KR20220082767A - Release layer for metal foil with carrier and metal foil comprising the same - Google Patents

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성 욱 전
정보묵
김대근
박명환
고낙은
심주용
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Abstract

본 발명은 캐리어 부착 금속박용 이형층 및 이를 포함하는 금속박에 관한 것이다.
본 발명은, 캐리어 부착 금속박에서 캐리어가 원활하게 제거될 수 있도록 하는 이형층에 있어서, 상기 이형층은, 질소를 함유하는 헤테로고리 화합물; 및 니켈, 몰리브덴, 코발트, 인, 망간 및 철의 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 무기화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 부착 금속박용 이형층을 제공한다.
The present invention relates to a release layer for metal foil with a carrier and a metal foil comprising the same.
The present invention, in the release layer to allow the carrier to be smoothly removed from the metal foil with a carrier, The release layer, a nitrogen-containing heterocyclic compound; and nickel, molybdenum, cobalt, phosphorus, manganese and an inorganic compound comprising at least one selected from the group consisting of iron.

Description

캐리어 부착 금속박용 이형층 및 이를 포함하는 금속박{Release layer for metal foil with carrier and metal foil comprising the same}Release layer for metal foil with carrier and metal foil comprising the same

본 발명은 캐리어 부착 금속박용 이형층 및 이를 포함하는 금속박에 관한 것이다.The present invention relates to a release layer for metal foil with a carrier and a metal foil comprising the same.

통상 인쇄회로기판은 금속박과 절연 수지 기재를 결합한 후 에칭 공정을 통해 금속박에 회로배선을 형성하는 과정을 거쳐 제조될 수 있다. 상기 회로배선을 형성하는 과정에서 금속박의 박리가 발생하는 것을 방지하기 위해, 금속박과 절연 수지 기재 간에는 높은 밀착력을 갖는 것이 요구된다.In general, a printed circuit board may be manufactured by bonding a metal foil and an insulating resin substrate and then forming a circuit wiring on the metal foil through an etching process. In order to prevent peeling of the metal foil from occurring in the process of forming the circuit wiring, it is required to have high adhesion between the metal foil and the insulating resin substrate.

상기 금속박과 절연 수지 기재 간의 밀착력을 높이기 위해 종래에는 금속박의 표면에 조화 처리를 수행하여 금속박 표면에 요철을 형성하고, 요철이 형성된 금속박 표면에 절연 수지 기재를 올려 놓고 프레스 하여 결합시키는 방법이 제안된 바 있다. 구체적으로 특허문헌 1에는 구리박의 수지층측의 표면에 전해 처리, 블라스트 처리, 또는 산화 환원 처리를 하여 입자상 돌기를 형성시키는 것으로, 구리박과 수지층의 밀착성을 향상시키는 점이 개시되어 있다.In order to increase the adhesion between the metal foil and the insulating resin substrate, in the prior art, roughening treatment was performed on the surface of the metal foil to form irregularities on the surface of the metal foil, and a method of placing the insulating resin substrate on the surface of the metal foil on which the irregularities were formed and pressing to bond them was proposed. there is a bar Specifically, Patent Document 1 discloses that the surface of the copper foil on the resin layer side is subjected to an electrolytic treatment, a blast treatment, or an oxidation-reduction treatment to form particulate protrusions, thereby improving the adhesion between the copper foil and the resin layer.

그러나 상기 방법은 이미 형성된 금속박에 별도의 조화 처리를 수행하는 것이기 때문에 인쇄회로기판의 제조 효율이 떨어지는 문제점이 있다. 또한 금속박 표면에 형성된 요철에 의해 고주파 신호 전송 효율도 떨어지는 문제점이 있다. 즉, 휴대 전자 기기 등의 고기능화 추세에 따라 대량의 정보를 고속으로 처리하기 위해서는 고주파 신호가 전송되는 과정에서 신호 전송 손실이 최소화되어야 한다. 그런데 금속박 표면에 높은 조도의 요철이 형성되어 있을 경우, 고주파 신호 전송에 장애 요인으로 작용하여 고주파 신호 전송 효율이 떨어지게 되는 것이다.However, since the above method performs a separate roughening treatment on the already formed metal foil, there is a problem in that the manufacturing efficiency of the printed circuit board is lowered. In addition, there is a problem in that the high frequency signal transmission efficiency is also lowered due to the unevenness formed on the surface of the metal foil. That is, in order to process a large amount of information at high speed in accordance with the trend toward high functionality of portable electronic devices, signal transmission loss should be minimized in the process of transmitting high-frequency signals. However, when unevenness of high roughness is formed on the surface of the metal foil, it acts as an obstacle to high-frequency signal transmission and thus the high-frequency signal transmission efficiency is lowered.

한편 상기 금속박은 얇은 두께로 인해 절연 수지 기재 또는 대상 기재와의 결합 과정에서 주름이나 꺾임이 쉽게 발생한다. 이를 보완하기 위해 금속박은 그 일면에 이형층과 캐리어를 결합시켜 핸들링된다. 여기서 이형층과 캐리어가 결합된 금속박은 절연 수지 기재 또는 대상 기재와의 결합 과정에서 내열성을 가져야 하고, 결합 후 이형층을 통해 캐리어의 박리가 잘 이루어지는 것이 요구된다. 이를 위해 이형층에 유기물 성분을 적용하거나, 내열성을 높일 수 있는 별도의 층을 이형층과 금속박 사이에 구비하는 기술이 제안된 바 있다.On the other hand, due to the thin thickness of the metal foil, wrinkles or bends easily occur during bonding with the insulating resin substrate or the target substrate. To compensate for this, the metal foil is handled by combining a release layer and a carrier on one surface thereof. Here, the metal foil in which the release layer and the carrier are bonded must have heat resistance in the bonding process with the insulating resin substrate or the target substrate, and it is required that the carrier is well peeled through the release layer after bonding. To this end, a technique of applying an organic component to the release layer or providing a separate layer capable of increasing heat resistance between the release layer and the metal foil has been proposed.

하지만 이러한 금속박에 사용되는 이형층은 일반적으로 유기이형층 및 무기확산방지층의 두 층으로 구성되어 있어 제조시 비용이 많이 필요하며, 각 층의 계면이 분리되는 불량이 발생하는 경우가 발생하고 있는 실정이다. 따라서, 이러한 이형층의 단점을 해소하기 위한 새로운 이형층의 개발이 필요한 실정이다.However, the release layer used in such a metal foil is generally composed of two layers, an organic release layer and an inorganic diffusion prevention layer, and thus requires a lot of cost in manufacturing, and there are cases in which a defect in the separation of the interface of each layer occurs. to be. Therefore, there is a need to develop a new release layer to solve the disadvantages of the release layer.

(0001) 대한민국 등록특허 제10-1460553호(0001) Republic of Korea Patent No. 10-1460553 (0002) 대한민국 등록특허 제10-0869477호(0002) Republic of Korea Patent Registration No. 10-0869477

전술한 문제를 해결하기 위하여, 본 발명은 유기 이형층과 무기확산방지층의 역할을 동시에 할 수 있는 캐리어 부착 금속박용 이형층 및 이를 포함하는 금속박을 제공하고자 한다.In order to solve the above problems, the present invention is to provide a release layer for metal foil with a carrier that can serve as an organic release layer and an inorganic diffusion prevention layer at the same time, and a metal foil comprising the same.

또한 본 발명은 단일층으로 구성되어 각 층사이의 박리가 나타나지 않으며, 또한 제조시 비용과 시간을 절감할 수 있는 캐리어 부착 금속박용 이형층 및 이를 포함하는 금속박을 제공하고자 한다.In addition, an object of the present invention is to provide a release layer for metal foil with a carrier, which is composed of a single layer, so that peeling does not occur between each layer, and can reduce cost and time during manufacturing, and a metal foil including the same.

상기 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 캐리어 부착 금속박에서 캐리어가 원활하게 제거될 수 있도록 하는 이형층에 있어서, 상기 이형층은, 질소를 함유하는 헤테로고리 화합물; 및 니켈, 몰리브덴, 코발트, 인, 망간 및 철의 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 무기화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 부착 금속박용 이형층을 제공한다.In order to solve the above problems, the present invention provides a release layer to allow a carrier to be smoothly removed from a metal foil with a carrier, wherein the release layer includes: a nitrogen-containing heterocyclic compound; and nickel, molybdenum, cobalt, phosphorus, manganese and an inorganic compound comprising at least one selected from the group consisting of iron.

일 실시예에 있어서, 상기 헤테로고리 화합물은 벤조트리아졸(Benzotriazole), 머캅토벤지이미다졸(Mercapto benzimidazole), 머캅토벤조트리아졸(Mercapto benzotriazole), 소듐머캅토벤조트리아졸(Sodium mercapto benzotriazole), 5-카르복시벤조트리아졸(5-Carboxybenzotriazole), 3-아미노-5-머캅토-1,2,4-트리아졸(3-Amino-5-mercapto-1,2,4-triazole), 3-머캅토-1,2,4-트리아졸(3-Mercapto-1,2,4-triazole), 트리아졸-5-카르복시산(Triazole-5-carboxylic acid), 1-메틸-3-머캅토-1,2,4-트리아졸(1-Methyl-3-mercapto-1,2,4-triazole) 및 1-페닐-5-머캅토테트라졸(1-Phenyl-5-mercapto tetrazole)로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.In one embodiment, the heterocyclic compound is benzotriazole (Benzotriazole), mercapto benzimidazole (Mercapto benzimidazole), mercapto benzotriazole (Mercapto benzotriazole), sodium mercapto benzotriazole (Sodium mercapto benzotriazole), 5-Carboxybenzotriazole, 3-amino-5-mercapto-1,2,4-triazole (3-Amino-5-mercapto-1,2,4-triazole), 3-mer Capto-1,2,4-triazole (3-Mercapto-1,2,4-triazole), triazole-5-carboxylic acid (Triazole-5-carboxylic acid), 1-methyl-3-mercapto-1, 1 selected from the group consisting of 2,4-triazole (1-Methyl-3-mercapto-1,2,4-triazole) and 1-phenyl-5-mercapto tetrazole It may include more than one species.

일 실시예에 있어서, 상기 무기화합물은, 니켈, 몰리브덴, 코발트, 인, 망간 및 철의 황산염, 질산염, 인산염, 염산염, 불산염 또는 초산염; 또는 니켈, 몰리브덴, 코발트, 인, 망간 및 철의 산화물에서 유래된 염을 포함할 수 있다.In one embodiment, the inorganic compound, nickel, molybdenum, cobalt, phosphorus, manganese and iron sulfate, nitrate, phosphate, hydrochloride, hydrofluoric acid salt or acetate; or salts derived from oxides of nickel, molybdenum, cobalt, phosphorus, manganese and iron.

일 실시예에 있어서, 상기 이형층은 IPC-TM-650 규격에 의한 평가시 박리강도가 5~50gf/㎝인 것일 수 있다.In one embodiment, the release layer may have a peel strength of 5 to 50 gf/cm when evaluated according to the IPC-TM-650 standard.

일 실시예에 있어서, 상기 이형층은 100nm~1㎛의 두께를 가지는 것일 수 있다.In one embodiment, the release layer may have a thickness of 100nm ~ 1㎛.

본 발명은 또한 상기 이형층을 포함하는 캐리어 부착 금속박을 제공한다.The present invention also provides a metal foil with a carrier including the release layer.

일 실시예에 있어서, 상기 캐리어 부착 금속박은, 캐리어; 상기 캐리어 상에 구비되는 상기 이형층; 및 상기 이형층 상에 구비되는 금속층을 구비하고, 상기 금속층은 상부가 평평한 복수의 돌기를 포함하는 금속박을 포함할 수 있다.In one embodiment, the metal foil with a carrier, a carrier; the release layer provided on the carrier; and a metal layer provided on the release layer, wherein the metal layer may include a metal foil including a plurality of protrusions having a flat top.

일 실시예에 있어서, 상기 금속층은, 상기 이형층상에 형성되는 극박층; 및 상기 극박층상에 형성되는 상부가 평평한 복수의 돌기를 포함하는 금속박을 포함하며, 상기 극박층은 전해도금공정을 통하여 형성되는 것일 수 있다.In one embodiment, the metal layer, an ultra-thin layer formed on the release layer; and a metal foil including a plurality of projections having a flat upper portion formed on the ultra-thin layer, wherein the ultra-thin layer may be formed through an electrolytic plating process.

본 발명은 하나 이상의 돌기가 형성된 금속박으로 인해 대상 기재(예를 들어, 절연 수지 기재)와의 높은 밀착력을 나타내면서 고주파 신호 전송 효율이 저하되는 것을 최소화할 수 있다.The present invention can minimize a decrease in high frequency signal transmission efficiency while exhibiting high adhesion to a target substrate (eg, an insulating resin substrate) due to the metal foil having one or more protrusions formed thereon.

또한 본 발명은 단층 구조인 이형층으로 인해 금속박이 캐리어와 박리가 잘 이루어지면서(금속박의 변형이 최소화되면서 잔류 불순물 없이 박리가 이루어짐) 내열성이 우수한 캐리어 부착 금속박을 제공할 수 있다.In addition, the present invention can provide a metal foil with a carrier excellent in heat resistance while the metal foil is well peeled from the carrier due to the release layer having a single-layer structure (deformation of the metal foil is minimized and peeling is performed without residual impurities).

또 본 발명은 절연 수지 기재를 기반으로 하거나 절연 수지 기재를 기반으로 하지 않으면서(coreless 공법으로 제조), 고주파 신호 전송 효율이 우수한 인쇄회로기판을 제공할 수 있다.In addition, the present invention can provide a printed circuit board that is based on an insulating resin substrate or not based on an insulating resin substrate (manufactured by a coreless method) and has excellent high frequency signal transmission efficiency.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 이형층을 포함하는 캐리어 부착 금속박을 나타낸 것이다.
도 2는 기존의 2개의 층을 가지는 이형층을 포함하는 캐리어 부착 금속박을 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 금속박 표면의 돌기 구조를 나타낸 것이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 다양한 형상을 가지는 돌기를 나타낸 것이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 돌기가 형성된 금속박 표면의 SEM사진이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 TOF-SIMS분석 결과를 나타낸 것이다.
도 7은 본 발명의 비교예에 의한 TOF-SIMS분석 결과를 나타낸 것이다.
1 shows a metal foil with a carrier including a release layer according to an embodiment of the present invention.
2 shows a metal foil with a carrier including a release layer having two conventional layers.
Figure 3 shows the projection structure on the surface of the metal foil according to an embodiment of the present invention.
4 shows protrusions having various shapes according to an embodiment of the present invention.
5 is a SEM photograph of the surface of the metal foil on which the projections are formed according to an embodiment of the present invention.
6 shows a TOF-SIMS analysis result according to an embodiment of the present invention.
7 shows the TOF-SIMS analysis result according to the comparative example of the present invention.

이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있음을 의미한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail. In describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known technology may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. Throughout the specification, when a part "includes" a certain component, it means that other components may be further included, rather than excluding other components, unless otherwise stated.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예를 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Since the present invention can apply various transformations and can have various embodiments, specific embodiments are illustrated and described in detail in the detailed description. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

본 명세서에 개시된 기술은 여기서 설명되는 구현예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 단지, 여기서 소개되는 구현예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 기술의 기술적 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 도면에서 각 장치의 구성요소를 명확하게 표현하기 위하여 상기 구성요소의 폭이나 두께 등의 크기를 다소 확대하여 나타내었다. 전체적으로 도면 설명시 관찰자 시점에서 설명하였고, 일 요소가 다른 요소 위에 위치하는 것으로 언급되는 경우, 이는 상기 일 요소가 다른 요소 위에 바로 위치하거나 또는 그들 요소들 사이에 추가적인 요소가 개재될 수 있다는 의미를 모두 포함한다. 또한, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명의 사상을 다양한 다른 형태로 구현할 수 있을 것이다. 그리고 복수의 도면들 상에서 동일 부호는 실질적으로 서로 동일한 요소를 지칭한다.The technology disclosed herein is not limited to the implementations described herein and may be embodied in other forms. However, the embodiments introduced herein are provided so that the disclosed content may be thorough and complete, and the technical spirit of the present technology may be sufficiently conveyed to those skilled in the art. In order to clearly express the components of each device in the drawings, the sizes such as widths and thicknesses of the components are slightly enlarged. In the description of the drawings as a whole, it has been described from an observer's point of view, and when an element is referred to as being positioned on another element, this means that the element may be positioned directly on the other element or an additional element may be interposed between the elements. include In addition, those of ordinary skill in the art will be able to implement the spirit of the present invention in various other forms without departing from the technical spirit of the present invention. And the same reference numerals in the plurality of drawings refer to elements that are substantially the same as each other.

발명에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 발명에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Terms used in the present invention are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present invention, the terms include or have is intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification exists, but one or more other features, number, step , it should be understood that it does not preclude in advance the possibility of the presence or addition of an operation, component, part, or combination thereof.

한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다. “제1” 또는 “제2” 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.On the other hand, the meaning of the terms described in this specification should be understood as follows. Terms such as “first” or “second” are for distinguishing one component from other components, and the scope of rights should not be limited by these terms. For example, a first component may be termed a second component, and similarly, a second component may also be termed a first component.

또, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, “포함하다” 또는 “가지다”등의 용어는 기술되는 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또, 방법 또는 제조 방법을 수행함에 있어서, 상기 방법을 이루는 각 과정들은 문맥상 명백하게 특정 순서를 기재하지 않은 이상 명기된 순서와 다르게 일어날 수 있다. 즉, 각 과정들은 명기된 순서와 동일하게 일어날 수도 있고 실질적으로 동시에 수행될 수도 있으며 반대의 순서대로 수행될 수도 있다.In addition, the singular expression should be understood to include the plural expression unless the context clearly dictates otherwise, and terms such as “comprise” or “have” refer to the described feature, number, step, operation, component, or part. It is to be understood that this is intended to indicate that there is a combination thereof, but does not preclude the possibility of addition or existence of one or more other features or numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof. In addition, in performing the method or the manufacturing method, each process constituting the method may occur differently from the specified order unless a specific order is clearly described in context. That is, each process may occur in the same order as specified, may be performed substantially simultaneously, or may be performed in the reverse order.

본 명세서에서, '및/또는' 이라는 용어는 복수의 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다. 본 명세서에서, 'A 또는 B'는, 'A', 'B', 또는 'A와 B 모두'를 포함할 수 있다.In this specification, the term 'and/or' includes a combination of a plurality of listed items or any of a plurality of listed items. In this specification, 'A or B' may include 'A', 'B', or 'both A and B'.

본 발명은, 캐리어 부착 금속박에서 캐리어가 원활하게 제거될 수 있도록 하는 이형층에 있어서, 상기 이형층은, 질소를 함유하는 헤테로고리 화합물; 및 니켈, 몰리브덴, 코발트, 인, 망간 및 철의 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 무기화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 부착 금속박용 이형층에 관한 것이다.The present invention, in the release layer to allow the carrier to be smoothly removed from the metal foil with a carrier, The release layer, a nitrogen-containing heterocyclic compound; and an inorganic compound comprising at least one selected from the group consisting of nickel, molybdenum, cobalt, phosphorus, manganese and iron.

기존의 캐리어 부착 금속박에서 사용되는 이형층은 크게 무기 확산 방지층(220) 및 유기 이형층(210)으로 구성되어 있다(도 2 참조). 특히 상기 무기 확산방지층(220)은 캐리어(300)의 성분이 상기 금속박(100)으로 확산되지 않도록 하는 배리어의 역할을 수행하는 것으로 장기간 보관하더라도 금속박의 물성이 변하는 것을 막는 역할을 수행하였다. 하지만 이러한 다층구조의 이형층은 각 층을 따로 전사 또는 도금해야 하므로 제작시 많은 시간이 필요할 뿐만 아니라 이형시 각 이형층의 계면이 분리되어 금속박에 잔유물을 남길 수 있는 단점을 가지고 있다.The release layer used in the conventional metal foil with a carrier is largely composed of an inorganic diffusion barrier layer 220 and an organic release layer 210 (see FIG. 2 ). In particular, the inorganic diffusion barrier layer 220 serves as a barrier to prevent the components of the carrier 300 from being diffused into the metal foil 100, and serves to prevent changes in the physical properties of the metal foil even when stored for a long time. However, the release layer of such a multi-layer structure has a disadvantage in that it takes a lot of time to manufacture because each layer must be transferred or plated separately, and the interface of each release layer is separated during release, leaving a residue on the metal foil.

이에 본 발명의 경우 상기 무기 확산 방지층과 유기 이형층의 역할을 동시에 수행할 수 있는 이형층(200)을 제작하는 것으로 상기와 같은 잔유물을 최소화할 수 있으며, 또한 그 제작시간 및 비용을 최소화할 수 있다(도 1참조).Accordingly, in the present invention, by manufacturing the release layer 200 capable of simultaneously performing the roles of the inorganic diffusion barrier layer and the organic release layer, the residues as described above can be minimized, and the production time and cost can be minimized. There is (see Fig. 1).

이를 위하여 상기 이형층(200)은 금속성분을 포함하는 무기화합물과 헤테로고리화합물을 포함하는 유기성분을 동시에 포함하는 것으로 상기 이형층의 유기 이형층 및 무기 확산 방지층의 역할을 동시에 수행할 수 있다.To this end, the release layer 200 includes an inorganic compound including a metal component and an organic component including a heterocyclic compound at the same time, and serves as an organic release layer and an inorganic diffusion prevention layer of the release layer.

상기 유기성분은 질소를 포함하는 헤테로고리 화합물일 수 있다. 이러한 헤테로고리 화합물은 고리형의 화합물의 고리를 구성하는 원자 중 하나 또는 그 이상의 원자가 탄소가 아닌 다른 원자로 대체된 화합물을 의미하는 것으로 본 발명의 경우 상기 고리의 탄소원자가 질소로 대체된 헤테로고리 화합물을 사용할 수 있다. The organic component may be a heterocyclic compound containing nitrogen. The heterocyclic compound refers to a compound in which one or more atoms of the atoms constituting the ring of the cyclic compound are replaced with an atom other than carbon, and in the present invention, a heterocyclic compound in which a carbon atom of the ring is replaced with nitrogen can be used

이를 구체적으로 살펴보면, 상기 헤테로고리 화합물은 2개이상의 질소원다는 가지는 고리형 화합물, 더욱 구체적으로는 벤조트리아졸(Benzotriazole), 머캅토벤지이미다졸(Mercapto benzimidazole), 머캅토벤조트리아졸(Mercapto benzotriazole), 소듐머캅토벤조트리아졸(Sodium mercapto benzotriazole), 5-카르복시벤조트리아졸(5-Carboxybenzotriazole), 3-아미노-5-머캅토-1,2,4-트리아졸(3-Amino-5-mercapto-1,2,4-triazole), 3-머캅토-1,2,4-트리아졸(3-Mercapto-1,2,4-triazole), 트리아졸-5-카르복시산(Triazole-5-carboxylic acid), 1-메틸-3-머캅토-1,2,4-트리아졸(1-Methyl-3-mercapto-1,2,4-triazole) 및 1-페닐-5-머캅토테트라졸(1-Phenyl-5-mercapto tetrazole)로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다. 이러한 고리형 화합물이 상기 이형층에 포함되는 것으로 상기 이형층의 구조가 안정적으로 유지될 수 있으며, 또한 상기 이형층 상하부 사이의 확산을 저지할 수 있다.Specifically, the heterocyclic compound is a cyclic compound having two or more nitrogen atoms, more specifically, benzotriazole, mercapto benzimidazole, mercapto benzotriazole. , Sodium mercapto benzotriazole (Sodium mercapto benzotriazole), 5-carboxybenzotriazole (5-Carboxybenzotriazole), 3-amino-5-mercapto-1,2,4-triazole (3-Amino-5-mercapto) -1,2,4-triazole), 3-mercapto-1,2,4-triazole (3-Mercapto-1,2,4-triazole), triazole-5-carboxylic acid (Triazole-5-carboxylic acid) ), 1-methyl-3-mercapto-1,2,4-triazole (1-Methyl-3-mercapto-1,2,4-triazole) and 1-phenyl-5-mercaptotetrazole (1- Phenyl-5-mercapto tetrazole) may include one or more selected from the group consisting of. Since the cyclic compound is included in the release layer, the structure of the release layer may be stably maintained, and diffusion between the upper and lower portions of the release layer may be prevented.

또한 상기 유기성분은 하나의 성분이 단독으로 사용될 수도 있지만, 박리시 이형을 쉽게 하기 위하여 2종 이상의 유기성분을 조합하여 사용하는 것이 더욱 바람직하다. 상기와 같이 2종의 유기성분을 포함하는 경우 각 유기성분의 혼합비는 1 내지 5: 5 내지 1의 비율일 수 있으며, 바람직하게는 1:1의 비율로 즉 동량이 혼합되어 사용될 수 있다. 상기 유기성분이 상기 범위를 벗어나는 비율로 혼합되는 경우 혼합에 의한 효과를 기대하기 어렵다. In addition, although one component may be used alone as the organic component, it is more preferable to use a combination of two or more organic components to facilitate release during peeling. In the case of including two kinds of organic components as described above, the mixing ratio of each organic component may be in a ratio of 1 to 5: 5 to 1, preferably in a ratio of 1:1, that is, the same amount may be mixed and used. When the organic component is mixed in a ratio out of the above range, it is difficult to expect an effect by mixing.

아울러 상기 유기성분은 상기 이형층(200)을 형성하기 위한 도금시 도금액에 0.5~5g/L의 비율로 혼합되어 사용될 수 있다. 상기 유기성분이 0.5g/L미만의 비율로 혼합되는 경우 상기 이형층(200)의 박리강도가 낮아져 캐리어가 원하지 않는 시점에서 분리될 수 있으며, 5g/L를 초과하는 비율로 혼합되는 경우 후술할 무기성분이 상대적으로 적게 도금되어 확산방지효과가 떨어질 수 있다.In addition, the organic component may be mixed with the plating solution at a ratio of 0.5 to 5 g/L during plating to form the release layer 200 . When the organic component is mixed at a ratio of less than 0.5 g/L, the peel strength of the release layer 200 is lowered, so that the carrier may be separated at an undesired point. Since the component is plated with relatively few components, the diffusion prevention effect may be lowered.

상기 무기성분은 니켈, 몰리브덴, 코발트, 인, 망간 및 철의 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 무기화합물을 사용할 수 있다. 이러한 무기성분은 하부의 캐리어(300) 성분이 상부의 금속박(100)에 확산되지 않도록 막는 부분으로, 하부 캐리어에 주로 사용되는 구리의 확산을 방지하는 것이 바람직하다. 또한 본 발명의 경우 하부 캐리어가 구리로 사용되고 상부 금속박 역시 구리를 사용할 수 있지만, 상기 하부 캐리어의 구리 성분이 상부로 확산되는 경우 상기 상부 금속박의 조성이 변화될 수 있으므로, 이를 방지하기 위하여 상기 무기성분을 포함하는 것이 바람직하다.The inorganic component may be an inorganic compound including at least one selected from the group consisting of nickel, molybdenum, cobalt, phosphorus, manganese and iron. This inorganic component is a portion that prevents the component of the lower carrier 300 from being diffused into the upper metal foil 100, and it is preferable to prevent diffusion of copper, which is mainly used for the lower carrier. In addition, in the case of the present invention, the lower carrier is used as copper and the upper metal foil may also be copper. However, when the copper component of the lower carrier diffuses upward, the composition of the upper metal foil may change. In order to prevent this, the inorganic component It is preferable to include

이때 상기 무기성분은 니켈, 몰리브덴, 코발트, 인, 망간 및 철의 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 무기화합물인 것이 바람직하며, 더욱 바람직하게는 니켈, 몰리브덴, 코발트, 인, 망간 및 철의 황산염, 질산염, 인산염, 염산염, 불산염 또는 초산염; 또는 니켈, 몰리브덴, 코발트, 인, 망간 및 철의 산화물에서 유래된 염을 포함할 수 있다.In this case, the inorganic component is preferably an inorganic compound including at least one selected from the group consisting of nickel, molybdenum, cobalt, phosphorus, manganese and iron, and more preferably nickel, molybdenum, cobalt, phosphorus, manganese and iron. sulfate, nitrate, phosphate, hydrochloride, hydrofluoric acid or acetate; or salts derived from oxides of nickel, molybdenum, cobalt, phosphorus, manganese and iron.

이를 구체적으로 살펴보면, 황산염으로서, 황산철, 황산니켈, 황산암모늄니켈, 황산망간, 이황화몰리브덴, 황산코발트가 사용될 수 있으며, 질산염으로, 질산철, 질산니켈, 질산몰리브덴, 질산코발트, 질산망간이 사용될 수 있다. 이와 유사하게 인산철, 인산니켈, 인산 몰리브덴, 인산코발트, 인산망간과 같은 인산염 염화철, 염화니켈, 염화몰리브덴, 염화코발트, 염화망간과 같은 염산염이 사용될 수 있으며, 불산염 또는 초산염 역시 사용될 수 있다.Specifically, as the sulfate, iron sulfate, nickel sulfate, ammonium sulfate, manganese sulfate, molybdenum disulfide, and cobalt sulfate may be used, and as the nitrate, iron nitrate, nickel nitrate, molybdenum nitrate, cobalt nitrate, and manganese nitrate may be used. can Similarly, phosphate salts such as iron phosphate, nickel phosphate, molybdenum phosphate, cobalt phosphate, manganese phosphate, nickel chloride, molybdenum chloride, cobalt chloride, and manganese chloride may be used, and hydrofluoric acid salts or acetates may also be used.

또한 상기 산화물에서 유래된 염은, 니켈, 몰리브덴, 코발트, 인, 망간 및 철의 산화물로 제조되는 염기에 나트륨, 칼륨, 칼슘, 마그네슘 등이 결합한 염을 의미한다. In addition, the salt derived from the oxide refers to a salt in which sodium, potassium, calcium, magnesium, etc. are combined with a base made of oxides of nickel, molybdenum, cobalt, phosphorus, manganese and iron.

아울러 상기 무기성분 역시 상기 유기성분과 동일하게 확산방지 효과를 상승시키기 위하여 2종 이상(제1성분 및 제2성분)의 무기성분을 혼합하여 사용하는 것이 더욱 바람직하다. 특히 상기 무기성분으로 니켈을 포함하는 화합물이 사용되는 경우 상기 캐리어의 금속성분이 상기 이형층의 상부로 확산되는 것을 저지할 수 있으며, 또한 몰리브덴을 포함하는 화합물을 사용하는 경우 상기 유기성분 즉 헤테로고리 화합물을 활성화하여 상기 무기성분이 원활하게 결합될 수 있도록 하여 이형시 잔유물을 최소화할 수 있다.In addition, it is more preferable to use the inorganic component by mixing two or more inorganic components (first component and second component) in order to increase the diffusion prevention effect in the same way as the organic component. In particular, when a compound containing nickel is used as the inorganic component, it is possible to prevent the metal component of the carrier from diffusing to the upper portion of the release layer, and when a compound containing molybdenum is used, the organic component, that is, a heterocyclic ring By activating the compound so that the inorganic components can be smoothly combined, residues during release can be minimized.

여기서 제1 성분(a)과 제2 성분(b)의 비율(a:b)은 30 내지 80:70 내지 20의 중량비일 수 있고, 구체적으로는 40내지 70:60 내지 30의 중량비일 수 있다. 제1 성분과 제2 성분의 비율이 상기 범위 내임에 따라 캐리어의 성분이 금속층으로 확산되는 것이 방지할 수 있으며, 금속층에 불순물이 잔류하지 않도록 캐리어를 박리할 수 있다. 또한 박리 전과 후에서 요구되는 결합 강도(박리 강도)가 상기 이형층에 부여될 수 있다. 아울러 수지 기재와 결합된 프린트 배선판 형성용 적층체의 제조를 위해 캐리어박 부착 금속박을 200℃ 이상으로 열처리하더라도 캐리어와 이형층 간의 결합 강도(박리 강도)가 안정적으로 유지되어 캐리어의 박리가 잘 이루어질 수 있다.Here, the ratio (a:b) of the first component (a) and the second component (b) may be a weight ratio of 30 to 80:70 to 20, specifically 40 to 70:60 to 30 by weight. . As the ratio of the first component to the second component is within the above range, diffusion of the component of the carrier into the metal layer may be prevented, and the carrier may be peeled off so that impurities do not remain in the metal layer. In addition, a required bonding strength (peel strength) before and after peeling may be imparted to the release layer. In addition, even if the metal foil with the carrier foil is heat treated at 200° C. or higher for the manufacture of a laminate for forming a printed wiring board combined with a resin substrate, the bonding strength (peel strength) between the carrier and the release layer is stably maintained, so that the carrier can be easily peeled off. have.

한편, 상기 이형층이 상기와 같이 2종의 무기성분을 포함하는 경우, 코발트(Co), 인(P), 망간(Mn) 및 철(Fe)로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 함유하는 제3 성분을 더 포함할 수 있다. 상기 이형층이 제3 성분을 더 포함함에 따라 상기 이형층을 구성하는 무기성분과 유기성분 간의 결합강도를 높일 수 있고, 캐리어 부착 금속박을 200 ℃ 이상으로 열처리하더라도 결합 강도(박리 강도)를 안정적으로 유지시킬 수 있다. 여기서 상기 이형층이 제3 성분(c)을 더 포함할 경우, 제1 성분(a)과 제2성분(b)과 제3 성분(c)의 비율(a:b:c)은 30 내지 60:25 내지 50: 1 내지 40의 중량비일 수 있다.On the other hand, when the release layer includes two kinds of inorganic components as described above, the agent containing at least one selected from the group consisting of cobalt (Co), phosphorus (P), manganese (Mn) and iron (Fe) It may further include 3 components. As the release layer further includes a third component, the bonding strength between the inorganic and organic components constituting the release layer can be increased, and the bonding strength (peel strength) can be stably heated even when the metal foil with a carrier is heat treated at 200° C. or higher. can keep Here, when the release layer further includes the third component (c), the ratio (a:b:c) of the first component (a), the second component (b), and the third component (c) is 30 to 60 It may be a weight ratio of: 25 to 50: 1 to 40.

또한 상기 무기성분은 상기 이형층을 형성하기 위한 도금시 도금액에 50~150g/L의 비율로 혼합될 수 있다. 상기 무기성분이 50g/L미만의 비율로 혼합되는 경우 확산방지효과가 떨어질 수 있으며, 150g/L를 초과하는 비율로 혼합되는 경우 상기 유기성분의 비율이 상대적으로 낮아져 박리강도가 떨어질 수 있다.In addition, the inorganic component may be mixed with the plating solution at a ratio of 50 to 150 g/L during plating to form the release layer. When the inorganic component is mixed at a ratio of less than 50 g/L, the diffusion prevention effect may be reduced, and when the inorganic component is mixed at a ratio exceeding 150 g/L, the ratio of the organic component is relatively low and peel strength may be decreased.

상기와 같이 유기성분과 무기성분이 복합되어 제조되는 이형층은 100nm~1㎛의 두께를 가질 수 있으며, 바람직하게는 100~500nm, 더욱 바람직하게는 150~250nm의 두께를 가질 수 있다. 상기 이형층이 100nm미만의 두께를 가지는 경우 이형층이 너무 얇아져 이형시 박리가 어려움과 동시에 캐리어층의 확산을 방지하기 어려우며, 1㎛를 초과하는 두께를 가지는 경우 이형층에 의한 캐리어층 제거시 잔유물이 남을 수 있다.The release layer prepared by combining the organic component and the inorganic component as described above may have a thickness of 100 nm to 1 μm, preferably 100 to 500 nm, more preferably 150 to 250 nm. When the release layer has a thickness of less than 100 nm, the release layer becomes too thin, so it is difficult to peel off and at the same time to prevent diffusion of the carrier layer. this can remain

또한 상기와 같은 이형층(200)의 형성을 위하여 전해도금을 실시할 수 있으며, 이대 상기 전해도금은 2~5ASD의 강도로 10~60초간 수행될 수 있다. 상기 전해도금이 2ASD미만의 강도 또는 10초 미만의 시간동안 수행되는 경우 상기 이형층(200)의 두께가 100nm미만이 될 수 있으며, 5ASD를 초과하는 강도 또는 60초를 초과하는 시간동안 수행되는 경우 이형층의 두께가 1㎛를 초과하거나 너무 강한 전류량으로 인하여 이형층이 탄화될 수 있다.In addition, electroplating may be performed to form the release layer 200 as described above, and the electrolytic plating may be performed for 10 to 60 seconds at an intensity of 2 to 5 ASD. When the electrolytic plating is performed for an intensity of less than 2 ASD or for a time period of less than 10 seconds, the thickness of the release layer 200 may be less than 100 nm, and an intensity exceeding 5 ASD or when performed for a time exceeding 60 seconds If the thickness of the release layer exceeds 1 μm or the amount of current is too strong, the release layer may be carbonized.

상기 이형층(200)은 IPC-TM-650 규격에 의한 평가시 박리강도가 5~50gf/㎝인 것일 수 있다. 상기 박리강도가 5gf/㎝미만인 경우 보관 또는 이동시 상기 캐리어가 분리되어 불량이 발생할 수 있으며, 50gf/㎝를 초과하는 경우 이형시 잔유물이 남아 불량이 발생할 수 있다.The release layer 200 may have a peel strength of 5 to 50 gf/cm when evaluated according to the IPC-TM-650 standard. If the peel strength is less than 5 gf / cm, the carrier may be separated during storage or movement, and defects may occur.

본 발명은 또한 상기 이형층을 포함하는 캐리어 부착 금속박을 제공한다. 본 발명의 이형층의 경우 위에서 살펴본 바와 같이 단일층으로 구성될 수 있으며, 이에따라 기존의 캐리어 부착 금속박에 비하여 저렴한 비용과 적은 시간에 이형층을 형성할 수 있다는 장점을 가질 수 있다.The present invention also provides a metal foil with a carrier including the release layer. In the case of the release layer of the present invention, as described above, it may be composed of a single layer, and thus may have the advantage of being able to form the release layer at a lower cost and in less time than the conventional metal foil with a carrier.

상기 캐리어 부착 금속박은, 캐리어; 상기 캐리어 상에 구비되는 상기 이형층; 및 상기 이형층 상에 구비되는 금속층을 구비하고, 상기 금속층은 상부가 평평한 복수의 돌기를 포함하는 금속박을 포함할 수 있다.The said metal foil with a carrier, a carrier; the release layer provided on the carrier; and a metal layer provided on the release layer, wherein the metal layer may include a metal foil including a plurality of protrusions having a flat top.

본 발명에 따른 금속박(100)은 상부가 평평한 복수의 돌기(10)를 포함한다. 상기 돌기(10)는 금속박(100)의 표면에서 수직 상부방향으로 돌출된 금속 결정 입자를 의미하는 것일 수 있다. 구체적으로 상기 돌기(10)는 돌출부(11)와 평탄부(12)를 포함할 수 있다.The metal foil 100 according to the present invention includes a plurality of projections 10 having a flat top. The projections 10 may refer to metal crystal particles protruding vertically upward from the surface of the metal foil 100 . Specifically, the protrusion 10 may include a protrusion 11 and a flat portion 12 .

상기 돌기(10)에 포함되는 돌출부(11)는 금속박(100)의 표면에서 돌출되는 부분으로, 원뿔대 형상 또는 다각뿔대 형상을 가질 수 있다. 구체적으로 돌출부(11)는 도 2에 도시된 바와 같이 표면(옆면)이 평면인 원뿔대 형상 또는 표면이 각진(angulate) 다각뿔대 형상을 가지는 것으로, 이로 인해 절연 수지 기재와의 밀착 앵커(anchor) 효과가 증대되어, 금속박(100)이 절연 수지 기재와 높은 밀착력을 갖도록 결합될 수 있다. 보다 구체적으로 돌출부(11)는 다각뿔대 형상 중에서도 오각뿔대 형상, 육각뿔대 형상, 칠각뿔대 형상 및 팔각뿔대 형상으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 형상을 가질 수 있다.The protrusion 11 included in the protrusion 10 is a portion protruding from the surface of the metal foil 100 and may have a truncated cone shape or a polygonal truncated pyramid shape. Specifically, as shown in FIG. 2 , the protrusion 11 has a truncated cone shape with a flat surface (side surface) or a polygonal truncated pyramid shape with an angulate surface. is increased, so that the metal foil 100 may be coupled to the insulating resin substrate to have high adhesion. More specifically, the protrusion 11 may have at least one shape selected from the group consisting of a pentagonal truncated pyramid shape, a hexagonal truncated pyramid shape, a heptagonal truncated pyramid shape, and an octagonal truncated pyramid shape.

상기 돌출부(11)에는 표면적 증가로 인해 절연 수지 기재와의 밀착력을 높일 수 있도록 하는 복수의 미세돌기(11a)가 형성되어 있을 수 있다. 이러한 미세돌기(11a)에 의해 돌출부(11)는 표면조도(Ra)가 0.05 내지 0.3 ㎛, 구체적으로는 0.08 내지 0.2 ㎛을 나타낼 수 있다. 여기서 돌출부(11)의 표면조도(Ra)는 평탄부(12)를 제외한 돌출부(11) 옆면의 표면조도(Ra)로 정의될 수 있다.A plurality of fine protrusions 11a may be formed on the protrusion 11 to increase adhesion to the insulating resin substrate due to an increase in surface area. Due to the fine protrusions 11a, the protrusion 11 may have a surface roughness Ra of 0.05 to 0.3 μm, specifically 0.08 to 0.2 μm. Here, the surface roughness Ra of the protrusion 11 may be defined as the surface roughness Ra of the side surface of the protrusion 11 excluding the flat part 12 .

한편 상기 돌출부(11)의 밑변 길이(a) 대 돌출부(11)의 높이(b)의 비율(b/a)은 0.4 내지 1.5, 구체적으로는 0.6 내지 1.2일 수 있다. 상기 비율(b/a)이 상기 범위 내임에 따라 금속박(100)과 절연 수지 기재 간의 밀착력을 높이면서 고주파 신호 전송 과정에서 신호 전송 손실이 일어나는 것을 최소화할 수 있다.Meanwhile, the ratio (b/a) of the length (a) of the base of the protrusion 11 to the height (b) of the protrusion 11 may be 0.4 to 1.5, specifically, 0.6 to 1.2. As the ratio (b/a) is within the above range, it is possible to minimize signal transmission loss in the high frequency signal transmission process while increasing the adhesion between the metal foil 100 and the insulating resin substrate.

상기 돌기(10)에 포함되는 평탄부(12)는 돌출부(11) 상단에 구비되는 평탄(flat)한 면이다. 상기 평탄부(12)는 원뿔대 형상 또는 다각뿔대 형상을 갖는 돌출부(11)의 윗면을 의미할 수 있다. 여기서 밀착력을 높이기 위해 뾰족하거나 동그랗게 돌출되도록 입자(높은 조도의 요철 형성)를 형성함에 따라 고주파 신호 전송 손실이 발생하던 종래와 달리, 본 발명은 돌기(10)의 상부(상단)가 평평한 면인 평탄부(12)로 이루어짐에 따라 금속박(100) 표면이 비교적 저조도를 나타내어 고주파 신호 전송 손실이 일어나는 것을 최소화할 수 있다. 구체적으로 평탄부(12)는 원형, 타원형, 또는 다각형 형상을 가질 수 있다. 한편 표면에 미세한 요철이 형성되어 있더라도 미세한 요철이 조밀하게 형성되어 평탄한 면을 이루는 경우도 본 발명의 평탄부(12) 범주에 포함되는 것으로 볼 수 있다.The flat portion 12 included in the protrusion 10 is a flat surface provided on the upper end of the protrusion 11 . The flat portion 12 may mean an upper surface of the protrusion 11 having a truncated cone shape or a polygonal truncated pyramid shape. Here, unlike the prior art in which high-frequency signal transmission loss occurred due to the formation of particles (formation of irregularities with high roughness) to protrude sharply or roundly to increase adhesion, the present invention provides a flat portion in which the upper part (upper part) of the protrusion 10 is a flat surface. As (12) is formed, the surface of the metal foil 100 exhibits relatively low illuminance, thereby minimizing the occurrence of high-frequency signal transmission loss. Specifically, the flat portion 12 may have a circular, oval, or polygonal shape. On the other hand, even if the fine unevenness is formed on the surface, it can be seen that the case where the fine unevenness is densely formed to form a flat surface is included in the scope of the flat portion 12 of the present invention.

이러한 돌기(10)에서, 돌출부(11)의 밑변 길이(a) 대 평탄부(12)의 길이(c)의 비율(c/a)은 0.1 내지 0.7, 구체적으로는 0.2 내지 0.6일 수 있다. 상기 비율(c/a)이 상기 범위 내임에 따라 금속박(100)과 절연 수지 기재 간의 밀착력을 높이면서 고주파 신호 전송 과정에서 신호 전송 손실이 일어나는 것을 최소화할 수 있다. 상기 평탄부(12)의 길이(c)는 평탄부(12)를 이루는 면에서 가장 긴 길이를 의미할 수 있다.In the protrusion 10, the ratio (c/a) of the length (a) of the base of the protrusion (11) to the length (c) of the flat portion (12) may be 0.1 to 0.7, specifically 0.2 to 0.6. As the ratio (c/a) is within the above range, it is possible to minimize the occurrence of signal transmission loss in the high frequency signal transmission process while increasing the adhesion between the metal foil 100 and the insulating resin substrate. The length c of the flat portion 12 may mean the longest length in the plane forming the flat portion 12 .

이와 같은 돌기(10)의 개수는 금속박(100)과 절연 수지 기재 간의 밀착력, 고주파 신호 전송 효율, 금속박(100)의 회로배선 해상도 등을 고려할 때, 금속박(100) 단위 면적(1 ㎛2) 당 25 개 이하, 구체적으로 5 내지 20 개, 보다 구체적으로 7 내지 15 개일 수 있다.When considering the adhesion between the metal foil 100 and the insulating resin substrate, the high frequency signal transmission efficiency, the circuit wiring resolution of the metal foil 100, etc., the number of such protrusions 10 is the metal foil 100 per unit area (1 μm 2 ) 25 or less, specifically 5 to 20, more specifically 7 to 15.

상기 돌기(10)는 무전해 도금에 의해 형성될 수 있다. 구체적으로 본 발명에 따른 금속박(100)은 무전해 도금으로 제조되는 것으로, 무전해 도금 과정에서 금속시드박이 형성된 후 금속시드박 상에 결정 입자의 성장이 계속적으로 일어나 복수의 돌기(10)가 표면에 존재하는 금속박(100)이 제조될 수 있다. 여기서 금속박에 별도의 조화 처리를 수행하여 요철을 형성하던 종래와 달리, 본 발명은 금속박(100)의 제조과정에서 자연스럽게 조화면인 복수의 돌기(10)가 형성되기 때문에, 별도의 조화 처리를 수행하는 과정을 생략할 수 있으며, 이로 인해 금속박(100) 또는/및 인쇄회로기판의 제조 효율을 향상시킬 수 있다. 또한 금속박(100)이 무전해 도금에 의해 제조됨에 따라 전해 도금에 의해 제조되는 금속박보다 두께가 얇고 다공성을 갖는 금속박(100)을 제공할 수 있다.The protrusion 10 may be formed by electroless plating. Specifically, the metal foil 100 according to the present invention is manufactured by electroless plating, and after the metal seed foil is formed during the electroless plating process, crystal grains continuously grow on the metal seed foil so that a plurality of protrusions 10 are formed on the surface. The metal foil 100 present in the can be manufactured. Here, unlike the conventional method of forming irregularities by performing a separate roughening treatment on the metal foil, in the present invention, since a plurality of protrusions 10 that are roughened surfaces are naturally formed in the manufacturing process of the metal foil 100, a separate roughening treatment is performed This process may be omitted, thereby improving the manufacturing efficiency of the metal foil 100 and/or the printed circuit board. In addition, as the metal foil 100 is manufactured by electroless plating, it is possible to provide the metal foil 100 having a thinner thickness and porosity than the metal foil manufactured by electroplating.

본 발명에 따른 금속박(100)의 제조를 위해 상기 무전해 도금 시 사용되는 무전해 도금액은 특별히 한정되지 않으나, 금속 이온 공급원과 질소 함유 화합물을 포함하는 무전해 도금액일 수 있다.The electroless plating solution used during the electroless plating for manufacturing the metal foil 100 according to the present invention is not particularly limited, but may be an electroless plating solution including a metal ion source and a nitrogen-containing compound.

상기 금속 이온 공급원은 구체적으로 황산구리, 염화구리, 질산구리, 수산화구리 및 구리 설파메이트로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 구리 이온 공급원일 수 있다. 이러한 금속 이온 공급원의 농도는 0.5 내지 300 g/L, 구체적으로 100 내지 250 g/L, 더욱 구체적으로 190~200g/L일 수 있다.Specifically, the metal ion source may be at least one copper ion source selected from the group consisting of copper sulfate, copper chloride, copper nitrate, copper hydroxide, and copper sulfamate. The concentration of the metal ion source may be 0.5 to 300 g/L, specifically 100 to 250 g/L, and more specifically 190 to 200 g/L.

상기 질소 함유 화합물은 금속 이온을 확산시켜 금속 이온 공급원에 의해 형성된 금속시드박 표면에 복수의 돌기(10)가 형성되도록 한다. 상기 질소 함유 화합물은 구체적으로 퓨린, 아데닌, 구아닌, 하이포크산틴, 크산틴, 피리다진, 메틸피페리딘, 1,2-디-(2-피리딜)에틸렌, 1,2-디-(피리딜)에틸렌, 2,2'-디피리딜아민, 2,2'-비피리딜, 2,2'-비피리미딘, 6,6'-디메틸-2,2'-디피리딜, 디-2-피릴케톤, N,N,N',N'-테트라에틸렌디아민, 1,8-나프티리딘, 1,6-나프티리딘 및 터피리딘으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상일 수 있다. 이러한 질소 함유 화합물의 농도는 0.001 내지 1 g/L, 구체적으로 0.01 내지 0.1 g/L일 수 있다.The nitrogen-containing compound diffuses metal ions to form a plurality of projections 10 on the surface of the metal seed foil formed by the metal ion source. The nitrogen-containing compound is specifically purine, adenine, guanine, hypoxanthine, xanthine, pyridazine, methylpiperidine, 1,2-di- (2-pyridyl) ethylene, 1,2-di- (pyridyl) ) Ethylene, 2,2'-dipyridylamine, 2,2'-bipyridyl, 2,2'-bipyrimidine, 6,6'-dimethyl-2,2'-dipyridyl, di-2 -Pyryl ketone, N,N,N',N'-tetraethylenediamine, 1,8-naphthyridine, 1,6-naphthyridine, and may be at least one selected from the group consisting of terpyridine. The concentration of the nitrogen-containing compound may be 0.001 to 1 g/L, specifically 0.01 to 0.1 g/L.

상기 무전해 도금액은 킬레이트제, pH 조절제 및 환원제로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상의 첨가제를 더 포함할 수 있다.The electroless plating solution may further include one or more additives selected from the group consisting of a chelating agent, a pH adjusting agent, and a reducing agent.

상기 킬레이트제는 구체적으로 타르타르산, 시트르산, 아세트산, 말산, 말론산, 아스코르브산, 옥살산, 락트산, 숙신산, 포타슘소듐타르트레이트, 디포타슘타르트레이트, 히단토인, 1-메틸히단토인, 1,3-디메틸히단토인, 5,5-디메틸히단토인, 니트릴로아세트산, 트리에탄올아민, 에틸렌디아민테트라아세트산, 테트라소듐에틸렌디아민테트라아세테이트, N-하이드록시에틸렌디아민트리아세테이트 및 펜타하이드록시 프로필디에틸렌트리아민으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상일 수 있다. 이러한 킬레이트제의 농도는 0.5 내지 600 g/L, 구체적으로 300 내지 450 g/L, 더욱 구체적으로 400~430g/L 일 수 있다.The chelating agent is specifically tartaric acid, citric acid, acetic acid, malic acid, malonic acid, ascorbic acid, oxalic acid, lactic acid, succinic acid, potassium sodium tartrate, dipotassium tartrate, hydantoin, 1-methylhydantoin, 1,3-dimethyl group consisting of hydantoin, 5,5-dimethylhydantoin, nitriloacetic acid, triethanolamine, ethylenediaminetetraacetic acid, tetrasodiumethylenediaminetetraacetate, N-hydroxyethylenediaminetriacetate and pentahydroxypropyldiethylenetriamine It may be one or more selected from. The concentration of the chelating agent may be 0.5 to 600 g/L, specifically 300 to 450 g/L, and more specifically 400 to 430 g/L.

상기 pH 조절제는 구체적으로 수산화나트륨, 수산화칼륨 및 수산화리튬으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상일 수 있다. 이러한 pH 조절제는 무전해 도금액의 pH가 8 이상, 구체적으로 10 내지 14, 더 구체적으로 11 내지 13.5으로 조절되도록 무전해 도금액에 포함될 수 있다.Specifically, the pH adjusting agent may be at least one selected from the group consisting of sodium hydroxide, potassium hydroxide and lithium hydroxide. Such a pH adjusting agent may be included in the electroless plating solution so that the pH of the electroless plating solution is adjusted to 8 or more, specifically 10 to 14, and more specifically 11 to 13.5.

상기 환원제는 구체적으로 포름알데히드, 소듐하이포포스파이트, 소듐하이드록시메탄설피네이트, 글리옥실산, 수소화붕소염 및 디메틸아민보란으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상일 수 있다. 이러한 환원제의 농도는 1 내지 20 g/L, 구체적으로 5 내지 20 g/L일 수 있다.Specifically, the reducing agent may be at least one selected from the group consisting of formaldehyde, sodium hypophosphite, sodium hydroxymethane sulfinate, glyoxylic acid, borohydride, and dimethylamine borane. The concentration of this reducing agent may be 1 to 20 g/L, specifically 5 to 20 g/L.

상기 무전해 도금액으로 무전해 도금하여 금속박(100)을 제조하는 도금 조건은 금속박(100)의 두께에 따라 적절히 조절될 수 있다. 구체적으로 무전해 도금 온도는 20 내지 60 ℃, 구체적으로 25 내지 40 ℃일 수 있고, 무전해 도금 시간은 2 내지 30 분, 구체적으로 5 내지 20 분일 수 있다.Plating conditions for manufacturing the metal foil 100 by electroless plating with the electroless plating solution may be appropriately adjusted according to the thickness of the metal foil 100 . Specifically, the electroless plating temperature may be 20 to 60 ℃, specifically 25 to 40 ℃, the electroless plating time may be 2 to 30 minutes, specifically 5 to 20 minutes.

이와 같이 무전해 도금으로 제조되는 본 발명의 금속박(100)의 두께는 5 ㎛ 이하, 구체적으로 0.1 내지 1 ㎛일 수 있다. 또한 본 발명의 금속박(100)을 이루는 성분은 인쇄회로기판의 회로층을 형성할 수 있는 공지된 금속이라면 특별히 한정되지 않으며, 구체적으로는 구리, 은, 금, 니켈 및 알루미늄으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상일 수 있다.As described above, the thickness of the metal foil 100 of the present invention manufactured by electroless plating may be 5 μm or less, specifically 0.1 to 1 μm. In addition, the component constituting the metal foil 100 of the present invention is not particularly limited as long as it is a known metal capable of forming a circuit layer of a printed circuit board, and specifically, it is selected from the group consisting of copper, silver, gold, nickel and aluminum. There may be more than one type.

본 발명에 따른 캐리어 부착 금속박에 포함되는 캐리어(300)는 캐리어 부착 금속의 이동 또는 사용 과정에서 금속층이 변형되는 것을 방지하는 것으로, 구리, 알루미늄 등과 같은 금속; 또는 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리페닐렌설파이드(PPS), 테프론(Teflon) 등과 같은 고분자로 이루어질 수 있다. 이러한 캐리어의 두께는 구체적으로 10 내지 50 ㎛일 수 있다.The carrier 300 included in the metal foil with a carrier according to the present invention is to prevent the metal layer from being deformed in the process of movement or use of the metal with a carrier, metal such as copper, aluminum; Alternatively, it may be made of a polymer such as polyethylene terephthalate (PET), polyphenylene sulfide (PPS), or Teflon. The thickness of such a carrier may be specifically 10 to 50 μm.

본 발명에 따른 캐리어 부착 금속박은 금속층의 보호를 위해 금속층 상에 구비되는 방청층을 더 포함할 수 있다. 상기 방청층은 아연, 크롬 등을 포함할 수 있다.The metal foil with a carrier according to the present invention may further include a rust prevention layer provided on the metal layer for protection of the metal layer. The rust prevention layer may include zinc, chromium, and the like.

또한 상기 금속층은, 상기 이형층상에 형성되는 극박층; 및 상기 극박층상에 형성되는 상부가 평평한 복수의 돌기를 포함하는 금속박을 포함할 수 있다.In addition, the metal layer, an ultra-thin layer formed on the release layer; and a metal foil including a plurality of projections having a flat upper portion formed on the ultra-thin layer.

상기 금속층은 크게 이형층상에 형성되는 극박층 및 상기 복수의 돌기가 형성된 금속박으로 구성될 수 있다. 상기 극박층은 상기 이형층상에 형성되어 상기 금속박이 형성되기 위한 베이스가 되는 층으로 전해도금공정을 이용하여 형성될 수 있다.The metal layer may be largely composed of an ultra-thin layer formed on the release layer and the metal foil having the plurality of protrusions. The ultra-thin layer is formed on the release layer to serve as a base for forming the metal foil, and may be formed using an electrolytic plating process.

이를 구체적으로 살펴보면, 상기 이형층상에 금속층을 형성하기 위해서는 전해도금공정을 사용해야만 한다. 하지만 본 발명의 금속박은 위에서 살펴본 바와 같이 무전해도금으로 형성되고 있으므로, 상기 이형층상에 직접 형성되기는 어려울 수 있다. 따라서 상기 이형층상이 상기 극박층을 전해도금공정을 이용하여 형성하는 것으로 무전해도금 방법을 사용하는 금속박의 형성이 원활하게 수행될 수 있다.Specifically, in order to form a metal layer on the release layer, an electrolytic plating process must be used. However, since the metal foil of the present invention is formed by electroless plating as described above, it may be difficult to form directly on the release layer. Therefore, since the release layer is formed by using an electrolytic plating process to form the ultra-thin layer, the metal foil using the electroless plating method can be smoothly formed.

이때 상기 금속박과의 원활한 접합을 위하여 상기 극박층은 구리, 은, 금, 니켈 및 알루미늄을 포함하는 군에서 선택되는 1종 이상을 포함할 수 있으며, 더욱 바람직하게는 상기 극박층은 상기 금속박과 동일한 금속으로 제조될 수 있다.At this time, for smooth bonding with the metal foil, the ultra-thin layer may include at least one selected from the group consisting of copper, silver, gold, nickel and aluminum, and more preferably, the ultra-thin layer is the same as the metal foil. It may be made of metal.

상기 극박층은 위에서 살펴본 바와 같이 전해도금공정을 이용하여 제조될 수 있다. 이때 금속이온의 공급원으로 구리, 은, 금, 니켈 및 알루미늄의 황산염을 사용할 수 있으며, 전해액으로는 황산을 포함하는 수용액이 사용될 수 있다.The ultra-thin layer may be manufactured using an electrolytic plating process as described above. In this case, sulfates of copper, silver, gold, nickel and aluminum may be used as a source of metal ions, and an aqueous solution containing sulfuric acid may be used as the electrolyte solution.

또한 상기 전해도금공정은 상기 극박층의 두께에 따라 공정조건을 적절히 배분하여 사용할 수 있지만, 20~30℃의 온도에서 1~50초간 수행될 수 있다. 상기 범위 내에서는 정상적인 극박층이 형성될 수 있지만, 상기 범위 미만인 경우 극박층의 두께가 얇아져 상기 금속박의 형성이 어려울 수 있으며, 상기 범위를 초과하는 경우 극박층의 두께가 두꺼워져 전체적인 회로의 두께가 늘어날 수 있다.In addition, the electrolytic plating process may be used by properly distributing process conditions according to the thickness of the ultra-thin layer, but may be performed at a temperature of 20 to 30° C. for 1 to 50 seconds. Within the above range, a normal ultra-thin layer may be formed, but if it is less than the above range, the thickness of the ultra-thin layer may be thin, so it may be difficult to form the metal foil. can increase

또한 상기 극박층을 형성하기 위한 전해도금공정은 1~5ASD의 전류밀도하에서 수행될 수 있다. 상기 전류밀도 미만의 전류가 공급되는 경우 상기 극박층의 형성이 수행되지 않을 수 있으며, 상기 범위를 초과하는 전류가 공급되는 경우 상기 극박층이 산화되어 불량이 발생할 수 있다.In addition, the electroplating process for forming the ultra-thin layer may be performed under a current density of 1 to 5 ASD. When a current less than the current density is supplied, the formation of the ultra-thin layer may not be performed, and when a current exceeding the above range is supplied, the ultra-thin layer is oxidized and a defect may occur.

본 발명에 따른 캐리어 부착 금속박은 이형층과 금속층 사이에 구비되는 산화방지층을 더 포함할 수 있다. 상기 산화방지층은 니켈, 인 등을 포함할 수 있다.The metal foil with a carrier according to the present invention may further include an antioxidant layer provided between the release layer and the metal layer. The antioxidant layer may include nickel, phosphorus, or the like.

본 발명은 상술한 금속박을 이용하여 제조된 인쇄회로기판을 제공한다. 구체적으로 본 발명에 따른 인쇄회로기판은 금속 회로층과 절연 수지층을 포함하고, 상기 금속 회로층이 상술한 금속박에서 유래되는 것으로, 이에 대해 설명하면 다음과 같다.The present invention provides a printed circuit board manufactured using the above-described metal foil. Specifically, the printed circuit board according to the present invention includes a metal circuit layer and an insulating resin layer, and the metal circuit layer is derived from the above-described metal foil, which will be described as follows.

본 발명에 따른 인쇄회로기판에 포함되는 금속 회로층은 회로배선이 형성되어 있는 층이다. 이러한 금속 회로층은 상술한 금속박에 회로배선을 형성하는 과정을 거쳐 얻어진 것으로, 상술한 금속박에 의해 본 발명은 미세하면서 고해상도를 나타내는 인쇄회로기판을 제공할 수 있다. 구체적으로 본 발명에 따른 인쇄회로기판은 절연 수지 기재와 상술한 금속박이 결합된 적층체에, 에칭 공정을 수행하여 금속박에 회로배선을 형성하는 과정으로 제조되는데, 금속박이 절연 수지 기재와 높은 밀착력으로 결합되어 있으면서 두께가 비교적 얇아 금속박에 미세하면서 고해상도를 나타내는 회로배선을 형성할 수 있다. 또한 상술한 금속박에 의해 본 발명은 회로배선과 절연 수지 기재 간에 높은 밀착력을 나타내는 인쇄회로기판을 제공할 수 있다.The metal circuit layer included in the printed circuit board according to the present invention is a layer on which circuit wiring is formed. Such a metal circuit layer is obtained through the process of forming circuit wiring on the above-described metal foil, and the present invention can provide a printed circuit board showing fine and high resolution by the above-described metal foil. Specifically, the printed circuit board according to the present invention is manufactured by performing an etching process on a laminate in which an insulating resin substrate and the above-mentioned metal foil are combined, and forming circuit wiring on the metal foil, wherein the metal foil has high adhesion with the insulating resin substrate. Since the thickness is relatively thin while being coupled, it is possible to form fine and high-resolution circuit wiring on metal foil. In addition, by the above-described metal foil, the present invention can provide a printed circuit board exhibiting high adhesion between the circuit wiring and the insulating resin substrate.

상기 회로배선을 형성하는 방법은 특별히 한정되지 않으며, 서브트랙티브법(Subtractive process), 에디티브법(Additive process), 풀 에디티브법(Full additive process), 세미 에디티브법(Semi additive process), 또는 모디파이드 세미 에디티브법(Modified semi additive process)일 수 있다.The method of forming the circuit wiring is not particularly limited, and a subtractive process, an additive process, a full additive process, a semi-additive process, Alternatively, it may be a modified semi additive process.

본 발명에 따른 인쇄회로기판에 포함되는 절연 수지층은 금속 회로층 상에 구비되는 절연층이다. 이러한 절연 수지층은 통상적으로 공지된 절연 수지 기재로 이루어질 수 있다. 구체적으로 절연 수지층은 무기 섬유 또는 유기 섬유에 통상적으로 공지된 수지가 함침된 구조의 수지 기재(예를 들어, 프리프레그)로 이루어질 수 있다.The insulating resin layer included in the printed circuit board according to the present invention is an insulating layer provided on the metal circuit layer. Such an insulating resin layer may be made of a conventionally known insulating resin substrate. Specifically, the insulating resin layer may be formed of a resin substrate (eg, prepreg) having a structure in which inorganic or organic fibers are impregnated with a conventionally known resin.

이러한 본 발명에 따른 인쇄회로기판은 절연 수지 기재를 이용하여 제조되거나, 절연 수지 기재가 배제된 코어 리스(coreless) 공법으로도 제조될 수 있다. 상기 코어 리스 공법은 통상적으로 공지된 공법이라면 특별히 한정되지 않을 수 있다.The printed circuit board according to the present invention may be manufactured using an insulating resin substrate or may be manufactured by a coreless method in which the insulating resin substrate is excluded. The coreless method may not be particularly limited as long as it is a commonly known method.

이하, 실시예에 의하여 본 발명을 더욱 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 하기 실시예는 본 발명을 예시하기 위한 것으로 본 발명의 범주 및 기술사상 범위 내에서 다양한 변경 및 수정이 가능함은 통상의 기술자에게 있어서 명백한 것이며, 이들 만으로 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of Examples. However, the following examples are intended to illustrate the present invention, and it is apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made within the scope and spirit of the present invention, and the scope of the present invention is not limited thereto.

실시예 1~15Examples 1-15

두께가 약 18 ㎛인 구리 호일(Cu foil)로 이루어진 캐리어박을 5 중량% 황산에 침지시켜 산세처리한 후 순수로 세척하였다. 세척한 캐리어박에 황산니켈과 소듐몰리브데이트 및 3-mercapto-1,2,4-triazole(MT)와 5-Carboxybenzotriazole (CBTA)를 포함하는 도금액으로 전해도금하여 이형층을 형성하였다. 이때 상기 황산니켈, 소듐몰리브데이트, MT 및 CBTA의 농도와 전류밀도 및 도금시간을 변화시켜 이러한 도금조건의 변화에 따른 이형층의 변화를 관찰하였다. 사용된 도금액의 조성, 전류및도 및 도금시간은 하기의 표 1과 같다.A carrier foil made of a copper foil having a thickness of about 18 μm was immersed in 5 wt% sulfuric acid to be pickled, and then washed with pure water. A release layer was formed by electroplating the washed carrier foil with a plating solution containing nickel sulfate, sodium molybdate, 3-mercapto-1,2,4-triazole (MT) and 5-Carboxybenzotriazole (CBTA). At this time, the concentration of the nickel sulfate, sodium molybdate, MT and CBTA, and the current density and the plating time were changed to observe the change in the release layer according to the change in the plating conditions. The composition, current and degree of the plating solution used and the plating time are shown in Table 1 below.

도금액 조성(g/L)Plating solution composition (g/L) 전류밀도
(ASD)
current density
(ASD)
도금시간
(초)
plating time
(candle)
황산니켈nickel sulfate 소듐몰리브데이트sodium molybdate MTMT CBTACBTA 실시예 1Example 1 5050 6060 1One 1One 3.53.5 3030 실시예 2Example 2 2525 7575 1One 1One 3.53.5 3030 실시예 3Example 3 7070 4040 1One 1One 3.53.5 3030 실시예 4Example 4 1515 2525 1One 1One 3.53.5 3030 실시예 5Example 5 7070 9090 1One 1One 3.53.5 3030 실시예 6Example 6 5050 6060 1.51.5 0.50.5 3.53.5 3030 실시예 7Example 7 5050 6060 0.50.5 1.51.5 3.53.5 3030 실시예 8Example 8 5050 6060 0.20.2 0.20.2 3.53.5 3030 실시예 9Example 9 5050 6060 33 33 3.53.5 3030 실시예 10Example 10 5050 6060 1One 1One 22 3030 실시예 11Example 11 5050 6060 1One 1One 4.54.5 3030 실시예 12Example 12 5050 6060 1One 1One 5.55.5 3030 실시예 13Example 13 5050 6060 1One 1One 3.53.5 1515 실시예 14Example 14 5050 6060 1One 1One 3.53.5 5050 실시예 15Example 15 5050 6060 1One 1One 3.53.5 7070

비교예 1Comparative Example 1

기존의 방법과 같이 상기 캐리어 상부에 금속 합금층을 형성한 다음 유기물층을 형성하여 제조된 이형층을 사용하였다. As in the conventional method, a release layer prepared by forming a metal alloy layer on the carrier and then forming an organic material layer was used.

구체적으로 두께가 18 ㎛인 구리 포일(Cu foil)로 이루어진 캐리어박을 5 중량% 황산에 침지시켜 산세처리한 후 순수로 세척하였다. 세척한 캐리어박에 니켈(제1 성분)과 몰리브덴(제2 성분)을 포함하는 도금액(황산니켈 50 g/L, 소듐몰리브데이트 60 g/L 및 구연산 50 g/L 함유 수용액)으로 전해 도금하여 두께가 200 ㎚인 합금층(니켈:몰레브덴의 비율 = 60:40의 중량비)을 형성하였다. 이때, 전해 도금은 pH 10 이상을 유지하면서 5 ASD로 30 초 동안 이루어졌다.Specifically, a carrier foil made of 18 μm thick copper foil was immersed in 5 wt% sulfuric acid to be pickled, and then washed with pure water. Electrolytic plating with a plating solution (nickel sulfate 50 g/L, sodium molybdate 60 g/L and citric acid 50 g/L aqueous solution) containing nickel (first component) and molybdenum (second component) on the washed carrier foil Thus, an alloy layer (nickel: molebdenum ratio = 60:40 weight ratio) having a thickness of 200 nm was formed. At this time, the electrolytic plating was performed at 5 ASD for 30 seconds while maintaining a pH of 10 or higher.

상기 합금층이 형성된 캐리어박을 수세한 후, 소듐머캅토벤조트리아졸 1 중량부와 순수 99 중량부로 이루어진 30℃의 코팅액에 30초 동안 침지시켜 합금층 상에 두께가 1~10 ㎚인 유기물층을 형성하였다.After washing the carrier foil on which the alloy layer is formed, it is immersed in a coating solution at 30° C. consisting of 1 part by weight of sodium mercaptobenzotriazole and 99 parts by weight of pure water for 30 seconds to form an organic layer having a thickness of 1 to 10 nm on the alloy layer. formed.

실험예 1Experimental Example 1

상기 실시예 1~15에서 형성된 이형층상에 다음과 같이 극박층 및 금속박층을 형성하였다.An ultra-thin layer and a metal foil layer were formed on the release layer formed in Examples 1 to 15 as follows.

1) 극박층 형성1) Ultra-thin layer formation

상기 형성된 이형층 상에 극박층을 형성하였다. 상기 극박층은 전해 도금을 통해 형성하며 황산구리 250 g/L 및 황산 50 g/L 를 함유하는 전해 도금액을 이용하여 25도의 온도 및 3 ASD의 전류밀도 조건하에 이루어져 약 1 ㎛ 두께를 형성하였다.An ultra-thin layer was formed on the formed release layer. The ultra-thin layer was formed through electroplating, and was made using an electrolytic plating solution containing 250 g/L of copper sulfate and 50 g/L of sulfuric acid under conditions of a temperature of 25 degrees and a current density of 3 ASD to form a thickness of about 1 μm.

2) 금속박층 형성2) Formation of metal foil layer

상기 극박층의 형성이 완료된 이후 상기 적층체를 무전해 도금욕에 투입하고 무전해 도금하여 두께 1 ㎛의 금속박(구리박)을 이형층 상에 형성하였다. 이때, 금속 이온 공급원(CuSO4·5H20) 190-200 g/L, 질소 함유 화합물(Guanine) 0.01-0.1 g/L, 킬레이트제(포타슘소듐타르트레이트) 405-420 g/L, pH 조절제(NaOH), 환원제 (28% 포름알데히드)를 포함하는 무전해 도금액이 사용되었으며, 무전해 도금은 30℃에서 10 분 동안 이루어졌다.After the formation of the ultra-thin layer was completed, the laminate was put into an electroless plating bath and electroless plating was performed to form a metal foil (copper foil) having a thickness of 1 μm on the release layer. At this time, metal ion source (CuSO 4 ·5H 2 0) 190-200 g/L, nitrogen-containing compound (Guanine) 0.01-0.1 g/L, chelating agent (potassium sodium tartrate) 405-420 g/L, pH adjusting agent An electroless plating solution containing (NaOH) and a reducing agent (28% formaldehyde) was used, and the electroless plating was performed at 30° C. for 10 minutes.

상기 형성된 금속박의 밀착성 및 박리강도를 확인하기 위하여 다음의 과정을 수행하였다. In order to confirm the adhesion and peel strength of the formed metal foil, the following process was performed.

상기 형성된 금속박(단일 이형층 포함)/크래프트 페이퍼(Craft paper)/SUS 플레이트(plate) 순으로 적층시키고 진공 하에 200℃에서, 100 분 동안 3.5 MPa 압력으로 가압하여 적층체를 제조하였다.The formed metal foil (including a single release layer) / craft paper / SUS plate (plate) was laminated in this order and pressed under vacuum at 200 ° C. for 100 minutes at a pressure of 3.5 MPa to prepare a laminate.

제조된 적층체에서 이형층을 통해 크래프트 페이퍼와 SUS 플레이트를 제거한 후, 구리 호일 캐리어박(단일 이형층 포함)과 극박층간의 박리 강도를 IPC-TM-650 규격(BMSP-90P Peel tester, Test speed: 50 mm/min, Test speed: 90°)에 의거하여 평가하였다.After removing the kraft paper and SUS plate through the release layer from the manufactured laminate, the peel strength between the copper foil carrier foil (including a single release layer) and the ultra-thin layer was measured according to IPC-TM-650 standard (BMSP-90P Peel tester, Test speed). : 50 mm/min, Test speed: 90°).

또한 상기 각 실시예 조건에 따른 이형층의 두께를 확인하기 위하여 상기 실시예 1~15에서 제조된 이형층의 두께를 측정하였다.In addition, the thickness of the release layer prepared in Examples 1 to 15 was measured in order to confirm the thickness of the release layer according to the conditions of each of the Examples.

박리강도(gf/㎝)Peel strength (gf/cm) 두께(nm)Thickness (nm) 실시예 1Example 1 14.714.7 201201 실시예 2Example 2 8.48.4 226226 실시예 3Example 3 11.411.4 218218 실시예 4Example 4 41.441.4 125125 실시예 5Example 5 4.14.1 318318 실시예 6Example 6 11.211.2 218218 실시예 7Example 7 10.110.1 199199 실시예 8Example 8 3.53.5 9898 실시예 9Example 9 52.852.8 359359 실시예 10Example 10 19.119.1 108108 실시예 11Example 11 10.910.9 318318 실시예 12Example 12 6.86.8 481481 실시예 13Example 13 19.819.8 8484 실시예 14Example 14 9.19.1 455455 실시예 15Example 15 4.44.4 10461046 비교예 1Comparative Example 1 15.115.1 251251

표 2에 나타난 바와 같이 본 발명의 실시예 1의 경우 적절한 박리강도를 가지면서도 200nm두께를 가지는 이형층을 형성할 수 있는 것으로 나타났다. 특히 기존의 방법으로 제조된 비교예 1과 물성에서 거의 차이가 없었으며, 하나의 단계로 이형층을 형성할 수 있어 그 제조시간 및 비용이 대폭 감소하는 것으로 나타났다.As shown in Table 2, in the case of Example 1 of the present invention, it was found that a release layer having a thickness of 200 nm can be formed while having an appropriate peel strength. In particular, there was almost no difference in physical properties from Comparative Example 1 prepared by the conventional method, and since the release layer could be formed in one step, it was found that the manufacturing time and cost were significantly reduced.

실험예 2Experimental Example 2

상기 실시예 1 및 비교예 1을 이용하여 박리이후 잔유물 테스트를 실시하였다. 상기 실험예 1과 동일한 방법으로 5cmX5cm 시편 100개를 제작한 다음, 이를 각각 박리하고 금속박 면에 잔유물이 남아있는 것을 육안으로 확인하였다.Residue testing was performed after peeling using Example 1 and Comparative Example 1. 100 5cmX5cm specimens were prepared in the same manner as in Experimental Example 1, and then each of them was peeled off, and it was visually confirmed that residues remained on the surface of the metal foil.

잔유물 확인 수(개)Number of Residue Checks (pcs) 실시예 1Example 1 1One 실시예 2Example 2 22 실시예 3Example 3 1One 실시예 4Example 4 1One 실시예 5Example 5 33 실시예 6Example 6 66 실시예 7Example 7 88 실시예 8Example 8 99 실시예 9Example 9 44 실시예 10Example 10 22 실시예 11Example 11 33 실시예 12Example 12 22 실시예 13Example 13 22 실시예 14Example 14 1One 실시예 15Example 15 22 비교예 1Comparative Example 1 1111

표 3에 나타난 바와 같이 본 발명의 실시예의 경우 기존의 방법으로 제조되는 비교예에 비하여 잔유물이 적게 남는 것으로 나타났다.As shown in Table 3, in the case of the Example of the present invention, it was found that less residue was left compared to the Comparative Example prepared by the conventional method.

실험예 3Experimental Example 3

상기 실시예 1 및 비교예 1의 성분을 비교하기 위하여 TOF-SIMS분석을 실시하였다. 이 TOF-SIMS은 표면을 일정한 두께로 깎아내면서, 깎아낸 층의 성분을 분석하는 방법으로, 두께에 따른 조성의 변화를 관찰할 수 있는 분석방법이다. 도 6은 실시예 1의 분석결과이며, 도 7은 비교예 1의 분석결과이다. 도 7에 나타난 바와 같이 기존의 방법과 같이 합금층과 유기층으로 구성되는 이형층을 가지는 비교예 1의 경우 깊이가 깊어질수록 유기물의 함량이 떨어지는 것을 확인할 수 있었다. 즉 비교예 1의 경우 깊이에 따라 그 조성이 변화되고 있다는 것을 의미하며, 이는 균일하지 못한 이형층이 형성되는 것을 의미한다. 도 6에 나타난 바와 같이 본 발명의 실시예 1의 경우 깊이가 변화하더라도 각 성분의 변화가 거의 나타나지 않고 있으며, 이를 단일층 내에서 각 성분이 고르게 분포하는 것을 의미한다.TOF-SIMS analysis was performed to compare the components of Example 1 and Comparative Example 1. This TOF-SIMS is a method of analyzing the components of the shaved layer while scraping the surface to a certain thickness, and it is an analysis method that can observe the change in composition according to the thickness. 6 is an analysis result of Example 1, and FIG. 7 is an analysis result of Comparative Example 1. As shown in FIG. 7 , in the case of Comparative Example 1 having a release layer composed of an alloy layer and an organic layer as in the conventional method, it was confirmed that the organic material content decreased as the depth increased. That is, in the case of Comparative Example 1, it means that the composition is changed according to the depth, which means that a non-uniform release layer is formed. As shown in FIG. 6 , in the case of Example 1 of the present invention, there is little change in each component even when the depth is changed, which means that each component is evenly distributed in a single layer.

100: 금속박
10: 돌기
11: 돌출부
11a: 미세돌기
12: 평탄부
100: metal foil
10: turn
11: protrusion
11a: microprotrusions
12: flat part

Claims (8)

캐리어 부착 금속박에서 캐리어가 원활하게 제거될 수 있도록 하는 이형층에 있어서,
상기 이형층은,
질소를 함유하는 헤테로고리 화합물; 및
니켈, 몰리브덴, 코발트, 인, 망간 및 철의 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 무기화합물;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 부착 금속박용 이형층.
In the release layer that allows the carrier to be smoothly removed from the metal foil with a carrier,
The release layer is
heterocyclic compounds containing nitrogen; and
an inorganic compound comprising at least one selected from the group consisting of nickel, molybdenum, cobalt, phosphorus, manganese and iron;
A release layer for metal foil with a carrier, comprising:
제1항에 있어서,
상기 헤테로고리 화합물은 벤조트리아졸(Benzotriazole), 머캅토벤지이미다졸(Mercapto benzimidazole), 머캅토벤조트리아졸(Mercapto benzotriazole), 소듐머캅토벤조트리아졸(Sodium mercapto benzotriazole), 5-카르복시벤조트리아졸(5-Carboxybenzotriazole), 3-아미노-5-머캅토-1,2,4-트리아졸(3-Amino-5-mercapto-1,2,4-triazole), 3-머캅토-1,2,4-트리아졸(3-Mercapto-1,2,4-triazole), 트리아졸-5-카르복시산(Triazole-5-carboxylic acid), 1-메틸-3-머캅토-1,2,4-트리아졸(1-Methyl-3-mercapto-1,2,4-triazole) 및 1-페닐-5-머캅토테트라졸(1-Phenyl-5-mercapto tetrazole)로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 부착 금속박용 이형층.
According to claim 1,
The heterocyclic compound is benzotriazole, mercapto benzimidazole, mercapto benzotriazole, sodium mercapto benzotriazole, 5-carboxybenzotriazole (5-Carboxybenzotriazole), 3-amino-5-mercapto-1,2,4-triazole (3-Amino-5-mercapto-1,2,4-triazole), 3-mercapto-1,2, 4-triazole (3-Mercapto-1,2,4-triazole), triazole-5-carboxylic acid (Triazole-5-carboxylic acid), 1-methyl-3-mercapto-1,2,4-triazole (1-Methyl-3-mercapto-1,2,4-triazole) and 1-phenyl-5-mercaptotetrazole (1-Phenyl-5-mercapto tetrazole) comprising at least one selected from the group consisting of A release layer for metal foil with a carrier, characterized in that.
제1항에 있어서,
상기 무기화합물은,
니켈, 몰리브덴, 코발트, 인, 망간 및 철의 황산염, 질산염, 인산염, 염산염, 불산염 또는 초산염; 또는
니켈, 몰리브덴, 코발트, 인, 망간 및 철의 산화물에서 유래된 염;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 부착 금속박용 이형층.
According to claim 1,
The inorganic compound is
sulfate, nitrate, phosphate, hydrochloride, hydrofluoric acid or acetate salts of nickel, molybdenum, cobalt, phosphorus, manganese and iron; or
salts derived from oxides of nickel, molybdenum, cobalt, phosphorus, manganese and iron;
A release layer for metal foil with a carrier, comprising:
제1항에 있어서,
상기 이형층은 IPC-TM-650 규격에 의한 평가시 박리강도가 5~50gf/㎝인 것을 특징으로 하는 캐리어 부착 금속박용 이형층.
According to claim 1,
The release layer is a release layer for a metal foil with a carrier, characterized in that the peel strength is 5 ~ 50gf / cm when evaluated according to the IPC-TM-650 standard.
제1항에 있어서
상기 이형층은 100nm~1㎛의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 캐리어 부착 금속박용 이형층.
2. The method of claim 1
The release layer is a release layer for a metal foil with a carrier, characterized in that it has a thickness of 100nm ~ 1㎛.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항의 이형층을 포함하는 캐리어 부착 금속박.
Metal foil with a carrier containing the mold release layer of any one of Claims 1-5.
제6항에 있어서,
상기 캐리어 부착 금속박은,
캐리어;
상기 캐리어 상에 구비되는 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항의 이형층; 및
상기 이형층 상에 구비되는 금속층;
을 구비하고,
상기 금속층은 상부가 평평한 복수의 돌기를 포함하는 금속박을 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 부착 금속박.
7. The method of claim 6,
The metal foil with a carrier,
carrier;
The release layer of any one of claims 1 to 5 provided on the carrier; and
a metal layer provided on the release layer;
to provide
The metal layer is a metal foil with a carrier, characterized in that it comprises a metal foil including a plurality of projections with a flat top.
제7항에 있어서
상기 금속층은,
상기 이형층상에 형성되는 극박층; 및
상기 극박층상에 형성되는 상부가 평평한 복수의 돌기를 포함하는 금속박;
을 포함하며
상기 극박층은 전해도금공정을 통하여 형성되는 것을 특징으로 하는 캐리어 부착 금속박.
8. The method of claim 7
The metal layer is
an ultra-thin layer formed on the release layer; and
a metal foil including a plurality of projections having a flat upper portion formed on the ultra-thin layer;
includes
The ultra-thin layer is metal foil with a carrier, characterized in that formed through an electrolytic plating process.
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