KR100699272B1 - Transferring apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
도 1은 본 발명에 따른 이송장치의 배치도,1 is a layout view of the transfer apparatus according to the present invention,
도 2은 이송장치의 분해사시도,2 is an exploded perspective view of the transfer apparatus,
도 3은 작업물과 작업물이 적재되는 위치을 나타낸 사시도,3 is a perspective view showing the position of the workpiece and the workpiece,
도 4 및 도 5는 작업물을 적재하는 과정을 나타낸 평면되이다.4 and 5 are planar views showing the process of loading the workpiece.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10 : 이송장치 20 : 작업물10: feeder 20: workpiece
21 : 그리퍼물림부 23 : 핀수용부21: gripper bit 23: pin receiving portion
25 : 작업물위치핀25: workpiece position pin
30 : 대차유닛 31 : 궤도30: balance unit 31: track
40 : 이적재유닛 41 : 그리퍼40: transfer unit 41: gripper
43 : 그리퍼브래킷 45 : 승강부43: gripper bracket 45: lifting unit
47 : 승강구동부 49 : 승강벨트47: lifting drive 49: lifting belt
50 : 회동유닛 51 : 회동모터 50: rotating unit 51: rotating motor
53 : 회동핀 55 : 가이드핀 53: rotating pin 55: guide pin
57 : 승강브래킷 61 : 감속기 57: lifting bracket 61: reducer
70 : 회동력전달부 71 : 구동풀리70: rotational force transmission unit 71: drive pulley
72 : 회동핀수용부 73 : 가이드핀수용부 72: rotation pin accommodation portion 73: guide pin accommodation portion
75 : 종동풀리 77 : 회동벨트 75: driven pulley 77: rotating belt
79 : 아이들러 80 : 회동각제한수단 79: idler 80: rotation angle limiting means
81 : 회동돌기 83 : 회동스토퍼 81: rotation protrusion 83: rotation stopper
본 발명은, 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다양한 이적재방향에 대하여 간편하며 안정적으로 이적재할 수 있는 이송장치에 관한 것이다. The present invention relates to a transfer apparatus, and more particularly, to a transfer apparatus that can be easily and stably loaded with respect to various transfer directions.
이송장치는 일반적으로 반도체 제조라인에 사용되어 다양한 공정 또는 저장실 등으로 레티클(Reticle), 전면 개방 일체형 포드(FOUP:Front Opening Unified Pod) 등을 이송 또는 저장한다. 이송장치는 다양한 방법으로 이송되며 그 중 하나 이상의 오버헤드 호이스트 운반수단(Vehicle)을 포함한다. 레티클 또는 전면 개방 일체형 포드는 일반적으로 사각형상으로 마련되어 반도체 제조공정에 사용되며 이송장치에 의해 다양한 공정에 투입, 반출된다. 이러한 레티클 등은 방향을 일정하게 유지하기 위하여 하단부에 설비의 적재위치 등에 마련된 위치결정핀을 수용하는 핀수용부를 가진다. 그리고 핀수용부는 예를 들면, 180°방향으로 변경되는 경우에는 적재위치의 위치결정핀에 삽입이 되지 않는 구조로 되어 있다.Transfer devices are generally used in semiconductor manufacturing lines to transfer or store reticles, front opening unified pods (FOUPs), etc. to various processes or storage rooms. The conveying device is conveyed in various ways and includes one or more overhead hoist vehicles. Reticle or front open pods are generally rectangular in shape and used in semiconductor manufacturing processes and are fed into and out of various processes by a transfer device. Such a reticle or the like has a pin receiving portion for receiving a positioning pin provided in the loading position of the equipment, etc. at the lower end in order to maintain a constant direction. For example, the pin housing portion has a structure that is not inserted into the positioning pin at the stacking position when the pin housing portion is changed in the 180 ° direction.
이러한 FOUP를 효율적으로 처리하기 위한 수직 캐로셀과 오버헤드 호이스트의 조합을 기본으로 하는 반도체 제조를 위한 자동화 재료 처리 시스템이 한국 공 개특허공보 제2005-10944(2005.01.28)호에 개시되어 있다. 종래기술은 FOUP를 미리 결정된 루트를 형성한느 현수식 트랙을 따라 이동하도록 구성된 적어도 하나의 오버헤드 운반수단과, 스토커 하우징 내에 배치된 저장통과 같은 다수의 케로셀 저장통을 포함한다. An automated material processing system for semiconductor manufacturing based on a combination of a vertical carousel and an overhead hoist for efficiently processing such FOUPs is disclosed in Korean Patent Publication No. 2005-10944 (2005.01.28). The prior art includes at least one overhead vehicle configured to move the FOUP along a suspension track forming a predetermined route, and a plurality of kerosene reservoirs, such as reservoirs disposed in the stocker housing.
이러한 구성에 의해 선택된 캐로셀 저장통은 현수식 트랙의 거의 바로 밑에 수직 캐로셀 스토커 상부에 위치한다. 다음, 오버헤드 호이스트 운반수단은 현수식 트랙을 따라 선택된 캐로셀 저장통에 거의 바로 위의 위치로 이동된다. 오버헤드 호이스트는 선택된 저장통을 향해 하강하여 캐로셀 저장통으로부터 원하는 FOUP를 들어 올리거나 FOUP를 캐로셀 저장통에 위치시킨다. The carousel reservoir selected by this configuration is located above the vertical carousel stocker almost immediately below the suspension track. The overhead hoist vehicle is then moved to a position almost immediately above the selected carousel reservoir along the suspension track. The overhead hoist is lowered toward the selected reservoir to lift the desired FOUP from the carousel reservoir or place the FOUP in the carousel reservoir.
그런데, 종래기술은 FOUP 등의 핀수용부의 위치가 소정 범위를 벗어나는 경우에는 FOUP의 이적재를 하지 못하거나 불안정한 이적재를 하는 문제점을 갖는다.However, the prior art has a problem in that the position of the pin receiving portion such as the FOUP is out of a predetermined range, or the unstable transfer of the FOUP is not possible.
따라서, 본 발명의 목적은, 다양한 이적재방향에 대하여 간편하게 대응할 수 있는 이송장치를 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a transfer apparatus that can easily cope with various transfer directions.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 이송장치에 있어서, 이송장치에 있어서, According to the present invention, the above object is the transfer apparatus, the transfer apparatus,
소정의 현수식 궤도를 따라 주행하는 대차유닛과; 상기 대차유닛의 하측에 결합되며, 작업물을 파지 및 파지해제하는 이적재위치와 상기 대차유닛에 의해 주행되는 주행위치 사이를 승강시키는 승강부를 갖는 이적재유닛과; 상기 대차유닛과 상기 이적재유닛 사이에 개재되어 상기 대차유닛에 대해 소정 각도범위 내에서 상 기 이적재유닛을 스위블 회동가능하게 상기 대차유닛에 결합된 회동유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송장치에 의해 이루어진다. A bogie unit that runs along a predetermined suspension track; A loading unit coupled to the lower side of the trolley unit, the lifting unit having a lifting unit for elevating between a transfer position for holding and releasing a workpiece and a traveling position driven by the trolley unit; And a rotation unit interposed between the balance unit and the transfer unit and coupled to the balance unit to swivel the transfer unit within a predetermined angle range with respect to the balance unit. Is made by
여기서, 상기 회동유닛은, 회전력을 제공하는 회동모터와; 상기 회동모터와 결합 및 분리 가능하게 상기 대차유닛에 지지되는 승강브래킷과; 상기 승강브래킷에 지지되어 상기 회동모터의 회전속도를 감소시키는 감속기와; 상기 회동모터와 상기 감속기에 결합되어 회전력을 전달하는 회동력전달부를 포함하는 것이 바람직하다.Here, the rotation unit, the rotation motor for providing a rotational force; A lifting bracket supported by the trolley unit to be coupled to and detachable from the rotational motor; A reducer supported by the lifting bracket to reduce the rotational speed of the rotation motor; It is preferable to include a rotational force transmission unit coupled to the rotational motor and the reducer to transmit a rotational force.
또한, 상기 회동력전달부는, 상기 승강브래킷에 지지되어 상기 회동모터와 결합되는 구동풀리와; 상기 감속기에 결합되어 상기 구동풀리와 연동되는 종동풀리와; 상기 구동풀리와 상기 종동풀리를 연결하는 회동벨트와; 회동벨트의 장력을 유지하는 적어도 하나의 아이들러를 가지는 것이 바람직하다. The rotational force transmission unit may include: a driving pulley supported by the lifting bracket and coupled to the rotational motor; A driven pulley coupled to the reducer and interlocked with the driving pulley; A rotating belt connecting the driving pulley and the driven pulley; It is preferable to have at least one idler for maintaining the tension of the rotating belt.
또한, 상기 구동모터 및 상기 종동풀리 중 어느 하나에 적어도 하나의 회동핀과; 상기 구동모터 및 상기 종동풀리 중 다른 하나에 상기 회동핀에 맞물리는 회동핀수용부를 갖는 것이 바람직하다. In addition, at least one rotating pin to any one of the drive motor and the driven pulley; It is preferable to have a rotation pin receiving portion engaged with the rotation pin on the other of the driving motor and the driven pulley.
또한, 상기 이적재유닛의 회동각도를 제한하도록 상기 승강브래킷의 판면으로부터 돌출 형성된 회동돌기와, 상기 이적재유닛에 마련되어 상기 회동돌기에 맞물리는 회동스토퍼를 갖는 회동각제한수단을 포함하는 것이 바람직하다. In addition, it is preferable to include a rotation angle limiting means having a rotational projection protruding from the plate surface of the lifting bracket to limit the rotational angle of the lifting unit, and a rotation stopper provided in the loading unit and engaged with the rotational projection.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예인 이송장치(10)에 대하여 설명한다. 이송장치(10)는 소정의 공정에서 레티클(Reticle), 전면 개방 일체형 포드(FOUP:Front Opening Unified Pod)와 같은 작업물(20)을 파지하여 다양한 공정을 진행하는 작업대 및 저장장소 등으로 운반하여 이적재위치에 작업물(20)을 로딩 및 언로딩한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described with respect to the
이송장치(10)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 소정의 현수식 궤도(31)를 따라 주행하는 대차유닛(30)과; 대차유닛(30)의 하측에 결합되며, 작업물(20)을 파지 및 파지해제하는 이적재위치와 대차유닛(30)에 의해 주행되는 주행위치 사이를 승강시키는 승강부(45)를 갖는 이적재유닛(40)과; 대차유닛(30)과 이적재유닛(40) 사이에 개재되어 대차유닛(30)에 대해 소정 각도범위 내에서 이적재유닛(40)을 스위블 회동가능하게 대차유닛(30)에 결합된 회동유닛(50)을 포함한다. 이송장치(10)는 이적재유닛(40)의 회동각도를 제한하도록 승강브래킷(57)의 판면으로부터 돌출 형성된 회동돌기(81)와, 이적재유닛(40)에 마련되어 회동돌기(81)에 맞물리는 회동스토퍼(83)를 갖는 회동각제한수단(80)을 포함한다. 1 and 2, the conveying
작업물(20)은, 도 3에 도시된 바와 같이, 반도체 제조공정에 사용되며 각종 이송장치에 의해 이송되어 노광공정 등에 투입, 반출 또는 소정의 저장위치에 저장된다. 작업물(20)은 상부영역에 그리퍼(41)에 맞물리도록 판면에 가로방향으로 돌출되어 절곡 형성된 그리퍼물림부(21)를 하부영역에 이적재위치의 돌출 형성된 세 개의 작업물위치핀(25)과 맞물리는 핀수용부(23)를 갖는다. 작업물(20)은 레티클, 전면 개방 일체형 포드(FOUP: Front Opening Unified Pod) 등을 포함한다.The
대차유닛(30)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 천정 등에 현수식으로 고정된 소정의 궤도(31)를 따라 주행한다. 이러한 대차유닛(30)은 작업물(20)을 각 공정을 진행하는 작업대 또는 저장부로 운반하여 작업물(20)을 이적재시킨다. 대차유닛 (30)의 하부에는 회동유닛(50)이 결합되어 있으며, 이적재유닛(40)이 대차유닛(30)과 승강벨트(49)에 의해 승강 가능하게 결합되어 있다.As shown in FIG. 1, the
이적재유닛(40)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 작업물(20)을 파지 및 파지해제하는 이적재위치와 대차유닛(30)에 의해 주행되는 주행위치 사이를 승강시키는 승강부(45)를 가지며 대차유닛(30)의 하측에 결합된다. 이적재유닛(40)은 작업물(20)의 그리퍼물림부(21)에 맞물려 작업물(20)을 파지하는 그리퍼(41)와, 그리퍼(41)를 지지하는 그리퍼브래킷(43)을 갖는다. As shown in FIG. 2, the
그리퍼(41)는 그리퍼브래킷(43)에 지지되어 작업물(20)을 파지한다. 그리퍼(41)는 작업물(20)의 그리퍼물림부(21)를 파지 및 파지해제할 수 있도록 이동시키는 그리퍼구동부(미도시)를 갖는다. 이에, 그리퍼(41)는 안정적으로 작업물(20)을 파지할 수 있다. The
그리퍼브래킷(43)은 그리퍼(41)를 지지하며 감속기(61)에 결합되어 대차유닛(30)에 대하여 스위블 회동한다. The
승강부(45)는 이적재유닛(40)을 승강시키는 구동력을 제공하는 구동모터(미도시)와 구동모터에 연결되어 승강벨트(49)를 권취하는 드럼(미동시)을 갖는 승강구동부(47)와, 승강구동부(47)의 드럼에 권취되어 이적재유닛(40)을 승강가능하게 하는 승강벨트(49)를 갖는다. 이에, 승강부(45)는 작업물(20)을 파지 및 파지해제하는 이적재위치와 대차유닛(30)에 의해 주행되는 주행위치 사이를 승강가능하게 한다. The
승강벨트(49)는, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 일단은 대차유닛(30)에 지지되며 타단은 그리퍼브래킷(43)에 결합되어 그리퍼브래킷(43)을 승강 가능하게 한다. 승강벨트(49)는 그리퍼(41)를 이동가능하게 구동부(미도시)에 전원 등을 공급할 수 있는 케이블을 포함할 수 있다. As shown in FIGS. 1 and 2, the
회동유닛(50)은, 도 2에 도시된 바와 같이, 대차유닛(30)과 이적재유닛(40) 사이에 개재되어 대차유닛(30)에 대해 소정 각도범위 내에서 이적재유닛(40)을 스위블 회동가능하게 대차유닛(30)에 결합되어 있다. 회동유닛(50)은 이적재유닛(40)의 승강방향을 축선으로하여 회동된다. 회동유닛(50)은 회전력을 제공하는 회동모터(51)와, 회동모터(51)와 결합 및 분리 가능하게 대차유닛(30)의 승강벨트(49)에 지지되는 승강브래킷(57)과, 승강브래킷(57)에 지지되어 회동모터(51)의 회전속도를 감소시키는 감속기(61)와, 회동모터(51)와 감속기(61)을 상호 연결하여 회전력을 전달하는 회동력전달부(70)를 갖는다. 이에, 이적재유닛(40)을 대차유닛(30)에 대하여 회동시켜 다양한 방향으로 이적재되는 작업물(20)을 간편하게 이적재할 수 있다. As shown in FIG. 2, the
회동모터(51)는 이적재유닛(40)이 회동할 수 있는 회전력을 제공한다. 회동모터(51)는 회전중심이 되며 구동풀리(71)의 가이드핀수용부(73)에 결합되는 가이드핀(55)과, 구동풀리(71)가 회전하도록 가이드핀(55)와 반경방향으로 이격되어 마련된 적어도 하나의 회동핀(53)을 갖는다. The
승강브래킷(57)은 회동모터(51)와 결합 및 분리 가능하게 대차유닛(30)에 승강벨트(49)에 의해 승강 가능하게 지지된다. 승강브래킷(57)은 구동과 종동풀리(71, 75), 아이들러(79) 및 감속기(61)를 지지하며, 하측에 감속기(61)에 결합된 이적재유닛(40)이 배치되어 있다. The elevating
감속기(61)는 승강브래킷(57)에 지지되어 회동모터(51)의 회전속도를 감소시키며, 일단은 종동풀리(75)와 결합되며 타단은 그리퍼브래킷(43)과 결합된다. 감속기(61)는 타원형의 웨이브를 만들어 내는 웨이브발생기(Wave Generator, 미도시)와, 원통형의 플렉스 스플라인(Flex Spline, 미도시)과, 원통형의 써큘러스플라인(Circular Spline, 미도시)을 갖는 하모닉드라이브(Harmonic Drive)를 포함하며 공지된 다양한 종류로 변경 가능하다. 이에, 이적재유닛(40)은 보다 안정적으로 회동될 수 있다. The
회동력전달부(70)는 회동모터(51)와 감속기(61)에 결합되어 회전력을 전달한다. 회동력전달부(70)는 승강브래킷(57)에 지지되어 회동모터(51)와 결합되는 구동풀리(71)와, 감속기(61)에 결합되어 구동풀리(71)와 연동되는 종동풀리(75)와, 구동풀리(71)와 종동풀리(75)를 연결하는 회동벨트(77)와, 회동벨트(77)의 장력을 유지하는 적어도 하나의 아이들러(79)를 갖는다. 이러한 회동력전달부(70)는 실시예만이 아니라 공지된 다양한 종류으로 변경될 수 있다. 이에, 회전력이 비교적 안정적으로 전달될 수 있다. The rotational
구동풀리(71)는 회동모터(51)에 결합되며, 승강브래킷(57)에 지지되어 회동모터(51)와 결합되어 있다. 구동풀리(71)는 외주면에 회동벨트(77)와 접촉되며 중앙에 회동모터(51)의 가이드핀(55)을 수용하는 가이드핀수용부(73)와, 가이드핀수용부(73)와 이격되어 회동모터(51)의 회동핀(53)에 맞물리는 회동핀수용부(72)를 갖는다. 이에, 회동모터(51)의 회전력이 안정적으로 전달된다. The driving
회동각제한수단(80)은 이적재유닛(40)의 회동각도를 제한하도록 그리퍼브래킷(43)의 판면으로부터 이적재유닛(40)을 향하여 하향 돌출 형성된 회동돌기(81)와, 이적재유닛(40)에 회동돌기(81)와 접촉되어 회동을 제한하는 회동스토퍼(83)를 갖는다. 회동돌기(81)는 이적재유닛(40)에, 회동스토퍼(83)는 그리퍼브래킷(43)에 마련될 수 있다. 회동돌기(81) 및 회동스토퍼(83)는 필요에 따라 돌기와 돌기에 맞물리는 그루브 형상과 같이 다양하게 변경될 수 있다. 이에, 이적재유닛(40)의 회동각도가 소정 범위에서 제한되어 안정적인 회동을 할 수 있다. The rotation
이러한 구성에 의해, 본 발명에 따른 이송장치(10)의 회동과정을 도 4 및 도 5를 참조하여 살펴보면 다음과 같다. With this configuration, the rotation process of the
도 4a에 도시된 바와 같이, 적재위치의 세 개의 작업물위치핀(25)과 그리퍼물림부(21)에 파지된 작업물(20)의 핀수용부(23)가 일치되는 경우에는 적재위치에 대차유닛(30)이 도착하면, 이적재유닛(40)이 하강하여 작업물위치핀(25)에 작업물(20)의 핀수용부(23)가 맞물리면 그리퍼(41)는 그리퍼물림부(21)에서 이탈되어 작업물(20)이 적재위치에 적재된다. 그런 후 이적재유닛(40)이 상승하여 대차유닛(30)의 이송위치에 도달하면, 대차유닛(30)은 도 4b에 도시된 바와 같이 궤도(31)를 따라 주행하여 다음 공정을 진행한다. As shown in Fig. 4A, when the three workpiece position pins 25 of the stacked position and the pin receiving portion 23 of the
도 5a에 도시된 바와 같이, 적재위치의 세 개의 작업물위치핀(25)과 그리퍼물림부(21)에 파지된 핀수용부(23)가 180ㅀ 어긋나는 경우에는 적재위치에 대차유닛(30)이 도착하면, 대차유닛(30)에 결합되어 있는 회동유닛(50)의 회동모터(51)가 회전한다. 회동모터(51)의 회동핀(53)과 구동풀리(71)의 회동핀수용부(72)의 맞물 림에 의해 구동풀리(71)가 회전하면 회동벨트(77)에 의해 회전력이 종동풀리(75)로 전달된다. 이에, 감속기(61)는 회전하여 속도를 감속시키고 감속기(61)의 하단부에 결합된 지지브래킷()를 회동하게 하여 작업물위치핀(25)과 그리퍼물림부(21)에 파지된 핀수용부(23)가 일치되도록 한다. 이 때, 회동각도 범위는 회동각제한수단(80)인 회동돌기(81) 및 회동스토퍼(83)에 의해 제한된다. 이에, 이적재유닛(40)이 하강하여 작업물위치핀(25)에 작업물(20)의 핀수용부(23)가 맞물리면 그리퍼(41)는 그리퍼물림부(21)에서 이탈되어 작업물(20)이 적재위치에 적재된다. 그런 후 이적재유닛(40)이 상승하여 대차유닛(30)의 이송위치에 도달하면, 대차유닛(30)은 도 5b에 도시된 바와 같이 궤도(31)를 따라 주행하여 다음 공정을 진행한다. 이러한 과정을 제어하는 제어부(미도시)를 이송장치(10)는 포함할 수 있다. 작업물(20)의 이재(unloading)과정은 적재과정의 역순이므로 생략한다. As shown in FIG. 5A, when the three workpiece position pins 25 in the stacked position and the pin receiving portion 23 held by the
이러한 과정에서 작업물위치핀(25)과 위치핀수용부(23)가 180°뿐만 아니라 소정 각도 범위에서 어긋나는 경우에도 간편하게 이적재유닛(40)을 회전시킬 수 있다. In this process, even when the
이에, 본 발명에 따르면, 작업물의 핀수용부의 위치가 소정 범위를 벗어나는 경우에도 작업물의 이적재를 간편하고 안정적으로 할 수 있다. Thus, according to the present invention, even when the position of the pin receiving portion of the workpiece is out of a predetermined range, it is possible to easily and stably transfer the workpiece.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 다양한 이적재방향에 대하여 간편하며 안정적으로 이적재할 수 있는 이송장치가 제공된다.As described above, according to the present invention, there is provided a transfer device that can be easily and stably loaded with respect to various loading directions.
Claims (5)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050124353A KR100699272B1 (en) | 2005-12-16 | 2005-12-16 | Transferring apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
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KR1020050124353A KR100699272B1 (en) | 2005-12-16 | 2005-12-16 | Transferring apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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KR100699272B1 true KR100699272B1 (en) | 2007-03-28 |
Family
ID=41564413
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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KR1020050124353A KR100699272B1 (en) | 2005-12-16 | 2005-12-16 | Transferring apparatus |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101211104B1 (en) * | 2010-08-18 | 2012-12-18 | 유병소 | Laser processing method and laser processing device |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004034837A (en) * | 2002-07-03 | 2004-02-05 | Autoliv Japan Ltd | Occupant crash protection device for vehicle |
-
2005
- 2005-12-16 KR KR1020050124353A patent/KR100699272B1/en active IP Right Grant
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