KR20220033121A - Non-directional precision stage with bidirectional guide structure - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a bidirectional precision feed stage. In this case, the bidirectional precision feed stage has a structure improved so that a guide roller which precisely controls feed of a stage block is restrained in both directions by a pair of inclined rails, so that the bidirectional feed of the stage block can be precisely controlled regardless of the installation direction. At this time, conveying precision is improved. In particular, the bidirectional precision feed stage of the present invention comprises: a stage main body (100); a center block (200); a side block (300); and a stage block (400). Therefore, an assembly error due to mismatch of parallelism between the pair of inclined rails is corrected by a preload absorption method to improve operation precision. In addition, a life between friction parts can be extended for a long time.

Description

양방향 가이드구조의 무방향성 정밀 스테이지 {Non-directional precision stage with bidirectional guide structure}Non-directional precision stage with bidirectional guide structure

본 발명은 양방향 가이드구조의 무방향성 정밀 스테이지에 관련되며, 보다 상세하게는 스테이지블록의 이송을 정밀제어하는 가이드롤러가 한 쌍의 경사레일에 의해 양방향에서 구속되도록 구조 개선되어 설치방향에 구애받지 않고 스테이지블록을 양방향 이송을 정밀제어할 수 있고 이송정밀도가 향상되고, 특히, 한 쌍의 경사레일 간에 평행도 불일치에 대한 조립 오차를 예압흡수방식으로 보정하여 작동정밀도 향상을 도모함과 더불어 마찰부품간에 수명을 장구히 연장할 수 있는 양방향 정밀 이송 스테이지에 관한 것이다.The present invention relates to a non-directional precision stage of a bidirectional guide structure, and more specifically, the structure is improved so that the guide roller that precisely controls the transport of the stage block is restrained in both directions by a pair of inclined rails, regardless of the installation direction. It is possible to precisely control the bidirectional feed of the stage block, and the feed precision is improved. In particular, the assembly error due to the parallelism mismatch between the pair of inclined rails is corrected by the preload absorption method to improve the operation precision and to shorten the lifespan between the friction parts. It relates to a bidirectional precision feed stage that can be extended for a long time.

통상 정밀 스테이지는 정밀부품의 위치를 정확하게 유지시켜주기 위한 장비로서, 반도체 기술의 발달, 그리고 MEMS(Micro Electro Mechanical System)로 대별되는 마이크로 시스템 테크놀로지의 발달과 함께, 반도체 웨이퍼, LCD 등의 검사용 장비 또는 MEMS 디바이스를 제작하거나 조작하기 위한 각종 설비의 이송 기구를 포함하는 포함하는 설비분야에 널리 이용되고, 고도의 정밀도를 요구하는 실정이다.In general, a precision stage is a device for accurately maintaining the position of precision parts, and with the development of semiconductor technology and micro-system technology divided into MEMS (Micro Electro Mechanical System), it is equipment for inspection of semiconductor wafers, LCDs, etc. Or it is widely used in the field of equipment including transport mechanisms of various equipment for manufacturing or manipulating MEMS devices, and requires high precision.

이에 종래에 개시된 등록번호 10-1272194호에서, 바디와, 상기 바디 상방에 배치되는 캐리지 플레이트와, 상기 바디에 설치되는 회전운동기구와, 상기 회전운동기구의 회전을 직선운동으로 변환시켜 상기 캐리지 플레이트를 상하로 승강시키는 승강직선운동기구를 포함하되, 상기 회전운동기구는 상기 바디의 일측면에 회전 가능하게 설치되는 구동베벨기어와, 상기 구동베벨기어에 맞물리는 피동베벨기어와, 상기 바디에 설치되어 상기 피동베벨기어를 지지하는 베어링을 포함하고, 상기 구동베벨기어에 회전동력을 전달하는 마이크로미터 헤드는 구동 샤프트에 의해 상기 구동베벨기어에 연결되고, 상기 구동 샤프트를 클램핑하는 탄성 클램프가 상기 바디에 설치되되, 상기 탄성 클램프는 상기 구동 샤프트의 축부가 배치되는 상측 블록과 하측 블록, 상기 상측 블록의 일단과 상기 하측 블록의 일단을 일체로 연결하며 상기 바디에 체결되는 연결블록, 상기 상측 블록의 타단과 상기 하측 블록의 타단에 설치되는 조임부를 포함하는 기술이 선 제시된 바 있다..Accordingly, in registration No. 10-1272194 disclosed in the prior art, a body, a carriage plate disposed above the body, a rotary motion mechanism installed on the body, and the carriage plate by converting the rotation of the rotary motion mechanism into linear motion and a lifting and lowering linear movement mechanism for raising and lowering the body, wherein the rotation mechanism includes a driving bevel gear rotatably installed on one side of the body, a driven bevel gear engaged with the driving bevel gear, and installed on the body and a bearing supporting the driven bevel gear, the micrometer head transmitting rotational power to the driving bevel gear is connected to the driving bevel gear by a driving shaft, and an elastic clamp clamping the driving shaft is provided in the body Installed in the, the elastic clamp integrally connects an upper block and a lower block in which the shaft portion of the drive shaft is disposed, one end of the upper block and one end of the lower block, and a connecting block fastened to the body, of the upper block A technology including a fastening part installed at the other end and the other end of the lower block has been previously proposed.

그러나, 상기 종래기술은 마이크로미터 헤드의 수평회전운동을 베벨기어의 구동을 통해 상하 직선운동으로 변환시켜 정밀한 높이 조절이 가능하도록 하는 것이나, 구동베벨기와 피동베벨기어 간에 기어 클리어런스(clearance) 및 베벨기어와 이를 구동하는 수나사봉 간에 치합 클리어런스로 인해 스테이지의 정밀 미세조절에 한계가 있고, 특히 승강 스테이지를 측방향 또는 하방향으로 설치할 경우 중량방향으로 작용하는 하중에 의해 작동오차가 크게 발생되는 폐단이 따랐다.However, in the prior art, the horizontal rotational motion of the micrometer head is converted into vertical linear motion through driving of the bevel gear to enable precise height adjustment, but gear clearance and bevel gear between the driving bevel gear and the driven bevel gear There is a limit to the precise fine adjustment of the stage due to the meshing clearance between the male threaded rod and the male threaded rod driving it. .

이에 따라 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 착안 된 것으로서, 스테이지블록의 이송을 정밀제어하는 가이드롤러가 한 쌍의 경사레일에 의해 양방향에서 구속되도록 구조 개선되어 설치방향에 구애받지 않고 스테이지블록을 양방향 이송을 정밀제어할 수 있고 이송정밀도가 향상되고, 특히, 한 쌍의 경사레일 간에 평행도 불일치에 대한 조립 오차를 예압흡수방식으로 보정하여 작동정밀도 향상을 도모함과 더불어 마찰부품간에 수명을 장구히 연장할 수 있는 양방향 정밀 이송 스테이지를 제공하는 것에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention was conceived to solve the above problems, and the structure was improved so that the guide roller that precisely controls the transport of the stage block is restrained in both directions by a pair of inclined rails, so that the stage block can be installed regardless of the installation direction. Bidirectional feed can be precisely controlled and feed precision is improved. In particular, the assembly error for parallelism mismatch between a pair of inclined rails is corrected by the preload absorption method to improve operation precision and to extend the lifespan between friction parts for a long time. The purpose is to provide a bidirectional precision transfer stage that can do this.

이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명의 특징은, 횡형 직선레일(122)이 설치되는 베이스플레이트(120)와, 베이스플레이트(110) 양단에 연결되어 종형 직선레일(142)이 설치되는 한 쌍의 사이드플레이트(140)를 포함하는 스테이지본체(100); 상기 베이스플레이트(120)에 설치되어, 구동부(210) 작동에 의해 횡형 직선레일(142)을 타고 직선 왕복이동되고, 양측에 가이드롤러(220)가 구비되는 센터블록(200); 상기 가이드롤러(220)와 맞물려 경사운동되는 경사레일(320)이 설치되고, 센터블록(200) 작동력에 의해 종형 직선레일(142)을 타고 센터블록(200) 이동방향과 직교하는 방향으로 직선 왕복운동되도록 구비되는 한 쌍의 사이드블록(300); 및 상기 사이드블록(300)에 연결되어, 센터블록(200) 이동방향과 직교하는 방향으로 직선 왕복운동되고, 상면에 설치면(420)이 구비되는 스테이지블록(400);을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve this object, a feature of the present invention is that the base plate 120 on which the horizontal straight rail 122 is installed, and the base plate 110 are connected to both ends of the pair of sides on which the vertical straight rail 142 is installed. The stage body 100 including the plate 140; a center block 200 installed on the base plate 120, linearly reciprocated on a horizontal straight rail 142 by the operation of the driving unit 210, and provided with guide rollers 220 on both sides; An inclined rail 320 that engages with the guide roller 220 and moves obliquely is installed, and the center block 200 linearly reciprocates in a direction orthogonal to the moving direction on the vertical straight rail 142 by the operating force. A pair of side blocks 300 provided to be moved; and a stage block 400 connected to the side block 300, linearly reciprocating in a direction orthogonal to the moving direction of the center block 200, and having an installation surface 420 on its upper surface; do.

이때, 상기 가이드롤러(220)는 센터블록(200) 양측에 각각 한 쌍으로 구비되고, 상기 경사레일(320)은 가이드롤러(220)을 중심으로 양측에서 서로 대향하도록 한 쌍으로 구비되며, 상기 어느 하나의 경사레일(320)은 일측 가이드롤러(220)에 접촉되고, 다른 하나의 경사레일(320)은 다른 일측 가이드롤러(220)에 접촉되어, 상기 한 쌍의 가이드롤러(220)가 한 쌍의 경사레일(320)에 의해 양방향에서 구속되도록 구비되는 것을 특징으로 한다.At this time, the guide roller 220 is provided in a pair on both sides of the center block 200, and the inclined rail 320 is provided in a pair so as to face each other on both sides around the guide roller 220, One inclined rail 320 is in contact with one guide roller 220, and the other inclined rail 320 is in contact with the other one guide roller 220, so that the pair of guide rollers 220 is one It is characterized in that it is provided to be constrained in both directions by a pair of inclined rails (320).

또한, 상기 경사레일은(320), 사이드블록(300)에 장착되는 바디부(322)와, 가이드롤러(220)에 접촉되어 미끄럼운동되는 레일부(324)와, 바디부(322)와 레일부(324) 사이에 이격 형성되는 예압흡수공간부(326)과, 예압흡수공간부(326)에 의해 이격된 바디부(322)와 레일부(324)를 국부적으로 연결하는 지지살대(327)와, 예압흡수공간부(326)에 삽입되어 레일부(324)를 완충 지지하는 예압유지시트(328)를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the inclined rail 320, the body portion 322 mounted on the side block 300, the rail portion 324 sliding in contact with the guide roller 220, the body portion 322 and the A support rib 327 for locally connecting the body 322 and the rail 324 spaced apart by the preload absorbing space 326 formed between the portions 324 and the preload absorbing space 326. and a preload holding sheet 328 inserted into the preload absorbing space 326 to buffer and support the rail 324 .

또한, 상기 지지살대(327)는 레일부(326) 폭방향 어느 일측에서 바디부(322)와 레일부(324)를 연결하거나, 레일부(326) 길이방향 어느 일측에서 바디부(322)와 레일부(326)를 연결하도록 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the support rib 327 connects the body part 322 and the rail part 324 on either side in the width direction of the rail part 326, or the body part 322 and the rail part 322 on either side in the longitudinal direction of the rail part 326. It is characterized in that it is provided to connect the rail part (326).

또한, 상기 예압흡수공간부(326)는 복층으로 형성되고, 상기 지지살대(327)는 예압흡수공간부(326) 각층별로 서로 반대방향에서 바디부(322)와 레일부(326)를 연결하여 'ㄹ'형 단면라인을 형성하도록 구비되는 것을 특징으로 한다. In addition, the preload absorbing space 326 is formed in multiple layers, and the support rib 327 connects the body 322 and the rail 326 in opposite directions for each preload absorbing space 326 for each layer. It is characterized in that it is provided to form a 'r'-shaped cross-sectional line.

또한, 상기 사이드블록(300)은 종형 설치면(302)과 횡형 설치면(304)이 직교하도록 형성되고, 상기 종형 설치면(302)에 어느 하나의 경사레일(320) 측면이 횡형 볼트(302a)에 의해 고정되며, 횡형 설치면(304)에 다른 하나의 경사레일(320) 저면이 종형 볼트(304a)에 의해 체결되며, 상기 횡형 설치면(304)에 체결되는 경사레일(320)은 횡형 설치면(304)에 나사체결되는 간격유지볼트(304b)에 의해 일측 단부가 가압되어 한 쌍의 경사레일(320) 평행도가 조절되도록 구비되는 것을 특징으로 한다. In addition, the side block 300 is formed so that the vertical installation surface 302 and the horizontal installation surface 304 are orthogonal, and any one inclined rail 320 side is a horizontal bolt 302a on the vertical installation surface 302 . ), the bottom surface of the other inclined rail 320 to the horizontal installation surface 304 is fastened by a vertical bolt 304a, and the inclined rail 320 fastened to the horizontal installation surface 304 is a horizontal It is characterized in that one end is pressed by the spacing bolt 304b screwed to the installation surface 304 to adjust the parallelism of the pair of inclined rails 320 .

또한, 상기 예압흡수공간부(326)에 압전센서모듈(500)이 설치되고, 압전센서모듈(500)에 의해 경사레일(320)과 가이드롤러(220)의 경사운동에 따른 레일부(324) 길이방향 구간별 예압이 측정되며, 상기 압전센서모듈(500) 측정값을 구간별로 비교하여 오차 값을 산출하고, 상기 간격유지볼트(304b)를 이용하여 경사레일(320) 각도를 미세조절하는 방식으로 구간별 예압 오차를 보정하도록 구비되는 것을 특징으로 한다. In addition, the piezoelectric sensor module 500 is installed in the preload absorbing space 326, and the rail part 324 according to the inclined motion of the inclined rail 320 and the guide roller 220 by the piezoelectric sensor module 500. A method of measuring the preload for each section in the longitudinal direction, calculating an error value by comparing the measured values of the piezoelectric sensor module 500 for each section, and finely adjusting the angle of the inclined rail 320 using the spacing bolt 304b It is characterized in that it is provided to correct the preload error for each section.

또한, 상기 사이드블록(300)은 종형 설치면(302)과 횡형 설치면(304)이 직교하도록 형성되고, 상기 종형 설치면(302)에 어느 하나의 경사레일(320) 측면이 횡형 볼트(302a)에 의해 고정되며, 횡형 설치면(304)에 다른 하나의 경사레일(320) 저면 일측 단부가 받침축(306)을 중심으로 선회가능하도록 맞물리고, 경사레일(320) 저면 다른 일측 단부는 횡형 설치면(304)에 장착되어 구동부(610)에 의해 돌출되는 밀핀(600)에 의해 지지되고, 상기 밀핀(600)에 의해 경사레일(320) 저면 일측 단부가 가압되어 각도가 미세 조절되도록 구비되며, 상기 예압흡수공간부(326)에 압전센서모듈(500)이 설치되고, 압전센서모듈(500)에 의해 경사레일(320)과 가이드롤러(220)의 경사운동에 따른 레일부(324) 길이방향 구간별 예압이 측정되며, 상기 압전센서모듈(500) 측정값을 구간별로 비교하여 오차 값을 산출하고, 상기 밀핀(600)을 이용하여 경사레일(320) 각도를 미세조절하는 방식으로 레일부(324) 구간별 예압 오차를 실시간으로 보정하도록 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the side block 300 is formed so that the vertical installation surface 302 and the horizontal installation surface 304 are orthogonal, and any one inclined rail 320 side is a horizontal bolt 302a on the vertical installation surface 302 . ), and one end of the other inclined rail 320 on the horizontal installation surface 304 engages so as to be pivotable about the support shaft 306, and the other end of the other inclined rail 320 on the bottom is horizontal It is mounted on the installation surface 304 and supported by a push pin 600 protruding by the driving unit 610, and one end of the bottom surface of the inclined rail 320 is pressed by the push pin 600 so that the angle is finely adjusted. , The piezoelectric sensor module 500 is installed in the preload absorbing space 326, and the rail 324 length according to the inclined motion of the inclined rail 320 and the guide roller 220 by the piezoelectric sensor module 500. The preload is measured for each section in the direction, the measured value of the piezoelectric sensor module 500 is compared for each section to calculate an error value, and the angle of the inclined rail 320 is finely adjusted using the push pin 600. (324) It is characterized in that it is provided to correct the preload error for each section in real time.

이상의 구성 및 작용에 의하면, 본 발명은 스테이지블록의 이송을 정밀제어하는 가이드롤러가 한 쌍의 경사레일에 의해 양방향에서 구속되도록 구조 개선되어 설치방향에 구애받지 않고 스테이지블록을 양방향 이송을 정밀제어할 수 있고 이송정밀도가 향상되고, 특히, 한 쌍의 경사레일 간에 평행도 불일치에 대한 조립 오차를 예압흡수방식으로 보정하여 작동정밀도 향상을 도모함과 더불어 마찰부품간에 수명을 장구히 연장할 수 있는 효과가 있다.According to the above configuration and operation, the present invention has improved the structure so that the guide roller that precisely controls the transfer of the stage block is restrained in both directions by a pair of inclined rails, so that the two-way transfer of the stage block can be precisely controlled regardless of the installation direction. In particular, by correcting the assembly error for parallelism mismatch between a pair of inclined rails in a preload absorption method, the operation precision is improved and the lifespan between friction parts can be extended for a long time. .

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 양방향 가이드구조의 무방향성 정밀 스테이지를 전체적으로 나타내는 사시도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 양방향 가이드구조의 무방향성 정밀 스테이지를 분해하여 나타내는 사시도.
도 3 내지 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 양방향 가이드구조의 무방향성 정밀 스테이지 내부구조를 나타내는 종단면도.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 양방향 가이드구조의 무방향성 정밀 스테이지의 경사레일의 예압흡수공간 및 예압흡수시트를 나타내는 구성도.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 양방향 가이드구조의 무방향성 정밀 스테이지의 예압흡수공간 및 예압흡수시트가 복층으로 구비된 상태를 나타내는 구성도.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 양방향 가이드구조의 무방향성 정밀 스테이지의 압전센서에 의한 측정값을 이용하여 간격유지볼트로 예압오차를 보정하는 상태를 나타내는 구성도.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 양방향 가이드구조의 무방향성 정밀 스테이지의 압전센서에 의한 측정값을 이용하여 밀핀으로 예압오차를 보정하는 상태를 나타내는 구성도.1 is a perspective view showing the overall non-directional precision stage of the bidirectional guide structure according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is an exploded perspective view showing the non-directional precision stage of the bidirectional guide structure according to an embodiment of the present invention.
3 to 4 are longitudinal cross-sectional views showing the internal structure of the non-directional precision stage of the bidirectional guide structure according to an embodiment of the present invention.
5 is a block diagram showing a preload absorbing space and a preload absorbing sheet of an inclined rail of a non-directional precision stage of a bidirectional guide structure according to an embodiment of the present invention.
6 is a configuration diagram illustrating a state in which a preload absorbing space and a preload absorbing sheet of a non-directional precision stage of a bidirectional guide structure are provided in multiple layers according to an embodiment of the present invention.
7 is a configuration diagram illustrating a state in which a preload error is corrected with a spacing bolt using a measurement value by a piezoelectric sensor of a non-directional precision stage of a bidirectional guide structure according to an embodiment of the present invention.
8 is a configuration diagram illustrating a state in which a preload error is corrected with a push pin using a value measured by a piezoelectric sensor of a non-directional precision stage of a bidirectional guide structure according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 양방향 가이드구조의 무방향성 정밀 스테이지를 전체적으로 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 양방향 가이드구조의 무방향성 정밀 스테이지를 분해하여 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view showing the overall non-directional precision stage of the bidirectional guide structure according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is an exploded perspective view showing the non-directional precision stage of the bidirectional guide structure according to an embodiment of the present invention .

본 발명은 양방향 정밀 이송 스테이지에 관련되며, 이때 양방향 정밀 이송 스테이지는 스테이지블록의 이송을 정밀제어하는 가이드롤러가 한 쌍의 경사레일에 의해 양방향에서 구속되도록 구조 개선되어 설치방향에 구애받지 않고 스테이지블록을 양방향 이송을 정밀제어할 수 있고 이송정밀도가 향상되고, 특히, 한 쌍의 경사레일 간에 평행도 불일치에 대한 조립 오차를 예압흡수방식으로 보정하여 작동정밀도 향상을 도모함과 더불어 마찰부품간에 수명을 장구히 연장할 수 있도록 스테이지본체(100), 센터블록(200), 사이드블록(300), 스테이지블록(400)을 포함하여 주요구성으로 한다.The present invention relates to a two-way precision transfer stage, wherein the two-way precision transfer stage has a structure improved so that the guide roller that precisely controls the transfer of the stage block is restrained in both directions by a pair of inclined rails, so that the stage block regardless of the installation direction. can precisely control the two-way feed, and the feed precision is improved. In particular, the assembly error due to the parallelism mismatch between the pair of inclined rails is corrected by the preload absorption method to improve the operation precision and to prolong the lifespan between the friction parts. It has a main configuration including the stage body 100 , the center block 200 , the side block 300 , and the stage block 400 so as to be extended.

본 발명에 따른 스테이지본체(100)는 횡형 직선레일(122)이 설치되는 베이스플레이트(120)와, 베이스플레이트(110) 양단에 연결되어 종형 직선레일(142)이 설치되는 한 쌍의 사이드플레이트(140)를 포함한다. 종형 직선레일(142)은 상면에 횡형 직선레일(122)이 설치되고, 횡형 직선레일(122)을 타고 후술하는 센터블록(200)이 직선 왕복운동되도록 설치되며, 이때 센터블록(200)은 종형 직선레일(142) 일측에 구비되는 서보모터와 스크루봉으로 결합되어 이동이 정밀제어된다.The stage body 100 according to the present invention includes a base plate 120 on which a horizontal straight rail 122 is installed, and a pair of side plates connected to both ends of the base plate 110 to have a vertical straight rail 142 installed ( 140). The vertical straight rail 142 is installed with a horizontal straight rail 122 installed on the upper surface, and a center block 200 to be described later on the horizontal straight rail 122 is installed such that a linear reciprocating motion is performed. At this time, the center block 200 is a vertical The linear rail 142 is coupled to a servomotor provided on one side and a screw rod to precisely control the movement.

그리고, 상기 사이드플레이트(140)는 베이스플레이트(110) 양단에 직각으로 연결되고, 내측벽에 종형 직선레일(142)이 구비된다. 종형 직선레일(142)에는 후술하는 사이드블록(300)이 결합되어 센터블록(200) 이송방향과 직교하는 방향으로 직선 왕복운동되도록 구비된다.In addition, the side plate 140 is connected to both ends of the base plate 110 at right angles, and a vertical straight rail 142 is provided on the inner wall. A side block 300 , which will be described later, is coupled to the vertical straight rail 142 so as to be linearly reciprocated in a direction orthogonal to the transfer direction of the center block 200 .

또한, 본 발명에 따른 센터블록(200)은 베이스플레이트(120)에 설치되어, 구동부(210) 작동에 의해 횡형 직선레일(142)을 타고 직선 왕복이동되고, 양측에 가이드롤러(220)가 구비된다. 센터블록(200)은 하단부가 횡형 직선레일(142)에 구속되고, 양측면에 횡형 고정축을 중심으로 회전되는 가이드롤러(220)가 설치된다.In addition, the center block 200 according to the present invention is installed on the base plate 120, and is linearly reciprocated on the horizontal straight rail 142 by the operation of the driving unit 210, and guide rollers 220 are provided on both sides. do. The lower end of the center block 200 is constrained by the horizontal straight rail 142, and guide rollers 220 that are rotated about the horizontal fixed shaft are installed on both sides of the center block 200.

또한, 본 발명에 따른 사이드블록(300)은 상기 가이드롤러(220)와 맞물려 경사운동되는 경사레일(320)이 설치되고, 센터블록(200) 작동력에 의해 종형 직선레일(142)을 타고 센터블록(200) 이동방향과 직교하는 방향으로 직선 왕복운동되도록 한 쌍으로 구비된다.In addition, the side block 300 according to the present invention is provided with an inclined rail 320 engaged with the guide roller 220 for inclined motion, and rides the vertical straight rail 142 by the center block 200 operating force to the center block. (200) A pair is provided so as to reciprocate linearly in a direction orthogonal to the moving direction.

이때, 상기 경사레일(320)은 한 쌍으로 평행하게 구비되어 가이드롤러(220)를 양측에서 구속하도록 구비되는바, 여기서 상기 가이드롤러(220)는 센터블록(200) 양측에 각각 한 쌍으로 구비되고, 상기 경사레일(320)은 가이드롤러(220)을 중심으로 양측에서 서로 대향하도록 한 쌍으로 구비된다.At this time, the inclined rails 320 are provided in parallel as a pair to restrain the guide rollers 220 from both sides, wherein the guide rollers 220 are provided in pairs on both sides of the center block 200, respectively. and the inclined rails 320 are provided in pairs so as to face each other on both sides around the guide roller 220 .

즉, 도 3과 같이 상기 어느 하나의 경사레일(320)은 일측 가이드롤러(220)에 접촉되고, 다른 하나의 경사레일(320)은 다른 일측 가이드롤러(220)에 접촉되어, 상기 한 쌍의 가이드롤러(220)가 한 쌍의 경사레일(320)에 의해 양방향에서 구속되도록 구비된다.That is, as shown in FIG. 3 , one inclined rail 320 is in contact with one guide roller 220 , and the other inclined rail 320 is in contact with the other one guide roller 220 , and the pair of The guide roller 220 is provided to be constrained in both directions by a pair of inclined rails 320 .

또한, 본 발명에 따른 스테이지블록(400)은 상기 사이드블록(300)에 연결되어, 센터블록(200) 이동방향과 직교하는 방향으로 직선 왕복운동되고, 상면에 설치면(420)이 구비된다. 스테이지블록(400)은 양단에 한 쌍의 사이드블록(300)이 연결되어, 센터블록(200) 이송방향과 직교하는 방향으로 이송되면서 설치면(420)에 탑재된 소정의 장비(예컨대, 광학장비, 계측장비, 측정장비, 가공장비 등)를 정밀 이송하게 된다.In addition, the stage block 400 according to the present invention is connected to the side block 300 and linearly reciprocated in a direction orthogonal to the moving direction of the center block 200 , and an installation surface 420 is provided on the upper surface. A pair of side blocks 300 are connected to the stage block 400 at both ends, and predetermined equipment (eg, optical equipment) mounted on the installation surface 420 while being transferred in a direction orthogonal to the center block 200 transfer direction. , measuring equipment, measuring equipment, processing equipment, etc.)

이처럼 상기 스테이지블록(400)의 이송을 정밀제어하는 가이드롤러(220)가 한 쌍의 경사레일(320)에 의해 양방향에서 구속되도록 구조 개선되어 설치방향에 구애받지 않고 스테이지블록(400)의 양방향 이송을 정밀제어할 수 있는 이점이 있다. 즉, 상기 스테이지블록(400)이 측방향 또는 하방향으로 이동되도록 설치되더라도 한 쌍의 경사레일(320) 사이에 가이드롤러(220)가 구속되어 직선 왕복운동에 따른 양방향 이송 정밀도가 고도로 향상된다.As such, the structure is improved so that the guide roller 220 that precisely controls the transport of the stage block 400 is constrained in both directions by a pair of inclined rails 320, so that the stage block 400 can be transported in both directions regardless of the installation direction. It has the advantage of being able to precisely control That is, even if the stage block 400 is installed to move in the lateral direction or the downward direction, the guide roller 220 is restrained between the pair of inclined rails 320, so that the bidirectional transfer precision according to the linear reciprocating motion is highly improved.

도 4에서, 상기 경사레일은(320), 사이드블록(300)에 장착되는 바디부(322)와, 가이드롤러(220)에 접촉되어 미끄럼운동되는 레일부(324)와, 바디부(322)와 레일부(324) 사이에 이격 형성되는 예압흡수공간부(326)과, 예압흡수공간부(326)에 의해 이격된 바디부(322)와 레일부(324)를 국부적으로 연결하는 지지살대(327)와, 예압흡수공간부(326)에 삽입되어 레일부(324)를 완충 지지하는 예압유지시트(328)를 포함한다. 여기서 예압이란 한 쌍의 경사레일(320)를 각각의 가이드롤러(220)에 가압하는 예압을 조성하여 각각의 가이드롤러(220)를 구성하는 베이링 유격으로 인한 이송정밀도 저하현상을 방지하기 위한 것이다.In FIG. 4 , the inclined rail 320, a body portion 322 mounted on the side block 300, a rail portion 324 sliding in contact with the guide roller 220, and a body portion 322 A support rib ( 327 ) and a preload holding sheet 328 inserted into the preload absorbing space 326 to buffer and support the rail 324 . Here, the preload is to create a preload to press the pair of inclined rails 320 to each guide roller 220 to prevent a decrease in conveying precision due to the bearing clearance constituting each guide roller 220. .

이때, 상기 예압유지시트(328)는 소정의 탄성을 가진 판형 소재로 형성되고, 가이드롤러(220)와 접지력에 의해 레일부(324)로 가해지는 압력이 소정 압력을 초과할 경우, 예압유지시트(328)가 압축되면서 한 쌍의 경사레일(320) 간에 평행도 불일치에 대한 조립 오차를 예압흡수방식으로 보정하여 작동정밀도 향상을 도모함과 더불어 마찰부품(레일부(324)와 가이드롤러(220))간에 수명을 장구히 연장할 수 있는 이점이 있다.At this time, the preload holding sheet 328 is formed of a plate-shaped material having a predetermined elasticity, and when the pressure applied to the rail part 324 by the guide roller 220 and the traction force exceeds a predetermined pressure, the preload holding sheet As the 328 is compressed, the assembly error for the parallelism mismatch between the pair of inclined rails 320 is corrected by the preload absorption method to improve the operation precision and friction parts (the rail part 324 and the guide roller 220) It has the advantage of prolonging the lifespan of the liver for a long time.

그리고, 상기 예압흡수공간부(326)와 예압유지시트(328)는 다양한 형태로 적용가능한바, 도 5 (a)와 같이 상기 지지살대(327)는 레일부(326) 폭방향 어느 일측에서 바디부(322)와 레일부(324)를 연결하거나, 도 5 (b)처럼 레일부(326) 길이방향 어느 일측에서 바디부(322)와 레일부(326)를 연결하도록 구비된다. 이때 상기 지지살대(327)는 바디부(322)와 레일부(324)가 정위치에 위치되도록 연결하는 기준점으로서, 레일부(324) 폭방향으로 작용하는 하중에 대한 저항력을 가지도록 구비된다.In addition, the preload absorbing space 326 and the preload holding sheet 328 can be applied in various forms, and as shown in FIG. It is provided to connect the part 322 and the rail part 324 or to connect the body part 322 and the rail part 326 from either side in the longitudinal direction of the rail part 326 as shown in FIG. 5 (b). At this time, the support rib 327 is a reference point for connecting the body portion 322 and the rail portion 324 to be positioned in the correct position, and is provided to have resistance to the load acting in the width direction of the rail portion 324 .

도 6에서, 상기 예압흡수공간부(326)는 복층으로 형성되고, 상기 지지살대(327)는 예압흡수공간부(326) 각층별로 서로 반대방향에서 바디부(322)와 레일부(326)를 연결하여 'ㄹ'형 단면라인을 형성하도록 구비된다. 도 6 (a)에서 지지살대(327)는 레일부(326) 폭방향 양측에 2단으로 형성된 상태를 도시하고, 도 6 (b)는 레일부(326) 길이방향 양측에 2단으로 형성된 상태를 도시한다.In FIG. 6, the preload absorbing space 326 is formed in multiple layers, and the support rib 327 includes a body 322 and a rail 326 in opposite directions for each layer of the preload absorbing space 326. It is provided to form a 'R'-shaped cross-sectional line by connecting them. In Fig. 6 (a), the support rod 327 shows a state formed in two stages on both sides of the rail part 326 in the width direction, and Fig. 6 (b) is a state formed in two stages on both sides of the rail part 326 in the longitudinal direction. shows

그리고, 상기 각각의 예압흡수공간부(326)에 예압유지시트(328)를 삽입 설치함에 따라 지지살대(327) 형성 위치에 영향을 받지 않고 레일부(326) 폭방향 또는 길이방향으로 균일하게 예압 흡수기능을 가지게 되어, 레일부(326)의 편마모 현상을 방지하게 된다. And, as the preload holding sheet 328 is inserted and installed in each of the preload absorbing spaces 326, the rail portion 326 is uniformly preloaded in the width direction or the length direction without being affected by the formation position of the support rod 327. It has an absorption function, thereby preventing uneven wear of the rail part 326 .

또한, 상기 사이드블록(300)은 종형 설치면(302)과 횡형 설치면(304)이 직교하도록 형성되고, 상기 종형 설치면(302)에 어느 하나의 경사레일(320) 측면이 횡형 볼트(302a)에 의해 고정되며, 횡형 설치면(304)에 다른 하나의 경사레일(320) 저면이 종형 볼트(304a)에 의해 체결된다. In addition, the side block 300 is formed so that the vertical installation surface 302 and the horizontal installation surface 304 are orthogonal, and any one inclined rail 320 side is a horizontal bolt 302a on the vertical installation surface 302 . ), and the bottom surface of the other inclined rail 320 to the horizontal installation surface 304 is fastened by a vertical bolt 304a.

그리고, 상기 횡형 설치면(304)에 체결되는 경사레일(320)은 횡형 설치면(304)에 나사체결되는 간격유지볼트(304b)에 의해 일측 단부가 가압되어 한 쌍의 경사레일(320) 평행도가 조절되도록 구비되므로, 한 쌍의 경사레일(320) 평행도 불일치로 인한 가이드롤러(220)과 레일부(326)의 편마모 현상을 방지하게 된다. And, one end of the inclined rail 320 fastened to the horizontal installation surface 304 is pressed by the spacing bolt 304b screwed to the horizontal installation surface 304, so that a pair of inclined rails 320 parallelism is provided to be adjusted, thereby preventing the uneven wear of the guide roller 220 and the rail portion 326 due to the mismatch in parallelism of the pair of inclined rails 320 .

도 7에서, 상기 예압흡수공간부(326)에 압전센서모듈(500)이 설치되고, 압전센서모듈(500)에 의해 경사레일(320)과 가이드롤러(220)의 경사운동에 따른 레일부(324) 길이방향 구간별 예압이 측정하도록 구비된다.In FIG. 7, the piezoelectric sensor module 500 is installed in the preload absorbing space 326, and the rail part according to the inclined motion of the inclined rail 320 and the guide roller 220 by the piezoelectric sensor module 500 ( 324) It is provided to measure the preload for each longitudinal section.

그리고, 상기 압전센서모듈(500) 측정값을 구간별로 비교하여 오차 값을 산출하고, 상기 간격유지볼트(304b)를 이용하여 경사레일(320) 각도를 미세조절하는 방식으로 구간별 예압 오차를 보정하여, 장기간 연속 운전에 따른 이송 정밀도 저하현상을 방지하게 된다.And, by comparing the measured values of the piezoelectric sensor module 500 for each section, the error value is calculated, and the angle of the inclined rail 320 is finely adjusted using the gap maintaining bolt 304b to correct the preload error for each section. Therefore, it is possible to prevent the deterioration of the conveying precision due to the continuous operation for a long period of time.

도 8에서, 상기 사이드블록(300)은 종형 설치면(302)과 횡형 설치면(304)이 직교하도록 형성되고, 상기 종형 설치면(302)에 어느 하나의 경사레일(320) 측면이 횡형 볼트(302a)에 의해 고정되며, 횡형 설치면(304)에 다른 하나의 경사레일(320) 저면 일측 단부가 받침축(306)을 중심으로 선회가능하도록 맞물리고, 경사레일(320) 저면 다른 일측 단부는 횡형 설치면(304)에 장착되어 구동부(610)에 의해 돌출되는 밀핀(600)에 의해 지지되고, 상기 밀핀(600)에 의해 경사레일(320) 저면 일측 단부가 가압되어 각도가 미세 조절되도록 구비된다.In FIG. 8 , the side block 300 is formed such that a vertical installation surface 302 and a horizontal installation surface 304 are orthogonal to each other, and any one inclined rail 320 side is a horizontal bolt to the vertical installation surface 302 . Fixed by (302a), one end of the bottom surface of the other inclined rail 320 on the horizontal installation surface 304 is rotatably engaged with the support shaft 306 as the center, and the other end of the bottom surface of the inclined rail 320 is mounted on the horizontal installation surface 304 and supported by a push pin 600 protruding by the driving unit 610, and one end of the bottom surface of the inclined rail 320 is pressed by the push pin 600 so that the angle is finely adjusted. provided

이때, 상기 예압흡수공간부(326)에 압전센서모듈(500)이 설치되고, 압전센서모듈(500)에 의해 경사레일(320)과 가이드롤러(220)의 경사운동에 따른 레일부(324) 길이방향 구간별 예압이 측정되도록 구비된다. At this time, the piezoelectric sensor module 500 is installed in the preload absorbing space 326, and the rail part 324 according to the inclined motion of the inclined rail 320 and the guide roller 220 by the piezoelectric sensor module 500. It is provided so that the preload for each longitudinal section is measured.

그리고, 상기 압전센서모듈(500) 측정값을 구간별로 비교하여 오차 값을 산출하고, 상기 밀핀(600)을 이용하여 경사레일(320) 각도를 미세조절하는 방식으로 레일부(324) 구간별 예압 오차를 실시간으로 보정하도록 구비됨에 따라 장기간 연속 운전으로 이송 정밀도가 저하현상이 방지된다.And, by comparing the measured values of the piezoelectric sensor module 500 by section to calculate an error value, and using the push pin 600 to finely adjust the angle of the inclined rail 320, the rail unit 324 preload for each section As it is equipped to correct errors in real time, the phenomenon of deterioration of conveying precision is prevented by continuous operation for a long period of time.

100: 스테이지본체 200: 센터블록
300: 사이드블록 400: 스테이지블록 100: stage body 200: center block
300: side block 400: stage block

Claims (8)

횡형 직선레일(122)이 설치되는 베이스플레이트(120)와, 베이스플레이트(110) 양단에 연결되어 종형 직선레일(142)이 설치되는 한 쌍의 사이드플레이트(140)를 포함하는 스테이지본체(100);
상기 베이스플레이트(120)에 설치되어, 구동부(210) 작동에 의해 횡형 직선레일(142)을 타고 직선 왕복이동되고, 양측에 가이드롤러(220)가 구비되는 센터블록(200);
상기 가이드롤러(220)와 맞물려 경사운동되는 경사레일(320)이 설치되고, 센터블록(200) 작동력에 의해 종형 직선레일(142)을 타고 센터블록(200) 이동방향과 직교하는 방향으로 직선 왕복운동되도록 구비되는 한 쌍의 사이드블록(300); 및
상기 사이드블록(300)에 연결되어, 센터블록(200) 이동방향과 직교하는 방향으로 직선 왕복운동되고, 상면에 설치면(420)이 구비되는 스테이지블록(400);을 포함하는 것을 특징으로 하는 양방향 가이드구조의 무방향성 정밀 스테이지.A stage body 100 including a base plate 120 on which a horizontal straight rail 122 is installed, and a pair of side plates 140 connected to both ends of the base plate 110 and having a vertical straight rail 142 installed therein. ;
a center block 200 installed on the base plate 120, linearly reciprocated on a horizontal straight rail 142 by the operation of the driving unit 210, and provided with guide rollers 220 on both sides;
An inclined rail 320 that engages with the guide roller 220 and moves obliquely is installed, and the center block 200 linearly reciprocates in a direction orthogonal to the moving direction on the vertical straight rail 142 by the operating force. A pair of side blocks 300 provided to be moved; and
It is connected to the side block 300, the center block 200 is linearly reciprocated in a direction orthogonal to the moving direction, and the stage block 400 is provided with an installation surface 420 on its upper surface; characterized in that it comprises a; A non-directional precision stage with a bidirectional guide structure. 제 1항에 있어서,
상기 가이드롤러(220)는 센터블록(200) 양측에 각각 한 쌍으로 구비되고, 상기 경사레일(320)은 가이드롤러(220)을 중심으로 양측에서 서로 대향하도록 한 쌍으로 구비되며, 상기 어느 하나의 경사레일(320)은 일측 가이드롤러(220)에 접촉되고, 다른 하나의 경사레일(320)은 다른 일측 가이드롤러(220)에 접촉되어, 상기 한 쌍의 가이드롤러(220)가 한 쌍의 경사레일(320)에 의해 양방향에서 구속되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 양방향 가이드구조의 무방향성 정밀 스테이지.The method of claim 1,
The guide roller 220 is provided in a pair on both sides of the center block 200, respectively, and the inclined rail 320 is provided in a pair to face each other on both sides around the guide roller 220, and any one of the inclined rail 320 is in contact with one guide roller 220, and the other inclined rail 320 is in contact with the other one guide roller 220, so that the pair of guide rollers 220 is a pair of A non-directional precision stage of a bidirectional guide structure, characterized in that it is provided to be constrained in both directions by an inclined rail (320). 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 경사레일은(320), 사이드블록(300)에 장착되는 바디부(322)와, 가이드롤러(220)에 접촉되어 미끄럼운동되는 레일부(324)와, 바디부(322)와 레일부(324) 사이에 이격 형성되는 예압흡수공간부(326)과, 예압흡수공간부(326)에 의해 이격된 바디부(322)와 레일부(324)를 국부적으로 연결하는 지지살대(327)와, 예압흡수공간부(326)에 삽입되어 레일부(324)를 완충 지지하는 예압유지시트(328)를 포함하는 것을 특징으로 하는 양방향 가이드구조의 무방향성 정밀 스테이지.3. The method according to claim 1 or 2,
The inclined rail 320, the body portion 322 mounted on the side block 300, the rail portion 324 sliding in contact with the guide roller 220, the body portion 322 and the rail portion ( 324) and a support rib 327 for locally connecting the body part 322 and the rail part 324 spaced apart by the preload absorbing space 326 and the preload absorbing space 326 formed therebetween; A non-directional precision stage of a bidirectional guide structure, characterized in that it is inserted into the preload absorbing space 326 and includes a preload holding sheet 328 for buffering and supporting the rail 324 . 제 3항에 있어서,
상기 지지살대(327)는 레일부(326) 폭방향 어느 일측에서 바디부(322)와 레일부(324)를 연결하거나, 레일부(326) 길이방향 어느 일측에서 바디부(322)와 레일부(326)를 연결하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 양방향 가이드구조의 무방향성 정밀 스테이지.4. The method of claim 3,
The support rib 327 connects the body part 322 and the rail part 324 on either side in the width direction of the rail part 326, or the body part 322 and the rail part on either side in the length direction of the rail part 326. (326) Non-directional precision stage of the bidirectional guide structure, characterized in that provided to connect. 제 4항에 있어서,
상기 예압흡수공간부(326)는 복층으로 형성되고, 상기 지지살대(327)는 예압흡수공간부(326) 각층별로 서로 반대방향에서 바디부(322)와 레일부(326)를 연결하여 'ㄹ'형 단면라인을 형성하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 양방향 가이드구조의 무방향성 정밀 스테이지.5. The method of claim 4,
The preload absorbing space 326 is formed in multiple layers, and the support rib 327 connects the body 322 and the rail 326 in opposite directions for each preload absorbing space 326 in each layer. A non-directional precision stage of a bidirectional guide structure, characterized in that it is provided to form a 'shaped cross-sectional line. 제 3항에 있어서,
상기 사이드블록(300)은 종형 설치면(302)과 횡형 설치면(304)이 직교하도록 형성되고, 상기 종형 설치면(302)에 어느 하나의 경사레일(320) 측면이 횡형 볼트(302a)에 의해 고정되며, 횡형 설치면(304)에 다른 하나의 경사레일(320) 저면이 종형 볼트(304a)에 의해 체결되며, 상기 횡형 설치면(304)에 체결되는 경사레일(320)은 횡형 설치면(304)에 나사체결되는 간격유지볼트(304b)에 의해 일측 단부가 가압되어 한 쌍의 경사레일(320) 평행도가 조절되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 양방향 가이드구조의 무방향성 정밀 스테이지.4. The method of claim 3,
The side block 300 is formed so that the vertical installation surface 302 and the horizontal installation surface 304 are perpendicular to each other, and the side of any one inclined rail 320 on the vertical installation surface 302 is attached to the horizontal bolt 302a. The lower surface of the other inclined rail 320 is fastened to the horizontal installation surface 304 by a vertical bolt 304a, and the inclined rail 320 fastened to the horizontal installation surface 304 is a horizontal installation surface. A non-directional precision stage of a bidirectional guide structure, characterized in that one end is pressed by the spacing bolt (304b) screwed to the (304) to adjust the parallelism of the pair of inclined rails (320). 제 6항에 있어서,
상기 예압흡수공간부(326)에 압전센서모듈(500)이 설치되고, 압전센서모듈(500)에 의해 경사레일(320)과 가이드롤러(220)의 경사운동에 따른 레일부(324) 길이방향 구간별 예압이 측정되며, 상기 압전센서모듈(500) 측정값을 구간별로 비교하여 오차 값을 산출하고, 상기 간격유지볼트(304b)를 이용하여 경사레일(320) 각도를 미세조절하는 방식으로 구간별 예압 오차를 보정하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 양방향 가이드구조의 무방향성 정밀 스테이지.7. The method of claim 6,
A piezoelectric sensor module 500 is installed in the preload absorbing space 326, and the rail part 324 according to the inclined motion of the inclined rail 320 and the guide roller 220 by the piezoelectric sensor module 500 in the longitudinal direction. A preload is measured for each section, an error value is calculated by comparing the measured values of the piezoelectric sensor module 500 for each section, and the angle of the inclined rail 320 is finely adjusted using the spacing bolt 304b. A non-directional precision stage with a bidirectional guide structure, characterized in that it is provided to correct a star preload error. 제 3항에 있어서,
상기 사이드블록(300)은 종형 설치면(302)과 횡형 설치면(304)이 직교하도록 형성되고, 상기 종형 설치면(302)에 어느 하나의 경사레일(320) 측면이 횡형 볼트(302a)에 의해 고정되며, 횡형 설치면(304)에 다른 하나의 경사레일(320) 저면 일측 단부가 받침축(306)을 중심으로 선회가능하도록 맞물리고, 경사레일(320) 저면 다른 일측 단부는 횡형 설치면(304)에 장착되어 구동부(610)에 의해 돌출되는 밀핀(600)에 의해 지지되고, 상기 밀핀(600)에 의해 경사레일(320) 저면 일측 단부가 가압되어 각도가 미세 조절되도록 구비되며,
상기 예압흡수공간부(326)에 압전센서모듈(500)이 설치되고, 압전센서모듈(500)에 의해 경사레일(320)과 가이드롤러(220)의 경사운동에 따른 레일부(324) 길이방향 구간별 예압이 측정되며, 상기 압전센서모듈(500) 측정값을 구간별로 비교하여 오차 값을 산출하고, 상기 밀핀(600)을 이용하여 경사레일(320) 각도를 미세조절하는 방식으로 레일부(324) 구간별 예압 오차를 실시간으로 보정하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 양방향 가이드구조의 무방향성 정밀 스테이지.4. The method of claim 3,
The side block 300 is formed so that the vertical installation surface 302 and the horizontal installation surface 304 are perpendicular to each other, and the side of any one inclined rail 320 on the vertical installation surface 302 is attached to the horizontal bolt 302a. and one end of the bottom surface of the other inclined rail 320 on the horizontal installation surface 304 is pivotally engaged with the support shaft 306 as the center, and the other end of the bottom surface of the inclined rail 320 is a horizontal installation surface It is mounted on the 304 and supported by a push pin 600 protruding by the driving unit 610, and one end of the bottom surface of the inclined rail 320 is pressed by the push pin 600 so that the angle is finely adjusted.
A piezoelectric sensor module 500 is installed in the preload absorbing space 326, and the rail part 324 according to the inclined motion of the inclined rail 320 and the guide roller 220 by the piezoelectric sensor module 500 in the longitudinal direction. The preload for each section is measured, the measured value of the piezoelectric sensor module 500 is compared for each section to calculate an error value, and the rail unit ( 324) A non-directional precision stage with a bidirectional guide structure, characterized in that it is provided to correct the preload error for each section in real time.
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