KR20220088576A - Apparatus for transporting container - Google Patents

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최지민
김지훈
이민균
이승준
이영수
박민수
백경담
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 운반 용기 이송 장치는 장치 본체와, 상기 장치 본체에 설치되어 슬라이딩 이동되어 접철되는 접철부와, 상기 접철부의 일부를 지지하는 지지부재와, 운반 용기의 종류를 감지하기 위한 복수개의 센서와, 상기 접철부에 연결되며 상기 운반 용기가 카세트인 경우 상기 카세트를 지지하는 가이드부재를 구비하며, 상기 운반 용기를 파지하는 용기 파지부 및 상기 장치 본체에 연결되며 상기 운반 용기의 낙하를 방지하는 낙하 방지 유닛을 포함할 수 있다.A transport container transport device according to an embodiment of the present invention includes a device body, a folding part installed on the device body and slidingly moved to be folded, a support member supporting a part of the folding part, and for detecting the type of transport container A plurality of sensors and a guide member connected to the foldable part and supporting the cassette when the transport container is a cassette, the container holding part for holding the transport container, and the device body are connected to the drop of the transport container It may include a fall prevention unit to prevent the.

Description

운반 용기 이송 장치{Apparatus for transporting container}Transport container transfer device {Apparatus for transporting container}

본 발명은 운반 용기 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a transport container transport device.

OHT(Overhead Hoist Transport)는 반도체 라인 내에서 설비간 제품 운반 용기, 즉 반송물(FOSB, MAC, CST 등)을 이송하는 운반 용기 이송 장치로서, 각 반송물 종류에 따라 다양한 종류의 운반 용기 이송 장치가 필요하다.OHT (Overhead Hoist Transport) is a transport container transport device that transports product transport containers, that is, transported goods (FOSB, MAC, CST, etc.) between facilities within a semiconductor line. Various types of transport containers are required depending on the type of transported goods. do.

그런데, 최근 급변하는 대내외 경영환경에 따라 반도체 제조 공정 별 제조 물품 변화가 다양하게 이루어지고, 제조 물품의 변화가 높은 빈도로 이루어진다. 이와 같이, 공정 별 제조 물품 변화에 따라 반송물의 종류가 변화되면 종래에는 운반 용기 이송 장치의 교체가 필요한 실정이다.However, according to the rapidly changing internal and external business environment in recent years, various changes are made to manufactured products for each semiconductor manufacturing process, and the changes in manufactured products are made with high frequency. As described above, if the type of conveyed material is changed according to a change in manufactured product for each process, it is necessary to replace the conveying container and conveying device in the related art.

이에 따라, 반송물의 종류가 변화되더라도 운반 용기 이송 장치의 교체가 불필요한 운반 용기 이송 장치의 개발이 필요하다.Accordingly, it is necessary to develop a transport container transport device that does not require replacement of the transport container transport device even if the type of transported material is changed.

본 발명의 기술적 사상이 이루고자 하는 기술적 과제 중 하나는, 반송물의 종류가 변화되더라도 운반 용기 이송 장치의 교체가 불필요한 운반 용기 이송 장치를 제공하는 것이다.One of the technical problems to be achieved by the technical idea of the present invention is to provide a transport container transport device that does not require replacement of the transport container transport device even if the type of transported material is changed.

예시적인 실시예에 따른 운반 용기 이송 장치는 장치 본체와, 상기 장치 본체에 설치되어 슬라이딩 이동되어 접철되는 접철부와, 상기 접철부의 일부를 지지하는 지지부재와, 운반 용기의 종류를 감지하기 위한 복수개의 센서와, 상기 접철부에 연결되며 상기 운반 용기가 카세트인 경우 상기 카세트를 지지하는 가이드부재를 구비하며, 상기 운반 용기를 파지하는 용기 파지부 및 상기 장치 본체에 연결되며 상기 운반 용기의 낙하를 방지하는 낙하 방지 유닛을 포함할 수 있다.A transport container transport device according to an exemplary embodiment includes a device body, a folding part installed on the device body and slidingly moved to be folded, a support member supporting a part of the folding part, and a plurality of for detecting the type of transport container and a guide member connected to the foldable part and supporting the cassette when the transport container is a cassette, connected to a container gripper for holding the transport container, and the device body, to prevent the transport container from falling It may include a fall prevention unit to prevent it.

반송물의 종류가 변화되더라도 운반 용기 이송 장치의 교체가 불필요한 운반 용기 이송 장치를 제공할 수 있다.It is possible to provide a transport container transport device that does not require replacement of the transport container transport device even if the type of transported object is changed.

본 발명의 다양하면서도 유익한 장점과 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시예를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.Various and advantageous advantages and effects of the present invention are not limited to the above, and will be more easily understood in the course of describing specific embodiments of the present invention.

도 1은 예시적인 실시예에 따른 운반 용기 이송 장치를 나타내는 개략 사시도이다.
도 2는 예시적인 실시예에 따른 운반 용기 이송 장치의 접철부를 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 접철부의 제1 동력전달유닛을 나타내는 사시도이다.
도 4는 도 2에 도시된 접철부의 제1 내지 3 접철부재와 제2 동력전달유닛을 설명하기 위한 설명도이다.
도 5는 예시적인 실시예에 따른 운반 용기 이송 장치의 지지부재를 나타내는 사시도이다.
도 6은 예시적인 실시예에 따른 운반 용기 이송 장치의 지지부재의 작동을 설명하기 위한 설명도이다.
도 7은 예시적인 실시예에 따른 운반 용기 이송 장치의 센서의 작동을 설명하기 위한 설명도이다.
도 8은 예시적인 실시예에 따른 운반 용기 이송 장치의 용기 파지부를 나타내는 사시도이다.
도 9는 예시적인 실시예에 따른 운반 용기 이송 장치의 용기 파지부를 나타내는 사시도이다.
도 10 내지 도 12는 예시적인 실시예에 따른 운반 용기 이송 장치의 낙하방지유닛을 나타내는 사시도이다.1 is a schematic perspective view showing a transport container transport device according to an exemplary embodiment;
Fig. 2 is a perspective view showing a folding part of a transport container transport device according to an exemplary embodiment.
FIG. 3 is a perspective view illustrating a first power transmission unit of the folding part shown in FIG. 2 .
FIG. 4 is an explanatory view for explaining the first to third folding members and the second power transmission unit of the folding part shown in FIG. 2 .
Fig. 5 is a perspective view showing a support member of a transport container transport device according to an exemplary embodiment.
6 is an explanatory view for explaining the operation of the support member of the transport container transport device according to an exemplary embodiment.
7 is an explanatory view for explaining the operation of the sensor of the transport container transport device according to an exemplary embodiment.
Fig. 8 is a perspective view showing a container gripper of the transport container transfer device according to an exemplary embodiment.
Fig. 9 is a perspective view showing a container gripper of the transport container transfer device according to an exemplary embodiment.
10 to 12 are perspective views illustrating a fall prevention unit of a transport container transport device according to an exemplary embodiment.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 형태들을 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 예시적인 실시예에 따른 운반 용기 이송 장치를 나타내는 개략 사시도이다.1 is a schematic perspective view showing a transport container transport device according to an exemplary embodiment;

도 1을 참조하면, 운반 용기 이송 장치(100)는 일예로서, 장치 본체(200), 접철부(300), 지지부재(400, 도 5 참조), 센서(500, 도 7 참조), 용기 파지부(600, 도 8 참조) 및 낙하방지유닛(700, 도 10 참조)을 포함하여 구성될 수 있다.Referring to Figure 1, the transport container transfer device 100 is an example, the device body 200, the folding part 300, the support member (400, see Figure 5), the sensor (500, see Figure 7), the container wave It may be configured to include a branch (600, see FIG. 8) and a fall prevention unit (700, see FIG. 10).

장치 본체(200)는 운반 용기 이송 장치(100)의 외형을 형성하며, 장치 본체(200)의 상면에는 반도체 라인 내에서 레일(미도시)을 따라 이동될 수 있도록 주행 구동부(210)가 구비될 수 있다. 한편, 장치 본체(200)는 내측에 내부 공간을 가지는 측벽부(220)와, 측벽부(220)의 상단부에 연결되는 덮개부(230)를 구비하며, 측벽부(220)는 덮개부(230)의 양끝단에 배치될 수 있다. 그리고, 주행 구동부(210)는 덮개부(230)의 상부에 배치될 수 있다. 한편, 운반 용기(10)는 이송 중 측벽부(220)의 사이에 배치된다.The device body 200 forms the outer shape of the transport container transport device 100 , and a traveling driving unit 210 is provided on the upper surface of the device body 200 so that it can be moved along a rail (not shown) in a semiconductor line. can On the other hand, the device body 200 includes a side wall part 220 having an inner space therein, and a cover part 230 connected to the upper end of the side wall part 220 , and the side wall part 220 includes the cover part 230 . ) can be disposed at both ends. Also, the driving driving unit 210 may be disposed on the cover unit 230 . On the other hand, the transport container 10 is disposed between the side wall 220 during transport.

접철부(300)는 장치 본체(200)에 설치되어 슬라이딩 이동되어 접철된다. 일예로서, 접철부(300)는 도 2 내지 도 5에 보다 자세하게 도시된 바와 같이, 제1 구동원(310), 제1 동력전달유닛(320), 복수개의 접철부재(330) 및 제2 동력전달유닛(360)을 포함하여 구성될 수 있다.The folding part 300 is installed on the device body 200 and is folded by sliding. As an example, the foldable part 300 includes a first driving source 310 , a first power transmission unit 320 , a plurality of foldable members 330 , and a second power transmission as shown in more detail in FIGS. 2 to 5 . It may be configured to include a unit 360 .

제1 구동원(310)은 복수개의 접철부재(330)가 이동될 수 있도록 구동력을 발생시킨다. 일예로서, 제1 구동원(310)은 모터로 이루어질 수 있다. 제1 구동원(310)은 복수개의 접철부재(330)가 접철될 수 있도록 정방향 및 역방향으로 회전될 수 있다.The first driving source 310 generates a driving force so that the plurality of folding members 330 can be moved. As an example, the first driving source 310 may be formed of a motor. The first driving source 310 may be rotated in a forward direction and a reverse direction so that the plurality of folding members 330 can be folded.

제1 동력전달유닛(320)은 제1 구동원(310)에 연결되어 복수개의 접철부재(330) 중 하나에 구동력을 전달한다. 일예로서, 제1 동력전달유닛(320)은 도 3에 보다 자세하게 도시된 바와 같이 제1 구동원(310)에 연결되는 복수개의 기어(321), 복수개의 기어(321) 중 어느 하나의 기어에 연결되는 회전바(322), 회전바(322)의 회전에 따라 회전바(322)를 따라 이동되는 볼 스크류(323), 볼 스크류(323)에 설치되는 연장바(324) 및 연장바(324)에 연결되어 후술할 제1 접철부재(332)에 설치되는 제1 설치부재(325)를 구비할 수 있다. 예를 들어, 복수개의 기어(321)은 헬리컬 기어로 이루어질 수 있다. 여기서, 제1 접철부재(332)의 슬라이딩 이동에 대하여 간략하게 살펴보면, 제1 구동원(310)으로부터 발생된 구동력이 복수개의 기어(321)를 통해 회전바(322)에 전달되어 회전바(322)가 회전된다. 그리고, 회전바(322)의 회전에 따라, 볼 스크류(323)가 회전바(322)를 따라 이동되며, 회전바(322)에 연결된 제1 접철부재(332)가 볼 스크류(323)의 이동에 연동되어 슬라이딩 이동되는 것이다.The first power transmission unit 320 is connected to the first driving source 310 to transmit driving force to one of the plurality of folding members 330 . As an example, the first power transmission unit 320 is connected to any one of a plurality of gears 321 connected to the first driving source 310 and a plurality of gears 321 as shown in more detail in FIG. 3 . The rotating bar 322 to be used, the ball screw 323 moving along the rotating bar 322 according to the rotation of the rotating bar 322, the extension bar 324 and the extension bar 324 installed on the ball screw 323 A first installation member 325 connected to the first folding member 332 to be described later may be provided. For example, the plurality of gears 321 may be helical gears. Here, looking briefly at the sliding movement of the first folding member 332 , the driving force generated from the first driving source 310 is transmitted to the rotating bar 322 through a plurality of gears 321 and the rotating bar 322 . is rotated And, according to the rotation of the rotating bar 322 , the ball screw 323 is moved along the rotating bar 322 , and the first folding member 332 connected to the rotating bar 322 is moved by the ball screw 323 . It is linked to the sliding movement.

한편, 복수개의 접철부재(330)는 동력전달부재(320)를 통해 제1 구동원(310)에 연결되어 접철된다. 일예로서, 복수개의 접철부재(330)는 제1 접철부재(332), 제2 접철부재(333) 및 제2 접철부재(334)를 포함하여 구성될 수 있다. 다만, 이에 한정되지 않으며, 복수개의 접철부재(330)는 두 개의 접철부재로 이루어질 수도 있고, 4개 이상의 접철부재로 이루어질 수도 있다.Meanwhile, the plurality of folding members 330 are connected to the first driving source 310 through the power transmission member 320 and are folded. As an example, the plurality of foldable members 330 may include a first foldable member 332 , a second foldable member 333 , and a second foldable member 334 . However, the present invention is not limited thereto, and the plurality of foldable members 330 may include two foldable members or four or more foldable members.

다만, 여기서는 복수개의 접철부재(330)가 제1 내지 3 접철부재(332,333,334)로 이루어지는 경우에 대하여 설명하기로 한다.However, a case in which the plurality of foldable members 330 are formed of the first to third foldable members 332 , 333 and 334 will be described herein.

제1 접철부재(332, 도 4 참조)는 일예로서, 대략 플레이트 형상을 가지며, 상기한 바와 같이 제1 동력전달유닛(320)에 연결되어 슬라이딩 이동된다. 일예로서, 제1 접철부재(332)는 제2 접철부재(333)의 외측에 배치될 수 있다.As an example, the first folding member 332 (refer to FIG. 4 ) has a substantially plate shape, and is connected to the first power transmission unit 320 to slide and move as described above. As an example, the first folding member 332 may be disposed outside the second folding member 333 .

제2 접철부재(333, 도 4 참조)는 제1 접철부재(332)에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며 대략 플레이트 형상을 가진다. 일예로서, 제2 접철부재(333)는 제1 접철부재(332)가 슬라이딩 이동하는 경우 제1 접철부재(332)와 연동하여 이동된다.The second folding member 333 (refer to FIG. 4 ) is slidably connected to the first folding member 332 and has a substantially plate shape. As an example, when the first folding member 332 slides, the second folding member 333 moves in conjunction with the first folding member 332 .

제3 접철부재(334, 도 4 참조)는 제2 접철부재(333)에 슬라이딩 이동 가능하게 연결되며, 대략 플레이트 형상을 가진다. 일예로서, 제3 접철부재(334)는 제1,2 접철부재(332,333)가 슬라이딩 이동하는 경우 제1,2 접철부재(332,333)와 연동하여 이동된다.The third folding member 334 (refer to FIG. 4 ) is slidably connected to the second folding member 333 and has a substantially plate shape. As an example, when the first and second folding members 332 and 333 slide, the third folding member 334 moves in association with the first and second folding members 332 and 333 .

제2 동력전달유닛(360, 도 4 참조)은 제1,2,3 접철부재(332,333,334)를 연결하여 제2,3 접철부재(333,334)이 제1 접철부재(332)와 연동하여 슬라이딩 이동되도록 하는 역할을 수행한다. 한편, 제2 동력전달유닛(360)은 제1,2,3 접철부재(332,333,334)에 각각 설치되는 풀리와 벨트를 구비하며, 벨트에는 제1,2,3 접철부재(332,333,334)와의 연결을 위한 연결부재(미도시)가 연결될 수 있다.The second power transmission unit 360 (refer to FIG. 4) connects the first, second, and third folding members 332, 333, and 334 so that the second and third folding members 333 and 334 are slidably moved in conjunction with the first folding member 332. perform the role On the other hand, the second power transmission unit 360 is provided with a pulley and a belt respectively installed on the first, second, and third folding members (332, 333, 334), the belt has the first, second, and third folding members (332, 333, 334) for connection with A connecting member (not shown) may be connected.

한편, 제3 접철부재(334)는 원위치에서부터 제1 동력전달유닛(320)의 이동 거리의 3배의 이동거리를 이동할 수 있다. 다만, 이에 한정되지 않으며, 복수개의 접철부재(330)가 두 개의 접철부재로 이루어지는 경우 제1 동력전달유닛(320)의 이동거리의 2배의 이동거리를 이동할 수 있으며, 복수개의 접철부재(330)의 개수가 증가하는 경우 복수개의 접철부재 중 제일 내측에 배치되는 접철부재는 더 멀리 이동될 수 있다. 즉, 복수개의 접철부재(330)는 접철부재의 개수에 따라 복수개의 접철부재(330) 중 최외측 또는 최내측에 배치되는 접철부재의 이동거리가 변경될 수 있다.Meanwhile, the third folding member 334 may move a moving distance three times the moving distance of the first power transmission unit 320 from its original position. However, the present invention is not limited thereto, and when the plurality of foldable members 330 are formed of two foldable members, a moving distance twice the moving distance of the first power transmission unit 320 may be moved, and the plurality of foldable members 330 may be moved. ), the foldable member disposed on the innermost side among the plurality of foldable members may be moved further. That is, in the plurality of foldable members 330 , the moving distance of the foldable member disposed at the outermost or innermost side among the plurality of foldable members 330 may be changed according to the number of foldable members.

지지부재(400)는 상기한 접철부(300)의 일부를 지지한다. 일예로서, 지지부재(400)는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 접철부(300)가 펼쳐질 때 접철부(300)의 제1 접철부재(332)에 설치되는 지지레일(332a)의 상면을 지지한다. 이에 따라, 접철부(300)가 펼쳐질 때 자중에 의하여 한쪽으로 기울어지는 현상을 방지하는 것이다.The support member 400 supports a part of the foldable part 300 . As an example, the support member 400 is a support rail 332a installed on the first folding member 332 of the folding part 300 when the folding part 300 is unfolded, as shown in FIGS. 5 and 6 . support the upper surface. Accordingly, when the foldable portion 300 is unfolded, it is to prevent the phenomenon from being inclined to one side by its own weight.

지지레일(332)은 제1 접철부재(332)의 일측면 끝단부 측에 배치되며, 일예로서, 지지레일(332)은 지지부재(400)의 회전을 위한 경사부(332a1)와, 경사부(332a1)로부터 연장되는 수평부(332a2)를 구비한다.The support rail 332 is disposed on the end of one side of the first folding member 332 , and as an example, the support rail 332 includes an inclined portion 332a1 for rotation of the support member 400 , and an inclined portion and a horizontal portion 332a2 extending from 332a1.

한편, 지지부재(400)는 일예로서, 제1 접철부재(332)의 지지레일(332a)에 접촉되는 제1 롤러(412)를 가지는 제1 회전부재(410)와, 제1 회전부재(410)와 연동하여 회전되는 제2 회전부재(420) 및 제1,2 회전부재(410,420)의 회전 중심을 제공하는 샤프트(430)을 구비할 수 있다. 그리고, 제1 회전부재(410)에는 복원력을 제공하는 스프링(440)이 설치되어 제1 회전부재(410)가 원위치로 복귀될 수 있도록 한다.Meanwhile, the support member 400 includes, as an example, a first rotating member 410 having a first roller 412 in contact with the support rail 332a of the first folding member 332 , and a first rotating member 410 . ) may be provided with a shaft 430 providing a center of rotation of the second rotating member 420 and the first and second rotating members 410 and 420 rotated in conjunction with each other. In addition, a spring 440 providing a restoring force is installed on the first rotating member 410 so that the first rotating member 410 can be returned to its original position.

이에 대하여 간략하게 살펴보면, 제1 접철부재(332)가 원위치에 배치되는 경우 제1 롤러(412)는 지지레일(332a)의 경사부(332a1)에 접촉된 상태에 있다. 이후, 제1 접철부재(332)가 슬라이딩 이동되면, 제1 롤더(412)가 경사부(332a1)를 따라 이동되면서 제1 회전부재(410)가 회전된다. 이에 따라, 제2 회전부재(420)가 제1 회전부재(410)와 연동하여 회전된다. 그리고, 제1 롤러(412)가 수평부(332a2)의 상면을 지지하면 제2 회전부재(420)의 양측면에 배치되는 돌기(422)가 걸림턱(102)에 지지되면서 제1,2 회전부재(410,420)가 더 이상 회전되지 않을 수 있다.In brief, when the first folding member 332 is disposed at the original position, the first roller 412 is in contact with the inclined portion 332a1 of the support rail 332a. Thereafter, when the first folding member 332 is slidably moved, the first rotating member 410 is rotated while the first roller 412 is moved along the inclined portion 332a1. Accordingly, the second rotating member 420 is rotated in conjunction with the first rotating member (410). And, when the first roller 412 supports the upper surface of the horizontal part 332a2, the protrusions 422 disposed on both sides of the second rotation member 420 are supported by the locking jaw 102 while the first and second rotation members are supported. (410,420) may no longer be rotated.

센서(500)는 운반 용기의 종류를 감지하기 위하여 복수개가 프레임(미도시)에 설치될 수 있다. 일예로서, 센서(500)는 3개의 센서로 구성될 수 있으며, 센서(500)는 온/오프 센서일 수 있다. 여기서, 도 7을 참조하여 센서(500)를 통한 운반 용기의 구분 방식에 대하여 간략하게 살펴보기로 한다. 먼저, 센서(500)는 일예로서, 제1,2,3 센서(510,520,530)로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 제1 용기(일예로서 카세트, CST)의 경우 제1 센서(510)가 제1 용기를 감지하여 온 상태가 되고, 제2,3 센서(520,530)은 오프 상태가 된다. 그리고, 제2 용기(일예로서, MAC)의 경우 제1,2 센서(510,520)가 온 상태가 되고 제3 센서(530)가 오프 상태가 된다. 또한, 제3 용기(일예로서, FOUB 또는 FOSB)인 경우 제1 센서(510)는 오프 상태가 되고, 제2,3 센서(520,530)은 온 상태가 된다. 이와 같이, 온/오프 센서로 이루어지는 3개의 제1,2,3 센서(510,520,530)를 통해 운반 용기의 종류를 파악할 수 있다.A plurality of sensors 500 may be installed in a frame (not shown) in order to detect the type of transport container. As an example, the sensor 500 may include three sensors, and the sensor 500 may be an on/off sensor. Here, with reference to FIG. 7 , a method of classifying the transport container through the sensor 500 will be briefly described. First, the sensor 500 may include, for example, first, second, and third sensors 510 , 520 , and 530 . For example, in the case of a first container (for example, a cassette, CST), the first sensor 510 detects the first container and is turned on, and the second and third sensors 520 and 530 are turned off. And, in the case of the second container (eg, MAC), the first and second sensors 510 and 520 are turned on and the third sensor 530 is turned off. In addition, in the case of a third container (eg, FOUB or FOSB), the first sensor 510 is turned off, and the second and third sensors 520 and 530 are turned on. As such, the type of the transport container can be identified through the three first, second, and third sensors 510 , 520 , and 530 composed of on/off sensors.

용기 파지부(600)는 접철부(300)에 연결되며 운반 용기가 제1 용기인 경우 카세트(CST)인 경우 카세트를 지지하는 가이드부재(695)를 구비하며, 운반 용기를 파지하는 역할을 수행한다.The container holding unit 600 is connected to the folding unit 300 and has a guide member 695 for supporting the cassette when the transport container is a cassette (CST) when the transport container is the first container, and serves to grip the transport container. do.

일예로서, 용기 파지부(600)는 도 8 내지 도 9에 도시된 바와 같이 제2 구동원(610), 동력전달부재(620), 제1 슬라이딩부재(630), 캠부재(640), 제2 슬라이딩부재(650), 파지부재(660, 도 9 참조), 보조 캠부재(670), 제3 슬라이딩부재(680), 회전부재(690) 및 가이드부재(695)를 포함하여 구성될 수 있다.As an example, the container holding unit 600 includes a second driving source 610 , a power transmission member 620 , a first sliding member 630 , a cam member 640 , and a second as shown in FIGS. 8 to 9 . It may be configured to include a sliding member 650 , a gripping member ( 660 , see FIG. 9 ), an auxiliary cam member 670 , a third sliding member 680 , a rotating member 690 , and a guide member 695 .

제2 구동원(610)은 제1 장착 프레임(104)에 고정 설치되며, 파지부재(660)의 이동을 위한 구동력을 발생시킨다. 일예로서, 제2 구동원(610)은 모터로 이루어질 수 있으며, 파지부재(660)의 이동을 위해 정회전과 역회전 구동될 수 있다.The second driving source 610 is fixedly installed on the first mounting frame 104 and generates a driving force for movement of the holding member 660 . As an example, the second driving source 610 may include a motor, and may be driven to rotate forward and reverse to move the holding member 660 .

동력전달부재(620)는 제2 구동원(610)에 연결되어 구동력을 제1 슬라이딩부재(630)로 전달하는 역할을 수행한다. 일예로서, 동력전달부재(620)는 제2 구동원(610)의 회전력을 직선운동으로 변환하여 제1 슬라이딩부재(630)에 전달한다. 일예로서, 동력전달부재(620)는 볼 스크류와 가이드바로 구성될 수 있다.The power transmission member 620 is connected to the second driving source 610 and serves to transmit the driving force to the first sliding member 630 . As an example, the power transmission member 620 converts the rotational force of the second driving source 610 into linear motion and transmits it to the first sliding member 630 . As an example, the power transmission member 620 may include a ball screw and a guide bar.

제1 슬라이딩부재(630)는 동력전달부재(620)에 연결되어 슬라이딩 이동된다.The first sliding member 630 is connected to the power transmission member 620 to slide.

한편, 캠부재(640)는 제1 슬라이딩부재(630)의 양단부에 한 쌍이 설치되며, 제1 슬라이딩부재(630)와 함께 이동된다. 한편, 캠부재(640)에는 제2 슬라이딩부재(650)의 이동을 안내하기 위한 제1 안내홀(642)이 형성된다. 그리고, 제1 안내홀(642)은 꺾여진 형상을 가질 수 있다.On the other hand, a pair of cam members 640 are installed at both ends of the first sliding member 630 , and are moved together with the first sliding member 630 . Meanwhile, a first guide hole 642 for guiding the movement of the second sliding member 650 is formed in the cam member 640 . In addition, the first guide hole 642 may have a bent shape.

그리고, 제2 슬라이딩부재(650)는 제1 안내홀(642)에 삽입되어 제1 안내홀(642)을 따라 이동되는 제1 이동부재(652)를 구비한다. 예를 들어, 제1 슬라이딩부재(630)에 의해 캠부재(640)가 이동되는 경우 제2 슬라이딩부재(650)는 제1 이동부재(652)가 제1 안내홀(642)을 따라 이동하면서 제1 슬라이딩부재(650)의 이동방향과 대략 직각인 방향으로 이동된다.In addition, the second sliding member 650 includes a first moving member 652 inserted into the first guide hole 642 and moved along the first guide hole 642 . For example, when the cam member 640 is moved by the first sliding member 630 , the second sliding member 650 is the second sliding member 650 while the first moving member 652 moves along the first guide hole 642 . 1 It is moved in a direction substantially perpendicular to the movement direction of the sliding member 650 .

파지부재(660)는 제2 슬라이딩부재(650)의 저면에 설치되어 제2 슬라이딩부재(650)의 이동에 따라 운반 용기를 집거나 운반 용기의 파지를 해제한다. The holding member 660 is installed on the bottom surface of the second sliding member 650 to pick up the transport container or release the grip of the transport container according to the movement of the second sliding member 650 .

보조 캠부재(670)는 제1 슬라이딩부재(630)에 연결되어 제1 슬라이딩부재(630)와 연동하여 이동된다. 일예로서, 보조 캠부재(670)는 제1 슬라이딩부재(630)의 이동 방향과 동일한 방향으로 이동될 수 있다. 그리고, 보조 캠부재(670)에는 제2 안내홀(672)이 형성된다. 일예로서, 제2 안내홀(672)도 꺾여진 형상을 가질 수 있다.The auxiliary cam member 670 is connected to the first sliding member 630 and moves in conjunction with the first sliding member 630 . As an example, the auxiliary cam member 670 may move in the same direction as the moving direction of the first sliding member 630 . In addition, a second guide hole 672 is formed in the auxiliary cam member 670 . As an example, the second guide hole 672 may also have a bent shape.

제3 슬라이딩부재(680)는 제2 안내홀(672)에 삽입되어 제2 안내홀(672)을 따라 이동되는 제2 이동부재(682)를 구비한다. 제3 슬라이딩 부재(680)는 예를 들어 제2 슬라이딩 부재(650)과 동일한 방향으로 슬라이딩 이동될 수 있다.The third sliding member 680 includes a second moving member 682 inserted into the second guide hole 672 and moved along the second guide hole 672 . The third sliding member 680 may slide, for example, in the same direction as the second sliding member 650 .

회전부재(690)는 제3 슬라이딩부재(680)에 구비되는 연장바(684)에 회전 가능하게 연결되어 제3 슬라이딩부재(680)의 이동에 따라 회전된다.The rotating member 690 is rotatably connected to the extension bar 684 provided on the third sliding member 680 and rotates according to the movement of the third sliding member 680 .

한편, 가이드부재(695)는 회전부재(690)의 끝단에 설치되어 회전부재(690)와 연동하여 회전된다. 한편, 가이드부재(695)는 파지부재(660)가 제1 용기인 카세트(CTS)를 파지하는 경우 제1 용기에 구비되는 투입/배출구를 지지해주는 역할을 수행한다. 그리고, 파지부재(660)가 제2,3 용기를 파지하는 경우에는 제2,3 용기에 간섭되지 않는 위치에 배치된다.On the other hand, the guide member 695 is installed at the end of the rotating member 690 is rotated in conjunction with the rotating member (690). Meanwhile, the guide member 695 serves to support the input/discharge port provided in the first container when the gripping member 660 grips the cassette CTS, which is the first container. And, when the holding member 660 holds the second and third containers, it is disposed at a position that does not interfere with the second and third containers.

낙하 방지 유닛(700)은 장치 본체(200)에 연결되며 운반 용기의 낙하를 방지하는 역할을 수행한다. 예를 들어, 상기한 파지부재(660)가 비정상적으로 운반 용기의 파지를 해제하는 경우 등 비정상적으로 운반 용기가 낙하될 수 있는 위험에 처한 경우에도 운반 용기의 낙하를 방지하는 역할을 수행한다.The fall prevention unit 700 is connected to the device body 200 and serves to prevent the transport container from falling. For example, even when the holding member 660 is in danger of abnormally dropping the transport container, such as when the holding member 660 abnormally releases the grip of the transport container, it serves to prevent the transport container from falling.

일예로서, 낙하 방지 유닛(700)은 도 10 내지 도 12에 도시된 바와 같이 일예로서, 제3 구동원(710, 도 11 참조), 제4 동력전달유닛(720, 도 11 참조), 제4 슬라이딩부재(730), 제1 연결부재(740), 제1 낙하방지부재(750), 제2 연결부재(760), 제3 연결부재(770), 제4 연결부재(780), 제2 낙하방지부재(790), 제3 낙하방지부재(800) 및 센서(810)을 포함하여 구성될 수 있다.As an example, the fall prevention unit 700, as shown in FIGS. 10 to 12, includes, as an example, a third driving source (710, see FIG. 11), a fourth power transmission unit (720, see FIG. 11), and a fourth sliding Member 730, first connection member 740, first fall prevention member 750, second connection member 760, third connection member 770, fourth connection member 780, second fall prevention member It may be configured to include a member 790 , a third fall prevention member 800 , and a sensor 810 .

제3 구동원(710)은 제2 장착 프레임(106)에 고정 설치되며, 제1 내지 3 낙하방지부재(750,790,800)의 이동을 위한 구동력을 발생시킨다. 일예로서, 제3 구동원(710)은 모터로 이루어질 수 있으며, 파지부재(660)의 이동을 위해 정회전과 역회전 구동될 수 있다.The third driving source 710 is fixedly installed on the second mounting frame 106 and generates a driving force for movement of the first to third fall prevention members 750 , 790 , and 800 . As an example, the third driving source 710 may be a motor, and may be driven in a forward rotation and a reverse rotation to move the holding member 660 .

제4 동력전달유닛(720)은 제3 구동원(710)에 연결되어 구동력을 전달한다. 일예로서, 제4 동력전달유닛(720)은 제3 구동원(710)에 연결되는 한 쌍의 제4 풀리(722)와, 제4 풀리(722)에 연결되는 제4 벨트(724)로 구성될 수 있다. 다만, 이에 한정되지 않으며, 제4 동력전달유닛(720)의 구성은 다양하게 변경 가능할 것이다.The fourth power transmission unit 720 is connected to the third driving source 710 to transmit driving force. As an example, the fourth power transmission unit 720 may include a pair of fourth pulleys 722 connected to the third drive source 710 and a fourth belt 724 connected to the fourth pulley 722 . can However, the present invention is not limited thereto, and the configuration of the fourth power transmission unit 720 may be variously changed.

제4 슬라이딩부재(730)는 동력전달유닛(720)에 연결되어 슬라이딩 이동된다. 제4 슬라이딩부재(730)는 볼 스크류일 수 있으며, 제4 슬라이딩부재(730)는 제4 풀리(722)에 연결되는 가이드바(732)를 따라 이동될 수 있다.The fourth sliding member 730 is connected to the power transmission unit 720 to slide. The fourth sliding member 730 may be a ball screw, and the fourth sliding member 730 may move along the guide bar 732 connected to the fourth pulley 722 .

제1 연결부재(740)는 제4 슬라이딩부재(730)의 측면 하단부에 한쌍이 설치될 수 있으며, 제1 연결부재(740)는 갈고리 형상을 가질 수 있다.A pair of the first connecting member 740 may be installed at the lower end of the side of the fourth sliding member 730 , and the first connecting member 740 may have a hook shape.

그리고, 제1 낙하방지부재(750)는 제1 연결부재(740)의 끝단에 완충부재(미도시), 예를 들어 코일 스프링을 매개로 하여 설치될 수 있다. 일예로서, 제1 낙하방지부재(750)는 제3 운반 용기인 FOSB의 낙하를 방지하는 역할을 수행한다. And, the first fall prevention member 750 may be installed at the end of the first connection member 740 via a buffer member (not shown), for example, a coil spring. As an example, the first fall prevention member 750 serves to prevent the third transport container FOSB from falling.

제2 연결부재(760)는 제4 슬라이딩부재(730)의 측면 상단부에 한쌍이 설치될 수 있으며, 제2 장착 프레임(106)을 관통하도록 배치된다.A pair of the second connecting members 760 may be installed at the upper end of the side of the fourth sliding member 730 , and are disposed to penetrate the second mounting frame 106 .

제3 연결부재(770)는 제2 연결부재(760)에 연결되며 복수개가 제2 연결부재(760)에 연결될 수 있다.The third connecting member 770 is connected to the second connecting member 760 , and a plurality of third connecting members 770 may be connected to the second connecting member 760 .

또한, 제4 연결부재(780)는 제3 연결부재(780)의 끝단에 연결되며 대략 사각형의 바 형상을 가질 수 있다.In addition, the fourth connecting member 780 is connected to the end of the third connecting member 780 and may have a substantially rectangular bar shape.

한편, 제2 낙하방지부재(790)는 제4 연결부재(780)의 상면에 설치되며, 제2 낙하방지부재(790)는 예를 들어 제2 운반 용기인 MAC의 낙하를 방지하는 역할을 수행한다.On the other hand, the second fall prevention member 790 is installed on the upper surface of the fourth connection member 780, the second fall prevention member 790 serves to prevent, for example, the second transport container MAC from falling. do.

그리고, 제3 낙하방지부재(800)는 제2 낙하방지부재(790)와 어긋나게 배치되도록 제4 연결부재(780)의 저면에 설치될 수 있다. 일예로서, 제3 낙하방지부재(800)는 제1 운반 용기인 카세트(CTS)의 낙하를 방지하는 역할을 수행한다.In addition, the third fall prevention member 800 may be installed on the bottom surface of the fourth connecting member 780 so as to be displaced from the second fall prevention member 790 . As an example, the third fall prevention member 800 serves to prevent the first transport container from falling of the cassette (CTS).

한편, 제1,2,3 낙하방지부재(750,790,800)은 서로 다른 높이에 배치될 수 있다.Meanwhile, the first, second, and third fall prevention members 750 , 790 , and 800 may be disposed at different heights.

그리고, 제2 장착 프레임(106)에는 도 12에 보다 자세하게 도시된 바와 같이 복수개의 낙하방지용 센서(810)가 설치되며, 복수개의 낙하방지용 센서(810)는 상호 이격 배치될 수 있다. 이와 같이, 서로 다른 운반 용기가 제1,2,3 낙하방지부재(750,790,800)에 의해 파지되는 서로 다른 위치에 복수개의 낙하방지용 센서(810)가 구비되어 제1,2,3 낙하방지부재(750,790,800)에 의해 서로 다른 운반 용기의 파지가 가능하도록 한다.Further, as shown in more detail in FIG. 12 , a plurality of fall prevention sensors 810 are installed on the second mounting frame 106 , and the plurality of fall prevention sensors 810 may be disposed to be spaced apart from each other. In this way, a plurality of fall prevention sensors 810 are provided at different positions in which different transport containers are gripped by the first, second, and third fall prevention members 750, 790, and 800, so that the first, second, and third fall prevention members 750, 790, and 800 are provided. ) to enable gripping of different transport containers.

이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and variations are possible within the scope without departing from the technical spirit of the present invention described in the claims. It will be apparent to those of ordinary skill in the art.

100 : 운반 용기 이송 장치
200 : 장치 본체
300 : 접철부
400 : 지지부재
500 : 센서
600 : 용기 파지부
700 : 낙하 방지 유닛100: transport container transport device
200: device body
300: fold
400: support member
500: sensor
600: container holding part
700: fall prevention unit

Claims (9)

장치 본체;
상기 장치 본체에 설치되어 슬라이딩 이동되어 접철되는 접철부;
상기 접철부의 일부를 지지하는 지지부재;
운반 용기의 종류를 감지하기 위한 복수개의 센서;
상기 접철부에 연결되며 상기 운반 용기가 카세트인 경우 상기 카세트를 지지하는 가이드부재를 구비하며, 상기 운반 용기를 파지하는 용기 파지부; 및
상기 장치 본체에 연결되며 상기 운반 용기의 낙하를 방지하는 낙하 방지 유닛;
을 포함하는 운반 용기 이송 장치.
device body;
a folding part installed on the device body and slidingly moved to be folded;
a support member supporting a portion of the foldable portion;
a plurality of sensors for detecting the type of transport container;
a container holding part connected to the foldable part and having a guide member for supporting the cassette when the transport container is a cassette, and holding the transport container; and
a fall prevention unit connected to the device body and preventing the transport container from falling;
A transport container transport device comprising a.
 제1항에 있어서, 상기 용기 파지부는
제2 구동원;
상기 제2 구동원에 연결되어 구동력을 전달하는 동력전달부재;
상기 동력전달부재에 연결되어 슬라이딩 이동되는 제1 슬라이딩부재;
상기 제1 슬라이딩부재에 연결되며 제1 안내홀이 형성되는 한쌍의 캠부재;
상기 제1 안내홀에 삽입되어 상기 제1 안내홀을 따라 이동되는 제1 이동부재를 구비하는 제2 슬라이딩부재;
상기 제2 슬라이딩부재에 연결되어 용기를 파지하는 파지부재;
상기 제1 슬라이딩부재에 연결되며 제2 안내홀이 형성되는 보조 캠부재;
상기 제2 안내홀에 삽입되어 상기 제2 안내홀을 따라 이동되는 제2 이동부재를 구비하는 제3 슬라이딩부재;
상기 제3 슬라이딩부재에 회전 가능하게 연결되는 회전부재; 및
상기 회전부재의 끝단에 배치되는 상기 가이드부재;
를 포함하는 운반 용기 이송 장치.
According to claim 1, wherein the container holding portion
a second driving source;
a power transmission member connected to the second driving source to transmit a driving force;
a first sliding member connected to the power transmission member and slidingly moved;
a pair of cam members connected to the first sliding member and having a first guide hole;
a second sliding member inserted into the first guide hole and having a first moving member moved along the first guide hole;
a holding member connected to the second sliding member to hold the container;
an auxiliary cam member connected to the first sliding member and having a second guide hole;
a third sliding member inserted into the second guide hole and having a second moving member moved along the second guide hole;
a rotating member rotatably connected to the third sliding member; and
the guide member disposed at an end of the rotating member;
A transport container transport device comprising a.
 제1항에 있어서, 상기 낙하 방지 유닛은
제3 구동원;
상기 제3 구동원에 연결되어 구동력을 전달하는 제4 동력전달유닛;
상기 동력전달유닛에 연결되어 슬라이딩 이동되는 제4 슬라이딩부재;
상기 제4 슬라이딩부재의 하단부에 설치되는 제1 연결부재;
상기 제1 연결부재의 끝단에 설치되는 제1 낙하방지부재;
상기 제4 슬라이딩부재의 상단부에 설치되는 제2 연결부재;
상기 제2 연결부재에 연결되는 제3 연결부재;
상기 제3 연결부재의 끝단에 연결되는 제4 연결부재;
상기 제4 연결부재의 양끝단에 설치되는 제2 낙하방지부재; 및
상기 제2 낙하방지부재와 어긋나게 배치되도록 상기 제4 연결부재에 설치되는 제3 낙하방지부재;
를 포함하는 운반 용기 이송 장치.
According to claim 1, wherein the fall prevention unit is
a third driving source;
a fourth power transmission unit connected to the third driving source to transmit driving force;
a fourth sliding member connected to the power transmission unit and slidingly moved;
a first connecting member installed at a lower end of the fourth sliding member;
a first fall prevention member installed at an end of the first connecting member;
a second connecting member installed at an upper end of the fourth sliding member;
a third connecting member connected to the second connecting member;
a fourth connecting member connected to an end of the third connecting member;
a second fall prevention member installed at both ends of the fourth connecting member; and
a third fall prevention member installed on the fourth connecting member so as to be displaced from the second fall prevention member;
A transport container transport device comprising a.
 제3항에 있어서,
상기 낙하 방지 유닛은 상기 제3 구동원이 설치되는 제2 장착 프레임에 설치되어 상호 이격 배치되는 복수개의 낙하방지용 센서를 더 포함하는 운반 용기 이송 장치.
4. The method of claim 3,
The drop prevention unit is installed on the second mounting frame in which the third driving source is installed, the transport container transport device further comprising a plurality of fall prevention sensors that are spaced apart from each other.
 제1항에 있어서, 상기 접철부는
구동력을 발생시키는 제1 구동원;
상기 제1 구동원에 연결되어 구동력을 전달하는 제1 동력전달유닛;
상기 제1 동력전달유닛에 연결되어 복수개의 접철부재; 및
상기 복수개의 접철부재를 연결하며 상기 제1 구동원으로부터 발생되는 구동력을 전달하는 제2 동력전달유닛;
을 포함하는 운반 용기 이송 장치.
The method of claim 1, wherein the fold
a first driving source for generating a driving force;
a first power transmission unit connected to the first driving source to transmit driving force;
a plurality of folding members connected to the first power transmission unit; and
a second power transmission unit connecting the plurality of folding members and transmitting driving force generated from the first driving source;
A transport container transport device comprising a.
 제5항에 있어서,
상기 복수개의 접철부재는 접철부재의 개수에 따라 상기 복수개의 접철부재 중 최외측 또는 최내측에 배치되는 접철부재의 이동거리가 변경되는 운반 용기 이송 장치.
6. The method of claim 5,
In the plurality of foldable members, a movement distance of the foldable member disposed on the outermost or innermost side of the plurality of foldable members is changed according to the number of foldable members.
 제5항에 있어서, 상기 복수개의 접철부재는
상기 제1 동력전달유닛에 연결되어 슬라이딩 이동되는 제1 접철부재;
상기 제1 접철부재에 연결되어 슬라이딩 이동되는 제2 접철부재; 및
상기 제2 접철부재에 연결되어 슬라이딩 이동되는 제3 접철부재;
를 포함하는 운반 용기 이송 장치.
The method of claim 5, wherein the plurality of folding members
a first folding member connected to the first power transmission unit and slidingly moved;
a second folding member connected to the first folding member and slidingly moved; and
a third folding member connected to the second folding member and slidingly moved;
A transport container transport device comprising a.
 제7항에 있어서, 상기 지지부재는
상기 제1 접철부재에 접촉되는 제1 롤러를 가지는 제1 회전부재와, 상기 제1 회전부재에 연결되어 상기 제1 회전부재와 연동하여 회전되는 제2 회전부재를 구비하며,
상기 제1,2 회전부재는 샤프트를 매개로 연결되며, 제1 회전부재에는 복원력을 제공하는 스프링이 설치되는 운반 용기 이송 장치.
The method of claim 7, wherein the support member is
A first rotating member having a first roller in contact with the first folding member, and a second rotating member connected to the first rotating member and rotated in association with the first rotating member,
The first and second rotating members are connected via a shaft, and a spring is installed in the first rotating member to provide a restoring force.
 제8항에 있어서,
상기 제2 회전부재에는 회전 정도를 조절하기 위한 돌기를 구비하는 운반 용기 이송 장치.
9. The method of claim 8,
The transport container transport device having a projection for adjusting the degree of rotation on the second rotating member.
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