KR20220033250A - 마운팅 장치의 헤드 - Google Patents

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KR20220033250A
KR20220033250A KR1020200115411A KR20200115411A KR20220033250A KR 20220033250 A KR20220033250 A KR 20220033250A KR 1020200115411 A KR1020200115411 A KR 1020200115411A KR 20200115411 A KR20200115411 A KR 20200115411A KR 20220033250 A KR20220033250 A KR 20220033250A
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nozzle shaft
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장성우
노승욱
김성연
최대호
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엘지전자 주식회사
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    • H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
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    • H05K13/0408—Incorporating a pick-up tool
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    • H05K13/0413—Pick-and-place heads or apparatus, e.g. with jaws with orientation of the component while holding it; Drive mechanisms for gripping tools, e.g. lifting, lowering or turning of gripping tools

Abstract

본 실시예는 헤드 바디; 외둘레에 축방향으로 가이드 홈이 형성된 노즐 샤프트; 노즐 샤트프의 하부에 연결된 흡착 노즐; 헤드 바디에 장착되고 노즐 샤프트가 관통되는 통공이 형성되며 스테이터가 로터를 회전시키는 중공 모터; 로터에 연결된 스플라인 브래킷; 및 스플라인 브래킷의 내부에 고정되고 가이드 홈을 따라 구르는 볼을 갖고 노즐 샤프트를 회전시키는 볼 스플라인 너트를 포함한다.

Description

마운팅 장치의 헤드{A head of mounting device}
본 발명은 마운팅 장치의 헤드에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체나 카메라 모듈 등의 전자부품을 기판에 탑재하는 마운팅 장치의 헤드에 관한 것이다.
반도체나 카메라 모듈 등의 제조 산업은 각종 전자부품(이하, 부품이라 칭함)을 기판에 실장하고, 고속 및 고정도의 실장이 요구되는 추세이다.
부품은 전자부품 실장장치의 노즐(또는 헤드)에 흡착되어, 기판으로 옮겨질 수 있고, 부품을 흡착하는 노즐을 갖는 전자부품 실장장치(이하, 마운팅 장치라 칭함)의 예는 대한민국 등록특허공보 10-1893137 B(2018년08월30일 공고)에 개시되다.
마운팅 장치는 부품 공급부에 위치하는 부품을 흡착하여 기판으로 옮기는 흡착 노즐을 포함할 수 있고, 흡착 노즐은 탑재 헤드부에 탑재된다.
탑재 헤드부는 X축 이동기구와 접속되고, Y축 이동기구는 X축 이동기구 및 탑재 헤드부를 Y축방향으로 이동시킨다.
탑재 헤드부는 부품을 흡착하는 흡착 노즐을 수직방향(Z축방향)으로 승강 가능하게 이동시키는 Z축 이동기구를 구비하며, 흡착 노즐(131)을 노즐 축(흡착 축)을 중심으로 회전시키는 θ축 이동기구를 구비하고 있다.
탑재 헤드부는 베이스 프레임과, 베이스 프레임에 설치되어 수직 Z 구동부를 Z축 방향으로 안내하는 리니어 가이드과, 수직 Z 구동부를 수직 상하로 이동시키기 위한 Z축 모터와, 흡착 노즐이 설치된 노즐 샤프트와, 노즐 샤프트에 접속된 스플라인 베어링과, 스플라인 베어링에 θ모터 풀리와 타이밍 벨트를 통해 접속된 θ축 모터를 포함한다.
대한민국 등록특허공보 10-1893137 B(2018년08월30일 공고)
종래 기술에 따른 마운팅 장치는 노즐 샤프트가 θ축 모터와 θ모터 풀리와 타이밍 벨트 및 스플라인 베어링으로 접속되므로, 노즐 샤프트의 회전시 타이팅 벨트의 백래쉬에 의해 θ 방향 위치 정밀도가 낮은 문제점이 있다.
그리고, 타이밍 벨트의 사용 기간이 늘어나면, 타이밍 벨트의 텐션 저하 및 마모 발생으로 인해 실장 품질의 저하요인으로 작용한다.
본 발명의 목적은 타이밍 벨트 없이 노즐 샤프트에 회전력을 전달하여 실장 위치의 정밀도 높은 마운팅 장치의 헤드를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 장기간 사용에도 실장 품질의 저하를 최소화할 수 있는 마운팅 장치의 헤드를 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 슬림화가 가능한 마운팅 장치의 헤드를 제공하는데 있다.
본 실시예는 헤드 바디; 외둘레에 축방향으로 가이드 홈이 형성된 노즐 샤프트; 노즐 샤트프의 하부에 연결된 흡착 노즐; 헤드 바디에 장착되고 노즐 샤프트가 관통되는 통공이 형성되며 스테이터가 로터를 회전시키는 중공 모터; 로터에 연결된 스플라인 브래킷; 및 스플라인 브래킷의 내부에 고정되고 가이드 홈을 따라 구르는 볼을 갖고 노즐 샤프트를 회전시키는 볼 스플라인 너트를 포함한다.
중공 모터는 노즐 샤프트와 동축 상에 위치되게 헤드 바디에 장착될 수 있다.
마운팅 장치의 헤드는 스플라인 브래킷의 내둘레에 형성된 키홈에 삽입되고 볼 스플라인 너트에 설치된 키를 더 포함할 수 있다.
마운팅 장치의 헤드는 노즐 샤프트 상부에 연결된 피팅 홀더와, 피팅 홀더에 접속된 피팅부재와, 베어링 하우징을 포함하는 무빙 블록과, 베어링 하우징과 노즐 샤프트 사이에 설치된 베어링과, 무빙 블록에 연결된 가압원을 포함할 수 있다.
헤드 바디는 무빙 블록이 걸리는 스토퍼가 형성될 수 있다.
마운팅 장치의 헤드는 무빙 블록에 부착되어 무빙 블록의 승강시 함께 승강되는 스케일과, 헤드 바디에 고정되어 스케일을 감지하는 엔코더 헤드를 포함할 수 있다.
헤드 바디에 제공되어 무빙 블록의 승강을 가이드 하는 승강 가이드를 더 포함할 수 있다.
피팅부재는 피팅 홀더에 연결된 수직 피팅과, 수직 피팅의 상부에서 돌출된 수평 피팅을 포함할 수 있다.
무빙 블록은 베어링 하우징과 결합된 승강 부재와, 수평 피팅이 관통되고 승강 부재와 가압원에 각각 연결된 브래킷을 포함할 수 있다.
헤드 바디는 가압원이 결합되고 가압원을 노즐 샤프트과 동축 상에 위치시키는 상부 프레임을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 중공 모터와, 스플라인 브래킷과 볼 스플라인 너트가 노즐 샤프트를 회전시킬 수 있고, 노즐 사프트의 승강시 노즐 샤프트의 승강을 안내하므로, 장기간 사용에고 실장 품질의 정밀도 유지할 수 있다.
또한, 노즐 샤프트가 중공 모터를 관통하므로, 마운팅 장치의 헤드가 슬림화 및 컴팩트화될 수 있다.
또한, 중공 모터 및 가압원 각각이 노즐 샤프트과 동축 상에 위치하므로, 마운팅 장치의 헤드가 슬림화 및 컴팩트화될 수 있다.
또한, 피팅부재는 수직 피팅과, 수평 피팅을 포함하여, 가압원과 간섭되지 않고, 마모가 최소될 수 있다.
도 1은 본 실시 예에 따른 마운팅 장치의 헤드가 도시된 사시도,
도 2는 본 실시 예에 따른 마운팅 장치의 헤드가 도시된 정면도,
도 3는 본 실시 예에 따른 노즐 샤프트 상승시 확대 단면도,
도 4는 본 실시 예에 따른 노즐 샤프트의 하강시 확대 단면도,
도 5는 도 3에 도시된 스플라인 브래킷의 사시도,
도 6은 도 3에 도시된 볼 스플라인 너트의 일부 절결 사시도,
도 7은 본 실시 예에 따른 엔코더 헤드와 스케일이 도시된 일부 절결 사시도이다.
이하에서는 본 발명의 구체적인 실시 예를 도면과 함께 상세히 설명하도록 한다.
도 1은 본 실시 예에 따른 마운팅 장치의 헤드가 도시된 사시도이고, 도 2는 본 실시 예에 따른 마운팅 장치의 헤드가 도시된 정면도이며, 도 3는 본 실시 예에 따른 노즐 샤프트 상승시 확대 단면도이고, 도 4는 본 실시 예에 따른 노즐 샤프트의 하강시 확대 단면도이다.
본 실시예의 마운팅 장치의 헤드(1)는 헤드 바디(2)와, 노즐 샤프트(3)와, 노즐 샤트프(3)의 하부에 연결된 흡착 노즐(4)를 포함할 수 있다.
마운팅 장치의 헤드(1)는 헤드 바디(2)에 장착되고 노즐 샤프트(3)가 관통되는 중공 모터(5)와, 중공 모터(5)에 의해 회전되는 스플라인 브래킷(6)와, 스플라인 브래킷(6)에 결합되어 노즐 샤프트(3)를 회전시키는 볼 스플라인 너트(7)를 더 포함할 수 있다.
마운팅 장치의 헤드(1)는 노즐 샤프트(3)의 상부에 연결된 피팅 홀더(11)와, 피팅 홀더(11)에 접속된 피팅부재(12)과, 베어링 하우징(131)을 포함하는 무빙 블록(13)과, 베어링 하우징(131)과 노즐 샤프트(3) 사이에 설치된 베어링(14)과, 무빙 블록(13)에 연결된 가압원(15)을 포할 수 있다.
헤드 바디(2)는 헤드 이동기구(미도시)에 연결되어 헤드 이동기구에 의해 이동될 수 있다.
헤드 이동기구는 헤드 바디(2)를 X축, Y축 이동시키는 것도 가능하고, 헤드 바디(2)를 X축, Y축, Z축 이동시키는 것도 가능하다.
헤드 바디(2)는 마운팅 장치의 헤드(1)의 메인 바디일 수 있다.
헤드 바디(2)는 헤드 이동기구에 연결된 헤드 마운터(21)를 포함할 수 있다.
헤드 마운터(21)는 수직할 수 있고, 스크류 등의 체결부재로 헤드 이동기구에 연결될 수 있다.
헤드 바디(2)는 중공 모터(5)가 장착되는 모터 장착 바디(22)를 포함할 수 있다.
모터 장착 바디(22)는 헤드 마운터(21)에서 수평하게 연장될 수 있다.
모터 장착 바디(22)는 중공 모터(5) 보다 크게 형성될 수 있고, 중공 모터(5)의 위에서 중공 모터(5)를 보호할 수 있다.
모터 장착 바디(22)에는 노즐 샤프트(3)과 관통될 수 있는 관통공(23)이 형성될 수 있다. 관통공(23)는 노즐 샤프트(3)의 외경 보다 클 수 있고, 상하 방향(Z)으로 개방될 수 있다.
헤드 바디(2)는 헤드 마운터(21)의 상단에 형성된 상부 프레임(24)을 더 포함할 수 있다.
상부 프레임(24)에는 가압원(15)이 결합될 수 있고, 상부 프레임(24)은 가압원(15)을 노즐 샤프트(3)와 동축 상에 위치시킬 수 있다.
상부 프레임(24)는 헤드 마운터(21) 상측에 상측 방향(Z)으로 연장된 수직 프레임(25)과, 수직 프레임(25)에서 수평하게 연장된 가압원 장착 바디(26)를 포함할 수 있다.
가압원 장착 바디(26)는 모터 장착 바디(22) 위에 위치될 수 있고, 모터 장착 바디(22)와 상하 방향(Z)으로 이격될 수 있다. 가압원(15)는 가압원 장착 바디(26)와 모터 장착 바디(22)의 사이에 위치되게 가압원 장착 바디(26)에 장착될 수 있다.
헤드 바디(2)는 무빙 블록(13)이 걸리는 스토퍼(27)가 형성될 수 있다. 무빙 블록(13)가 소정 거리 하강되면, 스토퍼(27)는 도 4에 도시된 바와 같이, 무빙 블록(13)의 하단과 접촉될 수 고, 무빙 블록(13)을 구속할 수 있다.
스토퍼(27)는 모터 장착 바디(22)의 상면으로 정의될 수 있다. 무빙 블록(13)의 하단이 스토퍼(27)에 접촉되는 위치는 구동원(15)의 기준 위치일 수 있다.
헤드 바디(2)에 제공되어 무빙 블록(13)의 승강을 가이드 하는 승강 가이드(28)를 더 포함할 수 있다.
승강 가이드(28)는 상하 방향(Z)으로 길게 형성된 LM 가이드일 수 있다. 승강 가이드(28)는 모터 장착 바디(22)의 상면에 위치되게 모터 장착 바디(22)에 장착될 수 있다.
노즐 샤프트(3)는 상하 방향(Z)으로 길게 배치된 중공 튜브 또는 중공 파이프일 수 있고, 노즐 샤프트(3)는 상하 방향(Z)으로 모터(5) 보다 길게 형성될 수 있다.
노즐 샤프트(3)은 모터 장착 바디(22)의 관통공(23)을 회전 및 승강 가능하게 관통될 수 있다.
노즐 샤프트(3)의 내부에는 흡착 노즐(4)의 노즐공(41)과 연통되는 가스 통로(31)가 형성될 수 있다
노즐 샤프트(3)의 상부는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 피팅 홀더(11)에 연결될 수 있다. 노즐 샤프트(3)는 피팅부재(12)의 통로와, 흡착 노즐(4)의 노즐공(41)를 연통할 수 있다.
흡착 노즐(4)는 반도체 칩 등의 부품이 흡착되는 부품 흡착 공구일 수 있다.
흡착 노즐(4)는 상하 방향(Z)으로 개방된 노즐공(41)이 형성될 수 있다. 노즐공(41)은 흡착 노즐(4)의 상단부터 하단까지 형성될 수 잇다.
흡착 노즐(4)의 하단에는 운반 대상과 접촉되는 접촉단(42)가 형성될 수 있다. 접촉단(42)은 평면일 수 있다.
흡착 노즐(4)의 상부에는 노즐 사프트(3)의 하부와 결합되는 샤프트 결합부(43)가 형성될 수 있다. 흡착 노즐(4)은 노즐 샤프트(3)와 분리 가능하게 결합될 수 있다. 노즐 샤프트(3)의 하부는 샤프트 결합부(43)로 내삽되어 샤프트 결합부(43)에 끼워질 수 있다.
중공 모터(5)는 노즐 샤프트(3)의 축을 중심으로 노즐 샤프트(3)를 회전시키는 θ 구동모터 일수 있다.
중공 모터(5)는 스테이터(51)와 로터(52)를 포함할 수 있고, 스테이터(51)가 로터(52)를 회전시킬 수 있다.
스테이터(51)는 헤드 바디(2) 특히, 모터 장착 바디(22)에 장착될 수 있다.
스테이터(51)는 모터 장착 바디(22) 하측에 위치되게 모터 장착 바디(22)에 체결될 수 있다. 스테이터(51)는 관통공(23) 보다 크게 형성될 수 있다.
로터(52)는 스플라인 브래킷(6)과 결합되어 스플라인 브래킷(6)을 회전시킬 수 있다.
중공 모터(5)에는 노즐 샤프트(3)가 관통되는 통공(53)이 형성될 수 있다. 통공(53)은 스테이터(51)와 로터(52) 각각에 형성될 수 있다. 스테이터(51)와 로터(52) 각각은 중공 형상으로 형성될 수 있고, 스테이터(51)에는 노즐 샤프트(3)가 관통되는 스테이터 통공이 형성될 수 있으며, 로터(52)에는 노즐 샤프트(3)가 관통되는 로터 통공이 형성될 수 있다.
중공 모터(5)는 노즐 샤프트(3)와 동축 상에 위치되게 헤드 바디(2) 특히, 모터 장착 바디(22)에 장착될 수 있다.
스플라인 브래킷(6)은 로터(52)에 연결될 수 있다. 스플라인 브래킷(6)는 로터(52)의 하면에 결합될 수 있다.
스플라인 브래킷(6)은 로터(52)에 결합되는 로터 체결부(61)와, 볼 스플라인 너트(7)의 외둘레를 둘러싸는 중공부(62)를 포함할 수 있다.
로터 체결부(61)는 중공부(62)의 상단에서 수평하게 연장될 수 있다.
로터 체결부(61)는 스크류 등의 체결부재로 로터(52)의 하부에 연결될 수 있고, 로터(52)의 회전시, 함께 회전될 수 있다.
중공부(62)는 볼 스플라인 너트(7)의 외부에서 볼 스플라인 너트(7)를 보호할 수 있고, 볼 스플라인 너트(7)를 회전시킬 수 있다.
중공부(62)는 키(64) 등의 체결부재에 의해 볼 스플라인 너트(7)와 체결될 수 있다. 스플라인 브래킷(6)이 로터(52)에 의해 회전되면, 볼 스플라인 너트(7)는 함께 회전될 수 있다.
볼 스플라인 너트(7)은 스플라인 브래킷(6)의 내부에 고정될 수 있다.
볼 스플라인 너트(7)는 스플라인 브래킷(6)과, 노즐 사프트(3) 사이에서 스플라인 브래킷(6)의 회전력을 노즐 샤프트(3)로 전달할 수 있다.
볼 스플라인 너트(7)는 회전 방향으로 노즐 샤프트(3)와 구속될 수 있고, 볼 스플라인 너트(7)의 회전시, 노즐 샤프트(3)는 회전될 수 있다.
볼 스플라인 너트(7)는 노즐 사프트(3)의 축 방향(Z)으로 노즐 샤프트(3)를 구속하지 않을 수 있고, 노즐 샤프트(3)의 승강시 노즐 샤프트(3)와 함께 승강되지 않는다. 볼 스플라인 너트(7)는 노즐 사프트(3)가 축 방향(Z)으로 이동될 때, 노즐 사프트(3)의 승강을 안내할 수 있다. 이하, 볼 스플라인 너트(7)의 상세 구조는 도 6을 참조하여 설명한다.
피팅 홀더(11)는 중공 형상으로 형성될 수 있다. 피팅 홀더(11)의 내측 하부에는 노즐 샤프트(3)의 상부가 내삽될 수 있다. 피팅 홀더(11)의 내측 상부에는 피팅부재(12)의 하부가 내삽될 수 있다.
피팅부재(12)은 흡착 노즐(4)의 진공 흡착 발생을 위한 진공 피팅일 수 있다.
피팅부재(12)은 피팅 홀더(11)에 연결된 수직 피팅(121)과, 수직 피팅(121)의 상부에서 돌출된 수평 피팅(122)을 포함할 수 있다.
수직 피팅(121)의 하부는 피팅 홀더(11)의 내측 상부에 끼워질 수 있다.
수평 피팅(122)는 수직 피팅(121)의 상부에서 꺽일 수 있다. 수평 필터(122)는 에어 컴트레서 등의 진공 형성기와 연결부재로 연결될 수 있고, 수평피팅(122)의 단부(123)에는 튜브나 파이프 등의 연결부재가 연결될 수 있다.
무빙 블록(13)은 복수개 부재의 결합체로 구성될 수 있다. 무빙 블록(13)은 베어링 하우징(131)과, 베어링 하우징(131)과 결합된 승강 부재(132)와, 승강 부재(132)와 가압원(15)에 각각 연결된 브래킷(133)을 포함할 수 있다.
베어링 하우징(131)과, 승강 부재(132) 및 브래킷(133)은 일체화될 수 있는 함께 승강될 수 있다.
베어링 하우징(131)는 제1무빙 블록일 수 있고, 승강부재(132)는 제2무빙 블록일 수 있다.
베어링 하우징(131)은 노즐 샤프트(3)의 외경 보다 크게 형성될 수 있고, 베어링(14)를 지지할 수 있다.
승강부재(132)는 베어링 하우징(131)을 둘러쌀 수 있다. 승강부재(132)에는 중공부(138)가 형성될 수 있다. 중공부(138)은 피팅 홀더(11)를 회전 가능하게 수용할 수 있다. 베어링(14) 및 베어링 하우징(131)은 축 방향(Z)으로 중공부(138)의 하단에 걸릴 수 있고, 승강 부재(132)는 베어링(14) 및 베어링 하우징(131)를 하강 시킬 수 있다.
승강부재(132)는 승강 가이드(28)에 면 접촉될 수 있고, 승강 가이드(28)를 따라 상하 방향(Z)으로 승강될 수 있다.
브래킷(133)은 가압원(15)에 연결된 상부 체결부(134)와, 상부 체결부(134)에서 하측 방향으로 연장되어 승강부재(132)에 연결되는 승강부재 연결부(135)를 포함할 수 있다.
브래킷(133) 특히, 승강부재 연결부(135)은 승강부재(132)에 끼워질 수 있다.
브래킷(133)에는 피팅부재(12) 특히, 수평 피팅(122)이 관통될 수 있다. 브래킷(133)에는 피팅부재(12)가 관통되는 관통공(136)이 형성될 수 있다. 관통공(136)에는 피팅부재(12)의 수평 피팅(122)이 관통될 수 있다. 피팅부재(12)는 무빙 블록(13)의 승강시, 무빙 블록(13)과 함께 승강될 수 있다. 브래킷(133)의 하강시, 관통공(136)의 상부는 피팅부재(12)의 수평 피텅(122)을 하강시킬 수 있다. 브래킷(133)의 상승시, 관통공(136)의 하부는 피팅부재(12)의 수평 피팅(122)을 상승시킬 수 있다.
베어링(14)는 노즐 샤트프(3)를 회전 가능하게 지지할 수 있다. 베어링(14)은 볼 베어링 특히, 앵귤러 볼 베어링일 수 있다. 베어링(14)은 베어링 하우징(131)에 밀착되어 고정되는 외륜과, 노즐 샤프트(3)의 외둘레에 밀착되어 고정되는 내륜과, 외륜과 내륜 사이에 배치되는 볼을 포함할 수 있다.
베어링(14)의 하부에는 베어링(14)을 베어링 하우징(131) 내부에 유지시키는 O 링(142)이 배치될 수 있다. O 링(142)은 노즐 샤프트(13)의 외둘레에 끼워질 수 있고, 베어링(14)의 내륜과 접촉될 수 있다.
가압원(15)는 가압원 장착 바디(26)에 장착될 수 있다. 가압원(15)은 가압원 장착 바디(26)의 하측에 위치되게 가압원 장착 바디(26)에 스크류 등의 체결부재로 체결될 수 있다. 가압원(15)은 노즐 샤프트(3) 위에 위치될 수 있고, 노즐 샤프트(3)에서 상측 방향으로 연장된 연장선에 위치될 수 있다.
가압원(15)는 흡착 노즐(4)을 상하 방향(Z)으로 이동시키는 Z축 이동기구일 수 있다.
가압원(15)은 무빙 블록(13)을 하강시킬 수 있다. 가압원(15)의 예들은 VCM(151, 보이스 코일 모터(voice coil motor)), 에어 실린더, 서브 모터 등을 수 있다.
VCM(151)은 노즐 샤프트(3)에 가압력을 발생하는 모터일 수 있다.
VCM(151)은 가압원 장착 바디(26)에 장착될 수 있고, 가압원 장착 바디(26)의 아래에 위치된 상태에서 무빙 블록(13)을 승강시킬 수 있다.
흡착 노즐(4)이 부품과 접촉될 때, 흡착 노즐(4)이 부품 또는 기판은 손상될 수 있는데, 무빙 블록(13)이 VCM(151)에 의해 작동될 경우, VCM(151)의 정밀 제어에 의해 이러한 부품 또는 기판의 손상을 최소화할 수 있다.
VCM(151)에는 승강될 수 있는 축(152)를 포함할 수 있다. VCM(151)는 축(152)을 직선 운동시켜 주는 엑추에이터일 수 있다. 축(152)의 하부에는 무빙 블록(13)에 연결될 수 있고, VCM(151)은 축(152)을 하강시킬 수 있다. VCM(151)는 축(152)을 탄지하는 스프링을 포함할 수 있다.
무빙 블록(13)은 축(152)의 하부에 연결되어, VCM(151)의 작동에 따라 승강될 수 있다.
VCM(151)는 영구자석의 자기장 내에서 코일의 유도자기력에 의해 생기는 로렌츠 힘을 이용하고, 출(152)를 비교적 짧은 거리에서 정밀하게 직선 운동시켜줄 수 있다.
VCM(151)은 핀(152)의 승강 속도 및 핀(152)의 이동량(이동거리)를 제어할 수 있다.
도 5는 도 3에 도시된 스플라인 브래킷의 사시도이고, 도 6은 도 3에 도시된 볼 스플라인 너트의 일부 절결 사시도이다.
노즐 샤프트(3)는 외둘레에 축방향으로 가이드 홈(32)이 형성될 수 있다. 가이드 홈(32)는 노즐 샤프트(3)의 외둘레에 함몰 형성될 수 있고, 노즐 샤프트(3)의 길이 방향으로 길게 형성될 수 있다. 가이드 홈(32)은 노즐 샤프트(3)의 중심축과 나란할 수 있다. 가이드 홈(32)의 복수개 제공될 수 있고, 복수개의 가이드 홈(32)은 노즐 샤프트(3)의 반경 방향으로 이격될 수 있다.
스플라이 브래킷(6)과 볼 스플라인 너트(7)는 키(64, 도 3 및 도 4 참조)에 의해 결합될 수 있다.
스플라인 브래킷(6)의 내둘레(63)에 키 홈(65)이 형성되고, 키(64)는 볼 스플라인 너트(7)에 설치되고, 키 홈(65)에 삽입되어 스플라인 브래킷(6)과 볼 스플라인 너트(7)를 체결할 수 있다.
볼 스플라인 너트(7)는 가이드 홈(32)을 따라 구르는 볼(71)을 갖을 수 있다.
볼 스플라인 너트(7)는 키(64)가 삽입되어 끼워지는 키홈(72)이 형성된 외통(73)와, 외통(73) 내부에 배치되어 볼(71)을 외통(73)의 회전 방향으로 가이드 홈(72)에 유지시키는 리테이터(74)를 더 포함할 수 있다.
외통(73)의 키홈(72)은 외통(73)의 외둘레에 형성될 수 있다.
외통(73)의 하부에는 스냅 링(75)이 끼워질 수 있고, 스냅 링(75)에는 노즐 샤프트(3)의 외통(73) 사이를 실링할 수 있는 실(76)이 배치될 수 있다.
볼(71)은 전부 또는 일부가 가이드 홈(32)에 수용될 수 있다.
볼(71)은 리테이너(74) 내부에 복수개 제공될 수 있다.
볼(71)은 노즐 샤프트(3)의 승강시, 노즐 샤프트(3)의 승강을 안내할 수 있다. 볼(71)은 스플라인 브래킷(6)의 회전시 노즐 샤프트(3)를 회전시킬 수 있다.
도 7은 본 실시 예에 따른 엔코더 헤드와 스케일이 도시된 일부 절결 사시도,
마운팅 장치의 헤드는 무빙 블록(13)의 높이를 측정할 수 있는 높이 측정기구를 포함할 수 있다. 마운팅 장치의 헤드는 스케일(16)과, 엔코더 헤드(17)을 포함할 수 있다.
스케일(16)은 눈금자일 수 있고, 평판 형상일 수 있다.
스케일(16)은 무빙 블록(13)에 부착되어 무빙 블록(13)의 승강시 함께 승강될 수 있다.
엔코더 헤드(17)는 헤드 바디(2)에 고정되어 스케일(16)의 이동량을 감지할 수 있다.
엔코더 헤드(17)은 헤드 바디 특히, 모터 장착 바디(22)에 설치된 엔코더 홀더(18)에 수용될 수 있고, 엔코더 홀더(18)에 수용된 상태에서, 스케일(16)의 변화를 감지할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다.
따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다.
본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
2: 헤드 바디 3: 노즐 샤프트
4: 흡착 노즐 5: 중공 모터
6: 스플라인 브래킷 7: 볼 스플라인 너트
32: 가이드 홈 71: 볼

Claims (9)

  1. 헤드 바디;
    외둘레에 축방향으로 가이드 홈이 형성된 노즐 샤프트;
    상기 노즐 샤트프의 하부에 연결된 흡착 노즐;
    상기 헤드 바디에 장착되고 상기 노즐 샤프트가 관통되는 통공이 형성되며 스테이터가 로터를 회전시키는 중공 모터;
    상기 로터에 연결된 스플라인 브래킷; 및
    상기 스플라인 브래킷의 내부에 고정되고 상기 가이드 홈을 따라 구르는 볼을 갖고 상기 노즐 샤프트를 회전시키는 볼 스플라인 너트를 포함하는 마운팅 장치의 헤드.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 중공 모터는 상기 노즐 샤프트와 동축 상에 위치되게 상기 헤드 바디에 장착된 마운팅 장치의 헤드.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 스플라인 브래킷의 내둘레에 형성된 키홈에 삽입되고 볼 스플라인 너트에 설치된 키를 더 포함하는 마운팅 장치의 헤드.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 노즐 샤프트 상부에 연결된 피팅 홀더와,
    상기 피팅 홀더에 접속된 피팅부재와,
    베어링 하우징을 포함하는 무빙 블록과,
    상기 베어링 하우징과 노즐 샤프트 사이에 설치된 베어링과,
    상기 무빙 블록에 연결된 가압원을 포함하는 마운팅 장치의 헤드.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 헤드 바디는 상기 무빙 블록이 걸리는 스토퍼가 형성된 마운팅 장치의 헤드.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 무빙 블록에 부착되어 무빙 블록의 승강시 함께 승강되는 스케일과,
    상기 헤드 바디에 고정되어 스케일을 감지하는 엔코더 헤드를 포함하는 마운팅 장치의 헤드.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 피팅부재는
    상기 피팅 홀더에 연결된 수직 피팅과,
    상기 수직 피팅의 상부에서 돌출된 수평 피팅을 포함하는 마운팅 장치의 헤드.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 무빙 블록은
    상기 베어링 하우징과 결합된 승강 부재와,
    상기 수평 피팅이 관통되고 상기 승강 부재와 가압원에 각각 연결된 브래킷을 포함하는 마운팅 장치의 헤드.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 헤드 바디는 상기 가압원이 결합되고 상기 가압원을 상기 노즐 샤프트과 동축 상에 위치시키는 상부 프레임을 더 포함하는 마운팅 장치의 헤드.
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