KR20220043021A - 광학 측정용 셀 및 광학 분석 장치 - Google Patents

광학 측정용 셀 및 광학 분석 장치 Download PDF

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가부시키가이샤 호리바 에스텍
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Abstract

본 발명은 광학 측정용 셀에 있어서 창재의 접합 부분에 가해지는 열응력을 저감시키는 것으로, 광이 투과하는 투광창(W1, W2)을 가지며, 내부에 시료가 도입되는 광학 측정용 셀(2)로서, 투광창(W1, W2)을 형성하는 평판 모양의 창재(221)와, 창재(221)의 주면에 있어서의 외부 가장자리부에 접합되어 창재를 지지하는 접합 지지부(222a)와, 접합 지지부(222a)의 외측 둘레면에 마련되고, 접합 지지부(222a)의 열팽창률보다도 낮은 열팽창률을 가지는 저열팽창 부재(223)를 가진다.

Description

광학 측정용 셀 및 광학 분석 장치{OPTICAL MEASUREMENT CELL AND OPTICAL ANALYSIS DEVICE}
본 발명은 광학 측정용 셀, 및 해당 광학 측정용 셀을 이용한 광학 분석 장치에 관한 것이다.
종래, 예를 들면 NDIR 등의 광학 분석 장치에 이용되는 광학 측정용 셀은, 특허문헌 1에 나타내는 바와 같이, 셀 본체에 창재(窓材)를 가지는 창 형성 부재를 장착하는 구성의 것이 고려된다.
여기서, 창 형성 부재에 있어서 창재를 기밀하게 고정하는 구조로서 O링을 이용한 경우에는, 얼마 안 되기는 하지만 가스가 O링을 투과해 버려, 고기밀한 씰이 될 수 없다. 또한, 가스가 반응성을 가지는 것인 경우에는, 해당 가스에 의해서 O링이 열화되는 경우도 있다. 이 때문에, 도 8에 나타내는 바와 같이, 창재의 평면부(주면)에 플랜지 부재에 형성된 접합부를 접합시키는 구조가 고려되고 있다.
그렇지만, 플랜지 부재의 재질(예를 들면 스테인리스강)과 창재의 재질(예를 들면, 셀렌화 아연)과의 열팽창률의 차에 의해, 창재와 접합부 사이의 접합 부분에 열응력이 가해져 버린다. 그 결과, 창재와 접합부 사이의 접합 부분이 파손되거나, 창재가 파손되거나 할 우려가 있다.
일본 특허공개 제2017-40655호 공보
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 광학 측정용 셀에 있어서 창재의 접합 부분에 가해지는 열응력을 저감시키는 것을 그 주된 과제로 하는 것이다.
즉, 본 발명에 따른 광학 측정용 셀은, 광이 투과하는 투광창을 가지며, 내부에 시료가 도입되는 광학 측정용 셀로서, 상기 투광창을 형성하는 평판 모양의 창재와, 상기 창재의 주면(主面)에 있어서의 외부 가장자리부에 접합되어 상기 창재를 지지하는 접합 지지부와, 상기 접합 지지부의 외측 둘레면에 마련되고, 상기 접합 지지부의 열팽창률보다도 낮은 열팽창률을 가지는 저열팽창 부재를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 광학 측정용 셀이면, 투광창에 접합된 접합 지지부의 외측 둘레면에, 해당 접합 지지부의 열팽창률보다도 낮은 열팽창률을 가지는 저열팽창 부재를 마련하고 있으므로, 접합 지지부의 열팽창에 의한 변형이 억제되어, 창재와 접합 지지부 사이의 접합 부분에 가해지는 열응력을 저감시킬 수 있다. 그 결과, 창재와 접합 지지부 사이의 접합 부분의 파손이나 창재의 파손을 막을 수 있다.
접합 지지부의 열팽창에 의한 변형을 한층 더 저감시키기 위해서는, 상기 저열팽창 부재는, 상기 접합 지지부의 외측 둘레면에 밀착해서 마련되어 있는 것이 바람직하다.
광학 측정용 셀의 부품 수(예를 들면 저열팽창 부재의 고정용 부품)를 삭감하면서, 접합 지지부의 외측 둘레면에 저열팽창 부재를 밀착시키기 위해서는, 상기 저열팽창 부재는, 상기 접합 지지부의 외측 둘레면에 끼워 맞춰져 있는 것이 바람직하다.
또한, 접합 지지부의 외측 둘레면에 저열팽창 부재를 밀착시키기 위한 구성으로서는, 상기 접합 지지부의 외측 둘레면은, 상기 창재로부터 멀어짐에 따라서 외형 치수가 커지는 제1 경사면을 가지며, 상기 저열팽창 부재의 내측 둘레면은, 상기 접합 지지부의 상기 제1 경사면에 대응하는 제2 경사면을 가지며, 광학 측정용 셀이, 상기 접합 지지부의 상기 제1 경사면과 상기 저열팽창 부재의 상기 제2 경사면을 밀착시킨 상태로, 상기 저열팽창 부재를 고정하는 고정 기구를 더 구비하는 것이 바람직하다.
본 발명의 광학 측정용 셀로서는, 상기 창재를 둘러싸도록 상기 접합 지지부에 연속해서 마련된 플랜지부를 더 구비한 것이 고려된다. 이 플랜지부는 광학 측정용 셀의 셀 본체에 장착된다.
이 구성에 있어서, 창재와 접합 지지부 사이의 접합 부분에, 플랜지부의 열팽창에 의한 열응력이 가해지기 어렵게 하기 위해서는, 상기 플랜지부에 있어서 상기 접합 지지부측의 면에는, 상기 접합 지지부를 둘러싸도록 고리 모양의 홈이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
상기 플랜지부에 있어서의 상기 홈의 내측에 위치하는 내측 벽부의 벽 두께는, 상기 접합 지지부의 벽 두께보다도 작은 것이 바람직하다.
이 구성이면, 접합 지지부의 벽 두께를 크게 하고, 내측 벽부의 벽 두께를 작게 함으로써, 창재와 접합 지지부 사이의 접합 면적을 크게 하면서, 창재와 접합 지지부 사이의 접합 부분에 대해서 플랜지부의 열팽창에 의한 열응력이 가해지기 어렵게 할 수 있다.
상기 플랜지부의 상기 홈의 저부에 열 변형 흡수부가 마련되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성이면, 플랜지부에 있어서의 홈의 외측 부분의 열팽창이 열 변형 흡수부에 흡수됨으로써, 창재와 접합 지지부 사이의 접합 부분에 가해지는 열응력을 한층 더 저감시킬 수 있다.
저열팽창 부재가 창재의 외측 둘레면을 덮는 구조인 경우에는, 저열팽창 부재에 의해서 창재에 불필요한 열응력이 가해질 우려가 있다. 이 문제를 적절하게 해결하기 위해서는, 상기 저열팽창 부재는 상기 창재의 외측 둘레면의 측방에는 위치하고 있지 않은, 즉, 상기 창재의 외측 둘레면을 덮고 있지 않은 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따른 광학 분석 장치는, 상기의 광학 측정용 셀과, 상기 광학 측정용 셀에 광을 조사하는 광 조사부와, 상기 광학 측정용 셀을 투과한 광을 검출하는 광 검출부와, 상기 광 검출부에 의해 얻어진 광 강도 신호를 이용하여 상기 시료 중의 성분 농도를 산출하는 농도 산출부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이상으로 기술한 본 발명에 의하면, 광학 측정용 셀에 있어서 창재의 접합 부분에 가해지는 열응력을 저감시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 가스 분석 장치의 전체 모식도이다.
도 2는 동 실시 형태의 창 형성 부재의 구조를 나타내는 (a) 사시도, 및 (b) 정면도이다.
도 3은 동 실시 형태의 창 형성 부재의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 4는 변형 실시 형태의 창 형성 부재의 구조를 나타내는 (a) 사시도, 및 (b) 정면도이다.
도 5는 변형 실시 형태의 창 형성 부재의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 6은 변형 실시 형태의 창 형성 부재의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 7은 변형 실시 형태의 창 형성 부재의 구조를 나타내는 단면도이다.
도 8은 종래의 창 형성 부재의 구조를 나타내는 단면도이다.
이하에, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 가스 분석 장치에 대해서, 도면을 참조하여 설명한다.
＜1. 전체 구성＞
본 실시 형태의 가스 분석 장치(100)는, 예를 들면 비분산형 적외선 흡수법(NDIR)을 이용하여 시료 가스 중의 성분을 분석하는 것이다. 또한, 시료 가스로서는, 반도체 제조 프로세스에 이용되는 재료 가스나 내연기관으로부터 배출되는 배기가스 등이 고려된다.
구체적으로 가스 분석 장치(100)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 시료 가스가 도입되는 광학 측정용 셀(2)과, 해당 광학 측정용 셀(2)에 적외광을 조사하는 광 조사부(3)와, 광학 측정용 셀(2)을 통과한 적외광을 검출하는 광 검출부(4)와, 광 검출부(4)에 의해 얻어진 광 강도 신호를 이용하여 시료 가스 중의 성분 농도를 산출하는 농도 산출부(5)를 구비하고 있다.
광학 측정용 셀(2)은 적외광이 투과하는 한 쌍의 투광창(W1, W2)을 가지며, 도입 포트(P1)로부터 시료 가스가 도입되어, 도출 포트(P2)로부터 시료 가스가 도출되는 플로우셀 타입의 것이다.
구체적으로 광학 측정용 셀(2)은 도입 포트(P1) 및 도출 포트(P2)가 마련된 셀 본체(21)와, 투광창(W1, W2)을 형성하는 창재(221)를 가지며, 셀 본체(21)에 고정되는 창 형성 부재(22)를 가지고 있다. 또한, 광학 측정용 셀(2)의 창 형성 부재(22)의 상세 구조는 후술한다.
광 조사부(3)는 광학 측정용 셀(2)에 적외광을 조사하는 것으로, 예를 들면 적외선 램프이다. 그 외, 적외광을 사출하는 LED여도 된다. 이 광 조사부(3)로부터 사출된 적외광은, 광학 측정용 셀(2)의 한쪽 투광창(W1)을 통해서, 광학 측정용 셀(2)의 내부 공간을 통과하고, 다른 쪽 투광창(W2)을 통해서, 광 검출부(4)에 의해 검출된다.
광 검출부(4)는 광학 측정용 셀(2)을 통과한 적외광을 검출하는 것으로, 광학 측정용 셀(2)의 다른 쪽 투광창(W2)으로부터 나온 적외광을 검출하는 광 검출기(41)와, 다른 쪽 투광창(W2) 및 광 검출기(41) 사이의 광로 상에 마련되어, 적외광 중 일부의 파장만을 통과시키는 파장 선택 필터(42)를 가지고 있다. 광 검출기(41)에 의해 얻어진 광 강도 신호는 농도 산출부(5)에 출력된다.
농도 산출부(5)는 광 검출기(41)에 의해 얻어진 광 강도 신호를 이용하여 시료 가스 중의 소정 성분의 농도를 산출하는 것이다. 구체적으로 농도 산출부(5)는 광 강도 신호로부터 흡광도를 연산하고, 해당 흡광도와 미리 작성되어 메모리에 기록된 검량선(檢量線)에 기초하여 시료 가스 중의 소정 성분의 분압(分壓)을 구한다. 그리고, 농도 산출부(5)는 광학 측정용 셀(2) 또는 그 전후의 배관에 마련된 압력계(미도시)에 의해서 측정된 광학 측정용 셀(2) 내의 시료 가스의 전압(全壓)에 기초하여, 소정 성분의 농도(=소정 성분의 분압/시료 가스의 전압)를 산출한다. 또한, 농도 산출부(5)는 예를 들면 CPU, 메모리, AD 변환기, 입출력 인터페이스 등으로 이루어진 컴퓨터에 의해, 그 기능이 발휘된다.
＜2. 광학 측정용 셀(2)의 창 형성 부재(22)의 상세 구조＞
다음으로, 광학 측정용 셀(2)의 창 형성 부재(22)의 상세 구조에 대해 설명한다.
또한, 한쪽 투광창(W1)을 형성하는 창 형성 부재(22)의 상세 구조와, 다른 쪽 투광창(W2)을 형성하는 창 형성 부재(22)의 상세 구조는 동일 또는 유사하므로, 이하에서는, 한쪽 투광창(W1)을 형성하는 창 형성 부재(22)의 상세 구조를 대표해서 설명한다.
창 형성 부재(22)는, 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 투광창(W1)을 형성하는 평판 모양의 창재(221)와, 해당 창재(221)가 접합됨으로써 창재(221)를 지지하는 지지체(222)를 가지고 있다.
창재(221)는 적외광을 투과시키는 재질로 형성되어 있고, 평면에서 볼 때 원형 모양을 이루는 평판이다. 본 실시 형태의 창재(221)는, 셀렌화 아연으로 형성되어 있다.
지지체(222)는, 특히 도 3에 나타내는 바와 같이, 창재(221)를 지지하는 통 모양의 접합 지지부(222a)와, 창재(221)를 둘러싸도록 접합 지지부(222a)에 연속해서 마련된 플랜지부(222b)를 가지고 있다. 또한, 지지체(222)의 중앙부에는, 창재(221)를 통과한 적외광이 통과하는 통과 구멍(H1)이 형성되어 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 접합 지지부(222a) 및 플랜지부(222b)는 일체로 형성되어 있고, 지지체(222)는 예를 들면 스테인리스강으로 형성되어 있다.
접합 지지부(222a)는 창재(221)의 주면(主面)(평면부)에 있어서의 외부 가장자리부에 접합되는 것으로, 본 실시 형태에서는 원통 형상을 이루는 것이다. 즉, 접합 지지부(222a)의 축 방향 일단면에 창재(221)가 접합된다. 또한, 접합 방법으로서는, 예를 들면 확산 접합 또는 납땜 접합 등을 이용할 수 있다.
플랜지부(222b)는 그 한쪽 면에 접합 지지부(222a)가 마련되어 있고, 본 실시 형태에서는 둥근 고리 형상을 이루는 것이다. 이 플랜지부(222b)는 예를 들면 금속제의 가스킷(미도시)을 통해서 셀 본체(21)에 장착되는 것으로, 플랜지부(222b)에 있어서의 셀 본체(21)에의 장착면에는, ICF 규격의 나이프 에지(knife edge)부(222x)가 형성되어 있다. 또한, 플랜지부(222b)에는, 셀 본체(21)에 나사 고정하기 위한 관통공(222h)이 둘레 방향으로 복수 형성되어 있다.
또한, 플랜지부(222b)에 있어서 접합 지지부(222a)측의 면(장착면과는 반대측의 면)에는, 접합 지지부(222a)를 둘러싸도록 고리 모양의 홈(222M)이 형성되어 있다. 여기에서는, 홈(222M)은 접합 지지부(222a)와 동축 상에 형성된 둥근 고리 모양을 이루는 것이다. 이 홈(222M)은 창재(221)와 접합 지지부(222a) 사이의 접합 부분에, 플랜지부(22b)의 열팽창에 의한 열응력이 가해지기 어렵게 하는 것이다. 홈(222M)의 깊이는, 예를 들면, 플랜지부(222b)의 판 두께의 절반 이상으로 하는 것이 고려된다.
여기서, 지지체(222)에 있어서의 홈(222M)의 내측에 위치하는 내측 벽부(222K)의 벽 두께(둘레 두께)는, 접합 지지부(222a)의 벽 두께(둘레 두께)보다도 작게 되도록 구성되어 있다. 이것에 의해, 접합 지지부(222a)의 벽 두께를 크게 하고, 내측 벽부(222K)의 벽 두께를 작게 함으로써, 창재(221)와 접합 지지부(222a) 사이의 접합 면적을 크게 하면서, 창재(221)와 접합 지지부(222a) 사이의 접합 부분에 대해서 플랜지부(222b)의 열팽창에 의한 열응력이 가해지기 어렵게 할 수 있다.
그러나, 본 실시 형태의 창 형성 부재(22)는, 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 접합 지지부(231)의 외측 둘레면에 마련된 저열팽창 부재(223)를 가지고 있다.
이 저열팽창 부재(223)는 접합 지지부(222a)의 외측 둘레면에 밀착해서 마련되어 있고, 예를 들면 둥근 고리 모양을 이루는 것이다. 또한, 저열팽창 부재(223)는 접합 지지부(222a)에 밀착하고, 창재(221)의 외측 둘레면(221a)에는 접촉하지 않게 구성되어 있다. 즉, 저열팽창 부재(223)는 창재(221)의 외측 둘레면(221a)의 측방에는 위치하고 있지 않으며, 창재(221)의 외측 둘레면(221a)을 덮지 않게 구성되어 있다(도 3 참조). 이것에 의해, 접합 지지부(222a)의 열팽창을 구속하면서, 저열팽창 부재(223)에 의해서 창재(221)에 직접 불필요한 열응력이 가해지는 것을 막고 있다.
또한, 저열팽창 부재(223)는 접합 지지부(222a)(지지체(222))의 열팽창률보다도 낮은 열팽창률을 가지는 재질로 형성되어 있고, 예를 들면, 티탄(Ti), 코바르(Kovar), 인바(Invar) 등의 금속을 이용할 수 있다. 또한, 저열팽창 부재(223)는, 상기 금속 외에, 석영 또는 사파이어 등을 이용할 수도 있다.
이 저열팽창 부재(223)는 접합 지지부(222a)의 외측 둘레면에 끼워 맞춰져 있으며, 예를 들면 저열팽창 부재(223)를 가열하여 끼워맞추는 수축 끼워맞춤, 또는 접합 지지부(222a)(지지체(222))를 냉각하여 끼워맞추는 냉각 끼워맞춤에 의해서 끼워 맞춰져 있다.
＜3. 본 실시 형태의 효과＞
이와 같이 구성한 본 실시 형태의 가스 분석 장치(100)에 의하면, 투광창(W1, W2)에 접합된 접합 지지부(222a)의 외측 둘레면에, 해당 접합 지지부(222a)의 열팽창률보다도 낮은 열팽창률을 가지는 저열팽창 부재(223)를 마련하고 있으므로, 접합 지지부(222a)의 열팽창에 의한 변형이 억제되어, 창재(221)와 접합 지지부(222a) 사이의 접합 부분에 가해지는 열응력을 저감시킬 수 있다. 그 결과, 창재(221)와 접합 지지부(222a) 사이의 접합 부분의 파손이나 창재(221)의 파손을 막을 수 있다.
＜4. 그 외의 실시 형태＞
예를 들면, 저열팽창 부재(223)의 고정 구조로서는 수축 끼워맞춤이나 냉각 끼워맞춤 외에, 체결에 의해 고정시키는 것이어도 된다. 구체적으로는, 도 4 및 도 5에 나타내는 바와 같이, 접합 지지부(222a)의 외측 둘레면에, 창재(221)로부터 멀어짐에 따라서 외측 둘레면의 외형 치수가 커지는 제1 경사면(제1 테이퍼면)(224a)을 형성하고, 저열팽창 부재(223)의 내측 둘레면에, 접합 지지부(222a)의 제1 경사면(224a)에 대응하는 제2 경사면(제2 테이퍼면)(224b)을 형성하여, 접합 지지부(222a)의 제1 경사면(224a)과 저열팽창 부재(223)의 제2 경사면(224b)을 밀착시킨 상태로, 고정 기구(225)에 의해 저열팽창 부재(223)를 고정해도 된다. 여기서, 고정 기구(225)는 저열팽창 부재(223)를 플랜지부(222b)측으로 압압(押壓)하기 위한 압압 부재(225a)와, 해당 압압 부재(225a)를 플랜지부(222b)에 체결 고정하기 위한 고정 나사(225b)로 이루어진다.
또한, 도 6에 나타내는 바와 같이, 저열팽창 부재(223)를 홈(222M) 내에도 배치하여, 저열팽창 부재(223)가, 접합 지지부(222a)의 외측 둘레면만이 아니라, 내측 벽부(222K)의 외측 둘레면에도 밀착하는 구성으로 해도 된다. 이것에 의해, 접합 지지부(222a)의 열팽창에 의한 변형을 한층 더 억제하여, 창재(221)와 접합 지지부(222a) 사이의 접합 부분에 가해지는 열응력을 한층 더 저감시킬 수 있다.
또한, 도 7에 나타내는 바와 같이, 플랜지부(222b)의 홈(222M)의 저부에 열 변형 흡수부(226)를 마련해도 된다. 이 열 변형 흡수부(226)는 홈(222M)의 둘레 방향을 따라서 형성된 적어도 하나의 산부 또는 골부를 가지는 굴곡부에 의해 구성하는 것이 고려된다. 이 열 변형 흡수부(226)에 의해, 창재(221)와 접합 지지부(222a) 사이의 접합 부분에, 플랜지부(222b)의 열팽창에 의한 열응력이 가해지기 어렵게 할 수 있다.
상기 실시 형태의 광학 측정용 셀(2)은, 한 쌍의 투광창(W1, W2)을 가지는 구성이었지만, 하나의 투광창을 가지는 구성으로 해도 된다. 이 경우, 하나의 투광창에 있어서 광의 입사 및 출사가 행해진다. 또한, 광학 측정용 셀(2)은 3개 이상의 투광창을 가지는 구성으로 해도 된다.
상기 실시 형태에서는, 접합 지지부(222a)와 플랜지부(222b)는 일체 형성되는 것이었지만, 그것들을 별개 부품으로 해도 된다.
상기 실시 형태의 창재는 평면에서 볼 때 원형 모양을 이루는 것이었지만, 예를 들면 평면에서 볼 때 직사각형 모양을 이루는 등의 그 밖의 형상이어도 된다.
또한, 상기 실시 형태의 가스 분석 장치는, 비분산형 적외 흡수법(NDIR)을 이용한 것이었지만, 푸리에 변환 적외 분광법(FTIR)을 이용한 것이어도 되고, 적외광 이외의 광을 이용한 광학 분석법을 이용한 것이어도 된다. 또한, 본 발명의 광학 분석 장치는, 시료로서 가스를 분석하는 것 외에, 액체를 분석하는 것이어도 된다.
그 외, 본 발명의 취지에 반하지 않는 한에 있어서 다양한 실시 형태의 변형이나 조합을 행해도 상관없다.
100 … 가스 분석 장치(광학 분석 장치) 2 … 광학 측정용 셀
3 … 광 조사부 4 … 광 검출부
5 … 농도 산출부 W1, W2 … 투광창
221 … 창재 221a … 외측 둘레면
222a … 접합 지지부 222b … 플랜지부
222M … 고리 모양의 홈 222K … 내측 벽부
223 … 저열팽창 부재 224a … 제1 경사면
224b … 제2 경사면 225 … 고정 기구
226 … 열 변형 흡수부

Claims (9)

  1. 광이 투과하는 투광창을 가지며, 내부에 시료가 도입되는 광학 측정용 셀로서,
    상기 투광창을 형성하는 평판 모양의 창재(窓材)와,
    상기 창재의 주면(主面)에 있어서의 외부 가장자리부에 접합되어 상기 창재를 지지하는 접합 지지부와,
    상기 접합 지지부의 외측 둘레면에 마련되고, 상기 접합 지지부의 열팽창률보다도 낮은 열팽창률을 가지는 저열팽창 부재를 가지는 광학 측정용 셀.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 저열팽창 부재는 상기 접합 지지부의 외측 둘레면에 밀착해서 마련되어 있는 광학 측정용 셀.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 저열팽창 부재는 상기 접합 지지부의 외측 둘레면에 끼워 맞춰져 있는 광학 측정용 셀.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 접합 지지부의 외측 둘레면은, 상기 창재로부터 멀어짐에 따라서 외형 치수가 커지는 제1 경사면을 가지고,
    상기 저열팽창 부재의 내측 둘레면은, 상기 접합 지지부의 상기 제1 경사면에 대응하는 제2 경사면을 가지며,
    상기 접합 지지부의 상기 제1 경사면과 상기 저열팽창 부재의 상기 제2 경사면을 밀착시킨 상태로, 상기 저열팽창 부재를 고정하는 고정 기구를 더 구비하는 광학 측정용 셀.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 창재를 둘러싸도록 상기 접합 지지부에 연속해서 마련된 플랜지부를 더 구비하고,
    상기 플랜지부에 있어서 상기 접합 지지부측의 면에는, 상기 접합 지지부를 둘러싸도록 고리 모양의 홈이 형성되어 있는 광학 측정용 셀.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 플랜지부에 있어서의 상기 홈의 내측에 위치하는 내측 벽부의 벽 두께는, 상기 접합 지지부의 벽 두께보다도 작은 광학 측정용 셀.
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 플랜지부의 상기 홈의 저부에 열 변형 흡수부가 마련되어 있는 광학 측정용 셀.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 저열팽창 부재는 상기 창재의 외측 둘레면의 측방에는 위치하고 있지 않은 광학 측정용 셀.
  9. 청구항 1에 기재된 광학 측정용 셀과,
    상기 광학 측정용 셀에 광을 조사하는 광 조사부와,
    상기 광학 측정용 셀을 투과한 광을 검출하는 광 검출부와,
    상기 광 검출부에 의해 얻어진 광 강도 신호를 이용하여 상기 시료 중의 성분 농도를 산출하는 농도 산출부를 구비하는 광학 분석 장치.
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