는 위치 결정 핀 (118) 이 형성되어 있다. 위치 결정 핀 (118) 은, 그 선단부가 마운트 (44) 의 지지축 (48) 에 형성된 오목부 (48b) (도 2 참조) 의 위치 및 크기에 대응하여 형성되어 있고, 오목부 (48b) 에 삽입 가능하게 되어 있다.The grip portion 116 has a surface 116a facing the opposite side to the power transmission mechanism 104 . Moreover, the positioning pin 118 which protrudes from the surface 116a is formed in the holding part 116. As shown in FIG. The positioning pin 118 is formed corresponding to the position and size of a recessed portion 48b (see FIG. 2 ) whose tip end is formed in the support shaft 48 of the mount 44, and is formed in the recessed portion 48b. Insertion is possible.

파지부 (116) 의 주위에는, 절삭 블레이드 (50) 의 볼록부 (52b) (도 2 참조) 를 파지하는 복수의 파지 부재 (120) 가, 파지부 (116) 의 둘레 방향을 따라 대체로 등간격으로 배치되어 있다. 복수의 파지 부재 (120) 의 각각은 기둥상으로 형성되어 있고, 파지 부재 (120) 의 기단부 (일단측) 는 파지부 (116) 의 외주면에 접속되어 있다.A plurality of gripping members 120 for gripping the convex portion 52b (see FIG. 2 ) of the cutting blade 50 are disposed around the gripping portion 116 at substantially equal intervals along the circumferential direction of the gripping portion 116 . is placed as Each of the plurality of holding members 120 is formed in a columnar shape, and the base end (one end side) of the holding member 120 is connected to the outer peripheral surface of the holding unit 116 .

도 6 에는, 절삭 블레이드 (50) 의 볼록부 (52b) 의 외주면을 사방에서 파지하는 4 개의 파지 부재 (120) 가 형성되어 있는 예가 도시되어 있다. 파지 부재 (120) 의 선단부 (타단측) 는 파지부 (116) 의 표면 (116a) 으로부터 돌출되어 있고, 이 선단부에는, 절삭 블레이드 (50) 의 볼록부 (52b) 의 외주면과 접촉하는 접촉부 (120a) 가 형성되어 있다.Fig. 6 shows an example in which four gripping members 120 for gripping the outer peripheral surface of the convex portion 52b of the cutting blade 50 from all directions are formed. A tip portion (the other end side) of the gripping member 120 protrudes from the surface 116a of the gripping portion 116 , and at this tip portion, a contact portion 120a in contact with the outer peripheral surface of the convex portion 52b of the cutting blade 50 . ) is formed.

파지 부재 (120) 의 선단부는, 예를 들어, 파지부 (116) 의 내부에 수용된 이동 기구 (도시 생략) 에 의해, 파지부 (116) 의 반경 방향을 따라 이동한다. 이 이동 기구는, 접촉부 (120a) 가 절삭 블레이드 (50) 의 볼록부 (52b) 의 외주면과 접촉하여 절삭 블레이드 (50) 가 파지되는 상태 (폐쇄 상태) 와, 접촉부 (120a) 가 폐쇄 상태의 때보다 파지부 (116) 의 반경 방향 외측에 배치되어, 절삭 블레이드 (50) 의 파지가 해제되는 상태 (개방 상태) 를 전환시킨다.The distal end of the gripping member 120 moves along the radial direction of the gripping portion 116 by, for example, a moving mechanism (not shown) accommodated in the gripping portion 116 . This moving mechanism has a state in which the contact portion 120a comes into contact with the outer peripheral surface of the convex portion 52b of the cutting blade 50 and the cutting blade 50 is gripped (closed state), and when the contact portion 120a is in a closed state. It is disposed on the radially outer side of the multiple gripping portion 116 to switch the state in which the gripping of the cutting blade 50 is released (open state).

절삭 유닛 (38a, 38b) 에 장착된 절삭 블레이드 (50) 를 교환할 때에는, 블레이드 유지 유닛 (110a, 110b) 에 의해 절삭 블레이드 (50) 의 착탈이 실시된다. 또한, 절삭 블레이드 (50) 의 교환시에 있어서의 블레이드 유지 유닛 (110a, 110b) 의 구체적인 동작에 대해서는 후술한다.When replacing the cutting blade 50 attached to the cutting units 38a, 38b, the cutting blade 50 is attached and detached by the blade holding units 110a, 110b. In addition, the specific operation|movement of the blade holding units 110a, 110b at the time of replacement|exchange of the cutting blade 50 is mentioned later.

블레이드 착탈 유닛 (100) 의 전방에는, 너트 착탈 유닛 (130) 이 형성되어 있다. 너트 착탈 유닛 (130) 은, 회전 구동원을 구성하는 모터 (132) 와, 모터 (132) 에 접속된 동력 전달 기구 (134) 를 구비한다. 모터 (132) 와 동력 전달 기구 (134) 는, 서로 인접하도록 X 축 방향을 따라 배치되어 있다.A nut attaching and detaching unit 130 is formed in front of the blade attaching and detaching unit 100 . The nut attachment/detachment unit 130 includes a motor 132 constituting a rotation drive source and a power transmission mechanism 134 connected to the motor 132 . The motor 132 and the power transmission mechanism 134 are arranged along the X-axis direction so as to be adjacent to each other.

모터 (132) 및 동력 전달 기구 (134) 의 구성은, 블레이드 착탈 유닛 (100) 의 모터 (102) 및 동력 전달 기구 (104) 의 구성과 동일하다. 구체적으로는, 모터 (132) 는, 케이싱 (132a) 과, 모터 (132) 의 스핀들의 선단부에 고정된 활차 (132b) 를 구비한다. 또, 동력 전달 기구 (134) 는, 케이싱 (134a) 과, 동력 전달 기구 (134) 의 스핀들의 선단부에 고정된 활차 (134b) 를 구비한다.The configurations of the motor 132 and the power transmission mechanism 134 are the same as those of the motor 102 and the power transmission mechanism 104 of the blade attaching/removing unit 100 . Specifically, the motor 132 includes a casing 132a and a pulley 132b fixed to the tip of the spindle of the motor 132 . Further, the power transmission mechanism 134 includes a casing 134a and a pulley 134b fixed to the tip of the spindle of the power transmission mechanism 134 .

케이싱 (134a) 에는, 케이싱 (134a) 을 좌우 방향 (Y 축 방향) 으로 관통하는 관통공 (134c) 이 형성되어 있다. 관통공 (134c) 에는, 원통상의 샤프트 (136) 가 케이싱 (134a) 을 관통하도록 삽입되어 있고, 샤프트 (136) 의 양 단부는 케이싱 (134a) 의 양 측면으로부터 노출되어 있다.The casing 134a is provided with a through hole 134c penetrating the casing 134a in the left-right direction (Y-axis direction). A cylindrical shaft 136 is inserted into the through hole 134c to pass through the casing 134a, and both ends of the shaft 136 are exposed from both sides of the casing 134a.

샤프트 (136) 는, Y 축 방향에 대체로 평행한 회전축의 둘레로 회전 가능한 상태로 유지되어 있고, 케이싱 (134a) 의 내부에서 동력 전달 기구 (134) 의 회전축과 연결되어 있다. 모터 (132) 와 동력 전달 기구 (134) 는, 벨트 또는 체인 등으로 이루어지는 환상의 연결 부재 (138) 에 의해 연결되어 있다.The shaft 136 is kept rotatable about a rotational axis substantially parallel to the Y-axis direction, and is connected with the rotational axis of the power transmission mechanism 134 inside the casing 134a. The motor 132 and the power transmission mechanism 134 are connected by an annular connecting member 138 made of a belt, a chain, or the like.

구체적으로는, 연결 부재 (138) 는, 모터 (132) 의 활차 (132b) 의 측면, 및 동력 전달 기구 (134) 의 활차 (134b) 의 측면과 접촉하도록, 평면에서 봤을 때에 타원상으로 활차 (132b) 및 활차 (134b) 에 감겨져 있다.Specifically, the connecting member 138 has an elliptical shape in plan view so as to contact the side surface of the pulley 132b of the motor 132 and the side surface of the pulley 134b of the power transmission mechanism 134. 132b) and the pulley 134b.

모터 (132) 에 전력이 공급되면, 모터 (132) 의 동력이 활차 (132b), 연결 부재 (138) 및 활차 (134b) 를 통하여 동력 전달 기구 (134) 의 스핀들에 전달된다. 또, 케이싱 (134a) 의 내부에 형성된 변환 기구에 의해, 동력 전달 기구 (134) 의 스핀들의 동력이 샤프트 (136) 에 전달되고, 샤프트 (136) 가 회전한다. 이와 같이 하여, 모터 (132) 의 동력이 동력 전달 기구 (134) 에 의해 샤프트 (136) 에 전달된다.When electric power is supplied to the motor 132 , the power of the motor 132 is transmitted to the spindle of the power transmission mechanism 134 through the pulley 132b , the connecting member 138 and the pulley 134b . Moreover, the power of the spindle of the power transmission mechanism 134 is transmitted to the shaft 136 by the conversion mechanism formed inside the casing 134a, and the shaft 136 rotates. In this way, the power of the motor 132 is transmitted to the shaft 136 by the power transmission mechanism 134 .

샤프트 (136) 의 일단측에는, 절삭 유닛 (38a) 의 스핀들 (42) 에 절삭 블레이드 (50) 를 고정시키기 위한 너트 (56) (도 2 참조) 를 유지하여 회전하는 너트 유지 유닛 (140a) 이 고정되어 있다. 또, 샤프트 (136) 의 타단측에는, 절삭 유닛 (38b) 의 스핀들 (42) 에 절삭 블레이드 (50) 를 고정시키기 위한 너트 (56) 를 유지하여 회전하는 너트 유지 유닛 (140b) 이 고정되어 있다.At one end side of the shaft 136, a nut holding unit 140a rotating by holding a nut 56 (see Fig. 2) for fixing the cutting blade 50 to the spindle 42 of the cutting unit 38a is fixed has been Further, on the other end side of the shaft 136, a nut holding unit 140b that rotates while holding a nut 56 for fixing the cutting blade 50 to the spindle 42 of the cutting unit 38b is fixed.

너트 유지 유닛 (140a, 140b) 의 각각은, 샤프트 (136) 의 선단부에 접속된 원통상의 회전 부재 (142) 를 구비한다. 회전 부재 (142) 는, 스프링 등에 의해 동력 전달 기구 (134) 와는 반대측을 향하여 탄성 지지되어 있고, 외력의 부여에 의해 Y 축 방향을 따라 이동 가능하게 구성되어 있다.Each of the nut holding units 140a and 140b is provided with a cylindrical rotating member 142 connected to the tip end of the shaft 136 . The rotation member 142 is elastically supported toward the opposite side to the power transmission mechanism 134 by a spring or the like, and is configured to be movable along the Y-axis direction by application of an external force.

회전 부재 (142) 는, 동력 전달 기구 (134) 와는 반대측을 향하는 표면 (142a) 을 구비한다. 회전 부재 (142) 에는, 표면 (142a) 으로부터 돌출되는 4 개의 유지 핀 (144) 이 형성되어 있다. 유지 핀 (144) 은, 너트 (56) (도 2 참조) 의 관통공 (56b) 의 위치 및 크기에 대응하여 형성되어 있고, 관통공 (56b) 에 삽입 가능하게 되어 있다.The rotating member 142 has a surface 142a facing opposite to the power transmission mechanism 134 . The rotating member 142 is formed with four retaining pins 144 projecting from the surface 142a. The retaining pin 144 is formed corresponding to the position and size of the through hole 56b of the nut 56 (refer to FIG. 2), and can be inserted into the through hole 56b.

또한, 유지 핀 (144) 의 수는, 관통공 (56b) 의 수에 따라 적절히 설정된다. 또, 회전 부재 (142) 의 주위에는, 너트 (56) 를 파지하는 복수의 파지 부재 (146) 가, 회전 부재 (142) 의 둘레 방향을 따라 대체로 등간격으로 배치되어 있다.In addition, the number of holding pins 144 is appropriately set according to the number of through holes 56b. Moreover, around the rotation member 142, the some holding member 146 which grips the nut 56 is arrange|positioned at substantially equal intervals along the circumferential direction of the rotation member 142. As shown in FIG.

파지 부재 (146) 는 기둥상으로 형성되어 있고, 파지 부재 (146) 의 기단부 (일단측) 는 회전 부재 (142) 의 외주면에 접속되어 있다. 도 6 에는, 너트 (56) 의 외주면을 사방에서 파지하는 4 개의 파지 부재 (146) 가 형성되어 있는 예가 도시되어 있다.The holding member 146 is formed in columnar shape, and the base end (one end side) of the holding member 146 is connected to the outer peripheral surface of the rotating member 142 . Fig. 6 shows an example in which four gripping members 146 for gripping the outer peripheral surface of the nut 56 from all directions are formed.

파지 부재 (146) 의 선단부 (타단측) 는 회전 부재 (142) 의 표면 (142a) 으로부터 돌출되어 있고, 이 선단부에는, 회전 부재 (142) 의 중심측을 향하여 굴곡된 클로부 (146a) 가 형성되어 있다.The distal end (the other end side) of the holding member 146 protrudes from the surface 142a of the rotating member 142, and a claw portion 146a bent toward the center of the rotating member 142 is formed at the distal end. has been

또, 파지 부재 (146) 는, 스프링 등에 의해 회전 부재 (142) 의 반경 방향 외측을 향하여 탄성 지지되어 있고, 클로부 (146a) 가 회전 부재 (142) 의 반경 방향을 따라 이동 가능해지도록 구성되어 있다.Moreover, the holding member 146 is elastically supported toward the radial direction outer side of the rotation member 142 by a spring etc., and it is comprised so that the claw part 146a may move along the radial direction of the rotation member 142. .

또한, 회전 부재 (142) 의 주위에는, 중공의 원통상으로 형성된 커버 (148) 가 형성되어 있다. 회전 부재 (142) 와 파지 부재 (146) 의 기단측 (동력 전달 기구 (134) 측) 은, 커버 (148) 의 내부에 수용되어 있다.In addition, a cover 148 formed in a hollow cylindrical shape is formed around the rotation member 142 . The base end side (power transmission mechanism 134 side) of the rotating member 142 and the holding|gripping tool 146 is accommodated in the inside of the cover 148.

회전 부재 (142) 가 커버 (148) 의 내측을 향하여 가압되면, 회전 부재 (142) 를 탄성 지지하고 있는 스프링이 줄어들고, 회전 부재 (142) 가 복수의 파지 부재 (146) 와 함께 커버 (148) 의 내측으로 압입된다.When the rotation member 142 is pressed toward the inside of the cover 148, the spring which elastically supports the rotation member 142 decreases, and the rotation member 142 is moved together with the plurality of gripping members 146 together with the cover 148. pressed into the inside of

회전 부재 (142) 가 커버 (148) 의 내측으로 압입되면, 복수의 파지 부재 (146) 의 선단부 (클로부 (146a) 측) 가 커버 (148) 의 내벽과 접촉하여 가압되고, 파지 부재 (146) 를 탄성 지지하고 있는 스프링이 줄어든다. 이로써, 복수의 파지 부재 (146) 의 선단부가 회전 부재 (142) 의 반경 방향 내측을 향하여 이동한다.When the rotating member 142 is press-fitted into the inside of the cover 148 , the tip ends (claw portion 146a side) of the plurality of gripping members 146 are pressed into contact with the inner wall of the cover 148 , and the gripping member 146 is pressed. ), the spring that elastically supports it decreases. Thereby, the tip ends of the plurality of gripping members 146 move toward the radially inner side of the rotating member 142 .

그리고, 복수의 파지 부재 (146) 는, 그 길이 방향이 커버 (148) 의 내벽을 따르도록 배치된 상태가 된다. 이 때, 파지 부재 (146) 의 클로부 (146a) 는, 예를 들어, 회전 부재 (142) 의 외주 가장자리보다 회전 부재 (142) 의 반경 방향 내측에 배치된다 (폐쇄 상태).And the some holding member 146 will be in the state arrange|positioned so that the longitudinal direction may follow the inner wall of the cover 148. At this time, the claw portion 146a of the holding member 146 is disposed radially inside the rotation member 142 rather than the outer peripheral edge of the rotation member 142 (closed state), for example.

한편, 회전 부재 (142) 에 대한 외력의 부여가 해제되면, 회전 부재 (142) 가 커버 (148) 의 외측을 향하여 이동하고, 파지 부재 (146) 의 선단부가 커버 (148) 의 내벽에 의해 가압된 상태가 해제된다. 이로써, 복수의 파지 부재 (146) 의 선단부가 회전 부재 (142) 의 반경 방향 외측을 향하여 이동한다.On the other hand, when the application of the external force to the rotating member 142 is released, the rotating member 142 moves toward the outside of the cover 148 , and the front end of the holding member 146 is pressed by the inner wall of the cover 148 . state is cancelled. Thereby, the tip ends of the plurality of gripping members 146 move toward the radially outward side of the rotating member 142 .

그리고, 복수의 파지 부재 (146) 의 선단부가, 폐쇄 상태의 때보다 회전 부재 (142) 의 반경 방향 외측에 배치된 상태가 된다. 이 때, 파지 부재 (146) 의 클로부 (146a) 는, 예를 들어, 회전 부재 (142) 의 외주 가장자리보다 회전 부재 (142) 의 반경 방향 외측에 배치된다 (개방 상태).And the front-end|tip part of the some holding|gripping tool 146 will be in the state arrange|positioned radially outer side of the rotation member 142 rather than the time of a closed state. At this time, the claw portion 146a of the holding member 146 is disposed radially outward of the rotation member 142 than, for example, the outer peripheral edge of the rotation member 142 (open state).

상기 너트 유지 유닛 (140a, 140b) 의 각각은, 너트 (56) 를 유지하여 회전한다. 구체적으로는, 먼저, 너트 (56) 의 관통공 (56b) (도 2 참조) 에 회전 부재 (142) 의 유지 핀 (144) 이 삽입되도록, 너트 (56) 가 회전 부재 (142) 의 표면 (142a) 과 접촉한다.Each of the nut holding units 140a and 140b rotates while holding the nut 56 . Specifically, first, the nut 56 is inserted into the surface ( 142a).

이 상태에서 회전 부재 (142) 가 커버 (148) 의 내측으로 압입되면, 복수의 파지 부재 (146) 가 폐쇄 상태가 되어 클로부 (146a) 가 너트 (56) 의 외주면과 접촉하고, 너트 (56) 가 파지된다.When the rotating member 142 is press-fitted into the cover 148 in this state, the plurality of gripping members 146 are brought into a closed state so that the claw portion 146a comes into contact with the outer peripheral surface of the nut 56, and the nut 56 ) is gripped.

복수의 파지 부재 (146) 에 의해 너트 (56) 가 유지된 상태에서, 모터 (132) 를 구동시키면, 모터 (132) 의 동력이 동력 전달 기구 (134) 를 통하여 샤프트 (136) 에 전달되고, 샤프트 (136) 가 회전한다. 이로써, 회전 부재 (142) 가 회전하고, 파지 부재 (146) 에 의해 유지된 너트 (56) 도 회전한다.When the motor 132 is driven in a state where the nut 56 is held by the plurality of gripping members 146 , the power of the motor 132 is transmitted to the shaft 136 through the power transmission mechanism 134 , Shaft 136 rotates. Thereby, the rotating member 142 rotates, and the nut 56 held by the holding member 146 also rotates.

너트 유지 유닛 (140a, 140b) 으로 너트 (56) 를 유지하여 회전시킴으로써, 절삭 유닛 (38a, 38b) 에 장착된 절삭 블레이드 (50) 의 교환을 실시할 때의 너트 (56) 의 체결 및 분리를 자동으로 실시할 수 있다. 또한, 절삭 블레이드 (50) 의 교환시에 있어서의 너트 착탈 유닛 (130) 의 구체적인 동작에 대해서는 후술한다.By holding and rotating the nut 56 with the nut holding units 140a and 140b, the fastening and disengagement of the nut 56 when replacing the cutting blade 50 mounted on the cutting units 38a, 38b are performed. can be done automatically. In addition, the specific operation|movement of the nut attaching and detaching unit 130 at the time of replacement|exchange of the cutting blade 50 is mentioned later.

절삭 장치 (2) 를 구성하는 각 구성 요소 (척 테이블 이동 기구 (10), 척 테이블 (14), 클램프 (16), 가이드 레일 (18), 제 1 반송 유닛 이동 기구 (24), 제 1 반송 유닛 (26), 제 2 반송 유닛 이동 기구 (30), 제 2 반송 유닛 (32), 절삭 유닛 이동 기구 (36a, 36b), 절삭 유닛 (38a, 38b), 카메라 (60), 세정 유닛 (62) 및 절삭 블레이드 교환 유닛 (64) 등) 의 각각은, 제어 유닛 (66) 에 접속되어 있다.Each component constituting the cutting device 2 (chuck table moving mechanism 10, chuck table 14, clamp 16, guide rail 18, first conveying unit moving mechanism 24, first conveying) unit 26 , second conveying unit moving mechanism 30 , second conveying unit 32 , cutting unit moving mechanisms 36a and 36b , cutting units 38a and 38b , camera 60 , cleaning unit 62 . ) and the cutting blade exchange unit 64 , etc.) are connected to the control unit 66 .

제어 유닛 (66) 은, 절삭 장치 (2) 의 각 구성 요소의 동작을 제어하기 위한 제어 신호를 생성하고, 생성된 제어 신호를 출력한다. 제어 유닛 (66) 은, 예를 들어, 컴퓨터에 의해 구성되고, 절삭 장치 (2) 의 각 구성 요소를 동작시키는 데에 필요한 각종 처리 (연산 등) 를 실시하는 처리부와, 처리부에 의한 처리에 사용되는 각종 정보 (데이터 및 프로그램 등) 가 기억되는 기억부를 포함한다.The control unit 66 generates a control signal for controlling the operation of each component of the cutting device 2 , and outputs the generated control signal. The control unit 66 is configured by a computer, for example, and is used for processing by a processing unit that performs various processing (eg, calculation) necessary for operating each component of the cutting device 2 , and processing by the processing unit and a storage unit in which various types of information to be used (data and programs, etc.) are stored.

처리부는, CPU (Central Processing Unit) 등의 프로세서를 포함하여 구성된다. 또, 기억부는, 주기억 장치 및 보조 기억 장치 등을 구성하는 각종 메모리를 포함하여 구성된다.The processing unit is configured to include a processor such as a CPU (Central Processing Unit). Further, the storage unit is configured to include various memories constituting the main storage device, the auxiliary storage device, and the like.

상기 절삭 장치 (2) 에 의해, 피가공물 (11) 의 절삭 가공이 실시된다. 피가공물 (11) 을 가공할 때에는, 먼저, 가공의 대상이 되는 피가공물 (11) 이 카세트 (8) 에 수용된다. 그리고, 카세트 (8) 가 카세트 재치대 (6) 의 상면에 재치된다.The cutting device 2 cuts the workpiece 11 . When processing the to-be-processed object 11, first, the to-be-processed object 11 used as the object of processing is accommodated in the cassette 8. As shown in FIG. And the cassette 8 is mounted on the upper surface of the cassette mounting table 6 .

카세트 (8) 에 수용된 피가공물 (11) 은, 제 1 반송 유닛 (26) 에 의해 카세트 (8) 로부터 반출된다. 구체적으로는, 제 1 반송 유닛 (26) 이 파지부 (26a) 로 프레임 (15) 의 단부를 파지한 상태에서 카세트 (8) 로부터 떨어지도록 Y 축 방향을 따라 이동한다.The to-be-processed object 11 accommodated in the cassette 8 is carried out from the cassette 8 by the 1st conveyance unit 26 . Specifically, the first conveying unit 26 moves along the Y-axis direction so as to be separated from the cassette 8 in a state where the end of the frame 15 is gripped by the holding portion 26a.

이로써, 피가공물 (11) 이 카세트 (8) 로부터 인출되고, 1 쌍의 가이드 레일 (18) 상에 배치된다. 그리고, 피가공물 (11) 이 1 쌍의 가이드 레일 (18) 에 의해 협지되고, 피가공물 (11) 의 위치 맞춤이 실시된다.Thereby, the to-be-processed object 11 is drawn out from the cassette 8, and is arrange|positioned on the pair of guide rails 18. As shown in FIG. And the to-be-processed object 11 is clamped by the pair of guide rails 18, and the to-be-processed object 11 is aligned.

이어서, 프레임 (15) 의 상면측이 제 1 반송 유닛 (26) 에 의해 유지되고, 피가공물 (11) 이 척 테이블 (14) 상에 반송된다. 피가공물 (11) 은, 척 테이블 (14) 상에 테이프 (13) 를 개재하여 배치된다.Next, the upper surface side of the frame 15 is held by the first conveying unit 26 , and the to-be-processed object 11 is conveyed on the chuck table 14 . The workpiece 11 is disposed on the chuck table 14 with a tape 13 interposed therebetween.

또, 프레임 (15) 이 복수의 클램프 (16) 에 의해 고정된다. 이 상태에서, 유지면 (14a) 에 흡인원의 부압을 작용시키면, 피가공물 (11) 이 테이프 (13) 를 개재하여 척 테이블 (14) 에 의해 흡인 유지된다.Further, the frame 15 is fixed by a plurality of clamps 16 . In this state, when the negative pressure of the suction source is applied to the holding surface 14a, the to-be-processed object 11 is sucked and held by the chuck table 14 with the tape 13 interposed therebetween.

그리고, 절삭 유닛 (38a, 38b) 에 장착된 절삭 블레이드 (50) 가 회전하면서 피가공물 (11) 에 절입되고, 피가공물 (11) 에 절삭 가공이 실시된다. 예를 들어, 피가공물 (11) 은 절삭 블레이드 (50) 에 의해 분할 예정 라인을 따라 절삭되고, 복수의 디바이스 칩으로 분할된다.And the cutting blade 50 attached to the cutting units 38a, 38b is cut into the to-be-processed object 11 while rotating, and the to-be-processed object 11 is cut. For example, the workpiece 11 is cut along a division scheduled line by the cutting blade 50 and divided into a plurality of device chips.

피가공물 (11) 의 가공이 완료되면, 프레임 (15) 의 상면측이 제 2 반송 유닛 (32) 에 의해 유지되고, 피가공물 (11) 이 척 테이블 (14) 로부터 세정 유닛 (62) 에 반송된다. 그리고, 세정 유닛 (62) 에 의해 피가공물 (11) 의 세정이 실시된다.When the machining of the work piece 11 is completed, the upper surface side of the frame 15 is held by the second conveying unit 32 , and the work piece 11 is conveyed from the chuck table 14 to the cleaning unit 62 . do. And the to-be-processed object 11 is wash|cleaned by the washing|cleaning unit 62. As shown in FIG.

피가공물 (11) 의 세정이 완료되면, 프레임 (15) 의 상면측이 제 1 반송 유닛 (26) 에 의해 유지되고, 1 쌍의 가이드 레일 (18) 상에 반송된다. 그리고, 프레임 (15) 이 1 쌍의 가이드 레일 (18) 에 의해 협지되고, 피가공물 (11) 및 프레임 (15) 의 위치 맞춤이 실시된다.When the cleaning of the workpiece 11 is completed, the upper surface side of the frame 15 is held by the first conveying unit 26 and conveyed on a pair of guide rails 18 . And the frame 15 is clamped by the pair of guide rails 18, and the to-be-processed object 11 and the frame 15 are aligned.

그 후, 제 1 반송 유닛 (26) 이 파지부 (26a) 로 프레임 (15) 을 파지한 상태에서 카세트 (8) 에 가까워지도록 Y 축 방향을 따라 이동한다. 이로써, 피가공물 (11) 이 카세트 (8) 에 수용된다. 이와 같이 하여, 피가공물 (11) 이 절삭 장치 (2) 에 의해 가공된다.Then, the 1st conveying unit 26 moves along the Y-axis direction so that it may become close to the cassette 8 in the state which gripped the frame 15 with the holding part 26a. Thereby, the workpiece 11 is accommodated in the cassette 8 . In this way, the to-be-processed object 11 is processed by the cutting device 2 .

또한, 제어 유닛 (66) 의 기억부에는, 상기 절삭 장치 (2) 의 일련의 동작을 기술하는 프로그램이 기억되어 있다. 그리고, 절삭 장치 (2) 에 피가공물 (11) 의 가공을 지시하는 신호가 입력되면, 제어 유닛 (66) 의 처리부는, 기억부로부터 프로그램을 판독 출력하여 실행하고, 절삭 장치 (2) 의 각 구성 요소의 동작을 제어하기 위한 제어 신호를 순차적으로 생성한다.Moreover, in the storage part of the control unit 66, the program which describes a series of operation|movement of the said cutting device 2 is memorize|stored. Then, when a signal instructing processing of the workpiece 11 is input to the cutting device 2 , the processing unit of the control unit 66 reads and outputs a program from the storage unit and executes it, and each It sequentially generates control signals for controlling the operation of the components.

여기서, 절삭 유닛 (38a, 38b) 에 장착된 절삭 블레이드 (50) 는, 피가공물 (11) 을 절삭함으로써 서서히 마모되기 때문에, 정기적으로 교환된다. 절삭 블레이드 (50) 의 교환은, 절삭 블레이드 교환 유닛 (64) 에 의해 자동으로 실시된다.Here, the cutting blades 50 attached to the cutting units 38a and 38b are gradually worn by cutting the workpiece 11, and therefore are replaced regularly. The replacement of the cutting blade 50 is performed automatically by the cutting blade replacement unit 64 .

이하에서는, 절삭 블레이드 (50) 를 교환할 때의 절삭 블레이드 교환 유닛 (64) 의 동작의 구체예에 대해 설명한다. 구체적으로는, 절삭 유닛 (38a) 에 장착되어 있는 사용이 완료된 절삭 블레이드 (50) 와, 절삭 블레이드 스토커 (70a) 에 보관되어 있는 미사용의 절삭 블레이드 (50) 를 교환하는 경우의 동작에 대해 설명한다.Hereinafter, a specific example of the operation of the cutting blade exchange unit 64 when the cutting blade 50 is replaced will be described. Specifically, the operation in the case of exchanging the used cutting blade 50 attached to the cutting unit 38a and the unused cutting blade 50 stored in the cutting blade stocker 70a will be described. .

또한, 절삭 유닛 (38b) 에 장착되어 있는 사용이 완료된 절삭 블레이드 (50) 와, 절삭 블레이드 스토커 (70b) 에 보관되어 있는 미사용의 절삭 블레이드 (50) 를 교환하는 경우의 동작도 동일하다.The operation in the case of exchanging the used cutting blade 50 attached to the cutting unit 38b and the unused cutting blade 50 stored in the cutting blade stocker 70b is also the same.

먼저, 블레이드 유지 유닛 (110a) 의 블레이드 파지 유닛 (114b) (도 6 참조) 과 절삭 블레이드 스토커 (70a) (도 4 참조) 가 대향하도록, 착탈 유닛 이동 기구 (90) 에 의해 착탈 유닛 (98) 을 X 축 방향을 따라 이동시킨다.First, detachable unit 98 by detachable unit moving mechanism 90 so that blade holding unit 114b (see Fig. 6) of blade holding unit 110a and cutting blade stocker 70a (see Fig. 4) face each other is moved along the X-axis direction.

이 때, 필요하면, 블레이드 파지 유닛 (114b) 의 파지부 (116) 와, 절삭 블레이드 스토커 (70a) 의 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 유지된 교환용의 절삭 블레이드 (50) 가 대향하도록 절삭 블레이드 스토커 (70a) 의 스핀들 (74) 을 회전시킨다.At this time, if necessary, the cutting blade so that the holding portion 116 of the blade holding unit 114b and the replacement cutting blade 50 held in the cutting blade receiving portion 78 of the cutting blade stocker 70a face each other The spindle 74 of the stocker 70a is rotated.

이어서, 이 파지부 (116) 의 내부에 수용된 이동 기구에 의해, 블레이드 파지 유닛 (114b) 의 파지부 (116) 의 주위에 형성된 파지 부재 (120) 를 개방 상태로 한다. 이어서, 이 파지부 (116) 의 표면 (116a) 으로부터 돌출되는 위치 결정 핀 (118) 이 절삭 블레이드 수용부 (78) 의 보스부 (82) (도 5 참조) 에 접근하도록, 착탈 유닛 이동 기구 (90) 의 Y 축 이동 기구에 의해 기대 (90a) 를 Y 축 방향을 따라 이동시킨다.Next, the gripping member 120 formed around the gripping portion 116 of the blade gripping unit 114b is brought into an open state by the moving mechanism accommodated inside the gripping portion 116 . Next, a detachable unit moving mechanism ( 90) moves the base 90a along the Y-axis direction by the Y-axis movement mechanism.

이어서, 블레이드 파지 유닛 (114b) 의 파지부 (116) 의 내부에 수용된 이동 기구에 의해, 이 파지부 (116) 의 주위에 형성된 파지 부재 (120) 를 폐쇄 상태로 한다. 이로써, 이 파지 부재 (120) 의 선단부에 형성된 접촉부 (120a) 가 절삭 블레이드 (50) 의 볼록부 (52b) (도 2 참조) 의 외주면과 접촉한다. 즉, 이 파지 부재 (120) 에 의해 교환용의 절삭 블레이드 (50) 가 파지된다.Next, the gripping member 120 formed around the gripping portion 116 is brought into a closed state by the moving mechanism accommodated inside the gripping portion 116 of the blade gripping unit 114b. Thereby, the contact part 120a formed in the front-end|tip part of this holding member 120 comes into contact with the outer peripheral surface of the convex part 52b (refer FIG. 2) of the cutting blade 50. As shown in FIG. That is, the cutting blade 50 for replacement is gripped by this gripping member 120 .

이어서, 위치 결정 핀 (118) 이 보스부 (82) 로부터 이격되도록, 착탈 유닛 이동 기구 (90) 의 Y 축 이동 기구에 의해 기대 (90a) 를 Y 축 방향을 따라 이동시킨다. 이어서, 착탈 유닛 (98) 의 너트 유지 유닛 (140a) (도 6 참조) 이 절삭 유닛 (38a) 의 마운트 (44) 와 대향하도록, 착탈 유닛 이동 기구 (90) 에 의해 착탈 유닛 (98) 을 X 축 방향을 따라 이동시킨다.Next, the base 90a is moved along the Y-axis direction by the Y-axis movement mechanism of the attachment/detachment unit movement mechanism 90 so that the positioning pin 118 may be spaced apart from the boss part 82 . Next, the detachable unit 98 is moved by the detachable unit moving mechanism 90 so that the nut holding unit 140a (refer to FIG. 6) of the detachable unit 98 faces the mount 44 of the cutting unit 38a. move along the axial direction.

이어서, 절삭 유닛 (38a) 에 장착된 절삭 블레이드 (50) 를 고정시키고 있는 너트 (56) (도 2 참조) 가, 너트 유지 유닛 (140a) 의 회전 부재 (142) 의 표면 (142a) 에 가압되도록, 절삭 유닛 이동 기구 (36a) 에 의해 절삭 유닛 (38a) 을 Y 축 방향을 따라 이동시킨다.Then, the nut 56 (see Fig. 2) holding the cutting blade 50 mounted to the cutting unit 38a is pressed against the surface 142a of the rotating member 142 of the nut holding unit 140a. , the cutting unit 38a is moved along the Y-axis direction by the cutting unit moving mechanism 36a.

이 때, 너트 유지 유닛 (140a) 의 복수의 유지 핀 (144) 이, 너트 (56) 의 관통공 (56b) 에 삽입된다. 회전 부재 (142) 가 너트 (56) 에 의해 가압되면, 회전 부재 (142) 가 커버 (148) 의 내측으로 압입되고, 회전 부재 (142) 의 주위에 형성된 복수의 파지 부재 (146) 가 폐쇄 상태가 된다. 이로써, 너트 (56) 가 복수의 파지 부재 (146) 의 클로부 (146a) 에 의해 파지된다.At this time, the plurality of holding pins 144 of the nut holding unit 140a are inserted into the through hole 56b of the nut 56 . When the rotating member 142 is pressed by the nut 56 , the rotating member 142 is press-fitted to the inside of the cover 148 , and the plurality of gripping members 146 formed around the rotating member 142 are closed. becomes Thereby, the nut 56 is gripped by the claw portions 146a of the plurality of gripping members 146 .

이어서, 모터 (132) (도 6 참조) 의 동력에 의해 샤프트 (136) 를 회전시키고, 너트 유지 유닛 (140a) 을 너트 (56) 가 풀어지는 방향으로 회전시킨다. 이로써, 너트 유지 유닛 (140a) 에 의해 파지된 너트 (56) 가 마운트 (44) 의 지지축 (48) 으로부터 분리된다.Then, the shaft 136 is rotated by the power of the motor 132 (refer to FIG. 6), and the nut holding unit 140a is rotated in the direction in which the nut 56 is loosened. Thereby, the nut 56 gripped by the nut holding unit 140a is separated from the support shaft 48 of the mount 44 .

이어서, 절삭 유닛 (38a) 과 너트 유지 유닛 (140a) 을 이격시키도록, 절삭 유닛 이동 기구 (36a) 에 의해 절삭 유닛 (38a) 을 Y 축 방향을 따라 이동시킨다. 또한, 너트 유지 유닛 (140a) 은, 회전 부재 (142) 가 커버 (148) 의 내측으로 압입된 상태를 유지 가능하게 구성되어 있고, 너트 (56) 는 지지축 (48) 으로부터 분리된 후에도 너트 유지 유닛 (140a) 에 의해 유지된다.Next, the cutting unit 38a is moved along the Y-axis direction by the cutting unit moving mechanism 36a so as to space the cutting unit 38a and the nut holding unit 140a apart. In addition, the nut holding unit 140a is configured to be capable of maintaining the state in which the rotating member 142 is press-fitted to the inside of the cover 148 , and the nut 56 holds the nut even after being separated from the supporting shaft 48 . maintained by unit 140a.

이어서, 블레이드 유지 유닛 (110a) 의 블레이드 파지 유닛 (114a) 과, 절삭 유닛 (38a) 에 장착된 절삭 블레이드 (50) 가 대향하도록, 착탈 유닛 이동 기구 (90) 에 의해 착탈 유닛 (98) 을 X 축 방향을 따라 이동시킨다.Next, the detachable unit 98 is moved by the detachable unit moving mechanism 90 so that the blade holding unit 114a of the blade holding unit 110a and the cutting blade 50 mounted on the cutting unit 38a face each other. move along the axial direction.

이어서, 블레이드 파지 유닛 (114a) 의 파지부 (116) 의 내부에 수용된 이동 기구에 의해, 이 파지부 (116) 의 주위에 형성된 파지 부재 (120) 를 개방 상태로 한다. 이어서, 이 파지부 (116) 의 표면 (116a) 으로부터 돌출되는 위치 결정 핀 (118) 에 마운트 (44) 의 지지축 (48) 이 접근하도록, 절삭 유닛 이동 기구 (36a) 에 의해 절삭 유닛 (38a) 을 Y 축 방향을 따라 이동시킨다.Next, the gripping member 120 formed around the gripping portion 116 is brought into an open state by the moving mechanism accommodated inside the gripping portion 116 of the blade gripping unit 114a. Then, the cutting unit 38a is moved by the cutting unit moving mechanism 36a so that the support shaft 48 of the mount 44 approaches the positioning pin 118 protruding from the surface 116a of this gripping portion 116 . ) is moved along the Y-axis direction.

이어서, 블레이드 파지 유닛 (114a) 의 파지부 (116) 의 내부에 수용된 이동 기구에 의해, 이 파지부 (116) 의 주위에 형성된 파지 부재 (120) 를 폐쇄 상태로 한다. 이로써, 이 파지 부재 (120) 의 선단부에 형성된 접촉부 (120a) 가 절삭 블레이드 (50) 의 볼록부 (52b) 의 외주면과 접촉한다. 즉, 사용이 완료된 절삭 블레이드 (50) 가 파지 부재 (120) 에 의해 파지된다.Next, the gripping member 120 formed around the gripping portion 116 is brought into a closed state by the moving mechanism accommodated inside the gripping portion 116 of the blade gripping unit 114a. Thereby, the contact part 120a formed in the front-end|tip part of this holding member 120 comes into contact with the outer peripheral surface of the convex part 52b of the cutting blade 50. As shown in FIG. That is, the used cutting blade 50 is gripped by the gripping member 120 .

이어서, 절삭 유닛 (38a) 과 너트 유지 유닛 (140a) 을 이격시키도록, 절삭 유닛 이동 기구 (36a) 에 의해 절삭 유닛 (38a) 을 Y 축 방향을 따라 이동시킨다. 이로써, 절삭 유닛 (38a) 으로부터 사용이 완료된 절삭 블레이드 (50) 가 분리된다.Next, the cutting unit 38a is moved along the Y-axis direction by the cutting unit moving mechanism 36a so as to space the cutting unit 38a and the nut holding unit 140a apart. Thereby, the used cutting blade 50 is separated from the cutting unit 38a.

이어서, 모터 (102) (도 6 참조) 의 동력에 의해 샤프트 (106) 를 180°회전시킨다. 이로써, 지지 부재 (112) 가 회전하고, 블레이드 파지 유닛 (114a) 의 위치와 블레이드 파지 유닛 (114b) 의 위치가 교체된다. 그 결과, 미사용의 절삭 블레이드 (50) 를 유지하고 있는 블레이드 파지 유닛 (114b) 이 절삭 유닛 (38a) 의 마운트 (44) 에 대향한다.Then, the shaft 106 is rotated 180 DEG by the power of the motor 102 (see Fig. 6). Thereby, the support member 112 rotates, and the position of the blade holding unit 114a and the position of the blade holding unit 114b are exchanged. As a result, the blade gripping unit 114b holding the unused cutting blade 50 opposes the mount 44 of the cutting unit 38a.

이어서, 절삭 유닛 (38a) 과 블레이드 파지 유닛 (114b) 을 접근시키도록, 절삭 유닛 이동 기구 (36a) 에 의해 절삭 유닛 (38a) 을 Y 축 방향을 따라 이동시킨다. 이로써, 블레이드 파지 유닛 (114b) 에 의해 파지된 미사용의 절삭 블레이드 (50) 의 개구 (52a) 에 마운트 (44) 의 지지축 (48) 이 삽입된다.Next, the cutting unit 38a is moved along the Y-axis direction by the cutting unit moving mechanism 36a so that the cutting unit 38a and the blade gripping unit 114b may come close. Thereby, the support shaft 48 of the mount 44 is inserted into the opening 52a of the unused cutting blade 50 gripped by the blade gripping unit 114b.

이어서, 블레이드 파지 유닛 (114b) 의 파지부 (116) 의 내부에 수용된 이동 기구에 의해, 이 파지부 (116) 의 주위에 형성된 파지 부재 (120) 를 개방 상태로 한다. 이로써, 미사용의 절삭 블레이드 (50) 가 스핀들 (42) 의 선단부에 장착된다.Next, the gripping member 120 formed around the gripping portion 116 is brought into an open state by the moving mechanism accommodated inside the gripping portion 116 of the blade gripping unit 114b. Thereby, the unused cutting blade 50 is mounted on the front end of the spindle 42 .

이어서, 절삭 유닛 (38a) 과 블레이드 파지 유닛 (114b) 을 이격시키도록, 절삭 유닛 이동 기구 (36a) 에 의해 절삭 유닛 (38a) 을 Y 축 방향을 따라 이동시킨다. 이어서, 너트 (56) 를 유지한 상태의 너트 유지 유닛 (140a) 이 마운트 (44) 와 대향하도록, 착탈 유닛 이동 기구 (90) 에 의해 착탈 유닛 (98) 을 이동시킨다.Next, the cutting unit 38a is moved along the Y-axis direction by the cutting unit moving mechanism 36a so as to separate the cutting unit 38a and the blade gripping unit 114b. Next, the attaching and detaching unit 98 is moved by the attaching and detaching unit moving mechanism 90 so that the nut holding unit 140a in the state holding the nut 56 faces the mount 44 .

이어서, 절삭 유닛 (38a) 과 너트 유지 유닛 (140a) 을 접근시키도록, 절삭 유닛 이동 기구 (36a) 에 의해 절삭 유닛 (38a) 을 Y 축 방향을 따라 이동시킨다. 이로써, 너트 유지 유닛 (140a) 에 의해 유지된 너트 (56) 가, 마운트 (44) 의 지지축 (48) 의 선단부에 위치된다.Next, the cutting unit 38a is moved along the Y-axis direction by the cutting unit moving mechanism 36a so as to bring the cutting unit 38a and the nut holding unit 140a closer to each other. Thereby, the nut 56 held by the nut holding unit 140a is positioned at the distal end of the support shaft 48 of the mount 44 .

이어서, 모터 (132) 의 동력에 의해 샤프트 (136) 를 회전시키고, 너트 유지 유닛 (140a) 을 너트 (56) 가 조여지는 방향으로 회전시킨다. 이로써, 마운트 (44) 의 지지축 (48) 에 형성된 나사부 (48a) 에 너트 (56) 가 체결된다. 그 결과, 미사용의 절삭 블레이드 (50) 가 마운트 (44) 의 볼록부 (46b) 의 선단면 (46c) 과 너트 (56) 에 의해 협지되고, 절삭 유닛 (38a) 에 고정된다.Then, the shaft 136 is rotated by the power of the motor 132, and the nut holding unit 140a is rotated in the direction in which the nut 56 is tightened. Thereby, the nut 56 is fastened to the threaded part 48a formed in the support shaft 48 of the mount 44. As shown in FIG. As a result, the unused cutting blade 50 is sandwiched by the nut 56 and the distal end face 46c of the convex portion 46b of the mount 44, and is fixed to the cutting unit 38a.

이어서, 절삭 유닛 (38a) 과 너트 유지 유닛 (140a) 을 이격시키도록, 절삭 유닛 이동 기구 (36a) 에 의해 절삭 유닛 (38a) 을 Y 축 방향을 따라 이동시킨다. 이 때, 회전 부재 (142) 는 커버 (148) 의 외측을 향하여 이동하고, 복수의 파지 부재 (146) 가 개방 상태가 된다. 이로써, 복수의 파지 부재 (146) 에 의한 너트 (56) 의 파지가 해제된다.Next, the cutting unit 38a is moved along the Y-axis direction by the cutting unit moving mechanism 36a so as to space the cutting unit 38a and the nut holding unit 140a apart. At this time, the rotating member 142 moves toward the outside of the cover 148, and the some holding|gripping tool 146 becomes an open state. Thereby, the holding of the nut 56 by the some holding|gripping tool 146 is cancelled|released.

이어서, 파지 부재 (120) 에 의해 사용이 완료된 절삭 블레이드 (50) 가 파지되어 있는 블레이드 파지 유닛 (114a) 과 절삭 블레이드 스토커 (70a) 가 대향하도록, 착탈 유닛 이동 기구 (90) 에 의해 착탈 유닛 (98) 을 X 축 방향을 따라 이동시킨다.Next, the detachable unit moving mechanism 90 is attached to the detachable unit ( 98) is moved along the X-axis direction.

이 때, 필요하면, 블레이드 파지 유닛 (114a) 의 파지부 (116) 와, 절삭 블레이드 스토커 (70a) 의 절삭 블레이드 수용부 (78) 가 대향하도록 절삭 블레이드 스토커 (70a) 의 스핀들 (74) 을 회전시킨다.At this time, if necessary, the spindle 74 of the cutting blade stocker 70a is rotated so that the gripping portion 116 of the blade gripping unit 114a and the cutting blade receiving portion 78 of the cutting blade stocker 70a face each other. make it

그리고, 절삭 블레이드 교환 유닛 (64) 에 있어서는, 절삭 블레이드 스토커 (70a) 에 형성된 촬상 유닛 (수용 판정 유닛) (86) (도 4 참조) 을 사용하여 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 다른 절삭 블레이드가 수용되어 있지 않은 것이 확인된 후, 사용이 완료된 절삭 블레이드 (50) 가 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 수용된다.And, in the cutting blade exchange unit 64, another cutting blade is placed in the cutting blade accommodating portion 78 using an imaging unit (acceptance determination unit) 86 (refer to Fig. 4) formed in the cutting blade stocker 70a. After it is confirmed that it is not accommodated, the used cutting blade 50 is accommodated in the cutting blade accommodating portion 78 .

이하에서는, 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 다른 절삭 블레이드가 수용되어 있는지의 여부의 확인 동작에 대해, 도 7(A) 및 도 7(B) 를 참조하여 설명한다. 또한, 도 7(A) 는, 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 다른 절삭 블레이드가 수용되어 있는 절삭 블레이드 스토커 (70a) 의 일부를 모식적으로 나타내는 측면도이고, 도 7(B) 는, 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 다른 절삭 블레이드가 수용되어 있지 않은 절삭 블레이드 스토커 (70a) 의 일부를 모식적으로 나타내는 측면도이다.Hereinafter, an operation for checking whether or not another cutting blade is accommodated in the cutting blade accommodating portion 78 will be described with reference to FIGS. 7A and 7B . 7(A) is a side view schematically showing a part of a cutting blade stocker 70a in which another cutting blade is accommodated in the cutting blade accommodating portion 78, and FIG. 7(B) is a cutting blade accommodation. It is a side view which shows typically a part of the cutting blade stocker 70a in which the other cutting blade is not accommodated in the part 78. As shown in FIG.

이 확인을 실시할 때에는, 먼저, 지지 부재 (76) 의 이면 (76b) 측에 형성된 촬상 유닛 (86) 에 의해, 절삭 블레이드 (50) 의 알루미늄 등의 금속 재료로 이루어지는 기대 (52) 의 이면측을 명확하게 촬상 가능한 위치 (지지 부재 (76) 의 표면 (76a) 으로부터 소정의 거리 (d) 만큼 떨어진 위치) 에 절삭 블레이드 (50) 를 위치시킨다.When performing this confirmation, first, by the imaging unit 86 formed in the back surface 76b side of the support member 76, the back side of the base 52 which consists of metal materials, such as aluminum, of the cutting blade 50 The cutting blade 50 is positioned at a position (a position separated by a predetermined distance d from the surface 76a of the support member 76) at which it can be clearly imaged.

구체적으로는, 기대 (52) 의 이면에 의해 촬상 유닛 (86) 의 조명부 (86b) 로부터 조사된 광이 반사되어 대물 렌즈 (86a) 에 입사되도록, 착탈 유닛 이동 기구 (90) 의 Y 축 이동 기구에 의해 기대 (90a) 를 Y 축 방향을 따라 이동시킨다.Specifically, the Y-axis movement mechanism of the detachable unit movement mechanism 90 is such that the light irradiated from the lighting unit 86b of the imaging unit 86 is reflected by the back surface of the base 52 and is incident on the objective lens 86a. to move the base 90a along the Y-axis direction.

바꿔 말하면, 촬상 유닛 (86) 의 조명부 (86b) 는, 지지 부재 (76) 의 표면 (76a) 으로부터 소정의 거리 (d) 만큼 떨어진 위치에 절삭 블레이드 (50) 가 위치된 경우에 기대 (52) 의 이면측을 명확하게 촬상 가능하도록 (조명부 (86b) 로부터 조사된 광이 기대 (52) 의 이면에 의해 반사되어 대물 렌즈 (86a) 에 입사되도록), 그 광의 출사각 및 위치가 설계된다.In other words, the illumination portion 86b of the imaging unit 86 is positioned at a position separated by a predetermined distance d from the surface 76a of the support member 76, the base 52 when the cutting blade 50 is positioned. The emission angle and position of the light are designed so that the back side of the light can be clearly imaged (so that the light irradiated from the lighting unit 86b is reflected by the back surface of the base 52 and is incident on the objective lens 86a).

이어서, 조명부 (86b) 로부터 광이 조사된 상태에서 촬상 유닛 (86) 이 촬상을 실시한다. 여기서, 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 다른 절삭 블레이드 (51) 가 수용되어 있는 경우 (도 7(A) 참조) 에는, 조명부 (86b) 로부터 조사되는 광은, 절삭 블레이드 (50) 에 도달하지 않고, 절삭 블레이드 (51) 의 기대 (52) 의 이면에 의해 반사되어 대물 렌즈 (86a) 에 입사되지 않는다. 그 때문에, 촬상 유닛 (86) 에 의한 촬상에 의해 얻어진 화상에는, 절삭 블레이드 (51) 의 기대 (52) 의 이면에 대응하는 비교적 어두운 환상의 부분이 포함된다.Next, the imaging unit 86 performs imaging in the state irradiated with light from the illumination part 86b. Here, in the case where another cutting blade 51 is accommodated in the cutting blade accommodating portion 78 (refer to Fig. 7(A) ), the light irradiated from the lighting unit 86b does not reach the cutting blade 50 . , is reflected by the back surface of the base 52 of the cutting blade 51 and is not incident on the objective lens 86a. Therefore, the relatively dark annular part corresponding to the back surface of the base 52 of the cutting blade 51 is contained in the image obtained by imaging by the imaging unit 86.

한편, 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 다른 절삭 블레이드 (51) 가 수용되어 있지 않은 경우 (도 7(B) 참조) 에는, 조명부 (86b) 로부터 조사되는 광은, 상기 서술한 바와 같이, 절삭 블레이드 (50) 의 기대 (52) 의 이면에 의해 반사되어 대물 렌즈 (86a) 에 입사된다. 그 때문에, 촬상 유닛 (86) 에 의한 촬상에 의해 얻어진 화상에는, 절삭 블레이드 (50) 의 기대 (52) 의 이면에 대응하는 비교적 밝은 환상의 부분이 포함된다.On the other hand, when the other cutting blade 51 is not accommodated in the cutting blade accommodating part 78 (refer FIG. 7(B)), the light irradiated from the illumination part 86b is a cutting blade as mentioned above. It is reflected by the back surface of the base 52 of 50 and is incident on the objective lens 86a. Therefore, the relatively bright annular part corresponding to the back surface of the base 52 of the cutting blade 50 is contained in the image obtained by imaging by the imaging unit 86.

이어서, 제어 유닛 (66) (도 1 참조) 이 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 절삭 블레이드 (51) 가 수용되어 있는지를 판정한다. 또한, 제어 유닛 (66) 은, 촬상 유닛 (86) 에 의한 촬상에 의해 얻어진 화상에 포함되는 절삭 블레이드 (51) 또는 절삭 블레이드 (50) 에 대응하는 부분으로부터 휘도를 산출하는 휘도 산출부 (66a) 를 갖는다.Next, the control unit 66 (see FIG. 1 ) determines whether the cutting blade 51 is accommodated in the cutting blade receiving portion 78 . In addition, the control unit 66 includes a luminance calculation unit 66a that calculates luminance from a portion corresponding to the cutting blade 51 or the cutting blade 50 included in the image obtained by imaging by the imaging unit 86 . has

즉, 휘도 산출부 (66a) 는, 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 절삭 블레이드 (51) 가 수용되어 있는 경우에는, 당해 화상에 포함되는 절삭 블레이드 (51) 에 대응하는 부분으로부터 휘도를 산출하고, 또, 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 절삭 블레이드 (51) 가 수용되어 있지 않은 경우에는, 당해 화상에 포함되는 절삭 블레이드 (50) 에 대응하는 부분으로부터 휘도를 산출한다.That is, when the cutting blade 51 is accommodated in the cutting blade accommodating unit 78, the brightness calculating unit 66a calculates the brightness from a portion corresponding to the cutting blade 51 included in the image, Moreover, when the cutting blade 51 is not accommodated in the cutting blade accommodating part 78, the brightness|luminance is computed from the part corresponding to the cutting blade 50 contained in the said image.

또, 제어 유닛 (66) 은, 당해 화상에 포함되는 절삭 블레이드 (51) 에 대응하는 부분의 휘도와, 당해 화상에 포함되는 절삭 블레이드 (50) 에 대응하는 부분의 휘도를 구별하는 기준이 되는 임계값이 기억되어 있는 임계값 기억부 (66b) 를 갖는다.In addition, the control unit 66 is a threshold used as a criterion for discriminating the luminance of a portion corresponding to the cutting blade 51 included in the image and the luminance of a portion corresponding to the cutting blade 50 included in the image. It has a threshold value storage unit 66b in which a value is stored.

또, 제어 유닛 (66) 은, 휘도 산출부 (66a) 에서 산출된 휘도를 임계값 기억부 (66b) 에 기억된 임계값과 비교함으로써, 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 절삭 블레이드 (51) 가 수용되어 있는지의 여부를 판정하는 판정부 (66c) 를 갖는다.Further, the control unit 66 compares the luminance calculated by the luminance calculation unit 66a with the threshold value stored in the threshold value storage unit 66b, so that the cutting blade 51 is stored in the cutting blade accommodating unit 78 . It has a judging unit 66c that determines whether or not it has been accommodated.

즉, 제어 유닛 (66) 에 있어서는, 촬상 유닛 (86) 에 의한 촬상에 의해 얻어진 화상에 포함되는 절삭 블레이드 (51) 또는 절삭 블레이드 (50) 에 대응하는 부분으로부터 휘도 산출부 (66a) 가 산출한 휘도와, 임계값 기억부 (66b) 에 기억되어 있는 임계값을 판정부 (66c) 가 비교함으로써, 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 절삭 블레이드 (51) 가 수용되어 있는지의 여부가 판정된다.That is, in the control unit 66 , the luminance calculation unit 66a calculated from the portion corresponding to the cutting blade 51 or the cutting blade 50 included in the image obtained by the imaging by the imaging unit 86 . By comparing the brightness with the threshold value stored in the threshold value storage unit 66b, the determination unit 66c determines whether the cutting blade 51 is accommodated in the cutting blade accommodating unit 78 or not.

구체적으로는, 휘도가 임계값보다 높은 경우, 판정부 (66c) 가 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 절삭 블레이드 (51) 가 수용되어 있지 않은 것으로 판정한다. 또, 휘도가 임계값보다 낮은 경우, 판정부 (66c) 가 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 절삭 블레이드 (51) 가 수용되어 있는 것으로 판정한다.Specifically, when the luminance is higher than the threshold value, the determination unit 66c determines that the cutting blade 51 is not accommodated in the cutting blade accommodating portion 78 . Moreover, when the luminance is lower than the threshold value, the determination unit 66c determines that the cutting blade 51 is accommodated in the cutting blade accommodating portion 78 .

제어 유닛 (66) 이 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 절삭 블레이드 (51) 가 수용되어 있지 않은 것으로 판정한 경우에는, 블레이드 파지 유닛 (114a) 에 의해 유지된 절삭 블레이드 (50) 의 개구 (52a) (도 2 참조) 에, 절삭 블레이드 수용부 (78) 의 보스부 (82) 가 삽입된다. 구체적으로는, 절삭 블레이드 (50) 가 지지 부재 (76) 의 표면 (76a) 에 접촉하도록, 착탈 유닛 이동 기구 (90) 의 Y 축 이동 기구에 의해 기대 (90a) 를 Y 축 방향을 따라 이동시킨다.When the control unit 66 determines that the cutting blade 51 is not accommodated in the cutting blade accommodating portion 78, the opening 52a of the cutting blade 50 held by the blade gripping unit 114a In (see Fig. 2), the boss portion 82 of the cutting blade receiving portion 78 is inserted. Specifically, the base 90a is moved along the Y-axis direction by the Y-axis movement mechanism of the detachable unit movement mechanism 90 so that the cutting blade 50 comes into contact with the surface 76a of the support member 76 . .

이어서, 블레이드 파지 유닛 (114a) 의 파지부 (116) 의 내부에 수용된 이동 기구에 의해, 이 파지부 (116) 의 주위에 형성된 파지 부재 (120) 를 개방 상태로 한다. 이로써, 이 파지 부재 (120) 의 선단부에 형성된 접촉부 (120a) 가 절삭 블레이드 (50) 의 볼록부 (52b) 의 외주면으로부터 이격된다.Next, the gripping member 120 formed around the gripping portion 116 is brought into an open state by the moving mechanism accommodated inside the gripping portion 116 of the blade gripping unit 114a. Thereby, the contact part 120a formed in the front-end|tip part of this holding member 120 is spaced apart from the outer peripheral surface of the convex part 52b of the cutting blade 50. As shown in FIG.

이어서, 이 파지부 (116) 의 표면 (116a) 으로부터 돌출되는 위치 결정 핀 (118) 이 보스부 (82) 로부터 이격되도록, 착탈 유닛 이동 기구 (90) 의 Y 축 이동 기구에 의해 기대 (90a) 를 Y 축 방향을 따라 이동시킨다. 이로써, 사용이 완료된 절삭 블레이드 (50) 가 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 반입된다.Next, the base 90a is moved by the Y-axis movement mechanism of the detachable unit movement mechanism 90 so that the positioning pin 118 protruding from the surface 116a of the gripping portion 116 is spaced apart from the boss portion 82 . is moved along the Y-axis direction. Thereby, the used cutting blade 50 is carried into the cutting blade accommodating part 78. As shown in FIG.

한편, 제어 유닛 (66) 이 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 절삭 블레이드 (51) 가 수용되어 있는 것으로 판정한 경우에는, 블레이드 파지 유닛 (114a) 의 파지부 (116) 와 다른 절삭 블레이드 수용부 (78) 가 대향하도록 절삭 블레이드 스토커 (70a) 의 스핀들 (74) (도 5 참조) 을 회전시킨다. 그리고, 상기 서술한 바와 같이, 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 다른 절삭 블레이드 (51) 가 수용되어 있는지의 여부의 확인 동작을 다시 실시한다.On the other hand, when the control unit 66 determines that the cutting blade 51 is accommodated in the cutting blade receiving portion 78, the cutting blade receiving portion different from the gripping portion 116 of the blade gripping unit 114a ( 78) rotate the spindle 74 (refer to FIG. 5) of the cutting blade stocker 70a to face. And as mentioned above, the confirmation operation|movement of whether the other cutting blade 51 is accommodated in the cutting blade accommodating part 78 is performed again.

또한, 제어 유닛 (66) 이 절삭 블레이드 스토커 (70a) 의 복수의 절삭 블레이드 수용부 (78) 의 전부에 절삭 블레이드 (51) 가 수용되어 있는 것으로 판정한 경우에는, 절삭 장치 (2) 의 디스플레이 (도시 생략) 또는 파일럿 램프 (도시 생략) 를 사용하여 에러 메시지가 절삭 장치 (2) 의 오퍼레이터에게 통지된다.Further, when the control unit 66 determines that the cutting blade 51 is accommodated in all of the plurality of cutting blade accommodating portions 78 of the cutting blade stocker 70a, the display ( An error message is notified to the operator of the cutting device 2 using a pilot ramp (not shown) or a pilot ramp (not shown).

상기 서술한 바와 같이, 절삭 장치 (2) 에 있어서는, 촬상 유닛 (수용 판정 유닛) (86) 을 사용하여 절삭 블레이드 (51) 가 수용되어 있지 않은 것으로 판정된 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 절삭 블레이드 (50) 가 반입된다. 이로써, 이미 다른 절삭 블레이드 (51) 가 수용되어 있는 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 대하여 절삭 블레이드 (50) 가 반입되는 것이 방지된다.As described above, in the cutting device 2, the cutting blade is placed in the cutting blade accommodating portion 78 determined that the cutting blade 51 is not accommodated using the imaging unit (acceptance determination unit) 86. (50) is brought in. Thereby, it is prevented that the cutting blade 50 is carried in with respect to the cutting blade accommodating part 78 in which the other cutting blade 51 is already accommodated.

또한, 촬상 유닛 (86) 에 의해 촬상되는 절삭 블레이드 (50) 의 기대 (52) 의 이면측에는, 절삭 블레이드 (50) 의 종류 및 특성 중 일방 또는 쌍방을 기록한 기록부 (52c) 가 형성되어 있다. 그 때문에, 제어 유닛 (66) 의 판정부 (66c) 는, 촬상 유닛 (86) 에 의한 촬상에 의해 얻어지는 화상에 포함되는 기록부 (52c) 에 대응하는 부분에 기초하여 절삭 블레이드 (50) 의 종류 및 특성 중 일방 또는 쌍방의 판정을 실시할 수도 있다.Further, on the back side of the base 52 of the cutting blade 50 imaged by the imaging unit 86, a recording unit 52c in which one or both of the types and characteristics of the cutting blade 50 are recorded is formed. Therefore, the determination unit 66c of the control unit 66 determines the type of the cutting blade 50 and One or both of the characteristics may be determined.

즉, 절삭 장치 (2) 에 있어서는, 2 개의 판정 (절삭 블레이드 수용부 (78) 에 절삭 블레이드가 수용되어 있는지의 여부의 판정 및 절삭 블레이드 (50) 의 종류 및 특성 중 일방 또는 쌍방의 판정) 이 단일의 촬상 유닛 (86) 에 의해 얻어진 화상에 기초하여 실시되어도 된다. 이 경우, 절삭 블레이드 (50) 의 종류 및 특성 중 일방 또는 쌍방의 판정을 실시하기 위한 기구를 새로 형성할 필요가 없기 때문에, 절삭 장치 (2) 의 제조 비용을 저감시킬 수 있다.That is, in the cutting device 2, two determinations (determination of whether a cutting blade is accommodated in the cutting blade accommodating portion 78 and determination of one or both of the type and characteristics of the cutting blade 50) It may be implemented based on the image obtained by the single imaging unit 86. In this case, since it is not necessary to newly form a mechanism for determining one or both of the types and characteristics of the cutting blade 50 , the manufacturing cost of the cutting device 2 can be reduced.

또한, 절삭 장치 (2) 는, 본 발명의 일 양태에 불과하며, 본 발명의 절삭 장치는, 절삭 장치 (2) 의 구성에 한정되지 않는다. 예를 들어, 본 발명에 있어서는, 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 다른 절삭 블레이드 (51) 가 수용되어 있는지의 여부를 판정할 수 있으면 되고, 그 판정 동작은, 상기 서술한 것에 한정되지 않는다.In addition, the cutting device 2 is only one aspect of this invention, and the cutting device of this invention is not limited to the structure of the cutting device 2 . For example, in the present invention, it may be determined whether or not another cutting blade 51 is accommodated in the cutting blade accommodating portion 78 , and the determination operation is not limited to the above.

구체적으로는, 촬상 유닛 (86) 은, 예를 들어, 가시광 또는 적외선 등의 광을 조사하는 투광부와, 피검출물에 의해 반사된 광을 수광하여 전기 신호를 생성하는 광전 센서 등의 센서로 치환되어도 된다. 그리고, 본 발명에 있어서는, 이 센서에 있어서 생성된 전기 신호에 기초하여, 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 다른 절삭 블레이드 (51) 가 수용되어 있는지의 여부가 판정되어도 된다.Specifically, the imaging unit 86 includes, for example, a light projection unit that irradiates visible light or infrared light, and a photoelectric sensor that receives the light reflected by the detected object to generate an electrical signal. may be substituted. And in the present invention, based on the electric signal generated by this sensor, it may be determined whether or not the other cutting blade 51 is accommodated in the cutting blade accommodating portion 78 .

또, 절삭 블레이드 수용부 (78) 의 전면 (지지 부재 (76) 의 표면 (76a)) 측에는, 절삭 블레이드 수용부 (78) 의 전면측을 덮는 폐쇄 위치와, 절삭 블레이드 수용부 (78) 의 전면측을 노출시키는 개방 위치 사이에서 이동 가능한 셔터가 형성되어도 된다.Further, on the front surface (surface 76a of the support member 76) side of the cutting blade receiving portion 78, a closed position covering the front side of the cutting blade receiving portion 78, and the front surface of the cutting blade receiving portion 78 A shutter movable between the open positions exposing the sides may be formed.

이 셔터는, 예를 들어, 폐쇄 위치에 있어서, 지지 부재 (76) 의 표면 (76a) 으로부터 소정의 거리 (d) 만큼 이격되는 면을 갖고, 이 면이 촬상 유닛 (86) 의 조명부 (86b) 로부터 조사되는 광을 반사시킬 수 있다.This shutter, for example, in the closed position, has a surface spaced apart from the surface 76a of the support member 76 by a predetermined distance d, and this surface is the illumination portion 86b of the imaging unit 86 . It can reflect the light irradiated from it.

그리고, 이 경우에는, 이 셔터를 폐쇄 위치에 배치한 상태에서의 촬상 유닛 (86) 에 의한 촬상에 의해 얻어진 화상에 기초하여, 상기 서술한 판정 동작과 동일하게, 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 다른 절삭 블레이드 (51) 가 수용되어 있는지의 여부를 판정할 수 있다.And in this case, on the basis of the image obtained by the imaging by the imaging unit 86 in the state which has arrange|positioned this shutter in the closed position, similarly to the determination operation mentioned above, in the cutting blade receiving part 78 It can be determined whether the other cutting blade 51 is accommodated.

즉, 절삭 블레이드 (50) 를 지지 부재 (76) 의 표면 (76a) 으로부터 소정의 거리 (d) 만큼 이격되는 위치에 위치시키지 않고, 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 다른 절삭 블레이드 (51) 가 수용되어 있는지의 여부를 판정할 수 있다.That is, without positioning the cutting blade 50 at a position spaced apart from the surface 76a of the support member 76 by a predetermined distance d, the other cutting blade 51 is accommodated in the cutting blade accommodating portion 78 . It can be determined whether or not

또, 촬상 유닛 (86) 의 조명부 (86b) 는, 사광 조명이 아니라, 동축 조명이어도 된다. 이 경우, 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 다른 절삭 블레이드 (51) 가 수용되어 있는 상태에서의 촬상 유닛 (86) 에 의한 촬상에 의해 얻어진 화상에는, 절삭 블레이드 (51) 의 기대 (52) 의 이면에 대응하는 비교적 밝은 환상의 부분이 포함된다.In addition, the illumination part 86b of the imaging unit 86 may not be slanting illumination but coaxial illumination may be sufficient as it. In this case, the image obtained by imaging by the imaging unit 86 in a state where the other cutting blade 51 is accommodated in the cutting blade accommodating portion 78 is shown on the back surface of the base 52 of the cutting blade 51 . The relatively bright part of the annular corresponding to is included.

한편, 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 다른 절삭 블레이드 (51) 가 수용되어 있지 않은 상태에서의 촬상 유닛 (86) 에 의한 촬상에 의해 얻어진 화상에는, 그러한 밝은 환상의 부분이 포함되지 않는다.On the other hand, the image obtained by imaging by the imaging unit 86 in a state where the other cutting blade 51 is not accommodated in the cutting blade accommodating portion 78 does not include such a bright annular portion.

그 때문에, 촬상 유닛 (86) 의 조명부 (86b) 가 동축 조명으로 치환되는 경우라도, 상기 서술한 판정 동작과 동일한 방법에 의해, 제어 유닛 (66) 이 절삭 블레이드 수용부 (78) 에 절삭 블레이드 (51) 가 수용되어 있는지의 여부를 판정할 수 있다.Therefore, even when the illumination portion 86b of the imaging unit 86 is replaced with coaxial illumination, the control unit 66 attaches the cutting blade accommodating portion 78 to the cutting blade accommodating portion 78 by the same method as the above-described determination operation. 51) can be determined whether or not is accepted.

그 밖에, 상기 서술한 실시형태 및 변형예에 관련된 구조 및 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한에 있어서 적절히 변경하여 실시할 수 있다.In addition, the structure, method, etc. which concern on embodiment and the modified example mentioned above can be implemented by changing suitably, unless it deviates from the range of the objective of this invention.

11 : 피가공물
13 : 다이싱 테이프
15 : 프레임
2 : 절삭 장치
4 : 기대 (4a, 4b : 개구)
6 : 카세트 재치대
8 : 카세트
10 : 척 테이블 이동 기구 (10a : 이동 테이블)
12 : 방진 방적 커버
14 : 척 테이블 (14a : 유지면)
16 : 클램프
18 : 가이드 레일
20 : 제 1 지지 구조
22 : 레일
24 : 제 1 반송 유닛 이동 기구
26 : 제 1 반송 유닛 (26a : 파지부)
28 : 레일
30 : 제 2 반송 유닛 이동 기구
32 : 제 2 반송 유닛
34 : 제 2 지지 구조
36a, 36b : 절삭 유닛 이동 기구
38a, 38b : 절삭 유닛
40 : 하우징
42 : 스핀들
44 : 마운트
46 : 플랜지부 (46a : 표면, 46b : 볼록부, 46c : 선단면)
48 : 지지축 (48a : 나사부, 48b : 오목부)
50, 51 : 절삭 블레이드
52 : 기대 (52a : 개구, 52b : 볼록부, 52c : 기록부)
54 : 절삭날
56 : 너트 (56a : 개구, 56b : 관통공)
60 : 카메라
62 : 세정 유닛 (62a : 스피너 테이블, 62b : 노즐)
64 : 절삭 블레이드 교환 유닛
66 : 제어 유닛 (66a : 휘도 산출부, 66b : 임계값 기억부, 66c : 판정부)
70a, 70b : 절삭 블레이드 스토커
72 : 지지 구조
74 : 스핀들
76 : 지지 부재 (76a : 표면, 76b : 이면, 76c : 개구)
78 : 절삭 블레이드 수용부
80 : 지지 부재 (80a : 표면)
82 : 보스부 (지지축)
86 : 촬상 유닛 (수용 판정 유닛) (86a : 대물 렌즈, 86b : 조명부)
88 : 절삭 블레이드 반송 기구
90 : 착탈 유닛 이동 기구 (90a : 기대)
92 : 볼 나사
94 : 이동 블록
96 : 지지 부재 (96a : 상벽부, 96b : 측벽부, 96c : 지지부)
98 : 착탈 유닛
100 : 블레이드 착탈 유닛
102 : 모터 (102a : 케이싱, 102b : 활차)
104 : 동력 전달 기구 (104a : 케이싱, 104b : 활차, 104c : 관통공)
106 : 샤프트
108 : 연결 부재
110a, 110b : 블레이드 유지 유닛
112 : 지지 부재
114a, 114b : 블레이드 파지 유닛
116 : 파지부 (116a : 표면)
118 : 위치 결정 핀
120 : 파지 부재 (120a : 접촉부)
130 : 너트 착탈 유닛
132 : 모터 (132a : 케이싱, 132b : 활차)
134 : 동력 전달 기구 (134a : 케이싱, 134b : 활차, 134c : 관통공)
136 : 샤프트
138 : 연결 부재
140a, 140b : 너트 유지 유닛
142 : 회전 부재 (142a : 표면)
144 : 유지 핀
146 : 파지 부재 (146a : 클로부)
148 : 커버11: work piece
13: dicing tape
15 : frame
2: cutting device
4: expect (4a, 4b: opening)
6: Cassette stand
8 : cassette
10: chuck table moving mechanism (10a: moving table)
12: dust-proof and drip-proof cover
14: chuck table (14a: holding surface)
16: clamp
18: guide rail
20: first support structure
22 : rail
24: 1st conveyance unit moving mechanism
26: first conveying unit (26a: gripping unit)
28 : rail
30: 2nd conveyance unit moving mechanism
32: second conveying unit
34: second support structure
36a, 36b: cutting unit moving mechanism
38a, 38b: cutting units
40: housing
42: spindle
44 : mount
46: flange portion (46a: surface, 46b: convex portion, 46c: tip surface)
48: support shaft (48a: threaded portion, 48b: concave portion)
50, 51: cutting blades
52: expectation (52a: opening, 52b: convex part, 52c: recording part)
54: cutting edge
56: nut (56a: opening, 56b: through hole)
60 : camera
62: cleaning unit (62a: spinner table, 62b: nozzle)
64: cutting blade exchange unit
66 control unit (66a: luminance calculation unit, 66b: threshold value storage unit, 66c: determination unit)
70a, 70b: cutting blade stocker
72: support structure
74: spindle
76: support member (76a: front surface, 76b: back surface, 76c: opening)
78: cutting blade receiving part
80: support member (80a: surface)
82: boss part (support shaft)
86: imaging unit (acceptance determination unit) (86a: objective lens, 86b: lighting unit)
88: cutting blade conveyance mechanism
90: detachable unit moving mechanism (90a: expect)
92: ball screw
94: move block
96: support member (96a: upper wall portion, 96b: side wall portion, 96c: support portion)
98: detachable unit
100: blade detachable unit
102: motor (102a: casing, 102b: pulley)
104: power transmission mechanism (104a: casing, 104b: pulley, 104c: through hole)
106: shaft
108: connection member
110a, 110b: blade holding unit
112: support member
114a, 114b: blade gripping unit
116: grip portion (116a: surface)
118: positioning pin
120: gripping member (120a: contact part)
130: nut detachable unit
132: motor (132a: casing, 132b: pulley)
134: power transmission mechanism (134a: casing, 134b: pulley, 134c: through hole)
136: shaft
138: connection member
140a, 140b: Nut retaining unit
142: rotating member (142a: surface)
144: retaining pin
146: gripping member (146a: claw part)
148: cover

Claims (6)

피가공물을 유지하는 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지된 그 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 회전 가능하게 장착한 절삭 유닛과, 그 절삭 유닛에 장착된 그 절삭 블레이드를 자동적으로 착탈하는 절삭 블레이드 교환 유닛을 구비한 절삭 장치로서,
그 절삭 블레이드 교환 유닛은, 그 절삭 블레이드를 개별적으로 수용하는 복수의 절삭 블레이드 수용부를 갖는 절삭 블레이드 스토커와, 그 절삭 블레이드 스토커와 그 절삭 유닛 사이에서 그 절삭 블레이드를 반송하는 절삭 블레이드 반송 기구를 구비하고,
그 절삭 블레이드 스토커는, 그 절삭 블레이드 수용부에 그 절삭 블레이드가 수용되어 있는지의 여부의 판정에 사용되는 수용 판정 유닛을 구비하고,
그 절삭 블레이드 반송 기구는, 그 수용 판정 유닛을 사용하여 그 절삭 블레이드가 수용되어 있지 않은 것으로 판정된 그 절삭 블레이드 수용부에 그 절삭 블레이드를 반입하는 절삭 장치.Exchanging a chuck table for holding a workpiece, a cutting unit rotatably mounted with a cutting blade for cutting the workpiece held on the chuck table, and a cutting blade for automatically attaching and detaching the cutting blade mounted on the cutting unit A cutting device having a unit, comprising:
The cutting blade exchange unit includes a cutting blade stocker having a plurality of cutting blade accommodating portions individually accommodating the cutting blades, and a cutting blade conveying mechanism for conveying the cutting blades between the cutting blade stocker and the cutting unit, ,
The cutting blade stocker includes an accommodation determination unit used for determining whether the cutting blade is accommodated in the cutting blade receiving portion;
The cutting blade conveying mechanism is a cutting device that carries the cutting blade into the cutting blade accommodating part determined that the cutting blade is not accommodated using the accommodation determination unit. 제 1 항에 있어서,
그 절삭 블레이드 반송 기구의 동작을 제어하는 제어 유닛을 추가로 포함하고,
그 수용 판정 유닛은, 그 절삭 블레이드 수용부에 광을 조사하는 조명부와, 그 조명부로부터 광이 조사된 상태에서 광을 수광하여 전기 신호로 변환시키는 촬상 소자를 포함하고,
그 제어 유닛은,
그 수용 판정 유닛의 촬상에 의해 얻어지는 화상에 포함되는 그 절삭 블레이드에 대응하는 부분으로부터 휘도를 산출하는 휘도 산출부와,
그 절삭 블레이드 수용부에 그 절삭 블레이드가 수용되어 있는 상태에 있어서의 그 수용 판정 유닛에 의한 촬상에 의해 얻어지는 화상에 포함되는 그 절삭 블레이드에 대응하는 부분의 휘도와, 그 절삭 블레이드 수용부에 그 절삭 블레이드가 수용되지 않고, 또한 그 절삭 블레이드 수용부로부터 소정의 거리만큼 떨어진 위치에 그 절삭 블레이드가 위치된 상태에 있어서의 그 수용 판정 유닛에 의한 촬상에 의해 얻어지는 화상에 포함되는 그 절삭 블레이드에 대응하는 부분의 휘도를 구별하는 기준이 되는 임계값을 기억하는 임계값 기억부와,
그 휘도 산출부에서 산출된 그 휘도를 그 임계값 기억부에 기억된 그 임계값과 비교함으로써, 그 절삭 블레이드 수용부에 그 절삭 블레이드가 수용되어 있는지의 여부를 판정하는 판정부를 포함하는 절삭 장치.The method of claim 1,
Further comprising a control unit for controlling the operation of the cutting blade conveying mechanism,
The acceptance determination unit includes an illuminating unit that irradiates light to the cutting blade accommodating unit, and an imaging element that receives the light in a state irradiated from the illuminating unit and converts it into an electric signal,
The control unit is
a brightness calculation unit for calculating brightness from a portion corresponding to the cutting blade included in an image obtained by imaging of the acceptance determination unit;
The luminance of a portion corresponding to the cutting blade included in an image obtained by imaging by the accommodation determination unit in a state in which the cutting blade is accommodated in the cutting blade accommodating portion, and the cutting edge in the cutting blade receiving portion corresponding to the cutting blade included in an image obtained by imaging by the accommodation determination unit in a state in which the blade is not accommodated and the cutting blade is positioned at a position separated by a predetermined distance from the cutting blade accommodating portion a threshold value storage unit for storing a threshold value serving as a criterion for discriminating the luminance of a portion;
and a judging unit for judging whether or not the cutting blade is accommodated in the cutting blade accommodating unit by comparing the luminance calculated by the luminance calculating unit with the threshold value stored in the threshold value storage unit. 제 2 항에 있어서,
그 절삭 블레이드는, 그 절삭 블레이드의 종류 및 특성 중 일방 또는 쌍방을 기록한 기록부를 구비하고,
그 판정부는, 그 수용 판정 유닛에 의한 촬상에 의해 얻어지는 화상에 포함되는 그 기록부에 대응하는 부분에 기초하여 그 절삭 블레이드의 종류 및 특성 중 일방 또는 쌍방을 판정하는 절삭 장치.3. The method of claim 2,
The cutting blade is provided with a recording unit in which one or both of the types and characteristics of the cutting blade are recorded;
The judging unit determines one or both of the types and characteristics of the cutting blade based on a portion corresponding to the recording unit included in an image obtained by imaging by the acceptance judging unit. 제 2 항에 있어서,
그 조명부는, 사광 조명인 절삭 장치.3. The method of claim 2,
The illuminating unit is a cutting device that is slanted illumination. 제 3 항에 있어서,
그 조명부는, 사광 조명인 절삭 장치.4. The method of claim 3,
The illuminating unit is a cutting device that is slanted illumination. 제 2 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
그 절삭 블레이드 수용부는, 투명한 지지 부재의 표면에 형성되고,
그 수용 판정 유닛은, 그 지지 부재의 이면측에 배치 형성되고,
그 수용 판정 유닛은, 그 지지 부재를 개재하여, 그 절삭 블레이드를 촬상하는 절삭 장치.6. The method according to any one of claims 2 to 5,
The cutting blade receiving portion is formed on the surface of the transparent support member,
The acceptance determination unit is disposed and formed on the back side of the support member,
The acceptance determination unit is a cutting device that images the cutting blade through the support member.
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