KR20220054153A - Wastewater storage device - Google Patents

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KR20220054153A
KR20220054153A KR1020210002545A KR20210002545A KR20220054153A KR 20220054153 A KR20220054153 A KR 20220054153A KR 1020210002545 A KR1020210002545 A KR 1020210002545A KR 20210002545 A KR20210002545 A KR 20210002545A KR 20220054153 A KR20220054153 A KR 20220054153A
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storage tank
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KR1020210002545A
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친-이 차오
웬-핑 차이
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사이언테크 코포레이션
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D35/00—Filtering devices having features not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00, or for applications not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00; Auxiliary devices for filtration; Filter housing constructions
    • B01D35/02—Filters adapted for location in special places, e.g. pipe-lines, pumps, stop-cocks
    • B01D35/027—Filters adapted for location in special places, e.g. pipe-lines, pumps, stop-cocks rigidly mounted in or on tanks or reservoirs

Abstract

A wastewater storage device (100) is applied to maintain semiconductor wastewater. The wastewater storage device (100) includes a storage tank (1) and a filtration unit (2). The filtration unit (2) includes a filtration tank (21) and a sensor sub-unit (22). The filtration tank (21) is disposed in the storage tank (1) and has a low filtration wall (211) and a side filtration wall (212) cooperated to define a filtration space (213). The filtration tank (21) further includes a treatment gate (212a) proximal to an upper wall (12) of the storage tank (1). The sensor sub-unit (22) is disposed to detect whether to remove impurities accumulated in the filtration space (213).

Description

폐수 저장 장치{WASTEWATER STORAGE DEVICE}Wastewater storage device {WASTEWATER STORAGE DEVICE}

본 발명은 유체 저장 장치에 관한 것이며, 보다 상세하게는 반도체 폐수를 유지하기 위한 폐수 저장 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a fluid storage device, and more particularly to a wastewater storage device for holding semiconductor wastewater.

본 출원은 2020년 10월 23일에 출원된 대만 특허 출원 제109136855를 우선권으로 수반하는 출원이다.This application is an application with priority to Taiwan Patent Application No. 109136855, filed on October 23, 2020.

반도체 제조 공정들에서, 사진식각 및 식각은 기판들에 대해 적용하기 위해 요구되는 단계들이며, 산성 또는 알칼리성의 성질들을 가지는 처리 유체들이 이러한 단계들 동안에 통상적으로 사용된다. 다른 공정 단계들에서, 고온의 처리 유체들이 사용된다. 상기 처리 유체들이 상기 제조 공정들 동안에 상기 기판들과 상호 작용할 때, 상기 기판들 상의 불순물들이 떨어져 나간다. 그러나 상기 처리 유체들이 상기 불순물들을 분해하지 못할 수 있기 때문에, 상기 불순물들이 사용된 처리 유체들과 혼합되고, 함께 배출된다.In semiconductor manufacturing processes, photolithography and etching are steps required to apply to substrates, and processing fluids having acidic or alkaline properties are commonly used during these steps. In other process steps, hot process fluids are used. As the processing fluids interact with the substrates during the manufacturing processes, impurities on the substrates are dislodged. However, since the processing fluids may not be able to decompose the impurities, the impurities mix with the used processing fluids and are discharged together.

반도체 제조 공장들에 현재 사용되고 있는 폐수 저장 및 배출 시스템들은 먼저 제조 공정들로부터 배출되는 고온의 폐수를 임시 저장 탱크 내로 이송한다. 상기 폐수가 냉각되었을 때에 추가적인 처리를 위해 지정된 공장들로 이송된다. 상기 폐수는 통상적으로 강한 산성이나 강한 염기성 특성들을 가지기 때문에, 상기 임시 저장 탱크는 상기 폐수에 의해 야기될 수 있는 안전 문제들을 방지하도록 밀폐된 용기의 형태를 가진다. 그러나 상기 폐수 내에 혼합된 불순물들이 상기 임시 저장 탱크의 바닥 부분에 증착될 것이다. 이에 따라, 상기 임시 저장 탱크는 상기 증착된 불순물들 모두를 배출하기 위해 규칙적으로 계획된 주기로 비워져야 한다. 불순물들을 배출할 때, 상기 폐수를 발생시키는 제조 설비들은 정지되어야 하며, 이는 생산 능력에 영향을 미친다.Wastewater storage and discharge systems currently used in semiconductor manufacturing plants first transfer hot wastewater discharged from manufacturing processes into a temporary storage tank. When the wastewater is cooled, it is sent to designated plants for further treatment. Since the wastewater usually has strong acidic or strong basic properties, the temporary storage tank is in the form of a closed container to avoid safety problems that may be caused by the wastewater. However, impurities mixed in the wastewater will be deposited on the bottom part of the temporary storage tank. Accordingly, the temporary storage tank must be emptied at regularly scheduled intervals to discharge all of the deposited impurities. When discharging impurities, manufacturing facilities generating the wastewater must be shut down, which affects production capacity.

이에 따라, 본 발명의 목적은 종래 기술의 문제점들 중의 적어도 하나를 해결할 수 있는 폐수 저장 장치를 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a wastewater storage device capable of solving at least one of the problems of the prior art.

본 발명에 따르면, 상기 폐수 저장 장치는 반도체 폐수를 유지하기 위해 적용된다. 상기 폐수 저장 장치는 저장 탱크 및 여과 유닛을 포함한다. 상기 저장 탱크는 하부 벽, 상기 하부 벽에 대향되는 상부 벽, 상기 하부 벽과 상기 상부 벽을 서로 연결하는 주변 벽, 그리고 캡 부재(cap member)를 포함한다. 상기 상부 벽은 폐수 유입구 및 불순물 제거 포트를 가진다. 상기 캡 부재는 상기 상부 벽 상에 배치되며, 상기 불순물 제거 포트를 개방 가능하게 덮는다.According to the present invention, the wastewater storage device is applied for holding semiconductor wastewater. The wastewater storage device includes a storage tank and a filtration unit. The storage tank includes a lower wall, an upper wall opposite the lower wall, a peripheral wall connecting the lower wall and the upper wall to each other, and a cap member. The upper wall has a wastewater inlet and an impurity removal port. The cap member is disposed on the upper wall and openably covers the impurity removal port.

상기 여과 유닛은 여과 탱크 및 센서 서브유닛을 포함한다. 상기 여과 탱크는 상기 저장 탱크 내에서 상기 저장 탱크의 폐수 유입구 및 불순물 제거 포트 아래에 배치된다. 상기 여과 탱크는 메시 형태의 하부 여과 벽 및 상기 하부 여과 벽의 주변부에 연결되는 메시 형태의 측부 여과 벽을 가진다. 상기 하부 여과 벽 및 상기 측부 여과 벽은 협력하여 여과 공간을 한정한다. 상기 여과 탱크는 상기 저장 탱크의 상부 벽에 근접되고, 상기 여과 공간과 유체 연통되는 처리 게이트를 더 구비한다.The filtration unit includes a filtration tank and a sensor subunit. The filtration tank is disposed within the storage tank below the wastewater inlet and the impurity removal port of the storage tank. The filtration tank has a bottom filtration wall in the form of a mesh and a side filtration wall in the form of a mesh connected to a periphery of the bottom filtration wall. The lower filtration wall and the side filtration wall cooperate to define a filtration space. The filtration tank further includes a treatment gate proximate to an upper wall of the storage tank and in fluid communication with the filtration space.

상기 하부 여과 벽은 상기 저장 탱크의 하부 벽으로부터 이격되어, 상기 폐수 유입구로부터 들어오는 상기 반도체 폐수가 상기 여과 공간 내에서 나가는 상기 반도체 폐수 내의 불순물들과 함께 상기 하부 여과 벽 및 상기 측부 여과 벽에 의해 여과된다. 상기 센서 서브유닛은 상기 여과 공간 내에 모이는 불순물들이 제거되어야 하는 지를 검출하기 위해 배치된다.The lower filtration wall is spaced from the lower wall of the storage tank so that the semiconductor wastewater entering from the wastewater inlet is filtered by the lower filtration wall and the side filtration wall together with impurities in the semiconductor wastewater exiting in the filtration space. do. The sensor subunit is arranged to detect whether impurities collecting in the filtration space are to be removed.

본 발명에 따르면, 상기 불순물들이 특정한 레벨까지 축적될 때, 관리자가 상기 저장 탱크의 캡 부재를 개방할 수 있고, 상기 여과 탱크의 여과 공간 내의 불순물들을 상기 저장 탱크의 불순물 제거 포트를 통해 제거할 수 있다. 이러한 수행에 의하여, 상기 관리자가 더 이상 상기 저장 탱크 내에 저장된 모든 폐수를 비울 필요가 없으며, 이에 따라 반도체 제조 장비가 폐수 탱크들의 불순물 제거 공정들을 위해 종래에 요구되었던 정지로 인한 중단 없이 계속하여 작동될 수 있다. 이에 따라, 생산 능력에 더 이상 영향을 미치지 않는다. 또한, 상기 여과 탱크는 상기 저장 탱크의 경우 보다 작은 깊이를 가지며, 상기 관리자가 상기 불순물을 보다 용이하게 제거하게 한다.According to the present invention, when the impurities accumulate to a certain level, the administrator can open the cap member of the storage tank, and the impurities in the filtration space of the filtration tank can be removed through the impurity removal port of the storage tank there is. By this implementation, it is no longer necessary for the manager to empty all the wastewater stored in the storage tank, so that the semiconductor manufacturing equipment can continue to operate without interruption due to the shutdown that was conventionally required for the impurity removal processes of the wastewater tanks. can As a result, the production capacity is no longer affected. Also, the filtration tank has a smaller depth than the storage tank, making it easier for the administrator to remove the impurities.

본 발명의 다른 특징들과 이점들은 첨부된 도면을 참조하여 다음의 실시예들의 상세한 설명을 통해 보다 명확해질 것이며, 첨부 도면에 있어서,
도 1은 본 발명에 따른 반도체 폐수를 유지하기 위한 폐수 저장 장치의 실시예를 예시하는 개략적인 단면도이다.Other features and advantages of the present invention will become more apparent through the detailed description of the following embodiments with reference to the accompanying drawings, in which:
1 is a schematic cross-sectional view illustrating an embodiment of a wastewater storage device for holding semiconductor wastewater according to the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 폐수 저장 장치(100)의 실시예는 반도체 폐수를 유지하기 위해 적용된다. 상기 폐수 저장 장치(100)는 저장 탱크(1), 여과 유닛(2) 및 순환 유닛(3)을 포함한다. Referring to FIG. 1 , an embodiment of a wastewater storage device 100 according to the present invention is applied to retain semiconductor wastewater. The wastewater storage device 100 includes a storage tank 1 , a filtration unit 2 and a circulation unit 3 .

상기 저장 탱크(1)는 하부 벽(11), 상기 하부 벽(11)에 대향되는 상부 벽(12), 상기 하부 벽(11)과 상기 상부 벽(12)을 서로 연결하는 주변 벽(13), 그리고 캡 부재(cap member)(14)를 포함한다. 상기 상부 벽(12)은 폐수 유입구(121) 및 불순물 제거 포트(122)를 가진다. 상기 캡 부재(14)는 상기 상부 벽(12) 상에 배치되며, 상기 불순물 제거 포트(122)를 개방 가능하게 덮는다. 상기 저장 탱크(1)의 폐수 유입구(121)는 반도체 제조 장비(도시되지 않음)로부터 발생되는 폐수가 유입되기 위해 배출 파이프(4)에 연결되도록 배치된다. 이러한 실시예에서, 상기 주변 벽(13)은 폐수 배출 유출구(131)를 구비하여 형성되지만, 다른 실시예들에서 상기 폐수 배출 유출구(131)는 상기 하부 벽(11) 내에 형성될 수 있다.The storage tank 1 has a lower wall 11, an upper wall 12 opposite the lower wall 11, and a peripheral wall 13 connecting the lower wall 11 and the upper wall 12 to each other. , and a cap member 14 . The upper wall 12 has a wastewater inlet 121 and an impurity removal port 122 . The cap member 14 is disposed on the upper wall 12 , and covers the impurity removal port 122 in an openable manner. The wastewater inlet 121 of the storage tank 1 is arranged to be connected to the discharge pipe 4 to introduce wastewater generated from semiconductor manufacturing equipment (not shown). In this embodiment, the peripheral wall 13 is formed with a wastewater discharge outlet 131 , but in other embodiments the wastewater discharge outlet 131 may be formed in the lower wall 11 .

상기 여과 유닛(2)은 여과 탱크(21) 및 센서 서브유닛(sensor subunit)(22)을 포함한다. 상기 여과 탱크(21)는 상기 저장 탱크(1) 내에서 상기 저장 탱크(1)의 폐수 유입구(121) 및 불순물 제거 포트(122) 아래에 배치된다. 상기 여과 탱크(210는 메시(mesh) 형태의 하부 여과 벽(211) 및 상기 하부 여과 벽(211)의 주변부에 연결되는 메시 형태의 측부 여과 벽(212)을 가진다. 상기 하부 여과 벽(211) 및 상기 측부 여과 벽(212)은 협력하여 여과 공간(213)을 한정한다. 상기 여과 탱크(21)의 하부 여과 벽(211)이 상기 저장 탱크(1)의 하부 벽(11)으로부터 이격되므로, 상기 폐수 유입구(121)로부터 상기 여과 탱크(21) 내로 들어가는 상기 반도체 폐수가 상기 여과 공간(213)을 나가는 상기 반도체 폐수 내의 불순물들과 함께 상기 하부 여과 벽(211) 및 상기 측부 여과 벽(212)에 의해 여과된다. 여과된 폐수는 이후에 임시 저장을 위해 상기 여과 탱크(21) 아래에 있는 상기 저장 탱크(1) 내의 하부 공간으로 하방으로 흐른다. 상기 폐수가 냉각되었을 때, 이는 이차 폐수 처리 탱크(도시되지 않음)로 이송될 것이다. 상기 여과 탱크(21)의 하부 여과 벽(211)이 상기 저장 탱크(1)의 하부 벽(11)으로부터 먼 쪽으로 이격되기 때문에, 상기 하부 여과 벽(211)은 실질적으로 상기 저장 탱크(1)의 하부 공간에 저장되는 상기 여과된 폐수의 표면 레벨 위에 위치한다. 이와 같이, 상기 여과 탱크(21) 내의 폐수는 중력에 의해 아래로 흐르고, 이후에 상기 저장 탱크(1)의 하부 공간에 저장된다. 이러한 실시예에서, 상기 하부 여과 벽(211) 및 상기 측부 여과 벽(212)은 메시 형태의 필터 네트들이며, 상기 하부 여과 벽(211) 및 상기 측부 여과 벽(212)의 메시 밀도들은 여과되어야 하는 불순물들의 크기들에 따라 설계될 수 있다.The filtration unit 2 comprises a filtration tank 21 and a sensor subunit 22 . The filtration tank 21 is disposed in the storage tank 1 below the wastewater inlet 121 and the impurity removal port 122 of the storage tank 1 . The filtration tank 210 has a lower filtration wall 211 in the form of a mesh and a side filtration wall 212 in the form of a mesh connected to the periphery of the lower filtration wall 211. The lower filtration wall 211 and the side filtration wall 212 cooperatively defines a filtration space 213. Since the lower filtration wall 211 of the filtration tank 21 is spaced from the lower wall 11 of the storage tank 1, The semiconductor wastewater entering the filtration tank 21 from the wastewater inlet 121 together with the impurities in the semiconductor wastewater exiting the filtration space 213 together with the lower filtration wall 211 and the side filtration wall 212 The filtered wastewater then flows downwardly into the lower space in the storage tank 1 below the filtration tank 21 for temporary storage. When the wastewater is cooled, it is a secondary wastewater treatment tank (not shown), since the lower filtration wall 211 of the filtration tank 21 is spaced away from the lower wall 11 of the storage tank 1, the lower filtration wall 211 is located substantially above the surface level of the filtered wastewater stored in the lower space of the storage tank 1. As such, the wastewater in the filtering tank 21 flows down by gravity, and thereafter the storage tank It is stored in the lower space of 1. In this embodiment, the lower filtration wall 211 and the side filtration wall 212 are mesh-shaped filter nets, the lower filtration wall 211 and the side filtration wall 212 The mesh densities of 212 can be designed according to the sizes of impurities to be filtered.

상기 불순물들이 특정한 레벨까지 축적될 때, 관리자가 상기 저장 탱크(1)의 캡 부재(14)를 개방시킬 수 있고, 상기 저장 탱크(1)의 불순물 제거 포트(122)를 통해 상기 여과 탱크(21)의 여과 공간(213) 내의 상기 불순물들을 제거할 수 있다. 이러한 수행에 의하여, 상기 관리자는 더 이상 상기 저장 탱크(1) 내에 저장된 모든 폐수를 비울 필요가 없으며, 이에 따라 상기 반도체 제조 장비(도시되지 않음)는 폐수 탱크들의 불순물 제거 공정들을 위해 종래에 요구되었던 정지로 인한 중단 없이 계속하여 작동될 수 있다. 이에 따라, 생산 능력에 더 이상 영향을 미치지 않는다. 또한, 상기 여과 탱크(21)는 상기 저장 탱크(1)의 깊이 보다 작은 깊이를 가지며, 상기 관리자가 상기 불순물을 보다 용이하게 제거하게 한다.When the impurities accumulate to a certain level, an administrator can open the cap member 14 of the storage tank 1 , and through the impurity removal port 122 of the storage tank 1 , the filtration tank 21 ) in the filtration space 213 may remove the impurities. By doing this, the manager no longer has to empty all the wastewater stored in the storage tank 1, and thus the semiconductor manufacturing equipment (not shown) can be used for removing impurities in the wastewater tanks that have been conventionally required for removal processes of the wastewater tanks. Operation can be continued without interruption due to stoppage. As a result, the production capacity is no longer affected. In addition, the filtration tank 21 has a depth smaller than that of the storage tank 1 , which makes it easier for the administrator to remove the impurities.

상기 센서 서브유닛(22)은 상기 여과 공간(213) 내에 모여진 불순물들이 제거되어야 하는 지를 검출하기 위해 배치된다. 이러한 실시예에서, 상기 센서 서브유닛(22)은 서로 대향하고, 상기 저장 탱크(1)의 주변 벽(13) 상에 배치되는 제1 광센서(221) 및 제2 광센서(222)를 포함한다. 상기 여과 탱크(21)가 상기 제1 광센서(221) 및 상기 제2 광센서(222) 사이에 배치되므로, 상기 제1 광센서(221)에 의해 전송되는 광 신호는 상기 여과 탱크(21)를 통해 진행되며, 상기 제2 광센서(222)에 의해 수신된다. 다시 말하면, 상기 센서 서브유닛(22)은 상기 여과 공간(213) 내의 불순물들이 소정의 레벨까지 축적되는 지를 검출하기 위해 배치된다. 상기 불순물들이 상기 소정의 레벨에 도달하도록 축적될 때, 상기 제1 광센서(221)로부터 전송되는 광 신호가 상기 여과 공간(213) 내에 축적된 불순물들에 의해 차단되며, 이에 따라 상기 제2 광센서(222)가 상기 광 신호를 수신하지 못할 수 있다. 이후에, 상기 센서 서브유닛(22)의 컨트롤러(도시되지 않음)가 상기 여과 공간(213)에 대해 불순물 제거를 수행하기 위해 상기 관리자에게 통지하도록 작동된다. 상기 통지 메커니즘에 의해, 상기 센서 서브유닛(22)은 상기 여과 탱크(21)의 여과 공간(213)이 막히는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 상기 배출 파이프(4)가 상기 여과 탱크(21)의 막힌 여과 공간(213)으로 인해 파열되는 것을 방지한다. 또한, 상기 통지 메커니즘은 상기 여과 탱크(21)의 여과 공간(213) 내에 모여진 불순물들이 제거되어야 하는 지를 빈번하게 점검하는 관리자에게 시간과 노력을 절감시킨다.The sensor subunit 22 is arranged to detect whether impurities collected in the filtering space 213 should be removed. In this embodiment, the sensor subunit 22 comprises a first photosensor 221 and a second photosensor 222 opposite to each other and disposed on the peripheral wall 13 of the storage tank 1 . do. Since the filtration tank 21 is disposed between the first optical sensor 221 and the second optical sensor 222 , the optical signal transmitted by the first optical sensor 221 is transmitted to the filtration tank 21 . and is received by the second photosensor 222 . In other words, the sensor subunit 22 is arranged to detect whether impurities in the filtering space 213 have accumulated to a predetermined level. When the impurities are accumulated to reach the predetermined level, the optical signal transmitted from the first photosensor 221 is blocked by the impurities accumulated in the filtering space 213 , and thus the second light The sensor 222 may not receive the optical signal. Thereafter, the controller (not shown) of the sensor subunit 22 is operated to notify the administrator to perform impurity removal on the filtration space 213 . By the notification mechanism, the sensor subunit 22 can not only prevent the filtration space 213 of the filtration tank 21 from clogging, but also prevent the discharge pipe 4 from being blocked by the filtration tank 21 . It prevents rupture due to clogged filtration space 213 . In addition, the notification mechanism saves time and effort for the administrator who frequently checks whether impurities collected in the filtration space 213 of the filtration tank 21 need to be removed.

상기 센서 서브유닛(22)이 정상적으로 기능하지 않을 때에 상기 여과 탱크(21)의 여과 공간(213)이 막히는 것과 상기 배출 파이프(4)가 파열되는 것을 방지하기 위해, 상기 여과 탱크(21)는 상기 저장 탱크(1)의 상부 벽(12)에 근접하고, 상기 여과 공간(213)과 유체 연통되는 처리 게이트(212a)를 더 포함한다. 상기 처리 게이트(212a)는 상기 여과 공간(213) 내의 축적된 폐수가 여과되지 않고 상기 여과 탱크(21) 밖으로 흐르게 하며, 이에 따라 상기 여과 탱크(21) 내의 상기 축적된 폐수를 위한 유출구가 제공된다. 이러한 실시예에서, 상기 여과 탱크(21)의 측부 여과 벽(212)의 상단은 상기 저장 탱크(1)의 상부 벽(12)에 연결되고, 상기 처리 게이트(212a)는 상기 측부 여과 벽(212) 내에 형성되며, 상기 센서 서브유닛(22) 위에 위치한다.In order to prevent the filtration space 213 of the filtration tank 21 from clogging and the discharge pipe 4 from rupture when the sensor subunit 22 does not function normally, the filtration tank 21 is It further comprises a treatment gate 212a proximate to the upper wall 12 of the storage tank 1 and in fluid communication with the filtration space 213 . The treatment gate 212a allows the accumulated wastewater in the filtration space 213 to flow out of the filtration tank 21 without being filtered, thereby providing an outlet for the accumulated wastewater in the filtration tank 21 . . In this embodiment, the upper end of the side filtration wall 212 of the filtration tank 21 is connected to the upper wall 12 of the storage tank 1 , and the processing gate 212a is connected to the side filtration wall 212 ) and is located above the sensor subunit 22 .

상기 센서 서브유닛(22)이 정상적으로 기능할 때, 상기 여과 공간(213) 내의 불순물들은 상기 하부 여과 벽(211) 및 상기 측부 여과 벽(212)이 심하게 막히기 전에 제거된다. 따라서, 상기 여과 공간(213) 내의 폐수가 상기 처리 게이트(212a)의 높이에 도달하도록 축적되지 않을 수 있으며, 이에 따라 상기 폐수가 여과되지 않은 상태로 상기 처리 게이트(212a)를 통해 밖으로 흐르지 않는다. 상기 센서 서브유닛(22)이 오작동을 겪고, 상기 여과 공간(213) 내의 폐수가 상기 처리 게이트(212a)의 높이에 도달될 때, 과도하게 축적된 불순물들이 상기 여과 공간(213)의 내부 부피를 실질적으로 차지한다. 이에 따라, 상기 여과 공간(213)으로 들어가는 폐수는 상기 배출 파이프(4)가 파열되는 것을 방지하기 위해 상기 처리 게이트(212a)를 통해 즉시 배출되어야 한다. 다른 실시예들에서, 상기 여과 탱크(21)의 측부 여과 벽(212) 및 상기 저장 탱크(1)의 상부 벽(12)은 그 사이에 상기 처리 게이트(212a)를 한정하도록 서로 약간 이격될 수 있다.When the sensor subunit 22 is functioning normally, impurities in the filtration space 213 are removed before the lower filtration wall 211 and the side filtration wall 212 are severely clogged. Accordingly, the wastewater in the filtering space 213 may not accumulate to reach the height of the treatment gate 212a, and accordingly, the wastewater does not flow out through the treatment gate 212a in an unfiltered state. When the sensor subunit 22 suffers a malfunction, and the wastewater in the filtration space 213 reaches the height of the treatment gate 212a , excessively accumulated impurities increase the internal volume of the filtration space 213 . actually occupies Accordingly, the wastewater entering the filtering space 213 must be immediately discharged through the treatment gate 212a in order to prevent the discharge pipe 4 from being ruptured. In other embodiments, the side filtration wall 212 of the filtration tank 21 and the top wall 12 of the storage tank 1 may be slightly spaced from each other to define the processing gate 212a therebetween. there is.

상기 순환 유닛(3)은 상기 저장 탱크(1)에 연결되고, 펌핑 서브유닛(pumping subunit)(31) 및 순환 파이프라인(32)을 포함하며, 상기 여과 탱크(21)에 의해 여과되고 상기 저장 탱크(1) 내에 저장되는 상기 반도체 폐수가 상기 순환 파이프라인(32) 내에서 순환되게 하도록 동작된다.The circulation unit 3 is connected to the storage tank 1 and includes a pumping subunit 31 and a circulation pipeline 32 , filtered by the filtration tank 21 and the storage The semiconductor wastewater stored in the tank 1 is operated to circulate in the circulation pipeline 32 .

앞서의 설명에서, 설명의 목적을 위해 수많은 특정한 세부 사항들이 완전한 실시예들의 이해를 제공하도록 설시되었다. 그러나 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 하나 또는 그 이상의 다른 실시예들이 이들 특정한 세부 사항들의 일부가 없이도 실시될 수 있는 점이 명백할 것이다. 또한, 본 명세서에서 전체적으로 "하나의 실시예", "일 실시예", 서수로 표기되고 특정한 특징, 구조 또는 특성의 수단들로 설시된 실시예 등도 본 발명의 실시에 포함될 수 있는 점이 이해될 것이다. 또한, 본 명세서에서 다양한 특징들이 본 발명을 간소화하고, 다양한 본 발명의 측면들의 이해에 기여할 목적으로 단일의 실시예, 도면, 또는 그 설명에서 때때로 함께 그룹으로 될 수 있는 점과 하나의 실시예로부터의 하나 또는 그 이상의 특징들이나 특정한 세부 사항들이 본 발명의 실시에서 적절한 경우에 다른 실시예로부터의 하나 또는 그 이상의 특징들이나 특정한 세부 사항들과 함께 실시될 수 있는 점이 이해될 것이다.In the preceding description, for purposes of explanation, numerous specific details are set forth in order to provide a thorough understanding of the embodiments. However, it will be apparent to one of ordinary skill in the art that one or more other embodiments may be practiced without some of these specific details. In addition, it will be understood that, throughout this specification, "one embodiment", "one embodiment", an embodiment denoted by an ordinal number and described by means of a specific feature, structure, or characteristic, etc. may be included in the practice of the present invention. . Also, from one embodiment, the various features herein may sometimes be grouped together in a single embodiment, drawing, or description thereof for the purpose of simplifying the invention and contributing to the understanding of various aspects of the invention. It will be understood that one or more features or specific details of the present invention may be practiced in conjunction with one or more features or specific details from another embodiment as appropriate in the practice of the present invention.

본 발명을 예시적인 실시예들로 간주되는 경우와 관련하여 설명하였지만, 본 발명이 개시된 실시예들에 한정되는 것은 아니며, 모든 이러한 변경들 및 균등한 장치들을 포함하도록 폭넓은 해석의 사상과 범주 내에 포함되는 다양한 장치들을 포괄하도록 의도된 것이다.Although the present invention has been described in connection with what is considered to be exemplary embodiments, the present invention is not limited to the disclosed embodiments, but is within the spirit and scope of a broad interpretation to include all such modifications and equivalent arrangements. It is intended to cover the various devices included.

1：저장 탱크 2：여과 유닛
3：순환 유닛 4：배출 파이프
11：하부 벽 12：상부 벽
13：주변 벽 14：캡 부재
21：여과 탱크 22：센서 서브유닛
31：펌핑 서브유닛 32：순환 파이프라인
100：폐수 저장 장치 121：폐수 유입구
122：불순물 제거 포트 131：폐수 배출 유출구
211：하부 여과 벽 212：측부 여과 벽
212a：처리 게이트 213：여과 공간
221：제1 광센서 222：제2 광센서1: Storage tank 2: Filtration unit
3: Circulation unit 4: Discharge pipe
11: lower wall 12: upper wall
13: Peripheral wall 14: No cap
21: Filtration tank 22: Sensor subunit
31: Pumping sub-unit 32: Circulation pipeline
100: wastewater storage device 121: wastewater inlet
122: Impurity removal port 131: Wastewater discharge outlet
211: lower filtering wall 212: side filtering wall
212a: processing gate 213: filtering space
221: first optical sensor 222: second optical sensor

Claims (4)

반도체 폐수를 유지하기 위해 적용되는 폐수 저장 장치에 있어서,
하부 벽, 상기 하부 벽에 대향되는 상부 벽, 상기 하부 벽과 상기 상부 벽을 서로 연결하는 주변 벽, 그리고 캡 부재(cap member)를 구비하는 저장 탱크를 포함하며, 상기 상부 벽은 폐수 유입구 및 불순물 제거 포트를 가지고, 상기 캡 부재는 상기 상부 벽 상에 배치되며, 상기 불순물 제거 포트를 개방 가능하게 덮고;
여과 탱크 및 센서 서브유닛을 구비하는 여과 유닛을 포함하며, 상기 여과 탱크는 상기 저장 탱크 내에 상기 저장 탱크의 상기 폐수 유입구 및 상기 불순물 제거 포트아래에 배치되고, 상기 여과 탱크는 메시 형태의 하부 여과 벽 및 상기 하부 여과 벽의 주변부에 연결되는 메시 형태의 측부 여과 벽을 가지며, 상기 하부 여과 벽 및 상기 측부 여과 벽은 협력하여 여과 공간을 한정하고, 상기 여과 탱크는 상기 저장 탱크의 상부 벽에 근접되고 상기 여과 공간과 유체 연통되는 처리 게이트를 더 가지며, 상기 하부 여과 벽은 상기 저장 탱크의 하부 벽으로부터 이격되어, 상기 폐수 유입구로부터 들어오는 상기 반도체 폐수가 상기 여과 공간 내에서 나가는 상기 반도체 폐수 내의 불순물들과 함께 상기 하부 여과 벽 및 상기 측부 여과 벽에 의해 여과되며, 상기 센서 서브유닛은 상기 여과 공간 내에 모이는 불순물들이 제거되어야 하는 지를 검출하기 위해 배치되는 것을 특징으로 하는 폐수 저장 장치.In the wastewater storage device applied to maintain semiconductor wastewater,
a storage tank having a lower wall, an upper wall opposite the lower wall, a peripheral wall interconnecting the lower wall and the upper wall, and a cap member, the upper wall comprising a wastewater inlet and impurities a removal port, wherein the cap member is disposed on the upper wall and openably covers the impurity removal port;
a filtration unit comprising a filtration tank and a sensor subunit, wherein the filtration tank is disposed in the storage tank below the wastewater inlet of the storage tank and the impurity removal port, the filtration tank comprising a mesh-shaped lower filtration wall and a side filtration wall in the form of a mesh connected to a periphery of the lower filtration wall, the lower filtration wall and the side filtration wall cooperatively defining a filtration space, the filtration tank proximate to an upper wall of the storage tank and and a treatment gate in fluid communication with the filtration space, wherein the lower filtration wall is spaced apart from the lower wall of the storage tank such that the semiconductor wastewater entering from the wastewater inlet is in contact with impurities in the semiconductor wastewater exiting the filtering space. Filtered together by the lower filtration wall and the side filtration wall, the sensor subunit is arranged to detect whether impurities collecting in the filtration space are to be removed. 제 1 항에 있어서, 상기 저장 탱크에 연결되는 순환 유닛을 더 포함하고, 상기 순환 유닛은 펌핑 서브유닛 및 순환 파이프라인을 가지며, 상기 여과 탱크에 의해 여과되고 상기 저장 탱크 내에 저장되는 상기 반도체 폐수가 상기 순환 파이프라인 내에서 순환되도록 동작하는 것을 특징으로 하는 폐수 저장 장치.The semiconductor wastewater according to claim 1, further comprising a circulation unit connected to the storage tank, wherein the circulation unit has a pumping subunit and a circulation pipeline, and the semiconductor wastewater filtered by the filtering tank and stored in the storage tank Wastewater storage device, characterized in that it operates to be circulated in the circulation pipeline. 제 1 항에 있어서, 상기 센서 서브유닛은 서로 대향하고, 상기 저장 탱크의 주변 벽 상에 배치되는 제1 광센서 및 제2 광센서를 포함하며, 상기 여과 탱크는 상기 제1 광센서 및 상기 제2 광센서 사이에 배치되어, 상기 제1 광센서에 의해 전송되는 광 신호가 상기 여과 탱크를 통해 진행되고, 상기 제2 광센서에 의해 수신되는 것을 특징으로 하는 폐수 저장 장치.The filtration tank according to claim 1, wherein the sensor subunit is opposite to each other and includes a first photosensor and a second photosensor disposed on a peripheral wall of the storage tank, wherein the filtration tank comprises the first photosensor and the second photosensor. Disposed between two photosensors, the optical signal transmitted by the first photosensor proceeds through the filtration tank and is received by the second photosensors. 제 1 항에 있어서, 상기 여과 탱크의 상기 측부 여과 벽의 상단은 상기 저장 탱크의 상부 벽에 연결되며, 상기 처리 게이트는 상기 측부 여과 벽 내에 형성되는 것을 특징으로 하는 폐수 저장 장치.The wastewater storage device of claim 1, wherein an upper end of the side filtration wall of the filtration tank is connected to an upper wall of the storage tank, and the treatment gate is formed in the side filtration wall.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5759393A (en) * 1995-05-08 1998-06-02 Nurse, Jr.; Harry L. Filter device
KR20000015073A (en) * 1998-08-27 2000-03-15 윤종용 Impurity isolating apparatus for semiconductor manufacturing equipment
KR100252221B1 (en) * 1997-06-25 2000-04-15 윤종용 Wet etching apparatus for semiconductor manufacturing and method of etchant circulation therein
KR20050106714A (en) * 2004-05-06 2005-11-11 삼성전자주식회사 Wet cleaning apparatus for semiconductor wafer

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN205815244U (en) * 2016-07-28 2016-12-21 陈程辉 Intelligent water processes cartridge filter
CN206473882U (en) * 2016-10-27 2017-09-08 重庆大学 A kind of tandem type multi-stage filter
JP6979852B2 (en) * 2017-10-26 2021-12-15 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス Processing liquid supply equipment, substrate processing equipment, and processing liquid supply method
PL3727639T3 (en) * 2017-12-19 2023-09-04 Xeros Limited Filter for a treatment apparatus
CN209917397U (en) * 2019-03-26 2020-01-10 昆山基侑电子科技有限公司 Chemical circulating filter tank for semiconductor wet process
CN210528640U (en) * 2019-07-16 2020-05-15 南京大恒林瑞精密机械设备有限公司 High-efficient recovery plant of CMP waste water for semiconductor factory

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5759393A (en) * 1995-05-08 1998-06-02 Nurse, Jr.; Harry L. Filter device
KR100252221B1 (en) * 1997-06-25 2000-04-15 윤종용 Wet etching apparatus for semiconductor manufacturing and method of etchant circulation therein
KR20000015073A (en) * 1998-08-27 2000-03-15 윤종용 Impurity isolating apparatus for semiconductor manufacturing equipment
KR20050106714A (en) * 2004-05-06 2005-11-11 삼성전자주식회사 Wet cleaning apparatus for semiconductor wafer

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