KR20220071068A - Inspection apparatus and method for detecting sinkhole type defect - Google Patents

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KR20220071068A
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윤여홍
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Abstract

The present invention relates to a recessed defect inspection apparatus and a method, and more particularly to the recessed defect inspection apparatus and method capable of inspecting recessed defects in a display, capable of selectively applying various patterns to precisely detect recessed defects according to specifications of various displays, and accurately and quickly irradiating the selectively applied patterns to the display through an optical module including a digital micromirror display (DMD), thereby capable of accurately and quickly detecting recessed defects regardless of specifications such as display resolution and the like. The recessed defect inspection apparatus includes a stage, a pattern irradiation part, a pattern collection part, and an analysis module.

Description

함몰형 결함 검사장치 및 방법{Inspection apparatus and method for detecting sinkhole type defect}Inspection apparatus and method for detecting sinkhole type defect

본 발명은 디스플레이에 비정상적으로 함몰된 함몰형 결함을 검출하기 위해 디스플레이를 검사하는 장치 및 방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는 종래 디스플레이에는 돌기형 결함이 발생하였고 이를 검사하는 장치 및 방법이 있었지만 플렉서블 디스플레이의 보급에 따라 유연한 재질의 기판이 사용되고 그에 따라 기판의 표면 경도가 약해 특정 위치가 함몰되는 결함이 발생하게 되는데 본 발명은 이를 검사하기 위한 함몰형 결함 검사장치 및 방법에 대한 것이다.The present invention relates to an apparatus and method for inspecting a display to detect recessed defects that are abnormally recessed in the display. More specifically, there are protrusion-type defects in the conventional display, and there are devices and methods for inspecting them. However, with the spread of flexible displays, flexible substrates are used, and accordingly, the surface hardness of the substrate is weak, resulting in a defect in which a specific location is depressed. However, the present invention relates to a recessed defect inspection apparatus and method for inspecting the same.

최근 LCD, OLED를 포함하여 평판형 디스플레이가 공간상의 이점, 대량생산에 따른 가격 경쟁력의 확보 등 여러 가지 장점을 기초로 대량 보급되고 있고, 특히TV, 모니터 등에서는 기존의 CRT를 대체하였고 대량 보급된 스마트폰에 LCD, OLED 등의 평판형 디스플레이가 사용되고 있다.Recently, flat panel displays, including LCD and OLED, have been widely distributed based on various advantages such as space advantages and price competitiveness through mass production. Flat-panel displays such as LCD and OLED are being used in smartphones.

최근 스마트폰은 접을 수 있는 폴더블(foldable) 형태의 스마트폰이 보급되고 있을 뿐만 아니라 TV의 경우 롤러블(rollable) 형태의 TV가 출시되는 등 플렉서블 디스플레이의 보급이 점차 확대되고 있다.Recently, foldable smartphones have been popularized, and in the case of TVs, the spread of flexible displays is gradually expanding, such as rollable TVs being released.

종래 평판형 디스플레이는 디스플레이를 구성하는 각 화소의 on/off를 포함하여 화상을 나타내기 위해 각 화소를 구동하는 기판과 화상을 표시하기 위한 화소를 포함하여 이루어진다. LCD의 경우 액정과 컬러필터를 이용하여 화소를 표시하고 OLED는 자체발광이 가능한 유기소재를 통해 화소를 표시한다. 각 화소를 구동하기 위한 기판은 반도체 제조공정을 이용하여 제조되는데 화소와 대응되는 TFT 소자와 각 TFT 소자를 연결하는 배선으로 이루어진다. 이러한 기판은 보통 투명한 재질로 이루어지고 유리 기판을 사용하는 것이 일반적이다.A conventional flat panel display includes a substrate for driving each pixel to display an image including on/off of each pixel constituting the display, and a pixel for displaying an image. In the case of LCD, pixels are displayed using liquid crystals and color filters, and OLEDs are displayed using organic materials that can emit light. A substrate for driving each pixel is manufactured using a semiconductor manufacturing process, and consists of a TFT element corresponding to the pixel and a wiring connecting each TFT element. Such a substrate is usually made of a transparent material, and it is common to use a glass substrate.

하지만 플렉서블 디스플레이 또는 롤러블 디스플레이는 접거나 일정 영역 내에 말려 들어가도록 구성되어 rigid한 재질의 종래 유리 기판을 사용할 수 없는 문제가 있다. 플렉서블 디스플레이는 기판 자체를 휘거나 접을 수 있도록 flexible한 재질의 기판을 사용하여야 하며 충격에 부서지지 않도록 일정 정도의 내구성을 가져야 하므로 PI(Poly Imide) 필름을 기판으로 활용하는데 유리 기판에 비해 표면 경도가 떨어져 제조 공정상의 요인 또는 외부의 물리력에 의해 디스플레이의 특정 부위가 함몰되는 결함이 발생하는 문제가 있다.However, the flexible display or the rollable display is configured to be folded or rolled into a predetermined area, so there is a problem that a conventional glass substrate made of a rigid material cannot be used. A flexible display must use a substrate made of a flexible material so that it can bend or fold itself, and it must have a certain degree of durability so that it does not break on impact. There is a problem in that a specific part of the display is depressed due to factors in the manufacturing process or external physical force.

종래 유리 기판을 사용할 때에는 함몰되는 결함 자체가 없었기 때문에 이러한 결함을 검출하는 검사장치 자체가 없었고 자동차의 유리 또는 물체의 표면 굴곡을 간섭계(deflectometry)를 이용하여 측정하는 장치 및 방법이 한국공개특허 제10-2016-0046746호에 개시되어 있으나 공개특허 10-2016-0046746호는 투명한 물체의 표면의 국소굴절율을 측정하는 장치로서 검사대상이 차량용 유리이므로 디스플레이의 함몰형 결함을 검출하는데 적용하는 것이 불가능하고, 디스플레이의 해상도가 FHD를 넘어 UHD까지 확대되어 매우 작은 국소적 왜곡을 검출하여야 하므로 정밀도에 문제가 있으며 공정상의 특정 요인 또는 물리력의 크기 또는 범위에 따라 국소적 왜곡의 크기가 달라 이를 정밀하게 검출할 수 없는 문제가 있으며 디스플레이의 크기가 매우 다양하므로 다양한 사이즈의 디스플레이에 함몰형 결함을 정밀하게 검출할 수 없는 문제가 있다. When using a conventional glass substrate, since there was no recessed defect itself, there was no inspection device itself for detecting such a defect, and an apparatus and method for measuring the surface curvature of automobile glass or an object using interferometry (deflectometry) is disclosed in Korean Patent Publication No. 10 Although disclosed in -2016-0046746, Patent Publication No. 10-2016-0046746 is a device for measuring the local refractive index of the surface of a transparent object. Since the resolution of the display is expanded to UHD beyond FHD, it is necessary to detect very small local distortions, so there is a problem with precision. There is a problem that there is no problem, and since the sizes of the displays are very diverse, there is a problem that the recessed defects cannot be accurately detected in the displays of various sizes.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 디스플레이에 발생한 함몰형 결함을 검사할 수 있고, 다양한 디스플레이의 사이즈, 해상도를 포함하는 스펙에 맞춰 함몰형 결함을 정밀하게 검출할 수 있도록 다양한 패턴을 선택 적용할 수 있으며, DMD(Digital Micromirror Display)를 포함하는 광학모듈을 통해 선택 적용된 패턴을 디스플레이에 정확하고 빠르게 조사할 수 있도록 하여 디스플레이의 스펙과 상관없이 함몰형 결함을 정확하고 빠르게 검출할 수 있는 함몰형 결함 검사장치 및 방법을 제공함에 있다.The present invention is to solve the above problems, and it is possible to inspect the recessed type defects that occur in the display, and various patterns are provided so that the recessed type defects can be precisely detected according to the specifications including the sizes and resolutions of various displays. It can be selectively applied, and through an optical module that includes a DMD (Digital Micromirror Display), the pattern that is selected and applied can be accurately and quickly investigated on the display. To provide a recessed defect inspection apparatus and method.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명의 함몰형 결함 검사장치는 디스플레이에 발생한 함몰형 결함을 검출하기 위한 함몰형 결함 검사장치에 있어서, 상기 디스플레이의 발생한 함몰형 결함을 검출하기 위해 검사할 디스플레이를 파지하는 스테이지와, 상기 스테이지에 파지된 디스플레이에 함몰형 결함을 편향법(deflectometry)을 이용하여 검출하기 위해 미리 설정된 패턴을 조사하는 패턴 조사부와, 상기 패턴 조사부에서 상기 검사할 디스플레이 상에 조사된 패턴을 수집하는 패턴 수집부와, 상기 패턴 수집부에서 수집된 패턴을 분석하여 상기 디스플레이에 함몰형 결함의 존재 여부를 분석하는 분석모듈을 포함한다.In order to achieve the above object, the recessed defect inspection apparatus of the present invention is a recessed type defect inspection apparatus for detecting a recessed type defect occurring in a display, the display to be inspected to detect the recessed type defect generated in the display A holding stage, a pattern irradiation unit irradiating a preset pattern to detect a recessed defect in the display held by the stage using deflectometry, and a pattern irradiated on the display to be inspected by the pattern irradiation unit It includes a pattern collecting unit for collecting, and an analysis module for analyzing the presence of a recessed defect in the display by analyzing the pattern collected by the pattern collecting unit.

또한, 상기 디스플레이는 플렉서블 디스플레이인 것을 특징으로 한다.In addition, the display is characterized in that it is a flexible display.

또한, 상기 미리 설정된 패턴은 편향법을 통해 상기 디스플레이에 발생한 함몰형 결함의 형태를 검출하기 위해 간섭무늬가 포함된 패턴인 것을 특징으로 한다.In addition, the preset pattern is characterized in that the pattern includes an interference fringe in order to detect the shape of the recessed defect generated in the display through a deflection method.

또한, 상기 패턴조사부는 검사할 디스플레이의 크기, 해상도, 픽셀의 크기를 포함하여 디스플레이의 특성에 맞춰 상기 디스플레이로 조사할 패턴의 간섭무늬의 형태를 조절하는 것을 특징으로 한다.In addition, the pattern irradiation unit is characterized in that it adjusts the shape of the interference fringe of the pattern to be irradiated to the display according to the characteristics of the display, including the size, resolution, and pixel size of the display to be inspected.

또한, 상기 패턴조사부는 검사할 디스플레이에 미리 설정된 패턴을 조사하기 위해 패턴을 형성하는 패턴형성부와 상기 패턴형성부에서 형성된 패턴을 디스플레이로 조사하기 위한 광학모듈을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the pattern irradiation unit is characterized in that it comprises a pattern forming unit for forming a pattern to irradiate a preset pattern to the display to be inspected and an optical module for irradiating the pattern formed in the pattern forming unit to the display.

또한, 상기 광학모듈은 DMD(Digital Micromirror Display)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the optical module is characterized in that it comprises a DMD (Digital Micromirror Display).

또한, 상기 분석모듈은 패턴 수집부에서 수집된 패턴을 분석하여 상기 디스플레이에 발생된 함몰형 결함의 사이즈, 깊이를 포함하여 함몰형 결함의 특성과 상기 함몰형 결함이 발생한 위치를 검출하는 것을 특징으로 한다.In addition, the analysis module analyzes the pattern collected by the pattern collecting unit to detect the characteristics of the recessed type defect including the size and depth of the recessed type defect generated on the display and the location where the recessed type defect occurs. do.

또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명의 함몰형 결함 검사방법은 디스플레이에 발생한 함몰형 결함을 검출하기 위한 함몰형 결함 검사방법에 있어서, 상기 디스플레이를 파지하는 스테이지에 파지된 디스플레이에 편향법(deflectometry)을 이용하여 검출하기 위해 패턴 조사부를 통해 미리 설정된 패턴을 조사하는 단계; 상기 패턴을 조사하는 단계에서 검사할 디스플레이 상에 조사된 패턴을 패턴 수집부를 통해 수집하는 단계; 상기 패턴을 수집하는 단계에서 수집된 패턴을 분석모듈을 통해 분석하여 상기 디스플레이에 함몰형 결함의 존재 여부를 분석하는 단계를 포함한다.In addition, in order to achieve the above object, the recessed defect inspection method of the present invention is a recessed defect inspection method for detecting a recessed type defect occurring in a display, a biasing method on a display held by a stage holding the display (deflectometry) irradiating a preset pattern through the pattern irradiation unit to detect using; collecting the pattern irradiated on the display to be inspected in the step of irradiating the pattern through a pattern collecting unit; and analyzing the presence or absence of a recessed defect in the display by analyzing the pattern collected in the step of collecting the pattern through an analysis module.

또한, 상기 패턴을 조사하는 단계에서 조사되는 패턴은 편향법을 통해 상기 디스플레이에 발생한 함몰형 결함의 형태를 검출하기 위해 간섭무늬가 포함되고, 상기 검사할 디스플레이의 크기, 해상도, 픽셀의 크기를 포함하여 디스플레이의 특성에 맞춰 상기 디스플레이로 조사할 패턴의 간섭무늬의 형태를 조절하는 단계를 더 포함한다.In addition, the pattern irradiated in the step of irradiating the pattern includes an interference fringe to detect the shape of a recessed defect occurring in the display through a deflection method, and includes the size, resolution, and pixel size of the display to be inspected. to adjust the shape of the interference fringe of the pattern to be irradiated to the display according to the characteristics of the display.

또한, 상기 패턴을 조사하는 단계에서 상기 검사할 디스플레이에 패턴을 조사하는 패턴 조사부는 검사할 디스플레이에 미리 설정된 패턴을 조사하기 위해 패턴을 형성하는 패턴형성부와 상기 패턴형성부에서 형성된 패턴을 디스플레이로 조사하기 위한 광학모듈을 포함하여 이루어지고, 상기 광학모듈을 이용하여 상기 패턴을 상기 검사할 디스플레이의 위치에 맞춰 조사하기 위해 조사 위치를 조절하는 단계를 더 포함한다.In addition, in the step of irradiating the pattern, the pattern irradiation unit for irradiating a pattern on the display to be inspected includes a pattern forming unit that forms a pattern in order to irradiate a preset pattern on the display to be inspected and a pattern formed in the pattern forming unit as a display. It comprises an optical module for irradiating, and further comprising adjusting the irradiation position to irradiate the pattern according to the position of the display to be inspected by using the optical module.

이상과 같은 구성의 본 발명은 간섭계를 이용하여 플랙서블 디스플레이의 함몰형 결함을 정밀하게 측정할 수 있다.According to the present invention having the above configuration, a recessed defect of a flexible display can be precisely measured using an interferometer.

또한, 광학모듈을 통해 디스플레이에 간섭무늬를 포함하는 패턴을 빠르고 정확하게 조사할 수 있어 검사시간을 단축할 수 있다.In addition, it is possible to quickly and accurately irradiate a pattern including an interference fringe on the display through the optical module, thereby shortening the inspection time.

또한, 디스플레이의 크기, 해상도, 픽셀의 크기, 표면 등 스펙과 상관없이 함몰형 결함 검출을 위한 패턴을 적절히 조절하고 이를 빠르게 조사할 수 있어 효율적으로 함몰형 결함을 검사할 수 있다.In addition, regardless of specifications such as size, resolution, pixel size, and surface of the display, the pattern for detecting the recessed type can be appropriately adjusted and the pattern for detecting the recessed type can be quickly investigated, thereby efficiently inspecting the recessed type defect.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 함몰형 결함 검사장치의 개략적인 블록도이고,
도 2는 본 발명의 함몰형 결함 검사장치에서 간섭계를 이용하여 함몰형 결함을 검출하는 과정을 나타내는 도면이고,
도 3은 본 발명의 함몰형 결함 검사장치에서 디스플레이에 따라 달라지는 패턴의 일례를 나타내는 도면이고,
도 4는 본 발명의 함몰형 결함 검사장치에서 함몰형 결함의 검출 정밀도를 향상시키기 위해 패턴 수집부의 각도를 조절하는 과정을 나타내는 도면이고,
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 함몰형 결함 검사방법의 순서도를 나타내는 도면이다.1 is a schematic block diagram of a depression-type defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention;
2 is a view showing a process of detecting a recessed type defect using an interferometer in the recessed type defect inspection apparatus of the present invention;
3 is a view showing an example of a pattern that varies depending on the display in the depression-type defect inspection apparatus of the present invention,
4 is a view showing a process of adjusting the angle of the pattern collecting unit in order to improve the detection precision of the recessed type defect in the recessed type defect inspection apparatus of the present invention,
5 is a view showing a flow chart of a recessed type defect inspection method according to an embodiment of the present invention.

이하에서 도면을 참조하여 본 발명에 따른 함몰형 결함 검사장치에 대해 상세히 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a depression-type defect inspection apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 함몰형 결함 검사장치의 개략적인 블록도이고, 도 2는 본 발명의 함몰형 결함 검사장치에서 간섭계를 이용하여 함몰형 결함을 검출하는 과정을 나타내는 도면이고, 도 3은 본 발명의 함몰형 결함 검사장치에서 디스플레이에 따라 달라지는 패턴의 일례를 나타내는 도면이고, 도 4는 본 발명의 함몰형 결함 검사장치에서 함몰형 결함의 검출 정밀도를 향상시키기 위해 패턴 수집부의 각도를 조절하는 과정을 나타내는 도면이고, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 함몰형 결함 검사방법의 순서도를 나타내는 도면이다.1 is a schematic block diagram of a recessed defect inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a diagram showing a process of detecting a recessed type defect using an interferometer in the recessed type defect inspection apparatus of the present invention. , Figure 3 is a view showing an example of a pattern that varies depending on the display in the recessed type defect inspection apparatus of the present invention, Figure 4 is a pattern collection unit to improve the detection precision of the recessed type defect in the recessed type defect inspection apparatus of the present invention It is a view showing a process of adjusting the angle, and FIG. 5 is a view showing a flow chart of a recessed defect inspection method according to an embodiment of the present invention.

종래 디스플레이에는 제조 공정 중 이물 등에 의해 배선이 단락, 단선 등이 발생하거나 컬러 필터의 균일도가 일정하지 않은 문제가 있었고 이러한 결함을 리페어하기 위한 공정이 적용되었다. 종래의 단락, 단선 등의 결함은 레이저를 이용하여 연결된 배선을 절단하거나 금속 분말을 증착하여 연결하는 공정을 통해 결함이 발생한 디스플레이를 리페어하였다. 종래의 디스플레이는 유리 기판을 사용함에 따라 딱딱한 재질로서 기판이 아래로 움푹 들어간 함몰형 결함이 발생하지 않았지만 최근 플렉서블 디스플레이가 보급되고 접거나 둘둘 말 수 있도록 PI와 같은 유연한 기판을 채용함에 따라 기판의 경도가 떨어져 제조 공정 중 기판에 굴곡이 생기거나 물리력에 의해 함몰형 결함이 발생하는 문제가 발생하고 이러한 결함은 종래 디스플레이 검사 장치로는 검출을 할 수 없고 육안으로 검출할 수밖에 없어 검출의 정밀도가 떨어지고 효율적인 검사가 불가능한 단점이 있다.In a conventional display, there was a problem in that wiring was short-circuited, disconnected, or the like, or uniformity of a color filter was not uniform due to foreign substances during the manufacturing process, and a process for repairing these defects was applied. In the related art, defects such as short circuit and disconnection were repaired by cutting the connected wiring using a laser or through a process of depositing and connecting metal powder to repair the defective display. Conventional displays use a glass substrate, which is a hard material, and there is no recess-type defect in which the substrate is depressed. In the manufacturing process, there is a problem in that the substrate bends or a recessed defect occurs due to physical force. There is a disadvantage that inspection is impossible.

본 발명은 이러한 함몰형 결함을 검사하는 장치 및 방법에 대한 것으로 본 발명의 함몰형 결함 검사장치는 디스플레이(10) 특히, 플렉서블 디스플레이에 발생한 함몰형 결함(30)을 검출하기 위해 검사할 디스플레이(10)가 고정되는 스테이지(100)와, 스테이지(100)에 고정 파지된 디스플레이(10)에 발생한 함몰형 결함(30)을 편향법(deflectometry)을 이용하여 검출하기 위해 미리 설정된 패턴(20)을 조사하는 패턴 조사부(200)와, 패턴 조사부(200)에서 디스플레이(10) 상에 조사된 패턴(20)을 수집하는 패턴 수집부(300)와, 패턴 수집부(300)에서 수집된 패턴(20)을 분석하여 디스플레이(10)에 함몰형 결함(30)의 존재 여부, 더욱 구체적으로는 함몰형 결함(30)의 크기, 깊이, 형태를 포함하여 디스플레이(10)에 발생한 함몰형 결함(30)의 특성을 분석하는 분석모듈(400)을 포함하여 이루어진다.The present invention relates to an apparatus and method for inspecting such a recessed defect, and the recessed defect inspection apparatus of the present invention is a display 10 to be inspected in order to detect a recessed defect 30 occurring in the display 10, in particular, a flexible display. ) to which the stage 100 is fixed, and a predetermined pattern 20 to detect the recessed defect 30 occurring in the display 10 fixed to the stage 100 using deflectometry. The pattern irradiating unit 200, the pattern collecting unit 300 collecting the pattern 20 irradiated on the display 10 from the pattern irradiating unit 200, and the pattern 20 collected by the pattern collecting unit 300 by analyzing the presence of the recessed defect 30 in the display 10, more specifically, the size, depth, and shape of the recessed defect 30 generated in the display 10, including the It comprises an analysis module 400 for analyzing the characteristics.

본 발명의 스테이지(100)는 함몰형 결함(30)을 검사할 디스플레이(10)를 고정 파지하는 구성이다. 가장 간단하게는 디스플레이(10)에 함몰형 결함(30)이 있는지와 함몰형 결함(30)의 특성을 분석하는 동안 디스플레이(10)가 고정되도록 하는 구성인데 본 발명의 함몰혈 결함(30)은 주로 플렉서블 디스플레이(10)에서 발생함에 따라 유연한 재질의 기판이 균일하게 굴곡이 생기지 않도록 고정하는 것이 중요하다. 또한, 생산성을 위해 인라인(In-Line)으로 연결되도록 스테이지(100)에 부가적인 구성을 추가할 수 있다. 다만, 앞서 설명한 바와 같이 유연한 재질의 기판으로 이루어진 디스플레이(10)가 균일하게 고정될 수 있도록 하는 것이 검사의 정밀도 향상을 위해 바람직하다.The stage 100 of the present invention is configured to hold and hold the display 10 to be inspected for the recessed defect 30 . Most simply, the display 10 is configured such that the display 10 is fixed while analyzing whether there is a recessed defect 30 and the characteristics of the recessed defect 30, and the depression 30 of the present invention is As it mainly occurs in the flexible display 10 , it is important to fix the substrate made of a flexible material so that the bending does not occur uniformly. In addition, an additional configuration may be added to the stage 100 to be connected in-line for productivity. However, as described above, it is preferable for the display 10 made of a flexible substrate to be uniformly fixed in order to improve the precision of the inspection.

본 발명의 패턴 조사부(200)는 함몰형 결함(30)을 검출하기 위한 패턴(20)을 디스플레이(10)로 조사하는 구성이다. 편향법은 굴곡이 있는지를 검사하는 방법으로 미리 설정된 패턴(20)을 대상체에 조사하여 대상체에 조사된 패턴(20)을 카메라 등으로 수집하여 패턴(20)의 간격 등을 분석하여 굴곡이 있는지 굴곡의 형태는 어떤지를 검사하는 방법이다. 다만, 디스플레이(10)는 다양한 크기와 해상도를 가지고 있고 디스플레이(10)의 크기도 세대에 따라 다양하므로 검사할 디스플레이(10)의 특성에 맞춰 변경할 필요가 있다. 즉, 도 3에 도시한 것과 같이 디스플레이(10)의 크기가 제각각이고, 해상도가 FHD냐 UHD냐에 따라 디스플레이(10)의 dpi(dot per inch)가 상이하므로 디스플레이(10)의 스펙에 따라 함몰형 결함(30)의 크기와 형태가 상이하다. 따라서 디스플레이(10)의 스펙에 맞춰 디스플레이(10)에 조사할 패턴(20)을 조정하는 것이 함몰형 결함(30)을 정밀하게 검출하는데 필수적이다. 이를 위해 본 발명의 패턴 조사부(200)는 도 2에서와 같이 일정한 간격(D1)을 갖는 패턴(20)을 패턴 형성부(210)에서 형성하고 광학모듈(220)을 통해 조절하여 디스플레이(10)의 해상도, 사이즈 등 디스플레이(10)의 특성에 맞춰 조사하는 것이 바람직하다. 물론 패턴 형성부(210)에서 미리 디스플레이(10)의 특성에 맞춰 조절된 패턴(20)을 형성하고 디스플레이(10)의 사이즈에 맞춰 조사하는 것도 가능함은 물론이다. 디스플레이(10)의 스펙에 맞춰 패턴(20)을 디스플레이(10)에 빠르고 정확하게 조사하기 위해 빠르고 정밀한 광로조절이 필요한데 DMD(Digital Micromirror Display)와 같은 광학구성이 광학모듈(220)에 포함되는 것이 바람직하다. 또한, 디스플레이(10)의 표면에는 편광필름이 부착되는 것이 일반적이고 디스플레이(10)의 형태에 따라 반사율이 파장 등 광원의 특성에 따라 달라질 수 있으므로 검사할 디스플레이(10)의 특성에 맞춰 디스플레이(10)로 조사할 패턴 형성부(210)의 광원을 파장대 등을 포함하여 적절하게 선정하는 것이 필요하고 편광필름의 특성에 맞춰 광원의 편광도를 조절하거나 광원의 광량을 조절하는 것이 필요할 수도 있다.The pattern irradiation unit 200 of the present invention is configured to irradiate the pattern 20 for detecting the recessed defect 30 to the display 10 . The deflection method is a method of inspecting whether there is a curvature by irradiating a preset pattern 20 to the object, collecting the pattern 20 irradiated to the object with a camera, etc. It is a way to check what the shape of However, since the display 10 has various sizes and resolutions, and the size of the display 10 varies according to generation, it is necessary to change it according to the characteristics of the display 10 to be inspected. That is, as shown in FIG. 3 , the size of the display 10 is different, and the dot per inch (dpi) of the display 10 is different depending on whether the resolution is FHD or UHD. The size and shape of the defect 30 are different. Therefore, it is essential to precisely detect the recessed defect 30 to adjust the pattern 20 to be irradiated on the display 10 according to the specification of the display 10 . To this end, the pattern irradiation unit 200 of the present invention forms a pattern 20 having a constant interval D1 as shown in FIG. 2 in the pattern forming unit 210 and adjusts it through the optical module 220 to display the display 10 . It is preferable to irradiate according to the characteristics of the display 10, such as resolution, size, etc. Of course, it is of course also possible to form the pattern 20 adjusted in advance according to the characteristics of the display 10 in the pattern forming unit 210 and irradiate it according to the size of the display 10 . In order to quickly and accurately irradiate the pattern 20 to the display 10 in accordance with the specifications of the display 10, fast and precise optical path control is required. It is preferable that an optical configuration such as a DMD (Digital Micromirror Display) is included in the optical module 220 do. In addition, since a polarizing film is generally attached to the surface of the display 10 , and the reflectance may vary depending on the characteristics of the light source such as wavelength depending on the shape of the display 10 , the display 10 according to the characteristics of the display 10 to be inspected ), it is necessary to appropriately select the light source of the pattern forming unit 210 to be irradiated, including a wavelength band, and it may be necessary to adjust the polarization degree of the light source or adjust the amount of light of the light source according to the characteristics of the polarizing film.

본 발명의 패턴 수집부(300)는 패턴 조사부(200)에서 디스플레이(10)로 조사된 패턴을 수집하는 구성이다. 패턴 수집은 카메라 등을 포함하여 조사된 패턴(20)의 이미지를 수집한 후 함몰형 결함(30)의 존재여부를 포함하여 함몰형 결함(30)의 특성을 분석하기 위해 분석모듈(400)로 전달한다. 패턴 수집부(300)는 디스플레이(10)의 특성을 고려하여 도 4에서와 같이 각도를 조절할 수 있다. 이는 디스플레이(10)의 반사율이 다양할 수도 있고, 조사된 패턴(20)의 광량과 파장대, 편광필름의 특징 등을 종합적으로 고려하여 함몰형 결함(30)의 특성을 정밀하게 검출할 수 있는 각도로 조절하는 것이 바람직하다.The pattern collecting unit 300 of the present invention is configured to collect the pattern irradiated from the pattern irradiation unit 200 to the display 10 . The pattern collection is performed with the analysis module 400 to analyze the characteristics of the recessed type defect 30 including the existence of the recessed type defect 30 after collecting the image of the irradiated pattern 20 including a camera. transmit The pattern collecting unit 300 may adjust the angle as shown in FIG. 4 in consideration of the characteristics of the display 10 . This is an angle at which the reflectance of the display 10 may vary, and the characteristics of the recessed defect 30 can be precisely detected by comprehensively considering the light amount and wavelength band of the irradiated pattern 20 , the characteristics of the polarizing film, etc. It is preferable to adjust to

본 발명의 분석모듈(400)은 패턴 수집부(300)에서 수집된 패턴(20)을 분석하는 구성이다. 패턴 조사부(200)에서 조사된 패턴(20)은 함몰형 결함(30)이 있는 부위에서 간격이 상이해지고 분석모듈(400)은 이러한 간격의 차이를 분석하여 함몰형 결함(30)이 있는지, 함몰형 결함(30)이 존재한다면 크기는 어떠한지, 형태는 어떻게 형성되어 있는지, 깊이는 어떤지를 분석하는 구성이다. 또한, 분석모듈(400)은 함몰형 결함뿐만 아니라 돌기형 결함도 검출할 수 있다. 함몰된 부위이든 돌출된 부분이든 패턴의 간격이 서로 상이한 특성을 가지고 있을 것이므로 이를 분석하여 함몰형 결함(30) 뿐만 아니라 돌기형 결함도 검출할 수 있으므로 하나의 검사 장비로 디스플레이(10)의 외관에 발생한 결함을 모두 검출할 수 있는 장점이 있다.The analysis module 400 of the present invention is configured to analyze the pattern 20 collected by the pattern collecting unit 300 . The pattern 20 irradiated by the pattern irradiation unit 200 has a different interval in the region where the recessed defect 30 is located, and the analysis module 400 analyzes the difference between these intervals to determine whether there is a recessed type defect 30 or not. If the mold defect 30 exists, it is a configuration for analyzing what the size is, how the shape is formed, and what the depth is. In addition, the analysis module 400 may detect not only the recessed type defect but also the protruding type defect. Whether it is a recessed or protruding part, since the spacing of the patterns will have different characteristics from each other, it is possible to detect not only the recessed defect 30 but also the protruding defect by analyzing this. It has the advantage of being able to detect all generated defects.

도 5는 본 발명의 함몰형 결함 검사방법을 나타내는 순서도인데 도 5를 참조하여 본 발명의 함몰형 결함 검사방법을 이하에서 설명하되 중복되는 설명은 생략한다.5 is a flowchart illustrating a recessed type defect inspection method of the present invention. With reference to FIG. 5, the recessed type defect inspection method of the present invention will be described below, but overlapping descriptions will be omitted.

본 발명의 함몰형 결함 검사방법은 스테이지(100)에 고정된 디스플레이(10)에 편향법을 이용하여 함몰형 결함(30)을 검출하기 위해 패턴 조사부(200)를 통해 미리 설정된 패턴(20)을 디스플레이(10)로 조사한다.(S100) 검사할 디스플레이(10) 상에 조사된 패턴(20)을 패턴 수집부(300)를 통해 수집한다.(S110) 패턴 수집부(300)를 통해 수집된 패턴(20)을 분석모듈(400)로 전달하고 분석모듈(400)을 통해 수집된 패턴(20)을 분석하여 함몰형 결함(30)의 존재여부, 특성을 분석한다.(S120)In the recessed defect inspection method of the present invention, a preset pattern 20 through the pattern irradiation unit 200 to detect the recessed type defect 30 by using a biasing method on the display 10 fixed to the stage 100 The display 10 is irradiated. (S100) The pattern 20 irradiated on the display 10 to be inspected is collected through the pattern collecting unit 300. (S110) Collected through the pattern collecting unit 300 The pattern 20 is transmitted to the analysis module 400, and the pattern 20 collected through the analysis module 400 is analyzed to analyze the existence and characteristics of the recessed defect 30. (S120)

스테이지 : 100 패턴 조사부 : 200
패턴 수집부 : 300 분석모듈 : 400Stage: 100 Pattern irradiation unit: 200
Pattern collection unit: 300 Analysis module: 400

Claims (11)

디스플레이에 발생한 함몰형 결함을 검출하기 위한 함몰형 결함 검사장치에 있어서,
상기 디스플레이의 발생한 함몰형 결함을 검출하기 위해 검사할 디스플레이를 파지하는 스테이지와,
상기 스테이지에 파지된 디스플레이에 함몰형 결함을 편향법(deflectometry)을 이용하여 검출하기 위해 미리 설정된 패턴을 조사하는 패턴 조사부와,
상기 패턴 조사부에서 상기 검사할 디스플레이 상에 조사된 패턴을 수집하는 패턴 수집부와,
상기 패턴 수집부에서 수집된 패턴을 분석하여 상기 디스플레이에 함몰형 결함의 존재 여부를 분석하는 분석모듈을 포함하는 함몰형 결함 검사장치.
In the recessed type defect inspection apparatus for detecting the recessed type defect occurring in the display,
a stage for holding a display to be inspected to detect a recessed defect of the display;
a pattern irradiation unit for irradiating a preset pattern to detect a recessed defect in the display held by the stage using deflectometry;
a pattern collecting unit for collecting the pattern irradiated on the display to be inspected by the pattern irradiation unit;
and an analysis module configured to analyze the pattern collected by the pattern collection unit to analyze whether a recessed defect exists in the display.
 청구항 1에서,
상기 디스플레이는 플렉서블 디스플레이인 것을 특징으로 하는 함몰형 결함 검사장치.
In claim 1,
The display is a recessed defect inspection apparatus, characterized in that the flexible display.
 청구항 1에서,
상기 미리 설정된 패턴은 편향법을 통해 상기 디스플레이에 발생한 함몰형 결함의 형태를 검출하기 위해 간섭무늬가 포함된 패턴인 것을 특징으로 하는 함몰형 결함 검사장치.
In claim 1,
The preset pattern is a depression-type defect inspection apparatus, characterized in that the pattern includes an interference fringe in order to detect the shape of the depression-type defect generated in the display through a deflection method.
 청구항 3에서,
상기 패턴조사부는 검사할 디스플레이의 크기, 해상도, 픽셀의 크기를 포함하여 디스플레이의 특성에 맞춰 상기 디스플레이로 조사할 패턴의 간섭무늬의 형태를 조절하는 것을 특징으로 하는 함몰형 결함 검사장치.
In claim 3,
The pattern irradiation unit is a recessed defect inspection apparatus, characterized in that for adjusting the shape of the interference pattern of the pattern to be irradiated to the display according to the characteristics of the display, including the size, resolution, and pixel size of the display to be inspected.
 청구항 1에서,
상기 패턴조사부는 검사할 디스플레이에 미리 설정된 패턴을 조사하기 위해 패턴을 형성하는 패턴형성부와 상기 패턴형성부에서 형성된 패턴을 디스플레이로 조사하기 위한 광학모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 함몰형 결함 검사장치.
In claim 1,
The pattern irradiation unit recessed defect inspection apparatus, characterized in that it comprises a pattern forming unit for forming a pattern to irradiate a preset pattern to the display to be inspected and an optical module for irradiating the pattern formed in the pattern forming unit to the display .
 청구항 5에서,
상기 광학모듈은 DMD(Digital Micromirror Display)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 함몰형 결함 검사장치.
In claim 5,
The optical module is a recessed defect inspection device, characterized in that it comprises a DMD (Digital Micromirror Display).
 청구항 1에서,
상기 분석모듈은 패턴 수집부에서 수집된 패턴을 분석하여 상기 디스플레이에 발생된 함몰형 결함의 사이즈, 깊이를 포함하여 함몰형 결함의 특성과 상기 함몰형 결함이 발생한 위치를 검출하는 것을 특징으로 하는 함몰형 결함 검사장치.
In claim 1,
The analysis module analyzes the pattern collected by the pattern collecting unit to detect the characteristics of the recessed type defect including the size and depth of the recessed type defect generated in the display and the location where the recessed type defect occurs. Mold defect inspection device.
 청구항 1에서,
상기 분석모듈은 패턴 수집부에서 수집된 패턴을 분석하여 상기 디스플레이에 발생된 함몰형 결함뿐만 아니라 돌출형 결함의 사이즈, 깊이를 포함하여 돌출형 결함의 특성과 상기 돌출형 결함이 발생한 위치를 검출하는 것을 특징으로 하는 함몰형 결함 검사장치.
In claim 1,
The analysis module analyzes the pattern collected by the pattern collecting unit to detect the characteristics of the protruding defect including the size and depth of the protruding defect as well as the recessed defect generated in the display and the location where the protruding defect occurs. A depression-type defect inspection device, characterized in that.
 디스플레이에 발생한 함몰형 결함을 검출하기 위한 함몰형 결함 검사방법에 있어서,
상기 디스플레이를 파지하는 스테이지에 파지된 디스플레이에 편향법(deflectometry)을 이용하여 함몰형 결함을 검출하기 위해 패턴 조사부를 통해 미리 설정된 패턴을 조사하는 단계;
상기 패턴을 조사하는 단계에서 검사할 디스플레이 상에 조사된 패턴을 패턴 수집부를 통해 수집하는 단계;
상기 패턴을 수집하는 단계에서 수집된 패턴을 분석모듈을 통해 분석하여 상기 디스플레이에 함몰형 결함의 존재 여부를 분석하는 단계를 포함하는 함몰형 결함 검사방법.
In the recessed type defect inspection method for detecting the recessed type defect generated in the display,
irradiating a preset pattern through a pattern irradiator to detect a recessed defect using deflectometry in the display held by the stage holding the display;
collecting the pattern irradiated on the display to be inspected in the step of irradiating the pattern through a pattern collecting unit;
and analyzing the pattern collected in the step of collecting the pattern through an analysis module to analyze whether there is a recessed defect in the display.
 청구항 9에서,
상기 패턴을 조사하는 단계에서 조사되는 패턴은 편향법을 통해 상기 디스플레이에 발생한 함몰형 결함의 형태를 검출하기 위해 간섭무늬가 포함되고,
상기 검사할 디스플레이의 크기, 해상도, 픽셀의 크기를 포함하여 디스플레이의 특성에 맞춰 상기 디스플레이로 조사할 패턴의 간섭무늬의 형태를 조절하는 단계를 더 포함하는 함몰형 결함 검사방법.
In claim 9,
The pattern irradiated in the step of irradiating the pattern includes an interference fringe to detect the shape of the recessed defect generated in the display through a deflection method,
The method further comprising adjusting the shape of the interference fringe of the pattern to be irradiated to the display according to the characteristics of the display, including the size, resolution, and pixel size of the display to be inspected.
 청구항 9에서,
상기 패턴을 조사하는 단계에서 상기 검사할 디스플레이에 패턴을 조사하는 패턴 조사부는 검사할 디스플레이에 미리 설정된 패턴을 조사하기 위해 패턴을 형성하는 패턴형성부와 상기 패턴형성부에서 형성된 패턴을 디스플레이로 조사하기 위한 광학모듈을 포함하여 이루어지고,
상기 광학모듈을 이용하여 상기 패턴을 상기 검사할 디스플레이의 위치에 맞춰 조사하기 위해 조사 위치를 조절하는 단계를 더 포함하는 함몰형 결함 검사방법.In claim 9,
In the step of irradiating the pattern, the pattern irradiator for irradiating a pattern on the display to be inspected includes a pattern forming unit that forms a pattern in order to irradiate a preset pattern on the display to be inspected, and irradiating the pattern formed in the pattern forming unit to the display. Consists of including an optical module for
The method further comprising the step of adjusting an irradiation position to irradiate the pattern according to the position of the display to be inspected by using the optical module.
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