KR20220039884A - 링 부재 및 포커스 링 - Google Patents

Abstract

본 발명은 링 부재를 제공한다. 플라즈마를 이용하여 기판을 처리하는 공정 챔버에 제공되는 링 부재는, 상기 링 부재는, 링 형상을 가지고, 상면, 그리고 상기 링 부재를 수납하는 용기에 제공되는 얼라인 핀이 삽입되는 정렬 홈이 형성된 하면을 가질 수 있다.

Description

링 부재 및 포커스 링{RING MEMBER AND FOCUS RING}

본 발명은 링 부재 및 포커스 링에 관한 것으로, 보다 상세하게는 플라즈마를 이용하여 기판을 처리하는 공정 챔버 내에 제공되는 링 부재 및 포커스 링에 관한 것이다.

플라즈마는 이온이나 라디칼, 그리고 전자 등으로 이루어진 이온화 된 가스 상태를 말한다. 플라즈마는 매우 높은 온도나, 강한 전계 혹은 고주파 전자계(RF Electromagnetic Fields)에 의해 생성된다. 반도체 소자 제조 공정은 플라즈마를 이용하여 웨이퍼 등의 기판 상에 형성된 박막을 제거하는 에칭 공정을 포함할 수 있다. 에칭 공정은 플라즈마에 함유된 이온 및/또는 라디칼들이 기판 상의 박막과 충돌하거나, 박막과 반응됨으로써 수행된다.

이러한 플라즈마를 이용하여 기판을 처리하는 장치는 진공 분위기로 된 공정 챔버, 공정 챔버 내에서 기판을 지지하는 지지 척과, 지지 척에 안착된 기판의 외주를 둘러싸는 포커스 링을 포함한다. 포커스 링은 기판 표면 상에서 플라즈마를 균일성 높게 분포시키기 위해서 설치되며, 플라즈마에 의해 기판과 함께 에칭된다. 기판에 대한 에칭이 반복적으로 행해지면, 포커스 링도 함께 에칭 되기에 포커스 링의 형상은 점차 변화된다. 이러한 포커스 링의 형상 변화에 따라 이온 및/또는 라디칼이 기판에 입사하는 방향이 변화되어 기판에 대한 에칭 특성이 변화된다. 따라서, 기판에 대한 에칭 처리가 소정 매수 이상 수행되는 경우, 또는 포커스 링의 형상이 변화되어 허용 범위 밖에 있는 경우에는 포커스 링에 대한 교체가 필요하다.

포커스 링의 교체는 반송 로봇이 사용된 포커스 링을 공정 챔버에서 반출하여 링 포드(Ring Pod)로 반입하고, 이후 링 포드에서 신규 포커스 링을 반출하여 공정 챔버로 반입한다. 이때, 반송 로봇이 신규 포커스 링을 공정 챔버 내의 원하는 위치에 적절히 안착시키기 위해서는, 반송 로봇이 링 포드에서 신규 포커스 링을 반출시 정확한 위치에서 신규 포커스 링을 들어 올려야 한다. 즉, 링 포드에 수납된 신규 포커스 링의 위치가 정확하지 않으면, 신규 포커스 링이 공정 챔버 내에 안착되는 위치는 정 위치에서 벗어난다. 이에, 신규 포커스 링을 공정 챔버 내의 원하는 위치에 적절히 안착시키기 위해서는, 선결적으로 링 포드 내에서 신규 포커스 링의 위치가 적절히 정렬되는 것이 필요하다.

그러나, 링 포드 내에 수납된 신규 포커스 링은 작업자가 링 포드를 오픈하고, 오픈된 링 포드 내로 직접 반입시킨다. 이에, 링 포드 내에 수납된 신규 포커스 링의 위치는 작업자의 숙련도에 따라 달라질 수 있다. 또한, 링 포드가 오버 헤드 트랜스퍼 장치(Overhead Transport Apparatus)에 의해 반송되는 과정에서 링 포드 내에 수납된 신규 포커스 링의 위치는 변경될 수 있다. 즉, 링 포드 내에 수납된 신규 포커스 링이 적절히 정렬되지 않거나, 적절히 정렬되어 있더라도 용기가 이송되는 과정에서 그 위치가 변경됨에 따라 신규 포커스 링은 공정 챔버 내에 적절히 안착되지 못할 수 있다. 이는 기판에 대한 에칭 특성의 정밀 제어를 어렵게 한다.

본 발명은 용기 내에서 그 위치를 쉽게 정렬할 수 있는 링 부재 및 포커스 링을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재들로부터 통상의 기술자가 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명은 링 부재를 제공한다. 플라즈마를 이용하여 기판을 처리하는 공정 챔버에 제공되는 링 부재는, 상기 링 부재는, 링 형상을 가지고, 상면, 그리고 상기 링 부재를 수납하는 용기에 제공되는 얼라인 핀이 삽입되는 정렬 홈이 형성된 하면을 가질 수 있다.

일 실시 예에 의하면, 상기 정렬 홈은, 상기 하면에 복수로 형성될 수 있다.

일 실시 예에 의하면, 상기 정렬 홈은, 상기 얼라인 핀과 대응하는 형상을 가질 수 있다.

일 실시 예에 의하면, 상기 정렬 홈은, 상기 링 부재의 단면에서 바라볼 때, 원 뿔 형상을 가질 수 있다.

일 실시 예에 의하면, 상기 정렬 홈은, 상기 링 부재의 단면에서 바라볼 때, 하부는 원 통 형상을 가지고, 상부는 상부가 절단된 원 뿔 형상을 가질 수 있다.

일 실시 예에 의하면, 상기 정렬 홈은, 상기 링 부재의 단면에서 바라볼 때, 하부는 원 통 형상을 가지고, 상부는 원 뿔 형상을 가질 수 있다.

일 실시 예에 의하면, 상기 정렬 홈은, 상기 링 부재의 단면에서 바라 볼 때, 하부는 원 통 형상을 가지고, 상부는 하부가 절단된 구 형상을 가질 수 있다.

또한, 본 발명은 포커스 링을 제공한다. 플라즈마를 이용하여 기판을 처리하는 공정 챔버에 제공되는 포커스 링은, 상면, 그리고 상기 링 부재를 수납하는 용기에 제공되는 얼라인 핀이 삽입되는 정렬 홈이 형성된 하면을 가질 수 있다.

일 실시 예에 의하면, 상기 정렬 홈은, 상기 하면에 복수로 형성될 수 있다.

일 실시 예에 의하면, 상기 정렬 홈은, 상기 얼라인 핀과 대응하는 형상을 가질 수 있다.

일 실시 예에 의하면, 상기 포커스 링의 단면에서 바라볼 때, 상기 정렬 홈은 상부, 그리고 하부를 포함하고, 상부에서 바라본 상기 정렬 홈의 상부 직경은, 하부 직경보다 작은 부분을 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시 예에 의하면, 용기 내에서 그 위치를 쉽게 정렬할 수 있다.

본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면들로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 보여주는 평면도이다.
도 2는 도 1의 용기를 보여주는 도면이다.
도 3은 도 2의 도어를 보여주는 도면이다.
도 4는 도 2의 지지 슬롯, 그리고 얼라인 블록의 일 예를 보여주는 도면이다.
도 5는 도 2의 지지 부에 안착되는 소모성 부품을 보여주는 도면이다.
도 6은 도 5의 소모성 부품을 A-A' 방향에서 바라본 단면도이다.
도 7, 그리고 도 8은 지지 슬롯에 설치되는 얼라인 블록의 다른 예들을 보여주는 도면들이다.
도 9는 도 2의 용기에 안착되는 캐리어, 그리고 캐리어를 지지하는 캐리어 지지 구조의 모습을 보여주는 도면이다.
도 10는 내부 공간이 개방된 도 2의 용기의 정면도이다.
도 11은 도 10의 노치 정렬 부재, 그리고 노치 정렬 부재에 의해 정렬되는 센서의 모습을 보여주는 도면이다.
도 12는 용기의 내부 공간으로 공정 챔버에서 사용된 소모성 부품이 반입되는 모습을 보여주는 도면이다.
도 13은 용기의 내부 공간에서 미사용 소모성 부품이 반출되는 모습을 보여주는 도면이다.
도 14는 얼라인 블록의 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 15는 도 14의 얼라인 핀이 삽입되는 정렬 홈을 가지는 소모성 부품을 보여주는 도면이다.
도 16은 얼라인 블록의 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 17은 도 16의 얼라인 핀이 삽입되는 정렬 홈을 가지는 소모성 부품을 보여주는 도면이다.
도 18은 얼라인 블록의 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 19는 도 18의 얼라인 핀이 삽입되는 정렬 홈을 가지는 소모성 부품을 보여주는 도면이다.
도 20은 얼라인 블록의 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 21은 도 20의 얼라인 핀이 삽입되는 정렬 홈을 가지는 소모성 부품을 보여주는 도면이다.
도 22는 노치 정렬 부재의 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 23, 그리고 도 24는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 용기를 보여주는 도면들이다.
도 25는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 얼라인 블록을 보여주는 도면이다.
도 26은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 지지 슬롯을 보여주는 도면이다.
도 27은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 용기의 지지 부를 보여주는 도면이다.
도 28은 도 27의 지지 핑거를 보여주는 도면이다.

아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.

어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.

이하에서는, 도 1 내지 도 16을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 개략적으로 보여주는 평면도이다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치(1000)는 인덱스 부(100), 공정 처리 부(300), 그리고 제어기(500)를 포함할 수 있다. 인덱스 부(100)와 공정 처리 부(300)는 상부에서 바라볼 때 제1방향(X)을 따라 배열될 수 있다. 이하에서는, 상부에서 바라볼 때, 제1방향(X)과 수직한 방향을 제2방향(Y)으로 정의한다. 또한, 제1방향(X) 및 제2방향(Y)과 수직한 방향을 제3방향(Z)으로 정의한다. 여기서 제3방향(Z)은 지면에 대하여 수직한 방향을 의미할 수 있다.

인덱스 부(100)는 로드 포트(110), 인덱스 챔버(130), 제1반송 로봇(150), 그리고 사이드 버퍼(170)를 포함할 수 있다.

로드 포트(110)에는 용기(200)가 안착될 수 있다. 로드 포트(110)에 안착되는 용기(200) 중 어느 일부는 용기(200)는 공정 처리 부(300)로 반송되는 기판(예컨대, 웨이퍼)을 수납할 수 있다. 또한, 로드 포트(110)에 안착되는 용기(200) 중 다른 일부는 용기(200)는 공정 처리 부(300)로 반송되는 소모성 부품(R) 및/또는 센서(WS)를 수납할 수 있다. 또한, 로드 포트(110)에 안착되는 용기(200) 중 다른 일부는 용기(200)는 소모성 부품(R)을 반송하는 캐리어(C)를 수납할 수도 있다. 용기(200)는 용기 반송 장치에 의해 로드 포트(110)로 반송되어 로드 포트(110)에 로딩(Loading)되거나, 로드 포트(110)로부터 언 로딩(Unloading)되어 반송될 수 있다. 용기 반송 장치는 오버 헤드 트랜스퍼 장치(Overhead transport apparatus, 이하 OHT)일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니고, 용기(200)를 반송하는 다양한 장치에 의해 반송될 수 있다. 또한, 작업자가 용기(200)를 직접 로드 포트(110)에 로딩시키거나, 로드 포트(110)에 안착된 용기(200)를 로드 포트(110)로부터 언 로딩시킬 수 있다.

로드 포트(110)와 공정 처리 부(300) 사이에는 인덱스 챔버(130)가 제공될 수 있다. 인덱스 챔버(130)는 대기 분위기로 유지될 수 있다. 인덱스 챔버(130)의 일 측에는 보관부인 사이드 버퍼(170)가 설치될 수 있다. 또한, 사이드 버퍼(170) 중 일부에는 기판, 소모성 부품(R) 및/또는 센서(WS)를 정렬하는 정렬 유닛이 제공될 수 있다.

또한, 인덱스 챔버(130)에는 제1반송 로봇(150)이 제공될 수 있다. 제1반송 로봇(150)은 로드 포트(110)에 안착된 용기(200), 후술하는 로드락 챔버(310), 그리고 사이드 버퍼(170)의 사이에서 기판, 소모성 부품(R), 그리고 센서(WS)를 반송할 수 있다.

공정 처리 부(300)는 로드락 챔버(310), 반송 챔버(330), 제2반송 로봇(350), 그리고 공정 챔버(370)를 포함할 수 있다.

로드락 챔버(310)는 반송 챔버(330), 그리고 인덱스 챔버(130) 사이에 배치될 수 있다. 로드락 챔버(310)는 기판, 소모성 부품(R), 그리고 센서(WS)가 임시 저장되는 공간을 제공한다. 로드락 챔버(310)에는 도시하지 않은 진공 펌프, 그리고 밸브가 설치되어 그 내부 분위기가 대기 분위기와 진공 분위기 사이에서 전환될 수 있다. 후술하는 반송 챔버(330)의 내부 분위기는 진공 분위기로 유지되어 있기 때문에, 로드락 챔버(310)에서는 반송 챔버(330), 그리고 인덱스 챔버(130) 사이에서 기판, 소모성 부품(R), 그리고 센서(WS) 등을 반송하기 위해서 그 분위기가 대기 분위기와 진공 분위기 사이에서 전환될 수 있다.

반송 챔버(330)는 로드락 챔버(310), 그리고 공정 챔버(370) 사이에 배치될 수 있다. 반송 챔버(330)는 상술한 바와 같이 내부 분위기가 진공 분위기로 유지될 수 있다. 또한, 반송 챔버(330)에는 제2반송 로봇(350)이 제공될 수 있다. 제2반송 로봇(350)은 로드락 챔버(310)와 공정 챔버(370) 사이에서 기판, 소모성 부품(R), 그리고 센서(WS)를 반송할 수 있다.

반송 챔버(330)에는 적어도 하나 이상의 공정 챔버(370)가 접속될 수 있다. 공정 챔버(370)는 기판에 대하여 공정을 수행하는 챔버일 수 있다. 공정 챔버(370)는 기판에 처리 액을 공급하여 기판을 처리하는 액 처리 챔버일 수 있다. 또한, 공정 챔버(370)는 플라즈마를 이용하여 기판을 처리하는 플라즈마 챔버일 수 있다. 또한, 공정 챔버(370)들 중 어느 일부는 기판에 처리 액을 공급하여 기판을 처리하는 액 처리 챔버일 수 있고, 공정 챔버(370)들 중 다른 일부는 플라즈마를 이용하여 기판을 처리하는 플라즈마 챔버일 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고 공정 챔버(370)에서 수행하는 기판 처리 공정은 공지된 기판 처리 공정으로 다양하게 변형될 수 있다. 또한, 공정 챔버(370)가 플라즈마를 이용하여 기판을 처리하는 플라즈마 챔버인 경우, 플라즈마 챔버는 플라즈마를 이용하여 기판 상의 박막을 제거하는 에칭 또는 애싱 공정을 수행하는 챔버일 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고 공정 챔버(370)에서 수행하는 플라즈마 처리 공정은 공지된 플라즈마 처리 공정으로 다양하게 변형될 수 있다.

또한, 도 1에서는 반송 챔버(330)가 상부에서 바라볼 때, 대체로 육각 형의 형상을 가지고, 반송 챔버(330)에 접속된 공정 챔버(370)의 수가 4 개 인 것을 예로 들어 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 반송 챔버(330)의 형상과 공정 챔버(370)의 수는 사용자의 필요, 처리가 요구되는 기판의 숫자에 따라 다양하게 변형될 수 있다.

이하에서는, 본 발명의 일 실시 예에 따른 용기(200)에 대하여 상세히 설명한다. 구체적으로, 이하에서는 용기(200)들 중 소모성 부품(R) 및/또는 센서(WS)를 수납하는 용기(200)에 대하여 상세히 설명한다. 용기(200)는 미사용된 소모성 부품(R)을 수납할 수 있다. 이에, 공정 챔버(370)의 소모성 부품(R)에 교체가 필요한 경우, 용기(200)에 수납된 미사용된 소모성 부품(R)이 공정 챔버(370)로 반송될 수 있다. 또한, 공정 챔버(370)에서 사용된 소모성 부품(R)은 용기(200)로 반입될 수 있다.

도 2는 도 1의 용기를 보여주는 도면이다. 도 2를 참조하면, 용기(200)는 하우징(210), 플랜지(220), 그립 부(230), 도어(240), 지지 부(250), 캐리어 지지 구조(270), 그리고 노치 정렬 부재(280)를 포함할 수 있다.

하우징(210)은 내부 공간을 가질 수 있다. 하우징(210)의 내부 공간에는 소모성 부품(R), 센서(WS), 그리고 캐리어(C)들 중 적어도 어느 하나가 수납될 수 있다. 하우징(210)의 상면에는 플랜지(220)가 설치될 수 있다. 플랜지(220)는 용기 반송 장치, 예컨대 오버 헤드 트랜스퍼 장치(OHT)가 가지는 그립퍼에 의해 파지될 수 있다.

또한, 하우징(210)의 측면에는 그립 부(230)가 설치될 수 있다. 그립 부(230)는 하우징(210)의 양 측면에 설치될 수 있다. 그립 부(230)는 작업자로 하여금 용기(200)를 파지할 수 있게 하는 핸들일 수 있다. 이에, 작업자는 그립 부(230)를 파지하여 용기(200)를 로드 포트(110)에 직접 안착시키거나, 로드 포트(110)로부터 용기(200)를 분리할 수 있다.

도어(240)는 하우징(210)의 내부 공간을 선택적으로 개폐시킬 수 있다. 도어(240)는 하우징(210)과 서로 조합되어 내부 공간을 형성할 수 있다. 도어(240)는 하우징(210)의 전면 부에 도킹되거나, 하우징(210)의 전면 부로부터 언 도킹될 수 있다. 도어(240)가 가지는 면들 중 하우징(210)의 내부 공간과 대향하는 면에는 도 3에 도시된 바와 같이 내부 공간에 수납된 소모성 부품(R) 및/또는 센서(WS)를 클램핑하는 리테이너(242)가 제공될 수 있다. 리테이너(242)는 상하 방향을 따라 연장되는 구조를 가질 수 있다. 리테이너(242)는 내부 공간에 수납된 소모성 부품(R) 및/또는 센서(WS)의 측부를 클램핑 하여, 내부 공간에 수납된 소모성 부품(R) 및/또는 센서(WS)의 위치 변경을 제한시킬 수 있다.

다시 도 2를 참조하면, 하우징(210)의 내부 공간에는 지지 부(250)가 제공될 수 있다. 지지 부(250)는 하우징(210)의 내부 공간에서 소모성 부품(R) 및/또는 센서(WS)를 지지할 수 있다. 지지 부(250)는 지지 슬롯(252), 분리 판(256), 그리고 얼라인 블록(260)을 포함할 수 있다.

지지 슬롯(252)은 바(Bar) 형상을 가질 수 있다. 지지 슬롯(252)은 소모성 부품(R) 및/또는 센서(WS)를 지지할 수 있다. 지지 슬롯(252)은 소모성 부품(R) 및/또는 센서(WS)의 가장자리 영역 저면을 지지할 수 있다. 예컨대, 지지 슬롯(252)은 소모성 부품(R) 및/또는 센서(WS)의 가장자리 영역 저면의 적어도 일부를 지지할 수 있다. 또한, 지지 슬롯(252)은 소모성 부품(R) 및/또는 센서(WS)의 가장자리 영역 저면의 일 측 및 타 측을 지지할 수 있다.

지지 슬롯(252)은 적어도 하나 이상이 제공될 수 있다. 예컨대, 지지 슬롯(252)은 복수로 제공될 수 있다. 또한, 지지 슬롯(252)들은 상하 방향인 제3방향(Z)을 따라 배열될 수 있다. 이에, 지지 슬롯(252)들에 의해 지지되는 소모성 부품(R) 및/또는 센서(WS)들은 상하 방향을 따라 하우징(210)의 내부 공간에서 수납 될 수 있다.

분리 판(256)은 하우징(210)의 내부 공간을 구획할 수 있다. 예컨대, 분리 판(256)은 하우징(210)의 내부 공간을 캐리어(C)가 수납되는 공간, 그리고 소모성 부품(R) 및/또는 센서(WS)가 수납되는 공간으로 분리할 수 있다. 분리 판(256)은 지지 슬롯(252)들 중 가장 아래에 설치되는 지지 슬롯(252)에 결합될 수 있다. 예컨대, 분리 판(256)은 지지 슬롯(252)들 중 가장 아래에 설치되는 지지 슬롯(252)의 하면과 결합될 수 있다. 분리 판(256)은 하우징(210)의 내부 공간을 캐리어(C)가 수납되는 공간, 그리고 소모성 부품(R) 및/또는 센서(WS)가 수납되는 공간으로 분리하여, 제1반송 로봇(150)의 핸드가 하우징(210)의 내부 공간으로 반입시, 캐리어(C)와 제1반송 로봇(150)의 핸드가 서로 충돌하는 위험을 최소화 할 수 있다. 또한, 분리 판(256)은 하우징(210)의 내부 공간으로 사용된 소모성 부품(R)이 반입시, 소모성 부품(R)에 부착된 불순물이 캐리어(C)에 전달되는 것을 최소화 할 수 있다.

도 4는 도 2의 지지 슬롯, 그리고 얼라인 블록의 일 예를 보여주는 도면이다. 도 4를 참조하면, 얼라인 블록(260)은 지지 슬롯(252)에 탈착 가능하게 설치될 수 있다. 얼라인 블록(260)은 지지 슬롯(252)에 삽입될 수 있게 제공될 수 있다. 지지 슬롯(252)에 삽입된(끼워진) 얼라인 블록(260)은 결합 수단(266)에 의해 고정 결합될 수 있다.

얼라인 블록(260)의 면들 중 지지 슬롯(252)과 접촉되는 면들 중 적어도 어느 하나에는 얼라인 블록(260)의 삽입을 가이드하는 돌출 부(262)가 형성될 수 있다. 예컨대, 돌출 부(262)는 얼라인 블록(260)이 삽입되는 방향을 기준으로 얼라인 블록(260)의 좌/우 측면에 형성될 수 있다. 또한, 지지 슬롯(252)의 얼라인 블록(260)과 접촉되는 면들 중 적어도 어느 하나는 돌출 부(262)와 대응하는 형상을 가지는 가이드 홈(253)이 형성될 수 있다. 예컨대, 가이드 홈(253)은 지지 슬롯(252)에 삽입되는 얼라인 블록(260)의 돌출 부(262)와 대응하는 위치에 형성될 수 있다.

또한, 상술한 예에서는 얼라인 블록(260)에 돌출 부(262)가 형성되고, 지지 슬롯(252)에 가이드 홈(253)이 형성되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니고, 이와 달리 얼라인 블록(260)에 가이드 홈이 형성되고, 지지 슬롯(252)에 돌출 부가 형성될 수도 있다.

또한, 지지 부(250)는 지지 슬롯(252)에 삽입된 얼라인 블록(260)의 위치를 가이드 하는 적어도 하나 이상의 가이드 핀(254)을 포함할 수 있다. 예컨대, 가이드 핀(254)은 지지 슬롯(252)과 얼라인 블록(260)이 접촉되는 면 중 어느 하나에 제공될 수 있다. 가이드 핀(254)은 얼라인 블록(260)에 형성된 홀(미도시)에 삽입될 수 있다. 예컨대, 가이드 핀(254)이 삽입되는 홀은 얼라인 블록(260)이 지지 슬롯(252)에 삽입되는 방향을 기준으로 얼라인 블록(260)의 전면에 형성될 수 있다. 또한, 가이드 핀(254)은 얼라인 블록(260)에 형성되는 홀과 대응하는 위치에 제공될 수 있다. 가이드 홈(253), 가이드 핀(254), 그리고 돌출 부(262) 및 홀(미도시)은 얼라인 블록(260)이 지지 슬롯(252)에 적절히 삽입되는 것을 돕고, 삽입된 얼라인 블록(260)의 위치가 변경 및 얼라인 블록(260)이 지지 슬롯(252)에 헐겁게 끼워지는 것을 방지할 수 있다.

얼라인 블록(260)에는 얼라인 핀(264)이 제공될 수 있다. 얼라인 핀(264)은 얼라인 블록(260)의 상면에 제공될 수 있다. 이에, 얼라인 블록(260)이 지지 슬롯(252)에 끼워지면, 지지 슬롯(252)은 지지하는 소모성 부품(R)의 위치를 정렬할 수 있다.

예컨대, 도 5는 도 2의 지지 부에 안착되는 소모성 부품을 보여주는 도면이고, 도 6은 도 5의 소모성 부품을 A-A' 방향에서 바라본 단면도이다. 도 5, 그리고 도 6을 참조하면 소모성 부품(R)은 링 형상을 가질 수 있다. 소모성 부품(R)은 공정 챔버(370)에 제공되는 프로세스 킷(Process Kit)일 수 있다. 예컨대, 소모성 부품(R)은 공정 챔버(370)에 제공되는 링 부재일 수 있다. 예컨대, 소모성 부품(R)은 ISO 링 이거나, 포커스 링일 수 있다. 소모성 부품(R)은 상면, 그리고 하면을 가질 수 있다. 소모성 부품(R)의 하면에는 정렬 홈(G, Groove)이 형성될 수 있다. 소모성 부품(R)의 상면에 정렬 홈(G)이 형성되는 경우, 소모성 부품(R)이 공정 챔버(370)로 반입되어 기판(W) 처리시, 정렬 홈(G)이 기판(W)에 대한 처리에 영향을 주는 것을 최소화 하기 위함이다. 소모성 부품(R)의 하면에 형성되는 정렬 홈(G)은 복수로 제공될 수 있다. 정렬 홈(G) 각각에는 얼라인 블록(260)에 제공되는 얼라인 핀(264)이 삽입되어 소모성 부품(R)의 위치를 정렬할 수 있다. 정렬 홈(G)이 복수로 형성되므로, 소모성 부품(R)에 얼라인 핀(264)이 삽입되는 경우, 소모성 부품(R)을 보다 안정적으로 정렬할 수 있게 된다.

즉, 본 발명의 일 실시 예에 따른 얼라인 핀(264)은 용기(200)에 수납된 소모성 부품(R)에 형성된 홈(G)에 삽입되어 소모성 부품(R)의 위치를 정렬할 수 있다. 이에, 작업자의 작업 숙련도가 다소 떨어지더라도, 소모성 부품(R)을 용기(200) 내에 안착시 소모성 부품(R)의 홈(G)과 얼라인 핀(264)의 위치를 일치시키는 것만으로도 소모성 부품(R)이 정 위치에 정렬될 수 있다. 이에, 소모성 부품(R)이 용기(200) 내에서 정렬되지 않아 공정 챔버(370)에 반송된 소모성 부품(R)이 공정 챔버(370) 내의 정 위치에 적절히 안착되지 못하는 문제를 해소할 수 있다. 또한, 얼라인 핀(264)은 소모성 부품(R)에 형성된 홈(G)에 삽입되어, 용기(200)의 반송시 소모성 부품(R)의 위치 변경을 제한할 수 있다. 이에, 용기(200)가 반송되는 과정에서 소모성 부품(R)의 위치가 변경되어 공정 챔버(370) 내의 정 위치에 적절히 안착되지 못하는 문제를 해소할 수 있다.

또한, 얼라인 블록(260)은 복수의 종류로 제공될 수 있다. 복수의 종류로 제공되는 얼라인 블록(260)들 각각에 제공되는 얼라인 핀(264)의 위치는 서로 상이할 수 있다. 도 4에 도시된 얼라인 블록(260)을 제1얼라인 블록(260a)이라 가정하면, 얼라인 핀(264)의 위치가 제1얼라인 블록(260a)과 상이한 얼라인 블록(260)들을 중 선택된 어느 하나의 얼라인 블록(260)을 용기(200)의 지지 슬롯(252)에 설치할 수 있다. 예컨대, 도 7, 그리고 도 8에 도시된 바와 같이 얼라인 핀의 위치가 제1얼라인 블록(260a)과 상이한 제2얼라인 블록(260b) 또는 제3얼라인 블록(260c)을 지지 슬롯(252)에 설치할 수 있다.

기판에 요구되는 처리 조건(예컨대, 에칭 조건)에 따라 공정 챔버(370)에 제공되는 소모성 부품(R)의 종류는 상이할 수 있다. 예컨대, 소모성 부품(R)들은 처리 조건에 따라 그 형상 및/또는 크기가 서로 상이할 수 있다. 또한, 소모성 부품(R)의 종류에 따라 소모성 부품(R)의 저면에 형성되는 정렬 홈(G)의 위치는 서로 상이할 수 있다. 이는 소모성 부품(R)의 형상 및/또는 크기가 서로 상이할 수 있기 때문이다.

본 발명의 일 실시 예에 의하면, 얼라인 블록(260)은 지지 슬롯(252)에 탈착 가능하게 제공된다. 또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면 얼라인 핀의 위치가 상이한 여러 종류의 얼라인 블록(260)들이 제공될 수 있다. 또한, 사용자는 공정 챔버(370)에 제공되는 소모성 부품(R)의 종류에 따라 여러 종류의 얼라인 블록(260)들 중 하나 이상의 종류를 선택하여 지지 슬롯(252)에 설치할 수 있다. 즉, 본 발명은 지지 슬롯(252)에 설치되는 얼라인 블록(260)의 종류를 변경하여, 용기(200)의 소모성 부품(R)에 대한 수납 범용성을 보다 확보할 수 있다.

도 9는 도 2의 용기에 안착되는 캐리어, 캐리어가 안착되는 안착 부의 모습을 보여주는 도면이다. 도 9를 참조하면, 캐리어(C)는 소모성 부품(R)을 반송하는데 사용될 수 있다. 캐리어(C)는 상부에서 바라볼 때 대체로 사다리 꼴의 형상을 가지되, 캐리어(C)가 가지는 면들 중 어느 하나는 라운드(Round)진 형상을 가질 수 있다. 캐리어(C)는 캐리어 지지 구조(270)에 의해 용기(200)의 내부 공간에 저장될 수 있다. 또한, 핸드를 가지는 제1반송 로봇(150)에 의해 회수될 수 있다.

캐리어 지지 구조(270)는 캐리어(C)를 지지할 수 있다. 캐리어 지지 구조(270)는 하우징(210)의 내부 공간에서 캐리어(C)를 지지할 수 있다. 캐리어 지지 구조(270)는 지지 부(250)보다 아래에 배치될 수 있다. 캐리어 지지 구조(270)는 분리 판(256)이 구획하는 내부 공간 중 아래에 위치되는 내부 공간에 설치될 수 있다. 캐리어 지지 구조(270)는 제1지지 구조(272), 그리고 제2지지 구조(274)를 포함할 수 있다. 제2지지 구조(274)는 한 쌍으로 제공될 수 있다. 제1지지 구조(272), 그리고 한 쌍의 제2지지 구조(274)는 캐리어(C)의 하면을 세 지점에서 지지할 수 있다.

도 10은 내부 공간이 개방된 도 2의 용기의 정면도이다. 도 10을 참조하면, 지지 부(250)는 내부 공간에서 센서(WS)를 지지할 수 있다. 예컨대, 지지 부(250)의 지지 슬롯(252)들 중 최 상단에 위치하는 지지 슬롯(252)은 센서(WS)를 지지할 수 있다.

또한, 용기(200)는 노치 정렬 부재(280)를 더 포함할 수 있다. 노치 정렬 부재(280)는 하우징(210)의 내벽면들 중, 도어(240)가 결합되는 면과 마주보는 내벽면에 설치될 수 있다. 또한, 노치 정렬 부재(280)는 지지 슬롯(252)들 중 최 상단에 위치하는 지지 슬롯(252)에 안착된 센서(WS)의 높이와 대향하는 높이에 설치될 수 있다. 또한, 도 11에 도시된 바와 같이 노치 정렬 부재(280)는 상부에서 바라볼 때, 센서(WS)에 형성된 노치(N)와 대응하는 형상을 가지는 볼록 부를 포함할 수 있다. 이에, 용기(200)의 내부 공간으로 센서(WS)가 반입되면, 노치 정렬 부재(280)는 노치(N)가 형성된 센서(WS)를 정렬할 수 있다. 예컨대, 노치 정렬 부재(280)는 노치(N)가 형성된 센서(WS)의 위치, 그리고 방향을 정렬할 수 있다.

용기(200)에 반입 가능한 센서(WS)는 기판 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 센서(WS)는 웨이퍼 형 센서일 수 있다. 센서(WS)는 공정 챔버(370) 내로 반송되어, 공정 챔버(370)에서 수행되는 공정을 모니터링 할 수 있는 툴(Tool)일 수 있다. 또한, 센서(WS)는 공정 챔버(370)에서 수행되는 공정, 그리고 공정 챔버(370) 내에 제공되는 기재들의 상태들에 대한 정보를 수집할 수 있다. 또한, 센서(WS)는 수집된 정보를 저장하고, 저장된 정보를 무선 통신 방법으로 제어기(500)로 송신할 수 있다.

다시 도 1을 참조하면, 제어기(500)는 기판 처리 장치(1000)를 제어할 수 있다. 제어기(500)는 기판 처리 장치(1000)가 기판에 대한 처리 공정을 수행할 수 있도록 기판 처리 장치(1000)를 제어할 수 있다. 예컨대, 제어기(500)는 처리가 요구되는 기판이 수납된 용기(200)로부터 기판을 반출하고, 반출된 기판을 공정 챔버(370)로 반송하도록 기판 처리 장치(1000)를 제어할 수 있다. 또한, 제어기(500)는 공정 챔버(370)에서 수행되는 공정을 모니터링 하기 위해, 센서(WS)가 수납된 용기(200)로부터 센서(WS)를 반출하고, 반출된 센서(WS)를 공정 챔버(370)로 반송하도록 기판 처리 장치(1000)를 제어할 수 있다.

또한, 제어기(500)는 공정 챔버(370)에서 소정 매수에 대한 기판의 처리가 수행되거나, 공정 챔버(370)에 제공되는 소모성 부품(R)의 형상이 허용 범위를 벗어날 만큼 변형된 경우, 공정 챔버(370)에 제공되는 소모성 부품(R)의 교체를 수행하도록 기판 처리 장치(1000)를 제어할 수 있다. 예컨대, 제어기(500)는 공정 챔버(370)로부터 사용된 소모성 부품(R)을 반출하도록 제2반송 로봇(350)을 제어할 수 있다. 또한, 제어기(500)는 공정 챔버(370)로부터 반출된 사용된 소모성 부품(R)을 로드락 챔버(310)로 반송하도록 제2반송 로봇(350)을 제어할 수 있다. 또한, 제어기(500)는 로드락 챔버(310)에 반송된 사용된 소모성 부품(R)을 제1반송 로봇(150)이 반출하도록 제1반송 로봇(150)을 제어할 수 있다. 또한, 제어기(500)는 로드락 챔버(310)에서 반출된 사용된 소모성 부품(R)을 용기(200) 내로 반송하도록 제1반송 로봇(150)을 제어할 수 있다. 또한, 제어기(500)는 미사용된 소모성 부품(R)을 용기(200)로부터 반출하도록 제1반송 로봇(150)을 제어할 수 있다. 또한, 제어기(500)는 미사용된 소모성 부품(R)을 로드락 챔버(310)로 반송하도록 제1반송 로봇(150)을 제어할 수 있다. 또한, 제어기(500)는 미사용된 소모성 부품(R)을 로드락 챔버(310)로부터 공정 챔버(370)로 반송하도록 제2반송 로봇(350)을 제어할 수 있다.

또한, 제어기(500)는 소모성 부품(R), 그리고 공정 챔버(370)에서 처리되는 기판의 반송 속도가 서로 상이하도록 제1반송 로봇(150) 및/또는 제2반송 로봇(350)을 제어할 수 있다. 예컨대, 제어기(500)는 소모성 부품(R)의 반송 속도가 공정 챔버(370)에서 처리되는 기판의 반송 속도보다 느리도록 제1반송 로봇(150) 및/또는 제2반송 로봇(350)을 제어할 수 있다. 소모성 부품(R)은 제1반송 로봇(150) 및/또는 제2반송 로봇(350)에 의해 반송될 때, 제1,2 반송 로봇(150, 350)의 핸드에 지지된 캐리어(C) 상에 놓인 채로 반송될 수 있다. 이때, 소모성 부품(R)의 반송 속도가 너무 빠른 경우, 소모성 부품(R)은 캐리어(C)로부터 미끄러지거나, 캐리어(C)로부터 이탈될 수 있다. 이에, 본 발명의 일 실시 예에 따른 제어기(500)는 소모성 부품(R)의 반송 속도를 기판의 반송 속도보다 느리게 하여 소모성 부품(R)이 반송되는 도중 캐리어(C)로부터 미끄러지거나, 이탈되는 문제점을 최소화 할 수 있다.

도 12는 용기의 내부 공간으로 공정 챔버에서 사용된 소모성 부품이 반입되는 모습을 보여주는 도면이다. 도 12를 참조하면, 공정 챔버에서 사용된 소모성 부품(R1)은 미사용 소모성 부품(R2)이 수납된 용기(200)의 내부 공간으로 반송될 수 있다. 용기(200)의 내부 공간으로 공정 챔버(370)에서 사용된 소모성 부품(R1)이 반입시, 사용된 소모성 부품(R)은 용기(200)에 수납된 미사용 소모성 부품(R2)보다 아래의 위치로 반송될 수 있다. 즉, 사용된 소모성 부품(R1)은 미사용 소모성 부품(R2)을 지지하는 지지 슬롯(252)보다 아래에 제공되는 지지 슬롯(252)에 반입될 수 있다.

사용된 소모성 부품(R1)에는 공정 챔버(370)에서 기판 처리 과정에서 발생되는 불순물, 파티클 등이 부착되어 있을 수 있는데, 사용된 소모성 부품(R1)이 미사용 소모성 부품(R2)보다 아래의 위치로 반송되어, 사용된 소모성 부품(R)에 부착된 불순물, 파티클 등이 미사용 소모성 부품(R2)에 부착되는 것을 방지할 수 있다.

도 13은 용기의 내부 공간에서 미사용 소모성 부품이 반출되는 모습을 보여주는 도면이다. 도 13을 참조하면, 용기(200)의 내부 공간에서 미사용 소모성 부품(R2)은 반출되어 공정 챔버(370)로 반송될 수 있다.

또한, 얼라인 블록(260)은 지지 슬롯(252)들 중 미사용 소모성 부품(R2)을 지지하는 지지 슬롯(252)에만 설치될 수 있다. 예컨대, 사용된 소모성 부품(R1)을 지지하는 지지 슬롯(252)에는 얼라인 블록(260)이 설치되지 않을 수 있다. 사용된 소모성 부품(R1)을 지지하는 지지 슬롯(252)에 얼라인 블록(260)이 설치되는 경우, 제1반송 로봇(150)은 소모성 부품(R)에 형성된 정렬 홈(G)과 얼라인 블록(260)의 얼라인 핀(264)의 위치를 맞추는 정렬 동작이 추가로 요구되게 된다. 그러나, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 미사용 소모성 부품(R2)을 지지하는 지지 슬롯(252)에만 얼라인 블록(260)이 설치된다. 이에, 사용된 소모성 부품(R1)을 용기(200)로 반입시 사용된 소모성 부품(R1)에 형성된 정렬 홈(G)의 위치와 얼라인 핀(264)의 위치를 맞추는 정렬 동작이 추가로 요구되지 않아 제1반송 로봇(150)의 동작을 보다 간소화 할 수 있는 장점이 있다.

그러나, 이에 한정되는 것은 아니고, 미사용 소모성 부품(R2)을 지지하는 지지 슬롯(252) 및 사용된 소모성 부품(R1)을 지지하는 지지 슬롯(252) 모두에 얼라인 블록(260)이 설치될 수도 있다. 제1반송 로봇(150)은 소모성 부품(R)에 형성된 정렬 홈(G)과 얼라인 블록(260)의 얼라인 핀(264)의 위치가 서로 대응되도록 소모성 부품(R)을 용기(200)의 내부 공간으로 반송할 수 있다. 예컨대, 제1반송 로봇(150)은 소모성 부품(R)의 정렬 홈(G)과 얼라인 블록(260)의 얼라인 핀(264)의 위치를 서로 맞추는 정렬 동작을 수행할 수 있다.

또한, 미사용 소모성 부품(R2)을 용기(200)로부터 반출시, 용기(200)에 수납된 미사용 소모성 부품(R2)들 중 가장 아래에 위치하는 미사용 소모성 부품(R2)이 반출될 수 있다. 또한, 미사용 소모성 부품(R2)이 안착되는 내부 공간과, 사용된 소모성 부품(R1)이 안착되는 내부 공간은 서로 공통될 수 있다. 즉, 용기(200)의 내부 공간에서 미사용 소모성 부품(R2)이 반출시, 미사용 소모성 부품(R2)들 중 가장 아래에 위치하는 미사용 소모성 부품(R2)이 반출되고, 미사용 소모성 부품(R2)이 안착되는 내부 공간과, 사용된 소모성 부품(R1)이 안착되는 내부 공간은 서로 공통됨에 따라, 사용된 소모성 부품(R1)은 미사용 소모성 부품(R2)이 안착되었던 지지 슬롯(252)에도 반입될 수 있게 된다. 이에, 용기(200)가 수납하고 있던 미사용 소모성 부품(R1)이 모두 반출되면, 용기(200)가 가지는 지지 슬롯(252) 모두에 사용된 소모성 부품(R2)을 안착시킬 수 있게 되어, 용기(200)에 대한 수납 범용성을 보다 확보할 수 있게 된다.

상술한 도 4, 도 7, 그리고 도 8에서는 얼라인 핀(264)들의 형상이 원 통 형상인 것을 예로 들어 설명하였으나 이에 한정되는 것은 아니다.

예컨대, 도 14에 도시된 바와 같이 얼라인 블록(260d)에 제공되는 얼라인 핀(264d)은 원 뿔 형상을 가질 수 있다. 이 경우, 소모성 부품(R)에 형성되는 정렬 홈(G)의 형상도 도 15에 도시된 바와 같이 소모성 부품(R)의 단면에서 바라볼 때, 얼라인 핀(264d)과 서로 대응되는 원 뿔 형상을 가질 수 있다.

이와 달리, 도 16에 도시된 바와 같이 얼라인 블록(260e)에 제공되는 얼라인 핀(264e)의 형상은, 하부는 원 통 형상을 가지고, 상부는 절단된 원 뿔 형상을 가질 수 있다. 이 경우, 소모성 부품(R)에 형성되는 정렬 홈(G)의 형상도 도 17에 도시된 바와 같이 소모성 부품(R)의 단면에서 바라볼 때, 얼라인 핀(264d)과 서로 대응되도록, 하부는 원 통 형상을 가지고, 상부는 상부가 절단된 원 뿔 형상을 가질 수 있다.

이와 달리, 도 18에 도시된 바와 같이 얼라인 블록(260f)에 제공되는 얼라인 핀(264f)의 형상은 하부는 원 통 형상을 가지고, 상부는 원 뿔 형상을 가질 수도 있다. 이 경우, 소모성 부품(R)에 형성되는 정렬 홈(G)의 형상도 도 19에 도시된 바와 같이 소모성 부품(R)의 단면에서 바라볼 때, 얼라인 핀(264d)과 서로 대응되도록, 하부는 원 통 형상을 가지고, 상부는 원 뿔 형상을 가질 수 있다.

이와 달리, 도 20에 도시된 바와 같이 얼라인 블록(260g)에 제공되는 얼라인 핀(264g)의 형상은 하부가 원 통 형상을 가지고, 상부는 절단된 구 형상을 가질 수 있다. 이 경우, 소모성 부품(R)에 형성되는 정렬 홈(G)의 형상이 도 21에 도시된 바와 같이 소모성 부품(R)의 단면에서 바라볼 때, 얼라인 핀(264g)과 서로 대응되도록, 하부는 원 통 형상을 가지고, 상부는 절단된 구 형상을 가질 수 있다.

이와 같이, 소모성 부품(R)의 단면에서 바라볼 때, 정렬 홈(G)은 상부 및 하부를 포함하고, 상부에서 바라본 정렬 홈(G)의 상부 직경이 하부 직경보다 작은 부분을 포함하는 경우, 얼라인 핀(264)이 정렬 홈(G)에 삽입시, 그 위치가 다소 부정확하더라도, 얼라인 핀(264)을 정렬 홈(G)에 적절히 삽입시킬 수 있다.

상술한 예에서는, 지지 슬롯(252)들 중 최 상단에 위치되는 지지 슬롯(252)에 센서(WS)가 안착되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 도 22에 도시된 바와 같이 복수의 지지 슬롯(252)이 센서(WS)를 지지하도록 제공될 수도 있다. 이 경우, 노치 정렬 부재(280a)는 도 10에 도시된 노치 정렬 부재(280)보다 그 상하 방향의 길이가 더 길게 제공될 수 있다. 예컨대, 노치 정렬 부재(280a)는 적어도 둘 이상의 지지 슬롯(252)에 안착된 센서(WS)들의 노치(N)들을 정렬할 수 있는 길이를 가질 수 있다.

상술한 예에서는, 사용된 소모성 부품(R1)과 미사용 소모성 부품(R2)이 수납되는 공간이 서로 공통되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 도 23, 그리고 24에 도시된 바와 같이 본 발명의 다른 실시 예에 따른 용기(200)의 지지 부(250)는 구획 판(258)을 더 포함할 수 있다. 구획 판(258)은 하우징(210)의 내부 공간을 구획 할 수 있다. 예컨대, 구획 판(258)은 하우징(210)의 내부 공간을 상부 공간과 하부 공간으로 구획할 수 있다. 구획 판(258)이 구획하는 상부 공간(CS)은 미사용 소모성 부품(R2)과 사용된 소모성 부품(R1) 중 어느 하나의 소모성 부품들이 수납되는 공간일 수 있다. 예컨대, 상부 공간(CS)은 미사용 소모성 부품(R2)이 수납되는 공간일 수 있다. 또한, 구획 판(258)이 구획하는 하부 공간(DS)은 미사용 소모성 부품(R2)과 사용된 소모성 부품(R1) 중 다른 하나의 소모성 부품들이 수납되는 공간일 수 있다. 예컨대, 하부 공간(DS)은 사용된 소모성 부품(R1)이 수납되는 공간일 수 있다. 구획 판(258)에 의해 사용된 소모성 부품(R1)이 수납되는 공간과 미사용 소모성 부품(R2)이 수납되는 공간을 분리함으로써, 사용된 소모성 부품(R1)에 부착된 불순물이 미사용 소모성 부품(R2)에 전달되는 것을 보다 최소화 할 수 있다. 또한, 상부 공간(CS)의 지지 슬롯(252)에는 얼라인 블록(260)이 설치되고, 하부 공간(DS)의 지지 슬롯(252)에는 얼라인 블록(260)이 설치되지 않을 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고, 상부 공간(CS) 및 하부 공간(DS)의 지지 슬롯(252) 모두에 얼라인 블록(260)이 설치될 수도 있다.

상술한 예에서는, 얼라인 블록(260)에 얼라인 핀(264)이 형성되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 도 25에 도시된 바와 같이 얼라인 블록(260h)에는 얼라인 핀(264h)이 형성될 수 있다. 또한, 얼라인 블록(260h)의 상면에는 소모성 부품(R)의 저면과 접촉되는 접촉 패드(268h)가 제공될 수 있다. 접촉 패드(268h)는 소모성 부품에 대한 내 마찰성을 가지는 재질로 제공될 수 있다. 예컨대, 접촉 패드(268h)는 탄소 충진된 PEEK(PolyEtherEtherKetone)과 같은 재질로 제공될 수 있다. 그러나, 접촉 패드(268h)의 재질로 탄소 충진된 PEEK가 이용되는 것은 일 예에 불과하고, 이와 유사한 성질을 가지는 공지된 다른 재질로 다양하게 변형될 수 있다.

상술한 예에서는 지지 부(250)가 지지 슬롯(252)을 가지고, 지지 슬롯(252)에 삽입되는 얼라인 블록(260)이 얼라인 핀(264)을 가지는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 도 26에 도시된 바와 같이 지지 슬롯(252) 자체에 얼라인 핀(251)이 형성될 수 있다.

상술한 예에서는 지지 슬롯(252)이 바(Bar) 형상을 가지는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 도 27, 그리고 도 28에 도시된 바와 같이 지지 부(250)는 핑거 형상을 가지는 지지 슬롯(257)을 포함할 수 있다. 상부에서 바라볼 때, 핑거 형상의 지지 슬롯(257)은 복수로 제공될 수 있다. 복수로 제공되는 핑거 형상의 지지 슬롯(257)들은 소모성 부품(R)의 저면을 서로 다른 위치에서 지지할 수 있다. 또한, 핑거 형상의 지지 슬롯(257)에는 지지된 소모성 부품(R)의 위치를 정렬하는 얼라인 핀(259)이 제공될 수 있다.

이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

기판 처리 장치 : 1000
제1방향 : X
제2방향 : Y
제3방향 : Z
인덱스 부 : 100
로드 포트 : 110
인덱스 챔버 : 130
제1반송 로봇 : 150
사이드 버퍼 : 170
용기 : 200
하우징 : 210
플랜지 : 220
그립 부 : 230
도어 : 240
리테이너 : 242
지지 부 : 250
얼라인 핀 : 251
지지 슬롯 : 252
가이드 홈 : 253
가이드 핀 : 254
분리 판 : 256
지지 핑거 : 257
구획 판 : 258
얼라인 핀 : 259
얼라인 블록 : 260
돌출 부 : 262
얼라인 핀 : 264
결합 수단 : 266
캐리어 지지 구조 : 270
제1지지 구조 : 272
제2지지 구조 : 274
노치 정렬 부재 : 280
공정 처리 부 : 300
로드락 챔버 : 310
반송 챔버 : 330
제2반송 로봇 : 350
공정 챔버 : 370
제어부 : 500

Claims (11)

1. 플라즈마를 이용하여 기판을 처리하는 공정 챔버에 제공되는 링 부재에 있어서,
   상기 링 부재는,
   링 형상을 가지고,
   상면, 그리고 상기 링 부재를 수납하는 용기에 제공되는 얼라인 핀이 삽입되는 정렬 홈이 형성된 하면을 가지는 링 부재.
2. 제1항에 있어서,
   상기 정렬 홈은,
   상기 하면에 복수로 형성되는 링 부재.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 정렬 홈은,
   상기 얼라인 핀과 대응하는 형상을 가지는 링 부재.
4. 제3항에 있어서,
   상기 정렬 홈은,
   상기 링 부재의 단면에서 바라볼 때, 원 뿔 형상을 가지는 링 부재.
5. 제3항에 있어서,
   상기 정렬 홈은,
   상기 링 부재의 단면에서 바라볼 때, 하부는 원 통 형상을 가지고, 상부는 상부가 절단된 원 뿔 형상을 가지는 링 부재.
6. 제3항에 있어서,
   상기 정렬 홈은,
   상기 링 부재의 단면에서 바라볼 때, 하부는 원 통 형상을 가지고, 상부는 원 뿔 형상을 가지는 링 부재.
7. 제3항에 있어서,
   상기 정렬 홈은,
   상기 링 부재의 단면에서 바라 볼 때, 하부는 원 통 형상을 가지고, 상부는 하부가 절단된 구 형상을 가지는 링 부재.
8. 플라즈마를 이용하여 기판을 처리하는 공정 챔버에 제공되는 포커스 링에 있어서,
   상면, 그리고 상기 링 부재를 수납하는 용기에 제공되는 얼라인 핀이 삽입되는 정렬 홈이 형성된 하면을 가지는 포커스 링.
9. 제8항에 있어서,
   상기 정렬 홈은,
   상기 하면에 복수로 형성되는 포커스 링.
10. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    상기 정렬 홈은,
    상기 얼라인 핀과 대응하는 형상을 가지는 포커스 링.
11. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    상기 포커스 링의 단면에서 바라볼 때, 상기 정렬 홈은 상부, 그리고 하부를 포함하고,
    상부에서 바라본 상기 정렬 홈의 상부 직경은, 하부 직경보다 작은 부분을 포함하는 포커스 링.

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